特許 7519826 オゾン発生装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-11

(45)【発行日】2024-07-22

(54)【発明の名称】オゾン発生装置

(51)【国際特許分類】

   C01B 13/10 20060101AFI20240712BHJP

   A61L 9/20 20060101ALI20240712BHJP

【ＦＩ】

C01B13/10 Z

A61L9/20

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2020114772

(22)【出願日】2020-07-02

(65)【公開番号】P2022012730

(43)【公開日】2022-01-17

【審査請求日】2023-05-10

(73)【特許権者】

【識別番号】000128496

【氏名又は名称】株式会社オーク製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100090169

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 孝

(74)【代理人】

【識別番号】100124497

【弁理士】

【氏名又は名称】小倉 洋樹

(72)【発明者】

【氏名】金児 裕美

【審査官】多田 達也

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－１３９４６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／０２９７７４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平０９－０２４０９２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０１Ｂ １３／１０

Ａ６１Ｌ ９／０１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

エキシマランプと、
前記エキシマランプに電力を供給するランプ電源部と、
装置動作を制御する制御部と、
前記制御部および前記ランプ電源部に電力を供給する低電圧電源部とを備え、
筐体内において、前記エキシマランプが配置される第１の区画と、前記低電圧電源部および前記制御部が配置される第２の区画と、前記ランプ電源部が配置される第３の区画とが、ガスの送風方向に沿って形成され、また、それぞれ、ガス流路として機能し、
前記第１、第２、第３の区画が、互いに隣り合っていることを特徴とするオゾン発生装置。

【請求項2】

前記第３の区画が、筐体内の２つの隅を含む空間で構成され、
前記第１および第２の区画が、それぞれ筐体内の１つの隅を含む空間で構成されることを特徴とする請求項１に記載のオゾン発生装置。

【請求項3】

前記エキシマランプの陽極が、前記第１の区画と前記第３の区画とを分け隔てる絶縁性隔壁を介して、前記ランプ電源部と電気的に接続し、
前記エキシマランプの陰極が、前記第１の区画と前記第２の区画とを分け隔てる導電性隔壁を介して、アースと電気的に接続することを特徴とする請求項１または２に記載のオゾン発生装置。

【請求項4】

前記導電性隔壁に取り付けられ、前記エキシマランプを支持するランプ支持部と、
前記絶縁性隔壁に取り付けられ、前記エキシマランプの陽極と接続する給電線の端子が差し込み可能なコネクタと
をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載のオゾン発生装置。

【請求項5】

前記第１、第２、第３の区画において、ガス供給部から供給されるガスの流入可能な第１、第２、第３の開口部がそれぞれ設けられ、
前記第１の開口部の面積が、前記第３の開口部の面積以上であって、
前記第２の開口部の面積が、前記第１および第３の開口部の面積よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のオゾン発生装置。

【請求項6】

前記筐体が、直上に設置され、
前記ランプ電源部が、筐体前後方向中央ラインより前記エキシマランプとは反対側の後方側に位置し、また、筐体上下方向中央ラインを跨ぐ位置にあり、
前記エキシマランプ、前記低電圧電源部そして前記制御部が、筐体前後方向中央ラインよりも前記ランプ電源部とは反対側の前方側に位置することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のオゾン発生装置。

【請求項7】

前記第１、第２、第３の区画へガスを供給する送風機をさらに備え、
前記送風機の軸が、筐体前後方向中央ラインより前記ランプ電源部とは反対側の前方側に位置することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のオゾン発生装置。

【請求項8】

前記低電圧電源部が、商用電源周波数をもつ交流電圧から直流電圧に変換し、
前記ランプ電源部が、前記直流電圧から高周波電圧に変換するスイッチング回路と、高周波電圧を昇圧する昇圧トランスとを備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のオゾン発生装置。

【請求項9】

前記制御部が、商用電源周波数をもつ交流電圧から直流電圧に変換する周波数コンバータを有し、
前記ランプ電源部が、高周波電圧を昇圧する昇圧トランスを備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のオゾン発生装置。

【請求項10】

前記第１の区画を形成する２つの筐体側面の一部として構成され、ヒンジ開閉する扉をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載のオゾン発生装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エキシマランプを用いたオゾン発生装置に関する。

【背景技術】

【0002】

殺菌、脱臭などに使用可能なオゾン生成装置は、エキシマランプ、電源部、送風機などを筐体内に備え、エキシマランプが紫外線を空気などに照射することによってオゾンが発生する。筐体内では、送風機によって空気の流れが生じ、発生したオゾンが開口部を通じて外部へ放出される。エキシマランプ、電源部、送風機などは、発生したオゾンの外部への効果的な排出、電源部の冷却といった目的を達成するように装置内に配置されている。

【0003】

例えば、十分な量のオゾンを排出することを考慮し、筐体内部をエキシマランプ配置用の第１室と、電源配置用の第２室とに区分けし、第１室、第２室とを連通する部分に送風機を配置する（特許文献１参照）。また、清掃などのメンテナンスを考慮し、筐体内をオゾン発生室と電源室とに区分けし、オゾン発生室に送風ファンを設ける一方、電源室に冷却ファンを設ける（特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１８－２４５４６号公報

【文献】特開２０１４－５１６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

オゾン発生装置の使用場所は、ホテルなどの客室、娯楽施設の共有スペース、病院の病棟など様々であり、設置スペースや設置向きに制限がある状況でも使用できることが求められる。したがって、設置場所に合わせて縦置き（直上設置）、横置きできることが望ましい。

【0006】

しかしながら、設置向きを考慮せずにエキシマランプ、電源部などを筐体内に区画配置すると、重量バランス、ガスの流れ、電源冷却などに関し、その機能性および効果が、設置向きによってトレードオフ関係になる恐れがある。

【0007】

したがって、様々な使用環境において、機能性および効果を低減せずに、状況に合わせた設置を行うことができるオゾン発生装置を提供することが求められる。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明のオゾン発生装置は、エキシマランプと、前記エキシマランプに電力を供給するランプ電源部と、装置動作を制御する制御部と、前記制御部に電力を供給する低電圧電源部とを備える。制御部と低電圧電源部を別々に構成してもよく、定電圧電源部が制御部に含まれるように構成してもよい。また、第１、第２、第３の区画へガスを供給する送風機を装置に設けることが可能である。

【0009】

例えば、低電圧電源部は、商用電源周波数をもつ交流電圧から直流電圧に変換し、前記ランプ電源部が、前記直流電圧から高周波電圧に変換するスイッチング回路と、高周波電圧を昇圧する昇圧トランスとを備える。あるいは、制御部が、商用電源周波数をもつ交流電圧から直流電圧に変換する周波数コンバータを設け、前記ランプ電源部が、高周波電圧を昇圧する昇圧トランスを備えるように構成してもよい。

【0010】

本発明では、筐体内において、前記エキシマランプが配置される第１の区画と、前記低電圧電源部および前記制御部のうち少なくとも前記制御部が配置される第２の区画と、前記ランプ電源部が配置される第３の区画とが、筐体内のガスの流路に沿って形成されている。そして、前記第１、第２、第３の区画が、互いに隣り合うように構成されている。

【0011】

このような筐体内での構成要素配置箇所に応じた第１、第２、第３の区画形成、および互いに隣り合う隣接配置構成によって、重心バランスの適正化、効果的なオゾン放出、電源などの冷却を効果的に発揮する筐体内での適切なガスの流れ、エキシマランプへの高圧電力供給での絶縁破壊防止を可能にする。

【0012】

筐体内での第１、第２、第３の区画形成に関しては、様々な空間構成が可能である。例えば、筐体内の空間全体を、それぞれ少なくとも１つの隅を含む空間に区画することが可能であり、また、第１、第２、第３の区画以外の空間を設けるように複数の区画を形成することも可能である。例えば、エキシマランプの取り外し箇所、ランプ電源部、制御部、低電圧部の重量などを考慮し、第３の区画を、筐体内の２つの隅を含む空間で構成し、前記第１および第２の区画を、それぞれ筐体内の１つの隅を含む空間で構成することが可能である。

【0013】

例えばオゾン発生装置は、直上に設置可能であり、ランプ電源部が、筐体前後方向中央ラインより前記エキシマランプとは反対側の後方側に位置し、また、筐体上下方向中央ラインを跨ぐ位置に構成することができる。また、エキシマランプ、前記低電圧電源部そして前記制御部が、筐体前後方向中央ラインよりも前記ランプ電源部とは反対側の前方側に位置するように構成することができる。前記送風機の軸が、筐体前後方向中央ラインより前記ランプ電源部とは反対側の前方側に位置するように構成することが可能である。

【0014】

一方、絶縁破壊の防止を考慮すると、エキシマランプの陽極が、前記第１の区画と前記第３の区画とを分け隔てる絶縁性隔壁を介して、前記ランプ電源部と電気的に接続し、前記エキシマランプの陰極が、前記第１の区画と前記第２の区画とを分け隔てる導電性隔壁を介して、アースと電気的に接続するように構成することができる。

【0015】

例えば、導電性隔壁に取り付けられ、前記エキシマランプを支持するランプ支持部と、前記絶縁性隔壁に取り付けられ、前記エキシマランプの陽極と接続する給電線の端子が差し込み可能なコネクタとを備えるように構成すればよい。

【0016】

また、オゾンの効果的な放出、ランプ電源部などの効果的な冷却を考慮すれば、第１、第２、第３の区画において、ガス供給部から供給されるガスの流入可能な第１、第２、第３の開口部をそれぞれ設け、前記第１の開口部の面積が、前記第３の開口部の面積以上であって、前記第２の開口部の面積が、前記第１および第３の開口部の面積よりも小さくなるように構成することができる。

【0017】

さらに、エキシマランプの交換などを考慮すると、第１の区画を形成する２つの筐体側面の一部として構成され、ヒンジ開閉する扉を構成することも可能である。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、様々な使用環境において、機能性および効果を低減せずに、状況に合わせた設置を行うことができるオゾン発生装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の実施形態であるオゾン発生装置の概略的正面図である。

【図2】オゾン発生装置の上から見た概略的平面図である。

【図3】オゾン発生装置の正面扉を開けた時の概略的側面図である。

【図4】装置本体の上方側からの概略的内部構成図である。

【図5】装置本体の前面からの概略的内部構成図である。

【図6】装置本体の右側面側からの概略的内部構成図である。

【図7】吸気ファン７０から区画Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３へ流入するガスの底面側の開口エリアの相対的な大きさを概念的に示した図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下では、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。

【0021】

図１は、本発明の実施形態であるオゾン発生装置の概略的正面図である。図２は、オゾン発生装置の上から見た概略的平面図である。図３は、オゾン発生装置の正面扉を開けた時の概略的側面図である。

【0022】

オゾン発生装置１０は、持ち運び可能なユニットであり、除菌、脱臭などの目的で客室や病棟、娯楽施設その他様々な場所に設置可能である。オゾン発生装置１０は、縦置き、横置き両方可能であり、ここでは縦置き、すなわち直上設置を通常の設置姿勢とし、これに合わせて装置本体２０の前後方向、上下方向、左右方向が規定される。装置本体２０は、底面２０Ｃに設けられた４つの脚１１５Ａ～１１５Ｄによって支持される。

【0023】

装置本体２０の前面２０Ｆには、タイマーダイヤル１２０、電源ボタン１２５が設けられ、ユーザは電源ＯＮ，ＯＦＦの切替操作、運転時間設定操作を行うことができる。装置本体２０の右側面２０Ｒ，左側面２０Ｌには、把持部１１０の端部が取り付けられている。装置本体２０の上面２０Ｔには、略等間隔で並ぶスリット状の開口部２０Ｒが形成されている（図２参照）。

【0024】

吸気ファン（送風機）７０は、装置本体２０の底面２０Ｃ付近に装着され、吸気ファン７０から吸入された空気などのガスは、装置本体２０内を上方に沿って流れ、開口部２０Ｒから放出される。なお、図２には、開口部２０Ｒを通じて視認される内部構成要素については図示しておらず、また把持部１１０についても図示を省略している。

【0025】

装置本体２０の前面２０Ｆには、左側面２０Ｌ傍に設けられたヒンジ機構１４２によってヒンジ開閉する扉１４０が形成されている。扉１４０は、互いに直交する前面２０Ｆおよび右側面２０Ｒの一部で一体構成された角状扉であり、扉１４０の前面２０Ｆを構成する部分は、タイマーダイヤル１２０、電源ボタン１２５を避けるようにここでは台形状に形成されている。

【0026】

図３に示すように、扉１４０を開けると、装置本体２０の前面２０Ｆおよび右側面２０Ｒの２つの方向から、装置本体２０内に設けられたエキシマランプ３０が視認される。図３は、扉１４０の最も開いた状態を示している。メンテナンス業者などは、エキシマランプ３０の交換時などに扉１４０を開閉させる。

【0027】

装置本体２０の背面２０Ｂには、４つの脚１１７Ａ～１１７Ｄが設けられている。オゾン発生装置１０を横向きで設置する場合、装置本体２０の背面２０Ｂを下側に向けて設置する。

【0028】

オゾン発生装置１０は、縦置き、横置きいずれにおいても、ランプ電源の冷却、発生するオゾンの放出、重量バランスなどの機能性および効果を発揮するように、その装置内部が配置構成されている。以下、図４～図７を用いて詳述する。

【0029】

図４は、装置本体２０の上方側からの概略的内部構成図であり、図２の上面２０Ｔ下側での断面内部構成に相当する。図５は、装置本体２０の前面からの概略的内部構成図であり、図１の前面２０Ｆ後方での断面内部構成に相当する。図６は、装置本体２０の右側面側からの概略的内部構成図であり、右側面２０Ｒ内側での断面内部構成に相当する。

【0030】

なお、配置構成に関しては、装置前後方向に沿って筐体２０Ｋ内で中央を通るラインを前後方向中央ラインＣ１、装置左右方向に沿って筐体２０Ｋ内で中央を通るラインを左右方向中央ラインＣ２、装置上下方向に沿って筐体２０Ｋ内で中央を通るラインを上下方向中央ラインＣ３として規定し、配置関係を説明する。

【0031】

図４に示すように、装置本体２０の筐体２０Ｋ内には、エキシマランプ３０とともに、エキシマランプ３０に対して電力を供給するランプ電源部４０、タイマー設定、ランプ点灯制御などを含むオゾン発生装置全体の動作を制御する制御部５０、ランプ電源部４０と制御部５０へ電力を供給する低電圧電源部６０が設けられている。筐体２０Ｋ内には、３つの区画Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３が形成され、それぞれ、エキシマランプ３０、制御部５０および低電圧電源部６０、ランプ電源部４０とが配置されている。なお、図４では、吸気ファン７０の図示を省略している。

【0032】

ランプ電源部４０の設置される区画Ｋ３は、筐体２０Ｋの背面側に形成され、筐体２０Ｋの内側の２つの隅（コーナー）Ｒ３、Ｒ４を含む空間として構成される。図６に示すように、ランプ電源部４０は、前後方向中央ラインＣ１より後方側に位置し、低電圧電源部６０から供給された直流電圧から高周波数電圧に変換するスイッチング回路４２と、高周波数の直流電圧を昇圧する昇圧トランス４４とを備える。スイッチング回路４２は、昇圧トランス４４より下方に設置される。また、昇圧トランス４４は、筐体２０Ｋの上下方向中央ラインＣ３を跨ぐ位置に配置されている。

【0033】

ランプ電源部４０の昇圧トランス４４は、給電線４６、４７を介してエキシマランプ３０の陽極（内側電極、ここでは図示せず）と接続する。図４、６に示すように、第１の区画Ｋ１と、第３の区画Ｋ３とを隔てる絶縁性の隔壁２５Ａには、コネクタ４８が埋め込み設置され、給電線４６、給電線４７の端子がコネクタ４８にそれぞれ差し込まれて電気的に接続される。

【0034】

制御部５０および低電圧電源部６０が配置されている区画Ｋ２は、筐体２０Ｋの内側の１つの隅Ｒ２を含む空間として構成され、筐体２０Ｋの前方左側面側に形成されている。また、区画Ｋ２は、ここでは断面Ｌ字型の隔壁２５Ｂによって形成されている。制御部５０および低電圧電源部６０は、前後方向中央ラインＣ１より前方側に位置する。

【0035】

低電圧電源部６０は、商用交流周波数をもつ交流電圧を直流低電圧に変換し、給電線５５を介して制御部５０と接続する。また、給電線５６を介して区画Ｋ３のランプ電源部４０と電気的に接続する（図４参照）。図５に示すように、制御部５０は、低電圧電源部６０よりも上方に設置され、また、低電圧電源部６０は、ここでは上下方向中央ラインＣ３より下側に配置されている。

【0036】

エキシマランプ３０の配置される区画Ｋ１は、筐体２０Ｋの前方右側面側に形成され、筐体２０Ｋの内側の１つの隅Ｒ１を含む空間として構成され、エキシマランプ３０は、前後中央ラインＣ１より前方側に配置されている。図４、５に示すように、区画Ｋ１では、エキシマランプ３０がランプ支持部３５によって支持されている。ランプ支持部３５は、エキシマランプ３０の取り外し方向が右側面２０Ｒ側となるように、区画Ｋ１と区画Ｋ２とを隔てる隔壁２５Ｂに取り付けられている。

【0037】

ランプ支持部３５は、一対の板状の把持部３６、３７を備え、エキシマランプ３０の両端部付近を保持している。さらに、エキシマランプ３０の下方端部を支える下支え部３８を備え、エキシマランプ３０が下方向に抜け落ちないように支えている。エキシマランプ３０を保持する把持部３６または３７の少なくとも一方は、エキシマランプ３０の放電容器表面に配設された陰極（外側電極、ここでは図示せず）を保持し、導電性の隔壁２５Ｂを通じてアースと電気的に接続している。

【0038】

再び図４を参照すると、エキシマランプ３０用スペース（空間領域）としての区画Ｋ１、制御部５０および低電圧電源部６０用のスペースとしての区画Ｋ２、ランプ電源部４０用スペースとしての区画Ｋ３は、境界部分となる隔壁２５Ａ、２５Ｂを挟んで互いに隣り合っている。

【0039】

そして、エキシマランプ３０、制御部５０および低電圧電源部６０、ランプ電源部４０は、上面側から見て互いに適度な距離間隔で筐体２０Ｋ内に配置されている。すなわち、ランプ電源部４０は、前後中央ラインＣ１に関してエキシマランプ３０、制御部５０および低電圧電源部６０とは反対側に位置し、エキシマランプ３０と、制御部５０および低電圧電源部６０とが、左右方向中央ラインＣ２を間に挟んで配置されている。

【0040】

上述したように、吸気ファン７０は装置底面２０Ｃ付近に配置され、区画Ｋ１、区画Ｋ２、区画Ｋ３は、それぞれ吸気ファン７０によって吸入されたガスが流れ込むように、底面２０Ｃ側で開口し、そして、隔壁２５Ａ、２５Ｂが吸気ファン７０の傍まで延びている（図５、６参照）。区画Ｋ１、区画Ｋ２、区画Ｋ３に流入したガスは、それぞれ上面２０Ｔに形成された開口部２０Ｒに向けて流れていく。

【0041】

区画Ｋ１は、エキシマランプ３０で発生するオゾンの流れるガス流路として機能し、区画Ｋ２は、ランプ電源部４０を冷却するガス流路として機能する。また、区画Ｋ３は、制御部５０および低電圧電源部６０を冷却するガス流路として機能する。単一の吸気ファン７０の送風方向に沿って形成された区画Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３は、エキシマランプ３０、ランプ電源部４０、制御部５０および低電圧電源部６０の配置箇所を規定するとともに、ガス流路を３つに分ける。

【0042】

このような区画配置によって、エキシマランプ３０、ランプ電源部４０、制御部５０および低電圧電源部６０に関し、筐体２０Ｋ内での重量バランス配分が良好となり、各構成要素を筐体２０Ｋ付近に配置しながら、重心位置が筐体２０Ｋの中心付近に設定され、転倒などの恐れがなく安定して設置することができる。また、吸気ファン７０の中心軸も、前後方向中央ラインＣ１より前方側に位置するため、重量バランスが安定化する。

【0043】

一方、オゾン発生装置１０を、タイマーダイヤル１２０を上にして脚部１１７Ａ～１１７Ｄで支持する横置き設置した場合でも、ランプ電源部４０をエキシマランプ３０より下方に配置するため（図６参照）、重心位置が低くなり、安定した設置が可能となる。したがって、オゾンの放出、電源冷却などの機能性も、縦置き、横置き両方とも発揮することができる。

【0044】

上述したように、区画Ｋ３では、ランプ電源部４０用の区画Ｋ３を装置後方側に定め、隔壁２５Ａ、２５Ｂによって筐体２０Ｋの左右方向両端にまで至るスペースを確保する一方、エキシマランプ３０、制御部５０及び低電圧電源部６０の区画Ｋ１、Ｋ２は、装置前方側で右側面２０Ｒ側、左側面２０Ｌ側のスペースをそれぞれ確保している。

【0045】

このような筐体２０Ｋ内での区画Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３の隣接配置構成により、区画Ｋ３内の昇圧トランス４４と区画Ｋ１内のエキシマランプ３０との電気的接続、および区画Ｋ２内の低電圧電源部６０と区画Ｋ３内のスイッチング回路４２との電気的接続について、重量バランスを考慮しながら自在に配線することができる。

【0046】

筐体２０Ｋの１つの隅（コーナー）に規定された区画Ｋ１にエキシマランプ３０を配置し、区画Ｋ２、Ｋ３を異なる隔壁２５Ａ、２５Ｂで隣り合う構成にすることで、アース接続するランプ把持部３７を導電性の隔壁２５Ｂに取り付けるとともに、昇圧トランス４４とエキシマランプ３０の陽極とを電気的に繋げるコネクタ４８を、絶縁性の隔壁２５Ａに設けることができる。これにより、絶縁破壊に対する信頼性が向上する。

【0047】

また、区画Ｋ１を開閉する扉１４０は、前面２０Ｆ、右側面２０Ｒそれぞれの一部によって構成され、エキシマランプ３０から離れる方向へ軸回転する。エキシマランプ３０を交換等する場合、ランプ支持部３５の取り付け構造により、エキシマランプ３０の取り出し方向は、右側面２０Ｒ側を向く方向になる。

【0048】

このとき、扉１４０の開く方向が、エキシマランプ３０の取り出し方向とは異なる前面側であるため、扉１４０およびタイマーダイヤル１２０がエキシマランプ３０の取り出しの障害とならない。特に、アース側のランプ把持部３６、３７にエキシマランプ３０の陰極を装着させた状態でも、扉１４０の開閉が干渉することなくエキシマランプ３０を装着させることができる。

【0049】

縦置き横置き両方を可能にするために、比較的重量のあるランプ電源部４０が配置される区画Ｋ３は、隔壁２５Ａ、２５Ｂによって筐体２０Ｋの左右方向両端にまで至り、２つの隅を含むスペースを確保している。これによって、スイッチング回路４２、昇圧トランス４４の配置スペースが確保され、重量配分などを考慮して左右方向、上下方向の設置を可能にする。

【0050】

特に、内部構成要素として最も重量のある昇圧トランス４４が上下方向中央ラインＣ３を跨ぐ位置に配置されることによって、装置バランスが安定化する。昇圧トランス４４を、上下方向中央ラインＣ３より下方に配置してもよい。

【0051】

また、低電圧電源部６０を、同じ電源構造であるランプ電源部４０の区画Ｋ３ではなく、制御部５０と同じ区画Ｋ２に配置することによって、昇圧トランス４４を区画Ｋ３内に隔離し、異常な絶縁破壊が生じるのを防ぐことができる。また、オゾン発生装置１０を直上に設置したとき、上下方向の重量バランスを制御部５０との間で低電圧電源部６０の位置を容易に調整することができる。

【0052】

図７は、吸気ファン７０から区画Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３へ流入するガスの底面側の開口面積の相対的な大きさを概念的に示した図である。図７に示すように、エキシマランプ３０用の区画Ｋ１の開口部Ｌ１の面積が最も大きい。次に、ランプ電源部４０用の区画Ｋ３の開口部Ｌ３の面積が大きく、制御部５０および低電圧電源部６０用の区画Ｋ２の開口部Ｌ２の面積が最も小さい。

【0053】

エキシマランプ３０の配置される区画Ｋ１に最もガス流量を多くすることによって、効果的なオゾン放出が可能となる。また、熱の放出が大きい昇圧トランス４４を備えたランプ電源部４０の配置される区画Ｋ３に対しても多くのガスが流れることによって、ランプ電源部４０を効果的に冷却することができる。

【0054】

制御部５０および低電圧電源部６０を配置した区画Ｋ２に対するガス流量は相対的に少ないが、制御部５０および低電圧電源部６０の放熱は、ランプ電源部４０と比べてその影響が小さいため、動作中の冷却効果が十分に発揮される。したがって、上述したように重量バランスを配慮した吸気ファン７０の前方側配置が、上述したガス流量の分配をそのまま実現させることができる。なお、区画Ｋ１、区画Ｋ３のガス流入の開口面積を同じにしてもよい。

【0055】

なお、制御部５０において、商用周波数電圧から高周波数電圧に変換する周波数コンバータを収納し、ランプ電源部４０の昇圧トランス４４によって昇圧するようにしてもよい。また、低電圧電源部６０を区画Ｋ３に配置し、制御部５０のみ区画Ｋ２に配置するようにしてもよい。また、低電圧電源部６０とを一体的にした回路構成にすることも可能である。

【0056】

扉１４０の構成については、第１の区画Ｋ１、第２の区画Ｋ２、第３の区画Ｋ３を筐体内に設けないオゾン発生装置に対しても適用可能である。この場合、オゾン発生装置は、エキシマランプと、２つの筐体側面の一部として構成され、エキシマランプが露出するようにヒンジ開閉可能な扉とを備えるように構成することができる。

【0057】

また、第１の区画Ｋ１、第２の区画Ｋ２、第３の区画Ｋ３以外の区画も形成するように筐体内を空間分割する場合に対しても、絶縁破壊を防ぐように、エキシマランプの陽極と、陰極を電気的に接続させることが可能である。例えば、オゾン発生装置は、エキシマランプを備え、エキシマランプの陽極が、ランプ電源部が配置されているランプ電源区画とを分け隔てる絶縁性隔壁を介して、ランプ電源部と電気的に接続し、エキシマランプの陰極が、ランプ電源区画とは異なる区間とを分け隔てる導電性隔壁を介して、アースと電気的に接続するように構成することができる。

【符号の説明】

【0058】

１０ オゾン発生装置
２０ 装置本体
２０Ｋ 筐体
３０ エキシマランプ
４０ ランプ電源部
５０ 制御部
６０ 低電圧電源部
１４０ 扉
Ｋ１ 第１の区画
Ｋ２ 第２の区画
Ｋ３ 第３の区画

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】