特許 7520230 フレキシブルプリント配線板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-11

(45)【発行日】2024-07-22

(54)【発明の名称】フレキシブルプリント配線板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20240712BHJP

   H05K 3/06 20060101ALI20240712BHJP

【ＦＩ】

G03F7/20 501

H05K3/06 A

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2023525660

(86)(22)【出願日】2022-04-22

(86)【国際出願番号】 JP2022018563

(87)【国際公開番号】W WO2022254997

(87)【国際公開日】2022-12-08

【審査請求日】2023-11-15

(31)【優先権主張番号】P 2021093839

(32)【優先日】2021-06-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】522185818

【氏名又は名称】株式会社フジクラプリントサーキット

(74)【代理人】

【識別番号】110000486

【氏名又は名称】弁理士法人とこしえ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】荒井 大輔

(72)【発明者】

【氏名】岩村 俊哉

【審査官】植木 隆和

(56)【参考文献】

【文献】特開２００１－３０８００４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００３／０４２７５９（ＷＯ，Ａ２）

【文献】特開２０１１－４４４６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－９２９６６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

Ｇ０３Ｆ ７／２０

Ｈ０５Ｋ １／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

フォトレジストを用いてフレキシブルプリント配線板を製造するフレキシブルプリント配線板の製造方法であって、
第１の領域と第２の領域を有するフォトレジストを基板上に配置する第１の工程と、
第１の光透過部を有する第１のフォトマスクを前記第１の光透過部が前記第１の領域に対向するように配置し、前記第１の光透過部を介して前記フォトレジストを露光する第２の工程と、
第２の光透過部を有する第２のフォトマスクを前記第２の光透過部が前記第２の領域に対向するように配置し、前記第２の光透過部を介して前記フォトレジストを露光する第３の工程と、を備え、
前記第１及び第２の領域は、前記第１の領域の端部と前記第２の領域の端部が相互に重なるように隣り合い、
前記第１の光透過部は、先細形状を有する第１の先端部を含む線状の形状を有し、
前記第２の光透過部は、前記第１の先端部とは反対側を向いた先細形状を有する第２の先端部を含む線状の形状を有し、
前記第３の工程は、前記第２の先端部に含まれる第２の位置合わせ目標点を第１の位置に重ねるように、前記第２のフォトマスクを配置することを含み、
前記第１の位置は、前記第２の工程において前記第１の先端部に含まれる第１の位置合わせ目標点が配置されていた位置であり、
前記第１の先端部は、
第１の端部と、
前記第１の端部と接続されている曲線状の第１の辺と、
前記第１の端部と接続されていると共に前記第１の辺と対向する曲線状の第２の辺と、を含み、
前記第１の位置合わせ目標点は、前記第１の光透過部の略中心を第１の長手方向に延在する第１の中心線上において前記第１の端部から距離Ａだけ離れた点であり、
前記第１及び第２の辺は、第１の仮想三角形の外側に位置し、
前記第１の仮想三角形は、前記第１の中心線と前記第１の端部との第１の交点と、第１の仮想直線と前記第１の辺との第２の交点と、前記第１の仮想直線と第２の辺との第３の交点と、を結ぶ仮想上の三角形であり、
前記第１の仮想直線は、前記第１の光透過部の第１の幅方向に沿って延在すると共に前記第１の位置合わせ目標点を通る仮想上の直線であり、
前記第２の交点は、前記第３の交点から距離Ｄだけ離れており、
前記第２の先端部は、
第２の端部と、
前記第２の端部と接続する曲線状の第３の辺と、
前記第２の端部と接続すると共に前記第２の辺と対向する曲線状の第４の辺と、を含み、
前記第２の位置合わせ目標点は、前記第２の光透過部の略中心を第２の長手方向に延在する第２の中心線上において前記第２の端部から距離Ａだけ離れた点であり、
前記第３及び第４の辺は、第２の仮想三角形の外側に位置し、
前記第２の仮想三角形は、前記第２の中心線と前記第２の端部との第４の交点と、第２の仮想直線と前記第３の辺との第５の交点と、前記第２の仮想直線と第４の辺との第６の交点と、を結ぶ仮想上の三角形であり、
前記第２の仮想直線は、前記第２の光透過部の第２の幅方向に沿って延在すると共に前記第２の位置合わせ目標点を通る仮想上の直線であり、
前記第５の交点は、前記第６の交点から距離Ｄだけ離れており、
下記（１）式を満たすフレキシブルプリント配線板の製造方法。

【数1】

但し、上記（１）式において、Δｘは、前記第１の長手方向における前記第１の位置に対する前記第２の位置合わせ目標点のずれ量であり、Δｙは、前記第１の幅方向における前記第１の位置に対する前記第２の位置合わせ目標点のずれ量であり、θは、第１の法線回りの回転方向における前記第１の位置に対する前記第２の位置合わせ目標点のずれ量であり、前記第１の法線は、前記第１の位置を通ると共に前記第１のフォトマスクに対して垂直な法線である。

【請求項2】

請求項１に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法であって、
前記第１の光透過部は、前記第１の先端部と接続された第１の主線部をさらに有し、
前記第１の位置合わせ目標点は、前記第１の先端部において、前記第１の主線部と接続する第１の接続部よりも前記第１の端部側に位置し、
前記第２の光透過部は、前記第２の先端部と接続された第２の主線部をさらに有し、
前記第２の位置合わせ目標点は、前記第２の先端部において、前記第２の主線部と接続する第２の接続部よりも前記第２の端部側に位置し、
前記第１及び第２の主線部の幅はＷであり、
下記（２）式を満たすフレキシブルプリント配線板の製造方法。
Ｄ≦Ｗ ・・・（２）

【請求項3】

請求項１又は２に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法であって、
前記第１のフォトマスクは、相互に並列するように配置された複数の前記第１の光透過部を有し、
複数の前記第１の先端部は、第１の方向に向かうに従って、隣り合う他の前記第１の先端部に対して突出するように順次ずれており、
前記第２のフォトマスクは、相互に並列するように配置された複数の前記第２の光透過部を有し、
複数の前記第２の先端部は、第２の方向に向かうに従って、隣り合う他の前記第２の先端部に対して突出するように順次ずれており、
前記第２の方向は、前記第１の位置から前記第２の位置合わせ目標点への前記第１の幅方向に沿ったずれの方向であり、
前記第１の方向は、前記第２の方向とは反対の方向であるフレキシブルプリント配線板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、フレキシブルプリント配線板の製造方法に関するものである。
文献の参照による組み込みが認められる指定国については、２０２１年６月３日に日本国に出願された特願２０２１－０９３８３９に記載された内容を参照により本明細書に組み込み、本明細書の記載の一部とする。

【背景技術】

【0002】

長尺のフレキシブル配線回路基板の製造方法は、絶縁層の表面に金属薄膜を形成する工程と、金属薄膜の表面にフォトレジストを形成する工程と、フォトマスクをフォトレジストに対して長尺方向にずらしながらフォトレジストを複数回露光する工程と、を備えている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

フォトマスクは、配線に対応する形状を有する光透過部分を含んでおり、この光透過部分は、直線状に延びる矩形形状の複数の光透過領域から構成されている。露光工程では、先の露光時のフォトマスクの光透過領域の後端が、後の露光時のフォトマスクの光透過領域の前端と重複するようにフォトマスクを配置している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１８－０９２９６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記のような露光工程では、先の露光時のフォトマスクの光透過領域の後端に対して、後の露光時のフォトマスクの光透過領域の前端を完全に一致させることは困難であり、光透過領域の後端から前端がはみ出してしまう。このため、後端からはみ出した前端によって、配線の連結部において幅方向に向かって角張って突出する角部が形成されてしまうことで、急激な線幅の変化を伴う段差が配線の側部に生じてしまう（例えば、特許文献１（第２－４図）参照）。フレキシブル配線回路基板を折り曲げた時には、この段差に応力が集中し易いため、段差を起点として配線が破損してしまう場合がある、という問題がある。

【0006】

本発明の目的は、配線の側部に段差が生じないフレキシブルプリント配線板の製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

［１］本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法は、フォトレジストを用いてフレキシブルプリント配線板を製造するフレキシブルプリント配線板の製造方法であって、第１の領域と第２の領域を有するフォトレジストを基板上に配置する第１の工程と、第１の光透過部を有する第１のフォトマスクを前記第１の光透過部が前記第１の領域に対向するように配置し、前記第１の光透過部を介して前記フォトレジストを露光する第２の工程と、第２の光透過部を有する第２のフォトマスクを前記第２の光透過部が前記第２の領域に対向するように配置し、前記第２の光透過部を介して前記フォトレジストを露光する第３の工程と、を備え、前記第１及び第２の領域は、前記第１の領域の端部と前記第２の領域の端部が相互に重なるように隣り合い、前記第１の光透過部は、先細形状を有する第１の先端部を含む線状の形状を有し、前記第２の光透過部は、前記第１の先端部とは反対側を向いた先細形状を有する第２の先端部を含む線状の形状を有し、前記第３の工程は、前記第２の先端部に含まれる第２の位置合わせ目標点を第１の位置に重ねるように、前記第２のフォトマスクを配置することを含み、前記第１の位置は、前記第２の工程において前記第１の先端部に含まれる第１の位置合わせ目標点が配置されていた位置であり、前記第１の先端部は、第１の端部と、前記第１の端部と接続されている曲線状の第１の辺と、前記第１の端部と接続されていると共に前記第１の辺と対向する曲線状の第２の辺と、を含み、前記第１の位置合わせ目標点は、前記第１の光透過部の略中心を第１の長手方向に延在する第１の中心線上において前記第１の端部から距離Ａだけ離れた点であり、前記第１及び第２の辺は、第１の仮想三角形の外側に位置し、前記第１の仮想三角形は、第１の仮想直線と前記第１の辺との第１の交点と、前記第１の仮想直線と第２の辺との第２の交点と、前記第１の中心線と前記第１の端部との第３の交点と、を結ぶ仮想上の三角形であり、前記第１の仮想直線は、前記第１の光透過部の第１の幅方向に沿って延在すると共に前記第１の位置合わせ目標点を通る仮想上の直線であり、前記第１の交点は、前記第２の交点から距離Ｄだけ離れており、前記第２の先端部は、第２の端部と、前記第２の端部と接続する曲線状の第３の辺と、前記第２の端部と接続すると共に前記第２の辺と対向する曲線状の第４の辺と、を含み、前記第２の位置合わせ目標点は、前記第２の光透過部の略中心を第２の長手方向に延在する第２の中心線上において前記第２の端部から距離Ａだけ離れた点であり、前記第３及び第４の辺は、第２の仮想三角形の外側に位置し、前記第２の仮想三角形は、第２の仮想直線と前記第３の辺との第４の交点と、前記第２の仮想直線と第４の辺との第５の交点と、前記第２の中心線と前記第２の端部との第６の交点と、を結ぶ仮想上の三角形であり、前記第２の仮想直線は、前記第２の光透過部の第２の幅方向に沿って延在すると共に前記第２の位置合わせ目標点を通る仮想上の直線であり、前記第４の交点は、前記第５の交点から距離Ｄだけ離れており、下記（１）式を満たすフレキシブルプリント配線板の製造方法である。

【数1】

但し、上記（１）式において、Δｘは、前記第１の長手方向における前記第１の位置に対する前記第２の位置合わせ目標点のずれ量であり、Δｙは、前記第１の幅方向における前記第１の位置に対する前記第２の位置合わせ目標点のずれ量であり、θは、第１の法線回りの回転方向における前記第１の位置に対する前記第２の位置合わせ目標点のずれ量であり、前記第１の法線は、前記第１の位置を通ると共に前記第１のフォトマスクに対して垂直な法線である。

【0008】

［２］上記発明において、前記第１の光透過部は、前記第１の先端部と接続された第１の主線部をさらに有し、前記第１の位置合わせ目標点は、前記第１の先端部において、前記第１の主線部と接続する第１の接続部よりも前記第１の端部側に位置し、前記第２の光透過部は、前記第２の先端部と接続された第２の主線部をさらに有し、前記第２の位置合わせ目標点は、前記第２の先端部において、前記第２の主線部と接続する第２の接続部よりも前記第２の端部側に位置し、前記第１及び第２の主線部の幅はＷであり、下記（２）式を満たしていてもよい。
Ｄ≦Ｗ ・・・（２）

【0009】

［３］上記発明において、前記第１のフォトマスクは、相互に並列するように配置された複数の前記第１の光透過部を有し、複数の前記第１の先端部は、第１の方向に向かうに従って、隣り合う他の前記第１の先端部に対して突出するように順次ずれており、前記第２のフォトマスクは、相互に並列するように配置された複数の前記第２の光透過部を有し、複数の前記第２の先端部は、第２の方向に向かうに従って、隣り合う他の前記第２の先端部に対して突出するように順次ずれており、前記第２の方向は、前記第１の位置から前記第２の位置合わせ目標点への前記第１の幅方向に沿ったずれの方向であり、前記第１の方向は、前記第２の方向とは反対の方向であってもよい。

【0010】

［４］上記発明において、前記第２の領域は、前記第１の長手方向において前記第１の領域と隣接していてもよい。

【発明の効果】

【0011】

本発明に係るフレキシブルプリント配線板の製造方法では、第１及び第２の光透過部において、第１及び第２の先端部が先細形状を有しており、第１及び第２の辺が第１の仮想三角形の外側に位置する曲線であり、第３及び第４の辺が第２の仮想三角形の外側に位置する曲線であり、第１及び第２の位置合わせ目標点の位置が上記（１）式の範囲内を満たしている。そのため、第１の光透過部を介して露光された露光部と第２の光透過部を介して露光された露光部とが重複している多重露光部から、第１及び第２の端部に対応する露光部がはみ出すことがなく、多重露光部の外形に段差が生じない。従って、露光後のフォトレジストを現像したレジストパターンにおいても段差が生じることがないため、配線の側部に段差が生じることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、本発明の実施形態におけるフレキシブルプリント配線板の一例を示す平面図である。

【図2】図２（ａ）～図２（ｆ）は、本発明の実施形態におけるフレキシブルプリント配線板の製造方法の一例を示す断面図である。

【図3】図３は、図２（ｂ）に示す露光工程において露光されたフォトレジスト層の一例を示す平面図である。

【図4】図４（ａ）は、図２（ｂ）に示す露光工程における第１の露光処理の一例を示す平面図であり、図４（ｂ）は、図２（ｂ）に示す露光工程における第２の露光処理の一例を示す平面図である。

【図5】図５は、図２（ｂ）に示す露光工程において使用されるフォトマスクの一例を示す平面図である。

【図6】図６（ａ）は、本発明の実施形態における光透過部の第１の先端部の一例を示す拡大平面図であり、図６（ｂ）は、本発明の実施形態における光透過部の第２の先端部の一例を示す拡大平面図である。

【図7】図７は、第１の露光処理時の第１の先端部と、第２の露光処理時の第２の先端部と、の位置関係を説明する平面図である。

【図8】図８は、本発明の実施形態における（３）式を説明する説明図である。

【図9】図９は、本発明の実施形態における（６）式を説明する説明図である。

【図10】図１０は、第１の先端部と第２の先端部とが重複しない比較例を説明する平面図である。

【図11】図１１は、図４のXI部の拡大平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本実施形態におけるフレキシブルプリント配線板の一例を示す平面図である。図２（ａ）～図２（ｆ）は、本実施形態におけるフレキシブルプリント配線板１の製造方法の一例を示す断面図である。

【0014】

図１に示すように、本実施形態におけるフレキシブルプリント配線板１は、可撓性を有する配線板であり、長尺の帯状の平面形状を有している。このフレキシブルプリント配線板１の延在方向の長さは、特に限定されないが、６００ｍｍ以上である。このような長尺のフレキシブルプリント配線板１は、図１及び図２（ｆ）に示しように、例えば、ベースフィルム１０と、複数（本例では５本）の配線２０と、カバーレイ３０と、を有している。

【0015】

ベースフィルム１０は、可撓性を有すると共に長尺の帯形状を有するフィルムである。このベースフィルム１０は、樹脂材料等の電気絶縁性を有する材料から構成されている。特に限定されないが、このベースフィルム１０を構成する材料としては、例えば、ポリイミド（ＰＩ）、液晶ポリマ（ＬＣＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、及び、アラミド等を例示することができる。

【0016】

ベースフィルム１０上に複数の配線２０が形成されている。本実施形態では、複数の配線２０がベースフィルム１０上にｘ方向に沿って線状に延在している。本実施形態における配線２０は、フレキシブルプリント配線板１の一方端部から他方端部まで連続的に延在しているため、長尺の線状形状を有している。また、複数の配線２０は、略等間隔で相互に略平行に配置されている。

【0017】

なお、配線２０の数、形状、及び配置等は、特にこれに限定されず、任意に設定することができる。例えば、本実施形態では、略直線形状の配線２０を例示しているが、配線２０が屈曲部分を有していてもよい。また、配線２０は、バイアホール等を含んでいてもよい。この配線２０は、銅から構成されている。なお、この配線２０を構成する材料は銅以外の金属材料であってもよく、例えば、銀又は金であってもよい。なお、特に図示しないが、各々の配線２０の端部には、他のフレキシブルプリント配線板や電子部品と接続されるパッドが形成されていてもよい。

【0018】

カバーレイ３０は、配線２０を保護するための層である。カバーレイ３０は、配線２０のパッドを除く部分を覆うようにベースフィルム１０上に形成されている。このカバーレイ３０は、可撓性を有すると共に長尺の帯形状を有するフィルムから構成されている。カバーレイ３０は、樹脂材料等の電気絶縁性を有する材料から構成されている。

【0019】

カバーレイ３０は、図２（ｆ）に示すように、保護層３１と接着層３２からなる二層構造を有している。保護層３１は、配線２０を保護するための層である。保護層３１は、可撓性を有すると共に長尺の帯形状を有するフィルムから構成されている。この保護層３１は、樹脂材料等の電気絶縁性を有する材料から構成されている。特に限定されないが、この保護層３１を構成する材料としては、ポリイミド（ＰＩ）、液晶ポリマ（ＬＣＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、及び、アラミド等を例示することができる。

【0020】

接着層３２は、保護層３１をベースフィルム１０の上面に接着するための層である。接着層３２は、例えば、エポキシ系接着剤やアクリル系接着剤から構成されている。

【0021】

次に、本実施形態のフレキシブルプリント配線板１の製造方法について説明する。図２に示すように、本実施形態におけるフレキシブルプリント配線板１の製造方法は、金属層上に形成されたフォトレジストを露光及び現像してレジストパターンを形成し、エッチングにより当該レジストパターンのパターン形状を金属層に転写するサブトラクティブ法である。

【0022】

このサブトラクティブ法では、まず、図２（ａ）に示すように、金属層２００が主面に形成されたベースフィルム１０を準備する。この金属層２００が形成されたベースフィルム１０としては、例えば、銅張積層板（ＣＣＬ：Copper Clad Laminate）等を使用することができる。また、このベースフィルム１０の延在方向における長さは、特に限定されないが、６００ｍｍ以上である。なお、本実施形態における金属層２００が形成されたベースフィルム１０が、本発明における「基板」の一例に相当する。

【0023】

次に、図２（ａ）に示すように、金属層２００上にフォトレジスト層４０を形成する（第１の工程）。フォトレジスト層４０は、金属層２００の表面において、少なくとも上記の配線２０が形成される領域の近傍に形成されていればよい。

【0024】

本実施形態におけるフォトレジスト層４０は、ネガ型のフォトレジストにより構成されている。このネガ型フォトレジストにおいて、光が照射されて感光した部分は現像液に溶解することがない一方で、光が照射されずに感光しなかった部分は現像液に溶解する。特に限定されないが、フォトレジスト層４０は、ネガ型のドライフィルムレジストを金属層２００に貼り付けることで形成できる。なお、本実施形態におけるフォトレジスト層４０の形成工程が、本発明における「第１の工程」の一例に相当する。

【0025】

次に、図２（ｂ）に示すように、フォトマスク５０を介してフォトレジスト層４０を露光する。なお、本実施形態におけるフォトマスク５０が、本発明における「第１のフォトマスク」及び「第２のフォトマスク」の一例に相当する。

【0026】

図３は、図２（ｂ）に示す露光工程において露光されたフォトレジスト層４０の一例を示す平面図であり、図４は、図２（ｂ）に示す露光工程における第１及び第２の露光処理の一例を示す平面図である。この露光工程では、図３に示すように、配線２０に対応する形状を有する露光パターン４１をフォトレジスト層４０に形成するが、フォトマスク５０の幅は配線２０の長さよりも小さいため、露光処理を複数回に分けて実施する必要がある。

【0027】

このため、図４（ａ）に示すように、まず、フォトレジスト層４０の第１の領域Ｒ_１に対してフォトマスク５０を対向配置して第１の露光処理を行い、その後、図４（ｂ）に示すように、第１の領域Ｒ_１と隣り合う第２の領域Ｒ_２に対してフォトマスク５０を対向配置して第２の露光処理を行う。

【0028】

また、複数の露光部を相互に接続するために、平面視において、第１の領域Ｒ_１の端部と第２の領域Ｒ_２の端部とが重なっている。つまり、フォトレジスト層４０は、第１の領域Ｒ_１の＋ｘ方向側の端部と第２の領域Ｒ_２の－ｘ方向側の端部とが相互に重なる重複領域Ｒ_ｍ１を有している。図４（ｂ）に示すように、第２の露光処理では、重複領域Ｒ_ｍ１において、第１の露光処理における光透過部５３の第１の先端部５５の位置に、第２の先端部５６が重複するようにフォトマスク５０をフォトレジスト層４０に対向配置する。

【0029】

その結果、図３に示すように、露光パターン４１は、第１の露光処理により露光された第１の露光部４２と、第２の露光処理により露光された第２の露光部４３と、第１及び第２の露光処理の両方で二重に露光された多重露光部４４と、を有しており、第１の露光部４２と第２の露光部４３とが多重露光部４４により接続されている。このように、本実施形態の露光工程では、フォトレジスト層４０の露光を複数回に分けて行い複数の露光部を相互に接続することで、露光パターン４１を形成する。

【0030】

なお、本実施形態における第１の露光処理が本発明における「第２の工程」の一例に相当し、本実施形態における第２の露光処理が本発明における「第３の工程」の一例に相当する。

【0031】

本実施形態では、配線２０を２回の露光処理により形成する場合を例示しているがこれに限定されない。例えば、露光処理を３回以上行うことで配線２０を形成してもよい。このとき、長手方向に沿って隣り合う領域を、長手方向に沿って順番に露光する必要はなく、長手方向に沿って間欠的に露光を行った後に、露光済みの領域の間に介在する間欠領域を露光してもよい。

【0032】

図５は、図２（ｂ）に示す露光工程において使用されるフォトマスク５０の一例を示す平面図であり、図６は、本実施形態における光透過部５３の第１及び第２の先端部５５，５６の一例を示す拡大平面図である。

【0033】

図５及び図２（ｂ）に示すように、このフォトマスク５０は、透明基板５１と、遮光膜５２と、を有している。透明基板５１は、光を透過可能な透明の板状部材である。この透明基板５１は、例えば、ガラス等の透明な材料から構成されている。

【0034】

遮光膜５２は、光を透過させない不透明な膜であり、透明基板５１の一方の主面上に形成されている。この遮光膜５２を構成する材料としては、例えば、酸化クロム等の金属酸化物を使用することができる。遮光膜５２は、例えば、透明基板５１の表面に金属酸化物膜を蒸着することにより形成できる。

【0035】

この遮光膜５２は、図５に示すように、配線２０の本数と同じ５本の線状の開口５２ａを有しており、当該開口５２ａから透明基板５１が露出している。光透過部５３は、開口５２ａによって透明基板５１が露出している部分である。なお、本実施形態における光透過部５３が、本発明における「第１の光透過部」及び「第２の光透過部」の一例に相当する。

【0036】

光透過部５３は、開口５２ａの平面形状と同一の線状の平面形状を有している。また、複数の光透過部５３は、光透過部５３の幅方向（図中のｙ方向）に沿って、略等間隔で相互に並列するように配置されている。また、光透過部５３は、主線部５４と、主線部５４の一端に配置された第１の先端部５５と、主線部５４の他端に配置された第２の先端部５６と、を有している。

【0037】

主線部５４は、略一定の幅Ｗを有する直線状の部分であり、光透過部５３の長手方向（図中のｘ方向）に沿って延在している。この主線部は５４、図６（ａ）に示すように、光透過部５３の長手方向に延在する直線状の第１の側辺５４ａと、当該第１の側辺５４ａに略平行に延在すると共に第１の側辺５４ａと対向する第２の側辺５４ｂと、を有している。本実施形態では、第１及び第２の側辺５４ａ，５４ｂは、光透過部５３の中心線ＣＬに対して線対称となっている。なお、中心線ＣＬは、光透過部５３の幅方向における中心を通ると共に、光透過部５３の長手方向に沿って延在する直線である。

【0038】

なお、本実施形態における光透過部５３の幅方向が、本発明における「第１の幅方向」及び「第２の幅方向」の一例に相当する。また、本実施形態における光透過部５３の長手方向が、本発明における「第１の長手方向」及び「第２の長手方向」の一例に相当する。

【0039】

図６（ａ）に示すように、第１の先端部５５は、＋ｘ方向に向かって徐々に幅が細くなる先細形状を有する先端部であり、第１の接続部５７において主線部５４と接続している。この第１の先端部５５は、第１の端部５５ａと、第１の辺５５ｂと、第２の辺５５ｃと、第１の接続辺５５ｄと、第２の接続辺５５ｅと、を含んでいる。

【0040】

第１の端部５５ａは、光透過部５３の中心線ＣＬ上に位置する端部である。本実施形態では、この第１の端部５５ａは、第１及び第２の辺５５ｂ、５５ｃが交差する点である。

【0041】

第１の辺５５ｂは、図中の＋ｙ方向に向かって凸の曲線であり、第１の端部５５ａと第１の接続辺５５ｄとの間に介在して、交点Ｐ_１と交点Ｐ_２を結んでいる。一方で、第２の辺５５ｃは、図中の－ｙ方向に向かって凸の曲線であり、第１の端部５５ａと第２の接続辺５５ｅとの間に介在して、交点Ｐ_１と交点Ｐ_３を結んでいる。第１及び第２の辺５５ｂ、５５ｃは、第１の端部５５ａに近づくに従って相互に接近するように湾曲しており、第１の端部５５ａにおいて相互に交わっている。本実施形態では、第１及び第２の辺５５ｂ，５５ｃは、中心線ＣＬに対して互いに線対称となっている。第１及び第２の辺５５ｂ、５５ｃは、いずれも、第１の仮想三角形ＴＲ_１の外側に位置している。つまり、第１の先端部５５において、第１の辺５５ｂは第１の仮想三角形ＴＲ_１の辺Ｐ_１Ｐ_２よりも外側に位置し、第２の辺５５ｃは第１の仮想三角形ＴＲ_１の辺Ｐ_１Ｐ_３よりも外側に位置している。

【0042】

なお、上記の交点Ｐ_１は、中心線ＣＬと第１の端部５５ａとの交点である。交点Ｐ_２は、第１の仮想直線ＶＬ_１と第１の辺５５ｂとの交点であり、交点Ｐ_３は、第１の仮想直線ＶＬ_１と第２の辺５５ｃとの交点である。なお、交点Ｐ_２は、第１の辺５５ｂと第１の接続辺５５ｄとの交点でもあり、交点Ｐ_３は、第２の辺５５ｃと第２の接続辺５５ｅとの交点でもある。本実施形態における交点Ｐ_１が本発明における「第１の交点」の一例であり、本実施形態における交点Ｐ_２が本発明における「第２の交点」の一例であり、本実施形態における交点Ｐ_３が本発明における「第３の交点」の一例である。

【0043】

第１の仮想直線ＶＬ_１は、光透過部５３の幅方向（図中のｙ方向）に沿って延在すると共に第１の位置合わせ目標点Ｓ_１を通る仮想上の直線である。交点Ｐ_２は、交点Ｐ_３から距離Ｄだけ離れている。この距離Ｄは、上記の幅Ｗ以下となっている（Ｄ≦Ｗ）。

【0044】

この第１の位置合わせ目標点Ｓ_１は、第２の露光処理（図４（ｂ）参照）において、第２の先端部５６の位置合わせに用いられる仮想上の点である。この第１の位置合わせ目標点Ｓ_１は、中心線ＣＬ上において、第１の端部５５ａから距離Ａだけ離れている。第１の位置合わせ目標点Ｓ_１は、第１の先端部５５の内側において、第１の接続部５７よりも第１の端部５５a側に位置している。第２の露光処理では、第１の露光処理時に第１の位置合わせ目標点Ｓ_１が位置していた第１の位置に、第２の先端部５６の第２の位置合わせ目標点Ｓ_２（後述）が配置されるようにフォトマスク５０を位置合わせする。

【0045】

特に限定されないが、位置合わせは、カメラを用いた画像処理等によって行うことができる。例えば、ベースフィルム１０に複数のアライメントマーク（不図示）を形成しておき、フォトマスク５０に設けられた複数の貫通孔（不図示）を介してベースフィルム１０を撮像する。そして、貫通孔を介した撮像範囲にアライメントマークが写る位置にフォトマスク５０を固定することにより、位置合わせを行うことができる。

【0046】

図６（ａ）に示すように、第１の接続辺５５ｄは、図中の＋ｙ方向に向かって凸であり、かつ、第１の辺５５ｂよりも曲率が小さい曲線である。この第１の接続辺５５ｄは、第１の辺５５ｂと第１の側辺５４ａとの間に介在して、交点Ｐ_２と交点Ｐ_７を結んでいる。なお、交点Ｐ_７は、第１の接続辺５５ｄと第１の側辺５４ａとの交点である。

【0047】

第２の接続辺５５ｅは、図中の－ｙ方向に向かって凸であり、かつ、第２の辺５５ｃよりも曲率が小さい曲線である。この第２の接続辺５５ｅは、第２の辺５５ｃと第２の側辺５４ｂとの間に介在して、交点Ｐ_３と交点Ｐ_８を結んでいる。第３及び第４の接続辺５６ｄ，５６ｅは、中心線ＣＬに対して互いに線対称となっている。なお、交点Ｐ_８は、第２の接続辺５５ｅと第２の側辺５４ｂとの交点である。

【0048】

第１及び第２の接続辺５５ｄ，５５ｅは、いずれも、仮想長方形ＲＥの外側に位置している。仮想長方形ＲＥとは、図５に示すように、交点Ｐ_２と、交点Ｐ_３と、交点Ｐ_５（後述）と、交点Ｐ_６（後述）と、を結んだ仮想上の長方形である。この仮想長方形ＲＥは、図５に示すように、第１の仮想三角形ＴＲ_１と第２の仮想三角形ＴＲ_２との間に介在している。つまり、主線部５４において、第１の接続辺５５ｄは仮想長方形の長辺Ｐ_２Ｐ_５よりも外側に位置し、第２の接続辺５５ｅは仮想長方形の長辺Ｐ_３Ｐ_６よりも外側に位置している。

【0049】

図６（ｂ）に示すように、第２の先端部５６は、第１の先端部５５とは反対方向を向いた先細形状を有する先端部であり、第２の接続部５８において主線部５４と接続している。この第２の先端部５６は、第２の端部５６ａと、第３の辺５６ｂと、第４の辺５６ｃと、第３の接続辺５６ｄと、第４の接続辺５６ｅと、を含んでいる。

【0050】

第２の端部５６ａは、光透過部５３の中心線ＣＬ上に位置する端部である。本実施形態では、この第１の端部５５ａは、第１及び第２の辺５５ｂ、５５ｃが交差する点である。

【0051】

第３の辺５６ｂは、第１の先端部５５の第１の辺５５ｂを左右反転させた曲線である。この第３の辺５６ｂは、第２の端部５６ａと第３の接続辺５６ｄとの間に介在して、交点Ｐ_４と交点Ｐ_５とを結んでいる。一方で、第４の辺５６ｃは、第１の先端部５５の第２の辺５５ｃを左右反転させた曲線であり、第２の端部５６ａと第４の接続辺５６ｅとの間に介在して、交点Ｐ_４と交点Ｐ_６とを結んでいる。第３及び第４の辺５６ｂ、５６ｃは、第２の端部５６ａに近づくに従って相互に接近するように湾曲しており、第２の端部５６ａにおいて相互に交わっている。本実施形態では、第３及び第４の辺５６ｂ，５６ｃは、中心線ＣＬに対して互いに線対称となっている。第３及び第４の辺５６ｂ、５６ｃは、いずれも、第２の仮想三角形ＴＲ_２の外側に位置している。つまり、第２の先端部５６において、第３の辺５６ｂは第２の仮想三角形ＴＲ_２の辺Ｐ_４Ｐ_５よりも外側に位置し、第４の辺５６ｃは第２の仮想三角形ＴＲ_２の辺Ｐ_４Ｐ_６よりも外側に位置している。

【0052】

なお、第２の仮想三角形ＴＲ_２は、第１の仮想三角形ＴＲ_１を左右反転させた形状を有している。この第２の仮想三角形ＴＲ_２は、第２の先端部５６における交点Ｐ_４～Ｐ_６を結んだ仮想上の三角形である。交点Ｐ_４は、中心線ＣＬと第２の端部５６ａとの交点である。交点Ｐ_５は、第２の仮想直線ＶＬ_２と第３の辺５６ｂとの交点であり、交点Ｐ_６は、第２の仮想直線ＶＬ_２と第４の辺５６ｃとの交点である。また、交点Ｐ_５は、第３の辺５６ｂと第３の接続辺５６ｄとの交点でもあり、交点Ｐ_６は、第４の辺５６ｃと第４の接続辺５６ｅとの交点でもある。本実施形態における交点Ｐ_４が本発明における「第４の交点」の一例であり、本実施形態における交点Ｐ_５が本発明における「第５の交点」の一例であり、本実施形態における交点Ｐ_６が本発明における「第６の交点」の一例である。

【0053】

第２の仮想直線ＶＬ_２は、光透過部５３の幅方向（図中のｙ方向）に沿って延在すると共に第１の位置合わせ目標点Ｓ_２を通る仮想上の直線である。交点Ｐ_５は、交点Ｐ_６から距離Ｄだけ離れている。この距離Ｄは、上記の幅Ｗ以下となっている（Ｄ≦Ｗ）。

【0054】

この第２の位置合わせ目標点Ｓ_２は、中心線ＣＬ上において、第２の端部５６ａから距離Ａだけ離れている。この第２の位置合わせ目標点Ｓ_２は、第２の先端部５６の内側において、第２の接続部５８よりも第２の端部５６ａ側に位置している。

【0055】

図６（ｂ）に示すように、第３の接続辺５６ｄは、第１の接続辺５５ｄを左右反転させた曲線である。この第３の接続辺５６ｄは、第３の辺５５ｂと第１の側辺５４ａとの間に介在して、交点Ｐ_５と交点Ｐ_９を結んでいる。なお、交点Ｐ_９は、第３の接続辺５６ｄと第１の側辺５４ａとの交点である。

【0056】

第４の接続辺５６ｅは、第２の接続辺５５ｅを左右反転させた曲線である。この第４の接続辺５６ｅは、第４の辺５６ｃと第２の側辺５４ｂとの間に介在して、交点Ｐ_３と交点Ｐ_１０を結んでいる。第３及び第４の接続辺５６ｄ，５６ｅは、中心線ＣＬに対して互いに線対称となっている。なお、交点Ｐ_１０は、第４の接続辺５６ｅと第２の側辺５４ｂとの交点である。第３及び第４の接続辺５６ｄ，５６ｅは、いずれも、仮想長方形ＲＥの外側に位置している。つまり、主線部５４において、第３の接続辺５６ｄは仮想長方形の長辺Ｐ_２Ｐ_５よりも外側に位置し、第４の接続辺５６ｅは仮想長方形の長辺Ｐ_３Ｐ_６よりも外側に位置している。

【0057】

図７は、第１の露光処理時の第１の先端部５５と、第２の露光処理時の第２の先端部５６と、の位置関係を説明する拡大平面図であり、図４（ｂ）のVII部の拡大平面図に相当する。上記の通り、第２の露光処理では、第２の先端部５６を第１の露光処理時の第１の先端部５５と重ねる。この際、第１の露光処理時の第１の位置合わせ目標点Ｓ_１が位置していた第１の位置ＦＰに、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２が位置するようにフォトマスク５０を位置合わせする。

【0058】

しかしながら、第１の位置ＦＰに第２の位置合わせ目標点Ｓ_２を完全に一致させることは難しく、ずれ（Δｘ，Δｙ，θ）が生じてしまう。ここで、Δｘは、光透過部５３の長手方向（ｘ方向）における第１の位置ＦＰに対する第２の位置合わせ目標点Ｓ_２のずれ量である。Δｙは、光透過部５３の幅方向（ｙ方向）における第１の位置ＦＰに対する第２の位置合わせ目標点Ｓ_２のずれ量である。θは、第１の法線ＮＬ周りの回転方向における第１の位置ＦＰに対する第２の位置合わせ目標点Ｓ_２のずれ量である。第１の法線ＮＬは、第１の位置ＦＰを通ると共にフォトマスク５０の主面に対して垂直な方向（図中のｚ方向）に延在する直線である。θの値は、第１の露光処理時の光透過部５３と第２の露光処理時の光透過部５３とのなす角であり、例えば、第１の露光処理時の中心線ＣＬと第２の露光処理時の中心線ＣＬとのなす角と等しくなる。

【0059】

ずれ（Δｘ，Δｙ，θ）が発生した場合、第１の露光処理時における第１の端部が、第２の露光処理時における第２の先端部及び主線部からはみ出したり、第２の露光処理時における第２の端部が、第１の露光処理時における第１の先端部及び主線部からはみ出したりすることがあり、その結果、配線に段差や突起が生じてしまうことがある。

【0060】

これに対して、本実施形態では、ずれ（Δｘ，Δｙ，θ）の発生を想定して、第１及び第２の端部のはみ出しが発生しないように、第１及び第２の位置合わせ目標点Ｓ_１，Ｓ_２の位置を下記（３）式を満たすように設定している。

【0061】

【数2】

【0062】

図８は、本実施形態における上記（３）式を説明する説明図である。なお、この図８では、第１の露光処理時の第１の仮想三角形ＴＲ_１及び仮想長方形の右端部を破線で示し、第２の露光処理時の第２の仮想三角形ＴＲ_２及び仮想長方形の左端部を実線で示している。

【0063】

また、この図８では、ずれ（Δｘ，Δｙ，θ）の値が、いずれも正の値である場合を例示している。ここで、Δｘの符号は、第１の露光処理時の中心線ＣＬをｘ軸とし、第１の仮想直線ＶＬ_１をｙ軸とし、第１の位置合わせ目標点Ｓ_１を原点とした場合に、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２がｙ軸より右側（＋ｘ方向側）に位置する場合を正とし、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２がｙ軸より左側（－ｘ方向側）に位置する場合を負としている。同様に、Δｙ及びθの符号は、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２がｘ軸より上側（＋ｙ方向側）に位置する場合を正とし、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２がｘ軸より下側（－ｙ方向側）に位置する場合を負としている。

【0064】

この図８において、第１の端部５５ａのはみ出しを防止するためには、第１の端部５５ａ（交点Ｐ_１）が仮想長方形ＲＥの内部に位置していればよい。つまり、下記（４）式のように、図８中の長さＬが、Ｄ／２未満であればよい。この長さＬは、交点Ｐ_７から交点Ｐ_８までの距離である。交点Ｐ_７は、交点Ｐ_１から－ｙ方向に延在する垂線と、第２の露光処理時における仮想長方形ＲＥと、の交点であり、交点Ｐ_８は、当該垂線と、第１の露光処理時における仮想長方形ＲＥの下辺の延長線と、の交点である。図８に示すように、このＬの値は、下記（５）式の通り表すことができる。

【0065】

【数3】

【0066】

【数4】

【0067】

上記（５）式中のｒは、下記（６）式のように表すことができる。図９は、本実施形態における（６）式を説明する説明図である。図９における交点Ｐ_１１は、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２から－ｙ方向に向かって延在する直線と、仮想円Ｃの弧との交点である。なお、仮想円Ｃの中心は、図８に示すように、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２であり、半径はＤ／２である。また、仮想円Ｃの弧の中心角はθである。また、交点Ｐ_１２は、図９に示すように、上記の交点Ｐ_６から－ｘ方向に向かって延在する直線と、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２と交点_１１とを結ぶ垂線と、の交点である。

【0068】

【数5】

【0069】

図９に示すように、ｒは、半径Ｄ／２から、仮想直角三角形ＴＲ_３の辺Ｓ_２Ｐ_１２の長さＢを減算することで算出できる（ｒ＝Ｄ／２－Ｂ）。なお、直角三角形ＴＲ_３は、点Ｐ_６，Ｐ_１２，Ｓ_２を結ぶ仮想上の直角三角形である。この直角三角形ＴＲ_３の∠Ｐ_６Ｐ_１２Ｓ_２は９０°であり（∠Ｐ_６Ｐ_１２Ｓ_２＝９０°）、∠Ｐ_６Ｓ_２Ｐ_１２はθ°である（∠Ｐ_６Ｓ_２Ｐ_１２＝θ°）。よって、辺Ｓ_２Ｐ_１２の長さＢは、Ｄ／２×ｃｏｓθとなり（Ｂ＝Ｄ／２×ｃｏｓθ）、ｒは上記（６）式のように表すことができる。

【0070】

また、上記（５）式中のＲは、下記（７）式のように表すことができる。すなわち、図８に示すように、Ｒは、ＡからΔｘとＨとを減算することで算出できる。ここで、Ｈは、図９に示すように、直角三角形ＴＲ_３の辺Ｐ_６Ｐ_１２の長さであるため、Ｄ／２×ｓｉｎθとなる（Ｈ＝Ｄ／２×ｓｉｎθ）。よって、Ｒは下記（７）式のように表すことができる。

【0071】

【数6】

【0072】

このようにして得られた上記（５）～（７）式を、上記（４）式に代入すると、下記（８）式を得ることができる。この（８）式は、上記（３）式の右辺である。すなわち、第１の位置合わせ目標点Ｓ_１と第１の端部５５ａとの間の距離Ａが下記（８）式を満たすことで、第２の仮想三角形ＴＲ_２からの第１の端部５５ａのはみ出しを防止することができる。また、第２の仮想三角形ＴＲ_２は、第１の仮想三角形ＴＲ_１を左右反転させた形状を有していることから、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２と第２の端部５６ａとの間の距離Ａが下記（８）式を満たすことで、第１の仮想三角形ＴＲ_１からの第２の端部５６ａのはみ出しも防止することができる。

【0073】

【数7】

【0074】

また、第１及び第２の辺５５ｂ、５５ｃは第１の仮想三角形ＴＲ_１の外側に位置しており、第３及び第４の辺５６ｂ、５６ｃは第２の仮想三角形ＴＲ_２の外側に位置している。このため、第１の端部５５ａは、第３及び第４の辺５６ｂ、５６ｃの間に位置すると共に、第２の端部５６ａは、第１及び第２の辺５５ｂ、５５ｃの間に位置することとなるので、第１及び第２の端部５５ａ，５６ａは、第２及び第１の先端部５６，５５からはみ出さない。よって、第１及び第２の位置合わせ目標点Ｓ_１，Ｓ_２の位置が上記（８）を満たしていることで、配線２０の側面に段差や突起が発生することがない。

【0075】

図１０は、第１の先端部と第２の先端部とが重複しない比較例を説明する平面図である。図１０に示すように、Δｘの値が、第１の位置合わせ目標点Ｓ_１から第１の端部５５ａまでの距離Ａと、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２から第２の端部５６ａまでの距離Ａと、の合計距離２Ａよりも大きくなる場合（Δｘ＞２Ａ）、多重露光部が形成されず、配線が不連続になってしまう。よって、距離Ａは、少なくともΔｘ／２よりも大きい必要がある（Δｘ／２＜Ａ）。さらに、後工程である金属層２００のエッチング工程における回路幅の仕上がりのばらつきを考慮すると、距離ＡがΔｘ／２付近の値であるときには配線が不連続になる可能性があるため、下記（９）式のように、距離ＡはΔｘよりも大きい値とすることが必要となる。この（９）式は、上記（３）式の左辺である。よって、第１及び第２の位置合わせ目標点Ｓ_１，Ｓ_２の位置が下記（９）を満たしていることで、配線２０に断線が発生することがない。

【0076】

【数8】

【0077】

なお、Δｘ，Δｙ，θの値は、特に限定されず、露光装置の種類や位置合わせ装置の精度等に応じた値であり、予め、試験露光等において取得された値である。一例を挙げれば、Δｘは－５０μｍ～＋５０μｍ以下であり（－５０μｍ≦Δｘ≦＋５０μｍ）、Δｙは－５０μｍ～＋５０μｍであり（－５０μｍ≦Δｙ≦＋５０μｍ）、θは－１°～＋１°であってもよい（－１°≦θ≦＋１°）。

【0078】

また、図４に示すように、複数の光透過部５３は、幅方向（図中のｙ方向）において、長手方向（図中のｘ方向）に向かうに従って、隣り合う他の光透過部５３に対して突出するように順次ずれている。このため、複数の第１の先端部５５は、図中の－ｙ方向に向かうに従って、隣り合う他の第１の先端部５５に対して突出するように順次ずれており、複数の第２の先端部５６は、図中の＋ｙ方向に向かうに従って、隣り合う他の第２の先端部５６に対して突出するように順次ずれている。

【0079】

第２の露光処理において、光透過部５３がΔｙ及びθの影響によりｙ方向にずれる場合、多重露光部において露光パターン間の距離（ピッチ）が狭くなり、配線間の距離（ピッチ）が狭くなる部分が形成されてしまう。これに対して、本実施形態に示すように、複数の光透過部５３が長手方向に向かって順次ずれていることで、露光パターン４１間の距離（ピッチ）が狭くなることを抑制することができ、配線２０間の距離（ピッチ）が狭くなることを抑制できる。

【0080】

図１１は、図５のXI部の拡大平面図である。この図１１では、一例として、第２の露光処理における光透過部５３の幅方向に沿ったずれΔｙの方向が＋ｙ方向である場合を示している。この場合、本実施例における－ｙ方向が本発明における「第１の方向」の一例に相当し、本実施例における＋ｙ方向が本発明における「第２の方向」の一例に相当する。

【0081】

この例では、第１の先端部５５が、＋ｙ方向とは反対方向の－ｙ方向に向かうに従って、隣り合う他の第１の先端部５５に対して突出するように順次ずれていると共に、第２の先端部５６が、＋ｙ方向に向かうに従って、隣り合う他の第２の先端部５６に対して突出するように順次ずれている。このため、第１の先端部５５が、第１の先端部５５と第２の先端部５６との重複部分において、光透過部５３間のピッチが狭くなっていない。よって、配線２０間のピッチが狭くなることを抑制することができる。

【0082】

なお、特に図示しないが、第２の露光処理における光透過部５３のｙ方向に沿ったずれの方向が－ｙ方向である場合、第１の先端部５５が、＋ｙ方向に向かうに従って、隣り合う他の第１の先端部５５に対して突出するように順次ずれていると共に、第２の先端部５６が、－ｙ方向に向かうに従って、隣り合う他の第２の先端部５６に対して突出するように順次ずれていれば、上記同様に配線２０間のピッチが狭くなることを抑制することができる。

【0083】

露光工程を完了した後、図２（ｃ）に示すように、現像工程を行う。この現像工程では、フォトレジスト層４０の感光していない部分を現像液により溶解する。これにより、露光パターン４１（図３参照）と略同一形状のレジストパターン４５が金属層２００の上面に形成される。このレジストパターン４５が、次工程においてエッチングマスクとして機能する。

【0084】

現像液としては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＥＡＨ）、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド（ＴＰＡＨ）、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＢＡＨ）等のアルカリ溶液を用いることができる。

【0085】

次に、図２（ｄ）に示すように、エッチング工程を行う。このエッチング工程では、レジストパターン４５から露出している部分をエッチングにより除去する。これにより、レジストパターン４５の形状が金属層２００に転写され、配線２０が形成される。

【0086】

エッチングを施す方法としては、特に限定されないが、スプレーノズル（不図示）からエッチング液を金属箔に噴霧してエッチングを行うスプレーエッチング法を用いることができる。また、エッチング液としては、例えば、塩化第二鉄水溶液、塩化第二銅水溶液等を使用することができる。なお、エッチングを施す方法としては、スプレーエッチング法のみに限定されず、例えば、エッチング液に金属箔を浸漬する浸漬エッチング法等を用いてもよい。また、ウェットエッチング法ではなく、エッチングガスを用いるドライエッチング法を用いてもよい。

【0087】

次に、図２（ｅ）に示すように、レジストパターン４５の剥離工程を行う。レジストパターン４５は、剥離液により剥離できる。これにより配線２０が露出する。剥離液としては、例えば、水酸化ナトリウム等のアルカリ水溶液を使用することができる。

【0088】

次に、図２（ｆ）に示すように、カバーレイ３０を形成するカバーレイ形成工程を行う。カバーレイ３０は、上述のようなカバーレイ３０の接着層３２を配線２０側からベースフィルム１０に貼り付けることで形成できる。

【0089】

なお、カバーレイ３０を形成する方法は、特に上記に限定されない。例えば、カバーレイ３０を、上述の樹脂フィルムに代えて、感光性カバーレイ材料からなるドライフィルムを用いて形成してもよいし、或いは、液状の感光性カバーレイ材料をベースフィルム１０上に塗布した後に露光及び現像することで、カバーレイ３０を形成してもよい。或いは、液状のカバーレイインクをベースフィルム１０上に印刷することで、カバーレイ３０を形成してもよい。

【0090】

或いは、カバーレイ３０を所謂ソルダレジストで構成してもよい。具体的には、感光性レジスト材料からなるドライフィルムを用いてカバーレイ３０を形成してもよい。或いは、液状の感光性レジスト材料をベースフィルム１０上に塗布した後に露光及び現像することで、カバーレイ３０を形成してもよい。或いは、液状のソルダレジストインクをベースフィルム１０上に印刷することで、カバーレイ３０を形成してもよい。

【0091】

上記の感光性カバーレイ材料や感光性レジスト材料の具体例としては、例えば、ポリエステル、エポキシ、アクリル、ポリイミド、ポリウレタン等を用いたものを例示することができる。また、上記のカバーレイインクやソルダレジストインクの具体例としては、ポリイミドやエポキシをベースとしたものを例示することができる。

【0092】

以上のようにして、フレキシブルプリント配線板１を製造することができる。本実施形態におけるフレキシブルプリント配線板１の製造方法では、光透過部５３において、第１及び第２の先端部５５，５６が先細形状を有しており、第１及び第２の辺５５ｂ、５５ｃが第１の仮想三角形ＴＲ_１の外側に位置する曲線であり、第３及び第４の辺５６ｂ、５６ｃが第２の仮想三角形ＴＲ_１の外側に位置する曲線であり、第１及び第２の位置合わせ目標点Ｓ_１，Ｓ_２の位置が上記（３）式の範囲内を満たしている。このため、多重露光部４４から、第１及び第２の端部５５ａ，５６ａに対応する露光部がはみ出すことがないので、多重露光部４４の外形に段差が生じない。

【0093】

また、第１～第４の辺５５ｂ，５５ｃ，５６ｂ，５６ｃが曲線であるため、多重露光部４４のこれらの辺の交差部において段差が生じることがない。

【0094】

以上より、露光後のフォトレジスト４０を現像したレジストパターン４５においても段差が生じることがないため、配線の側面に段差が生じることを防止することができる。

【0095】

また、第１及び第２の先端部５５，５６は、いずれも先細形状を有しているため、多重露光部４４の幅が太くなり過ぎない。このため、レジストパターン４５においても幅が過剰に太い部分が形成され難くなるため、配線２０に過剰に太くなる部分が生じ難くなる。

【0096】

また、従来の製造方法では、多重露光部は、同一幅の第１及び第２の先端部を介して２回露光されるため、この多重露光部において過露光が生じ、結果的に、配線において多重露光部に対応する部分の幅が太くなってしまうことがある。

【0097】

これに対して、本実施形態では、先細形状の第１の先端部５５において、第１の位置合わせ目標点Ｓ_１が、第１の接続部５７に対して第１の端部５５ａ側に位置していると共に、第１の先端部５５と反対方向を向いた先細形状の第１の先端部５５において、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２が、第２の接続部５８に対して第２の端部５６ａ側に位置している。すなわち、第１の先端部５５において、第１の位置合わせ目標点Ｓ_１よりも第１の接続部５７側から先細りが始まっていると共に、第２の先端部５６において、第２の位置合わせ目標点Ｓ_２よりも第２の接続部５８側から先細りが始まっている。

【0098】

このため、多重露光部４４において、第１の先端部５５の比較的幅の太い部分と第２の先端部５６の比較的幅の細い部分とが重なり、逆に、第１の先端部５５の比較的幅の細い部分と第２の先端部５６の比較的幅の太い部分とが重なることとなるため、多重露光部４４における露光量を均一化することができる。このため、多重露光部４４に対応する部分の配線２０の幅が過剰に太くなることが無い。

【0099】

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。従って、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

【0100】

例えば、上記の露光工程では、第１及び第２の露光処理において同一のフォトマスク５０を用いて露光処理を行う例を説明したがこれに限定されない。第１の露光処理において用いる第１のフォトマスクと、第２の露光処理において用いる第２のフォトマスクと、が異なる種類のフォトマスクであってよい。この場合であっても、上記（３）式を満たす第１及び第２の先端部を有する光透過部が形成されたフォトマスクを使用する。

【0101】

また、上記の実施形態において、第１～第４の辺５５ｂ、５５ｃ，５６ｂ、５６ｃは、いずれも一方向に突出する凸部を一か所のみ有する曲線であるがこれに限定されない。第１～第４の辺５５ｂ、５５ｃ，５６ｂ、５６ｃは、第１及び第２の仮想三角形ＴＲ_１，ＴＲ_２の外側に位置していればどのような形状の曲線であってもよく、例えば、上記の凸部を複数有する蛇行した曲線であってもよい。第１～第４の接続辺５５ｄ、５５ｅ，５６ｄ、５６ｅについても同様に、凸部を複数有する蛇行した曲線であってもよい。

【0102】

なお、上記の実施形態では、サブトラクティブ法を用いる製造方法を例示したがこれに限定されず、所謂セミアディティブ法によりフレキシブルプリント配線板を製造してもよい。このセミアディティブ法では、感光した部分が現像液に溶解するポジ型のレジストから構成されたフォトレジスト層４０をベースフィルム１０上に形成する。そして、上記のようなフォトマスク５０により複数回露光処理を行った後に、レジストパターンを現像する。この場合、露光パターンの形状に沿ってフォトレジスト層が除去される。そして、フォトレジスト層が除去されることで露出したベースフィルム１０の主面に、めっき等で配線２０を形成する。

【0103】

また、上記実施形態の第１及び第２の位置合わせ目標点Ｓ_１，Ｓ_２は、中心線ＣＬ上に位置しているが、これに限定されない。距離Ｄの値が、第２の露光処理時の光透過部５３のずれΔｙよりも十分に大きい場合、第１及び第２の位置合わせ目標点Ｓ_１，Ｓ_２は、中心線ＣＬからｙ方向に若干ずれていてもよい。ただし、第１及び第２の端部５５ａ，５６ａがはみ出さないように、中心線ＣＬから第１及び第２の位置合わせ目標点Ｓ_１，Ｓ_２までのｙ方向に沿った距離と、ずれΔｙとの合計値が、Ｄ／２以下となるように第１及び第２の位置合わせ目標点Ｓ_１，Ｓ_２を設定する。

【0104】

また、上記実施形態の第１及び第２の位置合わせ目標点Ｓ_１，Ｓ_２は、第１及び第２の先端部５５，５６の長手方向における略中央に配置されているが、これに限定されない。第１及び第２の位置合わせ目標点Ｓ_１，Ｓ_２は、長手方向において、中央よりも第１及び第２の端部５５ａ，５６ａ側に配置されていてもよいし、中央よりも第１及び第２の接続部５７，５８側に配置されていてもよい。

【0105】

また、上記実施形態では、第１及び第２の端部５５ａ，５６ａは、点であったがこれに限定されず、幅方向（図中のｙ方向）における長さがＤ以下の直線又は曲線であってもよい。

【符号の説明】

【0106】

１…フレキシブルプリント配線板
１０…ベースフィルム
２０…配線
３０…カバーレイ
３１…保護層
３２…接着層
４０…フォトレジスト層
４１…露光パターン
４２…第１の露光部
４３…第２の露光部
４４…多重露光部
４５…レジストパターン
５０…フォトマスク
５１…透明基板
５２…遮光膜
５３…光透過部
５４…主線部
５４ａ，５４ｂ…第１及び第２の側辺
５５…第１の先端部
５５ａ…第１の端部
５５ｂ，５５ｃ…第１及び第２の辺
５５ｄ，５５ｅ…第１及び第２の接続辺
５６…第２の先端部
５６ａ…第２の端部
５６ｂ，５６ｃ…第３及び第４の辺
５６ｄ，５６ｅ…第３及び第４の接続辺
５７，５８…第１及び第２の接続部
Ｓ_１，Ｓ_２…第１及び第２の位置合わせ目標点
Ｒ_１，Ｒ_２…第１及び第２の領域
Ｒ_ｍ１…重複領域
ＴＲ_１，ＴＲ_２…第１及び第２の仮想三角形
ＲＥ…仮想長方形

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】