特許 7522579 搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-17

(45)【発行日】2024-07-25

(54)【発明の名称】搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240718BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20240718BHJP

   B25J 13/08 20060101ALI20240718BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20240718BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

H01L21/68 F

B25J13/08 A

B65G49/06 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2020079938

(22)【出願日】2020-04-30

(65)【公開番号】P2021174949

(43)【公開日】2021-11-01

【審査請求日】2023-04-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 史朗

(72)【発明者】

【氏名】吉田 昇悟

(72)【発明者】

【氏名】赤羽 賢俊

【審査官】鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－１４７２０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１０３４１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０１０２７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１９８４９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１９８９５９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

Ｂ２５Ｊ １３／０８

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを保持する第１ロボットと、
前記第１ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、
前記第１ロボットにより保持されたワークが載置される第１ステージと、
前記第１ロボットにより保持されたワークが載置される第２ステージと、
前記第１ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う第１処理部に移動させるとともに、前記第１処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記第１ステージに移動させる第１移動機構と、
前記第２ステージに載置された前記ワークを、前記第１処理部と同じ処理を行う第２処理部に移動させるとともに、前記第２処理部で処理された処理済みの前記ワークを、前記第２ステージに移動させる第２移動機構と、
を備え、
前記第１ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記第１ステージおよび前記第２ステージに対する前記ワークの位置合わせをそれぞれ行い、
前記第１ロボットは、同時に複数の前記ワークを保持することが可能であり、
前記ワークの対角線上に配置される２個の角部を第１角部および第２角部とすると、
前記アライメントカメラは、前記複数のワークのそれぞれの前記第１角部および前記第２角部の位置を検知することを特徴とする搬送システム。

【請求項2】

ワークを保持する第１ロボットと、
前記第１ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、
前記第１ロボットにより保持されたワークが載置される第１ステージと、
前記第１ロボットにより保持されたワークが載置される第２ステージと、
前記第１ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う第１処理部に移動させるとともに、前記第１処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記第１ステージに移動させる第１移動機構と、
前記第２ステージに載置された前記ワークを、前記第１処理部と同じ処理を行う第２処理部に移動させるとともに、前記第２処理部で処理された処理済みの前記ワークを、前記第２ステージに移動させる第２移動機構と、
を備え、
前記第１ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記第１ステー
ジおよび前記第２ステージに対する前記ワークの位置合わせをそれぞれ行い、
前記第１移動機構は、前記第１ステージに載置された処理前の前記ワークおよび前記第１処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを同時に移動させ、
前記第２移動機構は、前記第２ステージに載置された処理前の前記ワークおよび前記第２処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを同時に移動させることを特徴とする搬送システム。

【請求項3】

ワークを保持する第１ロボットと、
前記第１ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、
前記第１ロボットにより保持されたワークが載置される第１ステージと、
前記第１ロボットにより保持されたワークが載置される第２ステージと、
前記第１ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う第１処理部に移動させるとともに、前記第１処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記第１ステージに移動させる第１移動機構と、
前記第２ステージに載置された前記ワークを、前記第１処理部と同じ処理を行う第２処理部に移動させるとともに、前記第２処理部で処理された処理済みの前記ワークを、前記第２ステージに移動させる第２移動機構と、
を備え、
前記第１ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記第１ステージおよび前記第２ステージに対する前記ワークの位置合わせをそれぞれ行い、
前記処理済みの前記ワークを次工程に移動させる第２ロボットを備えることを特徴とする搬送システム。

【請求項4】

請求項１から３のうち何れか一項に記載の搬送システムにおいて、
前記第１ロボットは、上下方向から見た場合、前記第１ステージおよび前記第２ステージの間に配置されることを特徴とする搬送システム。

【請求項5】

請求項２に記載の搬送システムにおいて、
前記第１移動機構および前記第２移動機構は、各々、前記ワークを保持する２つの吸着部と、前記２つの吸着部の中間位置を回転軸として、前記２つの前記吸着部の位置を入れ替える駆動部とを備えることを特徴とする搬送システム。

【請求項6】

請求項３に記載の搬送システムにおいて、
前記第１ステージおよび前記第２ステージは、各々、前記処理済みの前記ワークが載置された後、排出位置に移動し、
前記第２ロボットは、前記第１ステージおよび前記第２ステージが前記排出位置に移動した後、前記第１ステージおよび前記第２ステージから前記処理済みの前記ワークを前記次工程に移動させることを特徴とする搬送システム。

【請求項7】

請求項６に記載の搬送システムにおいて、
前記処理済みの前記ワークを仮置くための仮置き部を備え、
前記第２ロボットは、前記次工程に前記処理済みの前記ワークを移動させることができない場合は、前記処理済みの前記ワークを、前記第１ステージおよび前記第２ステージから前記仮置き部に移動させることを特徴とする搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークを搬送するための搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれ、表示パネルを搬送する搬送システムは、特許文献１に開示されている。同文献の搬送システムは、処理前の表示パネルを搬送する搬入用コンベヤと、処理部で処理された表示パネルを搬送する搬出用コンベヤと、処理前の表示パネルを搬入用コンベヤから処理部に移動させるとともに、処理済みの表示パネルを処理装置から搬出用コンベヤに移動させるロボットとを備える。

【0003】

特許文献１の搬送システムにおいて、搬入用コンベアにより搬送される表示パネルは、正確に位置決めされたものではない。このため、ロボットが処理部に表示パネルを移動させた後、作業員によって、処理部に対する表示パネルの位置決めが行われている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１７－１９８４９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１の搬送システムにおいて、１つのロボットにより２個所の処理部に表示パネルを移動させる構成が考えられる。このような構成では、一人の作業者によって、２個所の処理部に対する表示パネルの位置決めが行われることが考えられる。しかしながら、搬送システムの構成のよっては、一人で作業することが難しい場合があり、このような場合には、作業者を二人にする必要があった。このため、１つのロボットにより２個所の処理部に表示パネルを移動させる搬送システムは、製造コストなどの問題があった。

【0006】

そこで、本発明の課題は、ワークを搬送するための搬送システムにおいて、ロボットが位置決めされていないワークを移動させる場合であっても、１つのロボットにより２個所の処理部に対して位置決めされた状態のワークを移動させることが可能な搬送システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するために、本発明は、ワークを保持する第１ロボットと、前記第１ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、前記第１ロボットにより保持されたワークが載置される第１ステージと、前記第１ロボットにより保持されたワークが載置される第２ステージと、前記第１ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う第１処理部に移動させるとともに、前記第１処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記第１ステージに移動させる第１移動機構と、前記第２ステージに載置された前記ワークを、前記第１処理部と同じ処理を行う第２処理部に移動させるとともに、前記第２処理部で処理された処理済みの前記ワークを、前記第２ステージに移動させる第２移動機構と、を備え、前記第１ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記第１ステージおよび前記第２ステージに対する前記ワークの位置合わせをそれぞれ行うことを特徴とする。

【0008】

本発明の搬送システムによれば、第１ロボットは、アライメントカメラでの検知結果に基づいて、第１ステージおよび第２ステージに対するワークの位置合わせを行う。このた
め、第１移動機構は、第１ステージに対して位置決めされたワークを、第１処理部に移動させることができる。同様に、第２移動機構は、第２ステージに対して位置決めされたワークを、第２処理部に移動させることができる。したがって、搬送システムは、第１ロボットとアライメントカメラを用いた簡素な構成であっても、２個所に設けられた処理部に対して、位置決めされた状態のワークを移動させることができる。

【0009】

本発明において、前前記第１ロボットは、上下方向から見た場合、前記第１ステージおよび前記第２ステージの間に配置されることが好ましい。このように構成することで、第１ロボットの第１ステージへの移動範囲と、第１ロボットの第２ステージへの移動範囲とを同じにすることができる。

【0010】

本発明において、前記第１ロボットは、同時に複数の前記ワークを保持することが可能であり、前記ワークの対角線上に配置される２個の角部を第１角部および第２角部とすると、前記アライメントカメラは、前記複数のワークのそれぞれの前記第１角部および前記第２角部の位置を検知する構成を採用することができる。

【0011】

本発明において、前記第１移動機構は、前記第１ステージに載置された処理前の前記ワークおよび前記第１処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを同時に移動させ、前記第２移動機構は、前記第２ステージに載置された処理前の前記ワークおよび前記第２処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを同時に移動させることが好ましい。このように構成することで、処理前のワークおよび処理済みのワークを同時に移動させることができるので、搬送システムの搬送時間を短縮することができる。この場合、本発明において、前記第１移動機構および前記第２移動機構は、各々、前記ワークを保持する２つの吸着部と、前記２つの吸着部の中間位置を回転軸として、前記２つの前記吸着部の位置を入れ替える駆動部とを備える態様を採用することができる。

【0012】

本発明において、前記処理済みの前記ワークを次工程に移動させる第２ロボットを備える構成を採用することができる。この場合、本発明において、前記第１ステージおよび前記第２ステージは、各々、前記処理済みの前記ワークが載置された後、排出位置に移動し、前記第２ロボットは、前記第１ステージおよび前記第２ステージが前記排出位置に移動した後、前記第１ステージおよび前記第２ステージから前記処理済みの前記ワークを前記次工程に移動させることが好ましい。このように構成することで、第１ステージおよび第２ステージにより、各々搬送されるワークを、１つの第２ロボットで次工程に移動させることができる。

【0013】

本発明において、前記処理済みの前記ワークを仮置くための仮置き部を備え、前記第２ロボットは、前記次工程に前記処理済みの前記ワークを移動させることができない場合は、前記処理済みの前記ワークを、前記第１ステージおよび前記第２ステージから前記仮置き部に移動させることが好ましい。このように構成することで、次工程に処理済みのワークを移動させることができない場合でも、処理済みのワークを仮置き部に移動させることができるので、搬送システムの動作が停止することを抑制することができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明では、ワークを搬送するための搬送システムにおいて、ロボットが位置決めされていないワークを移動させる場合であっても、１つのロボットにより２個所の処理部に対してワークを位置決めすることが可能な搬送システムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施形態に係る搬送システムの上面図である。

【図2】第１ロボットおよび第２ロボットの正面図である。

【図3】移動機構および載置部の側面図である。

【図4】保持部とアライメントカメラの関係を示す図である。

【図5】アライメントカメラにより表示パネルを検知する状態を説明する図である。

【図6】第１移動機構の動きを説明する図である。

【図7】第２移動機構の動きを説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。以下の説明では、ワークが表示パネル１００である場合を中心に説明する。図１は本発明の実施形態に係る搬送システムの上面図である。図２は第１ロボットおよび第２ロボットの正面図である。図３は移動機構および載置部の側面図である。図４は保持部とアライメントカメラの関係を示す図である。

【0017】

（搬送システム１の構成）
図１～図３において、本形態の搬送システム１は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。搬送システム１は、ワークである表示パネル１００を搬送して、表示パネル１００に対して所定の処理を行う処理部１５に表示パネル１００を供給する。

【0018】

表示パネル１００は、液晶パネルや有機ＥＬパネル等である。表示パネル１００は、矩形状に形成されている。表示パネル１００は、表示パネル１００の表示領域から外れた箇所に、表示パネル１００の処理データ等のデータが記録された記録部を有する。具体的には、表示パネル１００の表示領域から外れた箇所には、処理データ等のデータが二次元コードや一次元コードとして記録されている。また、図１に示すように、本形態においては、表示パネル１００として、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂからなる２つの表示パネル１００が同時に搬送される。第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは各々、対角線上に位置する２個の角部である第１角部１０１Ａ、１０１Ｂおよび第２角部１０２Ａ、１０２Ｂを備える。第１角部１０１Ａ、１０１Ｂおよび第２角部１０２Ａ、１０２Ｂの近傍には、各々、アライメントマーク（不図示）が２個配置されている。

【0019】

図１、図２に示すように、搬送システム１は、表示パネル１００を保持する第１ロボット３と、第１ロボット３により保持された表示パネル１００の位置を検知するアライメントカメラ４と、第１ロボット３により保持された表示パネル１００が載置される第１ステージ５Ａと、第１ロボット３により保持された表示パネル１００が載置される第２ステージ５Ｂとを備える。また、搬送システム１は、第１ステージ５Ａに載置された表示パネル１００を表示パネル１００に対して処理を行う第１処理部１５Ａに移動させるとともに、第１処理部１５Ａで処理された処理済みの表示パネル１００を第１ステージ５Ａに移動させる第１移動機構６Ａと、第２ステージ５Ｂに載置された表示パネル１００を第１処理部１５Ａと同じ処理を行う第２処理部１５Ｂに移動させるとともに、第２処理部１５Ｂで処理された処理済みの表示パネル１００を第２ステージ５Ｂに移動させる第２移動機構６Ｂとを備える。

【0020】

さらにまた、搬送システム１は、処理済みの表示パネル１００を次工程に移動させる第２ロボット８と、処理済みの表示パネル１００を仮置くための仮置き部９を備える。また、搬送システム１は、表示パネル１００の表示領域から外れた箇所に記録されたデータを読み取るＩＤリーダ１０を備える。

【0021】

搬送システム１は、搬入機構２によって搬入された処理前の表示パネル１００を第１ロボット３により移動させる。また、搬送システム１は、処理済みの表示パネル１００を第
２ロボット８により、次工程の搬送機構７に移動させる。ここで、搬入機構２の延在する方向に沿った軸をＸ軸、上下方向に沿った軸をＺ軸、Ｘ軸およびＺ軸と直交する軸をＹ軸とする。搬入機構２において、表示パネル１００が搬送される方向をＸ１方向とし、その反対方向をＸ２方向とする。上下方向において、上方向をＺ１方向とし、下方向をＺ２方向とする。Ｙ軸方向において、一方をＹ１方向、他方をＹ２方向とする。本形態において、第１ステージ５Ａ、第１処理部１５Ａ、および第１移動機構６Ａは、第２ステージ５Ｂ、第２処理部１５Ｂ、および第２移動機構６Ｂに対して、第１ロボット３が配置されている位置を通ってＸ軸に沿って延在する仮想軸線を中心とする線対称に配置されている。

【0022】

搬入機構２は、表示パネル１００を搬送システム１まで搬送する。搬入機構２は、電動シリンダなどで構成されている。搬入機構２は、表示パネル１００が載置されるステージ２１を備える。搬入機構２は、ステージ２１をＸ方向に往復移動させる。搬入機構２は、Ｘ２方向の端部でステージ２１に載置された表示パネル１００を、Ｘ１方向の端部に搬送する。ステージ２１は、Ｘ方向に長い長方形である。ステージ２１は、Ｘ方向に表示パネル１００を２枚載置できる大きさである。

【0023】

第１ロボット３は、Ｚ方向から見た場合、第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂの間に配置されている。第１ロボット３は、搬入機構２のステージ２１に載置された表示パネル１００を保持部３１と、保持部３１を移動させるためのアーム本体部３２とを備える。保持部３１は、表示パネル１００を保持する第１保持プレート３１１および第２保持プレート３１２を備える（図４参照）。第１保持プレート３１１および第２保持プレート３１２のＺ２方向の面には、表示パネル１００を吸着するための複数の吸着孔が設けられている。表示パネル１００は、吸着孔に吸引されることで、保持部３１に保持される。

【0024】

アーム本体部３２は、第１アーム部３５と、第２アーム部３６と、駆動部３７と、アライメント軸部３８とを備える。第１アーム部３５と第２アーム部３６とは、第１アーム部３５に内蔵したモータＭ１を介して連結する。第１アーム部３５は、モータＭ１により、第２アーム部３６に対して相対的に回転する。第２アーム部３６と駆動部３７とは連結しており、駆動部３７は、第２アーム部３６を回転させる。すなわち、モータＭ１および駆動部３７によって、第１アーム部３５および第２アーム部３６は、ＸＹ平面を移動する。

【0025】

アライメント軸部３８のＺ１方向の側は、第１アーム部３５と連結し、アライメント軸部３８のＺ２方向の側は、保持部３１と連結する。アライメント軸部３８は、第１アーム部３５に内蔵したモータＭ２により、第１アーム部３５に対して回転するとともに、不図示のアクチュエータによりＺ方向に移動する。すなわち、保持部３１は、モータＭ２により、第１アーム部３５に対して回転するとともに、アクチュエータによりＺ方向に移動する。

【0026】

第１ステージ５Ａは、第１ロボット３に対して、Ｙ１方向の側に位置する。第１ステージ５Ａは、Ｘ方向に長い板状であり、Ｘ方向に２つの表示パネル１００が載置される大きさである。第１ステージ５Ａは、位置調整部５３により、Ｚ方向に移動する。位置調整部５３は、搬送部５４によりＸ方向に移動する。位置調整部５３および搬送部５４は、電気シリンダなどで構成される。位置調整部５３は、搬送部５４のＹ１方向の側に位置する。第１ステージ５Ａは、位置調整部５３を介して、搬送部５４により、Ｘ方向に移動する。ここで、第１ステージ５ＡがＸ１方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。

【0027】

第２ステージ５Ｂは、第１ロボット３に対して、Ｙ２方向の側に位置する。第２ステージ５Ｂは、Ｘ方向に長い板状であり、Ｘ方向に２つの表示パネル１００が載置される大きさである。第２ステージ５Ｂは、位置調整部５８により、Ｚ方向に移動する。位置調整部５８は、搬送部５９によりＸ方向に移動する。位置調整部５８および搬送部５９は、電気
シリンダなどで構成される。位置調整部５８は、搬送部５４のＹ２方向の側に位置する。第２ステージ５Ｂは、位置調整部５８を介して、搬送部５９により、Ｘ方向に移動する。ここで、第２ステージ５ＢがＸ１方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。

【0028】

図１、図３に示すように、第１移動機構６Ａは、第１ステージ５ＡのＹ１方向の側に位置する。第１移動機構６Ａは、第１ステージ５Ａに載置された処理前の表示パネル１００および第１処理部１５Ａに載置された処理済みの表示パネル１００を同時に移動させる。第１移動機構６Ａは、アーム部６２と、アーム部６２の両端に設けられた吸着部としての２つ吸着部６３と、アーム部６２を回転させる駆動部６４とを備える。吸着部６３は、長方形であり、第１ステージ５Ａに載置された２つの表示パネル１００を吸着できる大きさである。駆動部６４は、２つの吸着部６３の中間位置を回転軸として、アーム部６２を回転させる。アーム部６２が１８０°回転することで、２つの吸着部６３の位置が入れ替わる。

【0029】

図１に示すように、第２移動機構６Ｂは、第２ステージ５ＢのＹ２方向の側に位置する。第２移動機構６Ｂは、第２ステージ５Ｂに載置された処理前の表示パネル１００および第２処理部１５Ｂに載置された処理済みの表示パネル１００を同時に移動させる。第２移動機構６Ｂは、アーム部６７と、アーム部６７の両端に設けられた吸着部としての２つ吸着部６８と、アーム部６７を回転させる駆動部６９とを備える。吸着部６８は、長方形であり、第２ステージ５Ｂに載置された２つの表示パネル１００を吸着できる大きさである。駆動部６５は、２つの吸着部６８の中間位置を回転軸として、アーム部６７を回転させる。アーム部６７が１８０°回転することで、２つの吸着部６８の位置が入れ替わる。

【0030】

図１に示すように、アライメントカメラ４は、搬入機構２と第１ステージ５Ａとの間に位置する。アライメントカメラ４は、第１カメラ４１と第２カメラ４２とを備える。図４に示すように、第１カメラ４１と第２カメラ４２は、保持部３１で保持された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを下方から撮影する。図１に示すように、ＩＤリーダ１０は、搬入機構２と第２ステージ５Ｂとの間に位置する。ＩＤリーダ１０は、表示パネル１００の記録部に記録されたデータを、下方から光学的に読み取る。ＩＤリーダ１０は、例えば、撮像素子などである。ＩＤリーダ１０が読み取った表示パネル１００のデータに基づいて、処理部１５で表示パネル１００が処理される。

【0031】

図１、図２に示すように、搬送機構７は、処理済みの表示パネル１００が載置されるベースプレート７１を備える。搬送機構７は、電動シリンダなどで構成される。搬送機構７は、ベースプレート７１を、Ｘ軸方向に往復移動させる。図１、図２に示すように、第２ロボット８は、処理済みの表示パネル１００を保持する吸着部８１と、吸着部８１を上下方向に移動させる位置調整部８２と、位置調整部８２をＹ軸方向に往復移動させる駆動部８３とを備える。駆動部８３は、電動シリンダなどで構成される。駆動部８３は、位置調整部８２を介して、吸着部８１をＹ軸方に往復移動させる。仮置き部９は、搬送機構７のＹ方向の両側に２つ設けられている。本形態では、仮置き部９は、６つの表示パネル１００を載置することができる。

【0032】

（搬送システム１の動作）
次に搬送システム１の動作について説明する。本形態では、搬送システム１は、２つの表示パネル１００を搬送する場合について説明する。図５は、アライメントカメラにより表示パネルを検知する状態を説明する図である。図６は、第１移動機構の動きを説明する図である。図７は、第２移動機構の動きを説明する図である。

【0033】

（第１ロボット３の動作）
搬入機構２は、ステージ２１に載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネ
ル１００Ｂを、搬入機構２のＸ１方向の端部まで搬送する。第１ロボット３は、保持部３１をステージ２１まで移動させ、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを保持する。この際、保持部３１の第１保持プレート３１１は、第１表示パネル１００Ａを保持し、保持部３１の第２保持プレート３１２は、第２表示パネル１００Ｂを保持する。第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが保持部３１により保持された後、搬入機構２は、ステージ２１を搬入機構２のＸ２方向の端部まで移動させる。ステージ２１が搬入機構２のＸ２方向の端部まで移動した後、ステージ２１には次の表示パネル１００が載置される。

【0034】

第１ロボット３は、保持部３１が表示パネル１００を保持すると、アライメントカメラ４の上方まで、保持部３１を移動させる。具体的には、図５（ａ）に示すように、第１ロボット３は、第１表示パネル１００Ａの第１角部１０１Ａの近傍部分が第１カメラ４１の上方に位置し、第２表示パネル１００Ｂの第１角部１０１Ｂの近傍部分が第２カメラ４２の上方に位置するように、保持部３１を移動させる。第１カメラ４１は、第１角部１０１Ａのアライメントマークに基づいて、第１表示パネル１００Ａの第１角部１０１Ａを検知する。第２カメラ４２は、第１角部１０１Ｂのアライメントマークに基づいて、第２表示パネル１００Ｂの第１角部１０１Ｂを検知する。次に、図５（ｂ）に示すように、第１ロボット３は、第１表示パネル１００Ａの第２角部１０２Ａの近傍部分が第１カメラ４１の上方に位置し、第２表示パネル１００Ｂの第２角部１０２Ｂの近傍部分が第２カメラ４２の上方に位置するように、保持部３１を移動させる。第１カメラ４１は、第２角部１０２Ａのアライメントマークに基づいて、第１表示パネル１００Ａの第２角部１０２Ａを検知する。第２カメラ４２は、第２角部１０２Ｂのアライメントマークに基づいて、第２表示パネル１００Ｂの第２角部１０２Ｂを検知する。

【0035】

第１カメラによって第１表示パネル１００Ａの第１角部１０１Ａおよび第２角部１０２Ａが検知されると、第１ロボット３は、保持部３１に対する第１表示パネル１００Ａの位置を認識する。第２カメラによって第２表示パネル１００Ｂの第１角部１０１Ｂおよび第２角部１０２Ｂが検知されると、第１ロボット３は、保持部３１に対する第２表示パネル１００Ｂの位置を認識する。

【0036】

次に、第１ロボット３は、ＩＤリーダ１０の上方まで保持部３１を移動させる。具体的には、第１ロボット３は、第１カメラ４１で検知された第１表示パネル１００Ａの位置に基づいて、第１表示パネル１００Ａの記録部がＩＤリーダ１０の上方に位置するように、保持部３１を移動させる。ＩＤリーダ１０は、第１表示パネル１００Ａの記録部を読み取り、処理データ等を取得する。また、第１ロボット３は、第２カメラ４２で検知された第２表示パネル１００Ｂの位置に基づいて、第２表示パネル１００Ｂの記録部がＩＤリーダ１０の上方に位置するように、保持部３１を移動させる。ＩＤリーダ１０は、第２表示パネル１００Ｂの記録部を読み取り、処理データ等を取得する。

【0037】

次に、第１ロボット３は、第１ステージ５Ａの上方まで保持部３１を移動させる。第１ロボット３は、第１ステージ５Ａの第１ステージ５Ａの上方まで保持部３１を移動させた後、第１カメラ４１で検知された第１表示パネル１００Ａの位置に基づいて、第１ステージ５Ａに対して第１表示パネル１００Ａの位置合わせを行う。第１表示パネル１００Ａの位置合わせが行われた後、第１ステージ５Ａは、位置調整部５３によりＺ１方向に移動する。第１ステージ５ＡがＺ１方向に移動した後、第１ロボット３は、第１ステージ５Ａに第１表示パネル１００Ａのみを載置する。

【0038】

第１表示パネル１００Ａが第１ステージ５Ａに載置された後、第１ステージ５Ａは位置調整部５３によりＺ２方向に移動する。次に、第１ロボット３は、第２カメラ４２で検知された第２表示パネル１００Ｂの位置に基づいて、第１ステージ５Ａに対して第２表示パ
ネル１００Ｂの位置合わせを行う。第２表示パネル１００Ｂの位置合わせが行われた後、第１ステージ５Ａは、位置調整部５３によりＺ１方向に移動する。第１ステージ５ＡがＺ１方向に移動した後、第１ロボット３は、第１ステージ５Ａに第２表示パネル１００Ｂを載置する。

【0039】

第１ロボット３は、第１ステージ５Ａに第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを載置した後、保持部３１を搬入機構２へ移動させる。保持部３１が搬入機構２へ移動した後、第１ステージ５Ａに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、第１移動機構６Ａによって、第１処理部１５Ａに移動される。

【0040】

第１ロボット３は、再び、ステージ２１に載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを保持する。その後、第１ロボット３は、アライメントカメラ４の上方まで、保持部３１を移動させる。そして、先に述べたように、第１カメラ４１は、第１角部１０１Ａのアライメントマークに基づいて、第１表示パネル１００Ａの第１角部１０１Ａを検知し、第２角部１０２Ａのアライメントマークに基づいて、第１表示パネル１００Ａの第２角部１０２Ａを検知する。第２カメラ４２は、第１角部１０１Ｂのアライメントマークに基づいて、第２表示パネル１００Ｂの第１角部１０１Ｂを検知し、第２角部１０２Ｂのアライメントマークに基づいて、第２表示パネル１００Ｂの第２角部１０２Ｂを検知する。これにより、第１ロボット３は、保持部３１に対する第１表示パネル１００Ａの位置と、保持部３１に対する第２表示パネル１００Ｂの位置とを認識する。

【0041】

第１ロボット３は、ＩＤリーダ１０の上方まで保持部３１を移動させる。そして、先に述べたように、ＩＤリーダ１０は、第１表示パネル１００Ａの記録部および第２表示パネル１００Ｂの記録部を読み取り、処理データ等を取得する。

【0042】

第１ロボット３は、第２ステージ５Ｂの上方まで保持部３１を移動させる。第１ロボット３は、第２ステージ５Ｂの第２ステージ５Ｂの上方まで保持部３１を移動させた後、第１カメラ４１で検知された第１表示パネル１００Ａの位置に基づいて、第２ステージ５Ｂに対して第１表示パネル１００Ａの位置合わせを行う。第１表示パネル１００Ａの位置合わせが行われた後、第２ステージ５Ｂは、位置調整部５８によりＺ１方向に移動する。第２ステージ５ＢがＺ１方向に移動した後、第１ロボット３は、第２ステージ５Ｂに第１表示パネル１００Ａのみを載置する。

【0043】

第１表示パネル１００Ａが第２ステージ５Ｂに載置された後、第２ステージ５Ｂは位置調整部５８によりＺ２方向に移動する。次に、第１ロボット３は、第２カメラ４２で検知された第２表示パネル１００Ｂの位置に基づいて、第２ステージ５Ｂに対して第２表示パネル１００Ｂの位置合わせを行う。第２表示パネル１００Ｂの位置合わせが行われた後、第２ステージ５Ｂは、位置調整部５８によりＺ１方向に移動する。第２ステージ５ＢがＺ１方向に移動した後、第１ロボット３は、第２ステージ５Ｂに第２表示パネル１００Ｂを載置する。

【0044】

第１ロボット３は、第２ステージ５Ｂに第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを載置した後、保持部３１を搬入機構２へ移動させる。保持部３１が搬入機構２へ移動した後、第２ステージ５Ｂに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、第２移動機構６Ｂによって、第２処理部１５Ｂに移動される。

【0045】

第１ロボット３は、上記の動作を繰り返す。すなわち、第１ロボット３は、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを、第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂに、交互に移動させる。

【0046】

（第１移動機構６Ａおよび第２移動機構６Ｂの動作）
第１移動機構６Ａの動作について説明する。図６（ａ）に示すように、先ず、第１ステージ５Ａに第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが載置されるときは、アーム部６２は、Ｘ軸に沿った方向に延びた待機位置に位置する。図６（ｂ）に示すように、第１ステージ５Ａに第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが載置された後、アーム部６２は、駆動部６４により、Ｙ軸に沿った方向に回転される。

【0047】

アーム部６２がＹ軸に沿った方向に回転した後、第１ステージ５Ａは、位置調整部５３により、Ｚ１方向に移動することで、第１ステージ５Ａに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが吸着部６３と当接する。吸着部６３が第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第１ステージ５Ａは、位置調整部５３により、Ｚ２方向に移動する。その後、図６（ｃ）に示すように、アーム部６２は、駆動部６４により、１８０°回転する。アーム部６２が１８０°回転することで、吸着部６３に吸着された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、第１処理部１５Ａに移動して、第１処理部１５Ａに載置される。図６（ｄ）に示すように、第１処理部１５Ａに第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが載置された後、アーム部６２は、駆動部６４により、９０°回転した位置で待機する。

【0048】

第１処理部１５Ａに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、第１処理部１５Ａにおいて点灯検査等の処理が行われる。第１処理部１５Ａで表示パネル１００が処理されているとき、第１ロボット３は、再び、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを第１ステージ５Ａに載置する。

【0049】

図６（ｅ）に示すように、第１処理部１５Ａで表示パネル１００の処理が終了すると、アーム部６２は、駆動部６４により、９０°回転する。その後、アーム部６２のＹ１方向の端部の吸着部６３は、第１ステージ５Ａに載置された処理前の第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着し、アーム部６２のＹ２方向の端部の吸着部６３は、第１処理部１５Ａに載置された処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着する。それぞれの吸着部６３が第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、アーム部６２は、駆動部６４により、１８０°回転する。これにより、２つの吸着部６３の位置が入れ替わる。この結果、第１移動機構６Ａは、処理前の第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを第１処理部１５Ａに移動させ、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを第１ステージ５Ａに移動させる。その後、第１移動機構６Ａは、処理前の第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを第１処理部１５Ａに載置し、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを第１ステージ５Ａに載置する。

【0050】

上記で説明したように、第１移動機構６Ａは、位置決めされた状態の表示パネル１００を移動させることができる。より具体的には、アーム部６２が１８０°回転することで、２つの吸着部６３の位置が入れ替わるので、第１移動機構６Ａは、第１ステージ５Ａに対して位置決めされた表示パネル１００を、位置決めされた状態で第１処理部１５Ａに移動させることができる。

【0051】

次に、図６（ｆ）に示すように、アーム部６２は、駆動部６４により、９０°回転した位置で待機する。第１移動機構６Ａによって処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１ステージ５Ａに載置された後、第１ステージ５Ａは、搬送部５４により、Ｘ１方向の端部の排出位置まで移動する。

【0052】

次に、第２移動機構６Ｂの動作について説明する。図７（ａ）に示すように、第２ステージ５Ｂに第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが載置されるときは、
アーム部６７は、Ｘ軸に沿った方向に延びた待機位置に位置する。図７（ｂ）に示すように、第２ステージ５Ｂに第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが載置されると、アーム部６７は、駆動部６９により、Ｙ軸に沿った方向に延びた入替位置に位置する。

【0053】

アーム部６７がＹ軸に沿った方向に回転した後、第２ステージ５Ｂは、位置調整部５８により、Ｚ１方向に移動することで、第２ステージ５Ｂに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが吸着部６８と当接する。吸着部６８が第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第２ステージ５Ｂは、位置調整部５８により、Ｚ２方向に移動する。その後、図７（ｃ）に示すように、アーム部６７は、駆動部６９により、１８０°回転する。アーム部６７が１８０°回転することで、吸着部６８に吸着された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、第２処理部１５Ｂに移動して、第２処理部１５Ｂに載置される。図７（ｄ）に示すように、第２処理部１５Ｂに第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが載置された後、アーム部６７は、駆動部６９により、９０°回転した位置で待機する。

【0054】

第２処理部１５Ｂに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、第２処理部１５Ｂにおいて点灯検査等の処理が行われる。第２処理部１５Ｂで表示パネル１００が処理されているとき、第１ロボット３は、再び、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを第２ステージ５Ｂに載置する。

【0055】

図７（ｅ）に示すように、第２処理部１５Ｂで表示パネル１００の処理が終了すると、アーム部６７は、駆動部６９により、９０°回転する。その後、アーム部６７のＹ１方向の端部の吸着部６８は、第２ステージ５Ｂに載置された処理前の第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着し、アーム部６７のＹ２方向の端部の吸着部６８は、第２処理部１５Ｂに載置された処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着する。それぞれの吸着部６８が第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、アーム部６７は、駆動部６９により、１８０°回転する。これにより、２つの吸着部６８の位置が入れ替わる。この結果、第２移動機構６Ｂは、処理前の第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを第２処理部１５Ｂに移動させ、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを第２ステージ５Ｂに移動させる。その後、第２移動機構６Ｂは、処理前の第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを第２処理部１５Ｂに載置し、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを第２ステージ５Ｂに載置する。

【0056】

次に、図７（ｆ）に示すように、アーム部６７は、駆動部６９により、９０°回転した位置で待機する。第２移動機構６Ｂによって処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２ステージ５Ｂに載置された後、第２ステージ５Ｂは、搬送部５９により、Ｘ１方向の端部の排出位置まで移動する。

【0057】

上記で説明したように、第２移動機構６Ｂは、位置決めされた状態の表示パネル１００を移動させることができる。より具体的には、アーム部６７が１８０°回転することで、２つの吸着部６８の位置が入れ替わるので、第２移動機構６Ｂは、第２ステージ５Ｂに対して位置決めされた表示パネル１００を、位置決めされた状態で第２処理部１５Ｂに移動させることができる。

【0058】

（第２ロボット８の動き）
第２ロボット８の動きについて説明する。第２ロボット８は、第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂによって搬送された処理済みの表示パネル１００を、第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂから搬送機構７に交互に移動させる。具体的には、第１移動機構
６Ａによって処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１ステージ５Ａに載置された後、第１ステージ５Ａは、搬送部５４により、Ｘ１方向の端部の排出位置まで移動する。第１ステージ５Ａが排出位置まで移動した後、第２ロボット８は、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの上方まで吸着部８１を移動させる。吸着部８１は、位置調整部８２により、Ｚ２方向に移動して、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを保持する。その後、第２ロボット８は、駆動部８３を駆動して、吸着部８１をベースプレート７１まで移動させ、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂをベースプレート７１に載置する。

【0059】

搬送機構７は、ベースプレート７１をＸ１方向の端部まで移動させる。次工程のロボットは、移動してきたベースプレート７１から処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを移動させる。このとき、次工程の作業が滞っていた場合、搬送機構７により、次工程への表示パネル１００を移動することができないので、第２ロボット８は、処理済みの表示パネル１００を仮置き部９の空いている場所に移動させる。次工程での作業が再開した場合は、第２ロボット８は、仮置き部９に載置された処理済みの表示パネル１００を搬送機構７のベースプレート７１に移動させる。

【0060】

第１ステージ５Ａから処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２ロボット８によって移動した後、第１ステージ５Ａは、搬送部５４により、Ｘ２方向に移動する。その後、第１移動機構６Ａにより、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが、第１処理部１５Ａから第１ステージ５Ａに移動する。

【0061】

第１ステージ５Ａが搬送部５４によりＸ２方向に移動した後、第２ステージ５Ｂに載置された処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、搬送部５９により、Ｘ１方向の端部の排出位置まで移動する。第２ステージ５ＢがＸ１方向の端部の排出位置まで移動した後、第２ロボット８は、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの上方まで吸着部８１を移動させる。吸着部８１は、位置調整部８２により、Ｚ２方向に移動し、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを保持する。その後、第２ロボット８は、駆動部８３を駆動して、吸着部８１をベースプレート７１まで移動し、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂをベースプレート７１に載置する。

【0062】

搬送機構７は、ベースプレート７１をＸ１方向の端部まで移動させる。次工程のロボットは、移動してきたベースプレート７１から処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを移動させる。このとき、次工程の作業が滞っていた場合、搬送機構７により、次工程への表示パネル１００を移動することができないので、第２ロボット８は、処理済みの表示パネル１００を仮置き部９の空いている場所に移動させる。次工程での作業が再開した場合は、第２ロボット８は、仮置き部９に載置された処理済みの表示パネル１００を搬送機構７のベースプレート７１に移動させる。

【0063】

第２ステージ５Ｂから処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２ロボット８によって移動した後、第２ステージ５Ｂは、搬送部５９により、Ｘ２方向に移動し、第２移動機構６Ｂにより、処理済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが、第２処理部１５Ｂから第２ステージ５Ｂに移動する。

【0064】

（本形態の主な効果）
本形態の搬送システム１は、表示パネル１００を保持する第１ロボット３と、第１ロボット３により保持された表示パネル１００の位置を検知するアライメントカメラ４と、第１ロボット３により保持された表示パネル１００が載置される第１ステージ５Ａと、第１
ロボット３により保持された表示パネル１００が載置される第２ステージ５Ｂと、第１ステージ５Ａに載置された表示パネル１００を表示パネル１００に対して処理を行う第１処理部１５Ａに移動させるとともに、第１処理部１５Ａで処理された処理済みの表示パネル１００を第１ステージ５Ａに移動させる第１移動機構６Ａと、第２ステージ５Ｂに載置された表示パネル１００を、第１処理部１５Ａと同じ処理を行う第２処理部１５Ｂに移動させるとともに、第２処理部１５Ｂで処理された処理済みの表示パネル１００を、第２ステージ５Ｂに移動させる第２移動機構６Ｂとを備える。第１ロボット３は、アライメントカメラ４の検知結果に基づいて、第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂに対する表示パネル１００の位置合わせをそれぞれ行う。

【0065】

このように構成するため、第１移動機構６Ａは、第１ステージ５Ａに対して位置決めされた表示パネル１００を、第１処理部１５Ａに移動させることができる。同様に、第２移動機構６Ｂは、第２ステージ５Ｂに対して位置決めされた表示パネル１００を、第２処理部１５Ｂに移動させることができる。したがって、搬送システム１は、第１ロボット３とアライメントカメラ４を用いた簡素な構成であっても、２個所に設けられた処理部１５に対して、位置決めされた状態の表示パネル１００を移動させることができる。

【0066】

本形態において、前第１ロボット３は、上下方向から見た場合、第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂの間に配置されることが好ましい。このように構成することで、第１ロボット３の第１ステージ５Ａへの移動範囲と、第１ロボット３の第２ステージ５Ｂへの移動範囲とを同じにすることができる。

【0067】

本形態において、第１移動機構６Ａは、第１ステージ５Ａに載置された処理前の表示パネル１００および第１処理部１５Ａに載置された処理済みの表示パネル１００を同時に移動させ、第２移動機構６Ｂは、第２ステージ５Ｂに載置された処理前の表示パネル１００および第２処理部に載置された処理済みの表示パネル１００を同時に移動させる。第１移動機構６Ａおよび第２移動機構６Ｂは、各々、表示パネル１００を保持する２つの吸着部６３、６８と、２つの吸着部の中間位置を回転軸として、２つの吸着部６３、６８の位置を入れ替える駆動部６４、６９とを備える。このように構成することで、処理前の表示パネル１００および処理済みの表示パネル１００を同時に移動させることができるので、搬送システム１の搬送時間を短縮することができる。

【0068】

本形態において、処理済みの表示パネル１００を次工程に移動させる第２ロボット８を備える。第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂは、各々、処理済みの表示パネル１００が載置された後、排出位置に移動し、第２ロボット８は、第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂが排出位置に移動した後、第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂから処理済みの表示パネル１００を次工程に移動させる。このように構成することで、第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂにより、各々搬送される表示パネル１００を、１つの第２ロボット８で次工程に移動させることができる。

【0069】

本形態において、処理済みの表示パネル１００を仮置くための仮置き部９を備え、第２ロボット８は、次工程に処理済みの表示パネル１００を移動させることができない場合は、処理済みの表示パネル１００を、第１ステージ５Ａおよび第２ステージ５Ｂから仮置き部９に移動させる。このように構成することで、次工程に処理済みの表示パネル１００を移動させることができない場合でも、処理済みの表示パネル１００を仮置き部９に移動させることができるので、搬送システム１の動作が停止することを抑制することができる。

【0070】

（他の実施の形態）
上記の形態では、保持部３１は、２つの表示パネル１００を同時に保持したが、１つの表示パネル１００を保持してもよい。このとき、保持部３１の第１保持プレート３１１が
第１表示パネル１００Ａを保持した場合、第１カメラ４１のみが、第１表示パネル１００Ａの第１角部１０１Ａおよび第２角部１０２Ａを検知する。同様に、保持部３１の第２保持プレート３１２が第２表示パネル１００Ｂを保持した場合、第２カメラ４２のみが、第２表示パネル１００Ｂの第１角部１０１Ｂおよび第２角部１０２Ｂを検知する。

【符号の説明】

【0071】

１…搬送システム、２…搬入機構、３…第１ロボット、４…アライメントカメラ、５Ａ…第１ステージ、５Ｂ…第２ステージ、６Ａ…第１移動機構、６Ｂ…第２移動機構、７…搬送機構、８…第２ロボット、９…仮置き部、１０…ＩＤリーダ、１５…処理部、１５Ａ…第１処理部、１５Ｂ…第２処理部、２１…ステージ、３１…保持部、３２…アーム本体部、３５…第１アーム部、３６…第２アーム部、３７…駆動部、３８…アライメント軸部、４１…第１カメラ、４２…第２カメラ、５３…位置調整部、５４…搬送部、５８…位置調整部、５９…搬送部、６２…アーム部、６３…吸着部、６４…駆動部、６７…アーム部、６８…吸着部、６９…駆動部、７１…ベースプレート、８１…吸着部、８２…位置調整部、８３…駆動部、１００…表示パネル、１００Ａ…第１表示パネル、１００Ｂ…第２表示パネル、１０１、１０１Ａ、１０１Ｂ…第１角部、１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ…第２角部、３１１…第１保持プレート、３１２…第２保持プレート、Ｍ１、Ｍ２…モータ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】