特許 7522930 部品移載装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-17

(45)【発行日】2024-07-25

(54)【発明の名称】部品移載装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20240718BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 Z

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2023521984

(86)(22)【出願日】2021-05-17

(86)【国際出願番号】 JP2021018533

(87)【国際公開番号】W WO2022244034

(87)【国際公開日】2022-11-24

【審査請求日】2023-07-14

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100115381

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 昌崇

(74)【代理人】

【識別番号】100127797

【弁理士】

【氏名又は名称】平田 晴洋

(72)【発明者】

【氏名】春日 大介

【審査官】内田 茉李

(56)【参考文献】

【文献】特開２００３－１８８１９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０６４０４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－０５３２７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２７８１８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２３８８７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０５９９５５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数個の部品が配置された部品配置エリアを有する部品供給部と、
前記部品配置エリアと所定の部品移載部との間の上方空間を第１移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記部品配置エリアにおいて前記部品をピッキングし、前記部品移載部へ前記部品を移動する部品移載ユニットと、
前記部品配置エリアと所定の待機位置との間の上方空間を第２移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記部品配置エリアにおいて前記部品を撮像するカメラユニットと、
前記部品移載ユニットの前記第１移動軸に沿った移動、及び前記カメラユニットの前記第２移動軸に沿った移動を制御する移動制御部と、を備え、
前記移動制御部は、
前記部品配置エリアの上方空間において前記部品移載ユニットと前記カメラユニットとが並存した場合に両者が干渉する干渉エリア内に、前記部品移載ユニット及び前記カメラユニットのいずれか一方ユニットを基準として、他方ユニットの進入可能範囲を定める干渉リミットラインを設定し、
前記他方ユニットの移動範囲を、前記干渉リミットラインを超過しない範囲に規制する、部品移載装置において、
前記移動制御部は、
前記一方ユニットの前記干渉エリアからの退避移動と、他方ユニットの前記干渉エリアへの進入移動とを、互いに重複する期間内に実行するものであって、
前記第１移動軸に沿って移動する部品移載ユニットと、前記第２移動軸に沿って移動するカメラユニットとが互いに干渉しないよう、前記退避移動及び前記進入移動の各々の加速度及び移動速度を設定し、
前記一方ユニットの前記退避移動について所定の第１加速度及び第１移動速度を設定した場合に、前記一方ユニット及び前記他方ユニットの現在位置情報及び移動目標位置情報を取得し、
前記現在位置情報及び前記移動目標位置情報に基づいて、前記進入移動として、前記他方ユニットが前記第１加速度及び前記第１移動速度で移動する前記一方ユニットに対して干渉はしないが最接近する範囲における、最速の加速度及び移動速度となる第２加速度及び第２移動速度を設定する、部品移載装置。

【請求項2】

請求項１に記載の部品移載装置において、
前記カメラユニットは、前記部品配置エリアにおける前記部品の撮像が完了すると前記待機位置に移動する、部品移載装置。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の部品移載装置において、
前記移動制御部は、前記一方ユニットが前記干渉エリア内において所要の動作を実行している間、前記他方ユニットを前記干渉リミットライン又はその近傍まで移動させて待機状態とする、部品移載装置。

【請求項4】

請求項１から３のいずれか一項に記載の部品移載装置において、
前記移動制御部は、前記一方ユニットの前記干渉エリアからの退避移動において、前記一方ユニットが前記干渉リミットライン若しくは前記干渉エリアから脱出するまでの区間では所定の高速の退避移動速度に設定し、前記干渉リミットライン若しくは前記干渉エリアから脱出した後の区間では、前記高速よりも低速の退避移動速度に設定する、部品移載装置。

【請求項5】

請求項３に記載の部品移載装置において、
前記移動制御部は、
前記一方ユニットが前記干渉エリア内の第１位置で所要の動作を実行するに際して、前記他方ユニットとの干渉を回避する第１干渉リミットラインを設定し、
続いて前記一方ユニットが前記干渉エリア内の前記第１位置とは異なる第２位置で所要の動作を実行するに際して、前記第１干渉リミットラインとは異なる位置に第２干渉リミットラインを設定し、前記他方ユニットを前記第２干渉リミットライン又はその近傍まで移動させて待機状態とする、部品移載装置。

【請求項6】

請求項１～５のいずれか１項に記載の部品移載装置において、
前記部品配置エリアは、ダイシングされたウェハが配置されるエリアであって、前記部品はダイである、部品移載装置。

【請求項7】

請求項６に記載の部品移載装置において、
前記部品移載ユニットは、前記ダイを吸着するヘッドを有するヘッドユニットであり、
前記カメラユニットは、前記ウェハを撮像するウェハカメラであり、
前記部品移載部は、前記ダイが実装される基板が配置される基板配置部である、部品移載装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、部品配置エリアから部品をピッキングする部品移載ユニットと、前記部品エリアにおいて部品を撮像するカメラユニットとを備えた部品移載装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ダイシングされたウェハからダイ（ベアチップ）をピックアップして基板に実装する部品実装装置が知られている。この部品実装装置では、ウェハ供給機によって機内の所定位置（部品配置エリア）に搬入されたウェハを、ウェハカメラが撮像してウェハ認識を行い、次いでダイの保持機能を備えたヘッドでダイをピッキングするという動作が繰り返される。つまり、前記ウェハカメラと前記ヘッドとが、共に機内へ搬入されたウェハの上空で各々所要の動作を行う。従って、前記ウェハカメラを有するカメラユニットと、前記ヘッドを有するヘッドユニットとの干渉が問題となる。

【0003】

特許文献１には、互いの移動領域が重複する２つの部品実装ヘッドを備え、これら部品実装ヘッド同士の干渉を回避できる部品実装装置が開示されている。この部品実装装置では、両ヘッドが干渉する干渉エリアに向けて、一方のヘッドが進入移動を開始する際に、他方のヘッドが干渉エリア内に存在するときは、前記一方のヘッドの前記進入移動を停止させる。

【0004】

しかし、上述のカメラユニット及びヘッドユニットのように、役目の異なるユニットについての干渉防止のために特許文献１の技術を適用した場合、タクトロスが大きくなる。すなわち、前記カメラユニット及び前記ヘッドユニットのいずれか一方ユニットが干渉エリア内に存在する間、他方ユニットを前記干渉エリア外で待機させる制御を行うと、他方ユニットの待機時間がネックになって、部品撮像から部品ピッキングに至る作業サイクルを高速化できない。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特許第４１６６２６３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の目的は、部品配置エリアから部品をピッキングする部品移載ユニットと、前記部品エリアにおいて部品を撮像するカメラユニットとを備えた部品移載装置において、タクトロスを低減することにある。

【0007】

本発明の一局面に係る部品移載装置は、複数個の部品が配置された部品配置エリアを有する部品供給部と、前記部品配置エリアと所定の部品移載部との間の上方空間を第１移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記部品配置エリアにおいて前記部品をピッキングし、前記部品移載部へ前記部品を移動する部品移載ユニットと、前記部品配置エリアと所定の待機位置との間の上方空間を第２移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記部品配置エリアにおいて前記部品を撮像するカメラユニットと、前記部品移載ユニットの前記第１移動軸に沿った移動、及び前記カメラユニットの前記第２移動軸に沿った移動を制御する移動制御部と、を備え、前記移動制御部は、前記部品配置エリアの上方空間において前記部品移載ユニットと前記カメラユニットとが並存した場合に両者が干渉する干渉エリア内に、前記部品移載ユニット及び前記カメラユニットのいずれか一方ユニットを基準として、他方ユニットの進入可能範囲を定める干渉リミットラインを設定し、前記他方ユニットの移動範囲を、前記干渉リミットラインを超過しない範囲に規制する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、本発明の実施形態に係る部品実装装置の全体構成を示す、上面視の平面図である。

【図2】図２は、ヘッドユニット及び突き上げユニットを示す概略斜視図である。

【図3】図３は、前記部品実装装置の制御構成を示すブロック図である。

【図4】図４は、ヘッドユニットとカメラユニットとの干渉エリアを示す図である。

【図5】図５（Ａ）～（Ｅ）は、ウェハカメラによるウェハの撮像から、ヘッドユニットによるダイのピッキング及び実装までの一連の工程を示す模式図である。

【図6】図６（Ａ）～（Ｄ）は、ヘッドユニット及びカメラユニットの動作を示す模式図である。

【図7】図７（Ａ）～（Ｄ）は、ヘッドユニット及びカメラユニットの動作を示す模式図である。

【図8】図８（Ａ）～（Ｄ）は、ヘッドユニット及びカメラユニットの動作を示す模式図である。

【図9】図９は、部品実装装置による部品実装処理のフローチャートである。

【図10】図１０は、部品実装装置による部品実装処理のフローチャートである。

【図11】図１１（Ａ）～（Ｃ）は、第１実施形態におけるヘッドユニット及びカメラユニットの移動制御を示す図である。

【図12】図１２は、第２実施形態におけるヘッドユニット及びカメラユニットの移動制御を示すグラフである。

【図13】図１３（Ａ）～（Ｃ）は、第２実施形態におけるヘッドユニット及びカメラユニットの移動速度設定を説明するための図である。

【図14】図１４は、第３実施形態におけるヘッドユニット及びカメラユニットの移動制御を示すグラフである。

【図15】図１５（Ａ）～（Ｄ）は、第４実施形態におけるヘッドユニット及びカメラユニットの移動制御を説明するための模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明する。本発明に係る部品移載装置は、例えばウェハからダイシングされたダイをテープに収容するテーピング装置、前記ダイを基板にワイヤボンディングするダイボンダ、或いは前記ダイを基板に実装する部品実装装置などの各種装置に適用することができる。ここでは、本発明の部品移載装置が、部品実装装置に適用される例について説明する。

【0010】

［部品実装装置の説明］
図１は、本発明の実施形態に係る部品実装装置１の全体構成を示す、上面視の平面図である。部品実装装置１は、ウェハ７からダイシングされたダイ７ａ（部品）を基板Ｐに実装する装置である。部品実装装置１は、基台２、コンベア３、ヘッドユニット４（部品移載ユニット）、部品供給部５（部品配置エリア）、ウェハ供給装置６、カメラユニット３２Ｕ及び突き上げユニット４０を含む。図２は、ヘッドユニット４と、図１では表出しない突き上げユニット４０とを示す概略斜視図である。

【0011】

基台２は、部品実装装置１が備える各種の機器の搭載ベースである。コンベア３は、基台２上にＸ方向に延びるように設置された、基板Ｐの搬送ラインである。コンベア３は、機外から所定の実装作業位置（所定の部品移載部／基板配置部）に基板Ｐを搬入し、実装作業後に基板Ｐを前記作業位置から機外へ搬出する。コンベア３は、基板Ｐを上記実装作業位置で保持する図略のクランプ機構を有する。なお、図１中に基板Ｐが示されている位置が、前記実装作業位置である。部品供給部５は、複数個のダイ７ａを、ウェハ７からダイシングされた配置状態で供給する。

【0012】

ヘッドユニット４は、部品供給部５においてダイ７ａをピッキングし、上記実装作業位置へ移動すると共に、基板Ｐにダイ７ａを実装する。ヘッドユニット４は、前記ピッキングの際にダイ７ａを吸着して保持し、前記実装の際に保持しているダイ７ａをリリースする複数のヘッド４Ｈを備える。ヘッド４Ｈは、ヘッドユニット４に対するＺ方向への進退（昇降）移動と、軸回りの回転移動とが可能である。ヘッドユニット４には、基板Ｐを撮像する基板認識カメラ３１が搭載されている。基板認識カメラ３１の撮影画像より、基板Ｐに付されたフェデューシャルマークＦｉｄ（図６）が認識される。これにより基板Ｐの位置ずれが認識され、部品実装時に前記位置ずれの補正が為される。

【0013】

部品実装装置１は、ヘッドユニット４を、少なくとも部品供給部５と前記実装作業位置で保持された基板Ｐとの間の上方空間を、水平方向（Ｘ及びＹ方向）に移動可能とする第１駆動機構Ｄ１を備える。第１駆動機構Ｄ１は、ヘッドユニット４のＹ方向の移動機構として、それぞれ＋Ｘ側及び－Ｘ側で一対のＹ軸固定レール１３、第１Ｙ軸サーボモータ１４及びボールねじ軸１５（第１移動軸の一つ）を備える。一対のＹ軸固定レール１３は、基台２上に固定され、Ｘ方向に所定間隔を隔てて互いに平行にＹ方向に延びている。ボールねじ軸１５は、Ｙ軸固定レール１３に近接する位置においてＹ方向に延びるように配置されている。第１Ｙ軸サーボモータ１４は、ボールねじ軸１５を回転駆動する。一対のＹ軸固定レール１３間には、ヘッドユニット４を支持する支持フレーム１６が架設されている。支持フレーム１６の＋Ｘ側端部及び－Ｘ側端部には、各ボールねじ軸１５に螺合されるナット１７が組付けられている。

【0014】

第１駆動機構Ｄ１は、ヘッドユニット４のＸ方向の移動機構として、支持フレーム１６に搭載された図略のガイド部材、第１Ｘ軸サーボモータ１８及びボールねじ軸１９（第１移動軸の一つ）を備える。前記ガイド部材は、ヘッドユニット４のＸ方向の移動をガイドする部材であり、支持フレーム１６の＋Ｙ側面においてＸ方向に延びるように固定されている。ボールねじ軸１９は、前記ガイド部材に近接して、Ｘ方向に延在するよう配設されている。第１Ｘ軸サーボモータ１８は、ボールねじ軸１９を回転駆動する。ヘッドユニット４には図略のナットが付設され、当該ナットはボールねじ軸１９に螺合されている。

【0015】

以上の構成を備える第１駆動機構Ｄ１によれば、第１Ｙ軸サーボモータ１４が作動してボールねじ軸１５が回転駆動されることにより、ヘッドユニット４が支持フレーム１６と一体にＹ方向に移動する。また、第１Ｘ軸サーボモータ１８が作動してボールねじ軸１９が回転駆動されることにより、ヘッドユニット４が支持フレーム１６に対してＸ方向に移動する。

【0016】

部品供給部５は、複数個のダイ７ａをウェハ７の形態で、所定の部品取出作業位置（ウェハステージ１０）へ供給するウェハ供給装置６を備える。ウェハ７は、円盤形状の半導体ウェハであって、回路パターン等が既に形成されている。ウェハ供給装置６は、ウェハシート８ａを保持するウェハ保持枠８を含む。ウェハシート８ａには、ウェハ７を碁盤目状にダイシングされて形成された多数のダイ７ａ，７ａ…の集合体が貼着されている。ウェハ供給装置６は、ウェハ保持枠８を入れ替える態様で、ダイ７ａを前記部品取出作業位置へ供給する。なお、部品供給部５は、ウェハ供給装置６に加えて、電子部品を収容した部品収容テープの形態で部品供給するテープフィーダを備えていても良い。

【0017】

ウェハ供給装置６は、ウェハ収納エレベータ９、ウェハステージ１０及びウェハコンベア１１を含む。ウェハ収納エレベータ９は、ウェハ７が貼着されたウェハシート８ａをウェハ保持枠８に保持した状態で、上下多段に収納している。ウェハステージ１０は、ウェハ収納エレベータ９の－Ｙ側の位置において、基台２上に設置されている。基板Ｐの停止位置となる前記実装作業位置に対して、ウェハステージ１０は＋Ｙ側に並ぶ位置に配置されている。本実施形態では、ダイシングされたウェハ７が基台２上で配置されるエリアとなるウェハステージ１０８が、部品配置エリアとなる。ウェハコンベア１１は、ウェハ収納エレベータ９からウェハステージ１０上にウェハ保持枠８を引き出す。

【0018】

カメラユニット３２Ｕは、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能なユニットであって、ウェハカメラ３２を備えている。ウェハカメラ３２は、ウェハステージ１０上に位置決めされたウェハ７の一部分、つまりカメラ視野内のダイ７ａを撮像する。この撮像画像に基づいて、ピックアップ対象のダイ７ａの位置認識が為される。部品実装装置１は、カメラユニット３２Ｕを、少なくとも部品供給部５と所定の待機位置との間の上方空間を、水平方向（Ｘ及びＹ方向）に移動可能とする第２駆動機構Ｄ２を備える。この第２駆動機構Ｄ２は、ヘッドユニット４を駆動する第１駆動機構Ｄ１とは別個に独立した駆動系である。なお、本実施形態では、前記待機位置は、ウェハステージ１０から＋Ｙ側に離間した位置である。

【0019】

第２駆動機構Ｄ２は、カメラユニット３２ＵのＹ方向の移動機構として、＋Ｘ側及び－Ｘ側で一対のＹ軸固定レール３３と、＋Ｘ側に配置された第２Ｙ軸サーボモータ３４及びボールねじ軸３５（第２移動軸の一つ）とを備える。一対のＹ軸固定レール３３は、基台２上に固定され、Ｘ方向に所定間隔を隔てて互いに平行にＹ方向に延びている。ボールねじ軸３５は、＋Ｘ側のＹ軸固定レール３３に近接する位置においてＹ方向に延びるように配置されている。第２Ｙ軸サーボモータ３４は、ボールねじ軸３５を回転駆動する。一対のＹ軸固定レール３３間には、カメラユニット３２Ｕを支持する支持フレーム３６が架設されている。支持フレーム３６の＋Ｘ側端部には、ボールねじ軸３５に螺合されるナット３７が組付けられている。

【0020】

第２駆動機構Ｄ２は、カメラユニット３２ＵのＸ方向の移動機構として、支持フレーム３６に搭載された図略のガイド部材、第２Ｘ軸サーボモータ３８及びボールねじ軸３９（第２移動軸の一つ）を備える。前記ガイド部材は、カメラユニット３２ＵのＸ方向の移動をガイドする部材であり、支持フレーム３６の－Ｙ側面においてＸ方向に延びるように固定されている。ボールねじ軸３９は、前記ガイド部材に近接して、Ｘ方向に延在するよう配設されている。第２Ｘ軸サーボモータ３８は、ボールねじ軸３９を回転駆動する。カメラユニット３２Ｕには図略のナットが付設され、当該ナットはボールねじ軸３９に螺合されている。

【0021】

以上の構成を備える第２駆動機構Ｄ２によれば、第２Ｙ軸サーボモータ３４が作動してボールねじ軸３５が回転駆動されることにより、カメラユニット３２Ｕが支持フレーム３６と一体にＹ方向に移動する。また、第２Ｘ軸サーボモータ３８が作動してボールねじ軸３９が回転駆動されることにより、カメラユニット３２Ｕが支持フレーム３６に対してＸ方向に移動する。

【0022】

なお、第２駆動機構Ｄ２における駆動源の第２Ｘ軸、Ｙ軸サーボモータ３４、３８は、第１駆動機構Ｄ１の駆動源である第１Ｘ軸、Ｙ軸サーボモータ１４、１８とはモータスペックが異なる。ヘッドユニット４よりもカメラユニット３２Ｕの方が軽量であるため、第１Ｘ軸、Ｙ軸サーボモータ１４、１８の方が高出力である。このため、カメラユニット３２Ｕよりもヘッドユニット４の方が、加速度が高く、最高移動速度も速い。従って、両ユニットを同時に移動させる場合には、これらの干渉を回避するための速度制御が必要となる場合が生じる。この点については、後記で詳述する。

【0023】

突き上げユニット４０は、部品供給部５の下方に配置され、ヘッド４Ｈが吸着すべきダイ７ａを、ウェハシート８ａの下面側から突き上げる。突き上げユニット４０は、ウェハステージ１０に対応する程度の範囲にわたってＸＹ方向に移動可能に、基台２上に配置されている。突き上げユニット４０は、Ｙ方向に延びる一対のガイドレール４１に沿って移動可能な支持フレーム４２に、Ｘ方向に移動可能に支持されている。

【0024】

支持フレーム４２の内部に設けられた図略のナット部分に螺合するボールねじ軸４３が、第３Ｙ軸サーボモータ４４により回転駆動される。これにより、突き上げユニット４０が支持フレーム４２と一体にＹ方向に移動する。また、支持フレーム４２には、突き上げユニット４０の内部に設けられた図略のナット部分と螺合するボールねじ軸４５が配設されている。ボールねじ軸４５が第３Ｘ軸サーボモータ４６により回転駆動されることで、突き上げユニット４０がＸ軸方向に移動する。突き上げユニット４０は、ダイ７ａを突き上げる突き上げピン４７を有する。ヘッド４Ｈによるダイ７ａの吸着時に、突き上げピン４７が上昇し、ウェハシート８ａを通してダイ７ａを突き上げる。突き上げピン４７は、ピン昇降モータ４８（図３）によって昇降駆動される。

【0025】

基台２には、部品認識カメラ３０が据え付けられている。部品認識カメラ３０は、ヘッドユニット４のヘッド４Ｈに吸着されているダイ７ａを、基板Ｐへの実装の前に下側から撮像する。この撮像画像に基づいて、ヘッド４Ｈによるダイ７ａの吸着異常や吸着ミス等が判定される。

【0026】

［部品実装装置の制御構成］
図３は、部品実装装置１の制御構成を示すブロック図である。部品実装装置１は、当該部品実装装置１の各部の動作を統括的に制御する制御部２０を備える。制御部２０には、ヘッドユニット４、カメラユニット３２Ｕ及び突き上げユニット４０が備える各機器と、ウェハ供給装置６及び部品認識カメラ３０とが電気的に接続されている。制御部２０は、予め定められたプログラムが実行されることで、機能的に全体制御部２１、軸制御部２２（移動制御部）、撮像制御部２３、画像処理部２４及び記憶部２５を具備するように動作する。

【0027】

全体制御部２１は、制御部２０が備える各機能部の動作を統括的に制御すると共に、各種の演算処理を実行する。軸制御部２２は、各ユニットが備えるサーボモータを駆動するドライバであり、全体制御部２１からの指示に従って各駆動モータを動作させる。具体的には軸制御部２２は、ヘッドユニット４に関し、第１Ｙ軸サーボモータ１４及び第１Ｘ軸サーボモータ１８の駆動を制御することにより、ボールねじ軸１５、１９（第１移動軸）に沿ったヘッドユニット４のＸＹ方向の移動を制御する。また、軸制御部２２は、Ｚ軸サーボモータ４０１の駆動を制御してヘッド４ＨのＺ方向の移動（昇降移動）を制御すると共に、Ｒ軸サーボモータ４０２の駆動を制御してヘッド４Ｈの自軸回りの回転移動を制御する。

【0028】

軸制御部２２は、カメラユニット３２Ｕに関し、第２Ｙ軸サーボモータ３４及び第２Ｘ軸サーボモータ３８の駆動を制御することにより、ボールねじ軸３５、３９（第２移動軸）に沿ったカメラユニット３２ＵのＸＹ方向の移動を制御する。また、軸制御部２２は、突き上げユニット４０に関し、第３Ｙ軸サーボモータ４４及び第３Ｘ軸サーボモータ４６の駆動を制御することにより、ボールねじ軸４３、４５に沿った突き上げユニット４０のＸＹ方向の移動を制御する。また、軸制御部２２は、ピン昇降モータ４８の駆動を制御することにより、突き上げピン４７の昇降移動を制御する。

【0029】

撮像制御部２３は、部品認識カメラ３０、基板認識カメラ３１及びウェハカメラ３２の撮像動作を制御する。具体的には撮像制御部２３は、部品認識カメラ３０の動作を制御して、ヘッド４Ｈに吸着されたダイ７ａ又は他の部品を撮像させる。また、撮像制御部２３は、基板認識カメラ３１の動作を制御して、基板ＰのフェデューシャルマークＦｉｄを撮像させる。さらに、撮像制御部２３は、ウェハカメラ３２の動作を制御して、ウェハステージ１０内のダイ７ａを撮像させる。

【0030】

画像処理部２４は、部品認識カメラ３０、基板認識カメラ３１及びウェハカメラ３２から入力される画像データに対しエッジ抽出処理等を含む各種の画像処理を施す。画像処理後の画像データに基づき、ダイ７ａのヘッド４Ｈへの吸着姿勢の認識、基板Ｐの位置認識、ウェハステージ１０において吸着すべきダイ７ａの位置認識等の処理が実行される。

【0031】

記憶部２５は、実装プログラムなどの各種プログラムや各種データを記憶する。本実施形態では、記憶部２５は、後述する干渉エリアＣＡの位置情報や干渉リミットラインＣＬの設定に関する情報、ヘッドユニット４及びカメラユニット３２Ｕの加速度や移動速度に関する情報を記憶する。

【0032】

［装置内レイアウトと基本動作］
次に、部品実装装置１におけるヘッドユニット４及びカメラユニット３２Ｕのレイアウトと、当該部品実装装置１の基本動作について説明する。図４は、図１に示した部品実装装置１の上面図に、ヘッドユニット４及びカメラユニット３２Ｕの移動範囲を付記した図である。ヘッドユニット４は、各々ＸＹ方向に延びるボールねじ軸１５、１９の架設範囲に対応した、ヘッドユニット移動エリアＡ１を有している。同様に、カメラユニット３２Ｕは、各々ＸＹ方向に延びるボールねじ軸３５、３９の架設範囲に対応したウェハカメラ移動エリアＡ２を有している。

【0033】

ヘッドユニット移動エリアＡ１は、Ｙ方向において、部品供給部５（ウェハステージ１０）の上方空間から、コンベア３上を通って部品認識カメラ３０の上方空間に至るサイズを有している。これは、ヘッドユニット４が、ウェハステージ１０上のウェハ７からダイ７ａをピッキングし、部品認識カメラ３０で部品認識を行った後、コンベア３上の基板Ｐにダイ７ａを実装する動作を行うことによる。ウェハカメラ移動エリアＡ２は、Ｙ方向において、部品供給部５の上方空間から、＋Ｙ側のウェハ収納エレベータ９の手前の上方空間に至るサイズを有している。これは、ウェハカメラ３２が、ウェハステージ１０上のウェハ７の撮像動作と、ウェハステージ１０上から＋Ｙ側への退避動作とを行うことによる。なお、図示は省くが、ヘッドユニット移動エリアＡ１とウェハカメラ移動エリアＡ２とは、Ｚ方向に互いに重なる高さ位置にある。

【0034】

このように、ヘッドユニット４及びカメラユニット３２Ｕは、共にウェハステージ１０上のウェハ７に対して作業を行うので、ヘッドユニット移動エリアＡ１とウェハカメラ移動エリアＡ２とは、ウェハステージ１０の上方空間において重なり合う。図４には、両エリアＡ１、Ａ２が重なり合う干渉エリアＣＡが示されている。干渉エリアＣＡは、ヘッドユニット４とカメラユニット３２Ｕとが並存した場合に、両者に干渉が生じるエリアである。従って、干渉エリアＣＡにおいて衝突が生じないよう、ヘッドユニット４及びカメラユニット３２Ｕの移動を制御する必要がある。

【0035】

図５（Ａ）～（Ｅ）は、ウェハカメラ３２によるウェハ７の撮像から、ヘッドユニット４によるダイ７ａのピッキング及び実装までの基本動作を示す模式図である。各図には、ヘッドユニット４及びウェハカメラ３２（カメラユニット３２Ｕ）、ウェハ７、基板Ｐ及び干渉エリアＣＡが簡略的に示されている。図５（Ａ）は、ヘッドユニット４が、図４に示すヘッドユニット移動エリアＡ１の最も－Ｙ側に位置し、ウェハカメラ３２が、ウェハカメラ移動エリアＡ２の最も＋Ｙ側に位置している状態を示している。

【0036】

図５（Ｂ）は、ウェハカメラ３２が干渉エリアＣＡ内でウェハ７の撮像を行い、ヘッドユニット４のヘッド４Ｈが基板Ｐにダイ７ａの実装動作を行っている状態を示している。ここでのウェハカメラ３２の撮像は、次回のピッキング動作でヘッド４Ｈが吸着するダイ７ａ群の認識のための撮像である。一方、ここでのヘッド４Ｈによる実装動作は、今回のピッキング動作で吸着したダイ７ａを基板Ｐに実装するための動作である。

【0037】

図５（Ｃ）は、ウェハカメラ３２が干渉エリアＣＡから退出する退避移動を行う一方、ヘッドユニット４が干渉エリアＣＡへ入る進入移動を行っている状態を示している。ヘッドユニット４の進入移動は、直前にウェハカメラ３２による撮像で認識したダイ７ａ群を、ウェハ７からピッキングするための移動である。ウェハカメラ３２の退避移動は、ヘッドユニット４との干渉を回避するための移動である。図５（Ｃ）は、ヘッド４Ｈがダイ７ａをピッキングしている状態である。

【0038】

図５（Ｄ）は、ヘッドユニット４が干渉エリアＣＡから退避移動を行う一方、ウェハカメラ３２が干渉エリアＣＡへ進入移動を行っている状態を示している。ヘッドユニット４の退避移動は、図５（Ｃ）のピッキング動作で吸着したダイ７ａ群を基板Ｐに実装するための動作である。ウェハカメラ３２の進入移動は、次回のピッキング動作でヘッド４Ｈが吸着するダイ７ａ群を撮像するための移動である。

【0039】

以上の通り、ダイ７ａの認識～ピッキング～実装のサイクルが、干渉エリアＣＡにヘッドユニット４とウェハカメラ３２とが順次入れ替わるようにして実行される。ヘッドユニット４とウェハカメラ３２との干渉を確実に回避するには、いずれか一方ユニットが干渉エリアＣＡに存在している限り、他方ユニットを干渉エリアＣＡに進入させない制御を行えば良い。しかし、このような制御を行うと、他方ユニットの待機時間がネックになってタクトロスが生じ、前記サイクルを高速化できない。

【0040】

この問題に鑑み本実施形態では、干渉エリアＣＡ内に、ヘッドユニット４とカメラユニット３２Ｕのいずれか一方ユニットを基準として、他方ユニットの進入可能範囲を定める干渉リミットラインＣＬを設定する。そして、前記他方ユニットの移動範囲を、干渉エリアＣＡへの進入禁止ではなく、干渉リミットラインＣＬを超過しない範囲に規制することで、タクトロスを低減する。以下、干渉リミットラインＣＬを設定する実装動作例を説明する。

【0041】

［干渉リミットラインを設定する実装動作］
図６（Ａ）～図８（Ｄ）は、干渉リミットラインＣＬを設定する実装動作における、ヘッドユニット４及びカメラユニット３２Ｕの動作を示す模式図である。これらの図では、カメラユニット３２Ｕ（ウェハカメラ３２）を基準として設定される干渉リミットラインＣＬを「ＣＬ１」、ヘッドユニット４を基準として設定される干渉リミットラインＣＬを「ＣＬ２」として記載している。詳しくは「ＣＬ２」は、ヘッドユニット４が今回分のダイ７ａの実装を行う際に、当該ダイ実装により、若しくは、当該ダイ実装に関して最も＋Ｙ側に移動する位置である。干渉リミットラインＣＬ１、ＣＬ２は、両ユニットの動作状態に応じて、軸制御部２２が適宜設定する。

【0042】

図６（Ａ）は、ウェハカメラ３２（一方ユニット）が初回のダイ認識のため、干渉エリアＣＡに進入してウェハ７の撮像を行っている状態を示している。このダイ認識では、ヘッドユニット４による初回のピッキング動作で吸着される予定のダイ７ａの群の位置認識が行われる。ヘッドユニット４（他方ユニット）は、干渉エリアＣＡから離れ、最も－Ｙ側の位置で待機している。この状態では、ウェハカメラ３２が作業を行うので、ウェハカメラ３２を基準として干渉エリアＣＡに干渉リミットラインＣＬ１が設定される。

【0043】

干渉リミットラインＣＬ１は、ウェハカメラ３２が今回のダイ認識の撮像を行う際に、最も－Ｙ側に移動する位置を参照して設定される。この場合、ヘッドユニット４の移動範囲は、干渉リミットラインＣＬ１を超過しない範囲に規制される。換言すると、ヘッドユニット４は、干渉リミットラインＣＬ１よりも－Ｙ側であれば自在に移動可能であり、干渉エリアＣＡ内へも進入可能である。例えば、ダイ認識の間に、ヘッドユニット４に搭載されている基板認識カメラ３１に、基板ＰのフェデューシャルマークＦｉｄを認識する撮像動作を行わせても良い。

【0044】

図６（Ｂ）は、ウェハカメラ３２がダイ認識の撮像を行っている間に、ヘッドユニット４が初回のピッキング動作に備えて、干渉リミットラインＣＬ１へ接近している様子を示している。ヘッドユニット４の一部は、干渉エリアＣＡ内へ進入している。

【0045】

図６（Ｃ）は、ウェハカメラ３２がダイ認識を終えて干渉エリアＣＡから＋Ｙ側へ退避移動する一方で、ヘッドユニット４が干渉エリアＣＡへ進入移動している様子を示している。ヘッドユニット４は、前記ダイ認識によって特定されたダイ７ａのＸＹ座標を目指して移動される。ヘッドユニット４は既に干渉リミットラインＣＬ１まで接近しているので、目標座標への移動時間は短くなる。また、両ユニットを同期的に移動させれば、よりタクトロスが低減できる。移動後、初回のピッキング動作で対象とされたダイ７ａがヘッド４Ｈに吸着される。ウェハカメラ３２は、ヘッドユニット４の作業が完了するまで待機する。

【0046】

図６（Ｄ）は、ヘッドユニット４がピッキング動作を終えて干渉エリアＣＡから－Ｙ側へ退避移動する一方で、ウェハカメラ３２が次回のダイ認識のために干渉エリアＣＡへ進入移動している様子を示している。この際、ヘッドユニット４を基準として干渉リミットラインＣＬ２が設定される。この両ユニットの移動も同期的に行わせることが望ましい。ウェハカメラ３２は、干渉エリアＣＡへ進入できるものの、干渉リミットラインＣＬ２よりも－Ｙ側の干渉エリアＣＡへは進入できない状態となる。ヘッドユニット４は、ピッキング動作によりヘッド４Ｈが保持したダイ７ａを基板Ｐに搬送している状態である。

【0047】

図７（Ａ）は、ウェハカメラ３２が撮像動作を、ヘッドユニット４が実装動作を、それぞれ行っている状態を示している。すなわち、ウェハカメラ３２は、次回のダイ認識のため、干渉エリアＣＡに進入してウェハ７の撮像を行う。ヘッドユニット４は、ヘッド４Ｈが今回吸着したダイ７ａの基板Ｐへの実装動作を行う。ここでは、次回のダイ認識の撮像、つまり次回のピッキング動作で吸着される予定のダイ７ａの群の位置に、ウェハカメラ３２が干渉リミットラインＣＬ２を超過することなく移動できる場合を例示している。

【0048】

図７（Ｂ）は、ウェハカメラ３２の上記撮像動作が終わり、干渉エリアＣＡからウェハカメラ３２が退避移動している状態である。ヘッドユニット４は実装動作を継続している。一般に、ウェハカメラ３２の撮像動作の方がヘッドユニット４の実装動作よりも作業時間が短いので、ウェハカメラ３２の干渉エリアＣＡからの先行退出が可能である。

【0049】

図７（Ｃ）は、ヘッドユニット４が、基板Ｐへの実装動作を終えて、次回のピッキング動作のために干渉エリアＣＡへ進入移動を行っている状態を示している。進入移動後、ヘッドユニット４のヘッド４Ｈは、ウェハ７から先のダイ認識で認識されたダイ７ａの群を吸着する。ウェハカメラ３２は待機状態である。なお、図７（Ｂ）のウェハカメラ３２が退避移動を、ヘッドユニット４の進入移動と同時期に行わせても良い。

【0050】

図７（Ｄ）は、ヘッドユニット４がピッキング動作を終えて、干渉エリアＣＡから退避移動を行う一方、ウェハカメラ３２が干渉エリアＣＡへ進入移動を行っている状態を示している。この際も、ヘッドユニット４を基準として干渉リミットラインＣＬ２が設定され、ウェハカメラ３２は干渉リミットラインＣＬ２を－Ｙ側へ超過しない範囲において、干渉エリアＣＡへ進入可能となる。ヘッドユニット４は、退避移動によって基板Ｐの上空へ移動し、ヘッド４Ｈは吸着したダイ７ａを基板Ｐに実装する。ウェハカメラ３２は、進入移動後、次回にピッキングされるダイ７ａの認識のため、ウェハ７の撮像を行う。

【0051】

図８（Ａ）及び（Ｂ）は、図７（Ｂ）とは逆に、ヘッドユニット４の実装動作の方がウェハカメラ３２の撮像動作よりも先に終了した場合の動作を示している。図８（Ａ）は、図７（Ａ）と同様に、ウェハカメラ３２が撮像動作を、ヘッドユニット４が実装動作を、それぞれ行っている状態を示している。ヘッドユニット４の実装動作が先に完了した場合、図８（Ｂ）に示すように、ウェハカメラ３２（カメラユニット３２Ｕ）を基準として干渉リミットラインＣＬ１が設定される。ヘッドユニット４は、ウェハカメラ３２が撮像動作を行っている間に、初回のピッキング動作に備えて、干渉リミットラインＣＬ１へ接近する。この状態は、図６（Ｂ）と同じである。

【0052】

図８（Ｃ）は、ヘッドユニット４が追加退避移動を、ウェハカメラ３２が干渉エリアＣＡへの追加進入移動を、それぞれ行っている状態を示している。ウェハカメラ３２の追加進入移動は、次回のダイ認識の撮像動作を、干渉リミットラインＣＬ２を超過しないと行えない場合に実行される。すなわち、次回のピッキング動作で吸着される予定のダイ７ａの位置（第２位置）が、ウェハカメラ３２が干渉リミットラインＣＬ２を－Ｙ側に超過するまで移動しないと撮像できない位置の場合に、前記追加進入移動が実行される。

【0053】

この場合、図８（Ａ）ではヘッドユニット４（他方ユニット）を基準として設定されている干渉リミットラインＣＬ２（第１干渉リミットライン）が、図８（Ｃ）に示すように、ウェハカメラ３２（一方ユニット）を基準とした干渉リミットラインＣＬ１（第２干渉リミットライン）に更新される。その後、ウェハカメラ３２は、所要の撮像動作を行う。ヘッドユニット４は、干渉リミットラインＣＬ１を＋Ｙ側へ超過しない範囲で、実装動作を行う、若しくは待機する。なお、ヘッドユニット４が干渉リミットラインＣＬ１を超過しない範囲にあれば、前記追加退避移動は行われない。ウェハカメラ３２の撮像動作が完了したら、図８（Ｄ）に示すように、ウェハカメラ３２は干渉エリアＣＡから退避移動する一方で、ヘッドユニット４が干渉エリアＣＡへ進入移動する。この状態は、図６（Ｃ）と同じである。

【0054】

［部品実装処理のフロー］
続いて、図９及び図１０のフローチャートに基づいて、図６～図８で説明したカメラユニット３２Ｕ及びヘッドユニット４の進入移動及び退避移動を伴う、部品実装装置１による部品実装動作を説明する。制御部２０（図３）は、ウェハステージ１０のウェハ７から、今回及び次回のターンでヘッドユニット４のヘッド４Ｈに吸着させるダイ７ａの群であるダイ吸着グループのデータを作成する（ステップＳ１）。なお、部品実装装置１の初動ターンのみ、今回及び次回のダイ吸着グループデータが作成され、２ターン目以降は次回分だけが作成される。

【0055】

ウェハカメラ３２（カメラユニット３２Ｕ）側の動作に関し、軸制御部２２は、図６（Ａ）に例示したように、ウェハカメラ３２を基準とした干渉リミットラインＣＬ１を設定する（ステップＳ２）。次いで軸制御部２２は、第２Ｙ軸サーボモータ３４及び第２Ｘ軸サーボモータ３８を駆動して、干渉エリアＣＡにウェハカメラ３２を進入移動させる（ステップＳ３）。詳しくは、今回のターンで吸着するダイ吸着グループが撮像視野に入る位置に、ウェハカメラ３２が移動される。なお、干渉リミットラインＣＬ１の設定に併せて軸制御部２２は、第１Ｙ軸サーボモータ１４によるヘッドユニット４の＋Ｙ側の移動範囲を、干渉リミットラインＣＬ１又はその近傍に規制するフラグを設定する。

【0056】

続いて、撮像制御部２３がウェハカメラ３２に、ウェハ７の撮像動作を実行させる（ステップＳ４）。取得された画像に対し、画像処理部２４が所定の画像処理を実行する。画像処理部２４は、今回の撮像視野内において存在する吸着対象のダイ７ａの良否認識及びそのダイ７ａの座標認識を行う（ステップＳ５）。

【0057】

軸制御部２２は、今回のターンでの認識対象とするダイ７ａが他に存在するか否かを判定する（ステップＳ６）。これは、ウェハカメラ３２の撮像視野が狭く、一度の撮像で認識対象とするダイ７ａの全てをカバーできない場合があるからである。認識対象とするダイ７ａが残存している場合（ステップＳ６でＮＯ）、軸制御部２２は、第１Ｙ軸サーボモータ１４及び第１Ｘ軸サーボモータ１８を駆動して、前記残存するダイ７ａの上空にヘッドユニット４を移動させる（ステップＳ３に戻る）。他の認識対象のダイ７ａが残存していない場合（ステップＳ６でＹＥＳ）、軸制御部２２は、ウェハカメラ３２を干渉エリアＣＡから退避移動させる（ステップＳ７）。

【0058】

ヘッドユニット４側の動作に関し、軸制御部２２は、干渉エリアＣＡ内にウェハカメラ３２（一方ユニット）が存在しているか否かを確認する（ステップＳ１１）。ウェハカメラ３２が存在している場合（ステップＳ１１でＹＥＳ）、つまりウェハカメラ３２が撮像動作（所要の動作）を実行している場合、軸制御部２２は、第１Ｙ軸サーボモータ１４を駆動して、ヘッドユニット４（他方ユニット）を干渉リミットラインＣＬ１又はその近傍まで移動させ、待機させる（ステップＳ１２／図６（Ｂ）参照）。

【0059】

その後、軸制御部２２は、ウェハカメラ３２の干渉エリアＣＡからの退避移動が開始されたか否かを確認する（ステップＳ１３）。ウェハカメラ３２が退避移動を開始しない場合（ステップＳ１３でＮＯ）、ヘッドユニット４は待機状態となる。一方、ウェハカメラ３２が退避移動を開始する場合（ステップＳ１３でＹＥＳ）、軸制御部２２は、認識されたダイ７ａのピッキングのため、ヘッドユニット４を干渉エリアＣＡへ進入移動させる（ステップＳ１４）。

【0060】

この場合、図６（Ｃ）に示すように、ステップＳ７におけるウェハカメラ３２の退避移動と、ステップＳ１４におけるヘッドユニット４の進入移動とが、同期して実行される。ここでの「同期」とは、典型的には前記退避移動と前記進入移動とが、同じタイミングで同一加速度、同一移動速度で実行される場合であるが、本実施形態ではこれに限らない。前記退避移動と前記進入移動とが、一部重複する期間に、異なる加速度、移動速度で実行される場合も「同期」に包含される。なお、ステップＳ１１においてウェハカメラ３２が既に干渉エリアＣＡから退避している場合は（ステップＳ１１でＮＯ）、軸制御部２２はヘッドユニット４を、待機させることなく干渉エリアＣＡへ進入移動させる。

【0061】

その後、軸制御部２２は、第１Ｙ軸サーボモータ１４及び第１Ｘ軸サーボモータ１８に加えて、Ｚ軸サーボモータ４０１及びＲ軸サーボモータ４０２を駆動して、ヘッド４Ｈにダイ７ａを吸着するピッキング動作を実行させる（ステップＳ１５）。続いて、撮像制御部２３が部品認識カメラ３０を動作させて、ヘッド４Ｈに吸着されたダイ７ａを撮像する。撮像された画像に基づき、画像処理部２４がダイ７ａの吸着ミス等を検出する認識処理を実行する（ステップＳ１６）。そして、基板ＰのフェデューシャルマークＦｉｄの認識処理を実行するシーケンスが存在するか否かが確認される（ステップＳ１７）。シーケンスに組み込まれている場合（ステップＳ１７でＹＥＳ）、撮像制御部２３は基板認識カメラ３１にフェデューシャルマークＦｉｄを撮像させる（ステップＳ１８）。この撮像で取得された画像に基づいて、基板Ｐの位置認識が為される。

【0062】

図１０を参照して、次に軸制御部２２は、ヘッド４Ｈに吸着されたダイ７ａの基板Ｐへの搭載位置に、ヘッドユニット４を移動させる（ステップＳ２１）。移動後、軸制御部２２は、ヘッドユニット４を基準とした干渉リミットラインＣＬ２を設定する（ステップＳ２２／図６（Ｄ）参照）。なお、干渉リミットラインＣＬ２の設定に併せて軸制御部２２は、第２Ｙ軸サーボモータ３４によるウェハカメラ３２の－Ｙ側の移動範囲を、干渉リミットラインＣＬ２又はその近傍に規制するフラグを設定する。

【0063】

続いて軸制御部２２は、Ｚ軸サーボモータ４０１を駆動してヘッド４Ｈを下降させ、吸着しているダイ７ａを基板Ｐへ搭載させる（ステップＳ２３）。その後、今回のターンで吸着したダイ７ａの全ての基板Ｐへの搭載が完了したか否かが確認され（ステップＳ２４）、未完了の場合（ステップＳ２４でＮＯ）、ステップＳ２１に戻る。一方、搭載が完了した場合（ステップＳ２４でＹＥＳ）、ウェハカメラ３２が干渉回避のために待機中であるか否かが確認される（ステップＳ２５）。干渉回避待ちではない場合（ステップＳ２５でＮＯ）、ステップＳ１に戻り、次のターンのピッキング動作に移行する。

【0064】

ヘッドユニット４側のステップＳ２１～Ｓ２５の動作に並行して、ウェハカメラ３２側では、次のターンでピッキング対象となるダイ７ａの認識処理が実行される。まず、軸制御部２２は、次ターンの認識処理での撮像位置が、ステップＳ２２で設定された干渉リミットラインＣＬ２を超過しない位置であるか否かを確認する（ステップＳ３１）。干渉リミットラインＣＬ２を超過しない撮像位置である場合（ステップＳ３１でＹＥＳ）、軸制御部２２は、ウェハカメラ３２を当該撮像位置へ移動させる（ステップＳ３２）。このステップＳ３２におけるウェハカメラ３２の移動（干渉エリアＣＡへの進入移動）と、先述のステップＳ２１のヘッドユニット４の移動（干渉エリアＣＡからの退避移動）とは、図７（Ｄ）に示すように、同期して実行させることができる。

【0065】

撮像位置へ移動後、撮像制御部２３がウェハカメラ３２に、ウェハ７の撮像動作を実行させる（ステップＳ３３）。取得された画像に基づき、画像処理部２４がダイ７ａの認識処理を行う（ステップＳ３４）。その後、今回のターンでの認識対象とするダイ７ａが残存しているか否かが確認される（ステップＳ３５）。これらステップＳ３３～Ｓ３５の動作は、先述のステップＳ４～Ｓ６と同様である。

【0066】

認識対象のダイ７ａが残存していない場合（ステップＳ３５でＹＥＳ）、軸制御部２２はウェハカメラ３２を干渉エリアＣＡから退避移動させる（ステップＳ７）。その後、ステップＳ１に戻る。これに対し、認識対象のダイ７ａが残存している場合（ステップＳ３５でＮＯ）、ステップＳ３１に戻って処理が繰り返される。一方、ステップＳ３１において、撮像位置が干渉リミットラインＣＬ２を超過する撮像位置である場合（ステップＳ３１でＮＯ）、軸制御部２２はウェハカメラ３２を干渉リミットラインＣＬ２又はその近傍まで移動させ（ステップＳ３６）、待機させる。

【0067】

ヘッドユニット４側の処理に戻り、ウェハカメラ３２が干渉回避待ちの状態である場合（ステップＳ２５でＹＥＳ）、軸制御部２２は、ウェハカメラ３２との干渉を回避できるよう、ヘッドユニット４を退避移動させる（ステップＳ２６）。そして、現状の干渉リミットラインＣＬ２が、ウェハカメラ３２を基準とする新たな干渉リミットラインＣＬ１に更新される（ステップＳ２７）。

【0068】

ここでのヘッドユニット４の退避移動としては、単純にヘッドユニット４を干渉エリアＣＡから退避させる移動、若しくは、図８（Ｃ）に示したような、ウェハカメラ３２の作業領域に応じた追加退避移動を例示することができる。すなわち、ウェハカメラ３２（一方ユニット）が干渉エリアＣＡ内の所定位置（第１位置）で撮像動作を実行させることを想定して設定されている干渉リミットラインＣＬ２（第１干渉リミットライン）を、干渉エリアＣＡ内の異なる位置（第２位置）で撮像動作を実行させることを想定する干渉リミットラインＣＬ１（第２干渉リミットライン）に更新する。そして、ヘッドユニット４を干渉リミットラインＣＬ１又はその近傍で待機させる（ステップＳ１２）。このように、干渉リミットラインＣＬをフレキシブルに変更することで、ウェハカメラ３２の干渉エリアＣＡ内における作業態様に応じて、最適な干渉リミットラインＣＬを設定することができる。

【0069】

［ヘッドユニット及びカメラユニットの移動制御例］
続いて、ヘッドユニット４及びウェハカメラ３２（カメラユニット３２Ｕ）の具体的な移動制御例について説明する。上述の通り、本実施形態では、ヘッドユニット４及びウェハカメラ３２のいずれか一方ユニットの干渉エリアＣＡからの退避移動と、他方ユニットの干渉エリアＣＡへの進入移動とが、互いに重複する期間内に実行されることがある。この場合、ヘッドユニット４とウェハカメラ３２とが互いに干渉しないよう、その反面、タクトロスを可及的に抑制できるよう、軸制御部２２は前記退避移動及び前記進入移動の各々の加速度及び移動速度を設定する。以下、前記移動制御の各種の態様を例示する。

【0070】

＜移動制御の第１実施形態＞
図１１（Ａ）～（Ｃ）は、第１実施形態におけるヘッドユニット４及びウェハカメラ３２の移動制御を示す図である。ここでは、図１１（Ａ）に示すように、ウェハカメラ３２が干渉エリアＣＡから退避移動する側（逃げる側）で、ヘッドユニット４が干渉エリアＣＡへの進入移動する側（追う側）である場合を例示する。既述の通り、ヘッドユニット４は第１駆動機構Ｄ１でＸＹ方向に移動され、カメラユニット３２Ｕは第１駆動機構Ｄ１から独立した第２駆動機構Ｄ２でＸＹ方向に移動される。両駆動機構Ｄ１、Ｄ２によるユニット移動能力（加速度及び最高移動速度）は異なるため、同期的にヘッドユニット４とカメラユニット３２Ｕを移動させる場合、両ユニットに干渉が生じ得る。すなわち、一方ユニットの加速度及び最高移動速度が速すぎる（遅すぎる）と、遅すぎる（速すぎる）他方ユニットと衝突が生じ得る。

【0071】

第１実施形態では、ウェハカメラ３２の干渉エリアＣＡからの退避移動と、ヘッドユニット４の干渉エリアＣＡへの進入移動とが、同一の加速度及び移動速度に設定される例を示す。図１１（Ｂ）は、ウェハカメラ３２及びヘッドユニット４の移動位置と時間との関係を示すグラフであって、ウェハカメラ３２の軸移動軌跡Ｆ１１及びヘッドユニット４の軸移動軌跡Ｆ２１が示されている。当該グラフにおいて、縦軸の増加方向は、－Ｙ側から＋Ｙ側へ向かう方向である。

【0072】

軸移動軌跡Ｆ１１において時刻ｔ１１は、逃げる側のウェハカメラ３２が、干渉エリアＣＡ内の進入位置ｐ１１から＋Ｙ側へ退避移動を開始する時刻である。また、時刻ｔ１２は、ウェハカメラ３２が、干渉エリアＣＡから＋Ｙ側へ所定距離だけ離れた退避位置ｐ１２への退避移動を完了する時刻である。一方、軸移動軌跡Ｆ２１において時刻ｔ２１は、追う側のヘッドユニット４が、干渉エリアＣＡの－Ｙ側の退避位置ｐ２１から＋Ｙ側への進入移動を開始する時刻である。ここでは、ｔ２１がｔ１１よりも遅い時刻である例を示しているが、ｔ２１＝ｔ１１としても良い。また、時刻ｔ２２は、ヘッドユニット４が、退避位置ｐ２１から干渉エリアＣＡ内の進入位置ｐ２２への進入移動を完了する時刻である。このように、同一の加速度及び移動速度で移動する軸移動軌跡Ｆ１１、Ｆ２１にてウェハカメラ３２及びヘッドユニット４を移動させれば、両ユニットの干渉を確実に回避することができる。

【0073】

一般に、カメラユニット３２Ｕに比べてヘッドユニット４の方が重い構造物である。このため、第１駆動機構Ｄ１として、第２駆動機構Ｄ２よりも高いユニット移動能力を具備する機構が採用される。つまり、ヘッドユニット４の方がカメラユニット３２Ｕよりも速い加速度及び移動速度で移動可能である。従って、追う側のヘッドユニット４が本来の加速度及び移動速度で移動する軸移動軌跡Ｆｍａｘで移動されると、逃げる側のカメラユニット３２Ｕに干渉することがある。

【0074】

上記の干渉を防止するために、第２駆動機構Ｄ２によるカメラユニット３２Ｕの移動の際の加速度及び移動速度が、予め記憶部２５（図３）に記憶される。そして、前記退避移動及び前記進入移動が重複する期間内に実行して行われる場合、軸制御部２２はカメラユニット３２Ｕの加速度及び移動速度を記憶部２５から取得して、第１駆動機構Ｄ１によるヘッドユニット４の軸移動パラメータを設定する。

【0075】

図１１（Ｃ）を参照して、第１駆動機構Ｄ１がヘッドユニット４を、本来は加速度ａ１及び移動速度ｖ１で移動させるユニット移動能力を具備しているとする。この場合、図１１（Ｃ）に示す速度変化グラフで囲まれる面積ＳＡがヘッドユニット４の移動距離となる。つまり、移動距離は次式で表される。
移動距離＝ｖ１・（加速時間／２＋一定速度時間＋減速時間／２）
上記の一定速度時間は、一定移動速度ｖ１でヘッドユニット４が移動する期間である。減速度が加速度ａ１と同一であるとすると、
移動距離＝ｖ１・（加速時間＋一定速度時間）
で表される。

【0076】

一方、第２駆動機構Ｄ２がカメラユニット３２Ｕを、加速度ａ２及び移動速度ｖ２で移動させるユニット移動能力を具備しているとする（ａ１＞ａ２、ｖ１＞ｖ２）。この場合、ヘッドユニット４の軸移動パラメータが、カメラユニット３２Ｕの軸移動パラメータと同一の加速度ａ２及び移動速度ｖ２に減速設定される。但し、前記減速設定の分だけ移動時間を長くし、その面積ＳＢが本来の軸移動パラメータによる面積ＳＡと同一とする。このような減速設定により、ヘッドユニット４とカメラユニット３２Ｕとが、同一の加速度及び移動速度で移動することとなり、両ユニットの干渉を確実に回避できる。なお、追う側のヘッドユニット４の移動速度を、逃げる側のカメラユニット３２Ｕの移動速度ｖ２よりも遅く設定しても良い。

【0077】

＜移動制御の第２実施形態＞
第２実施形態では、追う側のヘッドユニット４が、逃げる側のウェハカメラ３２に干渉しない限りにおいて、最速の加速度及び移動速度で移動する例を示す。図１２は、第２実施形態におけるヘッドユニット４及びウェハカメラ３２の移動制御を示すグラフである。第１実施形態では、ウェハカメラ３２の軸移動軌跡Ｆ１１とヘッドユニット４の軸移動軌跡Ｆ２１とが、同一の加速度及び移動速度で形成される例を示した。これに対し第２実施形態では、追う側のヘッドユニット４の加速度及び移動速度が、軸移動軌跡Ｆ１１に最接近する最速軸移動軌跡Ｆ２２を取るように設定される。但し、最接近とはいえども、駆動誤差等を見込んで、軸移動軌跡Ｆ１１と最速軸移動軌跡Ｆ２２との間には最小限のマージンＭａが設定される。

【0078】

軸制御部２２が、逃げる側のウェハカメラ３２（一方ユニット）について、例えば図１１（Ｃ）に例示したように、加速度ａ２（第１加速度）及び移動速度ｖ２（第１移動速度）に設定し、軸移動軌跡Ｆ１１に沿って移動させる場合を想定する。同じ加速度ａ２及び移動速度ｖ２でヘッドユニット４（他方ユニット）を移動させると、軸移動軌跡Ｆ２１を形成する。しかし、軸移動軌跡Ｆ１１、Ｆ２１間には距離を詰める余裕がある。そこで、軸制御部２２は、ウェハカメラ３２に対して干渉せず、且つ、マージンＭａを見込んだ範囲における、最速の加速度ａ３（第２加速度）及び移動速度ｖ３（第２移動速度）を設定して、ヘッドユニット４を移動させる（ａ１＞ａ３＞ａ２、ｖ１＞ｖ３＞ｖ２）。

【0079】

具体的には軸制御部２２は、ウェハカメラ３２が干渉エリアＣＡから退避移動を行う際に設定されている加速度及び移動速度を、記憶部２５から取得する。さらに、軸制御部２２は、ヘッドユニット４及びウェハカメラ３２の現在位置情報及び移動目標位置情報を示すＸＹ座標値を取得する。図１２の例では、現在位置は、時刻ｔ１１におけるウェハカメラ３２の進入位置ｐ１１及びヘッドユニット４の退避位置ｐ２１である。ウェハカメラ３２の移動目標位置は退避位置ｐ１２、ヘッドユニット４の移動目標位置は進入位置ｐ２２である。これらの情報を参照して、軸制御部２２は、ウェハカメラ３２に対して干渉はしないが最接近するヘッドユニット４の加速度ａ３及び移動速度ｖ３を算出する。このような加速度ａ３及び移動速度ｖ３にてヘッドユニット４を干渉エリアＣＡへ進入移動させることで、タクトロスを極限まで削減することができる。

【0080】

図１３（Ａ）～（Ｃ）は、第２実施形態におけるヘッドユニット４及びウェハカメラ３２の移動速度設定を説明するための図である。図１３（Ａ）に示すように、進入位置ｐ１１に存在していたウェハカメラ３２が退避位置ｐ１２へ退避移動し、ヘッドユニット４が干渉エリアＣＡ内へ進入移動するケースを想定する。図中の位置ｐ１３は、今回のピッキング動作を実行するヘッドユニット４の進入位置に対して、干渉が生じるリミットラインの位置を示している。

【0081】

図１３（Ｂ）は、逃げる側のウェハカメラ３２の移動速度と時間との関係を示すグラフである。ウェハカメラ３２は、時刻Ｔ０から退避移動を開始し、加速度ａｎで加速し、加速完了時刻Ｔ１より第２駆動機構Ｄ２が発生可能な最高速度Ｖ１の一定速度で退避移動を行うものとする。現在時刻ｔ、つまり追う側のヘッドユニット４が進入移動を開始する時刻は、加速期間中において現在速度Ｖｔでウェハカメラ３２が移動している時刻とする。時刻Ｔ２は、ウェハカメラ３２が今回のヘッドユニット４の進入位置に対する干渉ライン（図１３（Ａ）の位置ｐ１３）を抜ける時刻である。なお、時刻Ｔ２より手前の時刻Ｔｒは、追う側のヘッドユニット４が減速を開始する減速開始時刻Ｔｒである。なお、図１３（Ｂ）に示されているＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓｘは、次の説明では単純に距離を表すように説明しているが、実際は時間と速度との乗算からなる面積を示している。

【0082】

ウェハカメラ３２の、現在時刻ｔの位置からの残り加速距離Ｓ１と、加速完了後、ウェハカメラ３２が一定速度で移動する一定速距離Ｓ２と、時刻Ｔ０から加速完了までの時間に相当する加速完了時刻Ｔ１とは、次式で表される。
Ｓ１＝（０．５（Ｖ１＋Ｖｔ））・（Ｔ１－ｔ）
Ｓ２＝Ｖ１・（Ｔ２－Ｔ１）
Ｔ１＝Ｖ１／ａｎ

【0083】

また、ウェハカメラ３２が、退避移動の開始位置（時刻Ｔ０）から前記干渉ラインを抜ける位置ｐ１３までの距離Ｓ３と、時刻Ｔ０から前記干渉ラインを抜けるまでの時間に相当する時刻Ｔ２と、現在時刻ｔから前記干渉ラインを抜けるまでの時間Ｔｘとは、次式で表される。
Ｓ３＝０．５（Ｖ１・Ｔ１）＋Ｖ１・（Ｔ２－Ｔ１）
＝－０．５（Ｖ１・Ｔ１）＋Ｖ１・Ｔ２
Ｔ２＝（Ｓ３＋０．５（Ｖ１・Ｔ１））／Ｖ１
Ｔｘ＝Ｔ２－ｔ

【0084】

図１３（Ｃ）は、追う側のヘッドユニット４の移動速度の設定状況を示すグラフである。ヘッドユニット４は、現在時刻ｔから、加速期間Ｔａ、一定速度で移動する一定速期間Ｔｃ、及び減速期間Ｔｄを具備するように移動される。なお、Ｖｍａｘは、第１駆動機構Ｄ１でヘッドユニット４を最も速く移動させ得る最高移動速度を示す。

【0085】

先ず、現在時刻ｔからヘッドユニット４を最高移動速度Ｖｍａｘで移動させてもウェハカメラ３２との干渉が生じない場合は、退避移動と進入移動とが同期的に行われる場合であっても、ヘッドユニット４の減速制御は不要となる。減速制御が不要な条件は、ウェハカメラ３２が現在位置ｐ１１から干渉ラインの位置ｐ１３を抜けるまでの距離をＳｘとすると、次式を満たすことである。
Ｓｘ－Ｔｄ・Ｖ１＞（Ｔｃ＋０．５Ｔａ）・Ｖｍａｘ ・・・（１）
なお、Ｔｄ・Ｖ１は、図１３（Ｂ）において、減速開始時刻Ｔｒから干渉ラインを抜ける時刻Ｔ２までの面積ＳＣに相当するウェハカメラ３２の移動距離である。

【0086】

ヘッドユニット４が減速を開始する減速開始時刻Ｔｒに、ヘッドユニット４がウェハカメラ３２に最接近（マージンＭａを介在した最接近でも良い）する状態となるヘッドユニット４の移動速度が、同期的な移動を行う場合において設定し得るヘッドユニット４の最速の移動速度となる。次式（２）を満たす場合、ヘッドユニット４を上記の最高移動速度Ｖｍａｘで進入移動を行わせることができる。
０．５Ｔｄ・Ｖｍａｘ＜Ｔｄ・Ｖ１ ・・・（２）
なお、０．５Ｔｄ・Ｖｍａｘは、図１３（Ｃ）において、減速期間Ｔｄの面積ＳＤに相当するヘッドユニット４の移動距離である。

【0087】

これに対し、上記の式（１）及び式（２）を満たさない場合、つまりヘッドユニット４を上記の最高移動速度Ｖｍａｘで進入移動させるとウェハカメラ３２に干渉する場合、ヘッドユニット４の減速制御が必要となる。この場合、軸制御部２２は、加速期間Ｔａ及び減速期間Ｔｄを固定して、一定速期間Ｔｃの移動速度を下げ、干渉の生じない目標移動速度Ｖｎを探知する。移動速度を下げることで、一定速期間Ｔｃが増加する。Ｔｃの増加分をΔＴｃとすると、
ΔＴｃ＝０．５（Ｖｍａｘ－Ｖｎ）・（Ｔａ＋Ｔｄ）
となる。そして、下記（３）式を満たす目標移動速度Ｖｎ、並びにＶｎを基準とする加減速度が、ウェハカメラ３２に干渉しない範囲で最も速いヘッドユニット４の移動速度となる。
Ｓｘ－０．５Ｔｄ・Ｖｎ＞（Ｔｃ＋ΔＴｃ＋０．５Ｔａ）・Ｖｎ ・・・（３）
もちろん、目標移動速度Ｖｎを、干渉が発生しないギリギリの範囲で設定するのではなく、所要のマージンＭａを考慮した速度に設定しても良い。例えば、上記（３）式の不等号を等号に置き換えた次の（３Ａ）式；
Ｓｘ－０．５Ｔｄ・Ｖｎ＝（Ｔｃ＋ΔＴｃ＋０．５Ｔａ）・Ｖｎ ・・・（３Ａ）
に基づき算出した速度Ｖｎから、所定のマージンＭａ分を減算した速度を目標移動速度に設定することができる。

【0088】

＜移動制御の第３実施形態＞
第３実施形態では、干渉エリアＣＡから退避移動するユニットについての好ましい移動制御例を示す。ヘッドユニット４又はウェハカメラ３２の退避移動は、タクトロスの低減のため、干渉エリアＣＡ内では可及的に高速移動させることが望ましい。反面、干渉エリアＣＡを脱出した後は、もはや高速移動は必要ではない。むしろ、高速移動を行うと、ユニット本来の動作に支障を来す場合がある。

【0089】

例えば、ヘッドユニット４には、ダイ７ａのピッキングを行って干渉エリアＣＡを脱出した後、部品認識カメラ３０によるダイ認識（図９のステップＳ１６）、基板認識カメラ３１によるフェデューシャルマークＦｉｄの撮像（ステップＳ１８）の動作が控えている。これらの動作の際、高速移動によりヘッドユニット４に揺れが発生すると、ダイ７ａやフェデューシャルマークＦｉｄの認識が正確に行えないケースが生じ得る。この点に鑑み、第３実施形態では、軸制御部２２が、ヘッドユニット４又はウェハカメラ３２のうち退避移動を行う一方ユニットが干渉リミットラインＣＬ若しくは干渉エリアＣＡから脱出するまでの区間では所定の高速の退避移動速度に設定し、干渉リミットラインＣＬ若しくは干渉エリアＣＡから脱出した後の区間では、前記高速よりも低速の退避移動速度に設定する例を示す。

【0090】

図１４は、第３実施形態におけるヘッドユニット４及びウェハカメラ３２の移動制御を示すグラフである。ここでは、ウェハカメラ３２が干渉エリアＣＡへ進入移動するユニット（追い側）、ヘッドユニット４が干渉エリアＣＡから退避移動するユニット（逃げる側）である場合を示している。図１４には、ウェハカメラ３２の軸移動軌跡Ｆ３１及びヘッドユニット４の軸移動軌跡Ｆ４１が示されている。

【0091】

軸移動軌跡Ｆ３１において時刻ｔ３１は、追い側のウェハカメラ３２が、干渉エリアＣＡ外の退避位置ｐ３１から－Ｙ側へ進入移動を開始する時刻である。ウェハカメラ３２は、所定の加速度及び移動速度で移動され、干渉エリアＣＡ内の目標位置ｐ３２に到達する。時刻ｔ３２は、目標位置ｐ３２への到達完了時刻である。

【0092】

軸移動軌跡Ｆ４１において時刻ｔ３１は、逃げる側のヘッドユニット４が、干渉エリアＣＡ内の進入位置ｐ４１から－Ｙ側へ退避移動を開始する時刻である。時刻ｔ３３は、ヘッドユニット４が、干渉エリアＣＡから－Ｙ側へ所定距離だけ離れた退避位置ｐ４２への退避移動を完了する時刻である。また、時刻ｔ３Ａは、ヘッドユニット４が、干渉エリアＣＡ（干渉リミットラインＣＬ１）から脱出する時刻である。

【0093】

ヘッドユニット４の移動速度は、時刻ｔ３Ａまでは所定の高速の退避移動速度Ｖ１１に設定されるが、時刻ｔ３Ａ以降はＶ１１よりも低速の退避移動速度Ｖ１２に設定される。図１４に点線で示す軸移動軌跡Ｆ４２は、退避移動の全期間を高速の退避移動速度Ｖ１１に設定してヘッドユニット４を移動させた場合の移動軌跡である。当然、軸移動軌跡Ｆ４２を採用した方が、軸移動軌跡Ｆ４１を採用する場合よりも速く退避位置ｐ４２に到達する。しかし、軸移動軌跡Ｆ４２であると、干渉エリアＣＡを脱出した後においてもヘッドユニット４が高速移動を行うことになり、ダイ認識やフェデューシャルマークＦｉｄの認識等の動作に支障が生じ得る。しかし、ヘッドユニット４を軸移動軌跡Ｆ４１に沿って移動させることで、干渉エリアＣＡからの脱出後にヘッドユニット４が行う動作を、低速移動状態で安定的に実行させることができる。

【0094】

＜移動制御の第４実施形態＞
第４実施形態では、図８（Ｃ）に示したヘッドユニット４の追加退避移動及びウェハカメラ３２の追加進入移動に類する具体例を示す。ウェハカメラ３２によるダイ認識処理では、ダイ７ａの浮き等に起因する認識エラーや、予め作成されているウェハマップで「不良品ダイ」と指定されたダイ７ａの検出によって、ウェハ７上の「良品ダイ」の消費が進行することがある。このため、ウェハカメラ３２によるウェハ７の撮像位置が、予定よりも－Ｙ側（ヘッドユニット４に接近する側）にシフトすることがある。この場合、ヘッドユニット４を干渉リミットラインＣＬ１の位置で待機させていると、両ユニットの干渉が発生し得る。従って、ヘッドユニット４の追加退避移動及びウェハカメラ３２の追加進入移動が必要となる。

【0095】

図１５（Ａ）～（Ｄ）は、第４実施形態におけるヘッドユニット４（他方ユニット）及びウェハカメラ３２（一方ユニット）の移動制御を説明するための模式図である。図１５（Ａ）は、ウェハ７において次にウェハカメラ３２で撮像（ダイ認識処理／所要の動作）が行われるダイ７ａの群の位置を模式的に示している。これら撮像予定のダイ７ａのＸＹ座標（第１位置）に基づいて、ウェハカメラ３２を基準として、ヘッドユニット４との干渉を回避する干渉リミットラインＣＬ１（第１干渉リミットライン）が設定される。

【0096】

図１５（Ｂ）は、干渉リミットラインＣＬ１に依拠した動作を、ウェハカメラ３２及びヘッドユニット４が実行している状態を示している。すなわち、ウェハカメラ３２は、予定されたダイ７ａの撮像を行い、ヘッドユニット４は干渉リミットラインＣＬ１を＋Ｙ側に超過しないギリギリの位置で待機している。

【0097】

図１５（Ｃ）は、撮像予定のダイ７ａ群に不良品ダイ７ａ－Ｂａｄが検出された状態を示している。不良品ダイ７ａ－Ｂａｄの代替ダイが、撮像予定としていたダイ７ａと同じ行に存在しない場合、ウェハ７における－Ｙ側の次の行に配列されているダイ７ａ－Ｎが撮像対象となる。つまり、ウェハカメラ３２が当初予定していた撮像位置が、ダイ７ａ－ＮのＸＹ座標（第２位置）の位置へ、－Ｙ側にシフトすることになる。このシフトに応じて、新たな干渉リミットラインＣＬ１（第２干渉リミットライン）が設定される。

【0098】

図１５（Ｄ）は、－Ｙ側にシフトするよう更新された干渉リミットラインＣＬ１に依拠した動作を、ウェハカメラ３２及びヘッドユニット４が実行している状態を示している。すなわち、ウェハカメラ３２は、代替のダイ７ａ－Ｎの撮像を行い、ヘッドユニット４は更新後の干渉リミットラインＣＬ１を＋Ｙ側に超過しないギリギリの位置で待機する。第４実施形態によれば、ウェハカメラ３２の作業領域の変更に合わせて、最適な干渉リミットラインＣＬ１を設定することができる。

【0099】

［上記実施形態に含まれる発明］
本発明の一局面に係る部品移載装置は、複数個の部品が配置された部品配置エリアを有する部品供給部と、前記部品配置エリアと所定の部品移載部との間の上方空間を第１移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記部品配置エリアにおいて前記部品をピッキングし、前記部品移載部へ前記部品を移動する部品移載ユニットと、前記部品配置エリアと所定の待機位置との間の上方空間を第２移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記部品配置エリアにおいて前記部品を撮像するカメラユニットと、前記部品移載ユニットの前記第１移動軸に沿った移動、及び前記カメラユニットの前記第２移動軸に沿った移動を制御する移動制御部と、を備え、前記移動制御部は、前記部品配置エリアの上方空間において前記部品移載ユニットと前記カメラユニットとが並存した場合に両者が干渉する干渉エリア内に、前記部品移載ユニット及び前記カメラユニットのいずれか一方ユニットを基準として、他方ユニットの進入可能範囲を定める干渉リミットラインを設定し、前記他方ユニットの移動範囲を、前記干渉リミットラインを超過しない範囲に規制する。

【0100】

この部品移載装置によれば、部品移載ユニットは第１移動軸に沿って、カメラユニットは第２移動軸に沿って、各々独立して水平移動する。さらに、両ユニットとも部品配置エリアの上空に移動可能であるので、両者が干渉する干渉エリアが発生する。このような部品移載装置おいて、移動制御部は、前記干渉エリア内に干渉リミットラインを設定し、他方ユニットの移動範囲を規制する。換言すると、一方ユニットが干渉エリア内に存在している場合に、他方ユニットを前記干渉エリアへ進入させないのではなく、干渉リミットラインまでは移動可能とする。このため、前記一方ユニットに続いて前記他方ユニットが前記干渉エリアの所定の作業位置で所要の動作を行うシーケンスが設定されている場合に、前記他方ユニットを前記作業位置へより速く到達させることが可能となる。従って、両ユニットの干渉を回避しながら、タクトロスを抑制することができる。

【0101】

上記の部品移載装置において、前記移動制御部は、前記一方ユニットが前記干渉エリア内において所要の動作を実行している間、前記他方ユニットを前記干渉リミットライン又はその近傍まで移動させて待機状態とすることが望ましい。

【0102】

この部品移載装置によれば、次に干渉エリアで所要の動作を行う他方ユニットを、干渉リミットライン又はその近傍まで移動させて待機させることができる。従って、タクトロスを最小限に抑制することができる。

【0103】

上記の部品移載装置において、前記移動制御部は、前記一方ユニットの前記干渉エリアからの退避移動と、他方ユニットの前記干渉エリアへの進入移動とを、互いに重複する期間内に実行するものであって、前記第１移動軸に沿って移動する部品移載ユニットと、前記第２移動軸に沿って移動するカメラユニットとが互いに干渉しないよう、前記退避移動及び前記進入移動の各々の加速度及び移動速度を設定することが望ましい。

【0104】

この部品移載装置によれば、干渉エリアから退避する一方ユニットを追い掛けるようにして、他方ユニットが前記干渉エリアへ進入する。このため、干渉エリアにおける一方ユニットから他方ユニットへの作業遷移を速やかに行わせることができる。また、両ユニットについての前記加速度及び移動速度の設定により、一方ユニットを追い掛ける他方ユニットが、前記一方ユニットに干渉しないようにすることができる。

【0105】

この場合、前記移動制御部は、前記退避移動と前記進入移動とを、同一の加速度及び移動速度に設定することが望ましい。

【0106】

この部品移載装置によれば、両ユニットが同一の加速度及び移動速度で移動するので、一方ユニットと、これを追い掛ける他方ユニットとの間に、確実に干渉が発生しないようにすることができる。

【0107】

上記の部品移載装置において、前記移動制御部は、前記一方ユニットの前記退避移動について所定の第１加速度及び第１移動速度を設定した場合に、前記進入移動として、前記他方ユニットが前記第１加速度及び前記第１移動速度で移動する前記一方ユニットに対して干渉しない範囲における、最速の加速度及び移動速度となる第２加速度及び第２移動速度を設定することが望ましい。

【0108】

この部品移載装置によれば、一方ユニットを追い掛ける他方ユニットが、当該一方ユニットに対して干渉寸前となる加速度及び移動速度で移動される。従って、タクトロスを極限まで削減することが可能となる。

【0109】

上記の部品移載装置において、前記移動制御部は、前記一方ユニットの前記退避移動において、前記一方ユニットが前記干渉リミットライン若しくは前記干渉エリアから脱出するまでの区間では所定の高速の退避移動速度に設定し、前記干渉リミットライン若しくは前記干渉エリアから脱出した後の区間では、前記高速よりも低速の退避移動速度に設定することが望ましい。

【0110】

この部品移載装置によれば、一方ユニットは高速で干渉エリアから脱出する一方で、前記干渉リミットライン若しくは前記干渉エリアからの脱出後は低速で移動する。このため、他方ユニットの前記干渉リミットライン若しくは前記干渉エリアへの進入を速やかに行わせると共に、一方ユニットについて前記エリアからの脱出後に必要な動作を、低速移動状態で安定的に実行させることができる。

【0111】

上記の部品移載装置において、前記移動制御部は、前記一方ユニットが前記干渉エリア内の第１位置で所要の動作を実行するに際して、前記他方ユニットとの干渉を回避する第１干渉リミットラインを設定し、続いて前記一方ユニットが前記干渉エリア内の前記第１位置とは異なる第２位置で所要の動作を実行するに際して、前記第１干渉リミットラインとは異なる位置に第２干渉リミットラインを設定し、前記他方ユニットを前記第２干渉リミットライン又はその近傍まで移動させて待機状態とすることが望ましい。

【0112】

この部品移載装置によれば、干渉リミットラインが、一方ユニットの干渉エリア内の作業位置によってフレキシブルに変更される。すなわち、前記一方ユニットの干渉エリア内における作業態様に応じて、最適な干渉リミットラインを設定することができる。

【0113】

上記の部品移載装置において、前記部品配置エリアは、ダイシングされたウェハが配置されるエリアであって、前記部品はダイであることが望ましい。また、前記部品移載ユニットは、前記ダイを吸着するヘッドを有するヘッドユニットであり、前記カメラユニットは、前記ウェハを撮像するウェハカメラであり、前記部品移載部は、前記ダイが実装される基板が配置される基板配置部であることが望ましい。

【0114】

この部品移載装置によれば、ダイシングされたウェハからダイを吸着し、基板に前記ダイを実装する部品実装装置において、ヘッドユニットとウェハカメラとを干渉させることなく、タクトロスを削減することができる。

【0115】

以上説明した本発明に係る部品移載装置によれば、部品配置エリアから部品をピッキングする部品移載ユニットと、前記部品エリアにおいて部品を撮像するカメラユニットとを備えた部品移載装置において、タクトロスを低減することができる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】