特許 7522986 リークディテクタ及びリークディテクタ用イオン源

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-18

(45)【発行日】2024-07-26

(54)【発明の名称】リークディテクタ及びリークディテクタ用イオン源

(51)【国際特許分類】

   H01J 27/26 20060101AFI20240719BHJP

   H01J 37/02 20060101ALI20240719BHJP

   H01J 37/08 20060101ALI20240719BHJP

【ＦＩ】

H01J27/26

H01J37/02

H01J37/08

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2021107137

(22)【出願日】2021-06-28

(65)【公開番号】P2023005317

(43)【公開日】2023-01-18

【審査請求日】2023-09-11

(73)【特許権者】

【識別番号】591159619

【氏名又は名称】島津産機システムズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(74)【代理人】

【識別番号】100129702

【弁理士】

【氏名又は名称】上村 喜永

(74)【代理人】

【識別番号】100094248

【弁理士】

【氏名又は名称】楠本 高義

(72)【発明者】

【氏名】海野 善夫

(72)【発明者】

【氏名】東 正久

(72)【発明者】

【氏名】井川 秋夫

(72)【発明者】

【氏名】寺本 晃

(72)【発明者】

【氏名】石野田 黎

【審査官】藤田 健

(56)【参考文献】

【文献】特開平０９－１０２２８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３３１６２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１６２７４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１９５１７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１９７１２７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ２７／２６

Ｈ０１Ｊ ３７／００

Ｈ０１Ｊ ４９／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検体からのガスを真空引きされた分析管に導くとともに、そのガスを前記分析管内に設けられたイオン源を用いてイオン化して検出することで、前記被検体をリーク検査するリークディテクタであって、
前記イオン源が、
前記ガスをイオン化させる熱電子を放出するフィラメントと、
前記フィラメントと電気的に接続された電極と、
前記電極が貫通するとともに、前記フィラメントが配置される内部空間と外部とを仕切るベース部材と、
前記ベース部材に形成された電極用貫通孔内に設けられて、前記電極及び前記ベース部材の間に介在する第１絶縁部材と、
前記電極の周囲に設けられて、前記ベース部材の前記内部空間に臨む面よりも前記内部空間側に延びる第２絶縁部材とを備え、
前記第２絶縁部材は、前記フィラメントが配置されている方向から飛来する炭化物の前記第２絶縁部材の外周面への付着が抑制されるように、前記ベース部材から前記フィラメントが配置されている方向に向かって延びる筒状に形成されている、リークディテクタ。

【請求項2】

前記第２絶縁部材が、前記第１絶縁部材とは別体である、請求項１記載のリークディテクタ。

【請求項3】

前記第２絶縁部材が、前記電極が差し通される差込孔が形成されたものである、請求項１又は２記載のリークディテクタ。

【請求項4】

前記第２絶縁部材が筒状をなし、その軸方向に沿った寸法が２ｍｍ以上である、請求項１乃至３のうち何れか一項に記載のリークディテクタ。

【請求項5】

被検体をリーク検査するリークディテクタに用いられるものであり、真空引きされた分析管内に設けられて、当該分析管に導かれた前記被検体からのガスをイオン化させるリークディテクタ用イオン源であって、
前記ガスをイオン化させる熱電子を放出するフィラメントと、
前記フィラメントと電気的に接続された電極と、
前記電極が貫通するとともに、前記フィラメントが配置される内部空間と外部とを仕切るベース部材と、
前記ベース部材に形成された電極用貫通孔内に設けられて、前記電極及び前記ベース部材の間に介在する第１絶縁部材と、
前記電極の周囲に設けられて、前記ベース部材の前記内部空間に臨む面よりも前記内部空間側に延びる第２絶縁部材とを備え、
前記第２絶縁部材は、前記フィラメントが配置されている方向から飛来する炭化物の前記第２絶縁部材の外周面への付着が抑制されるように、前記ベース部材から前記フィラメントが配置されている方向に向かって延びる筒状に形成されている、リークディテクタ用イオン源。

【請求項6】

被検体からのガスを真空引きされた分析管に導くとともに、そのガスを前記分析管内に設けられたイオン源を用いてイオン化して検出することで、前記被検体をリーク検査するリークディテクタであって、
前記イオン源が、
前記ガスをイオン化させる熱電子を放出するフィラメントと、
前記フィラメントと電気的に接続された電極と、
前記電極が貫通するとともに、前記フィラメントが配置される内部空間と外部とを仕切るベース部材と、
前記ベース部材に形成された電極用貫通孔内に設けられて、前記電極及び前記ベース部材を絶縁する第１絶縁部材と、
前記第１絶縁部材よりも前記内部空間側に設けられて当該第１絶縁部材を覆うカバー部材とを備え、
前記カバー部材は、前記フィラメントが配置されている方向から飛来する炭化物の前記第１絶縁部材への付着が抑制されるように、前記第１絶縁部材よりも径が大きい円板状をなし、該第１絶縁部材よりも前記フィラメント側に隔離して設けられている、リークディテクタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、リークディテクタ及びリークディテクタ用イオン源に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来のリークディテクタとしては、特許文献１に示すように、被検体に流入させたヘリウムガスを分析管に導いて検出する所謂ヘリウムリークディテクタと称されるものがある。

【0003】

このリークディテクタは、分析管を真空ポンプにより真空引きすることでヘリウムを導き、この分析管内に設けたイオン源によりヘリウムをイオン化させる構成となっている。

【0004】

イオン源についてより詳細に説明すると、このイオン源は、フィラメントが取り付けられた一対の電極間に電流を流すことで、フィラメントが加熱されて熱電子が放出され、この熱電子によりヘリウムをイオン化させてイオンコレクタで検出するように構成されている。

【0005】

かかる構成において、電極は、イオン源の内部と外部とを仕切るベース部材に支持されている。より具体的に説明すると、電極は、ベース部材の貫通孔に嵌め込まれた絶縁物たるガラスを貫通して設けられており、このガラスにより、電極とベース部材との間が絶縁されるとともに、電極間の絶縁が保たれている。

【0006】

ところが、上述した真空ポンプに用いられているオイルや被検体に付着しているオイルに由来する成分が、真空引きされている分析管に引き寄せられてイオン源付近に飛来すると、フィラメントの熱により炭化されて、その炭化物が上述したガラスに付着してしまう。その結果、付着した炭化物により、電極とベース部材との間の絶縁を保つことができなくなり、電極間が橋絡されて絶縁破壊が発生し、熱電子が放出されなくなる等の問題が生じる。

【0007】

こうした絶縁破壊を防ぐべく、電極とベース部材との距離を大きく取ることが考えられるが、この場合は、電極周りの部品の大型化や、これに伴う重量の増大などが引き起こされ、イオン源の取り扱いが不便になるといった別の問題が生じる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【文献】特開２０２０－１９７１２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

そこで、本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、電極間の絶縁耐久性を向上させることを課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の第１の態様は、被検体からのガスを真空引きされた分析管に導くとともに、そのガスを前記分析管内に設けられたイオン源を用いてイオン化して検出することで、前記被検体をリーク検査するリークディテクタであって、前記イオン源が、前記ガスをイオン化させる熱電子を放出するフィラメントと、前記フィラメントと電気的に接続された電極と、前記電極が貫通するとともに、前記フィラメントが配置される内部空間と外部とを仕切るベース部材と、前記ベース部材に形成された電極用貫通孔内に設けられて、前記電極及び前記ベース部材の間に介在する第１絶縁部材と、前記電極の周囲に設けられて、前記ベース部材の前記内部空間に臨む面よりも前記内部空間側に延びる第２絶縁部材とを備える、リークディテクタに関する。

【0011】

本発明の第２の態様は、被検体をリーク検査するリークディテクタに用いられるものであり、真空引きされた分析管内に設けられて、当該分析管に導かれた前記被検体からのガスをイオン化させるリークディテクタ用イオン源であって、前記ガスをイオン化させる熱電子を放出するフィラメントと、前記フィラメントと電気的に接続された電極と、前記電極が貫通するとともに、前記フィラメントが配置される内部空間と外部とを仕切るベース部材と、前記ベース部材に形成された電極用貫通孔内に設けられて、前記電極及び前記ベース部材の間に介在する第１絶縁部材と、前記電極の周囲に設けられて、前記ベース部材の前記内部空間に臨む面よりも前記内部空間側に延びる第２絶縁部材とを備える、リークディテクタ用イオン源に関する。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、ベース部材における内部空間に臨む面よりも内部空間側に延びる第２絶縁部材を備えているので、この第２絶縁部材の外周面により電極とベース部材との間の絶縁距離を稼ぐことができ、その結果、電極間の絶縁耐久性を大幅に向上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の一実施形態におけるリークディテクタの全体構成を示す模式図。

【図2】同実施形態の分析管の内部構成を示す模式図。

【図3】同実施形態のイオン源の構成を示す模式図。

【図4】同実施形態のイオン源の内部構成を示す模式図。

【図5】同実施形態の第２絶縁体の構成を示す断面図。

【図6】同実施形態の第２絶縁体による作用効果を説明するための模式図。

【図7】その他の実施形態における第２絶縁部材の構成を示す断面図。

【図8】その他の実施形態における第２絶縁部材の構成を示す断面図。

【図9】その他の実施形態における第２絶縁部材の構成を示す断面図。

【図10】その他の実施形態におけるカバー部材の構成を示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本発明の一実施形態におけるリークディテクタについて図面を参照しながら説明する。

【0015】

［全体構成］
本実施形態のリークディテクタ１００は、例えば真空容器等の被検体Ｘをリーク検査するために用いられるものであり、図１に示すように、テストポートＰを介して被検体Ｘに配管接続されるものである。

【0016】

具体的にリークディテクタ１００は、油回転ポンプ１、ドラッグポンプ２、及びターボ分子ポンプ３の３台の真空ポンプと、排気経路およびヘリウム導入経路を開閉する３個のバルブＶ１～Ｖ３と、分析管４と、を少なくとも備えている。尚、夫々のバルブＶ１～Ｖ３の開閉状態は、リークディテクタ１００の操作者の指示に基づいて制御装置（不図示）により制御される。また、真空ポンプやバルブの数は、図１に示す態様に限らず、装置構成に応じて適宜変更して構わない。

【0017】

分析管４は、ターボ分子ポンプ３、ドラッグポンプ２、バルブＶ１を介して油回転ポンプ１に配管接続されている。リーク試験を行う被検体Ｘは、テストポートＰ、バルブＶ２を介して油回転ポンプ１に配管接続されている。また、被検体Ｘは、テストポートＰ、バルブＶ３を介してターボ分子ポンプ３の排気口３ａに配管接続されており、このバルブＶ３は、ヘリウムリークディテクタの逆拡散排気モード（あるいは、中間排気モード、ダイレクトフロー等の他のモードでもよい）の場合に開放される。

【0018】

被検体Ｘのリーク検査は以下の手順で行う。なおここでは簡単のため、逆拡散排気モードの場合についてのみ説明する。
（１）バルブＶ２、Ｖ３を閉じるとともに、バルブＶ１を開いて、分析管４内をターボ分子ポンプ３、ドラッグポンプ２、油回転ポンプ１の直列構成で所定の真空度（ヘリウムのバックグラウンド値）以下になるまで真空排気する。
（２）リーク試験の被検体ＸをテストポートＰに取り付ける。
（３）分析管４内が所定のバックグラウンド値以下に低下した後に、バルブＶ２を開いて、被検体Ｘ内を油回転ポンプ１で真空排気（粗引き真空排気）する。
（４）バルブＶ２を閉じるとともにバルブＶ３を開いて、分析管４によるリーク検出を開始する。すなわち、被検体Ｘの外側からリーク試験箇所を介して被検体Ｘ内にヘリウム（Ｈｅ）ガスを流入させようとする。
（５）被検体Ｘのリーク試験箇所にリークがあると、被検体Ｘ内にＨｅガスが侵入する。このＨｅガスは、開放されているバルブＶ３、ターボ分子ポンプ３を経て分析管４に到達する。分析管４がヘリウムガスを検出することにより被検体Ｘのリーク量が測定される。

【0019】

次に、図２を用いて分析管４について説明する。

【0020】

分析管４は、密閉容器５内に配置されたイオン源６と、イオン源６によりイオン化されたヘリウムイオンが出射される磁場を形成する永久磁石７と、磁場により曲げられたヘリウムイオンを通過させつつ、その他のイオン（例えば、空気中に含まれる成分由来のイオン）を通過させない中間スリット８と、中間スリット８を通過したヘリウムイオンを検出するイオンコレクタ９とを備える。
そして、本発明に係るリークディテクタ１００は、このイオン源６に特徴があるので、以下に詳述する。

【0021】

イオン源６は、図３に示すように、フィラメント６１を加熱して熱電子を放出させ、この熱電子によりヘリウムをイオン化させるものである。

【0022】

イオン源６の具体的な構成の一例としては、図３に示すように、フィラメント６１、アノード６２、シールド６３、加速スリッド６４を備えたものを挙げることができる。かかる構成において、フィラメント６１表面から放出された熱電子は、正電位が印加されたアノード６２に向かって飛行するが、ここでのアノード６２は細い金属線からなるために、熱電子の殆どがアノード６２を通過してシールド６３へ向かう。そして、シールド６３は負電位が印加されているため、熱電子はシールド６３に到達することなく折り返し飛行を続ける。こうして往復運動する熱電子が、フィラメント６１とシールド６３との間に存在する気体に[山本1]衝突させることで、その気体はイオンと電子に電離する。このように電離したイオンは、正極たるアノード６２に対して負極となる加速スリッド６４に向かって飛行し、加速スリッド６４に形成された開口部６４１を通過して磁場中へ出射される。なお、イオン源６の構成は、これに限らず種々のタイプのものを用いて構わない。

【0023】

本実施形態のイオン源６は、図４に示すように、フィラメント６１と、フィラメント６１それぞれに電気的に接続された一対の柱状の電極６５とを備え、これらの電極６５間に電流を流すことにより、フィラメント６１が加熱されて熱電子を放出させるように構成されている。なお、本実施形態では、一対のフィラメント６１が設けられており、これらのフィラメント６１と電極６５との間には導電部材６１１が介在している。また、上述したアノード６２にも電極６５が電気的に接続されており、この電極６５を介してアノード６２に正電位を印加できるようにしてある。

【0024】

かかる構成において、上述した複数本の電極６５が電気的に接続されてしまうと絶縁破壊を引き起こすことから、これらの電極６５は互いに絶縁されている必要がある。

【0025】

そこで、イオン源６は、図４及び図５に示すように、電極６５を支持する金属製のベース部材６６と、電極６５及びベース部材６６を絶縁する第１絶縁部材６７とを備えている。

【0026】

ベース部材６６は、図５に示すように、電極６５を支持するとともに、フィラメント６１が配置される内部空間６Ｓと外部とを仕切る平板状のものである。ここでのベース部材６６は、例えば鉄製の円板であり、その厚み方向に貫通させてなる電極用貫通孔６６ｈが形成されている。ただし、ベース部材６６の材質や形状は、図示したものに限らず、適宜変更して構わない。

【0027】

電極用貫通孔６６ｈは、電極６５が貫通する例えば円形状をなすものである。本実施形態では、複数の電極用貫通孔６６ｈが、例えばベース部材６６の中心周りに等間隔に設けられている。ただし、電極用貫通孔６６ｈの形状、配置、及び個数は、図示した態様に限らず、適宜変更して構わない。

【0028】

第１絶縁部材６７は、上述した電極用貫通孔６６ｈ内に設けられた例えばガラス等の絶縁物である。本実施形態では、電極用貫通孔６６ｈに第１絶縁部材６７たるガラスが予め充填されており、このガラスを溶融させた状態で電極６５を差し込み冷やすことで、電極６５が第１絶縁部材６７を貫通した状態でベース部材６６に支持されている。これにより、第１絶縁部材６７は、電極６５とベース部材６６との間に介在してこれらを絶縁している。

【0029】

そして、本実施形態のイオン源６は、図４及び図５に示すように、第１絶縁部材６７と協働して電極６５とベース部材６６との間を絶縁する第２絶縁部材６８をさらに備えている。

【0030】

この第２絶縁部材６８は、電極６５の周囲に設けられた例えばアルミナなどの絶縁物であり、本実施形態では第１絶縁部材６７とは別体のものである。ただし、第２絶縁部材６８としては、第１絶縁部材６７と一体のものであっても構わない。

【0031】

より具体的に説明すると、第２絶縁部材６８は、図４及び図５に示すように、例えば円筒状など、電極６５が差し込まれる差込孔６８ｈが形成されたものである。この差込孔６８ｈを介して第２絶縁部材６８は電極６５に差し通されており、これにより第２絶縁部材６８は電極６５の外周面を取り囲むように配置されている。

【0032】

第１絶縁部材６７と第２絶縁部材６８とは、互いに対向して配置されており、第１絶縁部材６７と第２絶縁部材６８との対向面６７１、６８１が互いに接触している。すなわち、ここでの第２絶縁部材６８は、第１絶縁部材６７の内部空間６Ｓに臨む面から内部空間６Ｓ側に延びている。

【0033】

本実施形態では、第１絶縁部材６７の対向面６７１よりも、第２絶縁部材６８の対向面６８１の方が小さく、第１絶縁部材６７の対向面６７１の内側に第２絶縁部材６８の対向面６８１の全体が収まっている。ただし、第２絶縁部材６８の対向面６８１は、第１絶縁部材６７の対向面６７１と同一サイズ（同一形状）であっても良いし、第１絶縁部材６７の対向面６７１よりも大きくても良い。

【0034】

そして、この第２絶縁部材６８は、図５に示すように、上述したベース部材６６の内部空間６Ｓに臨む面６６１（以下、ベース面６６１ともいう）よりも内部空間６Ｓ側に延びており、言い換えれば、第２絶縁部材６８の外周面６８２が、ベース面６６１よりも内部空間６Ｓ側に延びている。

【0035】

第２絶縁部材６８の外周面６８２は、ベース面６６１に対して直交する方向又はその直交方向から傾斜した方向に延びており、具体的な形状としては、その延びる方向に沿って波打った波打形状（リップル形状）、同方向に沿って凹凸が設けられた凹凸形状、又は、同方向に沿って真っすぐ延びる直管形状などを挙げることができる。

【0036】

この実施形態では、第２絶縁部材６８は、その軸方向がベース面６６１に対して直交する筒状のものであり、例えば絶縁碍子等を利用したものである。

【0037】

この第２絶縁部材６８の外周面６８２が軸方向に沿って長いほど、ベース部材６６と電極６５との間の絶縁距離が長くなる。従って、ベース部材６６と電極６５との間の絶縁距離を稼ぐ観点からは、第２絶縁部材６８の軸方向に沿った寸法（高さ寸法）は、長い方が好ましく、具体的には第２絶縁部材６８の直径の少なくとも１／２倍以上であることが好ましい。または、第２絶縁部材６８の軸方向に沿った寸法（高さ寸法）は、好ましくは、電極６５の高さの１０％以上、より好ましくは、３０％以上、さらに好ましくは５０％以上である。あるいは、第２絶縁部材６８の軸方向に沿った寸法（高さ寸法）は、好ましくは２ｍｍ以上、より好ましくは４ｍｍ以上である。特に高さ寸法２ｍｍ以上の領域には後述する炭化物が付着し難いことが実験より判明した。

【0038】

［本実施形態の作用効果］
このように構成されたリークディテクタ１００によれば、ベース部材６６におけるベース面６６１よりも内部空間６Ｓ側に延びる第２絶縁部材６８を備えているので、この第２絶縁部材６８の外周面６８２により電極６５とベース部材６６との間の絶縁距離を稼ぐことができる。
具体的には、絶縁に寄与する面は、第１絶縁部材６７における、ベース部材６６と平行で、内部空間６Ｓに臨む面、および、第２絶縁部材６８における、ベース部材６６と直交する外周面６８２と、ベース部材６６と平行な面とにより構成されていることにより、絶縁距離を増大させることができる。
その結果、イオン源６のサイズや重量をほぼ変えることなく、電極６５間の絶縁耐久性を大幅に向上させることが可能となる。

【0039】

より具体的に説明すると、真空ポンプ１～３に用いられているオイルや被検体Ｘに付着したオイルに由来する成分がフィラメント６１の熱により炭化されるので、その炭化物がフィラメント６１の方向から飛来してくる結果、その炭化物が第１絶縁部材６７に付着しやすい。しかしながら、その炭化物はフィラメント６１の方向から飛来してくることから、図６に示すように、第２絶縁部材６８の外周面６８２には方向的にこの炭化物が付着しにくいので、この外周面６８２により電極６５とベース部材６６との間の絶縁を保つことができ、上述したように電極６５間の絶縁耐久性の向上を図れる。

【0040】

［その他の実施形態］
その他の実施形態について説明する。

【0041】

例えば、前記実施形態では第１絶縁部材６７と第２絶縁部材６８が互いに接触している態様を説明したが、図７に示すように、第１絶縁部材６７と第２絶縁部材６８が非接触であっても構わない。この場合、第１絶縁部材６７としては、電極用貫通孔６６ｈの全体に充たされている必要はない。また、第２絶縁部材６８としては、ベース面６６１から内部空間６Ｓ側に延びるとともに、電極用貫通孔６６ｈを塞ぐように配置された態様を挙げることができる。

【0042】

また、第２絶縁部材６８としては、円筒状のものに限らず、例えば断面が三角形状、矩形状、多角形状をなす筒状のものであっても構わないし、ベース面６６１よりも内部空間６Ｓ側に延びる形状であれば、筒状である必要もなく、種々の形状として構わない。

【0043】

前記実施形態では、第１絶縁部材６７と第２絶縁部材６８とが別体である態様を述べたが、図８に示すように、第１絶縁部材６７と第２絶縁部材６８が一体であっても良く、この場合の第２絶縁部材６８は、ベース面６６１よりも内部空間６Ｓ側に位置している部分である。

【0044】

また、第２越円部材への炭化物の付着を防ぐといった観点からは、図９に示すように、第２絶縁部材６８における第１絶縁部材６７に対面する対向面６８１の一部が、第１絶縁部材６７と非接触であっても良い。これならば、対向面６８１の一部には炭化物が付着しにくく、電極６５とベース部材６６との絶縁を保つことができる。

【0045】

さらに、第１絶縁部材６７への炭化物の付着を防ぐといった観点からは、図１０に示すように、第１絶縁部材６７よりも内部空間６Ｓ側に設けられて第１絶縁部材６７を覆うカバー部材６９を備えていても良い。この場合、カバー部材６９としては、必ずしも絶縁性を有している必要はなく、種々の材質のものを用いて構わない。

【0046】

その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な実施形態の変形や組み合わせを行っても構わない。

【0047】

［態様］
上述した複数の例示的な実施形態又はその変形は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0048】

（第１項）一態様に係るリークディテクタ１００は、被検体Ｘからのガスを真空引きされた分析管４に導くとともに、そのガスを前記分析管４内に設けられたイオン源６を用いてイオン化して検出することで、前記被検体Ｘをリーク検査するリークディテクタ１００であって、
前記イオン源６が、
前記ガスをイオン化させる熱電子を放出するフィラメント６１と、
前記フィラメント６１と電気的に接続された電極６５と、
前記電極６５が貫通するとともに、前記フィラメント６１が配置される内部空間６Ｓと外部とを仕切るベース部材６６と、
前記ベース部材６６に形成された電極用貫通孔６６ｈ内に設けられて、前記電極６５及び前記ベース部材６６の間に介在する第１絶縁部材６７と、
前記電極の周囲に設けられて、前記ベース部材６６の前記内部空間６Ｓに臨む面６６１よりも前記内部空間６Ｓ側に延びる第２絶縁部材６８とを備える。

【0049】

このように構成されたリークディテクタ１００によれば、ベース部材６６におけるフィラメント６１が配置される内部空間６Ｓに臨む面６６１よりも内部空間６Ｓ側に延びる第２絶縁部材６８を備えているので、この面から内部空間６Ｓ側に向かう方向に電極６５とベース部材６６との間の絶縁距離を稼ぐことができ、その結果、電極６５間の絶縁耐久性を大幅に向上させることが可能となる。第１絶縁部材は、ベース部材と平行な面において絶縁の効果を有し、第２絶縁部材は、ベース部材と直交する面と平行な面とにおいて絶縁の効果を有する。第２絶縁部材のベース部材と直交する面において、炭化物が付着しにくいことから、きわめて良好に絶縁効果を維持することができる。

【0050】

（第２項）他の一態様に係るリークディテクタ１００は、第１項の態様のリークディテクタ１００において、前記第２絶縁部材６８が、前記第１絶縁部材６７とは別体である。
このような構成であれば、第１絶縁部材６７やこの第１絶縁部材６７が設けれたベース部材６６としては既存のものを用いることができるので、これまでの装置構成を大きく変えることなく、電極６５間の絶縁耐久性を大幅に向上させることができる。

【0051】

（第３項）他の一態様に係るリークディテクタ１００は、第１項又は第２項の態様のリークディテクタ１００において、前記第２絶縁部材６８が、前記電極６５が差し通される差込孔６８ｈが形成されたものである。
このような構成であれば、第２絶縁部材６８を電極６５に差し通すことで、電極６５とベース部材６６との絶縁距離を長くすることができるので、生産性を担保することができる。

【0052】

（第４項）他の一態様に係るリークディテクタ１００は、第１項乃至第３項のうち何れか一項のリークディテクタ１００において、前記第２絶縁部材６８が筒状をなし、その軸方向に沿った寸法が２ｍｍ以上である。
第２絶縁部材の高さ寸法が２ｍｍ以上の領域には炭化物が付着し難いことが実験により判明したので、このような構成であれば、絶縁についてのより顕著な効果を奏することができる。

【0053】

（第５項）一態様に係るリークディテクタ用イオン源６は、被検体Ｘをリーク検査するリークディテクタ１００に用いられるものであり、真空引きされた分析管４内に設けられて、当該分析管４に導かれた前記被検体Ｘからのガスをイオン化させるリークディテクタ用イオン源６であって、
前記ガスをイオン化させる熱電子を放出するフィラメント６１と、
前記フィラメント６１と電気的に接続された電極６５と、
前記電極６５が貫通するとともに、前記フィラメント６１が配置される内部空間６Ｓと外部とを仕切るベース部材６６と、
前記ベース部材６６に形成された電極用貫通孔６６ｈ内に設けられて、前記電極６５及び前記ベース部材６６の間に介在する第１絶縁部材６７と、
前記電極の周囲に設けられて、前記ベース部材６６の前記内部空間６Ｓに臨む面６６１よりも前記内部空間６Ｓ側に延びる第２絶縁部材６８とを備える、リークディテクタ用イオン源６。

【0054】

このように構成されたリークディテクタ用イオン源６によれば、上述したリークディテクタ１００と同様の作用効果、すなわち第２絶縁部材６８により電極６５とベース部材６６との間の絶縁距離を稼ぐことができ、電極６５間の絶縁耐久性を大幅に向上させるといった作用効果を奏し得る。

【0055】

（第６項）一態様に係るリークディテクタ１００は、被検体Ｘからのガスを真空引きされた分析管４に導くとともに、そのガスを前記分析管４内に設けられたイオン源６を用いてイオン化して検出することで、前記被検体Ｘをリーク検査するリークディテクタ１００であって、
前記イオン源６が、
前記ガスをイオン化させる熱電子を放出するフィラメント６１と、
前記フィラメント６１と電気的に接続された電極６５と、
前記電極６５が貫通するとともに、前記フィラメント６１が配置される内部空間６Ｓと外部とを仕切るベース部材６６と、
前記ベース部材６６に形成された電極用貫通孔６６ｈ内に設けられて、前記電極６５及び前記ベース部材６６を絶縁する第１絶縁部材６７と、
前記第１絶縁部材６７よりも前記内部空間６Ｓ側に設けられて当該第１絶縁部材６７を覆うカバー部材６９とを備える。

【0056】

このように構成されたリークディテクタ１００によれば、第１絶縁部材６７への炭化物の付着をカバー部材６９により抑えることができるので、電極６５間の絶縁耐久性を向上させることが可能となる。

【符号の説明】

【0057】

１００：リークディテクタ
Ｘ：被検体
４：分析管
６：イオン源
６１：フィラメント
６２：アノード
６３：シールド
６４：加速スリット
６５：電極
６６：ベース部材
６６ｈ：電極用貫通孔
６６１ベース面
６７：第１絶縁部材
６７１：対向面
６Ｓ：内部空間
６８：第２絶縁部材
６８ｈ：差込孔
６８１：対向面
６８２：外周面
６９：カバー部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】