特許 7524846 検査装置、及びそれを備えた塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-22

(45)【発行日】2024-07-30

(54)【発明の名称】検査装置、及びそれを備えた塗布装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/892 20060101AFI20240723BHJP

   B05C 1/02 20060101ALI20240723BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20240723BHJP

【ＦＩ】

G01N21/892 Z

B05C1/02 101

B05C11/10

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2021110027

(22)【出願日】2021-07-01

(65)【公開番号】P2023007049

(43)【公開日】2023-01-18

【審査請求日】2023-12-26

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】大江 正浩

(72)【発明者】

【氏名】瀬野 秀英

【審査官】比嘉 翔一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２１－０８５７６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－００２８３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－０４５２６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０１７６３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２６８２３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－２０１６０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５６－１６０６４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１６－５３４３２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】再公表特許第２０１１／０７１０３５（ＪＰ，Ａ１）

【文献】再公表特許第２０１７／１６９２４２（ＪＰ，Ａ１）

【文献】特許第３７４１２８７（ＪＰ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ２１／００－Ｇ０１Ｎ２１／９５８

Ｇ０１Ｂ ９／００－Ｇ０１Ｂ１１／３０

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

凹凸を有する対象面に塗布された塗布剤の状態を検査する検査装置であって、
前記対象面における規定の検査対象領域を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置により撮像可能な光を前記検査対象領域に向けて照射する照明装置と、を備え、
前記照明装置は、前記検査対象領域の全体に拡散光を照射する第１光源と、当該第１光源の拡散光の照射により前記凹凸に起因して生じる影に直接光を照射する第２光源と、を備え、
前記第２光源は、前記対象面における前記影が生じている領域に対して直交する方向において、前記第１光源を挟んで前記対象面とは反対側に配置されている、検査装置。

【請求項2】

前記第２光源により照射される直接光の照度である直接光照度は、前記凹凸に応じて設定され、
前記第１光源により照射される拡散光の照度は、前記直接光照度に応じて設定される、請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記第２光源は、直接光の照射方向を変更可能に構成されている、請求項１又は２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記撮像装置及び前記照明装置に対する相対位置が固定された状態で、前記撮像装置及び前記照明装置を収容するハウジングを更に備え、
前記ハウジングは、当該ハウジングを貫通するように形成された開口部を備え、
前記撮像装置は、前記開口部を通して前記検査対象領域を撮像するように配置され、
前記第１光源は、前記開口部の少なくとも一部を覆うように配置され、
前記第２光源は、前記開口部を通して前記検査対象領域に直接光を照射するように配置されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の検査装置。

【請求項5】

前記第２光源は、列状に配置された複数の第２発光部を備え、
前記第１光源は、透光性を有する平板状の導光板と、前記導光板に向けて光を照射するように前記導光板の周囲に配置された複数の第１発光部と、を備え、
前記導光板は、複数の前記第１発光部からの光を前記検査対象領域に向けて拡散させるように構成されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の検査装置。

【請求項6】

前記第２光源は、複数の前記第２発光部からの光を、前記導光板を通して前記検査対象領域に照射するように配置され、
前記撮像装置は、前記導光板を通して前記検査対象領域を撮像するように配置されている、請求項５に記載の検査装置。

【請求項7】

請求項１から６のいずれか一項に記載の検査装置を備えた塗布装置であって、
前記対象面に前記塗布剤を塗布する塗布部と、
前記塗布部を移動させる駆動部と、を備え、
前記駆動部は、前記検査装置を前記塗布部と共に移動させるように構成され、
前記撮像装置は、前記対象面における前記塗布部により前記塗布剤が塗布された領域が前記検査対象領域に含まれるように配置されている、塗布装置。

【請求項8】

前記駆動部を制御する制御装置を更に備え、
前記制御装置は、前記撮像装置が前記検査対象領域を撮像することによって取得した情報に基づいて、前記対象面に対する前記塗布部の相対位置を補正する位置補正制御を行う、請求項７に記載の塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、凹凸を有する対象面に塗布された塗布剤の状態を検査する検査装置、及びそれを備えた塗布装置に関する。

【背景技術】

【0002】

このような技術の一例が、下記の特許文献１に開示されている。以下、背景技術の説明では、特許文献１における符号を括弧内に引用する。

【0003】

特許文献１には、塗布部（２０）により対象面（９１）に塗布剤を塗布し、対象面（９１）に塗布された塗布剤を撮像装置（４０）により撮像し、当該撮像により取得された撮像画像に基づいて塗布剤の状態を検査する技術が開示されている。

【0004】

このような検査においては、照明装置を用いて、対象面（９１）に塗布された塗布剤に向けて光を照射した状態で、撮像装置（４０）による撮像を行う。そして、撮像画像に基づいて、塗布剤の表面に影が生じていることが検出された場合には、塗布剤の表面が平坦ではなく、対象面（９１）に塗布剤が適切に塗布されていないと判断する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０２０－１８９３５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、溶接部分や部品同士の継ぎ目等の凹凸が対象面に存在していると、当該凹凸に起因して塗布剤の表面に影が生じる場合がある。そのため、上記のような技術では、対象面に塗布剤が適切に塗布されているにも関わらず、塗布剤の塗布不良が生じていると誤って判断される場合があった。

【0007】

そこで、対象面に凹凸が存在している場合であっても、対象面に塗布された塗布剤の状態を適切に検査できる技術の実現が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記に鑑みた検査装置の特徴構成は、
凹凸を有する対象面に塗布された塗布剤の状態を検査する検査装置であって、
前記対象面における規定の検査対象領域を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置により撮像可能な光を前記検査対象領域に向けて照射する照明装置と、を備え、
前記照明装置は、前記検査対象領域の全体に拡散光を照射する第１光源と、当該第１光源の拡散光の照射により前記凹凸に起因して生じる影に直接光を照射する第２光源と、を備え、
前記第２光源は、前記対象面における前記影が生じている領域に対して直交する方向において、前記第１光源を挟んで前記対象面とは反対側に配置されている点にある。

【0009】

この特徴構成によれば、塗布剤が塗布された対象面における検査対象領域の全体に対して、第１光源が拡散光を照射する。そして、当該拡散光の照射により対象面の凹凸に起因して生じる影に対して、第２光源が直接光を照射する。これにより、第１光源の拡散光の照射による対象面の凹凸に起因した影の発生を低減することができる。そのため、対象面に塗布剤が適切に塗布されているにも関わらず、塗布剤の塗布不良が生じていると誤って判断される可能性を低減することができる。したがって、対象面に凹凸が存在している場合であっても、対象面に塗布された塗布剤の状態を適切に検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施形態に係る検査装置、及びそれを備えた塗布装置を示す斜視図

【図2】実施形態に係る検査装置、及びそれを備えた塗布装置の要部を示す断面図

【図3】実施形態に係る塗布装置の制御ブロック図

【図4】対象面の凹凸が含まれる検査対象領域に対して、第１光源が拡散光を照射した状態での撮像画像と、第１光源が拡散光を照射すると共に第２光源が直接光を照射した状態での撮像画像とを示す図

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下では、実施形態に係る塗布装置１００について、図面を参照して説明する。図１に示すように、塗布装置１００は、塗布部１と、駆動部２と、検査装置３と、を備えている。

【0012】

図２に示すように、塗布部１は、対象面Ｓに塗布剤Ｐを塗布するように構成されている。本実施形態では、塗布部１は、対象面Ｓに塗布剤Ｐを塗るための刷毛１ａを備えている。本例では、対象面Ｓは、自動車の車体におけるガラスが取り付けられる面である。そして、塗布剤Ｐは、接着剤を用いて自動車の車体にガラスを接着する場合に、車体及びガラスと接着剤との間に介在させるプライマである。

【0013】

本実施形態では、対象面Ｓは、平面状に形成されている。そして、対象面Ｓには、当該対象面Ｓの一部が盛り上がるように突起部Ｓａが形成されている。これに伴い、対象面Ｓに塗布された塗布剤Ｐにおける突起部Ｓａ上に位置する部分も盛り上がっている。突起部Ｓａは、対象面Ｓの「凹凸」に相当する。

【0014】

図１に示すように、駆動部２は、塗布部１を移動させるように構成されている。更に、駆動部２は、検査装置３を塗布部１と共に移動させるように構成されている。本例では、駆動部２は、ロボットアームである。

【0015】

本実施形態では、駆動部２は、支持部材９を、第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び第３方向Ｚに移動させる。第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び第３方向Ｚは、互いに直交する方向である。本実施形態では、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙは、対象面Ｓに沿う方向である。そして、第３方向Ｚは、対象面Ｓに対して接近又は離間する方向である。

【0016】

検査装置３は、対象面Ｓに塗布された塗布剤Ｐの状態を検査する装置である。検査装置３は、撮像装置４と、照明装置５と、を備えている。本実施形態では、検査装置３は、距離測定装置６と、ハウジング７と、を更に備えている。

【0017】

撮像装置４は、対象面Ｓにおける規定の検査対象領域Ａを撮像する装置である。本実施形態では、撮像装置４は、対象面Ｓにおける塗布部１により塗布剤Ｐが塗布された領域が検査対象領域Ａに含まれるように配置されている。本例では、撮像装置４は、検査対象領域Ａを撮像して撮像画像ＩＭ（図４参照）を取得するカメラである。撮像画像ＩＭは、撮像装置４が検査対象領域Ａを撮像することによって取得した「情報」に相当する。

【0018】

照明装置５は、撮像装置４により撮像可能な光を検査対象領域Ａに向けて照射する装置である。ここで、「撮像装置４により撮像可能な光」は、可視光線に限らず、赤外線、紫外線等も含む

【0019】

図１に示すように、距離測定装置６は、対象面Ｓまでの距離を測定する装置である。本例では、距離測定装置６は、レーザ距離計である。

【0020】

ハウジング７は、撮像装置４及び照明装置５に対する相対位置が固定された状態で、撮像装置４及び照明装置５を収容するように構成されている。ハウジング７は、当該ハウジング７を貫通するように形成された開口部７ａを備えている。本実施形態では、開口部７ａは、ハウジング７における対象面Ｓに対向する面を第３方向Ｚに貫通するように形成されている。

【0021】

本実施形態では、ハウジング７は、距離測定装置６及び塗布部１に対する相対位置が固定された状態で、距離測定装置６及び塗布部１を収容するように構成されている。なお、塗布部１は、刷毛１ａが開口部７ａからハウジング７の外部に露出した状態で、ハウジング７に収容されている。

【0022】

本実施形態では、塗布部１及び検査装置３は、互いの相対位置が固定された状態で支持部材９により支持されている。そして、駆動部２は、支持部材９を移動させることによって、塗布部１と検査装置３とを一体的に移動させる。

【0023】

本実施形態では、支持部材９は、撮像装置４を支持する第１支持部９１と、照明装置５を支持する第２支持部９２と、塗布部１を支持する第３支持部９３と、距離測定装置６を支持する第４支持部９４と、駆動部２に連結された連結部９５と、を備えている。

【0024】

第１支持部９１は、連結部９５から対象面Ｓに向けて、第３方向Ｚに沿って延在している。そして、第１支持部９１における第１方向Ｘを向く面に、撮像装置４が取り付けられている。第２支持部９２は、第１支持部９１から第１方向Ｘに沿って延在し、更に対象面Ｓに向けて第３方向Ｚに沿って延在している。そして、第２支持部９２の先端部（対象面Ｓ側の端部）に、照明装置５が取り付けられている。第３支持部９３は、第２支持部９２に対して第１方向Ｘに離間するように、第１支持部９１から対象面Ｓに向けて第３方向Ｚに沿って延在している。そして、第３支持部９３の先端部（対象面Ｓ側の端部）に、塗布部１が取り付けられている。

【0025】

本実施形態では、図３に示すように、塗布装置１００は、制御装置１０を更に備えている。制御装置１０は、駆動部２を制御する。本実施形態では、制御装置１０は、検査装置３の撮像装置４、照明装置５、及び距離測定装置６を更に制御する。

【0026】

本実施形態では、制御装置１０は、撮像装置４が取得した撮像画像ＩＭに基づいて、対象面Ｓに塗布剤Ｐが適切に塗布されているか否かを判定する。本例では、制御装置１０は、撮像画像ＩＭをグレースケール化して濃淡画像を作成し、当該濃淡画像において濃淡の変化率が規定の閾値以上である場合に、塗布剤Ｐの塗布不良に起因する影が生じていると判定する。

【0027】

また、本実施形態では、制御装置１０は、撮像装置４が取得した撮像画像ＩＭに基づいて、対象面Ｓに対する塗布部１の相対位置を補正する位置補正制御を行う。本例では、制御装置１０は、撮像画像ＩＭに基づいて、現在の対象面Ｓに対する検査装置３の相対位置を算出する。ここで、予めティーチング（教示）等により駆動部２の移動軌跡が設定され、対象面Ｓに対する検査装置３の適切な相対位置が設定されている。そのため、本例では、制御装置１０は、位置補正制御において、現在の対象面Ｓに対する検査装置３の相対位置が予め設定された相対位置となるように駆動部２を制御する。なお、位置補正制御は、撮像画像ＩＭに加えて、距離測定装置６により測定された対象面Ｓまでの距離に基づいて行うと好適である。これにより、位置補正制御をより精度良く行うことができる。

【0028】

図２に示すように、照明装置５は、第１光源５１と、第２光源５２と、を備えている。

【0029】

第１光源５１は、検査対象領域Ａの全体に拡散光を照射するように構成されている。本実施形態では、突起部Ｓａが含まれる検査対象領域Ａに対して第１光源５１が拡散光を照射することにより、突起部Ｓａに起因して影が生じる（図４の左側図における破線で囲まれた部分参照）。本実施形態では、第１光源５１は、導光板５１１と、複数の第１発光部５１２と、を備えている。

【0030】

導光板５１１は、透光性を有する素材により構成されている。導光板５１１は、平板状に形成されている。本実施形態では、導光板５１１は、第３方向Ｚにおける対象面Ｓの側を向く照射面５１１ａと、第３方向Ｚにおける照射面５１１ａの側とは反対側を向く拡散面５１１ｂと、第１方向Ｘの両側を向く一対の第１入射面５１１ｃと、第２方向Ｙの両側を向く一対の第２入射面５１１ｄと、を備えている。本実施形態では、照射面５１１ａ及び拡散面５１１ｂのそれぞれは、第１方向Ｘに沿う一対の辺と第２方向Ｙに沿う一対の辺とを備えた矩形状に形成されている。そして、一対の第１入射面５１１ｃは、照射面５１１ａにおける第２方向Ｙに沿う一対の辺と、拡散面５１１ｂにおける第２方向Ｙに沿う一対の辺とを接続するように形成されている。また、一対の第２入射面５１１ｄは、照射面５１１ａにおける第１方向Ｘに沿う一対の辺と、拡散面５１１ｂにおける第１方向Ｘに沿う一対の辺とを接続するように形成されている。

【0031】

複数の第１発光部５１２は、導光板５１１に向けて光を照射するように、導光板５１１の周囲に配置されている。図示は省略するが、本実施形態では、複数の第１発光部５１２は、導光板５１１の一対の第１入射面５１１ｃに対向するように第２方向Ｙに並んで配置されていると共に、導光板５１１の一対の第２入射面５１１ｄに対向するように第１方向Ｘに並んで配置されている。そして、本実施形態では、複数の第１発光部５１２は、導光板５１１の一対の第１入射面５１１ｃ及び一対の第２入射面５１１ｄに向けて光を照射する。本例では、複数の第１発光部５１２のそれぞれは、基板５１３に実装された発光ダイオードである。

【0032】

導光板５１１は、複数の第１発光部５１２からの光を検査対象領域Ａに向けて拡散させるように構成されている。本実施形態では、導光板５１１の拡散面５１１ｂには、突起部や溝部等の複数の拡散要素（図示を省略）が形成されている。これらの複数の拡散要素は、一対の第１入射面５１１ｃ及び一対の第２入射面５１１ｄから入射した複数の第１発光部５１２の光を拡散させて、照射面５１１ａから照射させるように構成されている。

【0033】

本実施形態では、導光板５１１は、第３方向Ｚに沿う方向視で、塗布部１の刷毛１ａと重複するように配置されている。本例では、塗布部１の刷毛１ａが第３方向Ｚに沿う方向視で導光板５１１と重複するように、塗布部１が第３方向Ｚに対して傾斜されている。ここで、２つの要素の配置に関して、特定の「方向視で重複する」とは、その視線方向に平行な仮想直線を当該仮想直線と直交する各方向に移動させた場合に、当該仮想直線が２つの要素の双方に交わる領域が少なくとも一部に存在することを指す。

【0034】

本実施形態では、導光板５１１及び複数の第１発光部５１２は、フレーム部材５１４に支持されている。フレーム部材５１４は、複数の第１発光部５１２を収容するように形成されている。本実施形態では、フレーム部材５１４は、導光板５１１における照射面５１１ａ及び拡散面５１１ｂの外縁を覆うように形成されている。そして、フレーム部材５１４は、発光ダイオードとしての第１発光部５１２が実装された基板５１３を保持するように形成されている。また、本実施形態では、フレーム部材５１４は、支持部材９の第２支持部９２と第３支持部９３との第１方向Ｘの間に位置するように（図１参照）、第２支持部９２に固定されている。

【0035】

第２光源５２は、第１光源５１の拡散光の照射により対象面Ｓの凹凸に起因して生じる影に直接光を照射するように構成されている。図４に示すように、第１光源５１の拡散光の照射により対象面Ｓの凹凸に起因して生じる影（図４の左側図における破線で囲まれた部分参照）に対して第２光源５２が直接光を照射することにより、当該影の発生が低減される（図４の右側図における破線で囲まれた部分参照）。図４に示す例では、互いに隣接するように並んで配置された２つの部材の境界部分に、凹凸として段差部が形成されている。なお、第１光源５１の拡散光の照射により対象面Ｓの凹凸（例えば、突起部Ｓａ、図４に示す段差部）に起因して生じる影の位置や向きは、例えば、駆動部２の移動軌跡等を設定するティーチング（教示）や実験等により予め把握可能である。

【0036】

図２に示すように、本実施形態では、第２光源５２は、複数の第２発光部５２１を備えている。複数の第２発光部５２１は、検査対象領域Ａに向けて光を照射する。複数の第２発光部５２１は、列状に配置されている。本実施形態では、複数の第２発光部５２１は、第１方向Ｘに並んで配置されている。本例では、複数の第２発光部５２１のそれぞれは、発光ダイオードである。

【0037】

本実施形態では、第２光源５２は、直接光の照射方向を変更可能に構成されている。より詳しくは、第２光源５２は、直接光の照射方向を、撮像装置４の撮像方向に対して変更可能に構成されている。本例では、第２光源５２を保持する保持体５３が、第１方向Ｘに沿う軸心Ａｘを中心として回動するように、支持部材９の第２支持部９２に支持されている。なお、本例では、保持体５３の回動は、制御装置１０により制御されている。ここで、第２光源５２による直接光の照射方向は、対象面Ｓにおける第１光源５１の拡散光の照射により影が生じている領域に対して直交する方向或いはそれに近い方向に沿うように設定されると好適である。影が生じている領域が曲面である場合には、第２光源５２による直接光の照射方向は、影の中心領域に対して直交する方向或いはそれに近い方向に沿うように設定されると好適である。制御装置１０は、第２光源５２による直接光の照射方向が、第１光源５１の拡散光の照射により影が生じている領域に対して直交する方向にできるだけ近くなるように、保持体５３の角度を制御する。

【0038】

本実施形態では、第２光源５２により照射される直接光の照度である直接光照度は、対象面Ｓの凹凸（例えば、突起部Ｓａ、図４に示す段差部）に応じて設定されている。また、第１光源５１により照射される拡散光の照度である拡散光照度は、直接光照度に応じて設定されている。直接光照度は、例えば、突起部Ｓａの高さ（第３方向Ｚの寸法）や幅（第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの寸法）等に基づいて設定される。また、拡散光照度は、例えば、直接光照度よりも小さい値に設定されている。なお、本例では、直接光照度及び拡散光照度は、制御装置１０により変更される。なお、直接光照度及び拡散光照度は、撮像装置４においてレンズフレアが生じない範囲内に設定される。

【0039】

本実施形態では、第２光源５２は、複数の第２発光部５２１からの光を、導光板５１１を通して検査対象領域Ａに照射するように配置されている。そのため、複数の第２発光部５２１からの光は、拡散面５１１ｂから導光板５１１に入射し、導光板５１１を通って照射面５１１ａから検査対象領域Ａに照射される。

【0040】

また、本実施形態では、撮像装置４は、導光板５１１を通して検査対象領域Ａを撮像するように配置されている。本例では、撮像装置４は、導光板５１１の拡散面５１１ｂに対して第３方向Ｚに対向するように配置されている。つまり、撮像装置４は、第３方向Ｚに沿う方向視で、導光板５１１と重複するように配置されている。

【0041】

本実施形態では、第１光源５１は、ハウジング７の開口部７ａの少なくとも一部を覆うように配置されている。本例では、第１光源５１の導光板５１１が、ハウジング７の開口部７ａの一部を覆うように配置されている。

【0042】

上述したように、本実施形態では、撮像装置４は、導光板５１１を通して検査対象領域Ａを撮像するように配置されている。そして、第１光源５１は、ハウジング７の開口部７ａの少なくとも一部を覆うように配置されている。そのため、本実施形態では、撮像装置４は、ハウジング７の開口部７ａを通して検査対象領域Ａを撮像するように配置されている。また、上述したように、本実施形態では、第２光源５２は、複数の第２発光部５２１からの光を、導光板５１１を通して検査対象領域Ａに照射するように配置されている。そのため、本実施形態では、第２光源５２は、ハウジング７の開口部７ａを通して検査対象領域Ａに直接光を照射するように配置されている。

【0043】

〔その他の実施形態〕
（１）上記の実施形態では、対象面Ｓの凹凸として、対象面Ｓの一部が盛り上がるように突起部Ｓａが対象面Ｓに形成された構成を例として説明した。しかし、そのような例に限定されることなく、対象面Ｓの凹凸は、対象面Ｓの一部が窪むように形成された凹部であっても良いし、このような凹部と凸部とが複合した凹凸形状であっても良い。

【0044】

（２）上記の実施形態では、第２光源５２により照射される直接光の照度である直接光照度が、対象面Ｓの凹凸（例えば、突起部Ｓａ、図４に示す段差部）に応じて設定される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、直接光照度が、対象面Ｓの色彩に応じて設定される構成としても良い。この構成では、例えば、対象面Ｓの明度が低い場合には直接光照度を高くし、対象面Ｓの明度が高い場合には直接光照度を低くすると好適である。

【0045】

（３）上記の実施形態では、第２光源５２が直接光の照射方向を変更可能な構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、直接光の照射方向が固定された構成としても良い。例えば、上記の実施形態の構成において、第２光源５２の直接光の照射方向が、撮像装置４の撮像方向に対して固定されていても良い。

【0046】

（４）上記の実施形態では、ハウジング７を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、ハウジング７を備えていない構成としても良い。

【0047】

（５）上記の実施形態では、第１光源５１が、透光性を有する平板状の導光板５１１と、当該導光板５１１に向けて光を照射するように導光板５１１の周囲に配置された複数の第１発光部５１２と、を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、第１光源５１が、ドーム状のケースと、当該ケースの内面に向けて光を照射するようにケースの内側に配置された複数の発光部と、を備えた、所謂ドーム照明であっても良い。

【0048】

（６）上記の実施形態では、第２光源５２が、列状に配置された複数の第２発光部５２１を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、複数の第２発光部５２１が環状に配置された構成としても良い。或いは、第２光源５２が、１つのみの第２発光部５２１を備えた構成としても良い。

【0049】

（７）上記の実施形態では、第２光源５２が、複数の第２発光部５２１からの光を、導光板５１１を通して検査対象領域Ａに照射するように配置された構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第２光源５２が、複数の第２発光部５２１からの光を、導光板５１１を通さずに検査対象領域Ａに照射するように配置されていても良い。

【0050】

（８）上記の実施形態では、撮像装置４が、導光板５１１を通して検査対象領域Ａを撮像するように配置された構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、撮像装置４が、導光板５１１を通さずに検査対象領域Ａを撮像するように配置されていても良い。

【0051】

（９）上記の実施形態では、制御装置１０が、撮像装置４が取得した撮像画像ＩＭに基づいて、対象面Ｓに対する塗布部１の相対位置を補正する位置補正制御を行う構成を例として説明した。位置補正制御は、塗布部１により塗布剤Ｐを塗布する工程を実施する前に１度だけ行っても良いし、当該工程中に複数回行っても良い。また、制御装置１０が位置補正制御を行わない構成としても良い。

【0052】

（１０）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。したがって、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0053】

〔上記実施形態の概要〕
以下では、上記において説明した、検査装置及び塗布装置の概要について説明する。

【0054】

検査装置は、
凹凸を有する対象面に塗布された塗布剤の状態を検査する検査装置であって、
前記対象面における規定の検査対象領域を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置により撮像可能な光を前記検査対象領域に向けて照射する照明装置と、を備え、
前記照明装置は、前記検査対象領域の全体に拡散光を照射する第１光源と、当該第１光源の拡散光の照射により前記凹凸に起因して生じる影に直接光を照射する第２光源と、を備えている。

【0055】

この構成によれば、塗布剤が塗布された対象面における検査対象領域の全体に対して、第１光源が拡散光を照射する。そして、当該拡散光の照射により対象面の凹凸に起因して生じる影に対して、第２光源が直接光を照射する。これにより、第１光源の拡散光の照射による対象面の凹凸に起因した影の発生を低減することができる。そのため、対象面に塗布剤が適切に塗布されているにも関わらず、塗布剤の塗布不良が生じていると誤って判断される可能性を低減することができる。したがって、対象面に凹凸が存在している場合であっても、対象面に塗布された塗布剤の状態を適切に検査することができる。

【0056】

ここで、前記第２光源により照射される直接光の照度である直接光照度は、前記凹凸に応じて設定され、
前記第１光源により照射される拡散光の照度は、前記直接光照度に応じて設定されると好適である。

【0057】

この構成によれば、検査対象領域を撮像装置による撮像に適した明るさとすることができる。したがって、対象面に塗布された塗布剤の状態を精度良く検査することができる。

【0058】

また、前記第２光源は、直接光の照射方向を変更可能に構成されていると好適である。

【0059】

この構成によれば、第１光源の拡散光の照射により対象面の凹凸に起因して生じる影の向きに応じて、適切に第２光源の直接光の照射を行うことができる。したがって、拡散光の照射によって対象面の凹凸に起因して生じる影の向きによらず、当該影の発生を適切に低減することができる。

【0060】

また、前記撮像装置及び前記照明装置に対する相対位置が固定された状態で、前記撮像装置及び前記照明装置を収容するハウジングを更に備え、
前記ハウジングは、当該ハウジングを貫通するように形成された開口部を備え、
前記撮像装置は、前記開口部を通して前記検査対象領域を撮像するように配置され、
前記第１光源は、前記開口部の少なくとも一部を覆うように配置され、
前記第２光源は、前記開口部を通して前記検査対象領域に直接光を照射するように配置されていると好適である。

【0061】

この構成によれば、撮像装置及び照明装置がハウジングに収容されている。これにより、撮像装置に対する外乱光の影響を低減することができる。また、撮像装置により検査対象領域を撮像する際に、検査対象領域がハウジングにより覆われる状態とすることが容易となる。これにより、検査対象領域に対する外乱光の影響を低減することができる。
また、本構成によれば、検査対象領域に拡散光を照射する第１光源を、検査対象領域に直接光を照射する第２光源よりも検査対象領域に近付けることが容易となる。これにより、検査対象領域を撮像装置による撮像に適した状態とすることが容易となる。

【0062】

また、前記第２光源は、列状に配置された複数の第２発光部を備え、
前記第１光源は、透光性を有する平板状の導光板と、前記導光板に向けて光を照射するように前記導光板の周囲に配置された複数の第１発光部と、を備え、
前記導光板は、複数の前記第１発光部からの光を前記検査対象領域に向けて拡散させるように構成されていると好適である。

【0063】

この構成によれば、第１光源が、平板状の導光板と、当該導光板の周囲に配置された複数の第１発光部と、を備えている。これにより、第１光源を全体として平板状に形成することができるため、第１光源の配置スペースを小さく抑えることができる。したがって、検査装置の小型化が容易となる。
また、本構成によれば、第２光源が、列状に配置された複数の第２発光部を備えている。これにより、第２光源による直接光の照射領域を広くすることが容易となる。したがって、対象面の凹凸に起因して生じる影が比較的大きい場合であっても、当該影に対して適切に直接光を照射することができる。

【0064】

また、前記第２光源は、複数の前記第２発光部からの光を、前記導光板を通して前記検査対象領域に照射するように配置され、
前記撮像装置は、前記導光板を通して前記検査対象領域を撮像するように配置されていると好適である。

【0065】

この構成によれば、複数の第２発光部からの光が導光板を通して検査対象領域に照射されると共に、複数の第１発光部からの光が導光板により検査対象領域に向けて拡散される。これにより、第１光源の拡散光と第２光源の直接光とを、適切に検査対象領域に照射することができる。
また、本構成によれば、撮像装置が導光板を通して検査対象領域を撮像する。これにより、撮像装置による撮像を検査対象領域に対して直交する方向から行い易い。したがって、検査対象領域を適切に撮像することができる。

【0066】

塗布装置は、
上記の検査装置を備えた塗布装置であって、
前記対象面に前記塗布剤を塗布する塗布部と、
前記塗布部を移動させる駆動部と、を備え、
前記駆動部は、前記検査装置を前記塗布部と共に移動させるように構成され、
前記撮像装置は、前記対象面における前記塗布部により前記塗布剤が塗布された領域が前記検査対象領域に含まれるように配置されている。

【0067】

この構成によれば、検査装置を塗布部に連動して移動させることが容易となる。これにより、塗布部により対象面に塗布剤を塗布した後、直ちに検査装置による塗布剤の状態の検査を開始することができる。したがって、塗布装置の作業時間を短縮することができる。

【0068】

ここで、前記駆動部を制御する制御装置を更に備え、
前記制御装置は、前記撮像装置が前記検査対象領域を撮像することによって取得した情報に基づいて、前記対象面に対する前記塗布部の相対位置を補正する位置補正制御を行うと好適である。

【0069】

この構成によれば、検査装置の撮像装置を用いて、対象面に塗布された塗布剤の状態の検査に加えて、塗布部の位置補正も行うことができる。したがって、塗布部の位置補正用の撮像装置を別途備えた構成と比べて、塗布装置の構成の簡略化及び低コスト化を図ることができる。

【産業上の利用可能性】

【0070】

本開示に係る技術は、凹凸を有する対象面に塗布された塗布剤の状態を検査する検査装置、及びそれを備えた塗布装置に利用することができる。

【符号の説明】

【0071】

１００ ：塗布装置
１ ：塗布部
２ ：駆動部
３ ：検査装置
４ ：撮像装置
５ ：照明装置
５１ ：第１光源
５２ ：第２光源
Ｓ ：対象面
Ｓａ ：突起部（凹凸）
Ｐ ：塗布剤
Ａ ：検査対象領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】