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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-07-24
(45)【発行日】2024-08-01
(54)【発明の名称】タッチセンサ
(51)【国際特許分類】
G06F 3/041 20060101AFI20240725BHJP
G06F 3/044 20060101ALI20240725BHJP
【ＦＩ】
G06F3/041 430
G06F3/041 660
G06F3/044 122
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2023032551
(22)【出願日】2023-03-03
(62)【分割の表示】P 2021556795の分割
【原出願日】2020-03-13
(65)【公開番号】P2023065613
(43)【公開日】2023-05-12
【審査請求日】2023-03-16
(31)【優先権主張番号】10-2019-0032387
(32)【優先日】2019-03-21
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】514217912
【氏名又は名称】東友ファインケム株式会社
【氏名又は名称原語表記】ＤＯＮＧＷＯＯ ＦＩＮＥ－ＣＨＥＭ ＣＯ．， ＬＴＤ．
【住所又は居所原語表記】１３２，Ｙａｋｃｈｏｎ－ｒｏ，Ｉｋｓａｎ－ｓｉ Ｊｅｏｌｌａｂｕｋ－ｄｏ ５７０－９７７，Ｋｏｒｅａ
(74)【代理人】
【識別番号】110000338
【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ
(72)【発明者】
【氏名】キム，ビョンイン
(72)【発明者】
【氏名】イ，チョル フン
(72)【発明者】
【氏名】イム，チャン ギョン
(72)【発明者】
【氏名】ジャン，ミンソク
【審査官】槙 俊秋
(56)【参考文献】
【文献】米国特許出願公開第２０２０／００８９３５１（ＵＳ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２０１６／０１４９４０１（ＵＳ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２０１６／０１４９４０（ＵＳ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２０１８／０１５７３５４（ＵＳ，Ａ１）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１８－０１１０６６２（ＫＲ，Ａ）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１３－０１３６３７６（ＫＲ，Ａ）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１８－００１３５３１（ＫＲ，Ａ）
【文献】特開２０１４－１０９９９７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－２１１９８４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０６Ｆ ３／０１
Ｇ０６Ｆ ３／０４４－３／０４８９５
Ｇ０６Ｆ ３／１４－３／１５３
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の感知セルが電気的に連結される感知セルグループを備える感知セル部；及び前記感知セル部の外側に形成される配線部を備えるユニットパターンを含み、
前記配線部は、
前記感知セル部の一方側端部の感知セルに電気的に連結される引き出し配線を備える第１サブ配線部；及び
前記第１サブ配線部よりも外側に配置され、前記感知セル部と電気的に連結されない非引き出し配線を備え且つ該非引き出し配線は大面積のタッチセンサを形成するために繰り返し形成される前記ユニットパターンの数から１を差し引いた数分を備える第２サブ配線部を含み、
ｎ個の前記ユニットパターンを順次繰り返し形成して大面積のタッチセンサを構成し（ｎは、２以上の整数）、
ｎ番目のユニットパターンの第２サブ配線部は、最外側の非引き出し配線を第１非引き出し配線とし、最内側の非引き出し配線を第ｎ-１非引き出し配線としたとき、前記第１非引き出し配線は、隣接したｎ-１番目のユニットパターンから二番目ユニットパターンの各第２サブ配線部を順次経由して一番目のユニットパターンの第１サブ配線部に連結される、タッチセンサ。
【請求項2】
前記第１非引き出し配線から第ｎ-１非引き出し配線までの配線は、それぞれ一番目のユニットパターンからｎ-１番目のユニットパターンまでの感知セル部と電気的に連結される、請求項１に記載のタッチセンサ。
【請求項3】
第２サブ配線部の外側にノイズ遮蔽のための第３サブ配線部をさらに含む、請求項１または２に記載のタッチセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、タッチセンサに係り、より詳しくは、ステッチ（ｓｔｉｔｃｈ）工法で大面積のパターンを形成することができるグループパターン及びこれを形成するための露光マスクに関する。
【背景技術】
【0002】
スマートフォンなどのタッチセンサは、タッチ命令の入力を受ける入力装置であって、タッチ部分の感知方式に応じて抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、赤外線方式などがあり、近年は静電容量方式を主に利用している。
【0003】
静電容量方式は、伝導性薄膜が形成された透明基板を利用するものであって、一定量の電圧を透明基板の表面に保持させた状態でユーザが透明基板の表面をタッチすると接触面で電圧が変わり、このような電圧の変化を検知してタッチの有無を感知する。
【0004】
タッチセンサは、接触位置を精度よく判断するために透明基板にＸ、Ｙ軸に沿って配列された複数の感知セルを含み得る。感知セルは、末端を除く残りのものを菱形などで構成し得る。感知セルは、Ｘ軸方向に連結された第１感知電極とＹ軸方向に連結された第２感知電極とに分けられ、それぞれ第１配線部と第２配線部を介して連結して構成し得る。
【0005】
第１、２配線部は、透明基板の側縁に沿って延びて透明基板の縁に形成されるパッド電極と接続し得る。パッド電極は、さらにフレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣＢ）と接続し得る。ＦＰＣＢは、異方性導電フィルム（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ、ＡＣＦ）などを介してパッド電極と接着及び接続し得る。
【0006】
韓国特許登録第１０６８２８５号（液晶表示装置の露光マスクパターン及び露光方法）をみると、液晶表示装置のサブピクセル（ｓｕｂ ｐｉｘｅｌ）またはピクセル（ｐｉｘｅｌ）単位でレゴパターン（ｌｅｇｏ ｐａｔｔｅｒｎ）露光を進めてステッチ（ｓｔｉｔｃｈ）不良及び画質不良を改善する方法を開示している。内容をみると、液晶表示装置においてアレイ基板のサブピクセルを第１露光領域と第２露光領域とに分割するステップ、第１露光領域と第２露光領域を順次露光するステップとで構成され、サブピクセルにおいて分割される第１露光領域と第２露光領域は２以上に分割されるレゴパターンであり、第１露光領域と第２露光領域とに分割して露光を進めるサブピクセルは、分割露光の進行の際にオーバラップ露光される領域のサブピクセルから構成されることを特徴としている。
【0007】
従来技術ではステッチ工法に露光マスクを適用する際にステッチ不良が発生することを解消する効果を達成するが、対称するパターンの他に非対称配線部を含むタッチセンサパターンを露光する方法についての提示はしていない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
本発明は、従来技術の問題点を解決するためのものであって、
第一、小面積の露光マスクで繰り返しパターニングすることで大面積のタッチセンサパターンを容易に形成することができ、
第二、プリント方式、ロール・ツー・ロール方式などにも適用することができる、露光マスク及びこれを介して形成されるタッチセンサを提供することをその目的とする。
第一、小面積の露光マスクで繰り返しパターニングすることで大面積のタッチセンサパターンを容易に形成することができ、
第二、プリント方式、ロール・ツー・ロール方式などにも適用することができる、露光マスク及びこれを介して形成されるタッチセンサを提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
このような目的を達成するための本発明のタッチセンサは、感知セル部、配線部を含む第１グループパターンを含んでよい。
【0010】
感知セル部は、複数の感知セルが電気的に連結される感知セルグループを複数備えてよい。
【0011】
配線部は、感知セル部に隣接して形成してよい。
【0012】
配線部は、第１サブ配線部、第２サブ配線部を含んでよい。
【0013】
第１サブ配線部は、感知セル部に隣接して配置され、感知セルグループの一方側端部の感知セルに電気的に連結される引き出し配線として構成してよい。
【0014】
第２サブ配線部は、第１サブ配線部よりも外側に配置され、感知セル部と電気的に連結されない非引き出し配線として構成してよい。
【0015】
本発明のタッチセンサは、第１グループパターンと隣接配置され且つ第１グループパターンと同一の構造を有する第２グループパターンを含んでよい。この場合、第１グループパターンの第２サブ配線部の一部の非引き出し配線は、第２グループパターンの第１サブ配線部の引き出し配線に接続して信号を伝達する信号伝達配線であってよい。
【0016】
本発明のタッチセンサにおいて、第１グループパターンの第２サブ配線部の他の一部の非引き出し配線は、第１グループパターンの第２サブ配線部の非引き出し配線に接続し且つ信号を伝達しないダミー配線であってよい。
【0017】
本発明のタッチセンサは、第１グループパターンと隣接して配置され且つ第１グループパターンと同一の構造を有する第２グループパターンを含んでよい。この場合、第１グループパターンの第２サブ配線部の非引き出し配線は、第２グループパターンの第１サブ配線部の引き出し配線及び第２サブ配線部の一部の非引き出し配線に接続して信号を伝達する信号伝達配線であってよい。
【0018】
本発明のタッチセンサにおいて、第２サブ配線部の非引き出し配線は、信号を伝達しないダミー配線であってよい。
【0019】
本発明のタッチセンサは、第１グループパターンと隣接して配置され且つ第１グループパターンと同一の構造を有する第２グループパターンを含んでよい。この場合、第１グループパターンの第２サブ配線部の一部の非引き出し配線は、第２グループパターンの第２配線部の一部の非引き出し配線に接続してよい。
【0020】
本発明のタッチセンサは、第２サブ配線部の外側にノイズ遮蔽のための第３サブ配線部をさらに含んでよい。
【0021】
本発明に係る露光マスクは、感知セル部に隣接して複数の配線を形成する貫通スリットを備える配線マスク部を含んでよい。
【0022】
配線マスク部は、第１、２サブ配線マスク部を含んでよい。
【0023】
第１サブ配線マスク部は、感知セル部の一方側端部の感知セルに連結される第１サブ配線部を形成する第１貫通スリットを備えてよい。
【0024】
第２サブ配線マスク部は、第１サブ配線マスク部よりも外側に配置され且つ感知セル部の感知セルと連結されない第２サブ配線部を形成する第２貫通スリットを備えてよい。
【0025】
本発明に係る露光マスクは、感知セルマスク部を選択的にさらに含んでよい。感知セルマスク部は、配線マスク部の側方に形成され且つ感知セル部の感知セルを形成する貫通孔を備えてよい。
【0026】
本発明に係る露光マスクは、第２サブ配線マスク部の外側にノイズ遮蔽用ダミー配線を形成する第３貫通スリットを備えてよい。
【0027】
本発明に係る露光マスクにおいて、第２貫通スリットは、第１貫通スリットよりも数が多くてよい。
【0028】
本発明に係るタッチセンサは、複数の感知セルが電気的に連結される感知セルグループを備える感知セル部と、感知セル部の外側に形成される配線部を備えるユニットパターンを繰り返し含んでよい。
【0029】
配線部は、第１サブ配線部と第２サブ配線部を含んでよい。
【0030】
第１サブ配線部は、感知セル部の一方側端部の感知セルに電気的に連結される引き出し配線を備えてよい。
【0031】
第２サブ配線部は、第１サブ配線部よりも外側に配置されてよい。第２サブ配線部は、感知セル部と電気的に連結されない非引き出し配線を備えてよい。ここで、非引き出し配線は、大面積のタッチセンサを形成するために繰り返し形成されるユニットパターンの数から１を差し引いた数と同じか、それより多く備えてよい。
【0032】
本発明に係るタッチセンサは、ｎ個のユニットパターンを順次繰り返し形成して大面積のタッチセンサを構成してよい。ここで、ｎは、２以上の整数であってよい。ｎ番目のユニットパターンの第２サブ配線部は、最外側の非引き出し配線を第１非引き出し配線とし、最内側の非引き出し配線を第ｎ-１非引き出し配線としたとき、第１非引き出し配線は、隣接したｎ-１番目のユニットパターンから２番目ユニットパターンの各第２サブ配線部を順次経由して１番目のユニットパターンの第１サブ配線部に連結されてよい。
【0033】
本発明に係るタッチセンサにおいて、第１非引き出し配線から第ｎ-１非引き出し配線までの配線は、それぞれ１番目のユニットパターンからｎ-１番目ユニットパターンまでの感知セル部と電気的に連結されてよい。
【0034】
本発明に係るタッチセンサは、第２サブ配線部の外側にノイズ遮蔽のための第３サブ配線部をさらに含んでよい。
【発明の効果】
【0035】
このような構成を有する本発明のタッチセンサ及び露光マスクによれば、既存のステッチ方式を活用し得る対称パターンだけではなく配線部の非対称パターンも含めて一定のパターンを有する小面積の露光マスクを繰り返し用いて大面積のタッチセンサをパターニングすることができ、大面積のタッチセンサを形成することが容易である。
【0036】
本発明のタッチセンサ及び露光マスクによれば、大面積のパターンを形成するための大面積のマスクを不要とするので、製造コストを大幅に下げることができる。
【0037】
また、本発明のタッチセンサ及び露光マスクによれば、露光マスクをプリント方式、ロール・ツー・ロール方式などにも適用することができ、広範囲な活用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0038】
【図1】本発明に係るグループパターンのタッチセンサを示す平面図である。
【図2】本発明に係るグループパターンのタッチセンサを形成する露光マスクの斜視図である。
【図3】本発明に係るグループパターンを複数繰り返し形成したタッチセンサの平面図である。
【図4】本発明に係るユニットパターンを複数連結して繰り返し形成したタッチセンサの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0039】
以下、図面を参考にして本発明の実施例ををより具体的に説明することにする。なお、本明細書に添付される次の図面は本発明の好適な実施例を例示するためのものであって、前述した発明の内容と共に本発明の技術思想をより理解し易くする役割をするものであるので、本発明がかかる図面に記載された事項のみに限定されて解釈されてはならない。
【0040】
【0041】
図１に示したように、本発明に係るグループパターンは、感知セル部１１０、配線部１２０などを含んで構成してよい。
【0042】
感知セル部１１０は、複数の感知セルグループを含んでよく、感知セルグループは、複数の感知セルが一方の方向に接続されて電気的に連結されてよい。感知セルは、島（ｉｓｌａｎｄ）状に構成してよく、感知セル間の電気的連結は、感知セルと共にパターニングして一体化するか、または導電性ブリッジを用いてよい。
【0043】
感知セル部１１０は、複数の感知セルが横（Ｘ軸）方向に配列接続する第１感知電極と、第１感知電極とな異なる複数の感知セルが縦（Ｙ軸）方向に配列接続する第２感知電極とで構成してよい。
【0044】
図１に示したように、感知セル部１１０は、横（Ｘ軸）方向及び縦（Ｙ軸）方向に配列接続する複数の感知セルグループを含んでよく、例えば、横（Ｘ軸）方向に配列接続する複数の第１感知セルで構成される第１感知セルグループ、第１感知セルグループの下端に離間して横（Ｘ軸）方向に配列接続する複数の第２感知セルで構成される第２感知セルグループ、そして、第２感知セルグループの下端に離間して横（Ｘ軸）方向に配列接続する複数の第３感知セルで構成される第３感知セルグループを含んでよい。図１では３つの感知セルグループを示しているが、感知セルグループは１つ以上であってよく、最大として配線部の配線数まで、またはタッチセンサ全体における配線数とグループパターン数の比率までであってよい。
【0045】
感知セル部１１０は、透明導電性酸化物、例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、亜鉛酸化物（ＺｎＯｘ）、チタン酸化物（ＴｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）などの導電性酸化物で構成してよく、その他、インジウム亜鉛錫酸化物（ＩＺＴＯ）、インジウム酸化物（ＩｎＯｘ）、錫酸化物（ＳｎＯｘ）、カドミウム錫酸化物（ＣＴＯ）、ガリウムドープ亜鉛酸化物（ＧＺＯ）、亜鉛錫酸化物（ＺＴＯ）、インジウムガリウム酸化物（ＩＧＯ）などや、これらを２以上組み合わせで構成してよい。
【0046】
感知セル部１１０は、導電性金属や合金或いは金属を含む積層体で構成してよく、この場合、メッシュタイプなどの透光度を高められる形態にしてよい。
【0047】
配線部１２０は、感知セル部１１０の感知信号をパッド電極（図示せず）に伝達するものであって、複数の配線を含んでよい。
【0048】
配線部１２０は、感知セル部１１０の周辺領域に配置されてよい。配線部１２０は、図１に示すように一方の側方に配置してもよく、これと異なり、両方の側方に分離して配置してもよい。両方の側方に配置する場合、配線部１２０は、左側と右側とで横（Ｘ軸）方向の端部の感知セルに交互に連結されてよい。
【0049】
配線部１２０は、第１サブ配線部１２１、第２サブ配線部１２３を含んでよい。
【0050】
第１サブ配線部１２１は、感知セルグループの一方側端部の感知セルに電気的に連結される引き出し配線として構成し、感知セル部１１０から信号を引き出すことができる。第１サブ配線部１２１は、感知セル部１１０に隣接して配置されてよい。
【0051】
第２サブ配線部１２３は、第１サブ配線部１２１よりも外側、すなわち、感知セル部１１０の周辺領域から離れて配置されてよい。第２サブ配線部１２３は、感知セル部１１０と電気的に連結されない非引き出し配線として構成してよい。第２サブ配線部１２３は、縦（Ｙ軸）方向に繰り返し形成される他のグループパターンの第１サブ配線部１２１または第２サブ配線部１２３と接続してよい。第２サブ配線部１２３の非引き出し配線は、縦に配列される感知セルグループの数に比例して第１サブ配線部１２１の引き出し配線よりも多くてよい。
【0052】
図１に示したように、配線部１２０は、第２サブ配線部１２３の外側に第３サブ配線部１２５を備えてよい。第３サブ配線部１２５は、ノイズ遮蔽用ダミー配線であって、１本以上の配線を含んでよい。
【0053】
配線部１２０は、導電性金属から構成してよく、例えば、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、バナジウム（Ｖ）、鉄（Ｆｅ）、マンガン（Ｍｎ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、亜鉛（Ｚｎ）、またはこれらの合金（例えば、銀-パラジウム-銅（ＡＰＣ））などから構成してよい。
【0054】
図２は、本発明に係るグループパターンを形成する露光マスクの斜視図である。
【0055】
図２に示したように、本発明に係る露光マスク２００は、感知セルマスク部２１０、配線マスク部２２０などを含んでよい。ここで、感知セルマスク部２１０と配線マスク部２２０とは、それぞれ感知セル露光領域と配線露光領域とを意味する。
【0056】
感知セルマスク部２１０は、図１に示した感知セル部１１０を形成するものであって、感知セルが形成される領域に貫通孔などを備えてよい。
【0057】
配線マスク部２２０は、複数の配線を露光によって形成するものであって、感知セルマスク部２１０に隣接して配置してよい。配線マスク部２２０は、配線に該当する領域に貫通スリットを備えてよい。
【0058】
配線マスク部２２０は、第１サブ配線マスク部と第２サブ配線マスク部を含んでよい。第１サブ配線マスク部は、第１サブ配線部１２１を露光によって形成することができ、第２サブ配線マスク部は、第２サブ配線部１２３を露光によって形成することができる。第２サブ配線マスク部は、第１サブ配線マスク部よりも貫通スリットの数が多くてよい。
【0059】
図２に示したように、配線マスク部２２０は、第２サブ配線部の外側にノイズ遮蔽用ダミー配線を形成するための第３サブ配線マスク部を備えてよい。第３サブ配線マスク部は、１つ以上の貫通スリットを含んでよい。
【0060】
図２の露光マスクにおいて、感知セルと配線とを金属などの同一の材質で構成する場合は、感知セルマスク部２１０と配線マスク部２２０とを一体型で構成してよいが、感知セルと配線とをそれぞれ透明酸化物と金属とで構成する場合は、感知セルマスク部２１０と配線マスク部２２０とを分離された別個体で構成してよい。
【0061】
図３は、本発明に係るグループパターンを複数繰り返し形成したタッチセンサの平面図である。
【0062】
図３に示したように、グループパターンを隣接して繰り返しパターニングすると、同一パターンを有する３つのグループパターンＰ１～Ｐ３を連結して形成することができる。３つのグループパターンＰ１～Ｐ３は、互いに結合して大面積のタッチセンサを形成することができる。
【0063】
先ず、第１グループパターンＰ１を見てみると、図１に示した感知セル部１１０、配線部１２０を含んでいる。第１グループパターンＰ１において、配線部１２０は、第１サブ配線部１２１と第２サブ配線部１２３を含み、第１サブ配線部１２１は、感知セル部１１０の一方側端部の感知セルに電気的に連結されて引き出し配線として機能している。
【0064】
第２サブ配線部１２３は、感知セル部１１０の感知セルと接続しない非引き出し配線であって、すべての配線（領域Ａ）が信号を伝達しないダミー配線であってよい。
【0065】
第２グループパターンＰ２を見てみると、図１に示した感知セル部１１０、配線部１２０を含んでいる。第２グループパターンＰ２において、配線部１２０は、第１サブ配線部１２１と第２サブ配線部１２３を含み、第１サブ配線部１２１は、感知セル部１１０の一方側端部の感知セルに電気的に連結されて引き出し配線として機能している。
【0066】
第２サブ配線部１２３は、一部の配線（領域Ｂ）が信号を伝達する信号伝達配線として機能し、他の一部の配線（領域Ｃ）は信号を伝達しないダミー配線として機能している。
【0067】
第２サブ配線部１２３において、内側の一部の配線（領域Ｂ）は、一方側が第１グループパターンＰ１の第１サブ配線部１２１に接続し、他方側は第３グループパターンＰ３の第２サブ配線部１２３の一部の配線に接続して信号を伝達している。
【0068】
第２サブ配線部１２３において、外側の一部の配線（領域Ｃ）は、一方側が第１グループパターンＰ１の第２サブ配線部１２３のダミー配線に接続し、他方側は第３グループパターンＰ３の第２サブ配線部１２３に接続しておらず、信号伝達機能を行っていない。
【0069】
第３グループパターンＰ３を見てみると、図１に示した感知セル部１１０、配線部１２０を含んでいる。第３グループパターンＰ３において、配線部１２０は、第１サブ配線部１２１と第２サブ配線部１２３を含み、第１サブ配線部１２１は、感知セル部１１０の一方側端部の感知セルに電気的に連結され、引き出し配線として機能している。
【0070】
第２サブ配線部１２３は、すべての配線（領域Ｄ）が信号を伝達する信号伝達配線として機能している。第２サブ配線部１２３において、内側の一部の配線は一方側が第２グループパターンＰ２の第１サブ配線部１２１に接続して信号伝達配線として機能し、第２サブ配線部１２３の外側の残りの配線は、一方側が第２グループパターンＰ２の第２サブ配線部１２３を介して第１グループパターンＰ１の第１サブ配線部１２１に接続して、第１グループパターンＰ１の信号を伝達している。
【0071】
図４は、本発明に係るユニットパターンを複数連結して繰り返し形成したタッチセンサの平面図である。
【0072】
図４に示したように、ユニットパターンＱ１～Ｑｎは、それぞれ一つの感知セルグループと分離した形態の配線部３２０を含んでよい。
【0073】
感知セル部３１０は、一列に連結された横方向の複数の感知セルとブリッジ（図示せず）を介して連結される縦方向の複数の感知セルを含んでよい。
【0074】
配線部３２０は、第１サブ配線部３２１と第２サブ配線部３２３を含んでよい。
【0075】
第１サブ配線部３２１は、ユニットパターンの感知セルグループの一方側端部の感知セルに電気的に連結されて感知セル部３１０から信号を引き出す引き出し配線を含んでよい。第１サブ配線部３２１は、感知セル部３１０に最近接配置されてよい。
【0076】
第２サブ配線部３２３は、第１サブ配線部３２１よりも外側に配置されてよい。第２サブ配線部３２３は、感知セル部３１０と電気的に連結されない非引き出し配線を含んでよい。第２サブ配線部３２３は、少なくとも繰り返し形成されて大面積のタッチセンサを構成するユニットパターンＱ１～Ｑｎの数から１を差し引いた数分の非引き出し配線を含んでよい。図４では、ｎ個のユニットパターンＱ１～Ｑｎを繰り返し形成して大面積のタッチセンサを形成しており、この場合、第２サブ配線部３２３の非引き出し配線の数は少なくともｎ-１本であってよい。
【0077】
図４に示したように、配線部３２０は、第２サブ配線部３２３の外側に第３サブ配線部３２５を備えてよい。第３サブ配線部３２５は、ノイズ遮蔽用ダミー配線であって、１本以上の配線を含んでよい。
【0078】
図４のタッチセンサは、同一の形態を有するｎ個のユニットパターンＱ１～Ｑｎをステッチ工法によって縦方向に連結して繰り返し形成して大面積のタッチセンサを形成することを例示している。
【0079】
先ず、一番目のユニットパターンＱ１を見てみると、配線部３２０は、１本の配線を有する第１サブ配線部３２１と、ｎ-１本の配線を有する第２サブ配線部３２３を含み、第１サブ配線部３２１の１本の配線は、感知セル部（３１０）の一方側端部の感知セルに電気的に連結されて引き出し配線として機能し、第２サブ配線部３２３のｎ-１本の配線は、信号を伝達しないダミー配線として機能している。
【0080】
二番目のユニットパターンＱ２を見てみると、配線部３２０は、一番目のユニットパターンＱ１と同様に、１本の配線を有する第１サブ配線部３２１と、ｎ-１本の配線を有する第２サブ配線部３２３を含み、第１サブ配線部３２１の１本の配線は、感知セル部３１０の一方側端部の感知セルに電気的に連結されて引き出し配線として機能するが、第２サブ配線部３２３のうちの第１サブ配線部３２１に隣接した、外側からｎ-１番目の配線は、一番目のユニットパターンＱ１の第１サブ配線部３２１に接続されて信号を伝達し、残りのｎ-２本の配線は、信号を伝達しないダミー配線として機能している。
【0081】
このように順次に三番目のユニットパターンＱ３、４番目のユニットパターンＱ４などを繰り返して、ｎ番目のユニットパターンＱｎに至ると、第１サブ配線部３２１の１本の配線は、感知セル部３１０の一方側端部の感知セルに電気的に連結されて引き出し配線として機能し、第２サブ配線部３２３のｎ-１本の配線は、前述した一番目のユニットパターンＱ１からｎ-１番目のユニットパターンＱｎ-１までのそれぞれの引き出し信号を伝達する信号伝達配線として機能することができる。ここで、第２サブ配線部３２３の最外側の配線は、一番目のユニットパターンＱ１の第１サブ配線部３２１の引き出し信号を電極パッド（図示せず）に伝達するようになる。
【0082】
このように、本発明に係るタッチセンサは、同一のパターンを有する小面積のユニットパターンがステッチ工法で繰り返し形成されて、大面積のタッチセンサを容易に形成することができる。
【0083】
以上、本発明を多くの実施例を挙げて説明したが、これらは本発明を例証するためのものである。通常の技術者であればこれらの実施例を他の形態に変形したり修正したりすることができる。しかし、本発明の権利範囲は特許請求の範囲によって定められるので、かかる変形や修正が本発明の権利範囲に含まれると解釈されるべきである。
〔請求項１〕
複数の感知セルが電気的に連結される感知セルグループを複数備える感知セル部；及び
前記感知セル部の外側に形成される配線部を備える第１グループパターンを含み、
前記配線部は、
前記感知セルグループの一方側端部の感知セルに電気的に連結される引き出し配線を備える第１サブ配線部；及び
前記第１サブ配線部よりも外側に配置され、前記感知セル部と電気的に連結されない非引き出し配線を備える第２サブ配線部を含む、タッチセンサ。
〔請求項２〕
前記第１グループパターンに隣接配置され且つ前記第１グループパターンと同一の構造を有する第２グループパターンを含み、
前記第１グループパターンの第２サブ配線部の一部の非引き出し配線は、前記第２グループパターンの第１サブ配線部の引き出し配線に接続して信号を伝達する信号伝達配線である、請求項１に記載のタッチセンサ。
〔請求項３〕
前記第１グループパターンの第２サブ配線部の他の一部の非引き出し配線は、前記第２グループパターンの第２サブ配線部の非引き出し配線に接続し且つ信号を伝達しないダミー配線である、請求項２に記載のタッチセンサ。
〔請求項４〕
前記第１グループパターンと隣接配置され且つ前記第１グループパターンと同一の構造を有する第２グループパターンを含み、
前記第１グループパターンの第２サブ配線部の非引き出し配線は、前記第２グループパターンの第１サブ配線部の引き出し配線及び前記第２サブ配線部の一部の非引き出し配線に接続して信号を伝達する信号伝達配線である、請求項１に記載のタッチセンサ。
〔請求項５〕
前記第２サブ配線部の非引き出し配線は、
信号を伝達しないダミー配線である、請求項１に記載のタッチセンサ。
〔請求項６〕
前記第１グループパターンと隣接して配置され且つ前記第１グループパターンと同一の構造を有する第２グループパターンを含み、
前記第１グループパターンの第２サブ配線部の一部の非引き出し配線は、前記第２グループパターンの第２サブ配線部の一部の非引き出し配線に接続する、請求項５に記載のタッチセンサ。
〔請求項７〕
前記第２サブ配線部の外側にノイズ遮蔽のための第３サブ配線部をさらに含む、請求項１～６のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
〔請求項８〕
感知セル部に隣接して複数の配線を形成する貫通スリットを備える配線マスク部を含み、前記配線マスク部は、
前記感知セル部の一方側端部の感知セルに連結される第１サブ配線部を形成する第１貫通スリットを備える第１サブ配線マスク部；及び
前記第１サブ配線マスク部よりも外側に配置され且つ前記感知セル部の感知セルと連結されない第２サブ配線部を形成する第２貫通スリットを備える第２サブ配線マスク部を含む、タッチセンサ用露光マスク。
〔請求項９〕
前記配線マスク部の側方に形成され且つ前記感知セル部の感知セルを形成する貫通孔を備える感知セルマスク部をさらに含む、請求項８に記載のタッチセンサ用露光マスク。
〔請求項１０〕
前記第２貫通スリットは、
前記第１貫通スリットよりも個数が多い、請求項８に記載のタッチセンサ用露光マスク。
〔請求項１１〕
前記第２サブ配線マスク部の外側にノイズ遮蔽のためのダミー配線を形成する第３貫通スリットをさらに含む、請求項８～１０のいずれか一項に記載のタッチセンサ用露光マスク。
〔請求項１２〕
複数の感知セルが電気的に連結される感知セルグループを備える感知セル部；及び
前記感知セル部の外側に形成される配線部を備えるユニットパターンを含み、
前記配線部は、
前記感知セル部の一方側端部の感知セルに電気的に連結される引き出し配線を備える第１サブ配線部；及び
前記第１サブ配線部よりも外側に配置され、前記感知セル部と電気的に連結されない非引き出し配線を備え且つ該非引き出し配線は大面積のタッチセンサを形成するために繰り返し形成される前記ユニットパターンの数から１を差し引いた数分を備える第２サブ配線部を含む、タッチセンサ。
〔請求項１３〕
ｎ個の前記ユニットパターンを順次繰り返し形成して大面積のタッチセンサを構成し（ｎは、２以上の整数）、
ｎ番目のユニットパターンの第２サブ配線部は、最外側の非引き出し配線を第１非引き出し配線とし、最内側の非引き出し配線を第ｎ-１非引き出し配線としたとき、前記第１非引き出し配線は、隣接したｎ-１番目のユニットパターンから二番目ユニットパターンの各第２サブ配線部を順次経由して一番目のユニットパターンの第１サブ配線部に連結される、請求項１２に記載のタッチセンサ。
〔請求項１４〕
前記第１非引き出し配線から第ｎ-１非引き出し配線までの配線は、それぞれ一番目のユニットパターンからｎ-１番目のユニットパターンまでの感知セル部と電気的に連結される、請求項１３に記載のタッチセンサ。
〔請求項１５〕
第２サブ配線部の外側にノイズ遮蔽のための第３サブ配線部をさらに含む、請求項１２～１４のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
〔請求項１〕
複数の感知セルが電気的に連結される感知セルグループを複数備える感知セル部；及び
前記感知セル部の外側に形成される配線部を備える第１グループパターンを含み、
前記配線部は、
前記感知セルグループの一方側端部の感知セルに電気的に連結される引き出し配線を備える第１サブ配線部；及び
前記第１サブ配線部よりも外側に配置され、前記感知セル部と電気的に連結されない非引き出し配線を備える第２サブ配線部を含む、タッチセンサ。
〔請求項２〕
前記第１グループパターンに隣接配置され且つ前記第１グループパターンと同一の構造を有する第２グループパターンを含み、
前記第１グループパターンの第２サブ配線部の一部の非引き出し配線は、前記第２グループパターンの第１サブ配線部の引き出し配線に接続して信号を伝達する信号伝達配線である、請求項１に記載のタッチセンサ。
〔請求項３〕
前記第１グループパターンの第２サブ配線部の他の一部の非引き出し配線は、前記第２グループパターンの第２サブ配線部の非引き出し配線に接続し且つ信号を伝達しないダミー配線である、請求項２に記載のタッチセンサ。
〔請求項４〕
前記第１グループパターンと隣接配置され且つ前記第１グループパターンと同一の構造を有する第２グループパターンを含み、
前記第１グループパターンの第２サブ配線部の非引き出し配線は、前記第２グループパターンの第１サブ配線部の引き出し配線及び前記第２サブ配線部の一部の非引き出し配線に接続して信号を伝達する信号伝達配線である、請求項１に記載のタッチセンサ。
〔請求項５〕
前記第２サブ配線部の非引き出し配線は、
信号を伝達しないダミー配線である、請求項１に記載のタッチセンサ。
〔請求項６〕
前記第１グループパターンと隣接して配置され且つ前記第１グループパターンと同一の構造を有する第２グループパターンを含み、
前記第１グループパターンの第２サブ配線部の一部の非引き出し配線は、前記第２グループパターンの第２サブ配線部の一部の非引き出し配線に接続する、請求項５に記載のタッチセンサ。
〔請求項７〕
前記第２サブ配線部の外側にノイズ遮蔽のための第３サブ配線部をさらに含む、請求項１～６のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
〔請求項８〕
感知セル部に隣接して複数の配線を形成する貫通スリットを備える配線マスク部を含み、前記配線マスク部は、
前記感知セル部の一方側端部の感知セルに連結される第１サブ配線部を形成する第１貫通スリットを備える第１サブ配線マスク部；及び
前記第１サブ配線マスク部よりも外側に配置され且つ前記感知セル部の感知セルと連結されない第２サブ配線部を形成する第２貫通スリットを備える第２サブ配線マスク部を含む、タッチセンサ用露光マスク。
〔請求項９〕
前記配線マスク部の側方に形成され且つ前記感知セル部の感知セルを形成する貫通孔を備える感知セルマスク部をさらに含む、請求項８に記載のタッチセンサ用露光マスク。
〔請求項１０〕
前記第２貫通スリットは、
前記第１貫通スリットよりも個数が多い、請求項８に記載のタッチセンサ用露光マスク。
〔請求項１１〕
前記第２サブ配線マスク部の外側にノイズ遮蔽のためのダミー配線を形成する第３貫通スリットをさらに含む、請求項８～１０のいずれか一項に記載のタッチセンサ用露光マスク。
〔請求項１２〕
複数の感知セルが電気的に連結される感知セルグループを備える感知セル部；及び
前記感知セル部の外側に形成される配線部を備えるユニットパターンを含み、
前記配線部は、
前記感知セル部の一方側端部の感知セルに電気的に連結される引き出し配線を備える第１サブ配線部；及び
前記第１サブ配線部よりも外側に配置され、前記感知セル部と電気的に連結されない非引き出し配線を備え且つ該非引き出し配線は大面積のタッチセンサを形成するために繰り返し形成される前記ユニットパターンの数から１を差し引いた数分を備える第２サブ配線部を含む、タッチセンサ。
〔請求項１３〕
ｎ個の前記ユニットパターンを順次繰り返し形成して大面積のタッチセンサを構成し（ｎは、２以上の整数）、
ｎ番目のユニットパターンの第２サブ配線部は、最外側の非引き出し配線を第１非引き出し配線とし、最内側の非引き出し配線を第ｎ-１非引き出し配線としたとき、前記第１非引き出し配線は、隣接したｎ-１番目のユニットパターンから二番目ユニットパターンの各第２サブ配線部を順次経由して一番目のユニットパターンの第１サブ配線部に連結される、請求項１２に記載のタッチセンサ。
〔請求項１４〕
前記第１非引き出し配線から第ｎ-１非引き出し配線までの配線は、それぞれ一番目のユニットパターンからｎ-１番目のユニットパターンまでの感知セル部と電気的に連結される、請求項１３に記載のタッチセンサ。
〔請求項１５〕
第２サブ配線部の外側にノイズ遮蔽のための第３サブ配線部をさらに含む、請求項１２～１４のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
【符号の説明】
【0084】
１１０、３１０：感知セル部
１２０、３２０：配線部
１２１、３２１：第１サブ配線部
１２３、３２３：第２サブ配線部
１２５、３２５：第３サブ配線部
２００：露光マスク
２１０：感知セルマスク部
２２０：配線マスク部
Ａ、Ｃ：ダミー配線領域
Ｂ、Ｄ：信号伝達配線領域
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３：第１～３グループパターン
Ｑ１～Ｑｎ：第１～ｎユニットパターン
１２０、３２０：配線部
１２１、３２１：第１サブ配線部
１２３、３２３：第２サブ配線部
１２５、３２５：第３サブ配線部
２００：露光マスク
２１０：感知セルマスク部
２２０：配線マスク部
Ａ、Ｃ：ダミー配線領域
Ｂ、Ｄ：信号伝達配線領域
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３：第１～３グループパターン
Ｑ１～Ｑｎ：第１～ｎユニットパターン
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
