(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-07-29
(45)【発行日】2024-08-06
(54)【発明の名称】真空吸着シリンダ集合体
(51)【国際特許分類】
B25J 15/06 20060101AFI20240730BHJP
【ＦＩ】
B25J15/06 B
B25J15/06 M
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2021562467
(86)(22)【出願日】2020-09-24
(86)【国際出願番号】 JP2020035964
(87)【国際公開番号】W WO2021111709
(87)【国際公開日】2021-06-10
【審査請求日】2023-07-21
(31)【優先権主張番号】P 2019220816
(32)【優先日】2019-12-06
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000102511
【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100077665
【弁理士】
【氏名又は名称】千葉 剛宏
(74)【代理人】
【識別番号】100116676
【弁理士】
【氏名又は名称】宮寺 利幸
(74)【代理人】
【識別番号】100191134
【弁理士】
【氏名又は名称】千馬 隆之
(74)【代理人】
【識別番号】100136548
【弁理士】
【氏名又は名称】仲宗根 康晴
(74)【代理人】
【識別番号】100136641
【弁理士】
【氏名又は名称】坂井 志郎
(74)【代理人】
【識別番号】100180448
【弁理士】
【氏名又は名称】関口 亨祐
(72)【発明者】
【氏名】芳村 親一
(72)【発明者】
【氏名】三田 峰彦
(72)【発明者】
【氏名】森本 昌樹
【審査官】岩▲崎▼ 優
(56)【参考文献】
【文献】特開平０４－３４３６９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－１４４８０２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－０４７３８５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０３－０４２４３３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０６－３２３４５６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０５－０６９３６５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０００－１６５０９４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平５－１２６６６３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２５Ｊ １／００ － ２１／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の真空吸着シリンダが所定方向に連結されてなる真空吸着シリンダ集合体であって、前記複数の真空吸着シリンダは、各真空吸着シリンダのシリンダチューブの側壁を貫通する挿通孔と第１流路ブロックに設けられた挿通孔と第２流路ブロックに設けられた挿通孔とに挿通されるタイロッドを用いて、前記第１流路ブロックと前記第２流路ブロックとの間で挟持されることにより相互に連結され、
前記各真空吸着シリンダは、ピストンによって区画される第１圧力室および第２圧力室を備えるとともに、前記ピストンに固定されたロッドの内部に設けられたロッド孔に連通する第３圧力室またはエジェクタ用圧力室を備え、前記各真空吸着シリンダは、前記第１圧力室に対するエアの給排を切り換えるシリンダ用第１電磁弁、前記第２圧力室に対するエアの給排を切り換えるシリンダ用第２電磁弁、および、前記第３圧力室または前記エジェクタ用圧力室に対するエアの給排を切り換えるエジェクタ用電磁弁を備え、前記シリンダ用第１電磁弁、前記シリンダ用第２電磁弁および前記エジェクタ用電磁弁は、前記真空吸着シリンダの前記シリンダチューブの側面に取り付けられる真空吸着シリンダ集合体。
【請求項2】
請求項１記載の真空吸着シリンダ集合体において、前記ロッドが外部に延出する端部にエジェクタボデイが連結される真空吸着シリンダ集合体。
【請求項3】
請求項１記載の真空吸着シリンダ集合体において、前記エジェクタ用圧力室のエアは、前記ロッドの側壁に設けられた横孔を通って前記ロッド孔に導入される真空吸着シリンダ集合体。
【請求項4】
請求項１記載の真空吸着シリンダ集合体において、前記各真空吸着シリンダの前記シリンダチューブの側壁には、前記シリンダ用第１電磁弁に接続されるシリンダ用第１横断排気路およびシリンダ用第１横断供給路と、前記シリンダ用第２電磁弁に接続されるシリンダ用第２横断供給路およびシリンダ用第２横断排気路と、前記エジェクタ用電磁弁に接続されるエジェクタ用横断供給路およびエジェクタ用横断排気路とが設けられる真空吸着シリンダ集合体。
【請求項5】
請求項４記載の真空吸着シリンダ集合体において、前記シリンダ用第１横断排気路、前記シリンダ用第１横断供給路、前記シリンダ用第２横断供給路、前記シリンダ用第２横断排気路、前記エジェクタ用横断供給路および前記エジェクタ用横断排気路は、前記シリンダチューブの長手方向と垂直な方向に延び、前記シリンダチューブの軸線と平行な向きに並んで互いに平行に配置される真空吸着シリンダ集合体。
【請求項6】
請求項４記載の真空吸着シリンダ集合体において、前記第１流路ブロックおよび前記第２流路ブロックは、エジェクタ用供給路、シリンダ用供給路および共通排気路を備える真空吸着シリンダ集合体。
【請求項7】
請求項６記載の真空吸着シリンダ集合体において、前記エジェクタ用供給路は、前記真空吸着シリンダの前記エジェクタ用横断供給路に接続されるエジェクタ用供給横流路と、前記エジェクタ用供給横流路に連通するエジェクタ用供給縦流路とからなり、
前記シリンダ用供給路は、前記真空吸着シリンダの前記シリンダ用第１横断供給路に接続されるシリンダ用第１供給横流路と、前記真空吸着シリンダの前記シリンダ用第２横断供給路に接続されるシリンダ用第２供給横流路と、前記シリンダ用第１供給横流路および前記シリンダ用第２供給横流路に連通するシリンダ用供給縦流路とからなり、
前記共通排気路は、前記真空吸着シリンダの前記シリンダ用第１横断排気路に接続されるシリンダ用第１排気横流路と、前記真空吸着シリンダの前記シリンダ用第２横断排気路に接続されるシリンダ用第２排気横流路と、前記真空吸着シリンダの前記エジェクタ用横断排気路に接続されるエジェクタ用排気横流路と、前記シリンダ用第１排気横流路、前記シリンダ用第２排気横流路および前記エジェクタ用排気横流路に連通する排気縦流路とからなる真空吸着シリンダ集合体。
【請求項8】
請求項７記載の真空吸着シリンダ集合体において、前記第１流路ブロックおよび前記第２流路ブロックの所定の面には、前記エジェクタ用供給路の前記エジェクタ用供給縦流路に接続されるエジェクタ用供給ポートと、前記シリンダ用供給路の前記シリンダ用供給縦流路に接続されるシリンダ用供給ポートと、前記共通排気路の前記排気縦流路に接続される排気ポートが設けられる真空吸着シリンダ集合体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、複数の真空吸着シリンダが連結される真空吸着シリンダ集合体に関する。
【背景技術】
【0002】
電子部品等を吸着搬送する装置において、シリンダにより上下動するピストンロッドの先端に吸着具を設け、該吸着具に真空を供給する技術が知られている。
【0003】
例えば、特開２０００－１６５０９４号公報には、先端に設けられた吸着具に連通する真空案内路を有する中空のピストンロッドを往復動する空気圧シリンダと、該空気圧シリンダに取り付けられる給気ブロックおよび真空発生ブロックを備えた吸着搬送組立体が記載されている。また、同文献には、該吸着搬送組立体を積層することが記載されている。
【0004】
しかしながら、独立して制御可能な真空吸着シリンダを複数個連結する場合に、真空吸着シリンダの追加・抜去等取り扱いを容易にすることについては、十分な考慮がなされていない。また、各真空吸着シリンダの作動に必要な流量を少なくする等により応答性を良くするという観点からも、十分な考慮がなされていない。
【発明の概要】
【0005】
本発明は、このような事情を背景としてなされたものであり、取り扱いが容易な真空吸着シリンダ集合体を提供することを目的とする。また、各真空吸着シリンダの作動に関し応答性が良い真空吸着シリンダ集合体を提供することを目的とする。
【0006】
本発明に係る真空吸着シリンダ集合体は、複数の真空吸着シリンダが所定方向に連結されてなるもので、複数の真空吸着シリンダは、各真空吸着シリンダのシリンダチューブの側壁を貫通する挿通孔と第１流路ブロックに設けられた挿通孔と第２流路ブロックに設けられた挿通孔とに挿通されるタイロッドを用いて、第１流路ブロックと第２流路ブロックとの間で挟持されることにより相互に連結される。
【0007】
上記真空吸着シリンダ集合体によれば、複数の真空吸着シリンダを容易に連結できるとともに、真空吸着シリンダ数の増減要求に対して容易に対応できる。また、各真空吸着シリンダに対するエアの給排を迅速に行うことができる。
【0008】
本発明に係る真空吸着シリンダ集合体は、各真空吸着シリンダのシリンダチューブと第１流路ブロックと第２流路ブロックとに挿通されるタイロッドを用いて、複数の真空吸着シリンダを第１流路ブロックと第２流路ブロックとの間で挟持するので、複数の真空吸着シリンダを容易に連結できるとともに、真空吸着シリンダ数の増減要求に対して容易に対応できる。また、複数の真空吸着シリンダの両側に流路ブロックが配置されているので、各真空吸着シリンダに対するエアの給排を迅速に行うことができ、応答性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の実施形態に係る真空吸着シリンダ集合体の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明に係る真空吸着シリンダ集合体の基本構成について、好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、上下左右の方向に関する言葉を用いたときは、便宜上、図面上での方向をいうものであって、部材等の実際の配置を限定するものではない。
【0011】
図１に示されるように、真空吸着シリンダ集合体１０は、複数の真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆを横方向に連結してなるもので、ロボットアームの先端に取り付けられ、例えば錠剤をピックアップして梱包位置まで搬送するために使用される。
【0012】
複数の真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆは、第１流路ブロック５８と第２流路ブロック６０との間に配設される。本実施形態では、合計６個の真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆが配設されている。各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆは同一構造であるので、以下それらを代表して、第１流路ブロック５８に隣接する真空吸着シリンダ１２Ａについて説明する。
【0013】
図３に示されるように、真空吸着シリンダ１２Ａは、シリンダチューブ１４およびピストン２４を含むシリンダ部と、エジェクタボデイ８２および吸着パッド８４を含むエジェクタ部と、電磁弁部とから構成される。
【0014】
四角柱状のシリンダチューブ１４は、上部シリンダチューブ１６と下部シリンダチューブ１８とに分割されている。中間カバー体２０が上部シリンダチューブ１６の下端部と下部シリンダチューブ１８の上端部との間に設けられ、端部カバー体２２が下部シリンダチューブ１８の下端部に設けられている。
【0015】
ピストン２４は、下部シリンダチューブ１８の内部に摺動自在に設けられている。ピストン２４の中央には、上部ロッド２６の下端部と下部ロッド２８の上端部が軸方向に突き合わされるようにして挿通固定されている。上部ロッド２６には、その軸心方向に貫通する上部ロッド孔２６ａが設けられ、下部ロッド２８には、その軸心方向に貫通する下部ロッド孔２８ａが設けられている。これら上部ロッド孔２６ａと下部ロッド孔２８ａは、相互に連通し、エジェクタ部に供給するエアの通路となっている。
【0016】
上部ロッド２６は、ピストン２４から上方に延びて中間カバー体２０に挿通され、さらに上部シリンダチューブ１６の内部にまで延びている。下部ロッド２８は、ピストン２４から下方に延びて端部カバー体２２に挿通され、さらに外部に延出している。下部ロッド２８が外部に延出する端部には、エジェクタボデイ８２がねじ込みにより連結されている。中間カバー体２０には、上部ロッド２６に摺接する一対のロッドパッキン２０ｃが装着され、端部カバー体２２には、下部ロッド２８に摺接するロッドパッキン２２ｂが装着されている。
【0017】
下部シリンダチューブ１８の内部に設けられたシリンダ孔１８ａは、ピストン２４によって、下方の第１圧力室３０と上方の第２圧力室３２とに区画される。ピストン２４の外周には、シリンダ孔１８ａに摺接するピストンパッキン２４ａが装着されている。下部シリンダチューブ１８の側壁には、第１圧力室３０に連通する第１通路３０ａ、および、第２圧力室３２に連通する第２通路３２ａが設けられている。これら第１通路３０ａと第２通路３２ａは、下部シリンダチューブ１８の長手方向と垂直な方向に延び、下部シリンダチューブ１８の一つの側面１８ｂに開口する。
【0018】
上部ロッド２６は、上部シリンダチューブ１６の内部に設けられたシリンダ孔１６ａに収容される。このシリンダ孔１６ａの壁面と上部ロッド２６の外周との間には、上部ロッド孔２６ａに連通する第３圧力室３４が形成されている。第３圧力室３４は、上部ロッド孔２６ａと下部ロッド孔２８ａを介してエジェクタボデイ８２の内部に連通している。
【0019】
端部カバー体２２には、第１圧力室３０を外部からシールするシールリング２２ａが設けられている。中間カバー体２０には、第２圧力室３２を外部からシールするシールリング２０ａと、第３圧力室３４を外部からシールするシールリング２０ｂとが設けられている。
【0020】
上部シリンダチューブ１６の側壁には、第３圧力室３４に連通する第３通路３４ａが設けられている。この第３通路３４ａは、上部シリンダチューブ１６の長手方向と垂直な方向に延び、上部シリンダチューブ１６の一つの側面１６ｂに開口する。第３通路３４ａが開口する上部シリンダチューブ１６の側面１６ｂは、第１通路３０ａと第２通路３２ａが開口する下部シリンダチューブ１８の側面１８ｂと整合する側面であり、両者は面一となっている。
【0021】
図１に示されるように、電磁弁部は、シリンダ用第１電磁弁３６、シリンダ用第２電磁弁３８およびエジェクタ用電磁弁４０から構成される。シリンダ用第１電磁弁３６は、第１圧力室３０に対するエアの給排を切り換えるために設けられ、シリンダ用第２電磁弁３８は、第２圧力室３２に対するエアの給排を切り換えるために設けられる。エジェクタ用電磁弁４０は、第３圧力室３４に対するエアの給排を切り換えるために設けられる。
【0022】
シリンダ用第１電磁弁３６は、第１通路３０ａの開口を覆うようにして、下部シリンダチューブ１８の側面１８ｂに取り付けられている。シリンダ用第２電磁弁３８は、第２通路３２ａの開口を覆うようにして、下部シリンダチューブ１８の側面１８ｂと上部シリンダチューブ１６の側面１６ｂとに跨って取り付けられている。エジェクタ用電磁弁４０は、第３通路３４ａの開口を覆うようにして、上部シリンダチューブ１６の側面１６ｂに取り付けられている。
【0023】
第１通路３０ａは、シリンダ用第１電磁弁３６に接続され、第２通路３２ａは、シリンダ用第２電磁弁３８に接続され、第３通路３４ａは、エジェクタ用電磁弁４０に接続されている。
【0024】
図３および図４に示されるように、下部シリンダチューブ１８の側面１８ｂを構成する側壁には、シリンダ用第１横断排気路４２、シリンダ用第１横断供給路４４、シリンダ用第２横断供給路４６およびシリンダ用第２横断排気路４８が下方から上方にこの順で設けられている。これらの供給路４４、４６と排気路４２、４８は、下部シリンダチューブ１８の側壁を横断して貫通し、その両端が外部に開口している。この両端開口部のうち、左方に位置する開口部には、溝部を介してシールリング５４が装着されている（図４参照）。なお、図３は、図１において各電磁弁３６、３８、４０を通るようにして屈曲するＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面を含む断面図であるが、便宜上、各電磁弁３６、３８、４０の断面は省略してある。
【0025】
シリンダ用第１横断排気路４２は、第１通路３０ａの下側に設けられ、シリンダ用第１横断供給路４４は、第１通路３０ａの上側に設けられている。シリンダ用第１横断排気路４２は、下部シリンダチューブ１８の側面１８ｂに開口する第１分岐路４２ａを介して、シリンダ用第１電磁弁３６に接続されている。シリンダ用第１横断供給路４４は、下部シリンダチューブ１８の側面１８ｂに開口する第２分岐路４４ａを介して、シリンダ用第１電磁弁３６に接続されている。
【0026】
また、シリンダ用第２横断供給路４６は、第２通路３２ａの下側に設けられ、シリンダ用第２横断排気路４８は、第２通路３２ａの上側に設けられている。シリンダ用第２横断供給路４６は、下部シリンダチューブ１８の側面１８ｂに開口する第３分岐路４６ａを介して、シリンダ用第２電磁弁３８に接続されている。シリンダ用第２横断排気路４８は、下部シリンダチューブ１８の側面１８ｂに開口する第４分岐路４８ａを介して、シリンダ用第２電磁弁３８に接続されている。
【0027】
上部シリンダチューブ１６の側面１６ｂを構成する側壁には、エジェクタ用横断供給路５０およびエジェクタ用横断排気路５２が設けられている。エジェクタ用横断供給路５０およびエジェクタ用横断排気路５２は、上部シリンダチューブ１６の側壁を横断して貫通し、その両端が外部に開口している。この両端開口部のうち、左方に位置する開口部には、溝部を介してシールリング５４が装着されている（図４参照）。
【0028】
エジェクタ用横断供給路５０は、第３通路３４ａの下側に設けられ、エジェクタ用横断排気路５２は、第３通路３４ａの上側に設けられている。エジェクタ用横断供給路５０は、上部シリンダチューブ１６の側面１６ｂに開口する第５分岐路５０ａを介して、エジェクタ用電磁弁４０に接続されている。エジェクタ用横断排気路５２は、上部シリンダチューブ１６の側面１６ｂに開口する第６分岐路５２ａを介して、エジェクタ用電磁弁４０に接続されている。
【0029】
シリンダ用第１横断排気路４２、シリンダ用第１横断供給路４４、シリンダ用第２横断供給路４６、シリンダ用第２横断排気路４８、エジェクタ用横断供給路５０およびエジェクタ用横断排気路５２は、シリンダチューブ１４の長手方向と垂直な方向に延び、上下方向（シリンダチューブ１４の軸線と平行な向き）に並んで互いに平行に配置されている。
【0030】
図５に示されるように、シリンダ用第１電磁弁３６は、通電時に第１圧力室３０をシリンダ用第１横断排気路４２に接続し、非通電時に第１圧力室３０をシリンダ用第１横断供給路４４に接続する。シリンダ用第２電磁弁３８は、通電時に第２圧力室３２をシリンダ用第２横断供給路４６に接続し、非通電時に第２圧力室３２をシリンダ用第２横断排気路４８に接続する。エジェクタ用電磁弁４０は、通電時に第３圧力室３４をエジェクタ用横断供給路５０に接続し、非通電時に第３圧力室３４をエジェクタ用横断排気路５２に接続する。
【0031】
下部シリンダチューブ１８には、シリンダ用第１横断供給路４４とシリンダ用第２横断供給路４６との間に位置して、第１挿通孔５６ａと第２挿通孔５６ｂが設けられている。第１挿通孔５６ａと第２挿通孔５６ｂは、下部シリンダチューブ１８の側壁を横断して貫通し、その両端が外部に開口している。
【0032】
上部シリンダチューブ１６には、エジェクタ用横断供給路５０の下方に位置して、第３挿通孔５６ｃが設けられている。第３挿通孔５６ｃは、上部シリンダチューブ１６の側壁を横断して貫通し、その両端が上部シリンダチューブ１６の外面に開口している。第１挿通孔５６ａ、第２挿通孔５６ｂおよび第３挿通孔５６ｃは、前述のシリンダ用第１横断排気路４２等とともに、シリンダチューブ１４の長手方向と垂直な方向に延び、上下方向に並んで互いに平行に配置されている。
【0033】
エジェクタボデイ８２は、下部シリンダチューブ１８から下方に突出する下部ロッド２８の端部に取り付けられる。第３圧力室３４から上部ロッド孔２６ａおよび下部ロッド孔２８ａを経由してエジェクタボデイ８２の内部にエアが供給されると、該エアは、エジェクタボデイ８２内の図示しないノズルを通った後、外部に排出される。このとき、吸着パッド８４内のエアが吸引されることで、吸着パッド８４において真空圧（負圧）が生成される。
【0034】
次に、第１流路ブロック５８の構成について説明する。なお、第２流路ブロック６０は、第１流路ブロック５８と同じ構造となっており、第２流路ブロック６０の構成については、説明を省略する。
【0035】
図４に示されるように、第１流路ブロック５８は、エジェクタ用供給路６２、シリンダ用供給路６４および共通排気路６６を備える。エジェクタ用供給路６２は、真空吸着シリンダ１２Ａのエジェクタ用横断供給路５０に接続され横方向に延びるエジェクタ用供給横流路６２ａと、このエジェクタ用供給横流路６２ａに連通し第１流路ブロック５８の上面に向かって延びるエジェクタ用供給縦流路６２ｂとからなる。
【0036】
シリンダ用供給路６４は、シリンダ用第１供給横流路６４ａと、シリンダ用第２供給横流路６４ｂと、シリンダ用供給縦流路６４ｃとからなる。シリンダ用第１供給横流路６４ａは、真空吸着シリンダ１２Ａのシリンダ用第１横断供給路４４に接続され、横方向に延びる。シリンダ用第２供給横流路６４ｂは、真空吸着シリンダ１２Ａのシリンダ用第２横断供給路４６に接続され、横方向に延びる。シリンダ用供給縦流路６４ｃは、これらシリンダ用第１供給横流路６４ａおよびシリンダ用第２供給横流路６４ｂに連通し、第１流路ブロック５８の上面に向かって延びる。
【0037】
共通排気路６６は、シリンダ用第１排気横流路６６ａと、シリンダ用第２排気横流路６６ｂと、エジェクタ用排気横流路６６ｃと、排気縦流路６６ｄとからなる。シリンダ用第１排気横流路６６ａは、真空吸着シリンダ１２Ａのシリンダ用第１横断排気路４２に接続され、横方向に延びる。シリンダ用第２排気横流路６６ｂは、真空吸着シリンダ１２Ａのシリンダ用第２横断排気路４８に接続され、横方向に延びる。エジェクタ用排気横流路６６ｃは、真空吸着シリンダ１２Ａのエジェクタ用横断排気路５２に接続され、横方向に延びる。排気縦流路６６ｄは、これらシリンダ用第１排気横流路６６ａ、シリンダ用第２排気横流路６６ｂおよびエジェクタ用排気横流路６６ｃに連通し、第１流路ブロック５８の上面に向かって延びる。
【0038】
第１流路ブロック５８の上面には、エジェクタ用供給縦流路６２ｂに接続されるエジェクタ用供給ポート６８、シリンダ用供給縦流路６４ｃに接続されるシリンダ用供給ポート７０、および、排気縦流路６６ｄに接続される排気ポート７２が設けられている。エジェクタ用供給ポート６８とシリンダ用供給ポート７０には、図示しないエア供給源からエアが供給される。排気ポート７２は、大気に開放されている。
【0039】
第１流路ブロック５８には、シリンダ用第１供給横流路６４ａとシリンダ用第２供給横流路６４ｂとの間に位置して、第１挿通孔５９ａと第２挿通孔５９ｂが設けられている。これら第１挿通孔５９ａと第２挿通孔５９ｂは、第１流路ブロック５８を横断して貫通する。また、第１流路ブロック５８には、シリンダ用第２排気横流路６６ｂとエジェクタ用供給横流路６２ａとの間に位置して、第３挿通孔５９ｃが設けられている。第３挿通孔５９ｃは、第１流路ブロック５８を横断して貫通する。
【0040】
図６に示されるように、複数の真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆは、第１～第３タイロッド７４ａ～７４ｃを用いて、第１流路ブロック５８と第２流路ブロック６０との間で挟持されることにより、相互に連結される。第１タイロッド７４ａは、第１流路ブロック５８の第１挿通孔５９ａと、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆの第１挿通孔５６ａと、第２流路ブロック６０の第１挿通孔５９ａにそれぞれ挿通され、両端にナット７６が螺合されて固定される。
【0041】
同様に、第２タイロッド７４ｂは、第１流路ブロック５８の第２挿通孔５９ｂと、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆの第２挿通孔５６ｂと、第２流路ブロック６０の第２挿通孔５９ｂにそれぞれ挿通され、ナット７６により固定される。第３タイロッド７４ｃは、第１流路ブロック５８の第３挿通孔５９ｃと、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆの第３挿通孔５６ｃと、第２流路ブロック６０の第３挿通孔５９ｃにそれぞれ挿通され、ナット７６により固定される。なお、図６において、真空吸着シリンダ１２Ａ等の各横断供給路４４、４６、５０と各横断排気路４２、４８、５２、および、第１流路ブロック５８の各供給横流路６２ａ、６４ａ、６４ｂと各排気横流路６６ａ、６６ｂ、６６ｃは省略してある。
【0042】
第１流路ブロック５８の外側には、第１エンドプレート７８が配設され、第２流路ブロック６０の外側には、第２エンドプレート８０が配設されている。第１エンドプレート７８および第２エンドプレート８０にも、第１～第３タイロッド７４ａ～７４ｃが挿通される。第１流路ブロック５８と第１エンドプレート７８との接合面、および、第２流路ブロック６０と第２エンドプレート８０との接合面における所定の箇所にも図示しないシールリングが装着される。ただし、第１エンドプレート７８および第２エンドプレート８０は設けなくてもよい。
【0043】
本実施形態では、合計６個の真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆが連結されているが、適宜数の真空吸着シリンダを追加ないし抜去することができる。この場合、異なる長さの第１～第３タイロッド７４ａ～７４ｃを用意しておき、真空吸着シリンダの連結数に応じて適切な長さの第１～第３タイロッド７４ａ～７４ｃを使用すればよい。
【0044】
複数の真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆが連結されると、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆのシリンダ用第１横断排気路４２は、横方向に一直線上に並び、相互に連通する。同様に、各シリンダ用第１横断供給路４４、各シリンダ用第２横断供給路４６、各シリンダ用第２横断排気路４８、各エジェクタ用横断供給路５０、各エジェクタ用横断排気路５２は、いずれも、横方向に一直線上に並び、相互に連通する。
【0045】
真空吸着シリンダ１２Ａのシリンダ用第１横断排気路４２は、第１流路ブロック５８のシリンダ用第１排気横流路６６ａに接続され、真空吸着シリンダ１２Ａのシリンダ用第１横断供給路４４は、第１流路ブロック５８のシリンダ用第１供給横流路６４ａに接続される。真空吸着シリンダ１２Ａのシリンダ用第２横断供給路４６は、第１流路ブロック５８のシリンダ用第２供給横流路６４ｂに接続され、真空吸着シリンダ１２Ａのシリンダ用第２横断排気路４８は、第１流路ブロック５８のシリンダ用第２排気横流路６６ｂに接続される。真空吸着シリンダ１２Ａのエジェクタ用横断供給路５０は、第１流路ブロック５８のエジェクタ用供給横流路６２ａに接続され、真空吸着シリンダ１２Ａのエジェクタ用横断排気路５２は、第１流路ブロック５８のエジェクタ用排気横流路６６ｃに接続される。
【0046】
真空吸着シリンダ１２Ｆのシリンダ用第１横断排気路４２は、第２流路ブロック６０のシリンダ用第１排気横流路６６ａに接続され、真空吸着シリンダ１２Ｆのシリンダ用第１横断供給路４４は、第２流路ブロック６０のシリンダ用第１供給横流路６４ａに接続される。真空吸着シリンダ１２Ｆのシリンダ用第２横断供給路４６は、第２流路ブロック６０のシリンダ用第２供給横流路６４ｂに接続され、真空吸着シリンダ１２Ｆのシリンダ用第２横断排気路４８は、第２流路ブロック６０のシリンダ用第２排気横流路６６ｂに接続される。真空吸着シリンダ１２Ｆのエジェクタ用横断供給路５０は、第２流路ブロック６０のエジェクタ用供給横流路６２ａに接続され、真空吸着シリンダ１２Ｆのエジェクタ用横断排気路５２は、第２流路ブロック６０のエジェクタ用排気横流路６６ｃに接続される。
【0047】
したがって、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆのシリンダ用第１横断供給路４４およびシリンダ用第２横断供給路４６には、第１流路ブロック５８のシリンダ用供給ポート７０と第２流路ブロック６０のシリンダ用供給ポート７０の両方から同時にエアが供給可能となっている。また、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆのエジェクタ用横断供給路５０には、第１流路ブロック５８のエジェクタ用供給ポート６８と第２流路ブロック６０のエジェクタ用供給ポート６８の両方から同時にエアが供給可能となっている。さらに、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆのシリンダ用第１横断排気路４２、シリンダ用第２横断排気路４８およびエジェクタ用横断排気路５２は、第１流路ブロック５８の排気ポート７２と第２流路ブロック６０の排気ポート７２の両方を介して大気に開放されている。これにより、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆのシリンダ用第１電磁弁３６、シリンダ用第２電磁弁３８およびエジェクタ用電磁弁４０に対するエアの給排が迅速に行われ、応答性が向上する。
【0048】
本発明の実施形態に係る真空吸着シリンダ集合体１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、以下、その作用について説明する。
【0049】
複数の真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆのいずれについても、シリンダ用第１電磁弁３６、シリンダ用第２電磁弁３８およびエジェクタ用電磁弁４０への通電が停止されている状態を初期状態とする。
【0050】
シリンダ用第１電磁弁３６への通電が停止されているので、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆの第１圧力室３０は、シリンダ用第１横断供給路４４に接続されている。また、シリンダ用第２電磁弁３８への通電が停止されているので、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆの第２圧力室３２は、シリンダ用第２横断排気路４８に接続されている。
【0051】
このため、第１流路ブロック５８または第２流路ブロック６０のシリンダ用供給ポート７０からのエアは、シリンダ用供給路６４等を介して、各第１圧力室３０に供給されるとともに、各第２圧力室３２内のエアは、共通排気路６６等を介して、第１流路ブロック５８または第２流路ブロック６０の排気ポート７２から排気された状態となっている。したがって、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆのピストン２４は上昇した位置にあり、吸着パッド８４も上昇した位置に保持されている。
【0052】
また、エジェクタ用電磁弁４０への通電が停止されているので、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆの第３圧力室３４は、エジェクタ用横断排気路５２に接続されている。このため、各エジェクタボデイ８２内のエアは、共通排気路６６等を介して、第１流路ブロック５８または第２流路ブロック６０の排気ポート７２から排気された状態となっている。したがって、各吸着パッド８４に真空圧は生成されていない。
【0053】
上記初期状態から、複数の真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆのうち所定の真空吸着シリンダ、例えば、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃについて、シリンダ用第１電磁弁３６、シリンダ用第２電磁弁３８およびエジェクタ用電磁弁４０に通電する。
【0054】
シリンダ用第１電磁弁３６に通電がなされることにより、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの第１圧力室３０は、シリンダ用第１横断排気路４２に接続され、シリンダ用第２電磁弁３８に通電がなされることにより、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの第２圧力室３２は、シリンダ用第２横断供給路４６に接続される。
【0055】
このため、第１流路ブロック５８または第２流路ブロック６０のシリンダ用供給ポート７０からのエアは、シリンダ用供給路６４等を介して、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの第２圧力室３２に供給される。また、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの第１圧力室３０内のエアは、共通排気路６６等を介して、第１流路ブロック５８または第２流路ブロック６０の排気ポート７２から排気される。これにより、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃのピストン２４は下降し、吸着パッド８４も下降する。
【0056】
また、エジェクタ用電磁弁４０に通電がなされることにより、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの第３圧力室３４は、エジェクタ用横断供給路５０に接続される。このため、第１流路ブロック５８または第２流路ブロック６０のエジェクタ用供給ポート６８からのエアは、エジェクタ用供給路６２等を介して、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃのエジェクタボデイ８２内に供給される。これにより、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの吸着パッド８４に真空圧が生成される。
【0057】
このようにして、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃは、ピストン２４および吸着パッド８４が下降するとともに、吸着パッド８４に真空圧が生成されるので、吸着パッド８４の下方に存在する図示しない錠剤等のワークを吸着することができる。
【0058】
真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃがワークを吸着した後に、これらの真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃについて、エジェクタ用電磁弁４０への通電は継続したまま、シリンダ用第１電磁弁３６およびシリンダ用第２電磁弁３８への通電を停止する。
【0059】
シリンダ用第１電磁弁３６への通電を停止することにより、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの第１圧力室３０は、シリンダ用第１横断供給路４４に接続される。また、シリンダ用第２電磁弁３８への通電を停止することにより、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの第２圧力室３２は、シリンダ用第２横断排気路４８に接続される。これにより、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃのピストン２４および吸着パッド８４は上昇する。
【0060】
一方、エジェクタ用電磁弁４０への通電は継続されているので、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの吸着パッド８４に真空圧が生成された状態が維持される。そして、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃがワークを吸着保持した状態で、図示しないロボットアームを操作することにより、真空吸着シリンダ集合体１０を移動させてワークを所定の場所まで搬送することが可能となる。
【0061】
真空吸着シリンダ集合体１０が所定の場所まで移動した後、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃについて、シリンダ用第１電磁弁３６およびシリンダ用第２電磁弁３８に通電するとともに、エジェクタ用電磁弁４０への通電を停止する。
【0062】
シリンダ用第１電磁弁３６およびシリンダ用第２電磁弁３８に通電がなされることにより、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃのピストン２４は下降し、吸着パッド８４も下降する。また、エジェクタ用電磁弁４０への通電が停止されることにより、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの吸着パッド８４に生成されていた真空圧が消失する。したがって、真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｃの吸着パッド８４に吸着されていたワークが解放される。
【0063】
本実施形態の真空吸着シリンダ集合体１０によれば、複数の真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆが第１～第３タイロッド７４ａ～７４ｃを用いて第１流路ブロック５８と第２流路ブロック６０との間で挟持され連結されるので、真空吸着シリンダ数の増減要求に対して容易に対応できる。
【0064】
また、シリンダ用第１電磁弁３６、シリンダ用第２電磁弁３８およびエジェクタ用電磁弁４０がシリンダチューブ１４の側面に取り付けられるので、第１圧力室３０、第２圧力室３２および第３圧力室３４とそれぞれに対応する電磁弁との間の流路を可及的に短くすることができる。
【0065】
また、シリンダ用第１横断排気路４２、シリンダ用第１横断供給路４４、シリンダ用第２横断供給路４６、シリンダ用第２横断排気路４８、エジェクタ用横断供給路５０およびエジェクタ用横断排気路５２は、シリンダチューブ１４の長手方向と垂直な方向に延び、上下方向に並んで互いに平行に配置されるので、シリンダチューブ１４の側壁に多数の流路を可及的に短くしつつ効率良く配置することができる。
【0066】
また、ピストン２４に固定された下部ロッド２８が外部に延出する端部にエジェクタボデイ８２がねじ込みにより連結されるので、吸着するワークの種類等に応じてエジェクタ部を容易に交換することができる。
【0067】
また、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆに第１流路ブロック５８と第２流路ブロック６０の両方から同時にエアを供給できるほか、各真空吸着シリンダ１２Ａ～１２Ｆから第１流路ブロック５８と第２流路ブロック６０の両方に向けてエアを排出できる構造となっているので、エアの給排が迅速に行われ、応答性が向上する。
【0068】
（真空吸着シリンダの変更例）
上述した真空吸着シリンダ１２Ａは、次の形態の真空吸着シリンダ１２Ａ´に置き換えることができる。以下、図７を参照しながら、真空吸着シリンダ１２Ａ´について説明する。なお、真空吸着シリンダ１２Ａと同一または同等の構成要素には同一の参照符号を付してある。
上述した真空吸着シリンダ１２Ａは、次の形態の真空吸着シリンダ１２Ａ´に置き換えることができる。以下、図７を参照しながら、真空吸着シリンダ１２Ａ´について説明する。なお、真空吸着シリンダ１２Ａと同一または同等の構成要素には同一の参照符号を付してある。
【0069】
真空吸着シリンダ１２Ａ´は、上部シリンダチューブ１６の上側に取り付けられた保護カバー１５を備える。上部ロッド２６は、上部シリンダチューブ１６に貫通孔として設けられたシリンダ孔１６ａに挿通され、保護カバー１５に設けられたカバー孔１５ａの内部に延びている。保護カバー１５には、上部ロッド２６に摺接するロッドパッキン１７が装着されている。
【0070】
上部ロッド２６とカバー孔１５ａの壁面との間に形成される隙間は、ロッドパッキン１７が上部ロッド２６に摺接することによって、該摺接箇所の上方の部位と下方の部位とに互いに気密に隔てられる。このうち、上方の部位は、カバー孔１５ａの上端が外部に開口しているため、大気と連通する開放室３３を形成している。また、下方の部位は、上部ロッド２６と上部シリンダチューブ１６のシリンダ孔１６ａの壁面との間に形成される空間と一体となって、エジェクタ用圧力室３５を形成している。
【0071】
上部シリンダチューブ１６に設けられた第３通路３４ａは、エジェクタ用圧力室３５に連通している。また、上部ロッド２６の側壁には、エジェクタ用圧力室３５を上部ロッド孔２６ａに連通せしめる横孔２６ｂが設けられている。さらに、上部ロッド２６の上端には、上部ロッド孔２６ａを開放室３３から気密に隔てるシール部３７が設けられている。
【0072】
したがって、エジェクタ用圧力室３５は、横孔２６ｂと上部ロッド孔２６ａと下部ロッド孔２８ａを介してエジェクタボデイ８２の内部に連通し、エジェクタ部に供給するエアの充填室として機能する。この場合、エジェクタ用圧力室３５のエアは、上部ロッド２６の側壁に設けられた横孔２６ｂを通って上部ロッド孔２６ａに導入されるので、エジェクタ用圧力室３５のエア圧が上部ロッド２６を押し下げる向きに作用することはない。
【0073】
エジェクタ用電磁弁４０に通電がなされることにより、真空吸着シリンダ１２Ａ´のエジェクタ用圧力室３５は、エジェクタ用横断供給路５０に接続される。このため、第１流路ブロック５８または第２流路ブロック６０のエジェクタ用供給ポート６８からのエアは、エジェクタ用供給路６２等を介して、真空吸着シリンダ１２Ａ´のエジェクタボデイ８２内に供給される。これにより、真空吸着シリンダ１２Ａ´の吸着パッド８４に真空圧が生成される。
【0074】
本発明に係る真空吸着シリンダ集合体は、上述の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することのない範囲で、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】