特許 7529277 ワーク保持治具及び表面処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-29

(45)【発行日】2024-08-06

(54)【発明の名称】ワーク保持治具及び表面処理装置

(51)【国際特許分類】

   C25D 17/08 20060101AFI20240730BHJP

   C25D 17/00 20060101ALI20240730BHJP

   C25D 17/06 20060101ALI20240730BHJP

   C25D 21/00 20060101ALI20240730BHJP

   C25D 21/12 20060101ALI20240730BHJP

【ＦＩ】

C25D17/08 R

C25D17/00 G

C25D17/06 H

C25D17/08 J

C25D21/00 E

C25D21/12 L

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2021128254

(22)【出願日】2021-08-04

(65)【公開番号】P2023023068

(43)【公開日】2023-02-16

【審査請求日】2024-04-19

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】507264549

【氏名又は名称】株式会社アルメックステクノロジーズ

(74)【代理人】

【識別番号】100090479

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 一

(74)【代理人】

【識別番号】100104710

【弁理士】

【氏名又は名称】竹腰 昇

(74)【代理人】

【識別番号】100124682

【弁理士】

【氏名又は名称】黒田 泰

(72)【発明者】

【氏名】石井 勝己

【審査官】永田 史泰

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０２１／１４０８５７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－１９４３０９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２５Ｄ１７／００－２１／２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

処理液に浸漬される矩形のワークを、前記ワークの表面及び裏面を垂直にして保持する保持部と、
前記ワークを陰極に設定するための互いに絶縁された２つの被給電部と、
前記２つの被給電部と前記保持部との間を導通させ、かつ、互いに絶縁される２つの導通部と、
を有し、
前記保持部は、上枠と、下枠と、２つの縦枠と、を含み、
前記上枠と前記下枠と前記２つの縦枠との各々が、前記ワークの一辺と平行に延び、互いに絶縁された導電性の２つのプレートを含み、計８つのプレートで前記保持部が形成され、
前記２つの縦枠の各々に設けられた前記２つのプレートの一方は、前記上枠に絶縁部材を介して支持され、かつ、各下端が前記下枠に設けられた前記２つのプレートの一方の両端部に連結され、
前記２つの縦枠の各々に設けられた前記２つのプレートの他方は、前記上枠に絶縁部材を介して支持され、かつ、各下端が前記下枠に設けられた前記２つのプレートの他方の両端部に連結され、
前記上枠と前記下枠との各々に、前記ワークを挟んで保持するクランパーが設けられ、
前記クランパーは、前記ワークの前記表面と接触する導電性の第１クランプ片と、前記ワークの前記裏面と接触する導電性の第２クランプ片と、を含み、
前記第１クランプ片は、前記２つの被給電部、前記２つの導通部及び前記２つのプレートの各一方と導通され、
前記第２クランプ片は、前記２つの被給電部、前記２つの導通部及び前記２つのプレートの各他方と導通される、ワーク保持治具。

【請求項2】

請求項１において、
前記２つの導通部は、第１～第８導通部を含み、
前記第１導通部は、前記２つの被給電部の一方と、前記上枠に設けられた前記２つのプレートの一方の一端との間を導通させ、
前記第２導通部は、前記２つの被給電部の一方と、前記上枠に設けられた前記２つのプレートの一方の他端との間を導通させ、
前記第３導通部は、前記２つの被給電部の他方と、前記上枠に設けられた前記２つのプレートの他方の一端との間を導通させ、
前記第４導通部は、前記２つの被給電部の他方と、前記上枠に設けられた前記２つのプレートの他方の他端との間を導通させ、
前記第５導通部は、前記２つの被給電部の一方と、前記２つの縦枠の一方に設けられた前記２つのプレートの一方との間を導通させ、
前記第６導通部は、前記２つの被給電部の一方と、前記２つの縦枠の他方に設けられた前記２つのプレートの一方との間を導通させ、
前記第７導通部は、前記２つの被給電部の他方と、前記２つの縦枠の一方に設けられた前記２つのプレートの他方との間を導通させ、
前記第８導通部は、前記２つの被給電部の他方と、前記２つの縦枠の他方に設けられた前記２つのプレートの他方との間を導通させる、ワーク保持治具。

【請求項3】

請求項２において、
前記第１～第４導通部の各々は、前記第５～第８導通部の各々よりも電気抵抗が大きい、ワーク保持治具。

【請求項4】

処理液中に矩形のワークが浸漬される処理槽と、
前記ワークの表面と対面する第１陽極と、前記ワークの裏面と対面する第２陽極と、を含み、前記処理槽に配置される陽極と、
互いに絶縁されて平行に配置される８列の給電レールと、
前記８列の給電レールのうちの４つの給電レールと前記第１陽極との間にそれぞれ接続される４個の整流器と、前記８列の給電レールのうちの他の４つの給電レールと前記第２陽極との間にそれぞれ接続される他の４個の整流器と、を含む計８個の整流器と、
前記ワークをそれぞれ保持して、前記８列の給電レールの各２つとそれぞれ電気的に接続される、移動可能な４つのワーク保持治具と、
を含み、
前記４つのワーク保持治具の各々は、請求項１～３のいずれか一項に記載されたワーク保持治具である、表面処理装置。

【請求項5】

請求項４において、
前記４つの整流器は、前記８列の給電レールのうち奇数列目の前記４つの給電レールそれぞれと接続され、
前記他の４つの整流器は、前記８列の給電レールのうち偶数列目の前記他の４つの給電レールとそれぞれ接続される、表面処理装置。

【請求項6】

請求項４において、
前記４つの整流器は、前記８列の給電レールのうち互いに隣り合う第１～４列目の前記４つの給電レールとそれぞれ接続され、
前記他の４つの整流器は、前記８列の給電レールのうち互いに隣り合う第５～８列目の前記他の４つの給電レールとそれぞれ接続される、表面処理装置。

【請求項7】

請求項４乃至６のいずれか一項において、
前記４つのワーク保持治具の各々は、
前記２つの被給電部の一方を支持する第１支持アームと、
前記２つの被給電部の他方を支持する第２支持アームと、
前記第１及び第２支持アームが固定される水平アーム部と、
をさらに有し、
前記第１及び第２支持アームが前記水平アーム部に固定される各位置が、前記８列の給電レールが延びる方向に対して直交する方向で、前記８列の給電レールの前記各２つの位置に合わせて、調整可能である、表面処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワーク保持治具及び表面処理装置等に関する。

【背景技術】

【0002】

本発明者は、Ｎ（Ｎは複数）個の被給電部と、互いに絶縁されるＮ個の導通経路とを含むワーク保持治具を提案している（特許文献１）。互いに絶縁されるＮ個の導通経路は、ワークを含む異なるＮ個の陰極設定部位に導通されるものであり、その一態様として、ワークの表裏（２個の陰極設定部位）を例示している。本発明者はさらに、このワーク保持治具を含む表面処理装置も提案している（特許文献２）。

【0003】

一方、本願出願人は、一つの表面処理槽の処理液に同時に浸漬可能な最大５つのワークを保持する５つのワーク保持治具に、それぞれ異なる整流器（図１では５個の整流器、図７ではワークの表裏で各５個、計１０個の整流器）に接続される５列の給電レールと接触して給電する表面処理装置を提案している（特許文献３）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第６８２０６２６号公報

【文献】特許第６７４４６４６号公報

【文献】特許第５４５７０１０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、特許文献１～３には、ワークの表裏に導通する互いに絶縁された２つの導通経路を有するワーク保持治具及びそれを用いる表面処理装置の具体的構造は開示されていない。

【0006】

本発明の目的は、ワーク保持治具に必須な保持部の構造を利用して、ワークの表裏に低抵抗で接続され、かつ、互いに絶縁される導通経路を有するワーク保持治具及びそれを用いた表面処理装置を提供することである。
本発明の他の目的は、ワークの表裏面への電流量を個別に調整しながらも、スループットを維持しながら過度な大型化を避けることができる表面処理装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）本発明の一態様は、
処理液に浸漬される矩形のワークを、前記ワークの表面及び裏面を垂直にして保持する保持部と、
前記ワークを陰極に設定するための互いに絶縁された２つの被給電部と、
前記２つの被給電部と前記保持部との間を導通させ、かつ、互いに絶縁される２つの導通部と、
を有し、
前記保持部は、
前記ワークの一辺と平行に延び、互いに絶縁された導電性の２つのプレートと、
前記ワークの前記表面と接触する導電性の第１クランプ片と、前記ワークの前記裏面と接触する導電性の第２クランプ片と、を含み、前記ワークを挟んで保持するクランパーと、
を含み、
前記第１クランプ片は、前記２つの被給電部、前記２つの導通部及び前記２つのプレートの各一方と導通され、
前記第２クランプ片は、前記２つの被給電部、前記２つの導通部及び前記２つのプレートの各他方と導通される、ワーク保持治具に関する。

【0008】

本発明の一態様によれば、ワーク保持治具に必須な構造である保持部が、導電性の２つのプレートと、導電性の第１、第２クランプ片を含むクランパーとを含む。２つの被給電部、２つの導通部及び２つのプレートの各一方は、クランパーの第１クランプ片を介してワークの表面と導通する。２つの被給電部、２つの導通部及び２つのプレートの各他方は、クランパーの第２クランプ片を介してワークの裏面と導通する。こうして、ワーク保持治具に必要な構造を利用して、ワークの表裏に低抵抗で接続され、かつ、互いに絶縁される導通経路を有するワーク保持治具が提供される。

【0009】

（２）本発明の一態様（１）では、前記保持部は、上枠と、下枠と、２つの縦枠と、を含むことができる。この場合、前記上枠と前記下枠と前記２つの縦枠との各々が前記２つのプレートを含み、計８つのプレートが設けられる。前記上枠と前記下枠との各々に、前記クランパーが設けられる。前記２つの縦枠の各々に設けられた前記２つのプレートの一方は、前記下枠に設けられた前記２つのプレートの一方と導通され、前記２つの縦枠の各々に設けられた前記２つのプレートの他方は、前記下枠に設けられた前記２つのプレートの他方と導通される。２つの被給電部、２つの導通部及び上枠の２つのプレートの各一方は、上枠に設けられた第１チェック片を介してワークの表面と導通する。２つの被給電部、２つの導通部及び上枠に設けられた２つのプレートの各他方は、上枠に設けられた第２チェック片を介してワークの裏面と導通する。２つの被給電部と、２つの導通部と、２つの縦枠及び下枠の各２つのプレートと、の各一方は、下枠に設けられた第１チェック片を介してワークの表面と導通する。２つの被給電部と、２つの導通部と、２つの縦枠及び下枠の各に設けられた２つのプレートと、の各他方は、下枠に設けられた第２チェック片を介してワークの裏面と導通する。こうして、上枠、下枠、２つの縦枠というワーク保持治具に必要な構造を利用して、ワークの表裏に低抵抗で接続され、かつ、互いに絶縁される導通経路を設けることができる。

【0010】

（３）本発明の一態様（２）では、前記２つの縦枠は、前記上枠に絶縁部材を介して支持されても良く、前記上枠に設けられた前記２つのプレートの一方は、前記２つの縦枠の各々に設けられた前記２つのプレートと絶縁され、前記上枠に設けられた前記２つのプレートの他方は、前記２つの縦枠の各々に設けられた前記２つのプレートと絶縁される。こうして、保持部の中では、上枠を経由してワークの表裏面に導通させる一の導電経路と、２つの縦枠及び下枠を経由してワークの表裏面に導通させる他の導電経路とを、互いに電気的に絶縁することができる。

【0011】

（４）本発明の一態様（３）では、前記２つの導通部は、第１～第８導通部を含んでも良い。この場合、前記第１導通部は、前記２つの被給電部の一方と、前記上枠に設けられた前記２つのプレートの一方の一端との間を導通させ、前記第２導通部は、前記２つの被給電部の一方と、前記上枠に設けられた前記２つのプレートの一方の他端との間を導通させ、前記第３導通部は、前記２つの被給電部の他方と、前記上枠に設けられた前記２つのプレートの他方の一端との間を導通させ、前記第４導通部は、前記２つの被給電部の他方と、前記上枠に設けられた前記２つのプレートの他方の他端との間を導通させ、前記第５導通部は、前記２つの被給電部の一方と、前記２つの縦枠の一方に設けられた前記２つのプレートの一方との間を導通させ、前記第６導通部は、前記２つの被給電部の一方と、前記２つの縦枠の他方に設けられた前記２つのプレートの一方との間を導通させ、前記第７導通部は、前記２つの被給電部の他方と、前記２つの縦枠の一方に設けられた前記２つのプレートの他方との間を導通させ、前記第８導通部は、前記２つの被給電部の他方と、前記２つの縦枠の他方に設けられた前記２つのプレートの他方との間を導通させる。こうして、２つの被給電部と、上枠に設けられた２つのプレートの両端（計４つの端部）とを、第１～第４導通部によって電気的に接続することができる。また、２つの被給電部と、２つの縦枠に設けられた各２つのプレートの各一端（計４つの他の端部）とを、第５～第８導通部によって電気的に接続することができる。

【0012】

（５）本発明の一態様（４）では、前記第１～第４導通部の各々は、前記第５～第８導通部の各々よりも電気抵抗を大きくすることができる。こうすると、第１～第４導通部から上枠を経由してワークの表裏面に導通させる経路の電気抵抗と、第５～第８導通部から２つの縦枠及び下枠を経由してワークの表裏面に導通させる経路の電気抵抗とを、ほぼ等しく設定することが可能となる。

【0013】

（６）本発明の他の態様は、
処理液中に矩形のワークが浸漬される処理槽と、
前記ワークの表面と対面する第１陽極と、前記ワークの裏面と対面する第２陽極と、を含み、前記処理槽に配置される陽極と、
互いに絶縁される８列の給電レールと、
前記８列の給電レールのうちの４つの給電レールと前記第１陽極との間にそれぞれ接続される４個の整流器と、前記８列の給電レールのうちの他の４つの給電レールと前記第２陽極との間にそれぞれ接続される他の４個の整流器と、を含む計８個の整流器と、
前記ワークをそれぞれ保持して、前記８列の給電レールの各２つとそれぞれ電気的に接続される、移動可能な４つのワーク保持治具と、
を含み、
前記４つのワーク保持治具の各々は、本発明の一態様（１）～（５）のいずれかに記載されたワーク保持治具である、表面処理装置に関する。

【0014】

本発明の他の態様によれば、本発明の一態様（１）～（５）のいずれかに記載されたワーク保持治具を用いて、ワークの表裏面への電流量を個別に調整してワークの表裏面を表面処理することができる。ワークの表裏面への電流量を個別に調整するために、処理槽に同時に通過できるワーク保持治具の最大数を４とすることで、給電レール及び整流器の数を各々８つとすることができ、それによりスループットを維持しながら表面処理装置の過度な大型化を避けることができる。

【0015】

（７）本発明の他の態様（６）では、前記４つの整流器は、前記８列の給電レールのうち奇数列の前記４つの給電レールとそれぞれ接続され、前記他の４つの整流器は、前記８列の給電レールのうち偶数列の前記他の４つの給電レールとそれぞれ接続されてもよい。こうすると、ワーク保持治具に設けられる２つの被給電部の間隔は、隣り合う給電レール間の間隔よりも広くすることができる。それにより、２つの被給電部に２つの導通部を接続するスペースが確保され易くなる。

【0016】

（８）本発明の他の態様（６）では、前記４つの整流器は、前記８列の給電レールのうち互いに隣り合う第１～４列の前記４つの給電レールとそれぞれ接続され、前記他の４つの整流器は、前記８列の給電レールのうち互いに隣り合う第５～８列の前記他の４つの給電レールとそれぞれ接続されてもよい。こうすると、こうすると、ワーク保持治具に設けられる２つの被給電部の間隔を隣り合う給電レール間の間隔に合わせて狭めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一実施形態に係る表面処理装置の概略平面図である。

【図2】本発明の一実施形態に係るワーク保持治具の基本構造を示す概略斜視図である。

【図3】上枠を経由してワークの表裏面に電流を流す導通経路を説明するための図である。

【図4】上枠及び下枠を経由してワークの表裏面に電流を流す導通経路を説明するための図である。

【図5】図４に示す導通経路の構造を示す図である。

【図6】クランパーの構造を示す図である。

【図7】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置の概略平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、以下に説明する本実施形態は請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。

【0019】

１．表面処理装置
図１は、本発明の実施形態である表面処理装置１を模式的に示す平面図である。図１において、表面処理装置１は、処理槽１０と、処理槽１０内に設けられる陽極２０と、ワーク（図１では図示せず）を搬送するワーク保持治具３０と、整流器４０と、給電レール５０とを有する。処理槽１０は、矩形のワークが浸漬される処理液例えばメッキ液を収容している。複数の処理槽１０を連結して設けることもでき、その場合には、処理槽１０の長手方向の両端に、隣り合う処理槽１０間でワークの通過を許容する開口１１、１２が設けられる。

【0020】

処理槽１０内に設けられる陽極２０は、ワークの表面と対面する第１陽極２１と、ワークの裏面と対面する第２陽極２２と、を含む。処理槽１０外には、８個の整流器４０（４１～４８）が設けられる。処理槽１０外には、互いに絶縁される８列の給電レール５０（５１～５８）が、処理槽１０の長手方向に沿って、例えば処理槽１０の一方の側部に設けられる。４個の整流器４１～４４は、８列の給電レール５０（５１～５８）のうちの例えば４つの給電レール５１～５４と第１陽極２１との間にそれぞれ接続される。他の４個の整流器４５～４８は、４つの給電レール５５～５８と第２陽極２２との間にそれぞれ接続される。

【0021】

処理槽１０には、ワークをそれぞれ保持して、８列の給電レール５０の各２つとそれぞれ電気的に接続されるワーク保持治具３０として、最大４つのワーク保持治具３１～３４が、処理槽１０の長手方向に沿って移動可能に設けられる。これらのワーク保持治具３１～３４は、搬送方向Ａの上流側（例えば図示しない上流の処理槽）から処理槽１０内に順次搬入され、処理槽１０を例えば連続移動した後に、搬送方向Ａの下流側（例えば図示しない下流の処理槽）へと順次搬出される。

【0022】

ここで、最大４つのワーク保持治具３１～３４の各々は、８列の給電レール５０（５１～５８）のうちの異なる２列の給電レールと接続される。図１に示す状態では、最下流のワーク保持治具３１は、例えば奇数番目の１列目と５列目の給電レール５１、５５と接続される。ワーク保持治具３２は、例えば偶数番目の２列目と６列目の給電レール５２、５６と接続される。ワーク保持治具３３は、例えば偶数番目の３列目と７列目の給電レール５３、５７と接続される。ワーク保持治具３４は、例えば偶数番目の４列目と８列目の給電レール５４、５８と接続される。このとき、整流器４１は、ワーク保持治具３１に保持されたワークの表面と対面する第１陽極２１と、１列目の給電レール５１とに接続されて、ワーク保持治具３１に保持されたワークの表面に流れる電流を調整する。整流器４５は、ワーク保持治具３１に保持されたワークの裏面と対面する第２陽極２２と、５列目の給電レール５５とに接続されて、ワーク保持治具３１に保持されたワークの裏面に流れる電流を調整する。同様にして、ワーク保持治具３２に保持されたワークの表面及び裏面に流れる電流は、整流器４２及び整流器４６により個別に調整される。ワーク保持治具３３に保持されたワークの表面及び裏面に流れる電流は、整流器４３及び整流器４７により個別に調整される。ワーク保持治具３４に保持されたワークの表面及び裏面に流れる電流は、整流器４４及び整流器４８により個別に調整される。

【0023】

ここで、処理槽１０を同時に通過可能な最大４つのワーク保持治具３１～３４のうち、最上流のワーク保持治具３１及び最下流のワーク保持治具３４の少なくとも一方に保持されるワークが処理槽１０中の処理液に部分浸漬され、最大３つのワーク保持治具３１～３３または３２～３４に保持される最大３つのワークが処理槽１０中の処理液に全面浸漬される。図１では、最上流のワーク保持治具３１及び最下流のワーク保持治具３４の双方に保持される２つのワークが処理槽１０中の処理液に部分浸漬され残りのワーク保持治具３２、３３に保持される２つのワークが処理槽１０中の処理液に全面浸漬されている。部分浸漬とは、ワークの処理面の一部分が処理槽１０内の処理液中に浸漬されている状態をいう。全面浸漬とは、ワークの処理面の全面が処理槽１０内の処理液中に完全に浸漬されている状態をいう。つまり、処理槽１０の長手方向の長さは、最大３つのワーク保持治具３０により保持される最大３つのワークが全面浸漬するに足る長さとされる。

【0024】

同時刻に全面浸漬状態で処理槽１０内を搬送可能なワークの数をＮ）をとしたとき、整流器４０及び給電レール５０の各々の数は２×（Ｎ＋１）であり、本実施形態はＮ＝３の例である。ワークの表裏面への電流量を個別に調整しながら所望のスループットを達成するためには、Ｎを２以下にすると処理槽１０の連結数が増大し、Ｎを４以上とすると処理槽１０及び給電レール５０を含む表面処理装置１の幅が増大してしまう。本実施形態のＮ＝３では、ワークの表裏面への電流量の個別な調整とスループットを維持しながら、表面処理装置１の過度な大型化を避けることができる。なお、整流器４１～４８は、ワークが処理槽１０に搬入出される際には、特許文献３に記載された方法を採用して、ワークに流れる電流を処理面積に応じて漸次増加（搬入時）または漸次減少（搬出時）することができる。

【0025】

２．ワーク保持治具
２．１．基本構造
ワーク保持治具３０の基本構造は、特許文献１及び２の図４に示すものと概略が同じであり、その基本構造を図２に示す。このワーク保持治具３０は、水平アーム部３００と、垂直アーム部３１０と、ワークを保持する保持部３２０と、被案内部３３０と、被給電部３４０と、被押動片３５０及び被係合部３６０と、を有する。水平アーム部３００は、搬送方向Ａと直交する方向Ｂに沿って延びる。垂直アーム部３１０は水平アーム部３００に垂下して保持される保持部３２０は、支持枠３１１を介して垂直アーム部３１０に固定される。保持部３２０は、上枠３２１と、上枠３２１に例えば昇降可能に支持される２つの縦枠３２２、３２３と、２つの縦枠３２２、３２３に固定される下枠３２４を含む。上枠３２１には、ワークの上縁をクランプする複数の上部クランパー３２５が設けられる。下枠３２４には、ワークの下縁をクランプする複数の下部クランパー３２６が設けられる。ワークには下部クランパー３２６により下向きのテンションが付与される。ただし、ワークが厚い場合及び／又はワークの下部から給電しない場合には、２つの縦枠３２２、３２３、下枠３２４及び下部クランパー３２６を省略しても良い。

【0026】

被案内部３３０は、表面処理装置１に設けられる案内レール（図示せず）に案内されて、ワーク保持治具３０を直線案内するものである。被案内部３３０は、案内レールの天面と転接するローラー３３１と、案内レールの両側面と転接するローラー３３２（図２では一方の側面に転接するローラーのみ図示）とを含むことができる。

【0027】

被給電部３４０としての第１，第２被給電部３４０Ａ，３４０Ｂは、図１に示す８列の給電レール５０（５１～５８）のうちの異なる２列の給電レールと接触して、ワークの表裏面をそれぞれ個別に陰極に設定する。第１，第２被給電部３４０Ａ，３４０Ｂは、搬送方向Ａに沿って延びる第１，第２支持アーム３４１Ａ，３４１Ｂの上流側と下流側とに支持される２つの接触子３４２，３４３をそれぞれ含む。接触子３４２，３４３は、支持アーム３４１に平行リンク機構を介して支持され、図１に示す８列の給電レール５０に圧接されるようにバネで付勢される。図１に示す４つのワーク保持治具３１～３４は、図２に示すＢ方向での第１，第２被給電部３４０Ａ，３４０Ｂの位置を異ならせることで、図１に示す８列の給電レール５０（５１～５８）のうちの異なる２列の給電レールと接触できる。そのために、ワーク保持治具３０は、第１，第２支持アーム３４１Ａ，３４１Ｂ、が水平アーム部３００に対して固定される位置を、図２に示すＢ方向で調整できことが好ましい。こうすると、一種類のワーク保持治具３０を調整することで、図１に示す４種類のワーク保持治具３１～３４を用意することができる。

【0028】

ワーク保持治具３０は、被押動片３５０及び被係合部３６０の双方を有することができる。被係合部３６０は、連続移動する例えばチェーンに係合されることで、ワーク保持治具３０を連続搬送することができる。被押動片３５０は、間欠搬送装置により矢印Ｃ方向に押動されて、ワーク保持治具３０に間欠搬送力を伝達させるものである。こうして、ワーク保持治具３０は間欠搬送にも連続搬送にも兼用できる。ただし、ワーク保持治具３０は、間欠搬送及び連続搬送の一方にのみ用いられるものであっても良い。

【0029】

２．２．ワークの表裏に流れる電流を個別に調整するための構造
図２では、ワーク保持治具３０の第１，第２被給電部３４０Ａ，３４０Ｂと保持部３２０との間を導通させ、かつ、互いに絶縁される２つの導通部や、保持部３２０に設けられる導通経路は省略されている。図３及び図６は、保持部３２０のうちの上枠３２１を介してワークを陰極に設定する導電経路を示している。

【0030】

図３において、ワーク保持治具３０の保持部３２０の例えば上枠３２１は、図６に示すように、互いに絶縁された導電性の２つのプレート３２１Ａ、３２１Ｂを有する。ワーク保持治具３０の上枠３２１に支持されるクランパー３２５は、互いにに絶縁された導電性の第１クランプ片３２５Ａ及び第２クランプ片３２５Ｂを有する。ワーク保持治具３０は、２つの被給電部３４０Ａ、３４０Ｂと上枠３２１（保持部３２０）との間を導通させ、かつ、互いに絶縁される２つの導通部３７０Ａ及び３７０Ｂをさらに有する。整流器４１の負端子は、給電レール５１、第１被給電部３４０Ａ、導通部３７０Ａ、プレート３２１Ａ及び第１クランプ片３２５Ａを介してワークの表面と電気的に接続される。一方、整流器４５の負端子は、給電レール５５、第２被給電部３４０Ｂ、導通部３７０Ｂ、プレート３２１Ｂ及び第２クランプ片３２５Ｂを介してワークの裏面と電気的に接続される。こうして、整流器４１からワークの表面に流れる電流と、整流器４５からワークの裏面に流れる電流とを、整流器４１、４５によりそれぞれ独立して調整することができる。

【0031】

図４及び図５は、ワーク保持治具３０の上枠３２１を経由してワークの上縁からワークの表裏面に電流を流す経路と、ワーク保持治具３０の２つの縦枠３２２、３２３及び下枠３２４を経由してワークの下縁からワークの表裏面に電流を流す経路と、をより具体的に示している。図３に示した２つの導通部３７０Ａ及び３７０Ｂは、図４及び図５に示す部材３７１～３７６及び第１～第８導通部３８１～３８８を含んで構成される。

【0032】

第１被給電部３４０Ａに設けられた２つの接触子３４２、３４３は例えばケーブル３７１、３７２によって、共通接続部３７３と電気的に接続される。同様に、第２被給電部３４０Ｂに設けられた２つの接触子３４２、３４３は例えばケーブル３７４、３７５によって、共通接続部３７６と電気的に接続される。ケーブル３７１、３７２、３７４、３７５は、図２に示す第１，第２支持アーム３４１Ａ，３４１Ｂの間を経由して、例えばワーク保持治具３０の垂直アーム部３１０または支持枠３１１に支持される共通接続部３７３、３７６まで引き回すことができる。その際、図１に示すように、例えばワーク保持治具３１が１列目の給電レール５１と５列目の給電レール５５と接触するようにすると、第１，第２支持アーム３４１Ａ，３４１Ｂの間隔が広がり、ケーブル３７１、３７２、３７４、３７５を引き回し易くなる。

【0033】

ここで、図５に示すように、縦枠３２２は、２つの平行な導電性のプレート３２２Ａ、３２２Ｂを、間隔を空けて平行に配置することで構成される。縦枠３２３は、２つの平行な導電性のプレート３２３Ａ、３２３Ｂを、間隔を空けて平行に配置することで構成される。下枠３２４は、２つの平行な導電性のプレート３２４Ａ、３２４Ｂを、間隔を空けて平行に配置することで構成される。プレート３２４Ａの一端はプレート３２２Ａの下端と連結され、プレート３２４Ａの他端はプレート３２３Ａの下端と連結される。同様に、プレート３２４Ｂの一端はプレート３２２Ｂの下端と連結され、プレート３２４Ｂの他端はプレート３２３Ｂの下端と連結される。上枠３２１も、図５及び図６に示すように、２つの平行な導電性のプレート３２１Ａ、３２１Ｂを、間隔を空けて平行に配置することで構成される。上枠３２１の強度を確保するために、プレート３２１Ａ、３２１Ｂ間に絶縁材３２１Ｃ（図６）を配置しても良い。なお、上枠３２１のプレート３２１Ａは、図５に示すように、縦方向に延びる導電部材３９１と連結される。上枠３２１のプレート３２１Ｂは、縦方向に延びる導電部材３９２と連結される。導電部材３９１、３９２は縦方向で平行に延びている。また、２つの縦枠３２２、３２３は、上枠３２１と電気的に絶縁されて、上枠３２１に支持されても良い。本実施形態では、縦枠３２２、３２３中のプレート３２２Ａ、３２３Ａは導電部材３９１と絶縁体（図示せず）を介して支持され、縦枠３２２、３２３中のプレート３２２Ｂ、３２３Ｂは導電部材３９１と絶縁体（図示せず）を介して支持されている。２つの縦枠３２２、３２３は、上枠３２１と電気的に絶縁されて、上枠３２１に昇降可能に支持されても良い。こうすると、ワークの下端にテンションを付与することができる。

【0034】

第１導通部３８１は、第１被給電部３４０Ａと接続される共通接続部３７３と、上枠３２１に設けられたプレート３２１Ａの一端（例えば左端）との間を、プレート３２１Ａの一端に連結された導電部材３９１を介して導通させる。第２導通部３８２は、第１被給電部３４０Ａと接続される共通接続部３７３と、上枠３２１に設けられたプレート３２１Ａの他端（例えば右端）との間を、プレート３２１Ａの他端に連結された導電部材３９１（図５では省略）を介して導通させる。こうして、第１被給電部３４０Ａと、上枠３２１に設けられたプレート３２１Ａの両端とを、第１、第２導通部３８１、３８２によって電気的に接続することができる。

【0035】

第３導通部３８３は、第２被給電部３４０Ｂと接続される共通接続部３７６と、上枠３２１に設けられたプレート３２１Ｂの一端（例えば左端）との間を、プレート３２１Ｂの一端に連結された導電部材３９２（図５では導電部材３９１に重なって見えない）を介して導通させる。第４導通部３８４は、第２被給電部３４０Ｂと接続される共通接続部３７６と、上枠３２１に設けられたプレート３２１Ｂの他端（例えば右端）との間を、プレート３２１Ｂの他端に連結された導電部材３９２を介して導通させる。こうして、第２被給電部３４０Ｂと、上枠３２１に設けられたプレート３２１Ｂの両端とを、第３、第４導通部３８３、３８４によって電気的に接続することができる。

【0036】

第５導通部３８５は、第１被給電部３４０Ａと接続される共通接続部３７３と、縦枠３２２に設けられたプレート３２２Ａのとの間を導通させ。第６導通部３８６は、第１被給電部３４０Ａと接続される共通接続部３７３と、縦枠３２３に設けられたプレート３２３Ａとの間を導通させる。こうして、第１被給電部３４０Ａと、２つの縦枠３２２、３２３に設けられたプレート３２２Ａ、３２３Ａの各上端とを、第５、第６導通部３８５、３８６によって電気的に接続することができる。プレート３２２Ａ、３２３Ａは、下枠３２４のプレート３２４Ａの両端と連結されているので、第１被給電部３４０Ａと下枠３２４のプレート３２４Ａとを電気的に接続することができる。

【0037】

第７導通部３８７は、第２被給電部３４０Ｂと接続される共通接続部３７６と、縦枠３２２に設けられたプレート３２２Ｂのとの間を導通させ。第８導通部３８８は、第２被給電部３４０Ｂと接続される共通接続部３７６と、縦枠３２３に設けられたプレート３２３Ｂとの間を導通させる。こうして、第２被給電部３４０Ｂと、２つの縦枠３２２、３２３に設けられたプレート３２２Ｂ、３２３Ｂの各上端とを、第７、第８導通部３８７、３８８によって電気的に接続することができる。プレート３２２Ｂ、３２３Ｂは、下枠３２４のプレート３２４Ｂの両端と連結されているので、第２被給電部３４０Ｂと下枠３２４のプレート３２４Ｂとを電気的に接続することができる。

【0038】

ここで、第１～第４導通部３８１～３８４の各々は、第５～第８導通部３８５～３８８の各々よりも電気抵抗を大きくすることができる。第１～第４導通部３８１～３８４の各々は比較的距離が近い上枠３２１と導通するのに対し、第５～第８導通部３８５～３８８は２つの縦枠３２２、３２３を経由して下枠３２４と導通する。よって、共通接続部３７３、３７６から上枠３２１に至る導通経路の電気抵抗と、共通接続部３７３、３７６から下枠３２４に至る導通経路の電気抵抗とを等しくするために、第１～第４導通部３８１～３８４の各々の電気抵抗を大きくしている。具体的には、第１～第４導通部３８１～３８４の各々は、図５に示すように例えばＬ字状に屈曲する金属プレートで構成されるのに対して、第５～第８導通部３８５～３８８は電気ケーブルで構成している。

【0039】

図６は、クランパー例えば上部クランパー３２５を示している。下部クランパー３２６も同様に構成することができる。上部クランパー３２５は、上枠３２１の一対のプレート３２１Ａ、３２１Ｂに支持される。上部クランパー３２５は、プレート３２１Ａに支持、例えば固定される第１クランプ片３２５Ａと、プレート３２１Ｂに移動可能に支持される第２クランプ片３２５Ｂとを含むことができる。第２クランプ片３２５Ｂは、例えばコイルスプリング３２５Ｃにより矢印Ｄ方向に回転付勢されて、プレート３２１Ｂに設けた支点３２５Ｄの廻りに回転可能に支持される。図６では、ワークが存在しないので、第１、第２クランプ片３２５Ａ、３２５Ｂは圧接している。第２クランプ片３２５Ｂを、外力により矢印Ｄ方向とは逆向きに回転させた後に、第１、第２クランプ片３２５Ａ、３２５Ｂ間にワークを配置し、外力を解除すると、第１、第２クランプ片３２５Ａ、３２５Ｂ間でワークは挟持される。それにより、第１、第２クランプ片３２５Ａ、３２５Ｂはワークにより電気的に絶縁される。こうして、プレート３２１Ａ及び第１クランプ片３２５Ａを介してワークの表面に流れる電流と、プレート３２１Ｂ及び第２クランプ片３２５Ｂを介してワークの裏面に流れる電流とを、電気的に分離することができる。

【0040】

３．変形例
図１とは異なり、ワーク保持治具３０と給電レール５０との電気的接続を図７に示すようにしても良い。図７では、４つの整流器４１～４４は、８列の給電レール５１～５８のうち互いに隣り合う第１～４列の４つの給電レール５１～５４とそれぞれ接続され、他の４つの整流器４５～４８は、８列の給電レール５１～５８のうち互いに隣り合う第５～８列の４つの給電レール５５～５８とそれぞれ接続される。こうすると、ワーク保持治具３０に設けられる２つの被給電部３４０Ａ、３４０Ｂの間隔を隣り合う給電レール間の間隔に合わせて狭めることができる。

【0041】

また、例えば本出願人による特許第６９０９５２６号のように、複数のクランパー３２５、３２６のうち隣り合う２つの間にあるワークの縁部に対して接近して配置される導電性のダミー板を設けても良い。この場合、ワークの表裏面に対応して２つのダミー板を設けることができる。２つのダミー板への導通経路は、２つのダミー板の両側に位置するクランパーの第１、第２クランプ片への導電経路を兼用しても良い。

【符号の説明】

【0042】

１…表面処理装置、１０…処理槽、１１、１２…開口、２０…陽極、２１…第１陽極、２２…第２陽極、３０（３１～３８）…８列の給電レール、４０（４１～４８）…整流器、５０（５１～５４）…ワーク保持治具、３２０…保持部、３２１…上枠、３２１Ａ、３２１Ｂ…２つのプレート、３２２、３２３…２つの縦枠、３２２Ａ、３２２Ｂ…２つのプレート、３２３Ａ、３２３Ｂ…２つのプレート、３２４…下枠、３２４Ａ、３２４Ｂ…２つのプレート、３２５…クランパー、３２６…クランパー、３２５Ａ…第１クランプ片、３２５Ｂ…第２クランプ片、３４０Ａ，３４０Ｂ…第１，第２の被給電部、３７０Ａ、３７０Ｂ…２つの導通部、３８１～３８８…第１～第８導通部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】