特許 7529461 アクチュエータ、および触覚デバイス

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-29

(45)【発行日】2024-08-06

(54)【発明の名称】アクチュエータ、および触覚デバイス

(51)【国際特許分類】

   H02K 33/00 20060101AFI20240730BHJP

   B06B 1/04 20060101ALI20240730BHJP

【ＦＩ】

H02K33/00 B

B06B1/04 S

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2020123542

(22)【出願日】2020-07-20

(65)【公開番号】P2022020184

(43)【公開日】2022-02-01

【審査請求日】2023-06-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】北原 裕士

【審査官】保田 亨介

(56)【参考文献】

【文献】特開平０６－１６８３５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１６９５５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５４－０３４０１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平０２－１２２２４５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１７－２２１００９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１２６７５７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０６Ｂ１／００－３／０４

Ｇ０２Ｂ２６／１０－２６／１２

Ｈ０２Ｋ３３／００－３３／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

可動体と、
前記可動体の中心軸線周りに前記可動体を回転可能に支持する支持体と、
前記可動体および前記支持体の一方に保持されたコイル、および他方に保持された磁石を備え、前記可動体を前記中心軸線周りの１８０°未満の角度範囲で回転駆動する磁気駆動機構と、
前記磁気駆動機構による駆動を休止した際に前記可動体を前記角度範囲内に停止させる休止位置規定手段と、
を有し、
前記休止位置規定手段は、前記可動体および前記支持体に接続された粘弾性部材を含み、
前記可動体は、前記粘弾性部材を介して前記支持体に回転可能に支持されていることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項2】

請求項１に記載のアクチュエータにおいて、
前記磁気駆動機構による駆動を休止した際に、前記休止位置規定手段が前記可動体を停止させる位置は、前記角度範囲の中心であることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項3】

請求項１または２に記載のアクチュエータにおいて、
前記可動体および前記支持体のうちの一方は、前記中心軸線を中心とする円周面を備え、
前記可動体および前記支持体のうちの他方は、前記円周面を囲む円周壁を備え、
前記粘弾性部材は、前記円周面と前記円周壁との間に設けられた円筒状の部材であることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項4】

請求項３に記載のアクチュエータにおいて、
前記可動体および前記支持体のうちの一方は、前記中心軸線に沿って延在する軸部を備え、
前記軸部の外周面が前記円周面であることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項5】

請求項１から４までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記粘弾性部材は、ゲル状部材であることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項6】

請求項５に記載のアクチュエータにおいて、
前記粘弾性部材は、前記可動体および前記支持体の双方に接合されていることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項7】

請求項１から６までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記コイルは、前記中心軸線を中心とする周方向の偶数箇所に前記中心軸線に沿って延在する有効部分を備え、
前記磁石は、前記偶数箇所の各々で前記有効部分に前記中心軸線を中心とする径方向で対向する磁極を備えていることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項8】

請求項１から６までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記コイルは、前記中心軸線を中心とする周方向の偶数箇所で前記中心軸線を中心とする径方向に突出した突極に巻回され、
前記磁石は、前記突極に径方向で対向していることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項9】

請求項１から８までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記コイルは、前記支持体に保持され、
前記磁石は、前記可動体に保持されていることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項10】

請求項１から８までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記磁石は、前記支持体に保持され、
前記コイルは、前記可動体に保持されていることを特徴とするアクチュエータ。

【請求項11】

請求項１０に記載のアクチュエータにおいて、
前記休止位置規定手段は、前記可動体側において前記中心軸線を中心とする周方向で離間する位置に設けられた一対の給電電極、および前記一対の給電電極の各々に接触可能に前記支持体側に設けられた一対の給電ブラシを備えた給電機構を含むことを特徴とするアクチュエータ。

【請求項12】

請求項１から１１までの何れか一項に記載のアクチュエータを備えた触覚デバイスであって、
前記コイルに供給した信号に対応する振動を出力することを特徴とする触覚デバイス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、可動体を往復移動させるアクチュエータ、および触覚デバイスに関するものである。

【背景技術】

【0002】

磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、筒状のコイルを保持する支持体と、支持体に支持された可動体と、可動体を支持体に対して直線的に相対移動させるアクチュエータが提案されている（特許文献１参照）。かかるアクチュエータにおいて、可動体を双方向に直動駆動させると、その際の加速度等に対応する振動が出力されるため、アクチュエータを触覚デバイス等として利用することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－６０２０７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載のアクチュエータのように、可動体を直動させる構成の場合、可動体のストロークを延ばすと、可動体が支持体に当接するため、ストロークの延長とアクチュエータの小型化の双方を図ることが困難であるという問題点がある。

【0005】

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、小型化、および可動体のストロークの延長の双方を図ることのできるアクチュエータ、および触覚デバイスを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、可動体と、前記可動体の中心軸線周りに前記可動体を回転可能に支持する支持体と、前記可動体および前記支持体の一方に保持されたコイル、および他方に保持された磁石を備え、前記可動体を前記中心軸線周りの１８０°未満の角度範囲で回転駆動する磁気駆動機構と、前記磁気駆動機構による駆動を休止した際に前記可動体を前記角度範囲内に停止させる休止位置規定手段と、を有し、前記休止位置規定手段は、前記可動体および前記支持体に接続された粘弾性部材を含み、前記可動体は、前記粘弾性部材を介して前記支持体に回転可能に支持されていることを特徴とする。

【0007】

本発明では、磁気駆動機構による駆動を休止している際、休止位置規定手段によって、可動体は、磁気駆動機構によって駆動される角度範囲内で停止する。この状態からコイルに信号を供給すると、可動体は、中心軸線周りに往復回転する。また、コイルに供給する信号を変化させれば、出力する振動が変化するので、情報に対応する振動をアクチュエータから出力することもできる。また、可動体の移動は、中心軸線周りの回転であるため、可動体のストロークを長く設定した場合でも、アクチュエータが大型化することを回避することができる。従って、可動体のストロークの延長とアクチュエータの小型化の双方を図ることができる。

【0008】

本発明において、前記磁気駆動機構による駆動を休止した際に、前記休止位置規定手段が前記可動体を停止させる位置は、前記角度範囲の中心である態様を採用することができる。

【0010】

本発明において、前記可動体および前記支持体のうちの一方は、前記中心軸線を中心とする円周面を備え、前記可動体および前記支持体のうちの他方は、前記円周面を囲む円周壁を備え、前記粘弾性部材は、前記円周面と前記円周壁との間に設けられた円筒状の部材である態様を採用することができる。

【0011】

本発明において、前記円周面は、前記中心軸線に沿って延在する軸部の外周面である態様を採用することができる。

【0012】

本発明において、前記粘弾性部材は、ゲル状部材である態様を採用することができる。

【0013】

本発明において、前記粘弾性部材は、前記可動体および前記支持体の双方に接合されている態様を採用することができる。

【0014】

本発明において、前記コイルは、前記中心軸線を中心とする周方向の偶数箇所に前記中心軸線に沿って延在する有効部分を備え、前記磁石は、前記偶数箇所の各々で前記有効部分に前記中心軸線を中心とする径方向で対向する磁極を備えている態様を採用することができる。

【0015】

本発明において、前記コイルは、前記中心軸線を中心とする周方向の偶数箇所で前記中心軸線を中心とする径方向に突出した突極に巻回され、前記磁石は、前記突極に径方向で対向している態様を採用することができる。

【0016】

本発明において、前記コイルは、前記支持体に保持され、前記磁石は、前記可動体に保持されている態様を採用することができる。

【0017】

本発明において、前記磁石は、前記支持体に保持され、前記コイルは、前記可動体に保持されている態様を採用することができる。

【0018】

本発明において、前記休止位置規定手段は、前記可動体側において前記中心軸線を中心とする周方向で離間する位置に設けられた一対の給電電極、および前記一対の給電電極の各々に接触可能に前記支持体側に設けられた一対の給電ブラシを備えた給電機構を含む態様を採用することができる。

【0019】

本発明に係るアクチュエータは、触覚デバイスに用いることができ、この場合、前記アクチュエータは、前記コイルに供給した信号に対応する振動を出力する。

【発明の効果】

【0020】

本発明では、磁気駆動機構による駆動を休止している際、休止位置規定手段によって、可動体は、磁気駆動機構によって駆動される角度範囲内で停止する。この状態からコイルに信号を供給すると、可動体は、中心軸線周りに往復回転する。また、コイルに供給する信号を変化させれば、出力する振動が変化するので、情報に対応する振動をアクチュエータから出力することもできる。また、本発明において、可動体の移動は、中心軸線周りの回転であるため、可動体のストロークを長く設定した場合でも、アクチュエータが大型化することを回避することができる。従って、可動体のストロークの延長とアクチュエータの小型化の双方を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の実施形態１に係るアクチュエータの斜視図。

【図2】図１に示すアクチュエータの断面を模式的に示す説明図。

【図3】本発明の実施形態２に係るアクチュエータの断面を模式的に示す説明図。

【図4】本発明の実施形態３に係るアクチュエータの横断面を模式的に示す説明図。

【図5】本発明の実施形態３の変形例に係るアクチュエータの横断面を模式的に示す説明図。

【図6】本発明の実施形態４に係るアクチュエータの横断面を模式的に示す説明図。

【図7】本発明の実施形態５に係るアクチュエータの横断面を模式的に示す説明図。

【図8】本発明の実施形態７に係るアクチュエータの断面を模式的に示す説明図。

【図9】本発明の実施形態８に係るアクチュエータの断面を模式的に示す説明図。

【発明を実施するための形態】

【0022】

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明において、可動体の中心軸線にＬを付して説明する。また、以下の説明において、周方向および径方向とは、中心軸線Ｌを中心とする周方向および径方向である。
［実施形態１］
（全体構成）
図１は、本発明の実施形態１に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１の断面を模式的に示す説明図であり、図２には、中心軸線Ｌに沿ってアクチュエータ１を切断したときの縦断面（ａ）と、アクチュエータ１を中心軸線Ｌに直交するＡ１－Ａ１′線に沿って切断したときの横断面（ｂ）とが示されている。

【0023】

図１に示すように、アクチュエータ１は円柱状のデバイスであり、後述する触覚デバイス等として用いられる。図２に示すように、アクチュエータ１は、可動体３と、可動体３の中心軸線Ｌ周りに可動体３を回転可能に支持する支持体２と、可動体３を中心軸線Ｌ周りの１８０°未満の角度範囲で回転駆動する磁気駆動機構４とを有している。磁気駆動機構４は、可動体３および支持体２の一方に保持されたコイル５と、他方に保持された磁石６とを備えている。また、アクチュエータ１は、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に、磁気駆動機構４によって可動体３が駆動される角度範囲内に停止させる休止位置規定手段７が設けられている。本形態において、磁気駆動機構４は、支持体２に保持されたコイル５と、可動体３に保持された磁石６とからなる。

【0024】

支持体２は、アクチュエータ１の外郭を構成するハウジング２１を有しており、ハウジング２１は、中心軸線Ｌに沿って延在する円筒部２１０と、円筒部２１０の中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の開口を塞ぐ第１端板部２１１と、円筒部２１０の中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ第２端板部２１２とを有している。支持体２は、第１端板部２１１に中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２で対向するように円筒部２１０に保持された第１支持部２８と、第２端板部２１２に中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１で対向するように円筒部２１０に保持された第２支持部２９とを有している。第１支持部２８および第２支持部２９の中心には、開口部２８０、２９０が各々形成されている。

【0025】

支持体２は、第１支持部２８と第２支持部２９との間に配置されたホルダ２４を有している。ホルダ２４は、中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１で円筒部２１０に保持された板部２４１と、板部２４１から中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に延在する円筒状の胴部である第１胴部２４２とを有しており、板部２４１の中央には穴２４３が設けられている。

【0026】

可動体３は、中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に開口を向けたカップ状の部材であり、中心軸線Ｌ方向に沿って延在する円筒状の胴部である第２胴部３１と、第２胴部３１の中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ底板部３２とを有している。可動体３は、中心軸線Ｌに沿って延在する軸部３３を有しており、軸部３３の中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部３３１、および軸部３３の中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部３３２は各々、第１支持部２８の開口部２８０、および第２支持部２９の開口部２９０の内側に位置する。本形態に
おいて、軸部３３は、底板部３２から中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に突出した円筒状の筒部３４と、筒部３４に嵌った軸体３５とによって構成され、軸体３５は筒部３４に固定されている。軸体３５は、筒部３４から中心軸線Ｌ方向の両側に突出しており、軸体３５の両端部によって、軸部３３の端部３３１、３３２が構成されている。

【0027】

可動体３は、中心軸線Ｌを中心とする円周面３０を備え、支持体２は、可動体３の円周面３０を囲む円周壁２０を備えている。円周面３０と円周壁２０との間には、円筒状の粘弾性部材が配置されており、可動体３は、粘弾性部材によって支持体２に中心軸線Ｌ周りに回転可能に支持されている。本形態において、軸部３３の端部３３１の外周面３３６（円周面３０）と開口部２８０の内周面２８１（円周壁２０）との間には円筒状の粘弾性部材８１が配置され、軸部３３の端部３３２の外周面３３７（円周面３０）と開口部２８０の内周面２８１（円周壁２０）との間には円筒状の粘弾性部材８２が配置されている。粘弾性部材８１および粘弾性部材８２の詳細な構成は後述する。

【0028】

（磁気駆動機構４の構成）
アクチュエータ１において、支持体２に設けられたコイル５は、第１胴部２４２の外周面の周方向の偶数箇所に中心軸線Ｌに沿って延在する有効部分５０を備えており、可動体３に設けられた磁石６は、周方向の偶数箇所の各々でコイル５の有効部分５０に径方向外側で対向する磁極を備えている。本形態において、コイル５は、第１胴部２４２の外周面の周方向の４箇所に中心軸線Ｌに沿って延在する有効部分５０を備えており、磁石６は、周方向の４箇所の各々でコイル５の有効部分５０に径方向外側で対向する磁極を備えている。より具体的には、磁石６は、円弧状の第１磁石６１と、第１磁石６１に対して周方向で離間する位置に設けられた円弧状の第２磁石６２とからなり、第１磁石６１および第２磁石６２は、周方向の一方側ＣＷの端部がＮ極になっており、周方向の他方側ＣＣＷの端部がＳ極になっている。従って、磁石６では、周方向に沿ってＮ極とＳ極とが交互に配置されている。かかる構成に対応して、コイル５は、４箇所のうち、隣り合う２箇所でＳ極およびＮ極の各々に有効部分５０が対向するように巻回された第１コイル５１と、４箇所のうち、隣り合う他の２箇所でＳ極およびＮ極の各々に有効部分５０が対向するように巻回された第２コイル５２とからなる。

【0029】

第１コイル５１および第２コイル５２は各々、２つの有効部分５０を中心軸線Ｌ方向に延在する長辺として有する矩形枠状のコイルであり、第１コイル５１に給電したとき、第１コイル５１の２つの有効部分５０では、電流の向きが逆向きである。また、第２コイル５２においても、第２コイル５２に給電したとき、第２コイル５２の２つの有効部分５０では、電流の向きが逆向きである。また、４つの有効部分５０のうち、磁石６のＮ極に対向する２つの有効部分５０では、電流の向きが同一であり、磁石６のＳ極に対向する２つの有効部分５０では、電流の向きが同一である。従って、第１コイル５１、および第２コイル５２の同一方向の電流を供給すると、可動体３を周方向の一方側ＣＷおよび他方側ＣＣＷに向けて回転させることができる。

【0030】

（休止位置規定手段７）
本形態のアクチュエータ１において、粘弾性部材８１は、軸部３３の端部３３１の外周面３３６、および開口部２８０の内周面２８１に接合されている。また、粘弾性部材８２は、軸部３３の端部３３２の外周面３３７、および開口部２９０の内周面２９１に接合されている。ここで、粘弾性部材８１、８２は、接着剤によって軸部３３の外周面３３６、３３７、および開口部２８０、２９０の内周面２８１、２９１に接合されている構成を採用することができる他、粘弾性部材８１、８２自身の粘着性によって、軸部３３の外周面３３６、３３７、および開口部２８０、２９０の内周面２８１、２９１に接合されている構成を採用することができる。さらに、粘弾性部材８１、８２を軸部３３の外周面３３６、３３７、および開口部２８０、２９０の内周面２８１、２９１に接合する方法は、粘弾
性部材８１、８２の焼き付けや、界面活性化による自己粘着など他の方法を採用することもできる。

【0031】

ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、プラスチックやゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材８１、８２として、各種ゲル部材を用いることができる。また、粘弾性部材８１、８２として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。

【0032】

本形態では、粘弾性部材８１、８２として、シリコーンゲル等のゲル状部材（ゲル状ダンパー部材）が用いられている。

【0033】

本形態において、粘弾性部材８１、８２は、粘弾性部材８１、８２自身の粘着性によって、軸部３３の外周面３３６、３３７、および開口部２８０、２９０の内周面２８１、２９１に接合されている。すなわち、本形態では、軸部３３の端部３３１の外周面３３６と第１支持部２８の開口部２８０の内周面２８１との間で粘弾性部材８１を成形し、その際、粘弾性部材８１自身の粘着性によって、軸部３３の端部３３１の外周面３３６と第１支持部２８の開口部２８０の内周面２８１とに粘弾性部材８１が接合された状態とする。より具体的には、軸部３３の端部３３１の外周面３３６と第１支持部２８の開口部２８０の内周面２８１との間にシリコーンゲルを形成するための材料を充填した後、硬化させ、粘弾性部材８１を成形する。粘弾性部材８２も、粘弾性部材８１と同様な方法で、粘弾性部材８２自身の粘着性によって、軸部３３の端部３３２の外周面３３７と第２支持部２９の開口部２９０の内周面２９１に接合されている。

【0034】

このように構成した粘弾性部材８１、８２において、ゲル状部材は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材８１、８２は、その厚さ方向（径方向および中心軸線Ｌ方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい伸縮特性を備える。また、厚さ方向と交差する周方向（せん断方向）に変形する場合も、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。本形態においては、可動体３が回転した際、粘弾性部材８１、８２は、せん断方向（周方向）に変形するように構成されている。従って、粘弾性部材８１、８２は、線形性が高い範囲で変形するので、リニアリティが良好な振動特性を得ることができる。

【0035】

（触覚デバイスとしての動作）
本形態のアクチュエータ１において、コイル５（第１コイル５１および第２コイル５２）に交流を印加すると、可動体３は、中心軸線Ｌ周りに回転振動する。このため、アクチュエータ１を触覚デバイスとして手にした利用者は、周方向の振動を体感することができる。その際、コイル５に印加する交流波形を調整して、可動体３が中心軸線Ｌ周りの一方側ＣＷに回転する際の加速度と、可動体３が中心軸線Ｌ周りの他方側ＣＣＷに回転する際の加速度とを相違させれば、利用者は、周方向において方向性を有する振動を体感することができる。本形態において、可動体３は、中心軸線Ｌ周りの所定の角度範囲内で往復回転する。より具体的には、可動体３は、中心軸線Ｌ周りの１８０°未満の角度範囲内で往復回転する。

【0036】

また、コイル５（第１コイル５１および第２コイル５２）への給電を停止して、磁気駆動機構４による可動体３の駆動を休止した際、可動体３は、粘弾性部材８１、８２の形状
復帰力によって、可動体３は、磁気駆動機構４によって駆動される角度範囲（駆動角度範囲）内で停止する。従って、粘弾性部材８１、８２は、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に可動体３を前記の角度範囲内に停止させる休止位置規定手段７として機能する。すなわち、休止位置規定手段７は粘弾性部材８１、８２を含んでいる。本形態において、休止位置規定手段７は、粘弾性部材８１、８２からなる。本形態において、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に、休止位置規定手段７が可動体３を停止させる位置は、前記の角度範囲の中心である。

【0037】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１では、磁気駆動機構４による駆動を休止している際、休止位置規定手段７によって、可動体３は、磁気駆動機構４によって駆動される角度範囲内で停止する。この状態からコイル５に信号を供給すると、可動体３は、中心軸線Ｌ周りに往復回転する。また、コイル５に供給する信号を変化させれば、出力する振動が変化するので、情報に対応する振動をアクチュエータ１から出力することもできる。ここで、可動体３の移動は、中心軸線Ｌ周りの回転である。このため、可動体３のストロークを長く設定した場合でも、アクチュエータ１が大型化することを回避することができる。従って、可動体３のストロークの延長とアクチュエータ１の小型化の双方を図ることができる。

【0038】

［実施形態２］
図３は、本発明の実施形態２に係るアクチュエータ１の断面を模式的に示す説明図であり、図３には、中心軸線Ｌに沿ってアクチュエータ１を切断したときの縦断面（ａ）と、アクチュエータ１を中心軸線Ｌに直交するＡ２－Ａ２′線に沿って切断したときの横断面（ｂ）とが示されている。なお、本形態の基本的な構成は、実施形態１と同様であるため、共通する部分には、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

【0039】

図３に示すアクチュエータ１も、触覚デバイス等として用いられる。本形態においても、実施形態１と同様、アクチュエータ１は、可動体３と、可動体３の中心軸線Ｌ周りに可動体３を回転可能に支持する支持体２と、可動体３を中心軸線Ｌ周りの１８０°未満の角度範囲で回転駆動する磁気駆動機構４とを有している。磁気駆動機構４は、可動体３および支持体２の一方に保持されたコイル５と、他方に保持された磁石６とを備えている。また、アクチュエータ１は、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に、磁気駆動機構４によって可動体３が駆動される角度範囲内に停止させる休止位置規定手段７が設けられている。本形態において、磁気駆動機構４は、支持体２に保持されたコイル５と、可動体３に保持された磁石６とからなる。

【0040】

本形態において、支持体２は、アクチュエータ１の外郭を構成するハウジング２１を有している。ハウジング２１は、中心軸線Ｌに沿って延在する円筒部２１０と、円筒部２１０の中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ第２端板部２１２とを有しており、円筒部２１０の中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の開口は、ホルダ２４によって塞がれている。

【0041】

ホルダ２４は、円筒部２１０に保持された板部２４１と、板部２４１から中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に延在する円筒状の第１胴部２４２とを有している。板部２４１には、穴が設けられておらず、円筒部２１０の中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の開口は、ホルダ２４の板部２４１によって塞がれている。

【0042】

可動体３は、中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の開口を向けてカップ状の部材であり、中心軸線Ｌ方向に沿って延在する円筒状の第２胴部３１と、第２胴部３１の中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ底板部３２とを有している。可動体３は、中心軸線Ｌに沿って延在する軸部３３を有している。本形態において、軸部３３は、底板部３２から中心軸線Ｌ
方向の一方側Ｌ１に棒状に突出した部分である。

【0043】

本形態でも、実施形態１と同様、可動体３は、中心軸線Ｌを中心とする円周面３０を備え、支持体２は、可動体３の円周面３０を囲む円周壁２０を備えており、円周面３０と円周壁２０との間には、円筒状の粘弾性部材が配置されている。より具体的には、軸部３３の外周面３３０（円周面３０）とホルダ２４の第１胴部２４２の内周面２４５（円周壁２０）との間には円筒状の粘弾性部材８３が配置されている。本形態において、粘弾性部材８３は、実施形態１に用いた粘弾性部材８１、８２と同様、ゲル状部材からなり、粘弾性部材８３は、軸部３３の外周面３３０、および第１胴部２４２の内周面２４５に接合されている。粘弾性部材８３は、接着剤によって、軸部３３の外周面３３０、および第１胴部２４２の内周面２４５に接合されている構成を採用することができる他、粘弾性部材８３自身の粘着性によって、軸部３３の外周面３３０、および第１胴部２４２の内周面２４５に接合されている構成を採用することがでる。本形態では、粘弾性部材８３がゲル状部材であることから、軸部３３の外周面３３０と第１胴部２４２の内周面２４５との間で粘弾性部材８３を成形し、粘弾性部材８３自身の粘着性によって、軸部３３の外周面３３０、および第１胴部２４２の内周面２４５に粘弾性部材８３が接合された状態にある。より具体的には、軸部３３の外周面３３０と第１胴部２４２の内周面２４５との間にシリコーンゲルを形成するための材料を充填した後、硬化させ、粘弾性部材８３を成形する。

【0044】

アクチュエータ１において、支持体２に設けられたコイル５は、第１胴部２４２の外周面の周方向の偶数箇所に中心軸線Ｌに沿って延在する有効部分５０を備えており、可動体３に設けられた磁石６は、周方向の偶数箇所の各々でコイル５の有効部分５０に径方向外側で対向する磁極を備えている。本形態において、コイル５は、第１胴部２４２の外周面の周方向の４箇所に中心軸線Ｌに沿って延在する有効部分５０を備えており、磁石６は、周方向の４箇所の各々でコイル５の有効部分５０に径方向内側で対向する磁極を備えている。より具体的には、磁石６は、円弧状の４つの磁石（第１磁石６ａ、第２磁石６ｂ、第３磁石６ｃ、および第４磁石６ｄ）からなり、４つの磁石は各々、内周面と外周面とが異なる極に着磁されている。ここで、周方向の第１番目の第１磁石６ａ、および第２番目の第２磁石６ｂは各々、内周面がＳ極であり、周方向の第３番目の第３磁石６ｃ、および第４番目の第４磁石６ｄは各々、内周面がＮ極である。

【0045】

かかる構成に対応して、コイル５は、第１磁石６ａおよび第３磁石６ｃに各々対向する２つの有効部分５０を備えた第１コイル５６と、第２磁石６ｂおよび第４磁石６ｄに各々対向する２つの有効部分５０を備えた第２コイル５７とからなる。従って、図示を省略するが、第１コイル５６と第２コイル５７とは、可動体３の中心軸線Ｌ方向の両端部で交差している。第１コイル５６および第２コイル５７は各々、１本のコイル線を巻回することによって構成されており、第１コイル５６に給電したとき、第１コイル５６の２つの有効部分５０では、電流の向きが逆向きである。また、第２コイル５７においても、第２コイル５７に給電したとき、第２コイル５７の２つの有効部分５０では、電流の向きが逆向きである。また、４つの有効部分５０のうち、磁石６のＮ極に対向する２つの有効部分５０では、電流の向きが同一であり、磁石６のＳ極に対向する２つの有効部分５０では、電流の向きが同一である。

【0046】

かかる構成のアクチュエータ１においても、実施形態１と同様、コイル５（第１コイル５６および第２コイル５７）に交流を印加すると、可動体３は、中心軸線Ｌ周りに１８０°未満の角度範囲内で往復回転する。回転振動する。このため、実施形態１と同様、アクチュエータ１を触覚デバイスとして用いることができる。ここで、可動体３の移動は、中心軸線Ｌ周りの回転である。また、可動体３のストロークを長く設定した場合でも、アクチュエータ１が大型化することを回避することができる。従って、可動体３のストロークの延長とアクチュエータ１の小型化の双方を図ることができる。

【0047】

また、本形態でも、実施形態１と同様、コイル５（第１コイル５６および第２コイル５７）への給電を停止して、磁気駆動機構４による可動体３の駆動を休止した際、可動体３は、粘弾性部材８３の形状復帰力によって、可動体３は、磁気駆動機構４によって駆動される角度範囲（駆動角度範囲）内で停止する。従って、粘弾性部材８３は、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に可動体３を前記の角度範囲内に停止させる休止位置規定手段７として機能する。本形態において、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に、休止位置規定手段７が可動体３を停止させる位置は、前記の角度範囲の中心である。

【0048】

［実施形態３］
図４は、本発明の実施形態３に係るアクチュエータ１の横断面を模式的に示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施形態１と同様であるため、共通する部分には、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

【0049】

図４に示すアクチュエータ１も、触覚デバイス等として用いられる。本形態においても、実施形態１と同様、アクチュエータ１は、可動体３と、可動体３の中心軸線Ｌ周りに可動体３を回転可能に支持する支持体２と、可動体３を中心軸線Ｌ周りの１８０°未満の角度範囲で回転駆動する磁気駆動機構４とを有している。磁気駆動機構４は、支持体２に保持されたコイル５と、可動体３に保持された磁石６とからなる。

【0050】

かかる磁気駆動機構４を構成するにあたって、実施形態１では、可動体３に保持された磁石６に対して、支持体２に保持されたコイル５が径方向内側から対向していたが、本形態では、可動体３に保持された磁石６に対して、支持体２に保持されたコイル５が径方向外側から対向している。

【0051】

より具体的には、支持体２に設けられたコイル５は、周方向の偶数箇所に中心軸線Ｌに沿って延在する有効部分５０を備えており、可動体３に設けられた磁石６は、周方向の偶数箇所の各々でコイル５の有効部分５０に径方向内側で対向する磁極を備えている。本形態において、コイル５は、周方向の４箇所に中心軸線Ｌに沿って延在する有効部分５０を備えており、磁石６は、周方向の４箇所の各々でコイル５の有効部分５０に径方向内側で対向する磁極を備えている。より具体的には、磁石６は、円弧状の第１磁石６１と、第１磁石６１に対して周方向で離間する位置に設けられた円弧状の第２磁石６２とからなり、第１磁石６１および第２磁石６２は周方向で着磁されている。より具体的には、第１磁石６１の外周面、および第２磁石６２の外周面は、周方向の一方側ＣＷの端部がＮ極になっており、周方向の他方側ＣＣＷの端部がＳ極になっている。従って、可動体３では、周方向に沿ってＮ極とＳ極とが交互に配置されている。かかる構成に対応して、コイル５は、４箇所のうち、隣り合う２箇所でＳ極およびＮ極の各々に有効部分５０が対向するように巻回された第１コイル５１と、４箇所のうちの他の隣り合う２箇所でＳ極およびＮ極の各々に有効部分５０が対向するように巻回された第２コイル５２とからなる。

【0052】

ここで、第１コイル５１、および第２コイル５２は各々、２つの有効部分５０を長辺として有する矩形枠状のコイルであり、第１コイル５１に給電したとき、第１コイル５１の２つの有効部分５０では、電流の向きが逆向きである。また、第２コイル５２においても、第２コイル５２に給電したとき、第２コイル５２の２つの有効部分５０では、電流の向きが逆向きである。また、４つの有効部分５０のうち、磁石６のＮ極に対向する２つの有効部分５０では、電流の向きが同一であり、磁石５６Ｓ極に対向する２つの有効部分５０では、電流の向きが同一である。従って、第１コイル５１、および第２コイル５２の同一方向の電流を供給すると、可動体３を周方向の一方側ＣＷおよび他方側ＣＣＷに向けて回転させることができる。

【0053】

本形態のアクチュエータ１では、例えば、図２を参照して説明したように、可動体３の軸部３３の端部と支持体２の開口部２８０、２９０の内周面との間において、粘弾性部材８１、８２が軸部３３の外周面、および開口部２８０、２９０の内周面に接合されている。従って、可動体３は、粘弾性部材８１、８２を介して支持体２に支持されている。また、粘弾性部材８１、８２は、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に可動体３を前記の角度範囲内に停止させる休止位置規定手段７として機能する。

【0054】

［実施形態３の変形例］
図５は、本発明の実施形態３の変形例に係るアクチュエータ１の横断面を模式的に示す説明図である。実施形態３では、第１磁石６１および第２磁石６２が周方向で着磁されていたが、本形態では、図５に示すように、第１磁石６１および第２磁石６２は各々、周方向および径方向で着磁されている。このため、第１磁石６１の外周面、および第２磁石６２の外周面は、周方向の一方側ＣＷの端部がＮ極になっており、周方向の他方側ＣＣＷの端部がＳ極になっている。その他の構成は、実施形態３と同様である。

【0055】

［実施形態４］
図６は、本発明の実施形態４に係るアクチュエータ１の横断面を模式的に示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施形態１と同様であるため、共通する部分には、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

【0056】

図６に示すアクチュエータ１も、触覚デバイス等として用いられる。本形態においても、実施形態１と同様、アクチュエータ１は、可動体３と、可動体３の中心軸線Ｌ周りに可動体３を回転可能に支持する支持体２と、可動体３を中心軸線Ｌ周りの１８０°未満の角度範囲で回転駆動する磁気駆動機構４とを有している。磁気駆動機構４は、支持体２に保持されたコイル５と、可動体３に保持された磁石６とからなる。本形態では、可動体３に保持された磁石６に対して径方向外側に支持体２に保持されたコイル５が配置されている。

【0057】

より具体的には、可動体３に設けられた磁石６は、円弧状の第１磁石６１と、第１磁石６１に対して周方向で離間する位置に設けられた円弧状の第２磁石６２とからなり、第１磁石６１および第２磁石６２は周方向で着磁されている。これに対して、支持体２は、径方向内側に向けて突出した第１突極２６と、第１突極２６に対して周方向で離間する位置で径方向内側に向けて突出した第２突極２７を有している。第１突極２６および第２突極２７は各々、径方向内側に向けて突出した第１部分２６１、２７１と、第１部分２６１、２７１の先端部で周方向の両側に円弧状に突出した第２部分２６２、２７２とを有しており、第２部分２６２、２７２は各々、第１磁石６１および第２磁石６２に対向している。また、第１部分２６１、２７１には、第１コイル５３、および第２コイル５４が巻回されている。従って、第１コイル５１、および第２コイル５２の同一方向の電流を供給すると、可動体３を周方向の一方側ＣＷおよび他方側ＣＣＷに向けて回転させることができる。

【0058】

本形態のアクチュエータ１では、例えば、図２を参照して説明したように、可動体３の軸部３３の端部と支持体２の開口部２８０、２９０の内周面との間において、粘弾性部材８１、８２が軸部３３の外周面、および開口部２８０、２９０の内周面に接合されている。従って、可動体３は、粘弾性部材８１、８２を介して支持体２に支持されている。また、粘弾性部材８１、８２は、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に可動体３を前記の角度範囲内に停止させる休止位置規定手段７として機能する。

【0059】

［実施形態５］
図７は、本発明の実施形態５に係るアクチュエータ１の横断面を模式的に示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施形態１と同様であるため、共通する部分には
、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

【0060】

図７に示すアクチュエータ１も、触覚デバイス等として用いられる。本形態においても、実施形態１と同様、アクチュエータ１は、可動体３と、可動体３の中心軸線Ｌ周りに可動体３を回転可能に支持する支持体２と、可動体３を中心軸線Ｌ周りの１８０°未満の角度範囲で回転駆動する磁気駆動機構４とを有している。

【0061】

本形態において、磁気駆動機構４は、可動体３に保持されたコイル５と、支持体２に保持された磁石６とを有しており、可動体３に保持されたコイル５に対して径方向外側に支持体２に保持された磁石６が配置されている。より具体的には、支持体２に設けられた磁石６は、円弧状の第１磁石６６と、第１磁石６６に対して周方向で離間する位置に設けられた円弧状の第２磁石６７とからなり、第１磁石６６および第２磁石６７は周方向で着磁されている。

【0062】

可動体３は、径方向外側に向けて突出した第１突極３６と、第１突極３６に対して周方向で離間する位置で径方向外側に向けて突出した第２突極３７を有している。第１突極３６および第２突極３７は各々、径方向内側に向けて突出した第１部分３６１、３７１と、第１部分３６１、３７１の先端部で周方向の両側に円弧状に突出した第２部分３６２、３７２とを有しており、第２部分３６２、３７２は各々、第１磁石６６および第２磁石６７に対向している。第１部分３６１、３７１には、第１コイル５６、および第２コイル５７が巻回されている。第１コイル５６、および第２コイル５７は、各々が電気的に独立したコイル、直列に接続されたコイル、または並列に接続されたコイルからなる。従って、第１コイル５６、および第２コイル５７に電流を供給すると、可動体３を周方向の一方側ＣＷおよび他方側ＣＣＷに向けて回転させることができる。

【0063】

本形態では、第１コイル５６、および第２コイル５７に電流を供給するにあたって、ブラシ方式の給電機構９が設けられている。本形態において、給電機構９は、軸部３３の外周面において周方向で離間する位置に設けられた２つの電極（第１給電電極９１、および第２給電電極９２）と、２つの給電電極（第１給電電極９１、および第２給電電極９２）に各々接続する２つの給電用ブラシ（第１給電ブラシ９６、および第２給電ブラシ９７）とを備えている。ここで、第１コイル５６、および第２コイル５７は、各々が電気的に独立したコイル、直列に接続されたコイル、または並列に接続されたコイルからなり、かかる構成に対応するように、第１コイル５６、および第２コイル５７は、第１給電電極９１、および第２給電電極９２に電気的に接続されている。従って、第１コイル５６、および第２コイル５７には、給電用ブラシ、および給電電極を介して給電される。

【0064】

本形態のアクチュエータ１では、例えば、図２を参照して説明したように、可動体３の軸部３３の端部と支持体２の開口部２８０、２９０の内周面との間において、粘弾性部材８１、８２が軸部３３の外周面、および開口部２８０、２９０の内周面に接合されている。従って、可動体３は、粘弾性部材８１、８２を介して支持体２に支持されている。また、粘弾性部材８１、８２は、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に可動体３を前記の角度範囲内に停止させる休止位置規定手段７として機能する。

【0065】

また、給電機構９において、可動体３は、給電用ブラシと給電電極とが接触している角度範囲内のみで回転する。従って、磁気駆動機構４による駆動を休止した際、可動体３の休止位置は、給電用ブラシと給電電極とが接触している角度範囲内にある。従って、休止位置規定手段７は、粘弾性部材８１、８２、および給電機構９を備えていることになる。

【0066】

［実施形態６］
図７に示す形態では、給電機構９が設けられており、給電機構９において、可動体３は
、給電用ブラシと給電電極とが接触している角度範囲内のみで回転する。従って、磁気駆動機構４による駆動を休止した際、可動体３の休止位置は、給電用ブラシと給電電極とが接触している角度範囲内にある。従って、粘弾性部材８１、８２を設けずに、通常の軸受機構によって、支持体２が可動体３を支持している場合でも、給電機構９によって、休止位置規定手段７を構成することができる。

【0067】

［実施形態７］
図８は、本発明の実施形態７に係るアクチュエータ１の断面を模式的に示す説明図であり、図８には、中心軸線Ｌに沿ってアクチュエータ１を切断したときの縦断面（ａ）と、アクチュエータ１を中心軸線Ｌに直交するＡ３－Ａ３′線に沿って切断したときの横断面（ｂ）とが示されている。なお、本形態の基本的な構成は、実施形態１と同様であるため、共通する部分には、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

【0068】

実施形態１～６では、アクチュエータ１を触感デバイスとして用いたが、図８に示すように、アクチュエータ１をガルバノミラー１０の駆動装置として用いてよい。この場合も、アクチュエータ１は、実施形態１と同様、可動体３と、可動体３の中心軸線Ｌ周りに可動体３を回転可能に支持する支持体２と、可動体３を中心軸線Ｌ周りの１８０°未満の角度範囲で回転駆動する磁気駆動機構４とを有している。磁気駆動機構４は、可動体３および支持体２の一方に保持されたコイル５と、他方に保持された磁石６とを備えている。

【0069】

本形態において、支持体２は、アクチュエータ１の外郭を構成するハウジングを有しておらず、ホルダ２４のみを有している。ホルダ２４は、中心軸線Ｌ方向に沿って延在する円筒状の第１胴部２４２と、第１胴部２４２の中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部に設けられた板部２４１とを有しており、板部２４１には、ガルバノミラー１０の連結部１１を可動体３の軸部３３と連結させる穴２４３が設けられている。

【0070】

可動体３は、中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の開口を向けてカップ状の部材であり、中心軸線Ｌ方向に沿って延在する円筒状の第２胴部３１と、第２胴部３１の中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ底板部３２とを有している。可動体３は、底板部３２の中心部で中心軸線Ｌの両側に沿って延在する軸部３３を有している。軸部３３の中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部３３１の外周面３３６（可動体３の円周面３０）と第１胴部２４２の中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の開口部の内周壁２４６（支持体２の内周壁２０）との間には円筒状の粘弾性部材８１が配置されている。軸部３３の中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部３３２の外周面３３７（可動体３の円周面３０）と第１胴部２４２の中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ１の開口部の内周壁２４７（支持体２の内周壁２０）との間には円筒状の粘弾性部材８２が設けられている。本形態でも、粘弾性部材８１、８２は各々、粘弾性部材８１、８２自身の粘着力によって、軸部３３の外周面３３６、３３７と内周壁２４６、２４７に接合されている。

【0071】

可動体３の底板部３２には、周方向に延在する開口部３２１、３２２が形成されている一方、ホルダ２４の第１胴部２４２は、中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ１の端部から離間する位置が、開口部３２１、３２２を貫通する柱状部２４８、２４９になっている。従って、第１胴部２４２の中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ１の端部を、可動体３の底板部３２から中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ１に突出させることが可能である。

【0072】

本形態のアクチュエータ１において、磁気駆動機構４は、実施形態１と同様であり、第１胴部２４２の外周面の周方向の４箇所で中心軸線Ｌに沿って延在する有効部分５０を備えたコイル５（第１コイル５１および第２コイル）と、コイル５の有効部分５０に径方向外側で対向する磁石（第１磁石６１および第２磁石６２）とを有している。従って、第１コイル５１、および第２コイル５２の同一方向の電流を供給すると、可動体３を周方向の
一方側ＣＷおよび他方側ＣＣＷに向けて回転させることができ、可動体３に連結されたガルバノミラー１０を周方向の一方側ＣＷおよび他方側ＣＣＷに向けて回転させることができる。

【0073】

また、コイル５（第１コイル５１および第２コイル５２）への給電を停止して、磁気駆動機構４による可動体３の駆動を休止した際、可動体３は、粘弾性部材８１、８２の形状復帰力によって、可動体３は、磁気駆動機構４によって駆動される角度範囲（駆動角度範囲）内で停止する。従って、粘弾性部材８１、８２は、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に可動体３を前記の角度範囲内に停止させる休止位置規定手段７として機能する。また、ホルダ２４の柱状部２４８、２４９は、開口部３２１、３２２の範囲内のみに移動するため、柱状部２４８、２４９も、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に可動体３を前記の角度範囲内に停止させる休止位置規定手段７として機能する。

【0074】

［実施形態８］
図９は、本発明の実施形態８に係るアクチュエータ１の断面を模式的に示す説明図であり、図９には、中心軸線Ｌに沿ってアクチュエータ１を切断したときの縦断面（ａ）と、アクチュエータ１を中心軸線Ｌに直交するＡ４－Ａ４′線に沿って切断したときの横断面（ｂ）とが示されている。なお、本形態の基本的な構成は、実施形態１、２と同様であるため、共通する部分には、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

【0075】

本形態では、図９に示すアクチュエータ１をガルバノミラー１０等の駆動装置として用いる。この場合も、アクチュエータ１は、実施形態１、２と同様、可動体３と、可動体３の中心軸線Ｌ周りに可動体３を回転可能に支持する支持体２と、可動体３を中心軸線Ｌ周りの１８０°未満の角度範囲で回転駆動する磁気駆動機構４とを有している。磁気駆動機構４は、可動体３および支持体２の一方に保持されたコイル５と、他方に保持された磁石６とを備えている。

【0076】

本形態において、支持体２は、アクチュエータ１の外郭を構成するハウジングを有しておらず、ホルダ２４のみを有している。ホルダ２４は、中心軸線Ｌ方向に沿って延在する円筒状の第１胴部２４２と、第１胴部２４２の中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部に設けられた板部２４１とを有しており、板部２４１には、ガルバノミラー１０の連結部１１を可動体３の軸部３３と連結させる穴２４３が設けられている。

【0077】

可動体３は、中心軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の開口を向けてカップ状の部材であり、中心軸線Ｌ方向に沿って延在する円筒状の第２胴部３１と、第２胴部３１の中心軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ底板部３２とを有している。また、可動体３は、底板部３２の中心部で中心軸線Ｌの両側に沿って延在する軸部３３を有している。本形態では、実施形態２と同様、支持体２の第１胴部２４２の内周面２４５（支持体２の円周壁２０）と可動体３の軸部３３の外周面３３０（可動体３の円周面３０）との間に粘弾性部材８３が設けられている。

【0078】

本形態のアクチュエータ１において、磁気駆動機構４は、実施形態２と同様であり、コイル５は、第１胴部２４２の外周面の周方向の４箇所に中心軸線Ｌに沿って延在する有効部分５０を備えており、磁石６は、周方向の４箇所の各々でコイル５の有効部分５０に径方向内側で対向する磁極を備えている。磁石６は、円弧状の４つの磁石（第１磁石６ａ、第２磁石６ｂ、第３磁石６ｃ、および第４磁石６ｄ）からなり、４つの磁石は各々、内周面と外周面とが異なる極に着磁されている。ここで、周方向の第１番目の第１磁石６ａ、および第２番目の第２磁石６ｂは各々、内周面がＳ極であり、周方向の第３番目の第３磁石６ｃ、および第４番目の第４磁石６ｄは各々、内周面がＮ極である。かかる構成に対応して、コイル５は、第１磁石６ａおよび第３磁石６ｃに各々対向する２つの有効部分５０
を備えた第１コイル５６と、第２磁石６ｂおよび第４磁石６ｄに各々対向する２つの有効部分５０を備えた第２コイル５７とからなる。従って、第１コイル５１、および第２コイル５２の同一方向の電流を供給すると、可動体３を周方向の一方側ＣＷおよび他方側ＣＣＷに向けて回転させることができる。

【0079】

また、コイル５（第１コイル５１および第２コイル５２）への給電を停止して、磁気駆動機構４による可動体３の駆動を休止した際、可動体３は、粘弾性部材８１、８２の形状復帰力によって、可動体３は、磁気駆動機構４によって駆動される角度範囲（駆動角度範囲）内で停止する。従って、粘弾性部材８１、８２は、磁気駆動機構４による駆動を休止した際に可動体３を前記の角度範囲内に停止させる休止位置規定手段７として機能する。

【0080】

［他の実施形態］
上記実施形態では、粘弾性部材を円筒状の部材としたが、円環状の部材であってもよい。

【0081】

上記実施形態では、粘弾性部材を配置するにあたって、可動体３に円周面３０を備え、円周面３０を囲む円周壁２０を支持体２に設けたが、支持体２に円周面を設け、円周面を囲む円周壁を可動体に設けてもよい。

【0082】

上記実施形態では、支持体２と可動体３とが径方向で対向する部分に設けたが、支持体２と可動体３と中心軸線Ｌ方向で対向する部分に設けてもよい。

【符号の説明】

【0083】

１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４…磁気駆動機構、５…コイル、６…磁石、６ａ、６１、６６…第１磁石、６ｂ、６２、６７…第２磁石、６ｃ…第３磁石、６ｄ…第４磁石、７…休止位置規定手段、９…給電機構、１０…ガルバノミラー、２０…円周壁、２１…ハウジング、２４…ホルダ、２６、３６…第１突極、２７、３７…第２突極、３０…円周面、３１…第２胴部、３２…底板部、３３…軸部、５０…有効部分、５１、５３、５６…第１コイル、５２、５４、５７…第２コイル、８１、８２、８３…粘弾性部材、９１…第１給電電極、９２…第２給電電極、２４２…第１胴部、２４８、２４９…柱状部、Ｌ…中心軸線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】