(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-07-29
(45)【発行日】2024-08-06
(54)【発明の名称】ノズル検査方法、ノズル検査装置およびそれを含む基板処理装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/01 20060101AFI20240730BHJP
【ＦＩ】
B41J2/01 207
【請求項の数】
19
(21)【出願番号】P 2022127625
(22)【出願日】2022-08-10
(65)【公開番号】P2023031271
(43)【公開日】2023-03-08
【審査請求日】2022-08-10
(31)【優先権主張番号】10-2021-0111462
(32)【優先日】2021-08-24
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
【前置審査】
(73)【特許権者】
【識別番号】598123150
【氏名又は名称】セメス株式会社
【氏名又は名称原語表記】ＳＥＭＥＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．
【住所又は居所原語表記】７７，４ｓａｎｄａｎ ５－ｇｉｌ，Ｊｉｋｓａｎ－ｅｕｐ，Ｓｅｏｂｕｋ－ｇｕ，Ｃｈｅｏｎａｎ－ｓｉ，Ｃｈｕｎｇｃｈｅｏｎｇｎａｍ－ｄｏ，３３１－８１４ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ
(74)【代理人】
【識別番号】110000671
【氏名又は名称】ＩＢＣ一番町弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】ソン，サン ユク
(72)【発明者】
【氏名】ヒュン，ヨン タク
(72)【発明者】
【氏名】キム，デ スン
【審査官】早川 貴之
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１７－１５４３０２（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１０／０９００８０（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１９－１５５３０７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－１４８１３１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－２８４２９５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－１３１４８３（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１５／００７７４６１（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１ノズルを用いて基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出し、検査パターンを形成し、前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することを含み、
前記検査パターンを形成することは、
前記基板を第１位置から第２位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第１関心領域内に第１液滴を吐出し、
次に、前記基板を前記第２位置から前記第１位置に移動し、
次に、前記基板を前記第１位置から第２位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第１関心領域内に第２液滴を吐出することを含み、
前記基板を前記第２位置から前記第１位置に移動することは、前記基板を前記第２位置から前記第１位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第１関心領域と異なる第２関心領域内に第３液滴を吐出することと、
前記第１関心領域内に第２液滴を吐出した後に、前記基板を前記第２位置から前記第１位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第２関心領域内に第４液滴を吐出することを含み、
前記第１液滴と前記第２液滴とは重なり、前記第３液滴と前記第４液滴とは重なり、
前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することは、前記第１関心領域内および前記第２関心領域内に吐出された液滴が、液滴のサイズに関する基準を満たすか否かを判断することを含み、
前記液滴の面積が前記液滴の直径に対応する基準円の面積に比べて基準比率未満になるか、または前記液滴の周長と前記基準円の周長との差が基準値未満である場合、前記第１ノズルは正常であると判断する、ノズル検査方法。
【請求項2】
第１ノズルを用いて基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出し、検査パターンを形成し、前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することを含み、
前記検査パターンを形成することは、
前記基板を第１位置から第３位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第１関心領域、第２関心領域、第３関心領域それぞれに第１液滴、第２液滴および第３液滴を順次吐出し、
次に、前記基板を第３位置から前記第１位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第３関心領域、第２関心領域、第１関心領域それぞれに第４液滴、第５液滴および第６液滴を順次吐出することを含み、
前記第１液滴と前記第６液滴とは重なり、前記第２液滴と前記第５液滴とは重なり、前記第３液滴と前記第４液滴とは重なり、
前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することは、前記第１関心領域内、前記第２関心領域内、および前記第３関心領域内に吐出された液滴が、前記液滴のサイズに関する基準を満たすか否かを判断することを含み、
前記液滴の面積が前記液滴の直径に対応する基準円の面積に比べて基準比率未満になるか、または前記液滴の周長と前記基準円の周長との差が基準値未満である場合、前記第１ノズルは正常であると判断する、ノズル検査方法。
【請求項3】
前記検査パターンを形成することは、前記基板を第１位置に停止させ、
前記第１ノズルを用いて、停止した基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出することを含む、請求項１または２に記載のノズル検査方法。
【請求項4】
前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することは、前記吐出された液滴のサイズが第１基準値以上であり、第２基準値以下に該当するのか否かを判断することを含む、請求項１または２に記載のノズル検査方法。
【請求項5】
前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することは、前記吐出された液滴が前記第１関心領域内、および前記第２関心領域内に各々一つのみ存在するのかを判断することを含む、請求項１に記載のノズル検査方法。
【請求項6】
前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することは、前記吐出された液滴が前記第１関心領域内、前記第２関心領域内、および前記第３関心領域内に各々一つのみ存在するのかを判断することを含む、請求項２に記載のノズル検査方法。
【請求項7】
前記基板は検査用基板である、請求項１または２に記載のノズル検査方法。
【請求項8】
基板が移動できるステージと、前記ステージ上に配置され、前記基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出して検査パターンを形成する第１ノズルを含むインクジェットヘッドモジュールと、
前記ステージ上に配置され、前記検査パターンを撮影するビジョンモジュールと、
前記撮影結果に基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断する制御モジュールと、を含み、
前記基板が第１位置から第２位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第１ノズルは前記第１関心領域内に第１液滴を吐出し、
次に、前記基板が前記第２位置から前記第１位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第１ノズルは前記第１関心領域と異なる第２関心領域内に第２液滴を吐出し、
次に、前記基板が前記第１位置から第２位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第１ノズルを用いて前記第１関心領域内に第３液滴を吐出することを含み、
前記第１関心領域内に第３液滴を吐出した後に、前記基板を前記第２位置から前記第１位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第２関心領域内に第４液滴を吐出することを含み、
前記第１液滴と前記第２液滴とは重なり、前記第３液滴と前記第４液滴とは重なり、
前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することは、前記第１関心領域内および前記第２関心領域内に吐出された液滴が、液滴のサイズに関する基準を満たすか否かを判断することを含み、
前記液滴の面積が前記液滴の直径に対応する基準円の面積に比べて基準比率未満になるか、または前記液滴の周長と前記基準円の周長との差が基準値未満である場合、前記第１ノズルは正常であると判断する、ノズル検査装置。
【請求項9】
基板が移動できるステージと、前記ステージ上に配置され、前記基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出して検査パターンを形成する第１ノズルを含むインクジェットヘッドモジュールと、
前記ステージ上に配置され、前記検査パターンを撮影するビジョンモジュールと、
前記撮影結果に基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断する制御モジュールと、を含み、
前記基板を第１位置から第３位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第１関心領域、第２関心領域、第３関心領域それぞれに第１液滴、第２液滴および第３液滴を順次吐出し、
次に、前記基板を第３位置から前記第１位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第３関心領域、第２関心領域、第１関心領域それぞれに第４液滴、第５液滴および第６液滴を順次吐出することを含み、
前記第１液滴と前記第６液滴とは重なり、前記第２液滴と前記第５液滴とは重なり、前記第３液滴と前記第４液滴とは重なり、
前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することは、前記第１関心領域内、前記第２関心領域内、および前記第３関心領域内に吐出された液滴が、液滴のサイズに関する基準を満たすか否かを判断することを含み、
前記液滴の面積が前記液滴の直径に対応する基準円の面積に比べて基準比率未満になるか、または前記液滴の周長と前記基準円の周長との差が基準値未満である場合、前記第１ノズルは正常であると判断する、ノズル検査装置。
【請求項10】
前記ステージは前記基板を第１位置に停止させ、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第１ノズルは、停止した前記基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出する、請求項８または９に記載のノズル検査装置。
【請求項11】
前記制御モジュールは、前記吐出された液滴のサイズが第１基準値以上であり、第２基準値以下に該当するのか否かを判断することを含む、請求項８または９に記載のノズル検査装置。
【請求項12】
前記制御モジュールは、前記吐出された液滴が前記第１関心領域内、および前記第２関心領域内に各々一つのみ存在するのかを判断することを含む、請求項８に記載のノズル検査装置。
【請求項13】
前記制御モジュールは、前記吐出された液滴が前記第１関心領域内、前記第２関心領域内、および前記第３関心領域内に各々一つのみ存在するのかを判断することを含む、請求項９に記載のノズル検査装置。
【請求項14】
第１領域に配置された第１ステージと、第２領域に配置された第２ステージと、
前記第１ステージおよび前記第２ステージを横切るように配置されたガントリと、
前記ガントリに設けられ、前記第１ステージまたは第２ステージで液滴を吐出できるインクジェットヘッドモジュールと、
前記第２ステージ上に配置されたビジョンモジュールを含み、
前記第２ステージは検査基板を移動させることができ、
前記インクジェットヘッドモジュールは前記検査基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出して検査パターンを形成し、
前記ビジョンモジュールは前記検査パターンを撮影し、
前記検査基板が第１位置から第２位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの第１ノズルは前記第１関心領域内に第１液滴を吐出し、
次に、前記検査基板が前記第２位置から前記第１位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第１ノズルは前記第１関心領域と異なる第２関心領域内に第２液滴を吐出し、
次に、前記検査基板が前記第１位置から第２位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第１ノズルを用いて前記第１関心領域内に第３液滴を吐出することを含み、
前記第１関心領域内に第３液滴を吐出した後に、前記検査基板を前記第２位置から前記第１位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第２関心領域内に第４液滴を吐出することを含み、
前記第１液滴と前記第２液滴とは重なり、前記第３液滴と前記第４液滴とは重なり、
前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することは、前記第１関心領域内および前記第２関心領域内に吐出された液滴が、液滴のサイズに関する基準を満たすか否かを判断することを含み、
前記液滴の面積が前記液滴の直径に対応する基準円の面積に比べて基準比率未満になるか、または前記液滴の周長と前記基準円の周長との差が基準値未満である場合、前記第１ノズルは正常であると判断する、基板処理装置。
【請求項15】
第１領域に配置された第１ステージと、第２領域に配置された第２ステージと、
前記第１ステージおよび前記第２ステージを横切るように配置されたガントリと、
前記ガントリに設けられ、前記第１ステージまたは第２ステージで液滴を吐出できるインクジェットヘッドモジュールと、
前記第２ステージ上に配置されたビジョンモジュールを含み、
前記第２ステージは検査基板を移動させることができ、
前記インクジェットヘッドモジュールは前記検査基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出して検査パターンを形成し、
前記ビジョンモジュールは前記検査パターンを撮影し、
前記検査基板を第１位置から第３位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの第１ノズルを用いて前記第１関心領域、第２関心領域、第３関心領域それぞれに第１液滴、第２液滴および第３液滴を順次吐出し、
次に、前記検査基板を第３位置から前記第１位置に移動しながら、前記第１ノズルを用いて前記第３関心領域、第２関心領域、第１関心領域それぞれに第４液滴、第５液滴および第６液滴を順次吐出することを含み、
前記第１液滴と前記第６液滴とは重なり、前記第２液滴と前記第５液滴とは重なり、前記第３液滴と前記第４液滴とは重なり、
前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することは、前記第１関心領域内、前記第２関心領域内、および前記第３関心領域内に吐出された液滴が、液滴のサイズに関する基準を満たすか否かを判断することを含み、
前記液滴の面積が前記液滴の直径に対応する基準円の面積に比べて基準比率未満になるか、または前記液滴の周長と前記基準円の周長との差が基準値未満である場合、前記第１ノズルは正常であると判断する、基板処理装置。
【請求項16】
前記第２ステージは前記検査基板を第１位置に停止させ、前記インクジェットヘッドモジュールの第１ノズルは、停止した前記検査基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出する、請求項１４または１５に記載の基板処理装置。
【請求項17】
前記吐出された液滴のサイズが第１基準値以上であり、第２基準値以下に該当するのか否かを判断することを含む制御モジュールをさらに含む、請求項１４または１５に記載の基板処理装置。
【請求項18】
前記吐出された液滴が前記第１関心領域内、および前記第２関心領域内に各々一つのみ存在するのかを判断する制御モジュールをさらに含む、請求項１４に記載の基板処理装置。
【請求項19】
前記吐出された液滴が前記第１関心領域内、前記第２関心領域内、および前記第３関心領域内に各々一つのみ存在するのかを判断する制御モジュールをさらに含む、請求項１５に記載の基板処理装置。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はノズル検査方法、ノズル検査装置およびそれを含む基板処理装置に関する。
【背景技術】
【0002】
ＬＣＤパネル、ＰＤＰパネル、ＬＥＤパネルなどのディスプレイ装置を製造するために基板上に印刷工程（例えば、ＲＧＢパターニング（ＲＧＢ Ｐａｔｔｅｒｎｉｎｇ））を行う。インクジェットヘッドを備える印刷装備を用いて印刷工程を行う。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
しかし、インクジェットヘッドのノズルから薬液が適切に吐出されない場合は不良が発生し得る。したがって、インクジェットヘッドのノズルに対する異常有無を随時に検査しなければならない。ところが、従来のインクジェットヘッドの検査は多くの時間が必要とされ、かつ不良検出の正確度が高くなかった。
【0004】
本発明が解決しようとする課題は、短時間内にインクジェットヘッドノズルの不良を正確に検出できるノズル検査方法を提供することにある。
【0005】
本発明が解決しようとする他の課題は、短時間内にインクジェットヘッドノズルの不良を正確に検出できるノズル検査装置を提供することにある。
【0006】
本発明が解決しようとするまた他の課題は、短時間内にインクジェットヘッドノズルの不良を正確に検出できる基板処理装置を提供することにある。
【0007】
本発明の課題は、以上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の課題は以下の記載から当業者に明確に理解されることができる。
【課題を解決するための手段】
【0008】
前記課題を達成するための本発明のノズル検査方法の一面（ａｓｐｅｃｔ）は、第１ノズルを用いて基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出し、検査パターンを形成し、前記検査パターンに基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断することを含む。
【0009】
前記他の課題を達成するための本発明のノズル検査装置の一面は、基板が移動できるステージと、前記ステージ上に配置され、前記基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出して検査パターンを形成する第１ノズルを含むインクジェットヘッドモジュールと、前記ステージ上に配置され、前記検査パターンを撮影するビジョンモジュールと、前記撮影結果に基づいて、前記第１ノズルが不良か否かを判断する制御モジュールを含み得る。
【0010】
前記また他の課題を達成するための本発明の基板処理装置の一面は、第１領域に配置された第１ステージと、第２領域に配置された第２ステージと、前記第１ステージおよび前記第２ステージを横切るように配置されたガントリと、前記ガントリに設けられ、前記第１ステージまたは第２ステージで液滴を吐出できるインクジェットヘッドモジュールと、前記第２ステージ上に配置されたビジョンモジュールを含み、前記第２ステージは検査基板を移動させ得、前記インクジェットヘッドモジュールは前記検査基板の第１関心領域内に多数の液滴を吐出して検査パターンを形成し、前記ビジョンモジュールは前記検査パターンを撮影し得る。
【0011】
その他実施形態の具体的な内容は詳細な説明および図面に含まれている。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】本発明のいくつかの実施形態によるノズル検査装置を説明するための概念図である。
【図2】基板の多数の関心領域を説明するための図である。
【図3】本発明のいくつかの実施形態によるノズル検査方法を説明するための図である。
【図13】インクジェットヘッドモジュールによって形成された検査パターンを例示的に示す図である。
【図15】不良判断段階を説明するための例示的な液滴形状である。
【図16】不良判断段階を説明するための例示的な液滴形状である。
【図17】不良判断段階を説明するための例示的な液滴形状である。
【図18】本発明のいくつかの実施形態によるノズル検査装置が適用された基板処理装置を説明するための概念図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、添付する図面を参照して本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。本発明の利点および特徴、並びにこれらを達成する方法は添付する図面と共に詳細に後述する実施形態を参照すると明確になる。しかし、本発明は以下に開示される実施形態に限定されるものではなく互いに異なる多様な形態で実現することができ、本実施形態は単に本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供するものであり、本発明は請求項の範疇によってのみ定義される。明細書全体にわたって同一参照符号は同一構成要素を指すものとする。
【0014】
空間的に相対的な用語である「下（ｂｅｌｏｗ）」、「下（ｂｅｎｅａｔｈ）」、「下部（ｌｏｗｅｒ）」、「上（ａｂｏｖｅ）」、「上部（ｕｐｐｅｒ）」などは図面に示されているように一つの素子または構成要素と他の素子または構成要素との相関関係を容易に記述するために使用される。空間的に相対的な用語は図面に示されている方向に加えて使用時または動作時の素子の互いに異なる方向を含む用語として理解されなければならない。例えば、図面に示されている素子をひっくり返す場合、他の素子の「下（ｂｅｌｏｗ）」または「下（ｂｅｎｅａｔｈ）」と記述された素子は他の素子の「上（ａｂｏｖｅ）」に置かれ得る。したがって、例示的な用語の「下」は下と上の方向をすべて含むことができる。素子は他の方向に配向されてもよく、そのため空間的に相対的な用語は配向によって解釈されることができる。
【0015】
第１、第２などが多様な素子、構成要素および／またはセクションを叙述するために使われるが、これらの素子、構成要素および／またはセクションはこれらの用語によって制限されないのはもちろんである。これらの用語は単に一つの素子、構成要素またはセクションを他の素子、構成要素またはセクションと区別するために使用する。したがって、以下で言及される第１素子、第１構成要素または第１セクションは本発明の技術的思想内で第２素子、第２構成要素または第２セクションであり得るのはもちろんである。
【0016】
【0017】
まず図１を参照すると、本発明のいくつかの実施形態によるノズル検査装置１０はステージ１２０、第１ガントリ２１０、インクジェットヘッドモジュール２２０、第２ガントリ３１０、ビジョンモジュール３２０、制御モジュール５００などを含む。
【0018】
ステージ１２０は基板Ｇを支持して移動させるための領域である。
【0019】
ステージ１２０で基板Ｇを移動する方法は、特定方式に限定されない。例えば、ホルダが基板Ｇを保持して移動させるか、ロールトゥロール方式で移動するプレートによって基板Ｇが移動することもできる。
【0020】
ステージ１２０は例えば、第２方向ｙに延びて、第２方向ｙに沿って基板Ｇを移動させることができる（図面符号１２１を参照）。ここで、基板Ｇは検査用基板であり得、検査用基板は検査用フィルムであり得、ディスプレイ装置で使用される透明基板（例えば、ガラス基板）でもあり得る。
【0021】
第１ガントリ２１０はステージ１２０上に、ステージ１２０を横切るように配置される。第１ガントリ２１０は第１方向ｘに長く延びる。
【0022】
インクジェットヘッドモジュール２２０は第１ガントリ２１０に設けられ、第１ガントリ２１０に沿って移動する（図面符号２２１を参照）。図示するように、インクジェットヘッドモジュール２２０は第１方向ｘに移動できるが、これに限定されない。インクジェットヘッドモジュール２２０はインクを吐出する多数のヘッドを含み得、各ヘッドは多数のノズルを含むことができる。インクは例えば、ＱＤ（Ｑｕａｎｔｕｍ Ｄｏｔ）インクであり得るが、これに限定されない。図面では、インクジェットヘッドモジュール２２０の幅と基板Ｇの幅がほぼ同様である場合を示しているが、これに限定されない。
【0023】
インクジェットヘッドモジュール２２０の多数のノズルは、基板Ｇの多数の関心領域ＲＯＩに多数の液滴を吐出する。
【0024】
ここで図２を参照すると、基板Ｇには多数の関心領域ＲＯＩが第１方向ｘおよび第２方向ｙに配置される。ここで関心領域ＲＯＩはインクが吐出された領域を区分するための仮想の領域を意味する。関心領域ＲＯＩは制御モジュール５００の演算によって決定される。図示するように、多数の関心領域ＲＯＩは多数のラインＬ１～Ｌ４に配置される。上のラインの関心領域ＲＯＩと下のラインの関心領域ＲＯＩは互いにずれて配置され得る。例えば、ラインＬ１の関心領域ＲＯＩの一端Ｅ１と、ラインＬ２の関心領域ＲＯＩの一端Ｅ２は互いにずれるように配置され得る。ラインＬ２の関心領域ＲＯＩの一端Ｅ２と、ラインＬ３の関心領域ＲＯＩの一端Ｅ３は互いにずれるように配置され得る。ラインＬ３の関心領域ＲＯＩの一端Ｅ３と、ラインＬ４の関心領域ＲＯＩの一端Ｅ４は互いにずれるように配置される。
【0025】
このような多数の関心領域ＲＯＩの配置は、インクジェットヘッドモジュール２２０の多数のノズル配置に対応する形態であり得る。
【0026】
【0027】
第２ガントリ３１０はステージ１２０上に、ステージ１２０を横切るように配置される。第２ガントリ３１０は第１方向ｘに長く延びる。
【0028】
ビジョンモジュール３２０は第２ガントリ３１０に設けられ、第２ガントリ３１０に沿って移動する（図面符号３２１を参照）。図示するように、ビジョンモジュール３２０は第１方向ｘに移動できるが、これに限定されない。ビジョンモジュール３２０は形成された検査パターンを撮影する。
【0029】
制御モジュール５００はステージ１２０、第１ガントリ２１０、インクジェットヘッドモジュール２２０、第２ガントリ３１０およびビジョンモジュール３２０などを制御する。また、制御モジュール５００は撮影された検査パターンに基づいて第１ノズルが不良か否かを判断する。判断方法は図１４ないし図１７を用いて後述する。
【0030】
別に図示していないが、第１ガントリ２１０および第２ガントリ３１０は第２方向ｙに移動することもできる。
【0031】
【0032】
【0033】
まず、図３を参照すると、第１ノズル２２９を用いて第１関心領域ＲＯＩ内に多数の液滴を吐出して、検査パターンを形成する（Ｓ１）。
【0034】
図４に示すように、基板Ｇを液滴が吐出される位置Ｐ１に移動させた後、基板Ｇを停止させる。次に、第１ノズル２２９を用いて停止した基板Ｇの第１関心領域内に第１液滴ｄ１を吐出する。
【0035】
次に、図５に示すように、第１ノズル２２９を用いて停止した基板Ｇの第１関心領域内に再び第２液滴ｄ２を吐出する。
【0036】
このような方式で、既に設定された回数の液滴を吐出する。例えば、既に設定された回数が５回である場合、液滴を５回連続して吐出する。
【0037】
次に、形成された検査パターンに基づいて、第１ノズル２２９が不良か否かを判断する（Ｓ２）。
【0038】
多数の液滴が一つの関心領域に吐出されて検査パターンを形成したので、検査パターンのサイズが大きくなって検査精密度を高めることができる。また、一つのノズルで多くの関心領域に個別に吐出して多くの検査パターンを作って検査するためには、多くの時間が必要とされる。しかし、本発明のいくつかの実施形態によるノズル検査方法の場合、一つの関心領域に多数の液滴を吐出させるので検査時間を短縮することができる。
【0039】
【0040】
図６を参照すると、基板Ｇ１を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動しながら（図面符号１２１ａを参照）、第１ノズル２２９を用いて第１関心領域内に第１液滴ｄ１１を吐出する。
【0041】
次に、図７を参照すると、基板Ｇ１を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動しながら（図面符号１２１ｂを参照）、第１ノズル２２９を用いて第２関心領域内に第２液滴ｄ１２を吐出する。
【0042】
次に、図８を参照すると、再び基板Ｇ１を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動しながら（図面符号１２１ｃを参照）、第１ノズル２２９を用いて第１関心領域内に第３液滴ｄ２１を吐出する。第１関心領域内に２回の液滴（すなわち、ｄ１１，ｄ２１）が落ちたので、第１関心領域内の液滴サイズは大きくなる。
【0043】
次に、図９を参照すると、再び基板Ｇ１を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動しながら（図面符号１２１ｄを参照）、第１ノズル２２９を用いて第２関心領域内に第４液滴ｄ２２を吐出する。第２関心領域内に２回の液滴（すなわち、ｄ２１，ｄ２２）が落ちたので、第２関心領域内の液滴サイズは大きくなる。
【0044】
【0045】
図１０を参照すると、基板Ｇ１を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動しながら、第１ノズルを用いて第１関心領域内に液滴（第１液滴）を吐出する（Ｓ２１）。
【0046】
次に、基板Ｇ１を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動する（Ｓ２２）。第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動しながら、液滴吐出動作を行わない。
【0047】
次に、基板Ｇ１を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動しながら、第１ノズルを用いて第１関心領域内に追加液滴（第２液滴）を吐出する（Ｓ２３）。追加液滴の吐出によって、第１関心領域内の液滴サイズは大きくなる。
【0048】
次に、基板Ｇ１を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動する（Ｓ２４）。第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動しながら、液滴吐出動作を行わない。
【0049】
【0050】
図１１を参照すると、基板Ｇ２を第１位置Ｐ１から第３位置Ｐ３に移動しながら（図面符号１２２ａを参照）、第１ノズル２２９を用いて第１関心領域、第２関心領域、第３関心領域それぞれに第１液滴ｄ１１、第２液滴ｄ１２、第３液滴ｄ１３を順次吐出する。
【0051】
図１２を参照すると、基板Ｇ２を第３位置Ｐ３から第１位置Ｐ１に移動しながら（図面符号１２２ｂを参照）、第１ノズル２２９を用いて第３関心領域、第２関心領域、第１関心領域それぞれに第４液滴ｄ２３、第５液滴ｄ２２、第６液滴を順次吐出する。図１２は、第５液滴ｄ２２を吐出し、第６液滴を吐出する前の形状を示す図である。
【0052】
図１３はインクジェットヘッドモジュールによって形成された検査パターンを例示的に示す図である。
【0053】
図１３を参照すると、第１関心領域ＲＯＩ１は正常吐出されたケースに該当する。
【0054】
第２関心領域ＲＯＩ２、第４関心領域ＲＯＩ４および第５関心領域ＲＯＩ５は、多数の液滴が同一でない位置に吐出されたケースである。すなわち、多数の液滴が正確な位置に吐出されなかったケースに該当する。これは「異常弾着」または「衛星液滴形成」に該当する。
【0055】
第３関心領域ＲＯＩ３は液滴が全く吐出されていないケースに該当する。これは「未吐出」に該当する。
【0056】
第６関心領域ＲＯＩ６は多数の液滴が正確な位置に吐出されたが、既に設定された吐出量だけ吐出されていないケースに該当する。これは「吐出量不良」に該当する。
【0057】
【0058】
【0059】
図１４を参照すると、まず第１関心領域内に最小基準を満たす液滴が存在するかどうかをチェックする（Ｓ７）。
【0060】
Ｓ７段階で、最小基準を満たす液滴が存在すると（Ｙｅｓ）、次の段階（Ｓ８）に進む。最小基準を満たす液滴が存在しないと（Ｎｏ）、前記液滴を吐出したノズルは異常ノズル（または不良ノズル）と判断する。
【0061】
具体的には、図１５に示すように、関心領域内で第１液滴Ａ１と第２液滴Ａ２は円形であり、第３液滴Ａ３は非定型であり得る。非定型の第３液滴Ａ３は、パーティクルによるものであるが、底のシミによって発生したと判断して、判断から除外する。すなわち、第３液滴Ａ３は液滴と判断しない。したがって、判断の対象になる液滴（すなわち、最小基準を満たす液滴）はＡ１、Ａ２となる。
【0062】
または図１６に示すように、関心領域内で第４液滴Ａ４は円形であり、判断対象になる液滴である。
【0063】
次に、Ｓ７段階で最小基準を満たす液滴が存在すると、前記液滴が１個のみ存在するのかをチェックする（Ｓ８）。Ｓ８段階で、液滴が１個であれば（Ｙｅｓ）次の段階（Ｓ９）に進む。液滴が２個以上と判断されると（Ｎｏ）、前記液滴を吐出したノズルは異常ノズルと判断する。
【0064】
【0065】
次に、液滴がマルチドロップ（ｍｕｌｔｉ ｄｒｏｐ）基準を満たすのかをチェックする（Ｓ９）。Ｓ９段階で、液滴がマルチドロップ基準を満たすと（Ｙｅｓ）正常ノズルと判断し、液滴がマルチドロップ基準を満たさないと（Ｎｏ）、前記液滴を吐出したノズルを異常ノズルと判断する。
【0066】
マルチドロップ基準は、液滴のサイズ（例えば、直径、半径、周長）などを基準として判断する。すなわち、液滴のサイズが第１基準値以上であり、第２基準値以下に該当するのかを確認することができる。すなわち、液滴が第１基準値より小さいと、適正量が吐出されていないことであるので（すなわち、過小ドロップ）、マルチドロップ基準を満たさないと判断する。反面、液滴が第２基準値より大きいと、適正量が吐出されていないことであるので（すなわち、過大ドロップ）、マルチドロップ基準を満たさないと判断される。
【0067】
【0068】
【0069】
例えば、関心領域内に、図１７のように雪だるま形状の液滴Ａ５が形成される。雪だるま形状の液滴Ａ５は非定型液滴（図１５のＡ３を参照）と類似すると判断されて排除することもできる。しかし、排除されない場合、図１７での雪だるま形状の液滴Ａ５は１個であるので、図１７の液滴Ａ５を吐出したノズルは正常ノズルと判断される可能性もある（すなわち、エラーの可能性が存在する）。このような点を補完するために、液滴Ａ５の直径Ｄ２に対応する基準円ＳＣを仮定し、液滴Ａ５の面積を基準円ＳＣの面積と比較する時、どのくらいの差が生じるかを計算することができる（すなわち、液滴の面積が基準円の面積に比べて基準比率以上になるのかを判断）。例えば、雪だるま形状の液滴Ａ５の面積は基準円ＳＣの面積に比べて基準比率（例えば、９０％）未満になるので、液滴Ａ５を吐出したノズルは正常ノズルと判断することができる。
【0070】
または、液滴Ａ５の周長と基準円ＳＣの周長を比較して、その差が小さいと正常ノズルと判断し、差が大きいと異常ノズルと判断する。例えば、雪だるま形状の液滴Ａ５の周長は、液滴Ａ５の周長と基準値以上の差が生じるので異常ノズルと判断することができる。
【0071】
または、実験などにより、ｎ回吐出が行われた場合の正常液滴の基準周長をあらかじめ知ることができる。したがって、評価対象の液滴の周長を測定し、前記基準周長と比較してノズルが異常であるか否かを判断することもできる。
【0072】
【0073】
図１８を参照すると、基板処理装置は第１ステージ１１０、第２ステージ１２０、第１ガントリ２１０、第２ガントリ３１０、インクジェットヘッドモジュール２２０、ビジョンモジュール３２０、ホルダ（ｈｏｌｄｅｒ，１０７）などを含む。
【0074】
第１ステージ１１０は第１領域に配置され、第２ステージ１２０は第１領域と隣接する第２領域に配置される。
【0075】
第１ステージ１１０の長手方向に沿って、レール１０８が配置される。ホルダ１０７はレール１０８に沿って移動する。第１ステージ１１０には多数の孔１１２が形成されており、孔１１２を通じて気体が出て製造用基板を浮揚させる。製造用基板が浮揚された状態で、ホルダ１０７は製造用基板を保持して移動させることができる。
【0076】
第１ガントリ２１０は第１ステージ１１０と第２ステージ１２０を横切るように配置される。インクジェットヘッドモジュール２２０は第１ガントリ２１０に設けられ、第１ステージ１１０または第２ステージ１２０で液滴を吐出するように第１ガントリ２１０に沿って移動する。
【0077】
第２ステージ１２０に検査基板Ｇを配置し、インクジェットヘッドモジュール２２０は検査基板Ｇの第１関心領域内に多数の液滴を吐出して検査パターンを形成する。
【0078】
例えば、基板Ｇを液滴が吐出される位置Ｐ０に移動させた後、基板Ｇを停止させる。基板Ｇが停止した状態で、インクジェットヘッドモジュール２２０は基板の関心領域ＲＯＩ内に液滴を多数回吐出する。
【0079】
または、基板Ｇを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動しながら、インクジェットヘッドモジュール２２０は第１関心領域内に液滴を吐出し、再び基板Ｇを第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動しながらインクジェットヘッドモジュール２２０は第２関心領域内に液滴を吐出する。次に、基板Ｇを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動しながら、インクジェットヘッドモジュール２２０は第１関心領域内に液滴を追加で吐出する。再び基板Ｇを第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動しながら、インクジェットヘッドモジュール２２０は第２関心領域内に液滴を追加で吐出する。
【0080】
または、基板Ｇを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動しながら、インクジェットヘッドモジュール２２０は第１関心領域内に液滴を吐出し、再び基板Ｇを第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動させる。次に、基板Ｇを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動しながらインクジェットヘッドモジュール２２０は第１関心領域内に液滴を追加で吐出する。
【0081】
または、基板Ｇを第１位置Ｐ１から第３位置Ｐ３に移動しながらインクジェットヘッドモジュール２２０は第１関心領域、第２関心領域、第３関心領域それぞれに液滴を順次吐出する。次に、基板Ｇを第３位置Ｐ３から第１位置Ｐ１に移動しながらインクジェットヘッドモジュール２２０は第３関心領域、第２関心領域、第１関心領域の順に液滴をさらに吐出する。
【0082】
ビジョンモジュール３２０は形成された検査パターンを撮影する。
【0083】
制御モジュール（図１の５００を参照）は撮影された検査パターンに基づいて、液滴を吐出したインクジェットヘッドモジュール２２０のノズルが不良か否かを判断する。前述したように、制御モジュール５００は関心領域内の液滴がマルチドロップ基準を満たすのかをチェックする。マルチドロップ基準は、液滴のサイズ（例えば、直径、半径、周長）などを基準として判断することができる。
【0084】
以上と添付する図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は、本発明がその技術的思想や必須の特徴を変更せず他の具体的な形態で実施できることを理解することができる。したがって、上記一実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
