特許 7531028 接合装置及び異種材接合方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-31

(45)【発行日】2024-08-08

(54)【発明の名称】接合装置及び異種材接合方法

(51)【国際特許分類】

   B23K 11/20 20060101AFI20240801BHJP

   B23K 11/11 20060101ALI20240801BHJP

【ＦＩ】

B23K11/20

B23K11/11 530

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2023109282

(22)【出願日】2023-07-03

【審査請求日】2024-05-16

(73)【特許権者】

【識別番号】390014672

【氏名又は名称】株式会社アマダ

(74)【代理人】

【識別番号】100083806

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 秀和

(74)【代理人】

【識別番号】100111235

【弁理士】

【氏名又は名称】原 裕子

(74)【代理人】

【識別番号】100170575

【弁理士】

【氏名又は名称】森 太士

(72)【発明者】

【氏名】阿部 正行

(72)【発明者】

【氏名】澤井 康男

(72)【発明者】

【氏名】福田 純平

【審査官】杉田 隼一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－１３６７３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１４００４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１８１６２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平９－１０２３７８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２３Ｋ １１／２０

Ｂ２３Ｋ １１／１１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の融点を有する第１の金属よりなる第１の被接合材の第１の端部と、前記第１の融点より低い第２の融点を有する第２の金属よりなる第２の被接合材の第２の端部とが重ね合わされている母材における、前記第１の端部と前記第２の端部とが重ね合わされた重ね合わせ領域の前記第１の端部の表面に接触させる、前記第１の金属の体積抵抗率よりも高い体積抵抗率を有する金属で形成された第１の電極と、
前記重ね合わせ領域から外れた領域の前記第１の被接合材の表面に接触させる、前記第１の金属の体積抵抗率と同じまたはそれより低い体積抵抗率を有する金属で形成された第２の電極と、
前記第１の電極が接触している前記重ね合わせ領域の箇所を加圧するよう、前記第１の電極を加圧する加圧装置と、
前記第１の電極から前記第２の電極へと電流が流れるように前記第１及び第２の電極間に通電する電源部と、
を備える接合装置。

【請求項2】

前記第１の電極は、モリブデン、タングステン、ステンレス、またはカーボンで形成されている請求項１に記載の接合装置。

【請求項3】

前記第２の電極は、クロム銅または純銅で形成されている請求項１または２に記載の接合装置。

【請求項4】

前記重ね合わせ領域における前記第１の被接合材と前記第２の被接合材との境界部の温度が、前記第１及び第２の金属の共晶点以上、前記第２の金属の融点以下のいずれかの温度となるように、前記電源部を制御する制御部をさらに備える請求項１または２に記載の接合装置。

【請求項5】

前記第１の電極の温度を計測する放射温度計をさらに備え、
前記制御部は、前記放射温度計より出力される温度データに基づいて前記第１の電極の温度を監視し、前記第１の電極の温度にエラーが発生したと判定すると、前記第１及び第２の電極間の通電を停止するよう前記電源部を制御し、かつ、前記重ね合わせ領域の箇所の加圧を解除するよう前記加圧装置を制御する
請求項４に記載の接合装置。

【請求項6】

第１の融点を有する第１の金属よりなる第１の被接合材の第１の端部と、前記第１の融点より低い第２の融点を有する第２の金属よりなる第２の被接合材の第２の端部とを重ね合わせ、
前記第１の金属の体積抵抗率よりも高い体積抵抗率を有する金属で形成された第１の電極を、前記第１の端部と前記第２の端部とが重ね合わされた重ね合わせ領域の前記第１の端部の表面に接触させ、かつ、前記第１の金属の体積抵抗率と同じまたはそれより低い体積抵抗率を有する金属で形成された第２の電極を、前記重ね合わせ領域から外れた領域の前記第１の被接合材の表面に接触させ、
加圧装置によって前記第１の電極を加圧することによって、前記第１の電極が接触している前記重ね合わせ領域の箇所を加圧し、
前記第１の被接合材を前記第１の電極と前記第２の電極との間の導通経路として前記第１の電極から前記第２の電極へと電流を流すことにより、前記第１の電極を発熱させ、
前記第１の電極の熱によって前記第１の端部を加熱し、前記第１の端部の熱によって前記第２の端部を加熱することにより、前記第１の端部と前記第２の端部とを接合する
異種材接合方法。

【請求項7】

前記第１の金属は銅または鉄であり、前記第２の金属はアルミニウムである請求項６に記載の異種材接合方法。

【請求項8】

前記第１の電極を、モリブデン、タングステン、ステンレス、またはカーボンで形成する請求項７に記載の異種材接合方法。

【請求項9】

前記第２の電極をクロム銅または純銅で形成する請求項７または８に記載の異種材接合方法。

【請求項10】

前記重ね合わせ領域における前記第１の被接合材と前記第２の被接合材との境界部の温度を、前記第１及び第２の金属の共晶点以上、前記第２の金属の融点以下のいずれかの温度とすることにより、前記第１の端部と前記第２の端部とを共晶溶融現象によって接合する請求項７または８に記載の異種材接合方法。

【請求項11】

放射温度計によって前記第１の電極の温度を計測し、
前記放射温度計より出力される温度データに基づいて前記第１の電極の温度を監視し、
前記第１の電極の温度にエラーが発生したと判定すると、前記第１及び第２の電極間の通電を停止し、かつ、前記重ね合わせ領域の箇所の加圧を解除する
請求項７または８に記載の異種材接合方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、接合装置及び異種材接合方法に関する。

【背景技術】

【0002】

スポット溶接（スポット接合）の方式として、ダイレクト式、インダイレクト式、シリーズ式等の各種の方式がある。融点が異なる金属よりなる異種材を接合するとき、スポット溶接のいずれかの方式が用いられる。異種材は、一例として銅板及びアルミニウム板である。特許文献１には、シリーズ式の溶接方法が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００３－１９５６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

異種材が銅板及びアルミニウム板である場合を例とすると、ダイレクト式は、重ね合わされた銅板とアルミニウム板とを一対の電極で挟んで両者を接合する方式である。銅板とアルミニウム板とが重ね合わされた重ね合わせ領域において、一方の電極が銅板の表（おもて）面と接触し、他方の電極がアルミニウム板の裏面と接触する。インダイレクト式は、重ね合わせ領域における銅板の表面に一方の電極を接触させ、重ね合わせ領域から外れたアルミニウム板の表面に他方の電極を接触させて、両者を接合する方式である。ダイレクト式及びインダイレクト式では、融点の低いアルミニウム板に電極が接触しているので、アルミニウム板が溶融して電極に付着することがある。

【0005】

シリーズ式は、重ね合わせ領域における銅板の表面に一対の電極の双方を接触させて、両者を接合する方式である。シリーズ式では、電極はアルミニウム板に接触していないが、銅板及びアルミニウム板の双方に電流が流れるから、アルミニウム板が溶融することがある。重ね合わされた銅板及びアルミニウム板は、アルミニウム板を下側にしてベース上に置かれている。従って、アルミニウム板が溶融するとベースに付着することがある。電極またはベースに溶融した金属が付着することがない接合装置及び異種材接合方法の登場が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

１またはそれ以上の実施形態の第１の態様は、第１の融点を有する第１の金属よりなる第１の被接合材の第１の端部と、前記第１の融点より低い第２の融点を有する第２の金属よりなる第２の被接合材の第２の端部とが重ね合わされている母材における、前記第１の端部と前記第２の端部とが重ね合わされた重ね合わせ領域の前記第１の端部の表面に接触させる、前記第１の金属の体積抵抗率よりも高い体積抵抗率を有する金属で形成された第１の電極と、前記重ね合わせ領域から外れた領域の前記第１の被接合材の表面に接触させる、前記第１の金属の体積抵抗率と同じまたはそれより低い体積抵抗率を有する金属で形成された第２の電極と、前記第１の電極が接触している前記重ね合わせ領域の箇所を加圧するよう、前記第１の電極を加圧する加圧装置と、前記第１の電極から前記第２の電極へと電流が流れるように前記第１及び第２の電極間に通電する電源部とを備える接合装置を提供する。

【0007】

１またはそれ以上の実施形態の第２の態様は、第１の融点を有する第１の金属よりなる第１の被接合材の第１の端部と、前記第１の融点より低い第２の融点を有する第２の金属よりなる第２の被接合材の第２の端部とを重ね合わせ、前記第１の金属の体積抵抗率よりも高い体積抵抗率を有する金属で形成された第１の電極を、前記第１の端部と前記第２の端部とが重ね合わされた重ね合わせ領域の前記第１の端部の表面に接触させ、かつ、前記第１の金属の体積抵抗率と同じまたはそれより低い体積抵抗率を有する金属で形成された第２の電極を、前記重ね合わせ領域から外れた領域の前記第１の被接合材の表面に接触させ、加圧装置によって前記第１の電極を加圧することによって、前記第１の電極が接触している前記重ね合わせ領域の箇所を加圧し、前記第１の被接合材を前記第１の電極と前記第２の電極との間の導通経路として前記第１の電極から前記第２の電極へと電流を流すことにより、前記第１の電極を発熱させ、前記第１の電極の熱によって前記第１の端部を加熱し、前記第１の端部の熱によって前記第２の端部を加熱することにより、前記第１の端部と前記第２の端部とを接合する異種材接合方法を提供する。

【発明の効果】

【0008】

１またはそれ以上の実施形態に係る接合装置及び異種材接合方法によれば、電極またはベースに溶融した金属が付着することがない。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、１またはそれ以上の実施形態に係る接合装置を示すブロック図である。

【図2】図２は、１またはそれ以上の実施形態に係る接合装置によって異種材を接合するときの電流の流れを示す図である。

【図3】図３は、１またはそれ以上の実施形態に係る接合装置によって異種材を接合するときに、第１の電極と第１の被接合材との境界部において抵抗発熱している状態を示す概念図である。

【図4】図４は、図３に続く状態であり、１またはそれ以上の実施形態に係る接合装置によって異種材を接合するときに、第１の電極が発熱している状態を示す概念図である。

【図5】図５は、図４に続く状態であり、１またはそれ以上の実施形態に係る接合装置によって異種材を接合するときに、第１の電極の熱が第１の被接合材に移動した状態を示す概念図である。

【図6】図６は、図５に続く状態であり、１またはそれ以上の実施形態に係る接合装置によって異種材を接合するときに、第１の被接合材と第２の被接合材との境界部が発熱している状態を示す概念図である。

【図7】図７は、比較例であるシリーズ式の接合方法を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、１またはそれ以上の実施形態に係る接合装置及び異種材接合方法について、添付図面を参照して説明する。

【0011】

図１において、接合装置１００は、制御部１０、電源部２０、第１の電極４１、第２の電極４２、加圧装置５０、放射温度計６０、測定器７０を備える。ベース４３上には、接合対象の母材として、異種材である第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２が配置されている。第１の被接合材３１は第１の融点を有する第１の金属よりなり、第２の被接合材３２は第１の融点より低い第２の融点を有する第２の金属よりなる。典型的には、第１の金属は銅または鉄であり、第２の金属はアルミニウムである。第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２の板厚は限定されないが、１ｍｍ以下のような薄板が好適である。

【0012】

第１の被接合材３１の第１の端部３１ｅと第２の被接合材３２の第２の端部３２ｅとが、重ね合わされている。第１の端部３１ｅ及び第２の端部３２ｅが重ね合わされた領域を重ね合わせ領域３１２と称することとする。第１の電極４１は、重ね合わせ領域３１２における第１の端部３１ｅの表（おもて）面に接触している。第２の電極４２は、重ね合わせ領域３１２から外れた領域において第１の被接合材３１の表面に接触している。

【0013】

第１の電極４１は、第１の金属の体積抵抗率よりも高い体積抵抗率を有する金属で形成されている。第２の電極４２は、第１の金属の体積抵抗率と同じまたはそれより低い体積抵抗率を有する金属で形成されている。体積抵抗率とは、単位（Ω・ｍ）で表される単位体積あたりの電気抵抗値である。第１の電極４１の金属として、モリブデン、タングステン、ステンレス、またはカーボンを用いるのがよい。第２の電極４２の金属として、体積抵抗率及び耐摩耗性を考慮すると、クロム銅または純銅を用いるのがよい。

【0014】

ベース４３は、第２の被接合材３２を重ねていない第１の被接合材３１の下方に第２の被接合材３２の板厚に相当する段差を設けているが、第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２の板厚が薄ければ、そのような段差を設けなくてよい。ベース４３の形状は限定されない。ベース４３は、絶縁体または金属で形成されている。

【0015】

電源部２０と第１の電極４１とは導通路２１で接続され、電源部２０と第２の電極４２とは導通路２２で接続されている。電源部２０は、第１の電極４１を正極、第２の電極４２を負極として、第１の電極４１と第２の電極４２との間に直流電流を流すように構成されている。電源部２０は、トランスを備える電源回路で構成することができる。

【0016】

加圧装置５０は、例えばエアシリンダによって第１の電極４１及び第２の電極４２に対して加圧する。図１及び後述する図２～図７において、白抜き矢印は加圧力が付加されていることを示す。第１の電極４１及び第２の電極４２が加圧されると、第１の電極４１及び第２の電極４２が接触している第１の被接合材３１の箇所が加圧される。加圧装置５０は、第１の電極４１及び第２の電極４２の双方を加圧しているが、第１の電極４１が接触している重ね合わせ領域３１２の箇所のみが加圧されるように、第１の電極を加圧のみを加圧してもよい。

【0017】

導通路２１にはトロイダルコイルよりなる電流センサ４４が取り付けられている。電流センサ４４が検出する電流値は測定器７０に供給される。第１の電極４１及び第２の電極４２と測定器７０とがツイスト線またはビニル電線で接続されて、測定器７０に第１の電極４１と第２の電極４２との間の電圧値が供給される。電流センサ４４は、導通路２２に取り付けられてもよい。

【0018】

放射温度計６０は、第１の電極４１から放射される赤外線の強度を測定することにより、第１の電極４１の温度を計測する。放射温度計６０は、第１の電極４１の温度を示すアナログ温度データを制御部１０に供給する。制御部１０は、入力されたアナログ温度データをそのまま測定器７０に供給する。加圧装置５０には、荷重を電気信号に変換するロードセルと、変位量を測定する変位量センサが搭載されている。加圧装置５０は、ロードセルによって電気信号に変換された加圧力を示すアナログ値を測定器７０に供給する。加圧装置５０は、変位量センサが測定した変位量を示すデジタル値を測定器７０に供給する。

【0019】

制御部１０は、第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２の接合時に、第１の電極４１から第２の電極４２へと所定の電流値の電流が流れるように第１の電極４１及び第２の電極４２間に通電するよう電源部２０を制御する。制御部１０は、マイクロプロセッサで構成することができる。

【0020】

測定器７０は、入力された電流値、電圧値、アナログ温度データ、加圧力を示すアナログ値、変位量を示すデジタル値を処理して、第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２の接合時にこれらの情報をモニタリングするために、測定器７０が備える表示部に表示することができる。測定器７０は、変位量が設定値に達すると制御部１０に対して接合の停止を指示する。制御部１０は、接合の停止が指示されると、第１の電極４１と第２の電極４２との間の通電を停止するよう電源部２０を制御し、加圧装置５０による加圧を解除する。

【0021】

何らかの理由で、通電開始後に放射温度計６０が計測する第１の電極４１の温度が所定時間経過しても高くならないことがある。制御部１０は、放射温度計６０より出力されるアナログ温度データに基づいて第１の電極４１の温度を監視することにより、放射温度計６０が第１の電極４１の温度を正しく計測していないと想定されるとき、計測温度にエラーが発生したと判定することが好ましい。例えば、制御部１０は、通電開始後に所定の初期時間が経過した時点でアナログ温度データが示す第１の電極４１の温度が最低初期温度に達していなければ、第１の電極４１の温度にエラーが発生したと判定する。

【0022】

制御部１０は、第１の電極４１の温度にエラーが発生したと判定すると、第１の電極４１と第２の電極４２との間の通電を即座に停止するよう電源部２０を制御する。さらに、制御部１０は、第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２に対する加圧を即座に解除するよう加圧装置５０を制御する。これによって、第１の被接合材３１及、２の被接合材３２、第１の電極４１、及び第２の電極４２の焼損を防ぐことができる。制御部１０は、第１の電極４１の温度が異常に高温となったときにエラーが発生したと判定して、第１の電極４１と第２の電極４２との間の通電を停止し、第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２に対する加圧を解除するよう、電源部２０及び加圧装置５０を制御してもよい。

【0023】

接合装置１００において、測定器７０を設けることは必須ではないが、第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２の接合時に各種の情報をモニタリングすることができるから、測定器７０を設けることが好ましい。

【0024】

図２～図６を用いて、以上説明した接合装置１００を用いて実行される異種材接合方法を詳細に説明する。図２において、第２の電極４２は、重ね合わせ領域３１２から外れた領域において第１の被接合材３１の表面に接触しているから、第１の被接合材３１のみが第１の電極４１と第２の電極４２との間の導通経路となる。電源部２０が第１の電極４１と第２の電極４２との間に電流を流すと、矢印線で示すように、第１の電極４１から第２の電極４２へと第１の被接合材３１を介して電流が流れる。

【0025】

すると、図３に示すように、第１の電極４１と第１の被接合材３１との境界部において抵抗発熱する。境界部のハッチングを付した横長の楕円は、抵抗発熱している発熱領域ｈ１を概念的に示している。図３以降の図面においては、第１の電極４１から第２の電極４２へと流れる電流を示す矢印線を省略しているが、図２と同様に第１の電極４１から第２の電極４２へと第１の被接合材３１を介して電流が流れている。

【0026】

第１の電極４１と第１の被接合材３１との境界部が継続的に発熱すると、図４に示すように、第１の電極４１が発熱して、第１の電極４１は発熱体ｈ２となる。すると、図５に示すように、発熱体ｈ２の熱は第１の被接合材３１へと伝達して、重ね合わせ領域３１２における第１の被接合材３１に発熱領域ｈ３が発生する。このとき、第１の被接合材３１の第１の融点は、銅であれば約１０００度、鉄であれば約１５００度と高いので、第１の被接合材３１は溶融しない。

【0027】

図６に示すように、発熱領域ｈ３の熱は第２の被接合材３２へと伝達するから、第１の被接合材３１と第２の被接合材３２との境界部に発熱領域ｈ４が発生する。第２の被接合材３２であるアルミニウムの融点は６６０度と低いので、発熱領域ｈ４の温度がアルミニウムの融点付近となると、第１の端部３１ｅと第２の端部３２ｅとが拡散接合される。なお、第１の端部３１ｅと第２の端部３２ｅとは、スポット状の１か所で互いが接合される。

【0028】

制御部１０は、発熱領域ｈ４（第１の被接合材３１と第２の被接合材３２との境界部）が、５５０度以上６６０度以下のいずれかの温度となるように電流を流すよう、電源部２０を制御するのがよい。銅とアルミニウムにおける共晶点が５５０度であるから、５５０度を下限とするのがよい。アルミニウムの融点は６６０度であるから、６６０度を上限として、発熱領域ｈ４の温度は６６０度を超えないようにするのがよい。発熱領域ｈ４の温度が銅の融点及びアルミニウムの融点より低い６６０度未満であっても、第１の端部３１ｅと第２の端部３２ｅとは、共晶溶融現象によって互いに接合される。

【0029】

制御部１０は、発熱領域ｈ４の直接的な温度を取得することはできないが、放射温度計６０が計測する第１の電極４１の温度、または第１の電極４１と第２の電極４２との間の通電時間等に基づいて、発熱領域ｈ４の温度を推定することができる。制御部１０は、発熱領域ｈ４の推定温度を、５５０度以上６６０度以下のいずれかの温度とするよう電源部２０を制御すればよい。

【0030】

このように、接合装置１００は、第１の被接合材３１のみを導通経路として第１の電極４１から第２の電極４２へと電流を流すことにより、第１の電極４１を発熱させる。接合装置１００は、第１の電極４１の発熱によって第１の端部３１ｅを加熱する。接合装置１００は、第１の端部３１ｅの熱によって第２の端部３２ｅを加熱することにより、第１の端部３１ｅと第２の端部３２ｅとを拡散接合する。

【0031】

ここで、図７に示す一般的なシリーズ式の接合方法を用いて第１の被接合材３１と第２の被接合材３２とを接合する場合を比較例として、１またはそれ以上の実施形態に係る異種材接合方法の特徴と、その特徴が奏する作用効果を説明する。比較例で用いられる第１の電極４１０及び第２の電極４２０の金属は、例えば、クロム銅、モリブデン、タングステンから選択される。第１の電極４１０と第２の電極４２０とで形成する金属を異ならせることはない。第１の電極４１０及び第２の電極４２０を形成する金属は双方で、クロム銅、モリブデン、またはタングステンである。

【0032】

比較例においては、第１の被接合材３１と第２の被接合材３２とが重ね合わされる。第１の電極４１０及び第２の電極４２０の双方が、第１の被接合材３１と第２の被接合材３２とが重ね合わされた重ね合わせ領域における第１の被接合材３１の表面に接触している。

【0033】

従って、第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２の双方が第１の電極４１０と第２の電極４２０との間の導通経路となる。第１の電極４１０から第２の電極４２０へと電流を流すと、矢印線で示すように、第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２を介して電流が流れる。よって、融点が低い第２の被接合材３２が溶融する。すると、図７では図示を省略している第２の被接合材３２の下方に位置するベースに第２の被接合材３２が溶融した金属が付着することがある。なお、第１の被接合材３１及び第２の被接合材３２とは、スポット状の２か所で互いが接合される。

【0034】

これに対して１またはそれ以上の実施形態に係る異種材接合方法によれば、第１の被接合材３１のみを導通経路として第１の電極４１から第２の電極４２へと電流が流れるから、第２の被接合材３２の全体が溶融することはない。従って、ベース４３に第２の被接合材３２が溶融した金属が付着することはない。第１の電極４１及び第２の電極４２は第１の被接合材３１のみに接触しているから、第２の被接合材３２が溶融した金属が第１の電極４１または第２の電極４２に付着することも勿論ない。

【0035】

本発明は以上説明した１またはそれ以上の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。

【符号の説明】

【0036】

１０ 制御部
２０ 電源部
２１，２２ 導通路
３１ 第１の被接合材
３１ｅ 第１の端部
３２ 第２の被接合材
３２ｅ 第２の端部
４１ 第１の電極
４２ 第２の電極
４３ ベース
４４ 電流センサ
５０ 加圧装置
６０ 放射温度計
７０ 測定器
３１２ 重ね合わせ領域

【要約】

【課題】電極またはベースに溶融した金属が付着することがない接合装置を提供する。
【解決手段】第１の融点を有する第１の金属よりなる第１の被接合材３１の第１の端部３１ｅと、第１の融点より低い第２の融点を有する第２の金属よりなる第２の被接合材３２の第２の端部３２ｅとが重ね合わされて、重ね合わせ領域３１２とされている。第１の電極４１は、第１の金属の体積抵抗率よりも高い体積抵抗率を有する金属で形成され、重ね合わせ領域３１２の第１の端部３１ｅの表面に接触している。第２の電極４２は、第１の金属の体積抵抗率と同じまたはそれより低い体積抵抗率を有する金属で形成され、重ね合わせ領域３１２から外れた領域の第１の被接合材３１の表面に接触している。加圧装置５０は第１の電極４１を加圧する。電源部２０は第１の電極４１及び第２の電極４２間に通電する。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

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【図7】