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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-07-31
(45)【発行日】2024-08-08
(54)【発明の名称】セッターと敷板とからなる焼成治具
(51)【国際特許分類】
F27D 3/12 20060101AFI20240801BHJP
C04B 35/64 20060101ALI20240801BHJP
【ＦＩ】
F27D3/12 E
C04B35/64
F27D3/12 S
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2024525079
(86)(22)【出願日】2023-11-02
(86)【国際出願番号】 JP2023039647
【審査請求日】2024-04-25
(31)【優先権主張番号】P 2022198350
(32)【優先日】2022-12-13
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000006183
【氏名又は名称】三井金属鉱業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000855
【氏名又は名称】弁理士法人浅村特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】有馬 峻
【審査官】浅野 昭
(56)【参考文献】
【文献】実開平２－０６２３９９（ＪＰ，Ｕ）
【文献】中国実用新案第２０３８３７４９７（ＣＮ，Ｕ）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１３－００８２３２５（ＫＲ，Ａ）
【文献】特開２０１１－０５２９０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－０２９４６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１６／００９８４９（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０２１／０３３３７５（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１５／００８５０３（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１７／２０４０６１（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ２７Ｄ ３／１２
Ｃ０４Ｂ ３５／６４
Ｃ０４Ｂ ３３／３２
Ｆ２７Ｄ ５／００
Ｂ２２Ｆ ３／１０
Ｈ０１Ｇ １３／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
セッターと、このセッターが戴置される敷板とからなる焼成治具であって、前記セッターは、前記敷板に対する近接面Ｓの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の線条をなす凸部を含み、
前記敷板は、前記セッターに対する近接面Ｐの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の条溝部を含み、
前記セッターが前記敷板に戴置されるとき、前記セッターの凸部の少なくとも１つが前記敷板の条溝部の少なくとも１つに収容されるように、前記凸部および前記条溝部が形成されており、
ここで、
前記セッターの近接面Ｓの輪郭内面積（ただし、前記セッターの前記敷板への戴置の際に、前記近接面Ｓを垂直視するとき、敷板の輪郭からはみ出る領域の面積を除く）をｂとし、
前記セッターが前記敷板に戴置されるときに、前記条溝部に収容される前記凸部の投影面積（ただし、ここでの投影面積は、前記セッターの近接面Ｓに平行な面における当該凸部の最大断面積を指す）の合計をａとするとき、
０．５≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０（式Ａ）の関係を満たす、
焼成治具。
【請求項2】
前記セッターの凸部が略平行に２つ以上形成されており、かつ前記敷板の条溝部が略平行に２つ以上形成されており、前記セッターの前記敷板への戴置の際、前記凸部の過半数が前記敷板の条溝部に収容されるように前記凸部および前記条溝部が形成されている、請求項１に記載の焼成治具。【請求項3】
前記セッターの凸部が３つ以上の場合にはこれらの凸部は略等間隔で形成されており、および／または、前記敷板の条溝部が３つ以上の場合にはこれらの条溝部は略等間隔で形成されている、請求項２に記載の焼成治具。【請求項4】
前記セッターの凸部の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃと、前記セッターの前記敷板への戴置の際、この凸部が収容される前記条溝部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｐに平行な方向の最大幅員Ｗｐとの割合Ｗｃ／Ｗｐが２以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の焼成治具。【請求項5】
前記敷板の条溝部の平均深さ（前記条溝部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｐから垂直方向の最低位置までの長さについて各条溝部の平均値を指す）Ｄｇ・ａｖに対する、当該条溝部間の垂直最短距離（条溝部が３つ以上形成されている場合は、複数の垂直最短距離の平均値を指す）Ｉｇの比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖが０．０５以上６００以下である、請求項２または３に記載の焼成治具。【請求項6】
前記セッターの凸部の少なくとも１つについて、その長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃに対する、その長手方向の両端部間の長さＬｃのアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃが１０以上である、請求項１～３のいずれか１項に記載の焼成治具。【請求項7】
前記セッターの凸部の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに垂直な方向の最大高さＨｃに対する、前記セッターの前記敷板への戴置の際、この凸部が収容される前記条溝部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｐから垂直方向の最低位置までの深さＤｇの比率Ｄｇ／Ｈｃが０．１以上である、請求項１～３のいずれか１項に記載の焼成治具。【請求項8】
前記セッターの凸部の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに垂直な方向の最大高さＨｃに対する、この凸部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃの比率Ｗｃ／Ｈｃが０．３以上４以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の焼成治具。【請求項9】
前記セッターが、その少なくとも一部にメッシュ状セラミックスシートを含み、このメッシュ状セラミックスシートは、所与の間隔で配置された各条が一方向に延伸された複数条の第１線条部で構成される第１線条部層、および、前記第１線条部の各条の上に接してこれと交差するように所与の間隔で配置された、各条が一方向に延伸された複数条の第２線条部で構成される第２線条部層を含み、前記第１線条部層と前記第２線条部層とが一体的に形成されているセラミックスシート焼結体であり、
前記第２線条部層の前記第１線条部層に対する接面が、前記セッターの近接面Ｓをなしており、前記第１線条部層を構成する第１線条部が、前記セッターの凸部をなしている、
請求項１～３のいずれか１項に記載の焼成治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、セッターと敷板とからなる焼成治具に関する。本発明は、より具体的には、セッターとこのセッターが戴置される敷板とからなり、セッターの摺動が効果的に防止され得る焼成治具に関する。
【背景技術】
【0002】
セラミックス製の電子部品やガラスを焼成するときには、被焼成物を棚板等とも称されるセラミックスシートのセッター上に載置して焼成を行うことが一般的である。このようなセッターを用いる焼成プロセスでは、多数の被焼成物を同時に焼成する高い生産効率が要求される。そのため、焼成用の敷板または焼成用ラック等と称される部材上にセッターが戴置された焼成治具を用い、複数のセッターを所定間隔で積層させた多段組みの形態で焼成が行われている。
【0003】
セラミックス製セッターに関する従来の技術としては、例えば、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスより作られ、且つ表裏を貫通する多数の穴を持つ多孔板からなる加熱成型加工用セッターや、被焼成物を載置する表面側および裏面側に少なくとも凹凸形状が付与されているとともに、開口部が形成されているセラミック焼成用窯道具板などが知られている。また、被焼成物の急速な加熱および冷却を行うときにセッターに割れ等が発生することを防止するための技術として、セラミックス製の複数の第１線条部と、これと交差するセラミックス製の複数の第２線条部とを有するセラミックス格子体であって、第１線条部と第２線条部とが特定の接触形態を有するものが開示されている（一例として特許文献１参照）。
【0004】
一方、敷板等と称される焼成治具として、例えば、中央側に中空部を有する枠体と、枠体の中空部に架け渡され、中空部で互いに交差する複数の架橋部とを備え、枠体と架橋部とが一体成型されることを特徴とする焼成治具が開示されている。この焼成治具によれば、セラミックス製品の焼成による製造の生産性が向上することが報告されている。
また、他の敷板等と称される焼成治具として、特許文献２には、被焼成物が積載される平板状セッターを配置するように構成された焼成用ラックであって、表面に平板状セッターが配置されるとともに開口部を有する枠体と、枠体の中心を通過して枠体間を伸びる柱部と、枠体と柱部によって囲まれた複数の囲繞部と、囲繞部の中心から枠体または柱部に向けて伸びる複数の副柱部とを備える焼成用ラックが開示されている。この焼成用ラックによれば、積載する平板状セッターの面内温度分布のムラを低減し得ることが報告されている。
また、他の敷板等と称される焼成治具として、特許文献２には、被焼成物が積載される平板状セッターを配置するように構成された焼成用ラックであって、表面に平板状セッターが配置されるとともに開口部を有する枠体と、枠体の中心を通過して枠体間を伸びる柱部と、枠体と柱部によって囲まれた複数の囲繞部と、囲繞部の中心から枠体または柱部に向けて伸びる複数の副柱部とを備える焼成用ラックが開示されている。この焼成用ラックによれば、積載する平板状セッターの面内温度分布のムラを低減し得ることが報告されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２０１８－１９３２７４号公報
【文献】国際公開２０２１／０３３３７５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
このようなセラミックス製セッターと敷板（焼成用ラック）とは、図１に例示するように、焼成の際に、各々の敷板の上にセッターを載せ、さらに各々のセッターの上に被焼成物が配された状態で多段組みとして積層されることが多い。図１において、Ａはセッターであり、Ｂは多段積みで積層された敷板であり、Ｃは被焼成物であり、各々の敷板上にセッターが戴置され、その上に被焼成物が配されることによって、多段積みの焼成治具であるＭが焼成プロセスに供される。多段積みとして積層されたセラミックス製セッターと敷板との組み合わせを、その多段積みの状態のまま保管し、さらには搬送することを要する場合もある。そのような積層操作の際や、多段積みの状態のまま搬送する際に、僅かな斜度や振動（すなわち水平方向や上下方向の動作）によりセッターが敷板上で摺動すると、その上に配された被焼成物の安定性も維持されず、被焼成物の変形や破損、焼成の不具合、電子部品等の微細な被焼成物のセッターからの落下などにつながる恐れがある。そのため、セラミックス製セッターと敷板との組み合わせの積層操作時や、それらの多段積み状態での搬送時において、セッターが敷板上で容易に摺動しない良好なハンドリング性が求められている。しかし、そのような摺動を十分に防止し得る技術はこれまで開発されていなかった。
【0007】
従って、本発明が解決しようとする課題は、セラミックス製セッターと敷板との組み合わせからなる焼成治具であって、それらの積層操作時や、多段積み状態での搬送時において、僅かな斜度や振動（水平方向や上下方向の動作）によりセッターが敷板上で容易に摺動しないような良好なハンドリング性を有する焼成治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明者らは、鋭意研究した結果、セッターと、このセッターが戴置される敷板とからなる焼成治具において、敷板に対するセッターの近接面の一部に１つまたは複数の線条をなす凸部を設けると共に、セッターに対する敷板の近接面の一部に１つまたは複数の条溝部を設け、セッターを敷板に戴置する際に、セッターに設けられた凸部の少なくとも１つが敷板に設けられた条溝部の少なくとも１つに収容されるようにしたうえで、敷板に対するセッターの近接面の輪郭内の面積と、敷板の条溝部に収容されるセッターの凸部の投影面積の合計との比率が所定の範囲内になるように設計することによって、凸部が条溝部により大きな程度で収容・係合されることになり、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することが可能になり、ひいてはセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性が大幅に向上することを見出し、本発明に係る焼成治具を完成させた。
【0009】
従って、本発明の典型的な一態様は、以下のとおりである：
セッターと、このセッターが戴置される敷板とからなる焼成治具であって、
前記セッターは、前記敷板に対する近接面Ｓの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の線条をなす凸部を含み、
前記敷板は、前記セッターに対する近接面Ｐの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の条溝部を含み、
前記セッターが前記敷板に戴置されるとき、前記セッターの凸部の少なくとも１つが前記敷板の条溝部の少なくとも１つに収容されるように、前記凸部および前記条溝部が形成されており、
ここで、
前記セッターの近接面Ｓの輪郭内面積（ただし、前記セッターの前記敷板への戴置の際に、前記近接面Ｓを垂直視するとき、敷板の輪郭からはみ出る領域の面積を除く）をｂとし、
前記セッターが前記敷板に戴置されるときに、前記条溝部に収容される前記凸部の投影面積（ただし、ここでの投影面積は、前記セッターの近接面Ｓに平行な面における当該凸部の最大断面積を指す）の合計をａとするとき、
０．５≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０（式Ａ）の関係を満たす、
焼成治具。
セッターと、このセッターが戴置される敷板とからなる焼成治具であって、
前記セッターは、前記敷板に対する近接面Ｓの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の線条をなす凸部を含み、
前記敷板は、前記セッターに対する近接面Ｐの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の条溝部を含み、
前記セッターが前記敷板に戴置されるとき、前記セッターの凸部の少なくとも１つが前記敷板の条溝部の少なくとも１つに収容されるように、前記凸部および前記条溝部が形成されており、
ここで、
前記セッターの近接面Ｓの輪郭内面積（ただし、前記セッターの前記敷板への戴置の際に、前記近接面Ｓを垂直視するとき、敷板の輪郭からはみ出る領域の面積を除く）をｂとし、
前記セッターが前記敷板に戴置されるときに、前記条溝部に収容される前記凸部の投影面積（ただし、ここでの投影面積は、前記セッターの近接面Ｓに平行な面における当該凸部の最大断面積を指す）の合計をａとするとき、
０．５≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０（式Ａ）の関係を満たす、
焼成治具。
【0010】
なお、本願においてセッターの凸部が敷板の条溝部に「収容」されることとは、敷板のセッターに対する近接面Ｐを条溝部の長手方向に垂直な断面にて水平視するとき、条溝部の最上面（近接面Ｐに相当する仮想面）より下方にセッターの凸部の少なくとも一部が配置されている状態を指すものとする。
【発明の効果】
【0011】
本発明に係るセッターとそれが戴置される敷板とからなる焼成治具によれば、敷板に対するセッターの近接面の輪郭内の面積と、敷板の条溝部に収容されるセッターの凸部の投影面積の合計との比率を所定の範囲内になるように調整することによって、凸部が条溝部により大きな程度で収容・係合されることになり、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することが可能になり、ひいてはセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性が大幅に向上するという利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【発明を実施するための形態】
【0013】
本発明に係る焼成治具を構成するセッターは、同じく焼成治具を構成する敷板に対する近接面Ｓの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の線条をなす凸部を含む。他方で、本発明に係る焼成治具を構成する敷板は、同じく焼成治具を構成するセッターに対する近接面Ｐの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の条溝部を含む。この焼成治具において、セッターが敷板に戴置されるとき、セッターの敷板上での摺動を防止するため、セッターの凸部の少なくとも１つが敷板の条溝部の少なくとも１つに収容されるように、凸部および条溝部が形成されている必要がある。
【0014】
図２に、本発明に係る焼成治具のセッターと敷板との組み合わせの一実施形態を示す。本発明による焼成治具のセッターおよび敷板のいずれも図２の形態に限定されるわけではなく、これは単なる一例である。
図２において、１は焼成治具（組み合わせ）、２はセッター（例示としてのメッシュ状セラミックスシートのセッター）、２Ｓはセッター２の敷板に対する近接面（本図では紙面裏側）、３は敷板、３Ｐは敷板３のセッターに対する近接面、４は敷板の基材部、５は周壁部（リブ：任意選択で設けられる）、６はセッターの敷板に対する近接面２Ｓに設けられた凸部（紙面裏側のため図示せず）の少なくとも一部に対応する敷板の条溝部、ＨＬは開口部（任意選択で設けられる）を示す。
図２において、１は焼成治具（組み合わせ）、２はセッター（例示としてのメッシュ状セラミックスシートのセッター）、２Ｓはセッター２の敷板に対する近接面（本図では紙面裏側）、３は敷板、３Ｐは敷板３のセッターに対する近接面、４は敷板の基材部、５は周壁部（リブ：任意選択で設けられる）、６はセッターの敷板に対する近接面２Ｓに設けられた凸部（紙面裏側のため図示せず）の少なくとも一部に対応する敷板の条溝部、ＨＬは開口部（任意選択で設けられる）を示す。
【0015】
本例示における焼成治具１の一部材であるセッター２は、略一定間隔で一方向に延伸する第１線条部で構成された第１線条部層、および略一定間隔でこれと略直行して一方向に延伸する第２線条部で構成された第２線条部層からなるメッシュ状部位で全体的に形成されている、メッシュ状セラミックスシートのセッターである。焼成治具１の他方の部材である敷板３は、略矩形の板状体である基材部４と、その周囲全体に直立して形成された周壁部５（リブ）とを備えている。また図示していないが、敷板３の基材部４は、略矩形の四隅の各々に多段積み用の脚部を有していてよいし、そのような脚部を装着可能なように構成されていてもよい。周壁部５は、周囲全体を形成する構成として例示されているが、周囲の一部であってもよい。敷板３のセッターに対する近接面３Ｐは、セッター２の敷板に対する近接面２Ｓの輪郭（周縁）の全体が収容され得る平面をなすと同時に、周壁部５は、セッター２が敷板３の近接面３Ｐに戴置される際にセッター２の周縁部の全体が周壁部まで所定の間隔を有するように形成されている。本図で例示されているようにセッター２がメッシュ状セラミックスシートのセッターである場合、第２線条部層の第１線条部層に対する接面がセッターの近接面２Ｓ（紙面裏側）をなし、第１線条部層を構成する第１線条部がセッターの凸部をなす。この場合、セッター２の敷板に対する近接面２Ｓに形成された凸部は複数存在する。敷板３のセッターに対する近接面３Ｐには複数の条溝部６が設けられており、これらの条溝部６の位置はセッターの複数の凸部（第１線条部）の少なくとも一部の位置に対応しており、当該箇所において凸部が条溝部６に収容され得る。このように、セッター２が敷板３に戴置されるとき、セッター２の凸部の少なくとも１つが敷板３の条溝部の少なくとも１つに収容されるように凸部および条溝部が形成されることによって、摺動に対する防止・抑制性能が付与される。また、このような焼成治具１の多段積みでは、複数の脚部の間において、また周壁部５が周囲の一部に形成されている場合はそれらの間において、またさらには開口部ＨＬが敷板の一部に形成されている場合はそこにおいて、通気性が確保され、効率的な焼成プロセスが実施され得る。
【0016】
図３は、本発明の一実施形態に係る焼成治具のセッターと敷板との組み合わせにつき、セッターを敷板に戴置した際のセッターの複数の凸部の長手方向に垂直な断面を例示している。
図３において、７はセッターの本体（基部）、７Ｓはセッターの敷板に対する近接面、８は近接面７Ｓの一部に形成された長手方向に略均一かつ略円形の断面を備える複数の線条をなす凸部、９は敷板の本体（基部）、９Ｐは敷板のセッターに対する近接面、１０は近接面９Ｐの一部に形成された長手方向に略均一かつ略円形の断面を備える複数の条溝部を示している。
図３において、７はセッターの本体（基部）、７Ｓはセッターの敷板に対する近接面、８は近接面７Ｓの一部に形成された長手方向に略均一かつ略円形の断面を備える複数の線条をなす凸部、９は敷板の本体（基部）、９Ｐは敷板のセッターに対する近接面、１０は近接面９Ｐの一部に形成された長手方向に略均一かつ略円形の断面を備える複数の条溝部を示している。
【0017】
図３において、図解の容易のため、凸部８および条溝部１０がそれぞれ２つ形成されている場合（セッターと敷板との組み合わせからなる焼成治具の一部のみの概略）が示されている。しかし、凸部および条溝部の個数は、それぞれ１つ以上であればよく、その個数は特に限定されない。凸部の個数は、好ましくは２個以上であり、さらに好ましくは３個以上、５個以上、１０個以上、２０個以上、または３０個以上であってよい。また同様に、条溝部の個数は、好ましくは２個以上であり、さらに好ましくは３個以上、５個以上、１０個以上、２０個以上、または３０個以上であってよい。凸部および条溝部の個数は、それぞれ、製造効率の観点から１００個以下であってよい。図３において凸部の断面形状は略円形として例示されているが、これに限定されない。凸部の断面形状は、例えば、略半円形、略三角形、略矩形、略台形であってもよい。凸部の形成を容易にする観点から、凸部の断面形状は略円形であることが好ましい。セッターがメッシュ状セラミックスシートである場合、凸部の断面形状は略円形である。また、図３において条溝部の断面形状は略半円形として例示されているが、これに限定されない。条溝部の断面形状は、例えば、略Ｖ字形（略三角形）、略矩形、略台形であってもよい。凸部および条溝部のこれらの断面形状にかかわらず、本明細書にて説明される要件を満たす限りは所望の効果が奏され得る。製造効率の観点からは、凸部の断面形状は略円形（特にメッシュ状セラミックスシートを使用する場合）であってよく、条溝部の断面形状は略Ｖ字形であってよい。
【0018】
図３においては、２つの凸部８が略平行に形成されており、かつ２つの条溝部１０が略平行に形成されており、セッター７が敷板９に戴置された際に、２つの凸部８の両方がそれらに対応する位置に配された２つの条溝部１０の各々に収容された状態となっている。このように、セッターの凸部および敷板の条溝部がそれぞれ略平行に２つまたは３つ以上形成されており、セッターの敷板への戴置の際、凸部の過半数、好ましくは凸部の７０％以上、さらに好ましくは凸部の実質的に全てが敷板の条溝部に収容されるように構成されている。このような構成によって、セッターの敷板上での摺動をより効果的に防止し、ひいてはセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性をさらに大幅に向上させることができる。
【0019】
図３においては、２つの凸部８が略平行に形成され、かつ２つの条溝部１０が略平行に形成された例が示されているが、他の一実施形態において、セッターの凸部が３つ以上の場合にはこれらの凸部が略等間隔に形成され、および／または、敷板の条溝部が３つ以上の場合にはこれらの条溝部が略等間隔に形成されるように構成してよい。このような構成によって、セッターの凸部が敷板の条溝部に好首尾に収容される確率がさらに上がり、それによりセッターの敷板上での摺動防止性をより一層高めることができる。
【0020】
図３において、符号ｂは、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓの輪郭内の面積（ただし、セッター７の敷板９への戴置の際に、近接面７Ｓを垂直視するとき、敷板９の輪郭からはみ出る領域の面積を除くものとする）を示す。また、図３において、符号ａ１は、セッター７が敷板９に戴置されるときに、図中、左側の条溝部１０に収容される凸部８の投影面積（セッター７の近接面７Ｓに平行な面における当該凸部の最大断面積）を示す。符号ａ２は、同様にセッター７が敷板９に戴置されるときに、図中、右側の条溝部１０に収容される凸部８の投影面積（セッター７の近接面７Ｓに平行な面における当該凸部の最大断面積）を示す。このとき符号ａは、凸部８の投影面積ａ１およびａ２の合計である。図３では、図解の容易のための例示として凸部８および条溝部１０がそれぞれ２つのみ描かれているが、条溝部１０に収容される凸部８が３つ以上存在する場合は、それらの投影面積ａｘの合計（Σａｘ）がａとなる。
【0021】
ここで、凸部８の投影面積の合計ａとセッター７の近接面７Ｓの輪郭内面積ｂとは以下の式Ａの関係が満たされる。
０．５≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０（式Ａ）
この式Ａの関係が満たされる本発明の焼成治具によれば、セッターの凸部が敷板の条溝部にしっかりと安定して収容・係合され、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができると共に、凸部の配置設計の容易性も担保され得る。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
０．５≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０（式Ａ）
この式Ａの関係が満たされる本発明の焼成治具によれば、セッターの凸部が敷板の条溝部にしっかりと安定して収容・係合され、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができると共に、凸部の配置設計の容易性も担保され得る。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
【0022】
式Ａの関係が満たされる範囲内の一実施形態において、上記観点から、１≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０であることが好ましく、５≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０であることがさらに好ましく、１０≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０であることがさらにより好ましく、２０≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０であることが一層好ましく、３０≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０であることがより一層好ましく、４０≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０であることがさらにより一層好ましく、５０≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０であることがなお一層好ましく、６０≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０であることがさらにより一層好ましく、７０≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０であることが最も好ましい。
式Ａの関係が満たされる範囲内の別の実施形態において、上記観点から、１≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることが好ましく、５≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがさらに好ましく、１０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがさらにより好ましく、２０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることが一層好ましく、３０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがより一層好ましく、４０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがさらにより一層好ましく、５０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがなお一層好ましく、６０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがさらにより一層好ましく、７０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることが最も好ましい。
式Ａの関係が満たされる範囲内のさらに別の実施形態において、上記観点から、１≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることが好ましく、５≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがさらに好ましく、１０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがさらにより好ましく、２０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることが一層好ましく、３０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがより一層好ましく、４０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがさらにより一層好ましく、５０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがなお一層好ましく、６０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがさらにより一層好ましく、７０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることが最も好ましい。
式Ａの関係が満たされる範囲内の別の実施形態において、上記観点から、１≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることが好ましく、５≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがさらに好ましく、１０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがさらにより好ましく、２０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることが一層好ましく、３０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがより一層好ましく、４０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがさらにより一層好ましく、５０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがなお一層好ましく、６０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることがさらにより一層好ましく、７０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８５であることが最も好ましい。
式Ａの関係が満たされる範囲内のさらに別の実施形態において、上記観点から、１≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることが好ましく、５≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがさらに好ましく、１０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがさらにより好ましく、２０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることが一層好ましく、３０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがより一層好ましく、４０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがさらにより一層好ましく、５０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがなお一層好ましく、６０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることがさらにより一層好ましく、７０≦（ａ／ｂ）＊１００≦８０であることが最も好ましい。
【0023】
図４は、本発明の一実施形態に係る焼成治具のセッターと敷板との組み合わせにつき、セッターを敷板に戴置した際の、セッターの凸部の最大幅員Ｗｃと敷板の条溝部の最大幅員Ｗｐとの関係を例示している。
図４において、Ｗｃは、セッター７の凸部８の長手方向に垂直な断面の、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓに平行な方向の最大幅員を示す。また、Ｗｐは、セッター７の敷板９への戴置の際、この凸部８が収容される条溝部１０の長手方向に垂直な断面の、敷板９のセッター７に対する近接面９Ｐに平行な方向の最大幅員を示す。
図４において、凸部の断面形状は略円形として例示され、条溝部の断面形状は略半円形として例示されているが、図３について説明したのと同様にこれらの形状に限定されるわけではない。
図４において、Ｗｃは、セッター７の凸部８の長手方向に垂直な断面の、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓに平行な方向の最大幅員を示す。また、Ｗｐは、セッター７の敷板９への戴置の際、この凸部８が収容される条溝部１０の長手方向に垂直な断面の、敷板９のセッター７に対する近接面９Ｐに平行な方向の最大幅員を示す。
図４において、凸部の断面形状は略円形として例示され、条溝部の断面形状は略半円形として例示されているが、図３について説明したのと同様にこれらの形状に限定されるわけではない。
【0024】
ここで、セッター７の凸部８の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の近接面７Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃと、セッター７の敷板９への戴置の際、この凸部８が収容される条溝部１０の長手方向に垂直な断面の近接面９Ｐに平行な方向の最大幅員Ｗｐとの割合Ｗｃ／Ｗｐは、（０超であって）２以下であることが好ましい。
この割合Ｗｃ／Ｗｐが２以下である本発明の一実施形態に係る焼成治具によれば、セッターの凸部が敷板の条溝部の底部に向かって深く収容・係合され、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができる。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
この割合Ｗｃ／Ｗｐが２以下である本発明の一実施形態に係る焼成治具によれば、セッターの凸部が敷板の条溝部の底部に向かって深く収容・係合され、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができる。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
【0025】
割合Ｗｃ／Ｗｐが（０超であって）２以下である関係が満たされる範囲内の一実施形態において、上記観点から、Ｗｃ／Ｗｐは、（０超であって）１．８以下であることが好ましく、１．６以下であることがさらに好ましく、１．４以下であることがさらにより好ましく、１．２以下であることが一層好ましく、１．０以下であることがより一層好ましく、０．９以下であることが最も好ましい。
割合Ｗｃ／Ｗｐが（０超であって）２以下である関係が満たされる範囲内の別の実施形態において、上記観点から、Ｗｃ／Ｗｐは、０．２以上１．８以下であることが好ましく、０．２以上１．６以下であることがさらに好ましく、０．２以上１．４以下であることがさらにより好ましく、０．２以上１．２以下であることが一層好ましく、０．２以上１．０以下であることがより一層好ましく、０．２以上０．９以下であることが最も好ましい。
割合Ｗｃ／Ｗｐが（０超であって）２以下である関係が満たされる範囲内のさらに別の実施形態において、上記観点から、Ｗｃ／Ｗｐは、０．４以上１．８以下であることが好ましく、０．４以上１．６以下であることがさらに好ましく、０．４以上１．４以下であることがさらにより好ましく、０．４以上１．２以下であることが一層好ましく、０．４以上１．０以下であることがより一層好ましく、０．４以上０．９以下であることが最も好ましい。
割合Ｗｃ／Ｗｐが（０超であって）２以下である関係が満たされる範囲内の別の実施形態において、上記観点から、Ｗｃ／Ｗｐは、０．２以上１．８以下であることが好ましく、０．２以上１．６以下であることがさらに好ましく、０．２以上１．４以下であることがさらにより好ましく、０．２以上１．２以下であることが一層好ましく、０．２以上１．０以下であることがより一層好ましく、０．２以上０．９以下であることが最も好ましい。
割合Ｗｃ／Ｗｐが（０超であって）２以下である関係が満たされる範囲内のさらに別の実施形態において、上記観点から、Ｗｃ／Ｗｐは、０．４以上１．８以下であることが好ましく、０．４以上１．６以下であることがさらに好ましく、０．４以上１．４以下であることがさらにより好ましく、０．４以上１．２以下であることが一層好ましく、０．４以上１．０以下であることがより一層好ましく、０．４以上０．９以下であることが最も好ましい。
【0026】
図５は、本発明の一実施形態に係る焼成治具のセッターと敷板との組み合わせにつき、セッターを敷板に戴置した際の、敷板の条溝部の平均深さＤｇ・ａｖと、条溝部間の垂直最短距離Ｉｇとの関係を例示している。
図５においては、２つの凸部８が略平行に形成され、かつ２つの凸部８がそれぞれ収容される２つの条溝部１０が略平行に形成された例が示されている。他の実施形態においては、これに加えて、３つ以上の凸部８が略平行かつ略等間隔に形成され、かつ３つ以上の凸部８がそれぞれ収容される３つ以上の条溝部１０が略平行かつ略等間隔に形成されるように構成してよい。
図５において、Ｄｇ・ａｖは、敷板９の条溝部１０の平均深さ（条溝部１０の長手方向に垂直な断面の、敷板９のセッター７に対する近接面９Ｐから垂直方向の最低位置までの長さについて各条溝部１０の平均値）を示す。ここでの平均値は、敷板９に設けられた条溝部１０の数が１０個までの場合はそれら全ての平均値を指し、敷板９に設けられた条溝部１０の数が１１個以上の場合はそれらのうちの任意の１０個の平均値を指す。また、図５において、Ｉｇは、敷板９の条溝部１０間の垂直最短距離（条溝部が３つ以上形成されている場合は、複数の垂直最短距離の平均値）を示す。ここでの平均値は、条溝部１０間の垂直最短距離の数が９個まで（条溝部１０の数が１０個まで）の場合はそれら全ての平均値を指し、条溝部１０間の垂直最短距離の数が１０個以上（条溝部１０の数が１１個以上）の場合はそれらのうちの任意の９個の平均値を指す。
図５において、凸部の断面形状は略円形として例示され、条溝部の断面形状は略半円形として例示されているが、図３および図４について説明したのと同様にこれらの形状に限定されるわけではない。
図５においては、２つの凸部８が略平行に形成され、かつ２つの凸部８がそれぞれ収容される２つの条溝部１０が略平行に形成された例が示されている。他の実施形態においては、これに加えて、３つ以上の凸部８が略平行かつ略等間隔に形成され、かつ３つ以上の凸部８がそれぞれ収容される３つ以上の条溝部１０が略平行かつ略等間隔に形成されるように構成してよい。
図５において、Ｄｇ・ａｖは、敷板９の条溝部１０の平均深さ（条溝部１０の長手方向に垂直な断面の、敷板９のセッター７に対する近接面９Ｐから垂直方向の最低位置までの長さについて各条溝部１０の平均値）を示す。ここでの平均値は、敷板９に設けられた条溝部１０の数が１０個までの場合はそれら全ての平均値を指し、敷板９に設けられた条溝部１０の数が１１個以上の場合はそれらのうちの任意の１０個の平均値を指す。また、図５において、Ｉｇは、敷板９の条溝部１０間の垂直最短距離（条溝部が３つ以上形成されている場合は、複数の垂直最短距離の平均値）を示す。ここでの平均値は、条溝部１０間の垂直最短距離の数が９個まで（条溝部１０の数が１０個まで）の場合はそれら全ての平均値を指し、条溝部１０間の垂直最短距離の数が１０個以上（条溝部１０の数が１１個以上）の場合はそれらのうちの任意の９個の平均値を指す。
図５において、凸部の断面形状は略円形として例示され、条溝部の断面形状は略半円形として例示されているが、図３および図４について説明したのと同様にこれらの形状に限定されるわけではない。
【0027】
ここで、敷板９の条溝部１０の平均深さ（条溝部１０の長手方向に垂直な断面の近接面９Ｐから垂直方向の最低位置までの長さについて各条溝部１０の平均値を指す）Ｄｇ・ａｖに対する、条溝部１０間の垂直最短距離（条溝部１０が３つ以上形成されている場合は、複数の垂直最短距離の平均値を指す）Ｉｇの比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖは、０．０５以上６００以下であることが好ましい。
この比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖが０．０５以上６００以下である本発明の一実施形態に係る焼成治具によれば、セッターの凸部が敷板の条溝部に対して、密な係合箇所を有する形で深く安定して収容・係合され、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができる。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
この比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖが０．０５以上６００以下である本発明の一実施形態に係る焼成治具によれば、セッターの凸部が敷板の条溝部に対して、密な係合箇所を有する形で深く安定して収容・係合され、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができる。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
【0028】
比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖが０．０５以上６００以下である関係が満たされる範囲内の一実施形態において、上記観点から、Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖは、０．０５以上５００以下であることが好ましく、０．０５以上４００以下であることがより好ましく、０．０５以上３００以下であることがさらに好ましく、０．０５以上２００以下であることがさらにより好ましく、０．０５以上１００以下であることが一層好ましく、０．０５以上５０以下であることがより一層好ましく、０．０５以上１０以下であることがなおより一層好ましく、０．０５以上５以下であることがさらにより一層好ましく、０．０５以上２以下であることが最も好ましい。
比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖが０．０５以上６００以下である関係が満たされる範囲内の別の実施形態において、上記観点から、Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖは、０．１以上５００以下であることが好ましく、０．１以上４００以下であることがより好ましく、０．１以上３００以下であることがさらに好ましく、０．１以上２００以下であることがさらにより好ましく、０．１以上１００以下であることが一層好ましく、０．１以上５０以下であることがより一層好ましく、０．１以上１０以下であることがなおより一層好ましく、０．１以上５以下であることがさらにより一層好ましく、０．１以上２以下であることが最も好ましい。
比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖが０．０５以上６００以下である関係が満たされる範囲内の別の実施形態において、上記観点から、Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖは、０．１以上５００以下であることが好ましく、０．１以上４００以下であることがより好ましく、０．１以上３００以下であることがさらに好ましく、０．１以上２００以下であることがさらにより好ましく、０．１以上１００以下であることが一層好ましく、０．１以上５０以下であることがより一層好ましく、０．１以上１０以下であることがなおより一層好ましく、０．１以上５以下であることがさらにより一層好ましく、０．１以上２以下であることが最も好ましい。
【0029】
図６は、本発明の一実施形態に係る焼成治具のセッターと敷板との組み合わせにつき、セッターの凸部の最大幅員Ｗｃと、その長手方向の両端部間の長さＬｃとの関係（アスペクト比）を例示している。
図６は、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓ上に１つまたは複数個設けられた凸部８（メッシュ状セラミックシートの場合の線条部）のうちの１つを抽出し、近接面７Ｓに対して垂直視した概略図である。図６において、Ｗｃは、セッター７の凸部８の長手方向に垂直な断面の、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓに平行な方向の最大幅員を示す。また、Ｌｃは、その凸部８の長手方向の両端部間の長さを示す。
図６は、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓ上に１つまたは複数個設けられた凸部８（メッシュ状セラミックシートの場合の線条部）のうちの１つを抽出し、近接面７Ｓに対して垂直視した概略図である。図６において、Ｗｃは、セッター７の凸部８の長手方向に垂直な断面の、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓに平行な方向の最大幅員を示す。また、Ｌｃは、その凸部８の長手方向の両端部間の長さを示す。
【0030】
ここで、セッター７の凸部８の少なくとも１つについて、その長手方向に垂直な断面の近接面７Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃに対する、その長手方向の両端部間の長さＬｃのアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃは、１０以上であることが好ましい。
このアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃが１０以上である本発明の一実施形態に係る焼成治具によれば、セッターの凸部が敷板の条溝部に対して、より長い距離の連続的な係合箇所を有する形で安定して収容・係合され、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができる。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
このアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃが１０以上である本発明の一実施形態に係る焼成治具によれば、セッターの凸部が敷板の条溝部に対して、より長い距離の連続的な係合箇所を有する形で安定して収容・係合され、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができる。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
【0031】
アスペクト比Ｌｃ／Ｗｃが１０以上である関係が満たされる範囲内の一実施形態において、上記観点から、Ｌｃ／Ｗｃは、１１以上であることが好ましく、１２以上であることがより好ましく、１３以上であることがさらに好ましく、２０以上であることがさらにより好ましく、３０以上であることがなおより好ましく、５０以上であることが一層好ましく、７０以上であることがより一層好ましく、１００以上であることが最も好ましい。
【0032】
図７は、本発明の一実施形態に係る焼成治具のセッターと敷板との組み合わせにつき、セッターを敷板に戴置した際の、セッターの凸部の最大高さＨｃと、この凸部が収容される敷板の条溝部の深さＤｇとの関係を例示している。
図７において、Ｈｃは、セッター７の凸部８の長手方向に垂直な断面の、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓに垂直な方向の最大高さを示す。また、Ｄｇは、セッター７の敷板９への戴置の際、この凸部８が収容される条溝部１０の長手方向に垂直な断面の、敷板９のセッター７に対する近接面９Ｐから垂直方向の最低位置までの深さを示す。
図７において、凸部の断面形状は略円形として例示され、条溝部の断面形状は略半円形として例示されているが、図３～５について説明したのと同様にこれらの形状に限定されるわけではない。
図７において、Ｈｃは、セッター７の凸部８の長手方向に垂直な断面の、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓに垂直な方向の最大高さを示す。また、Ｄｇは、セッター７の敷板９への戴置の際、この凸部８が収容される条溝部１０の長手方向に垂直な断面の、敷板９のセッター７に対する近接面９Ｐから垂直方向の最低位置までの深さを示す。
図７において、凸部の断面形状は略円形として例示され、条溝部の断面形状は略半円形として例示されているが、図３～５について説明したのと同様にこれらの形状に限定されるわけではない。
【0033】
ここで、セッター７の凸部８の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の近接面７Ｓに垂直な方向の最大高さＨｃに対する、セッター７の敷板９への戴置の際、この凸部８が収容される条溝部１０の長手方向に垂直な断面の近接面９Ｐから垂直方向の最低位置までの深さＤｇの比率Ｄｇ／Ｈｃは、０．１以上であることが好ましい。
この比率Ｄｇ／Ｈｃが０．１以上である本発明の一実施形態に係る焼成治具によれば、セッターの凸部が敷板の条溝部の底部に向かってより深く安定して収容・係合され、それによってセッターの敷板上での運動・移動に対する抵抗性がより大きくなって、セッターの移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができる。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
この比率Ｄｇ／Ｈｃが０．１以上である本発明の一実施形態に係る焼成治具によれば、セッターの凸部が敷板の条溝部の底部に向かってより深く安定して収容・係合され、それによってセッターの敷板上での運動・移動に対する抵抗性がより大きくなって、セッターの移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができる。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
【0034】
比率Ｄｇ／Ｈｃが０．１以上である関係が満たされる範囲内の一実施形態において、上記観点から、Ｄｇ／Ｈｃは、０．１５以上であることが好ましく、０．２以上であることがより好ましく、０．２５以上であることがさらに好ましく、０．３以上であることがさらにより好ましく、０．３５以上であることがなおより好ましく、０．４以上であることが一層好ましく、０．４５以上であることがより一層好ましく、０．５０以上であることがさらにより一層好ましく、０．５５以上であることがなおより一層好ましく、０．６０以上であることが最も好ましい。
【0035】
図８は、本発明の一実施形態に係る焼成治具のセッターと敷板との組み合わせにつき、セッターの凸部の最大高さＨｃと、この凸部の最大幅員Ｗｃとの関係を例示している。
図８は、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓ上に１つまたは複数個設けられた凸部８のうちの１つを抽出し、凸部８の長手方向に対して垂直視した概略図である。図８において、Ｈｃは、セッター７の凸部８の長手方向に垂直な断面の、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓに垂直な方向の最大高さである。また、Ｗｃは、この凸部８の長手方向に垂直な断面の近接面７Ｓに平行な方向の最大幅員を示す。
図８は、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓ上に１つまたは複数個設けられた凸部８のうちの１つを抽出し、凸部８の長手方向に対して垂直視した概略図である。図８において、Ｈｃは、セッター７の凸部８の長手方向に垂直な断面の、セッター７の敷板９に対する近接面７Ｓに垂直な方向の最大高さである。また、Ｗｃは、この凸部８の長手方向に垂直な断面の近接面７Ｓに平行な方向の最大幅員を示す。
【0036】
ここで、セッター７の凸部８の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の近接面７Ｓに垂直な方向の最大高さＨｃに対する、この凸部８の長手方向に垂直な断面の近接面７Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃの比率Ｗｃ／Ｈｃは０．３以上４以下であることが好ましい。
この比率Ｗｃ／Ｈｃが０．３以上４以下である本発明の一実施形態に係る焼成治具によれば、敷板の条溝部の断面形状にかかわらず、またはその断面形状により良く対応して、セッターの凸部が敷板の条溝部に対して深く安定した収容・係合状態を形成し易くなり、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができる。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
この比率Ｗｃ／Ｈｃが０．３以上４以下である本発明の一実施形態に係る焼成治具によれば、敷板の条溝部の断面形状にかかわらず、またはその断面形状により良く対応して、セッターの凸部が敷板の条溝部に対して深く安定した収容・係合状態を形成し易くなり、それによってセッターの敷板上での移動が効果的に制限され、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することができる。また、これらの効果に伴ってセラミックス製品の焼成治具としてのハンドリング性を大幅に向上させることができる。
【0037】
比率Ｗｃ／Ｈｃが０．３以上４以下である関係が満たされる範囲内の一実施形態において、上記観点から、Ｗｃ／Ｈｃは、０．４以上４以下であることが好ましく、０．５以上４以下であることがより好ましく、０．６以上４以下であることがさらにより好ましく、０．７以上４以下であることが一層好ましく、０．８以上４以下であることがより一層好ましく、０．９以上４以下であることがさらにより一層好ましく、１以上４以下であることが最も好ましい。
比率Ｗｃ／Ｈｃが０．３以上４以下である関係が満たされる範囲内の別の実施形態において、上記観点から、Ｗｃ／Ｈｃは、０．４以上３以下であることが好ましく、０．５以上３以下であることがより好ましく、０．６以上３以下であることがさらにより好ましく、０．７以上３以下であることが一層好ましく、０．８以上３以下であることがより一層好ましく、０．９以上３以下であることがさらにより一層好ましく、１以上３以下であることが最も好ましい。
比率Ｗｃ／Ｈｃが０．３以上４以下である関係が満たされる範囲内のさらなる別の実施形態において、上記観点から、Ｗｃ／Ｈｃは、０．４以上２以下であることが好ましく、０．５以上２以下であることがより好ましく、０．６以上２以下であることがさらにより好ましく、０．７以上２以下であることが一層好ましく、０．８以上２以下であることがより一層好ましく、０．９以上２以下であることがさらにより一層好ましく、１以上２以下であることが最も好ましい。
比率Ｗｃ／Ｈｃが０．３以上４以下である関係が満たされる範囲内の別の実施形態において、上記観点から、Ｗｃ／Ｈｃは、０．４以上３以下であることが好ましく、０．５以上３以下であることがより好ましく、０．６以上３以下であることがさらにより好ましく、０．７以上３以下であることが一層好ましく、０．８以上３以下であることがより一層好ましく、０．９以上３以下であることがさらにより一層好ましく、１以上３以下であることが最も好ましい。
比率Ｗｃ／Ｈｃが０．３以上４以下である関係が満たされる範囲内のさらなる別の実施形態において、上記観点から、Ｗｃ／Ｈｃは、０．４以上２以下であることが好ましく、０．５以上２以下であることがより好ましく、０．６以上２以下であることがさらにより好ましく、０．７以上２以下であることが一層好ましく、０．８以上２以下であることがより一層好ましく、０．９以上２以下であることがさらにより一層好ましく、１以上２以下であることが最も好ましい。
【0038】
好ましい一実施形態において、本発明に係る焼成治具において敷板と組み合わせられるセッターは、少なくとも一部にメッシュ状部位を含むセラミックスシートであり、このメッシュ状部位は、所与の間隔で配置された各条が一方向に延伸された複数条の第１線条部で構成される第１線条部層、および、第１線条部の各条の上に接してこれと交差するように所与の間隔で配置された、各条が一方向に延伸された複数条の第２線条部で構成される第２線条部層を含み、第１線条部層と第２線条部層とが一体的に形成された部位であるセラミックスシートであってよい。セッターがメッシュ状部位を一部に含む場合、セッターのメッシュ状部位以外の部位は、いかなる公知のセッターの構造が採用されてもよい。一実施形態において、全体が一体的に形成されたメッシュ状のセラミックスシート焼結体であるセッターを用いてもよい。
本発明に係る焼成治具の一実施形態において、セッター（の全部または一部）がメッシュ状セラミックスシートを含むセッターである場合、第２線条部層の第１線条部層に対する接面がセッターの敷板に対する近接面をなし、第１線条部層を構成する第１線条部がセッターの凸部をなす。
本発明に係る焼成治具の一実施形態において、セッター（の全部または一部）がメッシュ状セラミックスシートを含むセッターである場合、第２線条部層の第１線条部層に対する接面がセッターの敷板に対する近接面をなし、第１線条部層を構成する第１線条部がセッターの凸部をなす。
【0039】
ここで、第１線条部層と第２線条部層とが「一体的に形成された」メッシュ状の焼結体であることは、第１線条部層を構成する線条群と第２線条部層を構成する線条群とが、それらの接触箇所にて一体的な構造を成すように焼成・連結されて、容易に分離できないように形成されていることを意味する。一実施形態において、第１線条部層と第２線条部層とは、第１線条部層を構成する線条群と第２線条部層を構成する線条群とが、それらの接触箇所にて一体的な構造を成すように焼成・連結されて、容易に分離できないように形成されており、かつ、第１線条部層と第２線条部層とが、あるいは各線条部層の異なる部分同士が単一の組成から形成されていてよい。他の一実施形態において、第１線条部層と第２線条部層とは、第１線条部層を構成する線条群と第２線条部層を構成する線条群とが、それらの接触箇所にて一体的な構造を成すように焼成・連結されて、容易に分離できないように形成されており、かつ、第１線条部層と第２線条部層とが、あるいは各線条部層の異なる部分同士が異なる複数の組成から形成されていてよい。
【0040】
図９に、セッターのメッシュ状部位の一実施形態が例示されている。図９において、メッシュ状部位１１は、略一定の間隔で配置された各条が一方向に延伸された複数条の第１線条部１２で構成される第１線条部層、およびこの第１線条部１２の各条の上に接してこれを交差するように略一定の間隔で配置された、各条が一方向に延伸された複数条の第２線条部１３で構成される第２線条部層を含む。両線条部１２、１３の交差角度は適宜設定され得るが、例えば第１線条部１２に対して第２線条部１３の交差角度を９０度とすることができる。あるいは、第１線条部１２に対する第２線条部１３の交差角度を９０度±１０度の範囲で変更させることもできる。第１線条部１２の断面形状は、特に限定されないが、図示されているように略円形または略楕円形であってよい。また、第２線条部１３の断面形状は、特に限定されないが、図示されているように上部にて直線をなし、下部にてこの直線の両端部を起点とする曲線（すなわち、略円形または略楕円形の一部が直線状に切断された形状）をなして、第２線条部１３全体の上面（すなわち第２線条部層の上面）が１つの平坦面を形成していてよい。第１線条部１２および第２線条部１３の断面形状は、上述された略円形、略楕円形以外に、略矩形等の略多角形、あるいはこの一部が直線状に切断された形状を採り得る。
【0041】
別の実施形態において、セッターのメッシュ状部位は、第１線条部および第２線条部を有することに加えて、一方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第３線条部を更に有してよい（これによって第３線条部層が構成されていてよい）。このとき、本実施形態においては第３線条部が延びる方向は、第１線条部が延びる方向と同方向であってもよく、第１線条部が延びる方向に対して、斜め方向（例えば－４５°よりも大きく且つ４５°よりも小さい方向）に傾斜していてもよい。そして、このように第３の線条部が形成される場合、第２線条部の断面形状は略円形または略楕円形であってよく、第３線条部の断面形状は、上部にて直線をなし、下部にてこの直線の両端部を起点とする曲線（すなわち、略円形または略楕円形の一部が直線状に切断された形状）をなして、第３線条部全体の上面（すなわち第３線条部層の上面）が１つの平坦面を形成していてよい。
これと同様にして、更に第４線条部、あるいは更にそれ以降の線条部を形成することもできる。
これと同様にして、更に第４線条部、あるいは更にそれ以降の線条部を形成することもできる。
【0042】
好ましい一実施形態において、全体が単一種の材料で一体的に形成されたメッシュ状のセラミックスシート焼結体であるセッターを用いてよい。このようなセッターを用いることにより、セラミックスシート全体の強度が非常に高くなり、またセッターの効率的な製造にもつながる。また、好ましい一実施形態において、メッシュ状部位がセラミックスシートの一部を占める場合、メッシュ状部位とメッシュ状部位以外の部位とは一体的に形成されたセラミックスシート燒結体であってよい。メッシュ状部位とメッシュ状部位以外の部位とが一体的に形成された燒結体を構成する場合、両者の原料粉を同じにすることにより、セラミックスシート全体の強度が高められると共に、焼成時の加熱・冷却の熱履歴（膨張・収縮の繰り返し）による接合強度の低下が防止され得る。
【0043】
セラミックスシートのメッシュ状部位は、一実施形態において、第１線条部と第２線条部とのいずれの交差部にても、第１線条部の断面が円形または楕円形の形状を有しており、第２線条部の断面が直線部と該直線部の両端部を端部とする凸形の曲線部とから構成される形状（略弓形状）を有しており、しかも、交差部の縦断面視で、第２線条部における凸形の曲線部の頂部と第１線条部における円形または楕円形における上向きに凸の頂部のみが接触している構成（いわゆる点接触の構成）を有することができる。
【0044】
またセラミックスシートのメッシュ状部位は、他の一実施形態において、第１線条部の断面が、第１線条部と第２線条部との交差部以外の部位にて、円形または楕円形の形状を有しており、第２線条部の断面が、交差部以外の部位にて、直線部と、該直線部の両端部を端部とする凸形の曲線部とから構成される形状（略弓形状）を有しており、かつ第１線条部と第２線条部とが、それぞれ一点のみではなく、面で接触した交差部を成している構成を備えることができる。この構成は、上記のいわゆる点接触に対して面接触の構造と称され得る。
【0045】
このような面接触による上記構造例の下位概念に相当する一実施形態において、セラミックスシートのメッシュ状部位は、第１線条部の断面が、第１線条部と第２線条部との交差部以外の部位にて、円形または楕円形の形状を有しており、第２線条部の断面が、交差部以外の部位にて、直線部と、該直線部の両端部を端部とする凸形の曲線部とから構成される形状（略弓形状）を有しており、しかも、第１線条部の平面視での投影像が、交差部にて、幅方向外方に向けて湾曲膨出した形状になっており、それによって交差部における投影像の幅が交差部以外の部位における投影像の幅よりも大きくなっている構成を有することができる。
【0046】
またセラミックスシートのメッシュ状部位は、更なる他の一実施形態において、第１線条部の断面が、第１線条部と第２線条部との交点以外の部位において、円形または楕円形の形状を有しており、第２線条部の断面が、第１線条部と第２線条部との交点以外の部位において、直線部と該直線部の両端部を端部とする凸形の曲線部とから構成される形状（略弓形状）を有しており、この焼結体は平面視での輪郭の少なくとも一部に直線辺部を有しており、第１線条部および第２線条部とこの直線辺部（外辺）とがそれぞれ独立に１０度以上１７０以下の角度で（すなわち非直角である角度を含む幅広い角度範囲にて）交わっている構造を備えていてよい。
【0047】
またセラミックスシートのメッシュ状部位は、更なる他の一実施形態において、複数の第１線条部および複数の第２線条部に加えて、第１線条部と第２線条部とが交差することで画成される四辺形の対角線上を通るセラミックス製の複数の第３の線条部とを有し、第１線条部、第２線条部および第３の線条部によって画成される複数の三角形の貫通孔が形成されている板状のセラミックス構造体であってよい。
【0048】
メッシュ状部位がセラミックスシートの一部を占める場合のメッシュ状部位以外の部位は、特に限定されないが、例えば、微細な気孔を多数設けたセラミックス板状体（板状体の異なる領域で異なる気孔径／異なる気孔密度を有するものを含む）や、メッシュ以外の形状で第１線条部層（支持体層）および第２線条部層が配置されたシート（一例としてはいわゆる簀子状のシート）等が挙げられる。
【0049】
セッターおよび敷板の製造方法
以降にて、セッターおよび敷板の製造方法を説明するが、これらは非限定的な一例として理解されるべきである。
以降にて、セッターおよび敷板の製造方法を説明するが、これらは非限定的な一例として理解されるべきである。
【0050】
本発明に係る焼成治具を構成するセッターの製造方法は、敷板に対する近接面の一部に上記要件を満たす凸部を含むセッターを製造することが可能である限りは特に限定されない。
セッターを製造するための原料粉は、特に限定されず、種々のセラミックス素材を含んでいてよい。セラミックス原料粉として用いられるセラミックス素材の例としては、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ムライト（３Ａｌ２Ｏ３－２ＳｉＯ２）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、コージェライト（ＭｇＯ／Ａｌ２Ｏ３／ＳｉＯ２）、チタン酸アルミニウム（Ａｌ２ＴｉＯ５）、チタン酸マグネシウム（ＭｇＴｉＯ３）、二硼化チタン（ＴｉＢ２）などの１種または２種以上の組み合わせが挙げられる。また、これらのセラミックス素材の１種または２種以上の組み合わせである原料粉を用いて製造された焼結体も自ずと、これらの素材から生じ得る組成を有することになる。原料ペースト中のセラミックス原料粉の質量割合は、ペースト全体の質量に対して、通常２０質量％以上８５質量％以下であってよく、３０質量％以上７５質量％以下であることが好ましい。
セッターを製造するための原料粉は、特に限定されず、種々のセラミックス素材を含んでいてよい。セラミックス原料粉として用いられるセラミックス素材の例としては、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ムライト（３Ａｌ２Ｏ３－２ＳｉＯ２）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、コージェライト（ＭｇＯ／Ａｌ２Ｏ３／ＳｉＯ２）、チタン酸アルミニウム（Ａｌ２ＴｉＯ５）、チタン酸マグネシウム（ＭｇＴｉＯ３）、二硼化チタン（ＴｉＢ２）などの１種または２種以上の組み合わせが挙げられる。また、これらのセラミックス素材の１種または２種以上の組み合わせである原料粉を用いて製造された焼結体も自ずと、これらの素材から生じ得る組成を有することになる。原料ペースト中のセラミックス原料粉の質量割合は、ペースト全体の質量に対して、通常２０質量％以上８５質量％以下であってよく、３０質量％以上７５質量％以下であることが好ましい。
【0051】
セッターは、全体が単一の組成で形成されていてもよいし、異なる複数の組成から形成された部分の組み合わせでもよい。一実施形態において、全体が単一種の材料で一体的に形成されたセッターを用いてもよい。
以降においては、セッターがメッシュ状部位を含むセラミックスシートである場合の製造方法を中心に説明するが、これ以外のセッターについても以降の説明に準じた手法により製造され得ることを当業者は理解するであろう。
以降においては、セッターがメッシュ状部位を含むセラミックスシートである場合の製造方法を中心に説明するが、これ以外のセッターについても以降の説明に準じた手法により製造され得ることを当業者は理解するであろう。
【0052】
セッターがメッシュ状部位を含むセラミックスシートである実施形態において、メッシュ状部位の第１線条部層と第２線条部層とが、あるいは各線条部層の異なる部分同士が単一の組成から形成されていてよい。他の一実施態様において、メッシュ状部位の第１線条部層と第２線条部層とが、あるいは各線条部層の異なる部分同士が異なる複数の組成から形成されていてよい。一実施形態において、全体が単一種の材料で一体的に形成されたメッシュ状のセラミックスシート焼結体であるセッターを用いてもよい。このようなセッターを用いることにより、セラミックスシート全体の強度が非常に高くなり、またセッターの効率的な製造にもつながる。
【0053】
原料ペーストに用いられるセラミックス原料粉の平均粒径は、通常０．１～２０μｍの範囲であってよく、好ましくは０．２～１０μｍの範囲であってよい。ここでのセラミックス原料粉の平均粒径は、レーザ回折・散乱法による体積累積中位径 (Ｄ５０)の値である。セラミックス原料粉の平均粒径が上記範囲内であることによって、焼成後の構造的な強度・安定性が増大し、崩壊の可能性が低減された焼結体を得ることが可能になる。
【0054】
メッシュ状部位の第１線条部層および第２線条部層の前駆体である成形体を作成するための原料ペーストの媒体としては、通常、水が用いられる。水以外の媒体としては、アルコール、アセトンおよび酢酸エチルなども用いられる。これらの媒体を２種類以上混合してもよい。原料ペーストにおける媒体の質量割合は、ペースト全体の質量に対して、通常１０質量％以上６０質量％以下であってよく、１５質量％以上５５質量％以下であることが好ましい。
【0055】
メッシュ状部位の第１線条部層および第２線条部層の前駆体である成形体を作成するための原料ペーストは、任意選択で公知のいずれかの焼結助剤を適当量で含んでいてよい。また、原料ペーストは公知のいずれかの結合剤を含んでよい。原料ペーストにおける結合剤の質量割合は、原料ペーストの全質量に対して、例えば０質量％以上４０質量％以下であってよく、１質量％以上４０質量％以下であることが好ましい。
【0056】
原料ペーストの粘度は、線条塗工体の塗布時の温度において高粘度であることが、線条塗工体を首尾よく製造し得る点から好ましい。原料ペーストの粘度は、特に限定されないが、塗布時の温度（典型的には約２５℃等の室温）において１．５ＭＰａ・ｓ以上５．０ＭＰａ・ｓ以下であることが好ましい。ここでの原料ペーストの粘度は、コーンプレート型回転式粘度計またはレオメーターを用いて、回転数０．３ｒｐｍにて測定開始後４分時の測定値を指す。原料ペーストには、粘性調整剤として、公知のいずれかの増粘剤、凝集剤、チクソトロピック剤などを含有させることができる。
【0057】
メッシュ状部位の第１線条部層および第２線条部層の前駆体である成形体を得るための吐出装置からの吐出量を安定させるため、原料ペーストは、例えば、公知のいずれかの可塑剤、潤滑剤、分散剤、沈降抑制剤、ｐＨ調整剤などを含んでもよい。
【0058】
このようにして得られた原料ペーストを吐出装置から平坦な基板上に吐出することによって、所与の間隔で配置された各条が一方向に延伸された複数条の第１線条塗工体を形成する。第１線条塗工体はメッシュ状部位の第２線条部に対応するものである。
吐出装置としては、例えば小型押し出し機や印刷機などの公知の種々の装置を用いることができる。これらの吐出装置は、典型的に、ノズルを有するディスペンサを備えていてよい。第１線条塗工体が吐出された後、第１線条塗工体に含まれている媒体を除去して乾燥させ、粘度を高める操作を行うことができる。媒体除去操作後の第１線条塗工体における媒体の割合は、好ましくは５０質量％以下、より好ましくは３０質量％以下にまで低減されていてよい。
吐出装置としては、例えば小型押し出し機や印刷機などの公知の種々の装置を用いることができる。これらの吐出装置は、典型的に、ノズルを有するディスペンサを備えていてよい。第１線条塗工体が吐出された後、第１線条塗工体に含まれている媒体を除去して乾燥させ、粘度を高める操作を行うことができる。媒体除去操作後の第１線条塗工体における媒体の割合は、好ましくは５０質量％以下、より好ましくは３０質量％以下にまで低減されていてよい。
【0059】
次いで原料ペーストを用いて、第１線条塗工体の各条の上に接してこれと交差するように所与の間隔で配置された、各条が一方向に延伸された複数条の第２線条塗工体を形成する。第２線条塗工体は、メッシュ状部位の第１線条部に対応するものである。第２線条塗工体を形成するための原料ペーストは、第１線条塗工体を形成するための原料ペーストと同一であっても異なっていてよいが、線条塗工体形成の効率性、ならびに、生産するセラミックスシート焼結体の構造および物性の一体性の観点から、同一であることがより好ましい。
【0060】
成形体として形成される複数条の第１線条塗工体および複数条の第２線条塗工体の具体的な形状は、上述した種々のメッシュ状部位の所望の形状に適合させるように構築することができる。
【0061】
追加の一実施形態において、原料ペーストを用いて、第２線条塗工体の各条の上に接して第１線条塗工体および第２線条塗工体と交差するように所与の間隔で配置された、各条が一方向に延伸された複数条の第３線条塗工体を任意選択的に形成してもよい。任意選択の第３線条塗工体を形成するための原料ペーストは、第１／第２線条塗工体を形成するための原料ペーストと同一であっても異なっていてよいが、線条塗工体形成の効率性、ならびに、生産するメッシュ状部位の構造および物性の一体性の観点から、同一であることがより好ましい。
【0062】
このようにして得られた複数条の第１線条塗工体および複数条の第２線条塗工体を含む成形体を基板（成形体の形成作業台）から剥離して焼成治具（焼成炉）内に配置し、焼成することによって、目的とするメッシュ状部位が得られる。焼成により、複数条の第１線条部で構成される第１線条部層、および複数条の第２線条部で構成される第２線条部層を含むメッシュ状部位は、通常、各部材の接着剤による物理的結合を含まない一体的な構造物である焼結体として構築される。
【0063】
メッシュ状部位を得るための焼成プロセスは、必要に応じて、大気雰囲気中（大気圧下）で行ってもよいし、例えば窒素などの不活性ガスによる加圧下にて行ってもよい。焼成温度は、セラミックス素材の原料粉の種類に応じて適切な温度を選択すればよい。焼成時間に関しても同様である。焼成温度の非限定的な例としては、５００℃以上、８００℃以上、または１０００℃以上であってよく、４０００℃以下、３５００℃以下、または３０００℃以下であってよい。焼成時間の非限定的な例としては、３０分以上、１時間以上または２時間以上であってよく、２４時間以下、１２時間以下、または６時間以下であってよい。
【0064】
セッターの一部または全部がメッシュ状部位を含むセラミックスシートである実施形態では、メッシュ状部位において、第２線条部層の第１線条部層に対する接面がセッターの敷板に対する近接面Ｓをなし、第１線条部層を構成する第１線条部がセッターの凸部をなすから、凸部を別途形成する必要はない。
【0065】
メッシュ状部位を含むセラミックスシート以外のセッターにおいては、セッターのセラミックスシート表面の平坦面上に、長手方向に略均一な断面を備える凸部を別途形成する必要がある。この場合、セラミックスシート（凸部以外の基部）とその表面の平坦面上に設けられる凸部とは、同じ原料（すなわち同じセラミックス原料粉および添加剤の混合物を含む原料）から形成されていても、異なる原料から形成されていてもよい。セラミックスシート（凸部以外の基部）とその表面の平坦面上に設けられる凸部とは、焼成時の加熱・冷却の熱履歴（膨張・収縮の繰り返し）による接合強度の低下およびこれに起因する凸部のシートからの剥離を抑制する観点から、同じ原料から形成されていることがより好ましい。
【0066】
例えば、表面の平坦面上に長手方向に略均一な断面を備える凸部が別途形成されたセッターのセラミックスシートは、プレス型、鋳込み成形、振動成形などの公知のいずれかの成型方法で、一体の成形体を形成した後に、メッシュ状部位の焼成プロセスについて上述したものと同様の条件にて焼成することによって製造することができる。
別法として、表面の平坦面上に長手方向に略均一な断面を備える凸部が別途形成されたセッターのセラミックスシートの製造のため、メッシュ状部位を含むセラミックスシートを製造する際に上記原料ペーストを吐出装置から平坦な基板上に吐出して第１線条塗工体を形成し次いで焼成するのと同様の手法を採用することができる。あるいは、表面の平坦面上に長手方向に略均一な断面を備える凸部が別途形成されたセッターのセラミックスシートは、セラミックスシート（凸部以外）およびその表面の平坦面上に設けられる凸部のそれぞれの成形体の形成および焼成を個別に行った後、セラミックスシート（凸部以外）の焼結体の上面の所定の領域に凸部の焼結物を、公知のいずれかのセラミックス用接着剤などで接合することもできる。このようなセラミックス用接着剤の非限定的な例としては、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂またはポリアミドイミド系樹脂を含む接着剤組成物や、アルミナなどの耐火性セラミックスおよび無機ポリマーを主成分とする無機系接着剤組成物（例えば、東亜合成株式会社製「アロンセラミック」等）などを挙げることができる。
また、更なる別法として、表面の平坦面上に長手方向に略均一な断面を備える凸部が別途形成されたセッターのセラミックスシートは、セラミックスシート（凸部以外）の成形体を形成した後、あるいはこの成形体を焼成して焼結体を製造した後に、その表面に機械加工を施して凸部を形成することによって得ることもできる。このような機械加工の例としては、特に限定されないが、ドリルやヤスリなどの刃物工具を用いた切削、研磨加工等を挙げることができる。
別法として、表面の平坦面上に長手方向に略均一な断面を備える凸部が別途形成されたセッターのセラミックスシートの製造のため、メッシュ状部位を含むセラミックスシートを製造する際に上記原料ペーストを吐出装置から平坦な基板上に吐出して第１線条塗工体を形成し次いで焼成するのと同様の手法を採用することができる。あるいは、表面の平坦面上に長手方向に略均一な断面を備える凸部が別途形成されたセッターのセラミックスシートは、セラミックスシート（凸部以外）およびその表面の平坦面上に設けられる凸部のそれぞれの成形体の形成および焼成を個別に行った後、セラミックスシート（凸部以外）の焼結体の上面の所定の領域に凸部の焼結物を、公知のいずれかのセラミックス用接着剤などで接合することもできる。このようなセラミックス用接着剤の非限定的な例としては、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂またはポリアミドイミド系樹脂を含む接着剤組成物や、アルミナなどの耐火性セラミックスおよび無機ポリマーを主成分とする無機系接着剤組成物（例えば、東亜合成株式会社製「アロンセラミック」等）などを挙げることができる。
また、更なる別法として、表面の平坦面上に長手方向に略均一な断面を備える凸部が別途形成されたセッターのセラミックスシートは、セラミックスシート（凸部以外）の成形体を形成した後、あるいはこの成形体を焼成して焼結体を製造した後に、その表面に機械加工を施して凸部を形成することによって得ることもできる。このような機械加工の例としては、特に限定されないが、ドリルやヤスリなどの刃物工具を用いた切削、研磨加工等を挙げることができる。
【0067】
本発明に係る焼成治具を構成する敷板の製造方法は、セッターに対する近接面の一部に上記要件を満たす条溝部を含む敷板を製造することが可能である限りは、特に限定されない。
敷板を製造するためのセラミックス原料粉および添加剤は、セッターについて上述された事項の中から同様に適宜選択され得る。例えば、敷板のセラミックス原料粉は、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ムライト（３Ａｌ２Ｏ３－２ＳｉＯ２）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、コージェライト（ＭｇＯ／Ａｌ２Ｏ３／ＳｉＯ２）、チタン酸アルミニウム（Ａｌ２ＴｉＯ５）、チタン酸マグネシウム（ＭｇＴｉＯ３）、二硼化チタン（ＴｉＢ２）などの１種または２種以上の組み合わせであってよい。
敷板を製造するためのセラミックス原料粉および添加剤は、セッターについて上述された事項の中から同様に適宜選択され得る。例えば、敷板のセラミックス原料粉は、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ムライト（３Ａｌ２Ｏ３－２ＳｉＯ２）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、コージェライト（ＭｇＯ／Ａｌ２Ｏ３／ＳｉＯ２）、チタン酸アルミニウム（Ａｌ２ＴｉＯ５）、チタン酸マグネシウム（ＭｇＴｉＯ３）、二硼化チタン（ＴｉＢ２）などの１種または２種以上の組み合わせであってよい。
【0068】
条溝部を含む敷板は、プレス型、鋳込み成形、振動成形などの公知のいずれかの成型方法で、表面に所望の断面形状および長手方向の長さを有する条溝が穿たれた一体の成形体を形成した後に、メッシュ状部位の焼成プロセスについて上述したものと同様の条件にて焼成することによって製造することができる。
別法として、条溝部を含む敷板は、敷板の基材部（条溝を有しないもの）の成形体を形成した後、あるいは敷板の基材部の成形体を焼成して焼結体を製造した後に、その表面に機械加工を施して条溝を形成することによって得ることもできる。このような機械加工の例としては、特に限定されないが、ドリルやヤスリなどの刃物工具を用いた切削、研磨加工等を挙げることができる。
別法として、条溝部を含む敷板は、敷板の基材部（条溝を有しないもの）の成形体を形成した後、あるいは敷板の基材部の成形体を焼成して焼結体を製造した後に、その表面に機械加工を施して条溝を形成することによって得ることもできる。このような機械加工の例としては、特に限定されないが、ドリルやヤスリなどの刃物工具を用いた切削、研磨加工等を挙げることができる。
【実施例】
【0069】
メッシュ状セラミックスシート１のセッターの製造
（１）線条塗工体形成用のペーストの調製
平均粒径０．８μｍの３モル％イットリア添加部分安定化ジルコニア粉６５．３部と、水系結合剤としてヒドロキシプロピルメチルセルロース（平均重合度：３０万ｇ／ｍｏｌ）５．０部と、可塑剤として、グリセリン２．５部と、ポリカルボン酸系分散剤（分子量１２０００）１．１部と、水２６．１部とを混合し、脱泡してペーストを調製した。ペーストの粘度は２５℃において２．３ＭＰａ・ｓであった。
（２）線条塗工体の形成
前記のペーストを原料とし、直径４．０ｍｍの断面円形ノズルを有するディスペンサを用いて樹脂基板上に線条第１塗工体を形成した。次いでドライヤーを用いて線条第１塗工体に熱風を吹き付け水を除去して線条第１塗工体を乾燥させた。乾燥後の線条第１塗工体の水の含有量は１０％であった。引き続き線条第１塗工体に交差する線条第２塗工体を形成した。両線条塗工体の交差角度は９０度とした。ドライヤーを用いて線条第２塗工体に熱風を吹き付け、水を除去して線条第２塗工体を乾燥させた。乾燥後の線条第２塗工体の水の含有量は８％であった。これらの操作によって、垂直に交差した第１線条体（線条第２塗工体の乾燥物）と第２線条体（線条第１塗工体の乾燥物）からなる格子状前駆体を得た。
（３）焼成工程
乾燥後の格子状前駆体を樹脂基板から剥離した後、大気焼成炉内に載置した。この焼成炉内で脱脂および焼成を行って、ジルコニア製のメッシュ状セラミックスシート１を得た。焼成温度は１４５０℃とし、焼成時間は３時間とした。メッシュ状セラミックスシート１においては、第１線条部（断面形状は略円形である）と第２線条部（断面形状は略円形の一部が直線状に切断された形状）とは、それらの交差部において点接触していた。得られたメッシュ状ジルコニア製シート１における第１線条部の最大幅員（平面視における設計方向である長手方向に対して垂直方向の長さ、すなわち第１線条部の長手方向に垂直な断面の、セッターの敷板に対する近接面に平行な方向の最大幅員）Ｗｃは４．０ｍｍであった。また第１線条部の断面形状は略円形であったから、第１線条部の最大高さ（第１線条部の長手方向に垂直な断面の、セッターの敷板に対する近接面に垂直な方向の最大高さ）Ｈｃは、Ｗｃと同じ４．０ｍｍであると見積もられた。第１線条部間の間隔は０．１ｍｍであった。すなわち、メッシュ状セラミックスシート１における貫通孔の寸法（目開き寸法）は０．１ｍｍ□であり、貫通孔の面積は０．０１ｍｍ２であった。メッシュ状セラミックスシート１における各線条部と辺部との角度は４５°であり、第１線条部と第２線条部との交差角は９０°であった。メッシュ状セラミックスシート１の外形寸法は、縦３００ｍｍ×横３００ｍｍであった。従って、本例において、セッターであるメッシュ状セラミックスシート１の敷板（後述）に対する近接面の輪郭内体積ｂは９００００ｍｍ２であった（セッターの敷板への戴置の際に近接面Ｓを垂直視するとき、敷板の輪郭からはみ出る領域が生じないように後述の敷板を設計した）。メッシュ状セラミックスシート１の第１線条部の最大幅員Ｗｃに対する第１線条部の長手方向の両端部間の長さＬｃ（ここではシートの縦横寸法と同一の長さをもって代表的な両端部間の長さと定義する）のアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃは７５であり、第１線条部の最大高さＨｃに対する第１線条部の最大幅員Ｗｃの比率Ｗｃ／Ｈｃは１．０と見積もられた。また、メッシュ状セラミックスシート１が敷板（後述）に戴置されるときに、全ての凸部（第１線条部）が敷板（後述）の条溝部に収容され得るように設計されていることを前提とした場合、条溝部に収容される凸部の投影面積の合計ａは、デジタルマイクロスコープ（キーエンス製、商品名「ＶＨＸ－５０００」）を用いた画像解析により６９６００ｍｍ２であった。
本セッターの縦横の外形寸法およびこれによって決定されるセッターの輪郭内面積ｂ、ならびに、第１線条部の最大幅員Ｗｃ（と最大高さＨｃ）、第１線条部間の間隔、およびこれらを調整することによって決定される凸部の投影面積の合計ａを表１に示す。
（１）線条塗工体形成用のペーストの調製
平均粒径０．８μｍの３モル％イットリア添加部分安定化ジルコニア粉６５．３部と、水系結合剤としてヒドロキシプロピルメチルセルロース（平均重合度：３０万ｇ／ｍｏｌ）５．０部と、可塑剤として、グリセリン２．５部と、ポリカルボン酸系分散剤（分子量１２０００）１．１部と、水２６．１部とを混合し、脱泡してペーストを調製した。ペーストの粘度は２５℃において２．３ＭＰａ・ｓであった。
（２）線条塗工体の形成
前記のペーストを原料とし、直径４．０ｍｍの断面円形ノズルを有するディスペンサを用いて樹脂基板上に線条第１塗工体を形成した。次いでドライヤーを用いて線条第１塗工体に熱風を吹き付け水を除去して線条第１塗工体を乾燥させた。乾燥後の線条第１塗工体の水の含有量は１０％であった。引き続き線条第１塗工体に交差する線条第２塗工体を形成した。両線条塗工体の交差角度は９０度とした。ドライヤーを用いて線条第２塗工体に熱風を吹き付け、水を除去して線条第２塗工体を乾燥させた。乾燥後の線条第２塗工体の水の含有量は８％であった。これらの操作によって、垂直に交差した第１線条体（線条第２塗工体の乾燥物）と第２線条体（線条第１塗工体の乾燥物）からなる格子状前駆体を得た。
（３）焼成工程
乾燥後の格子状前駆体を樹脂基板から剥離した後、大気焼成炉内に載置した。この焼成炉内で脱脂および焼成を行って、ジルコニア製のメッシュ状セラミックスシート１を得た。焼成温度は１４５０℃とし、焼成時間は３時間とした。メッシュ状セラミックスシート１においては、第１線条部（断面形状は略円形である）と第２線条部（断面形状は略円形の一部が直線状に切断された形状）とは、それらの交差部において点接触していた。得られたメッシュ状ジルコニア製シート１における第１線条部の最大幅員（平面視における設計方向である長手方向に対して垂直方向の長さ、すなわち第１線条部の長手方向に垂直な断面の、セッターの敷板に対する近接面に平行な方向の最大幅員）Ｗｃは４．０ｍｍであった。また第１線条部の断面形状は略円形であったから、第１線条部の最大高さ（第１線条部の長手方向に垂直な断面の、セッターの敷板に対する近接面に垂直な方向の最大高さ）Ｈｃは、Ｗｃと同じ４．０ｍｍであると見積もられた。第１線条部間の間隔は０．１ｍｍであった。すなわち、メッシュ状セラミックスシート１における貫通孔の寸法（目開き寸法）は０．１ｍｍ□であり、貫通孔の面積は０．０１ｍｍ２であった。メッシュ状セラミックスシート１における各線条部と辺部との角度は４５°であり、第１線条部と第２線条部との交差角は９０°であった。メッシュ状セラミックスシート１の外形寸法は、縦３００ｍｍ×横３００ｍｍであった。従って、本例において、セッターであるメッシュ状セラミックスシート１の敷板（後述）に対する近接面の輪郭内体積ｂは９００００ｍｍ２であった（セッターの敷板への戴置の際に近接面Ｓを垂直視するとき、敷板の輪郭からはみ出る領域が生じないように後述の敷板を設計した）。メッシュ状セラミックスシート１の第１線条部の最大幅員Ｗｃに対する第１線条部の長手方向の両端部間の長さＬｃ（ここではシートの縦横寸法と同一の長さをもって代表的な両端部間の長さと定義する）のアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃは７５であり、第１線条部の最大高さＨｃに対する第１線条部の最大幅員Ｗｃの比率Ｗｃ／Ｈｃは１．０と見積もられた。また、メッシュ状セラミックスシート１が敷板（後述）に戴置されるときに、全ての凸部（第１線条部）が敷板（後述）の条溝部に収容され得るように設計されていることを前提とした場合、条溝部に収容される凸部の投影面積の合計ａは、デジタルマイクロスコープ（キーエンス製、商品名「ＶＨＸ－５０００」）を用いた画像解析により６９６００ｍｍ２であった。
本セッターの縦横の外形寸法およびこれによって決定されるセッターの輪郭内面積ｂ、ならびに、第１線条部の最大幅員Ｗｃ（と最大高さＨｃ）、第１線条部間の間隔、およびこれらを調整することによって決定される凸部の投影面積の合計ａを表１に示す。
【0070】
メッシュ状セラミックスシート２～４および６～８のセッター、ならびに比較用セラミックスシート９のセッターの製造
セッターの縦横の外形寸法およびこれによって決定されるセッターの輪郭内面積ｂ、ならびに、第１線条部の最大幅員Ｗｃ、第１線条部間の間隔、およびこれらを調整することによって決定される凸部の投影面積の合計ａを表１に示すように変更した以外は、セッター用メッシュ状セラミックスシート１と同様に、セラミックスシート２～４および６～８ならびに比較用セラミックスシート９のセッターを製造した。
これらのセッターの縦横の外形寸法およびこれによって決定されるセッターの輪郭内面積ｂ、ならびに、第１線条部の最大幅員Ｗｃ、第１線条部間の間隔、およびこれらを調整することによって決定される凸部の投影面積の合計ａを表１に示す。
セッターの縦横の外形寸法およびこれによって決定されるセッターの輪郭内面積ｂ、ならびに、第１線条部の最大幅員Ｗｃ、第１線条部間の間隔、およびこれらを調整することによって決定される凸部の投影面積の合計ａを表１に示すように変更した以外は、セッター用メッシュ状セラミックスシート１と同様に、セラミックスシート２～４および６～８ならびに比較用セラミックスシート９のセッターを製造した。
これらのセッターの縦横の外形寸法およびこれによって決定されるセッターの輪郭内面積ｂ、ならびに、第１線条部の最大幅員Ｗｃ、第１線条部間の間隔、およびこれらを調整することによって決定される凸部の投影面積の合計ａを表１に示す。
【0071】
セラミックスシート５のセッターの製造
上記セラミックスシート１についての線条塗工体形成用のペーストと同一組成の原料を用いて、縦寸法１５０ｍｍ×横寸法１５０ｍｍ（輪郭内面積ｂ＝２２５００ｍｍ２）のセラミックス成形体を用意した。このセラミックス成形体の表面の平坦面上に、直径１．０ｍｍの断面円形ノズルを有するディスペンサを用いて、同原料で１４８ｍｍの間隔を空けて２本の線条塗工体を形成し、次いで上記セラミックスシート１と同一条件にて焼成工程を行い、セラミックスシート５のセッターを得た。
この線条塗工体から得られたセッターの凸部の長手方向に垂直な断面の、セッターの敷板に対する近接面に平行な方向の最大幅員Ｗｃは１．０ｍｍであった。凸部の断面形状は略円形の一部がシートの平坦面により直線状に切断された形状であった。凸部の最大高さ（凸部の長手方向に垂直な断面の、セッターの敷板に対する近接面に垂直な方向の最大高さ）Ｈｃは、０．５ｍｍと見積もられた。また、セラミックスシート５の凸部の最大幅員Ｗｃに対する凸部の長手方向の両端部間の長さＬｃのアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃは１５０であり、凸部の最大高さＨｃに対する凸部の最大幅員Ｗｃの比率Ｗｃ／Ｈｃは２．０と見積もられた。
本セッターの縦横の外形寸法およびこれによって決定されるセッターの輪郭内面積ｂ、ならびに、凸部の最大幅員Ｗｃ、凸部間の間隔、およびこれらを調整することによって決定される凸部の投影面積の合計ａを表１に示す。
上記セラミックスシート１についての線条塗工体形成用のペーストと同一組成の原料を用いて、縦寸法１５０ｍｍ×横寸法１５０ｍｍ（輪郭内面積ｂ＝２２５００ｍｍ２）のセラミックス成形体を用意した。このセラミックス成形体の表面の平坦面上に、直径１．０ｍｍの断面円形ノズルを有するディスペンサを用いて、同原料で１４８ｍｍの間隔を空けて２本の線条塗工体を形成し、次いで上記セラミックスシート１と同一条件にて焼成工程を行い、セラミックスシート５のセッターを得た。
この線条塗工体から得られたセッターの凸部の長手方向に垂直な断面の、セッターの敷板に対する近接面に平行な方向の最大幅員Ｗｃは１．０ｍｍであった。凸部の断面形状は略円形の一部がシートの平坦面により直線状に切断された形状であった。凸部の最大高さ（凸部の長手方向に垂直な断面の、セッターの敷板に対する近接面に垂直な方向の最大高さ）Ｈｃは、０．５ｍｍと見積もられた。また、セラミックスシート５の凸部の最大幅員Ｗｃに対する凸部の長手方向の両端部間の長さＬｃのアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃは１５０であり、凸部の最大高さＨｃに対する凸部の最大幅員Ｗｃの比率Ｗｃ／Ｈｃは２．０と見積もられた。
本セッターの縦横の外形寸法およびこれによって決定されるセッターの輪郭内面積ｂ、ならびに、凸部の最大幅員Ｗｃ、凸部間の間隔、およびこれらを調整することによって決定される凸部の投影面積の合計ａを表１に示す。
【0072】
【表1】
【0073】
敷板１の製造
原料として、アルミナを６５質量部、シリカを３５質量部にバインダーとしてポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を含む混合材料を用いて前駆体となる成形体を得た後、焼成温度１７００℃、焼成時間４時間の焼成条件にて矩形状の敷板１を得た。敷板１の周縁全体に高さ３ｍｍ、頂部幅７ｍｍの矩形状の周壁部を設け、これによって敷板１の表面に縦３００ｍｍ×横３００ｍｍのメッシュ状セラミックスシート１が戴置されるとき、シートの全体が収まると共に、敷板の全周にわたりシートの端部と矩形状の周壁部との間に３ｍｍの間隙が付与されるようにこれらの寸法取りを行った。
成形体にプレス型で加工を施すことによって、敷板１の周壁部を除く表面の全体に、セラミックスシート１の第１線条部である凸部の全てが収容され得るようにＶ字型の条溝部を設けた。この敷板１のＶ字型のプレス加工は、表２に示すように、敷板の条溝部の深さＤｇ（平均深さＤｇ・ａｖ：上述の定義に従い、この場合は任意の１０個の深さの平均値）が１．００ｍｍであり、条溝部の最大幅員Ｗｐ（条溝部の長手方向に垂直な断面の、敷板のセッターに対する近接面Ｐに平行な方向の最大幅員）が４．００ｍｍであり、条溝部間の垂直最短距離Ｉｇ（この場合は各条溝部間の垂直最短距離の平均値）が０．１ｍｍであり、比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖが０．１であるように行った。
原料として、アルミナを６５質量部、シリカを３５質量部にバインダーとしてポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を含む混合材料を用いて前駆体となる成形体を得た後、焼成温度１７００℃、焼成時間４時間の焼成条件にて矩形状の敷板１を得た。敷板１の周縁全体に高さ３ｍｍ、頂部幅７ｍｍの矩形状の周壁部を設け、これによって敷板１の表面に縦３００ｍｍ×横３００ｍｍのメッシュ状セラミックスシート１が戴置されるとき、シートの全体が収まると共に、敷板の全周にわたりシートの端部と矩形状の周壁部との間に３ｍｍの間隙が付与されるようにこれらの寸法取りを行った。
成形体にプレス型で加工を施すことによって、敷板１の周壁部を除く表面の全体に、セラミックスシート１の第１線条部である凸部の全てが収容され得るようにＶ字型の条溝部を設けた。この敷板１のＶ字型のプレス加工は、表２に示すように、敷板の条溝部の深さＤｇ（平均深さＤｇ・ａｖ：上述の定義に従い、この場合は任意の１０個の深さの平均値）が１．００ｍｍであり、条溝部の最大幅員Ｗｐ（条溝部の長手方向に垂直な断面の、敷板のセッターに対する近接面Ｐに平行な方向の最大幅員）が４．００ｍｍであり、条溝部間の垂直最短距離Ｉｇ（この場合は各条溝部間の垂直最短距離の平均値）が０．１ｍｍであり、比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖが０．１であるように行った。
【0074】
このようにＶ字型の条溝部が表面に設けられた敷板１および下記の例による敷板に、凸部を有するセラミックスシートが収容される際の敷板の条溝部の深さＤｇｅと、セッターの凸部の長手方向に垂直な断面の、セッターの敷板に対する近接面に垂直な方向の最大高さＨｃｅとの関係の概略を図１０に例示する。この図にて、７ｅはセッターの本体（基部）、７Ｓｅは、セッターの敷板に対する近接面、８ｅはセッターの凸部、９ｅは敷板の本体（基部）、９Ｐｅは敷板のセッターに対する近接面、１０ｅは敷板のＶ字型条溝、Ｈｃｅはセッターの凸部の最大高さ、Ｄｇｅは敷板の条溝部の深さ、Ｄｇ’は敷板のセッターに対する近接面９Ｐｅから凸部８ｅの最低位置までの距離を意味する。
この敷板１および下記の例による敷板のようにＶ字型の条溝部が表面に設けられている場合には、セッターの凸部８ｅが敷板の条溝部１０ｅに収容される際、図１０に示すように、セッターの凸部８ｅの垂直方向における最低位置と条溝部１０ｅの垂直方向における最低位置とが接触していない。
従って、この敷板１については、敷板の条溝部の深さＤｇｅのセッターの凸部の最大高さＨｃｅに対する比率Ｄｇｅ／Ｈｃｅが十分な大きさとなるように、敷板のセッターに対する近接面９Ｐｅから凸部８ｅの最低位置までの距離をＤｇ’のＨｃｅに対する比率Ｄｇ’／Ｈｃｅが０．１以上の範囲を満たすように条溝部の設計を行った。Ｄｇ’は、凸部の最大高さＨｃｅから、セッターの敷板に対する近接面７Ｓｅと敷板のセッターに対する近接面９Ｐｅとの間（セッターの本体７ｅと敷板の本体９ｅの隙間）の垂直距離を引いて算出することができる。
この敷板１および下記の例による敷板のようにＶ字型の条溝部が表面に設けられている場合には、セッターの凸部８ｅが敷板の条溝部１０ｅに収容される際、図１０に示すように、セッターの凸部８ｅの垂直方向における最低位置と条溝部１０ｅの垂直方向における最低位置とが接触していない。
従って、この敷板１については、敷板の条溝部の深さＤｇｅのセッターの凸部の最大高さＨｃｅに対する比率Ｄｇｅ／Ｈｃｅが十分な大きさとなるように、敷板のセッターに対する近接面９Ｐｅから凸部８ｅの最低位置までの距離をＤｇ’のＨｃｅに対する比率Ｄｇ’／Ｈｃｅが０．１以上の範囲を満たすように条溝部の設計を行った。Ｄｇ’は、凸部の最大高さＨｃｅから、セッターの敷板に対する近接面７Ｓｅと敷板のセッターに対する近接面９Ｐｅとの間（セッターの本体７ｅと敷板の本体９ｅの隙間）の垂直距離を引いて算出することができる。
【0075】
敷板２～８および比較用敷板９の製造
セッターであるセラミックスシート２～８および比較用セラミックスシート９のそれぞれの全体が収まると共に、敷板の全周にわたり上記周壁部を設けた矩形状とし、プレス型での加工によって表２に示す形状（深さＤｇ（平均深さＤｇ・ａｖ）、最大幅員Ｗｐ、垂直最短距離Ｉｇ、比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖ）の条溝部を設けた以外は敷板１と同様に、敷板２～８および比較用敷板９を製造した。
なお、敷板２～６および比較用敷板９については、敷板１と同様に比率Ｄｇ’／Ｈｃｅが０．１以上の範囲を満たすように条溝部の設計を行った（図１０を再度参照）。敷板７および敷板８については、それぞれ、比率Ｄｇ’／Ｈｃｅが０．０５以上および０．０２以上の範囲を満たすように条溝部の設計を行った。
セッターであるセラミックスシート２～８および比較用セラミックスシート９のそれぞれの全体が収まると共に、敷板の全周にわたり上記周壁部を設けた矩形状とし、プレス型での加工によって表２に示す形状（深さＤｇ（平均深さＤｇ・ａｖ）、最大幅員Ｗｐ、垂直最短距離Ｉｇ、比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖ）の条溝部を設けた以外は敷板１と同様に、敷板２～８および比較用敷板９を製造した。
なお、敷板２～６および比較用敷板９については、敷板１と同様に比率Ｄｇ’／Ｈｃｅが０．１以上の範囲を満たすように条溝部の設計を行った（図１０を再度参照）。敷板７および敷板８については、それぞれ、比率Ｄｇ’／Ｈｃｅが０．０５以上および０．０２以上の範囲を満たすように条溝部の設計を行った。
【0076】
【表2】
【0077】
実施例１～８および比較例１：焼成治具による摺動防止性評価
セッターの上記セラミックスシート１～８および比較用セラミックスシート９を、それらの各々に対応する上記敷板１～８および比較用敷板９の上に、敷板の周壁部を除く表面の全体にシートの凸部の全てが収容されるように戴置し、セッターと敷板とが組み合わせられた実施例１～８および比較例１の焼成治具を構成した。
実施例１～８および比較例１の焼成治具の各々について、セッターの凸部と敷板の条溝部との関係を表３に示す。
セッターの上記セラミックスシート１～８および比較用セラミックスシート９を、それらの各々に対応する上記敷板１～８および比較用敷板９の上に、敷板の周壁部を除く表面の全体にシートの凸部の全てが収容されるように戴置し、セッターと敷板とが組み合わせられた実施例１～８および比較例１の焼成治具を構成した。
実施例１～８および比較例１の焼成治具の各々について、セッターの凸部と敷板の条溝部との関係を表３に示す。
【0078】
【表3】
【0079】
実施例１～８および比較例１の焼成治具の各々を、下記の敷板傾斜試験および敷板振動試験に供した。
【0080】
敷板傾斜試験
上記実施例１～８および比較例１にて得られた敷板およびその上に戴置されたセラミックスシートのセッターの組み合わせからなる焼成治具について、凸部および条溝部の長手方向に対する４５°の角度を有する片端部をゆっくりと上昇させていき、セッターが敷板上で摺動を始めた際の敷板の傾き角度（°）を測定し、これを敷板傾斜時のセッターの移動開始角度と定義した。本試験の角度測定機器として、アイリス株式会社製の商品名「アズワン」型番ＢＢ０１Ｂの角度計を用いた。
敷板傾斜時のセッターの移動開始角度の評価基準は、以下のとおりとした。
ＡＡ（最良）：６０°以上
Ａ（良）：４０°以上６０°未満
Ｂ（可）：２０°以上４０°未満
Ｃ（不可）：２０°未満
上記実施例１～８および比較例１にて得られた敷板およびその上に戴置されたセラミックスシートのセッターの組み合わせからなる焼成治具について、凸部および条溝部の長手方向に対する４５°の角度を有する片端部をゆっくりと上昇させていき、セッターが敷板上で摺動を始めた際の敷板の傾き角度（°）を測定し、これを敷板傾斜時のセッターの移動開始角度と定義した。本試験の角度測定機器として、アイリス株式会社製の商品名「アズワン」型番ＢＢ０１Ｂの角度計を用いた。
敷板傾斜時のセッターの移動開始角度の評価基準は、以下のとおりとした。
ＡＡ（最良）：６０°以上
Ａ（良）：４０°以上６０°未満
Ｂ（可）：２０°以上４０°未満
Ｃ（不可）：２０°未満
【0081】
敷板振動試験
上記実施例１～８および比較例１にて得られた敷板およびその上に戴置されたセラミックスシートのセッターの組み合わせからなる焼成治具を振動試験機にセットし、レベル１０の強度で振動させ、セッターが敷板上で３ｍｍ摺動するまでの時間（秒）を測定し、これを敷板振動時のセッターの移動開始時間（セッター保持時間）と定義した。６０Ｈｚの振動試験機として、ＳＩＮＦＯＮＩＡ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ社製の商品名「ＶＩＢＲＡＴＯＲＹ ＰＡＣＫＥＲ，ＴＹＰＥ ＶＰ－４０」を用いた。
敷板振動時のセッターの移動開始時間の評価基準は、以下のとおりとした。
ＡＡ（最良）：５０秒以上以上
Ａ（良）：３０秒以上５０秒未満
Ｂ（可）：１０秒以上３０秒未満
Ｃ（不可）：１０秒未満
上記実施例１～８および比較例１にて得られた敷板およびその上に戴置されたセラミックスシートのセッターの組み合わせからなる焼成治具を振動試験機にセットし、レベル１０の強度で振動させ、セッターが敷板上で３ｍｍ摺動するまでの時間（秒）を測定し、これを敷板振動時のセッターの移動開始時間（セッター保持時間）と定義した。６０Ｈｚの振動試験機として、ＳＩＮＦＯＮＩＡ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ社製の商品名「ＶＩＢＲＡＴＯＲＹ ＰＡＣＫＥＲ，ＴＹＰＥ ＶＰ－４０」を用いた。
敷板振動時のセッターの移動開始時間の評価基準は、以下のとおりとした。
ＡＡ（最良）：５０秒以上以上
Ａ（良）：３０秒以上５０秒未満
Ｂ（可）：１０秒以上３０秒未満
Ｃ（不可）：１０秒未満
【0082】
上記実施例１～８および比較例１の各々について、敷板傾斜時のセッターの移動開始角度および敷板振動時のセッターの移動開始時間ならびにこれらの評価結果を表４に示す。
【0083】
【表4】
【0084】
これらの結果から、本発明に係る焼成治具によれば、セッターの輪郭内面積に対する凸部の投影面積の比率を特定範囲内に制御することにより、セッターの敷板上での摺動を十分に防止することが可能になることが分かった。
また、セッターの凸部の最大高さＨｃに対する凸部が収容される条溝部の深さＤｇの比率を特定範囲内に制御することによって、摺動防止効果を更に高めることが可能になることも分かった。
また、セッターの凸部の最大高さＨｃに対する凸部が収容される条溝部の深さＤｇの比率を特定範囲内に制御することによって、摺動防止効果を更に高めることが可能になることも分かった。
【0085】
なお、本発明に包含され得る諸態様または諸実施形態は、以下のとおり要約される。
［１］．
セッターと、このセッターが戴置される敷板とからなる焼成治具であって、
前記セッターは、前記敷板に対する近接面Ｓの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の線条をなす凸部を含み、
前記敷板は、前記セッターに対する近接面Ｐの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の条溝部を含み、
前記セッターが前記敷板に戴置されるとき、前記セッターの凸部の少なくとも１つが前記敷板の条溝部の少なくとも１つに収容されるように、前記凸部および前記条溝部が形成されており、
ここで、
前記セッターの近接面Ｓの輪郭内面積（ただし、前記セッターの前記敷板への戴置の際に、前記近接面Ｓを垂直視するとき、敷板の輪郭からはみ出る領域の面積を除く）をｂとし、
前記セッターが前記敷板に戴置されるときに、前記条溝部に収容される前記凸部の投影面積（ただし、ここでの投影面積は、前記セッターの近接面Ｓに平行な面における当該凸部の最大断面積を指す）の合計をａとするとき、
０．５≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０（式Ａ）の関係を満たす、
焼成治具。
［２］，
前記セッターの凸部が略平行に２つ以上形成されており、かつ前記敷板の条溝部が略平行に２つ以上形成されており、前記セッターの前記敷板への戴置の際、前記凸部の過半数が前記敷板の条溝部に収容されるように前記凸部および前記条溝部が形成されている、上記［１］項に記載の焼成治具。
［３］，
前記セッターの凸部が３つ以上の場合にはこれらの凸部は略等間隔で形成されており、および／または、前記敷板の条溝部が３つ以上の場合にはこれらの条溝部は略等間隔で形成されている、上記［２］項に記載の焼成治具。
［４］，
前記セッターの凸部の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃと、前記セッターの前記敷板への戴置の際、この凸部が収容される前記条溝部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｐに平行な方向の最大幅員Ｗｐとの割合Ｗｃ／Ｗｐが２以下である、上記［１］～［３］項のいずれか１項に記載の焼成治具。
［５］，
前記敷板の条溝部の平均深さ（前記条溝部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｐから垂直方向の最低位置までの長さについて各条溝部の平均値を指す）Ｄｇ・ａｖに対する、当該条溝部間の垂直最短距離（条溝部が３つ以上形成されている場合は、複数の垂直最短距離の平均値を指す）Ｉｇの比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖが０．０５以上６００以下である、上記［２］または［３］項に記載の焼成治具。
［６］，
前記セッターの凸部の少なくとも１つについて、その長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃに対する、その長手方向の両端部間の長さＬｃのアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃが１０以上である、上記［１］～［５］項のいずれか１項に記載の焼成治具。
［７］，
前記セッターの凸部の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに垂直な方向の最大高さＨｃに対する、前記セッターの前記敷板への戴置の際、この凸部が収容される前記条溝部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｐから垂直方向の最低位置までの深さＤｇの比率Ｄｇ／Ｈｃが０．１以上である、上記［１］～［６］項のいずれか１項に記載の焼成治具。
［８］，
前記セッターの凸部の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに垂直な方向の最大高さＨｃに対する、この凸部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃの比率Ｗｃ／Ｈｃが０．３以上４以下である、上記［１］～［７］項のいずれか１項に記載の焼成治具。
［９］，
前記セッターが、その少なくとも一部にメッシュ状セラミックスシートを含み、
このメッシュ状セラミックスシートは、所与の間隔で配置された各条が一方向に延伸された複数条の第１線条部で構成される第１線条部層、および、前記第１線条部の各条の上に接してこれと交差するように所与の間隔で配置された、各条が一方向に延伸された複数条の第２線条部で構成される第２線条部層を含み、前記第１線条部層と前記第２線条部層とが一体的に形成されているセラミックスシート焼結体であり、
前記第２線条部層の前記第１線条部層に対する接面が、前記セッターの近接面Ｓをなしており、前記第１線条部層を構成する第１線条部が、前記セッターの凸部をなしている、
上記［１］～［８］項のいずれか１項に記載の焼成治具。
［１］．
セッターと、このセッターが戴置される敷板とからなる焼成治具であって、
前記セッターは、前記敷板に対する近接面Ｓの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の線条をなす凸部を含み、
前記敷板は、前記セッターに対する近接面Ｐの一部に、長手方向に略均一な断面を備える１つまたは複数の条溝部を含み、
前記セッターが前記敷板に戴置されるとき、前記セッターの凸部の少なくとも１つが前記敷板の条溝部の少なくとも１つに収容されるように、前記凸部および前記条溝部が形成されており、
ここで、
前記セッターの近接面Ｓの輪郭内面積（ただし、前記セッターの前記敷板への戴置の際に、前記近接面Ｓを垂直視するとき、敷板の輪郭からはみ出る領域の面積を除く）をｂとし、
前記セッターが前記敷板に戴置されるときに、前記条溝部に収容される前記凸部の投影面積（ただし、ここでの投影面積は、前記セッターの近接面Ｓに平行な面における当該凸部の最大断面積を指す）の合計をａとするとき、
０．５≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０（式Ａ）の関係を満たす、
焼成治具。
［２］，
前記セッターの凸部が略平行に２つ以上形成されており、かつ前記敷板の条溝部が略平行に２つ以上形成されており、前記セッターの前記敷板への戴置の際、前記凸部の過半数が前記敷板の条溝部に収容されるように前記凸部および前記条溝部が形成されている、上記［１］項に記載の焼成治具。
［３］，
前記セッターの凸部が３つ以上の場合にはこれらの凸部は略等間隔で形成されており、および／または、前記敷板の条溝部が３つ以上の場合にはこれらの条溝部は略等間隔で形成されている、上記［２］項に記載の焼成治具。
［４］，
前記セッターの凸部の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃと、前記セッターの前記敷板への戴置の際、この凸部が収容される前記条溝部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｐに平行な方向の最大幅員Ｗｐとの割合Ｗｃ／Ｗｐが２以下である、上記［１］～［３］項のいずれか１項に記載の焼成治具。
［５］，
前記敷板の条溝部の平均深さ（前記条溝部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｐから垂直方向の最低位置までの長さについて各条溝部の平均値を指す）Ｄｇ・ａｖに対する、当該条溝部間の垂直最短距離（条溝部が３つ以上形成されている場合は、複数の垂直最短距離の平均値を指す）Ｉｇの比率Ｉｇ／Ｄｇ・ａｖが０．０５以上６００以下である、上記［２］または［３］項に記載の焼成治具。
［６］，
前記セッターの凸部の少なくとも１つについて、その長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃに対する、その長手方向の両端部間の長さＬｃのアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃが１０以上である、上記［１］～［５］項のいずれか１項に記載の焼成治具。
［７］，
前記セッターの凸部の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに垂直な方向の最大高さＨｃに対する、前記セッターの前記敷板への戴置の際、この凸部が収容される前記条溝部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｐから垂直方向の最低位置までの深さＤｇの比率Ｄｇ／Ｈｃが０．１以上である、上記［１］～［６］項のいずれか１項に記載の焼成治具。
［８］，
前記セッターの凸部の少なくとも１つの長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに垂直な方向の最大高さＨｃに対する、この凸部の長手方向に垂直な断面の前記近接面Ｓに平行な方向の最大幅員Ｗｃの比率Ｗｃ／Ｈｃが０．３以上４以下である、上記［１］～［７］項のいずれか１項に記載の焼成治具。
［９］，
前記セッターが、その少なくとも一部にメッシュ状セラミックスシートを含み、
このメッシュ状セラミックスシートは、所与の間隔で配置された各条が一方向に延伸された複数条の第１線条部で構成される第１線条部層、および、前記第１線条部の各条の上に接してこれと交差するように所与の間隔で配置された、各条が一方向に延伸された複数条の第２線条部で構成される第２線条部層を含み、前記第１線条部層と前記第２線条部層とが一体的に形成されているセラミックスシート焼結体であり、
前記第２線条部層の前記第１線条部層に対する接面が、前記セッターの近接面Ｓをなしており、前記第１線条部層を構成する第１線条部が、前記セッターの凸部をなしている、
上記［１］～［８］項のいずれか１項に記載の焼成治具。
【符号の説明】
【0086】
Ｃ：被焼成物
Ａ：セッター
Ｂ：多段積みで積層された敷板
Ｍ：多段積みの焼成治具（上記符号Ｃ、Ａ、Ｂ、Ｍは公知例を示す図１に関する。）
１：焼成治具（組み合わせ）
２：メッシュ状セラミックスシートのセッター
２Ｓ：セッターの敷板に対する近接面（図２の紙面裏側）
３：敷板
３Ｐ：敷板のセッターに対する近接面
４：敷板の基材部
５：敷板の周壁部（リブ）
６：セッターの凸部（図２に図示せず）に対応する敷板の条溝部
ＨＬ：敷板の開口部
７：セッターの本体（基部）
７Ｓ：セッターの敷板に対する近接面
８：セッターの凸部
９：敷板の本体（基部）
９Ｐ：敷板のセッターに対する近接面
１０：敷板の条溝部
ａ１：図３中左側の凸部の投影面積
ａ２：図３中右側の凸部の投影面積
Σａｘ：凸部の投影面積ａｘの合計
ｂ：セッターの敷板に対する近接面の輪郭内の面積
Ｗｃ：セッターの凸部の最大幅員
Ｗｐ：敷板の条溝部の最大幅員
Ｄｇ・ａｖ：敷板の条溝部の平均深さ
Ｉｇ：敷板の条溝部間の垂直最短距離
Ｌｃ：セッターの凸部の長手方向の両端部間の長さ
Ｈｃ：セッターの凸部の最大高さ
Ｄｇ：敷板の条溝部の深さ
１１：メッシュ状部位
１２：第１線条部
１３：第２線条部
７ｅ：セッターの本体（基部）
７Ｓｅ：セッターの敷板に対する近接面
８ｅ：セッターの凸部
９ｅ：敷板の本体（基部）
９Ｐｅ：敷板のセッターに対する近接面
１０ｅ：敷板の条溝部（Ｖ字型条溝）
Ｈｃｅ：セッターの凸部の最大高さ
Ｄｇｅ：敷板の条溝部の深さ
Ｄｇ’：敷板のセッターに対する近接面から凸部の最低位置までの距離（上記７ｅ以降は、実施例における概略図を示す。）
Ａ：セッター
Ｂ：多段積みで積層された敷板
Ｍ：多段積みの焼成治具（上記符号Ｃ、Ａ、Ｂ、Ｍは公知例を示す図１に関する。）
１：焼成治具（組み合わせ）
２：メッシュ状セラミックスシートのセッター
２Ｓ：セッターの敷板に対する近接面（図２の紙面裏側）
３：敷板
３Ｐ：敷板のセッターに対する近接面
４：敷板の基材部
５：敷板の周壁部（リブ）
６：セッターの凸部（図２に図示せず）に対応する敷板の条溝部
ＨＬ：敷板の開口部
７：セッターの本体（基部）
７Ｓ：セッターの敷板に対する近接面
８：セッターの凸部
９：敷板の本体（基部）
９Ｐ：敷板のセッターに対する近接面
１０：敷板の条溝部
ａ１：図３中左側の凸部の投影面積
ａ２：図３中右側の凸部の投影面積
Σａｘ：凸部の投影面積ａｘの合計
ｂ：セッターの敷板に対する近接面の輪郭内の面積
Ｗｃ：セッターの凸部の最大幅員
Ｗｐ：敷板の条溝部の最大幅員
Ｄｇ・ａｖ：敷板の条溝部の平均深さ
Ｉｇ：敷板の条溝部間の垂直最短距離
Ｌｃ：セッターの凸部の長手方向の両端部間の長さ
Ｈｃ：セッターの凸部の最大高さ
Ｄｇ：敷板の条溝部の深さ
１１：メッシュ状部位
１２：第１線条部
１３：第２線条部
７ｅ：セッターの本体（基部）
７Ｓｅ：セッターの敷板に対する近接面
８ｅ：セッターの凸部
９ｅ：敷板の本体（基部）
９Ｐｅ：敷板のセッターに対する近接面
１０ｅ：敷板の条溝部（Ｖ字型条溝）
Ｈｃｅ：セッターの凸部の最大高さ
Ｄｇｅ：敷板の条溝部の深さ
Ｄｇ’：敷板のセッターに対する近接面から凸部の最低位置までの距離（上記７ｅ以降は、実施例における概略図を示す。）
【要約】
セッターの摺動が効果的に防止され得る焼成治具の提供を課題とする。課題は、セッターと敷板とからなる焼成治具であって、セッターは、敷板に対する近接面Ｓの一部に長手方向に略均一な断面を備える１つ以上の線条をなす凸部を含み、敷板は、セッターに対する近接面Ｐの一部に長手方向に略均一な断面を備える１つ以上の条溝部を含み、セッターが敷板に戴置されるとき、凸部の少なくとも１つが条溝部の少なくとも１つに収容されるように凸部および条溝部が形成されており、近接面Ｓの輪郭内面積（セッターの敷板への戴置の際に近接面Ｓを垂直視するとき、敷板の輪郭からはみ出る領域の面積を除く）をｂとし、戴置のときに、条溝部に収容される凸部の投影面積（セッターの近接面Ｓに平行な面における当該凸部の最大断面積を指す）の合計をａとするとき０．５≦（ａ／ｂ）＊１００≦９０（式Ａ）の関係を満たす焼成治具により解決される。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】