特許 7531233 カラー光学検査装置及びこれを含むシステム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-01

(45)【発行日】2024-08-09

(54)【発明の名称】カラー光学検査装置及びこれを含むシステム

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/956 20060101AFI20240802BHJP

【ＦＩ】

G01N21/956 B

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2022088734

(22)【出願日】2022-05-31

(65)【公開番号】P2022184822

(43)【公開日】2022-12-13

【審査請求日】2022-05-31

(31)【優先権主張番号】10-2021-0069645

(32)【優先日】2021-05-31

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】522216385

【氏名又は名称】エーケーシー カンパニー，リミティド

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100092624

【弁理士】

【氏名又は名称】鶴田 準一

(74)【代理人】

【識別番号】100114018

【弁理士】

【氏名又は名称】南山 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100153729

【弁理士】

【氏名又は名称】森本 有一

(74)【代理人】

【識別番号】100151459

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 健一

(72)【発明者】

【氏名】タク ヒョン チン

(72)【発明者】

【氏名】ぺ チン ファン

(72)【発明者】

【氏名】ペ トン クク

(72)【発明者】

【氏名】キム サン ウク

(72)【発明者】

【氏名】ウィ チ ヨン

(72)【発明者】

【氏名】シン チャン ウォン

(72)【発明者】

【氏名】チュ トン チョル

(72)【発明者】

【氏名】イ サン フン

【審査官】井上 徹

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２０－２０４４８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１６８７９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１５２１４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１５０２９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１４／０３７６００６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／８４－Ｇ０１Ｎ ２１／９５８

Ｇ０１Ｂ １１／００－Ｇ０１Ｂ １１／３０

Ｈ０５Ｋ ３／３０－Ｈ０５Ｋ １３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板の上部に設けられ、前記基板のビアホールに光を照射する光源部と、
前記光源部の一側面に設けられ、前記ビアホールから反射される光を集光するレンズアセンブリと、
前記レンズアセンブリの上部に設けられ、前記レンズアセンブリで集光された光を検出してカラーイメージングを形成するセンサ部と、
前記センサ部から受信された前記カラーイメージングを介して前記ビアホールの不良の有無及び不良の種類を判断する判断部と、
を含み、
前記判断部は、前記カラーイメージングの色、彩度、及び明度を測定して色空間値を算出し、前記算出された前記色空間値から前記ビアホールの位置座標を算出し、前記各ビアホール位置に対して良品判定されたカラーイメージングと比較することで、前記ビアホールの不良の有無を判断する、
カラー光学検査装置。

【請求項2】

前記センサ部は、ピクセル分解能が１．０μｍ～１．５μｍであるＣＣＤセンサを含む、請求項１に記載のカラー光学検査装置。

【請求項3】

前記レンズアセンブリの内部には、前記光源部から照射される光の経路を変換するビームスプリッターが備えられる、請求項１に記載のカラー光学検査装置。

【請求項4】

前記ビームスプリッターは、前記光源部から照射される光は前記基板方向に反射させ、前記ビアホールから反射された光は前記センサ部方向に透過させる、請求項３に記載のカラー光学検査装置。

【請求項5】

基板が据置される光学検査ステージと、
前記光学検査ステージに設けられ、前記基板を検査する複数のカラー光学検査装置と、
を含み、
前記カラー光学検査装置は、
前記基板の上部に設けられ、前記基板のビアホールに光を照射する光源部と、
前記光源部の一側面に設けられ、前記ビアホールから反射される光を集光するレンズアセンブリと、
前記レンズアセンブリの上部に設けられ、前記レンズアセンブリで集光された光を検出してカラーイメージングを形成するセンサ部と、
前記センサ部から受信された前記カラーイメージングを介して前記ビアホールの不良の有無及び不良の種類を判断する判断部と、
を含み、
前記判断部は、前記カラーイメージングの色、彩度、及び明度を測定して色空間値を算出し、前記算出された前記色空間値から前記ビアホールの位置座標を算出し、前記各ビアホール位置に対して良品判定されたカラーイメージングと比較することで、前記ビアホールの不良の有無を判断する、
カラー光学検査システム。

【請求項6】

前記カラー光学検査装置は、前記基板を３等分して撮影するように３個が配置される、請求項５に記載のカラー光学検査システム。

【請求項7】

前記光学検査ステージは、
テーブルと、
前記テーブル上に設けられ、前記基板を第１方向に移送する第１移送部と、
前記基板の上部に設けられ、前記カラー光学検査装置が装着される検査装置装着部と、
を含む、請求項５に記載のカラー光学検査システム。

【請求項8】

前記検査装置装着部は、前記第１方向に対して垂直に交差する第２方向に沿って前記カラー光学検査装置を線型移送する第２移送部が備えられる、請求項７に記載のカラー光学検査システム。

【請求項9】

前記第２移送部は、前記カラー光学検査装置がそれぞれ装着されるように３個が設けられ、同時に駆動される、請求項８に記載のカラー光学検査システム。

【請求項10】

前記センサ部は、ピクセル分解能が１．０μｍ～１．５μｍであるＣＣＤセンサを含む、請求項５に記載のカラー光学検査システム。

【請求項11】

前記レンズアセンブリの内部には、前記光源部から照射される光の経路を変換するビームスプリッターが備えられる、請求項５に記載のカラー光学検査システム。

【請求項12】

前記ビームスプリッターは、前記光源部から照射される光は前記基板方向に反射させ、前記ビアホールから反射された光は前記センサ部方向に透過させる、請求項１１に記載のカラー光学検査システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

以下の実施形態は、カラー光学検査装置及びこれを含むシステムに関する。

【背景技術】

【0002】

最近、電子製品の小型化及び高性能化により微細回路を検査するためのパラダイムの変化が生じている傾向である。通常、微細回路を検査するとき高倍率の光学検査装備で微細回路の表面を撮影し、撮影されたイメージを肉眼及びプログラムを介して検査する方法が主に使用されている。マイクロ単位の微細回路の表面を検査するためには、光学検査装備の光学的な性能が極めて重要である。しかし、高倍率、高分解能を有する光学検査装備は、Ｆ．Ｏ．Ｖ（Ｆｉｅｌｄ ｏｆＶｉｅｗ）が狭くて検査するのに長時間かかり、これは生産性を低下させる。また、高倍率、高分解能でイメージを処理すれば、イメージの容量が大きくなってイメージの処理時間が長くなるなど、様々な制約条件が伴うことになる。このような問題により従来における光学検査装備は、比較的に容量の小さい白黒（Ｍｏｎｏ）ＣＣＤが搭載されているカメラを用いている。しかし、白黒処理されたイメージは、本質的に様々な欠陥条件を検査するために限界が存在する。このような限界点から、光学的に高分解能を保持している状態でＦ．Ｏ．Ｖを広げて生産性を高め、カラーイメージを使用しながらもイメージの処理速度に支障のない光学検査装備及びシステムを開発する必要性が挙げられている。

【0003】

前述した背景技術は、発明者が本明細書の開示内容を導き出す過程で保持したり習得したものであり、必ず本出願前に一般公衆に公開された公知技術であるとは言えない。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

実施形態の目的は、カラーイメージを用いて検査正確度を高めながらも処理速度も減らし得るカラー光学検査装置及びこれを含むシステムを提供することにある。

【0005】

実施形態で解決しようとする課題は、以上で言及した課題に制限されず、言及されない他の課題は、下記の記載によって当業者にとって明確に理解できるものである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

実施形態に係るカラー光学検査装置及びこれを含むシステムを開示する。カラー光学検査装置は、基板の上部に設けられ、前記基板のビアホールに光を照射する光源部と、前記光源部の一側面に設けられ、前記ビアホールから反射される光を集光するレンズアセンブリと、前記レンズアセンブリの上部に設けられ、前記レンズアセンブリで集光された光を検出してカラーイメージングを形成するセンサ部と、前記センサ部から受信された前記カラーイメージングを介して不良の有無及び不良の種類を判断する判断部とを含んで構成される。

【0007】

一側面によると、前記センサ部は、ピクセル分解能が１．０μｍ～１．５μｍであるＣＣＤセンサを含むことができる。

【0008】

一側面によると、前記レンズアセンブリの内部には、前記光源部から照射される光の経路を変換するビームスプリッターが備えられることができる。

【0009】

一側面によると、前記ビームスプリッターは、前記光源部から照射される光は前記基板方向に反射させ、前記ビアホールから反射された光は前記センサ部方向に透過させることができる。

【0010】

カラー光学検査システムは、基板が据置される光学検査ステージと、前記光学検査ステージに設けられ、前記基板を検査する複数のカラー光学検査装置とを含み、前記カラー光学検査装置は、前記基板の上部に設けられ、前記基板のビアホールに光を照射する光源部と、前記光源部の一側面に設けられ、前記ビアホールから反射される光を集光するレンズアセンブリと、前記レンズアセンブリの上部に設けられ、前記レンズアセンブリで集光された光を検出してカラーイメージングを形成するセンサ部と、前記センサ部から受信された前記カラーイメージングを介して不良の有無及び不良の種類を判断する判断部とを含んで構成される。

【0011】

一側面によると、前記カラー光学検査装置は、前記基板を３等分して撮影するように３個が配置されることができる。

【0012】

一側面によると、前記光学検査ステージは、テーブルと、前記テーブル上に設けられ、前記基板を第１方向に移送する第１移送部と、前記基板の上部に設けられ、前記カラー光学検査装置が装着される検査装置装着部とを含むことができる。

【0013】

一側面によると、前記検査装置装着部は、前記第１方向に対して垂直に交差する第２方向に沿って前記カラー光学検査装置を線型移送する第２移送部が備えられることができる。

【0014】

一側面によると、前記第２移送部は、前記カラー光学検査装置がそれぞれ装着されるように３個が設けられ、同時に駆動されることができる。

【0015】

一側面によると、前記センサ部は、ピクセル分解能が１．０μｍ～１．５μｍであるＣＣＤセンサを含むことができる。

【0016】

一側面によると、前記レンズアセンブリの内部には、前記光源部から照射される光の経路を変換するビームスプリッターが備えられることができる。

【0017】

一側面によると、前記ビームスプリッターは、前記光源部から照射される光は前記基板方向に反射させ、前記ビアホールから反射された光は前記センサ部方向に透過させることができる。

【発明の効果】

【0018】

実施形態によると、カラー光学検査装置及びこれを含むシステムは、カラーイメージを撮影して検査の正確度を高め、検査速度も減らすことで生産性を高めることができる。

【0019】

一実施形態に係るカラー光学検査装置及びこれを含むシステムの効果は、以上で言及されたものなどに限定されず、言及されない更なる効果は、下記の記載によって当業者に明確に理解できるものである。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】一実施形態に係るカラー光学検査装置を示す図である。

【図2】図１に示す光源部の構成を概略的に示す図である。

【図3】図１に示す判断部から検出された不良タイプによる結果を示した写真である。

【図4】一実施形態に係るカラー光学検査システムを示す図である。

【図5】図４に示すカラー光学検査装置が判断部に接続されていることを示す図である。

【0021】

本明細書において添付される次の図面は、本発明の好適な実施形態を例示するものであって、発明の詳細な説明と共に本発明の技術的な思想を更に理解させる役割を果たすため、本発明は、そのような図面に記載された事項のみに限定されて解釈されることはない。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、添付の図面を参照して実施形態について詳説する。しかし、本明細書で開示する特定の構造的又は機能的な説明は単に実施形態を説明するための目的として例示したものであり、実施形態は様々な異なる形態で実施され、本発明は本明細書で説明した実施形態に限定されるものではない。実施形態に対する全ての変更、均等物ないし代替物が権利範囲に含まれているものと理解されなければならない。

【0023】

実施形態で用いられる用語は、単に、説明を目的として使用されたものであり、限定しようとする意図として解釈されることはない。単数の表現は、文脈上、明白に異なる意味をもたない限り複数の表現を含む。本明細書において、「含む」又は「有する」等の用語は明細書上に記載した特徴、数字、ステップ、動作、構成要素、部品又はこれらを組み合わせたものが存在することを示すものであって、１つ又はそれ以上の他の特徴や数字、ステップ、動作、構成要素、部品、又はこれを組み合わせたものなどの存在又は付加の可能性を予め排除しないものとして理解しなければならない。

【0024】

異なるように定義さがれない限り、技術的であるか又は科学的な用語を含むここで用いる全ての用語は、本実施形態が属する技術分野で通常の知識を有する者によって一般的に理解されるものと同じ意味を有する。一般的に用いられる予め定義された用語は、関連技術の文脈上で有する意味と一致する意味を有するものと解釈すべきであって、本明細書で明白に定義しない限り、理想的又は過度に形式的な意味として解釈されることはない。

【0025】

また、添付図面を参照して説明することにおいて、図面符号に関係なく、同じ構成要素は同じ参照符号を付与し、これに対する重複する説明は省略することにする。実施形態の説明において、関連する公知技術に対する具体的な説明が実施形態の要旨を不要に曖昧にするものと判断される場合、その詳細な説明を省略する。

【0026】

また、実施形態の構成要素の説明において、第１，第２，Ａ，Ｂ，（ａ），（ｂ）などの用語を使用することがある。このような用語は、その構成要素を他の構成要素と区別するためのものにすぎず、その用語によって該当の構成要素の本質や順番又は順序などが限定されない。

【0027】

いずれか一つの実施形態に含まれている構成要素と、共通の機能を含む構成要素は、他の実施形態で同じ名称を用いて説明することにする。反対となる記載がない以上、いずれか一つの実施形態に記載した説明は、他の実施形態にも適用され、重複する範囲において具体的な説明は省略することにする。

【0028】

図面を参照して、カラー光学検査装置１及びこれを用いたシステム２について説明する。参考として、図１は、一実施形態に係るカラー光学検査装置１を示す図であり、図２は、図１に示す光源部１０の構成を概略的に示す図であり、図３は、図１に示す判断部１３から検出された不良タイプによる結果を示した写真であり、図４は、一実施形態に係るカラー光学検査システム２を示す図であり、図５は、図４に示すカラー光学検査装置１が判断部１３に接続されている状態を示す図である。

【0029】

図１～図２を参照すると、カラー光学検査装置１は、光源部１０、レンズアセンブリ１１、センサ部１２、及び判断部１３を含んで構成されている。

【0030】

基板Ｓは、金属層Ｍ上に樹脂層Ｆが積層され、樹脂層Ｆ上に保護膜層Ｂが積層され、保護膜層Ｂと樹脂層Ｆを貫通してビアホールＶが形成されている。ビアホールＶの底面Ｒは、金属層Ｍが露出されている。

【0031】

ここで、ビアホールＶを形成したとき、底面Ｒに樹脂層Ｆが一部残存している場合、底面Ｒの表面の粗さが不均一である場合、金属層まで貫通される場合などの不良が生じる恐れがある。

【0032】

カラー光学検査装置１は、ビアホールＶに対するカラーイメージを形成し、ビアホールＶで発生する不良及び不良の種類を判断することができる。

【0033】

光源部１０は、検査対象となる基板Ｓの上部に設けられ、基板Ｓに形成されたビアホールＶに光を照射する。例えば、光源部１０から出射される光は、可視光線帯域の白色光であってもよい。

【0034】

光源部１０は、光照射部１０１、及びビームスプリッター１０２を含んで構成される。光照射部１０１は、基板Ｓの方向に光を照射するように備えられる。光照射部１０１の端部には、光量を調節するための絞り１０１１を含んでもよい。また、絞り１０１１の前方には偏光フィルタ１０１２が設けられ、絞り１０１１を通過した光を調節することができる。

【0035】

ビームスプリッター１０２は、光源部１０から照射される光の経路を変換する。ビームスプリッター１０２は、例えば、２つのミラー１０２ａ，１０２ｂで構成されている。ここで、ビームスプリッター１０２は、基板Ｓの上部に備えられる第１ミラー１０２ａと、光源部１０から照射される光の経路上に備えられる第２ミラー１０２ｂにより構成される。第２ミラー１０２ｂは、光源部１０から入射される光を第１ミラー１０２ａに反射させ、第１ミラー１０２ａは、入射される光を基板Ｓの上部に反射させ、ビアホールＶに入射されるようにする。そして、第１ミラー１０２ａは、ビアホールＶから反射された光をセンサ部１２の方向に透過させる。ここで、ビアホールＶから反射された光は、ビアホールＶの不良タイプに応じて光の反射角が変わる得る。

【0036】

ビームスプリッター１０２の配置構造及び個数は示すように限定されず、変動可能である。

【0037】

レンズアセンブリ１１は、光源部１０の一側面に設けられ、ビアホールＶで反射される光を集光する。レンズアセンブリ１１は、光軸上に一列に配置されているレンズの束からなる。レンズアセンブリ１１の一端部１１１は、ビームスプリッター１０２から反射された光を集めてビアホールＶの中心において焦点を形成する。ビアホールＶから反射された光は、再びレンズアセンブリ１１の一端部１１１及びビームスプリッター１０２を透過し、センサ部１２に到達する。ここで、レンズアセンブリ１１の一端部１１１は、特定帯域の光を遮断するようにフィルタ部１１１１が備えられることができる。例えば、フィルタ部１１１１は、ダイクロイックフィルタ（ｄｉｃｈｒｏｉｃ ｆｉｌｔｅｒ）を用いてもよい。ダイクロイックフィルタは、紫外線及び赤外線を遮断して可視光線を透過させることでイメージングの感度を向上させ、フレア効果も減少させ得る。センサ部１２は、フィルタ部１１１１を用いて紫外線及び赤外線帯域の除去された可視光線帯域の光を使用することで、より精密にビアホールＶの不良の有無を検出することができる。

【0038】

また、レンズアセンブリ１１は、レンズアセンブリ１１の垂直方向距離を移動させることで焦点距離を制御するよう、レンズアセンブリ駆動部（図示せず）を含んでもよい。例えば、レンズアセンブリ駆動部（図示せず）は、レンズアセンブリ１１の一側面に設けられ、レンズアセンブリ１１に駆動力を提供してレンズアセンブリ１１を垂直方向距離に移動させて焦点を合わせることができる。

【0039】

センサ部１２は、レンズアセンブリ１１で集光された光を検出し、カラーイメージングを形成する。ここで、センサ部１２は、幅が約１６、０００個のピクセルである１６Ｋの解像度を有することが好ましい。

【0040】

センサ部１２は、ピクセル分解能が１．０μｍ～１．５μｍであるＣＣＤセンサ１２１を含んでもよい。センサ部１２は、ピクセル分解能及びＦ．Ｏ．Ｖ（Ｆｉｅｌｄ ｏｆ Ｖｉｅｗ）を調節できるセンサ制御部１２３を含む。ここで、ピクセル分解能が低いほど検査精度は高くなるものの、検査速度は遅くなる。したがって、ピクセル分解能が１．５μｍであるＣＣＤセンサ１２１を使用することが好ましい。

【0041】

また、センサ部１２は、カラーイメージングで出力するために下部に色フィルタ１２２を含んでもよい。

【0042】

判断部１３は、センサ部１２から受信されたカラーイメージングにより不良有無及び不良の種類を判断する。

【0043】

図３を参照すると、判断部１３は、ピクセル分解能１．０μｍの条件で良品判定されたカラーイメージングｆを基準にして、ビアホールＶ不良の有無及び不良の種類を判断することができる。

【0044】

ビアホールＶの不良タイプとして、未加工、過加工、Ｈｏｌｅ Ｓｈｉｆｔ、Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ Ｆ／Ｍ（Ｆｏｒｅｉｇｎ Ｍａｔｅｒｉａｌ）、ビアホール底のレジン残留、ホールサイズ不良、及び真円度不良などが挙げられる。一例として、コンタミネーション（Ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ）は、ビアホールＶの底が外部異質物により汚染された場合（ａ）であり、Ｈｏｌｅ Ｓｈｉｆｔは、ビアホールＶが設定された位置からずれて形成された場合（ｂ）であり、過加工は、ビアホールＶの設定された深さを超過して形成された場合（ｃ）であり、レジン残留は、ビアホールＶの底にレジンが完全に除去されず、残余物が残っている場合（ｄ）であり、Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ Ｆ／Ｍは、透明性異質物が浸透した場合に発生した場合（ｅ）である。

【0045】

このように、判断部１３は、カラーイメージングの色空間値及びピクセルの内部ホールサイズを測定し、不良を判断できる不良判定アルゴリズムを適用することができる。例えば、判断部１３は、ピクセル分解能１．５μｍの条件において、１ピクセル内のホールサイズを測定し、良品判定されたカラーイメージングｆと比較して未加工業、過加工、Ｈｏｌｅ ｓｈｉｆｔ、ホールサイズ不良、及び真円度不良などに対する不良の有無を判断することができる。

【0046】

また、判断部１３は、カラーイメージングの色、彩度、及び明度を測定して色空間値を算出し、算出された色空間値からビアホールの位置座標を抽出し、各ビアホールの位置について良品判定されたカラーイメージングｆと比較することで、Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ Ｆ／Ｍ又はビアホール底のレジン残留に対する不良の有無を判断することができる。

【0047】

一方、カラー光学検査装置１及び光学検査ステージ２０を含んで光学検査システム２を形成する。

【0048】

図４を参照すると、カラー光学検査システム２は、光学検査ステージ２０及び複数のカラー光学検査装置１を含んで構成される。

【0049】

ここで、カラー光学検査装置１は複数備えられる。例えば、カラー光学検査装置１は、第１カラー光学検査装置１ａ、第２カラー光学検査装置１ｂ、及び第３カラー光学検査装置１ｃの３個が設けられ、各カラー光学検査装置１ａ，１ｂ，１ｃは、基板Ｓを３等分して撮影するように配置されてもよい。

【0050】

光学検査ステージ２０は、検査対象となる基板Ｓが据置され、基板Ｓに振動が加えられないように防止し、各カラー光学検査装置１ａ，１ｂ，１ｃが基板Ｓ上部において動けるようにする役割を果たす。

【0051】

光学検査ステージ２０は、テーブル２０１、第１移送部２０２、及び検査装置装着部２０３を含んで構成される。

【0052】

テーブル２０１は多孔質セラミック材質から構成され、平面から見ると、長方形の定盤形態を有する。また、テーブル２０１は、精密加工され平坦度が１０μｍ～２０μｍレベルで形成されてもよい。また、テーブル２０１は、表面に複数の微細ホールが形成され、テーブル２０１の下部でエアを吸入してテーブル２０１の上部に据置された基板Ｓを固定させることができる。例えば、微細ホールは、１０μｍ～１５μｍの直径で形成され、エアを吸入するとき、テーブル２０１の上部の基板Ｓに７ｋｇ～９ｋｇの吸着力を加え、基板Ｓの反り（ｗａｒｐａｇｅ）を制御することができる。

【0053】

第１移送部２０２は、テーブル２０１上に設けられ、基板Ｓを第１方向に移送する。例えば、第１移送部２０２は、テーブル２０１の長手方向に基板Ｓを移送させることができる。例えば、第１移送部２０２は、基板Ｓの一側面に連結され、テーブル２０１の長手方向である第１方向に沿って基板Ｓを線型移送させることができる。

【0054】

検査装置装着部２０３は基板Ｓの上部に設けられ、カラー光学検査装置１が装着される。検査装置装着部２０３は、テーブル２０１の表面で所定の距離上部に位置するよう設けられ、テーブルに横切って設けられてもよい。

【0055】

検査装置装着部２０３は、カラー光学検査装置１を移送する第２移送部２０４を含む。

【0056】

第２移送部２０４は、カラー光学検査装置１が装着され、カラー光学検査装置１を第１方向に対して垂直に交差する第２方向に沿って線型移送させることができる。ここで、第２移送部２０４は、カラー光学検査装置１がそれぞれ装着されるよう３個が設けられ、同時に駆動されてもよい。

【0057】

本実施形態において、基板Ｓを移送する方向に対してカラー光学検査装置１が垂直に交差して移送させながら検査することについて例示したが、これは説明の便宜のためのもので、基板Ｓ又はカラー光学検査装置１のいずれか一方にのみ移送しながら検査することも可能である。

【0058】

判断部１３は、センサ部１２から受信された前記カラーイメージングを介して不良の有無及び不良の種類を判断する。

【0059】

判断部１３は、前処理部１３１，１３２，１３３を含む。前処理部１３１，１３２，１３３は、ＣＰＵ、メモリ、入出力インターフェースなどを備えるコンピュータであってもよい。

【0060】

図５を参照すると、センサ部１２の第１センサ部１２ａ，第２センサ部１２ｂ，第３センサ部１２ｃはそれぞれ外部の前処理部１３１，１３２，１３３と並列接続され、各前処理部１３１，１３２，１３３は、判断部１３に接続されている。

【0061】

３個のカラー光学検査装置１は、基板Ｓを３個に分割して撮影し、それぞれ撮影されたカラーイメージングは、外部に接続された前処理部１３１、１３２、１３３に伝達される。前処理部１３１、１３２、１３３は、センサ部１２からカラーイメージングデータを送受信して処理することができる。前処理部１３１、１３２、１３３が複数備えられることで、判断部１３は、高解像度のカラーイメージングファイルを効率よく処理することができ、処理速度を改善することができる。前処理部１３１、１３２、１３３を経たカラーイメージングファイルは、最終的に判断部１３に伝送され、判断部１３は、受信されたカラーイメージングを通じて不良の有無及び不良の種類を判断することができる。

【0062】

本実施形態によれば、カラー光学検査装置１及びこれを含むシステム２は、ビアホールＶのカラーイメージを撮影して検査の正確度を高めることができる。

【0063】

また、カラー光学検査装置１及びこれを含むシステム２は、微細ホールが形成された多孔質セラミック材質の光学検査ステージ２０を用いて基板Ｓの振動を防止し、ビアホールＶ検査の精密度を高めることができる。

【0064】

また、カラー光学検査装置１及びこれを含むシステム２は、複数の前処理部１３１，１３２，１３３を備え、カラーイメージングの処理速度を高めてビアホールＶの高容量のカラーイメージングを迅速に処理し、生産性を高めることができる。

【0065】

以上、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、当技術分野で通常の知識を有する者であれば、前記に基づいて様々な技術的な修正及び変形を適用することができる。例えば、説明された技術が説明された方法とは異なる順序に実行されたり、及び／又は説明されたシステム、構造、装置、回路などの構成要素が説明された方法とは異なる形態に結合又は組み合せわせられたり、他の構成要素又は均等物によって代替、置換されても適切な結果を達成することができる。

【0066】

従って、他の実現、他の実施形態及び特許請求の範囲と均等なものなども後述する請求の範囲の範囲に属する。
［構成１］
基板の上部に設けられ、前記基板のビアホールに光を照射する光源部と、
前記光源部の一側面に設けられ、前記ビアホールから反射される光を集光するレンズアセンブリと、
前記レンズアセンブリの上部に設けられ、前記レンズアセンブリで集光された光を検出してカラーイメージングを形成するセンサ部と、
前記センサ部から受信された前記カラーイメージングを介して不良の有無及び不良の種類を判断する判断部と、
を含むカラー光学検査装置。
［構成２］
前記センサ部は、ピクセル分解能が１．０μｍ～１．５μｍであるＣＣＤセンサを含む、構成１に記載のカラー光学検査装置。
［構成３］
前記レンズアセンブリの内部には、前記光源部から照射される光の経路を変換するビームスプリッターが備えられる、構成１に記載のカラー光学検査装置。
［構成４］
前記ビームスプリッターは、前記光源部から照射される光は前記基板方向に反射させ、前記ビアホールから反射された光は前記センサ部方向に透過させる、構成３に記載のカラー光学検査装置。
［構成５］
基板が据置される光学検査ステージと、
前記光学検査ステージに設けられ、前記基板を検査する複数のカラー光学検査装置と、
を含み、
前記カラー光学検査装置は、
前記基板の上部に設けられ、前記基板のビアホールに光を照射する光源部と、
前記光源部の一側面に設けられ、前記ビアホールから反射される光を集光するレンズアセンブリと、
前記レンズアセンブリの上部に設けられ、前記レンズアセンブリで集光された光を検出してカラーイメージングを形成するセンサ部と、
前記センサ部から受信された前記カラーイメージングを介して不良の有無及び不良の種類を判断する判断部と、
を含む、カラー光学検査システム。
［構成６］
前記カラー光学検査装置は、前記基板を３等分して撮影するように３個が配置される、構成５に記載のカラー光学検査システム。
［構成７］
前記光学検査ステージは、
テーブルと、
前記テーブル上に設けられ、前記基板を第１方向に移送する第１移送部と、
前記基板の上部に設けられ、前記カラー光学検査装置が装着される検査装置装着部と、
を含む、構成５に記載のカラー光学検査システム。
［構成８］
前記検査装置装着部は、前記第１方向に対して垂直に交差する第２方向に沿って前記カラー光学検査装置を線型移送する第２移送部が備えられる、構成７に記載のカラー光学検査システム。
［構成９］
前記第２移送部は、前記カラー光学検査装置がそれぞれ装着されるように３個が設けられ、同時に駆動される、構成８に記載のカラー光学検査システム。
［構成１０］
前記センサ部は、ピクセル分解能が１．０μｍ～１．５μｍであるＣＣＤセンサを含む、構成５に記載のカラー光学検査システム。
［構成１１］
前記レンズアセンブリの内部には、前記光源部から照射される光の経路を変換するビームスプリッターが備えられる、構成５に記載のカラー光学検査システム。
［構成１２］
前記ビームスプリッターは、前記光源部から照射される光は前記基板方向に反射させ、前記ビアホールから反射された光は前記センサ部方向に透過させる、構成１１に記載のカラー光学検査システム。

【符号の説明】

【0067】

１ カラー光学検査装置
１０ 光源部
１０１ 光照射部
１０１１ 絞り
１０１２ 偏光フィルタ
１０２ ビームスプリッター
１１ レンズアセンブリ
１１１ レンズアセンブリの端部
１１１１ フィルタ部
１２ センサ部
１２１ ＣＣＤセンサ
１２２ 色フィルタ
１２３ センサ制御部
１３ 判断部
２ カラー光学検査システム
２０ 光学検査ステージ
２０１ テーブル
２０２ 第１移送部
２０３ 検査装置装着部
２０４ 第２移送部
Ｓ 基板
Ｖ ビアホール

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】