特許 7531962 除塵装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-02

(45)【発行日】2024-08-13

(54)【発明の名称】除塵装置

(51)【国際特許分類】

   B08B 1/34 20240101AFI20240805BHJP

【ＦＩ】

B08B1/34

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2024534188

(86)(22)【出願日】2024-06-06

(86)【国際出願番号】 JP2024020681

【審査請求日】2024-06-07

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】392009342

【氏名又は名称】株式会社レヨーン工業

(74)【代理人】

【識別番号】110000121

【氏名又は名称】ＩＡＴ弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】藤井 隆明

【審査官】田村 惠里加

(56)【参考文献】

【文献】特開２００８－２１６４３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－５１４３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１１２２６９３０２（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０８Ｂ １／３４

Ｂ６５Ｈ ５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークの除塵を行うための除塵装置であって、
前記ワークの上面側または下面側から除塵を行う除塵ロールと、
前記除塵ロールに付着した塵埃を押圧状態で転写する粘着テープロールをその両端側で保持する一対の粘着テープホルダと、
前記粘着テープロールのテープ筒の内部に配置され、前記除塵ロールに対する前記粘着テープロールの軸方向における押圧力の変動を抑制するための均等押圧機構と、
を備え、
前記均等押圧機構は、
一対の前記粘着テープホルダを連結するように前記軸方向に延伸し、一対の前記粘着テープホルダの回転中心から偏心していると共に、前記粘着テープロールに対して非回転のホルダ軸と、
前記ホルダ軸の軸方向に沿って複数取り付けられ、前記テープ筒を内筒側から押圧する押圧ホルダと、
を備えることを特徴とする除塵装置。

【請求項2】

請求項１記載の除塵装置であって、
一対の前記粘着テープホルダは、
前記粘着テープロールに対して非回転の一対の内周連結部と、
一対の前記内周連結部に対して回転すると共に前記テープ筒の一端部および他端部にそれぞれ挿入される一対のテープ保持軸受とを備え、
前記ホルダ軸は、一対の前記内周連結部を連結する状態で前記軸方向に延伸し、
前記ホルダ軸に平行な状態で一対の前記内周連結部を連結することで、一対の前記粘着テープホルダの間での捻じれを防止する補強軸と、
を備えることを特徴とする除塵装置。

【請求項3】

請求項１記載の除塵装置であって、
前記除塵ロールは、その軸方向の両端が支持ブロックによって回転自在に軸支されていて、
前記除塵ロールには、前記ワークの上面側の除塵を行う上除塵ロールと、前記ワークの下面側の除塵を行う下除塵ロールとが設けられていて、
上側の前記粘着テープロールの押圧に際して、前記上除塵ロールの一端側と他端側との下降を同期させる除塵ロール同期機構が設けられていて、
前記除塵ロール同期機構は、
前記上除塵ロールに対して所定だけ離間しつつ平行な状態で配置され、中心軸線を中心に回動可能な回動軸と、
前記回動軸の前記軸方向における一端側および他端側に基端部が取り付けられ、当該回動軸の回動に伴って前記中心軸線を回動中心として回動すると共に、先端部が前記支持ブロックに取り付けられている一対の回動アームと、
を備えることを特徴とする除塵装置。

【請求項4】

請求項３記載の除塵装置であって、
一対の前記支持ブロックを介して一対の前記上除塵ロールを上下動させる一対の除塵ロール用シリンダを備え、
一対の前記除塵ロール用シリンダの作動を制御する制御部を備え、
前記ワークの押圧を解除する際に、前記制御部での制御によって一対の前記除塵ロール用シリンダを作動させる、
ことを特徴とする除塵装置。

【請求項5】

請求項３記載の除塵装置であって、
一対の前記支持ブロックは、一対の第１のリニアガイドによって上下動がガイドされ、
一対の前記粘着テープホルダは、一対の第２のリニアガイドによって上下動がガイドされる、
ことを特徴とする除塵装置。

【請求項6】

請求項１記載の除塵装置であって、
前記除塵ロールは、除塵ユニットを構成し、
前記粘着テープホルダおよび前記均等押圧機構は、テープユニットを構成し、
前記除塵ユニットと前記テープユニットとの間の位置決めを行う位置決め機構が設けられ、
前記位置決め機構は、
長尺状の位置決めロッドと、
前記テープユニットに設けられ、前記位置決めロッドが挿通される第１軸孔を備える第１固定部位と、
前記位置決めロッドを押し込むように作動するロッド押圧シリンダと、
前記除塵ユニットに設けられ、前記ロッド押圧シリンダの作動によって前記位置決めロッドが押し込まれた際に、前記第１軸孔への前記位置決めロッドの挿通状態のまま当該位置決めロッドが挿通される第２軸孔を備える第２固定部位と、
を有することを特徴とする除塵装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークに付着した塵埃を除去するための除塵装置に関する。

【背景技術】

【0002】

プリント基板や半導体基板等のような各種のワークに付着した塵埃を取り除くために、特許文献１に示すような除塵装置が用いられている。この除塵装置においては、粘着テープロール（６３０）は、回転保持部（６３１Ａ）に保持され、その回転保持部（６３１Ａ）が支持スライダ（６２Ａ）に回転自在に取り付けられている。そして、支持スライダ（６２Ａ）の上方突出部（６２Ａ３）がアクチュエータ（７０Ａ）で押されることで、支持スライダ（６２Ａ）がガイド溝（６１Ａ１）に沿って移動する。

【0003】

その移動により、粘着テープロール（６３０）が粘着ロール体（５２，５３）を押し、その粘着ロール体（５２，５３）が復帰バネ（９５）のバネ力に抗しながらワーク（Ｗ）に当接して、ワーク（Ｗ）の除塵を行うことが可能となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１６－２０３０８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、特許文献１の構成では、ワーク（Ｗ）を押圧する際に、その押圧力が均一ではない、という問題がある。かかるワーク（Ｗ）への押圧力が均一とならない原因としては、例えば、（ａ）支持スライダ（６２Ａ）とガイド溝（６１Ａ１）との間のガタ付き、（ｂ）粘着テープロール（６３０）と回転保持部（６３１Ａ）のいずれかに偏心が生じていたり真円度が出ていないこと、（ｃ）復帰バネ（９５）のバネ力のバラ付きやバネ力を起因とする粘着ロール体（５２，５３）の軸方向でのワーク（Ｗ）の押圧力の不均一性、（ｄ）粘着テープロール（６３０）の軸方向における押圧力の不均一性等が考えられる。

【0006】

本発明は上記の事情に鑑みなされたもので、ワークを均一な押圧力で押圧することが可能な除塵装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明の第１の観点によると、ワークの除塵を行うための除塵装置であって、ワークの上面側または下面側から除塵を行う除塵ロールと、除塵ロールに付着した塵埃を押圧状態で転写する粘着テープロールをその両端側で保持する一対の粘着テープホルダと、粘着テープロールのテープ筒の内部に配置され、除塵ロールに対する粘着テープロールの軸方向における押圧力の変動を抑制するための均等押圧機構と、を備え、均等押圧機構は、一対の粘着テープホルダを連結するように軸方向に延伸し、一対の粘着テープホルダの回転中心から偏心していると共に、粘着テープロールに対して非回転のホルダ軸と、ホルダ軸の軸方向に沿って複数取り付けられ、テープ筒を内筒側から押圧する押圧ホルダと、を備えることを特徴とする除塵装置が提供される。

【発明の効果】

【0008】

本発明によると、ワークを均一な押圧力で押圧することが可能な除塵装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の第１の実施の形態に係る除塵装置の一部の構成を透過的に示す側面図である。

【図2】図１に示す除塵装置における、除塵ユニットおよびテープユニット付近の構成を示す部分的な斜視図である。

【図3】図１に示す除塵装置における、除塵ロールユニットおよびテープユニット付近の構成を示す側面断面図である。

【図4】図１に示す除塵装置における、除塵ロールユニット付近の構成を示す部分的な斜視図である。

【図5】図１に示す除塵装置における、除塵ロール同期機構付近の構成を示す斜視図である。

【図6】図１に示す除塵装置における、除塵ロール上下ガイド、テープ上下ガイドおよび位置決め機構付近の構成を示す斜視図である。

【図7】図１に示す除塵装置における、粘着テープロールの一端側に位置する粘着テープホルダおよび弾性支持機構付近の構成を示す部分的な斜視図である。

【図8】図１に示す除塵装置における、粘着テープロールの他端側に位置する粘着テープホルダおよび固定支持機構付近の構成を示す部分的な斜視図である。

【図9】図１に示す除塵装置における、粘着テープロールおよび均等押圧機構の構成を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の第１の実施の形態に係る除塵装置１０、および除塵装置１０における粘着テープ更新方法について、図面に基づいて説明する。

【0011】

＜除塵装置１０の全体的な構成について＞
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る除塵装置１０の構成の主要部分を示す側面図である。本実施の形態に係る除塵装置１０は、ワークＷの表面に付着した塵埃を除去するための装置である。なお、ワークＷとしては、たとえば、電子部品が実装されるプリント基板、液晶パネル等の基板、あるいは基板の原材料となるシート状部材等が挙げられるが、これら以外の平面状の部材がワークＷであっても良い。

【0012】

本実施の形態の除塵装置１０は、ワークＷを、たとえば図１の左方から右方に向かって搬送しながら、ワークＷの表面に付着した塵埃を除去する。ただし、これとは逆に、図１の右方から左方に向かってワークＷを搬送しながら、ワークＷの表面に付着した塵埃を除去しても良い。

【0013】

この除塵装置１０は、筐体２０と、搬送機構３０と、除塵ロールユニット４０と、粘着テープホルダ５０と、除塵ロール上下ガイド６０（図４等参照）と、シリンダ連結機構７０（図２等参照）と、除塵ロール用シリンダ８０と、支持ブロック９０（図２等参照）と、除塵ロール同期機構１００（図５等参照）と、テープ上下ガイド１１０（図２等参照）と、弾性支持機構１２０（図２等参照）と、固定支持機構１３０（図８等参照）と、テープ用シリンダ１４０（図２等参照）と、均等押圧機構１５０（図９等参照）と、位置決め機構１６０（図３等参照）と、制御部２００と、を主要な構成要素としている。

【0014】

なお、以下の説明においては、後述する筐体側板部２１、除塵ロールユニット４０、除塵ロール上下ガイド６０、シリンダ連結機構７０、除塵ロール用シリンダ８０、支持ブロック９０および除塵ロール同期機構１００は、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂの交換のために、除塵装置１０の側方に向かい、一体的に引き出し可能となっている。したがって、これらは、除塵ユニットＵ１を構成する。

【0015】

なお、一体的に引き出し可能な除塵ユニットＵ１には、互いに当接可能な上除塵ロール４１Ａと下除塵ロール４１Ｂとを備える除塵ロールユニット４０が、筐体側板部２１の幅方向の一方側と他方側に配置されているので、除塵ロールユニット４０が２セット存在している。しかしながら、除塵ユニットＵ１は、１セットの除塵ロールユニット４０を備えていても良く、３セット以上の除塵ロールユニット４０を備えていても良い。

【0016】

また、後述する筐体側板部２２、テープ上下ガイド１１０、弾性支持機構１２０、固定支持機構１３０、テープ用シリンダ１４０、均等押圧機構１５０は、粘着テープロールＴ１の交換のために、除塵装置１０の側方に向かい、一体的に引き出し可能となっている。したがって、これらは、テープユニットＵ２を構成する。

【0017】

なお、一体的に引き出し可能なテープユニットＵ２は、除塵ユニットＵ１よりも上側と下側にそれぞれ配置されている。上側のテープユニットＵ２と、下側のテープユニットＵ２には、筐体側板部２２の幅方向の一方側と他方側のそれぞれに、粘着テープホルダ５０が配置されていて、それら粘着テープホルダ５０に粘着テープロールＴ１が取り付けられている。したがって、上側と下側のテープユニットＵ２には、それぞれ２つの粘着テープホルダ５０が存在している。しかしながら、上側と下側のテープユニットＵ２のそれぞれは、１つだけの粘着テープホルダ５０を備えていても良く、３つ以上の粘着テープホルダ５０を備えていても良い。

【0018】

＜筐体２０＞
筐体２０は、金属製の支柱といった構造部材が組み合わされると共に、その支柱の間に必要に応じて外壁が取り付けられることで、構成されている。この筐体２０は、除塵装置１０の各種の構成を支持している。なお、筐体２０には、除塵ユニットＵ１と共に一体的に引き出される筐体側板部２１と、テープユニットＵ２と共に一体的に引き出される筐体側板部２２も存在している。

【0019】

＜搬送機構３０＞
搬送機構３０としては、不図示のモータと、そのモータからの駆動力を搬送ローラ３２や下除塵ロール４１Ｂ等の各部へ伝達させる不図示の伝達機構と、外部から搬送されるワークＷを搬送する搬送ローラ３２と、を有している。なお、モータは、制御部２００の指令により、回転駆動させられる部分である。なお、本実施の形態では、伝達機構として、マグネット式のカップリング部、マグネット式のギヤおよびギヤ輪列を有している。しかしながら、伝達機構は、これらには限られず、マグネット式のカップリング部やマグネット式のギヤに代えて、歯車式のギヤやベルトを用いるようにしても良い。

【0020】

また、図１においては、搬送ローラ３２は複数設けられているが、モータは、いずれの搬送ローラに駆動力を与えても良い。また、モータは、下除塵ロール４１Ｂに駆動力を伝達しても、伝達しなくても良い。

【0021】

＜除塵ロールユニット４０＞
図２は、除塵ユニットＵ１およびテープユニットＵ２付近の構成を示す部分的な斜視図である。図３は、除塵ユニットＵ１およびテープユニットＵ２付近の構成を示す側面断面図である。図４は、除塵ユニットＵ１付近の構成を示す部分的な斜視図である。図２から図４に示すように、除塵ロールユニット４０は、ワークＷの上面と下面の少なくとも一方に接触して、ワークＷから塵埃を除去するための部分である。この除塵ロールユニット４０は、上除塵ロール４１Ａと、下除塵ロール４１Ｂとを有している。そのため、ワークＷの上下両面を、上記の上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂで除塵可能となっている。なお、上除塵ロール４１Ａと下除塵ロール４１Ｂとは、除塵ロールに対応する。

【0022】

なお、図２から図４に示す構成では、上除塵ロール４１Ａと下除塵ロール４１Ｂとは、１つのテープロールにつき、１つずつ設けられている。しかしながら、上除塵ロール４１Ａと下除塵ロール４１Ｂとは、１つのテープロールにつき、２つ以上設けられていても良い。

【0023】

図２から図４に示すように、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂは、回転軸４２と、粘着ラバー層４３とを有している。粘着ラバー層４３は、回転軸４２の外側に、軸方向において所定の長さ範囲に亘るように設けられている。この粘着ラバー層４３は、塵埃を吸着可能な粘着ラバーを材質として形成されている。なお、粘着ラバー層４３は、その表面側に吸着層（図示省略）が設けられていて、その吸着層は、シリコンゴム等のような、塵埃の吸着性に優れた材質から構成されている。なお、吸着層の下層側には、たとえばニトリルゴムやカーボンゴム等のような導電層を設けるように構成しても良い。

【0024】

なお、回転軸４２の端部は、ベアリングＢ１を介して、後述する支持ブロック７１に取り付けられている。

【0025】

＜粘着テープホルダ５０および粘着テープロールＴ１＞
また、図２および図３に示すように、粘着テープホルダ５０は、粘着テープロールＴ１を保持している。粘着テープホルダ５０は、内周連結部５１と、テープ保持軸受５２とを有している。内周連結部５１は円盤状の部分であり、その径方向の中央部には、後述する連結軸１３３の先端側が、例えばネジで固定されている。また、粘着テープロールＴ１の内部側（すなわち、後述する連結軸１３３とは反対側）においては、内周連結部５１のうち、中央から所定だけ外径の部位には、後述するホルダ軸１５１および補強軸１５３が連結されている。

【0026】

また、テープ保持軸受５２は、内径側に内周連結部５１が取り付けられている軸受であり、内周連結部５１に対して回転する。また、テープ保持軸受５２は、粘着テープロールＴ１のテープ筒Ｔ３が嵌まり込む部分であるが、このテープ保持軸受５２の外周の縁部には、フランジ部５２ａが設けられている。そして、このフランジ部５２ａがテープ筒Ｔ３の端部に当接することで、テープ筒Ｔ３の内部に粘着テープホルダ５０が完全に挿入されてしまうのを規制している。

【0027】

なお、内周連結部５１のうち、粘着テープロールＴ１の内部側に位置する面側には、後述するホルダ軸１５１および補強軸１５３が連結されている。

【0028】

また、粘着テープロールＴ１は、テープ筒Ｔ３に対して、粘着テープＴ２が巻回されることで形成されている。粘着テープＴ２の表面は、粘着面となっている。粘着面は、上述した上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂに吸着されている塵埃を保持可能となっている。このため、粘着テープＴ２の粘着面の塵埃に対する粘着力は、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂの塵埃に対する粘着力よりも大きくなっている。それにより、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂから粘着テープＴ２の粘着面へと、塵埃を良好に転写可能となっている。

【0029】

なお、シート状の粘着テープＴ２には、切れ目が存在してシート状に切り離すことを可能としている。このため、粘着テープロールＴ１から粘着テープＴ２を引き出した後に切れ目で切断することで、汚れた粘着テープＴ２を、汚れていない粘着テープＴ２へと容易に更新することができる。この粘着テープＴ２の切れ目は、軸方向に対して平行ではなく傾斜している。このため、粘着テープロールＴ１において、最外周に位置する粘着テープＴ２の端部（段差）も、軸方向に対して傾斜している。しかしながら、粘着テープＴ２の切れ目は、軸方向に対して平行であっても良い。

【0030】

＜除塵ロール上下ガイド６０、シリンダ連結機構７０、除塵ロール用シリンダ８０および支持ブロック９０＞
次に、除塵ロール上下ガイド６０、シリンダ連結機構７０および除塵ロール用シリンダ８０について説明する。図４に示すように、上除塵ロール４１Ａは、除塵ロール上下ガイド６０によって上下方向の移動が案内されている。この除塵ロール上下ガイド６０は、筐体２０を構成する筐体側板部２１の側端部に配置されている。

【0031】

なお、筐体側板部２１は、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂの交換のために、除塵装置１０の側方に引き出し可能となっている。したがって、筐体側板部２１は、除塵ロールユニット４０の一部を構成する。

【0032】

上記の除塵ロール上下ガイド６０は、レール６１と、摺動ブロック６２と、不図示のボール等を備えるリニアガイドであり、摺動ブロック６２がレール６１に対してガタ付きがなく、滑らかに（摩擦抵抗の少ない状態で）摺動することが可能となっている。これらのうち、レール６１は、筐体側板部２１の側端部に対し、上下方向に沿うように固定されている。このレール６１は、例えば両側部に括れ部を有するような断面形状を有する、リニアガイドの一般的なレールとなっている。なお、除塵ロール上下ガイド６０は、第１のリニアガイドに対応する。

【0033】

また、摺動ブロック６２は、例えば上記の括れ部に入り込むようなフック部を有することで、上記のレール６１から外れずに、且つガタ付きがないように構成されている。

【0034】

この摺動ブロック６２には、シリンダ連結機構７０を介して、除塵ロール用シリンダ８０からの駆動力が伝達可能となっている。シリンダ連結機構７０は、支持ブロック７１と、突出軸７３と、遊嵌保持部材７４とを有している。

【0035】

支持ブロック７１は、上除塵ロール４１Ａの回転軸４２の端部を支持する部材である。また、支持ブロック７１は、上記の摺動ブロック６２に対し、例えばネジ等を介して取り付けられている。さらに、支持ブロック７１には、後述する除塵ロール同期機構１００の回動アーム１０２も連結されている。

【0036】

この支持ブロック７１は、上片部７１ａと、その上片部７１ａよりも下側に設けられている下片部７１ｂとを有している。そして、上片部７１ａと下片部７１ｂの間に、Ｕ字状の凹部７１ｃが設けられていて、その凹部７１ｃにベアリングＢ１が配置され、そのベアリングＢ１を介して回転軸４２を軸支している。なお、支持ブロック７１のうち、凹部７１ｃの開口部には固定片７２が取り付けられて、凹部７１ｃに配置されたベアリングＢ１が外れるのを防止している。

【0037】

また、図４に示すように、支持ブロック７１のうち、除塵ロール上下ガイド６０が配置されている側とは反対側の側面には、突出軸７３が取り付けられている。突出軸７３は、支持ブロック７１の側面から突出する軸状（ピン状）の部材である。この突出軸７３は、遊嵌保持部材７４の遊嵌部７４ｃに位置する。

【0038】

また、遊嵌保持部材７４は、除塵ロール用シリンダ８０のピストンロッド８１の下端部に連結される部材である。この遊嵌保持部材７４は、上片部７４ａと、その上片部７４ａよりも下側に設けられている下片部７４ｂとを有していて、その上片部７４ａと下片部７４ｂの間に、上記の突出軸７３が位置する遊嵌部７４ｃが存在している。

【0039】

また、遊嵌保持部材７４には、除塵ロール用シリンダ８０のピストンロッド８１の下端が連結されている。除塵ロール用シリンダ８０は、例えばエアシリンダであり、制御部２００での制御に基づいて、作動する。本実施の形態では、除塵ロール用シリンダ８０は、ピストンロッド８１を備え、そのピストンロッド８１を上下動させることができる。ここで、ピストンロッド８１を上昇させる向きに除塵ロール用シリンダ８０が作動する場合には、上除塵ロール４１Ａを上方向、すなわち、上除塵ロール４１Ａを下除塵ロール４１Ｂから離す向きに移動させる。

【0040】

また、支持ブロック９０は、下除塵ロール４１Ｂの回転軸４２の端部を支持する部材であり、上記の支持ブロック７１と同様に、上片部９０ａと、その上片部９０ａよりも下側に設けられている下片部９０ｂとを有している。そして、上片部９０ａと下片部９０ｂの間に、Ｕ字状の凹部９０ｃが設けられていて、その凹部９０ｃにベアリングＢ２が配置され、そのベアリングＢ２を介して回転軸４２を軸支している。なお、支持ブロック９０のうち、凹部７１ｃの開口部には固定片９１が取り付けられて、凹部９０ｃに配置されたベアリングＢ２が外れるのを防止している。

【0041】

ところで、支持ブロック９０は、筐体側板部２１に対して、例えばネジ等を介して固定されている。したがって、支持ブロック９０は、支持ブロック７１とは異なり、上下方向には摺動しない。このため、下除塵ロール４１Ｂは、上下方向の位置が固定されている。なお、搬送機構３０の搬送ローラ３２の上面（搬送面）と、下除塵ロール４１Ｂの上面（搬送面）とは同一の高さとなるように設けられている。このため、上除塵ロール４１Ａと下除塵ロール４１Ｂとによって、ワークＷの除塵を良好に行える。

【0042】

＜除塵ロール同期機構１００について＞
次に、除塵ロール同期機構１００について説明する。図５は、除塵ロール同期機構１００付近の構成を示す斜視図である。図５に示すように、除塵ロール同期機構１００は、回動軸１０１と、回動アーム１０２とを備えている。

【0043】

回動軸１０１は、除塵装置１０の幅方向（ワークＷの搬送方向と直交する方向）に延伸している軸状部材であり、中心軸線を中心に回転する。また、回動軸１０１は、筐体側板部２１に対し、例えば不図示のベアリング等を介して回動自在に軸支されている。加えて、回動軸１０１は、上記の上除塵ロール４１Ａとは干渉しないものの、上除塵ロール４１Ａに近接するように設けられている。

【0044】

この回動軸１０１の両端には、回動アーム１０２の基端部がネジ等を介して固定されている。すなわち、回動軸１０１が回動すると、一対の回動アーム１０２が円弧状に移動する状態となっている。また、回動アーム１０２の先端部は、取付軸１０３を介して支持ブロック７１に連結されている。すなわち、回動アーム１０２の先端部には、長円状の孔部１０２ａが設けられていて、その長円状の孔部１０２ａに取付軸１０３が挿通している。このため、回動アーム１０２が円弧運動しても、取付軸１０３は、支持ブロック７１の上下方向に移動に伴って、上下方向に移動可能となっている。

【0045】

かかる除塵ロール同期機構１００では、例えば粘着テープロールＴ１の下降に伴って上除塵ロール４１Ａが押し下げられたときに、回動軸１０１が回動するので、その回動軸１０１の回動に伴って、一対の回動アーム１０２は同期して回動する。このため、一対の回動アーム１０２がそれぞれ独立して回動する場合とは異なり、一端側に配置されている支持ブロック７１と、他端側に配置されている支持ブロック７１とを、同時に押し下げることができる。

【0046】

このため、上除塵ロール４１Ａは、下除塵ロール４１Ｂに対して、例えば一端側や他端側が先に当たってしまうような、片当たりするのを防止可能となっている。

【0047】

＜テープ上下ガイド１１０について＞
次に、テープ上下ガイド１１０およびテープ用シリンダ１４０について説明する。図６は、除塵ロール上下ガイド６０、テープ上下ガイド１１０および位置決め機構１６０付近の構成を示す斜視図である。図２および図６に示すように、粘着テープロールＴ１を支持する粘着テープホルダ５０は、テープ上下ガイド１１０によって上下方向の移動が案内されている。このテープ上下ガイド１１０は、筐体２０を構成する筐体側板部２２の側端部に配置されている。なお、筐体側板部２２は、筐体側板部２１よりも上方に位置する部分である。

【0048】

このテープ上下ガイド１１０は、上記の除塵ロール上下ガイド６０と類似する構成である。すなわち、テープ上下ガイド１１０は、レール１１１と、摺動ブロック１１２と、不図示のボール等を備えるリニアガイドであり、摺動ブロック１１２がレール１１１に対してガタ付きがなく、滑らかに（摩擦抵抗の少ない状態で）摺動することが可能となっている。なお、レール１１１は、レール６１と同様の構成であり、摺動ブロック１１２は、摺動ブロック６２同様の構成であるため、これらレール１１１および摺動ブロック１１２の構成については、その説明を省略する。なお、テープ上下ガイド１１０は、第２のリニアガイドに対応する。

【0049】

＜弾性支持機構１２０および固定支持機構１３０について
図７は、粘着テープロールＴ１の一端側に位置する粘着テープホルダ５０および弾性支持機構１２０付近の構成を示す部分的な斜視図である。また、図８は、粘着テープロールＴ１の他端側に位置する粘着テープホルダ５０および固定支持機構１３０付近の構成を示す部分的な斜視図である。

【0050】

図７に示すように、粘着テープロールＴ１の一端側に位置する粘着テープホルダ５０は、弾性支持機構１２０で支持されている。また、図８に示すように、粘着テープロールＴ１の他端側に位置する粘着テープホルダ５０は、固定支持機構１３０で支持されている。

【0051】

弾性支持機構１２０は、筒体部１２１と、押圧軸１２２とを有している。筒体部１２１は、軸方向の一端側の摺動ブロック１１２に対し、例えばネジ等を介して取り付けられている。また、筒体部１２１の内部には、図示を省略するバネが内蔵されていて、そのバネによって、押圧軸１２２が、軸方向の他端側に向かって押し出される構成となっている。

【0052】

また、押圧軸１２２の一端側は、筒体部１２１を貫通して軸方向の一方側に突出しているが、その一端部には取手１２２ａが取り付けられている。また、押圧軸１２２の他端側は、上記の粘着テープホルダ５０に固定されている。

【0053】

また、固定支持機構１３０は、連結ブロック１３１と、ジョイント１３２と、断面矩形の連結軸１３３とを有している。連結ブロック１３１は、軸方向の他端側の摺動ブロック１１２に対し、例えばネジ等を介して取り付けられている。この連結ブロック１３１には、上下方向を回動軸とするジョイント１３２を介して連結軸１３３の一端側が回動可能に連結されている。したがって、連結軸１３３は、水平方向には回動するが、粘着テープロールＴ１の回転方向には回転できない状態となっている。この連結軸１３３は、その断面形状が矩形となるように設けられていて、その断面矩形の連結軸１３３の他端側が、粘着テープホルダ５０の内周連結部５１の嵌合穴に差し込まれる。

【0054】

＜テープ用シリンダ１４０について＞
次に、テープ用シリンダ１４０について説明する。テープ用シリンダ１４０は、上記の除塵ロール用シリンダ８０と同様に例えばエアシリンダであり、制御部２００での制御に基づいて、作動する。テープ用シリンダ１４０はピストンロッド１４１を備え、そのピストンロッド１４１を上下動させることができる。

【0055】

上記のピストンロッド１４１は、連結片１４２を介して、筒体部１２１または連結ブロック１３１に連結されている。

【0056】

ここで、上側のピストンロッド１４１を下降させる向きにテープ用シリンダ１４０が作動する場合には、粘着テープロールＴ１を上除塵ロール４１Ａに対して押圧するが、そのとき、上除塵ロール４１Ａが押し下げられて、ワークＷの上面側に当接する。それにより、ワークＷの上面側の除塵を上除塵ロール４１Ａが行うと、上除塵ロール４１Ａが吸着した塵埃を、粘着テープロールＴ１が取り除くことができる。

【0057】

また、下のピストンロッド１４１を持ち上げる向きにテープ用シリンダ１４０が作動する場合には、粘着テープロールＴ１を下除塵ロール４１Ｂに対して押圧する。ここで、下除塵ロール４１Ｂは、上下方向の位置が固定であり、ワークＷが搬送されてきた場合には、ワークＷの下面に当接している。このため、ワークＷの下面側の除塵を下除塵ロール４１Ｂが行うと、下除塵ロール４１Ｂが吸着した塵埃を、粘着テープロールＴ１が取り除くことができる。
＜均等押圧機構１５０について＞
次に、均等押圧機構１５０について説明する。図９は、粘着テープロールＴ１および均等押圧機構１５０の構成を示す断面図である。図９に示すように、均等押圧機構１５０は、粘着テープロールＴ１の軸方向における押圧力の分布の均一化を図るための機構である。この均等押圧機構１５０は、ホルダ軸１５１と、押圧ホルダ１５２と、補強軸１５３とを有している。

【0058】

ホルダ軸１５１は、シャフト状の部材であり、その一端側が軸方向の一方側に位置する粘着テープホルダ５０の内周連結部５１に固定されていると共に、その他端側が軸方向の他方側に位置する粘着テープホルダ５０の内周連結部５１に固定されている。ただし、ホルダ軸１５１は、内周連結部５１の径方向の中心ではなく、径方向の中心から所定だけ外径の部位に、例えばネジ等を介して固定されている。そのため、上述した押圧軸１２２や連結軸１３３とは干渉しない状態となっている。

【0059】

なお、上側の粘着テープホルダ５０に対しては、ホルダ軸１５１は、内周連結部５１の径方向の中心よりも下側に位置している。また、下側の粘着テープホルダ５０に対しては、ホルダ軸１５１は、内周連結部５１の径方向の中心よりも上側に位置している。

【0060】

このホルダ軸１５１には、所定の間隔毎に、ベアリングＢ３を介して車輪状の押圧ホルダ１５２が取り付けられている。したがって、押圧ホルダ１５２は、ホルダ軸１５１に対して回転可能に設けられている。この押圧ホルダ１５２は、テープ筒Ｔ３を内筒側から押圧する部材である。すなわち、押圧ホルダ１５２の下側の頂部は、粘着テープロールＴ１が上除塵ロール４１Ａまたは下除塵ロール４１Ｂを均一に押圧できるように、概ね同一の高さ位置となるように配置されている。しかしながら、押圧力の均一化を図るために、それぞれの押圧ホルダ１５２の直径を若干異なるようにしても良い。

【0061】

また、補強軸１５３は、ホルダ軸１５１と同様に、シャフト状の部材である。この補強軸１５３は、ホルダ軸１５１と同様に、内周連結部５１の径方向の中心ではなく、径方向の中心から所定だけ外径の部位に、例えばネジ等を介して固定されている。そのため、補強軸１５３は、上述した押圧軸１２２や連結軸１３３とは干渉しない状態となっている。

【0062】

かかる補強軸１５３の存在により、押圧ホルダ１５２によって粘着テープロールＴ１の押圧を行う際に、均等押圧機構１５０が捻じれてしまうのを防止することが可能となっている。すなわち、補強軸１５３は、均等押圧機構１５０における軸方向の補強部材として機能している。

【0063】

＜位置決め機構１６０について＞
次に、位置決め機構１６０について説明する。除塵装置１０は、図３に示すような位置決め機構１６０を備えている。この位置決め機構１６０は、ワークＷの均一な押圧を実現するために、除塵ロールユニット４０と粘着テープロールＴ１との間の位置ずれや、各摺動部分のガタ付きを抑えて、除塵ロールユニット４０に対し、粘着テープロールＴ１が片当たりせずに、平行な当接を実現させるための機構である。

【0064】

この位置決め機構１６０は、ロッド押圧シリンダ１７０と、テープ側位置決め部材１８０と、ローラ側位置決め部材１９０とを備えている。

【0065】

ロッド押圧シリンダ１７０は、例えばエアシリンダであり、制御部２００での制御に基づいて、作動する。このロッド押圧シリンダ１７０のピストンロッド１７１の先端側には、押圧ロッド１７２が連結されている。したがって、ロッド押圧シリンダ１７０の作動によって、押圧ロッド１７２が位置決めロッド１８４を押し込むことが可能となっている。

【0066】

また、テープ側位置決め部材１８０は、軸摺動ガイド１８１と、位置決めロッド１８４と、付勢バネ１８５と、軸調整部材１８６とを備えている。

【0067】

軸摺動ガイド１８１は、筐体側板部２２に対して、例えばネジ等を介して固定されている。この軸摺動ガイド１８１には、テープ側底部１８２と、ローラ側底部１８３とが設けられていて、そのテープ側底部１８２とローラ側底部１８３の間には、スペース部Ｓ１が設けられている。なお、軸摺動ガイド１８１は第１固定部位に対応するが、軸摺動ガイド１８１と共に筐体側板部２２も第１固定部位に対応するものとしても良い。

【0068】

テープ側底部１８２には、軸孔１８２ａが設けられていて、この軸孔１８２ａがテープ側底部１８２を貫通している。また、ローラ側底部１８３には、軸孔１８３ａが設けられていて、この軸孔１８３ａがローラ側底部１８３を貫通している。なお、軸孔１８２ａ，１８３ａには、位置決めロッド１８４が貫通している。また、軸孔１８２ａと軸孔１８３ａの少なくとも一方は、第１軸孔に対応する。

【0069】

位置決めロッド１８４は、上述したロッド押圧シリンダ１７０の作動によって、押圧ロッド１７２から押し込まれてローラ側底部１８３から突出し、ローラ側位置決め部材１９０の位置決め孔１９１に入り込むことで、位置決めを行うための部材である。したがって、図３に示すように、位置決めロッド１８４は、軸摺動ガイド１８１の上下方向の長さよりも長く設けられている。

【0070】

また、スペース部Ｓ１には、コイルばねである付勢バネ１８５（図３参照）が配置されていて、この付勢バネ１８５の中心孔に挿通するように位置決めロッド１８４が配置されている。この付勢バネ１８５は、位置決めロッド１８４に対して、ローラ側位置決め部材１９０から離間する向きの付勢力を与える部材である。

【0071】

したがって、ロッド押圧シリンダ１７０が押圧方向に作動する場合には、付勢バネ１８５の付勢力に抗しながら位置決めロッド１８４がローラ側位置決め部材１９０側に押し込まれる。しかしながら、ロッド押圧シリンダ１７０が位置決めロッド１８４を押圧しない場合には、付勢バネ１８５の付勢力により、位置決めロッド１８４が初期位置、すなわちローラ側位置決め部材１９０の位置決め孔１９１に入り込まない位置に位置する状態となる。

【0072】

また、軸調整部材１８６は、上側のテープ側位置決め部材１８０において、位置決めロッド１８４の径方向の位置を調整する部材である。この軸調整部材１８６には、位置決めロッド１８４が挿通する軸孔１８６ａが設けられている。ここで、上記のように、１８４９は、軸孔１８２ａ，１８３ａに挿通しているので、軸調整部材１８６の位置を、軸方向に対して直交する向きで調整することで、位置決めロッド１８４のガタ付きが解消される。

【0073】

ここで、上除塵ロール４１Ａと異なり、下除塵ロール４１Ｂは、上下方向には移動しなく、上下方向の位置が固定されている。このため、上除塵ロール４１Ａと比較して、下除塵ロール４１Ｂのガタ付きは少ない。したがって、下側のテープ側位置決め部材１８０においては、軸調整部材１８６を設けるのが省略されている。しかしながら、下側のテープ側位置決め部材１８０においても、軸調整部材１８６を設けるようにしても良い。

【0074】

また、ローラ側位置決め部材１９０は、筐体側板部２１に対して、例えばネジ等を介して固定されているが、このローラ側位置決め部材１９０は、筐体側板部２１の上側と下側とに設けられている。すなわち、ローラ側位置決め部材１９０は、一対設けられている。なお、ローラ側位置決め部材１９０は第２固定部位に対応するが、ローラ側位置決め部材１９０と共に筐体側板部２１も第２固定部位に対応するものとしても良い。

【0075】

このローラ側位置決め部材１９０は、ブロック状に設けられているが、そのローラ側位置決め部材１９０を貫通するように、位置決め孔１９１が設けられている。位置決め孔１９１は、位置決めロッド１８４が入り込むことで、テープ側位置決め部材１８０とローラ側位置決め部材１９０との間の位置決めがなされ、かつこれらの間のガタ付きが解消される。なお、上側のローラ側位置決め部材１９０の位置決め孔１９１には、上側のテープ側位置決め部材１８０の位置決めロッド１８４が入り込み、下側のローラ側位置決め部材１９０の位置決め孔１９１には、下側のテープ側位置決め部材１８０の位置決めロッド１８４が入り込む。また、位置決め孔１９１は、第２軸孔に対応する。

【0076】

＜制御部２００について＞
制御部２００は、不図示のモータ、除塵ロール用シリンダ８０、テープ用シリンダ１４０およびロッド押圧シリンダ１７０の作動を制御する部分である。この制御部２００は、たとえばＣＰＵやメモリ（ＲＡＭ、ＲＯＭ、不揮発性メモリ等）を備えるコンピュータ等を用いることができる。また、モータを駆動させるためのモータドライバ、テープ用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂを作動させるためのアクチュエータ用ドライバ等も、制御部２００の概念に含めることができる。

【0077】

＜除塵装置１０における、ワークＷの除塵を行う際の動作について＞
以上のような構成の除塵装置１０において、ワークＷの除塵を行う際の動作について、以下に説明する。

【0078】

除塵装置１０を作動させて、ワークＷの除塵を行う場合、最初に、制御部２００はロッド押圧シリンダ１７０を作動させて位置決めロッド１８４を押圧ロッド１７２によって押し込む。

【0079】

このとき、位置決めロッド１８４は、付勢バネ１８５の付勢力に抗しながら、ローラ側位置決め部材１９０の位置決め孔１９１に挿入される。それにより、テープ側位置決め部材１８０とローラ側位置決め部材１９０の間の位置決めがなされると共に、両者のガタ付きも解消される。それによって、除塵ロールユニット４０と粘着テープホルダ５０（粘着テープロールＴ１）の間の位置決めが確実になされると共に、除塵ロールユニット４０と粘着テープホルダ５０（粘着テープロールＴ１）の間のガタ付きも解消される。

【0080】

この状態で、制御部２００はテープ用シリンダ１４０を作動させて、弾性支持機構１２０および固定支持機構１３０を、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂに向けて移動させる。このとき、テープ上下ガイド１１０により、摺動ブロック１１２は、筐体側板部２２に取り付けられているレール１１１に対し、摩擦抵抗が非常に少ない状態で、精度良くガタ付きの生じない状態で摺動する。したがって、摺動ブロック１１２に取り付けられている、弾性支持機構１２０および固定支持機構１３０も、ガタ付きのない状態で移動する。

【0081】

すると、一端側および他端側の粘着テープホルダ５０を介して、粘着テープロールＴ１が上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂに向かって移動する。それにより、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂに対して、粘着テープロールＴ１が当接する。

【0082】

ここで、本実施の形態の除塵装置１０は、均等押圧機構１５０を備えている。このため、粘着テープロールＴ１の軸方向において、テープ筒Ｔ３の内部側から、複数の押圧ホルダ１５２のそれぞれが、粘着テープロールＴ１を、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂに向けて押圧する。このため、粘着テープロールＴ１は、その軸方向において、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂに対する均等加圧が可能となっている。

【0083】

そして、テープ用シリンダ１４０が所定の加圧力を維持している状態のとき、粘着テープロールＴ１の両端側の粘着テープホルダ５０のみならず、テープ筒Ｔ３の内部に配置されている複数の押圧ホルダ１５２も、粘着テープロールＴ１を上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂに向けて押圧する。このため、粘着テープロールＴ１の上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂに対する押圧力は、粘着テープロールＴ１の軸方向の中央側においても、粘着テープロールＴ１の両端側に対して弱くならずに済む。すなわち、現状の除塵装置と比較して、粘着テープロールＴ１の軸方向の中央側における、押圧力が、弱くならずに済む。

【0084】

そして、上側のテープ用シリンダ１４０の作動により、粘着テープロールＴ１による上除塵ロール４１Ａの押圧を継続すると、上除塵ロール４１Ａは、下除塵ロール４１Ｂに向かって押し下げられることになる。このとき、除塵ロール同期機構１００の回動軸１０１が回動することにより、一対の回動アーム１０２が同時に押し下げ方向に回動する。

【0085】

それにより、上除塵ロール４１Ａの軸方向における一方側または他方側が、先にワークＷの上面に当接するといった、片当たりが生じない状態で、ワークＷの上面の除塵を行うことができる。そして、上除塵ロール４１Ａにより、軸方向における両端と中央とで、ワークＷに対する押圧力のバラ付きが比較的少なく均一化が図れる状態で、ワークＷの上面側の除塵を行うことができる。また、下除塵ロール４１Ｂにおいては、ワークＷを挟んで上除塵ロール４１Ａの押圧力の反力が生じる。そのため、下除塵ロール４１Ｂにより、軸方向における両端と中央とで、ワークＷに対する押圧力のバラ付きが比較的少なく均一化が図れる状態で、ワークＷの下面側の除塵を行うことができる。

【0086】

なお、本実施の形態の除塵装置１０と、現状の除塵装置とにおいて、上側のテープ用シリンダ１４０の作動による押圧力を同じであると仮定する。このとき、現状の除塵装置においては、上除塵ロールおよび下除塵ロールの軸方向における両端の押圧力が、軸方向における中央の押圧力よりも弱くなっている。これは、現状の除塵装置では、上除塵ロールを付勢バネで支持していること、および、上除塵ロールおよび下除塵ロールにおいては、片持ち梁に類するような曲げ応力が作用することによる。

【0087】

これに対して、本実施の形態では、上除塵ロール４１Ａの両端を支持するための付勢バネは存在しておらず、除塵ロール用シリンダ８０およびシリンダ連結機構７０を介して、上除塵ロール４１Ａの両端を支持している。それによっても、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂにおいては、軸方向における両端と中央とで、ワークＷに対する押圧力のバラ付きを低減して、押圧力の均一化を図ることが可能となっている。以上のようにして、ワークＷの除塵がなされる。

【0088】

なお、ワークＷの除塵が完了する等でワークＷの除塵を行わない場合、上側のテープ用シリンダ１４０および下側のテープ用シリンダ１４０をそれぞれ作動させて、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂから離間する向きに粘着テープロールＴ１を移動させる。このとき、現状の除塵装置とは異なり、上除塵ロール４１Ａは付勢バネで支持されていないので、上除塵ロール４１Ａが下除塵ロール４１Ｂに接触している。このとき、制御部２００は、除塵ロール用シリンダ８０を作動させて、上除塵ロール４１Ａを上方に移動させる。

【0089】

＜付記＞
上述した実施の形態に記載の内容は、例えば以下のように把握されるものである。
［１］すなわち、除塵装置１０は、ワークＷの上面側または下面側から除塵を行う上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂ（除塵ロール）と、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂ（除塵ロール）に付着した塵埃を押圧状態で転写する粘着テープロールＴ１をその両端側で保持する一対の粘着テープホルダ５０と、粘着テープロールＴ１のテープ筒Ｔ３の内部に配置され、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂ（除塵ロール）に対する粘着テープロールＴ１の軸方向における押圧力の変動を抑制するための均等押圧機構１５０と、を備え、均等押圧機構１５０は、一対の粘着テープホルダ５０を連結するように軸方向に延伸し、一対の粘着テープホルダ５０の回転中心から偏心していると共に、粘着テープロールＴ１に対して非回転のホルダ軸１５１と、ホルダ軸１５１の軸方向に沿って複数取り付けられ、テープ筒Ｔ３を内筒側から押圧する押圧ホルダ１５２と、を備えている。

【0090】

このように構成する場合には、粘着テープロールＴ１の軸方向において、テープ筒Ｔ３の内部側から、複数の押圧ホルダ１５２のそれぞれが、粘着テープロールＴ１を、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂ（除塵ロール）に向けて押圧する。したがって、粘着テープロールＴ１は、その軸方向において、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂ（除塵ロール）に対する均等加圧が可能となる。すなわち、除塵装置１０は、均等押圧機構１５０を備えることで、ワークＷを均一な押圧力で押圧することが可能となる。

【0091】

［２］また、上記の実施の形態においては、上記の［１］に記載の内容に加え、一対の粘着テープホルダ５０は、粘着テープロールに対して非回転の一対の内周連結部５１と、一対の内周連結部５１に対して回転すると共にテープ筒Ｔ３の一端部および他端部にそれぞれ挿入される一対のテープ保持軸受５２とを備え、ホルダ軸１５１は、一対の内周連結部５１を連結する状態で軸方向に延伸し、ホルダ軸１５１に平行な状態で一対の内周連結部５１を連結することで、一対の粘着テープホルダ５０の間での捻じれを防止する補強軸１５３と、を備える構成とすることができる。

【0092】

このように構成する場合には、一対の内周連結部５１を、ホルダ軸１５１に平行な状態で補強軸１５３が連結していることで、一対の粘着テープホルダ５０の間での捻じれが防止される。このため、均等押圧機構１５０においては、テープ筒Ｔ３の内部から複数の押圧ホルダ１５２によって粘着テープＴ２を押圧することで、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂ（除塵ロール）に対する均等加圧が可能となり、それによって、ワークＷを均一な押圧力で押圧することが可能となる。

【0093】

［３］また、上記の実施の形態においては、上述した［１］と［２］、またはそれらの組み合わせに記載の内容に加え、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂ（除塵ロール）は、その軸方向の両端が支持ブロック７１によって回転自在に軸支されている。また、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂ（除塵ロール）には、ワークＷの上面側の除塵を行う上除塵ロール４１Ａと、ワークＷの下面側の除塵を行う下除塵ロール４１Ｂとが設けられていて、上側の粘着テープロールＴ１の押圧に際して、上除塵ロール４１Ａの一端側と他端側との下降を同期させる除塵ロール同期機構１００が設けられている。この除塵ロール同期機構１００は、上除塵ロール４１Ａに対して所定だけ離間しつつ平行な状態で配置され、中心軸線を中心に回動可能な回動軸１０１と、回動軸１０１の軸方向における一端側および他端側に基端部が取り付けられ、当該回動軸１０１の回動に伴って中心軸線を回動中心として回動すると共に、先端部が支持ブロック７１に取り付けられている一対の回動アーム１０２と、を備えることが好ましい。

【0094】

このような構成とする場合には、粘着テープロールＴ１の下降に伴って上除塵ロール４１Ａが押し下げられたときに、回動軸１０１を中心軸線として回動するので、その回動軸１０１の回動に伴って、一対の回動アーム１０２は同期して回動する。このため、一対の回動アーム１０２がそれぞれ独立して回動する場合とは異なり、一端側に配置されている支持ブロック７１と、他端側に配置されている支持ブロック７１とを、同時に押し下げることができる。

【0095】

このため、上除塵ロール４１Ａは、下除塵ロール４１Ｂに対して、例えば一端側や他端側が先に当たってしまうような、片当たりするのを防止可能となる。そのため、上除塵ロール４１Ａ（除塵ロール）の下除塵ロール４１Ｂ（除塵ロール）に対する均等加圧が可能となり、それによって、ワークＷを均一な押圧力で押圧することが可能となる。

【0096】

［４］また、上記の実施の形態においては、上述した上記の［１］から［３］のいずれかに記載またはそれらの組み合わせた内容に加え、一対の支持ブロック７１を介して一対の上除塵ロール４１Ａを上下動させる一対の除塵ロール用シリンダ８０を備え、一対の除塵ロール用シリンダ８０の作動を制御する制御部２００を備え、ワークＷの押圧を解除する際に、制御部２００での制御によって一対の除塵ロール用シリンダ８０を作動させるようにすることができる。

【0097】

このように構成する場合、上除塵ロール４１Ａは、一対の除塵ロール用シリンダ８０の作動によって上下動させることができる。そのため、上除塵ロール４１Ａの両端を支持するための付勢バネを省略することができる。ここで、付勢バネを用いる場合には、その付勢バネ毎に、バネ特性のバラ付きが存在している。かかるバネ特性のバラ付きにより、上側のテープ用シリンダ１４０で上除塵ロール４１Ａを押圧し、ワークＷの除塵を行う際の押圧力を軸方向で均一化させることが困難となっている。

【0098】

しかしながら、一対の除塵ロール用シリンダ８０の作動によって上除塵ロール４１Ａを持ち上げる構成とし、上除塵ロール４１Ａの両端を支持するための付勢バネを省略することで、ワークＷの除塵を行う際の押圧力を軸方向で均一化させることが可能となる。

【0099】

［５］また、上記の実施の形態においては、上述した上記の［１］から［４］のいずれかに記載またはそれらの組み合わせた内容に加え、一対の支持ブロック７１は、一対の除塵ロール上下ガイド６０（第１のリニアガイド）によって上下動がガイドされ、一対の粘着テープホルダ５０は、一対のテープ上下ガイド１１０（第２のリニアガイド）によって上下動がガイドされる構成とすることができる。

【0100】

このように構成する場合、一対の支持ブロック７１は、一対の除塵ロール上下ガイド６０（第１のリニアガイド）によって滑らかに（摩擦抵抗の少ない状態で）摺動することが可能となる。それにより、上除塵ロール４１Ａが下除塵ロール４１Ｂに対し、精度良く当接することができ、その精度の良い当接により、ワークＷの除塵を行う際の押圧力を軸方向で均一化させることが可能となる。

【0101】

また、一対の粘着テープホルダ５０は、一対のテープ上下ガイド１１０（第２のリニアガイド）によって滑らかに（摩擦抵抗の少ない状態で）摺動することが可能となる。それにより、一対の粘着テープホルダ５０で保持される粘着テープロールＴ１が上除塵ロール４１Ａに対し、精度良く当接することができ、その精度の良い当接によっても、ワークＷの除塵を行う際の押圧力を軸方向で均一化させることが可能となる。

【0102】

［６］また、上記の実施の形態においては、上述した上記の［１］から［５］のいずれかに記載またはそれらの組み合わせた内容に加え、上除塵ロール４１Ａおよび下除塵ロール４１Ｂ（除塵ロール）は、除塵ユニットＵ１を構成し、粘着テープホルダ５０および均等押圧機構１５０は、テープユニットＵ２を構成する。また、除塵ユニットＵ１とテープユニットＵ２との間の位置決めを行う位置決め機構１６０が設けられている。また、位置決め機構１６０は、長尺状の位置決めロッド１８４と、テープユニットＵ２に設けられ、位置決めロッド１８４が挿通される軸孔１８２ａおよび軸孔１８３ａ（第１軸孔）を備える軸摺動ガイド１８１（第１固定部位）と、位置決めロッド１８４を押し込むように作動するロッド押圧シリンダ１７０と、除塵ユニットＵ１に設けられ、ロッド押圧シリンダ１７０の作動によって位置決めロッド１８４が押し込まれた際に、軸孔１８２ａおよび軸孔１８３ａ（第１軸孔）への位置決めロッド１８４の挿通状態のまま当該位置決めロッド１８４が挿通される位置決め孔１９１（第２軸孔）を備えるローラ側位置決め部材１９０（第２固定部位）と、を有する構成とすることができる。

【0103】

このように構成する場合、除塵装置１０は位置決め機構１６０を備え、その位置決め機構１６０が有する位置決めロッド１８４を、軸孔１８２ａおよび軸孔１８３ａ（第１軸孔）および位置決め孔１９１（第２軸孔）に挿通させることで、除塵ユニットＵ１とテープユニットＵ２との間の位置決めを精度良く行うことができる。また、除塵ユニットＵ１とテープユニットＵ２の間のガタ付きを解消することができる。

【0104】

かかる精度の良い位置決め、およびガタ付きの解消により、ワークＷの除塵を行う際の押圧力を軸方向で均一化させることが可能となる。

【0105】

＜変形例＞
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。

【0106】

上述の実施の形態においては、除塵ユニットＵ１に対し、上側および下側に、それぞれ１つずつのテープユニットＵ２が設けられている。しかしながら、上側のみ、または下側のみにテープユニットＵ２が設けられる構成を採用しても良い。また、除塵ユニットＵ１とテープユニットＵ２とが、搬送方向において、複数並んでいる構成を採用しても良い。

【符号の説明】

【0107】

１０…除塵装置、２０…筐体、２１…筐体側板部、２２…筐体側板部、３０…搬送機構、３２…搬送ローラ、４０…除塵ロールユニット、４１Ａ…上除塵ロール（除塵ロールに対応）、４１Ｂ…下除塵ロール（除塵ロールに対応）、４２…回転軸、４３…粘着ラバー層、５０…粘着テープホルダ、５１…内周連結部、５２…テープ保持軸受、５２ａ…フランジ部、６０…除塵ロール上下ガイド（第１のリニアガイドに対応）、６１…レール、６２…摺動ブロック、７０…シリンダ連結機構、７０Ａ…テープ用アクチュエータ、７０Ｂ…テープ用アクチュエータ、７１…支持ブロック、７１ａ…上片部、７１ｂ…下片部、７１ｃ…凹部、７２…固定片、７３…突出軸、７４…遊嵌保持部材、７４ａ…上片部、７４ｂ…下片部、７４ｃ…遊嵌部、８０…除塵ロール用シリンダ、８１…ピストンロッド、９０…支持ブロック、９０ａ…上片部、９０ｂ…下片部、９０ｃ…凹部、９１…固定片、１００…除塵ロール同期機構、１０１…回動軸、１０２…回動アーム、１０２ａ…孔部、１０３…取付軸、１１０…テープ上下ガイド（第２のリニアガイドに対応）、１１１…レール、１１２…摺動ブロック、１２０…弾性支持機構、１２１…筒体部、１２２…押圧軸、１２２ａ…取手、１３０…固定支持機構、１３１…連結ブロック、１３２…ジョイント、１３３…連結軸、１４０…テープ用シリンダ、１４１…ピストンロッド、１４２…連結片、１５０…均等押圧機構、１５１…ホルダ軸、１５２…押圧ホルダ、１５３…補強軸、１６０…位置決め機構、１７０…ロッド押圧シリンダ、１７１…ピストンロッド、１７２…押圧ロッド、１８０…テープ側位置決め部材、１８１…軸摺動ガイド（第１固定部位に対応）、１８２…テープ側底部、１８２ａ…軸孔（第１軸孔に対応）、１８３…ローラ側底部、１８３ａ…軸孔（第１軸孔に対応）、１８４…位置決めロッド、１８５…付勢バネ、１８６…軸調整部材、１８６ａ…軸孔、１９０…ローラ側位置決め部材（第２固定部位に対応）、１９１…位置決め孔、２００…制御部、Ｂ１…ベアリング、Ｂ２…ベアリング、Ｂ３…ベアリング、Ｓ１…スペース部、Ｔ１…粘着テープロール、Ｔ２…粘着テープ、Ｔ３…テープ筒、Ｕ１…除塵ユニット、Ｕ２…テープユニット、Ｗ…ワーク

【要約】

ワークを均一な押圧力で押圧することが可能な除塵装置を提供する。
除塵装置１０は、ワークＷの上面側または下面側から除塵を行う除塵ロール４１Ａ，４１Ｂと、除塵ロール４１Ａ，４１Ｂに付着した塵埃を押圧状態で転写する粘着テープロールＴ１をその両端側で保持する一対の粘着テープホルダ５０と、粘着テープロールＴ１のテープ筒Ｔ３の内部に配置され、除塵ロール４１Ａ，４１Ｂに対する粘着テープロールＴ１の軸方向における押圧力の変動を抑制するための均等押圧機構１５０と、を備え、均等押圧機構１５０は、一対の粘着テープホルダ５０を連結するように軸方向に延伸し、一対の粘着テープホルダ５０の回転中心から偏心していると共に、粘着テープロールＴ１に対して非回転のホルダ軸１５１と、ホルダ軸１５１の軸方向に沿って複数取り付けられ、テープ筒Ｔ３を内筒側から押圧する押圧ホルダ１５２と、を備える。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】