特許 7532974 光ファイバ用多孔質母材の製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-05

(45)【発行日】2024-08-14

(54)【発明の名称】光ファイバ用多孔質母材の製造装置

(51)【国際特許分類】

   C03B 37/018 20060101AFI20240806BHJP

【ＦＩ】

C03B37/018 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2020122970

(22)【出願日】2020-07-17

(65)【公開番号】P2022019240

(43)【公開日】2022-01-27

【審査請求日】2023-03-22

(73)【特許権者】

【識別番号】000002130

【氏名又は名称】住友電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001416

【氏名又は名称】弁理士法人信栄事務所

(72)【発明者】

【氏名】田賀 悠記

(72)【発明者】

【氏名】木村 達也

【審査官】有田 恭子

(56)【参考文献】

【文献】特開昭５７－０１１８４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１７２５４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０７６９８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－３１６９８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１４８９１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－２７８３４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－３４５６２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００６／０１３０５３１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０３Ｂ ３７／００－３７／１６，８／０４

Ｆ１６Ｌ １３／００－５９／２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

火炎中にガラス原料を供給してガラス微粒子を合成するガラス合成用のバーナ本体と、
前記火炎への気流の影響を規制する管状の規制部材であって、前記バーナ本体の周囲に、前記バーナ本体の中心軸と同じ中心軸を有するように取り付けられた規制部材と、
を備え、
前記規制部材の端部には、前記規制部材の径方向の外側に向けて突出する第一フランジ部が形成され、
前記第一フランジ部が前記バーナ本体に着脱可能に固定されており、
前記バーナ本体に着脱可能に固定される固定治具をさらに備え、
前記固定治具を前記バーナ本体に設けられた第二フランジ部に螺合させ、
前記第一フランジ部の外周面が前記固定治具に覆われた状態で、前記第一フランジ部が前記バーナ本体と前記固定治具との間で挟持されることで、前記規制部材が前記バーナ本体に固定される、光ファイバ用多孔質母材の製造装置。

【請求項2】

前記規制部材は、石英ガラス製である、請求項１に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装置。

【請求項3】

前記バーナ本体は、金属製である、請求項１または請求項２に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装置。

【請求項4】

前記第一フランジ部と前記バーナ本体との間には、フッ素樹脂製のガスケットが挟まれている、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装置。

【請求項5】

前記固定治具は、前記バーナ本体の軸方向に沿った一端部側に底部を有し、
前記底部の中央には前記規制部材の前記第一フランジ部以外の部分が挿通可能な孔部が形成され、
前記孔部に前記規制部材を挿通した状態で、前記バーナ本体に前記固定治具の他端部を固定することで、前記第一フランジ部が前記バーナ本体と前記底部との間で挟持される、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装置。

【請求項6】

前記バーナ本体は、前記第一フランジ部が固定される固定面を有し、
前記固定面は、前記バーナ本体のガス噴出側の端部から、他方側の端部に向かって、前記バーナ本体の軸方向に０ｍｍ以上１００ｍｍ以内に設けられている、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装置。

【請求項7】

前記バーナ本体および前記規制部材は、ＶＡＤ法のコア合成用バーナに用いられる、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、光ファイバ用多孔質母材の製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、バーナの先端部の外周に、火炎への気流の影響を規制する気流規制部材が取り付けられた光ファイバ用多孔質母材の製造装置が開示されている。
特許文献２には、耐熱性合金材料からなる金属製の多孔質ガラス製造用バーナが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－１７２５４５号公報

【文献】特開２０１０－０７６９８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１及び２に開示のような多孔質母材製造用のバーナに対する気流規制部材の固定方法については改善の余地がある。

【0005】

そこで、本開示は、バーナに対して規制部材を固定する際の位置ずれを防止可能な、光ファイバ用多孔質母材の製造装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装置は、
火炎中にガラス原料を供給してガラス微粒子を合成するガラス合成用のバーナ本体と、
前記火炎への気流の影響を規制する管状の規制部材であって、前記バーナ本体の周囲に、前記バーナ本体の中心軸と同じ中心軸を有するように取り付けられた規制部材と、
を備え、
前記規制部材の端部には、前記規制部材の径方向の外側に向けて突出するフランジ部が形成され、
前記フランジ部が前記バーナ本体に着脱可能に固定されている。

【発明の効果】

【0007】

上記構成によれば、バーナに対して規制部材を固定する際の位置ずれを防止可能な、光ファイバ用多孔質母材の製造装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、本開示の実施形態に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装置の構成図である。

【図2】図２は、図１に示す製造装置に用いられるコア合成用バーナの一例を示す断面図である。

【図3】図３は、コア合成用バーナを構成するブラケット及び風防管（規制部材）を示す斜視図である。

【図4】図４は、コア合成用バーナの第一変形例を示す図である。

【図5】図５は、コア合成用バーナの第二変形例を示す図である。

【図6】図６は、コア合成用バーナの従来例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

（本開示の実施形態の説明）
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
本開示の一態様に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装置は、
（１）火炎中にガラス原料を供給してガラス微粒子を合成するガラス合成用のバーナ本体と、
前記火炎への気流の影響を規制する管状の規制部材であって、前記バーナ本体の周囲に、前記バーナ本体の中心軸と同じ中心軸を有するように取り付けられた規制部材と、
を備え、
前記規制部材の端部には、前記規制部材の径方向の外側に向けて突出するフランジ部が形成され、
前記フランジ部が前記バーナ本体に着脱可能に固定されている。
これにより、バーナに対して規制部材を固定する際の位置ずれを防止することが可能となるため、歪みなく安定した多孔質母材を作製することができる。

【0010】

（２）前記規制部材は、石英ガラス製であってもよい。
規制部材はバーナの火炎に近い位置に設けられるため、金属製よりも耐熱性の高い石英ガラス製であることが好ましい。

【0011】

（３）前記バーナ本体は、金属製であってもよい。
金属製のバーナ本体に石英ガラス製の規制部材を固定する場合、熱膨張の違いにより両者間の固定が緩みやすい。これに対して、上記構成では規制部材のフランジ部をバーナ本体に固定しているので、バーナ本体が金属製であっても規制部材を緩みなく固定することができる。

【0012】

（４）前記フランジ部は、石英製ボルトにより前記バーナ本体に固定されていてもよい。
上記構成によれば、熱変形しにくい石英製ボルトによって固定することにより、バーナ本体に固定する際の規制部材の位置ずれを確実に防止することができる。加えて、石英は腐食しにくいため、ボルト腐食による不純物の光ファイバ用多孔質母材への付着を抑制することができる。

【0013】

（５）前記フランジ部と前記バーナ本体との間には、フッ素樹脂製のガスケットが挟まれていてもよい。
上記構成によれば、ガスケットによるクッション効果により、規制部材のフランジ部の固定が緩みにくい。これにより、ガスケットによりバーナ本体に対する規制部材の密着性を高めることができ、両者間からのガスの漏れを抑制することができる。加えて、ガスケットをフッ素樹脂製とすることで、ガスケットからの発塵を抑えることができる。

【0014】

（６）前記バーナ本体に着脱可能に固定される固定治具をさらに備え、
前記フランジ部の外周面が前記固定治具に覆われた状態で、前記フランジ部が前記バーナ本体と前記固定治具との間で挟持されることで、前記規制部材が前記バーナ本体に固定されていてもよい。
上記構成によれば、規制部材を容易に脱着させることができるため、分解しての清掃が容易となる。

【0015】

（７）前記固定治具は、前記バーナ本体の軸方向に沿った一端部側に底部を有し、
前記底部の中央には前記規制部材の前記フランジ部以外の部分が挿通可能な孔部が形成され、
前記孔部に前記規制部材を挿通した状態で、前記バーナ本体に前記固定治具の他端部を固定することで、前記フランジ部が前記バーナ本体と前記底部との間で挟持されてもよい。
上記構成によれば、ボルトを用いずに規制部材のフランジ部をバーナ本体に容易に固定することができる。

【0016】

（８）前記バーナ本体は、前記フランジ部が固定される固定面を有し、
前記固定面は、前記バーナ本体のガス噴出側の端部から、他方側の端部に向かって、前記バーナ本体の軸方向に０ｍｍ以上１００ｍｍ以内に設けられていてもよい。
上記構成によれば、規制部材を適切な長さに形成することができ、石英ガラス製の規制部材によるコスト増加を抑制することができる。

【0017】

（９）前記バーナ本体および前記規制部材は、ＶＡＤ法のコア合成用バーナに用いられていてもよい。
本開示の構成は、光ファイバ特性に影響が大きいコア合成用バーナに適用することが好ましい。

【0018】

（本開示の実施形態の詳細）
本開示の実施形態に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装置の具体例を、図面を参照して説明する。なお、本開示はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【0019】

図１は、本開示の実施形態に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装置の一例を示す構成図である。
なお、以下の実施形態では、光ファイバ用多孔質母材を製造する方法として、ＶＡＤ（Ｖａｐｏｒ ｐｈａｓｅ Ａｘｉａｌ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を例に説明するが、ＶＡＤ法に限らない。ＶＡＤ法と同様にガラス原料から火炎熱分解反応を利用してガラスを堆積させる方法、例えば、ＯＶＤ（Ｏｕｔｓｉｄｅ Ｖａｐｏｒ ｐｈａｓｅ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法等に本実施形態を適用することも可能である。

【0020】

図１に示すように、本実施形態の光ファイバ用多孔質母材の製造装置１は、反応容器２を備えている。反応容器２の上方から容器内部に支持棒３が吊り下げられ、支持棒３の下側にダミーガラスロッド（出発ロッド）４が取り付けられている。このダミーガラスロッド４にガラス微粒子が堆積して光ファイバ用多孔質母材Ｍが形成される。支持棒３は、上端部を昇降装置１０により把持されており、昇降装置１０によって回転と共に昇降する。この昇降装置１０は、制御部２０によって制御されている。反応容器２の側壁部には排気管５が取り付けられている。

【0021】

反応容器２の内部下方には、コア合成用バーナ６及びクラッド合成用バーナ７が設けられている。コア合成用バーナ６とクラッド合成用バーナ７の先端部は反応容器２の内部に突出して配置されている。コア合成用バーナ６及びクラッド合成用バーナ７には、それぞれ原料ガス、火炎形成ガス（可燃性ガス及び助燃性ガス）などが供給される。コア合成用バーナ６及びクラッド合成用バーナ７に供給されるガスの流量は、ＭＦＣ（Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）２１によって制御されている。ＭＦＣ２１は、制御部２０から送信される制御信号に基づいて、ガスの供給量を制御する。原料ガスは、原料容器１１内に収容された液体原料を気化させたものが供給される。火炎形成ガスは、ガス供給装置１２から供給される。

【0022】

図２は、コア合成用バーナ６の長さ方向における一部断面図である。図３は、コア合成用バーナ６を構成するブラケット６３と風防管６４とを示す斜視図である。
図２及び図３に示すように、コア合成用バーナ６は、コア合成用のバーナ本体６１（ガラス合成用のバーナ本体の一例）と、バーナ本体６１に対して着脱可能に固定される風防管６４（火炎への気流の影響を規制するための規制部材の一例）と、を備えている。バーナ本体６１は、バーナ基部６２と、バーナ基部６２の周囲に取り付けられるブラケット６３と、を有している。

【0023】

バーナ基部６２は、その内部構造の図示は省略するが、例えば、径の異なる複数のガス吹き出し管が同心円状に配置された部材である。すなわち、コア合成用バーナ６は、例えば、少なくともガラス原料を流す中心ポートと、これを取り囲むように可燃性ガス又は助燃性ガスの少なくとも１つのガス噴出ポートと、が同心円状に配列された多重管バーナであることが好ましい。バーナ基部６２は、ガス噴出側（図２において右側）の所定範囲の先端部分６２ａが根本部分６２ｂよりも細径となるように形成されている。すなわち、バーナ基部６２において、先端部分６２ａと根本部分６２ｂとの境界には段差部６２ｃが形成されている。バーナ基部６２は、例えば、石英ガラスまたはステンレス鋼材等で構成される金属製の部材である。

【0024】

ブラケット６３は、略円筒状に構成される部材である。ブラケット６３の両端部には、径方向の外側に向けて突出したフランジ部６５，６６が設けられている。ブラケット６３の内径は、バーナ基部６２の先端部分６２ａの外径よりも僅かに大きくなるように形成されている。一方で、ブラケット６３の内径は、バーナ基部６２の根本部分６２ｂの外径よりも小さくなるように形成されている。ブラケット６３は、バーナ基部６２の先端部分６２ａの周囲に取り付けられる。ブラケット６３は、フランジ部６５，６６のうち一方のフランジ部６５がボルト６８によってバーナ基部６２の段差部６２ｃにボルト締めされることによりバーナ基部６２に固定される。ブラケット６３及びボルト６８は、例えば、ステンレス鋼材等で構成される金属製の部材である。

【0025】

風防管６４は、コア合成用バーナ６で形成される火炎の気流による影響を規制するための部材であり、管状（略円筒状）に形成されている。風防管６４の一方の端部（図２において左側の端部）には、径方向の外側に向けて突出したフランジ部６７が設けられている。風防管６４のフランジ部６７が設けられている側と反対側の端部（図２において右側の端部）は、先端に近づくにしたがって徐々に開口径が大きくなるように形成されている。風防管６４におけるフランジ部６７側の内径は、バーナ基部６２の先端部分６２ａの外径よりも僅かに大きくなるように形成されている。風防管６４は、バーナ基部６２の先端部分６２ａの周囲に、バーナ基部６２の中心軸と同じ中心軸を有するように取り付けられる。風防管６４は、フランジ部６７がボルト６９によってブラケット６３のフランジ部６６にボルト締めされることによりブラケット６３（バーナ本体６１）に固定される。風防管６４は、バーナ本体６１に対して脱着可能に取り付けられている。風防管６４及びボルト６９は、例えば、石英ガラス製の部材である。

【0026】

風防管６４のフランジ部６７が固定されるブラケット６３の固定面、すなわちブラケット６３のフランジ部６６における外側（図２において右端部）の面６６ａは、バーナ基部６２のガス噴出側の端部６２ｄからバーナ基部６２の軸方向における根本部分６２ｂ方向へ、所定の距離Ｌだけ離隔した位置に設けられている。所定の距離Ｌは、０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であることが好ましい。より好ましくは、所定の距離Ｌは５０ｍｍである。風防管６４のフランジ部６７とブラケット６３のフランジ部６６の固定面６６ａとの間には、カーボン製またはフッ素樹脂製、例えば、テフロン（登録商標）製のガスケット７０が設けられている。ガスケット７０は、例えば、リング状に形成されたものとし得る。

【0027】

光ファイバ用多孔質母材の製造装置１は、ガラス原料をコア合成用バーナ６及びクラッド合成用バーナ７に供給し、各々のバーナにより形成された火炎中で酸化あるいは加水分解反応させてガラス微粒子を生成し、該ガラス微粒子を回転するダミーガラスロッド４の先端あるいは外周に堆積させて光ファイバ用多孔質母材を製造する。

【0028】

ところで、風防管（気流規制部材）をバーナ本体に固定する方法としては、従来、例えば図６に示すように、テープ３１０などをバーナ本体３０１と風防管３０２とに貼り付ける方向が採用されていた。しかしながら、テープ３１０では必ずしも固定力が十分ではなく、例えばバーナ本体３０１の先端部や風防管３０２に付着した汚れを清掃した際に、風防管３０２の取り付け角度や取り付け位置がずれてしまう場合があった。風防管３０２の取り付け位置等が変化すると、バーナ本体３０１から噴出されるガラス微粒子の方向も変化してしまうため、歪みのない安定した多孔質母材を作製することが難しくなる。

【0029】

これに対して、上記実施形態に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装置１は、コア合成用のバーナ本体６１と、風防管６４と、を備え、風防管６４の端部には、風防管６４の径方向の外側に向けて突出するフランジ部６７が形成され、このフランジ部６７がバーナ本体６１のブラケット６３に設けられたフランジ部６６に着脱可能に固定されている。このように、風防管６４に形成されたフランジ部６７をバーナ本体６１に固定することで、風防管６４をバーナ本体６１に対して固定する際の位置ずれを防止することができる。これにより、反応容器２内において、コア合成用バーナ６の火炎への気流の影響を確実に抑制することができ、歪みなく安定した多孔質母材を作製することができる。

【0030】

本実施形態に係る製造装置１においては、風防管６４が石英ガラスで構成されている。風防管６４はバーナ本体６１の先端部に取り付けられるので、コア合成用バーナ６の火炎に近く、高温になりやすい。このため、金属よりも耐熱性の高い石英ガラスで構成されることが好ましい。

【0031】

本実施形態に係る製造装置１においては、バーナ本体６１は金属製であってもよい。金属製のバーナ本体６１に石英ガラス製の風防管６４を固定する場合、部材の熱膨張率の違いにより両者間の固定が緩みやすい。これに対して、本製造装置１では風防管６４にフランジ部６７を設け当該フランジ部６７をバーナ本体６１に固定しているので、バーナ本体６１が金属製であって風防管６４と熱膨張率が相違しても、緩みなく風防管６４をバーナ本体６１に固定することができる。加えて、バーナ本体６１を金属製とすることにより、例えば石英ガラス製のバーナ本体を作製するよりもコスト面で有利である。

【0032】

本実施形態に係る製造装置１においては、風防管６４のフランジ部６７は、石英製のボルト６９でバーナ本体６１に固定されている。この構成によれば、熱変形しにくい石英製のボルト６９で風防管６４を固定するため、バーナ本体６１に対して風防管６４を緩みなく確実に固定することができる。加えて、ボルト腐食による不純物の発生を防止することができるので、光ファイバ用多孔質母材への不純物の付着を抑制することができる。

【0033】

本実施形態に係る製造装置１においては、風防管６４のフランジ部６７とバーナ本体６１のブラケット６３のフランジ部６６との間に、カーボン製またはフッ素樹脂製のガスケット７０が設けられている。この構成によれば、ガスケット７０によるクッション効果により、バーナ本体６１のブラケット６３に対する風防管６４のフランジ部６７の固定が緩みにくい。さらに、ガスケット７０を配置することにより、バーナ本体６１に対する風防管６４の密着性を高めることができ、両者間からのガスの漏れを抑制することができる。加えて、ガスケット７０をフッ素樹脂製とすることで、ガスケット７０からの発塵を抑えることができるため好ましい。

【0034】

本実施形態に係る製造装置１においては、風防管６４のフランジ部６７を固定するバーナ本体６１のブラケット６３の固定面６６ａが、バーナ本体６１のガス噴出側の端部６２ｄから、他方側の端部に向かって、バーナ本体６１の軸方向に０ｍｍ以上１００ｍｍ以内となるように構成されている。ブラケット６３の固定面６６ａがバーナ基部６２のガス噴出面よりも先に突出していると、火炎の熱によりブラケット６３が劣化する。一方、ブラケット６３の固定面６６ａがバーナ基部６２の根本側に設けられていれば火炎の熱によるブラケット６３の劣化は抑制されるが、石英ガラス製の風防管６４を長くする必要がありコストが増加する。上記構成によれば、風防管６４を適切な長さに形成することができ、火炎の熱によるブラケット６３の劣化を抑制しつつ、風防管６４を石英ガラス製にすることに伴うコスト増加を抑制することができる。

【0035】

なお、図２及び図３に示す実施形態では、コア合成用バーナ６について説明したが、クラッド合成用バーナ７についても本実施形態と同様の構成とすることができる。

【0036】

（第一変形例）
次に、図４を参照して、コア合成用バーナの第一変形例について説明する。
上述した実施形態におけるコア合成用バーナ６においては、風防管６４をバーナ本体６１に固定するためにブラケット６３を設け、当該ブラケット６３に風防管６４をボルト締めしているが、この構成に限られない。例えば、風防管は、ブラケットを介さずにバーナ基部に直接ボルト締めされるようにしてもよい。

【0037】

図４は、第一変形例に係るコア合成用バーナ１０６の構成を示す断面図である。図４に示すように、コア合成用バーナ１０６は、コア合成用のバーナ本体１６１（ガラス合成用のバーナ本体の一例）と、バーナ本体１６１に対して着脱可能な風防管１６４と、を備えている。バーナ本体１６１は、バーナ基部１６２を有している。バーナ基部１６２は、例えば、石英ガラス製または金属製の部材である。

【0038】

風防管１６４は、フランジ部１６７がボルト１６９によってバーナ基部１６２の段差部１６２ｃにボルト締めされることによりバーナ基部１６２（バーナ本体１６１）に固定される。風防管１６４及びボルト１６９は、例えば、石英ガラス製の部材である。

【0039】

風防管１６４のフランジ部１６７が固定されるバーナ基部１６２の固定面、すなわちバーナ基部１６２の段差部１６２ｃは、バーナ基部１６２のガス噴出側の端部１６２ｄからバーナ基部１６２の軸方向における根本部分１６２ｂ方向へ、所定の距離Ｌ１だけ離隔した位置に設けられている。所定の距離Ｌ１は、０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であることが好ましい。より好ましくは、所定の距離Ｌ１は５０ｍｍである。

【0040】

本変形例のコア合成用バーナ１０６の構成では、風防管１６４のフランジ部１６７がバーナ本体１６１のバーナ基部１６２に直接固定される。この構成でも、上記実施形態のコア合成用バーナ６を用いた場合と同様の効果を得ることができる。

【0041】

（第二変形例）
次に、図５を参照して、コア合成用バーナの第二変形例について説明する。
図５は、第二変形例に係るコア合成用バーナ２０６の構成を示す断面図である。図５に示すように、コア合成用バーナ２０６は、コア合成用のバーナ本体２６１（ガラス合成用のバーナ本体の一例）と、バーナ本体２６１に対して着脱可能な風防管２６４と、風防管２６４をバーナ本体２６１に固定するための固定治具８１と、を備えている。

【0042】

バーナ本体２６１におけるガス噴出側（図５において右側）の端部には、径方向の外側に向けて突出したフランジ部９１が設けられている。フランジ部９１の外周面には、ねじ切り加工が施されている。

【0043】

風防管２６４は、上記の実施形態の風防管６４と同様に、例えば、石英ガラス製の部材である。風防管２６４の一方の端部（図５において左側の端部）には、径方向の外側に向けて突出したフランジ部２６７が設けられている。風防管２６４の他方の端部（図５において右側の端部）は、上記の実施形態の風防管６４とは異なり、拡径されていない。

【0044】

固定治具８１は、例えば、石英ガラス製であって、円筒状に構成された部材である。固定治具８１は、バーナ本体２６１の軸方向に沿った一端部側に底部８２を有している。底部８２の中央には、孔部８３が形成されている。孔部８３の径は、風防管２６４のフランジ部２６７以外の円筒部分の外径よりも僅かに大きくなるように形成されている。固定治具８１の他端部側の内周面には、ねじ切り加工が施されている。固定治具８１は、バーナ本体２６１のフランジ部９１との螺合により、フランジ部９１の周囲に取り付けられる。すなわち、固定治具８１は、バーナ本体２６１に対して着脱可能に固定される。

【0045】

第二変形例における、バーナ本体２６１への風防管２６４の取り付け方法は以下のとおりである。まず、風防管２６４をフランジ部２６７が設けられた側とは反対側の端部から固定治具８１の孔部８３に挿通させる。この状態で、風防管２６４内にバーナ本体２６１におけるガス噴出側の端部を挿入し、固定治具８１をバーナ本体２６１のフランジ部９１と螺合させる。これにより、風防管２６４のフランジ部２６７が固定治具８１の底部８２に押されて、バーナ本体２６１のフランジ部９１の面９１ａに接触する。このようにして、風防管２６４のフランジ部２６７の外周面が固定治具８１に覆われた状態で、フランジ部２６７が固定治具８１の底部８２とバーナ本体２６１のフランジ部９１との間で挟持され、風防管２６４がバーナ本体２６１に固定される。

【0046】

バーナ本体２６１のフランジ部９１におけるガス噴出側の面９１ａは、バーナ本体２６１のガス噴出側の端部２６１ａからバーナ本体２６１の軸方向における端部２６１ａとは反対方向へ、所定の距離Ｌ２だけ離隔した位置に設けられている。上記の実施形態と同様に、所定の距離Ｌ２は、０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であることが好ましい。より好ましくは、所定の距離Ｌ２は５０ｍｍである。

【0047】

以上説明したように、第二変形例のコア合成用バーナ２０６は、バーナ本体２６１に着脱可能に固定される固定治具８１を備えている。コア合成用バーナ２０６は、風防管２６４のフランジ部２６７の外周面が固定治具８１に覆われた状態でバーナ本体２６１のフランジ部９１と固定治具８１の底部８２との間に風防管２６４のフランジ部２６７が挟持されることで、風防管２６４がバーナ本体２６１に固定されるように構成されている。このように、ボルト以外の部材を用いて風防管２６４のフランジ部９１を固定することで、風防管２６４を容易に脱着させることができる。加えて、固定治具８１をバーナ本体２６１のフランジ部９１と螺合させているため、風防管２６４をバーナ本体２６１から容易に脱着させて清掃等を容易に行うことができる。

【0048】

以上、本開示を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本開示の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。上記説明した構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本開示を実施する上で好適な数、位置、形状等に変更することができる。

【符号の説明】

【0049】

１：光ファイバ用多孔質母材の製造装置
２：反応容器
３：支持棒
４：ダミーガラスロッド
５：排気管
６，１０６，２０６，３００：コア合成用バーナ
７：クラッド合成用バーナ
１０：昇降装置
１１：原料容器
１２：ガス供給装置
２０：制御部
２１：ＭＦＣ
６１，１６１，２６１，３０１：コア合成用のバーナ本体（ガラス合成用のバーナ本体の一例）
６２，１６２：バーナ基部
６２ａ，１６２ａ：先端部分
６２ｂ，１６２ｂ：根本部分
６２ｃ，１６２ｃ：段差部
６２ｄ，１６２ｄ，２６１ａ：端部
６３：ブラケット
６４，１６４，２６４，３０２：風防管（規制部材の一例）
６５，６６，６７，９１，１６７，２６７：フランジ部
６６ａ，９１ａ：固定面
６８，６９，１６９：ボルト
７０：ガスケット
８１：固定治具
８２：底部
８３：孔部
３１０：テープ
Ｍ：光ファイバ用多孔質母材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】