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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-08-05
(45)【発行日】2024-08-14
(54)【発明の名称】光干渉装置、及び、生体情報解析装置
(51)【国際特許分類】
A61B 5/026 20060101AFI20240806BHJP
A61B 5/021 20060101ALI20240806BHJP
G01N 21/17 20060101ALI20240806BHJP
【ＦＩ】
A61B5/026 120
A61B5/021
G01N21/17 610
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2020142422
(22)【出願日】2020-08-26
(65)【公開番号】P2022038108
(43)【公開日】2022-03-10
【審査請求日】2023-05-10
(73)【特許権者】
【識別番号】000002369
【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100179475
【弁理士】
【氏名又は名称】仲井 智至
(74)【代理人】
【識別番号】100216253
【弁理士】
【氏名又は名称】松岡 宏紀
(74)【代理人】
【識別番号】100225901
【弁理士】
【氏名又は名称】今村 真之
(72)【発明者】
【氏名】沢渡 彩映
(72)【発明者】
【氏名】江口 司
(72)【発明者】
【氏名】池田 陽
(72)【発明者】
【氏名】土屋 仁
【審査官】磯野 光司
(56)【参考文献】
【文献】米国特許出願公開第２０１８／０２９９２５１（ＵＳ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１５／１３２８８０（ＷＯ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２００４／００７５８４３（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ａ６１Ｂ ３／００－３／１８
Ａ６１Ｂ ５／００－５／３９８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
発光部と、受光部と、
前記発光部から射出された光を、参照光と、生体に入射される測定光と、に分離する光
分離部と、
前記参照光を散乱光に変換する拡散板と、を備え、
前記光分離部は、内部に光学膜を有する長方体状のビームスプリッターであり、
前記拡散板は、前記ビームスプリッターの一面に設けられ、
前記測定光は、前記生体の内部で反射して検出光となり、
前記検出光は、前記参照光と合波して前記受光部に入射する、
光干渉装置。
【請求項2】
前記受光部の前段には、集光部が設けられ、前記集光部は、前記検出光と、前記参照光とを合波した干渉光を前記受光部に集光させ
る、
請求項１に記載の光干渉装置。
【請求項3】
前記光分離部の前記光学膜は、ハーフミラー膜、又は、偏光分離膜である、請求項１に記載の光干渉装置。
【請求項4】
発光部と、
受光部と、
前記発光部から射出された光を、参照光と、生体に入射される測定光と、に分離する光
分離部と、
前記参照光を散乱光に変換する拡散板と、を備え、
前記測定光は、前記生体の内部で反射して検出光となり、
前記検出光は、前記参照光と合波して前記受光部に入射し、
第１面において、前記発光部と前記受光部とが隣り合って設けられており、
前記第１面と対向する第２面は、前記生体に向い合う側の面であり、
前記第１面と前記第２面との間には、前記第１面から前記第２面に向かってＶ字状に配
置される第１光学膜と、第２光学膜とが設けられ、
前記第２光学膜の表面には、前記拡散板が設けられており、
前記第１光学膜は前記光分離部であり、前記発光部から射出された光は、前記第１光学
膜で前記参照光と、前記測定光とに分離され、
前記測定光は、前記第２面から前記生体に入射し、前記生体の内部で反射した検出光は
、前記第２光学膜、及び、前記拡散板を透過した後、前記受光部に進行し、
前記参照光は、前記拡散板に進行し、前記拡散板において散乱、及び、反射されて散乱
光に変換された前記参照光となり、前記検出光と合波して前記受光部に入射する、
光干渉装置。
【請求項5】
請求項１～４のいずれか１項に記載の光干渉装置と、制御部と、を備え、
前記制御部は、前記検出光と、前記参照光とを合波した干渉光の干渉信号に基づいて、
生体の情報を解析する、
生体情報解析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、光干渉装置、及び、当該光干渉装置を備えた生体情報解析装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、非侵襲で血流や血圧等の生体情報を解析する測定技術が提案されている。例えば、特許文献１には、レーザードップラー法を用いた血液速度の測定装置が開示されている。当該測定装置では、光源から射出されたビームをサンプルビームと、基準ビームとに分割し、サンプルビームを生物試料中の領域へ導き、その領域から反射したサンプルビームと反射された基準ビームとの干渉を検出することで血液の速度を測定するとしている。
【0003】
また、サンプルビームと基準ビームは少なくともその進行経路の一部分にわたって光ファイバに結合するという記載や、特許文献１の図５の描写から、両ビームの導光距離はかなりの長さがあるものと推測される。なお、サンプルビームのことを測定光、測定光が生体の内部で反射した光を検出光、基準ビームのことを参照光ともいう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開平０８－２０６０８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１の測定装置では、Ｓ／Ｎ比の高い計測が困難であるという課題があった。詳しくは、生体からの検出光、及び、参照光の導光距離が長いため、受光部で受光される光の強度が小さかった。さらに、生体の内部で反射された検出光は散乱光であり、検出光が等方的に広がるのに対して、参照光はコヒーレントで直進性の高いレーザー光である。このため、検出光と参照光とにおける光線のベクトル成分の大部分は重ならないため、検出光と参照光とを合せた干渉光における光ビート信号は非常に小さいものとなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本願に係る光干渉装置は、発光部と、受光部と、前記発光部から射出された光を、参照光と、生体に入射される測定光と、に分離する光分離部と、前記参照光を散乱光に変換する拡散板と、を備え、前記測定光は、前記生体の内部で反射して検出光となり、前記検出光は、前記参照光と合波して前記受光部に入射する。
【0007】
本願に係る生体情報解析装置は、上記の光干渉装置と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記検出光と、前記参照光とを合波した干渉光の干渉信号に基づいて、生体の情報を解析する。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】実施形態１に係る解析装置の側面図。
【図2】解析装置の機能ブロック図。
【図3】光ビート信号の説明図。
【図4】光ビート信号の単位時間における出力電圧を示すグラフ図。
【図5】パワースペクトルを示すグラフ図。
【図6】血流量の変化を示すグラフ図。
【図7】光干渉装置の構成図。
【図8】実施形態２の光干渉装置の構成図。
【図9】実施形態３の光干渉装置の構成図。
【図10】従来の光干渉装置の構成図。
【発明を実施するための形態】
【0009】
実施形態１
＊＊＊生体情報解析装置の概要＊＊＊
図１は、実施形態１に係る解析装置の側面図である。
解析装置１００は、被験者の生体情報を非侵襲的に測定する生体情報解析装置である。
解析装置１００は、被験者の生体における特定の部位の血流量、及び、血圧を生体情報として測定する。以下の説明では、好適例として被験者の手首を生体Ｈとして例示する。なお、測定部位となる生体Ｈは、内部に細動脈が存在する生体部位であれば良く、例えば、上腕や、首などであっても良い。
＊＊＊生体情報解析装置の概要＊＊＊
図１は、実施形態１に係る解析装置の側面図である。
解析装置１００は、被験者の生体情報を非侵襲的に測定する生体情報解析装置である。
解析装置１００は、被験者の生体における特定の部位の血流量、及び、血圧を生体情報として測定する。以下の説明では、好適例として被験者の手首を生体Ｈとして例示する。なお、測定部位となる生体Ｈは、内部に細動脈が存在する生体部位であれば良く、例えば、上腕や、首などであっても良い。
【0010】
解析装置１００は、筐体部１２とベルト１４とを具備する腕時計型の携帯機器であり、好適例において手首に装着される。
筐体部１２には、光干渉装置１０や、表示装置２１などが内蔵されており、光干渉装置１０は、手首の内側に面している。表示装置２１は、測定結果を表示する液晶パネルなどの表示部であり、光干渉装置１０の反対側の面に設けられており、被験者が視認可能となっている。
ベルト１４の長さ調整や、筐体部１２のデザインにより、手首への装着状態において、光干渉装置１０が手首の動脈位置と対向する位置に配置される。
筐体部１２には、光干渉装置１０や、表示装置２１などが内蔵されており、光干渉装置１０は、手首の内側に面している。表示装置２１は、測定結果を表示する液晶パネルなどの表示部であり、光干渉装置１０の反対側の面に設けられており、被験者が視認可能となっている。
ベルト１４の長さ調整や、筐体部１２のデザインにより、手首への装着状態において、光干渉装置１０が手首の動脈位置と対向する位置に配置される。
【0011】
図２は、解析装置の機能ブロック図である。
解析装置１００の筐体部１２には、光干渉装置１０、表示装置２１に加えて、制御部としての制御装置２０、記憶装置２２などが内蔵されている。なお、光干渉装置１０の詳細は、後述する。
制御装置２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、又は、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）等の演算処理装置であり、解析装置１００の全体を制御する。また、制御装置２０には、演算部２５が含まれている。演算部２５は、後述の制御プログラム実行時において各種演算を行う仮想部位である。詳細は後述するが、制御装置２０は、光干渉装置１０が検出した干渉光の干渉信号に基づいて、演算部２５や、記憶装置２２と共働して、血流量や、血圧などの生体の情報を解析する。
解析装置１００の筐体部１２には、光干渉装置１０、表示装置２１に加えて、制御部としての制御装置２０、記憶装置２２などが内蔵されている。なお、光干渉装置１０の詳細は、後述する。
制御装置２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、又は、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）等の演算処理装置であり、解析装置１００の全体を制御する。また、制御装置２０には、演算部２５が含まれている。演算部２５は、後述の制御プログラム実行時において各種演算を行う仮想部位である。詳細は後述するが、制御装置２０は、光干渉装置１０が検出した干渉光の干渉信号に基づいて、演算部２５や、記憶装置２２と共働して、血流量や、血圧などの生体の情報を解析する。
【0012】
記憶装置２２は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、ＲＯＭ（Read Only Memory）を備えて構成される。ＲＡＭは、各種データ等の一時記憶に用いられ、ＲＯＭは、解析装置１００の動作を制御するための制御プログラムや、付随するデータなどを記憶する。制御プログラムには、解析装置１００を起動させるときの処理の順序と内容を指示する起動プログラムや、血流量の測定における処理の順序と内容を規定した血流量測定プログラムや、血流量から血圧を導出するアルゴリズムを含む血圧演算プログラムなどが含まれている。付随データには、血圧演算の際に用いられる血管径指標テーブルなどが含まれている。
【0013】
なお、制御装置２０の機能を複数の集積回路に分散した構成や、制御装置２０の一部または全部の機能を専用の電子回路で実現した構成であっても良い。
また、図２では制御装置２０と記憶装置２２とを別個の要素としたが、記憶装置２２を内包する制御装置２０を、例えばＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等により実現した構成であっても良い。
また、図２では制御装置２０と記憶装置２２とを別個の要素としたが、記憶装置２２を内包する制御装置２０を、例えばＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等により実現した構成であっても良い。
【0014】
＊＊＊血流量の測定原理＊＊＊
図３は、光ビート信号の説明図。図４は、光ビート信号の単位時間における出力電圧を示すグラフ。図５は、パワースペクトルを示すグラフ。図６は、血流量の変化を示すグラフである。図１０は、従来の光干渉装置の構成図である。
図３は、光ビート信号の説明図。図４は、光ビート信号の単位時間における出力電圧を示すグラフ。図５は、パワースペクトルを示すグラフ。図６は、血流量の変化を示すグラフである。図１０は、従来の光干渉装置の構成図である。
【0015】
まず、従来の光干渉装置９０による血流量の測定原理について説明する。
図１０に示す、従来の光干渉装置９０は、発光部１、ビームスプリッター２、ミラー４、受光部７を備えたマイケルソン干渉計である。また、図１０では、測定に寄与する光を抜粋して図示している。他の図面においても、同様である。
発光部１はコヒーレンスなレーザー光を出射するレーザー光源であり、出射されたレーザー光７０は、キューブ状のビームスプリッター２のハーフミラー膜３で、生体Ｈに向かう測定光７１と、ミラー４に向かう参照光７２とに分割される。測定光７１が生体Ｈの内部で反射した検出光７５の一部は、ハーフミラー膜３を介して受光部７に入射する。また、ミラー４で反射した参照光７６の一部は、ハーフミラー膜３で反射して、受光部７に入射する。受光部７は、フォトダイオード等の受光素子を備えている。なお、ここでは、血流量の測定に寄与する検出光７５を主体に説明したが、ハーフミラー膜３で反射されて発光部１に向かう検出光７５もあるが、図示を省略している。また、同様に、参照光７６においても、ハーフミラー膜３を透過して、発光部１に向かう参照光７６もある。
図１０に示す、従来の光干渉装置９０は、発光部１、ビームスプリッター２、ミラー４、受光部７を備えたマイケルソン干渉計である。また、図１０では、測定に寄与する光を抜粋して図示している。他の図面においても、同様である。
発光部１はコヒーレンスなレーザー光を出射するレーザー光源であり、出射されたレーザー光７０は、キューブ状のビームスプリッター２のハーフミラー膜３で、生体Ｈに向かう測定光７１と、ミラー４に向かう参照光７２とに分割される。測定光７１が生体Ｈの内部で反射した検出光７５の一部は、ハーフミラー膜３を介して受光部７に入射する。また、ミラー４で反射した参照光７６の一部は、ハーフミラー膜３で反射して、受光部７に入射する。受光部７は、フォトダイオード等の受光素子を備えている。なお、ここでは、血流量の測定に寄与する検出光７５を主体に説明したが、ハーフミラー膜３で反射されて発光部１に向かう検出光７５もあるが、図示を省略している。また、同様に、参照光７６においても、ハーフミラー膜３を透過して、発光部１に向かう参照光７６もある。
【0016】
生体Ｈに入射する測定光７１の周波数を周波数ｆ０としたときに、入射した測定光７１は、生体Ｈの組織内において散乱と反射を繰り返しながら伝搬することで散乱光となり、その一部が検出光７５として受光部７に入射する。
ここで、生体Ｈの表面の皮膚や、皮下組織といった静止組織で反射された測定光７１による検出光の周波数は、周波数ｆ０のままである。これに対して、血管５５内において、ある流速で移動する血液中の赤血球５６などの血球で反射された測定光７１による検出光７５の周波数は、ドップラ効果によって流速に応じた周波数変化が生じ、周波数ｆ０とは異なる周波数ｆｄとなる。
ここで、生体Ｈの表面の皮膚や、皮下組織といった静止組織で反射された測定光７１による検出光の周波数は、周波数ｆ０のままである。これに対して、血管５５内において、ある流速で移動する血液中の赤血球５６などの血球で反射された測定光７１による検出光７５の周波数は、ドップラ効果によって流速に応じた周波数変化が生じ、周波数ｆ０とは異なる周波数ｆｄとなる。
【0017】
一般的に、レーザー光の周波数は数１００ＴＨｚであり、既存のフォトダイオードなどの受光素子の応答特性では、ドップラシフト周波数を直接計測することが困難であった。
このため、図３に示すように、静止組織における周波数ｆ０の検出光と、血球からの周波数ｆｄの検出光とが干渉して生じた光ビート信号を検出し、ドップラシフト周波数ｆｂを計測することにより、血流の速度情報を取得することができる。これにより、光学計測により、非侵襲で生体Ｈの血流速度情報が取得可能となる。なお、光ビート信号のことをうなり信号ともいう。
このため、図３に示すように、静止組織における周波数ｆ０の検出光と、血球からの周波数ｆｄの検出光とが干渉して生じた光ビート信号を検出し、ドップラシフト周波数ｆｂを計測することにより、血流の速度情報を取得することができる。これにより、光学計測により、非侵襲で生体Ｈの血流速度情報が取得可能となる。なお、光ビート信号のことをうなり信号ともいう。
【0018】
詳細に説明する。
一定速度で移動する血球で反射した検出光７５の周波数ｆｄは、数式（１）の通り、速度Ｖｅｌ、入射光波長λ、速度ベクトルと入射光ベクトルのなす角θで決定する。
一定速度で移動する血球で反射した検出光７５の周波数ｆｄは、数式（１）の通り、速度Ｖｅｌ、入射光波長λ、速度ベクトルと入射光ベクトルのなす角θで決定する。
【0019】
【数1】
【0020】
図４は、光ビート信号の単位時間における出力電圧を示すグラフであり、横軸に時間ｔ（ｍｓ）、縦軸に出力電圧（Ｖ）を取っている。
光ビート信号Ｉ（ｔ）を、図４における時間ｔａ単位で周波数展開すると、図５に示すパワースペクトルが得られる。図５のパワースペクトルは血流速度分布を示しており、横軸の周波数ｆ（ｋＨｚ）は血球の速度に相当し、縦軸のパワーＰ（ｆ）は動いている血球数に相当する。換言すれば、パワーＰ（ｆ）は、光ビート信号Ｉ（ｔ）の交流成分を周波数展開したものである。
そして、周波数で重み付けしたパワースペクトルを、所定の周波数帯域で積分した数値は、血流量の相対値であるＦＬＯＷと定義することができる。よって、図６に示すように、縦軸のＦＬＯＷを時間ｔ単位ごとにプロットすることにより、ＦＬＯＷの過渡応答が得られる。なお、横軸は、時間ｔ（ｍｓ）を取っている。
光ビート信号Ｉ（ｔ）を、図４における時間ｔａ単位で周波数展開すると、図５に示すパワースペクトルが得られる。図５のパワースペクトルは血流速度分布を示しており、横軸の周波数ｆ（ｋＨｚ）は血球の速度に相当し、縦軸のパワーＰ（ｆ）は動いている血球数に相当する。換言すれば、パワーＰ（ｆ）は、光ビート信号Ｉ（ｔ）の交流成分を周波数展開したものである。
そして、周波数で重み付けしたパワースペクトルを、所定の周波数帯域で積分した数値は、血流量の相対値であるＦＬＯＷと定義することができる。よって、図６に示すように、縦軸のＦＬＯＷを時間ｔ単位ごとにプロットすることにより、ＦＬＯＷの過渡応答が得られる。なお、横軸は、時間ｔ（ｍｓ）を取っている。
【0021】
図１０に戻る。
前述の通り、ドップラシフトした生体Ｈからの検出光７５はハーフミラー膜３を介して受光部７に進行し、ミラー４で反射した参照光７６はハーフミラー膜３で反射して受光部７に進行し、両者は合波して干渉し、受光部７に入射する。但し、前述したように、生体の内部で反射された検出光７５は散乱光であり、検出光７５が等方的に広がるのに対して、参照光７６はコヒーレントで直進性の高いレーザー光であるため、検出光７５と参照光７６とにおける光線のベクトル成分の大部分は重ならないため、両者を合せた干渉光における光ビート信号は小さいものであった。なお、図１０では、直進光を実線で示し、散乱光を破線で示している。他の図でも同様である。
ここで、検出光７５と参照光７６との光路差が時間変動しない場合、両者が干渉した光ビート信号の強度Ｉ（ｔ）は数式（２）で表される。
前述の通り、ドップラシフトした生体Ｈからの検出光７５はハーフミラー膜３を介して受光部７に進行し、ミラー４で反射した参照光７６はハーフミラー膜３で反射して受光部７に進行し、両者は合波して干渉し、受光部７に入射する。但し、前述したように、生体の内部で反射された検出光７５は散乱光であり、検出光７５が等方的に広がるのに対して、参照光７６はコヒーレントで直進性の高いレーザー光であるため、検出光７５と参照光７６とにおける光線のベクトル成分の大部分は重ならないため、両者を合せた干渉光における光ビート信号は小さいものであった。なお、図１０では、直進光を実線で示し、散乱光を破線で示している。他の図でも同様である。
ここで、検出光７５と参照光７６との光路差が時間変動しない場合、両者が干渉した光ビート信号の強度Ｉ（ｔ）は数式（２）で表される。
【0022】
【数2】
【0023】
フーリエスペクトルＦ（ｆ）は、光ビート信号の強度Ｉ（ｔ）をフーリエ変換した周波数の関数であり、数式（３）で表される。
そして、図５のパワースペクトルＰ（ｆ）は、数式（４）に示すように、検出光強度Ｉｓと参照光強度Ｉｒとの積に比例する。
そして、図５のパワースペクトルＰ（ｆ）は、数式（４）に示すように、検出光強度Ｉｓと参照光強度Ｉｒとの積に比例する。
【0024】
【数3】
【0025】
パワースペクトルＰ（ｆ）と同様、数式（５）に示すように、図６の血流量の相対値ＦＬＯＷも、検出光強度Ｉｓと参照光強度Ｉｒとの積に比例する。
【0026】
【数4】
【0027】
ここまで、血流量の計測原理について説明した。
血圧については、血流量と、生体Ｈの細動脈の血管径とが解れば、演算により導出することができる。詳しくは、血圧は、血流量、及び、血管径と相関関係があるため、両者が解れば、導出可能である。血流量と血管径（血管抵抗）の相対値は、レーザードップラー計測にて取得することができる。
血圧については、血流量と、生体Ｈの細動脈の血管径とが解れば、演算により導出することができる。詳しくは、血圧は、血流量、及び、血管径と相関関係があるため、両者が解れば、導出可能である。血流量と血管径（血管抵抗）の相対値は、レーザードップラー計測にて取得することができる。
【0028】
発明者等の実験結果によれば、生体計測において検出光強度Ｉｓを大きくすることは困難であるが、数式（４）からすると、参照光強度Ｉｒを大きくすることができれば、パワースペクトル、及び、ＦＬＯＷを大きくできることが解る。
【0029】
＊＊＊光干渉装置の構成＊＊＊
図７は、本実施形態の光干渉装置の構成図であり、図１０に対応している。
本実施形態の光干渉装置１０は、発光部１、光分離部としてのビームスプリッター２、拡散板５、集光部としてのレンズ６、受光部７などから構成されている。なお、図７では、光干渉装置１０の基本的な光学構成を示している。
図７は、本実施形態の光干渉装置の構成図であり、図１０に対応している。
本実施形態の光干渉装置１０は、発光部１、光分離部としてのビームスプリッター２、拡散板５、集光部としてのレンズ６、受光部７などから構成されている。なお、図７では、光干渉装置１０の基本的な光学構成を示している。
【0030】
発光部１は、狭帯域でコヒーレントなレーザー光７０を出射するレーザー光源である。好適例では、共振器内の共振によりレーザー光を出射する半導体レーザーや、ガスレーザーを用いることができる。
【0031】
ビームスプリッター２は、２つの三角柱のプリズムを貼り合わせたキューブ状のビームスプリッターであり、ハーフミラー膜３を備えている。なお、ビームスプリッター２の形状は、立方体に限らず、直方体であっても良い。発光部１からのレーザー光７０は、ハーフミラー膜３で反射して生体Ｈに向かう測定光７１と、ハーフミラー膜３を透過して拡散板５に向かう参照光７２とに分割される。好適例において分割比は５０：５０としているが、レーザー光７０の強度や、光学構成に応じて、ハーフミラー膜３の透過／反射率を調節して、分割比を適宜設定すれば良い。透過／反射率は、ハーフミラー膜３を構成する複数層の光学薄膜の積層構成や、厚さを変更することにより調整できる。なお、ハーフミラー膜に限定するものではなく、同様の光学機能を有する光学膜であれば良く、例えば、無偏光ビームスプリッターや、偏光ビームスプリッターであっても良い。
【0032】
拡散板５は、入射する参照光７２を散乱光に変える拡散板である。好適例では、発泡樹脂加工ＰＴＦＥ（Poly Tetra Fluoro Ethylene）などのフッ素樹脂発泡体シート製の反射板や、すりガラスなどの散乱板を用いることができる。なお、図７では、ビームスプリッター２と拡散板５との間を空けて描写されているが、ビームスプリッター２の面に、拡散板５を貼り付けても良い。また、拡散板５の背面に反射ミラーを配置しても良い。反射ミラーを重ねることで、光の利用効率を高めることができる。
【0033】
レンズ６は、検出光７５、及び、参照光７６を集光して受光部７へ導く集光レンズである。好適例では、凸レンズや、コリメータレンズを用いることができる。また、ビームスプリッター２の内部に集光レンズを作り込んだ構成であっても良い。
受光部７は、検出光７５、及び、参照光７６を受光し、電気量に変換する光センサである。好適例では、受光強度に応じた電荷を発生するフォトダイオードを用いることができる。光センサは、発光部１の出射波長に応じて受光素子を選定することが好ましい。光源波長が近赤外領域の場合、感度が高いＩｎＧａＡｓ（インジウムガリウム砒素）や、ＧａＡｓ（ガリウム砒素）で光電変換層が形成された光センサが好適である。光源波長が可視光から近赤外領域（～９００ｎｍ）では、シリコンで形成された光センサが好適である。
受光部７は、検出光７５、及び、参照光７６を受光し、電気量に変換する光センサである。好適例では、受光強度に応じた電荷を発生するフォトダイオードを用いることができる。光センサは、発光部１の出射波長に応じて受光素子を選定することが好ましい。光源波長が近赤外領域の場合、感度が高いＩｎＧａＡｓ（インジウムガリウム砒素）や、ＧａＡｓ（ガリウム砒素）で光電変換層が形成された光センサが好適である。光源波長が可視光から近赤外領域（～９００ｎｍ）では、シリコンで形成された光センサが好適である。
【0034】
また、ビームスプリッター２の生体Ｈ側の面に、カバー部材（図示せず）を設けても良い。カバー部材は、生体Ｈの皮膚表面と接触し、生体Ｈに測定光７１を照射するとともに、生体Ｈからの検出光７５を含む光を取り込むための透明な光学部材である。好適例では、低反射コートを備える光学ガラス、光学プラスチックや、フレネルレンズなどを用いることができる。
【0035】
ビームスプリッター２において、レンズ６側の面を第１面としたとき、第１面と対向し、生体Ｈ側と向い合う面が第２面である。ビームスプリッター２において、発光部１側の面を第３面としたとき、第３面と対向する第４面側には、拡散板５が配置されている。
ビームスプリッター２のハーフミラー膜３は、発光部１からのレーザー光７０の進行方向に対して約４５°の角度を持って配置されており、ハーフミラー膜３で反射された測定光７１は、第２面に略直角に入射し、生体Ｈ側に射出される。
ビームスプリッター２のハーフミラー膜３は、発光部１からのレーザー光７０の進行方向に対して約４５°の角度を持って配置されており、ハーフミラー膜３で反射された測定光７１は、第２面に略直角に入射し、生体Ｈ側に射出される。
【0036】
＊＊＊光干渉装置による検出態様＊＊＊
図７を用いて、本実施形態の光干渉装置１０による検出態様を説明する。
発光部１から出射されたコヒーレンスなレーザー光７０は、ビームスプリッター２のハーフミラー膜３で、生体Ｈに向かう測定光７１と、拡散板５に向かう参照光７２とに分離される。
図７を用いて、本実施形態の光干渉装置１０による検出態様を説明する。
発光部１から出射されたコヒーレンスなレーザー光７０は、ビームスプリッター２のハーフミラー膜３で、生体Ｈに向かう測定光７１と、拡散板５に向かう参照光７２とに分離される。
【0037】
生体Ｈに入射した測定光７１は、生体Ｈの組織内において散乱と反射を繰り返しながら伝搬することで散乱光となり、その一部が検出光７５としてビームスプリッター２に入射する。ビームスプリッター２に入射した検出光７５の一部は、ハーフミラー膜３を介してレンズ６に入射し、集光されて受光部７に入射する。
【0038】
他方、拡散板５に入射した参照光７２は、拡散板５において散乱、及び、反射されて散乱光に変換された参照光７６となり、その一部がビームスプリッター２に入射する。ビームスプリッター２に入射した参照光７６の一部は、ハーフミラー膜３で反射してレンズ６に入射し、集光されて受光部７に入射する。
ここで、図７に示すように、拡散板５で反射された参照光７６は、破線で示された散乱光となっている。参照光７６は、同じ散乱光である検出光７５と合波して干渉光となり、受光部７に入射される。
ここで、図７に示すように、拡散板５で反射された参照光７６は、破線で示された散乱光となっている。参照光７６は、同じ散乱光である検出光７５と合波して干渉光となり、受光部７に入射される。
【0039】
以上述べた通り、本実施形態の光干渉装置１０、及び、解析装置１００によれば、以下の効果を得ることができる。
光干渉装置１０は、発光部１から射出されたレーザー光７０を、参照光７２と、生体Ｈに入射される測定光７１と、に分離するビームスプリッター２と、参照光７２を散乱光に変換する拡散板５と、を備え、測定光７１は、生体Ｈの内部で反射して検出光７５となり、検出光７５は、散乱光に変換された参照光７６と合波して受光部７に入射する。
生体Ｈの内部で反射された検出光７５は散乱光となっている。そして、拡散板５で反射された参照光７６も散乱光となっている。
よって、共に散乱光である、検出光７５と参照光７６との光線のベクトル成分の重なりが多くなり、干渉に関与する光線数が増えるため、従来に比べてＳ／Ｎ比の高い光ビート信号による計測ができる。
従って、Ｓ／Ｎ比の高い計測が可能な光干渉装置１０を提供することができる。
光干渉装置１０は、発光部１から射出されたレーザー光７０を、参照光７２と、生体Ｈに入射される測定光７１と、に分離するビームスプリッター２と、参照光７２を散乱光に変換する拡散板５と、を備え、測定光７１は、生体Ｈの内部で反射して検出光７５となり、検出光７５は、散乱光に変換された参照光７６と合波して受光部７に入射する。
生体Ｈの内部で反射された検出光７５は散乱光となっている。そして、拡散板５で反射された参照光７６も散乱光となっている。
よって、共に散乱光である、検出光７５と参照光７６との光線のベクトル成分の重なりが多くなり、干渉に関与する光線数が増えるため、従来に比べてＳ／Ｎ比の高い光ビート信号による計測ができる。
従って、Ｓ／Ｎ比の高い計測が可能な光干渉装置１０を提供することができる。
【0040】
また、光分離部としてのビームスプリッターが備えるハーフミラー膜３の透過／反射率の分割比を変更して、反射率を高めることにより、参照光強度Ｉｒを大きくすることができる。
よって、パワースペクトル、及び、ＦＬＯＷを大きくできるため、従来に比べてＳ／Ｎ比の高い光ビート信号による計測ができる。
また、光分離部は、同様の光学機能を有する光学膜であれば良く、例えば、無偏光ビームスプリッターや、偏光ビームスプリッターなどの偏光分離膜であっても良い。
よって、パワースペクトル、及び、ＦＬＯＷを大きくできるため、従来に比べてＳ／Ｎ比の高い光ビート信号による計測ができる。
また、光分離部は、同様の光学機能を有する光学膜であれば良く、例えば、無偏光ビームスプリッターや、偏光ビームスプリッターなどの偏光分離膜であっても良い。
【0041】
また、受光部７の前段には、集光部としてのレンズ６が設けられており、レンズ６は、検出光７５と参照光７６とを合波した干渉光を受光部７に集光させる。
これによれば、検出光７５と参照光７６とを効率良く受光部７に入射させることができる。
これによれば、検出光７５と参照光７６とを効率良く受光部７に入射させることができる。
【0042】
また、生体情報の解析装置１００は、光干渉装置１０と、制御装置２０と、を備え、制御装置２０は、検出光７５と参照光７６とを合波した干渉光の干渉信号に基づいて、生体の情報を解析する。
これによれば、解析装置１００は、Ｓ／Ｎ比の高い計測が可能な光干渉装置１０を備えている。従って、非侵襲で感度の良い生体情報の解析装置１００を提供することができる。
これによれば、解析装置１００は、Ｓ／Ｎ比の高い計測が可能な光干渉装置１０を備えている。従って、非侵襲で感度の良い生体情報の解析装置１００を提供することができる。
【0043】
実施形態２
＊＊＊光干渉装置の異なる態様（１）＊＊＊
図８は、本実施形態の光干渉装置の構成図であり、図７に対応している。
本実施形態の光干渉装置１０ｂは、実際の製品への組込み性を考慮した小型な構成となっている。詳しくは、光干渉装置１０ｂは、実施形態１の光干渉装置１０の各部位を、ビームスプリッター２の周囲に集めた構成である。基本的な光学作用は、実施形態１の光干渉装置１０と同じであり、同一の部位には同一の附番を附し、重複する説明は省略する。
＊＊＊光干渉装置の異なる態様（１）＊＊＊
図８は、本実施形態の光干渉装置の構成図であり、図７に対応している。
本実施形態の光干渉装置１０ｂは、実際の製品への組込み性を考慮した小型な構成となっている。詳しくは、光干渉装置１０ｂは、実施形態１の光干渉装置１０の各部位を、ビームスプリッター２の周囲に集めた構成である。基本的な光学作用は、実施形態１の光干渉装置１０と同じであり、同一の部位には同一の附番を附し、重複する説明は省略する。
【0044】
光干渉装置１０ｂは、略腕時計サイズの筐体部１２（図１）の内部に収納するために、コンパクトな構成となっており、約５ｍｍ角のビームスプリッター２の周囲に各部を配置した構成となっている。
光干渉装置１０ｂは、発光部１１、ビームスプリッター２、拡散板１５、カバー部材１８、ミラー１９、集光部としてのレンズ１６、受光部１７などから構成されている。
光干渉装置１０ｂは、発光部１１、ビームスプリッター２、拡散板１５、カバー部材１８、ミラー１９、集光部としてのレンズ１６、受光部１７などから構成されている。
【0045】
発光部１１は、実施形態１の発光部１と同様な機能を有するレーザー光源であるが、ビームスプリッター２の一面に収まる小型サイズのレーザー光源を用いている。好適例では、発光部１１のサイズを約２ｍｍ角としている。
ビームスプリッター２は、一辺の長さが約５ｍｍのキューブ状の光分離部であり、ハーフミラー膜３を備えている。
拡散板１５は、実施形態１の拡散板５と同様な拡散板であるが、ビームスプリッター２の発光部１１が配置された面の反対側の面に合せたサイズで、当該面に貼り付けられている。
ビームスプリッター２は、一辺の長さが約５ｍｍのキューブ状の光分離部であり、ハーフミラー膜３を備えている。
拡散板１５は、実施形態１の拡散板５と同様な拡散板であるが、ビームスプリッター２の発光部１１が配置された面の反対側の面に合せたサイズで、当該面に貼り付けられている。
【0046】
カバー部材１８は、ビームスプリッター２の生体Ｈ側に設けられた光学部材である。カバー部材１８は、生体Ｈの皮膚表面と接触し、生体Ｈに測定光７１を照射するとともに、生体Ｈからの検出光７５を含む光を取り込むための透明な光学部材である。好適例では、低反射コートを備える光学ガラスを用いている。
ミラー１９は、拡散板１５の裏側に重ねられた反射ミラーである。拡散板１５とミラー１９は、予め両者が貼り合わされた大判シート部材から、約５ｍｍ角にカットされた部品をビームスプリッター２に貼り付けると効率が良い。
ミラー１９は、拡散板１５の裏側に重ねられた反射ミラーである。拡散板１５とミラー１９は、予め両者が貼り合わされた大判シート部材から、約５ｍｍ角にカットされた部品をビームスプリッター２に貼り付けると効率が良い。
【0047】
受光部１７は、実施形態１の受光部７と同様な光センサであるが、約２ｍｍ角の小さなフォトダイオードを用いている。受光部１７の受光面には、凸レンズからなるレンズ１６が設けられている。または、ビームスプリッター２の内部に集光レンズを作り込んだ構成であっても良い。
なお、上記では各部位における好適例を挙げたが、一例であり、同様の機能を有する部材に変更しても良い。例えば、実施形態１において各部位の選択肢として記載された部材と入替ても良い。
なお、上記では各部位における好適例を挙げたが、一例であり、同様の機能を有する部材に変更しても良い。例えば、実施形態１において各部位の選択肢として記載された部材と入替ても良い。
【0048】
＊＊＊光干渉装置による検出態様＊＊＊
図８を用いて、本実施形態の光干渉装置１０ｂによる検出態様を説明する。
発光部１１から出射されたコヒーレンスなレーザー光７０は、ビームスプリッター２のハーフミラー膜３で、生体Ｈに向かう測定光７１と、拡散板１５に向かう参照光７２とに分離される。
図８を用いて、本実施形態の光干渉装置１０ｂによる検出態様を説明する。
発光部１１から出射されたコヒーレンスなレーザー光７０は、ビームスプリッター２のハーフミラー膜３で、生体Ｈに向かう測定光７１と、拡散板１５に向かう参照光７２とに分離される。
【0049】
生体Ｈに入射した測定光７１は、生体Ｈの組織内において散乱と反射を繰り返しながら伝搬することで散乱光となり、その一部が検出光７５としてビームスプリッター２に入射する。ビームスプリッター２に入射した検出光７５の一部は、ハーフミラー膜３を介してレンズ１６に入射し、集光されて受光部１７に入射する。
【0050】
他方、拡散板１５に入射した参照光７２は、拡散板１５において散乱、及び、反射されて散乱光に変換された参照光７６となり、ビームスプリッター２に入射する。拡散板１５を透過した一部の光は、ミラー１９で反射されて拡散板１５に入射する。ビームスプリッター２に入射した参照光７６は、その一部がハーフミラー膜３で反射してレンズ１６に入射し、集光されて受光部１７に入射する。
ここで、図８に示すように、拡散板１５で反射された参照光７６は、破線で示された散乱光となっている。参照光７６は、同じ散乱光である検出光７５と合波して干渉光となり、受光部１７に入射される。
ここで、図８に示すように、拡散板１５で反射された参照光７６は、破線で示された散乱光となっている。参照光７６は、同じ散乱光である検出光７５と合波して干渉光となり、受光部１７に入射される。
【0051】
以上述べた通り、本実施形態の光干渉装置１０ｂによれば、実施形態１での効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
拡散板１５は、長方体状のビームスプリッター２の一面に設けられるため、光干渉装置１０ｂを小型に構成できる。さらに、発光部１１、受光部１７も、ビームスプリッター２に面して設けられている。
従って、略腕時計サイズの筐体部１２（図１）の内部に収納可能なコンパクトな光干渉装置１０ｂを提供することができる。
拡散板１５は、長方体状のビームスプリッター２の一面に設けられるため、光干渉装置１０ｂを小型に構成できる。さらに、発光部１１、受光部１７も、ビームスプリッター２に面して設けられている。
従って、略腕時計サイズの筐体部１２（図１）の内部に収納可能なコンパクトな光干渉装置１０ｂを提供することができる。
【0052】
実施形態３
＊＊＊光干渉装置の異なる態様（２）＊＊＊
図９は、本実施形態の光干渉装置の構成図であり、図７、図８に対応している。
本実施形態の光干渉装置１０ｃも、実際の製品への組込み性を考慮した小型な構成となっている。基本的な光学作用は、上記実施形態の光干渉装置１０、光干渉装置１０ｂと同じであり、同一の部位には同一の附番を附し、重複する説明は省略する。
＊＊＊光干渉装置の異なる態様（２）＊＊＊
図９は、本実施形態の光干渉装置の構成図であり、図７、図８に対応している。
本実施形態の光干渉装置１０ｃも、実際の製品への組込み性を考慮した小型な構成となっている。基本的な光学作用は、上記実施形態の光干渉装置１０、光干渉装置１０ｂと同じであり、同一の部位には同一の附番を附し、重複する説明は省略する。
【0053】
光干渉装置１０ｃは、略腕時計サイズの筐体部１２（図１）の内部に収納するために、コンパクトな構成となっており、全体では約５ｍｍ角の立方体に収まるサイズである。
光干渉装置１０ｂは、枠体３０、発光部１１、受光部１７、ハーフミラー３３，３４、拡散板３５、カバー部材１８、集光部としてのレンズ３６などから構成されている。
光干渉装置１０ｂは、枠体３０、発光部１１、受光部１７、ハーフミラー３３，３４、拡散板３５、カバー部材１８、集光部としてのレンズ３６などから構成されている。
【0054】
枠体３０は、ハーフミラー３３，３４を含む各部を所定の位置に配置する筐体であり、側面視において長方形状をなしている。長方形の一方の長辺は生体Ｈ側に面しており、他方の長辺側の面には、発光部１１と受光部１７とが並んで配置されている。なお、枠体３０において、発光部１１と受光部１７とが配置される面が第１面であり、第１面と対向し、生体Ｈ側の面が第２面である。好適例において、枠体３０は黒色の硬質の樹脂で構成されており、長辺の長さは約５ｍｍである。なお、枠体３０の内面で光が反射しなければ他の材質であっても良く、例えば、金属板をプレス加工した物であっても良い。金属板を用いる場合、内面には黒色の無反射塗装を施す。また、枠体３０は内部が空間の構成に限定するものではなく、同様の機能を備えていれば良く、例えば、３角柱のプリズムを３つ組み合わせた構成であっても良い。
【0055】
枠体３０の第１面には、発光部１１と受光部１７とが並んで配置されている。発光部１１、受光部１７は、実施形態２での説明と同様の小型部品を用いている。発光部１１、受光部１７は、基板３９に実装された状態で、出射口、受光面を枠体３０に向けて取り付けられている。
枠体３０の内部には、Ｖ字状に２枚のハーフミラー３３，３４、及び、レンズ３６が配置されている。ハーフミラー３３は、発光部１１の直下に約４５°の傾きを持って配置されている。ハーフミラー３４は、受光部１７の直下に、ハーフミラー３３とは逆方向に約４５°の傾きを持って配置されている。なお、ハーフミラー３３が第１光学膜に相当し、ハーフミラー３４が第２光学膜に相当する。レンズ３６については、後述する。これらの部位以外の枠体３０の内部は空間であり、空気層となっている。
枠体３０の内部には、Ｖ字状に２枚のハーフミラー３３，３４、及び、レンズ３６が配置されている。ハーフミラー３３は、発光部１１の直下に約４５°の傾きを持って配置されている。ハーフミラー３４は、受光部１７の直下に、ハーフミラー３３とは逆方向に約４５°の傾きを持って配置されている。なお、ハーフミラー３３が第１光学膜に相当し、ハーフミラー３４が第２光学膜に相当する。レンズ３６については、後述する。これらの部位以外の枠体３０の内部は空間であり、空気層となっている。
【0056】
ハーフミラー３４の受光部１７側の面には、拡散板３５が設けられている。拡散板３５は、実施形態１の拡散板５と同様の拡散板であるが、ハーフミラー３４のサイズで、当該面に貼り付けられている。
カバー部材１８は、実施形態２での説明と同様の透明な板状部材であり、枠体３０の生体Ｈ側の面に設けられている。
レンズ３６は、好適例では凸レンズであり、受光部１７の前段に配置されている。なお、実施形態２のレンズ１６のように、受光部１７の受光面にレンズが設けられる構成であっても良い。
上記では各部位における好適例を挙げたが、一例であり、同様の機能を有する部材に変更しても良い。例えば、実施形態１において各部位の選択肢として記載された部材と入替ても良い。
カバー部材１８は、実施形態２での説明と同様の透明な板状部材であり、枠体３０の生体Ｈ側の面に設けられている。
レンズ３６は、好適例では凸レンズであり、受光部１７の前段に配置されている。なお、実施形態２のレンズ１６のように、受光部１７の受光面にレンズが設けられる構成であっても良い。
上記では各部位における好適例を挙げたが、一例であり、同様の機能を有する部材に変更しても良い。例えば、実施形態１において各部位の選択肢として記載された部材と入替ても良い。
【0057】
＊＊＊光干渉装置による検出態様＊＊＊
図９を用いて、本実施形態の光干渉装置１０ｃによる検出態様を説明する。
発光部１１から出射されたコヒーレンスなレーザー光７０は、ハーフミラー３３で、生体Ｈに向かう測定光７１と、拡散板３５に向かう参照光７２とに分離される。
図９を用いて、本実施形態の光干渉装置１０ｃによる検出態様を説明する。
発光部１１から出射されたコヒーレンスなレーザー光７０は、ハーフミラー３３で、生体Ｈに向かう測定光７１と、拡散板３５に向かう参照光７２とに分離される。
【0058】
生体Ｈに入射した測定光７１は、生体Ｈの組織内において散乱と反射を繰り返しながら伝搬することで散乱光となり、その一部が検出光７５としてハーフミラー３４に入射する。ハーフミラー３４に入射した検出光７５の一部は、ハーフミラー３４、及び、拡散板３５を介して、散乱光のままレンズ３６に入射し、集光されて受光部１７に入射する。
【0059】
他方、拡散板３５に入射した参照光７２は、拡散板３５において散乱、及び、反射されて散乱光に変換された参照光７６となり、その一部がレンズ３６に入射する。
ここで、図９に示すように、拡散板３５で反射された参照光７６は、破線で示された散乱光となっている。参照光７６は、同じ散乱光である検出光７５と合波して干渉光となり、受光部１７に入射される。
ここで、図９に示すように、拡散板３５で反射された参照光７６は、破線で示された散乱光となっている。参照光７６は、同じ散乱光である検出光７５と合波して干渉光となり、受光部１７に入射される。
【0060】
以上述べた通り、本実施形態の光干渉装置１０ｃによれば、上記実施形態での効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
枠体３０の第１面において、発光部１１と受光部１７とが隣り合って設けられており、第１面と対向する第２面は、生体Ｈに向い合う側の面であり、第１面と第２面との間には、第１面から第２面に向かってＶ字状に配置されるハーフミラー３３と、ハーフミラー３４とが設けられ、ハーフミラー３４の表面には、拡散板３５が設けられており、ハーフミラー３３は光分離部であり、発光部１１から射出された光は、ハーフミラー３３で参照光７２と、測定光７１とに分離され、測定光７１は、第２面から生体Ｈに入射し、生体Ｈの内部で反射した検出光７５は、ハーフミラー３４、及び、拡散板３５を透過した後、受光部１７に進行し、参照光７２は、拡散板３５に進行し、拡散板３５において散乱、及び、反射されて散乱光に変換された参照光７６となり、検出光７５と合波して受光部１７に入射する。
枠体３０の第１面において、発光部１１と受光部１７とが隣り合って設けられており、第１面と対向する第２面は、生体Ｈに向い合う側の面であり、第１面と第２面との間には、第１面から第２面に向かってＶ字状に配置されるハーフミラー３３と、ハーフミラー３４とが設けられ、ハーフミラー３４の表面には、拡散板３５が設けられており、ハーフミラー３３は光分離部であり、発光部１１から射出された光は、ハーフミラー３３で参照光７２と、測定光７１とに分離され、測定光７１は、第２面から生体Ｈに入射し、生体Ｈの内部で反射した検出光７５は、ハーフミラー３４、及び、拡散板３５を透過した後、受光部１７に進行し、参照光７２は、拡散板３５に進行し、拡散板３５において散乱、及び、反射されて散乱光に変換された参照光７６となり、検出光７５と合波して受光部１７に入射する。
【0061】
よって、共に散乱光である、検出光７５と参照光７６との光線のベクトル成分の重なりが多くなり、干渉に関与する光線数が増えるため、従来に比べてＳ／Ｎ比の高い光ビート信号による計測ができる。
従って、Ｓ／Ｎ比の高い計測が可能な光干渉装置１０ｃを提供することができる。
従って、Ｓ／Ｎ比の高い計測が可能な光干渉装置１０ｃを提供することができる。
【0062】
光干渉装置１０ｃの内部には、ハーフミラー３３，３４、拡散板３５、レンズ３６が収納されている。発光部１１、受光部１７は基板３９に実装された状態で枠体３０の第２面に設けられている。さらに、カバー部材１８は、枠体３０の第２面に設けられている。
このように、各部位が、小さな枠体３０の内部や、周囲に配置されているため、光干渉装置１０ｃを小型に構成できる。
従って、略腕時計サイズの筐体部１２（図１）の内部に収納可能なコンパクトな光干渉装置１０ｃを提供することができる。
このように、各部位が、小さな枠体３０の内部や、周囲に配置されているため、光干渉装置１０ｃを小型に構成できる。
従って、略腕時計サイズの筐体部１２（図１）の内部に収納可能なコンパクトな光干渉装置１０ｃを提供することができる。
【符号の説明】
【0063】
１…発光部、２…ビームスプリッター、３…ハーフミラー膜、４…ミラー、５…拡散板、６…レンズ、７…受光部、１０，１０ｂ，１０ｃ…光干渉装置、１１…発光部、１２…筐体部、１４…ベルト、１５…拡散板、１６…レンズ、１７…受光部、１８…カバー部材、１９…ミラー、２０…制御装置、２１…表示装置、２２…記憶装置、３０…枠体、３３，３４…ハーフミラー、３５…拡散板、３６…レンズ、３９…基板、７０…レーザー光、７１…測定光、７２…参照光、７５…検出光、７６…参照光、１００…解析装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】