特許 7534964 加圧装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-06

(45)【発行日】2024-08-15

(54)【発明の名称】加圧装置

(51)【国際特許分類】

   B25B 11/00 20060101AFI20240807BHJP

【ＦＩ】

B25B11/00 Z

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2021001030

(22)【出願日】2021-01-06

(65)【公開番号】P2022106189

(43)【公開日】2022-07-19

【審査請求日】2023-11-01

(73)【特許権者】

【識別番号】000003296

【氏名又は名称】デンカ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100185591

【弁理士】

【氏名又は名称】中塚 岳

(74)【代理人】

【識別番号】100133307

【弁理士】

【氏名又は名称】西本 博之

(72)【発明者】

【氏名】湯浅 晃正

(72)【発明者】

【氏名】中村 貴裕

(72)【発明者】

【氏名】江嶋 善幸

(72)【発明者】

【氏名】五十嵐 厚樹

【審査官】マキロイ 寛済

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－２３８９００（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０５５００２４２（ＣＮ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０６３１４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２３０８５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２３８９１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】欧州特許出願公開第０２２２６８３８（ＥＰ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｂ １１／００ － １１／０２

Ｂ２５Ｂ ５／１６

Ｈ０５Ｋ ３／００

Ｈ０５Ｋ ３／４６

Ｂ２３Ｋ ２０／００

Ｆ２７Ｄ ３／１２

Ｆ２７Ｄ ５／００

Ｂ３２Ｂ １５／０１

Ｂ３２Ｂ ３７／００ － ３８／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

積層体を加圧して保持する加圧装置であって、
前記積層体が載置される土台部と、
前記土台部に対向して配置され、前記土台部との間で前記積層体を挟持するカバー部と、
前記カバー部上に載置された圧縮バネと、
前記圧縮バネに対し、前記カバー部の反対側に配置された支持部と、
前記支持部に設けられて前記圧縮バネに加圧力を付与する加圧調整部と、
前記土台部に立設された複数の柱部と、前記支持部を前記柱部に着脱自在に固定する支持部取付構造と、を備え、
前記加圧調整部は、前記加圧力を調整可能に前記支持部に取り付けられており、
前記複数の柱部は、前記積層体を囲むように配置されており、
前記支持部は、前記圧縮バネに対向する加圧面と、前記加圧面とは反対側である係止面とを備えており、
前記支持部取付構造は、
前記係止面に当接して前記支持部を固定する係止片と、
前記支持部に設けられ、前記柱部が挿通されるガイド孔と、
前記柱部に設けられ、前記係止片が挿通して保持される係合孔と、を備えている、加圧装置。

【請求項2】

前記加圧調整部は、前記圧縮バネの弾性限度を超えて前記圧縮バネに加圧力を付与可能である、請求項１記載の加圧装置。

【請求項3】

前記圧縮バネは複数設けられており、
前記カバー部との間で前記複数の圧縮バネを挟持している蓋部を更に備え、
前記加圧調整部は、前記蓋部を介して前記圧縮バネに加圧力を付与している、請求項１または２記載の加圧装置。

【請求項4】

前記圧縮バネと前記支持部との間に配置された上段カバー部と、
前記上段カバー部と前記支持部との間に配置された複数の上段圧縮バネと、を更に備え、
前記加圧調整部は、前記上段圧縮バネに加圧力を付与することで、間接的に前記圧縮バネに加圧力を付与する、請求項１～３のいずれか一項記載の加圧装置。

【請求項5】

前記加圧調整部は、前記支持部から前記圧縮バネに向けて突出する突出部を備え、
前記加圧調整部は、前記突出部の突出量を調整可能に前記支持部に取り付けられている、請求項１～４のいずれか一項記載の加圧装置。

【請求項6】

前記加圧調整部は、前記支持部に螺合して貫通する軸部を備えており、
前記突出部は、前記軸部の一部である、請求項５記載の加圧装置。

【請求項7】

前記圧縮バネは、スプリングワッシャである、請求項１～６のいずれか一項記載の加圧装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、積層体を加圧して保持する加圧装置に関する。

【背景技術】

【0002】

回路基板等に使用される積層体を、加圧した状態で保持する加圧装置が知られている。この種の加圧装置では、加圧する積層体を上下の板材で挟み、更に、上方の板材をコイルスプリングで押圧することで積層体を保持している（特許文献１、２、３参照）。加圧装置は、例えば、加熱炉に供給されて積層体の接合等が行われる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１０－２３８９９号公報

【文献】特開２０１２－２００７３０号公報

【文献】特開２０１３－７１８８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来の加圧装置において、積層体への加圧はコイルスプリングの圧縮によって行われている。加圧の強度は、コイルスプリングの弾性係数に委ねられるため、加圧力の調整は困難であり、積層体への加圧が不適切になってしまう可能性があった。

【0005】

本発明は、以上の課題を解決することを目的としており、積層体の適切な加圧が可能であり、更に、適切な加圧状態を安定的に維持できる加圧装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、積層体を加圧して保持する加圧装置であって、積層体が載置される土台部と、土台部に対向して配置され、土台部との間で積層体を挟持するカバー部と、カバー部上に載置された圧縮バネと、圧縮バネに対し、カバー部の反対側に配置された支持部と、支持部に設けられて圧縮バネに加圧力を付与する加圧調整部と、を備え、加圧調整部は、加圧力を調整可能に支持部に取り付けられている。

【0007】

この加圧装置によれば、加圧調整部によって圧縮バネに付与する加圧力を調整できるので、積層体の適切な加圧が可能である。また、接合等の事後処理によって、積層体の厚み等が変化して寸法変化が生じても、その寸法変化分の誤差（ゆるみ）は圧縮バネの弾性変形によって吸収されるため、積層体の適切な加圧状態を安定的に維持できる。

【0008】

上記の加圧装置において、加圧調整部は、圧縮バネの弾性限度を超えて圧縮バネに加圧力を付与可能である。この加圧装置によれば、圧縮バネの線形加圧領域を超えて圧縮バネに加圧力を付与できるので、より大きな加圧力を付与して積層体を保持することができる。

【0009】

上記の加圧装置において、圧縮バネは複数設けられており、カバー部との間で複数の圧縮バネを挟持している蓋部を更に備え、加圧調整部は、蓋部を介して圧縮バネに加圧力を付与していてもよい。蓋部を介して複数の圧縮バネに一律に加圧力を付与できるので、圧縮バネに加圧力を安定して付与する上で有利である。

【0010】

上記の加圧装置は、圧縮バネと支持部との間に配置された上段カバー部と、上段カバー部と支持部との間に配置された複数の上段圧縮バネと、を更に備え、加圧調整部は、上段圧縮バネに加圧力を付与することで、間接的に圧縮バネに加圧力を付与してもよい。圧縮バネに対して更に上段圧縮バネを配置することにより、ゆるみに対して、より強い加圧力を維持した状態で対応できる。

【0011】

上記の加圧装置において、加圧調整部は、支持部から圧縮バネに向けて突出する突出部を備え、加圧調整部は、突出部の突出量を調整可能に支持部に取り付けられていてもよい。突出量の調整により、加圧力を容易に調整できる。

【0012】

上記の加圧装置において、加圧調整部は、支持部に螺合して貫通する軸部を備えており、突出部は軸部の一部である。軸部により、加圧力をトルク管理しながら調整できる。

【0013】

上記の加圧装置において、土台部に立設された複数の柱部と、支持部を柱部に着脱自在に固定する支持部取付構造と、を更に備え、複数の柱部は、積層体を囲むように配置されていてもよい。積層体を囲むように複数の柱部を配置することにより、積層体に対して偏りなく加圧力を付与するのに有利になる。また、支持部は柱部から離脱させることができるので、積層体を土台部に載置する際、あるいは、土台部から取り除く際に支持部が邪魔にならず、取り扱い易くなる。

【0014】

上記の加圧装置において、支持部は、圧縮バネに対向する加圧面と、加圧面とは反対側である係止面とを備えており、支持部取付構造は、係止面に当接して支持部を固定する係止片と、支持部に設けられ、柱部が挿通されるガイド孔と、柱部に設けられ、係止片が挿通して保持される係合孔と、を備えていてもよい。支持部は、ガイド孔に柱部が挿通するように設置される。支持部は、圧縮バネの反力を受けながら柱部の下方に向けて押し下げられ、係止面が係合孔を超える位置まで達する。この状態で、係止片を係合孔に挿通して係止面に当接させることで支持部を所定位置に容易に固定できる。一方で、係止片を係合孔から引き抜くことで、支持部を柱部から容易に取り外しできる。

【0015】

上記の加圧装置において、圧縮バネは、スプリングワッシャであってもよい。スプリングワッシャを用いることで、安定した加圧力で積層体を保持するのに有利になる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、積層体の適切な加圧が可能であり、更に、適切な加圧状態を安定的に維持できる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、実施形態に係る加圧治具の分解斜視図である。

【図2】図２は、実施形態に係る加圧治具を組み立てた状態の斜視図であり、部分的に破断して示している。

【図3】図３は、実施形態に係る加圧治具の断面図であり、図２の破断部分に対応している。

【図4】図４は、実施形態に係る加圧治具の模式的な側断面図である。

【図5】図５は、スプリングワッシャに付与する荷重と変位との関係を示すグラフである。

【図6】図６は、他の実施形態に係る加圧治具の模式的な側断面図である。

【図7】図７は、更に別の実施形態に係る加圧治具の模式的な側断面図である。

【図8】図８は、更に別の実施形態に係る加圧治具の模式的な側断面図である。

【図9】図９は、更に別の実施形態に係る加圧治具の模式的な側断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について詳細に説明する。

【0019】

図１、図２、図３及び図４に示されるように、実施形態に係る加圧治具１（加圧装置の一例）は、半導体の基板等に使用される積層体Ｂを加圧保持した状態で窒素連続炉等の加熱炉内に導入される。加熱炉内において、積層体Ｂは加熱され、ろう付けにより接合される。まず、図４を参照して積層体Ｂの一例について説明する。

【0020】

図４に示されるように、積層体Ｂは複数の基板ユニットＢａを備えている。なお、図４は、最下段と最上段の基板ユニットＢａの構造を詳しく示し、他の基板ユニットＢａは、便宜的に省略して示している。複数の基板ユニットＢａは、スペーサＳを挟んで積層されている。また、接合前の状態において、基板ユニットＢａは、セラミック板ｂ２を一対の銅板ｂ１で挟んで形成された積層体構造になっている。積層体Ｂは、例えば、複数の基板ユニットＢａ及び複数のスペーサＳによって形成されている。本実施形態に係る積層体Ｂは平面視で矩形であるが、他の形状であってもよい。スペーサＳは、基板ユニットＢａ同士の接合及び基板ユニットＢａと加圧治具１との接合を阻止できればよく、本実施形態ではカーボンスペーサを利用している。

【0021】

加圧治具１は、積層体Ｂが載置される板状のベースプレート２（土台部の一例）と、ベースプレート２に対向して配置されたカバープレート３（カバー部の一例）とを備えている。カバープレート３は、ベースプレート２との間で積層体Ｂを挟持する。また、加圧治具１は、カバープレート３上に配置された複数のスプリングワッシャ４（圧縮バネの一例）と、複数のスプリングワッシャ４を覆うように被せられ、カバープレート３との間で複数のスプリングワッシャ４を挟持している蓋プレート５（蓋部の一例）と、を備えている。

【0022】

本実施形態に係るカバープレート３と蓋プレート５とは、実質的に同一の形状、及び構造を備えている。具体的には、カバープレート３の上面には、座ぐり３１が形成されている。座ぐり３１は、スプリングワッシャ４の下部である一部分を収容している。蓋プレート５は、カバープレート３を反転させたような形態であり、蓋プレート５の下面には、座ぐり５１が形成されている。蓋プレート５の座ぐり５１は、スプリングワッシャ４の上部である一部分を収容している。スプリングワッシャ４を座ぐり３１または座ぐり５１に収めることにより、スプリングワッシャ４の位置決め、横方向へのずれ防止に有効である。

【0023】

カバープレート３の座ぐり３１の深さと蓋プレート５の座ぐり５１の深さとを合計した値は、スプリングワッシャ４の密着長よりも小さい。スプリングワッシャ４の密着長とは、基本的にコイルスプリングなどの圧縮バネの密着長に準ずる概念であり、スプリングワッシャ４を線形加圧領域の限界である弾性限度まで圧縮した場合における圧縮方向の長さ（高さ）を意味している。つまり、カバープレート３と蓋プレート５とによってスプリングワッシャ４を弾性限度まで圧縮したとしても、基本的にカバープレート３と蓋プレート５との間には隙間が生じることになる。

【0024】

加圧治具１は、スプリングワッシャ４に対し、カバープレート３の反対側に配置された支持プレート６（支持部の一例）を備えている。換言すると、支持プレート６は、スプリングワッシャ４及び蓋プレート５の上方に配置されている。支持プレート６は、スプリングワッシャ４に対向する下面６１（加圧面）と、下面６１とは反対側である上面６２（係止面）とを備えている。なお、「スプリングワッシャ４に対向する」について、本実施形態のように支持プレート６の下面６１とスプリングワッシャ４との間に蓋プレート５などの介在部材が存在する場合には、この介在部材を省略した場合に支持プレート６の下面６１とスプリングワッシャ４とが対向する関係になることを意図している。また、仮に、介在部材が存在しない形態の場合には、支持プレート６の下面６１とスプリングワッシャ４とが直接的に対向している関係を意味する。

【0025】

なお、本実施形態に係る加圧治具１は、蓋プレート５と支持プレート６との間に配置されたスペーサプレート７を備えている。スペーサプレート７は、積層体Ｂの厚みによって上下方向に生じる誤差空間を埋めるための部材である。例えば、厚みの異なる複数種類の積層体Ｂを想定している場合には、蓋プレート５から支持プレート６までの距離（高さ）が略一定となるように、異なる厚みの複数種のスペーサプレート７を準備しておき、積層体Ｂの厚みに応じて適宜に対応させることができる。スペーサプレート７は省略することができる。

【0026】

ベースプレート２は、例えば矩形状であり、平面視で積層体Ｂからはみ出た領域、つまり積層体Ｂに重なっていない張出領域２ａを有する。ベースプレート２の張出領域２ａには、ベースプレート２の短辺に沿うように複数（例えば、二本）の柱部８が立設されており、長辺に沿うように複数（例えば、二本）の柱部８が立設されている。複数の柱部８は、積層体Ｂを囲むように配置されている。

【0027】

加圧治具１は、支持プレート６を柱部８に着脱自在に固定する支持部取付構造９を備えている。支持プレート６は、支持部取付構造９により上方への移動を規制された状態で、柱部８に固定されており、柱部８の所定位置に保持されている。

【0028】

支持部取付構造９は、例えば、支持プレート６の上面６２に当接して支持プレート６を固定する係止片９０と、支持プレート６に設けられ、柱部８が挿通されるガイド孔６３と、柱部８の上部に設けられ、係止片９０が挿通して保持される係合孔８ａと、を備えている。支持部取付構造９は、支持プレート６が下方からの押圧力（反力）を受けた際に係止片９０が支持プレート６の上面６２に干渉し、支持プレート６の上方への移動を規制する。一方で、係止片９０を係合孔８ａから抜くと、係止片９０による支持プレート６の干渉が解かれ、支持プレート６の上方への移動が可能になり、支持プレート６を柱部８から取り外すことができる。

【0029】

なお、本実施形態に係る係止片９０は、二つ（複数）の係止部９１と、係止部９１を接続する連結部９２を備えている。複数の係止部９１は、それぞれ係合孔８ａに挿通される。つまり、本実施形態では、単体の係止片９０によって複数の係合孔８ａのそれぞれを係止させることが可能になり、操作性が向上する。

【0030】

加圧治具１は、支持プレート６に設けられてスプリングワッシャ４に加圧力を付与する加圧調整部１０を備えている。加圧調整部１０は、支持プレート６に設けられたネジ孔１１と、ネジ孔１１に螺合するボルト１２とを備えている。ボルト１２は頭部１３と軸部１４とを備えており、頭部１３にはトルクレンチに係合する切り欠き１３ａが設けられている。ボルト１２の軸部１４は、ネジ孔１１に螺合する雄ネジを形成する。軸部１４の長さは、支持プレート６の厚みよりも長い。軸部１４の先端１４ａを含む一部分は、支持プレート６から下方に向けて突き出している。軸部１４の先端１４ａを含む一部分は、下方のスプリングワッシャ４に向けて突出する突出部１５である。軸部１４をネジ孔１１に螺合する回転数により、突出部１５の突出量を調整可能である。

【0031】

ボルト１２を支持プレート６のネジ孔１１にねじ込んでいくと、軸部１４の先端１４ａは、スペーサプレート７に当接し、蓋プレート５を介してスプリングワッシャ４を押圧する。その結果、ボルト１２はスプリングワッシャ４に対して加圧力を付与する。スプリングワッシャ４に付与される加圧力は、基本的に突出部１５の突出量に依存する。但し、本実施形態では、弾性限度を超えてスプリングワッシャ４に加圧力を付与することを想定しており、ボルト１２をトルク管理することによって加圧力の調整を行っている。

【0032】

具体的に説明すると、図５に示されるように、スプリングワッシャ４の線形加圧領域においては、変位Ｘ（突出量）に応じて一定のバネ定数で荷重Ｆ（加圧力）が増加する。例えば、突出部１５がスプリングワッシャ４に加圧力を付与した位置を「０ｍｍ」とし、そこから弾性限度（線形加圧領域の限界）となる３ｍｍ分だけ突出すると、３ｋｇの荷重が付与されたことになる。本実施形態では、この弾性限度を超えてスプリングワッシャ４に加圧力を付与する。つまり、トルク加圧領域においては、トルク値を測定しながらボルト１２を螺合させ、所望圧になるまでスプリングワッシャ４に加圧力を付与する。所望圧とは、例えば、２００ｋｇ～４００ｋｇ程度の高圧である。積層体Ｂは、高圧の加圧力を受けた状態で、ベースプレート２とカバープレート３との間で挟持される。

【0033】

本実施形態では、積層体Ｂを２００ｋｇ～４００ｋｇ程度の高圧で挟持することを想定している。従って、ベースプレート２、カバープレート３、蓋プレート５、支持プレート６、柱部８等の荷重を受ける部分は、強度の高いカーボンコンポジットを使用することができる。なお、加圧の程度によってはカーボンを使用することも可能である。また、スプリングワッシャ４としては、例えば、インコネル７５０、インコネル７１８、カーボンコンポジット等を使用することができる。

【0034】

本実施形態に係る加圧治具１は、積層体Ｂを加圧保持した状態で窒素連続炉等の加熱炉内に導入される。加熱炉内において、積層体Ｂは加熱され、ろう付けにより接合される。積層体Ｂが接合される際、一部の接着剤が溶けるなどするため、積層体Ｂ全体での体積が減少してしまう可能性がある。この体積の減少により、所望のトルク値で挟持していた高圧の加圧力が解かれ、ゆるみにつながる可能性があるが、その際には、スプリングワッシャ４の弾性力が機能し、ゆるみの発生を防止する。

【0035】

次に、図６を参照し、他の実施形態に係る加圧治具１Ａを説明する。本実施形態に係る加圧治具１Ａは、第１の実施形態に係る加圧治具１と同様の構造や要素を備えている。以下の説明では、相違点を中心に説明し、共通の構造や要素については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

【0036】

加圧治具１Ａは、スプリングワッシャ４と支持プレート６との間に配置された上段カバープレート３１（上段カバー部の一例）と、上段カバープレート３１と支持プレート６との間に配置された複数の上段スプリングワッシャ４１（上段圧縮バネの一例）と、上段スプリングワッシャ４１と支持プレート６との間に配置された上段蓋プレート５１（上段蓋部の一例）とを備えている。より具体的に説明すると、上段カバープレート３１は、蓋プレート５上に配置されており、上段カバープレート３１上には、複数の上段スプリングワッシャ４１が配置されており、複数の上段スプリングワッシャ４１上には、上段蓋プレート５１が配置されている。上段スプリングワッシャ４１は、上段カバープレート３１と上段蓋プレート５１とによって挟持されている。

【0037】

加圧治具１Ａの加圧調整部１０は支持プレート６のネジ孔１１に螺合するボルト１２を備えている。図６において加圧治具１Ａではスペーサプレート７は省略されているが、スペーサプレート７を備えていてもよい。ボルト１２の軸部１４の先端１４ａは、下方に向けて突出し、上段蓋プレート５１に直接、または間接に当接する。これは、軸部１４の先端１４ａが、下方に配置されたスプリングワッシャ４に向けて突出していることを意味する。

【0038】

次に、図７を参照し、更に別の実施形態に係る加圧治具１Ｂを説明する。加圧治具１Ｂは、加圧治具１や加圧治具１Ａと同様の構造や要素を備えている。以下の説明では、相違点を中心に説明し、共通の構造や要素については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

【0039】

加圧治具１Ｂは、スプリングワッシャ４の数に対応して同数のボルト１２を備えている。複数のボルト１２は、複数のスプリングワッシャ４のそれぞれに対応し、上下方向で重なるように配置されている。ボルト１２の軸部１４の先端１４ａは、スペーサプレート７やカバープレート３を介在させることなく、直接にスプリングワッシャ４に当接し、スプリングワッシャ４を押圧している。

【0040】

次に、図８を参照し、更に別の実施形態に係る加圧治具１Ｃを説明する。加圧治具１Ｃは、加圧治具１や加圧治具１Ａ、１Ｂと同様の構造や要素を備えている。以下の説明では、相違点を中心に説明し、共通の構造や要素については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

【0041】

加圧治具１Ｃのボルト１２の軸部１４の先端１４ａは、スペーサプレート７やカバープレート３を介在させることなく、直接にスプリングワッシャ４に当接し、スプリングワッシャ４を押圧している。但し、加圧治具１Ｃは、加圧治具１Ｂとは異なり、一のボルト１２は、複数のスプリングワッシャ４に当接可能となる幅寸法を備え、また、複数のスプリングワッシャ４に当接可能となるように配置されている。

【0042】

次に、図９を参照し、更に別の実施形態に係る加圧治具１Ｄを説明する。加圧治具１Ｄは、加圧治具１や加圧治具１Ａ～１Ｃと同様の構造や要素を備えている。以下の説明では、相違点を中心に説明し、共通の構造や要素については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

【0043】

加圧治具１Ｄの加圧調整部１０は、カバープレート３のネジ孔１１に螺合する寸切ボルト状の軸部１６と、軸部１６の先端１６ａに固定された押圧プレート部１７とを備えている。軸部１６の押圧プレート部１７とは反対側の端部（基端１６ｂ）には、トルクレンチが係合する切り欠き（図示省略）が形成されている。軸部１６の先端１６ａ側の一部分は突出部１５に相当する。軸部１６は、支持プレート６の下面６１側から装着される。この装着の際、軸部１６は、基端１６ｂからネジ孔１１に差し込まれ、ネジ孔１１に螺合される。軸部１６の先端１６ａに固定された押圧プレート部１７は、スペーサプレート７やカバープレート３を介在させることなく、直接に複数のスプリングワッシャ４に当接し、スプリングワッシャ４を押圧している。

【0044】

上記の各実施形態に係る加圧治具１、１Ａ～１Ｄによれば、加圧調整部１０によってスプリングワッシャ４に付与する加圧力を調整できるので、積層体Ｂの適切な加圧が可能である。また、接合等の事後処理によって、積層体Ｂの厚み等が変化して寸法変化が生じても、その寸法変化分の誤差（ゆるみ）はスプリングワッシャ４の弾性変形によって吸収されるため、積層体Ｂの適切な加圧状態を安定的に維持できる。

【0045】

また、加圧調整部１０は、スプリングワッシャ４の弾性限度を超えてスプリングワッシャ４に加圧力を付与可能である。従って、加圧治具１、１Ａ～１Ｄによれば、スプリングワッシャ４の線形加圧領域を超えてスプリングワッシャ４に加圧力を付与できるので、より大きな加圧力を付与して積層体Ｂを保持することができる。

【0046】

また、加圧治具１は、カバープレート３との間で複数のスプリングワッシャ４を挟持している蓋プレート５を更に備え、加圧調整部１０は、蓋プレート５を介してスプリングワッシャ４に加圧力を付与している。したがって、蓋プレート５を介して複数のスプリングワッシャ４に一律に加圧力を付与できるので、スプリングワッシャ４に加圧力を安定して付与する上で有利である。

【0047】

また、加圧治具１Ａは、スプリングワッシャ４と支持プレート６との間に配置された上段カバープレート３１と、上段カバープレート３１と支持プレート６との間に配置された複数の上段スプリングワッシャ４１と、を備えている。そして、加圧治具１Ａの加圧調整部１０は、上段スプリングワッシャ４１に加圧力を付与することで、間接的に下段のスプリングワッシャ４に加圧力を付与している。加圧治具１Ａのように、下段のスプリングワッシャ４に対して更に上段スプリングワッシャ４１を配置することにより、ゆるみに対して、より強い加圧力を維持した状態で対応できる。

【0048】

また、加圧治具１、１Ａ～１Ｄの加圧調整部１０は、突出部１５の突出量を調整可能に支持プレート６に取り付けられている。従って、突出部１５の突出量の調整により、加圧力を容易に調整できる。

【0049】

また、加圧治具１、１Ａ～１Ｄの加圧調整部１０は、支持プレート６のネジ孔１１に螺合する軸部１４、１６を備え、軸部１４、１６により、加圧力をトルク管理しながら調整できる。

【0050】

また、加圧治具１、１Ａ～１Ｄは、ベースプレート２に立設された複数の柱部８と、支持プレート６を柱部８に着脱自在に固定する支持部取付構造９と、を備えている。複数の柱部８は、積層体Ｂを囲むように配置されており、積層体Ｂに対して偏りなく加圧力を付与するのに有利になる。また、支持プレート６は柱部８から離脱させることができるので、積層体Ｂをベースプレート２に載置する際、あるいは、ベースプレート２から取り除く際に支持プレート６が邪魔にならず、取り扱い易くなる。

【0051】

また、加圧治具１、１Ａ～１Ｄにおいて、支持プレート６は、ガイド孔６３に柱部８が挿通するように設置される。支持プレート６は、スプリングワッシャ４の反力を受けながら柱部８の下方に向けて押し下げられ、上面６２が係合孔８ａを超える位置まで達する。この状態で、係止片９０を係合孔８ａに挿通して上面６２に当接させることで支持プレート６を所定位置に容易に固定できる。一方で、係止片９０を係合孔８ａから引き抜くことで、支持プレート６を柱部８から容易に取り外しできる。

【0052】

また、加圧治具１、１Ａ～１Ｄでは、圧縮バネとしてスプリングワッシャ４を用いており、その結果、安定した加圧力で積層体Ｂを保持するのに有利になる。

【0053】

以上、各実施形態に係る加圧治具に基づいて、加圧装置を説明したが、本発明は、これらの実施形態のみには限定されない。例えば、圧縮バネは、スプリングワッシャに限定されず、コイルスプリングや板バネ等のその他の弾性体であってもよい。また、土台部、カバー部、支持部、蓋部等はプレート状（板状）の部材に限定されず、ブロック状、その他の形状であってもよい。また、加圧調整部は、支持部に螺合して貫通する軸部を備えた形態に限定されず、圧縮バネに加圧力を付与可能であり、その加圧力を調整可能であれば他の形態であってもよい。

【0054】

また、積層体としては半導体の基板等に使用される積層体に限定されず、他の積層体、例えば、ヒートシンクとセラミック基板とを積層した接合物等であってもよい。

【符号の説明】

【0055】

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ…加圧治具（加圧装置）、２…ベースプレート（土台部）、３…カバープレート（カバー部）、３１…上段カバープレート（上段カバー部）、４…スプリングワッシャ（圧縮バネ）、４１…上段スプリングワッシャ（上段圧縮バネ）、５…蓋プレート（蓋部）、６…支持プレート（支持部）、６１…下面（加圧面）、６２…上面（係止面）、８…柱部、８ａ…係合孔、９…支持部取付構造、１０…加圧調整部、１４，１６…軸部、１５…突出部、６３…ガイド孔、９０…係止片、Ｂ…積層体。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】