特許 7535814 磁気発光ダイオードダイ転送装置及び磁気発光ダイオードダイ転送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-08

(45)【発行日】2024-08-19

(54)【発明の名称】磁気発光ダイオードダイ転送装置及び磁気発光ダイオードダイ転送方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 33/48 20100101AFI20240809BHJP

   H01L 33/62 20100101ALI20240809BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20240809BHJP

   H01L 21/60 20060101ALI20240809BHJP

   H05K 1/18 20060101ALN20240809BHJP

【ＦＩ】

H01L33/48

H01L33/62

H01L21/68 U

H01L21/60 311T

H05K1/18 J

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2023078172

(22)【出願日】2023-05-10

(65)【公開番号】P2023168286

(43)【公開日】2023-11-24

【審査請求日】2023-05-10

(31)【優先権主張番号】111117614

(32)【優先日】2022-05-11

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】517370630

【氏名又は名称】晶呈科技股▲分▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100102532

【弁理士】

【氏名又は名称】好宮 幹夫

(74)【代理人】

【識別番号】100194881

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 俊弘

(74)【代理人】

【識別番号】100215142

【弁理士】

【氏名又は名称】大塚 徹

(72)【発明者】

【氏名】劉 埃森

(72)【発明者】

【氏名】陳 筱儒

(72)【発明者】

【氏名】黄 乙川

(72)【発明者】

【氏名】馮 祥▲アン▼

【審査官】皆藤 彰吾

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１２／００８２５３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１４－０９００５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－１２０９４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－０２２８４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１１４６５１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ３３／４８

Ｈ０１Ｌ ３３／６２

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｈ０１Ｌ ２１／６０

Ｈ０５Ｋ １／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の磁気発光ダイオードダイを転送するためのものであり、各前記磁気発光ダイオードダイは、磁性金属板を含み、磁性金属板はニッケル鉄合金層及び銅層等を含み、Ｎ極及びＳ極を含み、且つ高さ方向を有し、各前記Ｎ極及び各前記Ｓ極の配列方向は、前記高さ方向にほぼ垂直である磁気発光ダイオードダイ転送装置であって、
間隔を空けて配列され且つそれぞれ設置面を含む複数のダイ設置領域を含む基板と、
複数の磁性部材が、それぞれ、前記ダイ設置領域に位置合わせされ、且つ位置合わせＮ極及び位置合わせＳ極を含み、各前記位置合わせＮ極及び各前記位置合わせＳ極の配列方向が各前記設置面にほぼ平行であり、且つ一方の前記磁性部材の前記位置合わせＮ極が隣接する他方の前記磁性部材の前記位置合わせＳ極に対応し、
前記基板に結合される振動機構と、
を含み、
各前記磁気発光ダイオードダイの各前記Ｎ極及び各前記Ｓ極はそれぞれ、各前記磁気発光ダイオードダイを各前記ダイ設置領域に転送して位置合わせするように、各前記位置合わせＳ極及び各前記位置合わせＮ極に吸引されるために用いられ、少なくとも１つの前記磁気発光ダイオードダイが１つの前記ダイ設置領域に落ち、且つ前記少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイの前記Ｎ極が前記ダイ設置領域の前記磁性部材の前記位置合わせＳ極と位置合わせされていない場合、前記振動機構は、前記基板を振動させて、前記少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイを反転させ、且つ改めて位置合わせする磁気発光ダイオードダイ転送装置。

【請求項2】

各前記磁性部材は、磁石構造を有する請求項１に記載の磁気発光ダイオードダイ転送装置。

【請求項3】

各前記磁性部材は、電磁石構造を有する請求項１に記載の磁気発光ダイオードダイ転送装置。

【請求項4】

各前記磁性部材は、
前記基板の下に設けられるガラス板と、
前記ガラス板を貫通し、且つ互いに等間隔に配列される複数の第１の貫通孔と、
前記ガラス板を貫通し、且つ互いに等距離に配列され、前記複数の第１の貫通孔と交差して配列されるが同一線上にない複数の第２の貫通孔と、
各前記第１の貫通孔及び各前記第２の貫通孔に充填される複数の第１の導電部と、
前記ガラス板の表面に位置し、且つ各前記第１の貫通孔に位置する各前記第１の導電部と各前記第２の貫通孔に位置する各前記第１の導電部を接続する複数の第２の導電部と、
を含み、
前記複数の第１の導電部及び前記複数の第２の導電部は、螺旋状構造となるように接続される請求項３に記載の磁気発光ダイオードダイ転送装置。

【請求項5】

前記複数の磁性部材に電気的に接続され、各前記磁性部材をオンにして磁力を発生させたり、オフにして磁力を打ち消したりするためのコントローラを更に含む請求項３に記載の磁気発光ダイオードダイ転送装置。

【請求項6】

各前記磁気発光ダイオードダイの底面は、ほぼ正方形となる請求項１に記載の磁気発光ダイオードダイ転送装置。

【請求項7】

複数の磁気発光ダイオードダイを転送するためのものであり、各前記磁気発光ダイオードダイは、磁性金属板を含み、磁性金属板はニッケル鉄合金層及び銅層等を含み、Ｎ極及びＳ極を含み、且つ高さ方向を有し、各前記Ｎ極及び各前記Ｓ極の配列方向は、前記高さ方向にほぼ垂直である磁気発光ダイオードダイ転送方法であって、
複数のダイ設置領域を含む基板を供給する基板供給ステップと、
それぞれ前記ダイ設置領域に対応する複数の磁性部材を供給し、各前記磁性部材は、前記基板の内部又は前記基板の外部に間隔を空けて配列され、位置合わせＮ極及び位置合わせＳ極を含み、各前記位置合わせＮ極及び各前記位置合わせＳ極の配列方向は、前記ダイ設置領域の設置面にほぼ平行であり、且つ一方の前記磁性部材の前記位置合わせＮ極が隣接する他方の前記磁性部材の前記位置合わせＳ極に対応する磁性部材供給ステップと、
各前記磁気発光ダイオードダイの各前記Ｎ極及び各前記Ｓ極はそれぞれ、各前記磁気発光ダイオードダイを各前記ダイ設置領域に転送して位置合わせするように、各前記位置合わせＳ極及び各前記位置合わせＮ極に吸引されるために用いられる転送ステップと、
前記基板を振動させ、少なくとも１つの前記ダイ設置領域の前記磁性部材の極性と排他的である少なくとも１つの前記磁気発光ダイオードダイを反転させて、前記少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイを改めて位置合わせする振動ステップと、
を含む磁気発光ダイオードダイ転送方法。

【請求項8】

前記基板供給ステップにおいて、前記基板は、ガラス材料で製造され、且つ
前記基板に複数の貫通孔を形成する工程と、
前記基板にそれぞれ前記複数の貫通孔と連通する複数の金属設置領域を形成するように、前記基板にフォトレジスト塗布、露光及びエッチングを行う工程と、
各前記ダイ設置領域を形成するように、各前記金属設置領域及び各前記貫通孔に金属材料を充填する工程と、
を含む請求項７に記載の磁気発光ダイオードダイ転送方法。

【請求項9】

前記複数の磁気発光ダイオードダイのうちの一部は、第１の色の光を発し、他の一部は第２の色の光を発し、且つ別の一部は第３の色の光を発し、前記転送ステップにおいて、まず前記複数の磁性部材のうちの一部をオンにして磁力を発生させ、第１の色の光を発する前記一部の前記複数の磁気発光ダイオードダイが吸引されて位置合わせされ、次に、前記複数の磁性部材のうちの前記一部をオンにしたまま、且つ前記複数の磁性部材のうちの他の一部をオンにして磁力を発生させ、第２の色の光を発する前記他の一部の前記複数の磁気発光ダイオードダイが吸引されて位置合わせされ、最後に、全ての前記複数の磁性部材をオンにし、且つ第３の色の光を発する前記別の一部の前記複数の磁気発光ダイオードダイが吸引されて位置合わせされる請求項７に記載の磁気発光ダイオードダイ転送方法。

【請求項10】

各前記ダイ設置領域は、溝構造を有し、且つ収容空間を有し、且つ前記振動ステップにおいて、前記基板を上下に振動させて、前記少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイが前記収容空間から離脱して再び前記収容空間に落ちるようにする請求項７に記載の磁気発光ダイオードダイ転送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、転送装置及び転送方法に関し、特に、磁気発光ダイオードダイ転送装置及び磁気発光ダイオードダイ転送方法に関する。

【背景技術】

【0002】

発光ダイオード（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ；ＬＥＤ）ダイは、消費電力が低く、発光効率が高く、耐用年数が長いという利点があるため、様々な分野に広く適用されている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

ＬＥＤディスプレイなどの一部の分野では、基板上に複数の発光ダイオードダイを設置する必要があり、従来の表面実装技術を使用すると、一度に転送できる発光ダイオードダイは１つだけであり、操作工数が長過ぎて、大量転送のニーズを満たすことができない。

【0004】

これに鑑み、大量転送が可能な磁気発光ダイオードダイ転送装置及び磁気発光ダイオードダイ転送方法の開発は、当業者が求める目標となっている。

【0005】

上記課題を解決するために、本発明は、磁気発光ダイオードダイを効率よく大量に転送できる磁気発光ダイオードダイ転送装置及び磁気発光ダイオードダイ転送方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一実施形態によれば、複数の磁気発光ダイオードダイを転送するためのものであり、各磁気発光ダイオードダイは、Ｎ極及びＳ極を含み、且つ高さ方向を有し、各Ｎ極及び各Ｓ極の配列方向は、高さ方向にほぼ垂直である磁気発光ダイオードダイ転送装置は、間隔を空けて配列され且つそれぞれ設置面を含む複数のダイ設置領域を含む基板と、それぞれ、ダイ設置領域に位置合わせされ、且つ位置合わせＮ極及び位置合わせＳ極を含み、各位置合わせＮ極及び各位置合わせＳ極の配列方向が各設置面にほぼ平行であり、且つ一方の磁性部材の位置合わせＮ極が隣接する他方の磁性部材の位置合わせＳ極に対応する複数の磁性部材と、基板に結合される振動機構と、を含み、各磁気発光ダイオードダイの各Ｎ極及びＳ極はそれぞれ、各磁気発光ダイオードダイを各ダイ設置領域に転送して位置合わせするように、各位置合わせＳ極及び各位置合わせＮ極に吸引されるために用いられ、少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイが１つのダイ設置領域に落ち、且つ前述の少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイのＮ極が前述のダイ設置領域の磁性部材の位置合わせＳ極と位置合わせされていない場合、振動機構は、基板を振動させて、前述の少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイを反転させ、且つ改めて位置合わせする磁気発光ダイオードダイ転送装置を提供する。

【0007】

これによって、磁性部材の位置合わせＮ極と位置合わせＳ極の配列方向の関係に基づき、異方性引力の原理によって磁気発光ダイオードダイを確実に吸引することで転送して位置合わせすることができ、一度に大量転送の効果を達成することができる。そして、振動機構で基板を振動させて、位置合わせされていない磁気発光ダイオードダイを反転させて、再び位置合わせすることができ、使用しやすいだけでなく、位置合わせの効率を向上させることができる。

【0008】

前述の実施形態の磁気発光ダイオードダイ転送装置によれば、各磁性部材は、磁石構造を有してよい。

【0009】

前述の実施形態の磁気発光ダイオードダイ転送装置によれば、各磁性部材は、電磁石構造を有してよい。

【0010】

前述の実施形態の磁気発光ダイオードダイ転送装置によれば、各磁性部材は、基板の下に設けられるガラス板と、ガラス板を貫通し、且つ互いに等間隔に配列される複数の第１の貫通孔と、ガラス板を貫通し、且つ互いに等距離に配列され、前述の複数の第１の貫通孔と交差して配列されるが同一線上にない複数の第２の貫通孔と、各第１の貫通孔及び各第２の貫通孔に充填される複数の第１の導電部と、ガラス板の表面に位置し、且つ各第１の貫通孔に位置する各第１の導電部と各第２の貫通孔に位置する各第１の導電部を接続する複数の第２の導電部と、を含んでよい。前述の複数の第１の導電部及び前述の複数の第２の導電部は、螺旋状構造となるように接続される。

【0011】

前述の実施形態による磁気発光ダイオードダイ転送装置によれば、前述の複数の磁性部材に電気的に接続され、各磁性部材をオンにして磁力を発生させたり、オフにして磁力を打ち消したりするためのコントローラを更に含んでよい。

【0012】

前述の実施形態の磁気発光ダイオードダイ転送装置によれば、各磁気発光ダイオードダイの底面は、ほぼ正方形となってよい。

【0013】

本発明の一実施形態によれば、複数の磁気発光ダイオードダイを転送するためのものであり、各磁気発光ダイオードダイは、Ｎ極及びＳ極を含み、且つ高さ方向を有し、各Ｎ極及び各Ｓ極の配列方向は、高さ方向にほぼ垂直である磁気発光ダイオードダイ転送方法は、複数のダイ設置領域を含む基板を供給する基板供給ステップと、それぞれ前述のダイ設置領域に対応する複数の磁性部材を供給し、各磁性部材は、基板の内部又は基板の外部に間隔を空けて配列され、位置合わせＮ極及び位置合わせＳ極を含み、各位置合わせＮ極及び各位置合わせＳ極の配列方向は、設置面にほぼ平行であり、且つ一方の磁性部材の位置合わせＮ極が隣接する他方の磁性部材の位置合わせＳ極に対応する磁性部材供給ステップと、各磁気発光ダイオードダイの各Ｎ極及び各Ｓ極はそれぞれ、各磁気発光ダイオードダイを各ダイ設置領域に転送して位置合わせするように、各位置合わせＳ極及び各位置合わせＮ極に吸引されるために用いられる転送ステップと、基板を振動させ、少なくとも１つのダイ設置領域の磁性部材の極性と排他的である少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイを反転させて、前述の少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイを改めて位置合わせする振動ステップと、を含む磁気発光ダイオードダイ転送方法を提供する。

【0014】

前述の実施形態の磁気発光ダイオードダイ転送方法によれば、基板供給ステップにおいて、基板は、ガラス材料で製造されてもよく、且つ、基板に複数の貫通孔を形成する工程と、基板にそれぞれ前述の複数の貫通孔と連通する複数の金属設置領域を形成するように、基板にフォトレジスト塗布、露光及びエッチングを行う工程と、各ダイ設置領域を形成するように、各金属設置領域及び各貫通孔に金属材料を充填する工程と、を含む。

【0015】

前述の実施形態の磁気発光ダイオードダイ転送方法によれば、前述の複数の磁気発光ダイオードダイのうちの一部は、第１の色の光を発し、他の一部は第２の色の光を発し、且つ別の一部は第３の色の光を発してよく、転送ステップにおいて、まず前述の複数の磁性部材のうちの一部をオンにして磁力を発生させ、第１の色の光を発する一部の前述の複数の磁気発光ダイオードダイが吸引されて位置合わせされ、次に、前述の複数の磁性部材のうちの前述の一部をオンにしたまま、且つ前述の複数の磁性部材のうちの他の一部をオンにして磁力を発生させ、第２の色の光を発する前述の他の一部の前述の複数の磁気発光ダイオードダイが吸引されて位置合わせされ、最後に、全ての前述の複数の磁性部材をオンにし、且つ第３の色の光を発する前述の別の一部の前述の複数の磁気発光ダイオードダイが吸引されて位置合わせされる。

【0016】

前述の実施形態の磁気発光ダイオードダイ転送方法によれば、各ダイ設置領域は、溝構造を有し、且つ収容空間を有し、且つ振動ステップにおいて、基板を上下に振動させて、前述の少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイが収容空間から離脱して再び収容空間に落ちるようにする。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の第１の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送装置及び磁気発光ダイオードダイを示す概略図である。

【図2】本発明の第２の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送装置及び磁気発光ダイオードダイを示す概略図である。

【図3】本発明の第３の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送装置及び磁気発光ダイオードダイの一部を示す側面断面概略図である。

【図4】図３の第３の実施例における磁気発光ダイオードダイ転送装置の磁性部材を示す平面概略図である。

【図5】本発明の第４の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送装置及び磁気発光ダイオードダイを示す平面概略図である。

【図6】本発明の第４の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送装置の基板を示す形成図である。

【図7】本発明の第５の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送方法を示すブロックフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。明らかに説明するために、多くの実務上の細部を下記叙述で合わせて説明する。しかしながら、理解すべきなのは、これらの実際的な細部は本発明を制限するためのものではない。即ち、本発明の一部の実施例において、これらの実務上の細部は、必要ではない。また、図面を簡略化するために、ある従来慣用の構造及び要素は、図面において簡単で模式的に示され、且つ重複する要素は、同じ番号又は類似する番号で示される可能性がある。

【0019】

また、本明細書における第１の、第２の、第３の等の用語は、異なる要素又は成分を説明するためのものに過ぎず、要素／成分自体を制限するものではなく、よって、第１の要素／成分は、第２の要素／成分と読み替えてもよい。また、本明細書における要素／成分／機構／モジュールの組み合わせは、この分野における一般的な周知、通常又は既知の組み合わせではなく、要素／成分／機構／モジュール自体が既知であるか否かによって、その組み合わせ関係が当業者にとって容易に完成され得るか否かを判定することができない。

【0020】

図１を参照し、ここで図１は、本発明の第１の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送装置１００及び磁気発光ダイオードダイＬ１を示す概略図である。本発明の一実施形態によれば、複数の磁気発光ダイオードダイ転送装置Ｌ１を転送するための磁気発光ダイオードダイ転送装置１００を提供し、各磁気発光ダイオードダイＬ１は、Ｎ極Ｌ１１及びＳ極Ｌ１２を含み、且つ高さ方向を有し、各Ｎ極Ｌ１１及び各Ｓ極Ｌ１２の配列方向は、高さ方向にほぼ垂直であり、磁気発光ダイオードダイ転送装置１００は、基板１１０、複数の磁性部材１２０、及び振動機構１３０を含む。基板１１０は、複数のダイ設置領域１１１を含み、前述の複数のダイ設置領域１１１は、間隔を空けて配列され、且つ各ダイ設置領域１１１は、設置面１１１１を含む。各磁性部材１２０は、各ダイ設置領域１１１に位置合わせされ、且つ位置合わせＮ極１２１及び位置合わせＳ極１２２を含み、各位置合わせＮ極１２１及び各位置合わせＳ極１２２の配列方向が各設置面１１１１にほぼ平行であり、且つ一方の磁性部材１２０の位置合わせＮ極１２１が隣接する他方の磁性部材１２０の位置合わせＳ極１２２に対応する。振動機構１３０は、基板１１０に結合されている。ここで、各磁気発光ダイオードダイＬ１の各Ｎ極Ｌ１１及び各Ｓ極Ｌ１２はそれぞれ、各磁気発光ダイオードダイＬ１を各ダイ設置領域１１１に転送して位置合わせするように、各位置合わせＳ極１２２及び各位置合わせＮ極１２１に吸引されるために用いられ、少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイＬ１がダイ設置領域１１１に落ち、且つ前述の少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイＬ１のＮ極Ｌ１１が、前述のダイ設置領域１１１の磁性部材１２０の位置合わせＳ極１２２と位置合わせされていない場合、振動機構１３０は、基板１１０を振動させて、前述の少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイＬ１を反転させ、且つ改めて位置合わせする。

【0021】

これによって、磁性部材１２０の位置合わせＮ極１２１と位置合わせＳ極１２２の配列方向の関係に基づき、異方性引力の原理によって磁気発光ダイオードダイＬ１を確実に吸引することで転送し位置合わせすることができ、一度に大量転送の効果を達成することができる。また、振動機構１３０で基板１１０を振動させて、位置合わせされていない磁気発光ダイオードダイＬ１を反転させて、再び位置合わせすることができ、使用しやすいだけでなく、位置合わせの効率を向上させることができる。以下、磁気発光ダイオードダイ転送装置１００の詳細について説明する。

【0022】

磁気発光ダイオードダイＬ１は、エピタキシャル層及び磁性金属板を含むことができ、エピタキシャル層は、磁性金属板に設置され、磁性金属板は、ニッケル鉄合金層及び銅層等を含むことができ、高熱伝導係数、低熱膨張係数及び初透磁率を有し、且つ微弱な磁性を有し、磁性方向が水平である。

【0023】

基板１１０は、透明基板又は絶縁基板であってもよく、ダイ設置領域１１１は、溝構造を有してもよく、溝構造の底面は設置面１１１１として形成され、且つ各ダイ設置領域１１１の間に間隔領域１１２を隔てることができる。図１の第１の実施例において、各磁性部材１２０は、基板１１０内に埋設されることができる磁石構造を有してもよく、他の実施例において、各磁性部材は、基板の外部に設置されてもよいが、これに制限されない。

【0024】

各磁性部材１２０は水平に配列され、磁性部材１２０は磁力を発生させ、各設置面１１１１の上方と下方の磁力線の接線方向はそれぞれＤ１１とＤ１２であり、各間隔領域１１２の上方及び下方にも磁力線の接線方向Ｄ２１とＤ２２が形成される。図１に示すように、磁力線の接線方向Ｄ１１は、磁力線の接線方向Ｄ２１と逆であり、且つ互いに排他的であり、これにより磁気発光ダイオードダイＬ１を分離することができる。換言すれば、磁気発光ダイオードダイＬ１の磁性が水平であるため、水平吸引接続という障害が発生し、即ち、磁気発光ダイオードダイＬ１は、互いに接続しやすく分離しにくい。ダイ設置領域１１１の磁力線の接線方向Ｄ１１と間隔領域１１２の磁力線の接線方向Ｄ２１を逆に配置することで、磁気発光ダイオードダイＬ１が転移される際に接続された磁気発光ダイオードダイＬ１から分離するのに役に立つことができる。

【0025】

振動機構１３０は、振動ロッド構造を有してもよく、振動機構１３０内にモータ及び偏心ブロック等の部品を設置して振動を引き起こすことができ、これにより基板１１０を振動させることができる。他の実施例において、基板は、ロボットアームに接続され、且つロボットアームにより基板を振動することができるが、本発明はこれに制限されない。磁気発光ダイオードダイＬ１を転移する過程において、一部の磁気発光ダイオードダイＬ１が、ダイ設置領域１１１に落ちた時に反転される可能性があり、即ち、磁気発光ダイオードダイＬ１のＳ極Ｌ１２が磁性部材１２０の位置合わせＳ極１２２と位置合わせされ、このような排他的関係により、磁気発光ダイオードダイＬ１が磁性部材１２０によって吸着固定されず、依然として可動状態にある。この場合、振動機構１３０で基板１１０を上下に振動させると、これらの可動な磁気発光ダイオードダイＬ１は、跳ね上げられ、反転され、且つ改めて位置合わせされる。方向が正確で、且つ磁性部材１２０に吸着固定された磁気発光ダイオードダイＬ１は、影響を受けず、依然として固定されたままである。

【0026】

また、各磁気発光ダイオードダイＬ１の底面は、ほぼ正方形となることができる。即ち、磁気発光ダイオードダイＬ１の底面の長さと幅は同じであるため、ダイ設置領域１１１は、磁気発光ダイオードダイＬ１に対応するよう、長さと幅が等しい設置面１１１１を有することができ、このように、磁気発光ダイオードダイＬ１は、ダイ設置領域１１１に落ちやすい。

【0027】

図２を参照し、ここで図２は、本発明の第２の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送装置２００及び磁気発光ダイオードダイＬ１を示す概略図である。図２における第２の実施例の磁気発光ダイオードダイ転送装置２００は、図１における第１の実施例の磁気発光ダイオードダイ転送装置１００と類似するが、磁性部材２２０は、基板２１０から独立しており、電磁石構造を有してよい。図２に示すように、磁性部材２２０は、コイルを巻いて通電することができ、これにより位置合わせＮ極２２１及び位置合わせＳ極２２２を形成することができ、位置合わせＮ極２２１及び位置合わせＳ極２２２は、水平に配列され、磁気発光ダイオードダイＬ１のＮ極Ｌ１１及びＳ極Ｌ１２の配列方向と同じであり、これにより吸着位置合わせの効果を達成する。磁性部材２２０の磁力の大きさは、電流の大きさ又はコイルの巻数の多少によって決めることができ、且つ磁極方向は、電流方向によって変更することができ、これは配置しやすいという利点を更に有する。

【0028】

図３及び図４を参照し、ここで図３は、本発明の第３の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送装置３００及び磁気発光ダイオードダイＬ１の一部を示す側面断面概略図であり、図４は、図３における第３の実施例の磁気発光ダイオードダイ転送装置３００の磁性部材３２０を示す上面概略図である。磁気発光ダイオードダイ転送装置３００において、磁性部材３２０も電磁石構造を有し、且つ各磁性部材３２０は、ガラス板３２３、複数の第１の貫通孔３２４、複数の第２の貫通孔３２５、複数の第１の導電部３２６、及び複数の第２の導電部３２７を含む。ガラス板３２３は、基板３１０の下に設置され、前述の複数の第１の貫通孔３２４は、ガラス板３２３を貫通し、且つ互いに等間隔に配列される。前述の複数の第２の貫通孔３２５は、ガラス板３２３を貫通し、且つ互いに等距離に配列され、前述の複数の第２の貫通孔３２５は、前述の複数の第１の貫通孔３２４と交差して配列されるが同一線上にない。前述の複数の第１の導電部３２６は、各第１の貫通孔３２４及び各第２の貫通孔３２５に充填される。前述の複数の第２の導電部３２７は、ガラス板３２３の表面に位置し、且つ各第２の導電部３２７は、各第１の貫通孔３２４に位置する各第１の導電部３２６と各第２の貫通孔３２５に位置する各第１の導電部３２６を接続する。ここで、前述の複数の第１の導電部３２６及び前述の複数の第２の導電部３２７は、螺旋状構造となるように接続される。この場合、位置合わせＮ極３２１及び位置合わせＳ極３２２は水平に配列され、磁気発光ダイオードダイＬ１のＮ極Ｌ１１及びＳ極Ｌ１２の配列方向と同じであり、吸着位置合わせの効果を達成する。

【0029】

具体的には、図３及び図４に示すように、ガラス板３２３は、例えば３つの第１の貫通孔３２４及び３つの第２の貫通孔３２５を含むことができ、３つの第１の貫通孔３２４は、水平方向に沿って一列に配列され、３つの第２の貫通孔３２５は、水平方向に沿ってもう一列に配列され、且つ各第１の貫通孔３２４と各第２の貫通孔３２５は、垂直方向において同一線上にない。第１の導電部３２６及び第２の導電部３２７は、例えば銅であってもよく、即ち、第１の導電部３２６は、第１の貫通孔３２４及び第２の貫通孔３２５に設置された後、導電孔（ＶＩＡ）構造を形成し、第２の導電部３２７は、ガラス板３２３の上面及び下面に設置され、最後に螺旋状のコイル構造を形成することができ、通電すると位置合わせＳ極３２２及び位置合わせＮ極３２１を形成することができる。第３の実施例において、ガラス板３２３は、磁性部材３２０の短絡を防止する効果を更に有することができる。特に注意すべきなのは、図３及び図４に示した第１の導電部３２６及び第２の導電部３２７が形成したコイルの巻数は３つであるが、磁力線のニーズに応じてコイルの巻数を変更することができ、図面に制限されない。

【0030】

図５及び図６を参照し、ここで図５は、本発明の第４の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送装置４００及び磁気発光ダイオードダイＬ１、Ｌ２、Ｌ３を示す上面概略図であり、図６は、本発明による第４の実施例の磁気発光ダイオードダイ転送装置４００の基板４１０を示す形成図である。磁気発光ダイオードダイ転送装置４００の基板４１０は、複数のダイ設置領域４１１、４１２、４１３を含むことができ、ダイ設置領域４１１、４１２、４１３はそれぞれ、磁気発光ダイオードダイＬ１、Ｌ２、Ｌ３を設置するために用いられ、且つ磁気発光ダイオードダイＬ１は、赤色光等の第１の色の光を発することができ、磁気発光ダイオードダイＬ２は、緑色光等の第２の色の光を発することができ、磁気発光ダイオードダイＬ３は、青色光等の第３の色の光を発することができる。

【0031】

図５及び図６に示すように、基板４１０に、まず複数の貫通孔４１５を形成しており、基板４１０にフォトレジストＲ１を塗布し、更に、前述の複数の貫通孔４１５と連通するために、露光及びエッチングにより複数の金属設置領域４１６を形成することができる。このように各金属設置領域４１６及び各貫通孔４１５に金属材料Ｍ１を充填すれば、ダイ設置領域４１１、４１２、４１３を形成することができる。他の実施例において、基板は他の方式で形成されてもよく、これに制限されない。

【0032】

再び図５を参照し、各ダイ設置領域４１１、４１２、４１３は、磁性部材（第４の実施例に図示されていない）に対応することができ、磁気発光ダイオードダイ転送装置４００は、磁性部材に電気的に接続されるコントローラ４４０を更に含み、コントローラ４４０は、各磁性部材をオンにして磁力を発生させたり、オフにして磁力を打ち消したりするために用いられる。換言すれば、磁性部材は、電磁石構造を有するため、通電をオンにすることで磁力を発生させることができ、通電をしない時、磁性部材は、磁力がないため、コントローラ４４０によって各磁性部材を制御することができ、必要なダイ設置領域４１１、４１２、４１３を選択することで必要な磁気発光ダイオードダイＬ１、Ｌ２、Ｌ３を設置する。

【0033】

例えば、まず全てのダイ設置領域４１１に対応する磁性部材をオンにして、大量の磁気発光ダイオードダイＬ１を取り、磁気発光ダイオードダイＬ１をダイ設置領域４１１に転送して吸着させ、次に、全てのダイ設置領域４１１、４１２に対応する磁性部材をオンにして、大量の磁気発光ダイオードダイＬ２を取り、磁気発光ダイオードダイＬ２をダイ設置領域４１２に転送して吸着させ、最後に、全てのダイ設置領域４１１、４１２、４１３に対応する磁性部材をオンにして、大量の磁気発光ダイオードダイＬ３を取り、磁気発光ダイオードダイＬ３をダイ設置領域４１３に転送して吸着させることができ、上記開示を含むが、これに制限されない。

【0034】

図１と共に図７を参照し、ここで図７は、本発明の第５の実施例による磁気発光ダイオードダイ転送方法５００を示すブロックフローチャートであり、以下、図１の磁気発光ダイオードダイ転送装置１００を参照し、磁気発光ダイオードダイ転送方法５００の詳細を説明する。磁気発光ダイオードダイの転送方法５００は、複数の磁気発光ダイオードダイＬ１を転送するために用いられ、各磁気発光ダイオードダイＬ１は、Ｎ極Ｌ１１及びＳ極Ｌ１２を含み、且つ高さ方向を有し、各Ｎ極Ｌ１１及び各Ｓ極Ｌ１２の配列方向は、高さ方向にほぼ垂直であり、磁気発光ダイオードダイ転送方法５００は、基板供給ステップ５１０、磁性部材供給ステップ５２０、転送ステップ５３０、及び振動ステップ５４０を含む。

【0035】

基板供給ステップ５１０において、複数のダイ設置領域を含む基板１１０を供給する。

【0036】

磁性部材供給ステップ５２０において、それぞれ前述の複数のダイ設置領域１１１に対応する複数の磁性部材１２０を供給し、各磁性部材１２０は、基板１１０内に間隔を空けて配列され、位置合わせＮ極１２１及び位置合わせＳ極１２２を含み、各位置合わせＮ極１２１及び各位置合わせＳ極１２２の配列方向は、各設置面１１１１にほぼ平行であり、且つ磁性部材１２０の位置合わせＮ極１２１は、隣接する他の磁性部材１２０の位置合わせＳ極１２２に対応する。

【0037】

転送ステップ５３０において、各磁気発光ダイオードダイＬ１の各Ｎ極Ｌ１１及び各Ｓ極Ｌ１２はそれぞれ、各磁気発光ダイオードダイＬ１を各ダイ設置領域１１１に転送して位置合わせするように、各位置合わせＳ極１２２及び各位置合わせＮ極１２１に吸引されるために用いられる。

【0038】

振動ステップ５４０において、基板１１０を振動させ、少なくとも１つのダイ設置領域１１１の磁性部材の１２０極性と排他的である少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイＬ１を反転させて、前述の少なくとも１つの磁気発光ダイオードダイＬ１を改めて位置合わせする。

【0039】

具体的には、基板供給ステップ５１０において、ダイ設置領域１１１は、間隔を空けて配列され、且つ溝構造を有し、収容空間を有する。磁性部材供給ステップ５２０において、磁性部材１２０は、磁石構造を有することができ、且つ基板１１０を製造する際に基板１１０内に埋設されることができ、且つ各ダイ設置領域１１１の設置面１１１１に対応する。又は、図２の第２の実施例のように、磁性部材２２０は、電磁石構造を有し、且つ基板２１０から独立するようにしてもよい。

【0040】

転送ステップ５３０において、大量の磁気発光ダイオードダイＬ１を供給することができ、初期状態において、各磁気発光ダイオードダイＬ１は、磁性部材１２０の磁力で吸着されずに互いに接続されて且つ自由に移動可能な状態にある可能性がある。転送ステップ５３０において、各磁気発光ダイオードダイＬ１は、磁性部材１２０の磁力で吸着され、各ダイ設置領域１１１の収容空間に落ち、且つ磁力により自由に移動することができない。各磁気発光ダイオードダイＬ１が、方向が逆にするように各ダイ設置領域１１１の収容空間に落ちた場合、このときの磁気発光ダイオードダイＬ１の磁力と磁性部材１２０の磁力が互いに排他的であり、よって、振動ステップ５４０において、基板１１０を上下に振動させることができ、このように、方向が逆である磁気発光ダイオードダイＬ１が収容空間から離脱した後に再び収容空間に落ちるようにすることができ、振動に加えて、磁力が逆であるため、磁気発光ダイオードダイＬ１を反転させることができ、ひいては改めて位置合わせすることができる。

【0041】

図５～図７に示すように、基板４１０は、ガラス材料で製造することができ、基板供給ステップ５１０は、基板４１０に複数の貫通孔４１５を形成する工程と、基板４１０にそれぞれ前述の複数の貫通孔４１５と連通する複数の金属設置領域４１６を形成するように、基板にフォトレジストＲ１塗布、露光及びエッチングを行う工程と、各ダイ設置領域４１１、４１２、４１３を形成するように、各金属設置領域４１６及び各貫通孔４１５に金属材料Ｍ１を充填する工程とを含むことができる。

【0042】

磁気発光ダイオードダイＬ１、Ｌ２、Ｌ３は異なる色の光を発することができ、ここで、磁気発光ダイオードダイＬ１は第１の色の光を発し、磁気発光ダイオードダイＬ２は第２の色の光を発し、且つ磁気発光ダイオードダイＬ３は第３の色の光を発する。したがって、転送ステップ５３０において、まず磁性部材の一部をオンにし、即ち、ダイ設置領域４１１に対応する磁性部材を通電させて、磁力を発生させて第１の色の光を発する磁気発光ダイオードダイＬ１が吸引されて位置合わせされ、次に、前述の複数の磁性部材のうちの前述の一部をオンにしたまま、且つ前述の複数の磁性部材のうちの他の一部をオンにし、即ち、ダイ設置領域４１１、４１２に対応する磁性部材を通電させ、磁力を発生させて第２の色の光を発する磁気発光ダイオードダイＬ２が吸引されて位置合わせされ、最後に、全ての前述の複数の磁性部材をオンにし、即ち、全てのダイ設置領域４１１、４１２、４１３に対応する磁性部材を通電させ、且つ第３の色の光を発する磁気発光ダイオードダイＬ３が吸引されて位置合わせされることができる。このように、異なるダイ設置領域４１１、４１２、４１３に、異なる色の光の磁気発光ダイオードダイＬ１、Ｌ２、Ｌ３を設置することができる。ここで特に注意すべきなのは、磁気発光ダイオードダイＬ１を設置する際に、位置合わせされていないものがあれば、全ての磁気発光ダイオードダイＬ１の設置が完了するまで、振動ステップ５４０を行うことができ、次に第２の色の光の磁気発光ダイオードダイＬ２を行い、且つ同様に振動ステップ５４０と組み合わせることができ、詳細については説明を省略する。

【0043】

本発明は、実施例に基づいて以上のように開示されたが、その実施例は本発明を制限するものではなく、当業者であれば、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、様々な変更及び修正を行うことができ、よって、本発明の保護範囲は、添付の特許請求の範囲に定義されたものを基準とする。

【符号の説明】

【0044】

１００、２００、３００、４００ 磁気発光ダイオードダイ転送装置
１１０、２１０、３１０、４１０ 基板
１１１、４１１、４１２、４１３ ダイ設置領域
１１１１ 設置面
１１２ 間隔領域
１２０、２２０、３２０ 磁性部材
１２１、２２１、３２１ 位置合わせＮ極
１２２、２２２、３２２ 位置合わせＳ極
１３０ 振動機構
３２３ ガラス板
３２４ 第１の貫通孔
３２５ 第２の貫通孔
３２６ 第１の導電部
３２７ 第２の導電部
４１５ 貫通孔
４１６ 金属設置領域
４４０ コントローラ
５００ 磁気発光ダイオードダイ転送方法
５１０ 基板供給ステップ
５２０ 磁性部材供給ステップ
５３０ 転送ステップ
５４０ 振動ステップ
Ｄ１１、Ｄ１２、Ｄ２１、Ｄ２２ 磁力線の接線方向
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３ 磁気発光ダイオードダイ
Ｌ１１ Ｎ極
Ｌ１２ Ｓ極
Ｍ１ 金属材料
Ｒ１ フォトレジスト

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】