(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-08-08
(45)【発行日】2024-08-19
(54)【発明の名称】バスバーアッセンブリ及びその製造方法
(51)【国際特許分類】
H01R 4/58 20060101AFI20240809BHJP
B05D 7/14 20060101ALI20240809BHJP
B05D 3/12 20060101ALI20240809BHJP
B05D 5/12 20060101ALI20240809BHJP
B05D 3/06 20060101ALI20240809BHJP
H01R 43/00 20060101ALI20240809BHJP
H01R 43/18 20060101ALI20240809BHJP
【ＦＩ】
H01R4/58 Z
B05D7/14 P
B05D3/12 D
B05D5/12 D
B05D3/12 C
B05D3/06 Z
H01R43/00 Z
H01R43/18
【請求項の数】
14
(21)【出願番号】P 2020190926
(22)【出願日】2020-11-17
(65)【公開番号】P2022080002
(43)【公開日】2022-05-27
【審査請求日】2023-11-02
(73)【特許権者】
【識別番号】000175722
【氏名又は名称】サンコール株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001597
【氏名又は名称】弁理士法人アローレインターナショナル
(72)【発明者】
【氏名】小谷 哲之
【審査官】清水 稔
(56)【参考文献】
【文献】特許第６４８７７６９（ＪＰ，Ｂ２）
【文献】特開２０１７－０４１５７９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－１１９３７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－３２７６３２（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０２０／０４４６５６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開平０３－２６４１４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１０／０１４５４１５（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｒ ４／５８
Ｂ０５Ｄ ７／１４
Ｂ０５Ｄ ３／１２
Ｂ０５Ｄ ５／１２
Ｂ０５Ｄ ３／０６
Ｈ０１Ｒ ４３／００
Ｈ０１Ｒ ４３／１８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
導電性平板状部材によって形成され、対向する側面の間に間隙が存する状態で同一平面内に配置された複数のバスバーと、前記間隙内に充填された間隙充填部及び前記間隙充填部によって連結されてなるバスバー連結体の板厚方向一方側の上面を覆う上面側積層部を含み、前記上面側積層部には前記複数のバスバーの各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口が設けられているバスバー側絶縁層と、
板厚方向に貫通する中央孔が設けられた環状の枠体本体及び前記枠体本体の外周面を覆う枠体側絶縁層を有し、平面視において前記一又は複数の上面側開口が前記中央孔内に位置する状態で前記バスバー連結体の上面に前記上面側積層部を介して固着されている枠体とを備え、
前記枠体本体は、板厚方向一方側及び他方側をそれぞれ向く上面及び下面と、前記中央孔に面する内側面と、前記中央孔とは反対側に位置する外側面とを有し、
前記内側面のうち少なくとも前記上面側開口に対向する開口対向部分においては、板厚方向他方側の下端部が、板厚方向に関する他の部位よりも前記バスバー連結体の平面視中央位置から平面方向に関し最も離間されていることを特徴とするバスバーアッセンブリ。
【請求項2】
前記内側面のうち少なくとも前記開口対向部分は、板厚方向一方側から他方側へ行くに従って前記バスバー連結体の平面視中央位置からの平面方向距離が大きくなる傾斜面とされていることを特徴とする請求項１に記載のバスバーアッセンブリ。
【請求項3】
前記内側面の全体が前記傾斜面とされて、前記中央孔は前記枠体本体の板厚方向一方側から他方側へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とされていることを特徴とする請求項２に記載のバスバーアッセンブリ。
【請求項4】
前記内側面のうち少なくとも前記開口対向部分は、前記枠体本体の上面から板厚方向他方側へ延びる上側板厚方向延在面と、前記上側板厚方向延在部の板厚方向他端部から、前記バスバー連結体の平面視中央位置とは反対側へ板面方向に沿って延びる板面方向延在面と、前記板厚方向延在面における前記平面視中央位置とは反対側の端部から板厚方向他方側へ延びる下側板厚方向延在面とを有していることを特徴とする請求項１に記載のバスバーアッセンブリ。
【請求項5】
前記内側面の全体が前記上側板厚方向延在面、前記板面方向延在面及び前記下側板厚方向延在面を有しており、前記中央孔は、前記枠体本体の上面から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の板厚内で終焉する小径孔と、前記小径孔の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の下面に到達する大径孔とを有する段付き孔とされていることを特徴とする請求項４に記載のバスバーアッセンブリ。
【請求項6】
前記内側面のうち少なくとも前記開口対向部分は、前記枠体本体の上面から板厚方向他方側へ板厚方向に沿って延びる上側板厚方向延在面と、前記上側板厚方向延在部の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ行くに従って前記バスバー連結体の平面視中央位置との間の平面方向距離が大きくなる傾斜面とを有していることを特徴とする請求項１に記載のバスバーアッセンブリ。
【請求項7】
前記内側面の全体が前記上側板厚方向延在面及び前記傾斜面を有しており、前記中央孔は、前記枠体本体の上面から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の板厚内で終焉する小径孔と、前記小径孔の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とを有する複合孔とされていることを特徴とする請求項６に記載のバスバーアッセンブリ。
【請求項8】
導電性平板状部材によって形成され、対向する側面の間に間隙が存する状態で同一平面内に配置された複数のバスバーと、前記間隙内に充填された間隙充填部及び前記間隙充填部によって連結されてなるバスバー連結体の板厚方向一方側の上面を覆う上面側積層部を含み、前記上面側積層部には前記複数のバスバーの各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口が設けられているバスバー側絶縁層と、板厚方向一方側の上面及び板厚方向他方側の下面を貫通する中央孔が設けられた環状の枠体本体及び前記枠体本体の外周面を覆う枠体側絶縁層を有し、平面視において前記一又は複数の上面側開口が前記中央孔内に位置する状態で前記バスバー連結体の上面に前記上面側積層部を介して固着されている枠体とを備えたバスバーアッセンブリの製造方法であって、前記バスバー連結体に対応した平面視外形状を有するバスバー形成領域を含む導電性金属製のバスバー用平板を用意する工程と、
前記バスバー形成領域に、板厚方向に貫通し且つ前記間隙と同一幅を有する一又は複数のスリットを形成して、当該バスバー形成領域を前記複数のバスバーに対応した複数のバスバー形成部位に区画するスリット形成工程と、
少なくとも前記スリット内及び前記バスバー形成領域の上面に前記バスバー側絶縁層を形成するバスバー側絶縁性樹脂塗料を塗布するバスバー側塗布工程と、
前記バスバー用平板を用意する工程から前記バスバー側塗布工程の前又は後、若しくは、これらと並行して行う枠体形成処理であって、前記枠体本体に対応した平面視外形状を有する枠体形成領域を含む枠体用平板を用意する工程、前記枠体形成領域に前記中央孔を形成して前記枠体本体に対応した環状体を形成する中央孔形成工程、及び、前記環状体の外周面に前記枠体側絶縁層を形成する枠体側絶縁性樹脂塗料を塗布する枠体側塗布工程を含む枠体形成処理と、
前記バスバー側絶縁性樹脂塗料及び前記枠体側絶縁性樹脂塗料の少なくとも一方が半硬化状態において前記枠体形成領域の下面を前記バスバー形成領域の上面に圧着させて、半硬化状態の絶縁性樹脂塗料を完全硬化させることにより、前記バスバー用平板及び前記枠体用平板を固着させる平板固着工程と、
前記バスバー側絶縁層における上面側積層部のうち前記上面側開口を形成すべき上面側開口形成領域にレーザー光を照射して前記一又は複数の上面側開口を設けるレーザー光照射工程とを備え、
前記中央孔は、前記枠体本体の板厚方向一方側から他方側へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とされ、
前記中央孔形成径工程は、逆テーパ孔に対応した先細テーパ状のパンチを用意し、前記枠体形成領域の下面の側から上面の側へ向かって前記パンチを押圧させるように構成されていることを特徴とするバスバーアッセンブリの製造方法。
【請求項9】
導電性平板状部材によって形成され、対向する側面の間に間隙が存する状態で同一平面内に配置された複数のバスバーと、前記間隙内に充填された間隙充填部及び前記間隙充填部によって連結されてなるバスバー連結体の板厚方向一方側の上面を覆う上面側積層部を含み、前記上面側積層部には前記複数のバスバーの各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口が設けられているバスバー側絶縁層と、板厚方向一方側の上面及び板厚方向他方側の下面を貫通する中央孔が設けられた環状の枠体本体及び前記枠体本体の外周面を覆う枠体側絶縁層を有し、平面視において前記一又は複数の上面側開口が前記中央孔内に位置する状態で前記バスバー連結体の上面に前記上面側積層部を介して固着されている枠体とを備えたバスバーアッセンブリの製造方法であって、前記バスバー連結体に対応した平面視外形状を有するバスバー形成領域を含む導電性金属製のバスバー用平板を用意する工程と、
前記バスバー形成領域に、板厚方向に貫通し且つ前記間隙と同一幅を有する一又は複数のスリットを形成して、当該バスバー形成領域を前記複数のバスバーに対応した複数のバスバー形成部位に区画するスリット形成工程と、
少なくとも前記スリット内及び前記バスバー形成領域の上面に前記バスバー側絶縁層を形成するバスバー側絶縁性樹脂塗料を塗布するバスバー側塗布工程と、
前記バスバー用平板を用意する工程から前記バスバー側塗布工程の前又は後、若しくは、これらと並行して行う枠体形成処理であって、前記枠体本体に対応した平面視外形状を有する枠体形成領域を含む枠体用平板を用意する工程、前記枠体形成領域に前記中央孔を形成して前記枠体本体に対応した環状体を形成する中央孔形成工程、及び、前記環状体の外周面に前記枠体側絶縁層を形成する枠体側絶縁性樹脂塗料を塗布する枠体側塗布工程を含む枠体形成処理と、
前記バスバー側絶縁性樹脂塗料及び前記枠体側絶縁性樹脂塗料の少なくとも一方が半硬化状態において前記枠体形成領域の下面を前記バスバー形成領域の上面に圧着させて、半硬化状態の絶縁性樹脂塗料を完全硬化させることにより、前記バスバー用平板及び前記枠体用平板を固着させる平板固着工程と、
前記バスバー側絶縁層における上面側積層部のうち前記上面側開口を形成すべき上面側開口形成領域にレーザー光を照射して前記一又は複数の上面側開口を設けるレーザー光照射工程とを備え、
前記中央孔は、前記枠体本体の板厚方向一方側の上面から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の板厚内で終焉する小径孔と、前記小径孔の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の下面に到達する大径孔とを有する段付き孔とされ、
前記中央孔形成工程は、前記大径孔に対応した外径の大径部と、前記大径部から先端側へ延びる小径部であって、前記小径孔に対応した外径の小径部とを有する２段形状のパンチを用意し、前記枠体形成領域の下面の側から上面の側へ向かって前記２段形状のパンチを押圧させるように構成されていることを特徴とするバスバーアッセンブリの製造方法。
【請求項10】
導電性平板状部材によって形成され、対向する側面の間に間隙が存する状態で同一平面内に配置された複数のバスバーと、前記間隙内に充填された間隙充填部及び前記間隙充填部によって連結されてなるバスバー連結体の板厚方向一方側の上面を覆う上面側積層部を含み、前記上面側積層部には前記複数のバスバーの各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口が設けられているバスバー側絶縁層と、板厚方向一方側の上面及び板厚方向他方側の下面を貫通する中央孔が設けられた環状の枠体本体及び前記枠体本体の外周面を覆う枠体側絶縁層を有し、平面視において前記一又は複数の上面側開口が前記中央孔内に位置する状態で前記バスバー連結体の上面に前記上面側積層部を介して固着されている枠体とを備えたバスバーアッセンブリの製造方法であって、前記バスバー連結体に対応した平面視外形状を有するバスバー形成領域を含む導電性金属製のバスバー用平板を用意する工程と、
前記バスバー形成領域に、板厚方向に貫通し且つ前記間隙と同一幅を有する一又は複数のスリットを形成して、当該バスバー形成領域を前記複数のバスバーに対応した複数のバスバー形成部位に区画するスリット形成工程と、
少なくとも前記スリット内及び前記バスバー形成領域の上面に前記バスバー側絶縁層を形成するバスバー側絶縁性樹脂塗料を塗布するバスバー側塗布工程と、
前記バスバー用平板を用意する工程から前記バスバー側塗布工程の前又は後、若しくは、これらと並行して行う枠体形成処理であって、前記枠体本体に対応した平面視外形状を有する枠体形成領域を含む枠体用平板を用意する工程、前記枠体形成領域に前記中央孔を形成して前記枠体本体に対応した環状体を形成する中央孔形成工程、及び、前記環状体の外周面に前記枠体側絶縁層を形成する枠体側絶縁性樹脂塗料を塗布する枠体側塗布工程を含む枠体形成処理と、
前記バスバー側絶縁性樹脂塗料及び前記枠体側絶縁性樹脂塗料の少なくとも一方が半硬化状態において前記枠体形成領域の下面を前記バスバー形成領域の上面に圧着させて、半硬化状態の絶縁性樹脂塗料を完全硬化させることにより、前記バスバー用平板及び前記枠体用平板を固着させる平板固着工程と、
前記バスバー側絶縁層における上面側積層部のうち前記上面側開口を形成すべき上面側開口形成領域にレーザー光を照射して前記一又は複数の上面側開口を設けるレーザー光照射工程とを備え、
前記中央孔は、前記枠体本体の板厚方向一方側の上面から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の板厚内で終焉する小径孔と、前記小径孔の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とを有する複合孔とされ、
前記中央孔形成工程は、前記逆テーパ孔に対応した先細テーパ部と、前記先細テーパ部から先端側へ延びる小径部であって、前記小径孔に対応した外径の小径部とを有する２段形状のパンチを用意し、前記枠体形成領域の下面の側から上面の側へ向かって前記２段形状のパンチを押圧させるように構成されていることを特徴とするバスバーアッセンブリの製造方法。
【請求項11】
前記バスバー側塗布工程は、前記バスバー形成領域の下面にも前記バスバー側絶縁性樹脂塗料を塗布するように構成され、前記レーザー光照射工程は、前記バスバー側絶縁性樹脂塗料によって形成される下面側積層部のうち下面側開口形成領域にレーザー光を照射して、前記複数のバスバー形成部位の各々の下面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の下面側開口を設けるように構成されていることを特徴とする請求項８から１０の何れかに記載のバスバーアッセンブリの製造方法。
【請求項12】
前記バスバー用平板は、前記スリットの長手方向に沿った第１方向に直列配置された複数の前記バスバー形成領域と、隣接する前記バスバー形成領域を連結する連結領域とを一体的に有しており、一のバスバー形成領域に形成されたスリットは、長手方向一端側が当該一のバスバー形成領域の第１方向一方側に連接された連結領域内へ延び且つ長手方向他端側が当該一のバスバー形成領域の第１方向他方側に連接された連結領域内へ延びており、
前記枠体用平板は、前記複数のバスバー形成領域と同一ピッチで前記第１方向に直列配置された複数の前記枠体形成領域と、前記第１方向に隣接する前記枠体形成領域を連結する連結領域とを一体的に有していることを特徴とする請求項８から１１の何れかに記載のバスバーアッセンブリの製造方法。
【請求項13】
前記平板固着工程後に、前記一又は複数の上面側開口によって露出された前記複数のバスバーの上面のうちの所定バスバーの上面に半導体素子を装着させる半導体素子装着工程を備えていることを特徴とする請求項８から１２の何れかに記載のバスバーアッセンブリの製造方法。
【請求項14】
前記半導体素子装着工程後に、前記バスバー形成領域及び前記枠体形成領域を前記バスバー用平板及び前記枠体用平板から切断する切断工程を備えていることを特徴とする請求項１３に記載のバスバーアッセンブリの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、複数のバスバーが電気的には絶縁状態で且つ機械的には連結されてなるバスバーアッセンブリ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
互いに対して電気的には絶縁状態で且つ機械的には連結されている複数のバスバーを備えたバスバーアッセンブリが提案され、種々の分野において利用されている。
【0003】
例えば、一の平板状バスバーと他の平板状バスバーとが互いに対して平行状態で上下に積層されてなる積層型のバスバーアッセンブリが提案されている（下記特許文献１及び２参照）。
【0004】
前記積層型バスバーアッセンブリは、一の平板状バスバーの対向平面と他の平板状バスバーの対向平面とが絶縁層を挟んで全面的に対向配置されている為、絶縁性に関する信頼性を十分には確保し難いという問題がある。
特に、上下方向に関し小型化を図る為に前記一の平板状バスバーと前記他の平板状バスバーとの間の絶縁層の厚みを薄くすると、両バスバー間にリーク電流が流れる恐れがある。
特に、上下方向に関し小型化を図る為に前記一の平板状バスバーと前記他の平板状バスバーとの間の絶縁層の厚みを薄くすると、両バスバー間にリーク電流が流れる恐れがある。
【0005】
前記積層型バスバーアッセンブリの問題点を解決する為に、本願出願人は、導電性金属平板の第１及び第２バスバーが同一平面内で並列配置されている平面型バスバーアッセンブリに関する出願を行い、特許を受けている（下記特許文献３及び４参照）。
【0006】
図２２(a)に、前記平板型バスバーアッセンブリ５００の平面図を、図２２(b)に、図２２(a)におけるXXII(b)-XXII(b)線に沿った断面図を、それぞれ示す。
また、図２３に、前記平板型バスバーアッセンブリ５００にＬＥＤ等の半導体素子１１０が装着されてなる半導体モジュール６００の縦断面図を示す。
また、図２３に、前記平板型バスバーアッセンブリ５００にＬＥＤ等の半導体素子１１０が装着されてなる半導体モジュール６００の縦断面図を示す。
【0007】
図２２(a)及び(b)並びに図２３に示すように、前記平面側バスバーアッセンブリ５００は、導電性平板状部材によって形成され、対向する側面の間に間隙５１９が存する状態で同一平面内に配置された複数のバスバー５１０と、前記間隙５１９内に充填された間隙充填部５２９及び前記間隙充填部５２９によって連結されてなるバスバー連結体の板厚方向一方側の上面を覆うように前記間隙充填部５２９から一体的に延びる上面側積層部５２１を含むバスバー側絶縁層５２０と、上下に貫通する中央孔５３７が設けられた環状の枠体本体５３１及び前記枠体本体５３１の外周面を覆う枠体側絶縁層５４０を有する枠体５３０とを備えている。
【0008】
図示の形態においては、前記バスバーアッセンブリ５００は、前記複数のバスバー５１０として第１～第３バスバー５１０（１）～（３）を有しており、前記第１及び第２バスバー５１０（１）、（２）は第１間隙５１９（１）を介して並設され、前記第２及び第３バスバー５１０（２）、（３）は第２間隙５１９（２）を介して並設されている。
そして、前記バスバー側絶縁層５２０は、前記間隙充填部５２９として、前記第１及び第２間隙５１９（１）、（２）にそれぞれ充填された第１及び第２間隙充填部５２９（１）、（２）を有している。
そして、前記バスバー側絶縁層５２０は、前記間隙充填部５２９として、前記第１及び第２間隙５１９（１）、（２）にそれぞれ充填された第１及び第２間隙充填部５２９（１）、（２）を有している。
【0009】
前記平面型バスバーアッセンブリ５００においては、前記第１～第３バスバー５１０（１）～（３）の一部がが陽極として作用し、残りが陰極として作用する。
【0010】
前記上面側積層部５２１には、前記第１～第３バスバー５１０（１）～（３）の各々の上面の少なくとも一部を露出させる第１～第３上面側開口５２２（１）～（３）が設けられている。
【0011】
前記第１バスバー５１０（１）の上面のうち前記第１上面側開口５２２（１）を介して露出する部分が前記第１バスバー５１０（１）の上面側接続部５１２を形成し、前記第２バスバー５１０（２）の上面のうち前記第２上面側開口５２２（２）を介して露出する部分が前記第２バスバー５１０（２）の上面側接続部５１２を形成し、且つ、前記第３バスバー５１０（３）の上面のうち前記第３上面側開口５２２（３）を介して露出する部分が前記第３バスバー５１０（３）の上面側接続部５１２を形成している。
【0012】
図２３に示す前記半導体モジュール６００においては、前記第１及び第２バスバー５１０（１）、（２）が陽極及び陰極の一方（例えば、陽極）として用いられ、前記第３バスバー５１０（３）が陽極及び陰極の他方（例えば、陰極）として用いられており、前記第１及び第２バスバー５１０（１）、（２）の上面側接続部５１２に、それぞれ、ＬＥＤ等の第１及び第２半導体素子１１０（１）、１１０（２）が装着されている。
【0013】
詳しくは、前記第１及び第２半導体素子１１０の各々は、素子本体１１５と、前記素子本体１１５の厚み方向一方側及び他方側にそれぞれ配設された上側電極層１１１及び下側電極層１１２とを有するものとされる。
【0014】
前記第１半導体素子１１０（１）の下側電極層１１２が対応する前記第１バスバー５１０（１）の上面側接続部５１２に固着され、前記第２半導体素子１１０（２）の下側電極層１１２が対応する前記第２バスバー１１０（２）の上面側接続部１１２に固着される。
【0015】
そして、前記第１半導体素子１１０（１）の上側電極層１１１は第１ワイヤ１２０（１）等の電気接続部材を介して前記第３バスバー５１０（３）の上面側接続部５１２に電気的に接続され、前記第２半導体素子１１０（２）の上側電極層１１１は第２ワイヤ１２０（２）等の電気接続部材を介して前記第３バスバー５１０（３）の上面側接続部５１２に電気的に接続される。
【0016】
なお、図示の形態においては、前記バスバー側絶縁層５２０は、さらに、前記バスバー連結体の板厚方向他方側の下面を覆う下面側積層部５２３及び前記バスバー連結体の側面を覆う側面側積層部５２５を有しており、前記下面側積層部５２３には、前記第１～第３バスバー５１０（１）～５１０（３）の各々の下面の少なくとも一部を露出させる第１～第３下面側開口５２４（１）～（３）が設けられている。
【0017】
前記第１バスバー５１０（１）の下面のうち前記第１下面側開口５２４（１）を介して露出する部分が前記第１バスバー５１０（１）の外部接続端子として作用する下面側接続部５１３を形成し、前記第２バスバー５１０（２）の下面のうち前記第２下面側開口５２４（２）を介して露出する部分が前記第２バスバー５１０（２）の外部接続端子として作用する下面側接続部５１３を形成し、且つ、 前記第３バスバー５１０（３）の下面のうち前記第３下面側開口５２４（３）を介して露出する部分が前記第３バスバー５１０（２）の外部接続端子として作用する下面側接続部５１３を形成する。
【0018】
図２３に示すように、前記枠体５３０は、前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、（２）並びに前記第１及び第２ワイヤ１２０（１）、（２）を保護する封止樹脂体１３０の流出及び脱離を防止する為の部材であり、平面視において前記第１～第３上面側開口５２２（１）～（３）が前記中央孔５３７内に位置する状態で前記バスバー連結体の上面に固着されている。
【0019】
即ち、前記封止樹脂体１３０は、前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、（２）並びに前記第１及び第２ワイヤ１２０（１）、（２）を囲繞するように前記バスバー連結体の上面に絶縁性樹脂を流し込み、当該絶縁性樹脂を硬化させることによって形成されるが、前記枠体５３０は、前記絶縁性樹脂が硬化前に流れ出ることを防止すると共に、硬化後に前記封止樹脂体１３０が前記バスバーアッセンブリ５００から脱離することを防止する。
【0020】
前記特許文献４には、前記枠体付き平面型バスバーアッセンブリ５００を効率よく製造し得る製造方法（以下、従来の製造方法という）が記載されている。
以下、従来の製造方法について説明する。
以下、従来の製造方法について説明する。
【0021】
従来の製造方法は、前記枠体５３０を形成する枠体形成処理を有している。
図２４(a)に、従来の製造方法において用いられる枠体用平板７００の平面図を示す。
前記枠体形成処理は、前記枠体本体５３１に対応した平面視外形状及び厚みを有する枠体形成領域７１０を含む導電性金属製の前記枠体用平板７００を用意する工程と、前記枠体形成領域７１０に前記中央孔５３７を形成して前記枠体本体５３１に対応した環状体７２０を形成する中央孔形成工程とを有している。
なお、図２４(a)は、前記中央孔形成工程後の状態を示している。
図２４(a)に、従来の製造方法において用いられる枠体用平板７００の平面図を示す。
前記枠体形成処理は、前記枠体本体５３１に対応した平面視外形状及び厚みを有する枠体形成領域７１０を含む導電性金属製の前記枠体用平板７００を用意する工程と、前記枠体形成領域７１０に前記中央孔５３７を形成して前記枠体本体５３１に対応した環状体７２０を形成する中央孔形成工程とを有している。
なお、図２４(a)は、前記中央孔形成工程後の状態を示している。
【0022】
【0023】
前記枠体列７０５は、Ｘ-Ｙ平面の第１方向に沿って直列配置された複数（図示の形態においては５個）の前記枠体形成領域７１０と、前記複数の枠体形成領域７１０を一体的に連結する複数（図示の形態においては６個）の枠体側連結片７３０とを有している。
【0024】
図２４(b)に、図２４(a)におけるXXIV(b)-XXIV(b)線に沿った断面図を示す。
図２４(b)に示すように、従来の製造方法においては、前記中央孔形成工程によって形成される前記中央孔５３７は、前記枠体形成領域７１０の板厚方向の全体に亘って同一開口径（同一開口幅）とされている。
図２４(b)に示すように、従来の製造方法においては、前記中央孔形成工程によって形成される前記中央孔５３７は、前記枠体形成領域７１０の板厚方向の全体に亘って同一開口径（同一開口幅）とされている。
【0025】
前記枠体形成処理は、さらに、前記環状体７２０の外周面に前記枠体側絶縁層５４０を形成する枠体側絶縁性樹脂塗料７４０を塗布する枠体側塗布工程を有している。
図２５に、前記枠体側塗布工程後の前記枠体用平板７００の平面図を示す。
図２５に、前記枠体側塗布工程後の前記枠体用平板７００の平面図を示す。
【0026】
従来の製造方法は、前記枠体形成処理の前又は後、若しくは、前記枠体形成処理と並行して行うバスバー形成処理を有している。
【0027】
図２６に、従来の製造方法において用いられるバスバー用平板６５０の平面図を示す。
前記バスバー形成処理は、導電性金属製の前記バスバー用平板６５０を用意する工程を有している。
なお、図２６は、下記スリット形成工程後の状態を示している。
前記バスバー形成処理は、導電性金属製の前記バスバー用平板６５０を用意する工程を有している。
なお、図２６は、下記スリット形成工程後の状態を示している。
【0028】
【0029】
前記バスバー列６５５は、前記バスバー連結体に対応した平面視外形状を有し且つ前記バスバー５１０（前記第１～第３バスバー５１０（１）～（３））と同一厚みを有し、前記枠体列７０５と同一方向（Ｘ－Ｙ平面のＹ方向）に沿って、前記枠体形成領域７１０と同一ピッチで直列配置された複数（図示の形態においては５個）のバスバー形成領域６６０と、前記複数のバスバー形成領域６６０を一体的に連結する複数（図示の形態においては６個）のバスバー側連結片６８０とを有している。
【0030】
前記バスバー形成処理は、スリット形成工程を有している。
前記スリット形成工程は、前記バスバー形成領域６６０に、板厚方向に貫通し且つ前記第１及び第２間隙５１９（１）、（２）と同一幅を有する第１及び第２スリット６６９（１）、６６９（２）を形成して、当該バスバー形成領域６６０を前記第１～第３バスバー５１０（１）～（３）に対応した複数の第１～第３バスバー形成部位６７０（１）～（３）に区画するように構成されている。
前記スリット形成工程は、前記バスバー形成領域６６０に、板厚方向に貫通し且つ前記第１及び第２間隙５１９（１）、（２）と同一幅を有する第１及び第２スリット６６９（１）、６６９（２）を形成して、当該バスバー形成領域６６０を前記第１～第３バスバー５１０（１）～（３）に対応した複数の第１～第３バスバー形成部位６７０（１）～（３）に区画するように構成されている。
【0031】
図２６に示すように、前記スリット形成工程において一のバスバー形成領域６６０に形成された前記第１及び第２スリット６６９（１）、（２）は、長手方向一端側が当該一のバスバー形成領域６６０の前記第１方向（図示の形態においてはＹ方向）の一方側（例えば、図２６において下方側）に連接されたバスバー側連結片６８０内へ延び且つ長手方向他端側が当該一のバスバー形成領域６６０の第１方向の他方側（例えば、図２６において上方側）に連接されたバスバー側連結片６８０内へ延びている。
【0032】
前記バスバー形成処理は、さらに、前記第１及び第２スリット６６９内及び前記バスバー形成領域６６０の外周面に前記バスバー側絶縁層５２０を形成するバスバー側絶縁性樹脂塗料６９０を塗布するバスバー側塗布工程を有している。
図２７に、前記バスバー側塗布工程後の前記バスバー用平板６５０の平面図を示す。
図２７に、前記バスバー側塗布工程後の前記バスバー用平板６５０の平面図を示す。
【0033】
従来の製造方法は、さらに、前記枠体形成領域７１０を前記バスバー形成領域６６０に重合させた状態で前記バスバー用平板６５０及び前記枠体用平板７００を固着させる平板固着工程を有している。
図２８に、前記平板固着工程後の前記バスバー用平板６５０及び前記枠体用平板７００の平面図を示す。
図２８に、前記平板固着工程後の前記バスバー用平板６５０及び前記枠体用平板７００の平面図を示す。
【0034】
従来の製造方法は、さらに、前記平板固着工程後に実行されるレーザー光照射工程を有している。
図２９に、レーザー光照射工程後の前記枠体用平板７００及び前記バスバー用平板６５０の平面図を示す。
図２９に、レーザー光照射工程後の前記枠体用平板７００及び前記バスバー用平板６５０の平面図を示す。
【0035】
図２９に示すように、前記レーザー光照射工程は、前記バスバー形成領域６６０の上面に塗布されて前記上面側積層部５２１（図２２(a)、(b)及び図２３参照）を形成する前記バスバー側絶縁性樹脂塗料６９０のうち前記第１～第３上面側開口５２２（１）～（３）を形成すべき領域（下記図３０(a)及び(b)における第１～第３上面側開口形成領域５２２ａ（１）～（３））にレーザー光２９０を照射して、前記第１～第３上面側開口５２２（１）～（３）を形成するように構成されている。
【0036】
しかしながら、従来のバスバーアッセンブリ５００においては、前記上面側開口５２２内に、除去すべき前記バスバー側絶縁性樹脂塗料６９０の一部が残渣６９５として残ってしまう恐れがあった。
【0037】
なお、前記レーザー光照射工程は、前記バスバー形成領域６６０の下面に塗布されて前記下面側積層部５２３（図２２(a)、(b)及び図２３参照）を形成する前記バスバー側絶縁性樹脂塗料６９０のうち前記第１～第３下面側開口５２４（１）～（３）を形成すべき領域（下記図３０(a)及び(b)における第１～第３下面側開口形成領域５２４ａ（１）～（３））にレーザー光２９０を照射して、前記第１～第３下面側開口５２４（１）～（３）を形成する処理も有している。
【0038】
【0039】
前記平板固着工程は、前記枠体側絶縁性樹脂塗料７４０については完全硬化されているが前記バスバー側絶縁性樹脂塗料６９０については半硬化とされている状態において、前記枠体形成領域７１０を前記バスバー形成領域６６０に圧着させ、半硬化状態のバスバー側絶縁性樹脂塗料６９０を完全硬化させることにより、前記枠体用平板７００及び前記バスバー用平板６５０を固着させるように構成されている。
【0040】
その為、図３０(a)に示すように、前記枠体形成領域７１０を前記バスバー形成領域６６０の上面に圧着させた際に、半硬化状態の前記バスバー側絶縁性樹脂塗料６９０のうち前記枠体形成領域７１０の直下に位置する部分の一部が前記枠体形成領域７１０の内側面の側（即ち、前記中央孔５３７の方向）へはみ出て、結果的に、前記枠体形成領域７１０の内側面の下端領域において、前記バスバー側絶縁層５２０の膜厚が局所的に厚くなる事態が生じ得る（以下、この膜厚が厚くなった部分を、大膜厚部５２７という）。
【0041】
図３０(b)に、前記レーザー光照射工程におけるレーザー光２９０を模式的に表示した状態の前記枠体形成領域７１０及び前記バスバー形成領域６６０の縦断面図を示す。
さらに、図３０(c)に、図２９におけるXXX(c)-XXX(c)線に沿った、レーザー光照射工程後の前記枠体形成領域７１０及び前記バスバー形成領域６６０の縦断面図を示す。
さらに、図３０(c)に、図２９におけるXXX(c)-XXX(c)線に沿った、レーザー光照射工程後の前記枠体形成領域７１０及び前記バスバー形成領域６６０の縦断面図を示す。
【0042】
ここで、前記大膜厚部５２７が、近接対向する上面側開口形成領域（前記第１及び第３上面側開口形成領域５２２ａ（１）、（３））に及んでいると、図２２(a)、図２２(b)、図２３及び図３０(c)に示すように、本来、前記レーザー光照射工程において除去すべき前記第１及び第３上面側開口５２２ａ（１）、（３）内の前記バスバー側絶縁性樹脂塗料６９０の一部が残渣６９５として取り残されるという不都合が生じ得る。
【0043】
特に、前記バスバーアッセンブリ５００は平面方向に関しても小型化が望まれており、平面方向の小型化を可及的に図る為には前記枠体本体５３１の内側面と対向する前記上面側開口５２２との間の平面方向距離を狭めることが望ましい。
しかしながら、前記枠体本体５３１の内側面と対向する前記上面側開口５２２との間の平面方向距離を狭めると、前記不都合が生じ易い。
しかしながら、前記枠体本体５３１の内側面と対向する前記上面側開口５２２との間の平面方向距離を狭めると、前記不都合が生じ易い。
【0044】
図３０(d)に、前記上面側開口５２２によって露出された前記上面側接続部５１２に前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、（２）を装着させた状態の前記枠体形成領域７１０及び前記バスバー形成領域６６０の縦断面図を示す。
また、図３１に、図３０(d)におけるXXXI部拡大図を示す。
また、図３１に、図３０(d)におけるXXXI部拡大図を示す。
【0045】
【先行技術文献】
【特許文献】
【0046】
【文献】特許第４４３２９１３号公報
【文献】特許第６４８７７６９号公報
【文献】特許第６６３７００２号公報
【文献】特許第６６３７００３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0047】
本発明は、同一平面内に並列配置された複数のバスバーと、隣接する前記バスバーの間の間隙内に充填された間隙充填部及び前記複数のバスバーが前記間隙充填部によって連結されてなるバスバー連結体の上面を覆う上面側積層部を含み、前記上面側積層部には前記複数のバスバーの各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口が設けられているバスバー側絶縁層と、板厚方向に貫通する中央孔が設けられた環状の枠体本体及び前記枠体本体の外周面を覆う枠体側絶縁層を有し、平面視において前記上面側開口が前記中央孔内に位置するように前記バスバー連結体の上面の周縁に固着されている枠体とを備えたバスバーアッセンブリであって、前記上面側開口内に除去すべきバスバー側絶縁層の残渣が生じることを有効に防止乃至は低減できるバスバーアッセンブリ、並びに、その製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0048】
前記目的を達成するために、本発明は、導電性平板状部材によって形成され、対向する側面の間に間隙が存する状態で同一平面内に配置された複数のバスバーと、前記間隙内に充填された間隙充填部及び前記間隙充填部によって連結されてなるバスバー連結体の板厚方向一方側の上面を覆う上面側積層部を含み、前記上面側積層部には前記複数のバスバーの各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口が設けられているバスバー側絶縁層と、板厚方向に貫通する中央孔が設けられた環状の枠体本体及び前記枠体本体の外周面を覆う枠体側絶縁層を有し、平面視において前記一又は複数の上面側開口が前記中央孔内に位置する状態で前記バスバー連結体の上面に前記上面側積層部を介して固着されている枠体とを備え、前記枠体本体は、板厚方向一方側及び他方側をそれぞれ向く上面及び下面と、前記中央孔に面する内側面と、前記中央孔とは反対側に位置する外側面とを有し、前記内側面のうち少なくとも前記上面側開口に対向する開口対向部分においては、板厚方向他方側の下端部が、板厚方向に関する他の部位よりも前記バスバー連結体の平面視中央位置から平面方向に関し最も離間されているバスバーアッセンブリを提供する。
【0049】
本発明に係るバスバーアッセンブリの第１態様においては、前記内側面のうち少なくとも前記開口対向部分は、板厚方向一方側から他方側へ行くに従って前記バスバー連結体の平面視中央位置からの平面方向距離が大きくなる傾斜面とされる。
【0050】
前記第１態様において、好ましくは、前記内側面の全体が前記傾斜面とされ、前記中央孔は前記枠体本体の板厚方向一方側から他方側へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とされる。
【0051】
本発明に係るバスバーアッセンブリの第２態様においては、前記内側面のうち少なくとも前記開口対向部分は、前記枠体本体の上面から板厚方向他方側へ延びる上側板厚方向延在面と、前記上側板厚方向延在部の板厚方向他端部から、前記バスバー連結体の平面視中央位置とは反対側へ板面方向に沿って延びる板面方向延在面と、前記板厚方向延在面における前記平面視中央位置とは反対側の端部から板厚方向他方側へ延びる下側板厚方向延在面とを有するものとされる。
【0052】
前記第２態様において、好ましくは、前記内側面の全体が前記上側板厚方向延在面、前記板面方向延在面及び前記下側板厚方向延在面を有するものとされ、前記中央孔は、前記枠体本体の上面から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の板厚内で終焉する小径孔と、前記小径孔の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の下面に到達する大径孔とを有する段付き孔とされる。
【0053】
本発明に係るバスバーアッセンブリの第３態様においては、前記内側面のうち少なくとも前記開口対向部分は、前記枠体本体の上面から板厚方向他方側へ板厚方向に沿って延びる上側板厚方向延在面と、前記上側板厚方向延在部の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ行くに従って前記バスバー連結体の平面視中央位置との間の平面方向距離が大きくなる傾斜面とを有するものとされる。
【0054】
前記第３態様において、好ましくは、前記内側面の全体が前記上側板厚方向延在面及び前記傾斜面を有するものとされ、前記中央孔は、前記枠体本体の上面から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の板厚内で終焉する小径孔と、前記小径孔の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とを有する複合孔とされる。
【0055】
また、本発明は、導電性平板状部材によって形成され、対向する側面の間に間隙が存する状態で同一平面内に配置された複数のバスバーと、前記間隙内に充填された間隙充填部及び前記間隙充填部によって連結されてなるバスバー連結体の板厚方向一方側の上面を覆う上面側積層部を含み、前記上面側積層部には前記複数のバスバーの各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口が設けられているバスバー側絶縁層と、板厚方向一方側の上面及び板厚方向他方側の下面を貫通する中央孔が設けられた環状の枠体本体及び前記枠体本体の外周面を覆う枠体側絶縁層を有し、平面視において前記一又は複数の上面側開口が前記中央孔内に位置する状態で前記バスバー連結体の上面に前記上面側積層部を介して固着されている枠体とを備えたバスバーアッセンブリの製造方法であって、前記バスバー連結体に対応した平面視外形状を有するバスバー形成領域を含む導電性金属製のバスバー用平板を用意する工程と、前記バスバー形成領域に、板厚方向に貫通し且つ前記間隙と同一幅を有する一又は複数のスリットを形成して、当該バスバー形成領域を前記複数のバスバーに対応した複数のバスバー形成部位に区画するスリット形成工程と、少なくとも前記スリット内及び前記バスバー形成領域の上面に前記バスバー側絶縁層を形成するバスバー側絶縁性樹脂塗料を塗布するバスバー側塗布工程と、前記バスバー用平板を用意する工程から前記バスバー側塗布工程の前又は後、若しくは、これらと並行して行う枠体形成処理であって、前記枠体本体に対応した平面視外形状を有する枠体形成領域を含む枠体用平板を用意する工程、前記枠体形成領域に前記中央孔を形成して前記枠体本体に対応した環状体を形成する中央孔形成工程、及び、前記環状体の外周面に前記枠体側絶縁層を形成する枠体側絶縁性樹脂塗料を塗布する枠体側塗布工程を含む枠体形成処理と、前記バスバー側絶縁性樹脂塗料及び前記枠体側絶縁性樹脂塗料の少なくとも一方が半硬化状態において前記枠体形成領域の下面を前記バスバー形成領域の上面に圧着させて、半硬化状態の絶縁性樹脂塗料を完全硬化させることにより、前記バスバー用平板及び前記枠体用平板を固着させる平板固着工程と、前記バスバー側絶縁層における上面側積層部のうち前記上面側開口を形成すべき上面側開口形成領域にレーザー光を照射して前記一又は複数の上面側開口を設けるレーザー光照射工程とを備え、前記中央孔は、前記枠体本体の板厚方向一方側から他方側へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とされ、前記中央孔形成径工程は、逆テーパ孔に対応した先細テーパ状のパンチを用意し、前記枠体形成領域の下面の側から上面の側へ向かって前記パンチを押圧させるように構成されているバスバーアッセンブリの製造方法を提供する。
【0056】
また、本発明は、導電性平板状部材によって形成され、対向する側面の間に間隙が存する状態で同一平面内に配置された複数のバスバーと、前記間隙内に充填された間隙充填部及び前記間隙充填部によって連結されてなるバスバー連結体の板厚方向一方側の上面を覆う上面側積層部を含み、前記上面側積層部には前記複数のバスバーの各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口が設けられているバスバー側絶縁層と、板厚方向一方側の上面及び板厚方向他方側の下面を貫通する中央孔が設けられた環状の枠体本体及び前記枠体本体の外周面を覆う枠体側絶縁層を有し、平面視において前記一又は複数の上面側開口が前記中央孔内に位置する状態で前記バスバー連結体の上面に前記上面側積層部を介して固着されている枠体とを備えたバスバーアッセンブリの製造方法であって、前記バスバー連結体に対応した平面視外形状を有するバスバー形成領域を含む導電性金属製のバスバー用平板を用意する工程と、前記バスバー形成領域に、板厚方向に貫通し且つ前記間隙と同一幅を有する一又は複数のスリットを形成して、当該バスバー形成領域を前記複数のバスバーに対応した複数のバスバー形成部位に区画するスリット形成工程と、少なくとも前記スリット内及び前記バスバー形成領域の上面に前記バスバー側絶縁層を形成するバスバー側絶縁性樹脂塗料を塗布するバスバー側塗布工程と、前記バスバー用平板を用意する工程から前記バスバー側塗布工程の前又は後、若しくは、これらと並行して行う枠体形成処理であって、前記枠体本体に対応した平面視外形状を有する枠体形成領域を含む枠体用平板を用意する工程、前記枠体形成領域に前記中央孔を形成して前記枠体本体に対応した環状体を形成する中央孔形成工程、及び、前記環状体の外周面に前記枠体側絶縁層を形成する枠体側絶縁性樹脂塗料を塗布する枠体側塗布工程を含む枠体形成処理と、前記バスバー側絶縁性樹脂塗料及び前記枠体側絶縁性樹脂塗料の少なくとも一方が半硬化状態において前記枠体形成領域の下面を前記バスバー形成領域の上面に圧着させて、半硬化状態の絶縁性樹脂塗料を完全硬化させることにより、前記バスバー用平板及び前記枠体用平板を固着させる平板固着工程と、前記バスバー側絶縁層における上面側積層部のうち前記上面側開口を形成すべき上面側開口形成領域にレーザー光を照射して前記一又は複数の上面側開口を設けるレーザー光照射工程とを備え、前記中央孔は、前記枠体本体の板厚方向一方側の上面から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の板厚内で終焉する小径孔と、前記小径孔の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の下面に到達する大径孔とを有する段付き孔とされ、前記中央孔形成工程は、前記大径孔に対応した外径の大径部と、前記大径部から先端側へ延びる小径部であって、前記小径孔に対応した外径の小径部とを有する２段形状のパンチを用意し、前記枠体形成領域の下面の側から上面の側へ向かって前記２段形状のパンチを押圧させるように構成されているバスバーアッセンブリの製造方法を提供する。
【0057】
また、本発明は、導電性平板状部材によって形成され、対向する側面の間に間隙が存する状態で同一平面内に配置された複数のバスバーと、前記間隙内に充填された間隙充填部及び前記間隙充填部によって連結されてなるバスバー連結体の板厚方向一方側の上面を覆う上面側積層部を含み、前記上面側積層部には前記複数のバスバーの各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口が設けられているバスバー側絶縁層と、板厚方向一方側の上面及び板厚方向他方側の下面を貫通する中央孔が設けられた環状の枠体本体及び前記枠体本体の外周面を覆う枠体側絶縁層を有し、平面視において前記一又は複数の上面側開口が前記中央孔内に位置する状態で前記バスバー連結体の上面に前記上面側積層部を介して固着されている枠体とを備えたバスバーアッセンブリの製造方法であって、前記バスバー連結体に対応した平面視外形状を有するバスバー形成領域を含む導電性金属製のバスバー用平板を用意する工程と、前記バスバー形成領域に、板厚方向に貫通し且つ前記間隙と同一幅を有する一又は複数のスリットを形成して、当該バスバー形成領域を前記複数のバスバーに対応した複数のバスバー形成部位に区画するスリット形成工程と、少なくとも前記スリット内及び前記バスバー形成領域の上面に前記バスバー側絶縁層を形成するバスバー側絶縁性樹脂塗料を塗布するバスバー側塗布工程と、前記バスバー用平板を用意する工程から前記バスバー側塗布工程の前又は後、若しくは、これらと並行して行う枠体形成処理であって、前記枠体本体に対応した平面視外形状を有する枠体形成領域を含む枠体用平板を用意する工程、前記枠体形成領域に前記中央孔を形成して前記枠体本体に対応した環状体を形成する中央孔形成工程、及び、前記環状体の外周面に前記枠体側絶縁層を形成する枠体側絶縁性樹脂塗料を塗布する枠体側塗布工程を含む枠体形成処理と、前記バスバー側絶縁性樹脂塗料及び前記枠体側絶縁性樹脂塗料の少なくとも一方が半硬化状態において前記枠体形成領域の下面を前記バスバー形成領域の上面に圧着させて、半硬化状態の絶縁性樹脂塗料を完全硬化させることにより、前記バスバー用平板及び前記枠体用平板を固着させる平板固着工程と、前記バスバー側絶縁層における上面側積層部のうち前記上面側開口を形成すべき上面側開口形成領域にレーザー光を照射して前記一又は複数の上面側開口を設けるレーザー光照射工程とを備え、前記中央孔は、前記枠体本体の板厚方向一方側の上面から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体の板厚内で終焉する小径孔と、前記小径孔の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とを有する複合孔とされ、前記中央孔形成工程は、前記逆テーパ孔に対応した先細テーパ部と、前記先細テーパ部から先端側へ延びる小径部であって、前記小径孔に対応した外径の小径部とを有する２段形状のパンチを用意し、前記枠体形成領域の下面の側から上面の側へ向かって前記２段形状のパンチを押圧させるように構成されているバスバーアッセンブリの製造方法。
【0058】
好ましくは、前記バスバー側塗布工程は、前記バスバー形成領域の下面にも前記バスバー側絶縁性樹脂塗料を塗布するように構成され、前記レーザー光照射工程は、前記バスバー側絶縁性樹脂塗料によって形成される下面側積層部のうち下面側開口形成領域にレーザー光を照射して、前記複数のバスバー形成部位の各々の下面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の下面側開口を設けるように構成される。
【0059】
好ましくは、前記バスバー用平板は、前記スリットの長手方向に沿った第１方向に直列配置された複数の前記バスバー形成領域と、隣接する前記バスバー形成領域を連結する連結領域とを一体的に有するものとされる。
【0060】
この場合、一のバスバー形成領域に形成されたスリットは、長手方向一端側が当該一のバスバー形成領域の第１方向一方側に連接された連結領域内へ延び且つ長手方向他端側が当該一のバスバー形成領域の第１方向他方側に連接された連結領域内へ延びるものとされる。
【0061】
前記枠体用平板は、前記複数のバスバー形成領域と同一ピッチで前記第１方向に直列配置された複数の前記枠体形成領域と、前記第１方向に隣接する前記枠体形成領域を連結する連結領域とを一体的に有するものとされる。
【0062】
本発明に係るバスバーアッセンブリの製造方法は、さらに、前記平板固着工程後に、前記一又は複数の上面側開口によって露出された前記複数のバスバーの上面のうちの所定バスバーの上面に半導体素子を装着させる半導体素子装着工程を備え得る。
【0063】
本発明に係るバスバーの製造方法は、さらに、前記半導体素子装着工程後に、前記バスバー形成領域及び前記枠体形成領域を前記バスバー用平板及び前記枠体用平板から切断する切断工程を備え得る。
【発明の効果】
【0064】
本発明に係るバスバーアッセンブリは、同一平面内に並列配置された複数のバスバーと、隣接する前記バスバーの間の間隙内に充填された間隙充填部及び前記複数のバスバーが前記間隙充填部によって連結されてなるバスバー連結体の上面を覆う上面側積層部を含み、前記上面側積層部には前記複数のバスバーの各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口が設けられているバスバー側絶縁層と、板厚方向に貫通する中央孔が設けられた環状の枠体本体及び前記枠体本体の外周面を覆う枠体側絶縁層を有し、平面視において前記上面側開口が前記中央孔内に位置するように前記バスバー連結体の上面の周縁に固着されている枠体とを備え、前記枠体本体は、前記中央孔を向く内側面のうち少なくとも前記上面側開口に対向する開口対向部分においては、板厚方向他方側の下端部が、板厚方向に関する他の部位よりも前記バスバー連結体の平面視中央位置から平面方向に関し最も離間されるように構成されているので、前記枠体本体の内側面の下端部に生じ得る絶縁層の大膜厚部が前記上面側開口内に及ぶことを有効に防止乃至は低減でき、これにより、前記上面側開口内に絶縁層の残渣が生じることを有効に防止乃至は低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【0065】
【図1】図１(a)～(c)は、それぞれ、本発明の一実施の形態に係るバスバーアッセンブリの平面図、図１(a)におけるI(b)-I(b)線に沿った断面図及び図１(a)におけるI(c)-I(c)線に沿った断面図である。
【図4】図４(a)～(c)は、それぞれ、前記実施の形態の第１変形例に係るバスバーアッセンブリの平面図、図４(a)におけるIV(b)-IV(b)線及び図４(a)におけるIV(c)-IV(c)線に沿った断面図である。
【図12】図１２(a)は、前記第１製造方法における平板固着工程後の前記枠体用平板及び前記バスバー用平板の平面図であり、図１２(b)は、図１２(a)におけるXII(b)-XII(b)線に沿った断面図である。
【図15】図１５(a)は、前記平板固着工程後で且つ前記レーザー光照射工程前の前記枠体用平板及び前記バスバー用平板の縦断面図であり、図１２(b)に対応した縦断面図である。図１５(b)は、前記レーザー光照射工程におけるレーザー光を模式的に表示した状態の前記枠体用平板及び前記バスバー用平板の縦断面図である。図１５(c)は、前記レーザー光照射工程後の前記枠体用平板及び前記バスバー用平板の縦断面図である。図１５(d)は、第１及び第２半導体素子が装着された状態の前記枠体用平板及び前記バスバー用平板の縦断面図である。
【図17】図１７(a)及び(b)は、それぞれ、前記第２変形例に係るバスバーアッセンブリを製造する第２製造方法において用いられる枠体用平板の平面図及び図１７(a)におけるXVII(b)-XVII(b)線に沿った断面図である。
【図20】図２０(a)及び(b)は、それぞれ、前記第３変形例に係るバスバーアッセンブリを製造する第３製造方法において用いられる枠体用平板の平面図及び図２０(a)におけるXX(b)-XX(b)線に沿った断面図である。
【図24】図２４(a)は、従来のバスバーアッセンブリを製造する従来の製造方法において用いられる枠体用平板であって、従来の製造方法における中央孔形成工程後の前記枠体用平板の平面図である。図２４(b)は、図２４(a)におけるXXIV(b)-XXIV(b)線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0066】
以下、本発明に係るバスバーアッセンブリの一実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１(a)に、本実施の形態に係るバスバーアッセンブリ１の平面図を示す。
また、図１(b)及び(c)に、それぞれ、図１(a)におけるI(b)-I(b)線及びI(c)-I(c)線に沿った断面図を示す。
さらに、図２に、前記バスバーアッセンブリ１にＬＥＤ等の半導体素子１１０が装着されてなる半導体モジュール１０１の縦断面図を示す。
図１(a)に、本実施の形態に係るバスバーアッセンブリ１の平面図を示す。
また、図１(b)及び(c)に、それぞれ、図１(a)におけるI(b)-I(b)線及びI(c)-I(c)線に沿った断面図を示す。
さらに、図２に、前記バスバーアッセンブリ１にＬＥＤ等の半導体素子１１０が装着されてなる半導体モジュール１０１の縦断面図を示す。
【0067】
図１(a)～(c)及び図２に示すように、前記バスバーアッセンブリ１は、導電性平板状部材によって形成され、対向する側面１５の間に間隙１９が存する状態で同一平面内に並列配置された複数のバスバー１０と、前記間隙１９内に充填された間隙充填部２９及び前記複数のバスバー１０が前記間隙充填部２９によって連結されてなるバスバー連結体の上面に配置された上面側積層部２１を含むバスバー側絶縁層２０と、板厚方向に貫通する中央孔３７が設けられた環状の枠体本体３１及び前記枠体本体３１の外周面を覆う枠体側絶縁層４０を有し、前記上面側積層部２１を介して前記バスバー連結体の上面に固着された枠体３０とを備えている。
【0068】
前記バスバー１０は、Ｃｕ等の導電性金属によって形成される。
本実施の形態に係る前記バスバーアッセンブリ１は、前記複数のバスバー１０として、第１～第３バスバー１０（１）～１０（３）の３つのバスバーを有しており、前記間隙１９として、第１及び第２間隙１９（１）、１９（２）を有している。
本実施の形態に係る前記バスバーアッセンブリ１は、前記複数のバスバー１０として、第１～第３バスバー１０（１）～１０（３）の３つのバスバーを有しており、前記間隙１９として、第１及び第２間隙１９（１）、１９（２）を有している。
【0069】
即ち、前記バスバーアッセンブリ１は、前記第１バスバー１０（１）と、第１間隙１９（１）を介して前記第１バスバー１０（１）に隣接配置された第２バスバー１０（２）と、第２間隙１９（２）を介して前記第２バスバー１０（２）に隣接配置された第３バスバー１０（３）とを有している。
【0070】
前記バスバー１０（１）～１０（３）の各々は、厚み方向一方側及び他方側をそれぞれ向く上面１１及び下面１２と、前記上面１１及び下面１３を連結する側面１５とを有しており、隣接するバスバー１０の側面１５が前記間隙１９を介して対向されている。
【0071】
前記バスバー側絶縁層２０は、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリアミド、エポキシ等の耐熱性及び絶縁性を有する絶縁性樹脂塗膜によって形成され、好ましくは、好適には、インシュリード（登録商標）を用いて形成される。
【0072】
前記上面側積層部２１には、前記第１～第３バスバー１０（１）、１０（２）の各々の上面の少なくとも一部を露出させる一又は複数の上面側開口２２が設けられている。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記上面側積層部２１には、前記第１～第３バスバー１０（１）～１０（３）の上面の一部をそれぞれ露出させる第１～第３上面側開口２２（１）～２２（３）が設けられている。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記上面側積層部２１には、前記第１～第３バスバー１０（１）～１０（３）の上面の一部をそれぞれ露出させる第１～第３上面側開口２２（１）～２２（３）が設けられている。
【0073】
これに代えて、前記上面側積層部２１に、前記複数のバスバー１０（前記第１～第３バスバー１０（１）～（３））の上面１１の一部を一体的に露出させる単一の上面側開口を設けることも可能である。
【0074】
前記第１～第３バスバー１０（１）～（３）の上面１１のうち、前記上面側開口（本実施の形態においては前記第１～第３上面側開口２２（１）～（３））を介して露出する部分が、上面側接続部１２を形成している。
【0075】
図２に示すように、前記上面側接続部１２は、前記バスバーアッセンブリ１に装着されるＬＥＤ等の半導体素子１１０が装着又は電気的に接続される素子用接続部として作用する。
【0076】
前記第１～第３バスバー１０（１）～１０（３）の一部が陽極及び陰極の一方である第１電極（例えば陽極）として作用し、前記第１～第３バスバー１０（１）～１０（３）の残りが陽極及び陰極の他方である第２電極（例えば陰極）として作用する。
【0077】
図２に示す前記半導体モジュール１０１においては、前記第１及び第２バスバー１０（１）、１０（２）が第１電極として作用し、前記第３バスバー１０（３）が第２電極として作用する。
【0078】
即ち、前記半導体モジュール１０１においては、第１電極として作用する前記第１及び第２バスバー１０（１）、１０（２）に、それぞれ、第１及び第２半導体素子１１０（１）、１１０（２）が装着されている。
【0079】
詳しくは、前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、１１０（２）の各々は、厚み方向一方側の上面及び厚み方向他方側の下面にそれぞれ上側電極層１１１及び下側電極層１１２を有し、前記上側電極層１１１及び下側電極層１１２の間に素子本体１１５を有している。
【0080】
前記半導体モジュール１０１においては、前記第１半導体素子１１０（１）の下側電極層１１２が前記第１バスバー１０（１）の前記上面側接続部１２に電気的に接続状態で固着され、前記第２半導体素子１１０（２）の下側電極層１１２が前記第２バスバー１０（２）の前記上面側接続部１２に電気的に接続状態で固着されている。
【0081】
そして、前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、１１０（２）の上側電極層１１１が、それぞれ、第１及び第２ワイヤ１２０（１）、１２０（２）を介して第２電極として作用する前記第３バスバー１０（３）の上面側接続部１２に電気的に接続されている。
【0082】
好ましくは、前記第１～第３バスバー１０（１）～１０（３）の上面にはメッキ層（図示せず）が設けられる。
【0083】
この場合、前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、１１０（２）の下側電極層１１２は、それぞれ、前記第１及び第２バスバー１０（１）、１０（２）の上面接続部１２のメッキ層にダイボンディングされ、且つ、前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、１１０（２）の上側電極層１１１は、それぞれ、前記第３バスバー１０（３）の上面接続部１２のメッキ層（図示せず）に前記第１及び第２ワイヤ１２０（１）、１２０（２）によってワイヤボンディングされる。
【0084】
前記第１～第３バスバー１０（１）、１０（２）の各々の下面１３は少なくとも一部が露出されて、下面側接続部１４を形成している。
【0085】
本実施の形態においては、図１(b)に示すように、前記バスバー側絶縁層２０は、前記バスバー連結体の下面を覆う下面側積層部２３を有しており、前記下面側積層部２３には、前記第１～第３バスバー１０（１）～（３）の下面１３の一部をそれぞれ露出させる第１～第３下面側開口２４（１）～（３）が設けられている。
【0086】
これに代えて、前記下面側積層部２３に、前記複数のバスバー１０（前記第１～第３バスバー１０（１）～（３））の下面１３の一部を一体的に露出させる単一の下面側開口を設けることも可能である。
【0087】
前記第１～第３バスバー１０（１）～１０（３）の下面１３のうち、前記下面側開口（本実施の形態においては前記第１～第３下面側開口２４（１）～（３））を介して露出する部分が、前記下面側接続部１４を形成している。
前記下面側接続部１４は、対応するバスバー１０（１）～１０（３）を外部に電気的に接続する為の外部用接続端子として作用する。
前記下面側接続部１４は、対応するバスバー１０（１）～１０（３）を外部に電気的に接続する為の外部用接続端子として作用する。
【0088】
なお、本実施の形態においては、前記バスバー側絶縁層２０は、前記間隙充填部２９、前記上面側積層部２１及び前記下面側積層部２３に加えて、さらに、前記バスバー連結体の側面を覆う側面側積層部２５を一体的に有している。
【0089】
前記枠体３０は、前記バスバーアッセンブリ１に搭載される前記半導体素子１１０（本実施の形態においては前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、１１０（２））及び前記ワイヤ１２０（本実施の形態においては前記第１及び第２ワイヤ１２０（１）、１２０（２））を保護する封止樹脂体１３０を保持する為の部材である。
【0090】
図１及び図２に示すように、前記枠体３０は、平面視において前記上面側開口２２（本実施の形態においては前記第１～第３上面側開口２２（１）～２２（３））が前記中央孔３７内に位置する状態で前記バスバー連結体の上面に前記上面側積層部２１を介して固着されている。
【0091】
前記枠体本体３１は、種々の材質によって形成され得る。
例えば、前記枠体本体３１は導電性金属部材（好ましくは前記バスバー１０と同一部材）によって形成される。
例えば、前記枠体本体３１は導電性金属部材（好ましくは前記バスバー１０と同一部材）によって形成される。
【0092】
前記枠体側絶縁層４０は、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリアミド、エポキシ等の耐熱性及び絶縁性を有する絶縁性樹脂塗膜によって形成され、好ましくは、好適には、インシュリード（登録商標）を用いて形成される。
【0093】
前記封止樹脂層１３０は、例えば、ポリイミド、ポリアミド、エポキシ等の透明絶縁性樹脂材料によって形成される。
【0094】
詳しくは、前記封止樹脂層１３０を形成する絶縁性樹脂材料が、前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、１１０（２）並びに前記第１及び第２ワイヤ１２０（１）、１２０（２）を囲繞するように、前記枠体３０によって画される収容空間内に流し込まれる。
前記枠体３０は、前記絶縁性樹脂材料が硬化前に流れ出ること、及び、硬化後の前記封止樹脂層１３０が前記バスバーアッセンブリ１から脱離することを防止する。
前記枠体３０は、前記絶縁性樹脂材料が硬化前に流れ出ること、及び、硬化後の前記封止樹脂層１３０が前記バスバーアッセンブリ１から脱離することを防止する。
【0095】
図３に、図１(b)におけるIII部拡大図を示す。
図１～図３に示すように、前記枠体本体３１は、板厚方向一方側及び他方側をそれぞれ向く上面３２及び下面３３と、前記中央孔３７に面する内側面３４と、前記中央孔３７とは反対側に位置する外側面３５とを有している。
図１～図３に示すように、前記枠体本体３１は、板厚方向一方側及び他方側をそれぞれ向く上面３２及び下面３３と、前記中央孔３７に面する内側面３４と、前記中央孔３７とは反対側に位置する外側面３５とを有している。
【0096】
そして、前記内側面３４のうち少なくとも前記上面側開口２２に対向する開口対向部分３４ａにおいては、板厚方向他方側の下端部が、板厚方向に関する他の部位よりも前記バスバー連結体の平面視中央位置Ｓ（図１(a)参照）から平面方向に関し最も離間されている。
【0097】
本実施の形態においては、図３に示すように、前記内側面３４のうち少なくとも前記開口対向部分３４ａは、板厚方向一方側から他方側へ行くに従って前記バスバー連結体の平面視中央位置Ｓ（図１(a)参照）からの平面方向距離が大きくなる傾斜面とされている。
【0098】
斯かる構成の前記バスバーアッセンブリ１によれば、前記上面側開口２２を形成する為に、前記上面側積層部２１のうちの所定領域の絶縁層をレーザー光によって取り除く際に、取り除くべき絶縁層の一部が残渣として取り残される事態を有効に防止乃至は低減することができる。
斯かる効果については、下記製造方法の説明内において詳述する。
斯かる効果については、下記製造方法の説明内において詳述する。
【0099】
なお、本実施の形態においては、図１(a)～(c)に示すように、前記枠体本体３１の内側面３４は、全周に亘って前記傾斜面とされており、前記中央孔３７は、前記枠体本体３１の板厚方向一方側の上面３２から他方側の下面３３へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とされているが、前記内側面３４のうち少なくとも前記開口対向部分３４ａが前記傾斜面とされている限り、種々の変更が可能である。
【0100】
図４(a)に、本実施の形態の第１変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ａの平面図を示す。
また、図４(b)及び(c)に、それぞれ、図４(a)におけるIV(b)-IV(b)線及びIV(c)-IV(c)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
また、図４(b)及び(c)に、それぞれ、図４(a)におけるIV(b)-IV(b)線及びIV(c)-IV(c)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
【0101】
前記第１変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ａは、本実施の形態に係るバスバーアッセンブリ１に比して、前記枠体３０に代えて枠体６０Ａを有している。
【0102】
前記枠体６０Ａは、枠体本体３１Ａ及び前記枠体側絶縁層４０を有している。
【0103】
前記枠体本体３１Ａにおいては、前記内側面３４のうち前記中央孔３７と対向する前記開口対向部分３４ａだけが板厚方向一方側から他方側へ行くに従って前記バスバー連結体の平面視中央位置Ｓ（図４(a)参照）からの離間距離が大きくなる前記傾斜面（図４(b)参照）とされ、前記開口対向部分３４ａ以外の他の部分３４ｂは板厚方向に沿った垂直面（図４(c)参照）とされている。
【0104】
以下、本実施の形態に係るバスバーアッセンブリ１の製造方法（以下、第１製造方法という）について説明する。
【0105】
図５に、前記第１製造方法において用いられるバスバー用平板２００の平面図を示す。
前記第１製造方法は、導電性金属製の前記バスバー用平板２００を用意する工程を有している。
前記第１製造方法は、導電性金属製の前記バスバー用平板２００を用意する工程を有している。
【0106】
前記バスバー用平板２００は、前記バスバー側絶縁層２０によって複数のバスバー１０（前記第１～第３バスバー１０（１）～１０（３））が連結されてなる前記バスバー連結体に対応した平面形状を有し、且つ、前記バスバー１０と同一厚みを有するバスバーアッセンブリ形成領域２１０を備えている。
【0107】
即ち、前記バスバーアッセンブリ形成領域２１０は、前記バスバー用平板２００が位置する平面内の第１方向（図５中のＹ方向）の長さが前記バスバーアッセンブリ１の前記間隙１９に平行な方向の長さと同一とされ、且つ、前記平面内において第１平面方向とは直交する第２方向（図５中のＸ方向長さ）が前記バスバーアッセンブリ１の前記間隙１９の長手方向とは直交する方向の長さと同一とされている。
【0108】
図５に示すように、本実施の形態においては、前記バスバー用平板２００は、当該平板２００が位置する平面内の第１方向（Ｙ方向）に沿って直列配列された複数（図示の構成においては５個）の前記バスバーアッセンブリ形成領域２１０と、第１方向に隣接するバスバーアッセンブリ形成領域２１０の間を連結する連結領域２３０とを含むバスバー列２０５を有しており、前記複数のバスバーアッセンブリ形成領域２１０に対して加工処理を同時に行えるようになっている。
【0109】
本実施においては、前記バスバー用平板２００は、前記バスバー列２０５の長手方向（Ｙ方向）一方側及び他方側にそれぞれ連結された一対の把持片２０７を有しており、前記一対の把持片２０７には位置合わせ孔２０８が設けられている。
【0110】
なお、複数の前記バスバー列２０５を前記平面内の第２方向（Ｘ方向）に並列配置させ、Ｘ方向に並列配置された複数のバスバー列２０５を前記一対の把持片２０７、２０７によって一体的に保持することも可能である。
かかる変形構成によれば、より多くのバスバーアッセンブリ１を同時に製造することができる。
かかる変形構成によれば、より多くのバスバーアッセンブリ１を同時に製造することができる。
【0111】
前記第１製造方法は、さらに、スリット形成工程を有している。
図６に、前記スリット形成工程後の前記バスバー用平板２００の平面図を示す。
図６に、前記スリット形成工程後の前記バスバー用平板２００の平面図を示す。
【0112】
前記スリット形成工程は、前記バスバーアッセンブリ形成領域２１０に厚み方向に貫通し且つ前記間隙１９（前記第１及び第２間隙１９（１）、１９（２））と同一幅を有する一又は複数のスリット２１９（第１及び第２スリット２１９（１）、２１９（２））を形成して、前記バスバーアッセンブリ形成領域２１０を前記複数のバスバー１０（前記第１～第３バスバー１０（１）～１０（３））に対応した複数のバスバー形成部位２２０（第１～第３バスバー形成部位２２０（１）～２２０（３））に区画するように構成されている。
【0113】
前記バスバーアッセンブリ１においては、前記第１及び第２バスバー１０（１）、１０（２）の間に位置する前記第１間隙１９（１）と前記第２及び第３バスバー１０（２）、１０（３）の間に位置する第２間隙１９（２）とが設けられており、従って、前記スリット形成工程は、前記第１及び第２間隙１９（１）、１９（２）と同一幅の第１及び第２スリット２１９（１）、２１９（２））を形成するように構成されている。
【0114】
図６に示すように、本実施の形態においては、一のバスバーアッセンブリ形成領域２１０Ａに形成された第１及び第２スリット２１９（１）、２１９（２）は、長手方向（Ｙ方向）一方側が当該一のバスバーアッセンブリ形成領域２１０Ａの長手方向（Ｙ方向）一方側に連結された一の連結領域２３０Ａ内へ延び、且つ、長手方向（Ｙ方向）他方側が当該一のバスバーアッセンブリ形成領域２３０の長手方向（Ｙ方向）他方側に連結された他の連結領域２３０Ｂ内へ延びている。
【0115】
そして、前記スリット形成工程後の状態において、前記一のバスバーアッセンブリ形成領域２１０Ａに形成された第１及び第２スリット２１９（１）、２１９（２）を介して隣接する第１～第３バスバー形成部位２２０（１）～２２０（３）は、前記一の連結領域２３０Ａ及び前記他の連結領域２３０Ｂを介して、互いに対して繋がった状態に維持されるように構成されている。
斯かる構成を備えることにより、前記第１及び第２スリット２１９（１）、２１９（２）（前記第１及び第２間隙１９（１）、１９（２））を精度良く形成することができる。
斯かる構成を備えることにより、前記第１及び第２スリット２１９（１）、２１９（２）（前記第１及び第２間隙１９（１）、１９（２））を精度良く形成することができる。
【0116】
前記第１製造方法は、前記スリット形成工程後に行うバスバー側塗布工程を有している。
図７(a)及び(b)に、それぞれ、前記バスバー側塗布工程後の前記バスバー用平板２００の平面図及び図７(a)におけるVII(b)-VII(b)線に沿った断面図を示す。
図７(a)及び(b)に、それぞれ、前記バスバー側塗布工程後の前記バスバー用平板２００の平面図及び図７(a)におけるVII(b)-VII(b)線に沿った断面図を示す。
【0117】
前記バスバー側塗布工程は、少なくとも前記第１及び第２スリット２１９（１）、２１９（２）内及び前記バスバーアッセンブリ形成領域２１０の上面２１１の全域に、前記バスバー側絶縁層２０を形成するバスバー側絶縁性樹脂塗料２４０を塗布するように構成されている。
【0118】
前記バスバー側絶縁性樹脂塗料の塗布は、例えば、電着塗装、静電粉体塗装又はスプレー塗装によって行うことができる。
【0119】
前述の通り、前記バスバーアッセンブリにおいては、前記バスバー側絶縁層２０は、前記間隙１９内に充填された間隙充填部２９及び前記バスバー連結体の上面に設けられた上面側積層部２１に加えて、前記バスバー連結体の下面及び側面にそれぞれ設けられた下面側積層部２１及び側面側積層部２５を有している。
【0120】
従って、前記バスバー側塗布工程は、図７(a)及び(b)に示すように、前記バスバーアッセンブリ形成領域２１０の上面に加えて、下面２１３及び側面２１５にも前記バスバー側絶縁性樹脂塗料２４０を塗布するように構成されている。
【0121】
前記第１製造方法は、さらに、前記バスバー用平板２００を用意する工程から前記バスバー側塗布工程の前又は後、若しくは、これらと並行して行う枠体形成処理を有している。
【0122】
図８に、前記第１製造方法において用いられる枠体用平板３００の平面図を示す。
前記枠体形成処理は、前記枠体用平板３００を用意する工程を有している。
前記枠体形成処理は、前記枠体用平板３００を用意する工程を有している。
【0123】
前記枠体用平板３００は、前記枠体本体３１に対応した平面視外形状及び板厚を有する枠体形成領域３１０を含んでいる。
【0124】
前記枠体用平板３００は、剛性を有する種々の材料によって形成される。
前記枠体用平板３００は、例えば、導電性金属平板によって形成され、製造効率の観点からは、好ましくは、前記バスバー用平板２００と同一材料によって形成される。
前記枠体用平板３００は、例えば、導電性金属平板によって形成され、製造効率の観点からは、好ましくは、前記バスバー用平板２００と同一材料によって形成される。
【0125】
前記枠体用平板３００は、前記バスバー用平板２００に重合させた際に、前記枠体形成領域３１０が前記バスバーアッセンブリ形成領域２１０に位置合わせされるように構成されている。
【0126】
詳しくは、前述の通り、前記バスバー用平板２００は、Ｙ方向に沿って直列配列された複数の前記バスバーアッセンブリ形成領域２１０と、Ｙ方向に隣接するバスバーアッセンブリ形成領域２１０の間を連結する連結領域２３０とを含むバスバー列２０５を有している。
【0127】
従って、前記枠体用平板３００は、図８に示すように、前記複数のバスバーアッセンブリ形成領域２１０と同一ピッチでＹ方向に直列配置された複数の前記枠体形成領域３１０と、Ｙ方向に隣接する枠体形成領域３１０の間を連結する連結領域３３０とを含む枠体列３０５を有している。
【0128】
なお、前述の通り、前記バスバー用平板２００は、前記バスバー列２０５の長手方向（Ｙ方向）一方側及び他方側にそれぞれ連結された一対の把持片２０７を有しており、前記一対の把持片２０７には位置合わせ孔２０８が設けられている。
【0129】
これに応じて、図８に示すように、前記枠体用平板３００にも、前記枠体列３０５の長手方向（Ｙ方向）一方側及び他方側にそれぞれ連結された一対の把持片３０７が設けられ、前記一対の把持片３０７には前記位置合わせ孔２０８に対応した位置合わせ孔３０８が設けられている。
【0130】
前記枠体形成処理は、さらに、前記枠体形成領域３１０に前記中央孔３７を形成して前記枠体本体３１に対応した環状体３２０を形成する中央孔形成工程を有している。
図９(a)に、前記中央孔形成工程後の前記枠体用平板３００の平面図を示す。
また、図９(b)に、図９(a)におけるIX(b)-IX(b)線に沿った断面図を示す。
図９(a)に、前記中央孔形成工程後の前記枠体用平板３００の平面図を示す。
また、図９(b)に、図９(a)におけるIX(b)-IX(b)線に沿った断面図を示す。
【0131】
前述の通り、本実施の形態においては、前記中央孔３７は、前記枠体本体３１０の板厚方向一方側の上面３１１から他方側の下面３１３へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とされている（図９(b)参照）。
【0132】
図１０(a)～(c)に、前記中央孔形成工程の模式工程図を示す。
図１０(a)～(c)に示すように、記中央孔形成工程は、逆テーパ孔に対応した先細テーパ状のパンチ３８０を用意し、前記枠体本体３１０の下面３１３の側から上面３１１の側へ向かって前記パンチ３８０を押圧させるように構成されている。
なお、図１０(a)～(c)中の符号３９８ａ、３９８ｂは、前記パンチ３８０の通路を設けつつ、前記枠体形成領域３１０を固定する固定部材である。
図１０(a)～(c)に示すように、記中央孔形成工程は、逆テーパ孔に対応した先細テーパ状のパンチ３８０を用意し、前記枠体本体３１０の下面３１３の側から上面３１１の側へ向かって前記パンチ３８０を押圧させるように構成されている。
なお、図１０(a)～(c)中の符号３９８ａ、３９８ｂは、前記パンチ３８０の通路を設けつつ、前記枠体形成領域３１０を固定する固定部材である。
【0133】
前記枠体形成処理は、さらに、前記環状体３２０の外周面に前記枠体側絶縁層４０を形成する枠体側絶縁性樹脂塗料３４０を塗布する枠体側塗布工程を有している。
図１１に、前記枠体側塗布工程後の前記枠体用平板３００の平面図を示す。
図１１に、前記枠体側塗布工程後の前記枠体用平板３００の平面図を示す。
【0134】
前記枠体側絶縁性樹脂塗料３４０の塗布は、例えば、電着塗装、静電粉体塗装又はスプレー塗装によって行うことができる。
【0135】
前記第１製造方法は、さらに、平板固着工程を有している。
図１２(a)に、前記平板固着工程後の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の平面図を示す。
また、図１２(b)に、図１２(a)におけるXII(b)-XII(b)線に沿った断面図を示す。
図１２(a)に、前記平板固着工程後の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の平面図を示す。
また、図１２(b)に、図１２(a)におけるXII(b)-XII(b)線に沿った断面図を示す。
【0136】
図１２(a)及び(b)に示すように、前記平板固着工程は、前記バスバー側絶縁性樹脂塗料２４０及び前記枠体側絶縁性樹脂塗料３４０の少なくとも一方が半硬化状態において前記枠体形成領域３１０の下面を前記バスバー形成領域２１０の上面に圧着させて、半硬化状態の絶縁性樹脂塗料を完全硬化させることにより、前記バスバー用平板２００及び前記枠体用平板３００を固着させるように構成されている。
【0137】
前記第１製造方法は、さらに、前記平板固着工程後に行われるレーザー光照射工程を有している。
図１３に、前記レーザー光照射工程後の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の平面図を示す。
また、図１４(a)に、図１３におけるXIV(a)部拡大図を、図１４(b)に、図１４(a)におけるXIV(b)-XIV(b)線に沿った断面図を示す。
図１３に、前記レーザー光照射工程後の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の平面図を示す。
また、図１４(a)に、図１３におけるXIV(a)部拡大図を、図１４(b)に、図１４(a)におけるXIV(b)-XIV(b)線に沿った断面図を示す。
【0138】
図１３及び図１４に示すように、前記レーザー光照射工程は、前記バスバー側絶縁層２０における上面側積層部２１のうち前記第１～第３上面側開口２２（１）～２２（３）を形成すべき領域（下記図１５(a)及び(b)における第１～第３上面側開口形成領域２２ａ（１）～２２ａ（３））にレーザー光を照射して前記第１～第３上面側開口２２（１）～２２（３）を設けるように構成されている。
【0139】
前述の通り、本実施の形態においては、前記バスバー側絶縁層２０は前記下面側積層部２３を備えており、前記下面側積層部２３には前記第１～第３下面側開口部２４（１）～２４（３）が設けられている。
【0140】
従って、前記レーザー光照射工程は、前記下面側積層部２３のうち前記第１～第３下面側開口２４（１）～２４（３）を形成すべき領域（下記図１５(a)及び(b)における第１～第３下面側開口形成領域２４ａ（１）～２４ａ（３））にレーザー光を照射して、前記第１～第３下面側開口２４（１）～２４（３）を設けるように構成されている。
【0141】
ここで、本実施の形態に係る前記バスバーアッセンブリの効果について、図１５(a)～(d)を用いて説明する。
図１５(a)は、前記平板固着工程後で且つ前記レーザー光照射工程前の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の縦断面図であり、図１２(b)に対応した縦断面図である。
図１５(b)は、前記レーザー光照射工程におけるレーザー光２９０を模式的に表示した状態の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の縦断面図である。
図１５(c)は、前記レーザー光照射工程によって前記第１～第３上面側開口２２（１）～２２（３）及び前記第１～第３下面側開口２４（１）～２５（３）が形成された状態の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の縦断面図である。
図１５(d)は、前記第１及び第２上面側開口２２（１）、２２（２）によって露出された領域に前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、１１０（２）を装着させた状態の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の縦断面図である。
図１５(a)は、前記平板固着工程後で且つ前記レーザー光照射工程前の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の縦断面図であり、図１２(b)に対応した縦断面図である。
図１５(b)は、前記レーザー光照射工程におけるレーザー光２９０を模式的に表示した状態の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の縦断面図である。
図１５(c)は、前記レーザー光照射工程によって前記第１～第３上面側開口２２（１）～２２（３）及び前記第１～第３下面側開口２４（１）～２５（３）が形成された状態の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の縦断面図である。
図１５(d)は、前記第１及び第２上面側開口２２（１）、２２（２）によって露出された領域に前記第１及び第２半導体素子１１０（１）、１１０（２）を装着させた状態の前記枠体用平板３００及び前記バスバー用平板２００の縦断面図である。
【0142】
前述の通り、前記平板固着工程において前記枠体形成領域３１０（前記環状体３２０）の下面３１３を前記バスバー形成領域２１０の上面２１１に圧着させる処理は、前記枠体側絶縁性樹脂塗料３４０及び前記バスバー側絶縁性樹脂塗料２４０の少なくとも一方が半硬化状態（本実施の形態においては、前記枠体側絶縁性樹脂塗料３４０は完全硬化状態とされ且つ前記バスバー側絶縁性樹脂塗料２４０は半硬化状態とされている状態）で行われている。
【0143】
その為、図１５(a)に示すように、前記バスバー側絶縁性樹脂塗料２４０のうち前記枠体形成領域３１０（前記環状体３２０）の直下に位置する部分の一部が前記環状体３２０の内側面の側（即ち、前記中央孔３７の方向）へはみ出ることになり、前記環状体３２０の内側面の下端領域において、前記バスバー側絶縁層２０の膜厚が局所的に厚くなる事態が生じ得る（以下、この膜厚が厚くなった部分を、大膜厚部２７という）。
【0144】
その一方で、図１４(a)及び(b)並びに図１５(a)に示すように、本実施の形態に係る前記バスバーアッセンブリ１においては、前述の通り、前記環状体３２０によって形成される前記枠体本体３１の内側面３４のうちの少なくとも前記開口対向部分３４ａにおいては、下端部が、前記内側面３４における板厚方向に関する他の部位よりも前記バスバー連結体の平面視中央位置Ｓから平面方向に関し最も離間されている。
【0145】
斯かる構成によれば、図１５(b)及び(c)に示すように、前記大膜厚部２７が前記第１～第３上面側開口形成領域２２ａ（１）～２２ａ（３）に到達することを有効に防止乃至は低減でき、前記レーザー光照射工程によって前記第１～第３上面側開口２２（１）～２２（３）を形成する際に前記第１～第３上面側開口形成領域２２ａ（１）～２２ａ（３）に前記バスバー側絶縁層２０の一部が残渣として残ることを有効に防止乃至は低減できる。
【0146】
従って、図１５(d)に示すように、前記平板固着工程後に実行される半導体素子装着工程において、前記上面側開口（本実施の形態においては前記第１及び第２上面側開口２２（１）、２２（２））によって露出される前記上面側接続部１２に、前記半導体素子１１０（１）、１１０（２）を正しい姿勢で確実に装着させることができる。
【0147】
前記第１製造方法は、さらに、前記半導体素子装着工程後に、固着状態の前記バスバー形成領域２１０及び前記枠体形成領域３１０を前記バスバー用平板２００及び前記枠体用平板３００から切断する切断工程を有している。
前記切断工程は、前記バスバー形成領域２１０及び前記連結領域２３０の境界、並びに、前記枠体形成領域３１０及び前記連結領域３３０の境界を、ダイシングブレードで切断するように構成される。
前記切断工程は、前記バスバー形成領域２１０及び前記連結領域２３０の境界、並びに、前記枠体形成領域３１０及び前記連結領域３３０の境界を、ダイシングブレードで切断するように構成される。
【0148】
なお、本実施の形態においては、前記枠体本体３１（前記環状体３２０）の中央孔３７は、前記枠体本体３１の板厚方向一方側から他方側へ行くに従って拡径される逆テーパ孔とされているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
【0149】
図１６に、本実施の形態の第２変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｂの縦断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
【0150】
前記第２変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｂは、前記枠体本体３１が枠体本体７１に変更されている点においてのみ、本実施の形態に係るバスバーアッセンブリ１と異なっている。
【0151】
図１６に示すように、前記枠体本体７１は、内側面７４のうち少なくとも開口対向部分が、前記枠体本体７１の上面７２から板厚方向他方側へ延びる上側板厚方向延在面７７と、前記上側板厚方向延在部７７の板厚方向他端部から、前記バスバー連結体の平面視中央位置とは反対側へ板面方向に沿って延びる板面方向延在面７８と、前記板厚方向延在面７８における前記平面視中央位置とは反対側の端部から板厚方向他方側へ延びる下側板厚方向延在面７９とを有するように、構成されている。
【0152】
斯かる構成の前記第２変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｂおいても本実施の形態におけると同様の効果を得ることができる。
【0153】
なお、前記第２変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｂにおいては、前記枠体本体７１の内側面は、全周に亘って、前記上側板厚方向延在面７７、前記板面方向延在面７８及び前記下側板厚方向延在面７９を有しており、前記枠体本体７１に形成された中央孔３７は、前記枠体本体７１の上面７２から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体７１の板厚内で終焉する小径孔３７ａと、前記小径孔３７ａの板厚方向他端部から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体７１の下面７３に到達する大径孔３７ｂとを有する段付き孔とされている。
【0154】
前記第２変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｂは第２製造方法によって効率的に製造され得る。
【0155】
図１７(a)に、前記第２変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｂにおける枠体７１を製造する際に用いられる枠体用平板３５０の平面図を示す。
また、図１７(b)に、図１７(a)におけるXVII(b)-XVII(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
また、図１７(b)に、図１７(a)におけるXVII(b)-XVII(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
【0156】
前記第２製造方法は、前記中央孔形成工程が変更される点においてのみ、前記第１製造方法と異なる。
【0157】
図１８(a)～(c)に、前記第２製造方法における中央孔形成工程の工程図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
【0158】
図１８(a)～(c)に示すように、前記第２製造方法における中央孔形成工程は、前記大径孔３７ｂに対応した外径の大径部３８６と、前記大径部３８６から先端側へ延びる小径部３８７であって、前記小径孔３７ａに対応した外径の小径部３８７とを有する２段形状のパンチ３８５を用意し、前記枠体形成領域３２０の下面３１３の側から上面３１１の側へ向かって前記２段形状のパンチ３８５を押圧させるように構成されている。
【0159】
図１９に、本実施の形態の第３変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｃの縦断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
【0160】
前記第３変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｃは、前記枠体本体３１が枠体本体８１に変更されている点においてのみ、本実施の形態に係るバスバーアッセンブリ１と異なっている。
【0161】
図１９に示すように、前記枠体本体８１は、内側面８４のうち少なくとも開口対向部分が、前記枠体本体８１の上面８２から板厚方向他方側へ板厚方向に沿って延びる上側板厚方向延在面８７と、前記上側板厚方向延在部８７の板厚方向他端部から板厚方向他方側へ行くに従って前記バスバー連結体の平面視中央位置との間の平面方向距離が大きくなる傾斜面８８とを有するように、構成されている。
【0162】
斯かる構成の前記第３変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｃおいても本実施の形態におけると同様の効果を得ることができる。
【0163】
なお、前記第３変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｃにおいては、前記枠体本体８１の内側面の全体が前記上側板厚方向延在面８７及び前記傾斜面８８を有しており、前記枠体本体８１に形成された中央孔３７は、前記枠体本体８１の上面８２から板厚方向他方側へ延びて前記枠体本体８１の板厚内で終焉する小径孔３７ｃと、前記小径孔３７ｃの板厚方向他端部から板厚方向他方側へ行くに従って拡径されて、下面８３に到達する逆テーパ孔３７ｄとを有する複合孔とされている。
【0164】
前記第３変形例に係るバスバーアッセンブリ２Ｃは第３製造方法によって効率的に製造され得る。
【0165】
図２０(a)に、前記第３変形例に係るバスバーアッセンブリにおける枠体８１を製造する際に用いられる枠体用平板３６０の平面図を示す。
また、図２０(b)に、図２０(a)におけるXX(b)-XX(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
また、図２０(b)に、図２０(a)におけるXX(b)-XX(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
【0166】
前記第２製造方法は、前記中央孔形成工程が変更される点においてのみ、前記第１製造方法と異なる。
【0167】
図２１(a)～(c)に、前記第３製造方法における中央孔形成工程の工程図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材は同一符号を付して、その説明を適宜省略する。
【0168】
図２１(a)～(c)に示すように、前記第３製造方法における中央孔形成工程は、前記逆テーパ孔３７ｄに対応した先細テーパ部３９１と、前記先細テーパ部３９１から先端側へ延びる小径部３９２であって、前記小径孔３７ｃに対応した外径の小径部３９２とを有する２段形状のパンチ３９０を用意し、前記枠体形成領域３１０の下面３１３の側から上面３１１の側へ向かって前記２段形状のパンチ３９０を押圧させるように構成されている。
【符号の説明】
【0169】
１、２Ａ～２Ｃ バスバーアッセンブリ
１０（１）～１０（３） 第１～第３バスバー
１９（１）、１９（２） 第１間隙及び第２間隙
２０ バスバー側絶縁層
２１ 上面側積層部
２２（１）～２２（３） 第１～第３上面側開口
２２ａ（１）～２２ａ（３） 第１～第３上面側開口形成領域
２４（１）～２４（３） 第１～第３下面側開口
２４ａ（１）～２４ａ（３） 第１～第３下面側開口形成領域
２９ 間隙充填部
３０ 枠体
３１ 枠体本体
３２ 枠体本体の上面
３３ 枠体本体の下面
３４ 枠体本体の内側面
３４ａ 開口対向部分
３５ 枠体本体の外側面
３７ 中央孔
３７ａ 小径孔
３７ｂ 大径孔
３７ｃ 小径孔
３７ｄ 逆テーパ孔
４０ 枠体側絶縁層
７１ 枠体本体
７２ 枠体本体の上面
７３ 枠体本体の下面
７４ 枠体本体の内側面
７７ 上側板厚方向延在面
７８ 板面方向延在面
７９ 下側板厚方向延在面
８１ 枠体本体
８２ 枠体本体の上面
８３ 枠体本体の下面
８４ 枠体本体の内側面
８７ 上側板厚方向延在面
８８ 傾斜面
２００ バスバー用平板
２１０ バスバー形成領域
２１９（１）、２１９（２） 第１スリット、第２スリット
２２０（１）～２２０（３） 第１～第３バスバー形成部位
２３０ 連結領域
２４０ バスバー側絶縁性樹脂塗料
３００ 枠体用平板
３１０ 枠体形成領域
３２０ 環状体
３３０ 連結領域
３４０ 枠体側絶縁性樹脂塗料
３８０、３８５、３９０ パンチ
３８６ 大径部
３８７ 小径部
３９１ 先細テーパ部
３９２ 小径部
Ｓ バスバー連結体の平面視中央位置
１０（１）～１０（３） 第１～第３バスバー
１９（１）、１９（２） 第１間隙及び第２間隙
２０ バスバー側絶縁層
２１ 上面側積層部
２２（１）～２２（３） 第１～第３上面側開口
２２ａ（１）～２２ａ（３） 第１～第３上面側開口形成領域
２４（１）～２４（３） 第１～第３下面側開口
２４ａ（１）～２４ａ（３） 第１～第３下面側開口形成領域
２９ 間隙充填部
３０ 枠体
３１ 枠体本体
３２ 枠体本体の上面
３３ 枠体本体の下面
３４ 枠体本体の内側面
３４ａ 開口対向部分
３５ 枠体本体の外側面
３７ 中央孔
３７ａ 小径孔
３７ｂ 大径孔
３７ｃ 小径孔
３７ｄ 逆テーパ孔
４０ 枠体側絶縁層
７１ 枠体本体
７２ 枠体本体の上面
７３ 枠体本体の下面
７４ 枠体本体の内側面
７７ 上側板厚方向延在面
７８ 板面方向延在面
７９ 下側板厚方向延在面
８１ 枠体本体
８２ 枠体本体の上面
８３ 枠体本体の下面
８４ 枠体本体の内側面
８７ 上側板厚方向延在面
８８ 傾斜面
２００ バスバー用平板
２１０ バスバー形成領域
２１９（１）、２１９（２） 第１スリット、第２スリット
２２０（１）～２２０（３） 第１～第３バスバー形成部位
２３０ 連結領域
２４０ バスバー側絶縁性樹脂塗料
３００ 枠体用平板
３１０ 枠体形成領域
３２０ 環状体
３３０ 連結領域
３４０ 枠体側絶縁性樹脂塗料
３８０、３８５、３９０ パンチ
３８６ 大径部
３８７ 小径部
３９１ 先細テーパ部
３９２ 小径部
Ｓ バスバー連結体の平面視中央位置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】