特許 7536292 アクチュエータ、及びロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-09

(45)【発行日】2024-08-20

(54)【発明の名称】アクチュエータ、及びロボット

(51)【国際特許分類】

   F16H 25/22 20060101AFI20240813BHJP

   B25J 19/00 20060101ALI20240813BHJP

   H02G 11/00 20060101ALI20240813BHJP

   H02K 7/06 20060101ALI20240813BHJP

【ＦＩ】

F16H25/22 Z

B25J19/00 E

H02G11/00

H02K7/06 A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020218431

(22)【出願日】2020-12-28

(65)【公開番号】P2022103667

(43)【公開日】2022-07-08

【審査請求日】2023-09-26

(73)【特許権者】

【識別番号】391008515

【氏名又は名称】株式会社アイエイアイ

(74)【代理人】

【識別番号】100095407

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 満

(74)【代理人】

【識別番号】100132883

【弁理士】

【氏名又は名称】森川 泰司

(74)【代理人】

【識別番号】100147924

【弁理士】

【氏名又は名称】美恵 英樹

(74)【代理人】

【識別番号】100165489

【弁理士】

【氏名又は名称】榊原 靖

(72)【発明者】

【氏名】杉山 隆

(72)【発明者】

【氏名】小山 敏司

(72)【発明者】

【氏名】岩梨 健人

【審査官】前田 浩

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－１０１７２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平８－２２９８７５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｈ ２５／２２

Ｂ２５Ｊ １９／００

Ｈ０２Ｇ １１／００

Ｈ０２Ｋ ７／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

モータの回転軸の回転運動と共に回転運動するボールねじ軸を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するスライダと、
前記スライダを直線運動可能に支持するベースを有し、前記ボールねじ及び前記スライダの少なくとも一部を覆うアクチュエータハウジングと、
前記スライダに直接的又は間接的に支持され、前記スライダと共に移動する移動対象に、電力、信号、又は、エアを供給すると共に、少なくとも一部が前記ベースの内部に配置されている供給ケーブル群と、
を備え、
前記供給ケーブル群は、
前記ベースから引き出されて、直線運動方向における一方の方向に延設されてから折り返されて、前記スライダに接続される第１屈曲部分と、
前記ベースから引き出されて、前記直線運動方向の一方とは反対側の他方の方向に延設されてから折り返されて、前記スライダに接続される第２屈曲部分と、
を有する、アクチュエータ。

【請求項2】

前記第１屈曲部分及び前記第２屈曲部分は、前記ボールねじ軸の一方の側方において折り返され、
前記供給ケーブル群は、
前記ベースから引き出されて、前記一方の方向に延設されてから、前記ボールねじ軸の他方の側方において折り返され、前記スライダに接続される第３屈曲部分と、
前記ベースから引き出されて、前記他方の方向に延設されてから、前記ボールねじ軸の前記他方の側方において折り返され、前記スライダに接続される第４屈曲部分と、
を有する、請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項3】

前記供給ケーブル群は、前記ベースにおいて、前記直線運動方向の中央から引き出されている、請求項１又は２に記載のアクチュエータ。

【請求項4】

前記ベースには、前記供給ケーブル群が挿通される開口部が形成され、
前記開口部は、前記ベースにおいて、前記直線運動方向の中央に設けられている、請求項３に記載のアクチュエータ。

【請求項5】

請求項１から４のいずれか一項に記載のアクチュエータを複数備える、ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、アクチュエータ、及びロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、モータの回転軸の回転に伴ってボールナットが回転し、そのボールナットの回転に伴って、ネジ軸に螺合されたボールナットが、スライドテーブル、モータ、及びロータリエンコーダと共に進退移動するアクチュエータが開示されている。ボールナットは、スライドテーブル、モータ、及びロータリエンコーダと共に一体に移動する移動体として構成されている。モータに電力を供給する給電ケーブルは、アクチュエータケーシングの一方の端部に設けられた基体の基部から引き出され、アクチュエータケーシングの底面に這わせられつつ、スライドテーブルの進退移動方向に沿って延設されている。そして、給電ケーブルは、スライドテーブルよりも、アクチュエータハウジングの他方の側にまで延びてから、円弧状に折り返されて、モータに接続されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許第２９５９６１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載のアクチュエータにおいては、給電ケーブルの敷設長さが長くなり、給電ケーブルがアクチュエータケーシングの内面から浮きやすくなる。この結果、給電ケーブルが移動体に接触するおそれがある。例えば、特許文献１に記載のもののように、一軸のアクチュエータの場合は、アクチュエータケーシング内にケーブルを設置してもケーブル敷設空間の確保が比較的簡単であるが、複数軸のアクチュエータを組み合わせたロボットでは、次軸以降のアクチュエータの駆動部への動力等を供給するためのケーブル類が必要となりケーブルの本数も増加する。そのため、アクチュエータを大型化させることなくアクチュエータケーシング内にケーブル類を内装させようとするとケーブル敷設空間の確保が困難となる。したがって、このようなアクチュエータにおいては、アクチュエータケーシング内へケーブル類を効率的に内装できることが望まれる。

【0005】

本発明は、上述の事情の下になされたもので、アクチュエータハウジング内へケーブル類を効率的に内装させることができるアクチュエータ、及びロボットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るアクチュエータは、
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動するボールねじ軸を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するスライダと、
前記スライダを直線運動可能に支持するベースを有し、前記ボールねじ及び前記スライダの少なくとも一部を覆うアクチュエータハウジングと、
前記スライダに直接的又は間接的に支持され、前記スライダと共に移動する移動対象に、電力、信号、又は、エアを供給すると共に、少なくとも一部が前記ベースの内部に配置されている供給ケーブル群と、
を備え、
前記供給ケーブル群は、
前記ベースから引き出されて、直線運動方向における一方の方向に延設されてから折り返されて、前記スライダに接続される第１屈曲部分と、
前記ベースから引き出されて、前記直線運動方向の一方とは反対側の他方の方向に延設されてから折り返されて、前記スライダに接続される第２屈曲部分と、
を有する。

【0007】

前記第１屈曲部分及び前記第２屈曲部分は、前記ボールねじ軸の一方の側方において折り返され、
前記供給ケーブル群は、
前記ベースから引き出されて、前記一方の方向に延設されてから、前記ボールねじ軸の他方の側方において折り返され、前記スライダに接続される第３屈曲部分と、
前記ベースから引き出されて、前記他方の方向に延設されてから、前記ボールねじ軸の前記他方の側方において折り返され、前記スライダに接続される第４屈曲部分と、
を有していてもよい。

【0008】

前記供給ケーブル群は、前記ベースにおいて、前記直線運動方向の中央から引き出されていてもよい。

【0009】

前記ベースには、前記供給ケーブル群が挿通される開口部が形成され、
前記開口部は、前記ベースにおいて、前記直線運動方向の中央に設けられていてもよい。

【0010】

本発明の第２の観点に係るロボットは、
第１の観点に係るアクチュエータを複数備える。

【発明の効果】

【0011】

本発明に係るアクチュエータにおいて、供給ケーブル群は、スライダに一方の方向から接続される第１屈曲部分と、スライダに他方の方向から接続される第２屈曲部分とを有する。このため、本発明に係るアクチュエータにおいては、供給ケーブル群を構成するケーブル又はチューブの本数が増えても、ケーブル又はチューブ同士の接触を少なくし、アクチュエータハウジング内でケーブル又はチューブを屈曲し易くすることができる。これにより、アクチュエータハウジング内へ供給ケーブル群（ケーブル類）を効率的に内装させることができるアクチュエータ、及びロボットを提供することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施の形態に係るロボットの斜視図である。

【図2】本発明の実施の形態に係る第１のアクチュエータの分解斜視図である。

【図3】第１のアクチュエータの背面図である。

【図4】図３のＡ－Ａ断面図である。

【図5】図４のＢ－Ｂ断面図である。

【図6】（Ａ）は、第１のアクチュエータのスライダの斜視図（その１）である。（Ｂ）は、第１のアクチュエータにおいて、シート案内部材を取り外したスライダと、供給ケーブル群との斜視図（その１）である。

【図7】（Ａ）は、第１のアクチュエータのスライダの斜視図（その２）である。（Ｂ）は、第１のアクチュエータにおいて、シート案内部材を取り外したスライダと、供給ケーブル群との斜視図（その２）である。

【図8】第１のアクチュエータにおけるスライダのエア流路を説明するための一部を断面とした斜視図である。

【図9】第１のアクチュエータにおけるスライダ及びベースと、スライダカバーとの分解斜視図である。

【図10】第１のアクチュエータの一部を簡略して示した断面図である。

【図11】第１のアクチュエータのベースの一部を拡大して示した斜視図である。

【図12】第１のアクチュエータのスライダカバー近傍を拡大して示した斜視図である。

【図13】第１のアクチュエータにおけるスライダ、供給ケーブル群、及びベースの斜視図である。

【図14】実施の形態に係る第２のアクチュエータの断面図である。

【図15】第２のアクチュエータの一部を簡略して示した断面図である。

【図16】第２のアクチュエータにおいて、ベースに形成されている開口部の位置を説明するための断面図である。

【図17】（Ａ）は、ブラケットの斜視図（その１）である。（Ｂ）は、ブラケットの斜視図（その２）である。

【図18】第２のアクチュエータの分解斜視図である。

【図19】第２のアクチュエータのベースの一部を拡大して示した斜視図である。

【図20】第２のアクチュエータにおけるスライダ、供給ケーブル群、及びベースの斜視図である。

【図21】実施の形態に係るロボットの側面図である。

【図22】第３のアクチュエータの断面図である。

【図23】第３のアクチュエータの一部を簡略して示した断面図である。

【図24】第３のアクチュエータの分解斜視図（その１）である。

【図25】第３のアクチュエータの分解斜視図（その２）である。

【図26】第３のアクチュエータにおけるスライダ、供給ケーブル群、及びベースの斜視図である。

【図27】第３のアクチュエータのベースの一部を拡大して示した斜視図である。

【図28】第３のアクチュエータのスライダ、ロッド、及び補助ロッドの分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明の実施の形態に係るアクチュエータ１００、２００、３００及びそれらを備えるロボット１について説明する。なお、図中のＸＹＺ座標を適宜参照して説明する。

【0014】

ロボット１は、図１に示すように、複数軸のアクチュエータ１００、２００、３００を組み合わせたアクチュエータシステムである。このロボット１は、スライダテーブルＴ１を有する第１のアクチュエータ１００と、ブラケットＢ１と、スライダテーブルＴ２を有する第２のアクチュエータ２００と、ブラケットＢ２と、Ｚ軸方向に往復運動するロッドを有する第３のアクチュエータ３００と、アクチュエータ１００、２００、３００の動作に基づいて移動する移動対象４００、５００と、を備える。

【0015】

移動対象４００は、本実施の形態においては、移動対象５００を、回転方向Ｒ、回転方向Ｂ、及び回転方向Ｔに回転させる手首ユニットである。この移動対象４００は、移動対象５００を回転方向Ｒ、回転方向Ｂ、及び回転方向Ｔの各回転方向に回転させるための３つのモータを有する。移動対象５００は、移動対象４００に取り付けられると共に、一対の爪部５０１が挟圧方向Ｇに移動することで、ワークを挟んだり、互いに離間したりするグリッパーである。この移動対象５００は、エアが供給されることにより、一対の爪部５０１を挟圧方向Ｇに移動させるエア駆動タイプのものである。しかしながら、これに限られない。移動対象４００は、電力が供給されることにより、一対の爪部５０１を挟圧方向Ｇに移動させるモータを一つ有する電動タイプのものであってもよい。また、本実施の形態においては、移動対象４００は手首ユニットであり、移動対象５００はグリッパーであるが、これに限られない。移動対象４００、５００は手首ユニット、グリッパー以外の別のツールや電子デバイスであってもよい。

【0016】

本実施の形態に係るロボット１においては、アクチュエータ１００のスライダテーブルＴ１がＸ軸方向に平行な直線運動方向Ｄ１に、アクチュエータ２００のスライダテーブルＴ２がＹ軸方向に平行な直線運動方向Ｄ２に往復運動することにより、アクチュエータ３００は、移動対象４００、５００と共にＸ軸方向に往復運動する。アクチュエータ３００のロッドがＺ軸方向に平行な直線運動方向Ｄ３に往復運動することにより、移動対象４００、５００がＺ軸方向に往復運動する。この結果、移動対象５００は、ワークを挟むことが可能な位置まで移動する。また、アクチュエータ１００から引き入られる供給ケーブル群５０は、アクチュエータ１００、２００、３００の内部に配線されている。

【0017】

アクチュエータ１００は、図２及び図３に示すように、直線運動方向Ｄ１に往復運動するスライダテーブルＴ１を備えるテーブルタイプのアクチュエータである。アクチュエータ１００は、スライダテーブルＴ１に加え、モータユニット１０と、ボールねじ２０と、アクチュエータハウジング３０と、スライダ４０と、エアチューブ５１、電力ケーブル５２、及び信号ケーブル５３とを含んで構成される供給ケーブル群５０と、を備える。また、本実施の形態においては、スライダテーブルＴ１は、スライダ４０と、スライダカバー４１ｄとから構成されている。

【0018】

アクチュエータ１００のモータユニット１０を駆動制御するＸ軸駆動用コントローラ（図示なし）とロボット１全体を制御する統括コントローラ（図示なし）は、ロボット１の外部に設置され、ロボット１と供給ケーブル群５０で接続されている。Ｘ軸駆動用コントローラは、例えば、図１に示すロボット１全体を制御する統括コントローラからの入力に基づいて、アクチュエータ１００を制御する。Ｘ軸駆動用コントローラは、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、主記憶部、補助記憶部等を含んで構成されている。このＸ軸駆動用コントローラには、供給ケーブル群５０の複数本の電力ケーブル５２のうちのいくつかの電力ケーブル５２が接続されている。また、このＸ軸駆動用コントローラからは、信号ケーブル５３及びモータ・エンコーダケーブルが引き出されている。なお、Ｘ軸駆動用コントローラをロボット１の外部に設置したが、後述するＹ軸駆動用コントローラ、Ｚ軸駆動用コントローラのようにアクチュエータ１００に設置されていてもよい。

【0019】

スライダカバー４１ｄは、図２及び図３に示すように、スライダ４０に固定されることで、スライダ４０と共に直線運動方向Ｄ１に往復運動をする。スライダカバー４１ｄは、シート部材３３とスライダ４０に設置される物や装置とが接触するのを回避するために用いられる。スライダカバー４１ｄには、Ｚ軸方向に貫通する孔４１ｄ１が形成されている。孔４１ｄ１は、Ｘ軸方向を長手方向とする略長方形の開口を有する孔である。

【0020】

モータユニット１０は、図２及び図４に示すように、例えば、モータ本体１１、出力軸１２（回転軸）、ロータ、ステータ、エンコーダ等を有している。このモータ本体１１には、供給ケーブル群５０から電力が供給される。モータ本体１１に電力が供給されることによって、ロータが回転し、この結果、ロータの回転運動は、出力軸１２に出力される。この出力軸１２には、カップリング１３が取り付けられている。

【0021】

ボールねじ２０は、モータユニット１０の出力軸１２の回転運動を直線運動に変換することで、スライダ４０を直線運動させるために用いられる。ボールねじ２０は、ボールねじ軸２１と、ボールねじナット２２と、先端支持部２３と、基端支持部２４と、カップリング２５とを有する。

【0022】

ボールねじ軸２１は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されているボールねじ軸本体と、ボールねじ軸本体よりも小径に形成されているボールねじ軸２１の－Ｘ側の先端部分２１ａと、＋Ｘ側の基端部分２１ｂとを有する。

【0023】

先端部分２１ａは、ボールねじ軸本体から－Ｘ方向に突出するように形成されている。先端部分２１ａは、ボールねじ軸本体とは異なり、外周面にボールねじ面が形成されていない部分である。先端部分２１ａは、ボールねじ軸本体に一体に形成されていてもよいし、先端部分２１ａは、ボールねじ軸本体に別体に形成されて、ボールねじ軸本体に固定されていてもよい。

【0024】

基端部分２１ｂは、ボールねじ軸本体から＋Ｘ方向に突出するように形成されている。基端部分２１ｂは、ボールねじ軸本体とは異なり、外周面にボールねじ面が形成されていない部分である。基端部分２１ｂは、ボールねじ軸本体に一体に形成されていてもよいし、基端部分２１ｂは、ボールねじ軸本体に別体に形成されて、ボールねじ軸本体に固定されてもよい。この基端部分２１ｂには、カップリング２５が取り付けられている。基端部分２１ｂに取り付けられているカップリング２５が、モータユニット１０の出力軸１２に取り付けられているカップリング１３に接続されることで、ボールねじ軸２１は、出力軸１２と共に回転する。これにより、出力軸１２の回転運動がボールねじ軸２１に伝達される。

【0025】

ボールねじナット２２は、ボールねじ軸２１のボールねじ軸本体の外周面に螺合されて配置されている。ボールねじナット２２は、ボールねじ軸２１に剛性の球体を介して嵌め込まれる。ボールねじナット２２は、ボールねじ軸２１の回転運動に基づいて、直線運動する。

【0026】

先端支持部２３は、ベアリングを有する。先端支持部２３が有するベアリングは、例えば、ボールベアリングである。このボールベアリングによって、先端支持部２３は、ボールねじ軸２１の先端部分２１ａを回転可能に支持する。先端支持部２３が有するベアリングは、ボールベアリングに限られない。当該ベアリングは、滑り軸受けであってもよい。

【0027】

基端支持部２４は、ベアリングを有する。基端支持部２４には、ボールねじ軸２１を挿入するための貫通孔が形成されており、この貫通孔の孔内に、ベアリングやモータユニット１０の出力軸１２、カップリング１３、２５が配置されている。基端支持部２４が有するベアリングは、例えば、ボールベアリングである。このボールベアリングによって、基端支持部２４は、ボールねじ軸２１の基端部分２１ｂを回転可能に支持する。基端支持部２４が有するベアリングは、ボールベアリングに限られない。当該ベアリングは、滑り軸受けであってもよい。

【0028】

アクチュエータハウジング３０は、モータユニット１０、ボールねじ２０、及びスライダ４０を収容することで、アクチュエータ１００の内部の各構成部品を覆う。なお、本実施の形態においては、アクチュエータハウジング３０は、ボールねじ２０及びスライダ４０の全体を覆う。しかしながら、これに限られない。アクチュエータハウジング３０は、ボールねじ２０及びスライダ４０の少なくとも一部を覆うように形成されていればよい。このアクチュエータハウジング３０は、図２及び図３に示すように、ベース３１と、一対のサイドカバー３２Ｒ、３２Ｌと、シート部材３３と、フロントブラケット３４と、リアブラケット３５とを有する。

【0029】

ベース３１は、図５に示すように、アクチュエータハウジング３０の底部分と、両側の側壁部分の一部と、を構成する。ベース３１は、複数のリニアガイド用転動体を介して、スライダ４０を＋Ｘ方向及び－Ｘ方向の双方向にスライド移動可能に支持するレール構造を有する部材である。ベース３１は、例えば、アルミニウム等の金属を押出成形することによって形成されている。また、ベース３１は、その断面（ＹＺ断面）が略Ｕ字状となるように形成されている。ベース３１の略Ｕ字状の一対の側壁部分の互いに対向する内面には、Ｘ軸方向に延びる一対の転動体用溝が形成されている。この転動体用溝を、リニアガイド用転動体が転動することにより、スライダ４０は、円滑に往復運動をする。

【0030】

ベース３１の略Ｕ字状の底部分には、Ｘ軸方向に平行な孔３１ａが形成されている。孔３１ａは、例えば、Ｘ軸方向に貫通して形成されている。孔３１ａは、主に、ベース３１の軽量化を図るために形成されている。ベース３１の孔３１ａは、供給ケーブル群５０が挿通される孔としても利用される。

【0031】

リニアガイド用転動体は、剛性の高い素材からなり、具体的には、鋼材からなる。リニアガイド用転動体は、球形状に形成されている。リニアガイド用転動体は、ベース３１とスライダ４０との間に複数配置されることで、ベース３１に対して、スライダ４０をＸ軸方向に円滑に移動させるために用いられる。

【0032】

サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌは、アクチュエータハウジング３０の両側の側壁部分の一部と、天井壁部分の一部とを構成する。サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌは、ベース３１と共に、アクチュエータ１００の内部の各構成部品を保護する。

【0033】

シート部材３３は、サイドカバー３２Ｒとサイドカバー３２Ｌとの間の上方開口を塞ぐステンレスシートである。シート部材３３は、図２に示すように、Ｘ軸方向を長手方向とする略矩形のシートである。図５に示すように、シート部材３３がサイドカバー３２Ｒとサイドカバー３２Ｌとの間の上方開口を塞ぐことにより、シート部材３３は、アクチュエータハウジング３０の天井壁部分の一部を構成する。図２に示すように、シート部材３３の－Ｘ側の端部は、フロントブラケット３４に固定される。同様に、シート部材３３の＋Ｘ側の端部は、リアブラケット３５に固定される。

【0034】

フロントブラケット３４は、アクチュエータハウジング３０の－Ｘ側の先端部分を構成し、ベース３１の－Ｘ側に固定されている。フロントブラケット３４は、ベース３１やサイドカバー３２Ｒ、３２Ｌと共に、アクチュエータ１００の内部の各構成部品を保護する。フロントブラケット３４は、衝撃吸収と軽量化の観点から、本実施の形態においては、樹脂からなる。しかしながら、これに限られない。フロントブラケット３４は、樹脂以外の素材、例えば、金属からなっていてもよい。また、フロントブラケット３４からは、エアチューブ５１、電力ケーブル５２、及び信号ケーブル５３がアクチュエータ１００の内部に取り入れられている。

【0035】

リアブラケット３５は、ベース３１の＋Ｘ側に固定されている。アクチュエータハウジング３０の＋Ｘ側の基端部分を構成し、ベース３１の＋Ｘ側に固定されている。リアブラケット３５は、ベース３１やサイドカバー３２Ｒ、３２Ｌ、フロントブラケット３４と共に、アクチュエータ１００の内部の各構成部品を保護する。リアブラケット３５は、衝撃吸収と軽量化の観点から、本実施の形態においては、樹脂からなる。しかしながら、これに限られない。リアブラケット３５は、樹脂以外の素材、例えば、金属からなっていてもよい。

【0036】

スライダ４０は、リニアガイド用転動体を介して、ベース３１にＸ軸方向に直線運動可能に支持されている。スライダ４０は、図６及び図７に示すように、本体部４１と、リターン部材４２ａ、４２ｂと、シート案内部材４３ａ、４３ｂと、エア継手４４と、配線配管受けローラ４５と、供給ケーブル群５０の信号ケーブル５３を固定するためのケーブル固定金具４６と、マニホールド４７とを有する。

【0037】

本体部４１は、剛性の高い素材からなり、例えば、金属からなる。本体部４１の内部には、図８に示すように、エアを流すためのエア流路４１ａが形成されている。本実施の形態において、本体部４１には、２つのエア流路４１ａが形成されている。エア流路４１ａには、供給ケーブル群５０のエアチューブ５１から供給されたエアが通過する。また、本体部４１には、図６及び図７に示すように、一対のワーク取付部４１Ｒ、４１Ｌと、シート部材配置面４１ｂとが形成されている。

【0038】

ワーク取付部４１Ｒ、４１Ｌは、シート部材配置面４１ｂから上方（＋Ｚ方向）に突出して形成されている。ワーク取付部４１Ｒ、４１Ｌの上面（＋Ｚ側の面）には、ねじ穴が形成されている。図２に示すように、スライダカバー４１ｄは、ねじなどの留め具（図示なし）によって、ワーク取付部４１Ｒ、４１Ｌに固定される。

【0039】

シート部材配置面４１ｂは、ワーク取付部４１Ｒとワーク取付部４１Ｌとの間に形成されている。シート部材配置面４１ｂは、ＸＹ平面に平行な平面に形成されている。シート部材配置面４１ｂには、シート部材３３が配置される。

【0040】

リターン部材４２ａは、図６及び図７に示すように、本体部４１の－Ｘ側の前端面に留め具等で固定されている。リターン部材４２ａには、その内部に、リニアガイド用転動体を通過させる転動体循環路が形成されている。

【0041】

リターン部材４２ｂは、本体部４１の＋Ｘ側の後端面に留め具等で固定されている。リターン部材４２ｂには、リターン部材４２ａと同様に、その内部に、リニアガイド用転動体を通過させる転動体循環路が形成されている。

【0042】

シート案内部材４３ａ、４３ｂには、ＸＹ平面に対して傾斜する傾斜面が形成されている。シート案内部材４３ａ、４３ｂの傾斜面には、図９に示すように、シート部材３３が配置される。

【0043】

エア継手４４は、図８に示すように、本体部４１のエア流路４１ａの排出口を構成する。エア継手４４には、アクチュエータ２００の供給ケーブル群５０のエアチューブ５１が接続される。このエア継手４４からは、供給ケーブル群５０のエアチューブ５１から供給されたエアが、アクチュエータ２００の供給ケーブル群５０のエアチューブ５１に送出される。本実施の形態において、エア継手４４は、２つ設けられている。

【0044】

配線配管受けローラ４５は、図５～図７に示すように、本体部４１の－Ｘ側の前端面及び＋Ｘ側の後端面に２つずつ取り付けられている。この配線配管受けローラ４５は、本体部４１に対して、Ｙ軸回りに回転可能に支持されている。配線配管受けローラ４５は、スライダ４０の移動に伴って、供給ケーブル群５０をベース３１の底面上に押し付け可能に設置させることで、供給ケーブル群５０がスライダ４０の移動に巻き込まれることを防止するために形成されている。

【0045】

マニホールド４７は、図８に示すように、本体部４１のエア流路４１ａの吸気口を構成する。マニホールド４７には、その内部にエア流路が形成されている。マニホールド４７は、本体部４１の－Ｘ側の前端面に取り付けられている。このマニホールド４７には、供給ケーブル群５０のエアチューブ５１が接続されている。これにより、マニホールド４７には、エアチューブ５１からエアが供給される。そして、マニホールド４７は、エアチューブ５１からのエアを、本体部４１のエア流路４１ａに供給する。なお、マニホールド４７に接続される３本一組のエアチューブ５１の流量と本体部４１に形成されているエア流路４１ａの流量は同じとなっている。

【0046】

供給ケーブル群５０は、図４及び図１０に示すように、フロントブラケット３４からアクチュエータ１００の内部に引き入られている。アクチュエータ１００の内部に配線されている供給ケーブル群５０は、３本のエアチューブ５１と、２本の電力ケーブル５２と、３本の信号ケーブル５３と、任意の本数のモータ・エンコーダケーブル（図示なし）とを有する。供給ケーブル群５０は、それらチューブ及びケーブルが、部分的に束ねられて構成されている。なお、本実施の形態では、供給ケーブル群５０は、３本を一組とする二組のエアチューブ５１と、２本を一組とする二組の電力ケーブル５２と、３本を一組とする二組の信号ケーブル５３とを有する。しかしながら、これに限られず、エアチューブ５１、電力ケーブル５２、信号ケーブル５３の本数は任意である。本実施の形態で示した本数以外の本数であってもよい。

【0047】

エアチューブ５１は、図１に示すように、ロボット１が備える移動対象４００、５００がエアの必要な装置である場合には、当該装置にエアを供給するために用いられる。

【0048】

電力ケーブル５２は、アクチュエータ１００、２００、３００が備えるモータユニット１０に電力を供給したり、移動対象４００、５００に電力を供給したりするために用いられる。

【0049】

信号ケーブル５３は、アクチュエータ１００、２００、３００が備えるモータユニット１０に、その回転軸の回転を制御するための信号を供給したり、移動対象４００、５００に、その動作を制御するための信号を供給したりするために用いられる。

【0050】

モータ・エンコーダケーブルは、エアチューブ５１、電力ケーブル５２、信号ケーブル５３と共に、供給ケーブル群５０として、フロントブラケット３４から引き入れられている。そして、モータ・エンコーダケーブルは、図１０を参照するとわかるように、ベース３１の孔３１ａの内部と、リアブラケット３５の内部の順に配線されてから、リアブラケット３５の内部において、アクチュエータ１００が備えるモータユニット１０に接続されている。このモータ・エンコーダケーブルは、モータユニット１０のモータ本体１１を制御するための信号を供給する。

【0051】

図１０に示すように、フロントブラケット３４から引き入れられた供給ケーブル群５０は、フロントブラケット３４の内部と、ベース３１の孔３１ａの内部との順に配置されている。そして、図１１に示すように、供給ケーブル群５０のうちのエアチューブ５１は、ベース３１の底部分に形成されているチューブ用開口部３１ｂから引き出されている。具体的には、ベース３１の底部分には、内部にエア流路が形成されているマニホールド６１が取り付けられている。そして、このマニホールド６１を経由して、エアチューブ５１は、チューブ用開口部３１ｂから引き出されている。チューブ用開口部３１ｂから引き出されたエアチューブ５１は、－Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１における一方の方向）に延設されている。そして、－Ｘ方向に延設されているエアチューブ５１は、ベース３１の底面に這わせられつつ延設されている。また、本実施の形態においては、チューブ用開口部３１ｂは、２つ設けられている。そして、２つのチューブ用開口部３１ｂの各々から、エアチューブ５１が３本ずつ引き出されている。なお、孔３１ａの内部には２本のエアチューブ５１が設置されているが、マニホールド６１を経由することで、エアチューブ５１は、２つのチューブ用開口部３１ｂから引き出されるときに３本一組となった一対のエアチューブ５１に変換されている。この２本のエアチューブ５１のエア流量と３本一組となった一対のエアチューブ５１のエア流量は同じとなっている。

【0052】

また、供給ケーブル群５０のうちの電力ケーブル５２は、ベース３１の底部分に形成されているケーブル用開口部３１ｃから引き出されている。そして、ケーブル用開口部３１ｃから引き出された電力ケーブル５２は、－Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１における一方の方向）に延設されている。そして、－Ｘ方向に延設されている電力ケーブル５２は、ベース３１の底面に這わせられつつ延設されている。なお、本実施の形態においては、ケーブル用開口部３１ｃから引き出された電力ケーブル５２は、固定金具等でベース３１には固定されていない。しかしながら、これに限らず、ケーブル用開口部３１ｃから引き出された電力ケーブル５２は、固定金具等でベース３１に固定されていてもよい。また、本実施の形態においては、ケーブル用開口部３１ｃは、２つ設けられている。そして、２つのケーブル用開口部３１ｃの各々から、電力ケーブル５２が２本ずつ引き出されている。なお、孔３１ａの内部に配置されている電力ケーブル５２は、バラ線状態で敷設されているが、２つのケーブル用開口部３１ｃから引き出されるときに２本一組となった一対の電力ケーブル５２に成型されている。

【0053】

また、供給ケーブル群５０のうちの信号ケーブル５３は、ベース３１の底部分に形成されているケーブル用開口部３１ｄから引き出されている。そして、ケーブル用開口部３１ｄから引き出された信号ケーブル５３は、結束バンド６３によってベース３１の底面に取り付けられている固定金具６２を介して、ベース３１の底面に固定されている。また、信号ケーブル５３は、＋Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１の一方とは反対側の他方の方向）に延設されている。そして、＋Ｘ方向に延設されている信号ケーブル５３は、ベース３１の底面に這わせられつつ延設されている。また、本実施の形態においては、ケーブル用開口部３１ｄは、２つ設けられている。そして、２つのケーブル用開口部３１ｄの各々から、信号ケーブル５３が３本ずつ引き出されている。なお、孔３１ａの内部に配置されている信号ケーブル５３は、バラ線状態で敷設されているが、２つのケーブル用開口部３１ｄから引き出されるときに３本一組となった一対のフラットケーブルに成型されている。

【0054】

図６、図７及び図１０に示すように、ベース３１から引き出されているエアチューブ５１及び電力ケーブル５２は、－Ｘ方向に延設されてから、＋Ｘ方向に折り返されている。そして、エアチューブ５１及び電力ケーブル５２は、スライダ４０に接続されている。

【0055】

具体的には、＋Ｘ方向に折り返されたエアチューブ５１は、図８に示すように、スライダ４０のマニホールド４７に接続されている。これにより、エアチューブ５１から供給されるエアは、マニホールド４７内部のエア流路、エア流路４１ａ、及びエア継手４４を経由して、アクチュエータ２００内に配置される供給ケーブル群５０のエアチューブ５１に供給される。

【0056】

また、＋Ｘ方向に折り返された電力ケーブル５２は、図６及び７に示すように、スライダ４０の－Ｘ側の前端面近傍において、図示しない結束バンドによって、エアチューブ５１に固定されている。そして、電力ケーブル５２は、スライダ４０の－Ｙ側の側面上に配線されてから、スライダ４０の上方（＋Ｚ方向）に折り曲げられている。そして、図１２に示すように、電力ケーブル５２は、スライダカバー４１ｄに形成されている孔４１ｄ１から、上方（＋Ｚ方向）に引き出されている。

【0057】

また、図６、図７及び図１０に示すように、ベース３１から引き出されている信号ケーブル５３は、＋Ｘ方向に延設されてから、－Ｘ方向に折り返されている。そして、信号ケーブル５３は、スライダ４０に接続されている。

【0058】

具体的には、－Ｘ方向に折り返された信号ケーブル５３は、図６及び７に示すように、スライダ４０の＋Ｘ側の後端面近傍において、ケーブル固定金具４６によって、スライダ４０に固定されている。そして、信号ケーブル５３は、スライダ４０の－Ｙ側の側面上に配線されてから、スライダ４０の上方（＋Ｚ方向）に折り曲げられている。そして、図１２に示すように、信号ケーブル５３は、電力ケーブル５２と共に、スライダカバー４１ｄに形成されている孔４１ｄ１から、上方（＋Ｚ方向）に引き出されている。スライダカバー４１ｄの孔４１ｄ１から引き出されている信号ケーブル５３は、例えば、移動対象４００、５００の動作を制御するための信号を供給するユーザ用の信号ケーブル５３と、Ｘ軸駆動用コントローラから引き出されている信号ケーブル５３とを含んでいる。

【0059】

上述のように構成された供給ケーブル群５０は、図１３に示すように、折り返された屈曲形状を含んで構成される第１～第４屈曲部分５０－１～５０－４を有した状態で、アクチュエータ１００の内部で配線されている。

【0060】

第１屈曲部分５０－１は、ベース３１から引き出されて、－Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１における一方の方向）に延設されてから＋Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１における一方とは反対側の他方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第１屈曲部分５０－１は、＋Ｘ方向に視て、ボールねじ軸２１の右側（－Ｙ側の側方、一方の側方）において折り返されている。

【0061】

第２屈曲部分５０－２は、ベース３１から引き出されて、＋Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１における他方の方向）に延設されてから－Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１における一方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第２屈曲部分５０－２は、＋Ｘ方向に視て、ボールねじ軸２１の右側（－Ｙ側の側方、一方の側方）において折り返されている。

【0062】

第３屈曲部分５０－３は、ベース３１から引き出されて、－Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１における一方の方向）に延設されてから＋Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１における一方とは反対側の他方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第３屈曲部分５０－３は、＋Ｘ方向に視て、ボールねじ軸２１の左側（＋Ｙ側の側方、他方の側方）において折り返されている。したがって、第３屈曲部分５０－３及び第１屈曲部分５０－１は、ボールねじ軸２１の左右の両側で折り返されている。

【0063】

第４屈曲部分５０－４は、ベース３１から引き出されて、＋Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１における他方の方向）に延設されてから－Ｘ方向（直線運動方向Ｄ１における一方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第４屈曲部分５０－４は、＋Ｘ方向に視て、ボールねじ軸２１の左側（＋Ｙ側の側方、他方の側方）において折り返されている。したがって、第４屈曲部分５０－４及び第２屈曲部分５０－２は、ボールねじ軸２１の左右の両側で折り返されている。

【0064】

図１０及び図１１に示すように、供給ケーブル群５０が引き出されている開口部（チューブ用開口部３１ｂ、ケーブル用開口部３１ｃ、３１ｄ）は、ベース３１の直線運動方向Ｄ１の中央近傍に形成されている。すなわち、当該開口部は、ベース３１の直線運動方向Ｄ１における全長Ｌ１に対して、概ね、ベース３１の－Ｘ側の端部からＬ１×１／２の位置に形成されている。詳しくは、アクチュエータ１００においては、チューブ用開口部３１ｂは、ベース３１の直線運動方向Ｄ１の中央に形成されている。ケーブル用開口部３１ｃは、直線運動方向Ｄ１において、チューブ用開口部３１ｂよりもやや－Ｘ寄りに形成されている。ケーブル用開口部３１ｄは、直線運動方向Ｄ１において、チューブ用開口部３１ｂよりもやや＋Ｘ寄りに形成されている。

【0065】

以上、アクチュエータ１００においては、図１３に示すように、供給ケーブル群５０は、ベース３１から引き出されて、直線運動方向Ｄ１における一方の方向に延設されてから折り返されて、スライダ４０に接続される第１、第３屈曲部分５０－１、５０－３と、ベース３１から引き出されて、直線運動方向Ｄ１の他方の方向に延設されてから折り返されて、スライダ４０に接続される第２、第４屈曲部分５０－２、５０－４と、を有する。このため、アクチュエータ１００においては、供給ケーブル群５０を構成するエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３をアクチュエータハウジング３０内の各屈曲部分５０－１～５０－４に分散させて設置しているので、エアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３の本数が増えても、接触するおそれのあるエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３の各屈曲部分５０－１～５０－４での本数を少なくできる。さらに、各屈曲部分５０－１～５０－４に設置されるエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３の本数を少なくできるので、アクチュエータハウジング３０内でエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３を屈曲し易くすることができる。結果として、アクチュエータ１００においては、アクチュエータハウジング３０内へ供給ケーブル群５０を効率的に内装させることができる。

【0066】

また、アクチュエータ１００においては、供給ケーブル群５０の第１屈曲部分５０－１及び第３屈曲部分５０－３は、ボールねじ軸２１の左右の両側で折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、供給ケーブル群５０の第２屈曲部分５０－２及び第４屈曲部分５０－４も、ボールねじ軸２１の左右の両側で折り返されて、スライダ４０に接続されている。これにより、アクチュエータ１００においては、供給ケーブル群５０を構成するエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３の本数が増えても、アクチュエータハウジング３０内へ供給ケーブル群５０を効率的に内装させることができる。

【0067】

なお、アクチュエータ１００においては、図６、図７及び図１０に示すように、ベース３１から引き出されているエアチューブ５１及び電力ケーブル５２は、－Ｘ方向に延設されてから、＋Ｘ方向に折り返されている。また、ベース３１から引き出されている信号ケーブル５３は、＋Ｘ方向に延設されてから、－Ｘ方向に折り返されている。しかしながら、これに限られない。エアチューブ５１、電力ケーブル５２、及び、信号ケーブル５３の折り返す方向や延設される方向は、アクチュエータ１００の使用状況に応じて、適宜、変更される。

【0068】

ブラケットＢ１は、図１４～図１７に示すように、アクチュエータ１００が移動させる移動対象としてのアクチュエータ２００をスライダテーブルＴ１に固定するためのものである。アクチュエータ２００は、ブラケットＢ１介して、スライダテーブルＴ１に固定されることにより、スライダテーブルＴ１と共に、直線運動方向Ｄ１に沿って往復運動する。ブラケットＢ１には、溝部Ｂ１ａがＹ軸方向に沿って形成されている。溝部Ｂ１ａには、供給ケーブル群５０が配置され、ブラケットカバーＢ１ｂによって覆われている。

【0069】

アクチュエータ２００は、図１４～図１６に示すように、アクチュエータ１００と同様に、直線運動方向Ｄ２に往復運動するスライダテーブルＴ２を備えるテーブルタイプのアクチュエータである。アクチュエータ２００は、スライダテーブルＴ２に加え、モータユニット１０と、ボールねじ２０と、アクチュエータハウジング３０と、スライダ４０と、エアチューブ５１、電力ケーブル５２、及び信号ケーブル５３とを含んで構成される供給ケーブル群５０と、コントローラＣ２と、を備える。また、本実施の形態においては、スライダテーブルＴ２は、スライダ４０と、スライダカバー４１ｄとから構成されている。なお、アクチュエータ２００において、アクチュエータ１００と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。

【0070】

コントローラＣ２は、Ｙ軸駆動用コントローラであり、ベース３１の－Ｚ側の外面に固定されている。コントローラＣ２は、例えば、図１に示すロボット１全体を制御する統括コントローラからの入力に基づいて、アクチュエータ２００を制御する。コントローラＣ２は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、主記憶部、補助記憶部等を含んで構成されている。このコントローラＣ２には、供給ケーブル群５０の複数本の電力ケーブル５２のうちのいくつかの電力ケーブル５２が接続されている。また、コントローラＣ２には、複数本の信号ケーブル５３のうちのいくつかの信号ケーブル５３（Ｘ軸コントローラから引き出された信号ケーブル）が接続されている。また、コントローラＣ２から、信号ケーブル５３及びモータ・エンコーダケーブル（図示なし）が引き出されている。

【0071】

コントローラＣ２から引き出されているモータ・エンコーダケーブルは、図１５を参照するとわかるように、ベース３１に形成されている孔から、ベース３１の内部に配線され、リアブラケット３５の内部に引き入れられている。そして、モータ・エンコーダケーブルは、リアブラケット３５の内部において、アクチュエータ２００が備えるモータユニット１０に接続されている。モータ・エンコーダケーブルは、アクチュエータ２００が備えるモータユニット１０のモータ本体１１を制御するための信号を供給する。

【0072】

スライダカバー４１ｄは、スライダ４０に固定されることで、スライダ４０と共に直線運動方向Ｄ２に往復運動をする。図１８に示すように、スライダカバー４１ｄには、Ｚ軸方向に貫通する孔４１ｄ１が形成されている。

【0073】

モータユニット１０及びボールねじ２０は、アクチュエータ１００のものと同等のものである。

【0074】

アクチュエータハウジング３０は、モータユニット１０、ボールねじ２０、及びスライダ４０を収容することで、アクチュエータ２００の内部の各構成部品を覆う。アクチュエータハウジング３０は、ベース３１と、一対のサイドカバー３２Ｒ、３２Ｌ（図５参照）と、シート部材３３と、フロントブラケット３４と、リアブラケット３５とに加えて、エッジカバー３６とを更に有する。

【0075】

エッジカバー３６は、図１５、図１６及び図１８に示すように、ベース３１の－Ｚ側の外面を覆うように、ベース３１に取り付けられている。エッジカバー３６の内部には、供給ケーブル群５０が配線されている。また、エッジカバー３６は、ベース３１の－Ｚ側の外面に固定されているコントローラＣ２を覆って保護している。

【0076】

スライダ４０は、アクチュエータ１００のものと同等のものである。

【0077】

供給ケーブル群５０は、エッジカバー３６から、アクチュエータ２００の内部に引き入られている。具体的には、ベース３１の下面には、ベース３１の下面側の空間と孔３１ａの内部とをＺ軸方向に連通する連通孔（図示なし）が形成されている。供給ケーブル群５０は、この連通孔を経由して、エッジカバー３６の内部（ベース３１の下面）から孔３１ａの内部に引き入られている。そして、孔３１ａの内部に引き入られた供給ケーブル群５０は、孔３１ａの内部とアクチュエータ２００の内部とを連通する複数の開口部（チューブ用開口部３１ｂ、ケーブル用開口部３１ｃ、３１ｄ）から＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に引き出されて、アクチュエータ２００の内部に引き入られている。アクチュエータ２００の内部に配線される供給ケーブル群５０は、複数本のエアチューブ５１と、複数本の電力ケーブル５２と、複数本の信号ケーブル５３と、を有する。なお、アクチュエータ２００では、供給ケーブル群５０をエッジカバー３６内でＹ軸方向へ敷設させているが、供給ケーブル群５０は、ベース３１の＋Ｙ軸方向側の端部近傍にエッジカバー３６の内部と孔３１ａとを連通する孔を設けて挿通させ、アクチュエータ１００と同様に孔３１ａ内にＹ軸方向へ敷設されていてもよい。

【0078】

図１９に示すように、供給ケーブル群５０のうちのエアチューブ５１は、マニホールド６１を経由して、チューブ用開口部３１ｂから引き出されている。チューブ用開口部３１ｂから引き出されたエアチューブ５１は、－Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２における一方の方向）に延設されている。そして、－Ｙ方向に延設されているエアチューブ５１は、ベース３１の底面に這わせられつつ延設されている。また、本実施の形態においては、チューブ用開口部３１ｂは、２つ設けられている。そして、２つのチューブ用開口部３１ｂの各々から、エアチューブ５１が３本ずつ引き出されている。なお、エッジカバー３６の内部には２本のエアチューブ５１が設置されているが、マニホールド６１を経由することで、エアチューブ５１は２つのチューブ用開口部３１ｂから引き出されるときに３本一組となった一対のエアチューブ５１に変換されている。この２本のエアチューブ５１のエア流量と３本一組となった一対のエアチューブ５１のエア流量は同じとなっている。

【0079】

また、供給ケーブル群５０のうちの電力ケーブル５２は、ケーブル用開口部３１ｃから引き出されている。そして、ケーブル用開口部３１ｃから引き出された電力ケーブル５２は、－Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２における一方の方向）に延設されている。そして、－Ｙ方向に延設されている電力ケーブル５２は、ベース３１の底面に這わせられつつ延設されている。なお、本実施の形態においては、ケーブル用開口部３１ｃから引き出された電力ケーブル５２は、固定金具等でベース３１に固定されていない。しかしながら、これに限らず、ケーブル用開口部３１ｃから引き出された電力ケーブル５２は、固定金具等でベース３１に固定されていてもよい。また、本実施の形態においては、ケーブル用開口部３１ｃは、２つ設けられている。そして、２つのケーブル用開口部３１ｃの各々から、電力ケーブル５２が２本ずつ引き出されている。

【0080】

また、供給ケーブル群５０のうちの信号ケーブル５３は、ケーブル用開口部３１ｄから引き出されている。そして、ケーブル用開口部３１ｄから引き出された信号ケーブル５３は、結束バンド６３によってベース３１の底面に取り付けられている固定金具６２を介して、ベース３１の底面に固定されている。また、信号ケーブル５３は、＋Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２の一方とは反対側の他方の方向）に延設されている。そして、＋Ｙ方向に延設されている信号ケーブル５３は、ベース３１の底面に這わせられつつ延設されている。また、本実施の形態においては、ケーブル用開口部３１ｄは、２つ設けられている。そして、２つのケーブル用開口部３１ｄの各々から、信号ケーブル５３が３本ずつ引き出されている。

【0081】

図１５及び図１６に示すように、ベース３１から引き出されているエアチューブ５１及び電力ケーブル５２は、－Ｙ方向に延設されてから、＋Ｙ方向に折り返されている。そして、エアチューブ５１及び電力ケーブル５２は、スライダ４０に接続されている。

【0082】

具体的には、＋Ｙ方向に折り返されたエアチューブ５１は、図２０に示すように、スライダ４０のマニホールド４７に接続されている。これにより、エアチューブ５１から供給されるエアは、エア流路４１ａ（図１５参照）を経由して、アクチュエータ３００の供給ケーブル群５０のエアチューブ５１に供給される。

【0083】

また、＋Ｙ方向に折り返された電力ケーブル５２は、図２０に示すように、スライダ４０の－Ｙ側の前端面近傍において、図示しない結束バンドによって、エアチューブ５１に固定されている。そして、電力ケーブル５２は、スライダ４０の＋Ｘ側の側面上に配線されてから、スライダ４０の上方（＋Ｚ方向）に折り曲げられている。そして、図１８に示すように、電力ケーブル５２は、スライダカバー４１ｄに形成されている孔４１ｄ１から、上方（＋Ｚ方向）に引き出されている。

【0084】

また、図２０に示すように、ベース３１から引き出されている信号ケーブル５３は、＋Ｙ方向に延設されてから、－Ｙ方向に折り返されている。そして、信号ケーブル５３は、スライダ４０に接続されている。

【0085】

具体的には、－Ｙ方向に折り返された信号ケーブル５３は、スライダ４０の＋Ｙ側の後端面近傍において、ケーブル固定金具４６によって、スライダ４０に固定されている。そして、信号ケーブル５３は、スライダ４０の＋Ｘ側の側面上に配線されてから、スライダ４０の上方（＋Ｚ方向）に折り曲げられている。そして、図１８に示すように、信号ケーブル５３は、電力ケーブル５２と共に、スライダカバー４１ｄに形成されている孔４１ｄ１から、上方（＋Ｚ方向）に引き出されている。スライダカバー４１ｄの孔４１ｄ１から引き出されている信号ケーブル５３は、例えば、移動対象４００、５００の動作を制御するためのユーザ用の信号ケーブル５３と、Ｙ軸駆動用コントローラから引き出されている信号ケーブル５３とを含んでいる。

【0086】

上述のように構成された供給ケーブル群５０は、図２０に示すように、折り返された屈曲形状を含んで構成される第１～第４屈曲部分５０－１～５０－４を有した状態で、アクチュエータ２００の内部で配線されている。

【0087】

第１屈曲部分５０－１は、ベース３１から引き出されて、－Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２における一方の方向）に延設されてから＋Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２における一方とは反対側の他方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第１屈曲部分５０－１は、＋Ｙ方向に視て、ボールねじ軸２１の右側（＋Ｘ側の側方、一方の側方）において折り返されている。

【0088】

第２屈曲部分５０－２は、ベース３１から引き出されて、＋Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２における他方の方向）に延設されてから－Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２における一方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第２屈曲部分５０－２は、＋Ｙ方向に視て、ボールねじ軸２１の右側（＋Ｘ側の側方、一方の側方）において折り返されている。

【0089】

第３屈曲部分５０－３は、ベース３１から引き出されて、－Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２における一方の方向）に延設されてから＋Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２における他方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第３屈曲部分５０－３は、＋Ｙ方向に視て、ボールねじ軸２１の左側（－Ｘ側の側方、他方の側方）において折り返されている。したがって、第３屈曲部分５０－３及び第１屈曲部分５０－１は、ボールねじ軸２１の左右の両側において折り返されている。

【0090】

第４屈曲部分５０－４は、ベース３１から引き出されて、＋Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２における他方の方向）に延設されてから－Ｙ方向（直線運動方向Ｄ２における一方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第４屈曲部分５０－４は、＋Ｙ方向に視て、ボールねじ軸２１の左側（－Ｘ側の側方、他方の側方）において折り返されている。したがって、第４屈曲部分５０－４及び第２屈曲部分５０－２は、ボールねじ軸２１の左右の両側で折り返されている。

【0091】

図１６及び図１９に示すように、供給ケーブル群５０が引き出されている開口部（チューブ用開口部３１ｂ、ケーブル用開口部３１ｃ、３１ｄ）は、ベース３１の直線運動方向Ｄ２の中央近傍に形成されている。すなわち、当該開口部は、ベース３１の直線運動方向Ｄ２における全長Ｌ２に対して、概ね、ベース３１の－Ｙ側の端部からＬ２×１／２の位置に形成されている。詳しくは、アクチュエータ２００においては、チューブ用開口部３１ｂは、ベース３１の直線運動方向Ｄ２の中央に形成されている。ケーブル用開口部３１ｃは、直線運動方向Ｄ２において、チューブ用開口部３１ｂよりもやや－Ｙ寄りに形成されている。ケーブル用開口部３１ｄは、直線運動方向Ｄ２において、チューブ用開口部３１ｂよりもやや＋Ｙ寄りに形成されている。

【0092】

以上、アクチュエータ２００においては、図２０に示すように、供給ケーブル群５０は、ベース３１から引き出されて、直線運動方向Ｄ２における一方の方向に延設されてから折り返されて、スライダ４０に接続される第１、第３屈曲部分５０－１、５０－３と、ベース３１から引き出されて、直線運動方向Ｄ２の他方の方向に延設されてから折り返されて、スライダ４０に接続される第２、第４屈曲部分５０－２、５０－４と、を有する。このため、アクチュエータ２００においては、供給ケーブル群５０を構成するエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３をアクチュエータハウジング３０内の各屈曲部分５０－１～５０－４に分散させて設置しているので、エアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３の本数が増えても、接触するおそれのあるエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３の各屈曲部分５０－１～５０－４での本数を少なくできる。さらに、各屈曲部分５０－１～５０－４に設置されるエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３の本数を少なくできるので、アクチュエータハウジング３０内でエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３を屈曲し易くすることができる。結果として、アクチュエータ１００においては、アクチュエータハウジング３０内へ供給ケーブル群５０を効率的に内装させることができる。

【0093】

また、アクチュエータ２００においては、供給ケーブル群５０の第１屈曲部分５０－１及び第３屈曲部分５０－３は、ボールねじ軸２１の左右の両側で折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、供給ケーブル群５０の第２屈曲部分５０－２及び第４屈曲部分５０－４も、ボールねじ軸２１の左右の両側で折り返されて、スライダ４０に接続されている。これにより、アクチュエータ２００においては、供給ケーブル群５０を構成するエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３の本数が増えても、アクチュエータハウジング３０内へ供給ケーブル群５０を効率的に内装させることができる。

【0094】

なお、アクチュエータ２００においては、図１５及び図１６に示すように、ベース３１から引き出されているエアチューブ５１及び電力ケーブル５２は、－Ｙ方向に延設されてから、＋Ｙ方向に折り返されている。また、ベース３１から引き出されている信号ケーブル５３は、＋Ｙ方向に延設されてから、－Ｙ方向に折り返されている。しかしながら、これに限られない。エアチューブ５１、電力ケーブル５２、及び、信号ケーブル５３の折り返す方向や延設される方向は、アクチュエータ２００の使用状況に応じて、適宜、変更される。

【0095】

ブラケットＢ２は、図１に示すように、アクチュエータ２００が移動させる移動対象としてのアクチュエータ３００をスライダテーブルＴ２に固定するためのものである。アクチュエータ３００は、ブラケットＢ２を介して、スライダテーブルＴ２に固定されることにより、スライダテーブルＴ２と共に、直線運動方向Ｄ２に沿って往復運動する。

【0096】

アクチュエータ３００は、図２１に示すように、アクチュエータ１００、２００とは異なり、直線運動方向Ｄ３に往復運動するロッドＲ１を備えるロッドタイプのアクチュエータである。アクチュエータ３００は、図２２及び図２３に示すように、ロッドＲ１に加え、補助ロッドＲ２、Ｒ３と、コントローラＣ３と、ベルト７０と、振れ止め部材８０と、モータユニット１０と、ボールねじ２０と、アクチュエータハウジング３０と、スライダ４０と、エアチューブ５１、信号ケーブル５３、及びモータ・エンコーダケーブル５４とを含んで構成される供給ケーブル群５０と、を備える。なお、アクチュエータ３００において、アクチュエータ１００、２００と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。

【0097】

ロッドＲ１は、Ｚ軸方向を長手方向とする円筒形状の部材である。ロッドＲ１は、スライダ４０の本体部４１に固定されることで、＋Ｚ方向及び－Ｚ方向の双方向に往復運動する。ロッドＲ１は、例えば、アルミニウムからなる。ただし、ロッドＲ１の素材は、任意であり、アルミニウム以外のものであってもよい。例えば、ステンレス鋼であってもよい。ロッドＲ１には、Ｚ軸方向に沿って、ボールねじ軸２１の先端部分２１ａが挿入される孔が形成されている。先端部分２１ａには、振れ止め部材８０が取り付けられている。

【0098】

補助ロッドＲ２、Ｒ３は、図２２、図２４、及び図２５に示すように、スライダ４０の本体部４１に固定されているロッドブラケット９０に支持されている。これにより、補助ロッドＲ２、Ｒ３は、その円筒軸方向が、ロッドＲ１の円筒軸方向に平行となるように配置される。補助ロッドＲ２、Ｒ３は、貫通孔を有するパイプ状に形成されている。補助ロッドＲ２、Ｒ３は、ロッドＲ１を支持して剛性を高めたり、ロッドＲ１の先端の振れを抑制したりするために設けられている。また、補助ロッドＲ２、Ｒ３は、その貫通孔に供給ケーブル群５０が挿通、配線される。これらの補助ロッドＲ２、Ｒ３の－Ｚ側の先端は、ロッドＲ１の－Ｚ側の先端に対して、ロッド用連結部材９１によって連結されている。なお、本実施の形態では、補助ロッドＲ２、Ｒ３は、２本設けられている。しかしながら、これに限られない。補助ロッドＲ２、Ｒ３は、１本のみ設けられていてもよいし、３本以上設けられていてもよい。

【0099】

ベルト７０は、モータユニット１０の出力軸１２と、ボールねじ２０の基端部分２１ｂとに、張力がかかった状態に取り付けられる。これにより、出力軸１２の回転運動は、ボールねじ２０の基端部分２１ｂに伝達される。ベルト７０は例えば、出力軸１２及び基端部分２１ｂに取り付けられたプーリに形成された歯に係合する複数の歯が形成されたタイミングベルトである。

【0100】

振れ止め部材８０は、ボールねじ軸２１の先端部分２１ａの振れ回りを抑制するための部材である。振れ止め部材８０は、ボールねじ軸２１の先端部分２１ａに回転可能嵌め込まれている。振れ止め部材８０は、例えば、円環状の本体部と、本体部に嵌め来られたＯリングとから構成される。なお、本実施の形態では、振れ止め部材８０は、本体部とＯリングとから構成されている。しかしながら、これに限られない。ボールねじ軸２１の先端部分２１ａの振れ回りを抑制可能な構造、形状であればよい。例えば、振れ止め部材８０は、樹脂などの弾性の素材からなる単一の部材から構成されていてもよい。

【0101】

コントローラＣ３は、アクチュエータ３００を制御するＺ軸駆動用コントローラと、移動対象４００、５００を制御するための手首ユニット及びグリッパー用の制御コントローラを含んで構成されている。コントローラＣ３は、例えば、図１に示すロボット１全体を制御する統括コントローラからの入力に基づいて、アクチュエータ３００、及び移動対象４００、５００を制御する。コントローラＣ３は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、主記憶部、補助記憶部等を含んで構成されている。このコントローラＣ３には、供給ケーブル群５０の複数本の電力ケーブル５２が接続されている。また、コントローラＣ３のうちのＺ軸駆動用コントローラには、複数本の信号ケーブル５３のうちのいくつかの信号ケーブル５３（Ｙ軸駆動用コントローラ（コントローラＣ２）から引き出された信号ケーブル）が接続される。また、Ｚ軸駆動用コントローラからは、信号ケーブル（図示なし）が引き出されて、制御コントローラに接続されている。このコントローラＣ３においては、例えば、Ｚ軸駆動用コントローラは、ベース３１の－Ｘ側の外面に固定されて、エッジカバー３６の内部に配置されている。また、手首ユニット及びグリッパー用の制御コントローラは、ブラケットＢ２の内部に配置されている。なお、ブラケットＢ２の内部に配置されている制御コントローラは、その数が、移動対象４００、５００が有するモータの合計数に対応して設けられている。例えば、移動対象４００、５００が有するモータの数が合計３つである場合は、ブラケットＢ２の内部に配置されている制御コントローラは、３つ設けられる。このコントローラＣ３には、供給ケーブル群５０の電力ケーブル５２が接続されている。また、コントローラＣ３には、複数本の信号ケーブル５３のうちのいくつかの信号ケーブル５３が接続されている。また、コントローラＣ３のうちの制御用コントローラからは、モータ・エンコーダケーブル５４が引き出されている。また、コントローラＣ３のうちのＺ軸駆動用コントローラからは、モータ・エンコーダケーブル５４とは異なるモータ・エンコーダケーブル（図示なし）が引き出されて、モータユニット１０に接続されている。

【0102】

モータユニット１０及びボールねじ２０は、アクチュエータ１００のものと同等のものである。

【0103】

アクチュエータハウジング３０は、モータユニット１０、ボールねじ２０、及びスライダ４０を収容することで、アクチュエータ１００の内部の各構成部品を覆う。アクチュエータハウジング３０は、ベース３１と、フロントブラケット３４と、リアブラケット３５とに加えて、エッジカバー３６と、メインカバー３７と、バランサー（付勢部、図示なし）とを更に有する。なお、このアクチュエータ３００のアクチュエータハウジング３０は、アクチュエータ１００、２００のものとは異なり、サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌと、シート部材３３とを有さない。

【0104】

エッジカバー３６は、ベース３１の下側（－Ｘ側）の外面を覆うように、ベース３１に取り付けられている。エッジカバー３６の内部には、供給ケーブル群５０が配線されている。

【0105】

メインカバー３７は、スライダ４０の上方を覆う部材であり、ベース３１に取り付けられる。メインカバー３７は例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。

【0106】

バランサーは、ボールねじ２０のボールねじ軸２１を所定の回転方向に付勢する。このバランサーは、リアブラケット３５の内部に配置されている。バランサーは、ぜんまい機構と、増速部とを有する。

【0107】

ぜんまい機構は、モータユニット１０の出力軸１２が、ボールねじ軸２１を所定の回転方向とは反対の回転方向に回転することでエネルギーを蓄積し、ボールねじ軸２１を所定の回転方向に回転することで蓄積したエネルギーが解放する。これにより、スライダ４０を上方に移動させてロッドＲ１、補助ロッドＲ２、Ｒ３を持ち上げる際に、モータユニット１０は、スライダ４０を上方に移動させようとするぜんまい機構の付勢力を受ける。この結果、スライダ４０を上方に移動させる際のモータユニット１０の出力を抑えることができる。また、ぜんまい機構にエネルギーを蓄積する場合は、スライダ４０を重力作用方向である下方に移動させればよいため、作用する重力を利用しながらスライダ４０を移動させることができる。

【0108】

増速部は、ボールねじ軸２１の基端部分２１ｂと、バランサーのぜんまい機構とを接続する。増速部は、ボールねじ軸２１を介して出力軸１２の回転運動を補助する。

【0109】

スライダ４０は、リニアガイド用転動体を介して、ベース３１にＺ軸方向に直線運動可能に支持されている。スライダ４０は、図２５及び図２６に示すように、本体部４１と、リターン部材４２ａ、４２ｂと、配線配管受けローラ４５と、供給ケーブル群５０のエアチューブ５１及び信号ケーブル５３を固定するためのケーブル固定金具４８と、モータ・エンコーダケーブル５４を固定するためのケーブル固定金具４９と、ロッドブラケット９０とを有する。

【0110】

本体部４１は、剛性の高い素材からなり、例えば、金属からなる。本体部４１には、Ｚ軸方向に貫通する貫通孔４１ｃが形成されている。この貫通孔４１ｃには、－Ｚ側からロッドＲ１が取り付けられる。貫通孔４１ｃには、例えば、雌ねじ部が形成され、ロッドＲ１の＋Ｚ側の端部には当該雌ねじ部が螺合する雄ねじ部が形成されている。ロッドＲ１は、雌ねじ部と雄ねじ部との螺合により、貫通孔４１ｃに取り付けて固定される。

【0111】

ロッドブラケット９０は、本体部４１に固定されている。このロッドブラケット９０には、Ｚ軸方向に貫通する貫通孔９０ａ、９０ｂが形成されている。この貫通孔９０ａ、９０ｂには、補助ロッドＲ２、Ｒ３が取り付けられる。貫通孔９０ａ、９０ｂには、例えば、雌ねじ部が形成され、補助ロッドＲ２、Ｒ３の＋Ｚ側の端部には当該雌ねじ部が螺合する雄ねじ部が形成されている。補助ロッドＲ２、Ｒ３は、雌ねじ部と雄ねじ部との螺合により、貫通孔９０ａ、９０ｂに取り付けて固定される。

【0112】

供給ケーブル群５０は、図２３に示すように、エッジカバー３６から、アクチュエータ３００の内部に引き入られている。アクチュエータ３００の内部に配置される供給ケーブル群５０は、エアチューブ５１と、信号ケーブル５３と、モータ・エンコーダケーブル５４とを有する。なお、信号ケーブル５３には、ロボット１のユーザが移動対象４００、５００で使用する信号線も含まれる。この信号線は、例えば、グリッパーである移動対象５００が挟圧するワークの有無を検知するセンサに信号を供給するために用いられる。
なお、アクチュエータ３００では、供給ケーブル群５０をエッジカバー３６内でＺ軸方向へ敷設させているが、供給ケーブル群５０は、ベース３１の－Ｚ軸方向側の端部近傍にエッジカバー３６の内部とベース３１の孔３１ａとを連通する孔を設けて挿通させ、アクチュエータ１００と同様に孔３１ａ内にＺ軸方向へ敷設させ、孔３１ａとアクチュエータ３００の内部とを連通する孔からなる開口部（チューブ用開口部３１ｂ、ケーブル用開口部３１ｄ、３１ｅ）からアクチュエータ３００の内部に引き出されていてもよい。
また、アクチュエータ２００のように、供給ケーブル群５０は、ベース３１の下面側の空間と孔３１ａの内部とをＸ軸方向に連通する連通孔を経由して、エッジカバー３６から孔３１ａの内部に引き入られ、孔３１ａの内部とアクチュエータ３００の内部とを連通する複数の開口部（例えば、チューブ用開口部３１ｂ、ケーブル用開口部３１ｄ、３１ｅ）から＋Ｙ方向及び－Ｙ方向に引き出されて、アクチュエータ３００の内部に引き入られていてもよい。

【0113】

モータ・エンコーダケーブル５４は、移動対象４００、５００が備えるモータを制御するための信号を供給するケーブルである。

【0114】

図２７に示すように、供給ケーブル群５０のうちのエアチューブ５１は、エア継手６５を経由して、チューブ用開口部３１ｂから引き出されている。チューブ用開口部３１ｂから引き出されたエアチューブ５１は、－Ｚ方向（直線運動方向Ｄ３における一方の方向）に延設されている。そして、－Ｚ方向に延設されているエアチューブ５１は、ベース３１の底面に這わせられつつ延設されている。

【0115】

また、供給ケーブル群５０のうちの信号ケーブル５３は、ケーブル用開口部３１ｄから引き出されている。そして、ケーブル用開口部３１ｄから引き出された信号ケーブル５３は、ベース３１の底面に取り付けられている固定金具６２によって、ベース３１の底面に固定されている。また、信号ケーブル５３は、－Ｚ方向に延設されている。そして、－Ｚ方向に延設されている信号ケーブル５３は、ベース３１の底面に這わせられつつ延設されている。

【0116】

また、供給ケーブル群５０のうちのモータ・エンコーダケーブル５４は、ケーブル用開口部３１ｅから引き出されている。そして、ケーブル用開口部３１ｅから引き出された信号ケーブル５３は、ベース３１の底面に取り付けられている固定金具６４によって、ベース３１の底面に固定されている。また、モータ・エンコーダケーブル５４は、＋Ｚ方向（直線運動方向Ｄ３の一方とは反対側の他方の方向）に延設されている。そして、－Ｚ方向に延設されているモータ・エンコーダケーブル５４は、ベース３１の底面に這わせられつつ延設されている。

【0117】

図２６に示すように、ベース３１から引き出されているエアチューブ５１及び信号ケーブル５３は、－Ｚ方向に延設されてから、＋Ｚ方向に折り返されている。そして、エアチューブ５１及び信号ケーブル５３は、スライダ４０に接続されている。

【0118】

具体的には、＋Ｚ方向に折り返されたエアチューブ５１及び信号ケーブル５３は、ケーブル固定金具４８によって、スライダ４０に固定されている。そして、エアチューブ５１及び信号ケーブル５３は、スライダ４０の本体部４１の上方に配線されつつ、ロッドブラケット９０の貫通孔９０ａに挿通されている。

【0119】

また、ベース３１から引き出されているモータ・エンコーダケーブル５４は、＋Ｚ方向に延設されてから、－Ｚ方向に折り返されている。そして、モータ・エンコーダケーブル５４は、スライダ４０に接続されている。

【0120】

具体的には、－Ｚ方向に折り返されたモータ・エンコーダケーブル５４は、ケーブル固定金具４９によって、スライダ４０に固定されている。そして、モータ・エンコーダケーブル５４は、スライダ４０の本体部４１の上方に配線されつつ、ロッドブラケット９０の貫通孔９０ｂに挿通されている。

【0121】

図２３及び図２８に示すように、ロッドブラケット９０の貫通孔９０ａに挿通されているエアチューブ５１、信号ケーブル５３は、補助ロッドＲ２に挿通され、貫通孔９０ｂに挿通されているモータ・エンコーダケーブル５４は、補助ロッドＲ３に挿通されている。そして、エアチューブ５１、信号ケーブル５３、及びモータ・エンコーダケーブル５４は、補助ロッドＲ２、Ｒ３の－Ｚ側の開口から引き出されている。なお、図２３においては、補助ロッドＲ２には、エアチューブ５１、信号ケーブル５３が挿通され、補助ロッドＲ３には、モータ・エンコーダケーブル５４が挿通されている。しかしながら、これは例示であり、補助ロッドＲ２、Ｒ３に挿通されるケーブル、チューブは適宜変更して使用される。また、これらエアチューブ５１、信号ケーブル５３、及びモータ・エンコーダケーブル５４は、必ずしも全てを補助ロッドＲ２、Ｒ３に挿通されていなくてもよい。例えば、これらケーブル、チューブの一部は、補助ロッドＲ２、Ｒ３に挿通されずに、アクチュエータハウジング３０から引き出されていてもよい。

【0122】

上述のように構成された供給ケーブル群５０は、図２６に示すように、折り返された屈曲形状を含んで構成される第１～第４屈曲部分５０－１～５０－４を有した状態で、アクチュエータ３００の内部で配線されている。

【0123】

第１屈曲部分５０－１は、ベース３１から引き出されて、－Ｚ方向（直線運動方向Ｄ３における一方の方向）に延設されてから＋Ｚ方向（直線運動方向Ｄ３における一方とは反対側の他方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第１屈曲部分５０－１は、＋Ｚ方向に視て、ボールねじ軸２１の左側（－Ｙ側の側方、一方の側方）において折り返されている。

【0124】

第２屈曲部分５０－２は、ベース３１から引き出されて、＋Ｚ方向（直線運動方向Ｄ３における他方の方向）に延設されてから－Ｚ方向（直線運動方向Ｄ３における一方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第２屈曲部分５０－２は、＋Ｚ方向に視て、ボールねじ軸２１の左側（－Ｙ側の側方、一方の側方）において折り返されている。

【0125】

第３屈曲部分５０－３は、ベース３１から引き出されて、－Ｚ方向（直線運動方向Ｄ３における一方の方向）に延設されてから＋Ｚ方向（直線運動方向Ｄ３における他方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第３屈曲部分５０－３は、＋Ｚ方向に視て、ボールねじ軸２１の右側（＋Ｙ側の側方、他方の側方）において折り返されている。したがって、第３屈曲部分５０－３及び第１屈曲部分５０－１は、ボールねじ軸２１の左右の両側において折り返されている。

【0126】

第４屈曲部分５０－４は、ベース３１から引き出されて、＋Ｚ方向（直線運動方向Ｄ３における他方の方向）に延設されてから－Ｚ方向（直線運動方向Ｄ３における一方の方向）に折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、第４屈曲部分５０－４は、＋Ｚ方向に視て、ボールねじ軸２１の右側（＋Ｙ側の側方、他方の側方）において折り返されている。したがって、第４屈曲部分５０－４及び第２屈曲部分５０－２は、ボールねじ軸２１の左右の両側で折り返されている。

【0127】

図２３に示すように、供給ケーブル群５０が引き出されている開口部（チューブ用開口部３１ｂ、ケーブル用開口部３１ｃ、３１ｅ）は、ベース３１の直線運動方向Ｄ３の中央近傍に形成されている。具体的には、当該開口部は、ベース３１の直線運動方向Ｄ３における全長Ｌ３に対して、ベース３１の＋Ｚ側の端部からＬ３×１／２の位置に形成されている。

【0128】

以上、アクチュエータ３００においては、図２４及び図２５に示すように、供給ケーブル群５０は、ベース３１から引き出されて、直線運動方向Ｄ３における一方の方向に延設されてから折り返されて、スライダ４０に接続される第１、第３屈曲部分５０－１、５０－３と、ベース３１から引き出されて、直線運動方向Ｄ３の他方の方向に延設されてから折り返されて、スライダ４０に接続される第２、第４屈曲部分５０－２、５０－４と、を有する。このため、アクチュエータ３００においては、供給ケーブル群５０を構成するエアチューブ５１、信号ケーブル５３、又はモータ・エンコーダケーブル５４をアクチュエータハウジング３０内の各屈曲部分５０－１～５０－４に分散させて設置しているので、エアチューブ５１、信号ケーブル５３、又はモータ・エンコーダケーブル５４の本数が増えても、接触するおそれのあるエアチューブ５１、信号ケーブル５３、又はモータ・エンコーダケーブル５４の各屈曲部分５０－１～５０－４での本数を少なくできる。さらに、各屈曲部分５０－１～５０－４に設置されるエアチューブ５１、信号ケーブル５３、又はモータ・エンコーダケーブル５４の本数を少なくできるので、アクチュエータハウジング３０内でエアチューブ５１、信号ケーブル５３、又はモータ・エンコーダケーブル５４を屈曲し易くすることができる。結果として、アクチュエータ１００においては、アクチュエータハウジング３０内へ供給ケーブル群５０を効率的に内装させることができる。

【0129】

また、アクチュエータ３００においては、供給ケーブル群５０の第１屈曲部分５０－１及び第３屈曲部分５０－３は、ボールねじ軸２１の左右の両側で折り返されて、スライダ４０に接続されている。また、供給ケーブル群５０の第２屈曲部分５０－２及び第４屈曲部分５０－４も、ボールねじ軸２１の左右の両側で折り返されて、スライダ４０に接続されている。アクチュエータ３００においては、供給ケーブル群５０を構成するエアチューブ５１、電力ケーブル５２、又は信号ケーブル５３の本数が増えても、アクチュエータハウジング３０内へ供給ケーブル群５０を効率的に内装させることができる。

【0130】

なお、アクチュエータ３００においては、図２３に示すように、ベース３１から引き出されているエアチューブ５１及び信号ケーブル５３は、＋Ｚ方向に延設されてから、－Ｚ方向に折り返されている。また、ベース３１から引き出されているモータ・エンコーダケーブル５４は、－Ｚ方向に延設されてから、＋Ｚ方向に折り返されている。しかしながら、これに限られない。エアチューブ５１、電力ケーブル５２、及び、信号ケーブル５３の折り返す方向や延設される方向は、アクチュエータ３００の使用状況に応じて、適宜、変更される。

【0131】

また、本実施の形態に係るロボット１は、供給ケーブル群５０が、アクチュエータ１００と、アクチュエータ２００と、アクチュエータ３００との順に配線されている三軸タイプのものである。そして、各アクチュエータ１００、２００、３００の供給ケーブル群５０は、ベース３１から引き出されて、直線運動方向Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３における一方の方向に延設されてから折り返されて、スライダ４０に接続される第１、第３屈曲部分５０－１、５０－３と、ベース３１から引き出されて、直線運動方向Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３の他方の方向に延設されてから折り返されて、スライダ４０に接続される第２、第４屈曲部分５０－２、５０－４と、を有する。このため、本実施の形態に係るロボット１は、三軸タイプのものでありながら、供給ケーブル群５０を構成するケーブル又はチューブの本数が増えても、ロボット１全体を大型化させることなく、アクチュエータ１００、２００、３００のそれぞれのアクチュエータハウジング３０内へ供給ケーブル群５０を効率的に内装させることができる。

【0132】

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態等によって限定されるものではない。

【0133】

例えば、本発明の実施の形態では、ロボット１は、３つのアクチュエータ１００、２００、３００を備える。しかしながら、これに限られない。ロボット１は、２つ、又は、４つ以上のアクチュエータ１００、２００、３００を備えていてもよい。

【0134】

また、アクチュエータ１００、２００、３００は、アクチュエータハウジング３０の内部にモータユニット１０が取り付けられている。しかしながら、これに限られない。アクチュエータ１００、２００、３００に、モータを着脱可能な構成を採用してもよい。この場合、ユーザは、取り付けたモータの出力軸とボールねじとを公知の伝動手段を用いて接続すればよい。

【0135】

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施の形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施の形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。

【符号の説明】

【0136】

１：ロボット
１０：モータユニット
１１：モータ本体
１２：出力軸
１３：カップリング
２０：ボールねじ
２１：ボールねじ軸
２１ａ：先端部分
２１ｂ：基端部分
２２：ボールねじナット
２３：先端支持部
２４：基端支持部
２５：カップリング
３０：アクチュエータハウジング
３１：ベース
３１ａ：孔
３１ｂ：チューブ用開口部
３１ｃ：ケーブル用開口部
３１ｄ：ケーブル用開口部
３１ｅ：ケーブル用開口部
３２Ｒ，３２Ｌ：サイドカバー
３３：シート部材
３４：フロントブラケット
３５：リアブラケット
３６：エッジカバー
４０：スライダ
４１：本体部
４１ａ：エア流路
４１ｂ：シート部材配置面
４１ｃ：貫通孔
４１ｄ：スライダカバー
４１ｄ１：孔
４１Ｒ，４１Ｌ：ワーク取付部
４２ａ，４２ｂ：リターン部材
４３ａ，４３ｂ：シート案内部材
４４：エア継手
４５：配線配管受けローラ
４６，４８，４９：ケーブル固定金具
４７：マニホールド
５０：供給ケーブル群
５０－１：第１屈曲部分
５０－２：第２屈曲部分
５０－３：第３屈曲部分
５０－４：第４屈曲部分
５１：エアチューブ
５２：電力ケーブル
５３：信号ケーブル
６１：マニホールド
６２、６４：固定金具
６３：結束バンド
６５：エア継手
７０：ベルト
８０：振れ止め部材
９０：ロッドブラケット
９０ａ，９０ｂ：貫通孔
９１：ロッド用連結部材
１００，２００，３００：アクチュエータ
４００，５００：移動対象
５０１：爪部
Ｂ１，Ｂ２：ブラケット
Ｄ１，Ｄ２、Ｄ３：直線運動方向
Ｔ１，Ｔ２：スライダテーブル
Ｒ１：ロッド
Ｒ２，Ｒ３：補助ロッド
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３：（ベースの）全長
回転方向：Ｒ，Ｂ，Ｔ
挟圧方向：Ｇ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】