特許 7536718 支持具モジュール及び収納装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-09

(45)【発行日】2024-08-20

(54)【発明の名称】支持具モジュール及び収納装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240813BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20240813BHJP

   E05C 1/06 20060101ALI20240813BHJP

   E05C 9/00 20060101ALI20240813BHJP

   E05C 9/14 20060101ALI20240813BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/30 500

E05C1/06 B

E05C9/00 Z

E05C9/14

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2021115035

(22)【出願日】2021-07-12

(65)【公開番号】P2022051676

(43)【公開日】2022-04-01

【審査請求日】2021-07-12

【審判番号】

【審判請求日】2023-08-09

(31)【優先権主張番号】63/081,902

(32)【優先日】2020-09-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】506017182

【氏名又は名称】家登精密工業股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＧＵＤＥＮＧ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＣＯ．，ＬＴＤ

(74)【代理人】

【識別番号】100112656

【弁理士】

【氏名又は名称】宮田 英毅

(74)【代理人】

【識別番号】100089118

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 宏明

(72)【発明者】

【氏名】邱銘乾

(72)【発明者】

【氏名】沈恩年

(72)【発明者】

【氏名】潘詠晉

(72)【発明者】

【氏名】鍾承恩

(72)【発明者】

【氏名】李柏廷

(72)【発明者】

【氏名】劉維虔

(72)【発明者】

【氏名】黄姿維

【合議体】

【審判長】小宮 慎司

【審判官】中野 浩昌

【審判官】松永 稔

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－１１９４３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－６８８４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－２０４６２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－２５８５６２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

H01L21/673

B65D85/30

E05C 1/06

E05C 9/00

E05C 9/14

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

高さ方向に沿って平行に配列され、相互に結合されている支持板組みと、
少なくとも１対の継手部であって、前記１対の継手部はこれら前記支持板組みの前記高さ方向で相反する両側にそれぞれ設けられている少なくとも１対の継手部と、
前記支持板組みを貫通する金属嵌め部材と、
少なくとも１つの金属ポールと、を備え、
前記支持板組みはプラスチック材質であり、前記１対の継手部は金属材質であり、前記１対の継手部は前記金属嵌め部材の両端であり、且つ前記１対の継手部は前記高さ方向に対し垂直になる水平面で位置が互いに適合し、且つ前記１対の継手部は他の支持具モジュールの継手部と結合するための継手部であり、
前記金属嵌め部材は中空であり、前記金属ポールは前記金属嵌め部材を貫通する、
ことを特徴とする支持具モジュール。

【請求項2】

前記１対の継手部はオス継手部及びメス継手部を備え、前記オス継手部及び前記メス継手部は形状が互いに対応していることを特徴とする請求項１に記載の支持具モジュール。

【請求項3】

前記支持板組みの両側にはリブをそれぞれ有していることを特徴とする請求項１に記載の支持具モジュール。

【請求項4】

ケースと、
前記ケース内部の両側にそれぞれ設置されている少なくとも２組の支持具モジュールと、
前記ケースの上部板の内向きの一側にそれぞれ設けられている少なくとも２つの上面係合部であって、これら前記上面係合部は開口部を有し、これら前記支持具モジュールの上部は組立方向に沿ってこれら前記上面係合部に係合している少なくとも２つの上面係合部と、
前記ケースの底板の内向きの一側にそれぞれ設けられている少なくとも２つの底部係合溝であって、これら前記支持具モジュールの底板は前記組立方向に沿ってこれら前記底部係合溝に位置決めされている少なくとも２つの底部係合溝と、を備え、
前記支持具モジュールは、
高さ方向に沿って平行に配列されている複数の支持板と、
少なくとも１対の継手部であって、前記１対の継手部はこれら前記支持板の前記高さ方向で相反する両側にそれぞれ設けられている少なくとも１対の継手部と、を備え、
前記複数の支持板はプラスチック材質であり、前記１対の継手部は金属材質であり、且つ前記１対の継手部は前記高さ方向に対し垂直になる水平面で位置が互いに適合する、
ことを特徴とする収納装置。

【請求項5】

これら前記底部係合溝の幅は前記組立方向に沿って漸縮していることを特徴とする請求項４に記載の収納装置。

【請求項6】

前記上面係合部は弾性により外に向けて展開する２つの翼部を有し、前記２つの翼部に挟まれるように前記開口部が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の収納装置。

【請求項7】

前記ケースのフロントカバーに設置されている４組のロック装置をさらに備え、各組の前記ロック装置はカム及び２つのラッチを含み、前記２つのラッチは互いに垂直になるように前記カムに連結され、前記２つのラッチの一端は前記上部板、前記底板、または前記ケースの側板に各々干渉することを特徴とする請求項４に記載の収納装置。

【請求項8】

前記カムは少なくとも１つの凸部を有し、前記ラッチは前記凸部に圧迫されて擺動することを特徴とする請求項７に記載の収納装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェハー載置具に関し、更に詳しくは製造コストを抑えると共に公差を減少させる支持具モジュール及び前述の支持具モジュールを有しているウェハーカセットに関する。

【背景技術】

【0002】

ウェハーカセットの両側には通常複数の支持フレームが装設され、複数のウェハーの両側に対応して支持する。サイズの異なるウェハーカセットは異なる形式の支持フレームを有し、このため、各種支持フレームはそれが属するウェハーカセットにのみ適用可能であり、製造コストが高くなった。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

従来の特許文献では、例えば、下記特許文献１には各支持フレーム部材が互いに積み重ねられて構成されている「支持フレーム」という構成と記載されていますが、このような支持フレームは射出成形により製造されているため重量が軽量化されているが、その公差は相当に大きく、後続の組み立て作業が困難になり、さらには組み立てて使用できなくなることもあった。

【課題を解決するための手段】

【0004】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のある態様の支持具モジュールは、
高さ方向に沿って平行に配列されている複数の支持板と、
少なくとも１対の継手部であって、前記１対の継手部はこれら前記支持板の前記高さ方向で相反する両側にそれぞれ設けられている少なくとも１対の継手部と、を備え、
前記複数の支持板はプラスチック材質であり、前記１対の継手部は金属材質であり、且つ前記１対の継手部は前記高さ方向に対し垂直になる水平面で位置が互いに適合する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】台湾特許出願第７０２６７７号明細書

【0006】

そこで、本発明者は上記の欠点が改善可能と考え、鋭意検討を重ねた結果、合理的設計で上記の課題を効果的に改善する本発明の提案に至った。

【0007】

本発明は、上記問題点に鑑みて本発明者の鋭意研究により成されたものであり、その目的は、製造コストを抑制すると共に公差を減少する支持具モジュール及び前述の支持具モジュールを有しているウェハーカセットを提供することにある。

【0008】

すなわち、上記目的を達成するための本発明の諸態様は、以下のとおりである。

【0009】

本発明の好適例において、前記１対の継手部はオス継手部及びメス継手部を備え、前記オス継手部及び前記メス継手部は形状が互いに対応している。

【0010】

本発明の好適例において、これら前記支持板を貫通する金属嵌め部材をさらに備え、前記１対の継手部は前記金属嵌め部材の両端である。

【0011】

本発明の好適例において、少なくとも１つの金属ポールをさらに備え、前記金属嵌め部材は中空であり、前記金属ポールは前記金属嵌め部材を貫通する。

【0012】

本発明の好適例において、各前記支持板の両側にはリブをそれぞれ有している。

【0013】

また、本発明の別の態様は、ウェハーカセットである。このウェハーカセットは、
ケースと、
前記ケース内部の両側にそれぞれ設置されている請求項１乃至５の何れか１項に記載の少なくとも２組の支持具モジュールと、
前記ケースの上部板の内向きの一側にそれぞれ設けられている少なくとも２つの上面係合部であって、これら前記上面係合部は開口部を有し、これら前記支持具モジュールの上部は組立方向に沿ってこれら前記上面係合部に係合している少なくとも２つの上面係合部と、
前記ケースの底板の内向きの一側にそれぞれ設けられている少なくとも２つの底部係合溝であって、これら前記支持具モジュールの底板は前記組立方向に沿ってこれら前記底部係合溝に位置決めされている少なくとも２つの底部係合溝と、を備えている。

【0014】

本発明の好適例において、これら前記底部係合溝の幅は前記組立方向に沿って漸縮している。

【0015】

本発明の好適例において、前記上面係合部は弾性により外に向けて展開する２つの翼部を有し、前記２つの翼部に挟まれるように前記開口部が形成されている。

【0016】

本発明の好適例において、前記ケースのフロントカバーに設置されている４組のロック装置をさらに備え、各組前記ロック装置はカム及び２つのラッチを含む。前記２つのラッチは互いに垂直になるように前記カムに連結され、前記２つのラッチの一端は前記上部板、前記底板、または前記ケースの側板に各々干渉する。

【0017】

本発明の好適例において、前記カムは少なくとも１つの凸部を有し、前記ラッチは前記凸部に圧迫されて擺動する。

【0018】

本発明に係る支持具モジュールは複数の支持板を結合してモジュール化することで製造コストを抑制している。支持具モジュールが汎用な部材となり、部材の使用の自由度が高まる。また、金属材質の継手部により製造の公差及び組み立ての公差を減少し、精度を高める効果を達成している。

【0019】

本発明の他の特徴については、本明細書及び添付図面の記載により明らかにする。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の一実施形態に係る支持具モジュールを模式的に示した傾斜図である。

【図2】本発明の一実施形態に係る支持具モジュールを模式的に示した部分断面図である。

【図3】本発明の一実施形態に係るウェハーカセットを模式的に示した断面図である。

【図4】本発明の一実施形態に係るウェハーカセットを模式的に示した傾斜図である。

【図5】本発明の一実施形態に係るウェハーカセットを他の角度から見た傾斜拡大概略図である。

【図6】本発明の一実施形態に係る上面係合部を模式的に示した傾斜図である。

【図7】本発明の一実施形態に係る底部係合溝を模式的に示した傾斜図である。

【図8】本発明の一実施形態に係るフロントカバーを示した前面図である。

【図9A】本発明の一実施形態に係るロック装置を示した部分概略図である。

【図9B】本発明の一実施形態に係るフロントカバーを示した部分概略図である。

【図10A】図９Ａに示すロック固定装置がロック状態となる概略図である。

【図10B】図９Ｂに示すロック固定装置がロック状態となる概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

本発明における好適な実施の形態について、添付図面を参照して説明する。尚、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を限定するものではない。また、以下に説明される構成の全てが、本発明の必須要件であるとは限らない。

【0022】

本発明の実施例に係る支持具モジュール１００は、複数の支持板１及び少なくとも１対の継手部２を備えている（図１と図２参照）。

【0023】

複数の支持板１は高さ方向ｈに沿って平行に配列され、各支持板１はウェハー（図示せず）または他の板状物を載置するために用いられている。１つの支持具モジュール１００中の支持板１の数量には制限はなく、本実施例の１つの支持具モジュール１００は６つの支持板１を備えているが、本発明はこれに限られない。各支持板１の両側にはリブ１１をそれぞれ有している。リブ１１は支持板１の上面から突起し、ウェハーを支持すると共にウェハーと支持板１との接触を減らすために用いられている。支持板はプラスチック材質であり、好ましくは射出成型されるプラスチックであり、製造速度が速く、製造コストが低く、質量が軽いという利点を有し、大型ウェハーカセットへの運用にさらに適合している。

【0024】

少なくとも１対の継手部２は複数の支持板１の高さ方向ｈで相反する両側にそれぞれ設置されている。継手部２は金属材質であり、且つ１対の継手部２は高さ方向ｈに対し垂直になる水平面で位置が互いに適合する。すなわち、１対の継手部２は上下方向が対応している。本実施例では、支持具モジュール１００は２対の継手部２を備え（他の実施例では１対またはより多くの対でもよく、本発明はこれに限られない）、各対の継手部２はオス継手部２１及びメス継手部２２を含む。オス継手部２１及びメス継手部２２は形状が互いに対応し、すなわち、オス継手部２１は他の１組の支持具モジュール１００のメス継手部２２に覆設するように結合されている。複数組の支持具モジュール１００が高さ方向ｈに沿って積み重ねられるように組み合わせられ（図３参照）、各種異なる高さの支持フレームを構成し、異なるサイズのウェハーカセットに適合させている。換言すれば、支持具モジュール１００は複数の支持板１を結合してモジュール化することで、製造コストを削減し（各種ウェハーカセットに単独で専用の支持フレーム型を製作しなくともよい）、支持具モジュール１００が汎用の部材となり、部材の使用の自由度が高まり、金属材質の継手部２を使用することにより製造の公差及び組み立ての公差を減少させ、精度を高める効果を達成する（金属製品の公差がプラスチック部材射出成形の誤差よりずっと小さくなる）。しかしながら本発明はこれに限られず、１組の支持具モジュール１００を他の組の支持具モジュール１００と組み合わせずに単独で使用し、金属材質の継手部２により公差を減少させて精度を高めてもよい。

【0025】

さらに、本実施例では、支持具モジュール１００は複数の支持板１を貫通する金属嵌め部材２３をさらに備え、この１対の継手部２（オス継手部２１及びメス継手部２２）は実際には金属嵌め部材２３の両端である。換言すれば、金属材質の継手部２は連接せずに複数の支持板１の相反する両側に設けられてもよく、複数の支持板１の金属嵌め部材２３の前後両端に埋設されてもよく、本発明はこれらに限られない。

【0026】

さらに、本実施例では、図１と図２に示すように、支持具モジュール１００は少なくとも１つの金属ポール３をさらに備えている。金属嵌め部材２３は中空であり、金属ポール３は金属嵌め部材２３を貫通する。金属ポール３は複数の組支持具モジュール１００に貫設され、上下がロックされると共にケース４中に固定されている（図３参照）。本実施例では、金属ポール３は円柱であるが、本発明はこれに限られず、金属ポール３が多角柱であってもよい。

【0027】

以下、本発明に係るウェハーカセット２００を図３乃至図７に基づいて説明する。本発明のウェハーカセット２００は、ケース４と、少なくとも２組の前述の支持具モジュール１００と、少なくとも２つの上面係合部５と、少なくとも２つの底部係合溝６と、を備えている。

【0028】

少なくとも２組の支持具モジュール１００はケース４内部の両側にそれぞれ設置され、すなわち、ケース４の両側板４４にそれぞれ隣接し、板状物の左右両側をそれぞれ支持している。ケース４内部の各側の支持具モジュール１００は１組または複数組になっており、各側に複数組の支持具モジュール１００を有している場合、複数の支持具モジュール１００は高さ方向ｈに沿って積み重ねられるように組み合わせられている。

【0029】

少なくとも２つの上面係合部５はケース４の上部板４１の内向きの一側にそれぞれ設けられている。図５にはケース４内の一側にある１組の上面係合部５を示す（対向する一側には他の１組の上面係合部５を有している）。なお、図５と図６に示すように、これら上面係合部５は開口部５１を有し、支持具モジュール１００の上部は１組の立方向ｄに沿って上面係合部５に係合している。本実施例では、組立方向ｄは高さ方向ｈに対し垂直になり、且つケース４の開口部はケース４内部の方向に向けられている。しかしながら本発明はこれに限られない。支持具モジュール１００の上面係合部５に係合している部材はオス継手部２１またはメス継手部２２、継手部２を被覆するプラスチック部材（支持板１の本体から上に向けて延伸する）、或いは金属ポール３でもよく、本発明はこれらに限定されない。

【0030】

少なくとも２つの底部係合溝６はケース４の底板４２の内向きの一側にそれぞれ設けられている。図７にはケース４内部の一側にある１組の底部係合溝６を示す（対向する一側には他の１組の底部係合溝６を有している）。図７に示されるように、支持具モジュール１００の底板は組立方向ｄに沿って底部係合溝６に位置決めされている。本実施例では、底部係合溝６の幅は組立方向ｄに沿って漸縮し、支持具モジュール１００の底板を位置限定させている。支持具モジュール１００の底板を底部係合溝６に係合した後、ねじで螺合する等の方式により支持具モジュール１００をさらに固定する。支持具モジュール１００の底部係合溝６に位置決めされている部材はオス継手部２１またはメス継手部２２、継手部２を被覆するプラスチック部材（支持板１の本体から下に向けて延伸する）、或いは金属ポール３でもよく、且本発明はこれに限られない。

【0031】

さらに、本実施例では、図６に示すように、上面係合部５が弾性により外に向けて展開する２つの翼部５２を有し、２つの翼部５２に挟まれるように開口部５１が形成されている。開口部５１は支持具モジュール１００の上部の幅よりやや小さく、支持具モジュール１００の上部を組立方向ｄに沿って開口部５１に近接させた際に、支持具モジュール１００の上部が２つの翼部５２を外に向けてやや展開し、支持具モジュール１００の上部が上面係合部５に係合した後に弾性により原位置に回復する。

【0032】

上面係合部５はサブ係合部５３をさらに有し、支持具モジュール１００の複数の上部位置を対応するように収容し、さらに堅固に組み立て可能にしている。

【0033】

さらに、本実施例では、図４を参照すれば、ウェハーカセット２００は、２組の支持具モジュール１００の間に設置され、ウェハーが反り返らないように複数のウェハーの中間部分を支持するための中央支持具７をさらに備えている。

【0034】

さらに、本実施例では、図８を参照すれば、ウェハーカセット２００は、ケース４のフロントカバー４３に設置されている４組のロック装置８をさらに備えている。各組のロック装置８はカム８１及び２つのラッチ８２を含み、２つのラッチ８２は互いに垂直になるようにカム８１に連結され、２つのラッチ８２の一端は上部板４１、底板４２、またはケース４の側板４４に各々干渉する。

【0035】

詳しくは、図９Ａと図１０Ａに示すように、何れか１つのラッチ８２の一端はフロントカバー４３に隣接する上部板４１、底板４２、或いは側板４４に向けられている。ラッチ８２の他端はカム８１のスライド溝８１２にスライド可能に連結されている。カム８１が外力を受けて回転すると、ラッチ８２の前記端がスライド溝８１２中でスライドする。また、スライド溝８１２はカム８１に対する円心の距離が徐々に変化するため、ラッチ８２がカム８１の回転に従って退縮または外に向けて突出し、フロントカバー４３に隣接する板に干渉する。各ロック装置８はフロントカバー４３に隣接する２つの板に同時に干渉し、フロントカバー４３に４組のロック装置８が設置されている場合、フロントカバー４３の各側辺を堅固にロックするかロックを解除する。

【0036】

さらに、本実施例では、カム８１は少なくとも１つの凸部８１１を有し、カム８１が回転すると、図９Ａ、図９Ｂが図１０Ａ、図１０Ｂのように変化する。ラッチ８２のカム８１に連結されている一端が凸部８１１により持ち上げられるように圧迫され、ラッチ８２の中段とフロントカバー４３との連結箇所には支持点Ｔが設けられ、ラッチ８２のフロントカバー４３に隣接する板（図中の側板４４）に向けられている前記端が逆方向に擺動する（図１０Ｂの矢印に示す）。フロントカバー４３及び全てのロック装置８の総重量はケース４の残りの部分の重量よりも軽いため、ラッチ８２の前記端が擺動して側板４４を押圧し、実質的にフロントカバー４３を後に向けてケース４に向けて引っ張る。本実施例の組立方向ｄはケース４の開口部の内部に向けられる方向であり、よって、本実施例のフロントカバー４３が組立方向ｄに沿って移動してケース４の残りの部分に密着する。つまり、凸部８１１により、ラッチ８２がフロントカバー４３に隣接する各板に干渉してロックすると、フロントカバー４３をさらに密着させ、外部の湿気や塵がケース４内に侵入するのを防ぐ。

【0037】

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。

【符号の説明】

【0038】

１００ 支持具モジュール
２００ ウェハーカセット
１ 支持板
１１ リブ
２ 継手部
２１ オス継手部
２２ メス継手部
２３ 金属嵌め部材
３ 金属ポール
４ ケース
４１ 上部板
４２ 底板
４３ フロントカバー
４４ 側板
５ 上面係合部
５１ 開口部
５２ 翼部
５３ サブ係合部
６ 底部係合溝
７ 中央支持具
８ ロック装置
８１ カム
８１１ 凸部
８１２ スライド溝
８２ ラッチ
ｄ 組立方向
ｈ 高さ方向
Ｔ 支持点

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9A】

【図9B】

【図10A】

【図10B】