特許 7537896 エアフィルタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-13

(45)【発行日】2024-08-21

(54)【発明の名称】エアフィルタ

(51)【国際特許分類】

   B01D 46/52 20060101AFI20240814BHJP

【ＦＩ】

B01D46/52 A

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020056458

(22)【出願日】2020-03-26

(65)【公開番号】P2021087941

(43)【公開日】2021-06-10

【審査請求日】2023-02-27

(31)【優先権主張番号】P 2019210815

(32)【優先日】2019-11-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000232760

【氏名又は名称】日本無機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000165

【氏名又は名称】弁理士法人グローバル・アイピー東京

(72)【発明者】

【氏名】関 和也

(72)【発明者】

【氏名】林 嗣郎

【審査官】塩谷 領大

(56)【参考文献】

【文献】特開平０９－２６２４２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－１８７４１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２４７９６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－２１７８１４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０１Ｄ ４６／００－４６／９０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

気体中の微粒子を捕集する濾材と、前記濾材を周状に囲む枠体とを備えるエアフィルタであって、
前記枠体の少なくとも一部の周上の部分と、前記部分と向き合う前記濾材の部分との間をシールするシール材であって、２００～５００℃の温度範囲での前記枠体の線膨張係数に対する前記温度範囲での前記シール材の線膨張係数の割合が１０～２００％であるセラミック材料から構成されるシール材と、
前記シール材と前記枠体との間に介在して配置され、前記シール材が前記枠体に沿って膨張又は収縮することを許容する、繊維質材料からなる緩衝材と、を備え、
前記枠体と前記濾材とが向き合う方向に沿った前記緩衝材の厚さに対する、前記枠体と前記濾材とが向き合う方向に沿った前記シール材の厚さの比は１～５であることを特徴とするエアフィルタ。

【請求項2】

前記緩衝材は、グラスウール又はロックウールである、請求項１に記載のエアフィルタ。

【請求項3】

前記セラミック材料は、結晶性シリカを含まず、非結晶性シリカ及びアルミナを含み、室温における粘度が２００００～５００００ｍＰａ・sであるペースト状の材料を焼結してなる、請求項１又は２に記載のエアフィルタ。

【請求項4】

前記枠体と前記濾材とが向き合う方向に沿った前記緩衝材の厚さは、１～１５ｍｍである、請求項１から３のいずれか１項に記載のエアフィルタ。

【請求項5】

前記枠体と前記濾材とが向き合う方向に沿った前記シール材の厚さは、３～２０ｍｍである、請求項１から４のいずれか１項に記載のエアフィルタ。

【請求項6】

前記温度範囲での前記シール材の線膨張係数は、前記温度範囲での前記枠体の線膨張係数の１０％以上９０％未満である、請求項１から５のいずれか１項に記載のエアフィルタ。

【請求項7】

２００～５００℃の気体を通過させるための、請求項１から６のいずれか１項に記載のエアフィルタ。

【請求項8】

前記濾材は、ジグザグ形状をなすようプリーツ加工されており、
前記シール材及び前記緩衝材は、プリーツの折り目が延びる方向に沿った前記濾材の両端部と、前記両端部それぞれと向き合う前記枠体の部分との間に配置されている、請求項１から７のいずれか１項に記載のエアフィルタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、高温の気体を清浄化するためのエアフィルタに関する。

【背景技術】

【0002】

高温の清浄化された空気を用いて、乾燥や滅菌の処理を行うために、耐熱性を有するエアフィルタ（耐熱フィルタ）が用いられている。エアフィルタは、例えば、プリーツ加工された濾材の山折りされた部分の内側にセパレータを配置してなるフィルタパックと、フィルタパックを周状に取り囲む枠体と、を備えている。このタイプのエアフィルタでは、濾材の折り目が延びる方向のフィルタパックの両端部と、両端部それぞれと向き合う枠体との間は、耐熱性を有する材料からなるシール材で封止されている。これにより、フィルタパックと枠体との間を気体が通過してしまうことが防止される。

【0003】

耐熱フィルタのシール材には、例えば、シリコーン樹脂系材料や、セラミック材料が用いられている。このうち、セラミック材料は、シリコーン樹脂系材料と比べ耐熱性が高く、より高温の空気を清浄化するための耐熱フィルタに用いるのに適している。

【0004】

従来、耐熱フィルタを高温で使用したときに、枠体とセラミック材料との熱膨張量差に起因してシール材が破損してしまうことを抑制するために、ステンレス鋼製フレームの線熱膨張係数と同じ線膨張係数になるように調整されたセラミック材料でシール材を構成した高温用フィルタが知られている（例えば特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】国際公開第２０１６／１８５５１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、上記高温用フィルタでは、線膨張係数がステンレス鋼製フレームと同じであるセラミック材料だけを用いるので、シール材の材料選択の自由度が制限される。また、ある温度では線膨張係数が同じ材料同士であっても、別の温度では線熱膨張係数が異なる場合があるため、結局は、熱膨張量差の発生を抑えられない場合がある。
ところで、線膨張係数が枠体の線膨張係数と異なるセラミック材料をシール材として用いると、エアフィルタを高温で使用したときに、シール材の表面に割れが表れ、割れた部分からシール材の微粒子が離脱し、下流側に流れる場合があることがわかった。

【0007】

本発明は、濾材と枠体の間にセラミック材料のシール材が配置されたエアフィルタにおいて、シール材からの発塵を抑制することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

セラミック材料からなるシール材は、一般に、ペースト状のセラミック材料を濾材に塗布し、焼結させて得られる。本発明者は、セラミック材料の焼結時にシール材の割れが発生し、これに起因して、使用中にセラミック材料からの発塵が起きることを突き止めた。

【0009】

本発明の一態様は、気体中の微粒子を捕集する濾材と、前記濾材を周状に囲む枠体とを備えるエアフィルタであって、
前記枠体の少なくとも一部の周上の部分と、前記部分と向き合う前記濾材の部分との間をシールするシール材であって、２００～５００℃の温度範囲での前記枠体の線膨張係数に対する前記温度範囲での前記シール材の線膨張係数の割合が１０～２００％であるセラミック材料から構成されるシール材と、
前記シール材と前記枠体との間に介在して配置され、前記シール材が前記枠体に沿って膨張又は収縮することを許容する、繊維質材料からなる緩衝材と、を備え、
前記枠体と前記濾材とが向き合う方向に沿った前記緩衝材の厚さに対する、前記枠体と前記濾材とが向き合う方向に沿った前記シール材の厚さの比は１～５であることを特徴とする。

【0010】

前記緩衝材は、グラスウール又はロックウールであることが好ましい。

【0011】

前記セラミック材料は、結晶性シリカを含まず、非結晶性シリカ及びアルミナを含み、室温における粘度が２００００～５００００ｍＰａ・sであるペースト状の材料を焼結してなることが好ましい。

【0012】

前記枠体と前記濾材とが向き合う方向に沿った前記緩衝材の厚さは、１～１５ｍｍであることが好ましい。

【0013】

前記枠体と前記濾材とが向き合う方向に沿った前記シール材の厚さは、３～２０ｍｍであることが好ましい。

【0014】

前記枠体と前記濾材とが向き合う方向に沿った前記緩衝材の厚さに対する、前記枠体と前記濾材とが向き合う方向に沿った前記シール材の厚さの比は１以上であることが好ましい。

【0015】

前記温度範囲での前記シール材の線膨張係数は、前記温度範囲での前記枠体の線膨張係数の１０％以上９０％未満であることが好ましい。

【0016】

前記エアフィルタは、２００～５００℃の気体を通過させる場合に好適である。

【0017】

前記濾材は、ジグザグ形状をなすようプリーツ加工されており、
前記シール材及び前記緩衝材は、プリーツの折り目が延びる方向に沿った前記濾材の両端部と、前記両端部それぞれと向き合う前記枠体の部分との間に配置されていることが好ましい。

【発明の効果】

【0018】

上述の態様によれば、濾材と枠体の間にセラミック材料のシール材が配置されたエアフィルタにおいて、シール材からの発塵を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本実施形態のエアフィルタを示す外観斜視図である。

【図2】エアフィルタを分解して示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本実施形態のエアフィルタについて説明する。本実施形態には、後述する種々の実施形態が含まれる。

【0021】

図１は、本実施形態のエアフィルタ１を示す外観斜視図である。図２は、エアフィルタ１を分解して示す図である。
エアフィルタ１は、濾材２と、セパレータ３と、枠体４と、シール材６と、緩衝材８と、を備えている。

【0022】

濾材２は、気体中の微粒子を捕集する部材である。
濾材２は、例えば、ガラス繊維、シリカ繊維、あるいはこれらの混合繊維からなる繊維体であり、例えば、不織布、ペーパ、綿、あるいはマットの形態を有している。濾材２の具体例として、ガラス繊維からなる、ガラス不織布、ガラス濾紙、グラスウール等が挙げられる。濾材２には、繊維同士を接着するバインダが含まれていてもよい。また、濾材２は、耐熱性を有する２枚の通気性支持材（例えば金網）の間に挟み込まれ、支持されていてもよい。

【0023】

図１に示す例において、濾材２は、プリーツ加工され、山折りと谷折りが交互に繰り返されたジグザグ形状を有している。

【0024】

セパレータ３は、濾材２の山折り、谷折りされた部分の内側のスペースのそれぞれに挿入され、プリーツの隣り合う間隔を保持する機能を有する。セパレータ３は、例えば、アルミニウム、ステンレス等の金属を材質とする薄板状の部材が波形状をなすようコルゲート加工されてなる。図１に示す例において、セパレータ３は、気体がエアフィルタ１を通過する方向（気流方向、Ｘ方向）に折り目が延びるよう配置されている。

【0025】

枠体４は、濾材を周状に取り囲む部材である。
枠体４は、図１に示す例において、気流方向に見て、矩形状の外形を有しており、四辺のそれぞれに沿って延びる、上面部４１、下面部４３、及び側面部４５，４７を有している。枠体４は、例えば、これら各部４１，４３，４５，４７と対応する複数の板材を組み合わせて作製される。板材の材質は、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス、あるいはセラミックである。ステンレスは、亜鉛又はアルミニウムでめっきされたものであってもよい。また、板材は、アルマイト処理、クロメート処理等により形成された皮膜を含むものであってもよい。

【0026】

シール材６は、枠体４の少なくとも一部の周上の部分と、この部分と向き合う濾材２の部分との間をシールする。図１に示す例において、シール材６は、上面部４１及び下面部４３と、濾材２との間をシールする。図１に示す例において、濾材２は、側面部４５，４７に対し、セパレータ３に押圧されて面接触することができるのに対し、上面部４１及び下面部４３に対しては面接触しないため、上面部４１及び下面部４３と濾材２との間のリークを防止するために、上面部４１及び下面部４３と濾材２との間に設けられることが好ましい。シール材６を備えることで、枠体４と濾材２の間に緩衝材８だけが配置されている場合と比べ、高いリーク防止効果が得られる。

【0027】

シール材６は、２００～５００℃の温度範囲での枠体４の線膨張係数（ＪＩＳ Ｚ２２８５：２００３）に対する上記温範囲でのシール材６の線膨張係数（ＪＩＳ Ｒ１６１８：２００２）の割合が１０～２００％であるセラミック材料から構成される。セラミック材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、ジルコニア等を含む材料が挙げられる。また、発がん性物質を含まないようにする観点から、セラミック材料に、結晶性シリカ（例えばクリストバライト）が含まれないことが望ましい。シール材６は、例えば、ペースト状あるいは液状のセラミック材料を焼結させることで形成される。このようなシール材６は、セラミック材料の焼結時に発生した割れ（クラック）を内部に有している場合がある。割れ自体は、シール材６内部の応力を緩和し、使用時に新たに割れが発生することを抑止する効果があるとともに、割れがシール材６の表面に達していなければ、使用中の発塵は起きないため、シール材６に、このような割れが内在していても、エアフィルタ１は使用可能である。

【0028】

シール材６のセラミック材料は、結晶性シリカを含まず、非結晶性シリカ及びアルミナを含み、室温（２３℃）における粘度が２００００～５００００ｍＰａ・ｓであるペースト状のセラミック材料を焼結してなることが好ましい。結晶性シリカ（結晶質シリカともいう）は、ＳｉＯ₂の結晶構造を有するシリカであり、非結晶性シリカ（非晶質シリカともいう）は、ＳｉＯ₂の結晶構造を有しないシリカである。このようなセラミック材料は、結晶性シリカを含まず、非結晶性シリカまたはアルミナを含むことで、シール材６の熱膨張係数を調整しやすい。また、このようなセラミック材料は、室温での粘度が上記範囲にあることで、焼結前において緩衝材８の内部に入り込み難いので、焼結後のシール材６の膨張又は収縮を許容する緩衝材８の後述する作用が良好に発揮される。また、室温での粘度が上記範囲にあるセラミック材料は、枠体４に沿って均一な厚さになるよう塗布しやすいので、焼結したシール材６に、厚さのムラが生じたり、孔があいたりすることを抑えられる。ペースト状のセラミック材料の水分を除いた成分全体は、５０質量％以上の非結晶性シリカ及びアルミナを含むことが好ましい。室温における上記粘度は、好ましくは２５０００～４５０００ｍＰａ・ｓである。

【0029】

２００～５００℃という温度範囲は、エアフィルタ１が使用されうる雰囲気の温度範囲である。上記温度範囲は、好ましくは、３００～４００℃である。なお、エアフィルタ１の使用中の雰囲気温度は、最高温度が上記温度範囲内にあればよく、例えば使用開始時等に２００℃未満であってもよい。上記した、枠体４の線膨張係数に対するシール材６の線膨張係数の割合は、上記温度範囲内の同じ温度における枠体４及びシール材６の線膨張係数を用いて計算される。本実施形態では、上記割合が１０～２００％であることで、枠体４及びシール材６の組み合わせを選択する自由度が高くなっている。上記割合が２００％を超えると、シール材６の枠体４に沿った（シール材６の長手方向の）熱膨張が側面部４５，４７によって規制されて圧縮応力が大きくなり、破損するおそれがある。上記割合が１０％未満であると、枠体４の熱膨張量が大きすぎて、緩衝材８が設けられていてもシール材６が引っ張られてしまい、シール材６に内在する割れが進展してシール材６の表面に表れるおそれがある。シール材６の表面に割れが存在していると、エアフィルタ１の使用中に、割れたシール材６の部分の壁面から、シール材６の微粒子が離脱し、エアフィルタ１を通過した下流側の気体が汚染されてしまう。上記割合は、好ましくは５０～１５０％である。

【0030】

シール材６の線膨張係数は、枠体４の線膨張係数より大きくてもよく、枠体４の線膨張係数と等しくてもよく、枠体４の線膨張係数より小さくてもよいが、枠体４の線膨張係数より大きいと、図１に示す例において、シール材６の長手方向（Ｙ方向）への熱膨張は、側面部４５，４７によって適度な力で規制されることでシール材６の割れは進展し難くなる点で、一実施形態によれば、シール材６の線膨張係数は、枠体４の線膨張係数より大きいことが好ましい。

【0031】

緩衝材８は、シール材６と枠体４との間に介在して配置された部材である。具体的に、緩衝材８は、シール材６及び枠体４の互いに向き合う表面に接して配置されている。緩衝材８は、シール材６の枠体４に沿った膨張又は収縮を許容する機能を有している。枠体４に沿った膨張又は収縮とは、シール材６と向き合う枠体４の表面の面内方向と平行な方向への膨張又は収縮を意味する。図１に示す例において、緩衝材８は、上面部４１とシール材６との間、及び、下面部４３及びシール材６との間の２箇所に配置されている。緩衝材８がシール材６と枠体４との間に配置されていることにより、エアフィルタ１の使用中に、シール材６が、枠体４に拘束されることなく、あるいは、枠体４に引っ張られることなく、膨張又は収縮することができる。本実施形態では、上述したように枠体４及びシール材６の組み合わせの選択の自由度が高い反面、選択した枠体４及びシール材６の組み合わせによっては、両者の熱膨張量差が大きくなる場合があるが、シール材６は、枠体４に対し相対的に膨張又は収縮することができるため、シール材６に内在する割れの進展は抑制される。これにより、発塵が効果的に抑制される。

【0032】

エアフィルタ１は、下記説明する製造方法によって製造することができる。
この製造方法は、気体中の微粒子を捕集する濾材と、濾材を周状に囲む枠体とを備えるエアフィルタの製造方法である。この製造方法は、シール材を形成するステップと、緩衝材を配置するステップと、を備える。
シール材を形成するステップでは、枠体の少なくとも一部の周上の部分と、この部分と向き合う濾材の部分との間をシールするシール材であって、２００～５００℃の温度範囲での枠体の線膨張係数に対するこの温度範囲でのシール材の線膨張係数の割合が１０～２００％であるセラミック材料から構成されるシール材を形成する。
緩衝材を配置するステップでは、シール材の枠体に沿った膨張又は収縮を許容する緩衝材を、シール材と枠体との間に介在させるよう配置する。

【0033】

この製造方法において、濾材、枠体、セパレータ、エアフィルタ、シール材、緩衝材は、上記実施形態の濾材２、枠体４、セパレータ３、エアフィルタ１、シール材６、緩衝材８と同様に構成される。

【0034】

シール材を形成するステップ及び緩衝材を配置するステップは、例えば、下記（１）あるいは（２）の要領で行うことができる。
（１）枠体４の下面部４３の上面に緩衝材８を配置し、配置した緩衝材８に、ペースト状のシール材を塗布し、フィルタパックの濾材２及びセパレータ３を、塗布したシール材に付着させる。このとき、側面部４５，４７は、下面部４３に接合されていることが好ましい。次いで、上面部４１を、使用時に下面部４３の側を向く表面を上に向けて、この表面に別の緩衝材８を配置し、配置した緩衝材８に、ペースト状のシール材を塗布し、下面部４３及び下面部４３上に配置した上記緩衝材８に付着させた上記濾材２及びセパレータ３の側と反対側の端部を、塗布したシール材に付着させる。このとき、側面部４５，４７と上面部４１を接合する。次いで、得られた未焼成のエアフィルタを、例えば炉内に配置し、シール材を焼結させる。
（２）枠体４の下面部４３と向き合う濾材２及びセパレータ３の部分にペースト状のシール材を塗布し、塗布したシール材の上に緩衝材８を載置し、その上に下面部４３を配置する。これを上下反転させ、上面部４１と向き合う濾材２及びセパレータ３の部分にペースト状のシール材を塗布し、塗布したシール材の上に別の緩衝材８を配置し、その上に上面部４１を配置する。上面部４１には、側面部４５，４７を接合していることが好ましい。次いで、得られた未焼成のエアフィルタを、例えば炉内に配置し、シール材を焼結させる。

【0035】

緩衝材８は、例えば、上面部４１、下面部４３の内壁（エアフィルタ１の内側を向く表面）全体に沿って配置されることが好ましい。シール材６は、緩衝材８からはみ出さない大きさであることが好ましい。

【0036】

シール材を形成するステップでは、ペースト状あるいは液状のシール材を、自然乾燥させてもよいが、高温で焼結させることが好ましい。焼結は、例えば、１００～２００℃の乾燥雰囲気下で行われる。このとき、シール材の割れの発生を抑えるために、３～１６℃／分の昇温速度で焼結温度まで昇温させることが好ましい。ペースト状のシール材は、上述したように、結晶性シリカを含まず、非結晶性シリカ及びアルミナを含み、室温（２３℃）における粘度が２００００～５００００ｍＰａ・ｓであることが好ましい。

【0037】

一実施形態によれば、緩衝材８は、繊維質材料からなることが好ましい。繊維質材料からなる緩衝材８は、容易に伸縮するので、枠体４に沿ったシール材６の膨張又は収縮を許容する効果（緩衝作用ともいう）が大きい。また、繊維質材料からなる緩衝材８は、枠体４に密着しないため、枠体４に対する滑りやすさが確保される。さらに、緩衝材８を、シール材６と枠体４の間に圧縮した状態で配置することで、繊維質材料の反発力によってシール材６と枠体４の間のシール性が得られる。繊維質材料は、例えば、ガラス、セラミック、鉱物を材質とする。加えて、繊維質材料からなる緩衝材８は、シール材６の焼結時に、シール材６とともに収縮することができるため、焼結時のシール材６の割れの発生を抑える効果も得られる。シール材６の焼結時は、シール材６が収縮する一方で、枠体４は膨張するため、焼結時に、シール材６と枠体４との間に緩衝材８が介在している場合は効果的である。

【0038】

セラミックは、例えば、シリカ、アルミナ、ジルコニア等を含む材料である。なお、緩衝材８にバインダが含まれていると、使用中に溶けあるいは分解して下流側に流れるおそれがあるため、バインダは含まれていないことが好ましい。繊維質材料を構成する繊維の平均繊維径は、例えば、０．０１～１０μｍである。緩衝材８の形態は、例えば、綿状、スポンジ状（多孔質状）である。好ましい緩衝材８の例として、グラスウール、ロックウールを挙げることができる。

【0039】

一実施形態によれば、緩衝材８とシール材６との間に、別の部材が配置されていないことが好ましい。別の部材とは、例えば、濾紙、不織布等のシート状の繊維体である。このような部材が緩衝材８とシール材６との間に介在していると、シール材６の焼結時に割れが発生することを抑える効果が弱まる場合がある。

【0040】

一実施形態によれば、シール材６の厚さは、３～２０ｍｍであることが好ましい。シール材６の厚さは、好ましくは５～１５ｍｍである。シール材６の厚さは、乾燥状態（焼結後の状態）での厚さを意味する。シール材６は、薄いほど、焼結時に割れを発生させやすいことがわかった。その理由は、焼結時にシール材６から水分が抜けるときにシール材６が収縮することでシール材６には大きな内部応力が発生するが、薄いシール材６だと、その大きさに耐えられないためと考えられる。一方、シール材６の厚さが厚すぎると、エアフィルタ１を軽量化できない。

【0041】

一実施形態によれば、緩衝材８の厚さは、１～１５ｍｍであることが好ましい。緩衝材８の厚さは、好ましくは３～１０ｍｍである。

【0042】

濾材２とセパレータ３の間では、図１の上下方向への膨張量又は収縮量の差が大きい場合がある。この場合に、緩衝材８の厚さが厚すぎると、緩衝材８は、枠体４に沿った方向と直交する方向（縦方向、Ｚ方向）にも伸縮するため、濾材２及びセパレータ３のそれぞれから力を受けると、シール材６に内在する割れが縦方向に進展し、シール材６の表面に達しやすくなる。このため、発塵しやすくなる。特に、シール材６の厚さが厚い場合は、割れたシール材６の部分の壁面が大きいため、発塵箇所が多くなる。また、緩衝材８の厚さが厚すぎると、シール材６が自重により緩衝材８を枠体４との間でさらに圧縮するように下方に移動することで、その反対側の、上面部４１と対向する緩衝材８と上面部４１との間に隙間があいて、リークが発生するおそれがある。この問題は、特に、シール材６の厚さが厚い場合に顕著となる。これらの観点から、一実施形態によれば、緩衝材８の厚さに対するシール材６の厚さの比は１以上であることが好ましく、１．２以上であることがより好ましい。

【0043】

一方、緩衝材８の厚さが薄すぎると、ペースト状のシール材６を塗布したときに、局所的にシール材６が枠体４に達し枠体４と接してしまう場合がある。このため、緩衝材８による緩衝作用が制限され、シール材６の割れの進展を十分に抑えることができない場合がある。また、緩衝材８の厚さが薄すぎると、シール材６と枠体４との間で圧縮された場合の反発力が弱く、シール材６と枠体４との間に隙間があいてリークする場合がある。これらの観点から、一実施形態によれば、上記比は、５以下であることが好ましく、３以下であることがより好ましい。

【0044】

緩衝材８の厚さは、緩衝材８をシール材６と枠体４の間に配置した状態で、長手方向（Ｙ方向）に沿って複数（３箇所以上）の位置で測定した厚さの平均値をいう。緩衝材８の厚さは、例えばノギスを用いて測定できる。

【0045】

一実施形態によれば、シール材６の線膨張係数は、２００～５００℃の温度範囲での枠体４の線膨張係数の１０％以上９０％未満であることも好ましい。シール材６の線膨張係数が枠体４の線膨張係数より小さいと、シール材６の長手方向への熱膨張が側面部４５，４７によって適度に規制されることで割れの進展を抑える上述した効果が得られ難くなる点で不利であるが、シール材６と枠体４との間には、上述したように、緩衝材８が介在して配置されているため、シール材６の熱膨張が側面部４５，４７によって規制されなくても、割れの進展を抑制する効果は得られる。ここで、枠体４の材質のうち、例えばステンレスは、高温域での線膨張係数が、低温域と比べ高く、エアフィルタ１の使用時の枠体４の熱膨張量は、焼結時と比べ大きい。このため、シール材６が枠体４に接していると、シール材６が枠体４に大きく引っ張られ、シール材６の割れが容易に進展し、発塵しやすい。しかし、この実施形態によれば、このようなステンレスを枠体４の材質として選択しつつ、ステンレスより線膨張係数の小さい種々のセラミック材料をシール材６として選択でき、そのような場合にも、シール材６の割れの進展を抑制し、発塵を抑えることができる。

【0046】

エアフィルタ１は、例えば、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタの性能を有している。ＨＥＰＡフィルタは、定格風量で粒径０．３μｍの粒子に対して９９．９７％以上の捕集効率を有し、かつ初期の圧力損失が２４５Ｐａ以下であるフィルタである。

【0047】

エアフィルタ１は、高温で気体を清浄化する種々の用途に用いることができる。例えば、焼却炉から排出される排ガスの清浄化、半導体製造プロセスで扱う部品の乾燥を行う乾燥炉や、医療器具等の滅菌を行う滅菌炉内の空気の清浄化、等に用いられる。エアフィルタ１は、例えば、焼却施設、半導体製造施設、病院、研究施設等の上記各炉と接続された気流の流路の途中の部分に設置される。

【0048】

以上、本発明のエアフィルタについて詳細に説明したが、本発明のエアフィルタは上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。

【符号の説明】

【0049】

１ エアフィルタ
２ 濾材
３ セパレータ
４ 枠体
６ シール材
８ 緩衝材
４１ 上面部
４３ 下面部
４５，４７ 側面部

【図1】

【図2】