特許 7538606 アライメント装置、アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-14

(45)【発行日】2024-08-22

(54)【発明の名称】アライメント装置、アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/68 20060101AFI20240815BHJP

   B23Q 1/62 20060101ALI20240815BHJP

   B23Q 1/48 20060101ALI20240815BHJP

   F16C 29/06 20060101ALI20240815BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 F

B23Q1/62 B

B23Q1/48 B

F16C29/06

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020022663

(22)【出願日】2020-02-13

(65)【公開番号】P2021129019

(43)【公開日】2021-09-02

【審査請求日】2022-12-09

(73)【特許権者】

【識別番号】390029805

【氏名又は名称】ＴＨＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100141139

【弁理士】

【氏名又は名称】及川 周

(74)【代理人】

【識別番号】100161506

【弁理士】

【氏名又は名称】川渕 健一

(74)【代理人】

【識別番号】100188891

【弁理士】

【氏名又は名称】丹野 拓人

(72)【発明者】

【氏名】廣田 淳

(72)【発明者】

【氏名】山本 冬起

【審査官】宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】特開昭６１－２３０８３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－０２５１６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／０１７９８８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】実開平０３－１１７５３７（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

Ｂ２３Ｑ １／６２

Ｂ２３Ｑ １／４８

Ｆ１６Ｃ ２９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ベース部材と、
前記ベース部材と対向するテーブル部材と、
前記ベース部材と前記テーブル部材との対向領域の外側から、前記テーブル部材の側壁部を支持すると共に、前記テーブル部材に対し、少なくとも前記ベース部材と前記テーブル部材とが対向する対向方向と直交する２軸直交方向に配置された複数のアクチュエータと、を備え、
前記複数のアクチュエータのそれぞれは、
前記側壁部に取り付けられ、前記２軸直交方向のうち、前記側壁部に沿う方向に前記テーブル部材を案内する第１直動装置と、
前記第１直動装置を支持し、前記２軸直交方向のうち、前記側壁部に近接離反する方向に前記テーブル部材を案内すると共に、前記対向方向に延びる軸回りの前記テーブル部材の回転を許容する隙間が形成された移動体及び駆動体を有する第２直動装置と、を備え、
前記第２直動装置の駆動体は、ねじ軸であり、
前記第２直動装置の移動体は、前記ねじ軸の回転により移動する移動プレートであり、
前記移動プレートが、前記第１直動装置を支持している、ことを特徴とするアライメント装置。

【請求項2】

前記複数のアクチュエータのそれぞれは、
前記テーブル部材を前記ベース部材に押し付ける付勢部材を備える、ことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。

【請求項3】

ベース部材と、
前記ベース部材と対向するテーブル部材と、
前記ベース部材と前記テーブル部材との対向領域の外側から、前記テーブル部材の側壁部を支持すると共に、前記テーブル部材に対し、少なくとも前記ベース部材と前記テーブル部材とが対向する対向方向と直交する２軸直交方向に配置された複数のアクチュエータと、を備え、
前記複数のアクチュエータのそれぞれは、
前記側壁部に取り付けられ、前記２軸直交方向のうち、前記側壁部に沿う方向に前記テーブル部材を案内する第１直動装置と、
前記第１直動装置を支持し、前記２軸直交方向のうち、前記側壁部に近接離反する方向に前記テーブル部材を案内すると共に、前記対向方向に延びる軸回りの前記テーブル部材の回転を許容する隙間が形成された移動体及び駆動体を有する第２直動装置と、
前記テーブル部材を前記ベース部材に押し付ける付勢部材と、を備える、ことを特徴とするアライメント装置。

【請求項4】

前記テーブル部材は、前記側壁部として、前記２軸直交方向のうちの第１方向に延びる第１側壁部と、前記２軸直交方向のうちの前記第１方向と異なる第２方向に延びる第２側壁部と、を備え、
前記複数のアクチュエータは、前記第１側壁部において前記第１方向に隙間をあけて取り付けられた一対の第１アクチュエータと、前記第２側壁部に取り付けられた第２アクチュエータと、を含む、ことを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載のアライメント装置。

【請求項5】

対象物に取り付けられ、第１ストローク方向に前記対象物を案内する第１直動装置と、
前記第１直動装置を支持する移動プレートと、回転によって前記移動プレートを第２ストローク方向に移動させる駆動体と、を有し、前記移動プレートと前記駆動体との間に、前記第１ストローク方向及び前記第２ストローク方向のそれぞれと直交する方向に延びる軸回りの前記対象物の回転を許容する隙間が形成された第２直動装置と、
前記移動プレートを前記第２ストローク方向に付勢する付勢部材と、を備える、ことを特徴とするアクチュエータ。

【請求項6】

前記第１ストローク方向と前記第２ストローク方向は、互いに異なる方向である、ことを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、アライメント装置、アクチュエータに関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来のアライメント装置は、ベース部材とテーブル部材との間に、テーブル部材を平面移動（Ｘ方向の移動及びＹ方向の移動）させる直動装置を設けるのが通常であったため、テーブル部材の高さ（Ｚ方向の寸法）が大きく、スペースの制約のあるユニット（例えばプロジェクターなどの投影装置）には使用できないという課題があった。

【0003】

下記特許文献１には、アライメント装置の一つとして、ベース部材とテーブル部材との対向領域の外側に直動装置を設け、テーブル部材の外側からテーブル部材を移動させるテーブル装置が開示されている（特許文献１の図５及び図６など参照）。これにより、テーブル部材の下面をベース部材の上面に接触させるようにして、テーブル部材をガイドすることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１６－１００５３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上記テーブル装置の直動装置は、ロッド及び軸受（回転案内）を介してテーブル部材に接続されている。テーブル装置は、直動装置を含む複数台のアクチュエータを備えており、その中の２台並んだアクチュエータの作動量を変えることで、θＺ方向（回転方向）にテーブル部材を移動させることができる。しかしながら、上記回転案内を設けると、部品点数が増加すると共に、装置全体の重量が増加するという課題があった。

【0006】

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、少ない部品点数でテーブル部材をＸ、Ｙ、θＺ方向に移動でき、且つ、テーブル部材の高さを小さくできるアライメント装置、及び、それに適したアクチュエータの提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するために、本発明のアライメント装置は、ベース部材と、前記ベース部材と対向するテーブル部材と、前記ベース部材と前記テーブル部材との対向領域の外側から、前記テーブル部材の側壁部を支持すると共に、前記テーブル部材に対し、少なくとも前記ベース部材と前記テーブル部材とが対向する対向方向と直交する２軸直交方向に配置された複数のアクチュエータと、を備え、前記複数のアクチュエータのそれぞれは、前記側壁部に取り付けられ、前記２軸直交方向のうち、前記側壁部に沿う方向に前記テーブル部材を案内する第１直動装置と、前記第１直動装置を支持し、前記２軸直交方向のうち、前記側壁部に近接離反する方向に前記テーブル部材を案内すると共に、前記対向方向に延びる軸回りの前記テーブル部材の回転を許容する隙間が形成された移動体及び駆動体を有する第２直動装置と、を備える。

【0008】

また、本発明のアクチュエータは、対象物に取り付けられ、第１ストローク方向に前記対象物を案内する第１直動装置と、前記第１直動装置を支持する移動プレートと、回転によって前記移動プレートを第２ストローク方向に移動させる駆動体と、を有し、前記移動プレートと前記駆動体との間に、前記第１ストローク方向及び前記第２ストローク方向のそれぞれと直交する方向に延びる軸回りの前記対象物の回転を許容する隙間が形成された第２直動装置と、前記移動プレートを前記第２ストローク方向に付勢する付勢部材と、を備える。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、少ない部品点数でテーブル部材をＸ、Ｙ、θＺ方向に移動でき、且つ、テーブル部材の高さを小さくできるアライメント装置、及び、それに適したアクチュエータが得られる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態におけるアライメント装置の斜視図である。

【図2】本発明の実施形態におけるアライメント装置の平面図である。

【図3】本発明の実施形態におけるアクチュエータの斜視図である。

【図4】図３に示す矢視Ａ－Ａ断面図である。

【図5】本発明の実施形態におけるアクチュエータが備える第１直動装置の構成図である。

【図6】本発明の実施形態におけるアライメント装置の回転動作時の平面図である。

【図7】本発明の実施形態におけるアライメント装置の回転動作時の平面図である。

【図8】本発明の実施形態におけるアライメント装置の平面（水平）動作時の平面図である。

【図9】本発明の実施形態におけるアライメント装置の平面（水平）動作時の平面図である。

【図10】本発明の実施形態におけるアライメント装置の平面（水平）動作時の平面図である。

【図11】本発明の実施形態におけるアライメント装置の平面（水平）動作時の平面図である。

【図12】本発明の実施形態の一変形例におけるアライメント装置の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下に示す実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために、例を挙げて説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。

【0012】

図１は、本発明の実施形態におけるアライメント装置１の斜視図である。図２は、本発明の実施形態におけるアライメント装置１の平面図である。
これらの図に示すように、アライメント装置１は、テーブル部材１０と、ベース部材２０と、複数のアクチュエータ３０と、を備えている。

【0013】

テーブル部材１０は、ベース部材２０に重なるようにベース部材２０と対向して配置されている。複数のアクチュエータ３０は、ベース部材２０とテーブル部材１０との対向領域４０の外側から、テーブル部材１０の側壁部１２を支持する。また、複数のアクチュエータ３０は、少なくともベース部材２０とテーブル部材１０とが対向する対向方向と直交する２軸直交方向に配置されている。

【0014】

なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。Ｚ方向は、テーブル部材１０とベース部材２０とが対向する対向方向であり、Ｘ方向は、対向方向（Ｚ方向）と直交する２軸直交方向のうちの第１方向であり、Ｙ方向は、当該２軸直交方向のうちの第２方向である。

【0015】

テーブル部材１０は、ベース部材２０とＺ方向で対向する平面部１１と、平面部１１の端縁に立設する側壁部１２と、を備えている。平面部１１は、図２に示す平面視で矩形に形成されている。なお、平面部１１は、Ｘ－Ｙ平面に沿って延びる平面形状であれば、図２に示す矩形に限定されるものではない。

【0016】

側壁部１２は、図１に示すように、上述した２軸直交方向のうちの第１方向（Ｘ方向）に延びる第１側壁部１２Ａと、２軸直交方向のうちの第１方向と異なる第２方向（Ｙ方向）に延びる第２側壁部１２Ｂと、を備えている。第１側壁部１２Ａは、平面部１１のＸ方向に延びる一辺の端縁から、ベース部材２０と反対側（＋Ｚ側）に立設している。第２側壁部１２Ｂは、平面部１１のＹ方向に延びる一辺の端縁から、ベース部材２０と反対側（＋Ｚ側）に立設している。

【0017】

複数のアクチュエータ３０は、第１側壁部１２Ａにおいて第１方向（Ｘ方向）に隙間をあけて取り付けられた一対の第１アクチュエータ３０Ａ１，３０Ａ２と、第２側壁部１２Ｂに取り付けられた第２アクチュエータ３０Ｂと、を含む。第１アクチュエータ３０Ａ１，３０Ａ及び第２アクチュエータ３０Ｂは、配置が異なるだけで、構成は同一である。
以下、アクチュエータ３０の構成について説明する。

【0018】

図３は、本発明の実施形態におけるアクチュエータ３０の斜視図である。図４は、図３に示す矢視Ａ－Ａ断面図である。図５は、本発明の実施形態におけるアクチュエータ３０が備える第１直動装置６０の構成図である。
図３に示すように、アクチュエータ３０は、ケース５０と、第１直動装置６０と、第２直動装置８０と、を備えている。ケース５０は、ボルト５１を介してベース部材２０に固定されている。

【0019】

第１直動装置６０は、図１に示すように、側壁部１２に取り付けられ、２軸直交方向のうち、側壁部１２に沿う方向にテーブル部材１０を案内する。例えば、第１アクチュエータ３０Ａ１の第１直動装置６０であれば、第１側壁部１２Ａに取り付けられ、２軸直交方向のうち、第１側壁部１２Ａに沿う方向（Ｘ方向、第１ストローク方向）にテーブル部材１０を案内する。第１アクチュエータ３０Ａ２においても同様である。なお、第２アクチュエータ３０Ｂにおいては、第２側壁部１２Ｂに取り付けられ、第２側壁部１２Ｂに沿う方向（Ｙ方向、第２ストローク方向）にテーブル部材１０を案内する。

【0020】

図６に示すように、第１直動装置６０は、長手方向に沿って転動体転走溝６３が設けられた軌道レール６１と、転動体転走溝６３に対向する負荷転動体転走溝６４が設けられたスライダブロック６２と、転動体転走溝６３と負荷転動体転走溝６４との間に配置された複数のボール６５（転動体）と、を備える。

【0021】

軌道レール６１は、断面視略矩形状の長尺部材である。軌道レール６１の幅方向（図６において紙面左右方向）の外側面６１ｂには、軌道レール６１の長手方向（図６において紙面垂直方向）に沿って転動体転走溝６３が形成されている。転動体転走溝６３は、外側面６１ｂに対して略円弧状に窪んでいる。この転動体転走溝６３は、軌道レール６１の左右に一対で形成されている。

【0022】

軌道レール６１には、対象物（後述する図４に示す移動プレート８２）に固定されるための固定孔６６（軌道体固定孔）が形成されている。固定孔６６は、軌道レール６１の厚み方向（図６において紙面上下方向）に貫通して形成されている。固定孔６６には、軌道レール６１を固定するボルト（不図示）を、軌道レール６１の上面６１ａよりも低い位置に位置させる座ぐり６６ａが形成されている。

【0023】

スライダブロック６２は、ブロック本体６７と、ブロック本体６７に取り付けられた蓋体６８と、を備える。ブロック本体６７は、軌道レール６１を収容するレール収容溝６９を有する。レール収容溝６９は、ブロック本体６７の下面に開口している。ブロック本体６７の上面である取付面６７ａには、対象物（テーブル部材１０の側壁部１２）を固定するための固定孔７０（移動体固定孔）が形成されている。固定孔７０は、ブロック本体６７の厚み方向に所定の深さで形成されている。固定孔７０は、ネジ孔であり、上記対象物を固定するボルト７２（図４参照）が螺合する。

【0024】

レール収容溝６９には、軌道レール６１の転動体転走溝６３に対向する負荷転動体転走溝６４が形成されている。負荷転動体転走溝６４は、レール収容溝６９の内側面に対して円弧状に窪んでいる。この負荷転動体転走溝６４は、軌道レール６１を挟むように、スライダブロック６２の左右に一対で形成されている。負荷転動体転走溝６４は、軌道レール６１の転動体転走溝６３と対向し、負荷をかけた状態でボール６５を転動させる負荷転動体転走路Ｃ１を形成する。

【0025】

第１直動装置６０の一例である有限ストローク型リニアガイドは、転動体転走溝６３と負荷転動体転走溝６４との間にケージ（転動体保持部材）が配置され、ボール６５を回転自在に保持するものである。但し、ケージが配置されていないボール６５だけでも同様の効果が得られる。ボール６５は、軌道レール６１とスライダブロック６２との間に介在して、軌道レール６１に対するスライダブロック６２の移動を円滑に行わせるものである。

【0026】

なお、第１直動装置６０は有限ストローク型に限らず、無限循環型リニアガイドでも、軌道レール６１に対するスライダブロック６２の移動を円滑に行わせることができる。ブロック本体６７には、無負荷転動体転走路Ｃ２が形成されている。無負荷転動体転走路Ｃ２は、ブロック本体６７を長手方向に貫通して形成されている。無負荷転動体転走路Ｃ２の内径は、ボール６５のボール径よりも大きく、ボール６５に負荷をかけないようになっている。この無負荷転動体転走路Ｃ２は、負荷転動体転走溝６４（負荷転動体転走路Ｃ１）に対応して、スライダブロック６２の左右に一対で形成されている。

【0027】

蓋体６８は、ブロック本体６７の長手方向の両端面に取り付けられている。蓋体６８は、ブロック本体６７と同様に、軌道レール６１を収容するレール収容溝７１を有する。蓋体６８には、ブロック本体６７の両端面と対向する対向面に、転動体方向転換路Ｃ３が形成されている。一対の転動体方向転換路Ｃ３は、負荷転動体転走路Ｃ１と無負荷転動体転走路Ｃ２の両端をそれぞれ連結し、ボール６５の無限循環路Ｃを形成する。

【0028】

無限循環路Ｃは、軌道レール６１の長手方向に延びる一対の直線状部分（負荷転動体転走路Ｃ１及び無負荷転動体転走路Ｃ２）と、この一対の直線状部分の端部同士を連結する一対の半円弧曲線状部分（転動体方向転換路Ｃ３）とから構成される。本実施形態では、軌道レール６１の幅方向において間隔をあけ、軌道レール６１の長手方向に沿って平行に延在するように２条の無限循環路Ｃが形成される。

【0029】

本実施形態のボール６５は、無限循環路Ｃの内部にほぼ隙間無く配設されて、無限循環路Ｃを循環する。なお、第１直動装置６０は、左右に２条ずつ、計４条の無限循環路Ｃが形成されるものを使用してもよい。

【0030】

図４に示すように、第２直動装置８０は、第１直動装置６０を支持し、２軸直交方向のうち、側壁部１２に近接離反する方向（側壁部１２の面直方向とも言う）にテーブル部材１０を案内する。例えば、第１アクチュエータ３０Ａ１の第２直動装置８０であれば、２軸直交方向のうち、第１側壁部１２Ａに近接離反する方向（Ｙ方向）にテーブル部材１０を案内する。第１アクチュエータ３０Ａ２においても同様である。なお、第２アクチュエータ３０Ｂにおいては、２軸直交方向のうち、第２側壁部１２Ｂに近接離反する方向（Ｘ方向）にテーブル部材１０を案内する。

【0031】

第２直動装置８０は、側壁部１２に近接離反する方向に延びるねじ軸８１（駆動体）と、ねじ軸８１の回転により側壁部１２に近接離反する方向に移動する移動プレート８２（移動体）と、を備えている。移動プレート８２は、平面部８２ａと、逃げ部８２ｂと、支持部８２ｃと、を有する。平面部８２ａは、ねじ軸８１に螺合するねじ孔が形成されている。平面部８２ａは、側壁部１２に近接して配置され、側壁部１２と平行にＺ方向に延びている。

【0032】

逃げ部８２ｂは、平面部８２ａの上端部に連接され、側壁部１２から離間する方向に延びている。逃げ部８２ｂは、第１直動装置６０の寸法分、側壁部１２から離間する方向に逃げている。支持部８２ｃは、逃げ部８２ｂの側壁部１２から離間する方向の先端部に連接され、側壁部１２と平行にＺ方向に立設している。支持部８２ｃには、上述した第１直動装置６０の軌道レール６１が、ボルト７３及びナット７４を介して固定されている。

【0033】

ねじ軸８１は、図４に示すように、軸受８３を介してケース５０に支持されている。軸受８３の外輪は、バネ受け部材８４を介してケース５０に固定されている。ねじ軸８１には、ウォームホイール８５が取り付けられている。ウォームホイール８５は、ねじ軸８１に螺合する固定ナット８６によって、軸受８３の内輪と共に、ねじ軸８１に固定（軸受８３と共締め）されている。

【0034】

ウォームホイール８５は、図３に示すように、ケース５０に支持されたウォームシャフト８８と噛み合っている。ウォームシャフト８８は、ギアボックス８９を介してモータ９０と接続されている。モータ９０は、例えば、ステッピングモータなどが好ましい。ケース５０は、ウォームシャフト８８の上方に、ギアボックス８９及びモータ９０を支持するモータブラケット５２を備えている。モータブラケット５２は、ボルト５３を介してケース５０に固定されている。

【0035】

ウォームシャフト８８の両端部は、軸受５５によって軸支される。ウォームシャフト８８の下端を軸支する軸受５５は、ケース５０に固定されている。ウォームシャフト８８の上端を軸支する軸受５５は、モータブラケット５２の下方に横架された軸受ブラケット５４に固定されている。軸受ブラケット５４は、図示しないボルトを介してケース５０に支持されている。

【0036】

上記構成のアクチュエータ３０によれば、モータ９０及びギアボックス８９を介してウォームシャフト８８を回転させると、図４に示すように、ウォームシャフト８８に噛み合うウォームホイール８５が回転する。ウォームホイール８５が回転すると、ウォームホイール８５と共にねじ軸８１（駆動体）が軸回りに回転し、ねじ軸８１に螺合する移動プレート８２（移動体）が、側壁部１２に近接離反する方向にねじ送りされる。これにより、ベース部材２０に対してテーブル部材１０をＸ方向やＹ方向に平面移動させることができる。

【0037】

ところで、ねじ軸８１と移動プレート８２との間には、ベース部材２０に対してテーブル部材１０をθＺ方向（第１ストローク方向及び第２ストローク方向のそれぞれと直交する方向に延びる軸回り）に移動（回転）させるための隙間（クリアランス）が形成されている。後述する図６に示すように、２台の第１アクチュエータ３０Ａ１，３０Ａ２のそれぞれの第２直動装置８０におけるねじ軸８１の送り量を異ならせることで、テーブル部材１０をθＺ方向に移動（回転）させることができる。つまり、アクチュエータ３０は、他の駆動方向のアクチュエータ３０の駆動は第１直動装置６０で受け、テーブル部材１０の回転はねじ軸８１と移動プレート８２のねじ部のクリアランスで受ける。

【0038】

図４に示すように、移動プレート８２とバネ受け部材８４との間には、移動プレート８２をねじ軸８１が延びるＹ方向（第２ストローク方向）に付勢する付勢部材８７が配置されている。本実施形態の付勢部材８７は、圧縮ばねであり、ベース部材２０に押し付けるようにテーブル部材１０を付勢する。これにより、付勢部材８７は、上述したねじ軸８１と移動プレート８２との隙間によるテーブル部材１０のガタツキを抑制する。

【0039】

詳しくは、付勢部材８７は、Ｚ方向において、ねじ軸８１と第１直動装置６０との間に配置されている。これにより、移動プレート８２に、ねじ軸８１を支点とし、第１直動装置６０を作用点とする回転モーメントが発生する。このため、ベース部材２０にテーブル部材１０の平面部１１が近接するように移動プレート８２を付勢することができる。これによって、テーブル部材１０の下面をベース部材２０の上面に接触させるようにして、テーブル部材１０をガイドすることができる。

【0040】

図６及び図７は、本発明の実施形態におけるアライメント装置１の回転動作時の平面図である。
例えば、テーブル部材１０を左回転させる場合、図６に示すように、第１アクチュエータ３０Ａ１（詳しくは第２直動装置８０の移動プレート８２、以下同じ）を第１側壁部１２Ａに近接する方向にｍ１だけ駆動させ、第１アクチュエータ３０Ａ２を第１側壁部１２Ａに離反する方向にｍ２だけ駆動させる。

【0041】

そうすると、テーブル部材１０は、全体がＺθ方向に移動（回転）すると共に、その中心Ｐが符号Ｍの方向にずれた状態となる。仮にＭの方向が紙面４５°方向の場合、図７に示すように、第２アクチュエータ３０Ｂを第２側壁部１２Ｂに近接する方向にｍ３だけ駆動させると、図６においてずれた中心Ｐが元の位置にもどり、テーブル部材１０の全体が左回転した状態となる。

【0042】

テーブル部材１０の右回転は、上述した駆動量は同じで、ｍ１～ｍ３の矢印の向きを逆にすることで可能となる。なお、Ｍの方向が紙面４５°方向の場合でなくとも、以下に説明する平面動作を組み合わせることで、テーブル部材１０の中心Ｐを元の位置に戻すことができる。

【0043】

図８～図１１は、本発明の実施形態におけるアライメント装置１の平面（水平）動作時の平面図である。
例えば、図８に示すように、第１アクチュエータ３０Ａ１，３０Ａ２を第１側壁部１２Ａに近接する方向にｍ１，ｍ２だけ駆動させ、第２アクチュエータ３０Ｂを第２側壁部１２Ｂに近接する方向にｍ３だけ駆動させると、テーブル部材１０を紙面下方向（Ｍの方向）に移動させることができる。なお、ｍ１～ｍ３の駆動量は同一である。

【0044】

また、例えば、図９に示すように、第１アクチュエータ３０Ａ１，３０Ａ２を第１側壁部１２Ａに離反する方向にｍ１，ｍ２だけ駆動させ、第２アクチュエータ３０Ｂを第２側壁部１２Ｂに離反する方向にｍ３だけ駆動させると、テーブル部材１０を紙面上方向（Ｍの方向）に移動させることができる。

【0045】

また、例えば、図１０に示すように、第１アクチュエータ３０Ａ１，３０Ａ２を第１側壁部１２Ａに近接する方向にｍ１，ｍ２だけ駆動させ、第２アクチュエータ３０Ｂを第２側壁部１２Ｂに離反する方向にｍ３だけ駆動させると、テーブル部材１０を紙面右方向（Ｍの方向）に移動させることができる。

【0046】

また、例えば、図１１に示すように、第１アクチュエータ３０Ａ１，３０Ａ２を第１側壁部１２Ａに離反する方向にｍ１，ｍ２だけ駆動させ、第２アクチュエータ３０Ｂを第２側壁部１２Ｂに近接する方向にｍ３だけ駆動させると、テーブル部材１０を紙面左方向（Ｍの方向）に移動させることができる。

【0047】

このように、本実施形態のアライメント装置１によれば、上述した図６～図１１に示すように、各アクチュエータ３０をｍ１～ｍ３の方向に駆動させ、各アクチュエータ３０の駆動の組み合わせによって、テーブル部材１０をＸ、Ｙ、θＺ方向に移動できる。また、アクチュエータ３０は、他の駆動方向のアクチュエータ３０の駆動は第１直動装置６０で受け、テーブル部材１０の回転は、ねじ軸８１と移動プレート８２のねじ部のクリアランスで受けるため、回転案内を必要としない。さらに、各アクチュエータ３０は、ベース部材２０とテーブル部材１０との対向領域４０の外側に配置されているため、ベース部材２０とテーブル部材１０との間を非常に薄くでき、スペースに制約されない。

【0048】

したがって、上述した本実施形態によれば、ベース部材２０と、ベース部材２０と対向するテーブル部材１０と、ベース部材２０とテーブル部材１０との対向領域４０の外側から、テーブル部材１０の側壁部１２を支持すると共に、テーブル部材１０に対し、少なくともベース部材２０とテーブル部材１０とが対向する対向方向（Ｚ方向）と直交する２軸直交方向（Ｘ，Ｙ方向）に配置された複数のアクチュエータ３０と、を備え、複数のアクチュエータ３０のそれぞれは、側壁部１２に取り付けられ、２軸直交方向のうち、側壁部１２に沿う方向にテーブル部材１０を案内する第１直動装置６０と、第１直動装置６０を支持し、２軸直交方向のうち、側壁部１２に近接離反する方向にテーブル部材１０を案内すると共に、対向方向に延びる軸回りのテーブル部材１０の回転（θＺ方向の移動）を許容する隙間が形成された移動体（移動プレート８２）及び駆動体（ねじ軸８１）を有する第２直動装置８０と、を備える、ことによって、少ない部品点数でテーブル部材１０をＸ、Ｙ、θＺ方向に移動でき、且つ、テーブル部材１０の高さを小さくできるアライメント装置１が得られる。

【0049】

また、本実施形態では、テーブル部材１０は、側壁部１２として、２軸直交方向のうちの第１方向（Ｘ方向）に延びる第１側壁部１２Ａと、２軸直交方向のうちの第１方向と異なる第２方向（Ｙ方向）に延びる第２側壁部１２Ｂと、を備え、複数のアクチュエータ３０は、第１側壁部１２Ａにおいて第１方向に隙間をあけて取り付けられた一対の第１アクチュエータ３０Ａ１，３０Ａ２と、第２側壁部１２Ｂに取り付けられた第２アクチュエータ３０Ｂと、を含む。この構成によれば、必要最小限のアクチュエータ３０の設置数で、テーブル部材１０をＸ、Ｙ、θＺ方向に移動できる。

【0050】

また、本実施形態では、第２直動装置８０の駆動体は、ねじ軸８１であり、第２直動装置８０の移動体は、ねじ軸８１の回転により移動する移動プレート８２であり、移動プレート８２が、第１直動装置６０を支持している。この構成によれば、テーブル部材１０のθＺ方向の移動（回転）をねじ軸８１と移動プレート８２のねじ部のクリアランスで受けるため、回転案内を必要としない。

【0051】

また、本実施形態では、複数のアクチュエータ３０のそれぞれは、テーブル部材１０をベース部材２０に押し付ける付勢部材８７を備える。この構成によれば、ねじ軸８１と移動プレート８２との間に設定した隙間量による、テーブル部材１０のガタツキを防止することができる。

【0052】

以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

【0053】

例えば、図１２に示す一変形例のように、上述した第１アクチュエータ３０Ａ１を、同図に示す他の第１アクチュエータ３０Ａ３と置き換えても構わない。図１２に示すテーブル部材１０は、２軸直交方向のうちの第１方向（Ｘ方向）に延びる一対の第１側壁部１２Ａを備えている。一対の第１側壁部１２Ａのうち、一方の第１側壁部１２Ａには、第１アクチュエータ３０Ａ２が取り付けられ、他方の第１側壁部１２Ａには、第１アクチュエータ３０Ａ３が取り付けられている。第１アクチュエータ３０Ａ３の取付位置は、第１アクチュエータ３０Ａ１の取付位置と同一直線Ｌ１上に位置し、直線Ｌ１は第１アクチュエータ３０Ａ２の取付方向に延びる直線Ｌ２と平行である。上記構成であっても、上記実施形態と同様に、各アクチュエータ３０の駆動方向の組み合わせで、テーブル部材１０をＸ、Ｙ、θＺ方向に移動できる。但し、第１側壁部１２Ａが２つ必要となるので、その分の寸法及び重量は増加する。

【符号の説明】

【0054】

１…アライメント装置、１０…テーブル部材、１２…側壁部、１２Ａ…第１側壁部、１２Ｂ…第２側壁部、２０…ベース部材、３０…アクチュエータ、３０Ａ１…第１アクチュエータ、３０Ａ２…第１アクチュエータ、３０Ｂ…第２アクチュエータ、４０…対向領域、６０…第１直動装置、８０…第２直動装置、８１…ねじ軸、８２…移動プレート、８７…付勢部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】