特許 7538625 ペリクルケース、保持ユニットおよび剥離フィルム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-14

(45)【発行日】2024-08-22

(54)【発明の名称】ペリクルケース、保持ユニットおよび剥離フィルム

(51)【国際特許分類】

   G03F 1/66 20120101AFI20240815BHJP

【ＦＩ】

G03F1/66

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2020090037

(22)【出願日】2020-05-22

(65)【公開番号】P2021184068

(43)【公開日】2021-12-02

【審査請求日】2023-01-30

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000005887

【氏名又は名称】三井化学株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100108903

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 和広

(74)【代理人】

【識別番号】100142387

【弁理士】

【氏名又は名称】齋藤 都子

(74)【代理人】

【識別番号】100135895

【弁理士】

【氏名又は名称】三間 俊介

(72)【発明者】

【氏名】田中 友和

(72)【発明者】

【氏名】前田 拓郎

(72)【発明者】

【氏名】黒川 健一

(72)【発明者】

【氏名】平野 政勝

(72)【発明者】

【氏名】三森 裕士

(72)【発明者】

【氏名】谷 典子

【審査官】田中 秀直

(56)【参考文献】

【文献】特開平１０－１１４３８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０４４９４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１６７６２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－３０８７１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２６７１７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０５２５５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０３８５９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２４００１０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０３Ｆ １／００－１／８６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

フレームの一端面側に配された粘着層、及び前記粘着層を覆うように配された剥離フィルムを有するペリクルを収納するペリクルケースであって、
前記ペリクルを前記剥離フィルム側を対向させて載置するためのトレイ、
前記トレイを覆うためのカバー、及び、
前記トレイと前記カバーの間に配置され、前記剥離フィルムを前記トレイ側に保持することにより前記ペリクルを前記トレイ側に保持する、非粘着性の保持ユニットを備え、
前記保持ユニットは、前記トレイの表面形状に係合する係合部と、前記剥離フィルムを一方の面側から押圧する押圧部と、を有するプレート部材、及び、前記剥離フィルムと前記トレイとの間に配される、静電気が帯電されたシート部材、から成る群から選択される少なくとも一つを備えることを特徴とするペリクルケース。

【請求項2】

前記保持ユニットは、前記剥離フィルムを前記トレイ側に押圧する押圧力をワンタッチ操作で制御可能なワンタッチ機構を備える、請求項１に記載のペリクルケース。

【請求項3】

前記ワンタッチ機構は、互いに対応するプラグ及びソケットを有するカムロックファスナーを備える、請求項２に記載のペリクルケース。

【請求項4】

前記トレイは、前記剥離フィルムに形成された貫通孔に挿通可能な凸部を有し、
前記凸部の内部に、前記カムロックファスナーの前記ソケットが設けられている、請求項３に記載のペリクルケース。

【請求項5】

前記保持ユニットは、前記トレイの表面形状に係合する係合部と、前記剥離フィルムを一方の面側から押圧する押圧部と、を有するプレート部材を備え、
前記押圧部に、前記カムロックファスナーの前記プラグが設けられている、請求項３または４に記載のペリクルケース。

【請求項6】

前記プレート部材の前記係合部は、前記トレイと前記カバーとによる嵌合形状に対応した、少なくとも３つ以上の折れ曲がり部を有する、請求項１に記載のペリクルケース。

【請求項7】

前記保持ユニットは、前記トレイに配置される前記ペリクルの前記フレームの側面に設けられた非貫通のピン挿入孔に、ピンを挿入して固定するためのピン保持機構を更に備える、請求項１～６のいずれか１項に記載のペリクルケース。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ペリクルケース、保持ユニットおよび剥離フィルムに関する。

【背景技術】

【0002】

大規模集積回路（ＬＳＩ）等の製造工程では、フォトマスクを防塵するため、ペリクルが用いられる。ペリクルは、一般に、ペリクル枠と、ペリクル枠の一端側に配された、透明な薄膜であるペリクル膜と、ペリクル枠の他端側（ペリクル枠のペリクル膜とは反対側）に配された、フォトマスクに張り付けられるための粘着層と、を有する。

【0003】

ペリクルは、ペリクルケースに保持されることができる。ペリクルケースにペリクルを保持するための手法として、例えば、特許文献１に記載の手法が知られている。該手法では、ペリクルの粘着層に保護フィルム（以下、「ライナー」と称することがある）が張り付けられたうえでペリクルがペリクルケースに載置され、そして、そのライナーの一部がペリクルケースに粘着性テープで固定される。ペリクルをペリクルケースから取り出すと、ペリクルの粘着層からライナーが剥がれるとともに、該粘着性テープによってライナーがペリクルケースに残される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００７－０１７８１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記のとおり、特許文献１に記載の手法において、ペリクルをペリクルケースから取り出すと、ペリクルの粘着層からライナーが剥がれるとともに、粘着性テープによってライナーがペリクルケースに残される。ここで、発明者は、各種の状況に応じて、ライナーをペリクルケースに残しながらペリクルを取り出すのが望まれる場合だけでなく、ライナー及びペリクルをペリクルケースから取り出す（ライナーごとペリクルを取り出す）のが望まれる場合が存在することに着目した。

【0006】

しかしながら、ペリクルをトレイに粘着性テープにて収納する場合、テープを貼る個所が多いため収納の際に時間を要する。収納の際に時間を要すると、異物付着のリスクが生じる場合がある。

【0007】

また、特許文献１に記載の手法であると、ライナーごとペリクルをペリクルケースから取り出すのが難しい。これに関連して、特許文献１に記載の手法において、ペリクルを取り出す前に、ライナーの一部をペリクルケースに張り付けるためのテープを剥がすことが考えられる。ただ、この場合、粘着性テープを剥がすことによって、粘着性テープの粘着成分が飛散するとともに飛散した粘着成分によってペリクル膜が汚染される可能性が生じる場合もある。

【0008】

本発明は、このような実情に鑑みて提案されたものであり、本発明の目的は、保管、輸送時には、ペリクルをケースに好適に保持することができ、他方、取り出す際には糊飛びなくペリクルをケースから好適に取り出すことができる、ペリクルケース、保持ユニットおよび剥離フィルムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意検討した。その結果、非粘着性の保持ユニットを用いてペリクルの剥離フィルムを保持することで、保管、輸送時の好適な保持と、好適な取り出しとを両立できることを見出し、本発明を成すに至ったものである。
すなわち、本発明は以下のとおりのものである。
［１］
フレームの一端面側に配された粘着層、及び前記粘着層を覆うように配された剥離フィルムを有するペリクルを収納するペリクルケースであって、
前記ペリクルを前記剥離フィルム側を対向させて載置するためのトレイ、
前記トレイを覆うためのカバー、及び、
前記トレイと前記カバーの間に配置され、前記剥離フィルムを前記トレイ側に保持することにより前記ペリクルを前記トレイ側に保持する、非粘着性の保持ユニットを備え、
前記保持ユニットは、前記トレイの表面形状に係合する係合部と、前記剥離フィルムを一方の面側から押圧する押圧部と、を有するプレート部材、及び、前記剥離フィルムと前記トレイとの間に配される、静電気が帯電されたシート部材、から成る群から選択される少なくとも一つを備えることを特徴とするペリクルケース。
［２］
前記保持ユニットは、前記剥離フィルムを前記トレイ側に押圧する押圧力をワンタッチ操作で制御可能なワンタッチ機構を備える、［１］に記載のペリクルケース。
［３］
前記ワンタッチ機構は、互いに対応するプラグ及びソケットを有するカムロックファスナーを備える、［２］に記載のペリクルケース。
［４］
前記トレイは、前記剥離フィルムに形成された貫通孔に挿通可能な凸部を有し、
前記凸部の内部に、前記カムロックファスナーの前記ソケットが設けられている、［３］に記載のペリクルケース。
［５］
前記保持ユニットは、前記トレイの表面形状に係合する係合部と、前記剥離フィルムを一方の面側から押圧する押圧部と、を有するプレート部材を備え、
前記押圧部に、前記カムロックファスナーの前記プラグが設けられている、［３］または［４］に記載のペリクルケース。
［６］
前記プレート部材の前記係合部は、前記トレイと前記カバーとによる嵌合形状に対応した、少なくとも３つ以上の折れ曲がり部を有する、［１］に記載のペリクルケース。
［７］
前記保持ユニットは、前記トレイに配置される前記ペリクルの前記フレームの側面に設けられた非貫通のピン挿入孔に、ピンを挿入して固定するためのピン保持機構を更に備える、［１］～［６］のいずれかに記載のペリクルケース。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、保管、輸送時には、ペリクルをケース内で好適に保持することができ、取り出す際には糊飛びなくケースから好適に取り出することが可能なペリクルケース、保持ユニットおよび剥離フィルムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】ペリクルの一実施形態を示す図。

【図2】ペリクルケースの一実施形態を示す図。

【図3】トレイにペリクルを載置した状態を示す断面図。

【図4】ペリクルケースにペリクルを収納した状態を示す断面図。

【図5】ペリクルケースからペリクルを取り出す状態を示す断面図。

【図6】ペリクルケースの一実施形態を示す断面図。

【図7】ペリクルケースの他の実施形態を示す断面図。

【図8】カムロックファスナーの一例を示す斜視図。

【図9】ペリクルケースの他の実施形態を示す断面図。

【図10】ペリクルケースの他の実施形態を示す断面図。

【図11】ペリクルケースの他の実施形態を示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照しながら本発明を実施するための形態（以下、「実施形態」と略記する。）について説明する。本発明は、以下の実施形態のみに限定されず、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。各図中、同一の構成要素に対しては同一の符号を付し、また、重複する説明は省略する場合がある。

【0013】

［第１実施形態］
本実施形態に係るペリクルの概要を説明する。図１（ａ）は、ペリクル１を示す上面図であり、図１（ｂ）は、縦断面図である。
なお、以下の説明においては、各図における上側を「上」とし、下側を「下」として説明する。

【0014】

＜ペリクル＞
ペリクル１は、フォトリソグラフィ等においてフォトマスクの防塵を行う構造体である。ペリクル１は、ペリクル枠２と、ペリクル膜３と、粘着層４と、剥離フィルム５とを備えている。

【0015】

ペリクル枠２は、ペリクル膜３をペリクル枠２に張設することができるような任意の形態を有することができ、例えば、枠の正面視では、方形、多角形、円形、楕円形等の外形を有することができる。方形は、正方形、長方形等であり、角が直角の場合と、角が丸みを帯びている略方形（図１）の場合と、の両方を有することができる。多角形は、三角形、台形、平行四辺形、五角形、六角形等である。

【0016】

ペリクル枠２及びその開口部のサイズは、フォトマスクのサイズに応じて定められることができる。ペリクル枠２が、正面視において一対の長辺と一対の短辺からなる長方形状である場合には、長辺長が５００ｍｍ～２０００ｍｍであり、短辺長が３００ｍｍ～１８００ｍｍであり、長辺と短辺の幅が、それぞれ４．０ｍｍ～２０．０ｍｍであり、かつ／又は枠の高さが２．０ｍｍ～８．０ｍｍであることができる。

【0017】

図１に示されるように、ペリクル枠２は、縁部を有する。縁部は、直線状に延びる棒状の縁部材を有することができる。一対の縁部材は、互いに間隔を空けて平行に配置されることができ、同様に、他の一対の縁部材も互いに間隔を空けて平行に配置されることができる。接触している２つの縁部材は、互いに略直角を成すように端部が接続されることができる。

【0018】

ペリクル枠２及びその縁部材は、例えば、アルミニウム；アルミニウム合金（例えば５０００系、６０００系、７０００系等）；鉄鋼；ステンレス鋼；マグネシウム合金；セラミックス（例えばＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ_２Ｏ_３等）；セラミックスと金属との複合材料（例えば、Ａｌ－ＳｉＣ、Ａｌ－ＡｌＮ、Ａｌ－Ａｌ_２Ｏ_３等）；ＰＥ、ＰＡ、ＰＣ、ＰＥＥＫ等のエンジニアリングプラスチック；ＧＦＲＰ、ＣＦＲＰ等の繊維複合材料；又はこれらの組み合わせ等の既知の材料で形成されることができる。

【0019】

ペリクル枠２の内周面又は全面には、必要に応じて、異物を捕捉するための粘着剤（例えば、アクリル系、酢酸ビニル系、シリコーン系、ゴム系粘着剤等）、又はグリース（例えば、シリコーン系、フッ素系グリース等）を塗布してよい。

【0020】

ペリクル膜３は、ニトロセルロース、セルロース誘導体、フッ素ポリマー等によって形成された透明な薄膜である。ペリクル膜３は、その厚みが１０μｍ以下であり、フォトリソグラフィにおいて光源が発する光を十分に透過させるように形成されている。図１（ｂ）に示すように、ペリクル膜３は、図示しない粘着剤によりペリクル枠２の一端側に接着及び固定され、ペリクル枠２を覆っている。

【0021】

図１（ｂ）に示すように、ペリクル枠２の他端側（ペリクル枠２のペリクル膜３とは反対側）には、ペリクル１をフォトマスクに貼り付けるための粘着層４が配されている。

【0022】

粘着層４は、アクリル系、ゴム系、ビニル系、エポキシ系、シリコーン系等の接着剤を含んで構成されており、より好ましい構成材料は、アクリル系、ゴム系、シリコーン系等である。粘着層４の厚みは、例えば、０．８ｍｍ～２．５ｍｍであることが好ましい。

【0023】

粘着層４を覆うように、剥離フィルム５（ライナー）が配されている。この剥離フィルム５は非使用時には粘着層４を保護するとともに、ペリクル１の使用時には粘着層４から剥離される。
剥離フィルム５には、一般的にはポリエステルなどの厚さ３０～２００μｍ程度のフィルムが用いられる。また、粘着層４から剥離フィルム５を剥がす際の剥離力が大きいと、剥がす際に粘着層４が変形するおそれがあるため、適切な剥離力になるように、粘着剤と接するフィルム表面にシリコーンやフッ素などの離型処理を行ってもよい。

【0024】

剥離フィルム５は、粘着層４よりも大きい幅を有し、粘着層４からペリクル枠２の外周側にはみ出すように配されている。
後述するように、ペリクル１をペリクルケース１０に収納する際に、非粘着性の保持ユニットによって剥離フィルム５、具体的には、粘着層４からはみ出した部分をトレイ２０側に保持することにより、ペリクル１はトレイ２０側に保持される。

【0025】

以上の説明のように構成されたペリクル１は、ペリクルケース１０に保持された状態で搬送、保管されることができる。

【0026】

＜ペリクルケース＞
（ペリクルケースの構成）
図２～図６を参照しながら、本実施形態に係るペリクルケースの概要を説明する。
図２は、ペリクルケースの一例を示す縦断面図である。図３は、ペリクルケースのトレイにペリクルを保持させた状態を示す縦断面図であり、図４は、ペリクルケースにペリクルを保持させた状態を示す縦断面図である。図５は、ペリクルケースからペリクルを取り出す状態を示す縦断面図である。

【0027】

ペリクル１を収納するペリクルケース１０は、ペリクル１を載置するためのトレイ２０を備える。ペリクル１は、剥離フィルム５側を対向させてトレイ２０に載置される。
そして本発明のペリクルケース１０は、剥離フィルム５をトレイ２０側に保持することによりペリクル１をトレイ２０側に保持する非粘着性の保持ユニットを備える。
ここで、「非粘着性」とは、「剥離フィルム５をトレイ２０に張り付けて固定するための粘着性テープを含まない」という趣旨である。

【0028】

保持ユニットは、剥離フィルム５との接触面が、粘着成分を含まない非粘着面とされており、剥離フィルム５をトレイ２０側に保持することによりペリクル１を前記トレイ２０側に保持する。

【0029】

非粘着性の保持ユニットによりペリクル１をトレイ２０側に保持することで、ペリクル１をペリクルケース１０から取り出す際の粘着成分の飛散（糊飛び）や、飛散した粘着成分によってペリクル膜３が汚染されることが防止される。

【0030】

保持ユニットは、例えば、剥離フィルム５をトレイ２０側に押圧する押圧力、剥離フィルム５をトレイ２０側に引き寄せる静電気力、及び、剥離フィルム５をトレイ２０側に引き寄せる磁力、から成る群から選択される少なくとも一つを利用して、ペリクル１をトレイ２０に保持するものである。

【0031】

上記のような非粘着性手段によりペリクル１をトレイ２０側に保持することで、ペリクル１をペリクルケース１０に好適に保持することができ、他方、ペリクル１をペリクルケース１０から取り出す際の糊飛びを抑えて、好適に取り出すことができる。

【0032】

また、上記のような非粘着性手段によれば、ペリクル１をペリクルケース１０から取り出す際に、剥離フィルム５をトレイ２０側に残すか残さないかを、特別な機構や大きな手間を必要とせず切り替え可能であり、機械による作業、人による手作業かに応じて適宜選択することができる。

【0033】

図２に示すように、ペリクルケース１０は、トレイ２０を覆うためのカバー３０を更に有している。トレイ２０は、その中央に、ペリクル１を載置するための領域を有することができ、その周縁に、カバー３０と互いに嵌め合うための領域を有することができる。

【0034】

トレイ２０及びカバー３０は、ポリエチレンテレフタレート、アクリロニトリルブタジエンスチレン、アクリル、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル等の樹脂材料によって形成されている。

【0035】

トレイ２０及びカバー３０の厚みは、ペリクル１を搬送又は保管するときに生じ得る振動及び衝撃からペリクル１を保護できる程度の値が好ましく、例えば、２．０～１０．０ｍｍであることが好ましい。
トレイ２０及びカバー３０の平面形状及び大きさは、保持されるペリクル１の形状及び大きさに応じて、適宜決定される。

【0036】

トレイ２０は、ペリクル１を保持するための固定面２１を有し、固定面２１の周縁部には、凹凸形状を有する嵌合部２４が形成されている。固定面２１は、トレイ２０におけるペリクル１が載置される側の最表面を意味する。

【0037】

カバー３０は、トレイ２０に嵌め合わせたときに、トレイ２０の固定面２１に略平行な天井面３１を有し、天井面３１の周囲には、天井面３１に連続する斜面３２を有している。また、カバー３０の周縁には、凹凸形状を有する嵌合部３３が形成されている。カバー３０の周縁に形成された嵌合部３３と、トレイ２０の周縁に形成された嵌合部２４とは嵌め合い可能である。

【0038】

カバー３０とトレイ２０とが互いに嵌め合わされることで、カバー３０とトレイ２０との間に、ペリクル１を収容するための空間１１が形成される（図４参照）。

【0039】

（ペリクルケースへのペリクルの収容）
図３及び図４は、ペリクルケース１０にペリクル１を収納した状態を示す図である。ペリクルケース１０の収納空間１１において、ペリクル１は、トレイ２０の中央部の固定面２１に配置される。

【0040】

本実施形態に係る保持ユニットは、トレイ２０の表面形状に係合する係合部４１と、剥離フィルム５を一方の面側から押圧する押圧部４２と、を有するプレート部材４０を備える。

【0041】

そして、図３に示すように、トレイ２０に載置されたペリクル１の剥離フィルム５上にプレート部材４０の一端側（押圧部４２）を配し、プレート部材４０の他端側（係合部４１）をトレイ２０とカバー３０との間、すなわち、嵌合部２４と嵌合部３３との間に挟み込むことで、図４に示すように、プレート部材４０によって剥離フィルム５がトレイ２０側に押圧され、これによりペリクル１をトレイ２０側に保持する。

【0042】

なお、プレート部材４０の係合部４１をカバー３０で固定した際に、プレート部材４０の押圧部４２、すなわち、剥離フィルム５を押圧する側が固定面２１に対して少し浮きあがってしまい、剥離フィルム５を固定する力が弱くなってしまう場合がある（図６参照）。
そこで、プレート部材４０の係合部４１は、トレイ２０とカバー３０とによる嵌合形状（嵌合部２４、嵌合部３３）に対応した、少なくとも３つ以上の折れ曲がり部４１ａを有するものであることが好ましい。
これにより、プレート部材４０の係合部４１をトレイ２０とカバー３０との間に挟み込んで固定した際に、プレート部材４０の押圧部４２側が浮き上がることが防止され、剥離フィルム５を十分に押圧して固定することができる。

【0043】

また、プレート部材４０の押圧部４２が浮き上がったときに固定面２１に対して略平行となるように、浮き上がり分を見越した角度を予め設定しておいてもよい。これにより、プレート部材４０の係合部４１をトレイ２０とカバー３０との間に挟み込んで固定した際に、プレート部材４０の押圧部４２が固定面２１に対して略平行となり剥離フィルム５を十分に押圧して固定することができる。

【0044】

図４に示すように、ペリクル１が載置されたトレイ２０を、カバー３０で覆うことができる。これにより、ペリクル１への塵の付着を抑制し易くなるとともに、搬送及び保管中の振動及び衝撃等からペリクル１を保護し易くなる。

【0045】

カバー３０は、トレイ２０をカバー３０で覆ったとき、斜面３２の一部が、トレイ２０に載置されるペリクル１のペリクル枠２の少なくとも一部に当接する当接部３２ａとされていることが好ましい。これにより、トレイ２０をカバー３０で覆うことで、当接部３２ａによってペリクル１をトレイ２０側に押し付けることができ、よって、ペリクル１が搬送中にペリクルケース１０内で動くことがより確実に抑制される。

【0046】

更に、ペリクル１のペリクル枠２の側面に、非貫通のピン挿入孔を設けておき、ペリクルケース１０のトレイ２０に配置されたペリクル１を、このピン挿入孔にピンを挿入して固定することが好ましい。これにより、搬送中の振動等により、ペリクル１がペリクルケース１０内で動くことがより確実に抑制される。

【0047】

そして、ペリクル１をペリクルケース１０から取り出すとき、特に剥離フィルム５をトレイ２０側に残さない場合には、図５（ａ）に示すように、プレート部材４０を解除した状態でペリクル１を持ち上げる。剥離フィルム５はプレート部材４０による押圧から解放されているので、ペリクル１は剥離フィルム５とともに持ち上げられる。

【0048】

また、剥離フィルム５をトレイ２０側に残す場合には、図５（ｂ）に示すように、プレート部材４０を解除しないまま、ペリクル１を持ち上げる。剥離フィルム５はプレート部材４０により押圧された状態なので、ペリクル１の粘着層４から剥離されてトレイ２０側に残る。

【0049】

このように、ペリクル１をペリクルケース１０から取り出す際に、剥離フィルム５をトレイ２０側に残すか残さないかを、特別な機構や大きな手間を必要とせず切り替え可能であり、機械による作業、人による手作業かに応じて適宜選択することができる。

【0050】

また、剥離フィルム５の固定に粘着性のテープを使用していないので、剥離フィルム５ごと持ち上げても糊飛びが発生しない。

【0051】

［第２実施形態］
図面を参照しながら、ペリクルケースの第２実施形態の概要を説明する。
本実施形態のペリクルケースは、トレイおよびカバーについては、上述した第１実施形態と実質的に同様であるが、ペリクルをトレイ側に保持する保持ユニットの態様が異なる。
そこで、以下の説明では、上述した第１実施形態と異なる部分について主に説明し、共通する部分についてはその説明を省略する。以下の第３～第５実施形態についても同様である。

【0052】

図７は、本実施形態のペリクルケースの一例を示す縦断面図である。図７では、ペリクルケースのうち保持ユニットの部分のみを抜き出して示している。

【0053】

本実施形態では、保持ユニットは、剥離フィルム５をトレイ２０側に押圧する押圧力をワンタッチ操作で制御可能なワンタッチ機構を備える。
ワンタッチ機構は、例えば、互いに対応するプラグ５１及びソケット５４を有するカムロックファスナー５０である。

【0054】

図８は、カムロックファスナー５０の一例を示す斜視図である。
カムロックファスナー５０は、プラグ５１とソケット５４とを備える。
ソケット５４は、挿入口５５を有する。

【0055】

プラグ５１は、挿入部５２と、押しボタン５３と、を備える。挿入部５２は、ソケット５４の挿入口５５に挿入される部分である。押しボタン５３は、挿入部５２が挿入口５５に挿入されている状態において押されることでソケット５４およびプラグ５１の接続および解除をワンタッチで切り替える部材である。押しボタン５３による接続および解除の切替えは、工具を必要としない。

【0056】

本実施形態において、トレイ２０は、固定面２１から突出して設けられた凸部２２を有し、該凸部２２の内部に、カムロックファスナー５０のソケット５４が配されている。この凸部２２は、位置決めピンを兼用可能である。位置決めピンは、固定面２１に載置が予定されるペリクル１の外形に沿って配されており、これらの位置決めピンによってペリクル１の位置を規定することができる。

【0057】

本実施形態のペリクルケース１０は、プレート部材４０を備え、プレート部材４０の押圧部４２に、カムロックファスナー５０のプラグ５１が一体に設けられている。プレート部材４０を用いることで、カムロックファスナー５０のみの場合に比べて、剥離フィルム５を面で押さえることができ、ペリクル１をより確実に固定することができる。

【0058】

また、プラグ５１がプレート部材４０に一体に設けられているので、カムロックファスナー５０を解除した際などに、小さな部品であるプラグ５１の紛失等を防止することができる。
もちろん、本発明はこれに限定されず、プレート部材４０を配さず、カムロックファスナー５０のみによって剥離フィルム５を固定しても構わない。

【0059】

ペリクル１の剥離フィルム５には、凸部２２が挿通可能な貫通孔５ａを予め形成しておき、この貫通孔５ａに凸部２２及びソケット５４が挿通された状態で、プラグ５１の挿入部５２を、ソケット５４の挿入口５５に挿入するように、プレート部材４０を配する。挿入部５２が挿入口５５に挿入されたプラグ５１の押しボタン５３を押すこと（ワンタッチ）で、ソケット５４およびプラグ５１を接続させる。これにより、剥離フィルム５がトレイ２０の固定面２１に押圧され、これによりペリクル１をトレイ２０側に保持する。

【0060】

また、ペリクル１をペリクルケース１０から取り出す際に、剥離フィルム５をトレイ２０側に残すか残さないかを、特別な機構や大きな手間を必要とせず切り替え可能であり、機械による作業、人による手作業かに応じて適宜選択することができる。

【0061】

すなわち、剥離フィルム５をトレイ２０側に残す場合には、カムロックファスナー５０を解除しないまま、ペリクル１を持ち上げる。剥離フィルム５はカムロックファスナー５０およびプレート部材４０により押圧された状態なので、ペリクル１の粘着層４から剥離されてトレイ２０側に残る。

【0062】

一方、剥離フィルム５をトレイ２０側に残さない場合には、カムロックファスナー５０を解除して取り外す。接続されているプラグ５１の押しボタン５３を押すこと（ワンタッチ）で、ソケット５４およびプラグ５１の接続が解除される。プレート部材４０が配されている場合には取り外す。この状態でペリクル１を持ち上げると、剥離フィルム５はカムロックファスナー５０およびプレート部材４０による押圧から解放されているので、ペリクル１は剥離フィルム５とともに持ち上げられる。

【0063】

また、剥離フィルム５の固定に粘着性のテープを使用していないので、剥離フィルム５ごと持ち上げても糊飛びが発生しない。

【0064】

［第３実施形態］
図面を参照しながら、ペリクルケースの第３実施形態の概要を説明する。
図９は、本実施形態のペリクルケースの一例を示す縦断面図である。図９は、ペリクルケースのうち保持ユニットの部分のみを抜き出して示している。
なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と異なる部分について主に説明し、共通する部分についてはその説明を省略する。

【0065】

本実施形態では、保持ユニットは、トレイ２０の表面形状に係合する係合部４１と、剥離フィルム５を一方の面側から押圧する押圧部４２と、を有するプレート部材４０を備える。本実施形態では、プレート部材４０は磁性材料を含んで構成される。

【0066】

そしてさらに、本実施形態では、保持ユニットは、トレイ２０の内部又は外部の少なくとも一方、図９に示す例ではトレイ２０の固定面２１とは反対側の面に配された磁石部材６０（プレート部材用磁石部材）を有する。磁石部材６０の極性は、該プレート部材４０を構成する磁性材料と引き合うようにする。磁石部材６０の磁力によってプレート部材４０、特に押圧部４２がトレイ２０側に引き寄せられ、そしてプレート部材４０によって剥離フィルム５がトレイ２０側に押圧され、これによりペリクル１をトレイ２０側に保持する。

【0067】

具体的には、例えば、トレイ２０の固定面２１とは反対側の面に補強板６１を設け、その内部にネオジウム磁石等からなる磁石部材６０をトレイ２０表面とほぼ同じ高さとなるように配する。また、剥離フィルム５を挟みこむ形でプレート部材４０を、係合部４１と押圧部４２との間で開閉できる可動治具４３を設け、この可動治具４３の開閉で剥離フィルム５のロック、アンロック動作を繰り返すことができる。なお、磁石部材６０と可動治具４３との間にトレイ２０が存在すると接着力が弱くなってしまうため、剥離フィルム５を可動治具４３で直接挟みこむことが好ましい。

【0068】

なお、本実施形態では、磁石部材６０によりプレート部材４０の押圧部４２をトレイ２０側に引き寄せているので、上述したような（第１実施形態）、プレート部材４０の係合部４１をカバー３０で固定した際の押圧部４２の浮き上がりの問題は生じない。そのため、本実施形態の係合部４１は、折れ曲がり部４１ａを有していなくてもよい。

【0069】

また、ペリクル１をペリクルケース１０から取り出す際に、剥離フィルム５をトレイ２０側に残すか残さないかを、プレート部材４０の可動治具４３の開閉によって簡単に切り替え可能であり、機械による作業、人による手作業かに応じて適宜選択することができる。

【0070】

すなわち、剥離フィルム５をトレイ２０側に残す場合には、可動治具４３を閉じたまま、ペリクル１を持ち上げる。剥離フィルム５はプレート部材４０の押圧部４２により押圧された状態なので、ペリクル１の粘着層４から剥離されてトレイ２０側に残る。

【0071】

一方、剥離フィルム５をトレイ２０側に残さない場合には、可動治具４３を開いた状態でペリクル１を持ち上げる。剥離フィルム５はプレート部材４０の押圧部４２による押圧から解放されているので、ペリクル１は剥離フィルム５とともに持ち上げられる。

【0072】

また、剥離フィルム５の固定に粘着性のテープを使用していないので、剥離フィルム５ごと持ち上げても糊飛びが発生しない。

【0073】

［第４実施形態］
図面を参照しながら、ペリクルケースの第４実施形態の概要を説明する。
図１０は、本実施形態のペリクルケースの一例を示す縦断面図である。図１０では、ペリクルケースのうち保持ユニットの部分のみを抜き出して示している。
なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と異なる部分について主に説明し、共通する部分についてはその説明を省略する。

【0074】

本実施形態では、保持ユニットは、剥離フィルム５とトレイ２０との間に配され、静電気が帯電されたシート部材（以下、静電シートと称する）７０を備える。

【0075】

トレイ２０と剥離フィルム５との間に静電シート７０を配することで、静電シート７０の静電気力によって剥離フィルム５がトレイ２０側に引き寄せられ、これによりペリクル１をトレイ２０側に保持する。

【0076】

静電シート７０は、トレイ２０および剥離フィルム５とは別体としてトレイ２０と剥離フィルム５との間に挟み込んでもよいし、ペリクル１の剥離フィルム５において、粘着層４とは反対側の面、すなわちトレイ２０の固定面２１に 対向する側の面に予め静電シート７０が貼り付けられたものであってもよい。

【0077】

静電シート７０は、その種類や帯電量を適宜選択することにより吸着力を調節可能であり、例えば、粘着層４と剥離フィルム５との粘着力と、静電シート７０による剥離フィルム５の吸着力との大小関係を適宜調整することで、ペリクル１のトレイ２０からの取り出し時に剥離フィルム５を残すまたは残さないを調節可能であり、機械による作業、人による手作業かに応じて適宜選択することができる。

【0078】

静電シート７０としては、ＰＥＴ、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ＰＶＣ、ＰＴＦＥ等の樹脂シートの表面に静電気が静電されているものを選択でき、または、トレイ２０の表面に所定の静電層を設けることにより静電シート７０を形成してもよい。また、トレイ２０の表面に、静電層ではなく自己粘着性を有する樹脂層を設けることにより静電シート７０を形成してもよい。

【0079】

すなわち、剥離フィルム５をトレイ２０側に残す場合には、静電シート７０による剥離フィルム５の吸着力を、粘着層４と剥離フィルム５との粘着力よりも大きくすればよい。一方、剥離フィルム５をトレイ２０側に残さない場合には、静電シート７０による剥離フィルム５の吸着力を、粘着層４と剥離フィルム５との粘着力よりも小さくすればよい。

【0080】

また、剥離フィルム５の固定に粘着性のテープを使用していないので、剥離フィルム５ごと持ち上げても糊飛びが発生しない。

【0081】

［第５実施形態］
図面を参照しながら、ペリクルケースの第５実施形態の概要を説明する。
図１１は、本実施形態のペリクルケースの一例を示す縦断面図である。図１１では、ペリクルケースのうち保持ユニットの部分のみを抜き出して示している。
なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と異なる部分について主に説明し、共通する部分についてはその説明を省略する。

【0082】

本実施形態では、保持ユニットは、トレイ２０の固定面２１とは反対側の面に配された磁石部材８０（剥離フィルム用磁石部材）を備える。
剥離フィルム５を、磁性材料を含んで構成し、トレイ２０の固定面２１とは反対側の面に磁石部材８０を配することで、磁力によって剥離フィルム５がトレイ２０側に引き寄せられ、これによりペリクル１をトレイ２０側に保持する。

【0083】

具体的には、例えば、トレイ２０の固定面２１とは反対側の面に補強板８１を設け、その内部にネオジウム磁石等からなる磁石部材８０をトレイ２０の表面とほぼ同じ高さとなるように配する。剥離フィルム５を磁性材料を含んで構成する場合、磁石部材８０の極性は、該磁性材料と引き合うようにする。

【0084】

本実施形態に係る保持ユニットは、他の実施形態と比較して、構造がシンプルであること、生産性に優れることなどがメリットとして挙げられる。

【0085】

粘着層４と剥離フィルム５との粘着力と、磁石部材８０による剥離フィルム５の吸着力との大小関係を適宜調整することで、ペリクル１のトレイ２０からの取り出し時に剥離フィルム５を残すまたは残さないを調節可能であり、機械による作業、人による手作業かに応じて適宜選択することができる。

【0086】

すなわち、剥離フィルム５をトレイ２０側に残す場合には、磁石部材８０による剥離フィルム５の吸着力を、粘着層４と剥離フィルム５との粘着力よりも大きくすればよい。一方、剥離フィルム５をトレイ２０側に残さない場合には、磁石部材８０による剥離フィルム５の吸着力を、粘着層４と剥離フィルム５との粘着力よりも小さくすればよい。

【0087】

また、剥離フィルム５の固定に粘着性テープを使用していないので、剥離フィルム５ごと持ち上げても糊飛びが発生しない。

【0088】

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、上述した各実施形態を複数、組み合わせて適用することも可能である。

【産業上の利用可能性】

【0089】

本発明によるペリクルケースを用いることで、ペリクルをペリクルケース又はトレイに好適に保持させることができ、他方、ペリクルをペリクルケースから好適に取り出すことができるので、ペリクルの搬送、保管用ケースとして広く利用することができる。

【符号の説明】

【0090】

１ ペリクル
２ ペリクル枠
３ ペリクル膜
４ 粘着層
５ 剥離フィルム
５ａ 貫通孔
１０ ペリクルケース
１１ 収納空間
２０ トレイ
２１ａ 固定面
２４ 嵌合部
３０ カバー
３１ 天井面
３２ 斜面
３２ａ 当接部
３３ 嵌合部
４０ プレート部材
４１ 係合部
４１ａ 折れ曲がり部
４２ 押圧部
４３ 可動治具
５０ カムロックファスナー
５１ プラグ
５２ 挿入部
５３ 押しボタン
５４ ソケット
５５ 挿入口
６０ 磁石部材（プレート部材用磁石部材）
６１ 補強板
７０ 静電シート
８０ 磁石部材（剥離フィルム用磁石部材）
８１ 補強板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】