(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-08-14
(45)【発行日】2024-08-22
(54)【発明の名称】加圧装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/603 20060101AFI20240815BHJP
B30B 15/34 20060101ALI20240815BHJP
B30B 7/00 20060101ALI20240815BHJP
【ＦＩ】
H01L21/603 C
B30B15/34 A
B30B7/00
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2024016820
(22)【出願日】2024-02-07
【審査請求日】2024-02-07
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】森 隆博
(72)【発明者】
【氏名】森永 高広
(72)【発明者】
【氏名】井手迫 聡
【審査官】小池 英敏
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１８－２０２７４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１５／１５９７４３（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１４－１７９４２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－１５９８４７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／４４７－Ｈ０１Ｌ ２１／４４９
Ｈ０１Ｌ ２１／６０ －Ｈ０１Ｌ ２１／６０７
Ｈ０５Ｋ ３／３２ －Ｈ０５Ｋ ３／３４
Ｂ３０Ｂ １５／３４
Ｂ３０Ｂ ７／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数のワークを加圧する加圧装置であって、前記ワークが載置可能な載置板と、
前記載置板の上方向に配置されて、前記ワークそれぞれを上方向から個別に加圧可能な複数の個別加圧部材と、
前記個別加圧部材を支持する支持金型と、
前記個別加圧部材を下方向に向けて加圧可能な上金型と、
前記個別加圧部材と、前記上金型と、の間に配置される加圧パッドと、
前記支持金型を支持する支持部材と、
を有してなり、
前記個別加圧部材は、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、
前記加圧パッドは、前記個別加圧部材それぞれの前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能であり、
前記ワークが加圧されるとき、前記個別加圧部材は、対応する前記ワークに向けて前記支持金型から突出して、
前記支持部材は、
下方向視において前記上金型の側方に配置されて、
前記上金型に対して上下方向に相対移動可能である、
加圧装置。
【請求項2】
前記支持金型は、前記支持金型を上下方向に貫通する複数の貫通孔、
を備えて、
前記上金型は、
前記個別加圧部材それぞれに対応する複数の個別上金型、
を備えて、
前記加圧パッドは、
前記個別加圧部材それぞれに対応する複数の個別加圧パッド、
を備えて、
前記貫通孔は、対応する前記個別加圧部材と、対応する前記個別加圧パッドと、を収容して、
前記個別上金型は、対応する前記個別加圧部材が収容される前記貫通孔内を、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、
前記個別加圧パッドは、対応する前記個別加圧部材の前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能である、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項3】
前記支持金型と対応する前記個別加圧部材との間に配置されて、対応する前記個別加圧部材を上方向に向けて付勢する複数の付勢部材、を有してなり、
前記ワークが加圧されていないとき、
前記個別上金型は、対応する前記貫通孔よりも上方向に位置して、
前記個別加圧部材は、対応する前記付勢部材により上方向へ向けて付勢されて、前記支持金型から突出しない、
請求項２に記載の加圧装置。
【請求項4】
複数のワークを加圧する加圧装置であって、前記ワークが載置可能な載置板と、
前記載置板の上方向に配置されて、前記ワークそれぞれを上方向から個別に加圧可能な複数の個別加圧部材と、
前記個別加圧部材を支持する支持金型と、
前記個別加圧部材を下方向に向けて加圧可能な上金型と、
前記個別加圧部材と、前記上金型と、の間に配置される加圧パッドと、
前記加圧パッドを保持する枠部材と、
を有してなり、
前記個別加圧部材は、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、
前記加圧パッドは、前記個別加圧部材それぞれの前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能であり、
前記ワークが加圧されるとき、前記個別加圧部材は、対応する前記ワークに向けて前記支持金型から突出して、
下方向視において、前記加圧パッドは、前記上金型の全面を覆い、
水平方向において、前記枠部材は、前記加圧パッドの全周を囲み、
前記支持金型は、前記加圧パッドと前記枠部材との下方向に配置されて、前記枠部材に支持されて、
前記枠部材は、前記上金型に対して上下方向に相対移動可能である、
加圧装置。
【請求項5】
前記支持金型は、前記支持金型を上下方向に貫通する複数の貫通孔、
を備えて、
前記貫通孔は、対応する前記個別加圧部材を収容する、
請求項４に記載の加圧装置。
【請求項6】
前記支持金型と対応する前記個別加圧部材との間に配置されて、対応する前記個別加圧部材を上方向に向けて付勢する複数の付勢部材、を有してなり、
前記ワークが加圧されていないとき、前記個別加圧部材それぞれは、前記付勢部材により上方向へ向けて付勢されて、前記支持金型から突出しない、
請求項５に記載の加圧装置。
【請求項7】
前記支持金型は、下方向に面する下面、
を備えて、
前記載置板は、
前記ワークそれぞれが載置される載置面、
を備えて、
前記下面または前記載置面に対向するように、上下方向において、前記下面と前記載置面との間に配置される金型受部材、
を有してなり、
上下方向において、前記金型受部材の長さは、前記ワークそれぞれの長さよりも大きい、
請求項１または４に記載の加圧装置。
【請求項8】
前記ワークを加熱可能な熱ユニット、を有してなり、
前記個別加圧部材それぞれは、
上層部と、
前記上層部よりも下方向に配置される下層部と、
前記上層部と前記下層部との間に配置される中層部と、
を備えて、
前記中層部を構成する材料の熱伝導率は、前記上層部と前記下層部それぞれを構成する材料の熱伝導率よりも小さい、
請求項１または４に記載の加圧装置。
【請求項9】
前記個別加圧部材それぞれは、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに当接して、前記ワークの形状に追従して変形する弾性体、
を備える、
請求項１または４に記載の加圧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加圧装置に関する。
【背景技術】
【0002】
基板などの複数のワーク（被加圧物）を一括で加圧する加圧装置が、知られている（例えば、特許文献１参照）。同加圧装置は、ワークそれぞれを均等に加圧可能な加圧パッドを備える。加圧パッドは、ワークそれぞれの形状に追従して変形する柔軟体を備える特殊弾性体で構成されている。そのため、同加圧装置は、公差などにより多少の高低差を有する複数のワークに対して、均等かつ一括に加圧できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２００４－２９６７４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に開示された加圧装置では、柔軟体がワークの形状に追従して変形する。そのため、同加圧装置では、加圧が不要な部位（例えば、基板上のチップ以外の部位）も加圧される。ワークの中には、強度の低い部位（例えば、庇状の部位）を有するワークが有る。同加圧装置を用いてこのようなワークが加圧されると、強度の低い部位に割れや欠けなどの不具合が生じ得る。すなわち、同加圧装置には、加圧が必要な部位だけでなく、加圧が不要な部位まで加圧するという技術的課題が存在する。
【0005】
本発明は、複数のワークに対して、加圧が必要な部位のみを一括して加圧可能な加圧装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一実施態様における加圧装置は、複数のワークを加圧する加圧装置であって、前記ワークが載置可能な載置板と、前記載置板の上方向に配置されて、前記ワークそれぞれを上方向から個別に加圧可能な複数の個別加圧部材と、前記個別加圧部材を支持する支持金型と、前記個別加圧部材を下方向に向けて加圧可能な上金型と、前記個別加圧部材と、前記上金型と、の間に配置される加圧パッドと、前記支持金型を支持する支持部材と、を有してなり、前記個別加圧部材は、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、前記加圧パッドは、前記個別加圧部材それぞれの前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能であり、前記ワークが加圧されるとき、前記個別加圧部材は、対応する前記ワークに向けて前記支持金型から突出して、前記支持部材は、下方向視において前記上金型の側方に配置されて、前記上金型に対して上下方向に相対移動可能である、加圧装置である。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、複数のワークに対して、加圧が必要な部位のみを一括して加圧可能な加圧装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明に係る加圧装置の実施の形態を説明する、同加圧装置の模式断面図である。
【図2】上記本装置の部分拡大模式断面図である。
【図3】上記本装置が備える上金型の模式底面図である。
【図4】上記本装置が備える上加圧ユニットの模式底面図である。
【図5】上記上加圧ユニットの一部の構成の模式分解斜視図である。
【図6】動作中の上記本装置の一状態を示す模式断面図である。
【図7】動作中の上記本装置の別の一状態を示す模式断面図である。
【図9】動作中の上記本装置のさらに別の一状態を示す模式断面図である。
【図11】本発明に係る加圧装置の第２実施形態を説明する、同加圧装置の模式断面図である。
【図12】第２実施形態の上記本装置の部分拡大模式断面図である。
【図13】第２実施形態の上記本装置が備える上加圧ユニットの一部の構成の模式分解斜視図である。
【図14】動作中の第２実施形態の上記本装置の一状態を示す模式断面図である。
【図15】動作中の第２実施形態の上記本装置の別の一状態を示す模式断面図である。
【図17】動作中の第２実施形態の上記本装置のさらに別の一状態を示す模式断面図である。
【図19】変形例に係る本装置が備える個別加圧部材の模式側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
本発明に係る加圧装置（以下「本装置」という。）の実施の形態が、以下に説明される。以下の説明において、各図面は、適宜参照される。各図面において、同一の部材および要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に示されている比率に限定されない。
【0010】
以下の説明および図面において、特に断りがない限り、空間において相互に直交する３軸がＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸であるとき、Ｘ軸およびＹ軸は水平方向に平行であり、Ｚ軸は上下方向に平行である。すなわち、ＸＹ平面は水平面であり、ＸＺ平面およびＹＺ平面は鉛直面である。「Ｘ軸方向」はＸ軸に沿う方向であり、「＋Ｘ方向」はＸ軸方向の一方向であり、「－Ｘ方向」はＸ軸方向の他方向である。「Ｙ軸方向」はＹ軸に沿う方向であり、「＋Ｙ方向」はＹ軸方向の一方向であり、「－Ｙ方向」はＹ軸方向の他方向である。「Ｚ軸方向」は、Ｚ軸に沿う方向であり、上下方向である。「＋Ｚ方向」は上方向であり、「－Ｚ方向」は下方向である。「ＸＹ方向」はＸ軸方向およびＹ軸方向に沿う方向であり、「ＸＹ平面」はＸＹ方向に平行な仮想平面である。「ＸＺ方向」はＸ軸方向およびＺ軸方向に沿う方向であり、「ＸＺ平面」はＸＺ方向に平行な仮想平面である。「ＹＺ方向」はＹ軸方向およびＺ軸方向に沿う方向であり、「ＹＺ平面」はＹＺ方向に平行は仮想平面である。
【0011】
以下の説明において、下面は、下方向に面していて、ＸＹ方向に平行な面である。上面は、上方向に面していて、ＸＹ方向に平行な面である。
【0012】
●加圧装置（１）●
●加圧装置（１）の構成
図１は、本装置の実施の形態を示す、本装置の模式断面図である。
図２は、本装置１の部分拡大模式断面図である。
これらの図は、ＸＹ平面状に載置された本装置１がＸＺ平面に沿って切断された状態、を示している（後述される図６～図１０も同様である）。図２は、図１の本装置１のＡ部を示している。
●加圧装置（１）の構成
図１は、本装置の実施の形態を示す、本装置の模式断面図である。
図２は、本装置１の部分拡大模式断面図である。
これらの図は、ＸＹ平面状に載置された本装置１がＸＺ平面に沿って切断された状態、を示している（後述される図６～図１０も同様である）。図２は、図１の本装置１のＡ部を示している。
【0013】
本装置１は、ワークＷを加圧する。本装置１は、ベース２、上金型３、サイドユニット４、支持ユニット５、支持金型６、複数（本実施の形態では９個）の個別加圧部材７、複数（本実施の形態では９個）の個別加圧パッド８、複数（本実施の形態では９個）の付勢ユニット９、複数（本実施の形態では９個）の個別保護板１０、金型受部材１１、移動規制部材１２、昇降装置１３、載置板１４、熱ユニット１５、制御装置１６、および真空ポンプＰを有してなる。ベース２、上金型３、サイドユニット４、支持ユニット５、支持金型６、個別加圧部材７、個別加圧パッド８、付勢ユニット９、個別保護板１０、金型受部材１１、および移動規制部材１２は、上下方向においてワークＷよりも上方向に配置されていて、上加圧ユニットＵＰを構成している。載置板１４および熱ユニット１５は、上下方向においてワークＷよりも下方向に配置されていて、下加圧ユニットＤＰを構成している。
【0014】
「ワークＷ」は、本装置１により加圧される対象物である。ワークＷは、例えば、電子部品ｗ１、基板ｗ２、およびペースト状の接合剤ｗ６を備える。本実施の形態では、電子部品ｗ１は、例えば、パワー半導体素子である。電子部品ｗ１は、ワークＷにおける上端部に配置されている。基板ｗ２は、例えば、ＤＣＢ（Direct Copper Bonding）を用いて、セラミック板ｗ３と２枚の銅板ｗ４，ｗ５とが接合されたＤＣＢ基板である。セラミック板ｗ３は２枚の銅板ｗ４，ｗ５に挟まれていて、セラミック板ｗ３の外縁部は銅板ｗ４，ｗ５から水平方向に突出している接合剤ｗ６は、高温で焼結される接合層であり、電子部品ｗ１と基板ｗ２との間に、配置されている。電子部品ｗ１は、本装置１により基板ｗ２に熱圧着される。熱圧着の手法は公知であるため、その詳細な説明は省略される。
【0015】
ベース２は、上金型３、サイドユニット４、および支持ユニット５を支持する。ベース２の形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状で、直方体状である。ベース２は、昇降装置１３により上下方向に移動可能に、昇降装置１３に支持されている。ベース２は、下面２ａを備える。下面２ａは、ＸＹ平面に平行な面である。
【0016】
上金型３は、個別加圧部材７を介して、上方向からワークＷを加圧する。上金型３は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。上金型３は、ベース２の下面２ａに取り付けられている。上金型３は、ベース部３０、および複数（本実施の形態では９個）の個別上金型３１を備える。
【0017】
【0018】
ベース部３０の形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、上下方向において扁平な直方体状である。ベース部３０は、下面３０ａを備える。下面３０ａの一部は、下方向に向けて直方体状に突出していて、個別上金型３１を形成している。すなわち、ベース部３０は、個別上金型３１と一体に構成されている。
【0019】
個別上金型３１は、対応する個別加圧部材７を下方向に向けて加圧して、対応するワークＷを加圧する。個別上金型３１の形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。個別上金型３１は、下面３１ａを備える。下方向視において、個別上金型３１は、ＸＹ方向に沿って均等（３行×３列）に配列されている。以下の説明において、個別上金型３１それぞれが特に区別されるとき、これらの末尾には符号「１」～「９」が付記される。
【0020】
個別上金型３１１，３１２，３１３は、＋Ｘ方向側から順にＸ軸方向に沿うように、ベース部３０の＋Ｙ方向側の半部に配置されている。個別上金型３１４，３１５，３１６は、＋Ｘ方向側から順にＸ軸方向に沿うように、Ｙ軸方向におけるベース部３０の中央部に配置されている。個別上金型３１７，３１８，３１９は、＋Ｘ方向側から順にＸ軸方向に沿うように、ベース部３０の－Ｙ方向側の半部に配置されている。
【0021】
なお、本発明において、上金型３は、ベース２と一体に形成されていてもよい。
【0022】
また、本発明において、上金型３は、ベース部３０を備えていなくてもよい。この場合、例えば、個別上金型３１は、ベース２の下面２ａに取り付けられていてもよく、または、ベース２と一体に形成されていてもよい。
【0023】
図４は、上加圧ユニットＵＰの模式底面図である。
同図は、上加圧ユニットＵＰのうち、ベース２の図示を省略している。以下の説明において、図１および図２は、図４と共に適宜参照される。同図は、説明の便宜上、上金型３の外縁部を二点鎖線で示していて、後述される支持部材５０の外縁部を太い二点鎖線で示している。
同図は、上加圧ユニットＵＰのうち、ベース２の図示を省略している。以下の説明において、図１および図２は、図４と共に適宜参照される。同図は、説明の便宜上、上金型３の外縁部を二点鎖線で示していて、後述される支持部材５０の外縁部を太い二点鎖線で示している。
【0024】
サイドユニット４は、ワークＷが加圧されるとき、ベース２および載置板１４と共に、ワークＷが収容される空間（以下「収容室Ｒ」という。図６参照。以下同じ。）を形成する。サイドユニット４は、ベース２の下方向に配置されている。サイドユニット４は、第１サイド部材４０、第２サイド部材４１、第１シール部材４２、第２シール部材４３、第３シール部材４４、およびシリンダ４５を備える。
【0025】
第１サイド部材４０および第２サイド部材４１の形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、筒状である。すなわち、下方視において、第１サイド部材４０および第２サイド部材４１の中央には、矩形状の内部空間が形成されている。第１サイド部材４０は、ベース２の下面２ａに取り付けられている。水平方向において、第１サイド部材４０は、上金型３、支持ユニット５、および支持金型６を囲むように配置されている。すなわち、下方向視において、上金型３、支持ユニット５、および支持金型６は、第１サイド部材４０の内部空間に配置されている。第２サイド部材４１は、シリンダ４５を介して、ベース２に支持されている。水平方向において、第２サイド部材４１は、第１サイド部材４０を囲むように配置されている。すなわち、下方向視において、第１サイド部材４０（上金型３、支持ユニット５、および支持金型６）は、第２サイド部材４１の内部空間に配置されている。第２サイド部材４１は、下面４１ａ、上面４１ｂ、および排気孔４１ｃを備える。排気孔４１ｃは、第２サイド部材４１の内周面および外周面に開口している貫通孔である。
【0026】
第１シール部材４２、第２シール部材４３、および第３シール部材４４は、例えば、公知のＯ－リングである。第１シール部材４２は、ベース２と第１サイド部材４０との間に配置されている。第２シール部材４３は、第１サイド部材４０と第２サイド部材４１との間に配置されている。第３シール部材４４は、下面４１ａに取り付けられている。
【0027】
シリンダ４５は、第２サイド部材４１を昇降させる。シリンダ４５は、ベース２の下面２ａと第２サイド部材４１の上面４１ｂとに取り付けられていて、第２サイド部材４１を昇降可能に支持している。シリンダ４５は、例えば、公知のエアシリンダである。
【0028】
支持ユニット５は、支持金型６を支持する。支持ユニット５は、ベース２の下方向に配置されている。支持ユニット５は、支持部材５０および複数のばね部材５１を備える。
【0029】
支持部材５０は、支持金型６を支持する。支持部材５０の形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、枠状である。すなわち、下方向視において、支持部材５０の中央には、矩形状の内部空間が形成されている。支持部材５０は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。支持部材５０は、下面５０ａおよび上面５０ｂを備える。下方向視において、支持部材５０は、上金型３を囲むように、上金型３の側方に配置されている。
【0030】
ばね部材５１は、支持部材５０を支持する。ばね部材５１は、ベース２の下面２ａと支持部材５０の上面５０ｂとに取り付けられていて、支持部材５０を上金型３に対して上下方向に相対移動可能に支持している。ばね部材５１は、例えば、公知のコイルばねである。
【0031】
図５は、上加圧ユニットＵＰの一部の構成（上金型３、支持金型６、個別加圧部材７、個別加圧パッド８、付勢ユニット９、および個別保護板１０）の模式分解斜視図である。
以下の説明において、図１～図４は、図５と共に適宜参照される。
以下の説明において、図１～図４は、図５と共に適宜参照される。
【0032】
支持金型６は、個別加圧部材７を、支持金型６に対して上下方向に相対移動可能に支持する。支持金型６は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。支持金型６の形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。下方向視において、支持金型６の外縁部の形状（大きさ）は、支持部材５０の外縁部の形状（大きさ）と同じである。支持金型６は、上金型３および支持ユニット５の下方向に配置されている。支持金型６は、下面６ａ、上面６ｂ、複数（本実施の形態では９個）の収容孔６ｃを備える。支持金型６は、移動規制部材１２を介して、支持部材５０の下面５０ａに取り付けられている。
【0033】
収容孔６ｃは、支持金型６を上下方向に貫通する貫通孔である。収容孔６ｃの形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、２段角柱状である。収容孔６ｃは、内周面６ｄおよび内フランジ部６ｅを備える。収容孔６ｃの内周面６ｄの下端部は、全周に亘り、水平方向（収容孔６ｃの内方向）に向けて突出していて、内フランジ部６ｅを形成している。すなわち、収容孔６ｃの内部には、２段角柱状の空間が形成されている。内フランジ部６ｅの形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、枠状である。内フランジ部６ｅは、上面６ｆを備える。収容孔６ｃそれぞれは、個別上金型３１それぞれに対応している。同対応関係は、後述される。下方向視において、収容孔６ｃは、対応する個別上金型３１と同じ位置に配置されている。以下の説明において、収容孔６ｃそれぞれが特に区別されるとき、これらの末尾には符号「１」～「９」が付記される。
【0034】
後述のとおり、支持金型６のうち、収容孔６ｃ以外の部分は、ワークＷが加圧されるとき、個別加圧パッド８から水平方向に向かう圧力（押圧力）を受ける。そのため、水平方向において、同部分の長さ（厚さ）は、同圧力により変形しない長さとなるように設計されている。
【0035】
個別加圧部材７は、対応するワークＷを上方向から個別に加圧する。個別加圧部材７は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。図２に示されているとおり、個別加圧部材７は、下面７ａ、上面７ｂ、本体部７ｃ、外フランジ部７ｄを備える。下面７ａは本体部７ｃの下面であり、上面７ｂは本体部７ｃおよび外フランジ部７ｄの上面である。個別加圧部材７それぞれは、収容孔６ｃそれぞれおよび個別上金型３１それぞれに対応している。同対応関係は、後述される。個別加圧部材７は、対応する収容孔６ｃに収容されている。個別加圧部材７は、対応する収容孔６ｃ内を上下方向に移動（摺動）可能である。すなわち、個別加圧部材７は、支持金型６に対して、上下方向に相対移動可能である。以下の説明において、個別加圧部材７それぞれが特に区別されるとき、これらの末尾には符号「１」～「９」が付記される。
【0036】
本体部７ｃの形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。ＸＹ方向において、本体部７ｃの長さ（幅）は、内フランジ部６ｅにおける収容孔６ｃの長さ（幅）よりも小さい。上下方向において、本体部７ｃの長さ（高さ）は、収容孔６ｃの長さ（すなわち、支持金型６の長さ）よりも小さい。
【0037】
本体部７ｃの外周面の上端部は、全周に亘り、外方向に向けて突出していて、外フランジ部７ｄを構成している。すなわち、側方視において、個別加圧部材７の形状は、「Ｔ」字状である。外フランジ部７ｄの形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状である。ＸＹ方向において、外フランジ部７ｄの長さ（幅）は、対応する収容孔６ｃの長さ（幅）よりも僅かに（個別加圧部材７が収容孔６ｃ内を摺動可能な程度に）小さい。外フランジ部７ｄは、下面７ｅを備える。上下方向において、下面７ｅは、対応する内フランジ部６ｅの上面６ｆに対向するように配置されている。
【0038】
個別加圧パッド８は、ワークＷが加圧されるとき、対応する個別加圧部材７の支持金型６に対する相対移動量に応じて変形する。図２に示されているとおり、個別加圧パッド８は、柔軟体８ａ、および２枚の膜８ｂ，８ｃを備える。個別加圧パッド８それぞれは、収容孔６ｃそれぞれおよび個別加圧部材７それぞれに対応している。同対応関係は、後述される。個別加圧パッド８は、対応する収容孔６ｃに収容されていて、対応する個別加圧部材７の上方向に、同個別加圧部材７に隣接して配置されている。すなわち、個別加圧パッド８は、対応する個別加圧部材７と、対応する個別上金型３１（上金型３）と、の間に配置されている。つまり、個別加圧パッド８は、本発明における加圧パッドとして機能している。換言すれば、本装置１は、複数の個別加圧パッド８を備えて、上金型３と個別加圧部材７との間に配置される、加圧パッドＰｄを有している。以下の説明において、個別加圧パッド８それぞれが特に区別されるとき、これらの末尾には符号「１」～「９」が付記される。
【0039】
柔軟体８ａは、ワークＷが加圧されるとき、対応する個別上金型３１からの圧力を対応する個別加圧部材７に均等に伝達する。柔軟体８ａは、例えば、公知の高い流動性および低い反発弾性率を有する弾性体材料（例えば、（株）ジェルテック製、高ダンピング熱伝導ゲルシート「αＧＥＬ（登録商標）」など）製である。柔軟体８ａは、仮に、凹凸の有る物体に向けて押圧されたとき、同物体の凹凸形状に追従して変形可能な柔軟性を有する。柔軟体８ａは、例えば、柔軟体８ａの上下に配置されている２枚の膜８ｂ，８ｃの間に充填されている。
【0040】
膜８ｂ，８ｃは、対応する個別加圧部材７および個別保護板１０の柔軟体８ａへの付着を防止する。また、膜８ｂ，８ｃは、対応する収容孔６ｃと個別加圧部材７（外フランジ部７ｄ）との間の隙間、および対応する収容孔６ｃと個別保護板１０との間の隙間への柔軟体８ａの浸入を防ぐシール材としても機能する。膜８ｂ，８ｃの形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、膜状である。ＸＹ方向において、膜８ｂ，８ｃの長さ（幅）は、対応する収容孔６ｃの長さ（幅）と同じ、または、収容孔６ｃの長さよりも僅かに大きい。
【0041】
なお、本発明において、対応する収容孔６ｃと個別加圧部材７（外フランジ部７ｄ）との間の隙間、および対応する収容孔６ｃと個別保護板１０との間の隙間の大きさが、柔軟体８ａが浸入不可能な大きさであるとき、ＸＹ方向において、膜８ｂ，８ｃの長さ（幅）は、収容孔６ｃの長さ（幅）よりも小さくてもよい。この場合、収容孔６ｃと外フランジ部７ｄとの間には、シール材（例えば、Ｏ－リング）が配置されていてもよい。また、柔軟体８ａが同隙間に浸入しない材料製であるとき、個別加圧パッド８は、膜８ｂ，８ｃを備えていなくてもよい。
【0042】
付勢ユニット９は、個別加圧部材７を上方向に向けて付勢する。付勢ユニット９は、例えば、１個以上（本実施の形態では４個）の付勢部材（例えば、コイルばね）で構成されている。付勢ユニット９それぞれは、収容孔６ｃおよび個別加圧部材７それぞれに対応している。同対応関係は、後述される。付勢ユニット９は、対応する収容孔６ｃに収容されていて、対応する内フランジ部６ｅの上面６ｆと、個別加圧部材７の外フランジ部７ｄの下面７ｅと、の間に配置されている。以下の説明において、付勢ユニット９それぞれが特に区別されるとき、これらの末尾には符号「１」～「９」が付記される。
【0043】
なお、本発明において、付勢ユニット９を構成する付勢部材の数は、「４」に限定されない。すなわち、例えば、付勢ユニット９は、本体部７ｃを芯材とするように配置される１つのコイルばねで構成されていてもよい。また、付勢部材は、コイルばねに限定されない。すなわち、例えば、付勢部材は、板ばねでもよい。
【0044】
個別保護板１０は、個別加圧パッド８を個別上金型３１から保護する。個別保護板１０は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。個別保護板１０の形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、板状である。ＸＹ方向において、個別保護板１０の長さ（幅）は、対応する収容孔６ｃの長さ（幅）よりも僅かに小さい。個別保護板１０それぞれは、個別上金型３１それぞれ、収容孔６ｃそれぞれ、および個別加圧パッド８それぞれに対応している。同対応関係は、後述される。個別保護板１０は、対応する個別上金型３１の下方向に配置されていて、対応する収容孔６ｃに収容されていて、対応する個別加圧パッド８の上に載置されている。以下の説明において、個別保護板１０それぞれが特に区別されるとき、これらの末尾には符号「１」～「９」が付記される。
【0045】
金型受部材１１は、ワークＷが加圧されるとき、支持金型６からの下方向への圧力を受け止める。また、金型受部材１１は、ワークＷが加圧されるとき、上下方向において、載置板１４に対する支持金型６の位置（高さ）を決定する。金型受部材１１は、例えば、公知の硬質断熱材料（例えば、数１０ＭＰａ～１００ＭＰａ以上の圧縮強度を有する断熱材料）製である。金型受部材１１の形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、枠状である。金型受部材１１は、支持金型６の下面６ａの外縁部に取付けられている。その結果、金型受部材１１は、載置板１４の後述される載置面１４ａに対向している。図２に示されているとおり、上下方向において、金型受部材１１の長さ（厚さ）Ｌ１１は、ワークＷの長さ（厚さ）Ｌｗよりも大きい。金型受部材１１は、下面１１ａを備える。
【0046】
移動規制部材１２は、付勢ユニット９による、個別加圧部材７、個別加圧パッド８、および個別保護板１０の上方向への移動を規制する。移動規制部材１２は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、板状である。移動規制部材１２は、支持金型６の上方向に配置されていて、支持金型６の上面６ｂに取り付けられている。移動規制部材１２は、下面１２ａ、および複数（本実施の形態では９個）の挿通孔１２ｂを備える。
【0047】
挿通孔１２ｂは、移動規制部材１２を上下方向に貫通する貫通孔である。挿通孔１２ｂの形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状である。挿通孔１２ｂそれぞれは、個別上金型３１それぞれ、収容孔６ｃそれぞれ、および個別保護板１０それぞれに対応している。同対応関係は、後述される。下方向視において、挿通孔１２ｂは、対応する個別上金型３１および収容孔６ｃと同じ位置に配置されている。上方向視において、移動規制部材１２のうち、挿通孔１２ｂの周囲の部分は、矩形枠状に、対応する収容孔６ｃの外縁部を覆っている。その結果、同部分は、対応する個別加圧部材７、個別加圧パッド８、および個別保護板１０の上方向への移動を規制している。ＸＹ方向において、挿通孔１２ｂの長さ（幅）は、対応する個別上金型３１の長さ（幅）よりも大きく、対応する収容孔６ｃおよび個別保護板１０の長さ（幅）よりも小さい。以下の説明において、挿通孔１２ｂそれぞれが特に区別されるとき、これらの末尾には符号「１」～「９」が付記される。
【0048】
なお、本発明において、移動規制部材１２は、複数（例えば、収容孔６ｃと同数）の枠状の部材で構成されていてもよい。
【0049】
昇降装置１３は、ベース２を昇降させる。昇降装置１３は、例えば、公知の油圧シリンダである。
【0050】
載置板１４は、ワークＷが載置される部材である。載置板１４は、例えば、グラファイト、または、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。載置板１４の形状は、下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状であり、板状である。載置板１４は、熱ユニット１５の上に載置されている。載置板１４は、上面である載置面１４ａを備える。
【0051】
熱ユニット１５は、ワークＷを加熱する。熱ユニット１５は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。熱ユニット１５の形状は、上下方向視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、直方体状である。熱ユニット１５は、熱ユニット１５の内部に配置される複数のヒータおよび冷媒流路（共に不図示。）を備える。
【0052】
制御装置１６は、本装置１全体の動作を制御する。
【0053】
真空ポンプＰは、後述される収容室Ｒ内の雰囲気を減圧雰囲気（真空雰囲気）に調整する。真空ポンプＰは、公知の真空ポンプである。真空ポンプＰは、配管を介して排気孔４１ｃに接続されている。
【0054】
ここで、個別上金型３１、収容孔６ｃ、個別加圧部材７、個別加圧パッド８、付勢ユニット９、個別保護板１０、および挿通孔１２ｂそれぞれにおいて、区別のために付記された符号の番号が同じ部材同士は、相互に対応している。すなわち、例えば、個別上金型３１１、収容孔６ｃ１、個別加圧部材７１、個別加圧パッド８１、付勢ユニット９１、個別保護板１０１、および挿通孔１２ｂ１それぞれは、相互に対応している。個別加圧部材７１、個別加圧パッド８１、付勢ユニット９１、個別保護板１０１は、収容孔６ｃ１に収容されている。個別加圧部材７１は、収容孔６ｃ１内を上下方向に移動（摺動）可能である。個別加圧パッド８１は、個別加圧部材７１の上方向に、個別加圧部材７１に隣接して配置されている。付勢ユニット９１は、個別加圧部材７１、個別加圧パッド８１、および個別保護板１０１を上方向に向けて付勢している。個別保護板１０１は、個別上金型３１１の下方向に配置されていて、個別加圧パッド８１の上に載置されている。上方向視において、移動規制部材１２のうち、挿通孔１２ｂ１の周囲の部分は、矩形枠状に、収容孔６ｃ１の外縁部を覆っている。その結果、同部分は、個別加圧部材７１、個別加圧パッド８１、および個別保護板１０１の上方向への移動を規制している。
【0055】
このように構成される本装置１は、上金型３（個別上金型３１）、支持金型６、個別加圧部材７、個別加圧パッド８、付勢ユニット９、個別保護板１０、および移動規制部材１２を交換することにより、異なる品種のワークＷを加圧可能である。
【0056】
【0057】
図１に示されているとおり、ワークＷが加圧されていないとき、上加圧ユニットＵＰは、下加圧ユニットＤＰの上方向に、下加圧ユニットＤＰとは離間して配置されている。この状態では、図２に示されているとおり、収容孔６ｃにおいて、付勢ユニット９は、対応する個別加圧部材７、個別加圧パッド８、および個別保護板１０を上方向に向けて付勢している。その結果、個別加圧部材７は、対応する収容孔６ｃに収容されていて、支持金型６から下方向には突出していない。また、個別保護板１０は、移動規制部材１２に当接していて、個別加圧部材７、個別加圧パッド８、および個別保護板１０は、収容孔６ｃから上方向には突出していない。個別上金型３１は、対応する個別保護板１０と対向していて、対応する収容孔６ｃおよび挿通孔１２ｂよりも上方向に位置している。支持金型６および個別加圧部材７は、載置板１４の上方向に配置されている。
【0058】
先ず、ワークＷが、載置板１４の載置面１４ａに載置される。このとき、各ワークＷは、対応する個別加圧部材７の下方向に位置している。
【0059】
なお、本発明において、ワークＷは載置板１４に載置された状態で、載置板１４ごと熱ユニット１５の上方向まで搬送されていてもよい。
【0060】
次いで、昇降装置１３は、上加圧ユニットＵＰを下降させる。具体的には、昇降装置１３は、第２サイド部材４１および第３シール部材４４が載置板１４に密着するまで、上加圧ユニットＵＰを下降させる。このとき、上加圧ユニットＵＰと、載置板１４と、の間には、ワークＷが収容される収容室Ｒが形成されている。収容室Ｒは、ベース２、サイドユニット４、および載置板１４により囲まれた空間である。
【0061】
図６は、動作中の本装置１の一状態を示す模式断面図である。
同図は、収容室Ｒが形成されている状態を示している。
同図は、収容室Ｒが形成されている状態を示している。
【0062】
次いで、真空ポンプＰは、収容室Ｒ内の雰囲気を減圧雰囲気にする。
【0063】
次いで、昇降装置１３は、金型受部材１１が載置板１４に当接するまで、上加圧ユニットＵＰを下降させる。このとき、第２サイド部材４１は、ベース２の下降に応じて、第１サイド部材４０に対して上方向に相対移動する。
【0064】
図７は、動作中の本装置１の別の一状態を示す模式断面図である。
図８は、図７の状態の本装置１の部分拡大模式断面図である。
これらの図は、金型受部材１１が載置板１４に当接している状態を示している。図８は、図７の本装置１のＢ部を示している。
図８は、図７の状態の本装置１の部分拡大模式断面図である。
これらの図は、金型受部材１１が載置板１４に当接している状態を示している。図８は、図７の本装置１のＢ部を示している。
【0065】
金型受部材１１が載置板１４に当接したとき、金型受部材１１は、支持部材５０および支持金型６を介して、ばね部材５１により下方向に向けて押圧される。すなわち、金型受部材１１は、支持金型６（下面６ａ）と載置板１４（載置面１４ａ）との間で挟まれている。このとき、金型受部材１１は、支持金型６から下方向に向けて加えられる圧力（主に、支持部材５０および支持金型６の重量に起因する圧力、および、ばね部材５１からの押圧力）を受け止めていている。また、金型受部材１１と載置板１４との間には、同圧力に起因して、載置板１４に対する支持金型６の水平方向の移動を阻止する摩擦力が生じている。その結果、載置板１４に対する支持金型６の水平方向への滑りは、生じない。さらに、上下方向において、載置面１４ａに対する下面６ａの位置は、金型受部材１１の長さＬ１１分の位置に維持される。すなわち、金型受部材１１が載置板１４に当接することにより、載置板１４（ワークＷ）に対する支持金型６の位置が固定（決定）される。この状態では、支持金型６（下面６ａ）および個別加圧部材７（下面７ａ）は、ワークＷに接触しない。したがって、これらのワークＷへの接触に起因するワークＷの移動や、意図されないワークＷの加圧などの不具合は、生じない。このように、金型受部材１１が載置板１４に押圧されることにより、金型受部材１１は、載置板１４（ワークＷ）に対する支持金型６の位置を決定する。
【0066】
次いで、熱ユニット１５は、ワークＷを所定の温度（例えば、３００℃）まで加熱する。
【0067】
なお、本発明において、熱ユニット１５がワークＷの加熱を開始するタイミングは、上加圧ユニットＵＰが下降する前でもよい。
【0068】
次いで、昇降装置１３は、個別加圧部材７それぞれが対応するワークＷに当接するまで、上加圧ユニットＵＰを下降させる。このとき、個別上金型３１は、対応する挿通孔１２ｂに挿通されて、対応する個別保護板１０に当接する。また、ばね部材５１がベース２の下降に応じて縮むことにより、支持部材５０および支持金型６は、上金型３に対して上方向に相対移動する。次いで、個別上金型３１は、対応する個別保護板１０を下方向に向けて押し込む。このとき、個別上金型３１、個別加圧部材７、個別加圧パッド８、および個別保護板１０は、付勢ユニット９の付勢力に抗して、収容孔６ｃ内を下降（摺動）する。すなわち、個別上金型３１、個別加圧部材７、個別加圧パッド８、および個別保護板１０は、支持金型６に対して下方向に相対移動する。その結果、個別加圧部材７は、対応するワークＷに向けて、収容孔６ｃから突出して、対応するワークＷの上端部（電子部品ｗ１）に当接する。個別加圧部材７は、ワークＷのうち、加圧が必要な部分（電子部品ｗ１）のみに当接している。ここで、上下方向において、ワークＷそれぞれの長さＬｗ、および個別加圧部材７の下面７ａの位置は、ワークＷおよび各部材の公差などに応じて、僅かに異なり得る。そのため、個別加圧部材７それぞれの支持金型６に対する相対移動量は、僅かに異なり得る（相対移動量に差異が有る）。
【0069】
次いで、昇降装置１３は、個別加圧部材７それぞれが対応するワークＷに対して規定の圧力（例えば、数１０ＭＰａ。以下「規定圧力」という。）を加える（ワークＷが加圧される）まで、上加圧ユニットＵＰを下降させる。
【0070】
図９は、動作中の本装置１のさらに別の一状態を示す模式断面図である。
図１０は、図９の状態の本装置１の部分拡大模式断面図である。
図９は、ワークＷが加圧されている状態を示している。図１０は、図９の本装置１のＣ部を示している。
図１０は、図９の状態の本装置１の部分拡大模式断面図である。
図９は、ワークＷが加圧されている状態を示している。図１０は、図９の本装置１のＣ部を示している。
【0071】
この状態では、個別加圧パッド８（柔軟体８ａ）は、対応する個別加圧部材７の相対移動量に応じて変形している。その結果、対応する個別上金型３１からの規定圧力は、対応する個別加圧部材７に均等に伝達される。すなわち、個別上金型３１は、対応する個別加圧部材７を下方向に向けて加圧している。前述のとおり、柔軟体８ａは、２枚の膜８ｂ，８ｃにより挟まれている。そのため、柔軟体８ａは、収容孔６ｃと個別加圧部材７（外フランジ部７ｄ）との間の隙間、および収容孔６ｃと個別保護板１０との間の隙間へ浸入しない。また、柔軟体８ａが対応する個別加圧部材７の相対移動量の差異を吸収するため、個別上金型３１からの規定圧力は、全てのワークＷに対して、均等に伝達される。前述のとおり、柔軟体８ａは、ゲルシート製であるため、数百μオーダーの差異も吸収可能である。このとき、個別加圧パッド８が変形することにより、個別上金型３１からの規定圧力は、個別加圧パッド８を介して、水平方向（すなわち、収容孔６ｃの内周面６ｄ）にも伝達される。そのため、前述のとおり、支持金型６は、内周面６ｄに伝達される規定圧力により変形しないように設計されている。
【0072】
前述のとおり、個別加圧部材７は、対応するワークＷの電子部品ｗ１のみに当接していて、電子部品ｗ１のみを下方向に向けて加圧している。そのため、銅板ｗ４，ｗ５から突出しているセラミック板ｗ３の外縁部は、加圧されておらず、同外縁部の割れや欠けなどの不具合は生じない。このように、本装置１は、支持金型６に対して相対移動する個別加圧部材７を用いて、複数のワークＷそれぞれの加圧が必要な部位（電子部品ｗ１）のみを、一括に加圧できる。
【0073】
ワークＷが加圧されているとき、付勢ユニット９を構成している各コイルばねは、完全には圧縮されていない。そのため、個別加圧部材７に伝達される規定圧力は、ワークＷに伝達されて、内フランジ部６ｅ（支持金型６）に伝達されない。また、前述のとおり、ワークＷが加圧されるとき、支持部材５０および支持金型６は、上金型３に対して上方向に相対移動している。そのため、上金型３からの規定圧力は、個別加圧部材７に集中的に伝達されて、支持金型６には伝達されない。そのため、本装置１では、「上金型の全面を覆うように配置される加圧パッドで複数のワークを加圧する従来の加圧装置（以下「従来装置」という。）」と比較して、ワークＷを加圧するために必要な昇降装置１３からの圧力は低減される（例えば、１／４程度）。その結果、昇降装置１３は、従来装置よりも小型化される。また、支持金型６に要求される耐圧力は、支持金型６の上面６ｂが加圧される場合と比較して、小さくなる。したがって、上下方向における支持金型６の長さは縮小できて、支持金型６の重量は低減できる。
【0074】
次いで、昇降装置１３は、ワークＷに規定圧力が加えられている状態を所定時間維持する。ここで、支持金型６は載置板１４に当接しておらず、金型受部材１１は断熱材料製である。そのため、熱ユニット１５からの熱は、ワークＷを介して個別加圧部材７には間接的に伝達されるが、載置板１４から支持金型６には直接的に伝達されない。
【0075】
次いで、昇降装置１３は、上加圧ユニットＵＰを上昇させる。このとき、個別上金型３１は、対応する収容孔６ｃ内を上昇して、対応する挿通孔１２ｂから上方向に向けて移動する。その結果、個別加圧部材７、個別加圧パッド８、および個別保護板１０は、付勢ユニット９の付勢力により、収容孔６ｃ内を上昇して、個別加圧部材７は収容孔６ｃに収容される。したがって、個別加圧部材７は、支持金型６から下方向には突出していない。また、個別加圧パッド８の柔軟体８ａは加圧前の状態に戻り、個別保護板１０は移動規制部材１２に当接している。前述のとおり、個別保護板１０は、膜８ｂと個別上金型３１との間に配置されている。そのため、個別上金型３１が収容孔６ｃより上方向に移動するとき、膜８ｂ（個別加圧パッド８）は、個別上金型３１に付着せず、個別上金型３１と共に収容孔６ｃから持ち上げられない。
【0076】
昇降装置１３が上加圧ユニットＵＰを上昇させるとき、制御装置１６は、収容室Ｒ内をガス（例えば、窒素ガス）でパージして、収容室Ｒ内の雰囲気を大気圧雰囲気にする。また、熱ユニット１５は、ワークＷの加熱を停止する。
【0077】
●まとめ（１）
以上説明された実施の形態によれば、本装置１は、上金型３、支持金型６、複数の個別加圧部材７、複数の個別加圧パッド８を備える加圧パッドＰｄ、および載置板１４を有してなる。支持金型６は、個別加圧部材７それぞれを支持する。個別加圧部材７は、載置板１４の上方向に配置されていて、対応するワークＷを上方向から個別に加圧可能である。加圧パッドＰｄ（個別加圧パッド８）は、上金型３と対応する個別加圧部材７との間に配置されている。個別加圧部材７は、支持金型６に対して上下方向に相対移動可能である。加圧パッドＰｄは、対応する個別加圧部材７の支持金型６に対する相対移動量に応じて変形可能である。ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材７は、対応するワークＷに向けて、支持金型６から下方向に突出する。この構成によれば、ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材７のみがワークＷに当接していて、上金型３からの圧力は個別加圧部材７を介してワークＷの上端部（電子部品ｗ１）のみに加えられる。そのため、銅板ｗ４，ｗ５から突出しているセラミック板ｗ３の外縁部は、加圧されておらず、同外縁部の割れや欠けなどの不具合は生じない。このように、本装置１は、支持金型６に対して相対移動する個別加圧部材７を用いて、複数のワークＷそれぞれの加圧が必要な部位（電子部品ｗ１）のみを、一括に加圧できる。
以上説明された実施の形態によれば、本装置１は、上金型３、支持金型６、複数の個別加圧部材７、複数の個別加圧パッド８を備える加圧パッドＰｄ、および載置板１４を有してなる。支持金型６は、個別加圧部材７それぞれを支持する。個別加圧部材７は、載置板１４の上方向に配置されていて、対応するワークＷを上方向から個別に加圧可能である。加圧パッドＰｄ（個別加圧パッド８）は、上金型３と対応する個別加圧部材７との間に配置されている。個別加圧部材７は、支持金型６に対して上下方向に相対移動可能である。加圧パッドＰｄは、対応する個別加圧部材７の支持金型６に対する相対移動量に応じて変形可能である。ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材７は、対応するワークＷに向けて、支持金型６から下方向に突出する。この構成によれば、ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材７のみがワークＷに当接していて、上金型３からの圧力は個別加圧部材７を介してワークＷの上端部（電子部品ｗ１）のみに加えられる。そのため、銅板ｗ４，ｗ５から突出しているセラミック板ｗ３の外縁部は、加圧されておらず、同外縁部の割れや欠けなどの不具合は生じない。このように、本装置１は、支持金型６に対して相対移動する個別加圧部材７を用いて、複数のワークＷそれぞれの加圧が必要な部位（電子部品ｗ１）のみを、一括に加圧できる。
【0078】
また、以上説明された実施の形態によれば、本装置１は、支持金型６を支持する支持部材５０を有してなる。支持部材５０は、下方向視において上金型３の側方に配置されていて、上金型３に対して上下方向に相対移動可能である。この構成によれば、ワークＷが加圧されるとき、上金型３からの圧力は、個別加圧部材７に集中して、支持金型６には伝達されない。そのため、本装置１の昇降装置１３は、従来装置と比較して、小型化される。また、支持金型６に要求される耐圧力は、支持金型６の上面６ｂが加圧される場合と比較して、小さくなる。したがって、上下方向における支持金型６の長さは縮小できて、支持金型６の重量は低減できる。
【0079】
さらに、以上説明された実施の形態によれば、上金型３は、個別加圧部材７に対応する複数の個別上金型３１を備える。加圧パッドＰｄは、個別加圧部材７に対応する複数の個別加圧パッド８を備える。支持金型６は、支持金型６を上下方向に貫通して、対応する個別加圧部材７および個別加圧パッド８を収容する複数の収容孔６ｃを備える。個別上金型３１は、対応する収容孔６ｃ内を支持金型６に対して上下方向に相対移動可能である。個別加圧パッド８は、対応する個別加圧部材７の支持金型６に対する相対移動量に応じて変形可能である。この構成によれば、対応する個別上金型３１からの規定圧力は、対応する個別加圧部材７に均等に伝達される。また、柔軟体８ａが個別加圧部材７の相対移動量の差異を吸収して、個別上金型３１からの規定圧力は、全てのワークＷに対して、均等に伝達される。
【0080】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本装置１は、複数の付勢部材から構成される複数の付勢ユニット９を備える。付勢ユニット９それぞれは、支持金型６の内フランジ部６ｅと、対応する個別加圧部材７の外フランジ部７ｄと、の間に配置されていて、対応する個別加圧部材７を上方向に向けて付勢している。ワークＷが加圧されていないとき、個別上金型３１それぞれは、対応する収容孔６ｃよりも上方向に位置していて、個別加圧部材７それぞれは、付勢ユニット９の付勢力により上方向に向けて付勢されていて、支持金型６から下方向には突出していない。この構成によれば、上加圧ユニットＵＰが下降するとき、支持金型６の位置決め前、または、個別上金型３１からの規定圧力が個別加圧部材７に加えられる前に、個別加圧部材７（下面７ａ）は、支持金型６から突出しておらず、ワークＷに接触しない。そのため、下面７ａのワークＷへの接触に基づくワークＷの移動などの不具合は、生じない。その結果、本装置１は、安定して、複数のワークＷを一括に加圧できる。
【0081】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本装置１は、金型受部材１１を備える。金型受部材１１は、支持金型６の下面６ａに取り付けられていて、載置面１４ａに対向するように、上下方向において、下面６ａと載置面１４ａとの間に配置されている。上下方向において、金型受部材１１の長さＬ１１は、ワークＷそれぞれの長さＬｗ１よりも大きい。この構成によれば、ワークＷが加圧されるとき、支持金型６（下面６ａ）は、ワークＷに接触しない。そのため、下面６ａのワークＷへの接触に起因するワークＷの移動や、意図されないワークＷの加圧などの不具合は、生じない。また、上下方向において、載置板１４に対する支持金型６の位置は、金型受部材１１の長さ分の位置に維持される。さらに、金型受部材１１が載置面１４ａに当接することにより、載置板１４（ワークＷ）に対する支持金型６の位置が固定（決定）される。
【0082】
なお、本発明において、柔軟体８ａの材料は、ゲルシートに限定されない。すなわち、例えば、ワークＷ間の高低差が数十μオーダーの微差であるとき、柔軟体８ａの材料は、ゲルシートよりも形状への追従性が低い材料（例えば、シリコンゴムなど）でもよい。
【0083】
また、本発明において、本装置１は、個別保護板１０を備えていなくてもよい。
【0084】
さらに、本発明において、金型受部材１１は、載置板１４に取り付けられていてもよい。
【0085】
さらにまた、本発明において、本装置１は、移動規制部材１２を備えていなくてもよい。この場合、例えば、個別保護板１０の全体が収容孔６ｃから上方向に突出しないように、上下方向における収容孔６ｃの長さ、または、付勢ユニット９の付勢力が調整される。
【0086】
さらにまた、本発明において、金型受部材１１は、支持金型６および／または載置板１４と一体に形成されていてもよい。
【0087】
さらにまた、本発明において、ワークＷが加圧されていないとき、個別加圧部材７は、支持金型６から下方向に向けて突出していてもよい。この場合、好ましくは、金型受部材１１が載置板１４に当接したとき、突出量が、個別加圧部材７がワークＷに接触しない程度に抑えられているとよい。
【0088】
●加圧装置（２）●
次に、本装置の別の実施の形態（以下「第２実施形態」という。）が、先に説明された実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。第２実施形態では、上加圧ユニットの構成が、第１実施形態と異なる。以下の第２実施形態の説明において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および共通している機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されていて、詳細な説明は省略される。
次に、本装置の別の実施の形態（以下「第２実施形態」という。）が、先に説明された実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。第２実施形態では、上加圧ユニットの構成が、第１実施形態と異なる。以下の第２実施形態の説明において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および共通している機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されていて、詳細な説明は省略される。
【0089】
●加圧装置（２）の構成
図１１は、本装置の第２実施形態を示す、本装置の模式断面図である。
図１２は、本装置１Ｚの部分拡大模式断面図である。
これらの図は、ＸＹ平面状に載置された本装置１ＺがＸＺ平面に沿って切断された状態、を示している（後述される図１４～図１８も同様である）。図１２は、図１１の本装置１ＺのＤ部を示している。
図１１は、本装置の第２実施形態を示す、本装置の模式断面図である。
図１２は、本装置１Ｚの部分拡大模式断面図である。
これらの図は、ＸＹ平面状に載置された本装置１ＺがＸＺ平面に沿って切断された状態、を示している（後述される図１４～図１８も同様である）。図１２は、図１１の本装置１ＺのＤ部を示している。
【0090】
本装置１Ｚは、ワークＷを加圧する。本装置１Ｚは、ベース２、上金型３Ｚ、サイドユニット４、支持ユニット５、支持金型６Ｚ、複数（本実施の形態では９個）の個別加圧部材７、複数（本実施の形態では９個）の付勢ユニット９、金型受部材１１Ｚ、昇降装置１３、載置板１４、熱ユニット１５、制御装置１６、枠部材１７、加圧パッド１８、および真空ポンプＰを有してなる。ベース２、上金型３Ｚ、サイドユニット４、支持ユニット５、支持金型６Ｚ、個別加圧部材７、付勢ユニット９、枠部材１７、および加圧パッド１８は、上下方向においてワークＷよりも上方向に配置されていて、上加圧ユニットＵＰＺを構成している。金型受部材１１Ｚ、載置板１４および熱ユニット１５は、上下方向においてワークＷよりも下方向に配置されていて、下加圧ユニットＤＰＺを構成している。
【0091】
上金型３Ｚは、個別加圧部材７を介して、上方向からワークＷを加圧する。上金型３Ｚは、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。上金型３Ｚの形状は、ＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、上下方向において扁平な直方体状である。上金型３Ｚは、下面３ａを備える。上金型３Ｚは、ベース２の下面２ａに取り付けられている。
【0092】
支持ユニット５は、枠部材１７を支持する。支持ユニット５は、ベース２の下方向に配置されている。下方向視において、支持部材５０は、上金型３Ｚを囲むように、上金型３Ｚの側方に配置されている。
【0093】
図１３は、上加圧ユニットＵＰＺの一部の構成（上金型３Ｚ、支持金型６Ｚ、個別加圧部材７、枠部材１７、および加圧パッド１８）の模式分解斜視図である。以下の説明において、図１１および図１２は、図１３と共に適宜参照される。
【0094】
支持金型６Ｚは、個別加圧部材７を、支持金型６Ｚに対して上下方向に相対移動可能に支持する。支持金型６Ｚは、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。支持金型６Ｚの形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。下方向視において、支持金型６Ｚの外縁部の形状（大きさ）は、支持部材５０の外縁部の形状（大きさ）、および枠部材１７の外縁部の形状（大きさ）と同じである。支持金型６Ｚは、上金型３Ｚ、支持ユニット５、枠部材１７、および加圧パッド１８の下方向に配置されている。支持金型６Ｚは、枠部材１７に支持されている。支持金型６Ｚは、下面６ａ、上面６ｂ、複数（本実施の形態では９個）の収容孔６ｃ、および凹部６ｇを備える。収容孔６ｃは、対応する個別加圧部材７および付勢ユニット９を収容している。
【0095】
支持金型６Ｚの上面６ｂは、外縁部を除き、下方向に矩形板状に凹んでいて、凹部６ｇを形成している。ＸＹ方向において、凹部６ｇの長さ（幅）は、上金型３Ｚの長さ（幅）と同じ、または、上金型３Ｚの長さよりも僅かに小さい。支持金型６Ｚは、枠部材１７の後述される下面１７ａに取り付けられている。
【0096】
後述のとおり、支持金型６Ｚは、ワークＷが加圧されるとき、加圧パッド１８から下方向に向かう規定圧力を受ける。そのため、上下方向において、支持金型６Ｚの長さ（厚さ）は、規定圧力により変形しない長さとなるように設計されている。
【0097】
金型受部材１１Ｚは、ワークＷが加圧されるとき、支持金型６Ｚからの下方向への圧力（規定圧力）を受け止める。また、金型受部材１１Ｚは、ワークＷが加圧されるとき、上下方向において、載置板１４に対する支持金型６Ｚの位置（高さ）を決定する。金型受部材１１Ｚは、例えば、公知の硬質断熱材料（例えば、数１０ＭＰａ～１００ＭＰａ以上の圧縮強度を有する断熱材料）製である。金型受部材１１Ｚの形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、格子状である。金型受部材１１Ｚは、載置板１４の載置面１４ａのうち、支持金型６Ｚの下面６ａに対向する位置（収容孔６ｃに対向しない位置）に取付けられている。図１２に示されているとおり、上下方向において、金型受部材１１Ｚの長さＬ１１Ｚは、ワークＷの長さＬｗよりも大きい。金型受部材１１Ｚは、下面１１ａおよび上面１１ｂを備える。
【0098】
枠部材１７は、加圧パッド１８を保持する。枠部材１７は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、ステンレス鋼）製である。枠部材１７の形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、枠状であり、下方向視において、支持部材５０の形状と同じである。すなわち、下方向視において、枠部材１７の中央には、矩形状の内部空間が形成されている。枠部材１７は、下面１７ａおよび上面１７ｂを備える。枠部材１７は、支持部材５０の下方向に配置されていて、支持部材５０の下面５０ａに取り付けられている。下方向視において、枠部材１７は、上金型３Ｚを囲むように、上金型３Ｚの側方に配置されている。枠部材１７は、支持部材５０と一体的に、上金型３Ｚに対して上下方向に相対移動可能である。上下方向において、枠部材１７は、上金型３Ｚの下面３ａよりも下方向に位置している。
【0099】
加圧パッド１８は、ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材７の支持金型６Ｚに対する相対移動量に応じて変形する。加圧パッド１８は、上方向視において支持金型６Ｚの凹部６ｇの全面を覆うように支持金型６Ｚの上方向に配置されていて、下方向視において上金型３Ｚの全面を覆うように配置されている。すなわち、加圧パッド１８は、上金型３Ｚと個別加圧部材７との間に配置されている。加圧パッド１８は、柔軟体１８ａ、２枚の膜１８ｂ，１８ｃ、および断熱体１８ｄを備える。
【0100】
柔軟体１８ａは、ワークＷが加圧されるとき、上金型３Ｚからの圧力を個別加圧部材７に均等に伝達する。柔軟体１８ａは、例えば、第１実施形態の柔軟体８ａと同じ材料製である。柔軟体８ａは、例えば、柔軟体８ａの上下に配置されている２枚の膜１８ｂ，１８ｃの間に充填されている。膜１８ｂ，１８ｃの外縁部が全周に亘って枠部材１７に保持されることにより、水平方向において、柔軟体１８ａは、枠部材１７に囲まれている（枠部材１７の内部空間に充填されている）。
【0101】
断熱体１８ｄは、ワークＷが加圧されるとき、上金型３Ｚからの圧力を個別加圧部材７へ均等に伝達すると共に、熱ユニット１５からの熱の柔軟体１８ａへの伝達を抑制する。断熱体１８ｄは、例えば、公知の高い柔軟性および低い熱伝導性を有する繊維素材製である。断熱体１８ｄは、柔軟体１８ａと同様に、個別加圧部材７の支持金型６Ｚに対する相対移動量に応じて柔軟に変形可能な柔軟性を有している。断熱体１８ｄは、柔軟体１８ａの下方向に、膜１８ｃに隣接して配置されていて、支持金型６Ｚの凹部６ｇに収容されている。
【0102】
このように構成される本装置１Ｚは、支持金型６Ｚ、個別加圧部材７、および付勢ユニット９を交換することにより、異なる品種のワークＷを加圧可能である。
【0103】
【0104】
図１１に示されているとおり、ワークＷが加圧されていないとき、上加圧ユニットＵＰＺは、下加圧ユニットＤＰＺの上方向に、下加圧ユニットＤＰＺとは離間して配置されている。この状態では、収容孔６ｃにおいて、付勢ユニット９は、対応する個別加圧部材７を上方向に向けて付勢している。その結果、個別加圧部材７は、対応する収容孔６ｃに収容されていて、支持金型６Ｚから下方向には突出していない。また、個別加圧部材７は、断熱体１８ｄに当接していて、個別加圧部材７は、収容孔６ｃから上方向には突出していない。断熱体１８ｄは支持金型６Ｚと柔軟体１８ａとに挟持されていて、上金型３Ｚは加圧パッド１８の上方向に加圧パッド１８と離間して配置されている。
【0105】
本装置１Ｚの動作のうち、ワークＷの載置板１４の載置から収容室Ｒの減圧までの動作は、第１実施形態の本装置１の動作と共通する。
【0106】
図１４は、動作中の本装置１Ｚの一状態を示す模式断面図である。
同図は、収容室Ｒが形成されている状態を示している。
同図は、収容室Ｒが形成されている状態を示している。
【0107】
次いで、昇降装置１３は、支持金型６Ｚが金型受部材１１Ｚに当接するまで、上加圧ユニットＵＰＺを下降させる。このとき、第２サイド部材４１は、ベース２の下降に応じて、第１サイド部材４０に対して上方向に相対移動する。
【0108】
図１５は、動作中の本装置１Ｚの別の一状態を示す模式断面図である。
図１６は、図１５の状態の本装置１Ｚの部分拡大模式断面図である。
これらの図は、支持金型６Ｚが金型受部材１１Ｚに当接している状態を示している。図１６は、図１５の本装置１ＺのＥ部を示している。
図１６は、図１５の状態の本装置１Ｚの部分拡大模式断面図である。
これらの図は、支持金型６Ｚが金型受部材１１Ｚに当接している状態を示している。図１６は、図１５の本装置１ＺのＥ部を示している。
【0109】
支持金型６Ｚが金型受部材１１Ｚに当接したとき、金型受部材１１Ｚは、支持部材５０、枠部材１７、および支持金型６Ｚを介して、ばね部材５１により下方向に向けて押圧される。すなわち、金型受部材１１Ｚは、支持金型６Ｚと載置板１４との間で挟まれている。このとき、金型受部材１１Ｚは、支持金型６Ｚから下方向に向けて加えられる圧力（主に、支持部材５０、支持金型６Ｚ、枠部材１７、および加圧パッド１８の重量に起因する圧力、および、ばね部材５１からの押圧力）を受け止めていている。この状態では、第１実施形態の本装置１と同様に、載置板１４（ワークＷ）に対する支持金型６の位置が固定（決定）される。また、支持金型６Ｚ（下面６ａ）および個別加圧部材７（下面７ａ）は、ワークＷに接触しない。したがって、これらのワークＷへの接触に起因するワークＷの移動や、意図されないワークＷの加圧などの不具合は、生じない。このように、支持金型６Ｚが金型受部材１１Ｚに押圧されることにより、金型受部材１１Ｚは、載置板１４（ワークＷ）に対する支持金型６Ｚの位置を決定する。
【0110】
次いで、熱ユニット１５は、ワークＷを所定の温度（例えば、３００℃）まで加熱する。
【0111】
なお、本発明において、熱ユニット１５がワークＷの加熱を開始するタイミングは、上加圧ユニットＵＰＺが下降する前でもよい。
【0112】
次いで、昇降装置１３は、個別加圧部材７それぞれが対応するワークＷに当接するまで、上加圧ユニットＵＰＺを下降させる。このとき、上金型３Ｚは、加圧パッド１８を下方向に向けて加圧しながら、枠部材１７の内部空間に進入する。また、支持部材５０および枠部材１７は、上金型３Ｚの下降に応じて、上金型３Ｚに対して上方向に相対移動する。その結果、柔軟体１８ａは変形しながら支持金型６Ｚの凹部６ｇ内に進入して、断熱体１８ｄを下方向に向けて押圧する。断熱体１８ｄは、支持金型６Ｚの形状に追従して変形しながら収容孔６ｃ内に進入して、個別加圧部材７を下方向に向けて押し込む。このとき、個別加圧部材７は、付勢ユニット９の付勢力に抗して、収容孔６ｃ内を下降（摺動）する。すなわち、個別加圧部材７は、支持金型６Ｚに対して下方向に相対移動する。その結果、個別加圧部材７は、対応するワークＷに向けて、収容孔６ｃから支持金型６Ｚの下方向に突出して、対応するワークＷの上端部（電子部品ｗ１）に当接する。個別加圧部材７は、ワークＷのうち、加圧が必要な部分（電子部品ｗ１）のみに当接している。
【0113】
次いで、昇降装置１３は、個別加圧部材７それぞれが対応するワークＷに対して規定圧力を加える（ワークＷが加圧される）まで、上加圧ユニットＵＰＺを下降させる。
【0114】
図１７は、動作中の本装置１Ｚのさらに別の一状態を示す模式断面図である。
図１８は、図１７の状態の本装置１Ｚの部分拡大模式断面図である。
これらの図は、ワークＷが加圧されている状態を示している。図１８は、図１７の本装置１ＺのＦ部を示している。
図１８は、図１７の状態の本装置１Ｚの部分拡大模式断面図である。
これらの図は、ワークＷが加圧されている状態を示している。図１８は、図１７の本装置１ＺのＦ部を示している。
【0115】
この状態では、加圧パッド１８（柔軟体１８ａおよび断熱体１８ｄ）は、断熱体１８ｄの収容孔６ｃへの進入量（すなわち、個別加圧部材７の相対移動量）に応じて、支持金型６Ｚの形状に追従して変形している。その結果、上金型３Ｚからの規定圧力は、個別加圧部材７に均等に伝達される。すなわち、上金型３Ｚは、個別加圧部材７を下方向に向けて加圧している。また、柔軟体１８ａが個別加圧部材７の相対移動量の差異を吸収するため、上金型３Ｚからの規定圧力は、全てのワークＷに対して、均等に伝達される。
【0116】
前述のとおり、加圧パッド１８は支持金型６Ｚの上方向に配置されていて、断熱体１８ｄは凹部６ｇに収容されている。そのため、支持金型６Ｚは、柔軟体１８ａおよび断熱体１８ｄを介して、上金型３Ｚから規定圧力で加圧される。第２実施形態では、金型受部材１１Ｚは、支持金型６Ｚの下面６ａと、載置板１４の載置面１４ａと、の間に、格子状に配置されていて、規定圧力で加圧される支持金型６Ｚを支持している。そのため、支持金型６Ｚは、規定圧力が加えられても変形しない。また、昇降装置１３に要求される出力（加圧力）は、第１実施形態の昇降装置１３に要求される出力よりも大きい。そのため、第２実施形態の昇降装置１３は、第１実施形態の昇降装置１３よりも大きくなる。
【0117】
個別加圧部材７は、対応するワークＷの電子部品ｗ１のみに当接していて、電子部品ｗ１のみを下方向に向けて加圧している。そのため、本装置１Ｚは、支持金型６Ｚに対して相対移動する個別加圧部材７を用いて、複数のワークＷそれぞれの加圧が必要な部位（電子部品ｗ１）のみを、一括に加圧できる。
【0118】
次いで、昇降装置１３は、ワークＷに規定圧力が加えられている状態を所定時間維持する。ここで、支持金型６Ｚは載置板１４に当接しておらず、金型受部材１１Ｚは断熱材料製である。そのため、熱ユニット１５からの熱は、ワークＷを介して個別加圧部材７には間接的に伝達されるが、載置板１４から支持金型６Ｚには直接的に伝達されない。また、支持金型６Ｚと柔軟体１８ａとの間には、高い断熱性を有する断熱体１８ｄが配置されている。そのため、熱ユニット１５からの熱が支持金型６Ｚに伝達されても、同熱の柔軟体１８ａへの伝達は、抑制される。
【0119】
次いで、昇降装置１３は、上加圧ユニットＵＰＺを上昇させる。このとき、上金型３Ｚは、加圧パッド１８から離間して、加圧パッド１８の上方向に移動する。その結果、個別加圧部材７は、付勢ユニット９の付勢力により、断熱体１８ｄを押し上げながら収容孔６ｃ内を上昇して、収容孔６ｃに収容される。また、柔軟体１８ａは、加圧前の状態に戻る。前述のとおり、断熱体１８ｄは、凹部６ｇに収容されている。そのため、個別加圧部材７は、断熱体１８ｄに押し付けられて、収容孔６ｃから上方向に突出しない。
【0120】
●まとめ（２）
以上説明された実施の形態によれば、本装置１Ｚは、上金型３Ｚ、支持金型６Ｚ、複数の個別加圧部材７、載置板１４、および加圧パッド１８を有してなる。支持金型６Ｚは、個別加圧部材７それぞれを支持する。個別加圧部材７は、載置板１４の上方向に配置されていて、対応するワークＷを上方向から個別に加圧可能である。加圧パッド１８は、上金型３Ｚと対応する個別加圧部材７との間に配置されている。個別加圧部材７は、支持金型６Ｚに対して上下方向に相対移動可能である。加圧パッド１８は、対応する個別加圧部材７の支持金型６Ｚに対する相対移動量に応じて変形可能である。ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材７は、対応するワークＷに向けて、支持金型６Ｚから下方向に突出する。この構成によれば、ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材７のみがワークＷに当接していて、上金型３Ｚからの圧力は個別加圧部材７を介してワークＷの上端部（電子部品ｗ１）のみに加えられる。そのため、銅板ｗ４，ｗ５から突出しているセラミック板ｗ３の外縁部は、加圧されておらず、同外縁部の割れや欠けなどの不具合は生じない。このように、本装置１Ｚは、支持金型６Ｚに対して相対移動する個別加圧部材７を用いて、複数のワークＷそれぞれの加圧が必要な部位（電子部品ｗ１）のみを、一括に加圧できる。
以上説明された実施の形態によれば、本装置１Ｚは、上金型３Ｚ、支持金型６Ｚ、複数の個別加圧部材７、載置板１４、および加圧パッド１８を有してなる。支持金型６Ｚは、個別加圧部材７それぞれを支持する。個別加圧部材７は、載置板１４の上方向に配置されていて、対応するワークＷを上方向から個別に加圧可能である。加圧パッド１８は、上金型３Ｚと対応する個別加圧部材７との間に配置されている。個別加圧部材７は、支持金型６Ｚに対して上下方向に相対移動可能である。加圧パッド１８は、対応する個別加圧部材７の支持金型６Ｚに対する相対移動量に応じて変形可能である。ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材７は、対応するワークＷに向けて、支持金型６Ｚから下方向に突出する。この構成によれば、ワークＷが加圧されるとき、個別加圧部材７のみがワークＷに当接していて、上金型３Ｚからの圧力は個別加圧部材７を介してワークＷの上端部（電子部品ｗ１）のみに加えられる。そのため、銅板ｗ４，ｗ５から突出しているセラミック板ｗ３の外縁部は、加圧されておらず、同外縁部の割れや欠けなどの不具合は生じない。このように、本装置１Ｚは、支持金型６Ｚに対して相対移動する個別加圧部材７を用いて、複数のワークＷそれぞれの加圧が必要な部位（電子部品ｗ１）のみを、一括に加圧できる。
【0121】
また、以上説明された実施の形態によれば、本装置１Ｚは、加圧パッド１８を保持する枠部材１７を備える。加圧パッド１８は、下方向視において上金型３Ｚの全面を覆うように、上金型３Ｚの下方向に配置されている。水平方向において、枠部材１７は、加圧パッド１８の全周を覆うように配置されている。支持金型６Ｚは、枠部材１７および加圧パッド１８の下方向に配置されていて、枠部材１７に支持されている。枠部材１７は、上金型３Ｚに対して上下方向に相対移動可能である。この構成によれば、上金型３Ｚは、下面３ａの全面で加圧パッド１８を下方向に向けて加圧する。加圧パッド１８は、加圧パッド１８の下方向に配置されている個別加圧部材７の相対移動量に応じて変形する。そのため、上金型３Ｚからの規定圧力は、個別加圧部材７に均等に伝達される。また、柔軟体１８ａおよび断熱体１８ｄが個別加圧部材７の相対移動量の差異を吸収して、上金型３Ｚからの圧力は、全てのワークＷに対して、均等に伝達される。
【0122】
さらに、以上説明された実施の形態によれば、支持金型６Ｚは、支持金型６Ｚを上下方向に貫通している複数の収容孔６ｃを備える。収容孔６ｃは、対応する個別加圧部材７を収容する。この構成によれば、加圧パッド１８は、収容孔６ｃの形状に追従して変形する。そのため、上金型３Ｚからの規定圧力は、個別加圧部材７に均等に確実に伝達される。
【0123】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本装置１Ｚは、複数の付勢部材から構成される複数の付勢ユニット９を備える。付勢ユニット９それぞれは、支持金型６Ｚの内フランジ部６ｅと、対応する個別加圧部材７の外フランジ部７ｄと、の間に配置されていて、対応する個別加圧部材７を上方向に向けて付勢している。ワークＷが加圧されていないとき、個別加圧部材７それぞれは、付勢ユニット９の付勢力により上方向に向けて付勢されていて、支持金型６Ｚから下方向には突出していない。この構成によれば、第１実施形態の本装置１と同様に、個別加圧部材７のワークＷへの接触に基づくワークＷの移動などの不具合は、生じない。その結果、本装置１Ｚは、安定して、複数のワークＷを一括に加圧できる。
【0124】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、本装置１Ｚは、金型受部材１１Ｚを備える。金型受部材１１Ｚは、載置板１４の載置面１４ａに取り付けられていて、下面６ａに対向するように、上下方向において、下面６ａと載置面１４ａとの間に配置されている。上下方向において、金型受部材１１Ｚの長さＬ１１Ｚは、ワークＷそれぞれの長さＬｗよりも大きい。この構成によれば、第１実施形態の本装置１と同様に、下面６ａのワークＷへの接触に起因するワークＷの移動や、意図されないワークＷの加圧などの不具合は、生じない。また、上下方向において、載置板１４に対する支持金型６Ｚの位置は、金型受部材１１Ｚの長さＬ１１Ｚ分の位置に維持される。さらに、金型受部材１１Ｚが載置面１４ａに当接することにより、載置板１４（ワークＷ）に対する支持金型６Ｚの位置が固定（決定）される。さらにまた、支持金型６Ｚは、規定圧力が加えられても変形しない。
【0125】
なお、第２実施形態において、加圧パッド１８は、断熱体１８ｄを備えていなくてもよい。この場合、支持金型６Ｚは、凹部６ｇを備えていなくてもよい。
【0126】
また、第２実施形態において、断熱体１８ｄは、枠部材１７に保持されていてもよい。この場合、支持金型６Ｚは、凹部６ｇを備えていなくてもよい。
【0127】
さらに、第２実施形態において、金型受部材１１Ｚの構成は、支持金型６Ｚが変形しなければよく、第２実施形態に記載された構成に限定されない。すなわち、例えば、金型受部材１１Ｚは、複数の分割可能な部材で構成されていてもよい。また、例えば、金型受部材１１Ｚは、Ｘ方向またはＹ方向に沿う複数の部材で構成されていてもよい。さらに、金型受部材１１Ｚは、支持金型６Ｚの下面６ａに取り付けられていてもよい。
【0128】
さらにまた、本発明において、金型受部材１１Ｚは、支持金型６Ｚおよび／または載置板１４と一体に形成されていてもよい。
【0129】
●変形例●
次に、本装置１，１Ｚの変形例が、第１実施形態および第２実施形態と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例の説明において、説明の便宜上、第１実施形態および第２実施形態と同じ部材、および、共通している機能を有する部材には、特に明示されている場合を除き、第１実施形態および第２実施形態と同じ符号が付されていて、その説明は省略されている。以下の変形例では、個別加圧部材の構成が、第１実施形態および第２実施形態とは異なる。以下の説明において、図１、図２、および図１１は、適宜参照される。
次に、本装置１，１Ｚの変形例が、第１実施形態および第２実施形態と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例の説明において、説明の便宜上、第１実施形態および第２実施形態と同じ部材、および、共通している機能を有する部材には、特に明示されている場合を除き、第１実施形態および第２実施形態と同じ符号が付されていて、その説明は省略されている。以下の変形例では、個別加圧部材の構成が、第１実施形態および第２実施形態とは異なる。以下の説明において、図１、図２、および図１１は、適宜参照される。
【0130】
図１９は、変形例に係る本装置が備える個別加圧部材の模式断面図である。
【0131】
個別加圧部材７Ｘは、下層部７Ｘａ、中層部７Ｘｂ、上層部７Ｘｃ、複数（例えば、４個）のボルト７Ｘｄ，７Ｘｅ（２個は不図示。以下同じ。）、および弾性体７Ｘｆを備える。下層部７Ｘａおよび上層部７Ｘｃは、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。中層部７Ｘｂは、例えば、公知の硬質断熱材料（例えば、数１０ＭＰａ～１００ＭＰａ以上の圧縮強度を有する断熱材料）製である。すなわち、中層部７Ｘｂを構成する材料の熱伝導率は、下層部７Ｘａおよび上層部７Ｘｃそれぞれを構成する材料の熱伝導率よりも小さい。中層部７Ｘｂは下層部７Ｘａの上に載置されていて、上層部７Ｘｃは中層部７Ｘｂの上に載置されている。下層部７Ｘａは、ボルト７Ｘｄ，７Ｘｅにより上層部７Ｘｃに締結されている。その結果、中層部７Ｘｂは、下層部７Ｘａおよび上層部７Ｘｃに挟持されている。ＸＹ方向において、上層部７Ｘｃは、全周に亘り、下層部７Ｘａおよび中層部７Ｘｂよりも外方向に向けて突出していて、外フランジ部７ｄとして機能している。弾性体７Ｘｆは、例えば、第２実施形態の断熱体１８ｄと同じ材料製である。弾性体７Ｘｆは、下層部７Ｘａの下面７Ｘｇに、例えば、接着剤で固定されている。
【0132】
この構成では、ワークＷが加圧されるとき、弾性体７Ｘｆは、ワークＷ（電子部品ｗ１）の形状に追従して変形して、電子部品ｗ１を均等に加圧する。その結果、電子部品ｗ１と銅板ｗ４との境界部において、接合剤ｗ６の形状は、良好なフィレット形状に仕上げられる。また、この構成では、ワークＷを介して個別加圧部材７Ｘに伝達される熱ユニット１５からの熱は、中間層Ｘ７ｂにより遮断される。その結果、同熱の柔軟体８ａ，１８ａへの伝達は、抑制される。
【0133】
なお、変形例において、個別加圧部材７Ｘは、弾性体７Ｘｆを備えていなくてもよい。
【0134】
●その他の実施形態●
なお、本発明において、上金型３，３Ｚの形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状でなくてもよい。すなわち、例えば、上金型３，３Ｚの形状は、円柱状でもよい。この場合、支持金型６，６Ｚの形状は、円柱状である。支持部材５０および枠部材１７の形状は、円環状である。加圧パッド１８の形状は、下方向視において円形状であり、板状である。
なお、本発明において、上金型３，３Ｚの形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状でなくてもよい。すなわち、例えば、上金型３，３Ｚの形状は、円柱状でもよい。この場合、支持金型６，６Ｚの形状は、円柱状である。支持部材５０および枠部材１７の形状は、円環状である。加圧パッド１８の形状は、下方向視において円形状であり、板状である。
【0135】
また、本発明において、サイドユニット４は、第１サイド部材４０を備えていなくてもよい。この場合、第２シール部材４３は、第１サイド部材４０と支持部材５０との間に配置されていてもよい。
【0136】
さらに、本発明において、個別加圧部材７の数は、複数であればよく、９個に限定されない。この場合、個別上金型３１、収容孔６ｃ、個別加圧パッド８、付勢ユニット９、および個別保護板１０の数および配置は、個別加圧部材７の数および配置に応じて適宜設定される。
【0137】
さらにまた、本発明において、個別加圧部材７の形状は、下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状に限定されない。すなわち、例えば、個別加圧部材７の形状は、下方向視において、円形状でもよい。
【0138】
さらにまた、本発明において、個別加圧部材７の構成は、各実施形態の構成に限定されない。すなわち、例えば、個別加圧部材７Ｘのように、個別加圧部材７は、複数の分割可能な部材により構成されていてもよい。
【0139】
さらにまた、本発明において、内フランジ部６ｅおよび外フランジ部７ｄそれぞれの形状は、これらが上下方向において対向するように配置されていればよく、矩形枠状に限定されない。すなわち、例えば、内フランジ部６ｅおよび外フランジ部７ｄは、Ｘ方向またはＹ方向のみに配置されていてもよい。
【0140】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
【0141】
本発明の第１の実施態様は、複数のワーク（例えば、ワークＷ）を加圧する加圧装置（例えば、加圧装置１，１Ｚ）であって、前記ワークが載置可能な載置板（例えば、載置板１４）と、前記載置板の上方向に配置されて、前記ワークそれぞれを上方向から個別に加圧可能な複数の個別加圧部材（例えば、個別加圧部材７，７Ｘ）と、前記個別加圧部材を支持する支持金型（例えば、支持金型６，６Ｚ）と、前記個別加圧部材を下方向に向けて加圧可能な上金型（例えば、上金型３，３Ｚ）と、前記個別加圧部材と、前記上金型と、の間に配置される加圧パッド（例えば、加圧パッドＰｄ，１８）と、を有してなり、前記個別加圧部材は、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、前記加圧パッドは、前記個別加圧部材それぞれの前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能であり、前記ワークが加圧されるとき、前記個別加圧部材は、対応する前記ワークに向けて前記支持金型から突出する、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、複数のワークそれぞれの加圧が必要な部位のみを、一括に加圧できる。
この構成によれば、本装置は、複数のワークそれぞれの加圧が必要な部位のみを、一括に加圧できる。
【0142】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記支持金型を支持する支持部材（例えば、支持部材５０）、を有してなり、前記支持部材は、下方向視において前記上金型（例えば、上金型３）の側方に配置されて、前記上金型に対して上下方向に相対移動可能である、加圧装置（例えば、加圧装置１）である。
この構成によれば、上下方向における支持金型の長さ（厚さ）は縮小できて、支持金型の重量は低減できる。
この構成によれば、上下方向における支持金型の長さ（厚さ）は縮小できて、支持金型の重量は低減できる。
【0143】
本発明の第３の実施態様は、第２の実施態様において、前記支持金型は、前記支持金型を上下方向に貫通する複数の貫通孔（例えば、収容孔６ｃ）、を備えて、前記上金型は、前記個別加圧部材それぞれに対応する複数の個別上金型（例えば、個別上金型３１）、を備えて、前記加圧パッド（例えば、加圧パッドＰｄ）は、前記個別加圧部材それぞれに対応する複数の個別加圧パッド（例えば、個別加圧パッド８）、を備えて、前記貫通孔は、対応する前記個別加圧部材と、対応する前記個別加圧パッドと、を収容して、前記個別上金型は、対応する前記個別加圧部材が収容される前記貫通孔内を、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、前記個別加圧パッドは、対応する前記個別加圧部材の前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能である、加圧装置である。
この構成によれば、個別上金型からの規定圧力は、全てのワークに対して、均等に伝達される。
この構成によれば、個別上金型からの規定圧力は、全てのワークに対して、均等に伝達される。
【0144】
本発明の第４の実施態様は、第３の実施態様において、前記支持金型と対応する前記個別加圧部材との間に配置されて、対応する前記個別加圧部材を上方向に向けて付勢する複数の付勢部材（例えば、付勢ユニット９）、を有してなり、前記ワークが加圧されていないとき、前記個別上金型は、対応する前記貫通孔よりも上方向に位置して、前記個別加圧部材は、対応する前記付勢部材により上方向へ向けて付勢されて、前記支持金型から突出しない、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、安定して、複数のワークを一括に加圧できる。
この構成によれば、本装置は、安定して、複数のワークを一括に加圧できる。
【0145】
本発明の第５の実施態様は、第１の実施態様において、前記加圧パッド（例えば、加圧パッド１８）を保持する枠部材（例えば、枠部材１７）、を有してなり、下方向視において、前記加圧パッドは、前記上金型（例えば、上金型３Ｚ）の全面を覆い、水平方向において、前記枠部材は、前記加圧パッドの全周を囲み、前記支持金型は、前記加圧パッドと前記枠部材との下方向に配置されて、前記枠部材に支持されて、前記枠部材は、前記上金型に対して上下方向に相対移動可能である、加圧装置（例えば、加圧装置１Ｚ）である。
この構成によれば、上金型からの圧力は、全てのワークに対して、均等に伝達される。
この構成によれば、上金型からの圧力は、全てのワークに対して、均等に伝達される。
【0146】
本発明の第６の実施態様は、第５の実施態様において、前記支持金型（例えば、支持金型６Ｚ）は、前記支持金型を上下方向に貫通する複数の貫通孔、を備えて、前記貫通孔は、対応する前記個別加圧部材を収容する、加圧装置である。
この構成によれば、上金型からの規定圧力は、個別加圧部材に均等に確実に伝達される。
この構成によれば、上金型からの規定圧力は、個別加圧部材に均等に確実に伝達される。
【0147】
本発明の第７の実施態様は、第６の実施態様において、前記支持金型と対応する前記個別加圧部材との間に配置されて、対応する前記個別加圧部材を上方向に向けて付勢する複数の付勢部材、を有してなり、前記ワークが加圧されていないとき、前記個別加圧部材それぞれは、前記付勢部材により上方向へ向けて付勢されて、前記支持金型から突出しない、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、安定して、複数のワークを一括に加圧できる。
この構成によれば、本装置は、安定して、複数のワークを一括に加圧できる。
【0148】
本発明の第８の実施態様は、第２または第５の実施態様において、前記支持金型は、下方向に面する下面（例えば、下面６ａ）、を備えて、前記載置板は、前記ワークそれぞれが載置される載置面（例えば、載置面１４ａ）、備えて、前記下面または前記載置面に対向するように、上下方向において、前記下面と前記載置面との間に配置される金型受部材（例えば、金型受部材１１，１１Ｚ）、を有してなり、上下方向において、前記金型受部材の長さは、前記ワークそれぞれの長さよりも大きい、加圧装置である。
この構成によれば、下面のワークへの接触に起因するワークの移動や、意図されないワークの加圧などの不具合は、生じない。
この構成によれば、下面のワークへの接触に起因するワークの移動や、意図されないワークの加圧などの不具合は、生じない。
【0149】
本発明の第９の実施態様は、第１の実施態様において、前記載置台を加熱可能なヒータユニット（例えば、熱ユニット１５）、を有してなり、前記個別加圧部材それぞれは、上層部（例えば、上層部７Ｘｃ）と、前記上層部よりも下方向に配置される下層部（例えば、下層部７Ｘａ）と、前記上層部と前記下層部との間に配置される中層部（例えば、中層部７Ｘｂ）と、を備えて、前記中層部を構成する材料の熱伝導率は、前記上層部と前記下層部それぞれを構成する材料の熱伝導率よりも小さい、加圧装置である。
この構成によれば、熱ユニットからの熱の柔軟体への伝達は、抑制される。
この構成によれば、熱ユニットからの熱の柔軟体への伝達は、抑制される。
【0150】
本発明の第１０の実施態様は、第１または９の実施態様において、前記個別加圧部材それぞれは、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに当接して、前記ワークの形状に追従して変形する弾性体（例えば、弾性体７Ｘｆ）、を備える、加圧装置である。
この構成によれば、電子部品と銅板との境界部において、接着剤の形状は、良好なフィレット形状に仕上げられる。
この構成によれば、電子部品と銅板との境界部において、接着剤の形状は、良好なフィレット形状に仕上げられる。
【符号の説明】
【0151】
１ 加圧装置
３ 上金型
３１ 個別上金型
５０ 支持部材
６ 支持金型
６ａ 下面
６ｃ 収容孔（貫通孔）
７ 個別加圧部材
８ 個別加圧パッド
９ 付勢ユニット（付勢部材）
１１ 金型受部材
１５ 熱ユニット
Ｐｄ 加圧パッド
１Ｚ 加圧装置
３Ｚ 上金型
６Ｚ 支持金型
１１Ｚ 金型受部材
１７ 枠部材
１８ 加圧パッド
７Ｘ 個別加圧部材
７Ｘａ 下層部
７Ｘｂ 中層部
７Ｘｃ 上層部
７Ｘｆ 弾性体
３ 上金型
３１ 個別上金型
５０ 支持部材
６ 支持金型
６ａ 下面
６ｃ 収容孔（貫通孔）
７ 個別加圧部材
８ 個別加圧パッド
９ 付勢ユニット（付勢部材）
１１ 金型受部材
１５ 熱ユニット
Ｐｄ 加圧パッド
１Ｚ 加圧装置
３Ｚ 上金型
６Ｚ 支持金型
１１Ｚ 金型受部材
１７ 枠部材
１８ 加圧パッド
７Ｘ 個別加圧部材
７Ｘａ 下層部
７Ｘｂ 中層部
７Ｘｃ 上層部
７Ｘｆ 弾性体
【要約】
【課題】複数のワークに対して、加圧が必要な部位のみを一括して加圧可能な加圧装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る加圧装置１，１Ｚは、複数のワークＷを加圧する加圧装置である。加圧装置は、ワークが載置可能な載置板１４と、載置板の上方向に配置されて、ワークそれぞれを上方向から個別に加圧可能な複数の個別加圧部材７と、個別加圧部材を支持する支持金型６と、個別加圧部材を下方向に向けて加圧可能な上金型３と、個別加圧部材と、上金型と、の間に配置される加圧パッドＰｄ，１８と、を有してなる。個別加圧部材は、支持金型に対して上下方向に相対移動可能である。加圧パッドは、個別加圧部材それぞれの支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能である。ワークが加圧されるとき、個別加圧部材は、対応するワークに向けて支持金型から突出する。
【選択図】図１
【解決手段】本発明に係る加圧装置１，１Ｚは、複数のワークＷを加圧する加圧装置である。加圧装置は、ワークが載置可能な載置板１４と、載置板の上方向に配置されて、ワークそれぞれを上方向から個別に加圧可能な複数の個別加圧部材７と、個別加圧部材を支持する支持金型６と、個別加圧部材を下方向に向けて加圧可能な上金型３と、個別加圧部材と、上金型と、の間に配置される加圧パッドＰｄ，１８と、を有してなる。個別加圧部材は、支持金型に対して上下方向に相対移動可能である。加圧パッドは、個別加圧部材それぞれの支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能である。ワークが加圧されるとき、個別加圧部材は、対応するワークに向けて支持金型から突出する。
【選択図】図１
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】