特許 7539259 転写装置および転写方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-15

(45)【発行日】2024-08-23

(54)【発明の名称】転写装置および転写方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240816BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020098964

(22)【出願日】2020-06-05

(65)【公開番号】P2021192419

(43)【公開日】2021-12-16

【審査請求日】2023-04-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】吉岡 孝久

【審査官】井上 和俊

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－０７３８９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１６２８７０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体の一方の面に貼付された第１接着シートを当該被着体の外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第１接着シートを、前記被着体に貼付された内側シートと、当該内側シートの外側に位置する外側シートとに分断するシート切断手段と、
前記被着体の位置を認識可能な位置認識手段と、
前記被着体の他方の面に第２接着シートを貼付するシート貼付手段と、
前記内側シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープに張力を付与して前記被着体から前記内側シートを剥離するシート剥離手段とを備え、
前記位置認識手段は、前記被着体に前記内側シートが貼付された状態での当該内側シートに対する前記被着体の位置を認識可能に設けられ、
前記シート剥離手段は、前記位置認識手段の認識結果を基にして前記内側シートの所定の位置から前記被着体の位置を求め、当該被着体が貼付されている貼付領域に対応する前記内側シートの非貼付面側である対応領域内に、前記剥離用テープを貼付することを特徴とする転写装置。

【請求項2】

被着体の一方の面に貼付された第１接着シートを当該被着体の外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第１接着シートを、前記被着体に貼付された内側シートと、当該内側シートの外側に位置する外側シートとに分断するシート切断工程と、
前記被着体の位置を認識する位置認識工程と、
前記被着体の他方の面に第２接着シートを貼付するシート貼付工程と、
前記内側シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープに張力を付与して前記被着体から前記内側シートを剥離するシート剥離工程とを実施し、
前記位置認識工程では、前記被着体に前記内側シートが貼付された状態での当該内側シートに対する前記被着体の位置を認識し、
前記シート剥離工程では、前記位置認識工程での認識結果を基にして前記内側シートの所定の位置から前記被着体の位置を求め、当該被着体が貼付されている貼付領域に対応する前記内側シートの非貼付面側である対応領域内に、前記剥離用テープを貼付することを特徴とする転写方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、転写装置および転写方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一方の面に第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に第２接着シートを貼付し、当該被着体から第１接着シートを剥離する転写装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－１６２８７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載されたような基板転写装置１（転写装置）では、ウエハＷ（被着体）の外縁よりも外側で粘着テープＴ１（第１接着シート）を切断した場合、切断された第１接着シート（内側シート）の非貼付面側に剥離テープＱ（剥離用テープ）を貼付しようとすると、被着体の正確な位置が把握できず、内側シートの外縁部を粘着テープＴ２（第２接着シート）に押し付け、当該内側シートを第２接着シートに貼付させてしまうことがある（特に第１接着シートが不透明な場合に顕著化する）。このように内側シートを第２接着シートに貼付させてしまうと、内側シートと剥離用テープとの接着力よりも、内側シートと第２接着シートとの接着力の方が勝っている場合、内側シートの剥離時に剥離用テープが内側シートから外れて剥離不良を発生する。

【0005】

本発明の目的は、内側シートを第２接着シートに貼付させることなく、当該内側シートに剥離用テープを貼付することができる転写装置および転写方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、内側シートが貼付された状態での当該内側シートに対する被着体の位置を認識し、その認識結果を基にして内側シートの対応領域内に剥離用テープを貼付するので、内側シートを第２接着シートに貼付させることなく、当該内側シートに剥離用テープを貼付することができる。
また、本発明によれば、被着体の近傍に第２フレーム部材が配置された状態での当該第２フレーム部材に対する被着体の位置を認識し、その認識結果を基にして内側シートの対応領域内に剥離用テープを貼付するので、内側シートを第２接着シートに貼付させることなく、当該内側シートに剥離用テープを貼付することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係る転写装置の説明図。

【図2】転写装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

［第１実施形態］
本発明の転写装置ＥＡは、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付された第１接着シートＡＳ１を当該被着体ＷＫの外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第１接着シートＡＳ１を、被着体ＷＫに貼付された内側シートＡＳ１Ａと、当該内側シートＡＳ１Ａの外側に位置する外側シートＡＳ１Ｂとに分断するシート切断手段１０と、第２フレーム部材としての第２リングフレームＲＦ２を被着体ＷＫの近傍に配置する移送手段２０と、被着体ＷＫの位置を認識可能な位置認識手段３０と、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２および第２リングフレームＲＦ２に第２接着シートＡＳ２を貼付するシート貼付手段４０と、第２接着シートＡＳ２が貼付された被着体ＷＫを天地反転させる反転手段５０と、内側シートＡＳ１Ａに剥離用テープＰＴを貼付し、当該剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａを剥離するシート剥離手段６０とを備え、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送手段７０の近傍に配置されている。
本実施形態では、被着体ＷＫは、第１接着シートＡＳ１を介して第１フレーム部材としての第１リングフレームＲＦ１に支持され、第１一体物ＵＰ１を形成している。

【0011】

シート切断手段１０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム１１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット１１と、ブラケット１２Ａを介して多関節ロボット１１の先端アーム１１Ａに支持される切断部材としての切断刃１２とを備えている。

【0012】

移送手段２０は、シート切断手段１０と共有する多関節ロボット１１と、フレーム２１を介して多関節ロボット１１の先端アーム１１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引力が付与される吸着パッド２２（保持手段）とを備えている。

【0013】

位置認識手段３０は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の検知手段３１を備え、被着体ＷＫの近傍に第２リングフレームＲＦ２が配置された状態での当該第２リングフレームＲＦ２に対する被着体ＷＫの位置を認識可能に設けられている。

【0014】

シート貼付手段４０は、第２接着シートＡＳ２が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ４１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ４２と、剥離縁４３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから第２接着シートＡＳ２剥離する剥離手段としての剥離板４３と、被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４４と、駆動機器としての回動モータ４５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ４５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ４５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、転写装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ４５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ４６とを備えている。

【0015】

反転手段５０は、駆動機器としての直動モータ５１と、その出力軸５１Ａに支持されたフレーム５２と、当該フレーム５２の左右両端にそれぞれ支持された前方に延びるアーム５３と、各アーム５３の前方に支持された駆動機器としての回動モータ５４と、その出力軸５４Ａにそれぞれ支持され、一対のチャックアーム５５Ａを有する駆動機器としてのチャックモータ５５（保持手段）とを備えている。

【0016】

シート剥離手段６０は、巻回された感熱接着性の剥離用テープＰＴを回転可能に支持するテープ支持手段６１と、テープ支持手段６１に支持された剥離用テープＰＴを当該テープ支持手段６１とで挟み込み、当該剥離用テープＰＴに繰出力を付与する繰出手段６２と、剥離用テープＰＴのリード端部を保持するリード保持手段６３と、リード保持手段６３が剥離用テープＰＴを保持することを補助する保持補助手段６４と、剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに押圧して貼付する剥離用テープ貼付手段６５と、剥離用テープＰＴを切断する切断手段６６と、剥離用テープＰＴに張力を付与する張力付与手段６７とを備え、位置認識手段３０の認識結果を基にして第２リングフレームＲＦ２の所定の位置としての外縁位置から被着体ＷＫの位置を求め、被着体ＷＫが貼付されている貼付領域ＡＳ１Ｓに対応する内側シートＡＳ１Ａの非貼付面側である対応領域ＡＳ１Ｒ内に、剥離用テープＰＴを貼付する構成となっている。

【0017】

テープ支持手段６１は、軸６１Ａを中心に回動可能な回動アーム６１Ｂと、その自由端側に支持され、巻回された剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ６１Ｃと、支持ローラ６１Ｃを繰出手段６２方向に付勢する付勢手段としてのばね６１Ｄとを備えている。
繰出手段６２は、駆動機器としての回動モータ６２Ａと、その図示しない出力軸に支持され、支持ローラ６１Ｃに支持された剥離用テープＰＴに回転力を付与する繰出ローラ６２Ｂとを備えている。
リード保持手段６３は、駆動機器としての直動モータ６３Ａの出力軸６３Ｂに支持された収容手段６３Ｃと、収容手段６３Ｃの底面である吸着面６３Ｄに形成された吸引孔６３Ｅを介して吸着保持が可能な減圧ポンプや真空エジェクタ等の支持手段としての吸引手段６３Ｆ（保持手段）とを備えている。
保持補助手段６４は、駆動機器としての直動モータ６４Ａと、その出力軸６４Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを吸着面６３Ｄに当接させる補助ローラ６４Ｃとを備えている。
剥離用テープ貼付手段６５は、収容手段６３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ６５Ａと、そのスライダ６５Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに押圧する押圧部材６５Ｃと、押圧部材６５Ｃの内部に設けられたコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段６５Ｄとを備えている。
切断手段６６は、収容手段６３Ｃ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ６６Ａと、そのスライダ６６Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを切断可能な切断刃６６Ｃとを備えている。
張力付与手段６７は、駆動機器としてのリニアモータ６７Ａと、そのスライダ６７Ｂに支持された剥離ローラ６７Ｃとを備えている。

【0018】

被着体搬送手段７０は、駆動機器としてのリニアモータ７１と、リニアモータ７１の第１スライダ７１Ａに支持された第１支持テーブル７２と、リニアモータ７１の第２スライダ７１Ｂに支持された第２支持テーブル７３とを備えている。
第１支持テーブル７２には、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能とされた内側支持面７２Ａ（保持手段）と、内側支持面７２Ａの外側に形成され、上方から見下した平面視において環状とされた凹溝７２Ｂと、凹溝７２Ｂの外側に形成され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能とされた外側支持面７２Ｃ（保持手段）とが設けられている。
第２支持テーブル７３には、その上面に減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能とされた保持部７３Ａ（保持手段）と、保持部７３Ａの内側で平面視環状に設けられ、内側シートＡＳ１Ａにおける被着体ＷＫからはみ出したはみだし部を、保持部７３Ａの吸着保持力よりも強い吸着保持力で保持する強保持部７３Ｂ（保持手段）とが設けられている。

【0019】

次に、転写装置ＥＡの動作について説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置された転写装置ＥＡに対し、当該転写装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳおよび剥離用テープＰＴをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート剥離手段６０が吸引手段６３Ｆを駆動し、吸着面６３Ｄでの剥離用テープＰＴの吸着保持を開始するとともに、シート貼付手段４０が回動モータ４５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板４３の剥離縁４３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ４５Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１中実線で示すように第１支持テーブル７２上に第１一体物ＵＰ１を載置すると、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、内側、外側支持面７２Ａ、７２Ｃでの第１一体物ＵＰ１の吸着保持を開始する。

【0020】

その後、シート切断手段１０が多関節ロボット１１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの外縁から所定間隔離れた位置で切断刃１２を第１接着シートＡＳ１に突き刺し、当該切断刃１２を凹溝７２Ｂに沿って１周させた後、切断刃１２を初期位置に復帰させる。これにより、第１接着シートＡＳ１が内側シートＡＳ１Ａと外側シートＡＳ１Ｂとに分断される。次に、移送手段２０が多関節ロボット１１を駆動し、先端アーム１１Ａで保持していた切断刃１２を切り離して当該先端アーム１１Ａで吸着パッド２２を保持した後、当該吸着パッド２２を第１リングフレームＲＦ１の上面に当接させ、図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド２２での第１リングフレームＲＦ１の吸着保持を開始する。そして、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、外側支持面７２Ｃでの第１一体物ＵＰ１の吸着保持を解除すると、移送手段２０が多関節ロボット１１を駆動し、外側シートＡＳ１Ｂが貼付された第１リングフレームＲＦ１を図示しない所定の回収位置に搬送した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド２２での第１リングフレームＲＦ１の吸着保持を解除する。次いで、移送手段２０が多関節ロボット１１を駆動し、フレームストッカ部ＳＴに集積されている最上部の第２リングフレームＲＦ２の上面に吸着パッド２２を当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド２２での第２リングフレームＲＦ２の吸着保持を開始する。その後、移送手段２０が多関節ロボット１１を駆動し、第２リングフレームＲＦ２を外側支持面７２Ｃ上に載置すると、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、外側支持面７２Ｃでの第２リングフレームＲＦ２の吸着保持を開始する。次に、移送手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド２２での第２リングフレームＲＦ２の吸着保持を解除した後、多関節ロボット１１を駆動し、吸着パッド２２を初期位置に復帰させ、先端アーム１１Ａで保持していた吸着パッド２２を切り離して当該先端アーム１１Ａで切断刃１２を保持する。

【0021】

そして、被着体搬送手段７０がリニアモータ７１を駆動し、第１支持テーブル７２を右方へ移動させ、当該第１支持テーブル７２が位置認識手段３０に対する所定の位置に到達すると、位置認識手段３０が検知手段３１を駆動し、第２リングフレームＲＦ２に対する被着体ＷＫの位置を認識した後、シート剥離手段６０に認識結果を出力して検知手段３１の駆動を停止する。次いで、第１支持テーブル７２がシート貼付手段４０に対する所定の位置に到達すると、シート貼付手段４０が回動モータ４５Ａを駆動し、第１支持テーブル７２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、第２接着シートＡＳ２が剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された第２接着シートＡＳ２は、図１中二点鎖線で示すように、押圧ローラ４４によって第２リングフレームＲＦ２の上面および被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に押圧されて貼付される。その後、先頭の第２接着シートＡＳ２全体が第２リングフレームＲＦ２および被着体ＷＫに貼付されて第２一体物ＵＰ２が形成され、当該先頭の第２接着シートＡＳ２に続く次の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板４３の剥離縁４３Ａで所定長さ剥離されると、シート貼付手段４０が回動モータ４５Ａの駆動を停止する。

【0022】

その後も第１支持テーブル７２の右方への移動が続行され、図１中二点鎖線で示すように、当該第１支持テーブル７２が反転手段５０の直下に到達すると、被着体搬送手段７０がリニアモータ７１の駆動を停止する。次に、反転手段５０が直動モータ５１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、フレーム５２を下降させた後、各チャックモータ５５を駆動し、各チャックアーム５５Ａで第２リングフレームＲＦ２を把持する。そして、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、内側、外側支持面７２Ａ、７２Ｃでの第２一体物ＵＰ２の吸着保持を解除すると、反転手段５０が直動モータ５１および回動モータ５４を駆動し、第２一体物ＵＰ２を所定高さにまで持ち上げた後、当該第２一体物ＵＰ２を天地反転させる。次いで、被着体搬送手段７０がリニアモータ７１を駆動し、第１支持テーブル７２を初期位置に復帰させるとともに、第２支持テーブル７３を反転手段５０の直下に移動させた後、反転手段５０が直動モータ５１を駆動し、第２接着シートＡＳ２が第２支持テーブル７３側となるようにして、第２一体物ＵＰ２を第２支持テーブル７３上に載置する。その後、被着体搬送手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、保持部７３Ａおよび強保持部７３Ｂでの第２一体物ＵＰ２の吸着保持を開始すると、反転手段５０が直動モータ５１およびチャックモータ５５を駆動し、フレーム５２およびチャックアーム５５Ａを初期位置に復帰させる。

【0023】

次に、被着体搬送手段７０がリニアモータ７１を駆動し、第２支持テーブル７３を右方向に移動させ、図１中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの左端部が押圧部材６５Ｃの直下に位置すると、リニアモータ７１の駆動を停止する。この際、シート剥離手段６０は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段で第２リングフレームＲＦ２の外縁位置を検知し、この検知結果と位置認識手段３０から出力された認識結果とにより、被着体ＷＫの左端部の位置を特定し、被着体搬送手段７０に対してリニアモータ７１の駆動停止命令を出力する。従って、シート剥離手段６０は、被着体ＷＫの左端部を押圧部材６５Ｃの直下に正確に位置決めした状態で第２支持テーブル７３を停止させることができる。そして、シート剥離手段６０が直動モータ６４Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、補助ローラ６４Ｃを収容手段６３Ｃの下方から退避させた後、回動モータ６２Ａおよび直動モータ６３Ａを駆動し、剥離用テープＰＴを繰り出しながら収容手段６３Ｃを内側シートＡＳ１Ａの直上所定位置まで下降させる。次いで、シート剥離手段６０がリニアモータ６５Ａを駆動し、図２（Ａ）に示すように、押圧部材６５Ｃを下降させ、内側シートＡＳ１の対応領域ＡＳ１Ｒ内に剥離用テープＰＴを押圧した後、加熱手段６５Ｄを駆動し、剥離用テープＰＴを加熱して当該剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに接着させる。この際、被着体ＷＫの左端部が押圧部材６５Ｃの直下に正確に位置決めされているので、内側シートＡＳ１Ａの外縁部を第２接着シートＡＳ２に押し付け、当該内側シートＡＳ１Ａを第２接着シートＡＳ２に貼付させることはない。

【0024】

その後、シート剥離手段６０が吸引手段６３Ｆの駆動を停止し、吸着面６３Ｄでの剥離用テープＰＴの吸着保持を解除した後、直動モータ６３Ａおよびリニアモータ６５Ａを駆動し、収容手段６３Ｃおよび押圧部材６５Ｃを初期位置に復帰させる。次に、シート剥離手段６０がリニアモータ６７Ａを駆動し、図２（Ｂ）に示すように、剥離ローラ６７Ｃを右方向に移動させ、剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａを剥離する。そして、被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａ全体が剥離され、第３一体物ＵＰ３が形成されると、シート剥離手段６０がリニアモータ６７Ａの駆動を停止した後、直動モータ６４Ａおよび吸引手段６３Ｆを駆動し、図２（Ｃ）に示すように、補助ローラ６４Ｃを初期位置に復帰させるとともに、吸着面６３Ｄでの剥離用テープＰＴの吸着保持を開始する。次いで、シート剥離手段６０がリニアモータ６６Ａを駆動し、図２（Ｃ）に示すように、切断刃６６Ｃを昇降させて剥離用テープＰＴを切断し、作業者または図示しない移送手段が内側シートＡＳ１Ａを回収すると、シート剥離手段６０がリニアモータ６７Ａを駆動し、剥離ローラ６７Ｃを初期位置に復帰させる。その後、被着体搬送手段７０がリニアモータ７１を駆動し、第２支持テーブル７３を初期位置に復帰させて図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持部７３Ａおよび強保持部７３Ｂでの第３一体物ＵＰ３の吸着保持を解除すると、作業者または図示しない搬送手段が第２支持テーブル７３上の第３一体物ＵＰ３を次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0025】

以上のような第１実施形態によれば、被着体ＷＫの近傍に第２リングフレームＲＦ２が配置された状態での当該第２リングフレームＲＦ２に対する被着体ＷＫの位置を認識し、その認識結果を基にして内側シートＡＳ１Ａの対応領域ＡＳ１Ｒ内に剥離用テープＰＴを貼付するので、内側シートＡＳ１Ａを第２接着シートＡＳ２に貼付させることなく、当該内側シートＡＳ１Ａに剥離用テープＰＴを貼付することができる。

【0026】

［第２実施形態］
例えば、本発明の転写装置は、図１（Ａ）に示す転写装置ＥＡ１としてもよい。
なお、第２実施形態において、第１実施形態と同等の構成で同等の機能を有するものは、当該第１実施形態と同じ番号を付してその構成説明は省略し、動作説明および図示は簡略化する。
すなわち、本発明の転写装置ＥＡ１は、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付された第１接着シートＡＳ１を当該被着体ＷＫの外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第１接着シートＡＳ１を、被着体ＷＫに貼付された内側シートＡＳ１Ａと、当該内側シートＡＳ１Ａの外側に位置する外側シートＡＳ１Ｂとに分断するシート切断手段１０と、第２リングフレームＲＦ２を被着体ＷＫの近傍に配置する移送手段２０と、被着体ＷＫの位置を認識可能な位置認識手段３０と、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に第２接着シートＡＳ２を貼付するシート貼付手段４０と、第２接着シートＡＳ２が貼付された被着体ＷＫを天地反転させる反転手段５０と、内側シートＡＳ１Ａに剥離用テープＰＴを貼付し、当該剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａを剥離するシート剥離手段６０とを備え、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送手段７０の近傍に配置されている。

【0027】

位置認識手段３０は、被着体ＷＫに内側シートＡＳ１Ａが貼付された状態での当該内側シートＡＳ１Ａに対する被着体ＷＫの位置を認識可能に設けられている。

【0028】

シート剥離手段６０は、位置認識手段３０の認識結果を基にして内側シートＡＳ１Ａの所定の位置としての外縁位置から被着体ＷＫの位置を求め、当該被着体ＷＫが貼付されている貼付領域ＡＳ１Ｓに対応する内側シートＡＳ１Ａの非貼付面側である対応領域ＡＳ１Ｒ内に、剥離用テープＰＴを貼付する構成となっている。

【0029】

このような転写装置ＥＡ１は、第１実施形態と同様にしてシート切断手段１０が第１接着シートＡＳ１を内側シートＡＳ１Ａと外側シートＡＳ１Ｂとに分断した後、移送手段２０が多関節ロボット１１を駆動し、外側シートＡＳ１Ｂを除去して第２リングフレームＲＦ２を第１支持テーブル７２上に載置する。次いで、被着体搬送手段７０がリニアモータ７１を駆動し、第１支持テーブル７２を右方へ移動させ、当該第１支持テーブル７２が位置認識手段３０に対する所定の位置に到達すると、位置認識手段３０が検知手段３１を駆動し、内側シートＡＳ１Ａに対する被着体ＷＫの位置を認識した後、シート剥離手段６０に認識結果を出力して検知手段３１の駆動を停止する。その後、第１実施形態と同様にしてシート貼付手段４０が第２リングフレームＲＦ２の上面および被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に第２接着シートＡＳ２を貼付して第２一体物ＵＰ２が形成されると、第１実施形態と同様にして反転手段５０が第２一体物ＵＰ２を天地反転した後、当該第２一体物ＵＰ２を第２支持テーブル７３上に載置する。次に、シート剥離手段６０が図示しない検知手段で内側接着シートＡＳ１Ａの外縁位置を検知し、この検知結果と位置認識手段３０から出力された認識結果とにより、被着体ＷＫの左端部の位置を特定し、当該左端部を押圧部材６５Ｃの直下に正確に位置決めした状態で第２支持テーブル７３を停止させる。そして、第１実施形態と同様にしてシート剥離手段６０が剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに接着させ、剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａを剥離し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0030】

以上のような第２実施形態によれば、内側シートＡＳ１Ａが貼付された状態での当該内側シートＡＳ１Ａに対する被着体ＷＫの位置を認識し、その認識結果を基にして内側シートＡＳ１Ａの対応領域ＡＳ１Ｒ内に剥離用テープＰＴを貼付するので、内側シートＡＳ１Ａを第２接着シートＡＳ２に貼付させることなく、当該内側シートＡＳ１Ａに剥離用テープＰＴを貼付することができる。

【0031】

本発明における手段及び工程は、それら手段及び工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート切断手段は、被着体の一方の面に貼付された第１接着シートを当該被着体の外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第１接着シートを、被着体に貼付された内側シートと、当該内側シートの外側に位置する外側シートとに分断可能なものであれば、どんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0032】

シート切断手段１０は、第１接着シートＡＳ１の貼付面側から当該第１接着シートＡＳ１を切断してもよいし、第１接着シートＡＳ１の非貼付面側から当該第１接着シートＡＳ１を切断してもよいし、切断刃１２を移動させる駆動機器（上記の実施形態では多関節ロボット１１）を、移送手段２０で吸着パッド２２を移動させる駆動機器と共有させることなく、他の駆動機器で切断刃１２を移動させてもよいし、切断刃１２が多関節ロボット１１に対して着脱できなくてもよいし、ブラケット１２Ａを介することなく多関節ロボット１１が直接切断刃１２を支持する構成でもよい。

【0033】

移送手段２０は、吸着パッド２２を移動させる駆動機器（上記の実施形態では多関節ロボット１１）を、シート切断手段１０で切断刃１２を移動させる駆動機器と共有させることなく、他の駆動機器で吸着パッド２２を移動させてもよいし、吸着パッド２２が多関節ロボット１１に対して着脱できなくてもよいし、フレーム２１を介することなく多関節ロボット１１が直接切吸着パッド２２を支持する構成でもよいし、第１リングフレームＲＦ１および外側シートＡＳ１Ｂのうち少なくとも一方を第１支持テーブル７２上から除去しなくてもよいし、外側シートＡＳ１Ｂまたは外側シートＡＳ１Ｂが貼付された第１リングフレームＲＦ１を他の装置や人手等で所定の回収位置に搬送する場合、本発明の転写装置ＥＡ、ＥＡ１に備わっていなくてもよいし、第２リングフレームＲＦ２を他の装置や人手等で第１支持テーブル７２上に載置する場合や、第２リングフレームＲＦ２を第１支持テーブル７２上に載置しない場合、本発明の転写装置ＥＡ１に備わっていなくてもよい。

【0034】

位置認識手段３０は、検知手段３１として測長センサを備えていてもよいし、第１支持テーブル７２を移動させつつ、自身が移動してまたは移動することなく被着体ＷＫの位置を認識してもよいし、第１支持テーブル７２を移動させることなく、自身が移動してまたは移動することなく被着体ＷＫの位置を認識してもよいし、シート貼付手段４０、反転手段５０および被着体搬送手段７０のうち少なくとも１つに認識結果を出力してもよく、認識結果を受けたそれら各手段は、被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を貼付したり、第２一体物ＵＰ２を天地反転させたり、第１支持テーブル７２を反転手段５０の直下で停止させたりする動作を、認識結果を基にして行ってもよいし、認識結果を保存しておき、シート貼付手段４０、反転手段５０、シート剥離手段６０および被着体搬送手段７０それぞれの動作タイミングに合わせてそれらに認識結果を出力してもよい。

【0035】

シート貼付手段４０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第２接着シートＡＳ２とされた原反を繰り出してもよいし、帯状接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、帯状接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第２接着シートＡＳ２としてもよいし、帯状接着シート基材を被着体ＷＫに貼付する構成でもよいし、第２接着シートＡＳ２を剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ４５Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ４１やガイドローラ４２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第２接着シートＡＳ２を保持し、当該保持部材で保持した第２接着シートＡＳ２を被着体ＷＫに押圧して貼付する構成の押圧手段を採用してもよいし、剥離シートＲＬをファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、第１支持テーブル７２を移動させずにまたは移動させつつ、自身が移動して被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を貼付してもよいし、剥離シートＲＬが仮着されていない第２接着シートＡＳ２を繰り出して被着体ＷＫに貼付してもよいし、被着体ＷＫのみに第２接着シートＡＳ２を貼付する構成でもよい。

【0036】

反転手段５０は、第２一体物ＵＰ２における第２リングフレームＲＦ２、第２接着シートＡＳ２、内側シートＡＳ１Ａおよび被着体ＷＫのうち少なくとも１つを保持し、当該第２一体物ＵＰ２を天地反転させる構成としてもよいし、第２一体物ＵＰ２を上昇させることなく、例えば、第１支持テーブル７２を第２一体物ＵＰ２の下方から退避させておき、当該第２一体物ＵＰ２を天地反転させてもよいし、第１支持テーブル７２または第２支持テーブル７３に支持されている構成としてもよいし、回動モータ５４を１体または３体以上としてもよいし、チャックモータ５５を１体または３体以上としてもよいし、シート貼付手段４０で第２一体物ＵＰ２が形成された状態のまま、例えば、第１支持テーブル７２に支持された第２一体物ＵＰ２の下方から、シート剥離手段６０が内側シートＡＳ１Ａを剥離できる構成である場合、本発明の転写装置ＥＡ、ＥＡ１に備わっていなくてもよい。

【0037】

シート剥離手段６０は、被着体ＷＫの外縁よりも当該被着体ＷＫの中央部に近付いた対応領域ＡＳ１Ｒ内に剥離用テープＰＴを貼付してもよいし、枚葉の剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに貼付する構成でもよいし、支持ローラ６１Ｃを繰出手段６２方向に付勢することなく、繰出ローラ６２Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラを採用し、当該剥離用テープＰＴを繰り出してもよいし、繰出手段６２の駆動、リニアモータ７１の駆動およびリニアモータ６７Ａの駆動のうち、少なくとも１つの駆動で、剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａを剥離してもよいし、収容手段６３Ｃを内側シートＡＳ１Ａの直上所定位置まで下降させた際、吸着面６３Ｄで吸着保持している剥離用テープＰＴのリード端部を内側シートＡＳ１Ａに当接させてもよいし、収容手段６３Ｃがなくてもよいし、保持補助手段６４を採用せずに、内側シートＡＳ１Ａ剥離後の剥離用テープＰＴをリード保持手段６３のみで保持する構成としてもよいし、保持補助手段６４が補助ローラ６４Ｃに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付け等で剥離用テープＰＴを吸着面６３Ｄに当接させる構成を採用してもよいし、加熱手段６５Ｄを採用することなく、または、加熱手段６５Ｄを採用して感圧接着性の剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに貼付する構成でもよいし、押圧部材６５Ｃの代わりに、気体を吹き付けて剥離用テープＰＴを内側シートＡＳ１Ａに貼付する構成を採用してもよいし、剥離用テープ貼付手段６５および切断手段６６の少なくとも一方が収容手段６３Ｃに収容されていなくてもよいし、剥離用テープＰＴを切断しなくてもよいし、切断手段６６を採用せずに他の装置や人手で剥離用テープＰＴを切断してもよいし、リニアモータ６７Ａおよび剥離ローラ６７Ｃを採用することなく、例えば、テープ支持手段６１、繰出手段６２、リード保持手段６３等の剥離用テープ保持部材を移動させずにまたは移動させつつ、第２支持テーブル７３を移動させたり、第２支持テーブル７３移動させずに剥離用テープ保持部材を移動させたり、第２一体物ＵＰ２を支持した他の装置を剥離用テープ保持部材に対して相対移動させたりすることで、剥離用テープＰＴに張力を付与して被着体ＷＫから内側シートＡＳ１Ａを剥離してもよい。
シート剥離手段６０は、押圧部材６５Ｃを左右方向に移動させる駆動機器および、押圧部材６５Ｃを前後方向に移動させる駆動機器のうち少なくとも一方を採用し、位置認識手段３０から出力された認識結果により、被着体ＷＫの位置を特定し、押圧部材６５Ｃを左右方向や前後方向に移動させて対応領域ＡＳ１Ｒ内に剥離用テープＰＴを貼付してもよく、押圧部材６５Ｃを左右方向に移動させる駆動機器を採用した場合、被着体搬送手段７０は、当該シート剥離手段６０によるリニアモータ７１の駆動停止命令を得ずに、被着体ＷＫの左端部が押圧部材６５Ｃの直下に位置した時点でリニアモータ７１の駆動を停止させることができる。
第１実施形態の転写装置ＥＡにおけるシート剥離手段６０は、被着体ＷＫの位置を求める第２リングフレームＲＦ２の所定の位置を、例えば、当該第２リングフレームＲＦ２の内縁位置としてもよいし、当該第２リングフレームＲＦ２に形成された図示しないＶノッチ位置や、図示しないフラット部の位置等としてもよい。
第２実施形態の転写装置ＥＡ１におけるシート剥離手段６０は、被着体ＷＫの位置を求める内側シートＡＳ１Ａの所定の位置を、例えば、当該内側シートＡＳ１Ａに設けられた図形や記号等の図示しない目印等の位置としてもよい。
シート剥離手段６０は、上記の実施形態において、図示しない検知手段を用い、位置認識手段３０の認識結果を基にして被着体ＷＫの位置を求めたが、図示しない検知手段を用いることなく、例えば、位置認識手段３０の認識結果を基にして、被着体搬送手段７０の被着体ＷＫの搬送速度および搬送時間から当該被着体ＷＫの位置を求めてもよい。

【0038】

被着体搬送手段７０は、第１支持テーブル７２を移動させる駆動機器と、第２支持テーブル７３を移動させる駆動機器とが別々でもよいし、第２支持テーブル７３を採用することなく、第１支持テーブル７２が第２支持テーブル７３と同等の動作を行うようにしてもよいし、第１支持テーブル７２および第２支持テーブル７３の少なくとも一方を前後方向に移動させる駆動機器を採用し、各手段の作業領域内で被着体ＷＫを左右方向にも移動できるようにしてもよいし、第１支持テーブル７２に形成された凹溝７２Ｂの平面視形状が三角や四角等の多角形の環状、円環状、楕円環状等どのような環状形状でもよいし、第１支持テーブル７２に凹溝７２Ｂが形成されていなくてもよいし、内側支持面７２Ａおよび外側支持面７２Ｃに保持力を付与する系統を１系統としたり、それらに保持力を付与する系統をそれぞれ１系統ずつ設けて計２系統としたりしてもよいし、保持部７３Ａおよび強保持部７３Ｂに保持力を付与する系統を１系統としたり、それらに保持力を付与する系統をそれぞれに１系統ずつ設けて計２系統としたりしてもよいし、内側シートＡＳ１Ａにおける被着体ＷＫが貼付されていない領域に対応した一部または全部（環状）に強保持部７３Ｂが形成されていてもよいし、本発明の転写装置ＥＡ、ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明の転写装置ＥＡ、ＥＡ１に備わっていていない場合、他の装置で被着体ＷＫを搬送してもよいし、被着体ＷＫを搬送することなく、シート貼付手段４０やシート剥離手段６０等の他の手段が移動してもよいし、本発明の転写装置ＥＡ、ＥＡ１に備わっている場合、被着体ＷＫを搬送し、且つ、シート貼付手段４０やシート剥離手段６０等の他の手段を移動させてもよい。

【0039】

転写装置ＥＡ、ＥＡ１に供給される被着体ＷＫは、第１リングフレームＲＦ１に支持されることなく、第１接着シートＡＳ１のみが貼付されていてもよい。
第１、第２フレーム部材は、環状の第１、第２リングフレームＲＦ１、ＲＦ２以外に、例えば、環状でない部材でもよい。

【0040】

本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および剥離用テープＰＴは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0041】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。

【符号の説明】

【0042】

ＥＡ…転写装置
ＥＡ１…転写装置
１０…シート切断手段
２０…移送手段
３０…位置認識手段
４０…シート貼付手段
６０…シート剥離手段
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ１Ａ…内側シート
ＡＳ１Ｂ…外側シート
ＡＳ１Ｓ…貼付領域
ＡＳ１Ｒ…対応領域
ＡＳ２…第２接着シート
ＰＴ…剥離用テープ
ＲＦ２…第２リングフレーム（第２フレーム部材）
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面

【図1】

【図2】