(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-08-15
(45)【発行日】2024-08-23
(54)【発明の名称】バルブ装置
(51)【国際特許分類】
F16K 1/42 20060101AFI20240816BHJP
F16K 1/36 20060101ALI20240816BHJP
【ＦＩ】
F16K1/42 G
F16K1/36 D
F16K1/36 J
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2021543058
(86)(22)【出願日】2020-08-28
(86)【国際出願番号】 JP2020032662
(87)【国際公開番号】W WO2021039984
(87)【国際公開日】2021-03-04
【審査請求日】2023-08-15
(31)【優先権主張番号】P 2019158708
(32)【優先日】2019-08-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000117102
【氏名又は名称】旭有機材株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100147599
【弁理士】
【氏名又は名称】丹羽 匡孝
(74)【代理人】
【識別番号】100098589
【弁理士】
【氏名又は名称】西山 善章
(72)【発明者】
【氏名】末永 博士
(72)【発明者】
【氏名】吉野 研郎
【審査官】加藤 昌人
(56)【参考文献】
【文献】実開平２－１１６０７０（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０１７－１３３５４２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－２１５０２８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－１２７４８７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－８９８８５（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第４８４０３４７（ＵＳ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ１６Ｋ １／００－ １／５４
Ｆ１６Ｋ ２７／００－２７／１２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
弁室と該弁室に連通する第１の流路及び第２の流路とが形成されたバルブ本体と、第１の流路から前記弁室への開口の周囲に形成された環状の弁座と、該弁座と対向して配置される端面を有し且つ駆動部により弁座に対して接離する弁体とを備えるバルブ装置であって、前記弁座及び前記弁体の前記端面の一方に、当接面が設けられ、前記弁座及び前記弁体の前記端面の他方に、隆起した環状のリブが設けられており、該リブが前記当接面に当接して前記弁体の端面と前記弁座との間を封止する環状のシール部を頂部に有し、該シール部が、前記当接面と平行に延びる環状のフラット面と、該フラット面の両側に隣接して設けられ前記フラット面に対して前記当接面から離れる方向に傾斜して延びる二つの環状の傾斜面とを含み、前記弁座に対する前記弁体の押し付け力の増加に伴ってフラット面に加えて前記傾斜面が前記当接面に当接するようになっていることを特徴としたバルブ装置。
【請求項2】
前記リブが前記弁座に設けられ、前記当接面が前記弁体の前記端面に設けられている、請求項１に記載のバルブ装置。
【請求項3】
前記傾斜面が平面によって形成されている、請求項１又は請求項２に記載のバルブ装置。
【請求項4】
前記駆動部によって駆動されて前記弁座に対して接近及び離反する方向に移動するステムの先端部に前記弁体が接続され、前記ステムが前記先端部に押圧部を有しており、前記ステムが該押圧部を介して前記弁体を前記弁座へ向かって押圧する力を作用させる、請求項１から請求項３の何れか一項に記載のバルブ装置。
【請求項5】
前記ステムの移動方向に見たときに、前記押圧部が前記シール部の前記フラット面の内側に位置する、請求項４に記載のバルブ装置。
【請求項6】
前記ステムの移動方向に見たときに、前記押圧部が前記シール部の前記フラット面の外側に位置する、請求項４に記載のバルブ装置。
【請求項7】
前記ステムの前記押圧部の押し面の中央に肉盗み部が形成されている、請求項４に記載のバルブ装置。
【請求項8】
前記傾斜面は前記フラット面に対して前記当接面から離れる方向へ１°から１０°の範囲の傾斜角をなして延びている、請求項１から請求項７の何れか一項に記載のバルブ装置。
【請求項9】
前弁体の周囲から半径方向外方に延びるダイヤフラムをさらに備え、前記弁体が前記ダイヤフラムを介して前記バルブ本体に支持されている、請求項１から請求項８の何れか一項に記載のバルブ装置。
【請求項10】
前記駆動部は、手動式、空気駆動式及びばね駆動式の何れか一つである、請求項１から請求項９の何れか一項に記載のバルブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、弁座に対して弁体を接離させて開閉を行うバルブ装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、化学工場、農業・水産業、半導体製造分野、液晶製造分野、食品分野などの各種産業では、弁座に対して弁体を垂直方向に移動させて接離させ、流路の開閉を行うバルブ装置が使用されている。このようなバルブ装置として、例えば特許文献１に記載のようなダイヤフラムバルブがある。
【0003】
ダイヤフラムバルブでは、一般的に、流路からバルブ本体内の弁室への開口の周囲に弁座が形成されていると共に、バルブ本体に外縁部を固定されたダイヤフラムによって弁体が支持されており、弁体に接続されたステムを駆動部によって駆動することによって、弁座に対して垂直な方向に弁体を移動させ、弁座に対して弁体を接離させて流路の開閉を行う。さらに、弁体と弁座とのシール性を高めるために、特許文献１に開示のバルブ装置（ダイヤフラムバルブ）のように、弁座と対向する弁体の底面に環状リブを設けて、弁体と弁座との接触面積を小さくし、比較的小さい押付力の作用下でも弁座と弁体との間に大きな面圧が得られるようにすることが一般的である。
【0004】
高い清浄性が求められる分野では、バルブ装置内で発生するパーティクルが問題となる場合がある。例えば半導体ウエハの製造工程では、パーティクル、種々の金属やポリマー化合物などの汚染物質が生じ、これが半導体ウエハ上に残存したり付着すると品質に大きな影響を与える。このため、半導体ウエハの製造工程では、洗浄液を用いて半導体ウエハの洗浄が行われる。しかしながら、特許文献１に記載のバルブ装置のように、弁座に当接する弁体の底面領域に、環状リブを設けると、リブが弁座に当接したときにリブが変形したり擦れて、パーティクルを発生させることがある。このようなパーティクルを含んだ洗浄液がバルブ装置から排出されて半導体ウエハの洗浄のために用いられると、十分な洗浄を行うことができず、半導体ウエハの清浄性が低下するという問題が生じる。このようなパーティクルの発生を抑制するために、例えば特許文献２は、弁体の弁座側端面に設けられた環状シール突起すなわちリブの先端部にフラットなシール面を設けると共に、シール面の変位を抑制することを提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２００８－２９１９１１号公報
【文献】特許第６１９３９５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
バルブ装置は、様々な流体圧力の下で使用される。このため、バルブ装置を流通する流体の圧力が高い場合には、弁体に流体圧が作用し、弁座から弁体を押し離す方向の力が大きくなる。したがって、駆動部によって弁体を弁座に押し付ける閉弁時に、弁体を弁座に押し付けてリブと弁座との間をシールさせる力（以下、シール推力と記載する。）が低くなって、リブを弁座に押し付ける方向の応力（単位面積当たりの力）が小さくなり、リブの変形量が少なくなる。これに伴って、弁座に対するリブの横方向（弁座と平行な方向）の変位量も小さくなる。一方、流体圧力が低い場合には、流体圧力が弁体に作用して、弁座から弁体を押し離す方向の力が小さくなる。したがって、駆動部によって弁体を弁座に押し付ける閉弁時に、シール推力が高くなって、リブを弁座に押し付ける方向の応力が大きくなり、リブの変形量が多くなる。これに伴って、弁座面に対するリブの横方向の変位量も大きくなる。したがって、流体圧力が低い場合、流体圧力が高い場合と比較して、リブと弁座との摩擦によりパーティクルが発生しやすくなる。すなわち、流体圧力の変動に伴って、リブの変位量の変動が発生し、パーティクルの発生量が変動するという問題が生じる。
【0007】
よって、本発明の目的は、従来技術に存する課題を解決して、流体圧力が変動しても、パーティクルの発生量の変動を抑制することができるバルブ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的に鑑み、本発明は、弁室と該弁室に連通する第１の流路及び第２の流路とが形成されたバルブ本体と、第１の流路から前記弁室への開口の周囲に形成された環状の弁座と、該弁座と対向して配置される端面を有し且つ駆動部により弁座に対して接離する弁体とを備えるバルブ装置であって、前記弁座及び前記弁体の前記端面の一方に、当接面が設けられ、前記弁座及び前記弁体の前記端面の他方に、隆起した環状のリブが設けられており、該リブが前記当接面に当接して前記弁体の端面と前記弁座との間を封止する環状のシール部を頂部に有し、該シール部が、前記当接面と平行に延びる環状のフラット面と、該フラット面の両側に隣接して設けられ前記フラット面に対して前記当接面から離れる方向に傾斜して延びる二つの環状の傾斜面とを含み、前記弁座に対する前記弁体の押し付け力の増加に伴ってフラット面に加えて前記傾斜面が前記当接面に当接するようになっているバルブ装置を提供する。
【0009】
上記バルブ装置では、流体圧力が高い場合、流体圧力が弁体に作用して、弁座から弁体を押し離す方向の力が大きくなる。したがって、閉弁時に、シール推力が低くなって、リブのシール部に発生する応力（単位断面積当たりの力）が小さくなり、リブの変形量が少なくなる。これに伴って、当接面に対するリブの縦方向（当接面に対して垂直な方向）の変形量も少なくなる。この結果、シール部のうちフラット面のみが当接面に当接し、シール部と当接面との接触面積が小さくなるので、当接面に対するリブの接触圧力（面圧）が大きくなって、十分なシール性能を確保することができる。また、当接面に対するリブのシール部の横方向の変位量も小さくなるので、パーティクルも発生しにくくなる。一方、流体圧力が低い場合には、流体圧力が弁体に作用して、弁座から弁体を押し離す方向の力が小さくなる。したがって、閉弁時に、シール推力が高くなって、リブに発生する応力（単位断面積当たりの力）が大きくなり、リブの変形量が多くなる。これに伴って、当接面に対するリブの縦方向（当接面に対して垂直な方向）の変形量も多くなる。この結果、シール部のフラット面に加えて、傾斜面も当接面に当接するようになり、流体圧力が高い場合と比較してシール部と当接面との接触面積が増加するので、シール推力が分散される。したがって、リブに発生する応力が減少して、当接面に対するリブのシール部の横方向の変位量も大きくなりにくくなり、パーティクルの発生が抑制される。
【0010】
上記バルブ装置の一つの実施形態として、前記リブが前記弁座に設けられ、前記当接面が前記弁体の前記端面に設けられているようにすることができる。
【0011】
また、上記バルブ装置では、前記傾斜面が平面によって形成されていることが好ましい。これにより、シール推力の増加に伴ってリブの変形量が増加したときに、シール部と当接面との接触面積を増加させることができ、リブに発生する応力の増加を抑制することができる。
【0012】
さらに、上記バルブ装置の一つの実施形態として、前記駆動部によって駆動されて前記弁座に対して接近及び離反する方向に移動するステムの先端部に前記弁体が接続され、前記ステムが前記先端部に押圧部を有しており、前記ステムが該押圧部を介して前記弁体を前記弁座へ向かって押圧する力を作用させるようにしてもよい。この場合、前記ステムの移動方向に見たときに、前記押圧部が前記シール部の前記フラット面の内側に位置するようにしてもよく、前記ステムの移動方向に見たときに、前記押圧部が前記シール部の前記フラット面の外側に位置するようにしてもよい。前者の場合、押圧部から弁体への力の作用点に近いフラット面の内側の傾斜面が当接面に当接しやすくなり、後者の場合、押圧部から弁体への力の作用点に近いフラット面の外側の傾斜面が当接面に当接しやすくなる。
【0013】
上記バルブ装置では、前記傾斜面は前記フラット面に対して前記当接面から離れる方向へ１°から１０°の範囲の傾斜角をなして延びていることが好ましい。
【0014】
上記バルブ装置は、前弁体の周囲から半径方向外方に延びるダイヤフラムをさらに備え、前記弁体が前記ダイヤフラムを介して前記バルブ本体に支持されているようにすることができる。
【0015】
また、前記駆動部は、例えば、手動式、空気駆動式及びばね駆動式の何れか一つとすることができる。
【0016】
さらに、前記ステムの前記押圧部の押し面の中央に肉盗み部が形成されているようにしてもよい。
【発明の効果】
【0017】
本発明のバルブ装置によれば、流体圧力が高い場合には、シール部のフラット面のみが当接面に当接して、シール部と当接面との接触面積が小さくなるので、十分なシール性能を確保することができる。また、シール推力が低くなるので、当接面に対するリブのシール部の横方向の変位量が小さくなって、パーティクルが発生しにくくなる。一方、流体圧力が低い場合には、シール部のフラット面に加えて、傾斜面も当接面に当接して、流体圧力が高い場合と比較してシール部と当接面との接触面積が増加する。したがって、リブのシール部に発生する応力が減少して、当接面に対するリブのシール部の横方向の変位量も大きくなりにくくなり、パーティクルの発生が抑制される。このように流体圧力が変動したときのリブのシール部に発生する応力の変動を低減させて、当接面に対するリブのシール部の横方向の変位の変動を抑制することによって、パーティクルの発生量の変動が小さい安定した高品質のバルブ装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】本発明のバルブ装置の第１の実施形態であるダイヤフラムバルブの開状態を示す縦断面図である。
【図5A】ステムの押圧部の押し面平均径を説明するための説明図であり、押圧部の押し面が円形状の場合を示している。
【図5B】ステムの押圧部の押し面平均径を説明するための説明図であり、押圧部の押し面が環状になっている場合を示している。
【図8】第１の実施形態の変形形態のダイヤフラムバルブにおけるステムの押圧部から弁体への力の作用を説明するための説明図である。
【図10】本発明のバルブ装置の第２の実施形態であるダイヤフラムバルブの開状態を示す縦断面図である。
【図11】本発明のバルブ装置の第３の実施形態であるダイヤフラムバルブの開状態を示す縦断面図である。
【図12】第１の実施形態の他の変形形態のダイヤフラムバルブにおけるステムの押圧部を拡大して示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
【0020】
ダイヤフラムバルブ１１は、バルブ本体１３と、弁体１５と、弁体１５を駆動するための駆動部１７とを備え、バルブ本体１３の上部に駆動部１７が取り付けられている。
【0021】
バルブ本体１３には、上部中央に弁室１９が形成されていると共に、弁室１９に連通する第１の流路及び第２の流路が形成されており、第１の流路から弁室１９への開口の周囲に、弁体１５が接離する環状の弁座２１が形成されている。図示されている実施形態では、第１の流路として、バルブ本体１３の一方の側面に形成された流入口２３から延び且つ弁室１９の底部中央に開口する流入路２５が形成されていると共に、第２の流路として、バルブ本体１３の他方の側面に形成された流出口２７から延び且つ弁室１９の側面に開口する流出路２９が形成されており、流入路２５から弁室１９への開口の周囲に環状の弁座２１が形成されている。
【0022】
弁体１５は、円柱上に円錐台が連結されたような上端部がテーパ状になった錘形状を有しており、底側の端面が弁座２１に対向するようにバルブ本体１３に支持されている。
【0023】
駆動部１７は、バルブ本体１３の上部に取り付けられ且つ内部にシリンダ部の空間が形成されているシリンダ本体３１と、シリンダ本体３１の上部に取り付けられる蓋部材３３と、シリンダ部内に収容されているピストン３５と、付勢部材としての圧縮コイルばね３７（３７ａ，３７ｂ）とを備えている。
【0024】
ピストン３５は、シリンダ本体３１のシリンダ部内に摺動可能に収容されるピストン本体３５ａと、ピストン本体３５ａの上面から上方に延びる案内軸３５ｂと、ピストン本体３５ａの下面から下方に延びるステム３５ｃとを有している。ピストン本体３５ａは、外周面がシリンダ部の内周面に上下方向に摺動可能に接触しており、シリンダ部の内部空間を、ピストン本体３５ａの上面とシリンダ部の内周壁とシリンダ部の天井面（すなわち蓋部材３３の下面）によって囲まれた上部空間３９と、ピストン本体３５ａの下面とシリンダ部の内周壁とシリンダ部の底面（すなわちシリンダ本体３１の底部）とによって囲まれた下部空間４１とに区画している。案内軸３５ｂは、蓋部材３３を貫通して設けられた貫通孔に摺動可能に挿入されており、ピストン３５の上下動を案内するようになっている。ステム３５ｃは、シリンダ本体３１の底部を貫通して設けられた貫通孔に摺動可能に挿入されて、弁室１９まで延びており、その先端に位置する接続端３５ｄに弁体１５が接続されている。
【0025】
本実施形態では、ステム３５ｃの接続端３５ｄに拡径された係止部が設けられており、弁体１５に設けられた連結孔１５ａにステム３５ｃの接続端（係止部）３５ｄを圧入することによって、ステム３５ｃの接続端３５ｄに弁体１５が接続されている。しかしながら、ステム３５ｃの接続端３５ｄへの弁体１５の接続は、圧入に限定されるものではなく、例えばステム３５ｃの接続端３５ｄの外周面に雄ねじ部を設けると共に弁体１５の連結孔１５ａの内周面に雌ねじ部を設け、螺合によってステム３５ｃの接続端３５ｄに弁体１５を接続してもよい。
【0026】
蓋部材３３には、上部空間３９を区画するシリンダ部の天井面に連通する第１の連通口４３が形成されており、第１の連通口４３を通して上部空間３９に対する作動流体の供給及び排出を行うことができるようになっていると共に、シリンダ本体３１の側部には、下部空間４１を区画するシリンダ部の底面に連通する第２の連通口４５が形成されており、第２の連通口４５を通して下部空間４１に対する作動流体の供給及び排出を行うことができるようになっている。また、ピストン本体３５ａの上面と蓋部材３３の下面（シリンダ部の天井面）には、それぞれ、ばね座４７，４９が形成されており、蓋部材３３の下面（シリンダ部の天井面）とピストン本体３５ａの上面との間に圧縮コイルばね３７を配置できるようになっている。
【0027】
なお、駆動部１７は、ピストン３５の案内軸３５ｂ及びステム３５ｃが弁座面に対して垂直に延びるように、バルブ本体１３に取り付けられる。また、ピストン本体３５ａの外周面、シリンダ本体３１の底部の貫通孔に挿入されたステム３５ｃの外周面、及び案内軸３５ｂの外周面にそれぞれＯリング５１，５３，５５が装着されている。これにより、ピストン本体３５ａの外周面とシリンダ部の内周面との間、ステム３５ｃの外周面とシリンダ本体３１の底部（シリンダ部の底面）の貫通孔の内周面との間、及び案内軸３５ｂの外周面と蓋部材３３の貫通孔の内周面との間から、下部空間４１及び上部空間３９に供給された作動流体が外部に漏出することが防止される。
【0028】
このような構成により、通常時には、ピストン本体３５ａが圧縮コイルばね３７によって下方に付勢されて押し下げられ、これに伴って、ステム３５ｃを介してピストン本体３５ａに連結されている弁体１５が下方に移動させられ、弁座２１に圧接される。なお、第１の連通口４３を通してシリンダ部の上部空間３９に作動流体（例えば圧縮空気）を供給することによってピストン本体３５ａの上面に下向きの流体圧力を作用させて、ステム３５ｃを介して弁体１５に作用させる力を変化させ、弁体１５を弁座２１に圧接させる力を調整することもできる。弁体１５が弁座２１に圧接される結果、図２に示されているように、流入路２５が閉止され、ダイヤフラムバルブ１１が閉状態となる。この状態から第２の連通口４５に作動流体（例えば圧縮空気）を供給すると、シリンダ部の下部空間４１に作動流体が流入して、ピストン本体３５ａの下面に上向きの流体圧力が作用し、ピストン本体３５ａが圧縮コイルばね３７の付勢力（場合によっては、これに加えて、上部空間３９内の作動流体がピストン本体３５ａに作用させる下向きの流体圧力）に抗して押し上げられる。このとき、シリンダ部の上部空間３９内の作動流体は第１の連通口４３から外部へ排出される。ピストン本体３５ａが上方へ移動すると、ステム３５ｃを介してピストン本体３５ａに連結されている弁体１５が上方へ移動して弁座２１から離間する。この結果、流入路２５からの開口が開放され、図１に示されているように、ダイヤフラムバルブ１１が開状態となる。開状態では、ダイヤフラムバルブ１１の流入口２３から流入路２５に流入した流体は弁室１９及び流出路２９を経て流出口２７から外部へ流出する。
【0029】
ダイヤフラムバルブ１１では、弁体１５の上端部の外周部から半径方向外方にダイヤフラム５７が延設されており、弁体１５は、ダイヤフラム５７を介してバルブ本体１３に支持されている。詳細には、図２に詳細に示されているように、ダイヤフラム５７の外周縁部に、最外縁部に位置し且つ水平方向に延びる環状の第１の水平支持部５７ａと、第１の水平支持部５７ａよりも内側に位置し且つ上下方向（鉛直方向）に延びる環状の垂直支持部５７ｂと、垂直支持部５７ｂよりも内側に位置し且つ水平方向に延びる環状の第２の水平支持部５７ｃとが設けられており、バルブ本体１３の弁室１９の上部開口に、段差部が設けられている。シリンダ本体３１の底部中央から延びる突出部３１ａをバルブ本体１３の弁室１９の上部開口内に挿入したときに、突出部３１ａよりも外側に位置するシリンダ本体３１の底面とバルブ本体１３の弁室１９の上部開口の周囲領域の上面との間に第１の水平支持部５７ａを挟持し、シリンダ本体３１の突出部３１ａの外周面とバルブ本体１３の弁室１９の上部開口の段差部の垂直面との間に垂直支持部５７ｂを挟持し、さらにシリンダ本体３１の突出部３１ａの先端面（底面）とバルブ本体１３の弁室１９の上部開口の段差部の水平面との間に第２の水平支持部５７ｃを挟持することにより、ダイヤフラム５７をバルブ本体１３に固定するようになっている。また、垂直支持部５７ｂの外側表面に、断面半円形状の環状突起５７ｄが設けられている一方、バルブ本体１３の弁室１９の上部開口の段差部の垂直面に、断面台形状の環状溝１３ａが設けられている。環状突起５７ｄは環状溝１３ａよりも僅かに大きく形成されており、垂直支持部５７ｂの外側表面の環状突起５７ｄを弁室１９の上部開口の段差部の垂直面の環状溝１３ａに係合させた状態で、シリンダ本体３１の突出部３１ａをバルブ本体１３の弁室１９内に挿入してシリンダ本体３１をバルブ本体１３の上部に取り付けたときに、環状突起５７ｄが変形して環状溝１３ａに密着嵌合し、シール性が高まるようになっている。
【0030】
本実施形態では、上述したように、ダイヤフラム５７の垂直支持部５７ｂに環状突起５７ｄを設け、環状突起５７ｄをバルブ本体１３の上部開口の段差部の環状溝１３ａに係合させている。しかしながら、ダイヤフラムバルブ１１の構成は上記構成に限定されるものではない。例えば、ダイヤフラム５７の垂直支持部５７ｂに環状溝を設け、設けた環状溝をバルブ本体１３の上部開口の段差部の垂直面に設けた環状突起に係合させるようにしてもよい。また、第１の水平支持部５７ａと垂直支持部５７ｂの両方に環状突起又は環状溝を設けて、バルブ本体１３の上部開口の周囲領域の上面と段差部の垂直面の両方に環状溝又は環状突起を設けるようにしてもよい。
【0031】
なお、バルブ本体１３、弁体１５、シリンダ本体３１、ピストン３５、ダイヤフラム５７の材質は、例えば、ＰＶＣ（塩化ビニル樹脂）、ＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＦＡ（パーフルオロアルコキシエチレン）などとすることができる。
【0032】
本発明によるバルブ装置では、さらに、弁座２１と対向する弁体１５の端面及び弁座２１の一方に、他方へ向かって隆起した環状のリブ５９が設けられ、弁体１５の端面及び弁座２１の他方に、環状の当接面６１が設けられている。リブ５９は、頂部に設けられ且つ当接面６１に当接して弁体１５の端面と弁座２１との間を封止する環状のシール部６３と、シール部６３の内側及び外側の両側にそれぞれ設けられた内側面６５及び外側面６７とを有している。さらに、シール部６３は、当接面６１と平行に延びる環状のフラット面６３ａと、フラット面６３ａの内側と外側にそれぞれ隣接して設けられ且つフラット面６３ａに対して当接面６１から離れる方向に傾斜して延びる環状の内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃとを含んでいる。シール部６３は、弁体１５の端面を弁座２１に押し付ける力（以下、シール推力と記載する。）が低いときには、フラット面６３ａのみが当接面６１と当接し、シール推力が増加するにつれて、弁体１５やリブ５９の変形により、フラット面６３ａに加えて内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃが当接面６１に当接するようになっている。なお、内側面６５及び外側面６７がフラット面６３ａに対して当接面６１から離れる方向になす角度は、それぞれ内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃよりも急になっている。
【0033】
図１に示されている第１の実施形態のバルブ装置に係るダイヤフラムバルブ１１では、図３及び図４に詳細に示されているように、弁体１５へ向かって隆起した円環形状のリブ５９が弁座２１に設けられる一方、弁座２１と対向する弁体１５の端面に円環形状の当接面６１が設けられている。また、リブ５９の頂部に設けられたシール部６３が、当接面６１と平行に延びる円環形状のフラット面６３ａと、フラット面６３ａの内側と外側の両側に隣接して設けられフラット面６３ａに対して当接面６１から離れる方向に傾斜して延びる円環形状の内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃとを含んでいる。
【0034】
内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃは、シール推力の変動による弁体１５及びリブ５９の変形により、内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃの一方又は両方が当接面６１に当接する状態と内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃの両方が当接面６１に当接しない状態を切り換えることが容易となるように、フラット面６３ａに対して当接面６１から離れる方向に緩やかな角度で傾斜している。傾斜角度は、フラット面６３ａに対して当接面６１から離れる方向に１°から１０°の範囲であることが好ましい。これは、傾斜角度が１°以下では、加工精度の観点から加工の困難性が増すからであり、傾斜角度が１０°を超えると、当接面６１と内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃの一方又は両方とが当接するために、より大きなリブ５９の縦方向の変形及び弁体１５の変形が必要となって、当接面６１とシール部６３との接触面積を増加させにくくなるからである。後述するように、シール推力が高くなったときに、当接面６１とシール部６３との接触面積が増加しないと、リブ５９に発生する応力が大きくなって、横方向へのリブ５９の変形も大きくなり、リブ５９と当接面６１との摩擦によりパーティクルが発生しやすくなる。
【0035】
また、低シール推力時にフラット面６３ａのみが当接面６１に当接しているときに、十分なシール性能を確保できるように当接面６１とフラット面６３ａとの接触面積を減らすために、フラット面６３ａの幅ｄ（径方向の長さ）は、狭くなっており、フラット面６３ａの外径の０．０４倍以下となっていることが好ましい。これは、フラット面６３ａの幅ｄがフラット面６３ａの外径の０．０４倍を超えると、フラット面６３ａのみが当接面６１に当接した状態になったときの当接面６１とシール部６３の接触面積が相対的に大きくなるので、シール推力が低いときにシール時の面圧が小さくなってしまい、十分なシール性能を確保しにくくなるからである。この結果、十分なシール性能を確保するために、シール推力を高めるべく駆動部１７を大型化する必要が生じてしまう。
【0036】
さらに、図３及び図４に示されているダイヤフラムバルブ１１の内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃは傾斜した平面によって構成されているが、フラット面６３ａに対して当接面６１から離れる方向に傾斜していれば、凸状の湾曲面によって構成されていてもよい。なお、図３及び図４に示されているダイヤフラムバルブ１１では、内側面６５が平面によって構成されており、外側面６７が凹状湾曲面によって構成されている。しかしながら、内側面６５及び外側面６７はこれらの構成に限定されるものではなく、内側面６５及び外側面６７が、ともに平面によって構成されていてもよく、ともに凹状湾曲面によって構成されていてもよい。
【0037】
ステム３５ｃの接続端３５ｄは、弁体１５を弁座２１へ押し付ける方向の力をステム３５ｃから弁体１５に作用させる押圧部として機能する。押圧部は、図１に示されている実施形態では、図５Ａ及び図５Ｂに示されているように、ステムの移動方向すなわち当接面に垂直な方向に見たときに、押圧部がリブ５９のシール部６３のフラット面６３ａの内側に位置するように構成されている。しかしながら、押圧部は、図１に示されている構成に限定されるものではない。例えば、押圧部は、ステム３５ｃの移動方向すなわち当接面６１に垂直な方向に見たときに、押圧部がリブ５９のシール部６３のフラット面６３ａの外側に位置するように構成されていてもよく、フラット面６３ａの内側と外側に跨って位置するように構成されていてもよい。
【0038】
なお、リブ５９のフラット面６３ａの外径は、押圧部の押し面平均径の１～２倍の範囲となっていることが好ましい。これは、１倍以下では、ステム３５ｃの接続端３５ｄが大きくなり、バルブ全体のサイズが大きくなるからであり、２倍以上では、弁体１５の中央部が反った形で変形しやすくなり、当接面６１に対するリブ５９の横方向（当接面６１に平行な方向）の変位量も大きくなるので、リブ５９と当接面６１との摩擦によりパーティクルが発生しやすくなるからである。ここで、押圧部の押し面平均径とは、弁体１５側の押圧部の端面のうち弁体１５に接触してステム３５ｃの移動方向に弁体１５に力を作用させる押し面３５ｅの内径と外径との平均を意味し、第１の実施形態のように押し面３５ｅが円形状の場合、図５Ａに示されているように、押し面３５ｅの半径Ｙ１の中央点を結んだ円の直径Ｘが押し面平均径となり、後述する図１２に示されている変形形態のように押す面３５ｅの中央に肉盗み部（すなわち凹部）６９を設けることにより押し面３５ｅが環状になっている場合、図５Ｂに示されているように、環状の押し面３５ｅの幅Ｙ２の中央点を結んだ円の直径Ｘが押し面平均径となる。
【0039】
【0040】
第２の連通口４５から駆動部１７に作動流体が供給されていない通常時は、駆動部１７のピストン本体３５ａが圧縮コイルばね３７によって下方に付勢されて押し下げられ、これに伴って、弁体１５もステム３５ｃを介してピストン本体３５ａと共に下方へ移動する。この結果、弁体１５の弁座側端面の当接面６１が弁座２１のリブ５９のシール部６３に圧接されて、ダイヤフラムバルブ１１が図２に示されているように閉状態となる。シール推力を増加させたい場合には、第１の連通口４３から駆動部１７のシリンダ部の上部空間３９に作動流体を供給し、圧縮コイルばね３７による付勢力に加えて、上部空間３９に流入した作動流体の流体圧力をピストン本体３５ａの上面に下向きに作用させる。これにより、ステム３５ｃを介して弁体１５の当接面６１を弁座２１のリブ５９のシール部６３に圧接させる力すなわち押し付ける力を増加させるようにすることができる。
【0041】
第１の連通口４３からの作動流体の供給を停止させた後に駆動部１７の第２の連通口４５に作動流体を供給すると、第２の連通口４５からシリンダ部の下部空間４１に流入した作動流体の流体圧力がピストン本体３５ａに上向きに作用し、圧縮コイルばね３７の付勢力及び上部空間３９内の作動流体の流体圧力に抗してピストン本体３５ａが押し上げられる。このとき、上部空間３９内の作動流体は第１の連通口４３を通じて外部に排出される。ピストン本体３５ａが上方へ押し上げられることにより、ステム３５ｃを介して弁体１５が上方へ移動させられ、弁体１５の当接面６１が図１に示されているように弁座２１のリブ５９のシール部６３から離間して、ダイヤフラムバルブ１１が開状態となる。
【0042】
第２の連通口４５への作動流体の供給を停止すると、圧縮コイルばね３７により、再びピストン本体３５ａが下方に付勢されて押し下げられ、上述した通り、ダイヤフラムバルブ１１が閉状態となる。
【0043】
このように、ダイヤフラムバルブ１１では、第１の連通口４３へ作動流体を供給することにより、駆動部１７が弁体１５を弁座２１に押し付ける力を変化させることができ、シール推力を調整することができる。また、閉状態では、弁室１９の底面の開口を封鎖する弁体１５の端面に流入路２５内の流体の圧力が作用して、弁体１５を押し上げる。したがって、駆動部１７が弁体１５を弁座２１に押し付ける力を一定に保っている場合でも、流体圧力の変動により、シール推力が変動する。すなわち、流体圧力が高くなると、弁体を押し上げる力が増加して、シール推力が減少し、流体圧力が低くなると、弁体を押し上げる力が減少して、シール推力が増加する。
【0044】
ダイヤフラムバルブ１１では、シール部６３が、当接面６１と平行に延びる円環形状のフラット面６３ａと、フラット面６３ａの両側に隣接してフラット面６３ａに対して当接面６１から離れる方向に傾斜した内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃを含んでいる。このため、弁体１５に作用するシール推力が低いときには、当接面６１がシール部６３のフラット面６３ａのみと当接し、シール推力が増加するにつれて、弁体１５やリブ５９の変形により、当接面６１がフラット面６３ａに加えて内側傾斜面６３ｂや外側傾斜面６３ｃとも当接するようになっている。すなわち、上述のような要因によるシール推力の変動により、当接面６１とシール部６３との接触面積を変化させる。
【0045】
詳細には、シール推力が低いときは、当接面６１をリブ５９に押し付ける力も小さくなって、リブ５９に発生する応力（単位断面積に作用している力）も小さくなるので、リブ５９の縦方向（当接面に垂直な方向）の変形量が少なくなり、当接面６１がフラット面６３ａのみと接触して当接面６１とリブ５９のシール部６３との接触面積が小さくなる。この結果、シール推力が低くても一定の接触圧力（面圧）を確保でき、弁体１５と弁座２１との間の十分なシール性能を確保することが可能となる。なお、シール推力が低いときには、当接面６１をリブ５９に押し付ける力が小さくなって、リブ５９の変形による当接面６１に対する横方向（当接面６１に平行な方向）の変位量も少なくなるので、パーティクルは発生しにくくなる。また、シール推力が増加して高くなると、シール推力の増加に伴って当接面６１をリブ５９に押し付ける力も大きくなり、リブ５９の変形による縦方向の変形量が増加すると共に弁体１５の変形量が増加する。このため、当接面６１がフラット面６３ａに加えて内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃの一方又は両方にも当接するようになり、当接面６１とリブ５９のシール部６３との接触面積が増加する。この結果、リブ５９に発生する応力が小さくなり、横方向へのリブ５９の変形が抑えられて当接面６１に対するシール部６３の横方向への変位量も抑制される。これにより、リブ５９と当接面６１との摩擦によるパーティクルの発生が抑制される。このようにして、シール推力の変動によるパーティクルの発生量の変動が抑制される。
【0046】
【0047】
上述したように、駆動部１７の第１の連通口４３からの作動流体の供給を停止させた状態で、第２の連通口４５に作動流体を供給すると、図７Ａに示されているように、弁体１５の当接面６１が弁座２１のリブ５９のシール部６３から離間して、ダイヤフラムバルブ１１が開状態となる。この状態で、第２の連通口４５への作動流体の供給を停止すると、ピストン本体３５ａが再び下方に付勢されて押し下げられて、図６に示されているように、弁体１５の当接面６１が弁座２１のリブ５９のシール部６３に圧接し、ダイヤフラムバルブ１１が閉状態となる。
【0048】
第１の実施形態のダイヤフラムバルブ１１では、図６に示されているように、ステム３５ｃの接続端３５ｄに係止部が設けられ、弁体１５に設けられた連結孔１５ａに接続端３５ｄを圧入することによって、ステム３５ｃの接続端３５ｄに弁体１５が接続されており、接続端３５ｄの下端面を通してステム３５ｃから弁体１５に力を作用させるようになっている。すなわち、接続端３５ｄが弁体１５を弁座２１に押し付ける押圧部として機能している。また、第１の実施形態のダイヤフラムバルブ１１では、ステム３５ｃの移動方向に見たときに、押圧部が円環形状のリブ５９のフラット面６３ａの内側に位置するようになっている。
【0049】
このような構成のダイヤフラムバルブ１１の弁体１５に駆動部１７からステム３５ｃを介して弁体１５に力を作用させると、第１の連通口４３への作動流体の供給を停止した状態や流体圧力が高い場合のようにシール推力が低い場合、弁体１５の当接面６１を弁座２１のリブ５９に押し付ける力が小さくなってリブ５９の縦方向の変形量も少なくなるので、図７Ｂに示されているように、当接面６１がリブ５９のフラット面６３ａのみと接触する。したがって、当接面６１とリブ５９のシール部６３との接触面積が小さくなり、シール推力が低くても一定の接触圧力（面圧）を確保でき、弁体１５と弁座２１との間の十分なシール性能を確保することが可能となる。なお、シール推力が低いときには、リブ５９の変形による当接面６１に対する横方向の変位量も少なくなるので、パーティクルは発生しにくくなる。
【0050】
一方、圧縮コイルばね３７の付勢力に加えて第１の連通口４３から上部空間３９へ流入させた作動流体の流体圧力でピストン本体３５ａを下方へ押し下げた状態や流体圧力が低い場合のようにシール推力が高い場合、弁体１５の当接面６１を弁座２１のリブ５９に押し付ける力が大きくなってリブ５９の縦方向の変形量も多くなる。また、当接面６１がリブ５９のシール部６３の環状のフラット面６３ａに当接した状態からさらに強い力で、ステム３５ｃの移動方向に見たときにフラット面６３ａの内側に位置する押圧部（接続端３５ｄ）により弁体１５が下方へ押し下げられるので、図７Ｃに示されているように、弁体１５の中央部が弁座２１へ向かって凸状に変形しやすい。この結果、当接面６１がフラット面６３ａに加えて、内側傾斜面６３ｂにも（シール推力が非常に高い場合、さらには外側傾斜面６３ｃの少なくとも一部にも）当接するようになる。したがって、当接面６１とリブ５９のシール部６３との接触面積が大きくなって、力が分散され、リブ５９に発生する応力が小さくなり、横方向へのリブ５９の変形が抑えられて当接面６１に対するシール部６３の横方向への変位量も抑制される。これにより、リブ５９と当接面６１との摩擦によるパーティクルの発生が抑制される。
【0051】
このようにして、ダイヤフラムバルブ１１は、リブ５９のシール部６３の構成により、シール推力の変動によるパーティクルの発生量の変動を抑制する効果を奏する。
【0052】
ここでは、ステム３５ｃの移動方向に見たときに、押圧部が円環形状のリブ５９のフラット面６３ａの内側に位置するようになっているダイヤフラムバルブ１１を例にして動作を説明した。しかしながら、ステム３５ｃの移動方向に見たときに、押圧部が円環形状のリブ５９のフラット面６３ａの外側に位置するようになっているダイヤフラムバルブでも同様の効果を奏することができる。
【0053】
図８は、第１の実施形態の変形形態のダイヤフラムバルブ１１´において、第１の実施形態のダイヤフラムバルブ１１と構成が異なっている部分を拡大して示している。図８において、図１に示されている第１の実施形態のダイヤフラムバルブ１１の構成要素と同じ部分については同じ参照符号を付している。以下では、変形形態のダイヤフラムバルブ１１´の構成について、第１の実施形態のダイヤフラムバルブ１１と異なっている点を中心に説明し、共通する部分についての説明を省略する。
【0054】
ダイヤフラムバルブ１１´は、バルブ本体１３と、弁体１５と、弁体１５を駆動するための駆動部１７とを備え、バルブ本体１３の上部に駆動部１７が取り付けられている点、バルブ本体１３において、上部中央に弁室１９が形成されていると共に、弁室１９に連通する流入路２５及び流出路２９が形成されており、流入路２５から弁室１９への開口の周囲に、弁体１５が接離する環状の弁座２１が形成されている点において、ダイヤフラムバルブ１１と共通している。一方、ダイヤフラムバルブ１１´は、ダイヤフラム５７の外周縁部をバルブ本体１３に固定するための突出部３１ａに代えてダイヤフラムバルブ押え７１が配置されていると共に、ピストン３５のステム３５ｃの先端に位置する接続端３５ｄ´の中央部に、弁体１５の頂部に設けられた突出部と嵌合させるための嵌合凹部が設けられている点において、ダイヤフラムバルブ１１と異なっている。弁体１５は、接続端３５ｄ´の嵌合凹部に弁体１５の頂部の突出部を嵌合させて螺合などにより、ステム３５ｃの接続端３５ｄ´に接続される。接続端３５ｄ´の嵌合凹部の直径は、リブ５９のフラット面６３ａの外径よりも大きくなるように形成されている。このため、ステム３５ｃの接続端３５ｄ´における嵌合凹部を取り囲む周囲面が、弁体１５を弁座２１へ押し付ける方向の力をステム３５ｃから弁体１５に作用させる押圧部の押し面３５ｅ´として機能する。すなわち、ステム３５ｃの移動方向に見たときに、押圧部の押し面３５ｅ´が円環形状のリブ５９のフラット面６３ａの外側に位置するようになっている。
【0055】
このようなダイヤフラムバルブ１１´では、シール推力が低い場合、ダイヤフラムバルブ１１と同様に、当接面６１が図９Ａに示されているようにリブ５９のフラット面６３ａのみと当接する。したがって、当接面６１とリブ５９のシール部６３との接触面積が小さくなり、シール推力が低くても一定の接触圧力（面圧）を確保でき、弁体１５と弁座２１との間の十分なシール性能を確保することが可能となる。一方、シール推力が高い場合、当接面６１がリブ５９のシール部６３の環状のフラット面６３ａに当接した状態からさらに強い力で、ステム３５ｃの移動方向に見たときにフラット面６３ａの外側に位置する押圧部（接続端３５ｄ´）の押し面３５ｅ´により、弁体１５が押し下げられるので、弁体１５の外側部分が図９Ｂに示されているように弁座２１へ向かって押し下げられ、全体として凹状に変形しやすい。この結果、当接面６１がフラット面６３ａに加えて、外側傾斜面６３ｃにも（シール推力が非常に高い場合、さらには内側傾斜面６３ｂの少なくとも一部にも）当接するようになる。したがって、当接面６１とリブ５９のシール部６３との接触面積が大きくなって、力が分散され、リブ５９に発生する応力が小さくなり、横方向へのリブ５９の変形が抑えられて当接面６１に対するシール部６３の横方向への変位量も抑制される。これにより、リブ５９と当接面６１との摩擦によるパーティクルの発生が抑制される。このようにして、ダイヤフラムバルブ１１´は、ダイヤフラムバルブ１１の場合と同様に、シール推力の変動によるパーティクルの発生量の変動を抑制する効果を奏する。
【0056】
次に、本発明によるバルブ装置の他の実施形態を説明する。
図１０は、本発明のバルブ装置の第２の実施形態によるダイヤフラムバルブ８１の開状態を示す縦断面図を示しており、図１１は、本発明のバルブ装置の第３の実施形態によるダイヤフラムバルブ９１の開状態を示す縦断面図を示している。図１０及び図１１では、第１の実施形態と共通する構成要素に第１の実施形態と同じ参照符号を付している。第２の実施形態のダイヤフラムバルブ８１の構造及び第３の実施形態のダイヤフラムバルブ９１は、リブが設けられている場所を除いて、第１の実施形態のダイヤフラムバルブ１１と同じであるので、ここでは、リブが設けられている場所を中心に説明する。
図１０は、本発明のバルブ装置の第２の実施形態によるダイヤフラムバルブ８１の開状態を示す縦断面図を示しており、図１１は、本発明のバルブ装置の第３の実施形態によるダイヤフラムバルブ９１の開状態を示す縦断面図を示している。図１０及び図１１では、第１の実施形態と共通する構成要素に第１の実施形態と同じ参照符号を付している。第２の実施形態のダイヤフラムバルブ８１の構造及び第３の実施形態のダイヤフラムバルブ９１は、リブが設けられている場所を除いて、第１の実施形態のダイヤフラムバルブ１１と同じであるので、ここでは、リブが設けられている場所を中心に説明する。
【0057】
ダイヤフラムバルブ８１及びダイヤフラムバルブ９１は、共に、バルブ本体１３と、弁体１５と、弁体１５を駆動するための駆動部１７とを備え、バルブ本体１３の上部に駆動部１７が取り付けられている。バルブ本体１３の上部中央には、弁室１９が形成され、さらに、バルブ本体１３の一方の側面に形成された流入口２３から延び且つ弁室１９の底部中央に開口する流入路２５及びバルブ本体１３の他方の側面に形成された流出口２７から延び且つ弁室１９の側面に開口する流出路２９が形成されている。また、流入路２５から弁室１９への開口の周囲には、弁体１５が接離する環状の弁座２１が形成されている。ダイヤフラムバルブ８１及びダイヤフラムバルブ９１の駆動部１７の構成は、ダイヤフラムバルブ１１の駆動部１７と同じであるのでここでは説明を省略する。
【0058】
ダイヤフラムバルブ１１では、弁体１５へ向かって隆起した円環形状のリブ５９が弁座２１に設けられる一方、弁座２１と対向する弁体１５の端面に円環形状の当接面６１が設けられており、リブ５９の頂部に設けられたシール部６３が当接面６１と平行に延びる円環形状のフラット面６３ａと、フラット面６３ａの内側と外側の両側に隣接して設けられフラット面６３ａに対して当接面６１から離れる方向に傾斜して延びる円環形状の内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃとを含んでいる。
【0059】
これに対して、ダイヤフラムバルブ８１では、弁座２１へ向かって隆起した円環形状のリブ８３が弁座２１と対向する弁体１５の端面（底面）に設けられている一方、弁座２１においてリブ８３と対向する部分に当接面８５が形成されている。また、リブ８３の頂部に設けられたシール部８７が当接面８５と平行に延びる円環形状のフラット面と、フラット面の内側と外側の両側に隣接して設けられフラット面に対して当接面８５から離れる方向に傾斜して延びる円環形状の内側傾斜面及び外側傾斜面とを含んでいる。
【0060】
ダイヤフラムバルブ８１でも、ダイヤフラムバルブ１１と同様の作用で、シール推力が低い場合、リブ８３のフラット面のみが当接面８５と当接し、当接面８５とリブ８３のシール部８７との接触面積が小さくなる。また、シール推力が高い場合、リブ８３のフラット面に加えて内側傾斜面及び外側傾斜面の少なくとも一部が当接面８５と当接し、リブ８３のシール部８７と当接面８５との接触面積が大きくなる。したがって、ダイヤフラムバルブ８１は、ダイヤフラムバルブ１１と同様の効果を奏することができる。
【0061】
また、ダイヤフラムバルブ９１では、弁体１５へ向かって隆起した円環形状のリブ９３が弁座２１に設けられていると共に、弁座２１へ向かって隆起した円環形状のリブ９５が弁座２１と対向する弁体１５の端面（底面）に設けられている。また、リブ９３とリブ９５の両方の頂部にそれぞれ設けられたシール部９７，９９が、何れも、弁座２１と平行に延びる円環形状のフラット面と、フラット面の内側と外側の両側に隣接して設けられフラット面に対して互いのリブ９３及びリブ９５から離れる方向に傾斜して延びる円環形状の内側傾斜面及び外側傾斜面とを含んでいる。ダイヤフラムバルブ９１では、リブ９３及びリブ９５の一方のシール部９７，９９が他方のシール部９９，９７の当接面としても機能する。
【0062】
ダイヤフラムバルブ９１でも、ダイヤフラムバルブ１１と同様の作用で、シール推力が低い場合、リブ９３のフラット面のみがリブ９５のフラット面すなわち当接面と当接し、リブ９３のシール部９７とリブ９５のシール部９９との接触面積が小さくなる。また、シール推力が高い場合、リブ９３のシール部９７のフラット面に加えて内側傾斜面及び外側傾斜面の少なくとも一部がリブ９５のシール部９９と当接し、リブ９３のシール部９７とリブ９５のシール部９９との接触面積が大きくなる。したがって、ダイヤフラムバルブ９１は、ダイヤフラムバルブ１１と同様の効果を奏することができる。
【0063】
以上、図示されている実施形態を参照して、本発明を説明したが、本発明は、図示されている実施形態に限定されるものではない。例えば、図示されている実施形態では、バルブ装置として、ダイヤフラムバルブが例示されているが、弁室への流入路の開口を弁体で封鎖するタイプのバルブであれば、本発明を適用することが可能であり、グローブバルブなどに本発明を提供することも可能である。また、第１の実施形態、第２の実施形態及び第３の実施形態では、押圧部の押し面３５ｅが円形状となっているが、図１２に示されているように、押し面３５ｅの中央部に肉盗み部６９を形成して、押し面３５ｅが環状（リング状）になっていてもよい。このような形状になっている場合、ステム３５ｃの押圧部の押し面３５ｅがリブ５９のシール部６３の内側傾斜面６３ｂ及び外側傾斜面６３ｃに近い部分に集中して弁体１５を押圧するため、低いシール推力でも十分なシール性能を確保することが可能となる。さらに、小さな力でのダイヤフラム５７へのステム３５ｃの先端の挿入が可能となって組立性が向上し、また、不要な力がダイヤフラム５７の当接面６１にかからないため、パーティクルの発生が抑制される。
【符号の説明】
【0064】
１１ ダイヤフラムバルブ
１３ バルブ本体
１５ 弁体
１７ 駆動部
１９ 弁室
２１ 弁座
２５ 流入路
２９ 流出路
５７ ダイヤフラム
５９ リブ
６１ 当接面
６３ シール部
６３ａ フラット面
６３ｂ 内側傾斜面
６３ｃ 外側傾斜面
８１ ダイヤフラムバルブ
８３ リブ
８５ 当接面
８７ シール部
９１ ダイヤフラムバルブ
９３ リブ
９５ リブ
９７ シール部
９９ シール部
１３ バルブ本体
１５ 弁体
１７ 駆動部
１９ 弁室
２１ 弁座
２５ 流入路
２９ 流出路
５７ ダイヤフラム
５９ リブ
６１ 当接面
６３ シール部
６３ａ フラット面
６３ｂ 内側傾斜面
６３ｃ 外側傾斜面
８１ ダイヤフラムバルブ
８３ リブ
８５ 当接面
８７ シール部
９１ ダイヤフラムバルブ
９３ リブ
９５ リブ
９７ シール部
９９ シール部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5A】
【図5B】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【図11】
【図12】