特許 7542011 太陽電池の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-21

(45)【発行日】2024-08-29

(54)【発明の名称】太陽電池の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 31/0463 20140101AFI20240822BHJP

   H01L 31/18 20060101ALI20240822BHJP

   H01L 31/05 20140101ALI20240822BHJP

【ＦＩ】

H01L31/04 532A

H01L31/04 460

H01L31/04 570

【請求項の数】 23

(21)【出願番号】P 2021568393

(86)(22)【出願日】2020-04-07

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-08-03

(86)【国際出願番号】 KR2020004684

(87)【国際公開番号】W WO2020246698

(87)【国際公開日】2020-12-10

【審査請求日】2023-02-09

(31)【優先権主張番号】10-2019-0065440

(32)【優先日】2019-06-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(31)【優先権主張番号】10-2019-0065820

(32)【優先日】2019-06-04

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(31)【優先権主張番号】10-2019-0065826

(32)【優先日】2019-06-04

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】504210651

【氏名又は名称】ジュスン エンジニアリング カンパニー リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110000154

【氏名又は名称】弁理士法人はるか国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】キム ジュンバエ

(72)【発明者】

【氏名】カン ジュンヤン

(72)【発明者】

【氏名】ムン ヒャンジュ

(72)【発明者】

【氏名】ミン ソンキ

(72)【発明者】

【氏名】セオ ジョンホ

(72)【発明者】

【氏名】シン ウォンスク

(72)【発明者】

【氏名】シン ヒュンキョ

(72)【発明者】

【氏名】ユーン ヤンタエ

(72)【発明者】

【氏名】リム キョンジン

【審査官】桂城 厚

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１６／０１５８８９０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１８／０１９０８４９（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０３２３８０８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１８／０１５１７６６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１６／０１６３９１２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１８－００７６１９７（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１７６１４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０１５５０１２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ３１／００－３１／０７８

Ｈ０１Ｌ ３１／１８－３１／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

太陽電池を製造するための処理空間において複数の薄膜層が形成されたセルを支持する支持工程、
前記セル上に導電性物質を噴射する塗布工程、および
前記セルを複数の単位セルに分離するためのセル分離部を形成するように、前記のセルに向かってレーザーを照射するスクライビング工程を含み、
前記塗布工程と前記スクライビング工程が、並行して前記セル上の互いに異なる面で行なわれることを特徴とする太陽電池の製造方法。

【請求項2】

前記スクライビング工程が、前記導電性物質が塗布された塗布領域にレーザーを照射することを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項3】

前記塗布工程が、レーザーが前記セル上に照射されるように、透明導電性フィルム（Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍｓ）を用いて行なわれることを特徴とする、請求項２に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項4】

前記塗布工程は、前記セルの表面に所定の間隔を開けて導電性物質を噴射することを含むことを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項5】

前記塗布工程が、前記セルの上面で行なわれ、
前記スクライビング工程は、前記セルの下面で行なわれることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項6】

前記スクライビング工程と前記塗布工程が、前記セルの互いに異なる位置で行なわれることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項7】

前記塗布工程が、複数の導電性物質噴射機により前記セル上に複数の導電性物質を噴射する工程を含み、
前記スクライビング工程は、複数のスクライビング装置により前記セル上に複数個のセル分離部を形成する工程を含むことを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項8】

前記セルを複数の単位セルに分離するカッティング工程、および
分離された単位セルを接合する接合工程、および
接合された単位セルを硬化するキュアリング工程をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項9】

前記塗布工程と前記スクライビング工程が、レーザーが照射される方向に対して垂直な第１軸方向を基準に離隔した位置で行なわれることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項10】

前記スクライビング工程が、前記セルの全面に行なわれることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項11】

前記スクライビング工程と前記塗布工程が、同じ空間で行なわれることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項12】

前記カッティング工程と前記接合工程が、繰り返して行なわれることを特徴とする請求項８に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項13】

前記接合工程が、分離された２個の単位セルの中のいずれか一方の単位セルだけを移動させる工程を含むことを特徴とする、請求項１２に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項14】

前記接合工程が、分離された２個の単位セルの中で移動セルを分離された２個の単位セルのうち、固定セルの方に移動させる移動工程を含むことを特徴とする、請求項１２に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項15】

前記移動工程が、
前記移動セルをレーザーが照射される方向に対して平行な第１軸方向に沿って移動させる第１移動工程、および
前記移動セルを前記第１軸方向に対して垂直な第２軸方向に沿って移動させる第２移動工程を含むことを特徴とする、請求項１４に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項16】

前記第２移動工程が、前記固定セルと前記移動セルが離隔したカッティング距離および前記導電性物質が噴射された塗布距離を加算した距離だけ、前記移動セルを移動させることを特徴とする、請求項１５に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項17】

前記第１移動工程と前記第２移動工程が、並行して行なわれることを特徴とする、請求項１５に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項18】

前記カッティング工程を行なうことにより分離された２個の単位セルの間には、カッティング距離が形成されることを特徴とする、請求項１２に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項19】

前記カッティング工程が繰り返し行なわれることにより形成されるカッティング距離が、徐々に減少することを特徴とする、請求項１８に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項20】

前記カッティング工程が繰り返し行なわれることにより形成されるカッティング距離が、同じであることを特徴とする、請求項１８に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項21】

前記支持工程で、前記スクライビング工程、前記塗布工程、Ｎ－１回の前記カッティング工程、およびＮ－１回の前記接合工程が行なわれたベースモジュールにＭ（Ｍは２以上の整数）個の単位モジュールセルで構成された連結モジュールを連結させるモジュール工程、および
前記ベースモジュールと前記連結モジュールを硬化する硬化工程をさらに含むことを特徴とする、請求項１２に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項22】

前記カッティング工程と前記接合工程が、それぞれＮ－１回繰り返して行なわれることを特徴とする請求項８に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項23】

前記接合工程が、分離された２つの部分のいずれか一つの部分を移動させて他の部分の一部と重なるようにする工程を含むことを特徴とする、請求項２２に記載の太陽電池の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、太陽電池（Ｓｏｌａｒ Ｃｅｌｌ）に関するものであり、基板型太陽電池と薄膜型太陽電池を組み合わせた太陽電池に関するものである。

【背景技術】

【0002】

太陽電池は、半導体の性質を利用して光エネルギーを電気エネルギーに変換させる装置である。

【0003】

太陽電池は、Ｐ（ｐｏｓｉｔｉｖｅ）型半導体とＮ（ｎｅｇａｔｉｖｅ）型半導体を接合させたＰＮ接合構造をしており、このような構造の太陽電池に太陽光が入射すると、入射した太陽光が有しているエネルギーによって前記半導体内で正孔（ｈｏｌｅ）および電子（ｅｌｅｃｔｒｏｎ）が発生し、このとき、ＰＮ接合で発生した電界によって前記正孔（＋）は、Ｐ型半導体の方に移動し、前記電子（－）は、Ｎ型半導体の方に移動するようになって電位が発生するようになることで電力を生産できるようになる。

【0004】

このような太陽電池は、一般的に基板型太陽電池と薄膜型太陽電池に区分することができる。

【0005】

前記基板型太陽電池は、シリコンウェーハのような半導体物質自体を基板に用いて太陽電池を製造したものであり、前記薄膜型太陽電池は、ガラスなどの基板上に薄膜の形態で半導体を形成して太陽電池を製造したものである。

【0006】

前記基板型太陽電池は、前記薄膜型太陽電池に比べて効率が優れている利点があり、前記薄膜型太陽電池は、前記基板型太陽電池に比べて製造コストが低減される利点がある。

【0007】

そこで、前記基板型太陽電池と薄膜型太陽電池を組み合わせた太陽電池が提案されたことがある。以下、図を参照して従来の太陽電池について説明することにする。

【0008】

図１Ａ～図１Ｄは、従来技術による太陽電池の製造方法を示す概略的な側面図である。

【0009】

まず、太陽電池を製造するための処理空間（未図示）に複数の薄膜層が形成されたセルを支持させる支持工程を行なう。前記処理空間は、全体的にチャンバー（Ｃｈａｍｂｅｒ）により具現され得る。

【0010】

次に、図１Ａに示すように、前記セル１００に向かってレーザーを照射するスクライビング（Ｓｃｒｉｂｉｎｇ）工程を行なう。前記スクライビング工程を行なうことによって前記セル１００を複数の単位セル１００ａに分離させるセル分離部２００が形成され得る。前記スクライビング工程は、前記セル１００にレーザーを照射するスクライビング装置２００ａによって行なわれ得る。

【0011】

次に、図１Ｂに示すように、セル１００上に導電性物質３００を噴射する塗布工程を行なう。前記塗布工程を行なうことによって前記セル１００上に前記導電性物質３００が噴射され得る。前記塗布工程は、前記セル１００に前記導電性物質３００を噴射する導電性物質噴射機２００ａによって行なわれ得る。

【0012】

次に、図１Ｃに示すように、前記セル１００を複数の単位セル１００ａに分離させるためのカッティング工程を行なう。前記カッティング工程を行なうことによって前記セル分離部２００を介して、前記セル１００を、複数の単位セル１００ａに分離することができる。図１Ｃに示すように、前記セル１００を５個の単位セル１００ａ、１００ａ’、１００ａ’’、１００ａ’’’、１００ａ’’’’に分離しようとする場合には、４回のカッティング工程が行なわれ得る。

【0013】

次に、図１Ｄに示すように分離された単位セル１００ａ、１００ａ’、１００ａ’’、１００ａ’’’、１００ａ’’’’を接合するための接合工程を行なう。前記接合工程は、前記導電性物質３００を介して分離された単位セル１００ａを接合することにより、なすことができる。

【0014】

その後、接合された単位セル１００ａ、１００ａ’、１００ａ’’、１００ａ’’’、１００ａ’’’’を硬化するキュアリング（Ｃｕｒｉｎｇ）工程を行なう。これにより、前記単位セル１００ａが互いに連結したモジュール（Ｍｏｄｕｌｅ）形態の太陽電池１０００が製造され得る。

【0015】

このような太陽電池の製造方法において、太陽電池の品質、太陽電池の製造時の太陽電池の製造コストなどを改善することができる技術の開発が切実に求められている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0016】

本発明は、上述のような要求を解消しようと案出されたもので、太陽電池の品質、太陽電池の製造時の太陽電池の製造コストなどを改善することができる太陽電気の製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0017】

本発明は、前記のような課題を解決するために、以下のような構成を含むことができる。

【0018】

本発明に係る太陽電池の製造方法は、太陽電池を製造するための処理空間に複数の薄膜層が形成されたセルを支持させる支持工程、前記セル上に導電性物質を噴射する塗布工程、及び前記セルを複数の単位セルに分離させるためのセル分離部を形成するように、前記のセルに向かってレーザーを照射するスクライビング工程を含むことができる。

【0019】

本発明に係る太陽電池の製造方法において、前記塗布工程は、前記スクライビング工程が行なわれる前に先に行なうことができる。

【0020】

本発明に係る太陽電池の製造方法において、前記塗布工程と前記スクライビング工程は、並行して行なうことができる。

【0021】

本発明に係る太陽電池の製造方法は、太陽電池を製造するための処理空間に複数の薄膜層が形成されたセルを支持させる支持工程、前記セルをＮ（Ｎは３以上の整数）個の単位セル分離させるためのＮ－１個のセル分離部を形成するように、前記セルにレーザーを照射するスクライビング工程、前記セル上に導電性物質を噴射する塗布工程、前記セルを２個の単位セル分離させるカッティング工程、および分離された２個の単位セルを接合させるために、前記カッティング工程の直後、連続して行なわれる接合工程を含むことができる。前記カッティング工程と前記接合工程は、繰り返して行なうことができる。

【0022】

本発明に係る太陽電池の製造方法は、基板をＮ（Ｎは３以上の整数）個の単位部分に分離するためのＮ－１個のセル分離部のうちのいずれか一つのセル分離部によって、前記基板を２つの部分に分離するカッティング工程、及び前記分離された２つの部分を接合させる接合工程を含むことができる。前記カッティング工程と前記接合工程は、それぞれＮ－１回繰り返して行なうことができる。

【発明の効果】

【0023】

本発明によると、次のような効果を図ることができる。

【0024】

本発明の一実施例によると、導電性物質の接合力を増大させることができるので、接合工程の完成度を向上させることができる。また、本発明の一実施例によると、セル上のクラック発生の可能性を減少させることができるので、完成した太陽電池の品質を向上させることができる。

【0025】

本発明の他の実施例によると、太陽電池の製造時間を減少させることができるので、太陽電池の量産性を向上させることができる。また、本発明の他の実施例によると、太陽電池を製造するのに必要な設備コストを低減させることができるので、太陽電池の製造コストを低減させることができる。

【0026】

本発明の他の実施例によると、接合工程にかかる時間を減少させることができるので、太陽電池の量産性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1A】従来技術による太陽電池の製造方法を示す概略的な工程側面図。

【図1B】従来技術による太陽電池の製造方法を示す概略的な工程側面図。

【図1C】従来技術による太陽電池の製造方法を示す概略的な工程側面図。

【図1D】従来技術による太陽電池の製造方法を示す概略的な工程側面図。

【図2】本発明に係る太陽電池の製造方法の概略的なフローチャート。

【図3A】本発明に係る太陽電池の製造方法において、塗布工程とスクライビング工程を示す概略的な工程側面図。

【図3B】本発明に係る太陽電池の製造方法において、塗布工程とスクライビング工程を示す概略的な工程側面図。

【図4】本発明に係る太陽電池の製造方法は、複数の導電性物質噴射機と複数のスクライビング装置によって行なわれることを示した概略的な工程側面図。

【図5】本発明に係る太陽電池の製造方法において、カッティング工程を示す概略的な工程側面図。

【図6】本発明に係る太陽電池の製造方法において、接合工程とキュアリング工程が行なわれた太陽電池を示した概略的な側面図。

【図7】本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法の概略的なフローチャート。

【図8A】本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法の一実施例を示した概略的な工程側面図。

【図8B】本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法の一実施例を示した概略的な工程側面図。

【図9】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法の概略的なフローチャート。

【図10】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、接合工程の概略的なブロック図。

【図11】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、スクライビング工程の概略工程側面図。

【図12】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、塗布工程の概略工程側面図。

【図13A】従来技術による太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図13B】従来技術による太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図13C】従来技術による太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図13D】従来技術による太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図13E】従来技術による太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図14A】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図14B】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図14C】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図14D】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図14E】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図14F】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図14G】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図14H】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、カッティング工程と接合工程の概略工程側面図。

【図15A】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、モジュール工程の概略工程側面図。

【図15B】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、モジュール工程の概略工程側面図。

【図15C】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、モジュール工程の概略工程側面図。

【図15D】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、モジュール工程の概略工程側面図。

【図15E】本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法における、モジュール工程の概略工程側面図。

【発明を実施するための形態】

【0028】

本発明のいくつかの実施例のそれぞれの特徴が、部分的または全体的に互いに結合または組み合わせ可能で、技術的に様々な連動および駆動が可能であり、各実施例が互いに独立して実施可能であり得、連関の関係に一緒に行なうこともできる。位置関係の説明である場合、例えば、「～の上に」、「～の上部に」、「～の下部に」、「～の横に」など２つの部分の位置関係が説明される場合、「すぐに」または「直接」が使用されていない限り、二つの部分の間に１つ以上の他の部分が位置することもできる。時間の関係についての説明である場合、例えば、「～の後に」、「～に続いて」、「～の次に」、「～の前に」などで、時間的前後関係が説明される場合、「すぐに」または「直接」が使用されていない以上、連続していない場合も含むことができる。

【0029】

以下では、本発明に係る太陽電池の製造方法の実施例を添付した図を参照して詳細に説明する。

【0030】

本発明に係る太陽電池の製造方法は、太陽光の光エネルギーを電気エネルギーに変える太陽電池を製造するものである。本発明に係る太陽電池の製造方法は、基板型太陽電池と薄膜型太陽電池を製造するのに用いることができる。以下では、本発明に係る太陽電池の製造方法で基板型太陽電池を製造することを基準に説明するが、本発明に係る太陽電池の製造方法を用いて薄膜型太陽電池を製造することは、本発明が属する技術分野の当業者にとって自明であろう。

【0031】

図２～図４を参照すると、本発明に係る太陽電池の製造方法は、太陽電池を製造するための処理空間に複数の薄膜層が形成されたセルを支持させる支持工程（Ｓ１００）、前記セル１上に導電性物質２０を噴射する塗布工程（Ｓ２００）、及び前記セル１を複数の単位セル１０に分離するためのセル分離部３０を形成するように、前記セル１に向かってレーザーを照射するスクライビング工程（Ｓ３００）を含むことができる。

【0032】

本発明に係る太陽電池の製造方法は、前記支持工程（Ｓ１００）が行なわれる前に、前記基板上に複数の薄膜層を形成するセル製造工程を含むことができる。前記支持工程（Ｓ１００）、前記塗布工程（Ｓ２００）、及び前記スクライビング工程（Ｓ３００）を説明する前に、前記セル製造工程を添付した図を参照して、具体的に説明する。

【0033】

前記セルの製造工程は、電気伝導極性を有する基板上に複数の薄膜層を形成する工程である。前記セル１は、前記基板上に複数の薄膜層が積層されたものをいう。前記セル１に太陽光が入射すると、入射した太陽光が有しているエネルギーにより前記セル１内で正孔（ｈｏｌｅ）と電子（Ｅｌｅｃｒｔｏｎ）が発生する。前記セル１内で前記正孔と前記電子の移動により電位差が発生するようになると、本発明に係る太陽電池の製造方法により製造された太陽電池は、電力を生産することができる。前記セルの製造工程を行なうことで前記基板上に複数の薄膜層が積層され得る。

【0034】

前記セルの製造工程は、次のような工程を含むことができる。

【0035】

まず、前記基板を準備する。前記基板は、シリコンウェーハからなり得、具体的には、Ｎ型シリコンウェーハまたはＰ型シリコンウェーハからなることができる。図に示していないが、前記基板の上面と下面は、凹凸構造からなり得、この場合、後述する工程において、前記基板の上面と下面に形成される各層も凹凸構造に形成される。

【0036】

その後、前記基板上に第１薄膜層を形成する。前記第１薄膜層は、前記基板に薄膜の形態で形成された半導体層であり得る。前記第１薄膜層は、前記基板と一緒にＰＮ接合を形成することができる。したがって、前記基板がＮ型シリコンウェーハで構成された場合、前記第１薄膜層は、Ｐ型半導体層からなり得る。前記第１薄膜層は、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）工程などを用いて形成することができる。前記第１薄膜層は、Ｐ型半導体物質、Ｉ型半導体物質とＮ型半導体物質が順に積層されたＰＩＮ構造で形成することができる。このように、前記第１薄膜層をＰＩＮ構造で形成するようになると、Ｉ型半導体物質がＰ型半導体物質とＮ型半導体物質によって空乏（Ｄｅｐｌｅｔｉｏｎ）になり、内部に電界が発生することになり、太陽光によって生成する正孔および電子が電界によってドリフト（Ｄｒｉｆｔ）され、それぞれＰ型半導体物質とＮ型半導体物質に収集されることになる。一方、前記第１薄膜層をＰＩＮ構造で形成する場合には、前記第１薄膜層の上部にＰ型半導体物質を形成し、続いてＩ型半導体物質とＮ型半導体物質を形成することが好ましい。その理由は、一般的に正孔のドリフト移動度（Ｄｒｉｆｔ Ｍｏｂｉｌｉｔｙ）が電子のドリフト移動度に比べて低いため、入射光による収集効率を最大化するためにＰ型半導体物質を受光面近くに形成するためである。一方、本発明に係る太陽電池の製造方法は、前記第１薄膜層が積層構造を有するように形成することもできる。例えば、本発明に係る太陽電池の製造方法は、前記第１薄膜層がタンデム［Ｔａｎｄｅｍ（ＰＩＮ／ＰＩＮ）］型またはトリプル［Ｔｒｉｐｌｅ（ＰＩＮ／ＰＩＮ／ＰＩＮ）］の形態の積層構造を有するように形成することができる。前記第１薄膜層は、前記基板の上面に形成され得る。前記第１薄膜層は、基板の上面と前記基板の下面にそれぞれ形成することもできる。

【0037】

その後、前記第１薄膜層上に第２薄膜層を形成する。前記第２薄膜層は、前記第１薄膜層上に形成された透明導電層であり得る。前記第２薄膜層は、前記第１薄膜層を保護するとともに、前記基板で生成されたキャリア、例えば、正孔（＋）を収集し、前記収集したキャリアを上側方向に移動させることができる。前記第２薄膜層は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＺｎＯＨ、ＺｎＯ：Ｂ、ＺｎＯ：Ａｌ、ＳｎＯ_２、ＳｎＯ_２：Ｆなどのような透明な導電物質からなり得る。前記第２薄膜層は、ＺｎＯ、ＺｎＯ：Ｂ、ＺｎＯ：Ａｌ、Ａｇのような透明な導電物質をスパッタリング（Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）法やＭＯＣＶＤ法などを用いて形成することができる。前記第２薄膜層は、太陽光を散乱させて、様々な角度で進行するようにすることで、前記第１薄膜層に再入射する光の割合を増加させる機能を有する。一方、本発明に係る太陽電池の製造方法は、前記第２薄膜層を形成せず、第１薄膜層だけを形成することもできる。すなわち、本発明に係る太陽電池の製造方法は、前記第２薄膜層を選択的に形成することができる。

【0038】

前記では、前記基板上に２つの薄膜層が形成されたセル１を基準に説明したが、これは例示的なものであり、前記基板上に３つ以上の薄膜層を形成することもできる。

【0039】

前記セルの製造工程は、基板上に電極を形成する工程を含むことができる。前記電極は、前記基板上に所定の間隔で離隔するように配置され得る。前記電極を形成する工程は、前記基板上に前記薄膜層を形成する前に行なうことができる。前記電極は、前記基板上に形成することができる。例えば、前記電極は、前記基板の上面と前記基板の下面それぞれに形成され得る。前記電極は、前記薄膜層上に形成することもできる。例えば、前記電極は、前記薄膜層の上面と前記薄膜層の下面、それぞれに形成され得る。

【0040】

このような前記セルの製造工程を経た後に、前記支持工程（Ｓ１００）、前記塗布工程（Ｓ２００）、及び前記スクライビング工程（Ｓ３００）が行なうことができる。ここで、本発明に係る太陽電池の製造方法は、いくつかの実施例で具現されるので、以下では、本発明に係る太陽電池の製造方法の実施例について添付した図を参照して、順次説明する。

【0041】

＜第１実施例＞
図２～図６を参照すると、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）が行なわれる前に、前記塗布工程（Ｓ２００）が行なわれるよう具現される。これにより、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、次のような作用効果を図ることができる。

【0042】

まず、前記スクライビング工程（Ｓ３００）を行なうことによって前記セル１上にパーティクル（Ｐａｒｔｉｃｌｅ）が形成されるが、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）に比べて、前記塗布工程（Ｓ２００）が先に行なわれるので、前記セル１上に前記スクライビング工程（Ｓ３００）によって発生したパーティクルがない状態で、前記塗布工程（Ｓ２００）が行なわれ得る。これにより、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記導電性物質２０の接合力を増大させることができる。したがって、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記導電性物質２０を用いて前記単位セル１０を接合させる工程の完成度を向上させることができる。

【0043】

第二に、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）が行なわれる領域上に予め前記導電性物質２０を塗布するので、前記導電性物質２０を介して前記セル１上のクラック発生の可能性を抑制する抑止力を具現することができる。これにより、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、完成した太陽電池の品質を向上させることができる。

【0044】

このような本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法によれば、前記支持工程（Ｓ１００）、前記塗布工程（Ｓ２００）、及び前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、次のように具現され得る。

【0045】

図２を参照すれば、前記支持工程（Ｓ１００）は、太陽電池を製造するための、前記の処理空間に前記セルを支持させる工程であり得る。前記支持工程は、前記セルを前記処理空間にロードするロード装置（未図示）によって行なわれ得る。前記処理空間は、内部に太陽電池を製造するのに必要な製造装置（未図示）を収容し、全体的にチャンバー（Ｃｈａｍｂｅｒ）で具現され得る。

【0046】

図２～図４を参照すると、前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記セル１上に導電性物質２０を噴射する工程であり得る。前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記支持工程（Ｓ１００）の後に行なわれ得る。前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記導電性物質２０を噴射する導電性物質噴射機２によって行なわれ得る。前記導電性物質噴射機２は、前記セル１上の領域の一つである塗布領域に前記導電性物質２０を噴射することができる。前記導電性物質２０は、導電性（Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ）を有する物質で具現され得る。図３Ａ及び図３Ｂは、前記セル１上に１つの導電性物質２０が噴射されたことを模式的に示した図である。図３Ａ～図４は、前記塗布工程（Ｓ２００）が、前記セル１の上面１ａに行なわれることを示しているが、これは例示的なものであり、前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記セル１の下面１ｂに行なうこともできる。

【0047】

前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記セル１上に複数の導電性物質２０を噴射する工程を含むことができる。この場合、前記複数の導電性物質２０を噴射する工程は、複数の導電性物質噴射機２によって行なわれ得る。例えば、図４に示すように、前記セル１上に４つの前記導電性物質２０を同時に噴射しようとする場合、前記塗布工程（Ｓ２００）は、４つの前記導電性物質噴射機２、２’、２’’、２’’’によって行なわれ得る。したがって、第１導電性物質噴射機２が導電性物質２０を、前記セル１の第１塗布領域に噴射すると、第２導電性物質噴射機２’は、前記第１塗布領域から離隔された第２塗布領域に導電性物質２０を噴射して、第３導電性物質噴射機２’’は、前記第１塗布領域と前記第２塗布領域それぞれから離隔した第３塗布領域に導電性物質２０を噴射するとともに、第４導電性物質噴射機２’’’は、前記第１塗布領域、第２塗布領域、及び前記第３塗布領域それぞれから離隔した第４塗布領域に導電性物質２０を噴射することができる。この場合、前記導電性物質噴射機２、２’、２’’、２’’’は、所定の間隔で離隔して配置され得る。これにより、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記塗布工程（Ｓ２００）が、前記セル１の全面に行なわれるように具現され得る。したがって、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記塗布工程（Ｓ２００）に要する時間を削減することができる。前記第１塗布領域、第２塗布領域、第３塗布領域、および前記第４塗布領域は、前記セル１の上面１ａに存在する領域の一つであり得る。

【0048】

図２～図４を参照すると、前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１を複数の単位セル１０に分離させるためのセル分離部３０を形成する工程であり得る。前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記塗布工程（Ｓ２００）の後に行なわれ得る。前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１に向かってレーザーを照射するスクライビング装置３によって行なわれ得る。前記スクライビング装置３は、前記セル１上の一つの領域であるスクライビング領域にレーザーを照射することができる。前記スクライビング領域と、前記塗布領域は、前記セル１の異なる領域に配置され得る。図３Ｂ及び図４に示した一点鎖線の矢印は、前記スクライビング装置３が照射するレーザーを模式的に示したものである。図３Ｂ及び図４においては、前記スクライビング工程（Ｓ３００）が、前記セル１の下面１ｂに行なわれることが示されているが、これは例示的なものであり、前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１の上面１ａに行なうこともできる。

【0049】

前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１に向かってレーザーを照射することにより、なすことができる。これにより、前記セル１の所定の領域を除去することにより、前記セル分離部３０を形成することができる。前記セル分離部３０は、前記セル１の表面から所定の深さ陥没したホーム（Ｇｒｏｏｖｅ）で具現され得る。前記セル分離部３０は、前記セル１の一側から他側まで延長して形成され得る。図３Ｂは、前記セル１上に１つのセル分離部３０が形成されたことを示したものである。

【0050】

前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１上に複数のセル分離部３０を形成する工程を含むことができる。この場合、前記複数のセル分離部３０を形成する工程は、複数のスクライビング装置３によって行なわれ得る。例えば、図４に示すように、前記セル１上に４つのセル分離部３０を同時に形成しようとする場合には、前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、４つの前記スクライビング装置３、３’、３’’、３’’’によって行なわれ得る。したがって、第１スクライビング装置３が、レーザーを前記セル１の第１スクライビング領域に照射すると、第２スクライビング装置３’は、前記第１スクライビング領域から離隔した第２スクライビング領域にレーザーを照射し、第３スクライビング装置３’’は、前記第１スクライビング領域と前記第２スクライビング領域それぞれから離隔した第３スクライビング領域にレーザーを照射するとともに、前記第４スクライビング装置３’’’は、前記第１スクライビング領域、前記第２スクライビング領域、および前記第３スクライビング領域それぞれから離隔した第４スクライビング領域にレーザーを照射することができる。この場合、前記スクライビング装置３、３’、３’’、３’’’は、所定の間隔で離隔して配置され得る。これにより、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）が、前記セル１の全面に行なわれるように具現され得る。したがって、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）に要する時間を削減することができる。前記第１スクライビング領域、前記第２スクライビング領域、前記第３スクライビング領域、および前記第４スクライビング領域は、前記セル１の下面１ｂに存在する領域の一つであり得る。

【0051】

前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記塗布領域にレーザーを照射することにより、なすことができる。この場合、前記スクライビング工程（Ｓ３００）と、前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記セル１の同じ面で行なうことができる。これにより、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記導電性物質２０が、あらかじめ塗布された領域にレーザーを照射するように具現されることにより、前記スクライビング工程（Ｓ３００）により、前記クラック発生の可能性を減少させることができる。したがって、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、太陽電池の品質を向上させることができる。

【0052】

前記スクライビング工程（Ｓ３００）が、前記導電性物質２０が塗布された領域にレーザーを照射するように行なわれる場合、前記塗布工程（Ｓ２００）は、レーザーが、前記セル１上に照射されるように、透明導電性フィルム（Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍｓ、ＴＣＦ）を使用して行なうことができる。これにより、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、クラック発生の可能性を減少させることができることと併せて、レーザーが前記導電性物質２０を透過することができる透過力を具現することができる。

【0053】

図３Ａ～図４を参照すると、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１の異なる場所で行なうことができる。例えば、前記スクライビング工程（Ｓ３００）が、前記第１スクライビング領域で行なわれた場合、前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記第１スクライビング領域から離隔した前記第１塗布領域で行なうことができる。これにより、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記塗布工程（Ｓ３００）と、前記スクライビング工程（Ｓ２００）が行なわれる領域を互いに離隔させることで、レーザーの温度により前記導電性物質２０が硬化することを抑制する抑止力を具現することができる。

【0054】

前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、第１軸方向を基準に離隔した位置で行なうことができる。前記第１軸方向は、前記スクライビング装置３が、レーザーを照射する方向に対して平行な方向であり得る。これにより、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）が行なわれる領域を、互いに離隔させることができる。

【0055】

図３Ａ～図４を参照すると、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１の異なる面で行なわれ得る。例えば、前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記セル１の上面１ａで行なわれると共に、前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１の下面１ｂで行なわれ得る。これにより、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）が行なわれる面を互いに離隔させることで、レーザーの温度により前記導電性物質２０が硬化することを抑制する抑止力を具現することができる。

【0056】

図２及び図５を参照すると、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記セル１を単位セル１０に分離するカッティング工程（Ｓ４００）を含むことができる。

【0057】

前記カッティング工程（Ｓ４００）は、前記セル１を複数の単位セル１０に分離させるための工程であり得る。前記カッティング工程（Ｓ４００）は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）の後に行なわれ得る。図５に示すように、前記セル１を５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’に分離させようとする場合、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、４回のカッティング工程（Ｓ４００）を含むことができる。すなわち、前記セル１をＬ（Ｌは２以上の整数）個の単位セル１０に分離させようとする場合、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、Ｌ－１回のカッティング工程（Ｓ４００）を含むことができる。前記カッティング工程（Ｓ４００）を行なうことによって前記セル分離部３０を基準に、前記セル１は、複数の単位セル１０に分離することができる。前記カッティング工程（Ｓ４００）は、前記セル１を、前記の単位セル１０に分離させる切断ロボット（未図示）によって行なわれ得る。

【0058】

図２及び図６を参照すると、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、分離された単位セル１０を接合する接合工程（Ｓ５００）を含むことができる。

【0059】

前記接合工程（Ｓ５００）は、分離された単位セル１０を接合する工程であり得る。前記接合工程（Ｓ５００）は、前記導電性物質２０を介して分離された単位セル１０を接合することにより、なすことができる。前記接合工程（Ｓ５００）は、前記カッティング工程（Ｓ４００）の後に行なわれ得る。前記カッティング工程（Ｓ４００）を介して前記セル１が５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’に分離された場合、図６に示したように、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、４回の接合工程（Ｓ５００）を含むことができる。つまり、Ｌ個の単位セル１０を接合させたい場合、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、Ｌ－１回の接合工程（Ｓ５００）を含むことができる。前記接合工程（Ｓ５００）は、図６に示すように、１番目の単位セル１０の一側の上面と２番目の単位セル１０’の一側の下面を接合させる工程、２番目の単位セル１０’の他側の上面と３番目の単位セル１０’’の一側の下面を接合させる工程、および３番目の単位セル１０’’の他側の上面と、４番目の単位セル１０’’’の一側の下面を接合させる工程、および４番目の単位セル１０’’’の他側の上面と５番目の単位セル１０’’’’の一側の下面を接合させる工程を含むことができる。前記単位セル１０のそれぞれの一側と他側は、前記単位セル１０の中間地点を基準に互いに反対の位置に配置された側であり得る。前記接合工程（Ｓ５００）は、分離された単位セル１０を移動させる移送ロボット（未図示）によって行なわれ得る。

【0060】

図２及び図６を参照すると、本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法は、キュアリング工程（Ｓ６００）を含むことができる。

【0061】

前記キュアリング工程（Ｓ６００）は、接合された単位セル１０を硬化する工程である。前記キュアリング工程（Ｓ６００）は、前記接合工程（Ｓ５００）の後に行なわれ得る。前記キュアリング工程（Ｓ６００）は、接合された単位セル１０を加熱する加熱装置（未図示）などにより行なうことができる。前記キュアリング工程（Ｓ６００）を行なうことによって前記単位セル１０が互いに連結したモジュール（Ｍｏｄｕｌｅ）形態の太陽電池１０Ａが製造され得る。図６は、前記太陽電池１０Ａが５個の単位セル１０で構成されることが示されているが、これは例示的なものであり、前記太陽電池１０Ａは、２個以上４個以下の単位セル１０で構成したり、または６個以上の単位セル１０で構成することもできる。

【0062】

＜第２実施例＞
図３Ｂ～図８Ｂを参照すると、本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記塗布工程（Ｓ２００）と、前記スクライビング工程（Ｓ３００）が並行して行なわれるように具現される。これにより、本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法は、次のような作用効果を図ることができる。

【0063】

まず、本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記塗布工程（Ｓ２００）と、前記スクライビング工程（Ｓ３００）が同時に行なわれるように具現することで、太陽電池を製造するための時間を短縮することができる。したがって、本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法は、太陽電池の量産性を増大させることができる。

【0064】

第二に、本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記セル１を、前記スクライビング工程（Ｓ３００）が行なわれた空間と塗布工程（Ｓ２００）が行なわれる空間の間を移送させるなどの一連の工程を省略することができるように具現される。これにより、本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記セル１の移送に使用されるセル移送手段（未図示）などの設備コストを低減させることで、太陽電池の製造コストを削減することができる。

【0065】

このような本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法によれば、前記支持工程（Ｓ１００）、前記塗布工程（Ｓ２００）、及び前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、次のように具現され得る。前記支持工程（Ｓ１００）、前記塗布工程（Ｓ２００）、及び前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、上述した本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法で説明したのと大略一致するように具現され得るので、違いがある部分を中心にして説明する。

【0066】

図３Ｂ～図８Ｂを参照すると、前記スクライビング工程（Ｓ３００）において、前記複数のセル分離部３０を形成する工程は、前記スクライビング装置３を第１軸方向に沿って移動させることで行なうこともできる。この場合、前記スクライビング装置３を移動させるためのスクライビング移送手段（未図示）が設置され得る。前記第１軸方向は、レーザーが、前記セル１上に照射される方向に対して垂直な方向であり得る。例えば、２つのスクライビング装置３を用いて前記セル１に４つのセル分離部３０を形成しようとする場合、前記複数のセル分離部３０を形成する工程は、次のように進行され得る。まず、前記スクライビング装置３、３’を介して前記セル１の中間地点を基準にして右側の部分に２つのセル分離部３０を形成する。その後、前記スクライビング装置３は、前記スクライビング移送手段によって前記第１軸方向に沿って移動することができる。その後、前記スクライビング装置３、３’を介して前記セル１の中間地点を基準にして左側の部分に２つのセル分離部３０を形成する。前記のような過程で、前記セル１上に複数のセル分離部３０を形成する工程が行なわれ得る。

【0067】

図３Ｂ～図８Ｂを参照すると、前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記導電性物質２０に、透明導電性フィルム（Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍｓ、ＴＣＦ）などの導電性を有する物質を利用することができる。前記塗布領域と、前記スクライビング領域は、前記セル１の異なる領域に配置され得る。前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、並行して行なわれ得る。

【0068】

前記セル１上に複数の導電性物質２０を噴射する工程は、前記導電性物質噴射機２を前記第１軸方向に沿って移動させることによって行なうことできる。この場合、前記導電性物質噴射機２を移動させるための塗布移動手段（未図示）が設置され得る。例えば、２つの導電性物質噴射機２を用いて前記セル１に４つの導電性物質２０を噴射しようとする場合、前記複数の導電性物質２０を噴射する工程は、次のように進行することができる。まず、前記導電性物質噴射機２を介して前記セル１の中間地点を基準にして左側の部分に２つの導電性物質２０を噴射する。その後、前記導電性物質噴射機２は、前記の塗布移送手段によって前記第１軸方向に移動する。その後、前記の２つの導電性物質噴射機２を介して前記セル１の中間地点を基準にして右側の部分に２つの導電性物質２０を噴射する。前記のような過程で、前記セル１上に複数の導電性物質２０を噴射する工程が行なわれ得る。

【0069】

前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、同じ空間で行なわれ得る。すなわち、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記処理空間内ですべて行なわれ得る。

【0070】

前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、第１軸方向を基準に離隔した位置で行なうことができる。以下では、本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法において、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）が行なわれる一実施例を、添付した図を参照して説明する。理解の便宜上、前記塗布工程（Ｓ２００）は、４つの導電性物質噴射機２、２’、２’’、２’’’によって行なわれ、併せて前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、４つのスクライビング装置３、３’、３’’、３’’’によって行なわれることを基準に説明する。

【0071】

まず、前記セル１を準備する。前記セル１の上側方向には２つの導電性物質噴射機２、２’が配置されると共に、前記セル１の下側方向には２つのスクライビング装置３、３’が配置され得る。この場合、前記導電性物質噴射機２、２’と前記スクライビング装置３、３’は、前記第１軸方向を基準に離隔して配置されるように前記導電性物質噴射機２、２’は、前記セル１の中間地点を基準に左側に配置されるとともに、前記スクライビング装置３、３’は、前記セル１の中間地点を基準として右側に配置され得る。

【0072】

その後、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）を、並行して行なう。前記の例では、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、図８Ａに示すように、前記導電性物質噴射機２、２’が、前記セル１の上面１ａ上に導電性物質２０、２０’を噴射するとともに、前記スクライビング装置３、３’が、前記セル１の下面１ｂ上にセル分離部３０、３０’を形成することにより、なすことができる。この場合、前記導電性物質噴射機２、２’と前記スクライビング装置３、３’は、前記第１軸方向を基準に離隔するように配置されているので、前記導電性物質２０、２０’が、レーザーによって硬化することを防止することができる。

【0073】

その後、前記セル１を前記第１軸方向に沿って移動させる工程が行なわれ得る。前記セル１を移動させる工程は、セル移動手段（未図示）によって行なわれ得る。この場合、前記導電性物質噴射機２’’、２’’’は、前記セル１の中間地点を基準に右側に配置されるとともに、前記スクライビング装置３’’、３’’’は、前記セル１の中間地点を基準に左側に配置され得る。

【0074】

その後、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）を、並行して行なう。前記の例では、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、図８Ｂに示すように、前記導電性物質噴射機２’’、２’’’が、前記セル１の上面１ａ上に導電性物質２０’’、２０’’’を噴射するとともに、前記スクライビング装置３’’、３’’’が、前記セル１の下面１ｂ上にセル分離部３０’’、３０’’’を形成することにより、なすことができる。この場合、前記導電性物質噴射機２’’、２’’’と前記スクライビング装置３’’、３’’’は、前記第１軸方向を基準に離隔するように配置されているので、前記導電性物質２０’’、２０’’’が、レーザーによって硬化することが防止され得る。

【0075】

前記のように、本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記スクライビング装置３と前記導電性物質噴射機２を離隔させた状態で、前記スクライビング工程（Ｓ３００）と前記塗布工程（Ｓ２００）が、並行して行なわれるように具現され得る。

【0076】

図３Ｂ～図８Ｂを参照すると、本発明の第２実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記カッティング工程（Ｓ４００）、及び前記接合工程（Ｓ５００）を含むことができる。前記カッティング工程（Ｓ４００）と前記接合工程（Ｓ５００）は、上述した本発明の第１実施例に係る太陽電池の製造方法で説明したのと大略一致するように具現され得るので、これに対する具体的な説明は省略する。

【0077】

＜第３実施例＞
図９～図１５Ｅを参照すると、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、太陽電池を製造するための処理空間に複数の薄膜層が形成されたセルを支持させる支持工程（Ｓ１００）、前記セル１をＮ（Ｎは３以上の整数）個の単位セル１０に分離させるためのＮ－１個のセル分離部３０を形成するように、前記セル１にレーザーを照射するスクライビング工程（Ｓ３００）、前記セル１上に導電性物質２０を噴射する塗布工程（Ｓ２００）、前記セル１を２個の単位セル１０に分離させるカッティング工程（Ｓ４００）、および分離された２個の単位セル１０を接合させるために、前記カッティング工程（Ｓ４００）の直後、連続して行なわれる接合工程（Ｓ５００）を含む。

【0078】

本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記カッティング工程（Ｓ４００）と前記接合工程（Ｓ５００）を、Ｎ－１回繰り返して行なうように具現される。これにより、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記カッティング工程（Ｓ４００）において、前記セル１をＮ個の単位セル１０にすべて分離させた後、前記接合工程（Ｓ５００）が行われるように具現された従来技術と比べて見ると、前記接合工程（Ｓ５００）に要する時間を減少させることができる。これを添付した図を参照して具体的に説明すると、次の通りである。理解の便宜上、前記セル１を５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’に分離させることを基準に説明する。

【0079】

図１３Ａ～図１３Ｅは、従来技術による太陽電池の製造方法において、カッティング工程（Ｓ４００）と接合工程（Ｓ５００）を示す工程側面図である。図１３Ａに示したように、前記セル１を、前記５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’に分離させるために、４回のカッティング工程（Ｓ４００）が同時に行なわれ得る。４回のカッティング工程（Ｓ４００）が、前記セル１上に同時に行なわれることで、５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’間は、カッティング距離（ＣＬ）で互いに離隔し得る。ここで、５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’間の４つのカッティング距離（ＣＬ）は、互いに同一であり得る。

【0080】

図１３Ｂ～図１３Ｅを参照すると、前記カッティング工程（Ｓ４００）を行なった後、５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’を接合させるために、４回の接合工程（Ｓ５００）が行なわれ得る。まず、図１３Ｂに示すように、前記接合工程（Ｓ５００）を行なうことで２番目の単位セル１０’は、１番目の単位セル１０に接合することができる。この場合、前記接合工程（Ｓ５００）は、２番目の単位セル１０’を大略一つのカッティング距離（ＣＬ）だけ移動させる工程を含むことができる。次に、図１３Ｃに示すように、前記接合工程（Ｓ５００）を行なうことで３番目の単位セル１０’’は、２番目の単位セル１０’に接合することができる。この場合、前記接合工程（Ｓ５００）は、３番目の単位セル１０’’を大略二つのカッティング距離（２ＣＬ）だけ移動させる工程を含むことができる。２番目の単位セル１０’を一つのカッティング距離（ＣＬ）だけ移動させる工程は、２番目の単位セル１０’が３番目の単位セル１０’’と分離されたまま行なわれるので、３番目の単位セル１０’’は、２番目の単位セル１０’が移動したカッティング距離（ＣＬ）分だけさらに移動しなければならないからである。その後、図１３Ｄに示すように、前記接合工程（Ｓ５００）を行なうことで４番目の単位セル１０’’’は、３番目の単位セル１０’’に接合することができる。この場合、前記接合工程（Ｓ５００）は、第４単位セル１０’’’を大略三つのカッティング距離（３ＣＬ）だけ移動させる工程を含むことができる。３番目の単位セル１０’’を二つのカッティング距離（２ＣＬ）だけ移動させる工程は、３番目の単位セル１０’’が、４番目の単位セル１０’’’と分離されたまま行なわれるので、４番目の単位セル１０’’’は、３番目の単位セル１０’’が移動した二つのカッティング距離（２ＣＬ）だけさらに移動しなければならないからである。次に、図１３Ｅに示すように、前記接合工程（Ｓ５００）を行なうことで５番目の単位セル１０’’’’は、４番目の単位セル１０’’’に接合することができる。この場合、前記接合工程（Ｓ５００）は、５番目の単位セル１０’’’’を大略四つのカッティング距離（４ＣＬ）だけ移動させる工程を含むことができる。４番目の単位セル１０’’’を三つのカッティング距離（３ＣＬ）だけ移動させる工程は、４番目の単位セル１０’’’が５番目の単位セル１０’’’’と分離されたまま行なわれるので、５番目の単位セル１０’’’’は、４番目の単位セル１０’’’が移動した三つのカッティング距離（３ＣＬ）だけさらに移動しなければならないからである。このように、比較例は、前記接合工程（Ｓ５００）に、５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’を大略十のカッティング距離（１０ＣＬ＝ＣＬ＋２ＣＬ＋３ＣＬ＋４ＣＬ）だけ移動させる工程を含むことができる。

【0081】

図１４Ａ～図１４Ｈは、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法において、カッティング工程（Ｓ４００）と接合工程（Ｓ５００）を示す工程側面図である。本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、比較例とは異なり、前記セル１を５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’に分離させるために、前記カッティング工程（Ｓ４００）が同時に行なわれない。すなわち、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、１回のカッティング工程（Ｓ４００）が行なわれると、順次１回の接合工程（Ｓ５００）が連続して行なわれるように具現される。以下、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法のカッティング工程（Ｓ４００）と接合工程（Ｓ５００）を説明する。

【0082】

図１４Ａを参照すると、まず、前記セル１上に１番目の単位セル１０と２番目の単位セル１０’を分離させる１回のカッティング工程（Ｓ４００）を行なう。この場合、１番目の単位セル１０と２番目の単位セル１０’は、前記カッティング距離（ＣＬ）で離隔され得る。

【0083】

次に、図１４Ｂに示すように、前記接合工程（Ｓ５００）を行なうことで２番目の単位セル１０’は、１番目の単位セル１０に接合することができる。この場合、前記接合工程（Ｓ５００）は、２番目の単位セル１０’を大略前記カッティング距離（ＣＬ）だけ移動させる工程を含むことができる。

【0084】

次に、図１４Ｃに示すように、２番目の単位セル１０’と３番目の単位セル１０’’を分離させる１回のカッティング工程（Ｓ４００）を行なう。この場合、２番目の単位セル１０’と３番目の単位セル１０’’は、前記カッティング距離（ＣＬ）で離隔され得る。

【0085】

次に、図１４Ｄに示すように、前記接合工程（Ｓ５００）を行なうことで３番目の単位セル１０’’は、２番目の単位セル１０’に接合することができる。この場合、接合工程（Ｓ５００）は、３番目の単位セル１０’’を大略前記カッティング距離（ＣＬ）だけ移動させる工程を含むことができる。本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、２番目の単位セル１０’を１番目の単位セル１０に接合させる接合工程（Ｓ５００）において、２番目の単位セル１０’が１の単位セル１０に移動することにより、３番目の単位セル１０’’も一緒に移動するように具現される。したがって、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、比較例と対比してみると、３番目の単位セル１０’’を接合するのに必要な移動距離を減少させることができる。

【0086】

次に、図１４Ｅに示すように、３番目の単位セル１０’’と４番目の単位セル１０’’’を分離させる１回のカッティング工程（Ｓ４００）を行なう。この場合、４番目の単位セル１０’’’と３番目の単位セル１０’’は、前記カッティング距離（ＣＬ）で離隔され得る。

【0087】

次に、図１４Ｆに示すように、前記接合工程（Ｓ５００）を行なうことで４番目の単位セル１０’’’は、３番目の単位セル１０’’に接合することができる。この場合、接合工程（Ｓ５００）は、第４単位セル１０’’’を大略前記カッティング距離（ＣＬ）だけ移動させる工程を含むことができる。本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、３番目の単位セル１０’’を２番目の単位セル１０’に接合させる接合工程（Ｓ５００）において、３番目の単位セル１０’’が２番目の単位セル１０’に移動することにより、４番目の単位セル１０’’’も一緒に移動するように具現される。したがって、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、比較例と対比して見たときに、４番目の単位セル１０’’’を接合するのに必要な移動距離を減少させることができる。

【0088】

次に、図１４Ｇに示すように、４番目の単位セル１０’’’と５番目の単位セル１０’’’’を分離させる１回のカッティング工程（Ｓ４００）を行なう。この場合、５番目の単位セル１０’’’’と４番目の単位セル１０’’’は、前記カッティング距離（ＣＬ）で離隔され得る。

【0089】

次に、図１４Ｈに示すように、前記接合工程（Ｓ５００）を行なうことで５番目の単位セル１０’’’’は、４番目の単位セル１０’’’に接合することができる。この場合、前記接合工程（Ｓ５００）は、５番目の単位セル１０’’’’を大略前記カッティング距離（ＣＬ）だけ移動させる工程を含むことができる。本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、第４単位セル１０’’’を３番目の単位セル１０’’に接合させる工程では、４番目の単位セル１０’’’が３番目の単位セル１０’’に移動することにより、５番目の単位セル１０’’’’も一緒に移動するように具現される。したがって、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、比較例と対比してみると、５番目の単位セル１０’’’’を接合するのに必要な移動距離を減少させることができる。

【0090】

このように、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記接合工程（Ｓ５００）で分離された５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’を四つのカッティング距離（４ＣＬ）だけ移動させる工程を含むことができる。

【0091】

前記のように、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記セル１に１回のカッティング工程（Ｓ４００）が行なわれた直後に１回の接合工程（Ｓ５００）が連続して行なわれ、前記カッティング工程（Ｓ４００）と、前記接合工程（Ｓ５００）をそれぞれＮ－１回繰り返して行なうように具現される。これにより、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、比較例と対比してみると、同じ回数のカッティング工程（Ｓ４００）と同じ回数の接合工程（Ｓ５００）が行なわれるが、前記接合工程（Ｓ５００）で分離された単位セル１０の移動距離を減少させるように具現され得る。したがって、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記接合工程（Ｓ５００）にかかる時間を減らすことで、太陽電池の量産性を向上させることができる。

【0092】

以下では、前記支持工程（Ｓ１００）、前記スクライビング工程（Ｓ３００）、前記塗布工程（Ｓ２００）、前記カッティング工程（Ｓ４００）、及び前記接合工程（Ｓ５００）について添付した図を参照して具体的に説明する。

【0093】

図９を参照すると、前記支持工程（Ｓ１００）は、太陽電池を製造するための、前記の処理空間に前記セルを支持させる工程であり得る。前記支持工程（Ｓ１００）は、太陽電池が形成された前記基板を前記処理空間に準備する工程であり得る。ここで、前記太陽電池は、前記基板上に複数の薄膜層が積層された前記セル１であり得る。前記支持工程は、前記セルを前記処理空間にロードするロード装置（未図示）によって行なわれ得る。前記処理空間は、内部に太陽電池を製造するのに必要な製造装置（未図示）を収容し、全体的にチャンバー（Ｃｈａｍｂｅｒ）で具現され得る。

【0094】

図９及び図１１を参照すると、前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１を複数の単位セル１０に分離させるための工程である。前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記支持工程（Ｓ１００）の後に行なわれ得る。前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１に向かってレーザーを照射するスクライビング装置３によって行なわれ得る。前記スクライビング装置３は、前記セル１上の領域の一つであるスクライビング領域にレーザーを照射することができる。図１１に示した一点鎖線の矢印は、前記スクライビング装置３が照射するレーザーを模式的に示したものである。図１１は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）が、前記セル１の上面１ａに行なわれることが示されているが、これは例示的なものであり、前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１の下面１ｂに行なうこともできる。

【0095】

前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１をＮ個の単位セル１０に分離させるためのＮ－１個のセル分離部３０を形成する工程であり得る。この場合、前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、Ｎ－１個のスクライビング装置３によって行なわれ得る。例えば、図１１に示すように、５個の単位セル１０に分離させようとする場合、前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、４つの前記スクライビング装置３、３’、３’’、３’’’によって行なわれ得る。これにより、前記セル１上に４つのセル分離部３０を形成することができる。したがって、第１スクライビング装置３が、レーザーを前記セル１の第１スクライビング領域に照射すると、第２スクライビング装置３’は、前記第１スクライビング領域から離隔した第２スクライビング領域にレーザーを照射し、第３スクライビング装置３’’は、前記第１スクライビング領域と前記第２スクライビング領域それぞれから離隔した第３スクライビング領域にレーザーを照射するとともに、第４スクライビング装置は、前記第１スクライビング領域、前記第２スクライビング領域、および前記第３スクライビング領域それぞれから離隔した第４スクライビング領域にレーザーを照射することができる。この場合、前記スクライビング装置３、３’、３’’、３’’’は、所定の間隔で離隔して配置され得る。これにより、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）が、前記セル１の全面に同時に行なわれるように具現され得る。したがって、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）に要する時間を削減することができる。前記第１スクライビング領域、前記第２スクライビング領域、前記第３スクライビング領域、および前記第４スクライビング領域は、前記セル１の上面１ａに存在する領域の一つであり得る。

【0096】

前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１に向かってレーザーを照射することにより、なすことができる。これにより、前記セル１の所定の領域を除去することにより、前記セル分離部３０を形成することができる。前記スクライビング工程（Ｓ３００）を行なうことによって前記セル分離部３０は、前記セル１の一面に形成され得る。前記スクライビング工程（Ｓ３００）を行なうことによって前記セル分離部３０は、前記基板の一面に形成することもできる。前記セル分離部３０は、前記セル１の表面から所定の深さ陥没したホーム（Ｇｒｏｏｖｅ）で具現され得る。前記セル分離部３０は、前記セル１の一側から他側まで延長して形成され得る。

【0097】

図９及び図１２を参照すると、前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記セル１上に導電性物質２０を噴射する工程であり得る。前記塗布工程（Ｓ２００）を行なうことによって前記セル分離部３０の周辺には、前記導電性物質２０が塗布され得る。前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）の後に行なわれ得る。前記導電性物質２０は、透明導電性フィルム（Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍｓ、ＴＣＦ）などの導電性（Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ）を有する物質であり得る。前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記導電性物質２０を噴射する導電性物質噴射機２によって行なわれ得る。前記導電性物質噴射機２は、前記セル１上の領域の一つである塗布領域に前記導電性物質２０を噴射することができる。前記塗布領域と前記スクライビング領域は、前記セル１の異なる領域に配置され得る。図１２は、前記塗布工程（Ｓ２００）が、前記セル１の上面１ａに行なわれることが示されているが、これは例示的なものであり、前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記セル１の下面１ｂに行なうこともできる。

【0098】

前記塗布工程（Ｓ２００）は、複数の導電性物質噴射機２により、前記セル１上に複数の導電性物質２０を噴射する工程を含むことができる。前記セル１をＮ個の単位セル１０に分離しようとする場合には、前記塗布工程（Ｓ２００）は、Ｎ－１個の導電性物質噴射機２によって行なわれ得る。例えば、図１２に示すように、前記セル１を５個の単位セル１０に分離しようとする場合、前記塗布工程（Ｓ２００）は、４つの前記導電性物質噴射機２、２’、２’’、２’’’によって行なわれ得る。したがって、第１導電性物質噴射機２が前記導電性物質２０を、前記セル１の第１塗布領域に噴射すると、第２導電性物質噴射機２’は、前記第１塗布領域から離隔した第２塗布領域に前記導電性物質２０を噴射して、第３導電性物質噴射機２’’は、前記第１塗布領域と前記第２塗布領域それぞれから離隔した第３塗布領域に前記導電性物質２０を噴射するとともに、第４導電性物質噴射機２’’’は、前記第１塗布領域、第２塗布領域、及び前記第３塗布領域それぞれから離隔した第４塗布領域に導電性物質２０を噴射することができる。この場合、前記導電性物質噴射機２、２’、２’’、２’’’は、所定の間隔で離隔して配置され得る。これにより、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記塗布工程（Ｓ２００）が、前記セル１の全面に同時に行なうように具現され得る。したがって、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記塗布工程（Ｓ２００）に要する時間を削減することができる。前記第１塗布領域、第２塗布領域、第３塗布領域、および前記第４塗布領域は、前記セル１の上面１ａに存在する領域の一つであり得る。

【0099】

前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１の異なる面で行なわれ得る。例えば、前記塗布工程（Ｓ２００）は、前記セル１の上面１ａで行なうとともに、前記スクライビング工程（Ｓ３００）は、前記セル１の下面１ｂで行なうことができる。これにより、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記塗布工程（Ｓ２００）と前記スクライビング工程（Ｓ３００）が行なわれる面を互いに離隔させることで、レーザーの温度により前記導電性物質２０が硬化することを抑制する抑止力を具現することができる。

【0100】

図９、及び図１４Ａ～図１４Ｈを参照すると、前記カッティング工程（Ｓ４００）は、前記セル１を２個の単位セル１０に分離させる工程である。すなわち、前記カッティング工程（Ｓ４００）を行なうことによって前記セル１を構成する前記基板は、前記Ｎ－１個のセル分離部３０のうちのいずれかのセル分離部３０に沿って２つの部分に分離することができる。前記カッティング工程（Ｓ４００）を行なうことによって前記セル分離部３０を基準に、前記セル１は、２個の単位セル１０に分離することができる。前記カッティング工程（Ｓ４００）は、前記セル１を２個の単位セル１０に分離させる切断ロボット（未図示）によって行なわれ得る。前記セル１上にＮ－１個のセル分離部３０が形成された場合、前記カッティング工程（Ｓ４００）は、Ｎ－１回行なわれ得る。

【0101】

図９、及び図１４Ａ～図１４Ｈを参照すると、前記カッティング工程（Ｓ４００）を行なうことで分離された２個の単位セル１０の間には、カッティング距離（ＣＬ）が形成され得る。すなわち、前記カッティング工程（Ｓ４００）を行なうことによって分離された２つの部分はカッティング距離（ＣＬ）で互いに離隔され得る。この場合、前記接合工程（Ｓ５００）は、分離された単位セル１０を移動させる工程を含むことができる。

【0102】

前記カッティング工程（Ｓ４００）が繰り返し行なわれることによって形成されるカッティング距離（ＣＬ）は、徐々に減少することができる。例えば、図１４Ａに示すように、１回のカッティング工程（Ｓ４００）を行なうことで形成されるカッティング距離（ＣＬ）は、図１４Ｃに示すように、２回のカッティング工程（Ｓ４００）を行なうことで形成されるカッティング距離（ＣＬ）に比べて、より大きいことがあり得る。このように、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記カッティング工程（Ｓ４００）が繰り返して行われることによって形成されるカッティング距離（ＣＬ）が徐々に減少するように具現されることで、前記接合工程（Ｓ５００）において、前記単位セル１０を接合するための移動距離を減少させることができる。これにより、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、接合工程（Ｓ５００）に要する時間を減少させることができる。前記カッティング工程（Ｓ４００）が繰り返して行われることによって形成されるカッティング距離（ＣＬ）は、同一でもあり得る。

【0103】

図９、及び図１４Ａ～図１４Ｈを参照すると、前記接合工程（Ｓ５００）は、分離された単位セル１０を接合させる工程である。すなわち、前記接合工程（Ｓ５００）は、分離された２つの部分を相互に接合させる工程であり得る。前記接合工程（Ｓ５００）は、分離された２個の単位セル１０を接合させるために、１回の前記カッティング工程（Ｓ４００）の直後連続して行なうとともに、前記接合工程（Ｓ５００）と前記カッティング工程（Ｓ４００）は、Ｎ－１回繰り返して行なうことができる。これにより、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記カッティング工程（Ｓ４００）において、前記セル１を複数の単位セル１０にすべて分離させた後、前記接合工程（Ｓ５００）が行われるように具現された従来技術と比べて見ると、前記接合工程（Ｓ５００）に要する時間を減少させることができる。

【0104】

前記接合工程（Ｓ５００）は、前記導電性物質２０を介して分離された２個の単位セル１０を接合することにより、なすことができる。前記接合工程（Ｓ５００）は、前記カッティング工程（Ｓ４００）と同じ回数で行なうことができる。例えば、図１４ａ～図１４ｆに示すように、前記カッティング工程（Ｓ４００）が３回行なわれた場合、前記接合工程（Ｓ５００）もまた、３回行なわれ得る。

【0105】

前記接合工程（Ｓ５００）は、分離された２個の単位セル１０のうちのいずれかの単位セル１０を移動させる工程を含むことができる。すなわち、前記接合工程（Ｓ５００）は、分離された２個の部分の中のいずれか一方の部分を移動させて他の部分の一部分と重なるようにする工程を含むことができる。ここで、２つの部分が重なる部分は、前記セル１上に噴射された前記導電性物質２０の長さである塗布距離（ＳＬ、図１４ａに示す）であり得る。前記接合工程（Ｓ５００）は、前記の単位セル１０を移動させる移送ロボット（未図示）によって行なわれ得る。

【0106】

前記接合工程（Ｓ５００）は、分離された２個の単位セル１０のうちのいずれか一つの単位セル１０だけを移動させる工程を含むことができる。これにより、前記接合工程（Ｓ５００）において、前記単位セル１０の両方を移動させる比較例と対比してみると、前記の単位セル１０を移動させる操作に対する容易性を向上させることができる。

【0107】

図１０および図１４Ａ～図１４Ｈを参照すると、前記接合工程（Ｓ５００）は、移動セル１０ｂを固定セル１０ａに移動させる移動工程（Ｓ５１０）を含むことができる。前記移動工程（Ｓ５１０）を行なうことによって前記移動セル１０ｂは、前記固定セル１０ａに移動することができる。前記固定セル１０ａは、前記分離された単位セル１０のうち、前記接合工程（Ｓ５００）の際に移動しない固定された単位セル１０であり得る。前記移動セル１０ｂは、分離された単位セル１０のうち、前記接合工程（Ｓ５００）の際に移動する単位セル１０であり得る。前記移動工程（Ｓ５１０）は、前記移送ロボットによって行なわれ得る。

【0108】

前記移動工程（Ｓ５１０）は、第１移動工程（Ｓ５１１）、及び第２移動工程（Ｓ５１２）を含むことができる。

【0109】

前記第１移動工程（Ｓ５１１）は、前記移動セル１０ｂを第１軸方向に沿って移動させる工程であり得る。前記第１軸方向は、レーザーが照射される方向に対して平行な方向であり得る。前記第１移動工程（Ｓ５１１）を行なうことによって前記移動セル１０ｂは、前記固定セル１０ａに対して上側方向側に配置され得る。

【0110】

前記第２移動工程（Ｓ５１２）は、前記移動セル１０ｂを第２軸方向に沿って移動させる工程であり得る。前記第２軸方向は、前記第１軸方向に対して垂直な方向であり得る。前記第２移動工程（Ｓ５１２）を行なうことによって前記移動セル１０ｂは、前記カッティング距離（ＣＬ）と塗布距離（ＳＬ、図１４Ａに示す）だけ移動することができる。前記塗布距離（ＳＬ）は、前記第２軸方向を基準にして前記セル１上に噴射された導電性物質２０の長さであり得る。前記第２移動工程（Ｓ５１２）は、前記第１移動工程（Ｓ５１１）が行なわれた後、順次行なわれ得る。

【0111】

前記第２移動工程（Ｓ５１２）と前記第１移動工程（Ｓ５１１）は、並行して行なわれ得る。これにより、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記移動セル１０ｂを移動させるのにかかる時間を減少させることができる。

【0112】

前記第２移動工程（Ｓ５１２）は、前記第１移動工程（Ｓ５１１）に比べて先に行なわれるように具現することもできる。この場合、前記第２移動工程（Ｓ５１２）は、前記移動セル１０ｂが、前記カッティング距離（ＣＬ）を超えて移動しないように行なうことができる。これにより、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記接合工程（Ｓ５００）が行なわれる過程で、前記移動セル１０ｂが前記固定セル１０ａに衝突することによって発生する前記移動セル１０ｂと前記固定セル１０ａの損傷の可能性を防止することができる。また、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記移動セル１０ｂが、前記カッティング距離（ＣＬ）だけ移動することにより、接合工程（Ｓ５００）の効率を向上させることができる。

【0113】

図９、及び図１４Ａ～図１４Ｈを参照すると、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、判断工程（Ｓ７００）をさらに含むことができる。

【0114】

前記判断工程（Ｓ７００）は、前記カッティング工程（Ｓ４００）と前記接合工程（Ｓ５００）、それぞれが行なわれた回数がＮ－１回に達したか否かを判断するものである。前記判断工程（Ｓ７００）は、前記カッティング工程（Ｓ４００）と前記接合工程（Ｓ５００）それぞれが行なわれた回数をカウントする制御部（未図示）によって行なわれ得る。前記制御部は、前記繰り返し工程がＮ－１回未満であると判断した場合、前記制御部は、前記カッティング工程（Ｓ４００）と前記接合工程（Ｓ５００）が行なわれるように前記切断ロボット（未図示）と前記移送ロボット（未図示）に工程信号を提供することができる。前記制御部は、前記繰り返し工程がＮ－１回であると判断した場合、前記制御部は、前記カッティング工程（Ｓ４００）と前記接合工程（Ｓ５００）をこれ以上行なわれないように、前記カットロボットと前記搬送ロボットに前記工程信号を提供しないことができる。

【0115】

図９及び図１４Ｈを参照すると、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、キュアリング工程（Ｓ６００）を含むことができる。

【0116】

前記キュアリング工程（Ｓ６００）は、接合した単位セル１０を硬化する工程である。前記キュアリング工程（Ｓ６００）は、前記判断工程（Ｓ７００）の後に行なわれ得る。すなわち、前記キュアリング工程（Ｓ６００）は、Ｎ－１回の前記カッティング工程（Ｓ４００）とＮ－１回の前記接合工程（Ｓ５００）が完了した後に行なわれ得る。前記キュアリング工程（Ｓ６００）は、接合した単位セル１０を加熱する加熱装置（未図示）などにより行なうことができる。前記キュアリング工程（Ｓ６００）を行なうことでＮ個の単位セル１０が互いに連結したモジュール（Ｍｏｄｕｌｅ）形態の太陽電池１００が製造され得る。図１４Ｈでは、前記太陽電池１００が５個の単位セル１０からなることが示されているが、これは例示的なものであり、前記太陽電池１００は、１個以上４個以下の単位セル１０、または６個以上の単位セル１０で構成することもできる。

【0117】

図１５Ａ～図１５Ｅを参照すると、本発明の一実施例に係る太陽電池の製造方法は、モジュール工程を含むことができる。

【0118】

前記モジュール工程は、前記支持工程（Ｓ１００）、前記スクライビング工程（Ｓ３００）、前記塗布工程（Ｓ２００）、Ｎ－１回の前記カッティング工程（Ｓ４００）、およびＮ－１回の前記接合工程（Ｓ５００）が行なわれたセル（以下、「ベースモジュール」という）に追加的にＭ（Ｍは２以上の整数）個の単位モジュールのセル１１（図１５ａに示す）からなる連結モジュールを結合させる工程である。例えば、前記モジュール工程は、図１５ｄに示すように、５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’が互いに連結した前記ベースモジュールに追加的に、５個の単位モジュールセル１１、１１’、１１’’、１１’’’、１１’’’’が互いに連結した連結モジュールを結合させるための工程であり得る。モジュール工程は、前記処理空間で行なわれ得る。

【0119】

図１５Ａを参照すると、前記モジュール工程は、連結工程を含むことができる。

【0120】

前記連結工程は、前記ベースモジュールに複数の薄膜層が形成された連結セル１１Ａを連結させる工程であり得る。前記連結工程は、前記ベースモジュールに前記導電性物質２０を噴射した後、前記連結セル１１Ａを接合することにより、なすことができる。前記連結セル１１Ａは、前記セル製造工程で製造することができる。したがって、前記連結セル１１Ａは、前記セル１と大略同じに具現され得る。前記連結工程は、前記カッティング工程（Ｓ４００）と前記接合工程（Ｓ５００）がそれぞれＮ－１回行なわれた後に行なわれ得る。前記連結工程は、前記移送ロボットによって行なわれ得る。

【0121】

前記モジュール工程は、モジュールスクライビング工程とモジュール塗布工程を含むことができる。

【0122】

前記モジュールスクライビング工程は、前記連結セル１１ＡをＭ（Ｍは２以上の整数）個の単位モジュールのセル１１に分離させるためのＭ－１個のセル分離部を形成する工程である。ここで、前記単位モジュールのセル１１は、大略単位セル１０と同様に具現され得る。前記モジュールスクライビング工程は、前記スクライビング工程（Ｓ３００）と大略同じに具現され得る。

【0123】

前記モジュール塗布工程は、前記連結セル１１Ａ上に前記導電性物質２０を噴射する工程である。前記モジュール塗布工程は、前記モジュールスクライビング工程の後に行なわれ得る。前記モジュール塗布工程は、前記塗布工程（Ｓ２００）と大略同じに具現され得る。

【0124】

前記モジュール塗布工程と前記モジュールスクライビング工程は、前記連結工程の前に行なわれ得る。この場合、前記連結セル１１Ａには、前記連結工程が行なわれる前に、前記セル分離部３０が形成されるとともに、前記導電性物質２０が噴射され得る。前記モジュール塗布工程と前記モジュールスクライビング工程は、前記連結工程の後に行なうこともできる。

【0125】

図１５Ｂを参照すると、前記モジュール工程は、モジュールカッティング工程を含むことができる。

【0126】

前記モジュールカッティング工程は、前記連結セル１１Ａを２個の単位モジュールのセル１１に分離させる工程である。前記モジュールカッティング工程は、前記連結工程の後に行なわれ得る。前記モジュールカッティング工程を行なうことで分離された２個の単位モジュールのセル１１の間には、カッティング距離（ＣＬ）が形成され得る。前記連結セル１１Ａ上にＭ－１個のセル分離部が形成された場合、前記モジュールカッティング工程は、Ｍ－１回行なわれ得る。前記モジュールカッティング工程は、前記カッティング工程（Ｓ４００）と大略同じに具現され得る。

【0127】

図１５Ｃを参照すると、前記モジュール工程は、モジュール接合工程を含むことができる。

【0128】

前記モジュール接合工程は、分離された２個の単位モジュールのセル１１を接合させる工程である。前記モジュール接合工程は、分離された２個の単位モジュールのセル１１を接合させるために、前記のモジュールカッティング工程直後に連続して行なうことができる。前記モジュール接合工程は、前記モジュールカッティング工程と同じ回数で行なうことができる。前記モジュール接合工程は、前記接合工程（Ｓ５００）と大略同じに具現され得る。

【0129】

図１５Ｄを参照すると、前記モジュール接合工程は、１回の前記モジュールカッティング工程直後に連続して行なうとともに、前記モジュール接合工程と前記モジュールカッティング工程は、それぞれＭ－１回繰り返して行なうことができる。これにより、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記モジュールカッティング工程において、前記連結セル１１Ａを複数の単位モジュールのセル１１にすべて分離した後、前記モジュール接合工程が行なわれるよう具現された比較例と対比してみると、前記モジュール接合工程にかかる時間を減少させることができる。

【0130】

図１５Ｄを参照すると、本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記のモジュール工程を含む場合、前記キュアリング工程（Ｓ６００）は、前記モジュール工程が完了した後に行なわれ得る。この場合、前記キュアリング工程（Ｓ６００）は、前記ベースモジュールと前記連結モジュールを硬化させることができる。前記キュアリング工程（Ｓ６００）を行なうことで、Ｎ個の単位セル１０とＭ個の単位モジュールのセル１１が互いに連結したモジュール形態の太陽電池１００が製造され得る。図１５Ｄは、５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’と５個の単位モジュールのセル１１、１１’、１１’’、１１’’’、１１’’’’で構成された太陽電池１００を示したものである。

【0131】

本発明の第３実施例に係る太陽電池の製造方法は、前記モジュール工程が繰り返して行なわれるよう具現され得る。例えば、図１５Ｅに示したように前記ベースモジュールに９個の前記連結モジュールが順次に結合され得る。前記連結モジュールの各々が５個の単位モジュールのセルが連結した場合、前記太陽電池１００は、５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’と４５個の単位モジュールのセル１１、１１’、１１’’、１１’’’、１１’’’’、．．． １１’’’’で構成され得る。この場合、前記キュアリング工程（Ｓ６００）は、前記のモジュール工程が完了した後に行なわれ得る。

【0132】

以上で説明した本発明は、前述した実施例及び添付した図に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、複数の置換、変形及び変更が可能であることが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者にとって明らかであろう。

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図1D】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8A】

【図8B】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13A】

【図13B】

【図13C】

【図13D】

【図13E】

【図14A】

【図14B】

【図14C】

【図14D】

【図14E】

【図14F】

【図14G】

【図14H】

【図15A】

【図15B】

【図15C】

【図15D】

【図15E】