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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-08-21
(45)【発行日】2024-08-29
(54)【発明の名称】部品移載装置
(51)【国際特許分類】
H05K 13/08 20060101AFI20240822BHJP
H05K 13/04 20060101ALI20240822BHJP
H01L 21/52 20060101ALI20240822BHJP
【ＦＩ】
H05K13/08 Q
H05K13/04 B
H01L21/52 F
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2023522030
(86)(22)【出願日】2021-05-18
(86)【国際出願番号】 JP2021018715
(87)【国際公開番号】W WO2022244086
(87)【国際公開日】2022-11-24
【審査請求日】2023-09-20
(73)【特許権者】
【識別番号】000010076
【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100115381
【弁理士】
【氏名又は名称】小谷 昌崇
(74)【代理人】
【識別番号】100127797
【弁理士】
【氏名又は名称】平田 晴洋
(72)【発明者】
【氏名】高橋 知也
【審査官】丹治 和幸
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２００９／００１６２７（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０５Ｋ １３／０８
Ｈ０５Ｋ １３／０４
Ｈ０１Ｌ ２１／５２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数個の部品が配置された部品配置エリアを有する部品供給部と、前記部品配置エリアの上方空間における所定のヘッド移動エリア内をヘッド移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、ヘッドカメラが搭載され、前記部品配置エリアにおいて前記部品をピッキングするヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットの前記ヘッド移動軸に沿った移動量を検出するヘッド移動量検出部と、
前記部品配置エリアの上方空間における所定のカメラ移動エリア内をカメラ移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記部品配置エリアにおいて前記部品を撮像する部品カメラを有するカメラユニットと、
前記カメラユニットの前記カメラ移動軸に沿った移動量を検出するカメラ移動量検出部と、
前記ヘッド移動エリアと前記カメラ移動エリアとが重なり合う共通エリアの下方における所定位置に配置され、前記ヘッドカメラ及び前記部品カメラの各々が認識可能なマークが付されたマーク部と、
前記ヘッドユニットの移動、及び前記カメラユニットの移動を制御する移動制御部と、
前記移動制御部による制御を補正するためのデータを作成する補正データ作成部と、を備え、
前記移動制御部は、前記補正データ作成部がデータを作成する場合に、前記マーク部の上方の位置に前記ヘッドカメラが配置されるように前記ヘッドユニットの移動を制御すると共に、前記マーク部の上方の位置に前記部品カメラが配置されるように前記カメラユニットの移動を制御し、
前記補正データ作成部は、
前記ヘッドユニットの移動によって前記マーク部の上方の位置に配置された前記ヘッドカメラによる前記マークの撮像で得られた第１マーク画像データに基づき前記マークの位置の認識結果を示す第１マーク位置認識データを生成すると共に、前記カメラユニットの移動によって前記マーク部の上方の位置に配置された前記部品カメラによる前記マークの撮像で得られた第２マーク画像データに基づき前記マークの位置の認識結果を示す第２マーク位置認識データを生成するマーク位置認識処理と、
前記ヘッドカメラによる前記マークの撮像に対応した前記ヘッドユニットの移動時に前記ヘッド移動量検出部により取得されたヘッド移動量データに基づく前記ヘッドユニットの移動位置を示すヘッド位置データと、前記第１マーク位置認識データとが一致するように、前記ヘッド移動軸の歪みを補正するためのヘッド軸補正データを作成するヘッド軸補正処理と、
前記部品カメラによる前記マークの撮像に対応した前記カメラユニットの移動時に前記カメラ移動量検出部により取得されたカメラ移動量データに基づく前記カメラユニットの移動位置を示すカメラ位置データと、前記第２マーク位置認識データとが一致するように、前記カメラ移動軸の歪みを補正するためのカメラ軸補正データを作成するカメラ軸補正処理と、
前記ヘッド軸補正処理及び前記カメラ軸補正処理の後に、前記第１マーク位置認識データと前記第２マーク位置認識データとが一致するように、前記ヘッド移動軸と前記カメラ移動軸との間の平行ずれを補正するための平行ずれ補正データを作成する平行ずれ補正処理と、を行う、部品移載装置。
【請求項2】
前記補正データ作成部は、前記ヘッド軸補正処理及び前記カメラ軸補正処理と、前記平行ずれ補正処理とのそれぞれに対応して前記マーク位置認識処理を行い、前記移動制御部は、前記補正データ作成部が前記平行ずれ補正処理に対応して前記マーク位置認識処理を行う場合には、
前記マーク部の上方の位置に前記ヘッドカメラが配置されるように、前記ヘッドユニットの移動量を前記ヘッド軸補正データに基づき補正した状態で前記ヘッドユニットの移動を制御し、
前記マーク部の上方の位置に前記部品カメラが配置されるように、前記カメラユニットの移動量を前記カメラ軸補正データに基づき補正した状態で前記カメラユニットの移動を制御する、請求項１に記載の部品移載装置。
【請求項3】
前記部品配置エリアの下方において突き上げ移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記ヘッドユニットによるピッキング対象の前記部品を下方から突き上げる突き上げピンを有する突き上げユニットと、前記突き上げユニットの前記突き上げ移動軸に沿った移動量を検出する突き上げ移動量検出部と、を更に備え、
前記移動制御部は、前記ヘッドユニット及び前記カメラユニットに加えて前記突き上げユニットの移動を制御するように構成され、
前記補正データ作成部は、
前記移動制御部の制御によって前記カメラユニットの移動に連動して前記突き上げユニットが移動している状態において、前記部品カメラによる前記突き上げピンの撮像で得られたピン画像データに基づいて、前記突き上げユニットの移動時における前記突き上げピンの位置の認識結果を示すピン位置認識データを生成するピン位置認識処理を行い、
前記カメラユニットの移動に連動した前記突き上げユニットの移動時に前記突き上げ移動量検出部により取得された突き上げ移動量データに基づく前記突き上げユニットの移動位置を示す突き上げ位置データと、前記ピン位置認識データとが一致するように、前記突き上げ移動軸の歪みを補正するための突き上げ軸補正データを作成する突き上げ軸補正処理を行う、請求項１に記載の部品移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、部品配置エリアから部品をピッキングするヘッドユニットと、前記部品配置エリアにおいて部品を撮像するカメラユニットとを備えた部品移載装置に関する。
【背景技術】
【0002】
ダイシングされたウェハからダイ（部品）をピックアップして基板に実装する部品実装装置が知られている。この部品実装装置では、ウェハ供給機によって機内の所定位置（部品配置エリア）に搬入されたウェハにおける部品を、カメラユニットが撮像して部品認識を行い、次いで部品の吸着保持機能を備えたヘッドユニットで部品をピッキングするという動作が繰り返される。つまり、カメラユニットがカメラ移動軸に沿って水平方向に移動して部品を撮像することによりヘッドユニットによる吸着保持対象の部品の位置が認識され、その認識された位置に向けてヘッドユニットがヘッド移動軸に沿って水平方向に移動して部品のピッキングを行う。従って、ヘッドユニットによる部品の吸着ミス等の不具合の発生を抑制するためには、カメラユニットの撮像による部品認識時におけるカメラユニットの移動位置と、ヘッドユニットの移動位置とが一致している必要がある。
【0003】
特許文献１には、ヘッドユニット及びカメラユニットの移動の制御を補正するためのデータを作成する技術が開示されている。この技術では、ヘッドユニット及びカメラユニットの座標系の相関関係を示す相関データを作成する。そして、カメラユニットにより認識された部品の位置にヘッドユニットを移動させるときの移動量を、相関データに基づいて補正する。これにより、カメラユニットにより認識された部品の位置にヘッドユニットを的確に移動させることができる。
【0004】
しかし、ヘッド移動軸とカメラ移動軸との間に平行ずれが生じる場合がある。この場合、特許文献１の技術では、カメラユニットの部品認識時の移動位置とヘッドユニットの移動位置との間に位置ずれが生じる虞がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２００９－１０１６７号公報
【発明の概要】
【0006】
本発明の目的は、部品配置エリアから部品をピッキングするヘッドユニットと、前記部品配置エリアにおいて部品を撮像するカメラユニットとを備えた部品移載装置において、ヘッドユニット及びカメラユニットの移動位置の位置ずれを抑制することである。
【0007】
本発明の一の局面に係る部品移載装置は、複数個の部品が配置された部品配置エリアを有する部品供給部と、前記部品配置エリアの上方空間における所定のヘッド移動エリア内をヘッド移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、ヘッドカメラが搭載され、前記部品配置エリアにおいて前記部品をピッキングするヘッドユニットと、前記部品配置エリアの上方空間における所定のカメラ移動エリア内をカメラ移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記部品配置エリアにおいて前記部品を撮像する部品カメラを有するカメラユニットと、前記ヘッド移動エリアと前記カメラ移動エリアとが重なり合う共通エリアの下方における所定位置に配置され、前記ヘッドカメラ及び前記部品カメラの各々が認識可能なマークが付されたマーク部と、前記ヘッドユニットの移動、及び前記カメラユニットの移動を制御する移動制御部と、前記移動制御部による制御を補正するためのデータを作成する補正データ作成部と、を備える。前記補正データ作成部は、前記ヘッドカメラによる前記マークの撮像で得られた第１マーク画像データに基づき前記マークの位置の認識結果を示す第１マーク位置認識データを生成すると共に、前記部品カメラによる前記マークの撮像で得られた第２マーク画像データに基づき前記マークの位置の認識結果を示す第２マーク位置認識データを生成するマーク位置認識処理を行う。また、前記補正データ作成部は、前記第１マーク位置認識データと前記第２マーク位置認識データとに基づいて、前記ヘッド移動軸と前記カメラ移動軸との間の平行ずれを補正するための平行ずれ補正データを作成する平行ずれ補正処理を行う。
【0008】
本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の実施形態に係る部品実装装置の全体構成を示す、上面視の平面図である。
【図2】ヘッドユニット及び突き上げユニットを示す概略斜視図である。
【図3】ヘッドユニット及びカメラユニットの移動エリアを示す図である。
【図4】部品実装装置の制御構成を示すブロック図である。
【図5】制御部が部品吸着搭載制御を実行したときのヘッドユニット、カメラユニット及び突き上げユニットの動作を示す図である。
【図6】制御部が第１補正データ生成制御を実行したときのヘッドユニット及びカメラユニットの動作を示す図である。
【図7】制御部が第１補正データ生成制御を実行したときの補正データ作成部におけるマーク位置認識処理、位置演算処理を説明するための図である。
【図8】制御部が第１補正データ生成制御を実行したときの補正データ作成部における平行ずれ補正処理を説明するための図である。
【図9】制御部が第１補正データ生成制御を実行したときの補正データ作成部におけるヘッド軸補正処理、カメラ軸補正処理を説明するための図である。
【図10】制御部が第２補正データ生成制御を実行したときのカメラユニット及び突き上げユニットの動作を示す図である。
【図11】制御部が第２補正データ生成制御を実行したときの補正データ作成部におけるピン位置認識処理、突き上げ位置演算処理、突き上げ軸補正処理を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下では、方向関係についてはＸＹＺ直交座標軸を用いて説明する。Ｘ方向及びＹ方向は水平面上において互いに直交し、Ｚ方向がＸ方向及びＹ方向の両方向と直交する鉛直方向に延びる方向である。また、Ｘ方向の一方側を「＋Ｘ側」と称し、Ｘ方向の一方側とは反対の他方側を「－Ｘ側」と称する。同様に、Ｙ方向の一方側を「＋Ｙ側」と称し、Ｙ方向の一方側とは反対の他方側を「－Ｙ側」と称する。
【0011】
本発明に係る部品移載装置は、例えばウェハからダイシングされたダイをテープに収容するテーピング装置、前記ダイを基板にワイヤボンディングするダイボンダ、或いは前記ダイを基板に実装する部品実装装置などの各種装置に適用することができる。ここでは、本発明の部品移載装置が、部品実装装置に適用される例について説明する。
【0012】
［部品実装装置の全体構成］
図１に示されるように、本実施形態に係る部品実装装置１は、ウェハ７からダイシングされたダイ７ａ（部品）を基板Ｐ（所定の部品移載部）に搭載（実装）する装置である。図１及び図２に示されるように、部品実装装置１は、基台２、コンベア３、ヘッドユニット４、部品供給部５、ウェハ供給装置６、カメラユニット３２Ｕ及び突き上げユニット４０を含む。
図１に示されるように、本実施形態に係る部品実装装置１は、ウェハ７からダイシングされたダイ７ａ（部品）を基板Ｐ（所定の部品移載部）に搭載（実装）する装置である。図１及び図２に示されるように、部品実装装置１は、基台２、コンベア３、ヘッドユニット４、部品供給部５、ウェハ供給装置６、カメラユニット３２Ｕ及び突き上げユニット４０を含む。
【0013】
基台２は、部品実装装置１が備える各種の機器の搭載ベースである。コンベア３は、基台２上にＸ方向に延びるように設置された、基板Ｐの搬送ラインである。コンベア３は、機外から所定の搭載作業位置に基板Ｐを搬入し、搭載作業後に基板Ｐを前記搭載作業位置から機外へ搬出する。コンベア３は、基板Ｐを前記搭載作業位置で保持する図略のクランプ機構を有する。なお、図１中に基板Ｐが示されている位置が、前記搭載作業位置である。
【0014】
部品供給部５は、複数個のダイ７ａを、ウェハ７からダイシングされた配置状態で供給する。部品供給部５は、複数個のダイ７ａに分割されたウェハ７をパレット８に保持された状態で、ウェハステージ１０（部品配置エリア）に供給するウェハ供給装置６を備える。ウェハ７は、円盤形状の半導体ウェハであって、回路パターン等が既に形成されている。パレット８は、ウェハシート８ａを保持している。ウェハシート８ａには、ウェハ７を碁盤目状にダイシングされて形成された多数のダイ７ａ，７ａ…の集合体が貼着されている。つまり、ウェハ供給装置６は、複数個のダイ７ａがウェハシート８ａに貼着された状態のウェハ７をパレット８に保持された状態でウェハステージ１０に供給する。なお、部品供給部５は、ウェハ供給装置６に加えて、電子部品を収容した部品収容テープの形態で部品供給するテープフィーダを備えていても良い。
【0015】
ウェハ供給装置６は、ウェハ収納エレベータ９、ウェハステージ１０及びウェハコンベア１１を含む。ウェハ収納エレベータ９は、複数個のダイ７ａがウェハシート８ａに貼着された状態のウェハ７をパレット８に保持された状態で、上下多段に収納している。ウェハステージ１０は、ウェハ収納エレベータ９の－Ｙ側の位置において、基台２上に設置されている。基板Ｐの停止位置となる前記搭載作業位置に対して、ウェハステージ１０は＋Ｙ側に並ぶ位置に配置されている。本実施形態では、ダイシングされたウェハ７が基台２上で配置されるエリアとなるウェハステージ１０が、部品配置エリアとなる。ウェハコンベア１１は、ウェハ収納エレベータ９からウェハステージ１０上にパレット８を引き出す。
【0016】
ヘッドユニット４は、ウェハステージ１０においてダイ７ａをウェハ７から取出してピッキングし、上記搭載作業位置へ移動すると共に、基板Ｐにダイ７ａを搭載する。ヘッドユニット４は、前記ピッキングの際にダイ７ａを吸着して保持し、基板Ｐへの搭載の際に保持しているダイ７ａをリリースする複数のヘッド４Ｈを備える。ヘッド４Ｈは、ヘッドユニット４に対するＺ方向への進退（昇降）移動と、軸回りの回転移動とが可能である。ヘッドユニット４には、基板Ｐを撮像するヘッドカメラ３１が搭載されている。ヘッドカメラ３１の撮影画像より、基板Ｐに付されたフェデューシャルマークが認識される。これにより基板Ｐの位置ずれが認識され、基板Ｐに対する部品の搭載時に前記位置ずれの補正が為される。
【0017】
基台２には、部品認識カメラ３０が据え付けられている。部品認識カメラ３０は、ヘッドユニット４のヘッド４Ｈに吸着されているダイ７ａを、基板Ｐへの搭載の前に下側から撮像する。この撮像画像に基づいて、ヘッド４Ｈによるダイ７ａの吸着異常や吸着ミス等が判定される。
【0018】
部品実装装置１は、ヘッドユニット４を、少なくともウェハステージ１０と前記搭載作業位置で保持された基板Ｐとの間の上方空間を、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動可能とする第１駆動機構Ｄ１を備える。第１駆動機構Ｄ１は、ヘッドユニット４のＹ方向の移動機構として、それぞれ＋Ｘ側及び－Ｘ側で一対のＹ軸固定レール１３、ヘッドＹ軸サーボモータ１４及びヘッドＹ移動軸１５を備える。一対のＹ軸固定レール１３は、基台２上に固定され、Ｘ方向に所定間隔を隔てて互いに平行にＹ方向に延びている。ヘッドＹ移動軸１５は、Ｙ軸固定レール１３に近接する位置においてＹ方向に延びるように配設されているボールねじ軸である。ヘッドＹ軸サーボモータ１４は、ヘッドＹ移動軸１５を回転駆動する。一対のＹ軸固定レール１３間には、ヘッドユニット４を支持する支持フレーム１６が架設されている。支持フレーム１６の＋Ｘ側端部及び－Ｘ側端部には、各ヘッドＹ移動軸１５に螺合されるナット１７が組付けられている。
【0019】
第１駆動機構Ｄ１は、ヘッドユニット４のＸ方向の移動機構として、支持フレーム１６に搭載された図略のガイド部材、ヘッドＸ軸サーボモータ１８及びヘッドＸ移動軸１９を備える。前記ガイド部材は、ヘッドユニット４のＸ方向の移動をガイドする部材であり、支持フレーム１６の＋Ｙ側の面においてＸ方向に延びるように固定されている。ヘッドＸ移動軸１９は、前記ガイド部材に近接して、Ｘ方向に延びるように配設されているボールねじ軸である。ヘッドＸ軸サーボモータ１８は、ヘッドＸ移動軸１９を回転駆動する。ヘッドユニット４には図略のナットが付設され、当該ナットはヘッドＸ移動軸１９に螺合されている。
【0020】
以上の構成を備える第１駆動機構Ｄ１によれば、ヘッドＹ軸サーボモータ１４が作動してヘッドＹ移動軸１５が回転駆動されることにより、ヘッドユニット４が支持フレーム１６と一体にＹ方向に移動する。また、ヘッドＸ軸サーボモータ１８が作動してヘッドＸ移動軸１９が回転駆動されることにより、ヘッドユニット４が支持フレーム１６に対してＸ方向に移動する。
【0021】
図３に示されるように、ヘッドユニット４は、部品供給部５のウェハステージ１０の上方空間における所定のヘッド移動エリアＡ１内を、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９に沿って水平方向に移動可能である。なお、ヘッド移動エリアＡ１は、Ｙ方向に延びるヘッドＹ移動軸１５と、Ｘ方向に延びるヘッドＸ移動軸１９との架設範囲に対応したエリアである。ヘッド移動エリアＡ１は、Ｙ方向において、ウェハステージ１０の上方空間から、コンベア３上を通って部品認識カメラ３０の上方空間に至るサイズを有している。ヘッド移動エリアＡ１を区画するヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９は、ヘッドユニット４が移動するときのＸＹ座標系を規定する。つまり、ヘッドユニット４の移動位置は、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９によって規定されるＸＹ座標系のＸＹ座標で表すことができる。
【0022】
なお、ヘッドＹ軸サーボモータ１４には、エンコーダ等から構成されるヘッドＹ移動量検出部１４Ａ（図４）が設けられている。ヘッドＹ移動量検出部１４Ａは、ヘッドＹ軸サーボモータ１４の駆動量を検知することにより、ヘッドユニット４のヘッドＹ移動軸１５に沿ったＹ方向への移動量を検出する。同様に、ヘッドＸ軸サーボモータ１８には、エンコーダ等から構成されるヘッドＸ移動量検出部１８Ａ（図４）が設けられている。ヘッドＸ移動量検出部１８Ａは、ヘッドＸ軸サーボモータ１８の駆動量を検知することにより、ヘッドユニット４のヘッドＸ移動軸１９に沿ったＸ方向への移動量を検出する。ヘッドＹ移動量検出部１４Ａ及びヘッドＸ移動量検出部１８Ａによるヘッドユニット４の移動量の検出結果に基づいて、ヘッドユニット４の理論上の移動位置（ＸＹ座標系のＸＹ座標）を求めることができる。
【0023】
カメラユニット３２Ｕは、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能なユニットであって、ウェハカメラ３２（部品カメラ）を備えている。ウェハカメラ３２は、ウェハステージ１０上に位置決めされたウェハ７の一部分、つまりカメラ視野内のダイ７ａを撮像する。この撮像画像に基づいて、ピックアップ対象のダイ７ａの位置認識が為される。部品実装装置１は、カメラユニット３２Ｕを、少なくともウェハステージ１０と所定の待機位置との間の上方空間を、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動可能とする第２駆動機構Ｄ２を備える。この第２駆動機構Ｄ２は、ヘッドユニット４を駆動する第１駆動機構Ｄ１とは別個に独立した駆動系である。なお、本実施形態では、前記待機位置は、ウェハステージ１０から＋Ｙ側に離間した位置である。
【0024】
第２駆動機構Ｄ２は、カメラユニット３２ＵのＹ方向の移動機構として、＋Ｘ側及び－Ｘ側で一対のＹ軸固定レール３３と、＋Ｘ側に配置されたカメラＹ軸サーボモータ３４及びカメラＹ移動軸３５とを備える。一対のＹ軸固定レール３３は、基台２上に固定され、Ｘ方向に所定間隔を隔てて互いに平行にＹ方向に延びている。カメラＹ移動軸３５は、＋Ｘ側のＹ軸固定レール３３に近接する位置においてＹ方向に延びるように配設されているボールねじ軸である。カメラＹ軸サーボモータ３４は、カメラＹ移動軸３５を回転駆動する。一対のＹ軸固定レール３３間には、カメラユニット３２Ｕを支持する支持フレーム３６が架設されている。支持フレーム３６の＋Ｘ側端部には、カメラＹ移動軸３５に螺合されるナット３７が組付けられている。
【0025】
第２駆動機構Ｄ２は、カメラユニット３２ＵのＸ方向の移動機構として、支持フレーム３６に搭載された図略のガイド部材、カメラＸ軸サーボモータ３８及びカメラＸ移動軸３９を備える。前記ガイド部材は、カメラユニット３２ＵのＸ方向の移動をガイドする部材であり、支持フレーム３６の－Ｙ側面においてＸ方向に延びるように固定されている。カメラＸ移動軸３９は、前記ガイド部材に近接して、Ｘ方向に延びるように配設されているボールねじ軸である。カメラＸ軸サーボモータ３８は、カメラＸ移動軸３９を回転駆動する。カメラユニット３２Ｕには図略のナットが付設され、当該ナットはカメラＸ移動軸３９に螺合されている。
【0026】
以上の構成を備える第２駆動機構Ｄ２によれば、カメラＹ軸サーボモータ３４が作動してカメラＹ移動軸３５が回転駆動されることにより、カメラユニット３２Ｕが支持フレーム３６と一体にＹ方向に移動する。また、カメラＸ軸サーボモータ３８が作動してカメラＸ移動軸３９が回転駆動されることにより、カメラユニット３２Ｕが支持フレーム３６に対してＸ方向に移動する。
【0027】
図３に示されるように、カメラユニット３２Ｕは、部品供給部５のウェハステージ１０の上方空間における所定のカメラ移動エリアＡ２内を、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９に沿って水平方向に移動可能である。なお、カメラ移動エリアＡ２は、Ｙ方向に延びるカメラＹ移動軸３５と、Ｘ方向に延びるカメラＸ移動軸３９との架設範囲に対応したエリアである。カメラ移動エリアＡ２は、Ｙ方向において、ウェハステージ１０の上方空間から、＋Ｙ側のウェハ収納エレベータ９の手前の上方空間に至るサイズを有している。カメラ移動エリアＡ２を区画するカメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９は、カメラユニット３２Ｕが移動するときのＸＹ座標系を規定する。つまり、カメラユニット３２Ｕの移動位置は、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９によって規定されるＸＹ座標系のＸＹ座標で表すことができる。
【0028】
なお、カメラＹ軸サーボモータ３４には、エンコーダ等から構成されるカメラＹ移動量検出部３４Ａ（図４）が設けられている。カメラＹ移動量検出部３４Ａは、カメラＹ軸サーボモータ３４の駆動量を検知することにより、カメラユニット３２ＵのカメラＹ移動軸３５に沿ったＹ方向への移動量を検出する。同様に、カメラＸ軸サーボモータ３８には、エンコーダ等から構成されるカメラＸ移動量検出部３８Ａ（図４）が設けられている。カメラＸ移動量検出部３８Ａは、カメラＸ軸サーボモータ３８の駆動量を検知することにより、カメラユニット３２ＵのカメラＸ移動軸３９に沿ったＸ方向への移動量を検出する。カメラＹ移動量検出部３４Ａ及びカメラＸ移動量検出部３８Ａによるカメラユニット３２Ｕの移動量の検出結果に基づいて、カメラユニット３２Ｕの理論上の移動位置（ＸＹ座標系のＸＹ座標）を求めることができる。
【0029】
突き上げユニット４０は、ウェハステージ１０の下方に配置され、ヘッドユニット４によるピッキング対象のダイ７ａを、ウェハシート８ａの下面側から突き上げる。突き上げユニット４０は、ウェハステージ１０に対応する程度の範囲にわたってＸＹ方向に移動可能に、基台２上に配置されている。突き上げユニット４０は、Ｙ方向に延びる一対のガイドレール４１に沿って移動可能な支持フレーム４２に、Ｘ方向に移動可能に支持されている。
【0030】
支持フレーム４２の内部に設けられた図略のナット部分に螺合するボールねじ軸からなる突き上げＹ移動軸４３が、突き上げＹ軸サーボモータ４４により回転駆動される。これにより、突き上げユニット４０が支持フレーム４２と一体にＹ方向に移動する。また、支持フレーム４２には、突き上げユニット４０の内部に設けられた図略のナット部分と螺合するボールねじ軸からなる突き上げＸ移動軸４５が配設されている。突き上げＸ移動軸４５が突き上げＸ軸サーボモータ４６により回転駆動されることで、突き上げユニット４０がＸ軸方向に移動する。突き上げユニット４０は、ダイ７ａを突き上げる突き上げピン４７を有する。ヘッド４Ｈによるダイ７ａの吸着時に、突き上げピン４７が上昇し、ウェハシート８ａを通してダイ７ａを突き上げる。突き上げピン４７は、ピン昇降モータ４８（図４）によって昇降駆動される。
【0031】
突き上げユニット４０は、ウェハステージ１０の下方において突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５に沿って水平方向に移動可能である。突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５は、突き上げユニット４０が移動するときのＸＹ座標系を規定する。つまり、突き上げユニット４０の移動位置は、突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５によって規定されるＸＹ座標系のＸＹ座標で表すことができる。
【0032】
なお、突き上げＹ軸サーボモータ４４には、エンコーダ等から構成される突き上げＹ移動量検出部４４Ａ（図４）が設けられている。突き上げＹ移動量検出部４４Ａは、突き上げＹ軸サーボモータ４４の駆動量を検知することにより、突き上げユニット４０の突き上げＹ移動軸４３に沿ったＹ方向への移動量を検出する。同様に、突き上げＸ軸サーボモータ４６には、エンコーダ等から構成される突き上げＸ移動量検出部４６Ａ（図４）が設けられている。突き上げＸ移動量検出部４６Ａは、突き上げＸ軸サーボモータ４６の駆動量を検知することにより、突き上げユニット４０の突き上げＸ移動軸４５に沿ったＸ方向への移動量を検出する。突き上げＹ移動量検出部４４Ａ及び突き上げＸ移動量検出部４６Ａによる突き上げユニット４０の移動量の検出結果に基づいて、突き上げユニット４０の理論上の移動位置（ＸＹ座標系のＸＹ座標）を求めることができる。
【0033】
また、図３に示さるように、本実施形態に係る部品実装装置１は、ウェハステージ１０の上方空間においてヘッド移動エリアＡ１とカメラ移動エリアＡ２とが重なり合う共通エリアＣＡの下方における所定位置に、複数のマーク部５０が配置されている。マーク部５０の配置個数は２以上の個数であれば特に限定されない。また、マーク部５０の配置箇所は、共通エリアＣＡの下方であれば特に限定されない。各マーク部５０には、ヘッドユニット４に搭載されたヘッドカメラ３１と、カメラユニット３２Ｕに搭載されたウェハカメラ３２とによって認識可能なマーク５０Ｍが付されている。
【0034】
［部品実装装置の制御構成］
次に、図４のブロック図を参照しながら部品実装装置１の制御構成について説明する。部品実装装置１は、当該部品実装装置１の各部の動作を統括的に制御する制御部２０を備える。制御部２０には、ヘッドユニット４、カメラユニット３２Ｕ及び突き上げユニット４０が備える各機器と、ウェハ供給装置６及び部品認識カメラ３０とが電気的に接続されている。制御部２０は、予め定められたプログラムが実行されることで、機能的にウェハ供給制御部２１、移動制御部２２、補正データ作成部２３及び記憶部２４を具備するように動作する。
次に、図４のブロック図を参照しながら部品実装装置１の制御構成について説明する。部品実装装置１は、当該部品実装装置１の各部の動作を統括的に制御する制御部２０を備える。制御部２０には、ヘッドユニット４、カメラユニット３２Ｕ及び突き上げユニット４０が備える各機器と、ウェハ供給装置６及び部品認識カメラ３０とが電気的に接続されている。制御部２０は、予め定められたプログラムが実行されることで、機能的にウェハ供給制御部２１、移動制御部２２、補正データ作成部２３及び記憶部２４を具備するように動作する。
【0035】
記憶部２４は、実装プログラムなどの各種プログラムや各種データを記憶する。本実施形態では、記憶部２４は、後述する補正データ作成部２３により作成される補正データなどを記憶する。
【0036】
ウェハ供給制御部２１は、複数個のダイ７ａに分割されたウェハ７がパレット８に保持された状態でウェハステージ１０に供給されるように、ウェハ供給装置６を制御する。
【0037】
移動制御部２２は、ヘッドユニット４に関し、ヘッドＹ軸サーボモータ１４及びヘッドＸ軸サーボモータ１８の駆動を制御することにより、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９に沿ったヘッドユニット４のＸＹ方向の移動を制御する。また、移動制御部２２は、Ｚ軸サーボモータ４０１の駆動を制御してヘッド４ＨのＺ方向の移動（昇降移動）を制御すると共に、Ｒ軸サーボモータ４０２の駆動を制御してヘッド４Ｈの自軸回りの回転移動を制御する。なお、移動制御部２２の制御によってヘッドＹ軸サーボモータ１４及びヘッドＸ軸サーボモータ１８が駆動した場合には、ヘッドＹ移動量検出部１４Ａ及びヘッドＸ移動量検出部１８Ａによるヘッドユニット４の移動量の検出が行われる。
【0038】
また、移動制御部２２は、カメラユニット３２Ｕに関し、カメラＹ軸サーボモータ３４及びカメラＸ軸サーボモータ３８の駆動を制御することにより、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９に沿ったカメラユニット３２ＵのＸＹ方向の移動を制御する。なお、移動制御部２２の制御によってカメラＹ軸サーボモータ３４及びカメラＸ軸サーボモータ３８が駆動した場合には、カメラＹ移動量検出部３４Ａ及びカメラＸ移動量検出部３８Ａによるカメラユニット３２Ｕの移動量の検出が行われる。
【0039】
また、移動制御部２２は、突き上げユニット４０に関し、突き上げＹ軸サーボモータ４４及び突き上げＸ軸サーボモータ４６の駆動を制御することにより、突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５に沿った突き上げユニット４０のＸＹ方向の移動を制御する。また、移動制御部２２は、ピン昇降モータ４８の駆動を制御することにより、突き上げピン４７の昇降移動を制御する。なお、移動制御部２２の制御によって突き上げＹ軸サーボモータ４４及び突き上げＸ軸サーボモータ４６が駆動した場合には、突き上げＹ移動量検出部４４Ａ及び突き上げＸ移動量検出部４６Ａによる突き上げユニット４０の移動量の検出が行われる。
【0040】
補正データ作成部２３は、移動制御部２２による制御を補正するためのデータを作成する。補正データ作成部２３は、機能構成として、ヘッド位置演算部２３１、カメラ位置演算部２３２、突き上げ位置演算部２３３、マーク位置認識処理部２３４、ピン位置認識処理部２３５、平行ずれ補正処理部２３６、ヘッド軸補正処理部２３７、カメラ軸補正処理部２３８、及び突き上げ軸補正処理部２３９を含む。補正データ作成部２３における各機能構成が行う処理の詳細については後述する。
【0041】
［制御部の制御動作］
本実施形態では、制御部２０は、部品吸着搭載制御、第１補正データ生成制御及び第２補正データ生成制御を実行する。部品吸着搭載制御は、ヘッドユニット４のヘッド４Ｈによりダイ７ａを吸着して基板Ｐに搭載する動作を行うための制御である。第１補正データ生成制御及び第２補正データ生成制御は、部品吸着搭載制御よりも前に実行される制御であり、補正データ作成部２３により移動制御部２２の制御を補正するためのデータが作成される。
本実施形態では、制御部２０は、部品吸着搭載制御、第１補正データ生成制御及び第２補正データ生成制御を実行する。部品吸着搭載制御は、ヘッドユニット４のヘッド４Ｈによりダイ７ａを吸着して基板Ｐに搭載する動作を行うための制御である。第１補正データ生成制御及び第２補正データ生成制御は、部品吸着搭載制御よりも前に実行される制御であり、補正データ作成部２３により移動制御部２２の制御を補正するためのデータが作成される。
【0042】
＜部品吸着搭載制御＞
制御部２０が部品吸着搭載制御を実行したときの部品実装装置１の動作について、図５を参照しながら説明する。
制御部２０が部品吸着搭載制御を実行したときの部品実装装置１の動作について、図５を参照しながら説明する。
【0043】
移動制御部２２は、ウェハ７上におけるヘッド４Ｈによる吸着対象のダイ７ａの位置にカメラユニット３２Ｕが配置されるように、カメラユニット３２ＵのＸＹ方向の移動を制御する。この際、カメラユニット３２Ｕに搭載されたウェハカメラ３２がダイ７ａを撮像する。移動制御部２２は、ウェハカメラ３２がダイ７ａを撮像することで取得された画像データに基づいて、ヘッド４Ｈによる吸着対象のダイ７ａの位置（吸着位置）を認識する。
【0044】
吸着位置の認識後において移動制御部２２は、当該吸着位置の下方に突き上げユニット４０が配置されるように、突き上げユニット４０のＸＹ方向の移動を制御する。突き上げユニット４０が吸着位置の下方に配置された状態で、移動制御部２２は、突き上げピン４７の昇降移動を制御する。これにより、突き上げピン４７は、ヘッド４Ｈによる吸着対象のダイ７ａを突き上げる。
【0045】
突き上げピン４７によってダイ７ａが突き上げられると、移動制御部２２は、認識した吸着位置の上方にヘッドユニット４が配置されるように、ヘッドユニット４のＸＹ方向の移動を制御する。ヘッドユニット４が吸着位置の上方に配置された状態で、移動制御部２２は、ヘッド４ＨのＺ方向の移動を制御すると共に、ヘッド４Ｈの自軸回りの回転移動を制御する。これにより、ヘッド４Ｈはダイ７ａを吸着保持する。
【0046】
ヘッド４Ｈによってダイ７ａが吸着保持されると、移動制御部２２は、基板Ｐの上方にヘッドユニット４が配置されるように、ヘッドユニット４のＸＹ方向の移動を制御する。この際、ヘッドユニット４に搭載されたヘッドカメラ３１が基板Ｐを撮像する。ヘッドカメラ３１の撮影画像より、基板Ｐに付されたフェデューシャルマークが認識される。これにより基板Ｐの位置ずれが認識され、基板Ｐに対する部品の搭載時に前記位置ずれの補正が為される。ヘッドユニット４が基板Ｐの上方に配置された状態で、移動制御部２２は、ヘッド４ＨのＺ方向の移動を制御すると共に、ヘッド４Ｈの自軸回りの回転移動を制御する。これにより、ヘッド４Ｈは基板Ｐにダイ７ａを搭載する。
【0047】
以上説明したように、制御部２０が部品吸着搭載制御を実行したときには、移動制御部２２の制御によってカメラユニット３２ＵがカメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９に沿ってＸＹ方向に移動してウェハカメラ３２でダイ７ａを撮像することにより、ヘッドユニット４のヘッド４Ｈによる吸着対象のダイ７ａの位置を認識することができる。そして、移動制御部２２の制御によってヘッドユニット４が認識された位置に向けてヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９に沿ってＸＹ方向に移動してダイ７ａのピッキングを行う。この際、カメラユニット３２Ｕとヘッドユニット４とが別個独立に設けられているため、ヘッドユニット４によるダイ７ａのピッキング動作と並行して、カメラユニット３２Ｕは次のピッキング対象のダイ７ａを認識することができる。これにより、カメラユニット３２Ｕのウェハカメラ３２によるダイ７ａの撮像から、ヘッドユニット４によるダイ７ａのピッキングに至る作業サイクルを高速化することができる。
【0048】
＜第１補正データ生成制御＞
制御部２０が第１補正データ生成制御を実行したときの部品実装装置１の動作について、図６～図９を参照しながら説明する。第１補正データ生成制御は、上記の部品吸着搭載制御における移動制御部２２の制御を補正するためのデータが補正データ作成部２３によって作成される際に実行される制御である。制御部２０により第１補正データ生成制御が実行されると、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９と、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９とに関する平行ずれを補正するためのデータ、並びに、歪みを補正するためのデータが、補正データ作成部２３によって作成される。
制御部２０が第１補正データ生成制御を実行したときの部品実装装置１の動作について、図６～図９を参照しながら説明する。第１補正データ生成制御は、上記の部品吸着搭載制御における移動制御部２２の制御を補正するためのデータが補正データ作成部２３によって作成される際に実行される制御である。制御部２０により第１補正データ生成制御が実行されると、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９と、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９とに関する平行ずれを補正するためのデータ、並びに、歪みを補正するためのデータが、補正データ作成部２３によって作成される。
【0049】
図６に示されるように、移動制御部２２は、共通エリアＣＡの下方に設置されたマーク部５０の上方の位置にヘッドカメラ３１が配置されるように、ヘッドユニット４のＸＹ方向の移動を制御する。この際、ヘッドユニット４に搭載されたヘッドカメラ３１が複数のマーク部５０の各々のマーク５０Ｍを撮像する。ヘッドカメラ３１は、各マーク５０Ｍの撮像によって、当該各マーク５０Ｍの画像データを示す第１マーク画像データＭＧＤ１をマーク５０Ｍごとに取得する。
【0050】
ヘッドカメラ３１によるマーク５０Ｍの撮像に対応してヘッドユニット４が移動すると、ヘッドＹ移動量検出部１４Ａは、ヘッドＹ軸サーボモータ１４の駆動量を検知することにより、ヘッドユニット４のヘッドＹ移動軸１５に沿ったＹ方向への移動量を検出する。ヘッドＹ移動量検出部１４Ａは、その検出結果を示すヘッドＹ移動量データＨＭＤＹをマーク５０Ｍごとに取得する。つまり、ヘッドＹ移動量データＨＭＤＹは、ヘッドカメラ３１によるマーク５０Ｍの撮像に対応したヘッドＹ軸サーボモータ１４の駆動量に基づく、ヘッドＹ移動軸１５に沿ったヘッドユニット４の理論上の移動量を示すデータとなる。同様に、ヘッドＸ移動量検出部１８Ａは、ヘッドＸ軸サーボモータ１８の駆動量を検知することにより、ヘッドユニット４のヘッドＸ移動軸１９に沿ったＸ方向への移動量を検出する。ヘッドＸ移動量検出部１８Ａは、その検出結果を示すヘッドＸ移動量データＨＭＤＸをマーク５０Ｍごとに取得する。つまり、ヘッドＸ移動量データＨＭＤＸは、ヘッドカメラ３１によるマーク５０Ｍの撮像に対応したヘッドＸ軸サーボモータ１８の駆動量に基づく、ヘッドＸ移動軸１９に沿ったヘッドユニット４の理論上の移動量を示すデータとなる。
【0051】
また、移動制御部２２は、共通エリアＣＡの下方に設置されたマーク部５０の上方の位置にウェハカメラ３２が配置されるように、カメラユニット３２ＵのＸＹ方向の移動を制御する。この際、カメラユニット３２Ｕに搭載されたウェハカメラ３２が複数のマーク部５０の各々のマーク５０Ｍを撮像する。ウェハカメラ３２は、各マーク５０Ｍの撮像によって、当該各マーク５０Ｍの画像データを示す第２マーク画像データＭＧＤ２をマーク５０Ｍごとに取得する。
【0052】
ウェハカメラ３２によるマーク５０Ｍの撮像に対応してカメラユニット３２Ｕが移動すると、カメラＹ移動量検出部３４Ａは、カメラＹ軸サーボモータ３４の駆動量を検知することにより、カメラユニット３２ＵのカメラＹ移動軸３５に沿ったＹ方向への移動量を検出する。カメラＹ移動量検出部３４Ａは、その検出結果を示すカメラＹ移動量データＣＭＤＹをマーク５０Ｍごとに取得する。つまり、カメラＹ移動量データＣＭＤＹは、ウェハカメラ３２によるマーク５０Ｍの撮像に対応したカメラＹ軸サーボモータ３４の駆動量に基づく、カメラＹ移動軸３５に沿ったカメラユニット３２Ｕの理論上の移動量を示すデータとなる。同様に、カメラＸ移動量検出部３８Ａは、カメラＸ軸サーボモータ３８の駆動量を検知することにより、カメラユニット３２ＵのカメラＸ移動軸３９に沿ったＸ方向への移動量を検出する。カメラＸ移動量検出部３８Ａは、その検出結果を示すカメラＸ移動量データＣＭＤＸをマーク５０Ｍごとに取得する。つまり、カメラＸ移動量データＣＭＤＸは、ウェハカメラ３２によるマーク５０Ｍの撮像に対応したカメラＸ軸サーボモータ３８の駆動量に基づく、カメラＸ移動軸３９に沿ったカメラユニット３２Ｕの理論上の移動量を示すデータとなる。
【0053】
図７に示されるように、ヘッドカメラ３１により取得された第１マーク画像データＭＧＤ１と、ウェハカメラ３２により取得された第２マーク画像データＭＧＤ２とは、補正データ作成部２３のマーク位置認識処理部２３４に入力される。マーク位置認識処理部２３４は、第１マーク画像データＭＧＤ１と第２マーク画像データＭＧＤ２とに基づいて、マーク部５０に付されたマーク５０Ｍの共通エリアＣＡ内における位置を認識するマーク位置認識処理を行う。
【0054】
具体的には、マーク位置認識処理部２３４は、第１マーク画像データＭＧＤ１に基づいて、ヘッドユニット４に搭載されたヘッドカメラ３１の撮像に応じたマーク５０Ｍの位置の認識結果を示す第１マーク位置認識データＭＲＤ１を、マーク５０Ｍごとに生成する。第１マーク位置認識データＭＲＤ１は、ヘッドカメラ３１によるマーク５０Ｍの撮像時におけるヘッドユニット４の実際の移動位置を示すデータとなる。つまり、第１マーク位置認識データＭＲＤ１は、ヘッドカメラ３１によるマーク５０Ｍの撮像時におけるヘッドユニット４の、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９によって規定されるＸＹ座標系における実際の位置を示すデータとなる。
【0055】
また、マーク位置認識処理部２３４は、第２マーク画像データＭＧＤ２に基づいて、カメラユニット３２Ｕに搭載されたウェハカメラ３２の撮像に応じたマーク５０Ｍの位置の認識結果を示す第２マーク位置認識データＭＲＤ２を、マーク５０Ｍごとに生成する。第２マーク位置認識データＭＲＤ２は、ウェハカメラ３２によるマーク５０Ｍの撮像時におけるカメラユニット３２Ｕの実際の移動位置を示すデータとなる。つまり、第２マーク位置認識データＭＲＤ２は、ウェハカメラ３２によるマーク５０Ｍの撮像時におけるカメラユニット３２Ｕの、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９によって規定されるＸＹ座標系における実際の位置を示すデータとなる。
【0056】
また、図７に示されるように、ヘッドＹ移動量検出部１４Ａにより取得されたヘッドＹ移動量データＨＭＤＹと、ヘッドＸ移動量検出部１８Ａにより取得されたヘッドＸ移動量データＨＭＤＸとは、補正データ作成部２３のヘッド位置演算部２３１に入力される。ヘッド位置演算部２３１は、ヘッドＹ移動量データＨＭＤＹとヘッドＸ移動量データＨＭＤＸとに基づいて、ヘッドカメラ３１によるマーク５０Ｍの撮像時におけるヘッドユニット４の理論上の位置を演算する位置演算処理を行う。そして、ヘッド位置演算部２３１は、演算処理の結果を示すヘッド位置データＨＰＤを生成する。ヘッド位置データＨＰＤは、ヘッドカメラ３１によるマーク５０Ｍの撮像時におけるヘッドユニット４の理論上の移動位置を示すデータとなる。つまり、ヘッド位置データＨＰＤは、ヘッドカメラ３１によるマーク５０Ｍの撮像時におけるヘッドユニット４の、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９によって規定されるＸＹ座標系における理論上の位置を示すデータとなる。
【0057】
また、図７に示されるように、カメラＹ移動量検出部３４Ａにより取得されたカメラＹ移動量データＣＭＤＹと、カメラＸ移動量検出部３８Ａにより取得されたカメラＸ移動量データＣＭＤＸとは、補正データ作成部２３のカメラ位置演算部２３２に入力される。カメラ位置演算部２３２は、カメラＹ移動量データＣＭＤＹとカメラＸ移動量データＣＭＤＸとに基づいて、ウェハカメラ３２によるマーク５０Ｍの撮像時におけるカメラユニット３２Ｕの理論上の位置を演算する位置演算処理を行う。そして、カメラ位置演算部２３２は、演算処理の結果を示すカメラ位置データＣＰＤを生成する。カメラ位置データＣＰＤは、ウェハカメラ３２によるマーク５０Ｍの撮像時におけるカメラユニット３２Ｕの理論上の移動位置を示すデータとなる。つまり、カメラ位置データＣＰＤは、ウェハカメラ３２によるマーク５０Ｍの撮像時におけるカメラユニット３２Ｕの、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９によって規定されるＸＹ座標系における理論上の位置を示すデータとなる。
【0058】
上述の制御部２０による部品吸着搭載制御の実行時において、ヘッドユニット４によるダイ７ａのピッキングミス等の不具合の発生を抑制するためには、ウェハカメラ３２の撮像によるダイ７ａの位置認識時におけるカメラユニット３２Ｕの移動位置と、ヘッドユニット４の移動位置とが一致している必要がある。この際、ヘッドＹ移動軸１５とカメラＹ移動軸３５との間に平行ずれが生じ、ヘッドＸ移動軸１９とカメラＸ移動軸３９との間に平行ずれが生じている場合には、カメラユニット３２Ｕの移動位置とヘッドユニット４の移動位置との間に位置ずれが生じる虞がある。例えば、図８に示されるように、ヘッドカメラ３１によるマーク５０Ｍの撮像時におけるヘッドユニット４の実際の移動位置を示す第１マーク位置認識データＭＲＤ１と、ウェハカメラ３２によるマーク５０Ｍの撮像時におけるカメラユニット３２Ｕの実際の移動位置を示す第２マーク位置認識データＭＲＤ２とが、一致しない状況が生じ得る。
【0059】
そこで、図８に示されるように、補正データ作成部２３の平行ずれ補正処理部２３６は、平行ずれ補正処理を行う。平行ずれ補正処理部２３６には、マーク位置認識処理部２３４により生成されたマーク５０Ｍごとの第１マーク位置認識データＭＲＤ１と第２マーク位置認識データＭＲＤ２とが入力される。平行ずれ補正処理部２３６は、第１マーク位置認識データＭＲＤ１と第２マーク位置認識データＭＲＤ２とに基づいて、ヘッドＹ移動軸１５とカメラＹ移動軸３５との間の平行ずれを補正すると共に、ヘッドＸ移動軸１９とカメラＸ移動軸３９との間の平行ずれを補正するための平行ずれ補正データＰＤＣＤを作成する。平行ずれ補正処理部２３６は、第１マーク位置認識データＭＲＤ１と第２マーク位置認識データＭＲＤ２とが一致するように、ヘッドＹ移動軸１５及びカメラＹ移動軸３５を、Ｚ方向に延びる軸回りに仮想的に回転させることにより、平行ずれ補正データＰＤＣＤを作成する。平行ずれ補正データＰＤＣＤは、記憶部２４に記憶される。
【0060】
制御部２０による部品吸着搭載制御の実行時においては、記憶部２４から平行ずれ補正データＰＤＣＤが読み出される。これにより、制御部２０による部品吸着搭載制御の実行時において、移動制御部２２によるヘッドユニット４及びカメラユニット３２Ｕの移動の制御の際に、ヘッドユニット４及びカメラユニット３２Ｕの移動量を平行ずれ補正データＰＤＣＤに基づいて補正することができる。これにより、ヘッドＹ移動軸１５とカメラＹ移動軸３５との間に平行ずれが生じ、ヘッドＸ移動軸１９とカメラＸ移動軸３９との間に平行ずれが生じている場合であっても、カメラユニット３２Ｕの移動位置とヘッドユニット４の移動位置との間の位置ずれを抑制することができる。このため、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９とカメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９との間の平行ずれに起因して、ヘッドユニット４によるダイ７ａのピッキングミス等の不具合が発生することを抑制できる。
【0061】
また、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９に歪みが生じることで、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９によって規定されるＸＹ座標系に歪みが生じている場合には、ヘッドユニット４の実際の移動位置と理論上の移動位置との間に位置ずれが生じる虞がある。例えば、図９に示されるように、ヘッドカメラ３１によるマーク５０Ｍの撮像時において、ヘッドユニット４の実際の移動位置を示す第１マーク位置認識データＭＲＤ１と、ヘッドユニット４の理論上の移動位置を示すヘッド位置データＨＰＤとが、一致しない状況が生じ得る。
【0062】
そこで、図９に示されるように、補正データ作成部２３のヘッド軸補正処理部２３７は、ヘッド軸補正処理を行う。ヘッド軸補正処理部２３７には、マーク位置認識処理部２３４により生成されたマーク５０Ｍごとの第１マーク位置認識データＭＲＤ１と、ヘッド位置演算部２３１により生成されたマーク５０Ｍごとのヘッド位置データＨＰＤとが入力される。ヘッド軸補正処理部２３７は、第１マーク位置認識データＭＲＤ１とヘッド位置データＨＰＤとに基づいて、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９の歪みを補正するためのヘッド軸補正データＨＡＣＤを作成する。ヘッド軸補正処理部２３７は、第１マーク位置認識データＭＲＤ１とヘッド位置データＨＰＤとが一致するように、ヘッドＹ移動軸１５に対するヘッドＸ移動軸１９の直交度を仮想的に調整することにより、ヘッド軸補正データＨＡＣＤを作成する。ヘッド軸補正データＨＡＣＤは、記憶部２４に記憶される。
【0063】
制御部２０による部品吸着搭載制御の実行時においては、記憶部２４からヘッド軸補正データＨＡＣＤが読み出される。これにより、制御部２０による部品吸着搭載制御の実行時において、移動制御部２２によるヘッドユニット４の移動の制御の際に、ヘッドユニット４の移動量をヘッド軸補正データＨＡＣＤに基づいて補正することができる。このため、ヘッドＹ移動軸１５及びヘッドＸ移動軸１９に歪みが生じている場合であっても、ヘッドユニット４を的確な位置に移動させることができる。
【0064】
また、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９に歪みが生じることで、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９によって規定されるＸＹ座標系に歪みが生じている場合には、カメラユニット３２Ｕの実際の移動位置と理論上の移動位置との間に位置ずれが生じる虞がある。例えば、図９に示されるように、ウェハカメラ３２によるマーク５０Ｍの撮像時において、カメラユニット３２Ｕの実際の移動位置を示す第２マーク位置認識データＭＲＤ２と、カメラユニット３２Ｕの理論上の移動位置を示すカメラ位置データＣＰＤとが、一致しない状況が生じ得る。
【0065】
そこで、図９に示されるように、補正データ作成部２３のカメラ軸補正処理部２３８は、カメラ軸補正処理を行う。カメラ軸補正処理部２３８には、マーク位置認識処理部２３４により生成されたマーク５０Ｍごとの第２マーク位置認識データＭＲＤ２と、カメラ位置演算部２３２により生成されたマーク５０Ｍごとのカメラ位置データＣＰＤとが入力される。カメラ軸補正処理部２３８は、第２マーク位置認識データＭＲＤ２とカメラ位置データＣＰＤとに基づいて、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９の歪みを補正するためのカメラ軸補正データＣＡＣＤを作成する。カメラ軸補正処理部２３８は、第２マーク位置認識データＭＲＤ２とカメラ位置データＣＰＤとが一致するように、カメラＹ移動軸３５に対するカメラＸ移動軸３９の直交度を仮想的に調整することにより、カメラ軸補正データＣＡＣＤを作成する。カメラ軸補正データＣＡＣＤは、記憶部２４に記憶される。
【0066】
制御部２０による部品吸着搭載制御の実行時においては、記憶部２４からカメラ軸補正データＣＡＣＤが読み出される。これにより、制御部２０による部品吸着搭載制御の実行時において、移動制御部２２によるカメラユニット３２Ｕの移動の制御の際に、カメラユニット３２Ｕの移動量をカメラ軸補正データＣＡＣＤに基づいて補正することができる。このため、カメラＹ移動軸３５及びカメラＸ移動軸３９に歪みが生じている場合であっても、カメラユニット３２Ｕを的確な位置に移動させることができる。
【0067】
なお、ヘッド軸補正処理部２３７がマーク部５０のマーク５０Ｍに対応した第１マーク位置認識データＭＲＤ１を用いてヘッド軸補正処理を行い、カメラ軸補正処理部２３８がマーク部５０のマーク５０Ｍに対応した第２マーク位置認識データＭＲＤ２を用いてカメラ軸補正処理を行うことについて説明したが、これに限定されない。ヘッド軸補正処理部２３７及びカメラ軸補正処理部２３８が軸補正処理の際に用いるマーク位置認識データは、ウェハステージ１０に着脱可能にセットされる治具に付されたマークに対応したものであってもよい。前記治具は、方形平板状のガラス板に、ＸＹ方向に所定間隔おきに多数のマークを付したものである。この場合、ヘッド軸補正処理部２３７がヘッド軸補正処理の際に用いる第１マーク位置認識データＭＲＤ１は、ヘッドユニット４に搭載されたヘッドカメラ３１の撮像に応じた、前記治具に付されたマークの位置の認識結果を示すデータとなる。同様に、カメラ軸補正処理部２３８がカメラ軸補正処理の際に用いる第２マーク位置認識データＭＲＤ２は、カメラユニット３２Ｕに搭載されたウェハカメラ３２の撮像に応じた、前記治具に付されたマークの位置の認識結果を示すデータとなる。
【0068】
また、ヘッド軸補正処理部２３７によるヘッド軸補正処理と、カメラ軸補正処理部２３８によるカメラ軸補正処理とは、平行ずれ補正処理部２３６による平行ずれ補正処理の前に行われる。
【0069】
つまり、平行ずれ補正処理部２３６は、ヘッド軸補正処理部２３７によるヘッド軸補正処理と、カメラ軸補正処理部２３８によるカメラ軸補正処理とが行われた後に、平行ずれ補正処理を行う。この場合、平行ずれ補正処理部２３６が平行ずれ補正処理を行う際には、移動制御部２２は、ヘッド軸補正データＨＡＣＤを用いてヘッドユニット４の移動を制御するとともに、カメラ軸補正データＣＡＣＤを用いてカメラユニット３２Ｕの移動を制御する。具体的には、移動制御部２２は、ヘッドユニット４の移動量をヘッド軸補正データＨＡＣＤに基づいて補正した状態で、共通エリアＣＡの下方に設置されたマーク部５０の上方の位置にヘッドカメラ３１が配置されるように、ヘッドユニット４のＸＹ方向の移動を制御する。同様に、移動制御部２２は、カメラユニット３２Ｕの移動量をカメラ軸補正データＣＡＣＤに基づいて補正した状態で、マーク部５０の上方の位置にウェハカメラ３２が配置されるように、カメラユニット３２ＵのＸＹ方向の移動を制御する。
【0070】
＜第２補正データ生成制御＞
制御部２０が第２補正データ生成制御を実行したときの部品実装装置１の動作について、図１０及び図１１を参照しながら説明する。第２補正データ生成制御は、上記の部品吸着搭載制御における移動制御部２２の制御を補正するためのデータが補正データ作成部２３によって作成される際に実行される制御である。制御部２０は、上記の第１補正データ生成制御の後に、第２補正データ生成制御を実行する。制御部２０により第２補正データ生成制御が実行されると、突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５の歪みを補正するためのデータが、補正データ作成部２３によって作成される。
制御部２０が第２補正データ生成制御を実行したときの部品実装装置１の動作について、図１０及び図１１を参照しながら説明する。第２補正データ生成制御は、上記の部品吸着搭載制御における移動制御部２２の制御を補正するためのデータが補正データ作成部２３によって作成される際に実行される制御である。制御部２０は、上記の第１補正データ生成制御の後に、第２補正データ生成制御を実行する。制御部２０により第２補正データ生成制御が実行されると、突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５の歪みを補正するためのデータが、補正データ作成部２３によって作成される。
【0071】
図１０に示されるように、移動制御部２２は、カメラユニット３２Ｕの移動に連動して突き上げユニット４０が移動するように、カメラユニット３２Ｕ及び突き上げユニット４０のＸＹ方向の移動を制御する。つまり、移動制御部２２は、カメラユニット３２ＵがＸＹ方向に移動すると共に、突き上げユニット４０がカメラユニット３２Ｕの下方に配置された状態を維持しつつ移動するように、カメラユニット３２Ｕ及び突き上げユニット４０のＸＹ方向の移動を制御する。なお、移動制御部２２は、カメラユニット３２Ｕの移動を制御するに際しては、記憶部２４に記憶されているカメラ軸補正データＣＡＣＤを用いる。つまり、移動制御部２２は、カメラユニット３２Ｕの移動量をカメラ軸補正データＣＡＣＤに基づいて補正した状態で、カメラユニット３２Ｕの移動を制御する。この際、カメラユニット３２Ｕに搭載されたウェハカメラ３２は、カメラユニット３２Ｕに連動して移動する突き上げユニット４０の突き上げピン４７を、複数の移動地点において撮像する。ウェハカメラ３２は、突き上げピン４７の撮像によって、当該突き上げピン４７の画像データを示すピン画像データＰＧＤを、前記複数の移動地点ごとに取得する。
【0072】
カメラユニット３２Ｕの移動に連動して突き上げユニット４０が移動すると、突き上げＹ移動量検出部４４Ａは、突き上げＹ軸サーボモータ４４の駆動量を検知することにより、突き上げユニット４０の突き上げＹ移動軸４３に沿ったＹ方向への移動量を検出する。突き上げＹ移動量検出部４４Ａは、その検出結果を示す突き上げＹ移動量データＰＭＤＹを前記複数の移動地点ごとに取得する。つまり、突き上げＹ移動量データＰＭＤＹは、ウェハカメラ３２による突き上げピン４７の撮像に対応した突き上げＹ軸サーボモータ４４の駆動量に基づく、突き上げＹ移動軸４３に沿った突き上げユニット４０の理論上の移動量を示すデータとなる。同様に、突き上げＸ移動量検出部４６Ａは、突き上げＸ軸サーボモータ４６の駆動量を検知することにより、突き上げユニット４０の突き上げＸ移動軸４５に沿ったＸ方向への移動量を検出する。突き上げＸ移動量検出部４６Ａは、その検出結果を示す突き上げＸ移動量データＰＭＤＸを前記複数の移動地点ごとに取得する。つまり、突き上げＸ移動量データＰＭＤＸは、ウェハカメラ３２による突き上げピン４７の撮像に対応した突き上げＸ軸サーボモータ４６の駆動量に基づく、突き上げＸ移動軸４５に沿った突き上げユニット４０の理論上の移動量を示すデータとなる。
【0073】
図１１に示されるように、ウェハカメラ３２により取得されたピン画像データＰＧＤは、補正データ作成部２３のピン位置認識処理部２３５に入力される。ピン位置認識処理部２３５は、ピン画像データＰＧＤに基づいて、カメラユニット３２Ｕに連動して移動している突き上げユニット４０における突き上げピン４７の位置を認識するピン位置認識処理を行う。
【0074】
具体的には、ピン位置認識処理部２３５は、ピン画像データＰＧＤに基づいて、カメラユニット３２Ｕに連動した突き上げユニット４０の移動時における突き上げピン４７の位置の認識結果を示すピン位置認識データＰＲＤを、前記複数の移動地点ごとに生成する。ピン位置認識データＰＲＤは、ウェハカメラ３２による突き上げピン４７の撮像時における突き上げユニット４０の実際の移動位置を示すデータとなる。つまり、ピン位置認識データＰＲＤは、ウェハカメラ３２による突き上げピン４７の撮像時における突き上げユニット４０の、突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５によって規定されるＸＹ座標系における実際の位置を示すデータとなる。
【0075】
また、図１１に示されるように、突き上げＹ移動量検出部４４Ａにより取得された突き上げＹ移動量データＰＭＤＹと、突き上げＸ移動量検出部４６Ａにより取得された突き上げＸ移動量データＰＭＤＸとは、補正データ作成部２３の突き上げ位置演算部２３３に入力される。突き上げ位置演算部２３３は、突き上げＹ移動量データＰＭＤＹと突き上げＸ移動量データＰＭＤＸとに基づいて、カメラユニット３２Ｕに連動した移動時における突き上げユニット４０の理論上の位置を演算する突き上げ位置演算処理を行う。そして、突き上げ位置演算部２３３は、演算処理の結果を示す突き上げ位置データＰＰＤを生成する。突き上げ位置データＰＰＤは、カメラユニット３２Ｕに連動した移動時における突き上げユニット４０の理論上の移動位置を示すデータとなる。つまり、突き上げ位置データＰＰＤは、カメラユニット３２Ｕに連動した移動時における突き上げユニット４０の、突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５によって規定されるＸＹ座標系における理論上の位置を示すデータとなる。
【0076】
突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５に歪みが生じることで、突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５によって規定されるＸＹ座標系に歪みが生じている場合には、突き上げユニット４０の実際の移動位置と理論上の移動位置との間に位置ずれが生じる虞がある。例えば、図１１に示されるように、ウェハカメラ３２による突き上げピン４７の撮像時において、突き上げユニット４０の実際の移動位置を示すピン位置認識データＰＲＤと、突き上げユニット４０の理論上の移動位置を示す突き上げ位置データＰＰＤとが、一致しない状況が生じ得る。
【0077】
そこで、図１１に示されるように、補正データ作成部２３の突き上げ軸補正処理部２３９は、突き上げ軸補正処理を行う。突き上げ軸補正処理部２３９には、ピン位置認識処理部２３５により生成された前記複数の移動地点ごとのピン位置認識データＰＲＤと、突き上げ位置演算部２３３により生成された前記複数の移動地点ごとの突き上げ位置データＰＰＤとが入力される。突き上げ軸補正処理部２３９は、ピン位置認識データＰＲＤと突き上げ位置データＰＰＤとに基づいて、突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５の歪みを補正するための突き上げ軸補正データＰＡＣＤを作成する。突き上げ軸補正処理部２３９は、ピン位置認識データＰＲＤと突き上げ位置データＰＰＤとが一致するように、突き上げＹ移動軸４３に対する突き上げＸ移動軸４５の直交度を仮想的に調整することにより、突き上げ軸補正データＰＡＣＤを作成する。突き上げ軸補正データＰＡＣＤは、記憶部２４に記憶される。
【0078】
制御部２０による部品吸着搭載制御の実行時においては、記憶部２４から突き上げ軸補正データＰＡＣＤが読み出される。これにより、制御部２０による部品吸着搭載制御の実行時において、移動制御部２２による突き上げユニット４０の移動の制御の際に、突き上げユニット４０の移動量を突き上げ軸補正データＰＡＣＤに基づいて補正することができる。このため、突き上げＹ移動軸４３及び突き上げＸ移動軸４５に歪みが生じている場合であっても、突き上げユニット４０を的確な位置に移動させることができる。
【0079】
なお、上述した具体的実施形態には以下の構成を有する発明が主に含まれている。
【0080】
本発明の一の局面に係る部品移載装置は、複数個の部品が配置された部品配置エリアを有する部品供給部と、前記部品配置エリアの上方空間における所定のヘッド移動エリア内をヘッド移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、ヘッドカメラが搭載され、前記部品配置エリアにおいて前記部品をピッキングするヘッドユニットと、前記部品配置エリアの上方空間における所定のカメラ移動エリア内をカメラ移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記部品配置エリアにおいて前記部品を撮像する部品カメラを有するカメラユニットと、前記ヘッド移動エリアと前記カメラ移動エリアとが重なり合う共通エリアの下方における所定位置に配置され、前記ヘッドカメラ及び前記部品カメラの各々が認識可能なマークが付されたマーク部と、前記ヘッドユニットの移動、及び前記カメラユニットの移動を制御する移動制御部と、前記移動制御部による制御を補正するためのデータを作成する補正データ作成部と、を備える。前記補正データ作成部は、前記ヘッドカメラによる前記マークの撮像で得られた第１マーク画像データに基づき前記マークの位置の認識結果を示す第１マーク位置認識データを生成すると共に、前記部品カメラによる前記マークの撮像で得られた第２マーク画像データに基づき前記マークの位置の認識結果を示す第２マーク位置認識データを生成するマーク位置認識処理を行う。また、前記補正データ作成部は、前記第１マーク位置認識データと前記第２マーク位置認識データとに基づいて、前記ヘッド移動軸と前記カメラ移動軸との間の平行ずれを補正するための平行ずれ補正データを作成する平行ずれ補正処理を行う。
【0081】
この部品移載装置によれば、移動制御部の制御によってカメラユニットがカメラ移動軸に沿って水平方向に移動して部品カメラで部品を撮像することにより、ヘッドユニットによるピッキング対象の部品の位置を認識することができる。そして、移動制御部の制御によってヘッドユニットが認識された位置に向けてヘッド移動軸に沿って水平方向に移動して部品のピッキングを行う。この際、カメラユニットとヘッドユニットとが別個独立に設けられているため、ヘッドユニットによる部品のピッキング動作と並行して、カメラユニットは次のピッキング対象の部品の位置を認識することができる。これにより、カメラユニットの部品カメラによる部品撮像から、ヘッドユニットによる部品ピッキングに至る作業サイクルを高速化することができる。
【0082】
ヘッドユニットによる部品のピッキングミス等の不具合の発生を抑制するためには、部品カメラの撮像による部品の位置認識時におけるカメラユニットの移動位置と、ヘッドユニットの移動位置とが一致している必要がある。この際、ヘッド移動軸とカメラ移動軸との間に平行ずれが生じている場合には、カメラユニットの移動位置とヘッドユニットの移動位置との間に位置ずれが生じる虞がある。
【0083】
そこで、部品実装装置は、移動制御部によるヘッドユニット及びカメラユニットの移動の制御を補正するためのデータを作成する補正データ作成部を備える。この補正データ作成部は、ヘッドユニットに搭載されたヘッドカメラによるマークの撮像で得られた第１マーク画像データに基づき第１マーク位置認識データを生成すると共に、カメラユニットに搭載された部品カメラによるマークの撮像で得られた第２マーク画像データに基づき第２マーク位置認識データを生成する。更に補正データ作成部は、第１マーク位置認識データと第２マーク位置認識データとに基づいて、ヘッド移動軸とカメラ移動軸との間の平行ずれを補正するための平行ずれ補正データを作成する。
【0084】
移動制御部によるヘッドユニット及びカメラユニットの移動の制御の際に、ヘッドユニット及びカメラユニットの移動量を平行ずれ補正データに基づいて補正することができる。これにより、ヘッド移動軸とカメラ移動軸との間に平行ずれが生じている場合であっても、カメラユニットの移動位置とヘッドユニットの移動位置との間の位置ずれを抑制することができる。このため、ヘッド移動軸とカメラ移動軸との間の平行ずれに起因してヘッドユニットによる部品のピッキングミス等の不具合が発生することを抑制できる。
【0085】
上記の部品移載装置は、前記部品配置エリアの下方において突き上げ移動軸に沿って水平方向に移動可能であり、前記ヘッドユニットによるピッキング対象の前記部品を下方から突き上げる突き上げピンを有する突き上げユニットと、前記突き上げユニットの前記突き上げ移動軸に沿った移動量を検出する突き上げ移動量検出部と、を更に備える構成であってもよい。この場合、前記移動制御部は、前記ヘッドユニット及び前記カメラユニットに加えて前記突き上げユニットの移動を制御するように構成される。そして、前記補正データ作成部は、前記カメラユニットの移動に連動して前記突き上げユニットが移動している状態において、前記部品カメラによる前記突き上げピンの撮像で得られたピン画像データに基づいて、前記突き上げユニットの移動時における前記突き上げピンの位置の認識結果を示すピン位置認識データを生成するピン位置認識処理を行う。また、前記補正データ作成部は、前記カメラユニットの移動に連動した前記突き上げユニットの移動時に前記突き上げ移動量検出部により取得された突き上げ移動量データと、前記ピン位置認識データとに基づいて、前記突き上げ移動軸の歪みを補正するための突き上げ軸補正データを作成する突き上げ軸補正処理を行う。
【0086】
この態様では、突き上げユニットは、移動制御部の制御によって突き上げ移動軸に沿って水平方向に移動することにより、ヘッドユニットによるピッキング対象の部品を下方から突き上げる。また、突き上げ移動量検出部による突き上げユニットの移動量の検出結果を示す突き上げ移動量データに基づいて、突き上げユニットの理論上の移動位置を求めることができる。
【0087】
ここで、突き上げ移動軸に歪みが生じている場合には、突き上げユニットを的確な位置に移動させることができない虞がある。そこで、補正データ作成部は、カメラユニットの移動に連動して突き上げユニットが移動している状態において、部品カメラによる突き上げピンの撮像で得られたピン画像データに基づいて、突き上げユニットの移動時における突き上げピンの位置の認識結果を示すピン位置認識データを生成する。更に補正データ作成部は、カメラユニットの移動に連動した突き上げユニットの移動時に突き上げ移動量検出部により取得された突き上げ移動量データと、前記ピン位置認識データとに基づいて、突き上げ移動軸の歪みを補正するための突き上げ軸補正データを作成する。これにより、移動制御部による突き上げユニットの移動の制御の際に、突き上げユニットの移動量を突き上げ軸補正データに基づいて補正することができる。このため、突き上げ移動軸に歪みが生じている場合であっても、突き上げユニットを的確な位置に移動させることができる。
【0088】
以上説明した通り、本発明によれば、部品配置エリアから部品をピッキングするヘッドユニットと、前記部品配置エリアにおいて部品を撮像するカメラユニットとを備えた部品移載装置において、ヘッドユニット及びカメラユニットの移動位置の位置ずれを抑制することができる。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】