特許 7542429 活性エネルギ照射装置及び活性エネルギ照射システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-22

(45)【発行日】2024-08-30

(54)【発明の名称】活性エネルギ照射装置及び活性エネルギ照射システム

(51)【国際特許分類】

   H05K 7/20 20060101AFI20240823BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20240823BHJP

【ＦＩ】

H05K7/20 G

H05K7/20 K

B41J2/01 129

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2020215357

(22)【出願日】2020-12-24

(65)【公開番号】P2022101023

(43)【公開日】2022-07-06

【審査請求日】2023-07-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(74)【代理人】

【識別番号】100156395

【弁理士】

【氏名又は名称】荒井 寿王

(72)【発明者】

【氏名】村山 恭一

(72)【発明者】

【氏名】梅野 圭太

【審査官】中島 亮

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－１４０３４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－２０２１９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１８４５３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－５７４７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－９８４４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－２３６１８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ ７／２０

Ｂ４１Ｊ ２／０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも所定方向に沿って並ぶ複数の活性エネルギ照射部と、
前記活性エネルギ照射部と熱的に接続された空冷式のヒートシンクと、
前記活性エネルギ照射部及び前記ヒートシンクを収容する筐体と、
前記筐体に設けられ、前記筐体の内部にエアを導入する吸気部と、
前記筐体に設けられ、前記筐体の外部へエアを排出する排気部と、
前記筐体の内部における前記ヒートシンクと前記排気部との間に設けられ、前記ヒートシンクを通過した前記エアを前記排気部へ流通させるダクトと、を備え、
前記筐体の内部において前記ダクトの少なくとも一部の周囲には、前記ヒートシンクに通過する前の前記エアが存在するエア存在領域が、当該ダクトを囲うように設けられている、活性エネルギ照射装置。

【請求項2】

前記ダクトの少なくとも一部は、多角管形状を呈し、
前記ダクトの少なくとも一部における全ての外側面は、前記エア存在領域と接している、請求項１に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項3】

前記エア存在領域は、前記筐体の内面と前記ダクトの外面とにより画成された空間を含み、
前記吸気部は、当該空間に前記エアを導入する、請求項１又は２に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項4】

前記ダクトは、断面積一定で延びる直線部と、前記直線部の下流側に設けられ断面積が下流に行くに従って大きくなるように延びる拡大部と、を有し、
前記吸気部が前記エアを導入する当該空間は、前記筐体の内面と前記直線部の外面と前記拡大部の外面とにより画成される、請求項３に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項5】

前記エア存在領域は、前記吸気部におけるフィルタ部を含んでいる、請求項１～４の何れか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項6】

前記ダクトの前記ヒートシンク側の端部は、前記ヒートシンクの放熱フィンに形成された溝に差し込まれている、請求項１～５の何れか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項7】

前記吸気部は、前記ヒートシンクから前記排気部に向かう方向と交差する方向に沿って開口し且つ前記筐体の内部に通じる吸気口を有する、請求項１～６の何れか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項8】

前記活性エネルギ照射部は、紫外線又は電子線を照射する、請求項１～７の何れか一項に記載の活性エネルギ照射装置。

【請求項9】

請求項１～８の何れか一項に記載の活性エネルギ照射装置を複数備え、
複数の前記活性エネルギ照射装置は、前記所定方向において互いに当接するように並べられている、活性エネルギ照射システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、活性エネルギ照射装置及び活性エネルギ照射システムに関する。

【背景技術】

【0002】

複数の活性エネルギ照射部と、活性エネルギ照射部と熱的に接続された空冷式のヒートシンクと、活性エネルギ照射部及びヒートシンクを収容する筐体と、を備えた活性エネルギ照射装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】実用新案登録第３１９６４１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したような活性エネルギ照射装置では、ヒートシンクを通過したエアの熱によって筐体が高温になるおそれがある。

【0005】

本発明は、筐体が高温になるのを抑制すること可能な活性エネルギ照射装置及び活性エネルギ照射システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る活性エネルギ照射装置は、少なくとも所定方向に沿って並ぶ複数の活性エネルギ照射部と、活性エネルギ照射部と熱的に接続された空冷式のヒートシンクと、活性エネルギ照射部及びヒートシンクを収容する筐体と、筐体に設けられ、筐体の内部にエアを導入する吸気部と、筐体に設けられ、筐体の外部へエアを排出する排気部と、筐体の内部におけるヒートシンクと排気部との間に設けられ、ヒートシンクを通過したエアを排気部へ流通させるダクトと、を備え、筐体の内部においてダクトの少なくとも一部の周囲には、ヒートシンクに通過する前のエアが存在するエア存在領域が、当該ダクトを囲うように設けられている。

【0007】

この活性エネルギ照射装置では、エア存在領域の存在により、ダクトの少なくとも一部が筐体に直接的に接触するのを防ぐことができ、ダクトを流れるヒートシンクを通過したエアから筐体に熱が伝播するのを抑制することができる。したがって、筐体が高温になるのを抑制することが可能となる。

【0008】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、ダクトの少なくとも一部は、多角管形状を呈し、ダクトの少なくとも一部における全ての外側面は、エア存在領域と接していてもよい。この場合、ダクトの少なくとも一部が筐体に直接的に接触するのを確実に防ぐことができる。

【0009】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、エア存在領域は、筐体の内面とダクトの外面とにより画成された空間を含み、吸気部は、当該空間にエアを導入してもよい。この場合、外部からエアが導入される低温の空間によってエア存在領域を構成することができる。

【0010】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、ダクトは、断面積一定で延びる直線部と、直線部の下流側に設けられ断面積が下流に行くに従って大きくなるように延びる拡大部と、を有し、吸気部がエアを導入する当該空間は、筐体の内面と直線部の外面と拡大部の外面とにより画成されていてもよい。この場合、外部からエアが導入される空間を具体的に画成することができる。

【0011】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、エア存在領域は、吸気部におけるフィルタ部を含んでいてもよい。この場合、吸気部における低温のフィルタ部によってエア存在領域を構成することができる。

【0012】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、ダクトのヒートシンク側の端部は、ヒートシンクの放熱フィンに形成された溝に差し込まれていてもよい。この場合、ダクトと放熱フィンとの接続においてパッキン等のシール部材を不要にすることが可能となる。

【0013】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、吸気部は、ヒートシンクから排気部に向かう方向と交差する方向に沿って開口し且つ筐体の内部に通じる吸気口を有していてもよい。これにより、筐体の外部から内部にエアを、ヒートシンクから排気部に向かう排気方向と交差する方向に沿って導入することができる。

【0014】

本発明に係る活性エネルギ照射装置では、活性エネルギ照射部は、紫外線又は電子線を照射してもよい。これにより、活性エネルギ照射装置を紫外線又は電子線を照射する装置として用いることができる。

【0015】

本発明に係る活性エネルギ照射システムは、上記活性エネルギ照射装置を複数備え、複数の上記活性エネルギ照射装置は、所定方向において互いに当接するように並べられている。

【0016】

この活性エネルギ照射システムでは、上記活性エネルギ照射装置を備えることから、筐体が高温になるのを抑制する上記効果が奏される。また、所定方向において互いに当接するように複数の活性エネルギ照射装置が並べられることから、筐体が高温化（特に、所定方向の両端部が高温化）しやすいため、筐体が高温になるのを抑制する上記効果は特に有効である。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、筐体が高温になるのを抑制すること可能な活性エネルギ照射装置及び活性エネルギ照射システムを提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、一実施形態の活性エネルギ照射システムの斜視図である。

【図2】図２は、図１に示される活性エネルギ照射装置の斜視図である。

【図3】図３は、図２に示される活性エネルギ照射装置を下側から見た斜視図である。

【図4】図４は、図２に示される活性エネルギ照射装置の分解斜視図である。

【図5】図５は、図２に示される活性エネルギ照射装置における筐体の内部の構成を示す斜視図である。

【図6】図６は、図２に示される活性エネルギ照射装置におけるエアの流れを示す正面図である。

【図7】図７は、図６に示されるＡ－Ａ線に沿っての活性エネルギ照射装置の断面図である。

【図8】図８は、図７に示されるＢ－Ｂ線に沿っての活性エネルギ照射装置の端面図である。

【図9】図９は、図４に示されるヒートシンクの斜視図である。

【図10】図１０は、図４に示されるヒートシンクの正面図である。

【図11】図１１（ａ）は、図４に示されるヒートシンクの第１ヒートパイプの正面図である。図１１（ｂ）は、図４に示されるヒートシンクの第２ヒートパイプの正面図である。

【図12】図１２は、図４に示されるヒートシンクの一部を拡大して示す正面図である。

【図13】図１３は、変形例に係る活性エネルギ照射システムの斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

【0020】

図１に示されるように、活性エネルギ照射システム１００は、例えばＵＶ（ultraviolet）プリンタに搭載されるシステムであって、複数の活性エネルギ照射装置１を備える。活性エネルギ照射装置１は、例えば印刷用途向けの高出力の空冷ＬＥＤ光源である。活性エネルギ照射装置１は、光（紫外線，活性エネルギ線）を被照射物に照射し、被照射物のインク乾燥等を行う。被照射物としては、例えば光硬化型インクが付着している印刷物が挙げられる。

【0021】

活性エネルギ照射装置１は、直方体状の外形を呈する。活性エネルギ照射装置１は、所定方向において互いに当接するように並べられている。所定方向に並べられた複数の活性エネルギ照射装置１は、固定プレート１１に固定されて保持されている。図２、図３、図４及び図５に示されるように、活性エネルギ照射装置１は、筐体２、複数のＬＥＤ基板３、ヒートシンク４、吸気部５、排気部６、ダクト７、不活性ガス供給部８及び不活性ガス吸引部９を備えている。

【0022】

なお、説明の便宜上、複数の活性エネルギ照射装置１が並ぶ所定方向を「Ｘ方向」とし、活性エネルギ照射装置１の光出射方向であってＸ方向と垂直な方向を「Ｚ方向」とし、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向を「Ｙ方向」とする。活性エネルギ照射装置１が光を出射する側を「下側」とし、その反対側を「上側」とする。Ｙ方向の一方側を「前側」とし、Ｙ方向の他方側を「後側」とする。

【0023】

筐体２は、Ｚ方向に長尺状の矩形状を呈する。筐体２は、金属で形成されている。筐体２は、ＬＥＤ基板３、ヒートシンク４およびダクト７を収容する。筐体２は、前ケース２１及び後ケース２２が互いに組み付けられて構成されている。筐体２の上壁２ａには、筐体２を掴むための把持部２３が設けられている。筐体２の内部における後側には、Ｙ方向を厚さ方向とするドライバ基板１２が配置されている。ドライバ基板１２は、活性エネルギ照射装置１を駆動するための駆動用の電気回路基板である。ドライバ基板１２上には、ドライバ基板１２のトランジスタ等を冷却するドライバ基板用ヒートシンク１３が配置されている。ドライバ基板用ヒートシンク１３は、ドライバ基板１２のトランジスタ等に熱的に接続されている。

【0024】

ＬＥＤ基板３は、所定回路を構成する矩形板状の基板３１（図８参照）と、基板３１上においてＸ方向及びＹ方向に所定ピッチで並設された発光素子であるＬＥＤ素子（活性エネルギ照射部）３２と、を含む。ＬＥＤ素子３２は、光（紫外線）を下方へ向けて出射する。ＬＥＤ基板３は、筐体２の内部における下端部に、基板３１の厚さ方向をＺ方向にして配置されている。ＬＥＤ基板３は、Ｘ方向に沿って並設されている。これにより、筐体２の内部には、数個～数百個のＬＥＤ素子３２が少なくともＸ方向に並べられる。ＬＥＤ基板３の各ＬＥＤ素子３２から出射された光は、筐体２の下壁２ｂに設けられたガラス板からなる光照射窓２４を介して、Ｙ方向に移動する被照射物に照射される。

【0025】

ヒートシンク４は、ＬＥＤ基板３のＬＥＤ素子３２と熱的に接続された放熱部材である。ヒートシンク４は、エアとの熱交換により放熱する空冷式のヒートシンクである。エアは、ＬＥＤ素子３２の冷却用の熱媒体（冷媒）を構成する。ヒートシンク４は、ベースプレート４１、放熱フィン４２、ヒートパイプ４３及び仕切り板（仕切り部材）４４を有する。

【0026】

ベースプレート４１は、矩形板状を呈する。ベースプレート４１の下面には、複数のＬＥＤ基板３が設けられている。ベースプレート４１の下面は、ＬＥＤ基板３の基板３１と当接する。放熱フィン４２は、Ｙ方向を厚さ方向とする平板状を呈する。放熱フィン４２は、ベースプレート４１の上面（表面）上に立設されている。放熱フィン４２は、Ｙ方向（第１方向）において隙間をあけて積層するように並べられている。

【0027】

ヒートパイプ４３は、複数の放熱フィン４２に埋め込まれるように設けられている。ヒートパイプ４３は、複数の放熱フィン４２と熱的に接続されている。仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２と交差するように設けられている。仕切り板４４は、Ｘ方向を厚さ方向とする平板状を呈する。仕切り板４４は、Ｘ方向（第２方向）において複数の放熱フィン４２を仕切る。仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２にＸ方向に互いに離れて一対設けられている。一対の仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２を、Ｘ方向における外側に位置する一対の外側部分４２ｘと、一対の外側部分の間に位置する内側部分４２ｙと、に仕切る。

【0028】

仕切り板４４におけるベースプレート４１側の端は、ベースプレート４１から離れている。つまり、仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２の間において下側（ベースプレート４１側）が上側（ベースプレート４１側とは反対側）よりもエアがＸ方向に通過するように、複数の放熱フィン４２を仕切る。仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２にロウ付けされて固定されている。ヒートシンク４は、ブラケット２５及び支持フレーム２６（図７参照）を介して筐体２に取り付けられている。

【0029】

吸気部５は、筐体２の外部から筐体２の内部へエアを導入する。吸気部５は、筐体２の内部の後述するバッファ空間ＢＦにエアを導入する。吸気部５は、筐体２における前側の壁部２ｃの中央上方寄りの部分に設けられている。吸気部５は、吸気フィルタ（フィルタ部）５１、フィルタ保持部５２及び吸気口５３を有する。

【0030】

図４、図５、図６及び図７に示されるように、吸気フィルタ５１は、筐体２の内部へ導入されるエアに含まれる異物（塵等）を捕集する。吸気フィルタ５１は、例えばウレタン等で形成されている。吸気フィルタ５１は、矩形板状の外形を呈する。吸気フィルタ５１は、前側から見て、壁部２ｃの中央上方寄りの部分に拡がっている。フィルタ保持部５２は、吸気フィルタ５１を収容して保持する。フィルタ保持部５２は、Ｙ方向を厚さ方向とする矩形板状の外板５２ｘを有する。外板５２ｘの前面は、筐体２の壁部２ｃの前面と同一平面上に位置する。フィルタ保持部５２は、ダクト７及びダクト７に設けられた支持フレーム２７に着脱可能に取り付けられている。

【0031】

吸気口５３は、Ｙ方向（ヒートシンク４から排気部６に向かう方向と交差する方向）に沿って開口し且つ筐体２の内部に通じる貫通孔である。吸気口５３は、外板５２ｘにおけるＸ方向の両端部の領域に、互いに近接して並設されている。吸気口５３は、Ｚ方向を長手方向とする長孔形状の貫通孔である。吸気口５３から吸い込まれたエアは、吸気フィルタ５１を介して、筐体２の内部のバッファ空間ＢＦへ導入される（図８参照）。

【0032】

排気部６は、筐体２の内部から筐体２の外部へエアを排出する。排気部６は、筐体２の上端部に設けられている。排気部６は、ファン６１を有する。ファン６１としては、例えば軸流ファンが用いられている。ファン６１は、下側からＺ方向に沿って吸い込んだエアを、上側へＺ方向に沿って圧送する。ファン６１は、筐体２の内部における上端部に固定されている。ファン６１の吐出側であって筐体２の上壁２ａには、例えばウレタン等で形成された排気フィルタ６２が取り付けられている。なお、排気フィルタ６２については、便宜上、図２のみにおいて示し、他の図での表示を省略する。排気部６におけるファン６１の吐出側には、例えば室外への排気用の外部配管（不図示）が接続される。

【0033】

ダクト７は、筐体２の内部におけるヒートシンク４と排気部６との間に設けられている。ダクト７は、ヒートシンク４を通過したエアを排気部６へ流通させる。ダクト７は、ヒートシンク４を通過した不活性ガスを排気部６へ流通させる。ダクト７は、矩形管形状を呈する。ダクト７は、断面積一定でＺ方向に延びる直線部７１と、直線部７１の下流側に設けられ断面積が下流に行くに従って大きくなるようにＺ方向に延びる拡大部７２と、を有する。

【0034】

筐体２の内部におけるダクト７のＸ方向の一方側及び他方側には、吸気部５により外部からエアが導入される空間であるバッファ空間ＢＦ（図８参照）が設けられている。バッファ空間ＢＦは、筐体２の内面とダクト７の直線部７１及び拡大部７２の外面とにより画成された空間である。ダクト７の下端部は、ヒートシンク４の放熱フィン４２に形成された溝４７に差し込まれて固定されている。ダクト７の上端部は、ファン６１の吸込側に固定されている。ダクト７は、支持フレーム２７を介して筐体２に取り付けられている。

【0035】

図２、図３、図４及び図５に示されるように、不活性ガス供給部８は、筐体２の外部に不活性ガスを供給する。不活性ガスとしては、例えば窒素が挙げられる。不活性ガス供給部８は、不活性ガスを供給することにより、複数のＬＥＤ素子３２からの光の照射領域を含む領域に、不活性ガスが支配的な領域（酸素濃度が低い領域）を形成する。不活性ガス供給部８は、筐体２の前側の壁部２ｃにおける下端部に取り付けられている。不活性ガス供給部８は、矩形箱状のパージ筐体８１と、パージ筐体８１の上端面に設けられたソケット８２と、パージ筐体８１の下端部に設けられた噴出口８３と、を有する。不活性ガス供給部８では、ソケット８２から不活性ガスがパージ筐体８１に導入され、当該不活性ガスが噴出口８３から噴出される。

【0036】

不活性ガス吸引部９は、筐体２の外部の不活性ガスを吸引して筐体２の内部に流入させる。不活性ガス吸引部９は、筐体２に取り付けられた構造体である。不活性ガス吸引部９は、筐体２の下壁２ｂにおける後側に、ネジ等の締結具により着脱可能に取り付けられている。不活性ガス吸引部９は、矩形箱状の吸引部筐体９１と、吸引部筐体９１の下面に設けられた吸引口９２と、吸引部筐体９１の内部に設けられた回収流路９３と、を有する（図７参照）。不活性ガス吸引部９では、吸引口９２を介して吸引部筐体９１の内部に不活性ガスが吸引され、当該不活性ガスが回収流路９３により筐体２の内部へ流通される。

【0037】

図６、図７及び図８に示されるように、活性エネルギ照射装置１では、外部のエアが吸気部５により筐体２の内部のバッファ空間ＢＦに導入される。バッファ空間ＢＦに導入されたエアは、Ｚ方向に沿って下方へ流れた後、ヒートシンク４を通過してダクト７内に流入する。このとき、ヒートシンク４では、エアは、一対の外側部分４２ｘそれぞれの複数の放熱フィン４２の間をＺ方向に沿って下方へ流れた後、仕切り板４４とベースプレート４１との間を通って上方に折り返すように流れ、内側部分４２ｙにて合流する。そして、エアは、内側部分４２ｙの複数の放熱フィン４２の間をＺ方向に沿って上方に流れ、ダクト７内へ流入する。

【0038】

また、バッファ空間ＢＦに導入されたエアは、Ｚ方向に沿って下方へ流れた後、ドライバ基板用ヒートシンク１３を通過する。ドライバ基板用ヒートシンク１３を通過したエアは、筐体２の内部における下方後側の空間を介して、ヒートシンク４の内側部分４２ｙの流れに合流し、内側部分４２ｙの複数の放熱フィン４２の間をＺ方向に沿って上方に流れ、ダクト７内へ流入する。ダクト７の内部に流入したエアは、Ｚ方向に沿って上方へ流れ、ファン６１を介して筐体２の外部へ排出される。

【0039】

図７に示されるように、活性エネルギ照射装置１では、不活性ガス供給部８から噴出された不活性ガスは、不活性ガス吸引部９により吸引されて筐体２の内部に流入する。筐体２の内部に流入した不活性ガスは、筐体２の内部における下方後側の空間を介して、ヒートシンク４の内側部分４２ｙの流れに合流し、内側部分４２ｙの複数の放熱フィン４２の間をＺ方向に沿ってエアとともに上方に流れ、ダクト７内へ流入する。ダクト７の内部に流入した不活性ガスは、Ｚ方向に沿ってエアとともに上方に流れ、ファン６１を介してエアとともに筐体２の外部へ排出される。

【0040】

本実施形態の活性エネルギ照射装置１では、図９、図１０、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示されるように、ヒートシンク４のヒートパイプ４３は、Ｘ方向から見てＵ字状に屈曲して延びる。ヒートパイプ４３は、Ｙ方向から見てＺ方向に直線状に延びる。ヒートパイプ４３は、互いにＸ方向に離れて一対設けられた第１ヒートパイプ４８ａ，４８ｂと、一対の第１ヒートパイプ４８ａ，４８ｂの間においてＸ方向に互いに離れて一対設けられた第２ヒートパイプ４９ａ，４９ｂと、を含む。第２ヒートパイプ４９ａ，４９ｂは、第１ヒートパイプ４８ａ，４８ｂよりも長い。

【0041】

図５、図９及び図１０に示されるように、隣接するヒートパイプ４３は、Ｕ字状の向き（Ｕ字状の開口側の方向）が１８０°異なる。具体的には、隣接しない第１ヒートパイプ４８ａ及び第２ヒートパイプ４９ｂは、ベースプレート４１と接するようにＹ方向に沿って後側に直線状に延びた後、上側且つ前側に曲がるように延び、Ｙ方向に沿って前側に直線状に延びる。隣接しない第１ヒートパイプ４８ｂ及び第２ヒートパイプ４９ａは、ベースプレート４１と接するようにＹ方向に沿って前側に直線状に延びた後、上側且つ後側に曲がるように延び、Ｙ方向に沿って後側に直線状に延びる。ヒートパイプ４３は、その直線状に延びる部分が複数の放熱フィン４２にロウ付けされて固定されている。

【0042】

仕切り板４４は、その上端面が放熱フィン４２の上端面と同じ平面上に位置するように設けられている。仕切り板４４は、Ｚ方向において、その下端が放熱フィン４２の中央とベースプレート４１との間に位置するように延びる。つまり、上述したように、仕切り板４４の下端は、ベースプレート４１から離れている。仕切り板４４は、Ｙ方向において、全ての放熱フィン４２と交差するように延びる。

【0043】

仕切り板４４は、複数の放熱フィン４２に形成されたスリット４６に挟まっている。スリット４６は、ベースプレート４１側とは反対側に開口し且つＹ方向に開口する。仕切り板４４の厚さは、スリット４６のＸ方向における幅以下である。スリット４６は、Ｘ方向において、隣り合う第１ヒートパイプ４８ａと第２ヒートパイプ４９ａとの間、及び、隣り合う第１ヒートパイプ４８ｂと第２ヒートパイプ４９ｂとの間のそれぞれに設けられている。つまり、仕切り板４４は、隣り合う第１ヒートパイプ４８ａと第２ヒートパイプ４９ａとの間、及び、隣り合う第１ヒートパイプ４８ｂと第２ヒートパイプ４９ｂとの間のそれぞれに設けられている。

【0044】

図５及び図１２に示されるように、ダクト７の下端部（ヒートシンク４側の端部）は、ヒートシンク４の放熱フィン４２に形成された溝４７に差し込まれている。具体的には、ダクト７の下端部においては、Ｘ方向に対向する一対の側壁（Ｘ方向を厚さ方向とする板状部分）が下方に突出する。溝４７は、上側に開口し且つＹ方向に開口する。溝４７は、複数の放熱フィン４２の上端部においてスリット４６と連なるように設けられている。

【0045】

ダクト７の下端部の厚さは、溝４７のＸ方向における幅以下である。ダクト７の下端部は、熱伝導グリスを介して溝４７に圧入されている。これにより、ダクト７の下端部は、複数の放熱フィン（熱伝導材）４２に熱的に接続されつつ固定されると共に、仕切り板４４のＸ方向の外側に重なるように当接する。その結果、複数の放熱フィン４２において仕切り板４４で仕切られてなる内側部分４２ｙが、ダクト７の内部と気密に連通する。熱伝導グリスは、特に限定されず、種々のグリスを用いることができる。

【0046】

上述したように、筐体２の内部には、図８に示されるバッファ空間ＢＦが形成されている。バッファ空間ＢＦは、ヒートシンク４の一対の外側部分４２ｘにおける複数の放熱フィン４２の間に上側からエアを流入させる流路を構成する。

【0047】

本実施形態の活性エネルギ照射装置１では、筐体２の内部においてダクト７の周囲には、バッファ空間ＢＦ及び吸気部５における吸気フィルタ５１が、当該ダクト７を囲うように設けられている。吸気フィルタ５１の内部には、吸気口５３から導入されたエアが流通可能である。吸気フィルタ５１の内部には、ヒートシンク４に通過する前のエアが存在する。バッファ空間ＢＦには、吸気口５３から導入されて吸気フィルタ５１を通過したエアが流通可能である。バッファ空間ＢＦの内部には、ヒートシンク４に通過する前のエアが存在する。

【0048】

このようなバッファ空間ＢＦ及び吸気フィルタ５１は、エア存在領域を構成する。エア存在領域は、矩形管形状のダクト７の全ての外側面（４側面）と接している。換言すると、ダクト７の外側面は、筐体２の壁面に直接的に接触しておらず、ダクト７の外側面と筐体２の壁面との間に、エア存在領域が介在している。ダクト７の前側面は、吸気フィルタ５１と接しており、ダクト７の前側面以外の３側面は、バッファ空間ＢＦと接している。ダクト７の４側面は、吸気されたエアとしての冷却風に囲われている。

【0049】

以上、活性エネルギ照射装置１では、エア存在領域であるバッファ空間ＢＦ及び吸気部５の吸気フィルタ５１の存在により、ダクト７が筐体２に直接的に接触するのを防ぐことができる。ダクト７を流れるヒートシンク４を通過したエアから、筐体２に熱が伝播するのを抑制することができる。したがって、筐体２が高温になるのを抑制することが可能となる。

【0050】

活性エネルギ照射装置１では、ダクト７の直線部７１及び拡大部７２は、矩形管形状を呈している。ダクト７の直線部７１及び拡大部７２における全ての外側面は、エア存在領域であるバッファ空間ＢＦ及び吸気フィルタ５１と接している。この場合、ダクト７が筐体２に直接的に接触するのを確実に防ぐことができる。

【0051】

活性エネルギ照射装置１では、エア存在領域は、吸気部５によりエアが導入されるバッファ空間ＢＦを含む。この場合、外部からエアが導入される低温のバッファ空間ＢＦにってりエア存在領域を構成することができる。

【0052】

活性エネルギ照射装置１では、バッファ空間ＢＦは、筐体２の内面とダクト７の直線部７１及び拡大部７２の外面とにより画成されている。これにより、バッファ空間ＢＦを具体的に画成することができる。

【0053】

活性エネルギ照射装置１では、エア存在領域は、吸気部５の吸気フィルタ５１を含む。この場合、吸気部５における低温の吸気フィルタ５１によってエア存在領域を構成することができる。

【0054】

活性エネルギ照射装置１では、ダクト７のヒートシンク４側の端部は、ヒートシンク４の放熱フィン４２に形成された溝４７に差し込まれている。この場合、ダクト７と放熱フィン４２との接続においてパッキン等のシール部材を不要にすることが可能となる。

【0055】

活性エネルギ照射装置１では、吸気部５は、Ｙ方向に沿って開口し且つ筐体２の内部に通じる吸気口５３を有する。これにより、筐体２の外部から内部にエアを、ヒートシンク４から排気部６に向かう排気方向と交差する方向に沿って導入することができる。

【0056】

活性エネルギ照射装置１では、ＬＥＤ素子３２が紫外線を照射する。これにより、活性エネルギ照射装置１を紫外線を照射する装置として用いることができる。

【0057】

活性エネルギ照射システム１００は、活性エネルギ照射装置１を複数備え、複数の活性エネルギ照射装置１は、Ｘ方向において互いに当接するように並べられている。活性エネルギ照射システム１００では、活性エネルギ照射装置を備えることから、筐体２が高温になるのを抑制する上記効果が奏される。また、互いに当接するように複数の活性エネルギ照射装置１が並べられることから、筐体２が高温化（特に、Ｘ方向の両端側が高温化）しやすいため、筐体２が高温になるのを抑制する上記効果は特に有効である。
連結しても熱で筐体２があおられることを抑制できる。

【0058】

本発明の一態様は、上記実施形態に限定されない。

【0059】

上記実施形態では、ヒートシンク４の仕切り板４４における下端がベースプレート４１から離れているが、複数の放熱フィン４２の間においてベースプレート４１側がその反対側よりもエアがＸ方向に通過するように構成できれば、この構成に限定されず、以下のように構成してもよい。

【0060】

例えば、仕切り板４４におけるベースプレート４１側に、エアを通過させる通気部（例えば孔又はメッシュ部等）が設けられていてもよい。この場合、通気部をエアが通過する空間とすることができる。複数の放熱フィン４２の間においてベースプレート４１側がその反対側よりもエアがＸ方向に通過する構成を、具体的に実現することが可能となる。

【0061】

例えば、仕切り板４４は、メッシュ部を有し、メッシュ部におけるベースプレート４１側は、メッシュ部におけるベースプレート４１側とは反対側よりも開口率が大きくてもよい。この場合、メッシュ部をエアが通過する空間とすると共に、メッシュ部のベースプレート４１側をエアがより通過する空間とすることができる。複数の放熱フィン４２の間においてベースプレート４１側がその反対側よりもエアがＸ方向に通過する構成を、具体的に実現することが可能となる。

【0062】

上記実施形態では、ヒートシンク４が仕切り板４４を有するが、仕切り板４４に限定されず、ヒートシンク４を仕切ることができる部材であれば、その他の種々の仕切り部材を有していてもよい。上記実施形態では、活性エネルギ照射部としてのＬＥＤ素子３２は紫外線を照射するが、活性エネルギ照射部は、電子線を照射してもよい。この場合、活性エネルギ照射装置を電子線を照射する装置として用いることができる。

【0063】

上記実施形態では、ヒートシンク４はＬＥＤ素子３２の放熱のために用いられており、ＬＥＤ素子３２を発熱部としているが、ヒートシンク４の放熱の対象となる発熱部は、ＬＥＤ素子３２に限定されず、その他の発熱部であってもよい。上記実施形態では、ヒートシンク４の放熱フィン４２の溝４７にダクト７の下端部が差し込まれているが、溝４７に差し込まれる対象はダクト７に限定されず、他の部材であってもよい。この場合、他の部材を溝４７を利用して放熱フィン４２に係合させることが可能となる。

【0064】

上記実施形態では、ダクト７を矩形管形状としたが、ダクト７の形状は特に限定されず、例えばその他の多角管形状であってもよい。上記実施形態では、排気部６がファン６１を有しているが、排気部６の構成は特に限定されない。例えば排気部６は、ファン６１を有さずに、エア及び不活性ガスを室外へ排出する配管を有していてもよい。この場合、当該配管の下流側の接続先にて、エア及び不活性ガスがブロア等により圧送してもよい。

【0065】

上記実施形態では、ダクト７の直線部７１及び拡大部７２の周囲にエア存在領域が存在しているが、直線部７１及び拡大部７２の何れか一方の周囲のみにエア存在領域が存在していてもよいし、直線部７１の一部又は拡大部７２の一部の周囲のみにエア存在領域が存在していてもよい。

【0066】

上記実施形態では、不活性ガス吸引部９を筐体２にネジ等の締結具により着脱可能に取り付けたが、着脱可能に取り付ける構成は特に限定されず、公知の構成を利用することができる。例えば不活性ガス吸引部９を筐体２に対してスライドさせることで、不活性ガス吸引部９を筐体２に着脱可能に取り付けられてもよい。

【0067】

上記実施形態では、活性エネルギ照射システム１００は、Ｘ方向に一列に並べられた複数の活性エネルギ照射装置１を備えるが、これに限定されない。本発明の一態様に係る活性エネルギ照射装置の数及びその配置は、特に限定されず、システムの仕様等に応じて適宜に変更してもよく、例えば図１３に示される活性エネルギ照射システム１００Ｚのように構成してもよい。活性エネルギ照射システム１００Ｚは、固定プレート１１に固定されＸ方向に当接するように並べられた複数の活性エネルギ照射装置１Ｚからなるユニットを、一対備えている。図１３に示される例では、Ｙ方向において、活性エネルギ照射装置１Ｚはその背面（後面）が当接するように並べられている。活性エネルギ照射装置１Ｚは、不活性ガス供給部８を備えていない以外は活性エネルギ照射装置１（図２参照）と同様に構成されている。なお、図１及び図１３に示されるように、複数の活性エネルギ照射装置１，１Ｚは、その筐体２の冷却面（筐体２の内部におけるヒートシンク４に通過する前のエアが存在する領域に隣接する、筐体２の壁面）が当接（連結）可能である。

【0068】

上述した実施形態及び変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。また、上述した実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。

【符号の説明】

【0069】

１，１Ｚ…活性エネルギ照射装置、２…筐体、４…ヒートシンク、５…吸気部、６…排気部、７…ダクト、８…不活性ガス供給部、９…不活性ガス吸引部、３２…ＬＥＤ素子（活性エネルギ照射部）、４２…放熱フィン、４７…溝、５１…吸気フィルタ（フィルタ部、エア存在領域）、５３…吸気口、７１…直線部、７２…拡大部、１００，１００Ｚ…活性エネルギ照射システム、ＢＦ…バッファ空間（空間，エア存在領域）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】