特許7542794ターゲット容器、成膜方法、及び、ターゲット容器製造方法

発明の名称　ターゲット容器、成膜方法、及び、ターゲット容器製造方法

出願人　学校法人同志社　（識別番号 503027931）

　　　　特許公開件数ランキング 1868 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2123 位（12件）（共同出願を含む）

出願人　大鉢　忠　（識別番号 516088190）

　　　　特許公開件数ランキング 30662 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24916 位（0件）（共同出願を含む）

出願人　ヤマナカヒューテック株式会社　（識別番号 502265367）

　　　　特許公開件数ランキング 30662 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24916 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7542794

公報発行日　2024年9月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7542794

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