特許7543119基板処理装置

発明の名称　基板処理装置

出願人　芝浦メカトロニクス株式会社　（識別番号 2428）

　　　　特許公開件数ランキング 490 位（56件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 395 位（65件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7543119

公報発行日　2024年9月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7543119

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7543119「基板処理装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録