特許 7543597 搬送路切換装置、搬送システムおよび搬送路切換方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-23

(45)【発行日】2024-09-02

(54)【発明の名称】搬送路切換装置、搬送システムおよび搬送路切換方法

(51)【国際特許分類】

   B65G 54/02 20060101AFI20240826BHJP

   B65G 47/52 20060101ALI20240826BHJP

   B65G 47/64 20060101ALI20240826BHJP

【ＦＩ】

B65G54/02

B65G47/52 Z

B65G47/64

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2024502395

(86)(22)【出願日】2022-02-25

(86)【国際出願番号】 JP2022007997

(87)【国際公開番号】W WO2023162165

(87)【国際公開日】2023-08-31

【審査請求日】2024-03-07

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105935

【弁理士】

【氏名又は名称】振角 正一

(74)【代理人】

【識別番号】100136836

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 一正

(72)【発明者】

【氏名】山口 洸太

【審査官】板澤 敏明

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０２１／２２９７８１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１９－１０３２２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／０５５７０９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２００８／００２９２３８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－２１３５５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ ５４／００－５４／０２

Ｂ６５Ｇ ４７／５２

Ｂ６５Ｇ ４７／６４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

コンベアテーブルを所定の搬送方向に搬送する可動リニアコンベアと、
前記搬送方向に対して傾斜する切換方向において互いに異なる第１位置と第２位置との間で前記可動リニアコンベアを移動させるコンベア移動ユニットと
を備え、
前記第１位置に対しては、前記搬送方向の一方側から第１固定リニアコンベアが対向し、
前記第２位置に対しては、前記搬送方向の前記一方側と逆の他方側から第２固定リニアコンベアが対応し、
前記可動リニアコンベアは、前記第１位置に停止しつつ、前記第１固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載し、
前記可動リニアコンベアは、前記第２位置に停止しつつ、前記第２固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載し、
前記コンベア移動ユニットは、前記第２位置に位置する前記可動リニアコンベアの前記他方側の端である他方端と前記第２固定リニアコンベアとの間に前記搬送方向へ間隔を空けつつ、前記第２固定リニアコンベアに対して前記可動リニアコンベアを支持する他方側支持機構を有し、
前記他方側支持機構は、前記搬送方向において前記可動リニアコンベアの前記他方端の前記他方側への変位を許容する搬送路切換装置。

【請求項2】

前記他方側支持機構は、前記可動リニアコンベアに取り付けられる可動部材と、前記第２固定リニアコンベアに取り付けられた案内部と、前記案内部によって前記切換方向に案内される被案内部材と、前記被案内部材に対して前記可動部材を支持する他方側支持部とを有し、
前記他方側支持部は、前記搬送方向において前記被案内部材に対する前記可動部材の前記他方側への移動を許容し、前記切換方向において前記被案内部材に対して前記可動部材を拘束する請求項１に記載の搬送路切換装置。

【請求項3】

前記他方側支持部は、前記可動部材および被案内部材のうち一の部材に取り付けられて前記搬送方向に延設されるシャフトと、前記可動部材および被案内部材のうちの前記一の部材と異なる他の部材に取り付けられて前記搬送方向に開口する滑り軸受けとを有し、
前記シャフトは、前記滑り軸受けに嵌入されて、前記滑り軸受けに対して前記搬送方向に滑る請求項２に記載の搬送路切換装置。

【請求項4】

前記他方側支持機構は、前記可動部材の前記他方側に設けられた規制部材を有し、
前記可動リニアコンベアの熱変形による前記他方端の前記他方側への変位に応じて、前記可動部材が前記他方側へ変位するのに伴って前記規制部材に突き当たることで、前記可動部材の前記他方側への変位が前記規制部材により規制され、
前記可動部材の前記他方側への変位が前記規制部材により規制された状態において、前記可動リニアコンベアの前記他方端と前記第２固定リニアコンベアとの間に間隔が空いている請求項２または３に記載の搬送路切換装置。

【請求項5】

前記コンベア移動ユニットは、前記第１位置に位置する前記可動リニアコンベアの前記一方側の端である一方端と前記第１固定リニアコンベアとの間に前記搬送方向へ間隔を空けつつ、前記第１固定リニアコンベアに対して前記可動リニアコンベアを支持する一方側支持機構を有し、
前記一方側支持機構は、前記搬送方向において前記可動リニアコンベアの前記一方端の前記一方側への変位を許容する請求項１ないし４のいずれか一項に記載の搬送路切換装置。

【請求項6】

前記一方側支持機構は、前記第１固定リニアコンベアに取り付けられた単軸ロボットと、前記単軸ロボットによって前記切換方向に駆動される被駆動部材と、前記被駆動部材に対して前記可動リニアコンベアを支持する一方側支持部とを有し、
前記一方側支持部は、前記搬送方向において前記被駆動部材に対する前記可動リニアコンベアの前記一方側への移動を許容し、前記切換方向において前記被駆動部材に対して可動リニアコンベアを拘束する請求項５に記載の搬送路切換装置。

【請求項7】

前記一方側支持部は、前記搬送方向に設けられたスライドガイドである請求項６に記載の搬送路切換装置。

【請求項8】

前記一方側支持機構は、前記搬送方向において前記一方側支持部と前記他方側支持機構との間の位置で前記被駆動部材と前記可動リニアコンベアとを固定する固定部材を有する請求項６または７に記載の搬送路切換装置。

【請求項9】

前記コンベア移動ユニットは、前記第１位置に位置する前記可動リニアコンベアの前記一方側の端である一方端と前記第１固定リニアコンベアとの間に前記搬送方向へ間隔を空けつつ、前記第１固定リニアコンベアに対して前記可動リニアコンベアを支持する一方側支持機構を有し、
前記一方側支持機構は、前記搬送方向において前記可動リニアコンベアを拘束する請求項１ないし４のいずれか一項に記載の搬送路切換装置。

【請求項10】

前記他方側支持機構は、前記第２固定リニアコンベアに取り付けられた単軸ロボットと、前記単軸ロボットによって前記切換方向に駆動される被駆動部材と、前記被駆動部材に対して前記可動リニアコンベアを支持する他方側支持部とを有し、
前記他方側支持部は、前記搬送方向において前記被駆動部材に対する前記可動リニアコンベアの前記他方側への移動を許容し、前記切換方向において前記被駆動部材に対して可動リニアコンベアを拘束する請求項１に記載の搬送路切換装置。

【請求項11】

搬送方向にコンベアテーブルを駆動する第１固定リニアコンベアと、
前記搬送方向に前記コンベアテーブルを駆動する第２固定リニアコンベアと、
前記搬送方向において前記第１固定リニアコンベアと前記第２固定リニアコンベアとの間に配置された請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の搬送路切換装置と
を備える搬送システム。

【請求項12】

コンベアテーブルを所定の搬送方向に搬送する可動リニアコンベアを、コンベア移動ユニットが前記搬送方向に対して傾斜する切換方向において互いに異なる第１位置と第２位置との間で移動させる工程を備え、
前記第１位置に対しては、前記搬送方向の一方側から第１固定リニアコンベアが対向し、
前記第２位置に対しては、前記搬送方向の前記一方側と逆の他方側から第２固定リニアコンベアが対応し、
前記可動リニアコンベアは、前記第１位置に停止しつつ、前記第１固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載し、
前記可動リニアコンベアは、前記第２位置に停止しつつ、前記第２固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載し、
前記コンベア移動ユニットは、前記第２位置に位置する前記可動リニアコンベアの前記他方側の端である他方端と前記第２固定リニアコンベアとの間に前記搬送方向へ間隔を空けつつ、前記第２固定リニアコンベアに対して前記可動リニアコンベアを支持する他方側支持機構を有し、
前記他方側支持機構は、前記搬送方向において前記可動リニアコンベアの前記他方端の前記他方側への変位を許容する搬送路切換方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、可動リニアコンベアの両側に配置された２個の固定リニアコンベアの間におけるテーブルコンベアの搬送路の切り換えを可動リニアコンベアによって実行する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１では、並列に配置された２本の固定リニアコンベアの間でテーブルコンベアを搬送する可動リニアコンベアを用いて、テーブルコンベアを循環的に搬送する循環搬送装置が記載されている。かかる循環搬送装置では、２本の固定リニアコンベアのうち一方に対向する位置と、他方に対向する位置との間で、可動リニアコンベアは移動可能である。この可動リニアコンベアは、一方の固定リニアコンベアに対向する位置で、一方の固定リニアコンベアとの間でテーブルコンベアを受け渡し、他方の固定リニアコンベアに対向する位置で、他方の固定リニアコンベアとの間でテーブルコンベアを受け渡す。

【0003】

また、このようなリニアコンベアでは、例えば特許文献２に示されるように、発熱に伴って変形が発生しうる。特に特許文献１のように、取付架台に取り付けられた固定リニアコンベアでは、長尺方向への伸縮が拘束されるため、発熱に伴って反りが発生してしまう場合があった。そこで、特許文献１では、固定リニアコンベアのフレームを取付架台に支持するにあたって、フレームの一端を取付架台に固定する一方、フレームの他端を取付架台に固定しないことで、発熱に伴うフレームの反りを抑制している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】ＷＯ２０２１／２２９７８１

【文献】特開２０１９－０８３５９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上記のような熱変形は可動リニアコンベアにも発生しうる。そして、可動リニアコンベアの熱変形は、可動リニアコンベアの両側に配置された固定リニアコンベアの間で搬送路を切り換える構成においては、対応することが難しかった。つまり、一方側の固定リニアコンベアと他方側の固定リニアコンベアとの間で搬送路を切り換えるために、これらの間に配置された可動リニアコンベアが用いられる。このような場合、一方側の固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載する際には、可動リニアコンベアの一端が一方側の固定リニアコンベアに対向し、他方側の固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載する際には、可動リニアコンベアの他端が他方側の固定リニアコンベアに対向する。したがって、例えば上記のように、可動リニアコンベアの両端のうちの一の端を解放するとしても、当該一の端に対向する固定リニアコンベアと当該一の端とが、可動リニアコンベアの熱変形に伴って接触すると、可動リニアコンベアが反ることになる。

【0006】

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、可動リニアコンベアの熱変形に起因して、可動リニアコンベアと当該可動リニアコンベアに隣接する固定リニアコンベアとが接触するのを回避して、可動リニアコンベアの反りの発生を抑制することを可能とすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係る搬送路切換装置は、コンベアテーブルを所定の搬送方向に搬送する可動リニアコンベアと、搬送方向に対して傾斜する切換方向において互いに異なる第１位置と第２位置との間で可動リニアコンベアを移動させるコンベア移動ユニットとを備え、第１位置に対しては、搬送方向の一方側から第１固定リニアコンベアが対向し、第２位置に対しては、搬送方向の一方側と逆の他方側から第２固定リニアコンベアが対応し、可動リニアコンベアは、第１位置に停止しつつ、第１固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載し、可動リニアコンベアは、第２位置に停止しつつ、第２固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載し、コンベア移動ユニットは、第２位置に位置する可動リニアコンベアの他方側の端である他方端と第２固定リニアコンベアとの間に搬送方向へ間隔を空けつつ、第２固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアを支持する他方側支持機構を有し、他方側支持機構は、搬送方向において可動リニアコンベアの他方端の他方側への変位を許容する。

【0008】

本発明に係る搬送システムは、搬送方向にコンベアテーブルを駆動する第１固定リニアコンベアと、搬送方向にコンベアテーブルを駆動する第２固定リニアコンベアと、搬送方向において第１固定リニアコンベアと第２固定リニアコンベアとの間に配置された上記の搬送路切換装置とを備える。

【0009】

本発明に係る搬送路切換方法は、コンベアテーブルを所定の搬送方向に搬送する可動リニアコンベアを、コンベア移動ユニットが搬送方向に対して傾斜する切換方向において互いに異なる第１位置と第２位置との間で移動させる工程を備え、第１位置に対しては、搬送方向の一方側から第１固定リニアコンベアが対向し、第２位置に対しては、搬送方向の一方側と逆の他方側から第２固定リニアコンベアが対応し、可動リニアコンベアは、第１位置に停止しつつ、第１固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載し、可動リニアコンベアは、第２位置に停止しつつ、第２固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載し、コンベア移動ユニットは、第２位置に位置する可動リニアコンベアの他方側の端である他方端と第２固定リニアコンベアとの間に搬送方向へ間隔を空けつつ、第２固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアを支持する他方側支持機構を有し、他方側支持機構は、搬送方向において可動リニアコンベアの他方端の他方側への変位を許容する。

【0010】

このように構成された本発明（搬送路切換装置、搬送システムおよび搬送路切換方法）では、搬送方向において可動リニアコンベアの他方端の他方側への変位を許容する他方側支持機構が設けられており、換言すれば、可動リニアコンベアの他方端が解放されている。特に、この他方側支持機構は、第２位置に位置する可動リニアコンベアの他方端と第２固定リニアコンベアとの間に搬送方向へ間隔を空けつつ、第２固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアを支持する。このように、第２固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアを支持する他方側支持機構によって可動リニアコンベアの他方端と第２固定リニアコンベアとの間に間隔を設けることで、これらの間に確実に間隔を形成することができる。したがって、解放された他方端の変位を当該間隔によって吸収して、可動リニアコンベアの他方端と第２固定リニアコンベアとの接触を回避することができる。こうして、可動リニアコンベアの熱変形に起因して、可動リニアコンベアと当該可動リニアコンベアに隣接する固定リニアコンベアとが接触するのを回避して、可動リニアコンベアの反りの発生を抑制することが可能となっている。

【0011】

また、他方側支持機構は、可動リニアコンベアに取り付けられる可動部材と、第２固定リニアコンベアに取り付けられた案内部と、案内部によって切換方向に案内される被案内部材と、被案内部材に対して可動部材を支持する他方側支持部とを有し、他方側支持部は、搬送方向において被案内部材に対する可動部材の他方側への移動を許容し、切換方向において被案内部材に対して可動部材を拘束するように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、可動部材が可動リニアコンベアに取り付けられ、この可動部材は、切換方向に案内される被案内部材に対して、他方側支持部によって支持される。この他方側支持部は、切換方向において被案内部材に対して可動部材を拘束することから、被案内部が切換方向に案内されると、可動部材が被案内部に伴って移動し、さらに可動リニアコンベアが可動部材に伴って移動する。こうして、可動リニアコンベアを切換方向に適切に案内することができる。また、他方側支持部は、搬送方向において被案内部材に対する可動部材の他方側への移動を許容することから、可動リニアコンベアの熱変形に伴って可動部材は他方側へ移動することができ、可動リニアコンベアの他方端の変位が妨げられない。その結果、可動リニアコンベアの切換方向への案内と、可動リニアコンベアの反りの抑制との両機能を実現することが可能となっている。

【0012】

また、他方側支持部は、可動部材および被案内部材のうち一の部材に取り付けられて搬送方向に延設されるシャフトと、可動部材および被案内部材のうちの一の部材と異なる他の部材に取り付けられて搬送方向に開口する滑り軸受けとを有し、シャフトは、滑り軸受けに嵌入されて、滑り軸受けに対して搬送方向に滑るように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、可動リニアコンベアの切換方向への案内と、可動リニアコンベアの反りの抑制との両機能を簡便な構成で実現することができる。

【0013】

また、他方側支持機構は、可動部材の他方側に設けられた規制部材を有し、可動リニアコンベアの熱変形による他方端の他方側への変位に応じて、可動部材が他方側へ変位するのに伴って規制部材に突き当たることで、可動部材の他方側への変位が規制部材により規制され、可動部材の他方側への変位が規制部材により規制された状態において、可動リニアコンベアの他方端と第２固定リニアコンベアとの間に間隔が空いているように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、熱変形が大きい場合には、可動リニアコンベアの他方端の変位を規制部材によって抑えて、可動リニアコンベアの他方端と第２固定リニアコンベアとの接触を回避することができる。

【0014】

また、コンベア移動ユニットは、第１位置に位置する可動リニアコンベアの一方側の端である一方端と第１固定リニアコンベアとの間に搬送方向へ間隔を空けつつ、第１固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアを支持する一方側支持機構を有し、一方側支持機構は、搬送方向において可動リニアコンベアの一方端の一方側への変位を許容するように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、搬送方向において可動リニアコンベアの一方端の一方側への変位を許容する一方側支持機構が設けられており、換言すれば、可動リニアコンベアの一方端が解放されている。特に、この一方側支持機構は、第１位置に位置する可動リニアコンベアの一方側の端である一方端と第１固定リニアコンベアとの間に搬送方向へ間隔を空けつつ、第１固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアを支持する。このように、第１固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアを支持する一方側支持機構によって可動リニアコンベアの一方端と第１固定リニアコンベアとの間に間隔を設けることで、これらの間に確実に間隔を形成することができる。したがって、解放された一方端の変位を当該間隔によって吸収して、可動リニアコンベアの一方端と第１固定リニアコンベアとの接触を回避することができる。こうして、可動リニアコンベアの熱変形に起因して、可動リニアコンベアと当該可動リニアコンベアに隣接する固定リニアコンベアとが接触するのを回避して、可動リニアコンベアの反りの発生を抑制することが可能となっている。

【0015】

また、一方側支持機構は、第１固定リニアコンベアに取り付けられた単軸ロボットと、単軸ロボットによって切換方向に駆動される被駆動部材と、被駆動部材に対して可動リニアコンベアを支持する一方側支持部とを有し、一方側支持部は、搬送方向において被駆動部材に対する可動リニアコンベアの一方側への移動を許容し、切換方向において被駆動部材に対して可動リニアコンベアを拘束するように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、単軸ロボットによって切換方向に駆動される被駆動部に対して、可動リニアコンベアが一方側支持部によって支持される。この一方側支持部は、切換方向において被駆動部材に対して可動リニアコンベアを拘束することから、被駆動部材が切換方向に駆動されると、可動リニアコンベアが被駆動部材に伴って移動する。こうして、可動リニアコンベアを切換方向に適切に駆動することができる。また、一方側支持部は、搬送方向において被駆動部材に対する可動リニアコンベアの一方側への移動を許容することから、可動リニアコンベアの熱変形に伴って可動リニアコンベアは一方側へ移動することができ、可動リニアコンベアの一方端の変位が妨げられない。その結果、可動リニアコンベアの切換方向への駆動と、可動リニアコンベアの反りの抑制との両機能を実現することが可能となっている。

【0016】

また、一方側支持部は、搬送方向に設けられたスライドガイドであるように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、可動リニアコンベアの切換方向への案内と、可動リニアコンベアの反りの抑制との両機能を簡便な構成で実現することができる。

【0017】

また、一方側支持機構は、搬送方向において一方側支持部と他方側支持機構との間の位置で被駆動部材と可動リニアコンベアとを固定する固定部材を有するように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、固定部材によって固定される位置の両側に、可動リニアコンベアの変形が分散される。したがって、可動リニアコンベアの両端の変位をバランスさせることができ、当該両端に対して設けられた固定リニアコンベアとの両間隔のそれぞれを有効に活用して、可動リニアコンベアの端と固定リニアコンベアとの接触を効果的に回避することができる。

【0018】

また、コンベア移動ユニットは、第１位置に位置する可動リニアコンベアの一方側の端である一方端と第１固定リニアコンベアとの間に搬送方向へ間隔を空けつつ、第１固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアを支持する一方側支持機構を有し、一方側支持機構は、搬送方向において可動リニアコンベアを拘束するように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、可動リニアコンベアの一方端と固定リニアコンベアとの接触を確実に回避することができる。

【0019】

また、他方側支持機構は、第２固定リニアコンベアに取り付けられた単軸ロボットと、単軸ロボットによって切換方向に駆動される被駆動部材と、被駆動部材に対して可動リニアコンベアを支持する他方側支持部とを有し、他方側支持部は、搬送方向において被駆動部材に対する可動リニアコンベアの他方側への移動を許容し、切換方向において被駆動部材に対して可動リニアコンベアを拘束するように、搬送路切換装置を構成してもよい。かかる構成では、可動リニアコンベアが、単軸ロボットによって切換方向に駆動される被駆動部に対して、他方側支持部によって支持される。この他方側支持部は、切換方向に被駆動部材に対して可動リニアコンベアを拘束することから、被駆動部材が切換方向に駆動されると、可動リニアコンベアが被駆動部材に伴って移動する。こうして、可動リニアコンベアを切換方向に適切に駆動することができる。また、他方側支持部は、搬送方向において被駆動部材に対する可動リニアコンベアの他方側への移動を許容することから、可動リニアコンベアの熱変形に伴って可動リニアコンベアは他方側へ移動することができ、可動リニアコンベアの他方端の変位が妨げられない。その結果、可動リニアコンベアの切換方向への駆動と、可動リニアコンベアの反りの抑制との両機能を実現することが可能となっている。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、可動リニアコンベアの熱変形に起因して、可動リニアコンベアと当該可動リニアコンベアに隣接する固定リニアコンベアとが接触するのを回避して、可動リニアコンベアの反りの発生を抑制することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1A】発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図。

【図1B】発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図。

【図1C】発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図。

【図1D】発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図。

【図1E】発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図。

【図2】図１Ａないし図１Ｅに示す基板搬送システムが具備する電気的構成を示すブロック図。

【図3】基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第１例を模式的に示す正面図。

【図4】単軸ロボットによって可動リニアコンベアを支持する支持機構を模式的に示す側面図。

【図5】スライドガイドによって可動リニアコンベアを支持する支持機構を模式的に示す側面図。

【図6】図５に示す支持機構の機能を模式的に示す部分拡大断面図。

【図7】基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第２例を模式的に示す正面図。

【図8】基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第３例を模式的に示す正面図。

【図9】２台の単軸ロボットを備える分岐搬送装置における移載制御の一例を示すフローチャート。

【図10】基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第４例を模式的に示す正面図。

【図11】図１０の分岐搬送装置が有するリンク機構の一例を模式的に示す側面図。

【図12】基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第５例を模式的に示す正面図。

【発明を実施するための形態】

【0022】

図１Ａないし図１Ｅは本発明に係る搬送システムの構成および動作を模式的に示す平面図であり、図２は図１Ａないし図１Ｅに示す基板搬送システムが具備する電気的構成を示すブロック図である。本明細書の図では、水平方向であるＸ方向、Ｘ方向に直交する水平方向であるＹ方向および鉛直方向であるＺ方向を適宜示すとともに、Ｘ方向において互いに逆を向くＸｌ側（図１ないし図１Ｅの紙面左側）およびＸｒ側（図１ないし図１Ｅの紙面右側）を適宜示す。

【0023】

図１Ａないし図１Ｅに示すように、搬送システム１は、２台の取付架台１１と、４台の固定リニアコンベア２とを備える。なお、２台の取付架台１１を区別する場合には、取付架台１１ｌ、１１ｒと適宜称し、４台の固定リニアコンベア２を区別する場合には、固定リニアコンベア２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄと適宜称することとする。また、図２では、４台の固定リニアコンベア２を代表して１台の固定リニアコンベア２が示されている。

【0024】

２台の取付架台１１ｌ、１１ｒは、Ｘ方向に間隔１２を空けて配置され、Ｘ方向に平行な２辺とＹ方向に平行な２辺により構成される矩形を平面視において有する。４台の固定リニアコンベア２のうち、２台の固定リニアコンベア２ａ、２ｄは、Ｘｌ側の取付架台１１ｌの上面１１１に配置され、２台の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃは、Ｘｒ側の取付架台１１ｒの上面１１１に配置される。各取付架台１１ｌ、１１ｒの上面１１１は、Ｚ方向に直交する水平な平面である。

【0025】

４台の固定リニアコンベア２はいずれもＸ方向に平行に配置される。特に、取付架台１１ｌ上の２台の固定リニアコンベア２ａ、２ｄはＸ方向に互いに並列に配置され、取付架台１１ｒ上の２台の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃはＸ方向に互いに並列に配置される。また、取付架台１１ｌ上の固定リニアコンベア２ａと取付架台１１ｒ上の固定リニアコンベア２ｃとはＸ方向に直列に配置され、取付架台１１ｌ上の固定リニアコンベア２ｄと取付架台１１ｒ上の固定リニアコンベア２ｂとはＸ方向に直列に配置される。そして、搬送システム１は、これらの固定リニアコンベア２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄの間でテーブルコンベアＴを搬送することができる。

【0026】

固定リニアコンベア２は、Ｘ方向に延設されたリニアハウジング２１を備え、リニアハウジング２１は、Ｘ方向に平行な２辺とＹ方向に平行な２辺により構成される矩形を平面視において有する。このリニアハウジング２１は、Ｙ方向の両側に突出するフランジ２３を有し、フランジ２３が取付架台１１の上面１１１にネジによって締結されることで、固定リニアコンベア２が取付架台１１の上面１１１に固定される。また、リニアハウジング２１のＸｌ側の端面２１ｌおよびＸｒ側の端面２１ｒは、Ｘ方向に垂直に立設されている。

【0027】

かかるリニアハウジング２１に対しては、テーブルコンベアＴがＸ方向から係合・離脱することができる。つまり、テーブルコンベアＴは、リニアハウジング２１のＸｌ側から端面２１ｌに進入することで、リニアハウジング２１の上部に係合でき、リニアハウジング２１のＸｒ側から端面２１ｒに進入することで、リニアハウジング２１の上部に係合する。このようにリニアハウジング２１に係合したテーブルコンベアＴは、リニアハウジング２１によってＸ方向に案内される。また、リニアハウジング２１に係合したテーブルコンベアＴは、端面２１ｌからＸｌ側へ退出することで、リニアハウジング２１の上部から離脱し、端面２１ｒからＸｒ側へ退出することで、リニアハウジング２１の上部から離脱する。

【0028】

さらに、固定リニアコンベア２は、リニアハウジング２１内に配置されたリニアモータ固定子２５と、リニアスケール２７とを有する（図２）。リニアモータ固定子２５は、印加される電流に応じた磁界を発生するコイルを有する。これに対して、テーブルコンベアＴは、可動子である永久磁石を有し、リニアモータ固定子２５は、リニアハウジング２１に係合するテーブルコンベアＴの可動子との間に生じる磁力によって、テーブルコンベアＴをＸ方向に駆動する。また、リニアスケール２７は、Ｘ方向におけるテーブルコンベアＴの位置（Ｘ座標）を検出する。

【0029】

可動リニアコンベア３は、平面視において、Ｘ方向における取付架台１１ｌと取付架台１１ｒとの間の間隔１２に配置される。可動リニアコンベア３は、Ｘ方向に延設されたリニアハウジング３１を備え、リニアハウジング３１は、Ｘ方向に平行な２辺とＹ方向に平行な２辺により構成される矩形を平面視において有する。このリニアハウジング３１は、Ｙ方向の両側に突出するフランジ３３を有する。また、リニアハウジング３１のＸｌ側の端面３１ｌおよびＸｒ側の端面３１ｒは、Ｘ方向に垂直に立設されている。

【0030】

かかるリニアハウジング３１に対しては、テーブルコンベアＴがＸ方向から係合・離脱することができる。つまり、テーブルコンベアＴは、リニアハウジング３１のＸｌ側から端面３１ｌに進入することで、リニアハウジング３１の上部に係合でき、リニアハウジング３１のＸｒ側から端面３１ｒに進入することで、リニアハウジング３１の上部に係合する。このようにリニアハウジング３１に係合したテーブルコンベアＴは、リニアハウジング３１によってＸ方向に案内される。また、リニアハウジング３１に係合したテーブルコンベアＴは、端面３１ｌからＸｌ側へ退出することで、リニアハウジング３１の上部から離脱し、端面３１ｒからＸｒ側へ退出することで、リニアハウジング３１の上部から離脱する。

【0031】

さらに、可動リニアコンベア３は、リニアハウジング３１内に配置されたリニアモータ固定子３５と、リニアスケール３７とを有する（図２）。リニアモータ固定子３５は、印加される電流に応じた磁界を発生するコイルを有する。このリニアモータ固定子３５は、リニアハウジング３１に係合するテーブルコンベアＴの可動子との間に生じる磁力によって、テーブルコンベアＴをＸ方向に駆動する。また、リニアスケール３７は、Ｘ方向におけるテーブルコンベアＴの位置（Ｘ座標）を検出する。

【0032】

可動リニアコンベア３が配置される間隔１２では、可動リニアコンベア３の可動範囲ＹｍがＹ方向に平行に延設されている。搬送システム１は、この可動範囲Ｙｍに対して設けられたコンベア移動ユニット４を備え、コンベア移動ユニット４が可動リニアコンベア３を可動範囲ＹｍにおいてＹ方向に移動させる。このコンベア移動ユニット４は、可動範囲ＹｍのＸｌ側に対して配置された支持機構４１と、可動範囲ＹｍのＸｒ側に対して配置された支持機構４３とを有する。

【0033】

支持機構４１は、Ｙ方向に平行に配置された単軸ロボット５１を有する。単軸ロボット５１は、Ｙ方向に延設されたロボット本体５２を有する。ロボット本体５２は、Ｙ方向に延設されたロボットハウジング５２１と、ロボットハウジング５２１内でＹ方向に平行に配置されたボールネジ５２３とを有する。このロボットハウジング５２１は、固定プレート１３を介して取付架台１１ｌの上面１１１に固定される。具体的には、Ｘ方向において、取付架台１１の上面１１１と単軸ロボット５１のロボットハウジング５２１の上面５２１ｔとを跨ぐように固定プレート１３が上側から配置される。そして、固定プレート１３のＸｌ側の端部が取付架台１１の上面１１１にネジ（締結部材）によって締結・固定されるとともに、固定プレート１３のＸｒ側の端部が単軸ロボット５１のロボットハウジング５２１の上面５２１ｔにネジ（締結部材）によって締結・固定される。特に、一対の固定プレート１３が固定リニアコンベア２をＹ方向から挟むように、固定リニアコンベア２ａ、２ｄのそれぞれに対して各固定プレート１３が配置されている。さらに、ロボットハウジング５２１は、後述するように、固定リニアコンベア２ａ、２ｄのそれぞれに固定される。また、単軸ロボット５１は、Ｙ方向においてロボット本体５２の一端に取り付けられた駆動モータ５３１と、駆動モータ５３１の回転位置を検出するエンコーダ５３２（図２）とを有し、駆動モータ５３１がボールネジ５２３に接続されている。単軸ロボット５１のボールネジ５２３のナットは、可動リニアコンベア３のＸｌ側の端部に接続されており、駆動モータ５３１がボールネジ５２３のネジ軸を回転させると、可動リニアコンベア３がＹ方向に移動する。

【0034】

また、支持機構４３は、Ｙ方向に平行に延設されたＹ軸コンベアガイド７１を有する。Ｙ軸コンベアガイド７１は、固定プレート１３を介して取付架台１１ｒの上面１１１に固定される。具体的には、Ｘ方向において、取付架台１１の上面１１１とＹ軸コンベアガイド７１の上面７２２ｔとを跨ぐように固定プレート１３が上側から配置される。そして、固定プレート１３のＸｒ側の端部が取付架台１１の上面１１１にネジ（締結部材）によって締結・固定されるとともに、固定プレート１３のＸｌ側の端部がＹ軸コンベアガイド７１の上面７２２ｔにネジ（締結部材）によって締結・固定される。特に、一対の固定プレート１３が固定リニアコンベア２をＹ方向から挟むように、固定リニアコンベア２ｂ、２ｃのそれぞれに対して各固定プレート１３が配置されている。さらに、Ｙ軸コンベアガイド７１は、後述するように、固定リニアコンベア２ｂ、２ｃのそれぞれに固定される。Ｙ軸コンベアガイド７１は、可動リニアコンベア３のＸｒ側の端部に接続されており、駆動モータ５３１の駆動力によって移動する可動リニアコンベア３をＹ方向に案内する。

【0035】

さらに、搬送システム１は、４台の固定リニアコンベア２、可動リニアコンベア３および単軸ロボット５１を制御する制御部１００（図２）を有する。この制御部１００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）といったプロセッサあるいはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等によって構成される。制御部１００は、リニアスケール２７によって検出したテーブルコンベアＴの位置に基づきリニアモータ固定子２５に印加する電流を調整することでテーブルコンベアＴの位置を制御するフィードバック制御を各固定リニアコンベア２に対して実行する。また、制御部１００は、リニアスケール３７によって検出したテーブルコンベアＴの位置に基づきリニアモータ固定子３５に印加する電流を調整することでテーブルコンベアＴの位置をＸ方向に制御するフィードバック制御を可動リニアコンベア３に対して実行する。さらに、制御部１００は、エンコーダ５３２が検出した駆動モータ５３１の回転位置、換言すればＹ方向への可動リニアコンベア３の位置（Ｙ座標）に基づき駆動モータ５３１の回転位置を調整することでテーブルコンベアＴの位置をＹ方向に制御するフィードバック制御を単軸ロボット５１に対して実行する。

【0036】

かかる搬送システム１では、可動リニアコンベア３は、可動範囲ＹｍにおいてＹ方向に移動可能であり、可動範囲Ｙｍに含まれる複数の対向位置Ｌｆ１、Ｌｆ２のいずれかに位置することができる。ここで、対向位置Ｌｆ１、Ｌｆ２はＹ方向において互いに異なる位置であり、対向位置Ｌｆ１は、Ｘ方向において固定リニアコンベア２ａ、２ｃに対向し、対向位置Ｌｆ２は、Ｘ方向において固定リニアコンベア２ｂ、２ｄに対向する。つまり、対向位置Ｌｆ１に位置する可動リニアコンベア３は、固定リニアコンベア２ａのＸｒ側の端面２１ｒにＸｒ側から対向するとともに、固定リニアコンベア２ｃのＸｌ側の端面２１ｌにＸｌ側から対向する。また、対向位置Ｌｆ２に位置する可動リニアコンベア３は、固定リニアコンベア２ｄのＸｒ側の端面２１ｒにＸｒ側から対向するとともに、固定リニアコンベア２ｂのＸｌ側の端面２１ｌにＸｌ側から対向する。

【0037】

なお、対向位置Ｌｆ１に位置する可動リニアコンベア３の端面３１ｌと、固定リニアコンベア２ａの端面２１ｒとの間に間隔（隙間）が空くように、支持機構４１は、可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ａに対して支持する。また、対向位置Ｌｆ１に位置する可動リニアコンベア３の端面３１ｒと、固定リニアコンベア２ｃの端面２１ｌとの間に間隔（隙間）が空くように、支持機構４３は、可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ｃに対して支持する。同様に、対向位置Ｌｆ２に位置する可動リニアコンベア３の端面３１ｌと、固定リニアコンベア２ｄの端面２１ｒとの間に間隔（隙間）が空くように、支持機構４１は、可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ｄに対して支持する。また、対向位置Ｌｆ２に位置する可動リニアコンベア３の端面３１ｒと、固定リニアコンベア２ｂの端面２１ｌとの間に間隔（隙間）が空くように、支持機構４３は、可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ｂに対して支持する。

【0038】

したがって、制御部１００は、単軸ロボット５１を制御して可動リニアコンベア３を対向位置Ｌｆ１に位置させつつ固定リニアコンベア２ａおよび可動リニアコンベア３を制御することで、固定リニアコンベア２ａと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載できる。また、制御部１００は、単軸ロボット５１を制御して可動リニアコンベア３を対向位置Ｌｆ１に位置させつつ固定リニアコンベア２ｃおよび可動リニアコンベア３を制御することで、固定リニアコンベア２ｃと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載できる。

【0039】

あるいは、制御部１００は、単軸ロボット５１を制御して可動リニアコンベア３を対向位置Ｌｆ２に位置させつつ固定リニアコンベア２ｄおよび可動リニアコンベア３を制御することで、固定リニアコンベア２ｄと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載できる。また、制御部１００は、単軸ロボット５１を制御して可動リニアコンベア３を対向位置Ｌｆ２に位置させつつ固定リニアコンベア２ｂおよび可動リニアコンベア３を制御することで、固定リニアコンベア２ｂと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載できる。

【0040】

ここで、固定リニアコンベア２と可動リニアコンベア３との間でのテーブルコンベアＴの移載とは、固定リニアコンベア２から可動リニアコンベア３へのテーブルコンベアＴの移動および可動リニアコンベア３から固定リニアコンベア２へのテーブルコンベアＴへの移動の両方の動作を含む。

【0041】

このような制御部１００は、種々の態様でテーブルコンベアＴを搬送することができ、特に、次のような分岐搬送を実行することができる。例えば図１Ａでは、テーブルコンベアＴは、固定リニアコンベア２ａに係合する。これに対して、搬送システム１では、テーブルコンベアＴが係合する固定リニアコンベア２ａのＸｒ側に２個の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃが並列に配列されている。したがって、このテーブルコンベアＴを固定リニアコンベア２ａからＸｒ側へ搬送するにあたって、固定リニアコンベア２ｂおよび固定リニアコンベア２ｃのそれぞれを搬送先として使用できる。つまり、これらの固定リニアコンベア２ｂ、２ｃのいずれかに搬送路を分岐してテーブルコンベアＴを搬送することができる（分岐搬送）。なお、このような分岐搬送は、固定リニアコンベア２ｂ（搬送元）と固定リニアコンベア２ａ、２ｄ（搬送先）との間や、固定リニアコンベア２ｃ（搬送元）と固定リニアコンベア２ａ、２ｄ（搬送先）との間や、固定リニアコンベア２ｄ（搬送元）と固定リニアコンベア２ｂ、２ｃ（搬送先）との間で実行できる。

【0042】

ここでは、図１Ａないし図１Ｆを用いて、固定リニアコンベア２ａから固定リニアコンベア２ｂにテーブルコンベアＴを分岐搬送する例を説明する。図１Ａでは、テーブルコンベアＴが係合する固定リニアコンベア２ａに対向する対向位置Ｌｆ１に可動リニアコンベア３が停止する。図１Ａ～１Ｂでは、テーブルコンベアＴが固定リニアコンベア２ａから可動リニアコンベア３に移載される。可動リニアコンベア３へのテーブルコンベアＴの移載が完了すると、可動リニアコンベア３は、対向位置Ｌｆ１から対向位置Ｌｆ２に向けてＹ方向に移動する（図１Ｃ）。可動リニアコンベア３は、固定リニアコンベア２ｂに対向する対向位置Ｌｆ２に到着すると、当該対向位置Ｌｆ２に停止する（図１Ｄ）。そして、図１Ｄ～１Ｅでは、テーブルコンベアＴが可動リニアコンベア３から固定リニアコンベア２ｂに移載される。

【0043】

図３は基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第１例を模式的に示す正面図である。この分岐搬送装置Ａは、上述の可動リニアコンベア３およびコンベア移動ユニット４を含む。図３では、搬送システム１の設置面に載置されるベースプレート１９、ベースプレート１９上に載置された取付架台１１、取付架台１１に取り付けられた固定リニアコンベア２および分岐搬送装置Ａが示されている。この分岐搬送装置Ａのコンベア移動ユニット４は、上述の通り支持機構４１および支持機構４３を有する。これらのうち、支持機構４１は単軸ロボット５１によって可動リニアコンベア３をＹ方向に移動させ、支持機構４３はＹ軸コンベアガイド７１によって可動リニアコンベア３をＹ方向に案内する。

【0044】

図４は単軸ロボットによって可動リニアコンベアを支持する支持機構を模式的に示す側面図である。図４に示す支持機構４１は、Ｙ方向に平行に配置された単軸ロボット５１を有し、単軸ロボット５１はＹ方向に延設されたロボット本体５２と、ロボット本体５２のＹ方向の一端に取り付けられた駆動モータ５３１とを有する。このロボット本体５２は、ロボットハウジング５２１と、ロボットハウジング５２１に収納されるボールネジ５２３と、ロボットハウジング５２１のＸｒ側に配置されたスライダ５２５（図３）とを有する。ボールネジ５２３は、Ｙ方向に平行に延設されたネジ軸５２３ａと、ネジ軸５２３ａに螺合するナット５２３ｂとを有し、駆動モータ５３１がネジ軸５２３ａに接続され、スライダ５２５が接続部材（不図示）によってナット５２３ｂに接続されている。したがって、駆動モータ５３１がネジ軸５２３ａを回転させると、ナット５２３ｂがＹ方向に移動し、スライダ５２５がナット５２３ｂに伴ってＹ方向に移動する。このように、単軸ロボット５１は、駆動モータ５３１の駆動力をボールネジ５２３によってスライダ５２５に伝達することで、ボールネジ５２３の延設方向であるＹ方向にスライダ５２５を案内しつつ、駆動モータ５３１の駆動力をスライダ５２５に加える。これによって、スライダ５２５はＹ方向へ移動する。

【0045】

ロボットハウジング５２１の上面５２１ｔは、固定リニアコンベア２のフランジ２３の底面２３ｂに下側から突き当てられており、上面５２１ｔと底面２３ｂとが当接することで、ロボットハウジング５２１が固定リニアコンベア２に対して位置決めされる。特に、図３に示すように、Ｘｌ側の固定リニアコンベア２のＸｒ側の端部２２ｒは、当該固定リニアコンベア２が取り付けられる取付架台１１からＸｒ側に突出している。これに対して、単軸ロボット５１のロボットハウジング５２１は、固定リニアコンベア２の端部２２ｒに下側から対向して、平面視において当該端部２２ｒに重複する。そして、固定リニアコンベア２の端部２２ｒにおいて、固定リニアコンベア２のフランジ２３とロボットハウジング５２１の上面５２１ｔとがネジＳ（締結部材）によって締結・固定される。

【0046】

なお、図４に示されるように、Ｙ方向において、単軸ロボット５１のロボットハウジング５２１は、可動範囲Ｙｍを含むように可動範囲Ｙｍよりも長く、２個の固定リニアコンベア２ａ、２ｄは、ロボットハウジング５２１の両端の間に位置する。そして、ロボットハウジング５２１の上面５２１ｔは、２個の固定リニアコンベア２ａ、２ｄのそれぞれのフランジ２３とネジＳによって締結・固定されている。

【0047】

また、支持機構４１は、スライダ５２５のＸｒ側に配置されたコンベア支持部材６１を有する。コンベア支持部材６１は、Ｘ方向に直交するようにＺ方向に立設された立設プレート６１１と、立設プレート６１１の上端に水平に設けられた水平プレート６１２と、立設プレート６１１と水平プレート６１２との間に設けられたブレース６１３とを有する。立設プレート６１１は、スライダ５２５にＸｒ側から当接して、ネジＳによってスライダ５２５に締結・固定される。

【0048】

水平プレート６１２の上面６１２ｔは、可動リニアコンベア３のフランジ３３の底面３３ｂに下側から突き当てられており、上面６１２ｔと底面３３ｂとが当接することで、コンベア支持部材６１が可動リニアコンベア３に対して位置決めされる。そして、可動リニアコンベア３のフランジ３３とコンベア支持部材６１の水平プレート６１２の上面６１２ｔとがネジＳ（締結部材）によって締結・固定される。

【0049】

このように、固定リニアコンベア２に取り付けられた単軸ロボット５１が、可動リニアコンベア３に取り付けられたコンベア支持部材６１を、Ｚ方向において支持する。つまり、単軸ロボット５１およびコンベアコンベア支持部材６１を有する支持機構４１は、固定リニアコンベア２に対して可動リニアコンベア３を支持する機能を果たす。

【0050】

さらに、固定リニアコンベア２に取り付けられた単軸ロボット５１が、可動リニアコンベア３に取り付けられたコンベア支持部材６１を、Ｙ方向に駆動・案内する。つまり、単軸ロボット５１およびコンベア支持部材６１を有する支持機構４１は、固定リニアコンベア２に対して可動リニアコンベア３をＹ方向に駆動するとともに、固定リニアコンベア２に対する可動リニアコンベア３の移動をＹ方向へ案内する機能を果たす。

【0051】

図５はスライドガイドによって可動リニアコンベアを支持する支持機構を模式的に示す側面図であり、図６は図５に示す支持機構の機能を模式的に示す部分拡大断面図である。図５および図６に示す支持機構４３は、Ｙ軸コンベアガイド７１を有し、Ｙ軸コンベアガイド７１は、Ｙ方向に延設されたベースフレーム７２と、Ｙ方向に延設された２本のスライドガイド７３と、これらスライドガイド７３に取り付けられた支持スライダ７４とを有する。

【0052】

ベースフレーム７２は、Ｘ方向に直交するようにＺ方向に立設された立設プレート７２１と、立設プレート７２１の上端に水平に設けられた水平プレート７２２とを有し、立設プレート７２１のＸｌ側の側面に、各スライドガイド７３が固定されている。各スライドガイド７３は、Ｙ方向に平行に延設されたＹ軸ガイドレール７３１を有し、Ｙ軸ガイドレール７３１がベースフレーム７２の水平プレート７２２に固定されている。また、各スライドガイド７３は、Ｙ軸ガイドレール７３１に係合するスライダ７３２を有し、スライダ７３２は、Ｙ軸ガイドレール７３１に沿ってＹ方向に移動する。支持スライダ７４は、Ｘ方向に直交するように立設された平板であり、２本のスライドガイド７３それぞれのスライダ７３２のＸｌ側の側面に固定されている。かかる支持スライダ７４は、２本のＹ軸ガイドレール７３１に沿ってＹ方向に移動する。

【0053】

水平プレート７２２の上面７２２ｔは、固定リニアコンベア２のフランジ２３の底面２３ｂに下側から突き当てられており、上面７２２ｔと底面２３ｂとが当接することで、Ｙ軸コンベアガイド７１が固定リニアコンベア２に対して位置決めされる。特に、図３に示すように、Ｘｒ側の固定リニアコンベア２のＸｌ側の端部２２ｌは、当該固定リニアコンベア２が取り付けられる取付架台１１からＸｌ側に突出している。これに対して、Ｙ軸コンベアガイド７１のベースフレーム７２は、固定リニアコンベア２の端部２２ｌに下側から対向して、平面視において端部２２ｌに重複する。そして、固定リニアコンベア２の端部２２ｌにおいて、固定リニアコンベア２のフランジ２３と水平プレート７２２の上面７２２ｔとがネジＳ（締結部材）によって締結・固定される。

【0054】

なお、図５に示されるように、Ｙ方向において、Ｙ軸ガイドレール７３１は、可動範囲Ｙｍを含むように可動範囲Ｙｍよりも長く、Ｙ軸ガイドレール７３１を支持するベースフレーム７２も、可動範囲Ｙｍを含むように可動範囲Ｙｍよりも長い。これに対して、２個の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃは、ベースフレーム７２の両端の間に位置する。そして、ベースフレーム７２の水平プレート７２２の上面７２２ｔは、２個の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃのそれぞれのフランジ２３とネジＳによって締結・固定されている。

【0055】

また、支持機構４３は、支持スライダ７４のＸｌ側に配置されたコンベア支持部材８１を有する。コンベア支持部材８１は、Ｘ方向に直交するようにＺ方向に立設された立設プレート８１１と、立設プレート８１１の上端に水平に設けられた水平プレート８１２とを有する。立設プレート８１１は、支持スライダ７４にＸｌ側から対向し、立設プレート８１１には、Ｘ方向に貫通する孔８１３が設けられている。

【0056】

特に支持機構４３は、支持スライダ７４によってコンベア支持部材８１を支持する係合支持部８５を有する。係合支持部８５は、Ｘ方向に平行に支持スライダ７４からＸｌ側へ突出するシャフト８５１と、コンベア支持部材８１の孔８１３に嵌め込まれた滑り軸受８５２とを有する。滑り軸受８５２は、Ｘ方向に貫通する開口８５３を有し、この開口８５３にシャフト８５１が挿入されている。つまり、滑り軸受８５２は、開口８５３に挿入されたシャフト８５１を受ける。こうして、支持スライダ７４から突出するシャフト８５１に、滑り軸受８５２を介してコンベア支持部材８１が係合する。この滑り軸受８５２は、当該滑り軸受８５２に対するシャフト８５１のＸ方向への移動を許容する一方、当該滑り軸受８５２に対してシャフト８５１をＹ方向およびＺ方向に拘束する。

【0057】

換言すれば、シャフト８５１は、Ｘ方向においてコンベア支持部材８１の移動を許容する。そのため。コンベア支持部材８１は、Ｙ軸コンベアガイド７１に対してＸ方向に移動可能である。また、シャフト８５１は、Ｙ方向においてコンベア支持部材８１を拘束する。そのため、コンベア支持部材８１は、Ｙ軸ガイドレール７３１に沿って移動する支持スライダ７４によってＹ方向に案内される。さらに、シャフト８５１は、Ｚ方向においてコンベア支持部材８１を拘束する。そのため、コンベア支持部材８１は、Ｚ方向への重力に抗してＹ軸コンベアガイド７１により支持される。

【0058】

なお、ここの例では、支持スライダ７４にシャフト８５１を設けて、立設プレート８１１に滑り軸受８５２を設けている。しかしながら、支持スライダ７４に滑り軸受８５２を設けて、立設プレート８１１にシャフト８５１を設けても同様の機能を実現できる。

【0059】

コンベア支持部材８１の水平プレート８１２の上面８１２ｔは、可動リニアコンベア３のフランジ３３の底面３３ｂに下側から突き当てられており、上面８１２ｔと底面３３ｂとが当接することで、コンベア支持部材８１が可動リニアコンベア３に対して位置決めされる。そして、可動リニアコンベア３のフランジ３３とコンベア支持部材８１の水平プレート８１２の上面８１２ｔとがネジＳ（締結部材）によって締結・固定される。

【0060】

このように、固定リニアコンベア２に取り付けられたＹ軸コンベアガイド７１が、可動リニアコンベア３に取り付けられたコンベア支持部材８１を、Ｚ方向において支持する。つまり、Ｙ軸コンベアガイド７１およびコンベア支持部材８１を有する支持機構４３は、固定リニアコンベア２に対して可動リニアコンベア３を支持する機能を果たす。

【0061】

さらに、固定リニアコンベア２に取り付けられたＹ軸コンベアガイド７１が、可動リニアコンベア３に取り付けられたコンベア支持部材８１を、Ｙ方向に案内する。つまり、Ｙ軸コンベアガイド７１およびコンベア支持部材８１を有する支持機構４３は、固定リニアコンベア２に対する可動リニアコンベア３の移動をＹ方向へ案内する機能を果たす。

【0062】

このように分岐搬送装置Ａは、可動リニアコンベア３のＸｌ側の端部３２ｌを、固定リニアコンベア２のＸｒ側の端部２２ｒに対して支持する支持機構４１と、可動リニアコンベア３のＸｒ側の端部３２ｒを、固定リニアコンベア２のＸｌ側の端部２２ｌに対して支持する支持機構４３とを備える。かかる分岐搬送装置ＡのＹ方向への動作を図４および図５を用いつつ説明する。図４に示すように、駆動モータ５３１がボールネジ５２３のネジ軸５２３ａを駆動すると、スライダ５２５（図３）に固定されたコンベア支持部材６１がＹ方向に移動するとともに、コンベア支持部材６１に固定された可動リニアコンベア３がＹ方向に移動する。また、図５に示すように、可動リニアコンベア３の移動は、Ｙ軸コンベアガイド７１のＹ軸ガイドレール７３１によってＹ方向に案内される。このように、可動リニアコンベア３は、単軸ロボット５１によってＹ方向に駆動・案内されるとともに、Ｙ軸ガイドレール７３１によってＹ方向に案内されることで、対向位置Ｌｆ１および対向位置Ｌｆ２を含む可動範囲ＹｍをＹ方向に移動することができる。

【0063】

また、図６に示すように、分岐搬送装置ＡのＸｒ側の支持機構４３は、発熱に伴った可動リニアコンベア３のＸ方向への伸びを吸収する機能を果たす。つまり、支持機構４３は、固定リニアコンベア２の端面２１ｌと可動リニアコンベア３の端面３１ｒとの間に間隔Ｄａを空けつつ、固定リニアコンベア２に対して可動リニアコンベア３を支持する。また、固定リニアコンベア２に取り付けられたＹ軸コンベアガイド７１と、可動リニアコンベア３に取り付けられたコンベア支持部材８１とは、間隔Ｄａに対応してＸ方向に離間する。したがって、Ｘ方向に互いに対向する水平プレート７２２と水平プレート８１２との間には、Ｘ方向に間隔Ｄａが設けられ、Ｘ方向に互いに対向する支持スライダ７４と立設プレート８１１との間には、Ｘ方向に間隔Ｄｂが設けられる。

【0064】

例えばリニアモータ固定子２５に印加される電流によってリニアモータ固定子２５から放出される熱によって可動リニアコンベア３のリニアハウジング３１がＸ方向に伸びると、可動リニアコンベア３の端面３１ｒがＸ方向のＸｒ側に変位する。また、可動リニアコンベア３の伸びに伴って、コンベア支持部材８１もＸ方向のＸｒ側に変位する。図６の「許容状態」の欄と「規制状態」との比較から分かるように、可動リニアコンベア３の熱変形に伴って、間隔Ｄａ、Ｄｂは狭くなる。換言すれば、可動リニアコンベア３の熱変形を間隔Ｄａによって吸収することで、可動リニアコンベア３と固定リニアコンベア２との接触が回避されている。

【0065】

また、支持機構４３は、Ｘ方向においてＹ軸コンベアガイド７１とコンベア支持部材８１との間に配置された規制プレート８７を有する。規制プレート８７は、リング形状を有して、シャフト８５１に外側から嵌る。つまり、規制プレート８７は、シャフト８５１に係合することで、シャフト８５１によって支持される。この規制プレート８７は、支持スライダ７４あるいは立設プレート８１１に固定されてもよいし、固定されなくてもよい。また、規制プレート８７をいずれかに固定する場合には、規制プレート８７をシャフト８５１に係合させる必要はなく、規制プレート８７がリング形状を有する必要もない。

【0066】

この規制プレート８７は、支持スライダ７４と立設プレート８１１との間の間隔Ｄｂに配置され、Ｘ方向に所定の厚みを有する。したがって、可動リニアコンベア３の端面３１ｒのＸｒ側への変位が大きくなって、立設プレート８１１が支持スライダ７４に近接すると、立設プレート８１１が規制プレート８７にＸｌ側から接触するとともに支持スライダ７４が規制プレート８７にＸｒ側から接触する。すなわち、立設プレート８１１は、Ｘｒ側から支持スライダ７４に支持される規制プレート８７にＸｌ側から突き当たる。これによって、図６の「規制状態」の欄に示すように、コンベア支持部材８１のＸｒ側への変位が規制される。この規制状態において、可動リニアコンベア３の端面３１ｒと固定リニアコンベア２の端面２１ｌとの間には、間隔Ｄａが確保されている。つまり、規制プレート８７は、可動リニアコンベア３の端面３１ｒの所定量以上のＸｒ側への変位を規制することで、可動リニアコンベア３の端面３１ｒと固定リニアコンベア２の端面２１ｌとの接触を回避している。

【0067】

以上に説明する第１例では、Ｘ方向（搬送方向）において可動リニアコンベア３の端面３１ｒ（他方端）のＸｒ側（他方側）への変位を許容する支持機構４３（他方側支持機構）が設けられており、換言すれば、可動リニアコンベア３の端面３１ｒが解放されている。特に、この支持機構４３は、対向位置Ｌｆ１（第１位置）あるいは対向位置Ｌｆ２（第２位置）に位置する可動リニアコンベア３の端面３１ｒと固定リニアコンベア２の端面２１ｌとの間にＸ方向へ間隔Ｄａを空けつつ、固定リニアコンベア２の端部２２ｌに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｒを支持する。このように、固定リニアコンベア２に対して可動リニアコンベア３を支持する支持機構４３によって可動リニアコンベア３の端面３１ｒと固定リニアコンベア２の端面２１ｌとの間に間隔Ｄａを設けることで、これらの間に確実に間隔Ｄａを形成することができる。したがって、解放された端面３１ｒの変位を当該間隔Ｄａによって吸収して、可動リニアコンベア３の端面３１ｒと固定リニアコンベア２の端面２１ｌとの接触を回避することができる。こうして、可動リニアコンベア３の熱変形に起因して、可動リニアコンベア３と当該可動リニアコンベア３に隣接する固定リニアコンベア２とが接触するのを回避して、可動リニアコンベア３の反りの発生を抑制することが可能となっている。

【0068】

また、支持機構４３は、可動リニアコンベア３に取り付けられるコンベア支持部材８１（可動部材）と、固定リニアコンベア２に取り付けられたスライドガイド７３（案内部）と、スライドガイド７３によってＹ方向（切換方向）に案内される支持スライダ７４（被案内部材）とを有する。さらに、支持機構４３は、支持スライダ７４に対してコンベア支持部材８１を支持する係合支持部８５（他方側支持部）を有する。そして、係合支持部８５は、Ｘ方向において支持スライダ７４に対するコンベア支持部材８１のＸｒ側への移動を許容し、Ｙ方向において支持スライダ７４に対してコンベア支持部材８１を拘束する。かかる構成では、コンベア支持部材８１が可動リニアコンベア３に取り付けられ、このコンベア支持部材８１は、Ｙ方向に案内される支持スライダ７４に対して、係合支持部８５によって支持される。この係合支持部８５は、Ｙ方向において支持スライダ７４に対してコンベア支持部材８１を拘束することから、支持スライダ７４がＹ方向に案内されると、コンベア支持部材８１が支持スライダ７４に伴って移動し、さらに可動リニアコンベア３がコンベア支持部材８１に伴って移動する。こうして、可動リニアコンベア３をＹ方向に適切に案内することができる。また、係合支持部８５は、Ｘ方向において支持スライダ７４に対するコンベア支持部材８１のＸｒ側への移動を許容することから、可動リニアコンベア３の熱変形に伴ってコンベア支持部材８１はＸｒ側へ移動することができ、可動リニアコンベア３の端面３１ｒの変位が妨げられない。その結果、可動リニアコンベア３のＹ方向への案内と、可動リニアコンベア３の反りの抑制との両機能を実現することが可能となっている。

【0069】

また、係合支持部８５は、コンベア支持部材８１および支持スライダ７４のうち一の部材に取り付けられてＸ方向に延設されるシャフト８５１と、コンベア支持部材８１および支持スライダ７４のうちの当該一の部材と異なる他の部材に取り付けられてＸ方向に開口する滑り軸受８５２とを有する。そして、シャフト８５１は、滑り軸受８５２に嵌入されて、滑り軸受８５２に対してＸ方向に滑る。かかる構成では、可動リニアコンベア３のＹ方向への案内と、可動リニアコンベア３の反りの抑制との両機能を簡便な構成で実現することができる。

【0070】

また、支持機構４３は、コンベア支持部材８１のＸｒ側に設けられた規制プレート８７（規制部材）を有する。そして、可動リニアコンベア３の熱変形による端面３１ｒのＸｒ側への変位に応じて、コンベア支持部材８１がＸｒ側へ変位するのに伴って規制プレート８７に突き当たることで、コンベア支持部材８１のＸｒ側への変位が規制プレート８７により規制される。こうして、コンベア支持部材８１のＸｒ側への変位が規制プレート８７により規制された状態において、可動リニアコンベア３の端面３１ｒと固定リニアコンベア２の端面２１ｌとの間に間隔Ｄａが空いている。かかる構成では、熱変形が大きい場合には、可動リニアコンベア３の端面３１ｒの変位を規制プレート８７によって抑えて、可動リニアコンベア３の端面３１ｒと固定リニアコンベア２の端面２１ｌとの接触を回避することができる。

【0071】

また、コンベア移動ユニット４の支持機構４１は、対向位置Ｌｆ１（第１位置）あるいは対向位置Ｌｆ２（第２位置）に位置する可動リニアコンベア３のＸｌ側（一方側）の端面３１ｌと固定リニアコンベア２の端面２１ｒとの間にＸ方向へ間隔を空けつつ、固定リニアコンベア２に対して可動リニアコンベア３を支持する。この支持機構４１は、支持機構４３とは異なり、Ｘ方向において可動リニアコンベア３を拘束する。かかる構成では、支持機構４１の拘束によって、可動リニアコンベア３の端面３１ｌのＸｌ側への変位が抑えられるため、可動リニアコンベア３の端面３１ｌと固定リニアコンベア２の端面２１ｒとの接触を確実に回避することができる。

【0072】

ちなみに、支持機構４１によって確保される可動リニアコンベア３の端面３１ｌと固定リニアコンベア２の端面２１ｒと間隔は、可動リニアコンベア３の熱伸長を吸収できる必要はなく、端面３１ｌと端面２１ｒとの干渉を回避できればよい。したがって、当該間隔は、図６の間隔Ｄａと比較して狭い隙間で構わない。

【0073】

図７は基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第２例を模式的に示す正面図である。ここでは、図３の第１例との差異を中心に説明し、共通する部分は相当符号を付して適宜説明を省略する。この第２例では、可動リニアコンベア３の端面３１ｌと固定リニアコンベア２（２ａ、２ｄ）の端面２１ｒとの間に、図６の間隔Ｄａに相当する熱変形吸収用の間隔Ｄｃが設けられるように、支持機構４１は、固定リニアコンベア２（２ａ、２ｄ）の端部２２ｒに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｌを支持する。なお、間隔Ｄａと間隔Ｄｃとが同じ幅を有する必要はなく、これらの幅は異なっていても構わない。

【0074】

特に、支持機構４１は、コンベア支持部材６１に対して可動リニアコンベア３をＸ方向に移動可能に支持するスライド支持部６３を有する。スライド支持部６３は、Ｘ方向に平行なガイドレール６３１と、ガイドレール６３１に係合するスライダ６３２とを有するスライドガイドであり、スライダ６３２はガイドレール６３１に沿ってＸ方向に移動可能である。ガイドレール６３１は、水平プレート６１２の上面６１２ｔに固定される。スライダ６３２は、可動リニアコンベア３のフランジ３３の底面３３ｂに下側から当接して、ネジＳによってフランジ３３に締結・固定される。このように、可動リニアコンベア３のＸｌ側の端部３２ｌは、コンベア支持部材６１に対してＸ方向へ移動可能にスライド支持部６３によって支持される。したがって、可動リニアコンベア３の熱伸長が生じた場合には、可動リニアコンベア３の端面３１ｌは、間隔Ｄｃの範囲でＸｌ側へ変位することができる。

【0075】

さらに、支持機構４１は、Ｘ方向において、スライド支持部６３とコンベア支持部材８１との間で、コンベア支持部材６１に可動リニアコンベア３のフランジ３３を締結・固定するネジＳａ（締結部材）を有する。かかる構成では、可動リニアコンベア３のＸ方向への熱伸長は、ネジＳａの両側に分散して生じる。ネジＳａよりＸｒ側で生じる熱伸長については、支持機構４３が可動リニアコンベア３の端面３１ｒのＸｒ側への変位を間隔Ｄａの範囲で許容することで吸収される。また、ネジＳａよりＸｌ側で生じた熱伸長については、支持機構４１が可動リニアコンベア３の端面３１ｌのＸｌ側へ変位を間隔Ｄｃの範囲で許容することで吸収される。

【0076】

以上に説明する第２例では、Ｘ方向において可動リニアコンベア３の端面３１ｌのＸｌ側への変位を許容する支持機構４１が設けられており、換言すれば、可動リニアコンベア３の端面３１ｌが解放されている。特に、この支持機構４１は、対向位置Ｌｆ１あるいは対向位置Ｌｆ２に位置する可動リニアコンベア３の端面３１ｌと固定リニアコンベア２の端面２１ｒとの間にＸ方向へ間隔Ｄｃを空けつつ、固定リニアコンベア２の端部２２ｒに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｌを支持する。このように、固定リニアコンベア２に対して可動リニアコンベア３を支持する支持機構４１によって可動リニアコンベア３の端面３１ｌと固定リニアコンベア２の端面２１ｒとの間に間隔Ｄｃを設けることで、これらの間に確実に間隔Ｄｃを形成することができる。したがって、解放された端面３１ｌの変位を当該間隔Ｄｃによって吸収して、可動リニアコンベア３の端面３１ｌと固定リニアコンベア２の端面２１ｒとの接触を回避することができる。こうして、可動リニアコンベア３の熱変形に起因して、可動リニアコンベア３と当該可動リニアコンベア３に隣接する固定リニアコンベア２とが接触するのを回避して、可動リニアコンベア３の反りの発生を抑制することが可能となっている。

【0077】

また、支持機構４１は、固定リニアコンベア２に取り付けられた単軸ロボット５１と、単軸ロボット５１によってＹ方向に駆動されるコンベア支持部材６１とを有する。さらに、支持機構４１は、コンベア支持部材６１に対して可動リニアコンベア３を支持するスライド支持部６３（一方側支持部）を有する。このスライド支持部６３は、Ｘ方向においてコンベア支持部材６１に対する可動リニアコンベア３の端部３２ｌのＸｌ側への移動を許容する一方、Ｙ方向においてコンベア支持部材６１に対して可動リニアコンベア３の端部３２ｌを拘束する。このように、単軸ロボット５１によってＹ方向に駆動されるコンベア支持部材６１に対して、可動リニアコンベア３がスライド支持部６３によって支持される。このスライド支持部６３は、Ｙ方向においてコンベア支持部材６１に対して可動リニアコンベア３を拘束することから、コンベア支持部材６１がＹ方向に駆動されると、可動リニアコンベア３がコンベア支持部材６１に伴って移動する。こうして、可動リニアコンベア３をＹ方向に適切に駆動することができる。また、スライド支持部６３は、Ｘ方向においてコンベア支持部材６１に対する可動リニアコンベア３の端部３２ｌのＸｌ側への移動を許容することから、可動リニアコンベア３の熱変形に伴って可動リニアコンベア３の端部３２ｌはＸｌ側へ移動することができ、可動リニアコンベア３の端面３１ｌの変位が妨げられない。その結果、可動リニアコンベア３のＹ方向への駆動と、可動リニアコンベア３の反りの抑制との両機能を実現することが可能となっている。

【0078】

また、スライド支持部６３は、Ｘ方向に設けられたスライドガイドである。かかる構成では、可動リニアコンベア３のＹ方向への案内および可動リニアコンベア３の反りの抑制の両機能を、スライドガイドといった簡便な構成で実現することができる。

【0079】

また、支持機構４１は、Ｘ方向においてスライド支持部６３と支持機構４３との間の位置でコンベア支持部材６１と可動リニアコンベア３とを固定するネジＳａ（固定部材）を有する。かかる構成では、ネジＳａによって固定される位置の両側に、可動リニアコンベア３の変形が分散される。したがって、可動リニアコンベア３の端面３１ｒ、３１ｌの変位をバランスさせることができ、当該端面３１ｒ、３１ｌに対して設けられた固定リニアコンベア２との両間隔Ｄａ、Ｄｃのそれぞれを有効に活用して、可動リニアコンベア３の端面３１ｒ、３１ｌと固定リニアコンベアの端面２１ｌ、２１ｒとの接触を効果的に回避することができる。

【0080】

図８は基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第３例を模式的に示す正面図である。ここでは、図７の第２例との差異を中心に説明し、共通する部分は相当符号を付して適宜説明を省略する。この第３例では、支持機構４３は、Ｙ軸コンベアガイド７１（第２例）に代えて単軸ロボット５１を有するとともに、コンベア支持部材８１（第２例）に代えてコンベア支持部材６１およびスライド支持部６３を有する。つまり、支持機構４３は、ネジＳａによる固定を除いて、支持機構４１と共通する構成を備える。

【0081】

かかる支持機構４３では、固定リニアコンベア２の端部２２ｌの底面２３ｂに対して、単軸ロボット５１の上面５２１ｔが下側から当接する。そして、当該端部２２ｌにおいて、固定リニアコンベア２のフランジ２３に単軸ロボット５１の上面５２１ｔがネジＳによって締結・固定される。さらに、支持機構４３では、単軸ロボット５１のスライダ５２５にコンベア支持部材６１が固定され、このコンベア支持部材６１はスライド支持部６３を介して可動リニアコンベア３の端部３２ｒを支持する。このように、可動リニアコンベア３のＸｒ側の端部３２ｒは、コンベア支持部材６１に対してＸ方向へ移動可能にスライド支持部６３によって支持される。したがって、可動リニアコンベア３の熱伸長が生じた場合には、可動リニアコンベア３の端面３１ｒは、間隔Ｄａの範囲でＸｒ側へ変位することができる。

【0082】

ところで、図８の第３例の様に、可動リニアコンベア３の両側に単軸ロボット５１が設けられた分岐搬送装置Ａでは、制御部１００は、各単軸ロボット５１の駆動モータ５３１を次のように制御してもよい。

【0083】

図９は２台の単軸ロボットを備える分岐搬送装置における移載制御の一例を示すフローチャートである。同図のフローチャートは、固定リニアコンベア２と可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載する際に、制御部１００の制御によって実行される。

【0084】

ステップＳ１０１では、テーブルコンベアＴの移載を実行するか否かが判断される。そして、テーブルコンベアＴを移載すると判断されると（ステップＳ１０１で「ＹＥＳ」）、ステップＳ１０２に進む。ステップＳ１０２では、可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載する固定リニアコンベア２が、可動リニアコンベア３のＸｌ側の固定リニアコンベア２ａ、２ｄであるか、可動リニアコンベア３のＸｒ側の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃであるかが判断される。

【0085】

対象の固定リニアコンベア２がＸｌ側である場合には、制御部１００は、Ｘｒ側の支持機構４３の駆動モータ５３１の動作を停止させつつ、Ｘｌ側の支持機構４１の駆動モータ５３１に対して上述のフィードバック制御を行ってテーブルコンベアＴを対向位置Ｌｆ１あるいは対向位置Ｌｆ２に位置させる（ステップＳ１０３）。この際、支持機構４３の駆動モータ５３１は停止しているため（サーボフリー）、支持機構４３の単軸ロボット５１は、可動リニアコンベア３を駆動する機能は果たさず、可動リニアコンベア３をＹ方向に案内する機能のみを果たす。こうして、可動リニアコンベア３が対向位置Ｌｆ１あるいは対向位置Ｌｆ２に位置決めされると、可動リニアコンベア３と当該可動リニアコンベア３のＸｌ側の固定リニアコンベア２との間でテーブルコンベアＴが移載される（ステップＳ１０４）。

【0086】

対象の固定リニアコンベア２がＸｒ側である場合には、制御部１００は、Ｘｌ側の支持機構４１の駆動モータ５３１の動作を停止させつつ、Ｘｒ側の支持機構４３の駆動モータ５３１に対して上述のフィードバック制御を行ってテーブルコンベアＴを対向位置Ｌｆ１あるいは対向位置Ｌｆ２に位置させる（ステップＳ１０５）。この際、支持機構４１の駆動モータ５３１は停止しているため（サーボフリー）、支持機構４１の単軸ロボット５１は、可動リニアコンベア３を駆動する機能は果たさず、可動リニアコンベア３をＹ方向に案内する機能のみを果たす。こうして、可動リニアコンベア３が対向位置Ｌｆ１あるいは対向位置Ｌｆ２に位置決めされると、可動リニアコンベア３と当該可動リニアコンベア３のＸｒ側の固定リニアコンベア２との間でテーブルコンベアＴが移載される（ステップＳ１０６）。

【0087】

図９の移載制御では、制御部１００は、支持機構４１、４３それぞれの駆動モータ５３１（第１・第２駆動源）の動作を制御する。特に、制御部１００は、可動リニアコンベア３とＸｌ側の固定リニアコンベア２ａ、２ｄとの間でテーブルコンベアＴを移載する際には、Ｘｒ側の支持機構４３の駆動モータ５３１の動作を停止させつつ、Ｘｌ側の支持機構４１の駆動モータ５３１の動作によって可動リニアコンベア３の位置を対向位置Ｌｆ１、Ｌｆ２に制御する（ステップＳ１０３）。また、制御部１００は、可動リニアコンベア３とＸｒ側の固定リニアコンベア２ｂ、２ｃとの間でテーブルコンベアＴを移載する際には、Ｘｌ側の支持機構４１の駆動モータ５３１の動作を停止させつつ、Ｘｒ側の支持機構４３の駆動モータ５３１の動作によって可動リニアコンベア３の位置を対向位置Ｌｆ１、Ｌｆ２に制御する（ステップＳ１０５）。かかる構成では、固定リニアコンベア２ａ、２ｄと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載する際には、支持機構４３の駆動モータ５３１の動作の干渉を防止しつつ、支持機構４１の駆動モータ５３１によって可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ａ、２ｄに対して的確に位置決めして、テーブルコンベアＴのスムーズな移載を実現できる。また、固定リニアコンベア２ｂ、２ｃと可動リニアコンベア３との間でテーブルコンベアＴを移載する際には、支持機構４１の駆動モータ５３１の動作の干渉を防止しつつ、支持機構４３の駆動モータ５３１によって可動リニアコンベア３を固定リニアコンベア２ｂ、２ｃに対して的確に位置決めして、テーブルコンベアＴのスムーズな移載を実現できる。

【0088】

図１０は基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第４例を模式的に示す正面図であり、図１１は図１０の分岐搬送装置が有するリンク機構の一例を模式的に示す側面図である。ここでは、図３の第１例との差異を中心に説明し、共通する部分は相当符号を付して適宜説明を省略する。この第４例では、支持機構４１は、単軸ロボット５１（第１例）に代えてＹ軸コンベアガイド７１を有するとともに、コンベア支持部材６１（第１例）に代えてコンベア支持部材８１を有する。つまり、支持機構４１は支持機構４３と共通の構成を備える。

【0089】

かかる支持機構４１では、固定リニアコンベア２の端部２２ｒの底面２３ｂに対して、Ｙ軸コンベアガイド７１の上面７２２ｔが下側から当接する。そして、当該端部２２ｒにおいて、固定リニアコンベア２のフランジ２３にＹ軸コンベアガイド７１の上面７２２ｔがネジＳによって締結・固定される。さらに、支持機構４１では、Ｙ軸コンベアガイド７１のスライダ７３２にコンベア支持部材８１が固定され、このコンベア支持部材８１の上面８１２ｔは、可動リニアコンベア３の端部３２ｌの底面３３ｂに下側から当接して、当該端部３２ｌにおいて、可動リニアコンベア３のフランジ３３に締結・固定される。したがって、支持機構４１は、固定リニアコンベア２の端部２２ｒに対して可動リニアコンベア３の端部３２ｌを支持するとともに、可動リニアコンベア３の端部３２ｌをＹ方向に案内することができる。

【0090】

また、図１０のコンベア移動ユニット４では、ベースプレート１９に載置された支持フレーム１８の上に、単軸ロボット５１がＹ方向に配置されている。そして、単軸ロボット５１と可動リニアコンベア３とがリンク機構９によって接続される。図１１に示すように、リンク機構９は、取付プレート９１と、取付プレート９１の上面に固定された球面軸受９２とを有する。また、リンク機構９は、取付プレート９１より上側に設けられた取付プレート９４と取付プレート９４の下面に固定された球面軸受９５とを有する。

【0091】

さらに、リンク機構９は、球面軸受９２と球面軸受９５との間を接続するロッド９７を有し、このロッド９７の一端９７１が球面軸受９５によって受けられ、ロッド９７の一端９７１と逆の他端９７２が球面軸受９２によって受けられる。かかるロッド９７は、球面軸受９２に対して２個の回転自由度を有するとともに、球面軸受９５に対して２個の回転自由度を有する。つまり、ロッド９７は、互いに直交する２本の回転軸のそれぞれを中心として、球面軸受９２に対して回転できるとともに、球面軸受９５に対して回転できる。

【0092】

そして、取付プレート９１が単軸ロボット５１のスライダ５２５の上面にネジＳによって締結・固定される。また、取付プレート９４が可動リニアコンベア３のフランジ３３の底面３３ｂにネジＳによって締結・固定される。この取付プレート９４は、Ｘ方向において、可動リニアコンベア３の端部３２ｌと端部３２ｒとの間の中央位置で、可動リニアコンベア３に固定される。したがって、駆動モータ５３１がボールネジ５２３の駆動によってスライダ５２５をＹ方向に駆動すると、リンク機構９によってスライダ５２５に接続された可動リニアコンベア３がＹ方向に移動する。

【0093】

このように第４例では、可動リニアコンベア３の端部３２ｌと端部３２ｒの間の取付位置（取付プレート９４の位置）で可動リニアコンベア３に取り付けられたリンク機構９と、リンク機構９をＹ方向に駆動することで、可動リニアコンベア３をＹ方向に移動させる単軸ロボット５１とが具備されている。リンク機構９は、取付プレート９４を介して可動リニアコンベア３に取り付けられた球面軸受９５（第１球面軸受）と、単軸ロボット５１のスライダ５２５に取付プレート９１を介して取り付けられた球面軸受９２（第２球面軸受）と、球面軸受９５と球面軸受９２とを接続するロッド９７を有する。そして、ロッド９７の一端９７１が球面軸受９５によって受けられ、ロッド９７の他端９７２が球面軸受９２によって受けられる。かかる構成では、支持機構４１、４３それぞれのＹ軸コンベアガイド７１と、単軸ロボット５１との間における平行度の誤差を、リンク機構９の球面軸受９２、９５の自由度によって吸収することができる。したがって、可動リニアコンベア３をＹ方向にスムーズに移動させることができる。

【0094】

図１２は基板搬送システムが備える分岐搬送装置の第５例を模式的に示す正面図である。ここでは、図８の第３例との差異を中心に説明し、共通する部分は相当符号を付して適宜説明を省略する。この第５例では、支持機構４１では、単軸ロボット５１（第３例）の代わりに、Ｙ軸コンベアガイド７１が固定リニアコンベア２の端部２２ｌに取り付けられ、コンベア支持部材６１の代わりにコンベア支持部材８１が可動リニアコンベア３の端部３２ｒに取り付けられている。つまり、第５例の支持機構４１は、第１例（図３）の支持機構４３と共通する構成を具備する。ただし、第５例の支持機構４１では、係合支持部８５が設けられておらず、立設プレート８１１は、支持スライダ７４に固定されている。したがって、支持機構４１は、可動リニアコンベア３の端部３２ｒをＸ方向に拘束する。そのため、可動リニアコンベア３の熱伸長は、支持機構４１では吸収できず、支持機構４３における間隔Ｄａによって吸収される。

【0095】

このように第５例では、支持機構４３（他方側支持機構）は、固定リニアコンベア２（第２固定リニアコンベア）に取り付けられた単軸ロボット５１と、単軸ロボット５１によってＹ方向（切換方向）に駆動されるコンベア支持部材６１（被駆動部材）と、コンベア支持部材６１に対して可動リニアコンベア３を支持するスライド支持部６３（他方側支持部）とを有する。このスライド支持部６３は、Ｘ方向（搬送方向）においてコンベア支持部材６１に対する可動リニアコンベア３の端部３２ｒのＸｒ側（他方側）への移動を許容し、Ｙ方向においてコンベア支持部材６１に対して可動リニアコンベア３の端部３２ｒを拘束する。つまり、単軸ロボット５１によってＹ方向に駆動されるコンベア支持部材６１に対して、可動リニアコンベア３がスライド支持部６３によって支持される。このスライド支持部６３は、Ｙ方向にコンベア支持部材６１に対して可動リニアコンベア３を拘束することから、コンベア支持部材６１がＹ方向に駆動されると、可動リニアコンベア３がコンベア支持部材６１に伴って移動する。こうして、可動リニアコンベア３をＹ方向に適切に駆動することができる。また、スライド支持部６３は、Ｘ方向においてコンベア支持部材６１に対する可動リニアコンベア３のＸｒ側への移動を許容することから、可動リニアコンベア３の熱変形に伴って可動リニアコンベア３の端部３２ｒはＸｒ側へ移動することができ、可動リニアコンベア３の端面３１ｒの変位が妨げられない。その結果、可動リニアコンベア３のＹ方向への駆動と、可動リニアコンベア３の反りの抑制との両機能を実現することが可能となっている。

【0096】

このように上記の実施形態では、 送システム１が本発明の「搬送路切換装置」の一例に相当し、固定リニアコンベア２ａが本発明の「第１固定リニアコンベア」の一例に相当し、固定リニアコンベア２ｂが本発明の「第２固定リニアコンベア」の一例に相当し、可動リニアコンベア３が本発明の「可動リニアコンベア」の一例に相当し、端面３１ｌが本発明の「他方端」の一例に相当し、コンベア移動ユニット４が本発明の「コンベア移動ユニット」の一例に相当し、支持機構４１が本発明の「一方側支持機構」の一例に相当し、支持機構４３が本発明の「他方側支持機構」の一例に相当し、単軸ロボット５１が本発明の「単軸ロボット」の一例に相当し、コンベア支持部材６１が本発明の「被駆動部材」の一例に相当し、スライド支持部６３が本発明の「一方側支持部」あるいは「他方側支持部」の一例に相当し、分岐搬送装置Ａが本発明の「搬送路切換装置」の一例に相当し、間隔Ｄａが本発明の「間隔」の一例に相当し、対向位置Ｌｆ１が本発明の「第１位置」の一例に相当し、対向位置Ｌｆ２が本発明の「第２位置」の一例に相当し、ネジＳａが本発明の「固定部材」の一例に相当し、テーブルコンベアＴが本発明の「コンベアテーブル」の一例に相当し、Ｘ方向が本発明の「搬送方向」の一例に相当し、Ｘｌ側が本発明の「一方側」の一例に相当し、Ｘｒ側が本発明の「他方側」の一例に相当し、Ｙ方向が本発明の「切換方向」の一例に相当する。

【0097】

第１例（図３）、第２例（図７）および図１０（第４例）では、コンベア支持部材８１が本発明の「可動部材」の一例に相当し、スライドガイド７３が本発明の「案内部」の一例に相当し、支持スライダ７４が本発明の「被案内部材」の一例に相当し、係合支持部８５が本発明の「他方側支持部」の一例に相当し、シャフト８５１が本発明の「シャフト」の一例に相当し、滑り軸受８５２が本発明の「滑り軸受」の一例に相当し、規制プレート８７が本発明の「規制部材」の一例に相当する。

【0098】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、固定リニアコンベア２と可動リニアコンベア３との間の熱変形吸収用の隙間に対向する端面３１ｌあるいは端面３１ｒの変位を許容する機構は、上記の係合支持部８５（シャフト８５１および滑り軸受８５２）や、スライド支持部６３（スライドガイド）に限られず、例えばＬＭストローク等でもよい。

【0099】

また、上記の分岐搬送装置Ａは、ベースプレート１９を必ずしも必要としない。したがって、ベースプレート１９を用いずに、分岐搬送装置Ａを設置面に直接載置してもよい。

【0100】

また、搬送システム１で使用する固定リニアコンベア２の個数や配置は適宜変更が可能である。例えば、図１の例から固定リニアコンベア２ｃの位置をＹ方向にずらしたり、固定リニアコンベア２ｄの位置をＹ方向にずらしたり、固定リニアコンベア２ｃを省いたり、固定リニアコンベア２ｄを省いたりといった変形が可能である。

【0101】

また、可動リニアコンベア３を駆動する方向（切換方向）は、種々の変更が可能である。したがって、可動リニアコンベア３を駆動する方向は、水平方向に限られず、鉛直方向でもよい。この場合、分岐搬送装置Ａは、鉛直方向にテーブルコンベアＴの搬送路を分岐させることができる。

【符号の説明】

【0102】

１…搬送システム（搬送路切換装置）
２ａ…固定リニアコンベア（第１固定リニアコンベア）
２ｂ…固定リニアコンベア（第２固定リニアコンベア）
３…可動リニアコンベア
３１ｌ…端面（他方端）
４…コンベア移動ユニット
４１…支持機構（一方側支持機構）
４３…支持機構（他方側支持機構）
５１…単軸ロボット
６１…コンベア支持部材（被駆動部材）
６３…スライド支持部（一方側支持部、他方側支持部）
Ａ…分岐搬送装置（搬送路切換装置）
Ｄａ…間隔
Ｌｆ１…対向位置（第１位置）
Ｌｆ２…対向位置（第２位置）
Ｓａ…ネジ（固定部材）
Ｔ…テーブルコンベア
Ｘ…Ｘ方向（搬送方向）
Ｘｌ…Ｘｌ側（一方側）
Ｘｒ…Ｘｒ側（他方側）
Ｙ…Ｙ方向（切換方向）

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図1D】

【図1E】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】