特許7543886IP Force 特許公報全文掲載

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物質検出システム

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

上述のように、気体の匂いは、気体に含まれる複数種類の物質で構成される。そのため、気体の匂いを正確に特定するためには、対応する物質をそれぞれ検出する複数の物質センサが必要となる。この場合、複数の物質センサを配置する領域が必要となり、検出する物質が多くなればなるほど、その領域の面積が増大するという不都合があった。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するために、本発明に係る物質検出システムは、 内部に収容される気体の状態が定常状態となるように前記気体の流入を制限するチャンバと、 前記チャンバに収容された前記気体に含まれる物質を検出する物質センサと、 前記チャンバに前記気体を供給する供給部と、 を備え、 複数の前記物質センサが、前記チャンバの流入口から排出口に向かう前記気体の流動方向に配列されており、 ・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、複数の物質センサが、チャンバの流入口から排出口に向かう気体の流動方向に配列されている。このため、複数の物質センサを配置するために必要な領域の面積を小さくすることができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の実施の形態１に係る物質検出システムの基本構成を示す模式図である。
【図2】 図１の物質検出システムの詳細な構成を示す断面図である。
【図3】 図１の物質検出システムを構成する第１の基板の斜視図である。
【図4】 図１の物質検出システムを構成する第２の基板の斜視図である。
【図5】 整流部の斜視図である。
【図6】 （Ａ）は、排出口の側から見た梁の図である。（Ｂ）は、流入口の側から見た梁の図である。
【図7】 図１の物質検出システムの他の全体構成その１を示す断面図である。
【図8】 図１の物質検出システムの他の全体構成その２を示す断面図である。
【図9】 図１の物質検出システムの動作を示すタイミングチャートである。
【図10】 本発明の実施の形態２に係る物質検出システムを構成する梁の配置を示す上面図である。
【図11】 （Ａ）は、梁の向きが揃っていたときの気体の流れを示す図である。（Ｂ）は、梁の向きが異なっていたときの気体の流れを示す図である。
【図12】 本発明の実施の形態３に係る物質検出システムの基本構成を示す模式図である。
【図13】 異なる種類の物質を検出する物質センサの配列を示す模式図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１ 物質検出システム、２，２Ａ，２Ｂ チャンバ、２ａ 流入口、２ｂ 排出口、３，３Ａ１，３Ａ２，３Ａ３，３Ｂ１，３Ｂ２，３Ｂ３，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅ 物質センサ、４ 供給部、５ 第１の基板、５ａ 第１の連通孔、６ 第２の基板、６ａ 第２の連通孔、７ 梁、７ａ 駆動梁、７ｂ 検出梁、８ 整流部、８ａ 溝部、９ 物質反応膜、１０ 基板、１０ａ 取入口、１１，１２ 基板、１５ 駆動電極、１６ 検出電極、２０ 気体取込部、２１ 環境センサ、２２ 気体排出部、２３ 外部筐体、２５ 緩和基板、Ｆ 気体

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