特許 7543972 真空ポンプおよび真空ポンプの制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-26

(45)【発行日】2024-09-03

(54)【発明の名称】真空ポンプおよび真空ポンプの制御方法

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20240827BHJP

   F04C 25/02 20060101ALI20240827BHJP

   H02P 6/24 20060101ALI20240827BHJP

【ＦＩ】

F04D19/04 H

F04C25/02 B

H02P6/24

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2021073462

(22)【出願日】2021-04-23

(65)【公開番号】P2022167582

(43)【公開日】2022-11-04

【審査請求日】2023-08-07

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100121382

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 託嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100149009

【弁理士】

【氏名又は名称】古賀 稔久

(72)【発明者】

【氏名】橋本 寿文

【審査官】森 秀太

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－２０４４４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０４４６８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０３－１８２６９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０４Ｄ １９／０４

Ｆ０４Ｃ ２５／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ロータと、前記ロータを駆動するモータと、を有する真空ポンプ本体と、
前記モータの回生電力の供給によって前記モータを減速するための負荷を発生する負荷発生部と、
外部電力の遮断により前記真空ポンプ本体を力行駆動から回生駆動に切り替えて、回生電力を前記負荷発生部に供給開始する際に、前記負荷発生部に供給される回生電力が徐々に増加されるように制御する制御部と、を備えた、
真空ポンプ。

【請求項2】

前記負荷発生部は、開状態において前記真空ポンプ本体の内部に大気を供給する電磁弁を有し、
前記制御部は、前記電磁弁へ供給される前記回生電力を徐々に増加させるように制御して前記電磁弁を前記開状態にする、
請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

前記負荷発生部は、前記回生電力を熱エネルギーに変換するブレーキ抵抗を有し、
前記制御部は、前記ブレーキ抵抗へ供給される前記回生電力を徐々に増加させるように制御する、
請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項4】

開状態において前記回生電力を前記負荷発生部に供給し、閉状態において前記回生電力の前記負荷発生部への供給を停止するスイッチング素子を有し、
前記制御部は、前記スイッチング素子を開閉させるパルス信号を出力し、前記パルス信号を変調させることによって、前記負荷発生部に供給される回生電力が徐々に増加されるように制御する、
請求項１～３のいずれか１項に記載の真空ポンプ。

【請求項5】

前記制御部は、前記パルス信号のパルス幅のデューティ比を徐々に増加させることによって、前記負荷発生部に供給する前記回生電力の供給を徐々に増加させる、
請求項４に記載の真空ポンプ。

【請求項6】

前記回生駆動における前記モータの電圧を計測する電圧検出部を更に備え、
前記制御部は、前記電圧検出部の検出値に基づいて、前記負荷発生部に供給する前記回生電力を変更する、
請求項１～５のいずれか１項に記載の真空ポンプ。

【請求項7】

外部からの前記真空ポンプへの電力供給に関する情報を検出する電力検出部を更に備え、
前記制御部は、前記電力検出部の検出に基づいて外部からの電力供給の停止を検出した場合、前記負荷発生部に供給される前記回生電力が徐々に増加されるように制御する、
請求項１～６のいずれかに記載の真空ポンプ。

【請求項8】

前記制御部は、前記電力検出部の検出に基づいて外部からの電力供給の停止を検出した場合、所定の遅延時間の後に、前記負荷発生部に供給される前記回生電力が徐々に増加されるように制御する、
請求項７に記載の真空ポンプ。

【請求項9】

真空ポンプのロータを駆動するモータに外部から電力供給することによって前記モータを力行駆動する力行工程と、
前記真空ポンプへの外部からの電力供給の停止を検出する検出工程と、
前記電力供給の停止を検出した後に、前記力行駆動から、前記モータが回生駆動に切り替えられて発生する回生電力から、電力の供給によって前記モータを減速するための負荷を発生可能な負荷発生部に供給される電力を徐々に増加する電力供給工程と、を備えた、
真空ポンプの制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプおよび真空ポンプの制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置等の分野において、高真空雰囲気にするために真空ポンプの一種であるターボ分子ポンプが用いられている（例えば、特許文献１参照。）。

【0003】

特許文献１に示すターボ分子ポンプには、ロータ、ロータを駆動するモータ部、およびロータとモータ部を収容するケーシングを有する真空ポンプ本体と、モータ部の駆動制御を行う制御装置が設けられている。

【0004】

小型のターボ分子ポンプは、持ち運びや移動が可能な真空装置に搭載されることが多く、このような装置は使用後に電源をオフするとすぐに、次の使用場所に移動したいという要望がある。ターボ分子ポンプは定格運転から停止までに１時間必要となる場合もあるため、モータの負荷を増やして減速を早めることが行われている。例えば、電磁弁を使用してターボ分子ポンプの減速時に大気を流入させることでモータの負荷を増やして減速を早めることが行われている。また、ブレーキ抵抗を用いて回生電力を熱エネルギーに変換することで、モータの負荷を増やすことも行われている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０２０－１５３３６７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

装置の電源をオフにすると、ターボ分子ポンプへの電源供給が断たれるため、ターボ分子ポンプは力行駆動から回生駆動に切り替わり、回生電力からモータの制御回路に電源供給を行いながら減速が行われる。
装置の電源がオフされるため、回生電力を使用して上述した電磁弁を開状態に駆動するが、電磁弁を開状態にする際に回生電力の負荷が急変する場合がある。その結果、回生電力が不足し、制御回路が動作しなくなる場合がある。

【0007】

本発明は、安定した動作で停止時間を早めることが可能な真空ポンプおよび真空ポンプの制御方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様に係る真空ポンプは、真空ポンプ本体と、負荷発生部と、制御部と、を備える。真空ポンプ本体は、ロータと、モータと、を有する。モータは、ロータを駆動する。負荷発生部は、モータの回生電力の供給によってモータを減速するための負荷を発生可能である。制御部は、負荷発生部に供給する回生電力が徐々に増加されるように制御する。

【0009】

本発明の他の一態様に係る真空ポンプの制御方法は、検出工程と、電力供給工程と、を備える。検出工程は、真空ポンプへの電力供給の停止を検出する。電力供給工程は、電力供給の停止を検出した後に、真空ポンプのロータを駆動するモータが回生駆動されて発生する回生電力から、電力の供給によってモータを減速するための負荷を発生可能な負荷発生部に供給される電力を徐々に増加する。

【発明の効果】

【0010】

上述した本発明の態様によれば、安定した動作で停止時間を早めることが可能な真空ポンプおよび真空ポンプの制御方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施形態に係る真空ポンプの外観図である。

【図2】実施形態に係る真空ポンプの断面図である。

【図3】実施形態に係る真空ポンプに設けられた制御回路を示す図である。

【図4】実施形態に係る真空ポンプに設けられたコントローラの機能ブロックを示す図である。

【図5】実施形態に係るＰＷＭ信号の一例を模式的に示す図である。

【図6】実施形態に係るＰＰＷＭ出力とベンディングバルブに供給される電流との関係を示す図である。

【図7】実施形態に係るＰＷＭ出力を行った場合のモータ電圧の変化を示す図である。

【図8】実施形態に係る負荷変化によってモータ電圧が目標値から変動した場合のＰＷＭ出力の変更を示す図。

【図9】実施形態に係る真空ポンプの制御方法を示すフロー図である。

【図10】実施形態の変形例に係る真空ポンプの制御回路を示す図である。

【図11】実施形態の変形例に係るＰＰＷＭ出力とベンディングバルブに供給される電流との関係を示す図である。

【図12】回生電力を得ながら減速した場合のモータ電圧の変化のグラフを示す図である。

【図13】回生電力を得ている最中に負荷が急変した場合のモータ電圧の変化のグラフを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

装置の電源をオフにすると、ターボ分子ポンプへの電源供給が断たれるため、ターボ分子ポンプは力行駆動から回生駆動に切り替わり、回生電力からモータの制御回路に電源供給を行いながら減速が行われる。図１２は、回生電力を得ながら減速した場合のモータ電圧の変化のグラフを示す図である。図１２の横軸は、時間（ｓ）を示し、縦軸はモータ電圧（ｖ）を示す。時刻ｔ１で電源がオフされてターボ分子ポンプへの電源供給が停止されると、時刻ｔ２で電源供給の停止が検出されて回生駆動に切り替えられる。回生電力を取り出す際には、モータ電圧が一定になるようにモータ制御が行われる。

【0013】

装置の電源がオフされるため、回生電力を使用して上述した電磁弁を開状態に駆動するが、電磁弁を開状態にする際に回生電力の負荷が急変する場合がある。図１３は、回生電力を得ている最中に負荷が急変した場合のモータ電圧の変化のグラフを示す図である。図１３の横軸は、時間（ｓ）を示し、縦軸はモータ電圧（ｖ）を示す。時刻ｔ２の後に時刻ｔ３において開閉弁を開状態にすると、時刻ｔ３～ｔ４に示すように回生電力が不足し、制御回路が動作しなくなり、時刻ｔ４以降の電圧が逆起電圧そのままの電圧となる場合がある。また、ブレーキ抵抗に回生電力を供給する場合も同様であり、回生電力の消費が急変し、制御回路が動作しなくなる場合がある。

【0014】

本発明は、このような課題を解決するものであり、以下、図面を参照して一実施形態に係る真空ポンプについて説明する。

【0015】

（真空ポンプの構成の概要）
図１は、実施形態に係る真空ポンプ１の外観図である。

【0016】

本実施の形態の真空ポンプ１は、ターボ分子ポンプと、ネジ溝ポンプとを含む。真空ポンプ１は、排気対象空間を含む排気対象装置に接続される。排気対象空間からのガスは、ターボ分子ポンプで排気された後、ネジ溝ポンプで排気され、真空ポンプ１の外に排気される。

【0017】

真空ポンプ１は、真空ポンプ本体２と、ベンディングバルブ３（負荷発生部、電磁弁）と、制御装置４と、を備える。真空ポンプ本体２は、排気対象空間からのガスを吸引し、外部に排出する。ベンディングバルブ３は、真空ポンプ本体２に取り付けられている。真空ポンプ本体２のロータ１２（後述する）の回転を停止する際に、ベンディングバルブ３を開状態にして真空ポンプ本体２内に大気を流入させる。制御装置４は、真空ポンプ本体２のモータ１３（後述する）の回転を制御する。制御装置４は、ベンディングバルブ３の開閉を制御する。

【0018】

（真空ポンプ本体２）
図２は、真空ポンプ本体２の断面図である。図２に示すように、真空ポンプ本体２は、筐体１１と、ロータ１２と、モータ１３と、複数のステータ翼ユニット１４と、ステータ円筒部１５と、を有する。

【0019】

（筐体１１）
筐体１１は、ケーシング２１と、ベース２２と、を有する。ケーシング２１およびベース２２は、アルミニウム合金または鉄等の金属によって形成されている。ケーシング２１は、一端にフランジ部を有する筒状の部材である。

【0020】

ケーシング２１は、複数のステータ翼ユニット１４と、ロータ１２に設けられた複数段のロータ翼ユニット３２と、を収容する。ケーシング２１は、第１端部２３と、第２端部２４と、側面部２５と、バルブポート２６と、を含む。第１端部２３は、フランジ部を形成する。第１端部２３には、吸気口２３ａが設けられている。第１端部２３には排気対象装置が接続される。第２端部２４は、ロータ１２の軸線方向Ａ１において、第１端部２３と反対側に位置している。第２端部２４は、ベース２２に接続される。側面部２５は、第１端部２３と第２端部２４を繋ぐ。側面部２５には、ベンディングバルブ３に接続されるバルブポート２６が設けられている。ケーシング２１の内側には、第１内部空間Ｓ１が形成されている。バルブポート２６には、ケーシング２１の内側に形成される第１内部空間Ｓ１とベンディングバルブ３と連通する連通口２６ａが形成されている。第１内部空間Ｓ１は、吸気口２３ａに連通している。

【0021】

ベース２２は、ケーシング２１の第２端部２４側の開口を塞ぐように配置されている。ベース２２は、ベース端部２７と、排気ポート２８と、を含む。ベース端部２７は、ケーシング２１の第２端部２４に接続されている。ベース２２とケーシング２１に、ステータ円筒部１５とロータ１２に設けられているロータ円筒部３３が収納されている。ベース２２とケーシング２１の内側に第２内部空間Ｓ２が形成される。第２内部空間Ｓ２は、ケーシング２１の第１内部空間Ｓ１と連通している。排気ポート２８は、ベース２２の側面部に設けられている。排気ポート２８には、排気口２８ａが形成されており、排気口２８ａは第２内部空間Ｓ２と連通している。

【0022】

排気対象空間から真空ポンプ本体２に流入したガス（気体分子）は、吸気口２３ａから第１内部空間Ｓ１に入る。ガスは、第１内部空間Ｓ１から第２内部空間Ｓ２に達する。ガスは、第２内部空間Ｓ２から排気口２８ａを経由して真空ポンプ本体２の外部に排出される。

【0023】

（ロータ１２）
ロータ１２は、シャフト３１と、複数段のロータ翼ユニット３２と、ロータ円筒部３３と、を有する。

【0024】

シャフト３１は、ロータ１２の軸線方向Ａ１に延びている。以下の説明では、軸線方向Ａ１において、ケーシング２１からベース２２に向かう方向が下方と定義され、その反対方向が上方と定義される。

【0025】

真空ポンプ本体２は、ボールベアリング１６と、タッチダウンベアリング１７と、永久磁石磁気軸受１８と、を更に有する。ボールベアリング１６、タッチダウンベアリング１７および永久磁石磁気軸受１８は、ロータ１２を回転可能に筐体１１に支持する。ボールベアリング１６は、ベース２２に取り付けられている。タッチダウンベアリング１７は、ケーシング２１に取り付けられている。永久磁石磁気軸受１８は、永久磁石１８ａ、１８ｂを有している。永久磁石１８ａは、ケーシング２１に取り付けられている。永久磁石１８ｂは、シャフト３１に取り付けられている。永久磁石１８ｂは、永久磁石１８ａの径方向外側に永久磁石１８ａと対向して配置されている。

【0026】

複数段のロータ翼ユニット３２は、それぞれシャフト３１に接続されている。複数段のロータ翼ユニット３２は、軸線方向Ａ１に互いに間隔をおいて配置されている。各々のロータ翼ユニット３２は、複数のロータ翼３４を含む、図示を省略するが、複数のロータ翼３４の各々は、シャフト３１を中心にして放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のロータ翼ユニット３２の１つ、および複数のロータ翼３４の１つのみに符号が付されており、他のロータ翼ユニット３２および他のロータ翼３４の符号は省略されている。

【0027】

ロータ円筒部３３は、シャフト３１に接続されている。ロータ円筒部３３は、ロータ翼ユニット３２の下方に配置されている。ロータ円筒部３３は、軸線方向Ａ１に延びている。ロータ円筒部３３は、シャフト３１の外周側においてシャフト３１を囲むように配置されている。ロータ円筒部３３は、円筒状の外側ロータ円筒部３３ａと、円筒状の内側ロータ円筒部３３ｂと、を有する。外側ロータ円筒部３３ａは、内側ロータ円筒部３３ｂの径方向外側に配置されている。シャフト３１、内側ロータ円筒部３３ｂ、および外側ロータ円筒部３３ａは、順に径方向外側に向かって配置されている。

【0028】

（モータ１３）
モータ１３は、ロータ１２を回転駆動する。モータ１３としては、例えばＤＣブラシレスモータが用いられる。モータ１３は、モータロータ３５と、モータステータ３６と、を有する。モータロータ３５は、シャフト３１に取り付けられている。モータステータ３６は、ベース２２に取り付けられている。モータステータ３６は、モータロータ３５と向かい合って配置されている。

【0029】

（複数段のステータ翼ユニット１４）
複数段のステータ翼ユニット１４は、ケーシング２１の内面に接続されている。複数段のステータ翼ユニット１４は、軸線方向Ａ１において、互いに間隔を空けて配置されている。複数段のステータ翼ユニット１４の各々は、複数段のロータ翼ユニット３２の間に配置されている。各々のステータ翼ユニット１４は、複数のステータ翼３７を含む。図示を省略するが、複数のステータ翼３７は、それぞれシャフト３１を中心として放射状に延びている。

【0030】

複数段のロータ翼ユニット３２と複数段のステータ翼ユニット１４とは、ターボ分子ポンプを構成する。なお、図面においては、複数のステータ翼ユニット１４の１つ、および複数のステータ翼３７の１つのみに符号が付されており、他のステータ翼ユニット１４および他のステータ翼３７の符号は省略されている。

【0031】

（ステータ円筒部１５）
ステータ円筒部１５は、外側ステータ円筒部１５ａと、内側ステータ円筒部１５ｂと、を有する。外側ステータ円筒部１５ａは、ケーシング２１またはベース２２に取り付けられている。内側ステータ円筒部１５ｂは、ベース２２に取り付けられている。外側ステータ円筒部１５ａおよび内側ステータ円筒部１５ｂは、円筒状であって、軸線方向Ａ１に沿って形成されている。内側ステータ円筒部１５ｂは、シャフト３１の径方向外側に配置されている。外側ステータ円筒部１５ａは、内側ステータ円筒部１５ｂの外側に配置されている。

【0032】

外側ステータ円筒部１５ａと内側ステータ円筒部１５ｂの間に、外側ロータ円筒部３３ａが配置されている。内側ステータ円筒部１５ｂの径方向内側に内側ロータ円筒部３３ｂが配置されている。外側ステータ円筒部１５ａの内周側面と外側ロータ円筒部３３ａの外周側面の一方には、ネジ状溝（図示せず）が形成されている。内側ステータ円筒部１５ｂの内周側面と内側ロータ円筒部３３ｂの外周側面の一方には、ネジ状溝（図示せず）が形成されている。ステータ円筒部１５とロータ円筒部３３とは、ネジ溝ポンプを形成する。

【0033】

（ベンディングバルブ３）
ベンディングバルブ３は、図１に示すように、真空ポンプ本体２の側面に取り付けられる。ベンディングバルブ３は、図２に示すバルブポート２６に接続される。ベンディングバルブ３は、例えば、ソレノイドバルブである。ベンディングバルブ３は、非通電状態において閉状態であり、所定の電圧を通電することによって開状態となる。

【0034】

ベンディングバルブ３が開状態において、真空ポンプ本体２の内部空間（第１内部空間Ｓ１および第２内部空間Ｓ２）と外部が連通する。真空ポンプ本体２の駆動を停止する際に、ベンディングバルブ３を開状態にすることによって真空ポンプ本体２の内部空間に大気が流入する。これによって、ロータ１２の回転に負荷が生じ、モータ１３を早く減速させることができる。

【0035】

（制御装置４）
制御装置４は、図１に示すように、筐体１１の一側面の下部側に取り付けられている。制御装置４は、コントロールパネル４１と、制御回路４２と、を有する。図３は、制御装置４に設けられている制御回路４２を示す図である。

【0036】

コントロールパネル４１は、ユーザによって操作される。コントロールパネル４１は、モータ１３を駆動および停止するための釦４１ａおよびモータ１３の状態を示すランプ４１ｂ等を有している。なお、制御装置４には、パーソナルコンピュータ等に接続可能な端子が設けられており、パーソナルコンピュータから各種設定を行うことが可能であってもよい。

【0037】

制御回路４２は、モータ１３およびベンディングバルブ３の制御を行う。制御回路４２は、インターフェースコネクタ（以下、ＩＦコネクタ）４３、バルブ接続コネクタ４４（図３ではＣＮと示す）、ケーブル４５と、母線４６ａ、４６ｂと、ＤＣ／ＤＣコンバータ４７と、３相インバータ回路４８と、スイッチング素子４９（電力変更部）と、ダイオード５０と、第１電圧センサ５１（電圧検出部）と、第２電圧センサ５２（電力検出部）と、回転数検出部５３（後述する図４参照）と、コントローラ５４（制御部）と、を有する。

【0038】

ＩＦコネクタ４３には、直流電源から例えば２４Ｖの直流電力が入力される。ＩＦコネクタ４３を介してモータ１３およびコントローラ５４に電力が供給される。ＩＦコネクタ４３には、電力の供給および遮断を行うスイッチが設けられていてもよい。また、電力の供給および遮断を行うスイッチは、ＩＦコネクタ４３と直流電源の間若しくは、直流電源と商用交流電源の間に設けられていてもよい。

【0039】

バルブ接続コネクタ４４は、図１に示すように、制御装置４の側面に設けられている。バルブ接続コネクタ４４には、図３に示すようにベンディングバルブ３に接続されたケーブル４５（図１では省略）の一端が接続される。ケーブル４５の他端は、ベンディングバルブ３に接続される。

【0040】

母線４６ａはＩＦコネクタ４３を介して２４Ｖ側に接続されている。母線４６ｂは、ＩＦコネクタ４３を介してグランド側に接続されている。また、母線４６ａ、４６ｂは、バルブ接続コネクタ４４に接続されている。

【0041】

ＤＣ／ＤＣコンバータ４７は、２つの母線４６ａ、４６ｂに接続されている。ＤＣ／ＤＣコンバータ４７には、ＩＦコネクタ４３を介して２４Ｖの直流電力が供給される。ＤＣ／ＤＣコンバータ４７は、供給された直流電力の電圧を変換してコントローラ５４に供給する。また、ＤＣ／ＤＣコンバータ４７は、回生運転時にモータ１３で生じた回生電力の電圧を変換してコントローラ５４に供給する。

【0042】

３相インバータ回路４８は、ＩＦコネクタ４３を介して供給された電力を用いて、モータ１３を回転駆動する。３相インバータ回路４８は、母線４６ａまたは母線４６ｂに接続された複数のスイッチング素子４８ａ～４８ｆを有する。これらスイッチング素子４８ａ～４８ｆには、例えばトランジスタが用いられる。３相インバータ回路４８は、スイッチング素子４８ａ～４８ｆが３相ブリッジ接続して構成されており、各相の出力端子は、モータ１３の各相巻き線にそれぞれ接続されている。スイッチング素子４８ａ～４８ｆの各々のベースには、コントローラ５４からのＰＷＭ（Pulse Width Modulation）信号が入力され、スイッチング素子４８ａ～４８ｆの各々が開閉制御されることによって、電力が供給されてモータ１３が回転する。なお、コントローラ５４からのスイッチング素子４８ａ～４８ｆおよびスイッチング素子４９（後段にて説明する）への信号線は、図を分かり易くするため点線で示す。

【0043】

また、外部からの電力を遮断して真空ポンプ本体２を停止する際には、モータ１３が回生駆動されて回生電力が発生する。回生電力はＤＣ／ＤＣコンバータ４７を介してコントローラ５４に供給される。コントローラ５４は、供給される電力を利用して３相インバータ回路４８を制御し、モータ１３の回転を制御する。モータ１３で発生する回生電力は、スイッチング素子４９が開状態においてベンディングバルブ３に供給される。

【0044】

スイッチング素子４９は、３相インバータ回路４８とバルブ接続コネクタ４４の間の母線４６ｂに配置されている。スイッチング素子４９は開状態において母線４６ｂを接続し、閉状態において母線４６ｂを遮断する。スイッチング素子４９には、例えばトランジスタが用いられる。スイッチング素子４９のベースには、コントローラ５４からのＰＷＭ信号が入力される。スイッチング素子４９は、入力されるＰＷＭ信号に応じて開閉する。

【0045】

例えば、外部から電力が供給されている状態では、スイッチング素子４９を開閉することによって、外部電力からベンディングバルブ３への電力の供給または遮断が行われる。また、モータ１３において回生電力が発生している状態では、スイッチング素子４９を開閉することによって、回生電力からベンディングバルブ３への電力の供給または遮断が行われる。

【0046】

ダイオード５０は、母線４６ａのＤＣ／ＤＣコンバータ４７との接続箇所とＩＦコネクタ４３の間に配置されている。ダイオード５０は、モータ１３において発生する回生電力の外部電力への逆流防止のために設けられている。

【0047】

第１電圧センサ５１は、母線４６ａのＩＦコネクタ４３とダイオード５０の間に配置されている。第１電圧センサ５１は、外部電力から供給される電圧を検出し、検出値をコントローラ５４に出力する。

【0048】

第２電圧センサ５２は、母線４６ａのダイオード５０とＤＣ／ＤＣコンバータ４７との接続箇所の間に配置されている。第２電圧センサ５２は、回生駆動の際にモータ１３で発生する回生電力の電圧を検出し、検出値をコントローラ５４に出力する。

【0049】

後述する図４に示す回転数検出部５３は、ロータ１２の回転数を検出または演算する。回転数検出部５３は、検出値をコントローラ５４に出力する。

【0050】

コントローラ５４は、プロセッサと、記憶装置を含む。プロセッサは、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）である。或いは、プロセッサは、ＣＰＵと異なるプロセッサであってもよい。プロセッサは、プログラムに従って真空ポンプ１の制御のための処理を実行する。記憶装置は、ＲＯＭ（Read Only Memory）のような不揮発性メモリおよびＲＡＭ（Random Access Memory）のような揮発性メモリを含む。記憶装置は、ハードディスク、あるいはＳＳＤ（Solid State Drive）などの補助記憶装置を含んでいてもよい。記憶装置は、非一時的な（non-transitory）コンピュータで読み取り可能な記録媒体の一例である。記憶装置は、真空ポンプ１を制御するためのプログラムおよびデータを記憶している。記憶装置は、例えば、後述する閾値およびモータの目標電圧値のデータを記憶している。

【0051】

コントローラ５４は、スイッチング素子４８ａ～４８ｆ、およびスイッチング素子４９を制御する。

【0052】

図４は、コントローラ５４の機能ブロックを示す図である。

【0053】

コントローラ５４は、停電検出部６１と、モータ電圧検出部６２と、モータ用ＰＷＭ信号出力部６３と、バルブ用ＰＷＭ信号出力部６４と、を有する。

【0054】

停電検出部６１は、第１電圧センサ５１の検出値を取得し、外部電源からの電力の供給が停止したか否かを検出する。例えば、上述した記憶装置に閾値が記憶されている。停電検出部６１は、第１電圧センサ５１の検出値と閾値を比較し、検出値が閾値よりも小さい値の場合、外部電源からの電力の供給が停止したこと（電源オフ）を検出する。

【0055】

モータ電圧検出部６２は、第２電圧センサ５２の検出値を取得し、回生駆動時におけるモータ１３からの回生電圧が、目標とするモータ電圧よりも高くなったこと若しくは低くなったことを検出する。例えば、上述した記憶装置にモータ電圧の目標値が記憶されている。モータ電圧検出部６２は、第２電圧センサ５２の検出値が目標値よりも高くなっているか低くなっているかを検出する。

【0056】

モータ用ＰＷＭ信号出力部６３は、モータ１３を駆動するためのＰＷＭ信号を３相インバータ回路４８のスイッチング素子４８ａ～４８ｆに出力する。ＰＷＭ信号に基づいてスイッチング素子４８ａ～４８ｆの各々が開閉されることによって、モータ１３が回転制御される。

【0057】

モータ用ＰＷＭ信号出力部６３は、外部電源から電力が供給される力行駆動の際に、回転数検出部５３の検出値に基づいて、排気対象空間からガスを吸引するために適切なモータ１３の目標回転数になるように外部電源からの電力を用いてＰＷＭ信号を３相インバータ回路４８に出力する。

【0058】

また、モータ用ＰＷＭ信号出力部６３は、外部電源からの電力が停止した回生駆動の際に、第２電圧センサ５２および回転数検出部５３の検出値に基づいて、回生電力を取り出すために適切なモータ１３の目標回転数および目標電圧値になるようにモータ１３で発生する回生電力を用いてＰＷＭ信号を３相インバータ回路４８に出力する。

【0059】

バルブ用ＰＷＭ信号出力部６４は、停電検出部６１によって外部電力の供給が停止されていることが検出された場合、周期に対するパルス幅の比であるデューティ比が０～１００％まで徐々に大きくなるようにＰＷＭ信号をスイッチング素子４９に出力する。デューティ比の０～１００％までの増加は例えば約１秒間で行うことができる。

【0060】

図５は、デューティ比が徐々に大きくなるように設定されたＰＷＭ信号の一例を模式的に示す図である。図５では、横軸が時間（ｓ）を示し、縦軸が電圧（Ｖ）を示す。周期をＴｃとし、１つのパルス幅をＴｐとする。デューティ比は、Ｔｐ／Ｔｃ×１００（％）で表すことができる。また、パルスの電圧は、Ｖｐで示されている。図５に示すＰＷＭ信号では、所定時間Ｔｄごとにデューティ比が大きくなるように設定されている。なお、図５では、分かり易くするために、時間０から順番に所定時間Ｔｄ（１）、Ｔｄ（２）、・・・Ｔｄ（ｎ）と番号を付し、各々の所定時間Ｔｄにおけるパルスのパルス幅もＴｐ（１）、Ｔｐ（２）、・・・Ｔｐ（ｎ）と番号を付す。また、図を分かり易くするために、各々の所定時間Ｔｄにおける周期Ｔｃを４周期として図示する。

【0061】

具体的には、最初の所定時間Ｔｄ（１）では、デューティ比が０（ゼロ）に設定されており、パルスが生じていない。図示されないが、パルス幅Ｔｐ（１）がゼロに設定されている。

【0062】

２番目の所定時間Ｔｄ（２）では、１周期ごとにパルス幅Ｔｐ（２）のパルスが出力される。３番目の所定時間Ｔｄ（３）では、２番目のパルス幅Ｔｐ（２）よりも時間の長いパルス幅Ｔｐ（３）のパルスが出力される。４番目の所定時間Ｔｄ（４）では、３番目のパルス幅Ｔｐ（３）よりも時間の長いパルス幅Ｔｐ（４）のパルスが出力される。このように、徐々にデューティ比が大きくなるパルス信号が出力され、最終的にデューティ比が１００％となる。図５では、所定時間Ｔｄ（ｎ）においてパルス幅Ｔｐ（ｎ）が周期Ｔｃと同じ時間幅となり、デューティ比が１００％の信号が出力される。

【0063】

なお、図５の例に限定されることなく、例えば、毎周期ごとにデューティ比を増加させることで、デューティ―比を０％から１００％に変化させてもよい。

【0064】

図６は、ＰＷＭ出力とベンディングバルブ３に供給される電流との関係を示す図である。図６では、横軸は時間（ｓ）を示し、時刻０（ｓ）（ゼロ）で電力供給が停止される（停電される）。左側の縦軸は、ＰＷＭ出力（％）を示す。ＰＷＭ出力（％）はデューティ比である。ＰＷＭ出力の変化は実線で示されている。右側の縦軸は、ベンディングバルブ３に供給される電流の平均値（Ａ）を示す。ベンディングバルブ３に供給される電流の平均値の変化は破線で示されている。図６に示すように、停電後、ＰＷＭ信号の出力を徐々に増加させた場合には、ベンディングバルブ３に供給される電流が徐々に増えるため負荷の急変が発生しない。なお、ＰＷＭ信号におけるデューティ比の増加は、図６に示すように時間に対して直線的に増加してもよいが、これに限らず指数関数的に増加してもよい。また、回生電力からベンディングバルブ３に供給する電力を徐々に増加するとは、回生電力の消費の急変を抑えることが出来る程度の割合で電力を増加することである。

【0065】

図７は、図５および図６のようなＰＷＭ出力を行った場合のモータ電圧の変化を示す図である。図７の横軸は、時間（ｓ）を示し、縦軸はモータ電圧（Ｖ）を示す。時刻ｔ１において真空ポンプ１への電力供給が停止される。そして、時刻ｔ２において停電検出部６１が電力供給の停止を検出する。図７に示すグラフでは、図１３と比較して、ＰＷＭ信号によってベンディングバルブ３に供給される電力が徐々に増加し、時刻ｔ５においてベンディングバルブ３が開状態となる。このように負荷が徐々に増加するため、回生電力の不足が発生せずに回生電力によって駆動することができ、時刻ｔ６以降には回生電力により一定のモータ電圧を得て制御回路４２を動作することができる。

【0066】

このように、ＰＷＭ信号のデューティ比を徐々に大きくすることによって、周期に対するパルス幅が大きくなり、スイッチング素子４９の所定時間Ｔｄにおける開状態が長くなる。このため、モータ１３で発生する回生電力からベンディングバルブ３に供給される印加電圧が徐々に大きくなり、所定電圧を超えたときにベンディングバルブ３が開状態となる。これにより、外部電源からの電力供給が停止した状態において、モータ１３で発生する回生電力を用いてベンディングバルブ３を開状態にして大気を真空ポンプ本体２に供給することができる。また、回生電力からベンディングバルブ３に供給する電力を徐々に増加させているため、回生電力の消費の急変を抑制しつつ、ベンディングバルブ３を開状態にすることができる。

【0067】

なお、外部からの電力が供給されている場合には、ベンディングバルブ３を開状態に駆動することによる電力消費の急変を考慮する必要がないため、バルブ用ＰＷＭ信号出力部６４は、初めからデューティ比１００％の信号をスイッチング素子４９に出力すればよい。

【0068】

バルブ用ＰＷＭ信号出力部６４は、モータ電圧検出部６２の検出に基づいて、ＰＷＭ信号のデューティ比を変化させる。図８は、負荷変化によってモータ電圧が目標値から変動した場合のＰＷＭ出力の変更を示す図である。図８の横軸は、時間（ｓ）を示す。図８の左側の縦軸は、モータ電圧（ｖ）を示す。モータ電圧の変化は実線で示されている。図８の右側の縦軸は、ＰＷＭ出力を示す。ＰＷＭ出力の変化は破線で示されている。時刻０において、真空ポンプ本体２への電力供給が停止されている。モータ電圧の目標値をＶｔとすると、図７では時刻ｔ６でモータ電圧はＶｔに達しているが、図８ではモータ電圧がＶｔに達していない。そのため、目標値よりもモータ電圧が低くなっていることが検出され、ＰＷＭ信号の出力を下げる（デューティ比を小さくする）ようにＰＷＭ信号が変更される。これによって、ベンディングバルブ３に供給される電力が減少し、モータ電圧を上げることができる。このため、時刻ｔ７においてモータ電圧が目標値Ｖｔに達している。また、時刻ｔ８において、モータ電圧が目標値よりも高くなっていることが検出されると、ＰＷＭ信号の出力を上げる（デューティ比を大きくする）ようにＰＷＭ信号が変更される。これによって、ベンディングバルブ３に供給される電力が増加し、モータ電圧を下げることができる。このため、時刻ｔ９においてモータ電圧が目標値Ｖｔに戻っている。

【0069】

ＰＷＭ出力の変更は、モータ電圧の目標値Ｖｔと現在のモータ電圧値との偏差に応じて行われる。すなわち、偏差が大きい場合には、ＰＷＭ出力を大きく変更し、偏差が小さい場合には、ＰＷＭ出力の変更を小さくする。

【0070】

（制御方法）
次に、本実施の形態の真空ポンプ１の制御方法について説明する。本実施の形態の真空ポンプ１の制御方法は、真空ポンプ１を停止する際に行われる。

【0071】

図９は、本実施の形態の真空ポンプ１の制御方法を示すフロー図である。

【0072】

はじめにステップＳ１０（検出工程）において、停電検出部６１が、第１電圧センサ５１の検出値に基づいて外部からの電力供給が停止したか否かを判定する。停電検出部６１が外部からの電力供給の停止を判定するまでステップＳ１０が繰り返される。停電検出部６１が、外部からの電力供給が停止したことを検出すると、制御はステップＳ２０に進む。なお、外部からの電源供給の停止は、制御回路４２または制御回路４２と商用電源の間にスイッチを設け、スイッチをオフにしてもよいし、商用電源との接続を解除してもよい。商用電源との接続を解除するとは、例えば、商用電源からコンセントを抜くことである。

【0073】

ステップＳ２０において、バルブ用ＰＷＭ信号出力部６４が、デューティ比を０％から徐々に増加させるようなＰＷＭ信号をスイッチング素子４９に出力開始する。デューティ比の増加は、例えば所定時間ごとに予め決められた増加量または増加割合で行えばよい（図５参照。）。

【0074】

次に、ステップＳ３０において、バルブ用ＰＷＭ信号出力部６４が、ＰＷＭ信号のデューティ比が１００％まで増加した後、所定時間が経過してＰＷＭ信号の出力が終了したか否かが判定される。ステップＳ２０、Ｓ３０が、電力供給工程に対応する。

【0075】

ＰＷＭ信号の出力が終了していない場合、制御はステップＳ４０に進む。

【0076】

そして、ステップＳ４０において、モータ電圧検出部６２が、第２電圧センサ５２の検出値に基づいて、モータ電圧が目標値であるか否かを判定する。モータ電圧が目標値でないことが検出された場合には、制御はステップＳ５０に進む。

【0077】

ステップＳ５０において、バルブ用ＰＷＭ信号出力部６４は、モータ電圧検出部６２の検出結果に基づいて、ＰＷＭ信号を変更する。例えば、モータ電圧検出部６２によってモータ電圧が目標値よりも高くなっていることが検出された場合には、バルブ用ＰＷＭ信号出力部６４は、予め決められた増加量または増加割合でのデューティ比よりも大きいデューティ比のＰＷＭ信号を出力する。これにより、ベンディングバルブ３に供給される電力が大きくなるため、回生電力の消費量を大きくでき、モータ電圧を下げることができる。また、例えば、モータ電圧検出部６２が、モータ電圧が目標値よりも低くなっていることを検出した場合には、バルブ用ＰＷＭ信号出力部６４は、予め決められた増加量または増加割合でのデューティ比よりも小さいデューティ比のＰＷＭ信号を出力する。これにより、ベンディングバルブ３に供給される電力が少なくなるため、回生電力の消費量を小さくでき、モータ電圧を上げることができる。

【0078】

次に、制御は、ステップＳ３０に戻り、ＰＷＭ信号の出力が終了したか否かが判定される。なお、ステップＳ４０において、モータ電圧が目標値であると判定された場合も、制御はステップＳ３０に戻る。

【0079】

このため、ステップＳ３０においてＰＷＭ信号の出力が終了したと判定されるまで、ステップＳ４０およびステップＳ５０が繰り返される。

【0080】

ステップＳ３０において、ＰＷＭ信号の出力が終了したと判定された場合は、制御が終了する。

【0081】

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0082】

上記実施の形態では、真空ポンプ１の停止時に、負荷発生部の一例としてベンディングバルブ３を挙げて説明したが、これに限らなくてもよい。例えば、ベンディングバルブ３とともに若しくはベンディングバルブ３の代わりに、負荷発生部の一例として回生ブレーキ抵抗が設けられていてもよい。

【0083】

図１０は、負荷発生部としてベンディングバルブ３に加えて回生ブレーキ抵抗５５（ブレーキ抵抗）が設けられた構成の制御回路４２を示す図である。図１０に示すように、回生ブレーキ抵抗５５は、母線４６ａと母線４６ｂに接続されている。回生ブレーキ抵抗５５と母線４６ｂの間には、スイッチング素子５６が配置されている。このスイッチング素子５６が閉じた状態において、回生ブレーキ抵抗５５にモータ１３で発生した回生電力が供給される。回生電力が回生ブレーキ抵抗５５に供給されると、熱エネルギーに変換される。スイッチング素子５６は、トランジスタであり、ベースにコントローラ５４からのＰＷＭ信号が入力される。コントローラ５４から出力されるＰＷＭ信号は、上述したスイッチング素子４９へのＰＷＭ信号と同様にデューティ比が徐々に大きくなるように設定される。これによって、回生電力から回生ブレーキ抵抗５５に供給される電力を徐々に増加させることができる。なお、バルブ用ＰＷＭ信号出力部６４からスイッチング素子５６にＰＷＭ信号を出力してもよいし、スイッチング素子５６にＰＷＭ信号を出力するブレーキ用ＰＷＭ信号出力部がコントローラ５４に別途設けられていてもよい。

【0084】

上記実施の形態では、図６に示すように真空ポンプ１への電力供給が停止したことを検出するとすぐに、ＰＷＭ出力を開始しているが、真空ポンプ１への電力供給が停止したことを検出してから所定の遅延時間をおいてからＰＷＭ出力が開始されてもよい。図１１は、遅延時間Δｔが設定された場合のＰＷＭ出力とベンディングバルブ３に供給される電流の関係のグラフを示す図である。図１１では、横軸は時間（ｓ）を示し、時刻０（ｓ）（ゼロ）で電力供給が停止される（停電される）。左側の縦軸は、ＰＷＭ出力（％）を示す。ＰＷＭ出力（％）はデューティ比である。ＰＷＭ出力の変化は実線で示されている。右側の縦軸は、ベンディングバルブ３に供給される電流の平均値（Ａ）を示す。ベンディングバルブ３に供給される電流の平均値の変化は破線で示されている。図１１に示すように、停電後、所定の遅延時間Δｔの後にＰＷＭ信号の出力が開始される。この遅延時間Δｔは、ユーザによって設定可能であってもよく、コントローラ５４の記憶部に記憶される。

【0085】

真空ポンプの電源のオフと同時に大気が流入すると圧力上昇によって損傷する可能性がある場合、または大気の成分によって損傷する可能がある場合に、真空ポンプの電源のオフと同時にベンディングバルブを開状態にすることが望まれない場合がある。このような場合に、電力の供給停止を検出した後に遅延時間を設けることによって、センサ機器の損傷を低減することができるため好ましい。

【0086】

上記実施の形態では、ＰＷＭ出力を用いて負荷発生部への電力の供給を増加させているが、ＰＷＭに限らなくてもよく、ＰＤＭ（Pulse Density Modulation）（パルス密度変調）、ＰＦＭ（Pulse Frequency Modulation）（パルス周波数変調）、またはＰＡＭ（Pulse Amplitude Modulation）（パルス振幅変調）等を用いてもよい。

【0087】

上記実施の形態では、モータ電圧の目標値Ｖｔが設定されているが、目標値が幅を有し、上限値と下限値が設けられていてもよい。
上記実施の形態では、電力検出部の一例として第２電圧センサ５２を用いて、外部からの電力供給の停止（電源オフ）を検出しているが、電圧に限らず電流を検出してもよい。

【0088】

上記実施の形態では、コントローラ５４がバルブ用ＰＷＭ信号出力部６４を備えているが、ＩＦコネクタ４３がバルブ用ＰＷＭ信号出力部６４を備えていてもよい。

【0089】

（態様）
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0090】

（第１態様）真空ポンプは、真空ポンプ本体と、負荷発生部と、制御部と、を備える。真空ポンプ本体は、ロータと、モータと、を有する。モータは、ロータを駆動する。負荷発生部は、モータの回生電力の供給によってモータを減速するための負荷を発生可能である。制御部は、負荷発生部に供給される回生電力が徐々に増加されるように制御する。

【0091】

第１態様に係る真空ポンプでは、回生電力から負荷発生部に供給する電力を徐々に増加させている。これによって、負荷発生部による回生電力の消費の急変を抑えることができ、制御部が安定して動作することができる。また、モータを減速させる負荷を生じさせることができる。このため、安定した動作で停止時間早めることが可能となる。

【0092】

（第２態様）第１態様に係る真空ポンプにおいて、負荷発生部は、開状態において真空ポンプ本体の内部に大気を供給する電磁弁を有する。制御部は、電磁弁へ供給される回生電力を徐々に増加させるように制御して電磁弁を開状態にする。

【0093】

第２態様に係る真空ポンプでは、回生電力から電磁弁に供給する電力を徐々に増加させて、電磁弁を開状態にしている。これによって、回生電力の消費の急変を抑えた状態で真空ポンプ本体の内部に大気を供給して負荷を発生することができる。このため、安定した動作で停止時間を早めることが可能となる。

【0094】

（第３態様）第１態様に係る真空ポンプにおいて、回生電力を熱エネルギーに変換するブレーキ抵抗を有する。制御部は、ブレーキ抵抗へ供給される回生電力を徐々に増加させるように制御する。

【0095】

第３態様に係る真空ポンプでは、回生電力からブレーキ抵抗に供給する電力を徐々に増加させている。これによって、回生電力の消費の急変を抑えた状態で回生電力を熱エネルギーに変換して負荷を発生することができる。このため、安定した動作で停止時間を早めることが可能となる。

【0096】

（第４態様）第１～第３のいずれかの態様に係る真空ポンプは、開状態において回生電力を負荷発生部に供給し、閉状態において回生電力の負荷発生部への供給を停止するスイッチング素子を有する。制御部は、スイッチング素子を開閉させるパルス信号を出力し、パルス信号を変調させることによって、負荷発生部に供給される回生電力が徐々に増加されるように制御する。

【0097】

第４態様に係る真空ポンプでは、パルス信号を出力することによって、スイッチング素子の開閉を制御することができるため、回生電力から負荷発生部への電力の供給量を制御することが可能となる。

【0098】

また、パルス信号を変調させることによって、スイッチング素子の開閉時間を制御することができる。これによって、回生電力から負荷発生部への電力の供給量を制御することができる。

【0099】

（第５態様）第４の態様に係る真空ポンプにおいて、制御部は、パルス信号のパルス幅のデューティ比を徐々に増加させることによって、負荷発生部に供給する回生電力の供給を徐々に増加させる。

【0100】

第５態様に係る真空ポンプでは、デューティ比が徐々に大きくなるように設定したパルス信号をスイッチング素子に出力することによって、回生電力から負荷発生部への電力の供給量を徐々に増加させることができる。

【0101】

（第６態様）第１～第５のいずれかの態様に係る真空ポンプにおいて、回生駆動におけるモータの電圧を計測する電圧検出部を更に備える。制御部は、電圧検出部の検出値に基づいて、負荷発生部に供給する回生電力を変更する。

【0102】

第６態様に係る真空ポンプでは、回生駆動時にモータの電圧を検出することによって、目標となるモータ電圧になるように、負荷発生部に供給する電力を変更することができる。これによって、例えば、負荷の発生が遅い場合若しくは負荷変動によって目標のモータ電圧値よりも低くなった場合、または負荷変動でモータ電圧が目標のモータ電圧よりも高くなった場合に、目標のモータ電圧値になるように制御することができる。

【0103】

（第７態様）第４の態様に係る真空ポンプにおいて、外部からの真空ポンプへの電力供給に関する情報を検出する電力検出部を更に備える。制御部は、電力検出部の検出に基づいて外部からの電力供給の停止を検出した場合、負荷発生部に供給される回生電力が徐々に増加されるように制御する。

【0104】

第７態様に係る真空ポンプでは、外部からの電力供給の停止を検出することによって、回生駆動への切換を検出してパルス信号のスイッチング素子への出力を開始することができる。

【0105】

（第８態様）第７の態様に係る真空ポンプにおいて、制御部は、電力検出部の検出に基づいて外部からの電力供給の停止を検出した場合、所定の遅延時間の後に、負荷発生部に供給される回生電力が徐々に増加されるように制御する。

【0106】

排気対象装置に設けられたセンサ機器が、真空ポンプの電源のオフと同時に大気が流入すると圧力上昇によって損傷する可能性がある場合、または大気の成分によって損傷する可能がある場合に、真空ポンプの電源のオフと同時にベンディングバルブを開状態にすることが望まれない場合がある。このような場合に、電力の供給停止を検出した後に遅延時間を設けることによって、センサ機器の損傷を低減することができる。

【0107】

（第９態様）真空ポンプの制御方法は、検出工程と、電力供給工程と、を備える。検出工程は、真空ポンプへの電力供給の停止を検出する。電力供給工程は、電力供給の停止を検出した後に、真空ポンプのロータを駆動するモータが回生駆動されて発生する回生電力から、電力の供給によってモータを減速するための負荷を発生可能な負荷発生部に供給される電力を徐々に増加する。

【0108】

第９態様に係る真空ポンプの制御方法では、回生電力から負荷発生部に供給する電力を徐々に増加させている。これによって、回生電力の消費の急変を抑えることができ、制御回路が安定して動作することができる。また、モータを減速させる負荷を生じさせることができる。このため、安定した動作で停止時間早めることが可能となる。

【符号の説明】

【0109】

１：真空ポンプ、２：真空ポンプ本体、３：ベンディングバルブ、４：制御装置、１１：筐体、１２：ロータ、１３：モータ、１４：ステータ翼ユニット、１５：ステータ円筒部、１５ａ：外側ステータ円筒部、１５ｂ：内側ステータ円筒部、１６：ボールベアリング、１７：タッチダウンベアリング、１８：永久磁石磁気軸受、１８ａ：永久磁石、１８ｂ：永久磁石、２１：ケーシング、２２：ベース、２３：第１端部、２３ａ：吸気口、２４：第２端部、２５：側面部、２６：バルブポート、２６ａ：連通口、２７：ベース端部、２８：排気ポート、２８ａ：排気口、３１：シャフト、３２：ロータ翼ユニット、３３：ロータ円筒部、３３ａ：外側ロータ円筒部、３３ｂ：内側ロータ円筒部、３４：ロータ翼、３５：モータロータ、３６：モータステータ、３７：ステータ翼、４１：コントロールパネル、４１ａ：釦、４１ｂ：ランプ、４２：制御回路、４３：ＩＦコネクタ、４４：バルブ接続コネクタ、４５：ケーブル、４６ａ：母線、４６ｂ：母線、４７：ＤＣ／ＤＣコンバータ、４８ａ～４８ｆ：スイッチング素子、４９：スイッチング素子、５０：ダイオード、５１：第１電圧センサ、５２：第２電圧センサ、５３：回転数検出部、５４：コントローラ、５５：回生ブレーキ抵抗、５６：スイッチング素子、６１：停電検出部、６２：モータ電圧検出部、６３：モータ用ＰＷＭ信号出力部、６４：バルブ用ＰＷＭ信号出力部、Ａ１：軸線方向、Ｓ１：第１内部空間、Ｓ２：第２内部空間、Ｔｃ：周期、Ｔｄ：所定時間、Ｔｐ：パルス幅、Ｖｔ：目標値、Δｔ：遅延時間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】