特許 7544795 ダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-26

(45)【発行日】2024-09-03

(54)【発明の名称】ダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/67 20060101AFI20240827BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240827BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 E

H01L21/78 Y

【請求項の数】 17

(21)【出願番号】P 2022197870

(22)【出願日】2022-12-12

(65)【公開番号】P2023099484

(43)【公開日】2023-07-13

【審査請求日】2022-12-14

(31)【優先権主張番号】10-2021-0194112

(32)【優先日】2021-12-31

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】520236767

【氏名又は名称】サムス カンパニー リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ピョンホ チョン

(72)【発明者】

【氏名】ヨンクン パク

(72)【発明者】

【氏名】チョンファ ハン

【審査官】鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１２－１８２３３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１４／０２３８６１８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開平０４－３５４３５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２３１２５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ダイを接着層から分離させるダイエジェクティング方法であり、
前記ダイの中心部分がダイエジェクタから水平方向に離隔されるように、前記ダイエジェクタ上に、前記接着層を配する段階と、
前記ダイエジェクタを介し、前記接着層に吸入圧力を提供する段階と、
前記ダイの第１エッジ部分、中心部分、及び前記第１エッジ部分と反対になる第２エッジ部分が、順次に前記ダイエジェクタと垂直方向に重畳されるように、前記ダイエジェクタが前記接着層に対し、第１方向に相対的に移動する段階と、
前記ダイエジェクタが前記接着層に対し、前記第１方向と反対になる第２方向に移動し、前記ダイ及び前記ダイエジェクタを整列させる段階と、
前記ダイエジェクタを介し、前記接着層に噴射圧力を提供する段階と、を含む、ダイエジェクティング方法。

【請求項2】

前記ダイエジェクタが前記接着層に対し、第１方向に相対的に移動する段階は、
前記接着層がステージ上に固定された状態で、前記ダイエジェクタが水平方向に移動する段階を含むことを特徴とする請求項１に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項3】

前記ダイエジェクタが前記接着層に対し、第１方向に相対的に移動する段階は、
前記ダイエジェクタが固定された状態で、前記接着層を支持するステージが水平方向に移動する段階を含むことを特徴とする請求項１に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項4】

前記ダイエジェクティング方法は、
前記ダイエジェクタを介し、前記接着層に噴射圧力を提供する段階の遂行以前、
前記接着層の下部に配された昇降部材の垂直方向の移動を介し、前記ダイの前記第１エッジ部分及び前記第２エッジ部分の下部に配された前記接着層の一部分を上向きに移動させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項5】

前記昇降部材を介し、前記接着層の一部分を上向きに移動させる段階が遂行される間、前記ダイエジェクタは、前記ダイの前記中心部分の下部に配された前記接着層に吸入圧力を提供することを特徴とする請求項４に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項6】

前記ダイエジェクタ上に配されたボンディングヘッドを介し、前記ダイを前記接着層からピックアップする段階をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項7】

前記ダイ及び前記ダイエジェクタを整列させる段階が遂行される間、前記ダイエジェクタは前記接着層に吸入圧力を提供することを特徴とする請求項１に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項8】

前記ダイ及び前記ダイエジェクタを整列させる段階が遂行される間、前記ダイエジェクタは、前記接着層に吸入圧力の提供を中断することを特徴とする請求項１に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項9】

ダイを接着層から分離させるダイエジェクティング方法であり、
ダイエジェクタを介し、前記接着層に吸入圧力を提供する段階と、
前記接着層に前記吸入圧力が提供される間、前記ダイのエッジ部分及び中心部分が、順次にダイエジェクタと重畳されるように、前記ダイエジェクタが前記接着層に対して相対的に移動する段階と、
前記ダイエジェクタを介し、前記接着層に噴射圧力を提供する段階と、を含み、
前記ダイエジェクタが前記接着層に対して相対的に移動する段階は、
前記ダイエジェクタが固定された状態で、前記接着層を支持するステージが水平方向に移動する段階を含む、ダイエジェクティング方法。

【請求項10】

前記ダイの前記中心部分が前記ダイエジェクタと垂直方向に重畳された場合、前記ダイエジェクタの相対的移動を中断させ、前記ダイ及び前記ダイエジェクタを整列させる段階をさらに含み、
前記ダイエジェクタを介し、前記接着層に噴射圧力を提供する段階は、
前記ダイ及び前記ダイエジェクタを整列させる段階以後に遂行されることを特徴とする請求項９に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項11】

前記ダイ及び前記ダイエジェクタを整列させる段階が遂行される間、前記ダイエジェクタは、前記接着層に吸入圧力を提供することを特徴とする請求項１０に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項12】

前記ダイエジェクティング方法は、
前記ダイエジェクタを介し、前記接着層に噴射圧力を提供する段階の遂行以前、
前記接着層の下部に配された昇降部材の垂直方向の移動を介し、前記ダイの前記エッジ部分の下部に配された前記接着層の一部分を上向きに移動させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項13】

前記ダイエジェクタ上に配されたボンディングヘッドを介し、前記ダイを前記接着層からピックアップする段階をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載のダイエジェクティング方法。

【請求項14】

ダイを接着層から分離させるように構成されたダイエジェクティング装置において、
前記接着層の下部に配され、内部空間を提供するハウジングと、
前記ハウジングの前記内部空間に配され、前記接着層に、吸入圧力及び噴射圧力のうち少なくともいずれか一つを提供するように構成されたダイエジェクタと、
前記ダイエジェクタと連結され、前記ダイエジェクタが前記接着層に提供する圧力の種類及び強度のうち少なくともいずれか一つを調節するように構成された圧力調節装置と、
前記ダイエジェクタを水平方向に移動させるように構成されたダイエジェクタ駆動装置と、
前記ハウジングの前記内部空間に配され、前記接着層の下部に配され、前記接着層の一部分を支持するように構成された昇降部材と、
前記昇降部材と連結され、前記昇降部材を垂直方向に移動させるように構成された昇降部材駆動装置と、
前記圧力調節装置、前記ダイエジェクタ駆動装置及び前記昇降部材駆動装置と連結された制御器と、
前記接着層を支持するように構成されたステージと、
前記制御器と連結され、前記ステージを水平方向に移動させるように構成されたステージ駆動装置と、を含み、
前記制御器は、
前記接着層に前記吸入圧力が提供されるように、前記圧力調節装置を制御し、
前記接着層に前記吸入圧力が提供された状態において、前記ダイのエッジ部分及び中心部分が、順次に前記ダイエジェクタを通り過ぎるように、前記ステージ駆動装置を制御し、前記ステージを水平方向に移動させ、
前記ダイ及び前記ダイエジェクタが整列された状態において、前記接着層に噴射圧力が提供されるように、前記圧力調節装置を制御する、ダイエジェクティング装置。

【請求項15】

前記制御器は、
前記昇降部材が垂直方向に移動し、前記ダイの前記エッジ部分の下部に配された前記接着層の一部分を支持する間、前記ダイの前記中心部分の下部に配された前記接着層の一部分に、前記吸入圧力が提供されるように、前記圧力調節装置を制御することを特徴とする請求項１４に記載のダイエジェクティング装置。

【請求項16】

前記制御器は、
前記圧力調節装置を介し、前記接着層に前記吸入圧力を提供する前、前記ダイの前記中心部分が前記ダイエジェクタと水平方向に離隔されて配されるように、前記ダイエジェクタ駆動装置を制御することを特徴とする請求項１４に記載のダイエジェクティング装置。

【請求項17】

前記ダイエジェクタ上に配され、前記ダイを前記接着層からピックアップするように構成されたボンディングヘッドをさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載のダイエジェクティング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法に係り、さらに詳細には、ダイを接着層から分離させるダイエジェクティング装置、及びそれを活用したダイエジェクティング方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ソーイング工程において、個別化された複数のダイが離脱されることを防止するために、接着層がウェーハの一面上に付着されうる。また、該ソーイング工程によって個別化された複数のダイは、ダイエジェクティング装置により、接着層から分離されうる。最近では、該接着層上に付着されたダイ厚がだんだんと薄くなることにより、ダイ破損の危険性を下げながら、前記ダイを前記接着層から容易に分離させることができるダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法に係わる研究が活発である。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

本発明が解決しようとする課題のうち一つは、接着層からダイを容易に分離させることができるダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法を提供することである。

【0004】

本発明が解決しようとする課題のうち他の一つは、接着層からダイを迅速に分離させることができるダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

前記目的を達成するために、本開示の例示的な実施形態として、ダイを接着層から分離させるダイエジェクティング方法であり、前記ダイの中心部分がダイエジェクタから水平方向に離隔されるように、前記ダイエジェクタ上に、前記接着層を配する段階と、前記ダイエジェクタを介し、前記接着層に吸入圧力を提供する段階と、前記ダイの第１エッジ部分、中心部分、及び前記第１エッジ部分と反対になる第２エッジ部分が、順次に前記ダイエジェクタと垂直方向に重畳されるように、前記ダイエジェクタが前記接着層に対し、第１方向に相対的に移動する段階と、前記ダイエジェクタが前記接着層に対し、前記第１方向と反対になる第２方向に移動し、前記ダイ及び前記ダイエジェクタを整列させる段階と、前記ダイエジェクタを介し、前記接着層に噴射圧力を提供する段階と、を含むダイエジェクティング方法を提供する。

【0006】

また、本開示の例示的な実施形態として、ダイを接着層から分離させるダイエジェクティング方法であり、ダイエジェクタを介し、前記接着層に吸入圧力を提供する段階と、前記接着層に吸入圧力が提供される間、前記ダイのエッジ部分及び中心部分が、順次にダイエジェクタと重畳されるように、前記ダイエジェクタが前記接着層に対して相対的に移動する段階と、前記ダイエジェクタを介し、前記接着層に噴射圧力を提供する段階と、を含むダイエジェクティング方法を提供する。

【0007】

また、本開示の例示的な実施形態として、ダイを接着層から分離させるように構成されたダイエジェクティング装置において、前記接着層の下部に配され、内部空間を提供するハウジングと、前記ハウジングの前記内部空間に配され、前記接着層に、吸入圧力及び噴射圧力のうち少なくともいずれか一つを提供するように構成されたダイエジェクタと、前記ダイエジェクタと連結され、前記ダイエジェクタが前記接着層に提供する圧力の種類及び強度のうち少なくともいずれか一つを調節するように構成された圧力調節装置と、前記ダイエジェクタを水平方向に移動させるように構成されたダイエジェクタ駆動装置と、前記ハウジングの前記内部空間に配され、前記接着層の下部に配され、前記接着層の一部分を支持するように構成された昇降部材と、前記昇降部材と連結され、前記昇降部材を垂直方向に移動させるように構成された昇降部材駆動装置と、前記圧力調節装置、前記ダイエジェクタ駆動装置及び前記昇降部材駆動装置と連結された制御器と、を含み、前記制御器は、前記接着層に前記吸入圧力が提供されるように、前記圧力調節装置を制御し、前記接着層に前記吸入圧力が提供された状態において、前記ダイのエッジ部分及び中心部分が、順次に前記ダイエジェクタを通り過ぎるように、前記ダイエジェクタ駆動装置を制御し、前記ダイエジェクタを水平方向に移動させ、前記ダイ及び前記ダイエジェクタが整列された状態において、前記接着層に噴射圧力が提供されるように、前記圧力調節装置を制御するダイエジェクティング装置を提供する。

【発明の効果】

【0008】

本開示の技術的思想によるダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法は、ダイエジェクタが接着層の下部に吸入圧力を提供する間、ダイのエッジ部分及び中心部分が、順次にダイエジェクタと垂直方向に重畳されるように、前記ダイエジェクタを接着層に対し、水平方向に相対的に移動させることができる。それにより、本開示のダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法は、ダイを接着層から一次的に分離させることができる。また、本開示のダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法は、ダイを接着層から一次的に分離させた後、前記ダイが接着層から二次的に分離されるように、接着層の下部に噴射圧力を提供することができる。それにより、本開示のダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法は、ダイを接着層から容易に分離させることができる。

【0009】

また、本開示の技術的思想によるダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法は、ダイエジェクタを特定方向だけに移動させながら、接着層に、吸入圧力及び噴射圧力を提供し、ダイを接着層から分離させることができる。それにより、本開示のダイエジェクティング装置及びダイエジェクティング方法は、ダイを接着層から迅速に分離させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング装置の断面図である。

【図2】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング装置の信号フローチャートである。

【図3】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の段階のフローを示すフローチャートである。

【図4】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図5】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図6A】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図6B】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図6C】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図7A】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図7B】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図7C】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図8A】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図8B】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図9】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図10】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図11】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図12】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の段階のフローを示すフローチャートである。

【図13】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図14】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図15】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図16】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図17】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図18】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【図19】本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法の各段階を示す図面である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、添付図面を参照し、本開示の実施形態について詳細に説明する。

【0012】

図１は、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング装置１０の断面図である。また、図２は、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング装置１０の信号フローチャートである。

【0013】

図１及び図２を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング装置１０は、ハウジング１１０、ダイエジェクタ１２０、圧力調節装置１３０、ダイエジェクタ駆動装置１４０、昇降部材１５０、昇降部材駆動装置１６０、ステージ１７０、ステージ駆動装置１８０、ボンディングヘッド１９０及び制御器２００を含むものでもある。

【0014】

本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング装置１０は、ソーイング（ｓａｗｉｎｇ）工程において、個別化された複数のダイＤを、接着層ＡＬから分離させるように構成された装置でもある。

【0015】

最近では、接着層ＡＬ上に付着されたダイＤの厚みがだんだんと薄くなることにより、ダイＤ破損の危険性が下げながら、前記ダイＤを、前記接着層ＡＬから、容易であって迅速に分離させることができるダイエジェクティング装置が要求されている。

【0016】

以下において、水平方向は、接着層ＡＬが延長された方向と平行な方向（例えば、ＸＹ平面が延長された方向と平行な方向）とも定義され、垂直方向は、接着層ＡＬが延長された方向と垂直である方向（例えば、Ｚ方向と平行な方向）とも定義される。

【0017】

ハウジング１１０は、接着層ＡＬの下部に配され、後述するダイエジェクタ１２０及び昇降部材１５０が配される内部空間を提供することができる。

【0018】

例示的な実施形態において、ハウジング１１０上面の面積は、ダイＤの面積よりも大きく提供される。それにより、ダイＤは、ハウジング１１０の上面上に載置されうる。

【0019】

ダイエジェクタ１２０は、ハウジング１１０の内部空間に配され、ダイＤを接着層ＡＬから分離させるために、ダイエジェクタ１２０に露出された前記接着層ＡＬの一部分に、吸入圧力及び噴射圧力のうち少なくともいずれか一つの圧力を提供することができる。

【0020】

前記吸入圧力は、ダイエジェクタ１２０に露出された接着層ＡＬを下向きに移動させるための圧力でもあり、前記噴射圧力は、ダイエジェクタ１２０に露出された接着層ＡＬを上向きに移動させるための圧力でもある。

【0021】

例示的な実施形態において、ダイエジェクタ１２０は、圧力調節装置１３０から、噴射または吸入される空気の移動経路を提供する導管（ｃｏｎｄｕｉｔ）を含むものでもある。

【0022】

また、ダイエジェクタ１２０を平面的観点から見た場合、前記ダイエジェクタ１２０は、ホールを有するリング形状でもある。ダイエジェクタ１２０の前記ホール形状は、ダイＤの形状と対応するようにも提供される。例えば、ダイＤが四角形状である場合、前記ダイエジェクタ１２０のホール形状は四角形状にも提供される。ただし、ダイエジェクタ１２０のホール形状は、前述のところに限定されるものではない。

【0023】

すなわち、ダイエジェクタ１２０は、前記ダイエジェクタ１２０のホールによって露出された接着層ＡＬの一部分に、吸入圧力及び噴射圧力のうち少なくともいずれか一つの圧力を提供することができる。

【0024】

圧力調節装置１３０は、ダイエジェクタ１２０と連結され、前記ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに提供する圧力の種類及び圧力の強度のうち少なくともいずれか一つを調節するようにも構成される。

【0025】

例示的な実施形態において、圧力調節装置１３０は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに提供する圧力の種類及び圧力の強度を制御するために、加圧ポンプ、減圧ポンプ、加圧ライン、減圧ライン、加圧バルブ及び減圧バルブのうち少なくともいずれか一つを含むものでもある。

【0026】

例示的な実施形態において、圧力調節装置１３０は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに吸入圧力及び噴射圧力のうちいずれか一つを提供するように、前記ダイエジェクタ１２０内部の空気流動を制御することができる。

【0027】

例えば、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに吸入圧力を提供するように、圧力調節装置１３０は、減圧ラインに残留する空気が外部に排出されるように、減圧ポンプ及び減圧バルブを動作させることができる。また、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに噴射圧力を提供するように、圧力調節装置１３０は、加圧ラインに空気が流入されうるように、加圧ポンプ及び加圧バルブを動作させることができる。

【0028】

ダイエジェクタ駆動装置１４０は、ダイエジェクタ１２０及びハウジング１１０のうち少なくとも一つと連結され、前記ダイエジェクタ１２０を水平方向（例えば、ＸＹ平面が延長された方向）に移動させるようにも構成される。

【0029】

例示的な実施形態において、ダイエジェクタ駆動装置１４０は、モータ及び変換装置を含むものでもある。例えば、ダイエジェクタ駆動装置１４０は、モータの回転力を、ダイエジェクタ１２０の水平方向の線形運動に変換させるリニアアクチュエータ（ｌｉｎｅａｒ ａｃｔｕａｔｏｒ）を含むものでもある。例えば、前記変換装置は、ラック・アンド・ピニオン（ｒａｃｋ ａｎｄ ｐｉｎｉｏｎ）を含むものでもある。

【0030】

ダイエジェクタ１２０が、ダイエジェクティング駆動装置１４０を介し、水平方向に移動することができ、ダイＤと、前記ダイエジェクタ１２０との整列がなされうる。また、ダイエジェクタ１２０は、水平方向に移動しながら、複数のダイＤの下部に配された接着層ＡＬに、吸入圧力及び噴射圧力を提供することができる。それにより、前記複数のダイＤは、接着層ＡＬから順次に分離されうる。

【0031】

昇降部材１５０は、ハウジング１１０の内部空間に配され、垂直方向の移動に基づき、ダイＤの下部に配された接着層ＡＬの一部分を支持するようにも構成される。例示的な実施形態において、昇降部材１５０は、垂直方向に移動し、接着層ＡＬの一部分を支持する昇降ピン（ｐｉｎ）でもある。

【0032】

昇降部材駆動装置１６０は、昇降部材１５０と連結され、昇降部材１５０を垂直方向（例えば、Ｚ軸が延長された方向）に移動させるようにも構成される。

【0033】

例示的な実施形態において、昇降部材駆動装置１６０は、モータ及び変換装置を含むものでもある。例えば、昇降部材駆動装置１６０は、モータの回転力を、昇降部材１５０の垂直方向の線形運動に変換させるリニアアクチュエータを含むものでもある。例えば、前記変換装置は、ラック・アンド・ピニオンを含むものでもある。

【0034】

ステージ１７０は、ハウジング１１０の外側に配され、ダイＤが付着された接着層ＡＬを支持することができる。また、ステージ１７０は、ダイＤが付着された接着層ＡＬを支持した状態で、ステージ駆動装置１８０を介し、水平方向に移動しうる。

【0035】

ステージ駆動装置１８０は、ステージ１７０と連結され、前記ステージ１７０を水平方向（例えば、ＸＹ平面が延長された方向）に移動させるようにも構成される。

【0036】

例示的な実施形態において、ステージ駆動装置１８０は、モータ及び変換装置を含むものでもある。例えば、ステージ駆動装置１８０は、モータの回転力を、ステージ１７０の水平方向の線形運動に変換させるリニアアクチュエータを含むものでもある。

【0037】

ボンディングヘッド１９０は、ダイエジェクタ１２０の上部に配され、ダイＤを接着層ＡＬからピックアップするようにも構成される。

【0038】

例示的な実施形態において、ボンディングヘッド１９０は、接着層ＡＬから分離されたダイＤをピックアップした後、前記ダイＤを、作業台上に提供された基板に付着させることができる。前記基板は、ウェーハまたは印刷回路基板（ＰＣＢ）でもある。ただし、前記基板の種類は、前述のところに限定されるものではない。

【0039】

例示的な実施形態において、ボンディングヘッド１９０は、ダイＤの上面に真空圧を提供し、前記ダイＤを接着層ＡＬからピックアップすることができ、前述のピックアップしたダイＤを基板に付着させることができる。

【0040】

制御器２００は、ダイエジェクティング装置１０の動作を全般的に制御するようにも構成される。制御器２００は、圧力調節装置１３０、ダイエジェクタ駆動装置１４０、昇降部材駆動装置１６０及びステージ駆動装置１８０と連結され、前記圧力調節装置１３０、前記ダイエジェクタ駆動装置１４０、前記昇降部材駆動装置１６０及び前記ステージ駆動装置１８０のうち少なくともいずれか一つを制御することができる。

【0041】

例示的な実施形態において、制御器２００は、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェア、またはそれらの任意の組み合わせによっても具現される。例えば、制御器２００は、ワークステーションコンピュータ、デスクトップコンピュータ、ラップトップコンピュータ、タブレットコンピュータのようなコンピュータ装置でもある。制御器２００は、単純制御器；マイクロプロセッサ、ＣＰＵ、ＧＰＵのような複雑なプロセッサ；ソフトウェアによって構成されたプロセッサ；専用のハードウェアまたはファームウェアでもある。制御器２００は、例えば、汎用コンピュータまたはＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）及びＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）のようなアプリケーション特定ハードウェアによっても具現される。

【0042】

例示的な実施形態において、制御器２００の動作は、１以上のプロセッサにより、判読されて実行されうる機械可読媒体上に保存された命令としても具現される。ここで、該機械可読媒体は、機械（例えば、コンピュータ装置）によって読み取り可能な形態でもって、情報を保存及び／または伝送するための任意のメカニズムを含むものでもある。例えば、該機械可読媒体は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ－Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、磁気ディスク記録媒体、光学記録媒体、フラッシュメモリ装置、電気的・光学的・音響的、または他形態の電波信号（例えば、搬送波、赤外線信号、デジタル信号など）、及びその他任意の信号を含むものでもある。

【0043】

制御器２００は、ダイエジェクティング装置１０を動作させるためのファームウェア、ソフトウェア、ルーチン及び命令語によっても具現される。例えば、制御器２００は、フィードバックのためのデータを受信し、ダイエジェクティング装置１０を動作させるための信号を生成し、所定の演算を行うソフトウェアによっても具現される。

【0044】

例示的な実施形態において、制御器２００は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに提供する圧力の種類、及び圧力の強度を調節するために、圧力調節装置１３０を制御することができる。

【0045】

例示的な実施形態において、制御器２００は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに吸入圧力を提供するように、圧力調節装置１３０を制御することができる。また、制御器２００は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに提供する吸入圧力の強度を調節するために、圧力調節装置１３０を制御することができる。

【0046】

また、制御器２００は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに噴射圧力を提供するように、圧力調節装置１３０を制御することができる。また、制御器２００は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに提供する噴射圧力の強度を調節するために、圧力調節装置１３０を制御することができる。

【0047】

例示的な実施形態において、制御器２００は、ダイエジェクタ１２０が水平方向に移動するように、ダイエジェクタ駆動装置１４０を制御することができる。例えば、制御器２００は、ダイＤの中心部分と、ダイエジェクタ１２０の中心とが水平方向に重畳されるように、ダイエジェクタ駆動装置１４０を制御し、前記ダイエジェクタ１２０を水平方向に移動させることができる。

【0048】

例示的な実施形態において、制御器２００は、昇降部材１５０が垂直方向に移動するように、昇降部材駆動装置１６０を制御することができる。

【0049】

また、例示的な実施形態において、制御器２００は、ステージ１７０が水平方向に移動するように、ステージ駆動装置１８０を制御することができる。例えば、制御器２００は、ダイＤの中心部分と、ダイエジェクタ１２０の中心とが水平方向に重畳されるように、ステージ駆動装置１８０を制御し、ステージ１７０を移動させることができる。

【0050】

例示的な実施形態において、制御器２００は、ダイエジェクタ駆動装置１４０及びステージ駆動装置１８０のうち少なくともいずれか一つを制御することができる。例えば、制御器２００は、ダイエジェクタ駆動装置１４０を制御し、ステージ駆動装置１８０を制御しないものでもある。また、制御器２００は、ダイエジェクタ駆動装置１４０を制御せず、ステージ駆動装置１８０を制御することができる。ただし、それらに限定されるものではなく、制御器２００は、ダイエジェクタ駆動装置１４０及びステージ駆動装置１８０のいずれも制御することができる。

【0051】

例示的な実施形態において、制御器２００は、接着層ＡＬに吸入圧力が提供されるように、圧力調節装置１３０を制御することができる。また、制御器２００が接着層ＡＬに吸入圧力が提供されるように、圧力調節装置１３０を制御する前、前記制御器２００は、ダイＤの中心部分が、ダイエジェクタ１２０の中心から水平方向に離隔されて配されるように、ダイエジェクタ駆動装置１４０及びステージ駆動装置１８０のうち少なくともいずれか一つを制御することができる。

【0052】

また、接着層ＡＬに前記吸入圧力が提供された状態で、制御器２００は、ダイＤのエッジ部分及び中心部分が、順次にダイエジェクタ１２０の中心を通るように、ダイエジェクタ駆動装置１４０を制御し、前記ダイエジェクタ１２０を水平方向に移動させることができる。

【0053】

ただし、それに限定されるものではなく、接着層ＡＬに前記吸入圧力が提供された状態で、制御器２００は、ダイＤのエッジ部分及び中心部分が、順次にダイエジェクタ１２０の中心を通るように、ステージ駆動装置１８０を制御し、ステージ１７０を水平方向に移動させることができる。それにより、ダイＤと接着層ＡＬとの接着力が一次的に弱化されうる。

【0054】

例示的な実施形態において、ダイＤのエッジ部分及び中心部分が、順次にダイエジェクタ１２０の中心を通り過ぎた後、制御器２００は、ダイＤの中心部分、及びダイエジェクタ１２０の中心が垂直方向に重畳されるように、ダイエジェクタ駆動装置１４０及びステージ駆動装置１８０のうち少なくともいずれか一つを制御することができる。すなわち、制御器２００は、ダイエジェクタ駆動装置１４０及びステージ駆動装置１８０のうち少なくともいずれか一つを制御し、ダイＤ及びダイエジェクタ１２０を整列させることができる。

【0055】

例示的な実施形態において、ダイＤ及びダイエジェクタ１２０が整列された状態で、制御器２００は、ダイＤのエッジ部分の下部に配された接着層ＡＬが、昇降部材１５０によって上部に移動するように、昇降部材駆動装置１６０を制御することができる。また、昇降部材１５０が上向き移動し、前記昇降部材１５０が接着層ＡＬの一部分を支持する間、制御器２００は、接着層ＡＬに吸入圧力が続けて提供されるように、圧力調節装置１３０を制御することができる。

【0056】

また、例示的な実施形態において、ダイＤ及びダイエジェクタ１２０が整列された状態で、制御器２００は、接着層ＡＬに噴射圧力が提供されるように、圧力調節装置１３０を制御することができる。

【0057】

本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング装置１０は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬの下部に吸入圧力を提供する間、ダイＤのエッジ部分及び中心部分が、順次にダイエジェクタ１２０の中心を通るように、前記ダイエジェクタ１２０を前記接着層ＡＬに対し、水平方向に相対的に移動させることができる。それにより、ダイエジェクティング装置１０は、ダイＤを、接着層ＡＬから一次的に分離させることができる。

【0058】

また、ダイエジェクティング装置１０は、ダイＤを接着層ＡＬから一次的に分離させた後、前記ダイＤが、接着層ＡＬから二次的に分離されるように、接着層ＡＬの下部に噴射圧力を提供することができる。

【0059】

それにより、本開示のダイエジェクティング装置１０は、接着層ＡＬからダイＤを容易に分離させることができる。

【0060】

図３は、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）の段階フローを示すフローチャートである。また、図４ないし図１１は、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）の各段階を示す図面である。

【0061】

以下においては、図３ないし図１１を参照し、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）について説明する。図３を参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃが、ダイエジェクタ１２０から水平方向に離隔されるように、前記ダイエジェクタ１２０上に接着層ＡＬを配する段階（Ｓ１１００）、ダイエジェクタ１２０を介し、接着層ＡＬに吸入圧力を提供する段階（Ｓ１２００）、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１、中心部分Ｄ＿ｃ及び第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２が、順次にダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、前記ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに対し、第１方向に相対的に移動する段階（Ｓ１３００）、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに対し、第２方向に相対的に移動し、ダイＤ及びダイエジェクタ１２０を整列させる段階（Ｓ１４００）、昇降部材１５０の垂直方向の移動を介し、接着層ＡＬの一部を上向きに移動させる段階（Ｓ１５００）、ダイエジェクタ１２０を介し、接着層ＡＬに噴射圧力を提供する段階（Ｓ１６００）、及びダイエジェクタ１２０上に配されたボンディングヘッド１９０を介し、ダイＤを接着層ＡＬからピックアップする段階（Ｓ１７００）を含むものでもある。

【0062】

図３及び図４を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃが、ダイエジェクタ１２０から水平方向に離隔されるように、前記ダイエジェクタ１２０上に接着層ＡＬを配する段階（Ｓ１１００）を含むものでもある。

【0063】

以下において、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１は、ダイエジェクタ１２０の中心と隣接した前記ダイＤエッジの一部分でもあり、第２エッジ部分Ｄ＿ｅ１は、前記第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１と反対になる前記ダイＤエッジの一部分でもある。また、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃは、第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１と第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２との間に配された前記ダイＤの一部分でもある。

【0064】

図３及び図５を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、ダイエジェクタ１２０を介し、接着層ＡＬに吸入圧力を提供する段階（Ｓ１２００）を含むものでもある。

【0065】

Ｓ１２００段階において、制御器１９０（図２）は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに吸入圧力を提供するように、圧力調節装置１３０を制御することができる。また、Ｓ１２００段階において、制御器２００は、吸入圧力の強度を調節するために、圧力調節装置１３０を制御することができる。例えば、Ｓ１２００段階において、制御器２００は、吸入圧力の強度と係わる信号をセンサ（図示せず）から伝達され、前記信号に基づき、圧力調節装置１３０を制御し、吸入圧力の強度をリアルタイムで調節することができる。

【0066】

図３、及び図６Ａないし図６Ｃを共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１、中心部分Ｄ＿ｃ及び第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２が、順次にダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、前記ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに対し、第１方向に相対的に移動する段階（Ｓ１３００）を含むものでもある。

【0067】

すなわち、Ｓ１３００段階は、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１、中心部分Ｄ＿ｃ及び第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２が、順次にダイエジェクタ１２０の中心を通るように、前記ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに対し、第１方向に相対的に移動する段階でもある。

【0068】

Ｓ１３００段階は、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１がダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、ダイエジェクタ１２０がダイエジェクタ駆動装置１４０によって水平方向に移動する段階（Ｓ１３００ａ＿Ｉ）、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃがダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、ダイエジェクタ１２０がダイエジェクタ駆動装置１４０によって水平方向に移動する段階（Ｓ１３００ｂ＿Ｉ）、及びダイＤの第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２がダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、ダイエジェクタ１２０がダイエジェクタ駆動装置１４０によって水平方向に移動する段階（Ｓ１３００ｃ＿Ｉ）を含むものでもある。Ｓ１３００ａ＿ＩないしＳ１３００ｃ＿Ｉの段階において、接着層ＡＬを支持するステージ１７０は、固定されうる。

【0069】

すなわち、Ｓ１３００段階において、吸入圧力が接着層ＡＬの下部に提供された状態で、ダイエジェクタ１２０が水平方向に移動し、ダイＤを接着層ＡＬから一次的に分離させることができる。ダイエジェクタ１２０が水平方向に移動することにより、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１、中心部分Ｄ＿ｃ及び第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２が、順次に接着層ＡＬから一次的に分離されうる。

【0070】

図３、及び図７Ａないし図７Ｃを共に参照すれば、Ｓ１３００段階は、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１がダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、ステージ１７０がステージ駆動装置１８０によって水平方向に移動する段階（Ｓ１３００ａ＿ＩＩ）、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃがダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、ステージ１７０がステージ駆動装置１８０によって水平方向に移動する段階（Ｓ１３００ｂ＿ＩＩ）、及びダイＤの第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２がダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、ステージ１７０がステージ駆動装置１８０によって水平方向に移動する段階（Ｓ１３００ｃ＿ＩＩ）を含むものでもある。Ｓ１３００ａ＿ＩＩないしＳ１３００ｃ＿ＩＩの段階において、ダイエジェクタ１２０は、固定されうる。

【0071】

すなわち、Ｓ１３００段階において、吸入圧力が接着層ＡＬの下部に提供された状態で、ステージ１７０が水平方向に移動し、ダイＤを接着層ＡＬから一次的に分離させることができる。ステージ１７０が水平方向に移動するにより、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１、中心部分Ｄ＿ｃ及び第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２が、順次に接着層ＡＬから一次的に分離されうる。

【0072】

図３及び図８Ａを共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに対し、前記第１方向と反対になる第２方向に相対的に移動し、ダイＤ及びダイエジェクタ１２０を整列させる段階（Ｓ１４００）を含むものでもある。

【0073】

例示的な実施形態において、Ｓ１４００段階は、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃがダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、ダイエジェクタ１２０がダイエジェクタ駆動装置１４０によって水平方向に移動する段階（Ｓ１４００＿Ｉ）を含むものでもある。Ｓ１４００＿Ｉ段階において、ダイエジェクタ１２０の移動方向である第２方向は、Ｓ１３００ａ＿Ｉ段階ないしＳ１３００ｃ＿Ｉ段階において、ダイエジェクタ１２０の移動方向である第１方向と反対になる方向でもある。

【0074】

例示的な実施形態において、Ｓ１４００段階が遂行される間、ダイエジェクタ１２０は、圧力調節装置１３０を介し、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃに続けて吸入圧力を提供することができる。それにより、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃが接着層ＡＬから分離されうる。

【0075】

ただし、それに限定されるものではなく、Ｓ１４００段階が遂行される間、圧力調節装置１３０の動作が中断され、ダイエジェクタ１２０は、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃに吸入圧力を提供しないものでもある。

【0076】

図３及び図８Ｂを共に参照すれば、Ｓ１４００段階は、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃがダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、ステージ１７０がステージ駆動装置１８０によって水平方向に移動する段階（Ｓ１４００＿ＩＩ）を含むものでもある。Ｓ１４００＿ＩＩ段階において、ステージ１７０の移動方向である第２方向は、Ｓ１３００ａ＿ＩＩ段階ないしＳ１３００ｃ＿ＩＩ段階において、ステージ１７０の移動方向である第１方向と反対になる方向でもある。

【0077】

図３及び図９を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、昇降部材１５０の垂直方向の移動を介し、接着層ＡＬの一部を上向きに移動させる段階（Ｓ１５００）を含むものでもある。

【0078】

例示的な実施形態において、Ｓ１５００段階は、昇降部材１５０の垂直方向の移動を介し、接着層ＡＬの一部を上向きに移動させる段階（Ｓ１５００）を含むものでもある。

【0079】

例示的な実施形態において、Ｓ１５００段階において、昇降部材１５０は、昇降部材駆動装置１６０によって上向きに移動し、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１及び第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２の下部に配された接着層ＡＬを上向きに移動させることができる。

【0080】

例示的な実施形態において、Ｓ１５００段階が遂行される間、ダイエジェクタ１２０は、圧力調節装置１３０を介し、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃに続けて吸入圧力を提供することができる。

【0081】

ただし、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、Ｓ１５００段階を省略することもできる。

【0082】

図３及び図１０を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、ダイエジェクタ１２０を介し、接着層ＡＬに噴射圧力を提供する段階（Ｓ１６００）を含むものでもある。

【0083】

Ｓ１６００段階において、制御器１９０（図２）は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに噴射圧力を提供するように、圧力調節装置１３０を制御することができる。また、Ｓ１６００段階において、制御器２００は、噴射圧力の強度を調節するために、圧力調節装置１３０を制御することができる。例えば、Ｓ１６００段階において、制御器２００は、噴射圧力の強度と係わる信号をセンサ（図示せず）から伝達され、前記信号に基づき、圧力調節装置１３０を制御し、噴射圧力の強度をリアルタイムで調節することができる。

【0084】

Ｓ１６００段階の遂行を介し、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１及び第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２は、接着層ＡＬから分離されうる。

【0085】

図３及び図１１を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、ダイエジェクタ１２０上に配されたボンディングヘッド１９０を介し、ダイＤを接着層ＡＬからピックアップする段階（Ｓ１７００）を含むものでもある。

【0086】

Ｓ１７００段階において、ボンディングヘッド１９０は、ダイＤの上面に真空圧を提供し、前記ダイＤを接着層ＡＬからピックアップすることができる。また、ボンディングヘッド１９０は、ピックアップしたダイＤを作業台上の基板に付着させることができる。例えば、前記基板は、ウェーハまたは印刷回路基板（ＰＣＢ）を含むものでもある。

【0087】

本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬの下部に吸入圧力を提供する間、ダイＤのエッジ部分及び中心部分が、順次にダイエジェクタ１２０の中心を通るように、前記ダイエジェクタ１２０を前記接着層ＡＬに対し、水平方向に相対的に移動させることができる。それにより、本開示のダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、ダイＤを接着層ＡＬから一次的に分離させることができる。

【0088】

また、本開示のダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、ダイＤを接着層ＡＬから一次的に分離させた後、前記ダイＤが前記接着層ＡＬから二次的に分離されるように、接着層ＡＬの下部に噴射圧力を提供することができる。

【0089】

それにより、本開示のダイエジェクティング方法（Ｓ１００）は、接着層ＡＬからダイＤを容易に分離させることができる。

【0090】

図１２は、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）の段階のフローを示すフローチャートである。また、図１３ないし図１９は、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）の各段階を示す図面である。

【0091】

以下においては、図１２ないし図１９を参照し、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）について説明する。

【0092】

図１２を参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃが、ダイエジェクタ１２０から水平方向に離隔されるように、前記ダイエジェクタ１２０上に接着層ＡＬを配する段階（Ｓ２１００）、ダイエジェクタ１２０を介し、接着層ＡＬに吸入圧力を提供する段階（Ｓ２２００）、ダイＤのエッジ部分Ｄ＿ｅ１及び中心部分Ｄ＿ｃが、順次にダイエジェクタ１２０と重畳されるように、前記ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに対して相対的に移動する段階（Ｓ２３００）、ダイエジェクタ１２０の移動を中断し、ダイＤ及びダイエジェクタ１２０を整列させる段階（Ｓ２４００）、昇降部材１５０の垂直方向の移動を介し、接着層ＡＬの一部を上向きに移動させる段階（Ｓ２５００）、ダイエジェクタ１２０を介し、接着層ＡＬに噴射圧力を提供する段階（Ｓ２６００）、並びにダイエジェクタ１２０上に配されたボンディングヘッド１９０を介し、ダイＤを接着層ＡＬからピックアップする段階（Ｓ２７００）を含むものでもある。

【0093】

図１２及び図１３を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃが、ダイエジェクタ１２０から水平方向に離隔されるように、前記ダイエジェクタ１２０上に接着層ＡＬを配する段階（Ｓ２１００）を含むものでもある。

【0094】

前述のように、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１は、ダイエジェクタ１２０の中心と隣接した前記ダイＤエッジの一部分でもあり、第２エッジ部分Ｄ＿ｅ１は、前記第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１と反対になる前記ダイＤエッジの一部分でもある。また、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃは、第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１と第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２との間に配された前記ダイＤの一部分でもある。

【0095】

図１２及び図１４を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイエジェクタ１２０を介し、接着層ＡＬに吸入圧力を提供する段階（Ｓ２２００）を含むものでもある。

【0096】

Ｓ２２００段階において、制御器１９０（図２）は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに吸入圧力を提供するように、圧力調節装置１３０を制御することができる。また、Ｓ２２００段階において、制御器２００は、吸入圧力の強度を調節するために、圧力調節装置１３０を制御することができる。例えば、Ｓ２２００段階において、制御器２００は、吸入圧力の強度と係わる信号をセンサ（図示せず）から伝達され、前記信号に基づき、圧力調節装置１３０を制御し、吸入圧力の強度をリアルタイムで調節することができる。

【0097】

図１２及び図１５を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１及び中心部分Ｄ＿ｃが、順次にダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるように、前記ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに対して相対的に移動する段階（Ｓ２３００）を含むものでもある。

【0098】

すなわち、Ｓ２３００段階は、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１及び中心部分Ｄ＿ｃが、順次にダイエジェクタ１２０の中心を通るように、前記ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに対して相対的に移動する段階でもある。

【0099】

Ｓ２３００段階において、ステージ１７０が固定された状態で、ダイエジェクタ１２０がダイエジェクタ駆動装置１４０によって水平方向に移動しうる。ただし、それに限定されるものではなく、Ｓ１３００段階において、ダイエジェクタ１２０が固定された状態で、ステージ１７０がステージ駆動装置１８０によって水平方向に移動しうる。また、Ｓ１３００段階において、ダイエジェクタ１２０及びステージ１７０が同時に移動することもできる。

【0100】

Ｓ２３００段階において、吸入圧力が接着層ＡＬの下部に提供された状態で、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに対して相対的に移動することができ、ダイＤは、接着層ＡＬから一次的に分離されうる。すなわち、ダイエジェクタ１２０が水平方向に相対的に移動することにより、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１及び中心部分Ｄ＿ｃが、順次に接着層ＡＬから一次的に分離されうる。

【0101】

図１２及び図１６を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに対する相対的な移動を中断し、ダイＤ及びダイエジェクタ１２０が整列される段階（Ｓ２４００）を含むものでもある。

【0102】

例示的な実施形態において、Ｓ２４００段階は、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃがダイエジェクタ１２０と垂直方向に重畳されるとき、ダイエジェクタ１２０の水平方向の相対的移動を中断させる段階を含むものでもある。言い換えれば、Ｓ２３００段階において、ダイエジェクタ１２０が第１方向に移動する場合、Ｓ２４００段階において、ダイエジェクタ１２０は、第１方向の移動を中断し、ダイＤ及びダイエジェクタ１２０を整列させることができる。

【0103】

図１２及び図１７を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、昇降部材１５０の垂直方向の移動を介し、接着層ＡＬの一部を上向きに移動させる段階（Ｓ２５００）を含むものでもある。

【0104】

例示的な実施形態において、Ｓ２５００段階は、昇降部材１５０の垂直方向の移動を介し、接着層ＡＬの一部を上向きに移動させる段階（Ｓ２５００）を含むものでもある。

【0105】

例示的な実施形態において、Ｓ２５００段階において、昇降部材１５０は、昇降部材駆動装置１６０によって上向きに移動し、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１及び第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２の下部に配された接着層ＡＬを上向きに移動させることができる。

【0106】

例示的な実施形態において、Ｓ２５００段階が遂行される間、ダイエジェクタ１２０は、圧力調節装置１３０を介し、ダイＤの中心部分Ｄ＿ｃに続けて吸入圧力を提供することができる。

【0107】

ただし、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、Ｓ２５００段階を省略することもできる。

【0108】

図１２及び図１８を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイエジェクタ１２０を介し、接着層ＡＬに噴射圧力を提供する段階（Ｓ２６００）を含むものでもある。

【0109】

Ｓ２６００段階において、制御器１９０（図２）は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬに噴射圧力を提供するように、圧力調節装置１３０を制御することができる。また、Ｓ２６００段階において、制御器２００は、噴射圧力の強度を調節するために、圧力調節装置１３０を制御することができる。例えば、Ｓ２６００段階において、制御器２００は、噴射圧力の強度と係わる信号をセンサ（図示せず）から伝達され、前記信号に基づき、圧力調節装置１３０を制御し、噴射圧力の強度をリアルタイムで調節することができる。

【0110】

Ｓ２６００段階の遂行を介し、ダイＤの第１エッジ部分Ｄ＿ｅ１及び第２エッジ部分Ｄ＿ｅ２は、接着層ＡＬから分離されうる。

【0111】

図１２及び図１９を共に参照すれば、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイエジェクタ１２０上に配されたボンディングヘッド１９０を介し、ダイＤを接着層ＡＬからピックアップする段階（Ｓ２６００）を含むものでもある。

【0112】

Ｓ２６００段階において、ボンディングヘッド１９０は、ダイＤの上面に真空圧を提供し、前記ダイＤを接着層ＡＬからピックアップすることができる。また、ボンディングヘッド１９０は、ピックアップしたダイＤを作業台上の基板に付着させることができる。例えば、前記基板は、ウェーハまたは印刷回路基板（ＰＣＢ）を含むものでもある。

【0113】

本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイエジェクタ１２０が接着層ＡＬの下部に吸入圧力を提供する間、ダイＤのエッジ部分及び中心部分が、順次にダイエジェクタ１２０の中心を通るように、前記ダイエジェクタ１２０を接着層ＡＬに対し、水平方向に相対的に移動させることができる。それにより、本開示のダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイＤを接着層ＡＬから一次的に分離させることができる。

【0114】

また、本開示のダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイＤを接着層ＡＬから一次的に分離させた後、前記ダイＤが前記接着層ＡＬから二次的に分離されるように、接着層ＡＬの下部に噴射圧力を提供することができる。

【0115】

それにより、本開示のダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、接着層ＡＬからダイＤを容易に分離させることができる。

【0116】

また、本開示の例示的実施形態によるダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイエジェクタ１２０を特定方向（例えば、＋Ｘ方向）だけに移動させながら、接着層ＡＬに吸入圧力及び噴射圧力を提供し、ダイＤを接着層ＡＬから分離させることができる。それにより、本開示のダイエジェクティング方法（Ｓ２００）は、ダイＤを接着層ＡＬから迅速に分離させることができる。

【符号の説明】

【0117】

１０ ダイエジェクティング装置
１１０ ハウジング
１２０ ダイエジェクタ
１３０ 圧力調節装置
１４０ ダイエジェクタ駆動装置
１５０ 昇降部材
１６０ 昇降部材駆動装置
１７０ ステージ
１８０ ステージ駆動装置
２００ 制御器
ＡＬ 接着層
Ｄ ダイ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図8A】

【図8B】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】