特許 7544972 ウェハ供給装置及び部品移載装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-26

(45)【発行日】2024-09-03

(54)【発明の名称】ウェハ供給装置及び部品移載装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20240827BHJP

   H05K 13/02 20060101ALI20240827BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240827BHJP

   H01L 21/67 20060101ALI20240827BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 N

H05K13/02 E

H01L21/68 A

H01L21/68 E

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2023521990

(86)(22)【出願日】2021-05-17

(86)【国際出願番号】 JP2021018556

(87)【国際公開番号】W WO2022244040

(87)【国際公開日】2022-11-24

【審査請求日】2023-09-27

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100115381

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 昌崇

(74)【代理人】

【識別番号】100127797

【弁理士】

【氏名又は名称】平田 晴洋

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 祐輝

【審査官】小山 和俊

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－２９４９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平８－３７３９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第４３２２８６３（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】国際公開第２０１４／０８０５００（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１４／０４９８２０（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０５Ｋ １３／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給するウェハ供給装置であって、
前記部品取出作業位置側を向いて開口する第１開口部が形成された第１フレーム板と、前記部品取出作業位置側とは反対側を向いて開口する第２開口部が形成された第２フレーム板とを含み、前記第１フレーム板と前記第２フレーム板との間に前記第１開口部及び前記第２開口部に連通する内部空間を規定する装置本体と、
前記ウェハを収容可能に構成され、前記内部空間内に配置されるウェハ収容体と、
前記ウェハ収容体と前記部品取出作業位置との間における前記ウェハの前記第１開口部を介した移動が許容される第１位置と、前記ウェハ収容体に収容された前記ウェハの前記第２開口部を介した交換が許容される第２位置との間において、前記第１位置から前記第２位置に向かう第１移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させるとともに、前記第２位置から前記第１位置に向かう第２移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させる移動機構と、
前記移動機構による前記ウェハ収容体の移動に連動した移動が可能となるように前記内部空間内に設けられ、前記ウェハ収容体が前記第１位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を開放する一方、前記ウェハ収容体が前記第２位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を閉鎖する開閉板と、を備えるウェハ供給装置。

【請求項2】

前記開閉板は、前記ウェハ収容体における前記第１移動方向の上流側且つ前記第１フレーム板側の端部に取付けられている、請求項１に記載のウェハ供給装置。

【請求項3】

前記第１開口部と前記第２開口部とは、前記第１移動方向及び前記第２移動方向と直交する方向から見る視点において重ならないように形成されている、請求項２に記載のウェハ供給装置。

【請求項4】

前記ウェハ収容体は、
前記内部空間内において前記第１フレーム板との間に所定の間隙が形成されるように配置され、前記ウェハを収容するための収容本体と、
前記収容本体に対して前記間隙の範囲内で前記第１フレーム板側に突出して設けられ、前記収容本体からの前記ウェハの前記第１フレーム板側への移動を規制する移動規制姿勢と当該移動を許容する移動許容姿勢との間の姿勢変更が可能なウェハ移動制御部材と、を含み、
前記開閉板は、
前記収容本体における前記第１移動方向の上流側且つ前記第１フレーム板側の端部から前記間隙の範囲内で前記第１フレーム板側に突出する突出部と、
前記第１開口部の全体を開放又は閉鎖することが可能となるように、前記突出部から延びる延出部と、を含む、請求項１～３のいずれか１項に記載のウェハ供給装置。

【請求項5】

前記開閉板は、前記突出部と前記延出部とが一体の、断面形状がＬ型の部材から構成されている、請求項４に記載のウェハ供給装置。

【請求項6】

前記ウェハ供給装置は、前記収容本体からの前記ウェハの前記第１フレーム板側への移動を検知する機構であって、前記間隙の範囲内で前記第１移動方向及び前記第２移動方向に延びる光路上に互いに対向配置される発光部及び受光部により構成されるウェハ検知機構を、更に備え、
前記開閉板の前記突出部は、前記光路を開放することで前記発光部から前記受光部への光の通過を許容する光通過孔を有している、請求項４又は５に記載のウェハ供給装置。

【請求項7】

前記装置本体は、前記第２開口部を開閉するための扉体を含み、
前記ウェハ供給装置は、前記扉体の開放を要求する操作を受付けた場合には扉開放要求信号を出力する扉スイッチと、前記扉スイッチから出力される信号に基づいて前記移動機構を制御する移動制御部と、を更に備え、
前記移動制御部は、前記扉スイッチから前記扉開放要求信号が出力された場合、前記ウェハ収容体が前記第２位置に向けて移動して当該第２位置に配置されるように、前記移動機構を制御する、請求項１～６のいずれか１項に記載のウェハ供給装置。

【請求項8】

前記装置本体は、前記第２開口部を開閉するための扉体を含み、
前記ウェハ供給装置は、前記扉体が閉鎖された場合には扉閉鎖信号を出力する扉スイッチと、前記扉スイッチから出力される信号に基づいて前記移動機構を制御する移動制御部と、を更に備え、
前記移動制御部は、前記扉スイッチから前記扉閉鎖信号が出力された場合、前記ウェハ収容体が前記第１位置に向けて移動して当該第１位置に配置されるように、前記移動機構を制御する、請求項１～７のいずれか１項に記載のウェハ供給装置。

【請求項9】

前記ウェハ供給装置は、
前記ウェハ収容体が前記第２位置に配置されていることを検知した場合に収容体検知信号を出力する収容体検知機構と、
前記扉体が前記第２開口部を閉鎖した状態を維持する扉ロック機構と、
前記収容体検知機構から前記収容体検知信号が出力された場合、前記扉ロック機構による前記扉体の閉鎖状態の維持が解除されるように、前記扉ロック機構を制御するロック制御部と、を更に備える、請求項７又は８に記載のウェハ供給装置。

【請求項10】

前記ウェハ供給装置は、前記扉体が開放されたことを検知した場合に扉開放検知信号を出力する扉検知機構を更に備え、
前記移動機構は、前記ウェハ収容体を移動させるための駆動力を発する駆動モータを含み、
前記移動制御部は、前記扉検知機構から前記扉開放検知信号が出力された場合、前記駆動モータの駆動を停止させる、請求項７～９のいずれか１項に記載のウェハ供給装置。

【請求項11】

複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給する、請求項１～１０のいずれか１項に記載のウェハ供給装置と、
前記部品取出作業位置に供給された前記ウェハから前記部品を取出して所定の部品移載部に移載する部品移載ユニットと、を備える部品移載装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の部品に分割されたウェハを供給するウェハ供給装置、及びこのウェハ供給装置を備えた部品移載装置に関する。

【背景技術】

【0002】

基板上に部品を実装するための部品実装装置として、部品をパレットに保持された状態で所定の部品取出作業位置に供給する部品供給装置を備えた装置が知られている。この種の部品供給装置が、例えば特許文献１に開示されている。

【0003】

特許文献１に開示される部品供給装置は、複数の部品を配置したトレイが搭載されたパレットを収容するパレット収容体（マガジン）と、パレット収容体を上下方向に移動させるエレベータ機構とを備えている。エレベータ機構は、前記部品取出作業位置と同一の高さ位置の第１位置と、使用済みのパレットを交換するための第２位置との間で、パレット収容体を上下方向に移動させる。パレット収容体が第１位置に配置された状態では、パレットがパレット収容体から部品取出作業位置に供給される。一方、パレット収容体が第２位置に配置された状態では、使用済みのパレットがパレット収容体から取り出されて新たなパレットと交換される。

【0004】

部品供給装置では、パレット収容体が第２位置に配置された状態において、パレット収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを規制する必要がある。特許文献１に開示される部品供給装置では、複数の挿入防止部材がパレットの通過を許容する所定の間隔をあけた状態でパレット収容体に取付けられている。パレット収容体に取付けられた複数の挿入防止部材によって、パレット収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを規制することができる。

【0005】

ところで、部品供給装置の一種として、ウェハ供給装置が存在する。ウェハ供給装置は、複数の部品に分割されたウェハをそのままの状態で、或いは、パレットに保持された状態でウェハを供給する装置である。このウェハ供給装置では、パレットに保持された状態でウェハを供給する場合には、通常、厚みの大きいパレットが用いられる。上記の特許文献１に開示される挿入防止部材をウェハ供給装置に適用した場合、隣接する挿入防止部材同士の間隔がパレットの厚みの増大に応じて大きくなる。この場合、パレットに保持された状態のウェハを収容するパレット収容体（ウェハ収容体）が第２位置に配置された状態において、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを的確に規制することができなくなる虞がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特許第４３２２８６３号公報

【発明の概要】

【0007】

本発明の目的は、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを的確に規制することが可能なウェハ供給装置、及びそれを備えた部品移載装置を提供することである。

【0008】

本発明の一の局面に係るウェハ供給装置は、複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給する装置である。このウェハ供給装置は、前記部品取出作業位置側を向いて開口する第１開口部が形成された第１フレーム板と、前記部品取出作業位置側とは反対側を向いて開口する第２開口部が形成された第２フレーム板とを含み、前記第１フレーム板と前記第２フレーム板との間に前記第１開口部及び前記第２開口部に連通する内部空間を規定する装置本体と、前記ウェハを収容可能に構成され、前記内部空間内に配置されるウェハ収容体と、前記ウェハ収容体と前記部品取出作業位置との間における前記ウェハの前記第１開口部を介した移動が許容される第１位置と、前記ウェハ収容体に収容された前記ウェハの前記第２開口部を介した交換が許容される第２位置との間において、前記第１位置から前記第２位置に向かう第１移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させるとともに、前記第２位置から前記第１位置に向かう第２移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させる移動機構と、前記移動機構による前記ウェハ収容体の移動に連動した移動が可能となるように前記内部空間内に設けられ、前記ウェハ収容体が前記第１位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を開放する一方、前記ウェハ収容体が前記第２位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を閉鎖する開閉板と、を備える。

【0009】

本発明の他の局面に係る部品移載装置は、複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給する、上記のウェハ供給装置と、前記部品取出作業位置に供給された前記ウェハから前記部品を取出して所定の部品移載部に移載する部品移載ユニットと、を備える。

【0010】

本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の実施形態に係る部品実装装置の全体構成を示す、上面視の平面図である。

【図2】ヘッドユニット及び突き上げユニットを示す概略斜視図である。

【図3】ウェハ供給装置のウェハ収納エレベータを＋Ｙ側から見た斜視図である。

【図4】ウェハ供給装置のウェハ収納エレベータを－Ｙ側から見た斜視図である。

【図5】ウェハ供給装置のウェハ収納エレベータを、フレーム板を外した状態で＋Ｙ側から見た斜視図である。

【図6】ウェハ供給装置のウェハ収納エレベータを、フレーム板を外した状態で－Ｙ側から見た斜視図である。

【図7】パレット収容体の斜視図であって、ラッチ部材が移動規制姿勢を取った状態を示す図である。

【図8】パレット収容体の斜視図であって、ラッチ部材が移動許容姿勢を取った状態を示す図である。

【図9】ウェハ供給装置の制御構成を示すブロック図である。

【図10】ウェハ供給装置によるパレット供給回収処理を説明するための図であって、パレット収容体が第１位置に配置された状態を示す図である。

【図11】ウェハ供給装置によるパレット供給回収処理を説明するための図であって、パレット収容体が第２位置に配置された状態を示す図である。

【図12】ウェハ供給装置によるパレット供給回収処理を説明するための図であって、扉体が開かれた状態を示す図である。

【図13】ウェハ供給装置によるパレット供給回収処理を説明するための図であって、パレット収容体が第１位置に移動された状態を示す図である。

【図14】ウェハ供給装置によるパレット供給回収処理のフローチャートである。

【図15】ウェハ供給装置の第１変形例を示す図である。

【図16】ウェハ供給装置の第２変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下では、方向関係についてはＸＹＺ直交座標軸を用いて説明する。Ｘ方向及びＹ方向は水平面上において互いに直交し、Ｚ方向がＸ方向及びＹ方向の両方向と直交する鉛直方向に延びる方向である。また、Ｘ方向の一方側を「＋Ｘ側」と称し、Ｘ方向の一方側とは反対の他方側を「－Ｘ側」と称する。同様に、Ｙ方向の一方側を「＋Ｙ側」と称し、Ｙ方向の一方側とは反対の他方側を「－Ｙ側」と称する。また、Ｚ方向の一方側である上方側を「＋Ｚ側」と称し、Ｚ方向の一方側とは反対の他方側である下方側を「－Ｚ側」と称する。

【0013】

本発明に係るウェハ供給装置を備えた部品移載装置は、例えばウェハからダイシングされたダイをテープに収容するテーピング装置、前記ダイを基板にワイヤボンディングするダイボンダ、或いは前記ダイを基板に実装する部品実装装置などの各種装置に適用することができる。ここでは、本発明の部品移載装置が、部品実装装置に適用される例について説明する。

【0014】

［部品実装装置の全体構成］
図１に示されるように、本実施形態に係る部品実装装置１は、ウェハ７からダイシングされたダイ７ａ（部品）を基板Ｐ（所定の部品移載部）に実装する装置である。図１及び図２に示されるように、部品実装装置１は、基台２、コンベア３、ヘッドユニット４（部品移載ユニット）、部品供給部５、ウェハ供給装置６、カメラユニット３２Ｕ及び突き上げユニット４０を含む。

【0015】

基台２は、部品実装装置１が備える各種の機器の搭載ベースである。コンベア３は、基台２上にＸ方向に延びるように設置された、基板Ｐの搬送ラインである。コンベア３は、機外から所定の実装作業位置に基板Ｐを搬入し、実装作業後に基板Ｐを前記実装作業位置から機外へ搬出する。コンベア３は、基板Ｐを前記実装作業位置で保持する図略のクランプ機構を有する。なお、図１中に基板Ｐが示されている位置が、前記実装作業位置である。部品供給部５は、複数個のダイ７ａを、ウェハ７からダイシングされた配置状態で供給する。

【0016】

ヘッドユニット４は、部品供給部５においてダイ７ａをウェハ７から取出してピッキングし、上記実装作業位置へ移動すると共に、基板Ｐにダイ７ａを実装する。ヘッドユニット４は、前記ピッキングの際にダイ７ａを吸着して保持し、前記実装の際に保持しているダイ７ａをリリースする複数のヘッド４Ｈを備える。ヘッド４Ｈは、ヘッドユニット４に対するＺ方向への進退（昇降）移動と、軸回りの回転移動とが可能である。ヘッドユニット４には、基板Ｐを撮像する基板認識カメラ３１が搭載されている。基板認識カメラ３１の撮影画像より、基板Ｐに付されたフェデューシャルマークが認識される。これにより基板Ｐの位置ずれが認識され、部品実装時に前記位置ずれの補正が為される。

【0017】

部品実装装置１は、ヘッドユニット４を、少なくとも部品供給部５と前記実装作業位置で保持された基板Ｐとの間の上方空間を、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動可能とする第１駆動機構Ｄ１を備える。第１駆動機構Ｄ１は、ヘッドユニット４のＹ方向の移動機構として、それぞれ＋Ｘ側及び－Ｘ側で一対のＹ軸固定レール１３、第１Ｙ軸サーボモータ１４及びボールねじ軸１５を備える。一対のＹ軸固定レール１３は、基台２上に固定され、Ｘ方向に所定間隔を隔てて互いに平行にＹ方向に延びている。ボールねじ軸１５は、Ｙ軸固定レール１３に近接する位置においてＹ方向に延びるように配置されている。第１Ｙ軸サーボモータ１４は、ボールねじ軸１５を回転駆動する。一対のＹ軸固定レール１３間には、ヘッドユニット４を支持する支持フレーム１６が架設されている。支持フレーム１６の＋Ｘ側端部及び－Ｘ側端部には、各ボールねじ軸１５に螺合されるナット１７が組付けられている。

【0018】

第１駆動機構Ｄ１は、ヘッドユニット４のＸ方向の移動機構として、支持フレーム１６に搭載された図略のガイド部材、第１Ｘ軸サーボモータ１８及びボールねじ軸１９を備える。前記ガイド部材は、ヘッドユニット４のＸ方向の移動をガイドする部材であり、支持フレーム１６の＋Ｙ側の面においてＸ方向に延びるように固定されている。ボールねじ軸１９は、前記ガイド部材に近接して、Ｘ方向に延在するよう配設されている。第１Ｘ軸サーボモータ１８は、ボールねじ軸１９を回転駆動する。ヘッドユニット４には図略のナットが付設され、当該ナットはボールねじ軸１９に螺合されている。

【0019】

以上の構成を備える第１駆動機構Ｄ１によれば、第１Ｙ軸サーボモータ１４が作動してボールねじ軸１５が回転駆動されることにより、ヘッドユニット４が支持フレーム１６と一体にＹ方向に移動する。また、第１Ｘ軸サーボモータ１８が作動してボールねじ軸１９が回転駆動されることにより、ヘッドユニット４が支持フレーム１６に対してＸ方向に移動する。

【0020】

部品供給部５は、複数個のダイ７ａに分割されたウェハ７を所定の部品取出作業位置（ウェハステージ１０）に供給するウェハ供給装置６を備える。本実施形態では、ウェハ供給装置６は、パレット８に保持された状態でウェハ７をウェハステージ１０に供給する。ウェハ７は、円盤形状の半導体ウェハであって、回路パターン等が既に形成されている。パレット８は、ウェハシート８ａを保持している。ウェハシート８ａには、ウェハ７を碁盤目状にダイシングされて形成された多数のダイ７ａ，７ａ…の集合体が貼着されている。つまり、ウェハ供給装置６は、複数個のダイ７ａがウェハシート８ａに貼着された状態のウェハ７をパレット８に保持された状態でウェハステージ１０に供給する。ウェハ供給装置６の詳細については後述する。なお、部品供給部５は、ウェハ供給装置６に加えて、電子部品を収容した部品収容テープの形態で部品供給するテープフィーダを備えていても良い。

【0021】

カメラユニット３２Ｕは、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能なユニットであって、ウェハカメラ３２を備えている。ウェハカメラ３２は、ウェハステージ１０上に位置決めされたウェハ７の一部分、つまりカメラ視野内のダイ７ａを撮像する。この撮像画像に基づいて、ピックアップ対象のダイ７ａの位置認識が為される。部品実装装置１は、カメラユニット３２Ｕを、少なくとも部品供給部５と所定の待機位置との間の上方空間を、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動可能とする第２駆動機構Ｄ２を備える。この第２駆動機構Ｄ２は、ヘッドユニット４を駆動する第１駆動機構Ｄ１とは別個に独立した駆動系である。なお、本実施形態では、前記待機位置は、ウェハステージ１０から＋Ｙ側に離間した位置である。

【0022】

第２駆動機構Ｄ２は、カメラユニット３２ＵのＹ方向の移動機構として、＋Ｘ側及び－Ｘ側で一対のＹ軸固定レール３３と、＋Ｘ側に配置された第２Ｙ軸サーボモータ３４及びボールねじ軸３５とを備える。一対のＹ軸固定レール３３は、基台２上に固定され、Ｘ方向に所定間隔を隔てて互いに平行にＹ方向に延びている。ボールねじ軸３５は、＋Ｘ側のＹ軸固定レール３３に近接する位置においてＹ方向に延びるように配置されている。第２Ｙ軸サーボモータ３４は、ボールねじ軸３５を回転駆動する。一対のＹ軸固定レール３３間には、カメラユニット３２Ｕを支持する支持フレーム３６が架設されている。支持フレーム３６の＋Ｘ側端部には、ボールねじ軸３５に螺合されるナット３７が組付けられている。

【0023】

第２駆動機構Ｄ２は、カメラユニット３２ＵのＸ方向の移動機構として、支持フレーム３６に搭載された図略のガイド部材、第２Ｘ軸サーボモータ３８及びボールねじ軸３９を備える。前記ガイド部材は、カメラユニット３２ＵのＸ方向の移動をガイドする部材であり、支持フレーム３６の－Ｙ側面においてＸ方向に延びるように固定されている。ボールねじ軸３９は、前記ガイド部材に近接して、Ｘ方向に延在するよう配設されている。第２Ｘ軸サーボモータ３８は、ボールねじ軸３９を回転駆動する。カメラユニット３２Ｕには図略のナットが付設され、当該ナットはボールねじ軸３９に螺合されている。

【0024】

以上の構成を備える第２駆動機構Ｄ２によれば、第２Ｙ軸サーボモータ３４が作動してボールねじ軸３５が回転駆動されることにより、カメラユニット３２Ｕが支持フレーム３６と一体にＹ方向に移動する。また、第２Ｘ軸サーボモータ３８が作動してボールねじ軸３９が回転駆動されることにより、カメラユニット３２Ｕが支持フレーム３６に対してＸ方向に移動する。

【0025】

突き上げユニット４０は、部品供給部５の下方に配置され、ヘッド４Ｈが吸着すべきダイ７ａを、ウェハシート８ａの下面側から突き上げる。突き上げユニット４０は、ウェハステージ１０に対応する程度の範囲にわたってＸＹ方向に移動可能に、基台２上に配置されている。突き上げユニット４０は、Ｙ方向に延びる一対のガイドレール４１に沿って移動可能な支持フレーム４２に、Ｘ方向に移動可能に支持されている。

【0026】

支持フレーム４２の内部に設けられた図略のナット部分に螺合するボールねじ軸４３が、第３Ｙ軸サーボモータ４４により回転駆動される。これにより、突き上げユニット４０が支持フレーム４２と一体にＹ方向に移動する。また、支持フレーム４２には、突き上げユニット４０の内部に設けられた図略のナット部分と螺合するボールねじ軸４５が配設されている。ボールねじ軸４５が第３Ｘ軸サーボモータ４６により回転駆動されることで、突き上げユニット４０がＸ軸方向に移動する。突き上げユニット４０は、ダイ７ａを突き上げる突き上げピン４７を有する。ヘッド４Ｈによるダイ７ａの吸着時に、突き上げピン４７が上昇し、ウェハシート８ａを通してダイ７ａを突き上げる。突き上げピン４７は、ピン昇降モータによって昇降駆動される。

【0027】

基台２には、部品認識カメラ３０が据え付けられている。部品認識カメラ３０は、ヘッドユニット４のヘッド４Ｈに吸着されているダイ７ａを、基板Ｐへの実装の前に下側から撮像する。この撮像画像に基づいて、ヘッド４Ｈによるダイ７ａの吸着異常や吸着ミス等が判定される。

【0028】

［ウェハ供給装置の詳細構成］
図１に加えて図３～図８を参照しながら、ウェハ供給装置６の構成を詳細に説明する。ウェハ供給装置６は、ウェハ収納エレベータ９と、ウェハステージ１０と、ウェハコンベア１１とを備える。ウェハ収納エレベータ９は、ウェハ７が貼着されたウェハシート８ａをパレット８に保持した状態で、Ｚ方向に多段に収納している。ウェハステージ１０は、ウェハ収納エレベータ９の－Ｙ側の位置において、基台２上に設置されている。基板Ｐの停止位置となる前記実装作業位置に対して、ウェハステージ１０は＋Ｙ側に並ぶ位置に配置されている。本実施形態では、複数個のダイ７ａに分割されたウェハ７が基台２上で配置されるエリアとなるウェハステージ１０が、ウェハ供給装置６によりパレット８を供給する対象の部品取出作業位置となる。ウェハコンベア１１は、ウェハ収納エレベータ９からウェハステージ１０上にパレット８を引き出す、或いは、ウェハステージ１０上のパレット８をウェハ収納エレベータ９に戻す。

【0029】

ウェハ収納エレベータ９は、ウェハ７が貼着されたウェハシート８ａを保持したパレット８をウェハステージ１０に供給するとともに、使用済みのパレット８をウェハステージ１０から回収することが可能に構成されている。ウェハ収納エレベータ９は、装置本体９１と、パレット収容体９５（ウェハ収容体）と、移動機構９６と、開閉板９７とを備えている。

【0030】

装置本体９１は、パレット収容体９５、移動機構９６及び開閉板９７などが配置される内部空間９１７を規定する筐体構造を有している。装置本体９１は、Ｙ方向に互いに対向配置される第１フレーム板９１１及び第２フレーム板９１２と、Ｘ方向に互いに対向配置される一対の第３フレーム板９１３と、Ｚ方向に互いに対向配置される第４フレーム板９１４及び第５フレーム板９１５と、を含む。装置本体９１は、前記の各フレーム板によって囲まれた空間を前記内部空間９１７として規定する。

【0031】

第１フレーム板９１１は、装置本体９１の－Ｙ側の壁面を構成する。第１フレーム板９１１には、ウェハステージ１０側である－Ｙ側を向いて開口する第１開口部９１１Ａが形成されている。図４に示されるように、第１開口部９１１Ａは、ウェハ７を保持した状態の１つのパレット８の通過を許容する形状を有している。具体的には、第１開口部９１１ＡのＸ方向に沿った長さは、１つのパレット８のＸ方向に沿った長さよりも僅かに大きい値に設定され、第１開口部９１１ＡのＺ方向に沿った長さは、１つのパレット８のＺ方向に沿った長さよりも僅かに大きい値に設定される。第１開口部９１１Ａは、Ｚ方向においてウェハステージ１０と同一の高さ位置に形成されている。

【0032】

第２フレーム板９１２は、装置本体９１の＋Ｙ側の壁面を構成する。第２フレーム板９１２には、ウェハステージ１０側とは反対側である＋Ｙ側を向いて開口する第２開口部９１２Ａが形成されている。図３に示されるように、第２開口部９１２Ａは、内部空間９１７内に配置される後記のパレット収容体９５の全体の露出を許容する形状を有している。具体的には、第２開口部９１２ＡのＸ方向に沿った長さは、パレット収容体９５のＸ方向に沿った長さよりも大きい値に設定され、第２開口部９１２ＡのＺ方向に沿った長さは、パレット収容体９５のＺ方向に沿った長さよりも大きい値に設定される。第２開口部９１２Ａの開口面積は、第１開口部９１１Ａの開口面積よりも大きい。

【0033】

装置本体９１において第１フレーム板９１１と第２フレーム板９１２との間に規定される内部空間９１７は、第１開口部９１１Ａ及び第２開口部９１２Ａに連通している。そして、第１開口部９１１Ａと第２開口部９１２Ａとは、内部空間９１７内におけるパレット収容体９５の移動方向となるＺ方向と直交するＹ方向から見る視点において、互いに重ならないように形成されている。第１開口部９１１Ａは、第２開口部９１２ＡよりもＺ方向において－Ｚ側に形成されている。

【0034】

一対の第３フレーム板９１３は、装置本体９１の＋Ｘ側及び－Ｘ側の壁面をそれぞれ構成する。第４フレーム板９１４は、装置本体９１の＋Ｚ側の壁面を構成する。第５フレーム板９１５は、装置本体９１の－Ｚ側の壁面を構成する。

【0035】

また、図３に示されるように、装置本体９１は、第２開口部９１２Ａを開閉するための扉体９１６を更に含む。扉体９１６は、第２フレーム板９１２における－Ｘ側の端部に設けられたＺ方向に延びる回動軸回りに回動することにより、第２開口部９１２Ａを開閉する。

【0036】

また、図５及び図６に示されるように、装置本体９１の第５フレーム板９１５における＋Ｘ側の端部領域部分には、収容体支持構造９２が設けられている。収容体支持構造９２は、内部空間９１７内においてＺ方向の移動が可能となるようにパレット収容体９５を支持するための構造である。収容体支持構造９２は、Ｙ方向に互いに間隔を隔てて配置されるとともに、Ｚ方向に延びる一対のレール部材９２１を有している。この一対のレール部材９２１は、パレット収容体９５を移動可能に支持する。パレット収容体９５は、一対のレール部材９２１に支持された状態において、当該一対のレール部材９２１に沿って移動することにより、Ｚ方向への移動が可能である。

【0037】

また、図３に示されるように、第４フレーム板９１４における＋Ｙ側の領域部分には、扉スイッチ９４Ａが設けられている。更に、一対の第３フレーム板９１３のうち＋Ｘ側の第３フレーム板９１３における＋Ｙ側の端面には、扉ロック機構９３が設けられるとともに、扉検知機構９４Ｂが設けられている。

【0038】

扉スイッチ９４Ａは、扉体９１６の開閉に関する操作を受付けるスイッチである。扉スイッチ９４Ａは、扉体９１６の開放を要求するための操作を受付けた場合には扉開放要求信号ＳＡ１（後記の図１１）を出力する一方、扉体９１６が閉鎖された場合には扉閉鎖信号ＳＡ２（後記の図１３）を出力する。

【0039】

扉ロック機構９３は、扉体９１６が第２開口部９１２Ａを閉鎖した状態を維持するための機構である。扉検知機構９４Ｂは、扉ロック機構９３による扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除されて、扉体９１６が開放されたことを検知するための検知機構である。扉検知機構９４Ｂは、扉体９１６が開放されたことを検知した場合、扉開放検知信号ＳＣ（後記の図１２）を出力する。

【0040】

パレット収容体９５は、パレット８に保持された状態のウェハ７をＺ方向に複数並んだ状態で収容するウェハ収容体である。つまり、パレット収容体９５は、ウェハ７を保持した状態のパレット８を収容する。パレット収容体９５は、装置本体９１の内部空間９１７内において、収容体支持構造９２の一対のレール部材９２１によってＺ方向に移動可能に支持されている（図５及び図６参照）。図７及び図８に示されるように、パレット収容体９５は、マガジンラック９５１と、ラッチ部材９５２と、ラッチ開閉機構９５３とを含む。

【0041】

マガジンラック９５１は、Ｙ方向の両端が開口した箱形に形成され、ウェハ７を保持した状態のパレット８を収容するための収容本体を構成する構造体である。マガジンラック９５１のＸ方向の両側面には、パレット８をＹ方向に移動可能に支持する支持部９５１１がＺ方向に並んで複数設けられている。なお、複数の支持部９５１１の各々に支持される各パレット８に保持される各ウェハ７は、互いに同一の種類である。つまり、マガジンラック９５１に収容される複数のパレット８の各々は、同一種のダイ７ａを有するウェハ７を保持している。本実施形態では、マガジンラック９５１は、装置本体９１の内部空間９１７内において、第１フレーム板９１１との間に所定の間隙ＧＰ（図６）が形成されるように配置される。

【0042】

ラッチ部材９５２は、マガジンラック９５１に対して前記間隙ＧＰの範囲内で第１フレーム板９１１側に突出して設けられる、Ｚ方向に延びる棒状の部材である。ラッチ部材９５２は、ウェハ移動制御部材の一例である。ラッチ部材９５２は、マガジンラック９５１における第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）且つＸ方向の＋Ｘ側及び－Ｘ側の各端部にそれぞれ設けられる。ラッチ部材９５２は、Ｚ方向に延びるラッチ回動軸９５２１回りの回動が可能である。ラッチ回動軸９５２１は、マガジンラック９５１における－Ｙ側且つ＋Ｘ側の端部と、－Ｙ側且つ－Ｘ側の端部とに、それぞれ設けられている。ラッチ部材９５２は、ラッチ回動軸９５２１回りに回動することにより、ウェハ７を保持した状態のパレット８の、マガジンラック９５１からの第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）への移動を規制する移動規制姿勢（図７の姿勢）と、当該移動を許容する移動許容姿勢（図８の姿勢）との間の姿勢変更が可能である。

【0043】

ラッチ開閉機構９５３は、マガジンラック９５１における＋Ｚ側の上面に設けられる。ラッチ開閉機構９５３は、ラッチ部材９５２をラッチ回動軸９５２１回りに回動させることにより、当該ラッチ部材９５２を前記移動規制姿勢と前記移動許容姿勢との間で姿勢変更させる機構である。

【0044】

図６に示されるように、装置本体９１には、パレット検知機構９４Ｃが取付けられている。パレット検知機構９４Ｃは、ウェハ７を保持した状態のパレット８の、マガジンラック９５１からの第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）への移動を検知するためのウェハ検知機構の一例である。パレット検知機構９４Ｃは、発光部９４Ｃ２及び受光部９４Ｃ３により構成される。発光部９４Ｃ２と受光部９４Ｃ３とは、マガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間に形成された前記間隙ＧＰの範囲内でＺ方向（パレット収容体９５の移動方向）に延びる光路９４Ｃ１上に、互いに対向配置される。パレット検知機構９４Ｃは、発光部９４Ｃ２から出射されて光路９４Ｃ１に沿って進行する光の、受光部９４Ｃ３における受光の状況に基づいて、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動を検知する。

【0045】

移動機構９６は、装置本体９１の内部空間９１７内において収容体支持構造９２の一対のレール部材９２１によって支持されたパレット収容体９５を、Ｚ方向に移動させるための機構である。図５及び図６に示されるように、移動機構９６は、ボールねじ軸９６１と駆動モータ９６２とを備える。ボールねじ軸９６１は、一対のレール部材９２１に近接して、Ｚ方向に延在するように配設されている。駆動モータ９６２は、パレット収容体９５を移動させるための駆動力を発するサーボモータであって、ボールねじ軸９６１を回転駆動する。パレット収容体９５には図略のナットが付設され、当該ナットはボールねじ軸９６１に螺合されている。このような構成の移動機構９６によれば、駆動モータ９６２が作動してボールねじ軸９６１が回転駆動されることにより、パレット収容体９５が一対のレール部材９２１に沿ってＺ方向に移動する。

【0046】

移動機構９６は、装置本体９１の内部空間９１７内において、第１開口部９１１Ａに面する第１位置と、第２開口部９１２Ａに面する第２位置との間でパレット収容体９５をＺ方向に移動させる。前記第１位置は、パレット収容体９５とウェハステージ１０との間におけるパレット８の第１開口部９１１Ａを介した移動が許容される位置である。前記第２位置は、パレット収容体９５に収容されたパレット８の第２開口部９１２Ａを介した交換が許容される位置である。なお、既述の通り、第１開口部９１１Ａは第２開口部９１２ＡよりもＺ方向の－Ｚ側に形成されているので、この場合には、前記第１位置は前記第２位置よりもＺ方向の－Ｚ側に位置することとなる。移動機構９６は、前記第１位置から前記第２位置に向かう第１移動方向Ｚ１へパレット収容体９５を移動させるとともに、前記第２位置から前記第１位置に向かう第２移動方向Ｚ２へパレット収容体９５を移動させる。

【0047】

なお、図５に示されるように、装置本体９１の内部空間９１７内には、収容体検知機構９４Ｄが設けられている。収容体検知機構９４Ｄは、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されていることを検知するための機構である。収容体検知機構９４Ｄは、パレット収容体９５における第１フレーム板９１１側の端部に取付けられる発光部９４Ｄ１と、第１フレーム板９１１における第２開口部９１２Ａに対向する領域部分に取付けられる受光部９４Ｄ２とにより構成される（後記の図１０～図１３参照）。なお、発光部９４Ｄ１が第１フレーム板９１１に取付けられ、受光部９４Ｄ２がパレット収容体９５に取付けられていてもよい。収容体検知機構９４Ｄは、発光部９４Ｄ１から出射された光の、受光部９４Ｄ２における受光の状況に基づいて、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されていることを検知する。収容体検知機構９４Ｄは、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されていることを検知した場合には、収容体検知信号ＳＢ（後記の図１１）を出力する。なお、収容体検知機構９４Ｄは、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されていることを検知することが可能であれば、光を利用した上記の構造に限定されるものではない。

【0048】

開閉板９７は、移動機構９６によるパレット収容体９５の移動に連動した移動が可能となるように、装置本体９１の内部空間９１７内に設けられた板状部材である。開閉板９７は、パレット収容体９５の移動に連動した移動によって、第１フレーム板９１１に形成された第１開口部９１１Ａを開閉する。

【0049】

具体的には、開閉板９７は、パレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態では第１開口部９１１Ａの全体を開放する。これにより、パレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態において、パレット収容体９５からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の供給が可能である。また、ウェハステージ１０からパレット収容体９５への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の回収が可能である。一方、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態では、開閉板９７は、第１開口部９１１Ａの全体を閉鎖する。これにより、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態においては、パレット収容体９５からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通した連通を、第１開口部９１１Ａの全体に亘って開閉板９７によって遮断することができる。このため、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態において、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスを的確に規制することが可能となる。

【0050】

図６～図８に示されるように、開閉板９７は、パレット収容体９５における第１移動方向Ｚ１の上流側（－Ｚ側）且つ第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）の端部に取付けられている。このように開閉板９７をパレット収容体９５に取付けるという簡単な構成で、移動機構９６によるパレット収容体９５の移動に連動した移動が可能な開閉板９７を実現することができる。しかも、パレット収容体９５において開閉板９７が取付けられる箇所は、前記第１位置から前記第２位置に向かう第１移動方向Ｚ１の上流側であり、且つ、第１開口部９１１Ａが形成された第１フレーム板９１１側の端部である。このため、前記第１位置よりも第１移動方向Ｚ１の下流側の前記第２位置にパレット収容体９５が配置された状態では、当該パレット収容体９５における第１移動方向Ｚ１の上流側且つ第１フレーム板９１１側の端部に取付けられた開閉板９７によって、第１フレーム板９１１に形成された第１開口部９１１Ａを確実に閉鎖することができる。これにより、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態において、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスを、より的確に規制することが可能となる。

【0051】

既述の通り、第１開口部９１１Ａと第２開口部９１２Ａとは、装置本体９１の内部空間９１７内におけるパレット収容体９５の移動方向となるＺ方向と直交するＹ方向から見る視点において、互いに重ならないように形成されている。この場合、パレット収容体９５が第２開口部９１２Ａに対応した前記第２位置に配置された状態においては、パレット収容体９５からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通した連通を、第１開口部９１１Ａの全体に亘って開閉板９７によってより確実に遮断することができる。このため、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態において、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスを、より的確に規制することが可能となる。

【0052】

また、既述の通り、パレット収容体９５は、マガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間に形成された前記間隙ＧＰの範囲内でマガジンラック９５１に対して第１フレーム板９１１側に突出したラッチ部材９５２を含んで構成されている。ラッチ開閉機構９５３によるラッチ回動軸９５２１回りの回動に応じてラッチ部材９５２が前記移動許容姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が許容される。この場合、マガジンラック９５１からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の供給が可能となる。一方、ラッチ部材９５２が前記移動規制姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が規制される。この場合、例えば、移動機構９６によるパレット収容体９５の移動時やパレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態において、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への飛び出しの規制が可能となる。

【0053】

パレット収容体９５がラッチ部材９５２を含んで構成される場合には、上記のようにマガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間に間隙ＧＰが形成された状態となる。この間隙ＧＰはマガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間に形成されているので、第１フレーム板９１１に形成された第１開口部９１１Ａと間隙ＧＰとは、連通している。このため、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態においては、マガジンラック９５１とウェハステージ１０とは、間隙ＧＰ及び第１開口部９１１Ａを通して連通状態となる。この場合、マガジンラック９５１を通したウェハステージ１０へのアクセスを規制するためには、マガジンラック９５１からウェハステージ１０への間隙ＧＰ及び第１開口部９１１Ａを通した連通を遮断する必要がある。

【0054】

そこで、図６に示されるように、開閉板９７は、突出部９７１と延出部９７２とを含んで構成される。突出部９７１は、マガジンラック９５１における第１移動方向Ｚ１の上流側（－Ｚ側）且つ第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）の端部から前記間隙ＧＰの範囲内で第１フレーム板９１１側に突出する板状の部分である。突出部９７１におけるＸ方向に沿った長さは、マガジンラック９５１のＸ方向に沿った長さと略同一の値に設定される。また、マガジンラック９５１からの突出部９７１の突出長さは、前記間隙ＧＰの寸法よりも僅かに小さい値に設定される。延出部９７２は、第１開口部９１１Ａの全体を開放又は閉鎖することが可能となるように、突出部９７１から第２移動方向Ｚ２側（－Ｚ側）に延びる板状の部分である。延出部９７２におけるＸ方向に沿った長さは、突出部９７１のＸ方向に沿った長さと同一であって、第１開口部９１１ＡのＸ方向に沿った長さよりも大きい値に設定される。また、延出部９７２におけるＺ方向に沿った長さは、第１開口部９１１ＡのＺ方向に沿った長さよりも大きい値に設定される。

【0055】

本実施形態では、開閉板９７は、突出部９７１と延出部９７２とが一体の、断面形状がＬ型の部材から構成されている。断面形状がＬ型の部材を用いることによって、突出部９７１と延出部９７２とが一体の開閉板９７を簡単に構成することができる。

【0056】

開閉板９７の突出部９７１は、マガジンラック９５１における第１移動方向Ｚ１の上流側且つ第１フレーム板９１１側の端部から前記間隙ＧＰの範囲内で第１フレーム板９１１側に突出する。これにより、前記第１位置よりも第１移動方向Ｚ１の下流側の前記第２位置にパレット収容体９５が配置された状態では、突出部９７１によって、前記間隙ＧＰと第１開口部９１１Ａとの連通を遮断することができる。しかも、開閉板９７の延出部９７２は、第１開口部９１１Ａの全体を開放又は閉鎖することが可能となるように突出部９７１から延びる。これにより、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態では、延出部９７２によって第１開口部９１１Ａを閉鎖することができる。つまり、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態では、マガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間の前記間隙ＧＰと第１開口部９１１Ａとの連通を突出部９７１によって遮断するとともに、延出部９７２によって第１開口部９１１Ａを閉鎖する。これにより、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態において、マガジンラック９５１を通したウェハステージ１０へのアクセスを的確に規制することが可能となる。

【0057】

また、既述の通り、マガジンラック９５１と第１フレーム板９１１との間に形成された前記間隙ＧＰの範囲内には、当該間隙ＧＰの範囲内でＺ方向に延びる光路９４Ｃ１上に互いに対向配置される発光部９４Ｃ２及び受光部９４Ｃ３により構成されたパレット検知機構９４Ｃが設けられている。パレット検知機構９４Ｃの検知結果に基づいて、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への飛び出し状況などを検出することができる。この場合、マガジンラック９５１から前記間隙ＧＰの範囲内で第１フレーム板９１１側に突出する開閉板９７の突出部９７１は、光通過孔９７１１を有している。この光通過孔９７１１は、パレット検知機構９４Ｃの光路９４Ｃ１を開放することで、発光部９４Ｃ２から受光部９４Ｃ３への光の通過を許容する孔である。これにより、開閉板９７がパレット検知機構９４Ｃによるパレット８の検知の邪魔となることを回避することができる。

【0058】

［ウェハ供給装置の制御構成］
次に、図９のブロック図を参照しながら、ウェハ供給装置６の制御構成について説明する。ウェハ供給装置６は、ウェハコンベア１１及びウェハ収納エレベータ９の動作を制御する制御部６Ｃを備えている。制御部６Ｃは、例えば制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）や一時的にデータを記憶するフラッシュメモリ等の記憶装置が内蔵されたマイクロコンピュータからなる。制御部６Ｃは、前記制御プログラムが読み出されることにより、ウェハコンベア１１及びウェハ収納エレベータ９の動作を制御する。制御部６Ｃは、例えば装置本体９１における第５フレーム板９１５上に配置される（図５参照）。制御部６Ｃは、機能構成として、コンベア制御部１１Ｃとエレベータ制御部９Ｃとを含む。

【0059】

コンベア制御部１１Ｃは、ウェハコンベア１１を制御する。コンベア制御部１１Ｃは、ウェハステージ１０にパレット８を供給する場合には、パレット収容体９５からウェハステージ１０上に第１開口部９１１Ａを通してパレット８が引き出されるように、ウェハコンベア１１を制御する。一方、ウェハステージ１０に配置された使用済みのパレット８を回収する場合には、コンベア制御部１１Ｃは、ウェハステージ１０上のパレット８が第１開口部９１１Ａを通してパレット収容体９５に戻されるように、ウェハコンベア１１を制御する。

【0060】

エレベータ制御部９Ｃは、ウェハ収納エレベータ９を制御する。エレベータ制御部９Ｃには、扉スイッチ９４Ａの出力信号が入力されるとともに、扉検知機構９４Ｂ、パレット検知機構９４Ｃ及び収容体検知機構９４Ｄの各検知信号が入力される。エレベータ制御部９Ｃは、機能構成として、ロック制御部９Ｃ１と、ラッチ制御部９Ｃ２と、移動制御部９Ｃ３とを含む。

【0061】

ロック制御部９Ｃ１は、収容体検知機構９４Ｄの検知信号に基づいて、扉ロック機構９３を制御する。ロック制御部９Ｃ１は、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されていることを示す収容体検知信号ＳＢ（後記の図１１）が収容体検知機構９４Ｄから出力された場合に、扉ロック機構９３による扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除されるように、扉ロック機構９３を制御する。これにより、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されている場合に限り、扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除される。つまり、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されることに応じて開閉板９７が第１開口部９１１Ａの全体を閉鎖した状態において、扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除される。このため、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態であって、且つ、第１開口部９１１Ａが開閉板９７によって閉鎖された状態である場合に限り、扉体９１６を開放することができる。一方、収容体検知機構９４Ｄから収容体検知信号ＳＢが出力されていない場合には、ロック制御部９Ｃ１は、扉ロック機構９３による扉体９１６の閉鎖状態が維持されるように、扉ロック機構９３を制御する。

【0062】

ラッチ制御部９Ｃ２は、装置本体９１の内部空間９１７内におけるパレット収容体９５の位置に応じて、ラッチ開閉機構９５３を制御する。ラッチ制御部９Ｃ２は、パレット収容体９５が前記第１位置に配置されている場合には、ラッチ部材９５２が前記移動許容姿勢を取るように、ラッチ開閉機構９５３を制御する。ラッチ部材９５２が前記移動許容姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が許容される。これにより、マガジンラック９５１からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の供給が可能となる。一方、移動機構９６によるパレット収容体９５の移動時やパレット収容体９５が前記第２位置に配置されている場合には、ラッチ制御部９Ｃ２は、ラッチ部材９５２が前記移動規制姿勢を取るように、ラッチ開閉機構９５３を制御する。ラッチ部材９５２が前記移動規制姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が規制される。これにより、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への飛び出しの規制が可能となる。

【0063】

移動制御部９Ｃ３は、扉スイッチ９４Ａの出力信号に基づいて、移動機構９６を制御する。扉体９１６の開放を要求する操作を受付けた場合の扉開放要求信号ＳＡ１（後記の図１１）が扉スイッチ９４Ａから出力された場合には、移動制御部９Ｃ３は、扉体９１６が設けられた第２開口部９１２Ａに対応した前記第２位置にパレット収容体９５が配置されるように、移動機構９６を制御する。これにより、扉スイッチ９４Ａの操作後に扉体９１６が開放される場面では、パレット収容体９５が前記第２位置に配置されることになる。このようにパレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態では、扉体９１６を開放することにより、パレット収容体９５に収容されたパレット８の第２開口部９１２Ａを介した交換が可能である。この場合、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスが開閉板９７によって的確に規制されている。

【0064】

一方、扉体９１６が閉鎖された場合の扉閉鎖信号ＳＡ２（後記の図１３）が扉スイッチ９４Ａから出力された場合には、移動制御部９Ｃ３は、ウェハステージ１０に向いて開口する第１開口部９１１Ａに対応した前記第１位置にパレット収容体９５が配置されるように、移動機構９６を制御する。これにより、扉体９１６が閉鎖されている場面では、パレット収容体９５が前記第１位置に配置されることになる。このようにパレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態では、開閉板９７によって第１開口部９１１Ａが開放されている。このため、パレット収容体９５からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の供給が可能である。

【0065】

また、移動制御部９Ｃ３は、扉検知機構９４Ｂの検知信号に基づいて、移動機構９６を制御する。扉体９１６が開放されたとの検知結果を示す扉開放検知信号ＳＣ（後記の図１２）が扉検知機構９４Ｂから出力された場合に、移動制御部９Ｃ３は、移動機構９６の駆動モータ９６２の駆動を停止させる。これにより、扉体９１６が開放された状態において、パレット収容体９５が移動されるのを規制することができる。なお、移動制御部９Ｃ３が駆動モータ９６２の駆動を停止させた状態においても、部品実装装置１におけるヘッドユニット４を移動させるための各サーボモータ１４，１８、カメラユニット３２Ｕを移動させるための各サーボモータ３４，３８、及び、突き上げユニット４０を移動させるための各サーボモータ４４，４６の駆動は停止されない。このため、ウェハ供給装置６の駆動モータ９６２の駆動が停止された状態においても、ウェハステージ１０に配置されたパレット８上のウェハ７のダイ７ａを用いた部品実装装置１による実装動作は継続して行われる。

【0066】

［ウェハ供給装置の基本動作］
次に、図１０～図１３と、図１４のフローチャートを参照しながら、ウェハ供給装置６によるパレット８の供給及び回収の処理を示すパレット供給回収処理について説明する。

【0067】

図１０に示されるように、装置本体９１の内部空間９１７内においてパレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態では、開閉板９７によって第１開口部９１１Ａが開放されている（ステップＳ１）。この場合、ラッチ制御部９Ｃ２は、ラッチ部材９５２が前記移動許容姿勢を取るように、ラッチ開閉機構９５３を制御する。ラッチ部材９５２が前記移動許容姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が許容される。この状態では、コンベア制御部１１Ｃは、ウェハステージ１０に配置された使用済みのパレット８Ｅが第１開口部９１１Ａを通してパレット収容体９５に戻されるように、ウェハコンベア１１を制御する（ステップＳ２）。これにより、ウェハステージ１０に配置された使用済みのパレット８Ｅがパレット収容体９５に回収される。

【0068】

使用済みのパレット８Ｅの回収後において、コンベア制御部１１Ｃは、パレット収容体９５からウェハステージ１０上に第１開口部９１１Ａを通して新たなパレット８が引き出されるように、ウェハコンベア１１を制御する（ステップＳ３）。これにより、使用済みのパレット８Ｅに代えて新たなパレット８がウェハステージ１０に供給される。ヘッドユニット４は、ウェハステージ１０に供給された新たなパレット８に保持されるウェハ７からダイ７ａを取出す。

【0069】

パレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態において、エレベータ制御部９Ｃは、扉スイッチ９４Ａから扉開放要求信号ＳＡ１が出力されたか否かを監視する（ステップＳ４）。図１１に示されるように、扉スイッチ９４Ａから扉開放要求信号ＳＡ１が出力された場合（ステップＳ４でＹＥＳ）、ラッチ制御部９Ｃ２は、ラッチ部材９５２が前記移動規制姿勢を取るように、ラッチ開閉機構９５３を制御する。ラッチ部材９５２が前記移動規制姿勢を取った状態では、マガジンラック９５１からのパレット８の第１フレーム板９１１側への移動が規制される。この状態で、移動制御部９Ｃ３は、扉体９１６が設けられた第２開口部９１２Ａに対応した前記第２位置にパレット収容体９５が配置されるように、移動機構９６を制御する（ステップＳ５）。

【0070】

エレベータ制御部９Ｃは、収容体検知機構９４Ｄから収容体検知信号ＳＢが出力されたか否かを監視する（ステップＳ６）。図１１に示されるように、収容体検知機構９４Ｄから収容体検知信号ＳＢが出力された場合（ステップＳ６でＹＥＳ）、パレット収容体９５が前記第２位置に配置された状態であって、開閉板９７が第１開口部９１１Ａの全体を閉鎖した状態となっている。この状態で、ロック制御部９Ｃ１は、扉ロック機構９３による扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除されるように、扉ロック機構９３を制御する（ステップＳ７）。

【0071】

扉ロック機構９３による扉体９１６の閉鎖状態の維持が解除されると、扉体９１６を開放することができる。エレベータ制御部９Ｃは、扉検知機構９４Ｂから扉開放検知信号ＳＣが出力されたか否かを監視する（ステップＳ８）。図１２に示されるように、扉検知機構９４Ｂから扉開放検知信号ＳＣが出力された場合（ステップＳ８でＹＥＳ）、移動制御部９Ｃ３は、移動機構９６の駆動モータ９６２の駆動を停止させる（ステップＳ９）。これにより、扉体９１６が開放された状態において、パレット収容体９５が移動されるのを規制することができる。扉体９１６が開放された状態では、パレット収容体９５に回収された使用済みのパレット８Ｅを、第２開口部９１２Ａを介して新たなパレット８と交換することが可能である。この場合、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスが開閉板９７によって的確に規制されている。なお、この状態で、ヘッドユニット４は、ウェハステージ１０に供給されたパレット８に保持されるウェハ７からダイ７ａを取出す動作を継続して行う。

【0072】

エレベータ制御部９Ｃは、扉スイッチ９４Ａから扉閉鎖信号ＳＡ２が出力されたか否かを監視する（ステップＳ１０）。図１３に示されるように、扉スイッチ９４Ａから扉閉鎖信号ＳＡ２が出力された場合（ステップＳ１０でＹＥＳ）、移動制御部９Ｃ３は、ウェハステージ１０に向いて開口する第１開口部９１１Ａに対応した前記第１位置にパレット収容体９５が配置されるように、移動機構９６を制御する（ステップＳ１１）。これにより、扉体９１６が閉鎖されている場面では、パレット収容体９５が前記第１位置に配置されることになる。このようにパレット収容体９５が前記第１位置に配置された状態では、開閉板９７によって第１開口部９１１Ａが開放されている。このため、パレット収容体９５からウェハステージ１０への第１開口部９１１Ａを通したパレット８の供給が可能である。

【0073】

［ウェハ供給装置の変形実施形態について］
以上、本発明の実施形態に係る部品実装装置１に備えられるウェハ供給装置６について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば次のような変形実施形態を採用することができる。

【0074】

上記の実施形態では、ウェハ収納エレベータ９の装置本体９１において、第１開口部９１１Ａが第２開口部９１２ＡよりもＺ方向において－Ｚ側に形成されている構成について説明したが、これに限定されない。図１５に示されるように、第１開口部９１１Ａが第２開口部９１２ＢよりもＺ方向において＋Ｚ側に形成されていてもよい。この場合、移動機構９６によるパレット収容体９５の移動方向について、第１開口部９１１Ａに対応した第１位置から第２開口部９１２Ａに対応した第２位置に向かう第１移動方向Ｚ１は、＋Ｚ側から－Ｚ側へ向かう方向となる。一方、第２開口部９１２Ａに対応した第２位置から第１開口部９１１Ａに対応した第１位置に向かう第２移動方向Ｚ２は、－Ｚ側から＋Ｚ側へ向かう方向となる。

【0075】

この場合、開閉板９７は、パレット収容体９５における第１移動方向Ｚ１の上流側（＋Ｚ側）且つ第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）の端部に取付けられる。このような構成では、第１位置よりも第１移動方向Ｚ１の下流側（－Ｚ側）の第２位置にパレット収容体９５が配置された状態においては、当該パレット収容体９５における第１移動方向Ｚ１の上流側（＋Ｚ側）且つ第１フレーム板９１１側（－Ｙ側）の端部に取付けられた開閉板９７によって、第１フレーム板９１１に形成された第１開口部９１１Ａを確実に閉鎖することができる。これにより、パレット収容体９５が第２位置に配置された状態において、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスを的確に規制することが可能となる。

【0076】

また、上記の実施形態では、パレット収容体９５においてパレット８を収容するための収容本体がマガジンラック９５１のみで構成されている例を示したが、これに限定されない。図１６に示されるように、パレット収容体９５における収容本体がマガジンラック９５１とハウジング９５１Ａとによって構成されていてもよい。ハウジング９５１Ａは、Ｙ方向の両端が開口した箱形の筐体である。ハウジング９５１Ａは、移動機構９６のボールねじ軸９６１に取付けられるとともに、Ｙ方向の＋Ｙ側への移動が可能となるようにマガジンラック９５１を収容する。この場合、パレット収容体９５が第２位置に配置された状態では、ハウジング９５１Ａに対してマガジンラック９５１を、第２開口部９１２Ａを通して出し入れすることができる。このため、複数のパレット８を収容した状態のマガジンラック９５１の単位で交換することができる。

【0077】

この場合、開閉板９７は、ハウジング９５１Ａにおける第１移動方向Ｚ１の上流側且つ第１フレーム板９１１側の端部に取付けられる。このような構成では、パレット収容体９５が第２位置に配置された状態においては、ハウジング９５１Ａにおける第１移動方向Ｚ１の上流側且つ第１フレーム板９１１側の端部に取付けられた開閉板９７によって、第１フレーム板９１１に形成された第１開口部９１１Ａを確実に閉鎖することができる。これにより、パレット収容体９５が第２位置に配置された状態において、パレット収容体９５を通したウェハステージ１０へのアクセスを的確に規制することが可能となる。

【0078】

なお、上述した具体的実施形態には以下の構成を有する発明が主に含まれている。

【0079】

本発明の一の局面に係るウェハ供給装置は、複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給する装置である。このウェハ供給装置は、前記部品取出作業位置側を向いて開口する第１開口部が形成された第１フレーム板と、前記部品取出作業位置側とは反対側を向いて開口する第２開口部が形成された第２フレーム板とを含み、前記第１フレーム板と前記第２フレーム板との間に前記第１開口部及び前記第２開口部に連通する内部空間を規定する装置本体と、前記ウェハを収容可能に構成され、前記内部空間内に配置されるウェハ収容体と、前記ウェハ収容体と前記部品取出作業位置との間における前記ウェハの前記第１開口部を介した移動が許容される第１位置と、前記ウェハ収容体に収容された前記ウェハの前記第２開口部を介した交換が許容される第２位置との間において、前記第１位置から前記第２位置に向かう第１移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させるとともに、前記第２位置から前記第１位置に向かう第２移動方向へ前記ウェハ収容体を移動させる移動機構と、前記移動機構による前記ウェハ収容体の移動に連動した移動が可能となるように前記内部空間内に設けられ、前記ウェハ収容体が前記第１位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を開放する一方、前記ウェハ収容体が前記第２位置に配置された状態では前記第１開口部の全体を閉鎖する開閉板と、を備える。

【0080】

このウェハ供給装置によれば、装置本体は、部品取出作業位置側を向いて開口する第１開口部と、部品取出作業位置側とは反対側を向いて開口する第２開口部とを有する。移動機構は、ウェハ収容体と部品取出作業位置との間におけるウェハの第１開口部を介した移動が許容される第１位置と、ウェハ収容体に収容されたウェハの第２開口部を介した交換が許容される第２位置との間でウェハ収容体を移動させる。開閉板は、移動機構によるウェハ収容体の移動に連動した移動が可能である。

【0081】

開閉板は、ウェハ収容体が第１位置に配置された状態では第１開口部の全体を開放する。これにより、ウェハ収容体が第１位置に配置された状態において、ウェハ収容体から部品取出作業位置への第１開口部を通したウェハの供給が可能である。一方、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態では、開閉板は、第１開口部の全体を閉鎖する。これにより、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態においては、ウェハ収容体から部品取出作業位置への第１開口部を通した連通を、第１開口部の全体に亘って開閉板によって遮断することができる。このため、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態において、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを的確に規制することが可能となる。

【0082】

上記のウェハ供給装置において、前記開閉板は、前記ウェハ収容体における前記第１移動方向の上流側且つ前記第１フレーム板側の端部に取付けられている構成であってもよい。

【0083】

この態様では、開閉板をウェハ収容体に取付けるという簡単な構成で、移動機構によるウェハ収容体の移動に連動した移動が可能な開閉板を実現することができる。しかも、ウェハ収容体において開閉板が取付けられる箇所は、第１位置から第２位置に向かう第１移動方向の上流側であり、且つ、第１開口部が形成された第１フレーム板側の端部である。このため、第１位置よりも第１移動方向の下流側の第２位置にウェハ収容体が配置された状態では、当該ウェハ収容体における第１移動方向の上流側且つ第１フレーム板側の端部に取付けられた開閉板によって、第１フレーム板に形成された第１開口部を確実に閉鎖することができる。これにより、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態において、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを、より的確に規制することが可能となる。

【0084】

上記のウェハ供給装置において、前記第１開口部と前記第２開口部とは、前記第１移動方向及び前記第２移動方向と直交する方向から見る視点において重ならないように形成されている構成であってもよい。

【0085】

この態様では、ウェハ収容体が第２開口部に対応した第２位置に配置された状態においては、ウェハ収容体から部品取出作業位置への第１開口部を通した連通を、第１開口部の全体に亘って開閉板によってより確実に遮断することができる。このため、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態において、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを、より的確に規制することが可能となる。

【0086】

上記のウェハ供給装置において、前記ウェハ収容体は、前記内部空間内において前記第１フレーム板との間に所定の間隙が形成されるように配置され、前記ウェハを収容するための収容本体と、前記収容本体に対して前記間隙の範囲内で前記第１フレーム板側に突出して設けられ、前記収容本体からの前記ウェハの前記第１フレーム板側への移動を規制する移動規制姿勢と当該移動を許容する移動許容姿勢との間の姿勢変更が可能なウェハ移動制御部材と、を含む構成であってもよい。この場合、前記開閉板は、前記収容本体における前記第１移動方向の上流側且つ前記第１フレーム板側の端部から前記間隙の範囲内で前記第１フレーム板側に突出する突出部と、前記第１開口部の全体を開放又は閉鎖することが可能となるように、前記突出部から延びる延出部と、を含む。

【0087】

この態様では、ウェハ収容体の収容本体と第１フレーム板との間に形成される間隙を利用してウェハ移動制御部材が設けられる。このウェハ移動制御部材が移動許容姿勢を取った状態では、収容本体からのウェハの第１フレーム板側への移動が許容される。この場合、収容本体から部品取出作業位置への第１開口部を通したウェハの供給が可能となる。一方、ウェハ移動制御部材が移動規制姿勢を取った状態では、収容本体からのウェハの第１フレーム板側への移動が規制される。この場合、例えば、移動機構によるウェハ収容体の移動時やウェハ収容体が第２位置に配置された状態において、収容本体からのウェハの第１フレーム板側への飛び出しの規制が可能となる。

【0088】

ウェハ収容体がウェハ移動制御部材を含んで構成される場合には、上記のように収容本体と第１フレーム板との間に間隙が形成された状態となる。この間隙は収容本体と第１フレーム板との間に形成されているので、第１フレーム板に形成された第１開口部と間隙とは、連通している。このため、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態においては、収容本体と部品取出作業位置とは、間隙及び第１開口部を通して連通状態となる。この場合、収容本体を通した部品取出作業位置へのアクセスを規制するためには、収容本体から部品取出作業位置への間隙及び第１開口部を通した連通を遮断する必要がある。

【0089】

そこで、開閉板を突出部と延出部とを含んだ構成とする。開閉板の突出部は、収容本体における第１移動方向の上流側且つ第１フレーム板側の端部から間隙の範囲内で第１フレーム板側に突出する。これにより、第１位置よりも第１移動方向の下流側の第２位置にウェハ収容体が配置された状態では、収容本体における第１移動方向の上流側且つ第１フレーム板側の端部から間隙の範囲内で第１フレーム板側に突出する突出部によって、間隙と第１開口部との連通を遮断することができる。しかも、開閉板の延出部は、第１開口部の全体を開放又は閉鎖することが可能となるように突出部から延びる。これにより、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態では、延出部によって第１開口部を閉鎖することができる。つまり、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態では、収容本体と第１フレーム板との間の間隙と第１開口部との連通を突出部によって遮断するとともに、延出部によって第１開口部を閉鎖する。これにより、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態において、収容本体を通した部品取出作業位置へのアクセスを的確に規制することが可能となる。

【0090】

上記のウェハ供給装置において、前記開閉板は、前記突出部と前記延出部とが一体の、断面形状がＬ型の部材から構成されている。

【0091】

この態様では、断面形状がＬ型の部材を用いることによって、突出部と延出部とが一体の開閉板を簡単に構成することができる。

【0092】

上記のウェハ供給装置は、前記収容本体からの前記ウェハの前記第１フレーム板側への移動を検知する機構であって、前記間隙の範囲内で前記第１移動方向及び前記第２移動方向に延びる光路上に互いに対向配置される発光部及び受光部により構成されるウェハ検知機構を、更に備える構成であってもよい。この場合、前記開閉板の前記突出部は、前記光路を開放することで前記発光部から前記受光部への光の通過を許容する光通過孔を有している。

【0093】

この態様では、ウェハ検知機構の検知結果に基づいて、収容本体からのウェハの第１フレーム板側への飛び出し状況などを検出することができる。この場合、開閉板において収容本体と第１フレーム板との間の間隙の範囲内で突出している突出部には、ウェハ検知機構の光路を開放する光通過孔が形成されている。これにより、開閉板がウェハ検知機構によるウェハの検知の邪魔となることを回避することができる。

【0094】

上記のウェハ供給装置において、前記装置本体は、前記第２開口部を開閉するための扉体を含む構成であってもよい。この場合、前記ウェハ供給装置は、前記扉体の開放を要求する操作を受付けた場合には扉開放要求信号を出力する扉スイッチと、前記扉スイッチから出力される信号に基づいて前記移動機構を制御する移動制御部と、を更に備える。そして、前記移動制御部は、前記扉スイッチから前記扉開放要求信号が出力された場合、前記ウェハ収容体が前記第２位置に向けて移動して当該第２位置に配置されるように、前記移動機構を制御する。

【0095】

この態様では、移動制御部は、装置本体の扉体における第２開口部の開閉に関する扉スイッチの出力信号に基づいて、移動機構を制御する。扉体の開放を要求する操作を受付けた場合の扉開放要求信号が扉スイッチから出力された場合には、移動制御部は、扉体が設けられた第２開口部に対応した第２位置にウェハ収容体が配置されるように、移動機構を制御する。これにより、扉スイッチの操作後に扉体が開放される場面では、ウェハ収容体が第２位置に配置されることになる。このようにウェハ収容体が第２位置に配置された状態では、扉体を開放することにより、ウェハ収容体に収容されたウェハの第２開口部を介した交換が可能である。この場合、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスが開閉板によって的確に規制されている。

【0096】

上記のウェハ供給装置において、前記装置本体は、前記第２開口部を開閉するための扉体を含む構成であってもよい。この場合、前記ウェハ供給装置は、前記扉体が閉鎖された場合には扉閉鎖信号を出力する扉スイッチと、前記扉スイッチから出力される信号に基づいて前記移動機構を制御する移動制御部と、を更に備える。そして、前記移動制御部は、前記扉スイッチから前記扉閉鎖信号が出力された場合、前記ウェハ収容体が前記第１位置に向けて移動して当該第１位置に配置されるように、前記移動機構を制御する。

【0097】

この態様では、扉体が閉鎖された場合の扉閉鎖信号が扉スイッチから出力された場合には、移動制御部は、部品取出作業位置に向いて開口する第１開口部に対応した第１位置にウェハ収容体が配置されるように、移動機構を制御する。これにより、扉体が閉鎖されている場面では、ウェハ収容体が第１位置に配置されることになる。このようにウェハ収容体が第１位置に配置された状態では、開閉板によって第１開口部が開放されている。このため、ウェハ収容体から部品取出作業位置への第１開口部を通したウェハの供給が可能である。

【0098】

上記のウェハ供給装置は、前記ウェハ収容体が前記第２位置に配置されていることを検知した場合に収容体検知信号を出力する収容体検知機構と、前記扉体が前記第２開口部を閉鎖した状態を維持する扉ロック機構と、前記収容体検知機構から前記収容体検知信号が出力された場合、前記扉ロック機構による前記扉体の閉鎖状態の維持が解除されるように、前記扉ロック機構を制御するロック制御部と、を更に備える構成であってもよい。

【0099】

この態様では、ウェハ収容体が第２位置に配置されているとの検知結果を示す収容体検知信号が収容体検知機構から出力された場合に、ロック制御部は、ロック機構による扉体の閉鎖を維持するロック状態が解除されるように、ロック機構を制御する。これにより、ウェハ収容体が第２位置に配置されている場合に限り、扉体の閉鎖状態の維持が解除される。つまり、ウェハ収容体が第２位置に配置されることに応じて開閉板が第１開口部の全体を閉鎖した状態において、扉体の閉鎖状態の維持が解除される。このため、ウェハ収容体が第２位置に配置された状態であって、且つ、第１開口部が開閉板によって閉鎖された状態である場合に限り、扉体を開放することができる。

【0100】

上記のウェハ供給装置は、前記扉体が開放されたことを検知した場合に扉開放検知信号を出力する扉検知機構を更に備える構成であってもよい。そして、前記移動機構は、前記ウェハ収容体を移動させるための駆動力を発する駆動モータを含み、前記移動制御部は、前記扉検知機構から前記扉開放検知信号が出力された場合、前記駆動モータの駆動を停止させる。

【0101】

この態様では、扉体が開放されたとの検知結果を示す扉開放検知信号が扉検知機構から出力された場合に、移動制御部は、移動機構の駆動モータの駆動を停止させる。これにより、扉体が開放された状態において、ウェハ収容体が移動されるのを規制することができる。

【0102】

本発明の他の局面に係る部品移載装置は、複数の部品に分割されたウェハを所定の部品取出作業位置に供給する、上記のウェハ供給装置と、前記部品取出作業位置に供給された前記ウェハから前記部品を取出して所定の部品移載部に移載する部品移載ユニットと、を備える。

【0103】

以上説明した通り、本発明によれば、ウェハ収容体を通した部品取出作業位置へのアクセスを的確に規制することが可能なウェハ供給装置、及びそれを備えた部品移載装置を提供することができる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】