特許7545272ＥＵＶおよび／または電子ビームリソグラフィのためのフォトレジスト

発明の名称　ＥＵＶおよび／または電子ビームリソグラフィのためのフォトレジスト

出願人　アイメック・ヴェーゼットウェー　（識別番号 514156563）

　　　　特許公開件数ランキング 2890 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4268 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7545272

公報発行日　2024年9月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7545272

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