特許 7545746 ダイシング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-28

(45)【発行日】2024-09-05

(54)【発明の名称】ダイシング装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 45/00 20060101AFI20240829BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240829BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20240829BHJP

【ＦＩ】

B24B45/00 A

H01L21/78 F

B24B45/00 C

B24B27/06 J

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2022098811

(22)【出願日】2022-06-20

(65)【公開番号】P2023061881

(43)【公開日】2023-05-02

【審査請求日】2022-06-20

(31)【優先権主張番号】110138790

(32)【優先日】2021-10-20

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】514019132

【氏名又は名称】萬潤科技股▲ふん▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100092624

【弁理士】

【氏名又は名称】鶴田 準一

(74)【代理人】

【識別番号】100114018

【弁理士】

【氏名又は名称】南山 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100153729

【弁理士】

【氏名又は名称】森本 有一

(72)【発明者】

【氏名】チェン ポー ユアン

(72)【発明者】

【氏名】ワン チョン ハン

【審査官】山村 和人

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２１－１２６７４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１１１２８３７９９（ＣＮ，Ａ）

【文献】登録実用新案第３２３３３１４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１８－０５８１５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０９９７６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０６１５７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－０３４２７９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２８Ｄ １／００ － ７／０４

Ｂ２４Ｂ ４５／００

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

台座を有する台座手段と、
前記台座に配置され、且つ、第１のダイシングブレードが設置されるダイシング機構が設けられるダイシング手段と、
前記台座に配置されると共に、駆動されて前記ダイシング機構の下方に移動可能、且つ、加工対象を配置できる支持面を有する支持台と、
第１のダイシングブレード設置台と第２のダイシングブレードが配置される第２のダイシングブレード設置台とが設けられるブレード設置手段と、を備え、
前記ダイシング機構は、第１の保持部を有する第１のダイシングブレード保持手段と、前記第１の保持部に対応する第２の保持部を有する第２のダイシングブレード保持手段と、を有し、前記第１の保持部及び前記第２の保持部で前記第１のダイシングブレードを保持することができ、
前記ダイシング手段に挟持機構が設けられ、前記挟持機構に駆動部及び当接ブロックが設けられ、前記駆動部に出力ロッドが設けられ、前記駆動部の前記出力ロッドは、動力を伝動することで前記当接ブロックを前記第２のダイシングブレード保持手段の一側に当てることで、前記第２のダイシングブレード保持手段を前記第１のダイシングブレード保持手段に対して接近もしくは離間させて前記第１の保持部及び前記第２の保持部で前記第１のダイシングブレードに対する挟持またはリリースする作動を実行させ、
前記第１のダイシングブレード設置台は駆動により前記第１のダイシングブレードを前記ダイシング手段から運び出すことが可能であり、且つ、前記第２のダイシングブレード設置台は駆動により前記第２のダイシングブレードを前記ダイシング手段に装着することが可能であり、そして前記駆動部による駆動で前記ダイシング手段に前記第２のダイシングブレードを保持させる、ことを特徴とするダイシング装置。

【請求項2】

前記挟持機構は、支持枠により前記第１のダイシングブレード保持手段に固定されており、且つ、前記挟持機構は前記第２のダイシングブレード保持手段に対して当接及び離間できる当接部材を更に有しており、
前記当接部材は、雄ネジを有するボルト部と、前記ボルト部の一端にある前記当接ブロックとを有し、前記当接部材は、一端が前記支持枠に枢支され、他の一端が前記当接部材に固定される第１の接続部材の円弧状の揺動によって、垂直に延伸する姿勢から水平に延伸する姿勢になることを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。

【請求項3】

前記第２のダイシングブレード保持手段の一側に対して押圧連動を実行する際、前記出力ロッドによる外側へ突出する出力方向と、前記当接部材による前記第２のダイシングブレード保持手段に当接する力の出力方向が同一の直線上にないように構成されることを特徴とする請求項２に記載のダイシング装置。

【請求項4】

前記出力ロッドと前記当接ブロックとの間の動力の伝動は前記出力ロッドと前記当接ブロックとを連結する接続部材アセンブリにより行われ、前記接続部材アセンブリは、第１の接続部材と第２の接続部材と第３の接続部材とを有し、前記第１の接続部材は一端が前記支持枠にある枢支部に枢支され、他端が前記当接部材に直交して固定されており、前記第２の接続部材は一端が前記枢支部に枢支され、他端が前記出力ロッドに枢支されており、前記第３の接続部材は、一端が前記出力ロッドに枢支され、他端が前記第１の接続部材に枢支されていることを特徴とする請求項２に記載のダイシング装置。

【請求項5】

前記出力ロッドは、前記当接ブロックを前記第２のダイシングブレード保持手段から離れさせて前記第２のダイシングブレード保持手段に対する当接を解除させることを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。

【請求項6】

前記ダイシング機構は、付勢力で前記第２のダイシングブレード保持手段を支持しながら押圧し、前記第１の保持部と前記第２の保持部を離間させて隙間を形成して前記第１のダイシングブレードをリリースする付勢手段を有することを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。

【請求項7】

前記第１のダイシングブレード保持手段には前記第２のダイシングブレード保持手段へ延伸する軸棒が設けられ、前記付勢手段は、該軸棒に配置されていることを特徴とする請求項６に記載のダイシング装置。

【請求項8】

前記第１の保持部には、負圧を提供できる吸着手段を有する第１の吸着部が配置されており、
前記第１の保持部と前記第２の保持部とが互いに離間して前記第１のダイシングブレードをリリースする際、前記吸着手段からの負圧によって前記第１のダイシングブレードを吸着保持することを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はダイシング装置に関し、特に、電子部品の生産プロセスにおいて加工対象に対してダイシング加工を行うダイシング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

電子部品の生産プロセスにおいて、加工対象に対してダイシング加工を実行するためにダイシング装置が使用される場合は多くある。例えば特許文献１には、セラミック基板の板状チップである加工対象を長尺状に切削するチップ用ダイシング装置が開示されており、水平に移動可能な加工台に乗せられた加工対象を、上下に移動可能なダイシング手段の下方に搬送し、ダイシング手段に装着されるダイシングブレードを用いて加工対象に対して加工作業を実行する構成になっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】台湾特許第Ｉ６２７０４２号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、該従来のダイシング装置では、ダイシングブレードを交換しようとする際、まずダイシング手段（Ｂ）に固定されているダイシングブレード保持ユニットをダイシング手段（Ｂ）から手動で取り外してから、ダイシングブレードを手動でダイシングブレード保持ユニットから取り外して、新しいダイシングブレードを手動で装着し、それからダイシングブレード保持ユニットを手動でダイシング手段（Ｂ）に固定するという手順が必要となるので、この作業は時間と労力が掛かる上、手作業のために作業員が怪我をする恐れがある。

【0005】

上記問題点に鑑みて、本発明は上記従来技術の欠点を解決するダイシング装置の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的に達成すべく、本発明は、台座を有する台座手段と、前記台座に配置され、且つ、第１のダイシングブレードが設置されるダイシング機構が設けられるダイシング手段と、前記ダイシング機構を駆動して前記第１のダイシングブレードを保持、もしくはリリースする駆動部と、前記台座に配置されると共に、駆動されて前記ダイシング機構の下方に移動可能、且つ、加工対象を配置できる支持面を有する支持台と、を備え、前記第１のダイシングブレードは前記ダイシング手段から運び出されることが可能であり、且つ、第２のダイシングブレードが前記ダイシング手段に装着されることが可能であり、そして前記駆動部による駆動で前記ダイシング手段に前記第２のダイシングブレードを保持させる、ことを特徴とするダイシング装置を提供する。

【発明の効果】

【0007】

上記構成により、本発明のダイシング装置は、駆動部がダイシング機構を駆動して第１のダイシングブレードを保持、もしくはリリースするので、第１のダイシングブレードをリリースしてから該第１のダイシングブレードを運び出すと共に、第２のダイシングブレードをダイシング機構に設置してから駆動部で第２のダイシングブレードを保持することにより、時間と労力を節約できる上、作業員が怪我をする恐れもなくなって安全性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明に係るダイシング装置の構成が示される斜視図である。

【図2】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１の構成が示される斜視図である。

【図3】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１の第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１及び第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２がリリースされる際、第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１における第１の軸棒Ｂ１１７に取り付けられる付勢手段Ｂ１１８と第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２との当接関係が示される断面説明図である。

【図4】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１の第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１及び第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２がリリースされる際、第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１における第１の軸棒Ｂ１１７に取り付けられる付勢手段Ｂ１１８と第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２における第２の軸棒Ｂ１２５に取り付けられる付勢手段Ｂ１２６との当接関係が示される断面説明図である。

【図5】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１における挟持機構Ｂ３が作動する様子が示される説明図である。

【図6】本発明に係るダイシング装置におけるブレード設置手段Ｄの構成が示される分解斜視図である。

【図7】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１とブレード設置手段Ｄとが作動する様子が示される説明図その１である。

【図8】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１とブレード設置手段Ｄとが作動する様子が示される説明図その２である。

【図9】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１とブレード設置手段Ｄとが作動する様子が示される説明図その３である。

【図10】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１とブレード設置手段Ｄとが作動する様子が示される説明図その４である。

【図11】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１とブレード設置手段Ｄとが作動する様子が示される説明図その５である。

【図12】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１とブレード設置手段Ｄとが作動する様子が示される説明図その６である。

【図13】本発明に係るダイシング装置におけるダイシング機構Ｂ１とブレード設置手段Ｄとが作動する様子が示される説明図その７である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下は図面を参照して本発明のダイシング装置の実施形態について詳しく説明する。

【0010】

図１に本発明のダイシング装置の一例が示されており、図示のように、該ダイシング装置は、台座手段Ａと、ダイシング手段Ｂと、支持台Ｃと、ブレード設置手段Ｄとを備える。

【0011】

台座手段Ａにはガントリー形態に構成された台座Ａ１と、台座Ａ１により画成される搬送区間Ａ２と、台座手段Ａに配置されて搬送区間Ａ２内においてＸ軸方向に沿った搬送経路を提供するレールＡ３と、を有する。

【0012】

ダイシング手段Ｂは搬送区間Ａ２の上方にある台座Ａ１に配置されていると共に、ダイシング機構Ｂ１と、ダイシング機構Ｂ１を上下に駆動する駆動機構Ｂ２とを有する。驅動機構Ｂ２は、Ｚ軸方向に沿って延伸するように台座Ａ１に配置されるレールＢ２１と、レールＢ２１に沿って移動可能に取り付けられる可動台Ｂ２２と、可動台Ｂ２２を駆動する駆動部Ｂ２３と、を有する。

【0013】

支持台Ｃは、台座手段ＡのレールＡ３に可動的に取り付けられる台座本体Ｃ１と、例えば板状のウェハなどの加工対象を支持できる支持面Ｃ２と、を有する。台座本体Ｃ１は駆動によりＸ軸方向に沿って移動し、搬送区間Ａ２を経由してダイシング機構Ｂ１の下方に移動することができる。

【0014】

ブレード設置手段Ｄは、支持台Ｃと連動するように構成されるよう、台座本体Ｃ１の作業員に臨む側に取り付けられる保持枠Ｄ１を有する。

【0015】

図１～図４に示されるように、ダイシング機構Ｂ１は可動台Ｂ２２に固定される第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１を有する。第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１の一側に当接ユニットＢ１１１が設けられ、そして当接ユニットＢ１１１の下方に第１の保持部Ｂ１１２が形成されている。第１の保持部Ｂ１１２及び当接ユニットＢ１１１と同じ側にある第１の保持面Ｂ１１３には、負圧による吸着機能を発揮する吸着手段としての吸着孔もしくは吸着ノズルを有する第１の吸着部Ｂ１１４（図３参照）が設けられている。

【0016】

第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１の内側に、いずれもＺ軸方向に沿って延伸する２本の第１の軸棒Ｂ１１７が回転可能に配置されている（図４参照）。第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１の上方に、該２本の第１の軸棒Ｂ１１７に接続されている連動手段Ｂ１１５が設けられており、第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１の下方に、該２本の第１の軸棒Ｂ１１７に接続されている第１の押圧台Ｂ１１６が設けられている。この構成により、連動手段Ｂ１１５と、２本の第１の軸棒Ｂ１１７と、第１の押圧台Ｂ１１６とは連動して共にＺ軸方向に沿って移動可能になっている。また、各第１の軸棒Ｂ１１７にはそれぞれ付勢手段Ｂ１１８としてのバネが取り付けられており、各付勢手段Ｂ１１８は両端がそれぞれ第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１と第１の押圧台Ｂ１１６とに当接し、第１の押圧台Ｂ１１６に対して第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１の下方に押し付ける力を与える構成になっている。連動手段Ｂ１１５はその上方に取り付けられ、且つ、Ｚ軸方向において互いに離間するように配置された一対の駆動シリンダＢ１１９により駆動されて第１の軸棒Ｂ１１７及び第１の押圧台Ｂ１１６を上下に駆動することができる。第１の押圧台Ｂ１１６の両端には、係合部Ｂ１１６１がそれぞれ突起するように形成されている。

【0017】

ダイシング機構Ｂ１の第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１に面する側の反対側には、第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２が配置されている。第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２は第１の保持部Ｂ１１２に面する第２の保持部Ｂ１２１が設けられている。第２の保持部Ｂ１２１は第１の保持面Ｂ１１３によりかかる第２の保持面Ｂ１２２を有する。

【0018】

第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２の内側には、いずれもＺ軸方向に沿って延伸する２本の第２の軸棒Ｂ１２５が回転可能に配置されている（図４参照）。また、第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２の上方には、該２本の第２の軸棒Ｂ１２５に接続されている連動手段Ｂ１２３が設けられており、第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２の下方には、該２本の第２の軸棒Ｂ１２５に接続されている第２の押圧台Ｂ１２４が設けられている。この構成により、連動手段Ｂ１２３と、２本の第２の軸棒Ｂ１２５と、第２の押圧台Ｂ１２４とは連動して共にＺ軸方向に沿って移動可能になっている。また、各第２の軸棒Ｂ１２５にはそれぞれ付勢手段Ｂ１２６としてのバネが取り付けられており、各付勢手段Ｂ１２６は両端がそれぞれ第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２と第２の押圧台Ｂ１２４とに当接し、第２の押圧台Ｂ１２４に対して第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２の下方に押し付ける力を与える構成になっている。また、第２の押圧台Ｂ１２４の両端には、第１の押圧台Ｂ１１６に形成される係合部Ｂ１１６１と係合する係合部Ｂ１２４１がそれぞれ突起するように形成されており、連動手段Ｂ１１５が駆動されて第１の押圧台Ｂ１１６が連動して上下に移動すると、第１の軸棒Ｂ１１７及び第１の押圧台Ｂ１１６の連動により第１の軸棒Ｂ１１７及び第１の押圧台Ｂ１１６の連動により第１の押圧台Ｂ１１６に形成される係合部Ｂ１１６１と係合する係合部Ｂ１２４１を有する第２の押圧台Ｂ１２４は連動して共に上下に移動するようになる。

【0019】

図２、図３に示されるように、第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１の側面には、Ｘ軸に沿って第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２側に向かって延伸し、且つ当接ユニットＢ１１１を通過する２つの軸棒Ｂ１３が設けられている。当接ユニットＢ１１１と第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２との間に位置する各軸棒Ｂ１３には、付勢手段Ｂ１３１としてのバネが取り付けられている。第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２は回転可能に軸棒Ｂ１３に取り付けられると共に、外部から作動されて第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１側へ移動可能であり、且つ、付勢手段Ｂ１３１により第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１から離れる方向に付勢されている。当接ユニットＢ１１１の下方には摩耗に強い材料により作成された当接部Ｂ１１１１が取り付けられている。

【0020】

加工対象に対してダイシング加工を直接に実行する第１のダイシングブレードＥは、第１の保持面Ｂ１１３と第２の保持面Ｂ１２２との間に挟まれている。第１のダイシングブレードＥの刃先Ｅ１は、第１の保持部Ｂ１１２と第２の保持部Ｂ１２１との下方に露出するが、第１の押圧台Ｂ１１６と第２の押圧台Ｂ１２４の上方にあるように維持されている。第１のダイシングブレードＥの峰部Ｅ２は第１の保持部Ｂ１１２と第２の保持部Ｂ１２１との上方から露出し、且つ、当接ユニットＢ１１１の当接部Ｂ１１１１の下端に当接する。刃先Ｅ１と峰部Ｅ２との間には細長い腹部Ｅ３があるので、第１の吸着部Ｂ１１４は腹部Ｅ３に吸着することで第１のダイシングブレードＥを保持することができる。

【0021】

図２に示されるように、第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２の第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１へ接近もしくは第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１から離れる動きは、Ｙ軸方向において互いに離れるように配置されている２つの挟持機構Ｂ３により駆動、制御される構成になっている。挟持機構Ｂ３は支持枠Ｂ３１と支持枠Ｂ３１に接続されている接続部材Ｂ４とにより、連動手段Ｂ１１５と第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２との上方にある刳り貫き空間Ｂ１１５１を経由して第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１側に固定されている。

【0022】

各挟持機構Ｂ３は駆動部（駆動シリンダ）Ｂ３２及び第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２側に対して押し当たりもしくは離間する当接部材Ｂ３３を有し、駆動部（駆動シリンダ）Ｂ３２の出力ロッドＢ３２１と当接部材Ｂ３３とは接続部材アセンブリＢ３４により接続されて駆動力を伝動する構成になっている。各接続部材アセンブリＢ３４は第１の接続部材Ｂ３４１と第２の接続部材Ｂ３４２と第３の接続部材Ｂ３４３とを有し、第１の接続部材Ｂ３４１は一端が支持枠Ｂ３１にある枢支部Ｂ３１１に枢支され、他端が当接部材Ｂ３３に直交して固定されており、第２の接続部材Ｂ３４２は一端が枢支部Ｂ３１１に枢支され、他端が出力ロッドＢ３２１に枢支されており、第３の接続部材Ｂ３４３は、一端が出力ロッドＢ３２１に枢支され、他端が第１の接続部材Ｂ３４１に枢支されている。

【0023】

各当接部材Ｂ３３は、雄ネジを有するボルト部Ｂ３３１と、ボルト部Ｂ３３１の一端にあって且つ可撓性を有する当接ブロックＢ３３２とを有し、ボルト部Ｂ３３１の他端は第１の接続部材Ｂ３４１に螺合し、且つ、そこで回転することにより微調整することができ、そしてナットとして構成された固定部材Ｂ３３３により位置決めされている。

【0024】

図２、図３、図５に示されているように、挟持機構Ｂ３が第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２側に対して押し当て連動する際、挟持機構Ｂ３における出力ロッドＢ３２１の外側へ突出する力の方向と、当接部材Ｂ３３による第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２に当接する力の出力方向とは、同一の直線上に存在しないように維持されているので、当接部材Ｂ３３は、図５に示されている垂直なＺ軸方向に延伸する姿勢から、第１の接続部材Ｂ３４１の円弧状の揺動により、図２に示される水平なＸ軸方向に延伸する姿勢になると共に、当接ブロックＢ３３２で第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２側へ押し当てることにより、第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２を第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１側へ移動して図３における付勢手段Ｂ１３１を圧縮し、第１の保持部Ｂ１１２と第２の保持部Ｂ１２１とで第１のダイシングブレードＥを挟んで保持することができる。

【0025】

挟持機構Ｂ３が第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２側へリリースされる際、出力ロッドＢ３２１は内側に引きこむので、第１の接続部材Ｂ３４１は連動して略水平なＸ軸向きとなり、そして当接部材Ｂ３３は連動して略垂直なＺ軸向きとなり、この際、図３における付勢手段Ｂ１３１の弾性力で第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２を押し動かして第１の保持部Ｂ１１２と第２の保持部Ｂ１２１とを離間させて隙間Ｂ１４を造り出すので、第１のダイシングブレードＥはリリースされる。

【0026】

図１、図６に示されるように、ブレード設置手段Ｄは、保持枠Ｄ１において比較的に支持台Ｃ側寄りにあり且つ第１の駆動シリンダＤ２１の駆動によって上下に移動可能な第１のダイシングブレード設置台Ｄ２と、保持枠Ｄ１において比較的に支持台Ｃから離れていて且つ第２の駆動シリンダＤ３１の駆動によって上下に移動可能な第２のダイシングブレード設置台Ｄ３と、を有する
ここで、第１のダイシングブレード設置台Ｄ２は、直立な第１のブレードサポート部Ｄ２２と、第１のブレードサポート部Ｄ２２の支持台Ｃに臨む面に形成された第１のブレードサポート面Ｄ２３と、を有する。第１のブレードサポート面Ｄ２３には、Ｙ軸に沿って間を開けて並んでいると共に、負圧による吸着機能を発揮する吸着手段としての吸着孔もしくは吸着ノズルで固定保持をする複数の第２の吸着部Ｄ２４が設けられ、第２の吸着部Ｄ２４の表面は第１のブレードサポート面Ｄ２３から略突出している。また、第１のブレードサポート面Ｄ２３の下側には下保持台Ｄ２５が設けられ、下保持台Ｄ２５はその上表面に可撓性材料からなるフィルム層Ｄ２６を設置することができ、フィルム層Ｄ２６は第１のブレードサポート面Ｄ２３の下端縁の角部にあって第１のブレードサポート部Ｄ２２により凹設される区間Ｄ２７の中に深く入り込むことができる。

【0027】

第２のダイシングブレード設置台Ｄ３は、直立な第２のブレードサポート部Ｄ３２と、第２のブレードサポート部Ｄ３２の支持台Ｃに臨む面に形成された第２のブレードサポート面Ｄ３３と、を有する。第２のブレードサポート面Ｄ３３には、Ｙ軸に沿って間を開けて並んでいると共に、負圧による吸着機能を発揮する吸着手段としての吸着孔もしくは吸着ノズルで固定保持をする複数の第３の吸着部Ｄ３４が設けられ、第３の吸着部Ｄ３４の表面は第２のブレードサポート面Ｄ３３から略突出している。また、第２のブレードサポート面Ｄ３３の下側には下保持台Ｄ３５が設けられ、下保持台Ｄ３５はその上表面に可撓性材料からなるフィルム層Ｄ３６を設置することができ、フィルム層Ｄ３６は第２のブレードサポート面Ｄ３３３の下端縁の角部にあって第２のブレードサポート部Ｄ３２により凹設される区間Ｄ３７の中に深く入り込むことができる。

【0028】

図３に示される第１のダイシングブレードＥを交換する必要がある際、第１のダイシングブレード設置台Ｄ２は未設置状態が維持されていて、そして第２のダイシングブレード設置台Ｄ３は直立な第２のブレードサポート部Ｄ３２が設けられ、そして第２のブレードサポート部Ｄ３２の第２のブレードサポート面Ｄ３３は第３の吸着部Ｄ３４で第２のダイシングブレードＦを吸着して位置決めする。

【0029】

第２のダイシングブレードＦは下方に刃先Ｆ１が設けられ、上方に峰部Ｆ２が設けられているものであり、刃先Ｆ１と峰部Ｆ２との間は細長い腹部Ｅ３であり、第２のダイシングブレードＦは腹部Ｆ３で第３の吸着部Ｄ３４により吸着され、刃先Ｆ１は下方に向けられて下保持台Ｄ３５に接近するフィルム層Ｄ３６の上方に対応する形で、第２のブレードサポート部Ｄ３２の支持台Ｃに臨む側に直立に設置されるよう位置決めされており、第３の吸着部Ｄ３４の表面が第２のブレードサポート面Ｄ３３から略突出しているので、直立に設置される第２のダイシングブレードＦの腹部Ｆ３と第２のブレードサポート面Ｄ３３との間に隙間が維持される。

【0030】

図１、図７に示されるダイシング装置のダイシング機構Ｂ１において、挟持機構Ｂ３は当接ブロックＢ３３２で第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２側に対して押し当てることにより、第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２は第１のダイシングブレード保持手段Ｂ１１に対して移動し、第１の保持部Ｂ１１２と第２の保持部Ｂ１２１とで第１のダイシングブレードＥをきつく挟んで保持する。

【0031】

本発明の実施例においては、なまくらになった第１のダイシングブレードＥを交換する際、作業員は第２のダイシングブレード設置台Ｄ３に第２のダイシングブレードＦを設置することができる。

【0032】

図１、図３、図８に示されるように、それからブレード設置手段Ｄを支持台Ｃと共にレールＡ３においてＸ軸方向に直線状に移動し、第１のダイシングブレード設置台Ｄ２の第１のブレードサポート部Ｄ２２をダイシング機構Ｂ１の第１のダイシングブレードＥの下方に移動し、且つ、挟持機構Ｂ３の出力ロッドＢ３２１を内側に引っ込ませることで、第１の接続部材Ｂ３４１を連動によって略水平のＺ軸向きにさせ、当接部材Ｂ３３は連動により略垂直のＺ軸向きとなって当接ブロックＢ３３２を第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２側に対する当接から離脱させて、付勢手段Ｂ１３１の弾性力により第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２が押し動かされることで、第１の保持部Ｂ１１２と第２の保持部Ｂ１２１とが離間することで隙間Ｂ１４が形成され、これにより第１のダイシングブレードＥがリリースされる。この際、第１のダイシングブレードＥは、図３における第１の保持部Ｂ１１２にある第１の保持面Ｂ１１３の表面にある第１の吸着部Ｂ１１４の負圧により吸着保持された状態が維持されている。

【0033】

図１、図３、図９に示されるように、第１のダイシングブレード設置台Ｄ２を駆動により、第２の吸着部Ｄ２４が第１のダイシングブレードＥの腹部Ｅ３に対応するようになるまで、第１のブレードサポート部Ｄ２２を上昇させてダイシング機構Ｂ１の第１の保持部Ｂ１１２と第２の保持部Ｂ１２１との離間により形成された隙間Ｂ１４の中に進入させる。この際、第２の吸着部Ｄ２４は負圧による吸着保持を起動し、図３における第１の保持部Ｂ１１２の第１の吸着部Ｂ１１４によって吸着保持されていた第１のダイシングブレードＥを吸着保持すると共に、第１の吸着部Ｂ１１４による負圧を解除するので、第１のダイシングブレードＥは第２の吸着部Ｄ２４により吸着保持されるようになる。

【0034】

図１、図３、図１０に示されるように、第１のダイシングブレードＥが第２の吸着部Ｄ２４によって吸着保持されるようになってから、第１のダイシングブレード設置台Ｄ２は駆動されて第１のブレードサポート部Ｄ２２を下方に移動して第１のダイシングブレードＥをダイシング機構Ｂ１の隙間Ｂ１４から運び出す。

【0035】

図１、図３、図１１に示されるように、その後ブレード設置手段Ｄを支持台Ｃと共にレールＡ３においてＸ軸方向に直線状に移動し、第２のダイシングブレード設置台Ｄ３をダイシング機構Ｂ１の隙間Ｂ１４の下方に移動し、第２のダイシングブレード設置台Ｄ３は駆動され、第３の吸着部Ｄ３４が第１の保持面Ｂ１１３のデフォルト位置に対応するまで第２のブレードサポート部Ｄ３２が第２のダイシングブレードＦを保持しながら上昇して隙間Ｂ１４の中に進入し、この際、第２のダイシングブレードＦの峰部Ｆ２は図３における当接ユニットＢ１１１の当接部Ｂ１１１１の下端縁に当接するようになり、そしてダイシング機構Ｂ１の第１の保持面Ｂ１１３の表面の第１の吸着部Ｂ１１４は負圧を起動して第２のブレードサポート部Ｄ３２の第３の吸着部Ｄ３４により吸着保持されていた第２のダイシングブレードＦを吸着保持すると共に、第３の吸着部Ｄ３４による負圧を解除することで第２のダイシングブレードＦを第１の吸着部Ｂ１１４に吸着保持されるようになり、これによって第２のダイシングブレードＦはダイシング機構Ｂ１に設置されるようになる。

【0036】

図１、図３、図１２に示されるように、第２のダイシングブレードＦが図３における第１の吸着部Ｂ１１４によって吸着保持された後、第２のダイシングブレード設置台Ｄ３は駆動されて下降し、第２のブレードサポート部Ｄ３２が隙間Ｂ１４から運び出される。

【0037】

図１、図３、図１３に示されるように、第２のダイシングブレードＦが図３における第１の吸着部Ｂ１１４によって吸着保持されるようになった後、挟持機構Ｂ３の出力ロッドＢ３２１は外側へ延伸して第１の接続部材Ｂ３４１を連動で略垂直なＺ軸向きにし、当接部材Ｂ３３は第１の接続部材Ｂ３４１の円弧状の揺動に連動して、水平なＸ軸方向に延伸する姿勢になると共に、当接ブロックＢ３３２で第２のダイシングブレード保持手段Ｂ１２側へ押し当てることにより、第１の保持部Ｂ１１２と第２の保持部Ｂ１２１は互いに接近して図３にある隙間Ｂ１４を閉じるようになる。ブレード設置手段Ｄは支持台Ｃと共にレールＡ３にＸ軸方向に沿って元の定位置に戻り、第１のダイシングブレードＥが第２のダイシングブレードＦに取り換えられる自動交換作業は終了する。

【0038】

上記のように、本発明のダイシング装置は、駆動部（駆動シリンダ）Ｂ３２がダイシング機構Ｂ１を駆動して第１のダイシングブレードＥを保持、もしくはリリースするので、第１のダイシングブレードＥをリリースしてから該第１のダイシングブレードＥを運び出すと共に、第２のダイシングブレードＦをダイシング機構Ｂ１に設置してから駆動部（駆動シリンダ）Ｂ３２で第２のダイシングブレードＦを保持することにより、時間と労力を節約できる上、作業員が怪我をする恐れもなくなって安全性を高めることができる。

【0039】

以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、最も広い解釈の精神および範囲内に含まれる様々な構成として、全ての修飾および均等な構成を包含するものとする。

【産業上の利用可能性】

【0040】

本発明のダイシング装置は、ブレード設置手段（Ｄ）により第１のダイシングブレード設置台（Ｄ２）をダイシング機構（Ｂ１）に移動させてダイシング機構（Ｂ１）から第１のダイシングブレード（Ｅ）を運び出してから、第２のダイシングブレード設置台（Ｄ３）に設置される第２のダイシングブレード（Ｆ）をダイシング機構（Ｂ１）に取り付けるので、ダイシングブレードの交換に作業員による手作業が不要となり、時間と労力を節約できる上、作業員が怪我をする恐れもなくなって安全性を高めることができる。

【符号の説明】

【0041】

Ａ 台座手段
Ａ１ 台座
Ａ２ 搬送区間
Ａ３ レール
Ｂ ダイシング手段
Ｂ１ ダイシング機構
Ｂ１１ 第１のダイシングブレード保持手段
Ｂ１１１ 当接ユニット
Ｂ１１１１ 当接部
Ｂ１１２ 第１の保持部
Ｂ１１３ 第１の保持面
Ｂ１１４ 第１の吸着部
Ｂ１１５ 連動手段
Ｂ１１５１ 刳り貫き空間
Ｂ１１６ 第１の押圧台
Ｂ１１６１ 係合部
Ｂ１１７ 第１の軸棒
Ｂ１１８ 付勢手段
Ｂ１１９ 駆動シリンダ
Ｂ１２ 第２のダイシングブレード保持手段
Ｂ１２１ 第２の保持部
Ｂ１２２ 第２の保持面
Ｂ１２３ 連動手段
Ｂ１２４ 第２の押圧台
Ｂ１２４１ 係合部
Ｂ１２５ 第２の軸棒
Ｂ１２６ 付勢手段
Ｂ１３ 軸棒
Ｂ１３１ 付勢手段
Ｂ１４ 隙間
Ｂ２ 驅動機構
Ｂ２１ レール
Ｂ２２ 可動台
Ｂ２３ 駆動部
Ｂ３ 挟持機構
Ｂ３１ 支持枠
Ｂ３１１ 枢支部
Ｂ３２ 駆動部（駆動シリンダ）
Ｂ３２１ 出力ロッド
Ｂ３３ 当接部材
Ｂ３３１ ボルト部
Ｂ３３２ 当接ブロック
Ｂ３３３ 固定部材
Ｂ３４ 接続部材アセンブリ
Ｂ３４１ 第１の接続部材
Ｂ３４２ 第２の接続部材
Ｂ３４３ 第３の接続部材
Ｂ４ 接続部材
Ｃ 支持台
Ｃ１ 台座本体
Ｃ２ 支持面
Ｄ ブレード設置手段
Ｄ１ 支持枠
Ｄ２ 第１のダイシングブレード設置台
Ｄ２１ 第１の駆動シリンダ
Ｄ２２ 第１のブレードサポート部
Ｄ２３ 第１のブレードサポート面
Ｄ２４ 第２の吸着部
Ｄ２５ 下保持台
Ｄ２６ フィルム層
Ｄ２７ 区間
Ｄ３ 第１のダイシングブレード設置台
Ｄ３１ 第１の駆動シリンダ
Ｄ３２ 第２のブレードサポート部
Ｄ３３ 第２のブレードサポート面
Ｄ３４ 第３の吸着部
Ｄ３５ 下保持台
Ｄ３６ フィルム層
Ｄ３７ 区間
Ｅ 第１のダイシングブレード
Ｅ１ 刃先
Ｅ２ 峰部
Ｅ３ 腹部
Ｆ 第２のダイシングブレード
Ｆ１ 刃先
Ｆ２ 峰部
Ｆ３ 腹部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】