特許 7545941 空気清浄化陰圧装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-28

(45)【発行日】2024-09-05

(54)【発明の名称】空気清浄化陰圧装置

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/003 20210101AFI20240829BHJP

   A61L 9/16 20060101ALI20240829BHJP

   B01D 46/00 20220101ALI20240829BHJP

   F24F 7/06 20060101ALI20240829BHJP

   F24F 8/108 20210101ALI20240829BHJP

   F24F 8/80 20210101ALI20240829BHJP

   G01N 15/06 20240101ALI20240829BHJP

   G01N 15/08 20060101ALI20240829BHJP

【ＦＩ】

F24F7/003

A61L9/16 F

B01D46/00 F

F24F7/06 B

F24F8/108 110

F24F8/80 115

F24F8/80 150

F24F8/80 212

F24F8/80 236

F24F8/80 250

F24F8/80 252

F24F8/80 300

G01N15/06 D

G01N15/08 A

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2021145588

(22)【出願日】2021-09-07

(65)【公開番号】P2023038718

(43)【公開日】2023-03-17

【審査請求日】2023-08-02

(73)【特許権者】

【識別番号】502129933

【氏名又は名称】株式会社日立産機システム

(74)【代理人】

【識別番号】110001689

【氏名又は名称】青稜弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】安達 東彦

(72)【発明者】

【氏名】金子 健

【審査官】杉山 健一

(56)【参考文献】

【文献】登録実用新案第３１０３４０６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１９－００５７１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０６４４４３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２４Ｆ ７／００３

Ａ６１Ｌ ９／１６

Ｂ０１Ｄ ４６／００

Ｆ２４Ｆ ７／０６

Ｆ２４Ｆ ８／１０８

Ｆ２４Ｆ ８／８０

Ｇ０１Ｎ １５／０６

Ｇ０１Ｎ １５／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

室内の微粒子を含む空気を吸い込む、筐体の前面に設けられた吸込部と、前記吸込部に吸い込まれた空気を後方に通過させて清浄化する清浄化フィルタと、を有するフィルターチャンバと、
前記清浄化フィルタを後方に通過させた空気流路方向に対して略直交方向に延在された空気流路を設けるダクトと、前記ダクトの前方壁面の長手方向略中央位置に設けられた前記ダクト内の空気を吸引させる吸引口と、を有する背面チャンバと、
前記背面チャンバから流出された空気を前方に吸引するファンと、前記ファンを回転駆動するファンモータと、前記ファンにより吸引された空気を側方より室内の外部に排出する排気口と、前記筐体の前面を開放可能とするカバーと、を有するファンチャンバと、
前記清浄化フィルタの清浄性能を測定する前記筐体外部の測定器と、前記測定器を前記筐体の前面から前記吸引口に接続可能とする接続部と、を備えたことを
特徴とする空気清浄化陰圧装置。

【請求項2】

前記吸引口の近傍における空気流を調整する整流部材を更に備え、
前記整流部材は、前記ダクトの前方壁面に設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の空気清浄化陰圧装置。

【請求項3】

前記整流部材は、前記ダクト内の空気流路方向に対して直交する面を前記吸引口の当該空気流路方向下流側に設けたL字形状である
ことを特徴とする請求項２に記載の空気清浄化陰圧装置。

【請求項4】

前記整流部材は、前記ダクト内の空気流路方向に対して直交する面に開口部を設けた
ことを特徴とする請求項３に記載の空気清浄化陰圧装置。

【請求項5】

前記整流部材は、山笠形状の部材を前記ダクト内の空気流路方向に対して傾斜させて前記吸引口の近傍に配置させた
ことを特徴とする請求項２に記載の空気清浄化陰圧装置。

【請求項6】

前記整流部材は、前記ダクト内の空気流路方向に対して直交する面を前記吸引口の当該空気流路方向上流側に設けた直立形状である
ことを特徴とする請求項２に記載の空気清浄化陰圧装置。

【請求項7】

前記清浄化フィルタは、前記吸込部を開放することにより前記筐体の前面から交換可能とする
ことを特徴とする請求項１に記載の空気清浄化陰圧装置。

【請求項8】

前記背面チャンバから、前記ファンチャンバに吸引される入口に吸引部を更に設け、
前記整流部材の形状、前記吸引部の内径、前記ファンのフィン径、前記ファンの回転数を対応付けて調整することにより前記清浄化フィルタの性能評価精度を調整可能とする
ことを特徴とする請求項２に記載の空気清浄化陰圧装置。

【請求項9】

前記背面チャンバから、前記ファンチャンバに吸引される入口に吸引部を更に設け、
前記吸引部の内径、前記ファンのフィン径、前記ファンの回転数を調整することにより前記室内の陰圧度を調整可能とする
ことを特徴とする請求項１に記載の空気清浄化陰圧装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、室内の空気を清浄化しながら室内を陰圧に維持する空気清浄化陰圧装置に関する。

【背景技術】

【0002】

汚染空気を清浄な空気とするため、汚染空気中の微粒子をＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタで捕獲し清浄化して排出するフィルターユニットが広く知られ、用いられている。主に、細菌やウィルスを捕獲して正常化する目的では医療機関や研究施設などで用いられている。特許文献１には、室内の空気を、ＨＥＰＡフィルタを通すことによって清浄化して排気ファンにより外部に排気することが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００１－１７８７８５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

病室内を陰圧にするための空気清浄化フィルターユニットの従来例の構造を図１０に示す。図１０は、従来例における空気清浄化フィルターユニット８０の構造を示す断面図である。ファンモータ８６を駆動させ、ファン８５を回転させることにより、病室内の空気は吸気され、排気ＨＥＰＡフィルターユニットの吸込部８２から空気清浄化フィルターユニット８０に導入される。吸気された空気は、ＨＥＰＡフィルタ８１を通過し、ＨＥＰＡフィルタ８１により清浄化された空気を、ファン８５の回転により排気口８７を通じて外部に排出される。

【0005】

また、排気ＨＥＰＡフィルターユニットはＨＥＰＡフィルタの排出側にモータ交換、清掃作業等のメンテナンスが必要な部品を配置することが望ましい。ＨＥＰＡフィルタの吸入側に交換等のメンテナンスが必要なファンやファンモータ等を配置した場合、ＨＥＰＡフィルタで清浄化される前の空気がファンやファンモータ等を通過するため、空気中を浮遊するウィルスや細菌がファンやファンモータ等に付着する。その後、フィルターユニットのメンテナンス時に、ファンやファンモータ等に付着したウィルスや細菌から作業者が感染してしまう可能性があるため、交換等のメンテナンスが必要なファンやファンモータ等を清浄化フィルタの排出側に配置することが好ましい。

【0006】

また、ＨＥＰＡフィルタ８１の性能確認やＨＥＰＡフィルタ８１の取り付けが問題無いことを確認する性能評価試験を行う場合、例えばフィルターユニット８０の一部に性能評価試験用の測定ポート８８を暫定的に取付け、その測定ポート８８から微粒子を測定するパーティクルセンサに接続し測定する。図１０に示す従来例では、吸込部８２に対して背面側に暫定的に性能評価試験用の測定ポート８８を取り付けた例を図示している。

【0007】

従って、測定ポート８８が暫定的な取付け位置となるため、フィルターユニットの通常使用状態におけるフィルタの清浄化性能を精度よく評価することが不可能であった。

【0008】

また、前面の吸込部８２に対して背面側を取り外し可能なカバーとすることで、ＨＥＰＡフィルタ８１の吹出面で測定する方法も考えられるが、その場合、ファン８５を回転させると、背面側の取り外されたカバーの開口から汚染空気をフィルターユニット内に吸入してしまい、汚染空気がＨＥＰＡフィルタ８１を通らないため、ＨＥＰＡフィルタ８１の上流側に別のファンを設けることが必要となる。

【0009】

上述のことから、フィルターユニットの通常使用状態における性能評価試験を実行可能とすると共に、更に日常的なフィルターユニットのモータ交換、フィルタ交換、清掃等メンテナンスの作業性向上を両立するフィルターユニットが望まれていた。

【0010】

本発明は、空気清浄化フィルタの性能評価試験の精度向上と、日常的なメンテナンス作業性の向上を両立し、コンパクトな構成で容易に設置可能な空気清浄化陰圧装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記課題を解決するために、空気清浄化陰圧装置の一例を挙げるならば、室内の微粒子を含む空気を吸い込む、筐体の前面に設けられた吸込部と、前記吸込部に吸い込まれた空気を後方に通過させて清浄化する清浄化フィルタと、を有するフィルターチャンバと、前記清浄化フィルタを後方に通過させた空気流路方向に対して略直交方向に延在された空気流路を設けるダクトと、前記ダクトの前方壁面の長手方向略中央位置に設けられた前記ダクト内の空気を吸引させる吸引口と、を有する背面チャンバと、前記背面チャンバから流出された空気を前方に吸引するファンと、前記ファンを回転駆動するファンモータと、前記ファンにより吸引された空気を側方に排出する排気口と、前記筐体の前面を開放可能とするカバーと、を有するファンチャンバと、前記清浄化フィルタの清浄性能を測定する前記筐体外部の測定器を、前記筐体の前面から前記吸引口に接続可能とする接続部と、を備えた構成を有する。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、空気清浄化フィルタの性能評価試験の精度向上と、日常的なメンテナンス作業性の向上を両立し、コンパクトな構成で容易に設置可能とする。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】実施例１における空気清浄化陰圧装置１００の設置状態を示す構成図である。

【図2】実施例１における空気清浄化陰圧装置１００の内部構造を上から見た断面図である。

【図3】実施例１におけるベルマウス１４を清浄化空気流Ｄ側から見た斜視図である。

【図4】実施例１におけるパーティクルカウンタ６０の測定原理を説明する概要図である。

【図5】実施例１におけるパーティクルカウンタ６０の測定結果を示すグラフである。

【図6】実施例２における空気清浄化陰圧装置２００の設置状態を示す構成図である。

【図7】実施例３における空気清浄化陰圧装置３００の設置状態を示す構成図である。

【図8】実施例４における空気清浄化陰圧装置４００の設置状態を示す構成図である。

【図9】実施例５における空気清浄化陰圧装置５００の設置状態を示す構成図である。

【図10】従来例における空気清浄化フィルターユニット８０の構造を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。本発明の思想ないし趣旨から逸脱しない範囲で、その具体的構成を変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。

【0015】

図面等において示す各要素の位置、大きさ、形状、範囲、個数などは、発明の理解を容易にするため、一例を表したものであり、各要素の位置、大きさ、形状、範囲、個数は本明細書および図面に開示された内容に限定されるものではない。それぞれの実施形態に合わせて適宜修正可能である。なお、以下の実施例において、同様の要素が複数配置されており、一部の要素を代表して説明する。

【実施例1】

【0016】

図１は、実施例１における空気清浄化陰圧装置１００の設置状態を示す構成図である。図１において、陰圧室１の壁面に空気清浄化陰圧装置１００が設置されている。陰圧室１は、主に病室、または細菌実験室を想定しており、後述するファンを駆動させることで室内の空気を清浄化して排出すると共に、室内を陰圧に維持し、感染拡大を防ぐための空間である。

【0017】

空気清浄化陰圧装置１００は、ウィルス、細菌等が付着した塵埃を含む汚染空気流Ａを装置内に取り込み、清浄化した後、清浄化空気流Ｂとして外部に排出する。従って、空気清浄化陰圧装置１００は、空気中の塵埃を捕集することにより、陰圧室1内の空気を清浄化すると共に、陰圧に維持することで感染を防止する装置である。

【0018】

以下に、空気清浄化陰圧装置１００の内部構造と動作を詳細に説明する。図２は、実施例１における空気清浄化陰圧装置１００の内部構造を上から見た断面図である。空気清浄化陰圧装置１００は、筐体がファンチャンバ１０、フィルターチャンバ２０、背面チャンバ３０の３室に分離されている。図２においては、図中の上方が背面を示し、図中の下方が前面を示す配置となっている。

【0019】

フィルターチャンバ２０は、前面に吸込部２２、内部に清浄化フィルタ２１が設けられたフィルタ室である。清浄化フィルタ２１は、濾過材としてグラスファイバーを用い、濾過材の外枠をアルマイト＋クリア塗装されたアルミニウム等の軽金属を用いて濾過材を保持する外枠を含む構成を有している。上述した構成は、清浄化フィルタ２１の一般的な構成を示しており、この構成に捉われない。例えば、濾過材として不織布のような入手性が容易な材料を使用してもよい。フィルターチャンバ２０は、前面の吸込部２２から室内の空気を吸い込み、内部の清浄化フィルタ２１を通過させて後方に空気を流出させる。また、吸込部２２は、前方に開閉可能となっている。
背面チャンバ３０は、フィルターチャンバ２０の背面側に設けられ、清浄化フィルタ２１を後方に通過した空気流路方向に対して略直交方向に延在された空気流路を設けるダクトを含む。図２においては、フィルターチャンバ２０の背面側において、図２の右側方に空気を送り出す。

【0020】

フィルターチャンバ２０の側方、背面チャンバ３０の前方には、ファンチャンバ１０が設けられる。ファンチャンバ１０は、背面チャンバ３０からの吸引口にベルマウス１４、内部にファン１２、ファン１２を回転駆動するファンモータ１１、ファンモータ１１が固定されたモータ固定座１５、排気口としてのダクトフランジ１３、前面にカバー４２を設けられた排気室である。

【0021】

ファン１２は、ファンモータ１１によって回転駆動される回転軸と、回転軸周りに所定形状のフィンを複数、例えば、４枚羽であれば４枚のフィンを設けた回転羽根である。ファンモータ１１による回転数と、ファン１２に設けられたフィン径を、後述のベルマウス１４と合わせて設計することにより、陰圧条件を最適化することができる。

【0022】

図２において、汚染空気流Ａは、空気清浄化陰圧装置１００の吸込部２２に取り込まれる。取り込まれた汚染空気流Ａは、フィルターチャンバ２０内の清浄化フィルタ２１により清浄化され、清浄化空気流Ｃとして後方の背面チャンバ３０に流出される。清浄化空気流Ｃは、清浄化フィルタ２１を通過した空気流路方向に対して略直交方向に延在させた背面チャンバ３０内を流れ、清浄化空気流Ｄのようにファン１２の吸引により引き込まれて、背面チャンバ３０の前方のファンチャンバ１０に取り込まれる。

【0023】

ファンチャンバ１０に取り込まれた清浄化空気流Ｄは、ファン１２の回転によりベルマウス１４、ダクトフランジ１３を経て外部に清浄化空気流Ｂとして排出される。ファン１２は、ファンモータ１１により回転駆動され、フィルターチャンバ２０、背面チャンバ３０、ファンチャンバ１０の空気流路を経て室内から空気を吸引することで室内の空気を清浄化し、排気口としてのダクトフランジ１３から排気することで室内を陰圧に維持する。

【0024】

ベルマウス１４は、ファンチャンバ１０に吸引される吸引圧を調整するための吸引部である。図３は、実施例１におけるベルマウス１４を清浄化空気流Ｄ側から見た斜視図である。ベルマウス１４の内径と、ファン１２のフィン外径と、ファン１２の回転数は、適切な設計を行うことで、陰圧効率の良い空気流としてファンチャンバ１０の吸引圧をファンモータの駆動電力に対してより高効率とし、室内の陰圧度調整も可能とする。

【0025】

フィルターチャンバ２０、背面チャンバ３０、ファンチャンバ１０は、それぞれ仕切られた箱状を形成することにより、清浄化フィルタ２１による清浄化前の汚染空気流が、排気前のファンチャンバ１０に流出しないように仕切っており、空気清浄化装置として確実に空気清浄化機能を満たす構成となっている。更に、これら３室を組み合わせることで製造組み立て工程が簡素化される。

【0026】

清浄化フィルタ２１により清浄化された空気は、背面チャンバ３０に取り込まれる。背面チャンバ３０内には、清浄化空気流Ｃがファン１２の回転吸引により清浄化空気流Ｄへ流れる空気流路上に測定ポート４０が設けられている。測定ポート４０は、清浄化空気ＣからＤへ流れる空気流路上、ダクトの前方壁面の長手方向略中央位置に設けられている吸引口である。測定ポート４０の位置が、清浄化フィルタ２１、またはファン１２のいずれかに近すぎた場合、清浄化フィルタ２１、またはファン１２近傍の粉塵を検出する可能性が有り、検出精度が低下する可能性が有る。従って、測定ポート４０の位置は、背面チャンバ３０内の空気流路の清浄化フィルタ２１とファン１２の略中央位置が好ましい。

【0027】

測定ポート４０には、チューブ４１が接続可能となっている。チューブ４１の前端部４１ａは、空気清浄化陰圧装置１００の前面に配置されており、装置外部にパーティクルカウンタ６０が接続可能となる接続部である。

【0028】

パーティクルカウンタ６０は、微粒子の粒径、粒子個数等を測定可能となっており、清浄化フィルタ２１の性能評価測定値を取得する測定器である。図４は、実施例１におけるパーティクルカウンタ６０の測定原理を説明する概要図である。チューブ４１を介して、所定の吸引力で背面チャンバ３０内部の空気流をパーティクルカウンタ６０内に引き込む。背面チャンバ３０内部から引き込んだ空気流をノズル６１により、パーティクルカウンタ６０内部に吐き出し、吐き出された空気流にレーザー光源６２からレーザー光を照射する。レーザー光を照射された空気流内に微粒子が含まれている場合、微粒子によってレーザー光は散乱する。レーザー光の散乱度合いを集光レンズ６３で結像させ、受光素子６４で検出することにより、微粒子を検出可能となる。

【0029】

図４に示す測定原理により、図５に示す測定結果が得られる。図５は、実施例１におけるパーティクルカウンタの測定結果を示すグラフである。受光素子６４の検出結果の出力電圧から、図５に示すようなパルス波形が得られ、ピークの大きさが微粒子の粒径を示し、パルス数が微粒子の数を示している。図５に示すように、空気中の微粒子の粒径、個数を測定することにより、清浄化フィルタ２１の性能を測定することが可能となる。ただし、パーテチィクルセンサ６０は、図４、図５に示すような検出原理と測定結果の構成に依存するものではない。

【0030】

このように、実施例１における空気清浄化陰圧装置１００は、背面チャンバ３０内の空気流を、通常使用状態における空気流路上で測定可能とすることから、清浄化フィルタ２１の通常使用状態における性能評価試験を装置筐体の前面側から精度よく実行可能とする。

【0031】

また、図２において、前面に配置されたカバー４２を開放することによりファン１２、ファンモータ１１の交換、空気清浄化陰圧装置１００内の清掃等のメンテナンス作業を空気清浄化陰圧装置１００の前面側から実施可能となる。上述のごとく、清浄化フィルタ２１の通常使用状態における性能評価試験と、メンテナンス作業を共に装置筐体の前面側から作業可能となり、作業性が向上する。

【0032】

本実施例の空気清浄化陰圧装置は、上述のような構成により、陰圧室内のウィルスや細菌が付着した塵埃を清浄化フィルタ２１で捕集することにより、陰圧室内のウィルスや細菌の量を低減し、感染力を弱める効果を奏する。それに加えて、清浄化フィルタ２１により清浄化された空気を外部に排出することにより、陰圧室内のウィルスや細菌の感染を外部に拡大させない効果を奏する。

【0033】

また、図２に示すように、空気清浄化陰圧装置１００は、フィルターチャンバ２０と、ファンチャンバ１０を並列配置し、後方に背面チャンバ３０を配置させた筐体からなる。背面チャンバ３０は、フィルターチャンバ２０から、ファンチャンバ１０へ空気流路を形成するために設けられた流路部材であり、約７０～１００ｍｍ程度の奥行で収まる。従って、背面チャンバ３０の前方にフィルターチャンバ２０と、ファンチャンバ１０を配置したとしても、空気清浄化陰圧装置１００を薄型でコンパクトな装置筐体として実用可能となる。また、フィルターチャンバ２０、背面チャンバ３０、ファンチャンバ１０の３室をそれぞれ製造し、最後に３室を組み合わせた筐体とすることから、製造工程も容易となる。

【0034】

以上のことから、コンパクトな装置筐体として構成された空気清浄化陰圧装置１００は、室内の壁面に容易に設置可能であり、上述のように作業性を改善したことから、例えば、一般的な病室を感染症対策室として容易に改修可能であり、更にメンテナンスも容易である。

【0035】

実施例１によれば、清浄化フィルタ２１を有するフィルターチャンバ２０と、後方の背面チャンバ３０と、ファン１２を有するファンチャンバ１０からなる筐体構成で、背面チャンバの略中央部に清浄化フィルタの性能評価を実行するための測定ポート４０を設け、測定ポート４０に接続する接続部４１ａと、メンテナンス作業用のカバー４２を筐体の前面に設けることにより、空気清浄化フィルタの性能評価試験の精度向上と、日常的なメンテナンス作業性の向上を両立し、コンパクトな構成で容易に設置可能な空気清浄化陰圧装置を提供する。

【0036】

更に、前述のとおり、ベルマウス１４の内径、ファンのフィン径、ファンの回転数の対応関係を適切に設計することにより、ファンチャンバ１０の吸引圧をファンモータの駆動電力に対してより高効率とし、室内の陰圧度調整も可能とする。従って、ファンモータの駆動電力の低減につながり、駆動電力による炭素排出量を減らし、地球温暖化を防止、持続可能な社会の実現につながる環境保全の効果も奏する。

【実施例2】

【0037】

以下に、実施例２における空気清浄化陰圧装置２００に関して説明する。図６は、実施例２における空気清浄化陰圧装置２００の設置状態を示す構成図である。実施例２において、実施例１と同様の構成要素は、説明を省略する。実施例１と異なる点は、測定ポート４０周辺を流れる空気流方向下流側に障壁となるポートガード５０を設けた構成である。

【0038】

図６において、測定ポート４０から外部のパーティクルカウンタ６０に空気を吸い込み、空気流を測定するが、空気流速が高過ぎて測定ポート４０にうまく空気流を吸い込めない場合がある。測定ポート４０周辺の空気流速が高過ぎる場合、ポートガード５０を設けることで、測定ポート４０周辺の空気流速を低下させ、パーティクルカウンタで精度よく測定可能となる。ポートガード５０は、Ｌ字状の断面形状を有する整流部材である。

【0039】

実施例２によれば、整流部材としてのポートガード５０を設けることにより、外部に設けたパーティクルカウンタ６０に空気を吸い込む際の測定不具合の発生を防止し、清浄化フィルタ２１の性能を測定する際の性能評価測定精度を調整可能とする。

【実施例3】

【0040】

以下に、実施例３における空気清浄化陰圧装置３００に関して説明する。図７は、実施例３における空気清浄化陰圧装置３００の設置状態を示す構成図である。実施例３において、実施例２において、実施例１と同様の構成要素は、説明を省略する。実施例１と異なる点は、測定ポート４０周辺を流れる空気流方向下流側に障壁となるポートガード５１を設けた構成である。

【0041】

図７において、測定ポート４０からパーティクルカウンタ６０に空気を吸い込み、空気流を測定するが、空気流速が高過ぎて測定ポート４０にうまく空気流を吸い込めない場合がある。ポートガード５１は、Ｌ字状の断面形状の空気流方向下流側に開口部５１ａを設けた整流部材である。開口部の長手方向（紙面垂直方向）位置は、測定ポートの位置を考慮して決定する。図７に示すポートガード５１のごとく、開口部５１ａを下流側に設けることにより、測定ポート４０周辺の空気流をうまく吸引すると共に、実施例２に示すポートガード５０内に塵埃が蓄積することにより、通常空気流路より多くの微粒子を検出する測定精度低下を抑制できる。

【0042】

実施例３によれば、整流部材としてのポートガード５１を設けることにより、外部に設けるパーティクルカウンタ６０に空気を吸い込む際の測定不具合の発生を防止し、清浄化フィルタ２１の性能を測定する際の性能評価測定精度を調整可能とすると共に、ポートガード内に塵埃が蓄積することによる測定精度低下を防止する。

【実施例4】

【0043】

以下に、実施例４における空気清浄化陰圧装置４００に関して説明する。図８は、実施例４における空気清浄化陰圧装置４００の設置状態を示す構成図である。実施例４において、実施例１と同様の構成要素は、説明を省略する。実施例１と異なる点は、測定ポート４０周辺を流れる空気流を整流するポートガード５２を設けた構成である。

【0044】

図８において、測定ポート４０からパーティクルカウンタ６０に空気を吸い込み、空気流を測定するが、空気流速が高過ぎて測定ポート４０にうまく空気流を吸い込めない場合がある。ポートガード５２は、図８に示すごとく、山笠形状を有する整流部材である。図８のような山笠形状にすることにより、測定ポート周辺の空気流を整流すると共に、塵埃が蓄積することにより、通常空気流路より多くの微粒子を検出する測定精度低下を抑制できる。更に、ポートガード５２の上側を通る空気流を整流化し、背面チャンバ３０内の圧力損失を抑制できる。

【0045】

実施例４によれば、整流部材としてのポートガード５２を設けることにより、外部に設けるパーティクルカウンタ６０に空気を吸い込む際の測定不具合の発生を防止し、清浄化フィルタ２１の性能を測定する際の性能評価測定精度を調整可能とすると共に、背面チャンバ３０内の圧力損失を抑制できる。

【実施例5】

【0046】

以下に、実施例５における空気清浄化陰圧装置５００に関して説明する。図９は、実施例５における空気清浄化陰圧装置５００の設置状態を示す構成図である。実施例５において、実施例１と同様の点は、説明を省略する。実施例１と異なる点は、測定ポート４０周辺を流れる空気流を整流するポートガード５３を設けた構成である。

【0047】

図９において、測定ポート４０からパーティクルカウンタ６０に空気を吸い込み、空気流を測定するが、空気流速が高過ぎて測定ポート４０にうまく空気流を吸い込めない場合がある。ポートガード５３は、図９に示すごとく、背面チャンバ３０内の空気流が測定ポート４０に直接当たらないように設けた直立形状の整流部材である。図９のような直立形状にすることにより、背面チャンバ３０内に乱流を発生させ、仮に空気清浄化陰圧装置５００内部でリークがあった場合、乱流により微粒子を背面チャンバ３０内に拡散させることができる。微粒子を背面チャンバ３０内で拡散させ、測定ポート４０周辺の空気流速を低下させることでパーティクルカウンタ６０の測定精度を向上する。

【0048】

実施例５によれば、整流部材としてのポートガード５３を設けることにより、外部に設けるパーティクルカウンタ６０に空気を吸い込む際の測定不具合の発生を防止し、仮に空気清浄化陰圧装置５００内部でリークがあった場合、乱流により微粒子を背面チャンバ３０内に拡散させることができる。微粒子を背面チャンバ３０内で拡散させ、測定ポート４０周辺の空気流速を低下させることでパーティクルカウンタ６０の測定精度を向上する。

【0049】

以上、実施例２～５において、測定ポート４０の周辺に設けたポートガード５０～５３を様々な形状とする実施形態を説明した。上述したように、ポートガード５０～５３の形状、ベルマウス１４の内径、ファン１２のフィン径、ファン１２の回転数を対応付けて設計することにより、測定ポート４０における空気吸引量を調整可能となり、清浄化フィルタ２１の性能測定精度を最適化することが可能となる。清浄化フィルタ２１の性能測定精度を最適化することにより、駆動電力、設計工数をより効率的とする空気清浄化陰圧装置を提供する。

【0050】

また、ベルマウス１４の内径、ファン１２のフィン径、ファン１２の回転数を対応付けて調整することにより、ダクトフランジ１３への排気圧を調整し、空気清浄化陰圧装置による陰圧度を最適化可能となる。

【0051】

なお、実施例１～５において、フィルターチャンバと、ファンチャンバを側方に配置する筐体構成としたが、上下に配置する筐体構成でもよい。この場合、上下に細長い筐体の形状となり、上下に細長い設置スペースの制限上、上下配置が好ましい場合に適した形態となる。

【符号の説明】

【0052】

１ ：陰圧室
１０ ：ファンチャンバ
１１ ：ファンモータ
１２ ：ファン
１３ ：ダクトフランジ（排気口）
１４ ：ベルマウス（吸引部）
２０ ：フィルターチャンバ
２１ ：清浄化フィルタ
２２ ：吸込部
３０ ：背面チャンバ
４０ ：測定ポート（吸引口）
４１ａ ：チューブ前端部（接続部）
４２ :カバー
５０、５１、５２、５３ ：ポートガード（整流部材）
６０ ：パーティクルセンサ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】