特許 7546321 圧縮成形装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-29

(45)【発行日】2024-09-06

(54)【発明の名称】圧縮成形装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/56 20060101AFI20240830BHJP

   B29C 31/06 20060101ALI20240830BHJP

   B29C 43/18 20060101ALI20240830BHJP

   B29C 43/34 20060101ALI20240830BHJP

   B29C 43/58 20060101ALI20240830BHJP

【ＦＩ】

H01L21/56 R

B29C31/06

B29C43/18

B29C43/34

B29C43/58

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2023525670

(86)(22)【出願日】2022-04-28

(86)【国際出願番号】 JP2022019416

(87)【国際公開番号】W WO2022255021

(87)【国際公開日】2022-12-08

【審査請求日】2023-07-19

(31)【優先権主張番号】PCT/JP2021/021205

(32)【優先日】2021-06-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000144821

【氏名又は名称】アピックヤマダ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100079108

【弁理士】

【氏名又は名称】稲葉 良幸

(74)【代理人】

【識別番号】100109346

【弁理士】

【氏名又は名称】大貫 敏史

(74)【代理人】

【識別番号】100117189

【弁理士】

【氏名又は名称】江口 昭彦

(74)【代理人】

【識別番号】100134120

【弁理士】

【氏名又は名称】内藤 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100135677

【弁理士】

【氏名又は名称】澤井 光一

(72)【発明者】

【氏名】柳澤 誠

(72)【発明者】

【氏名】田上 秀作

【審査官】安田 雅彦

(56)【参考文献】

【文献】特開２００３－１６５１３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２５８１７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２３１１４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０８８４０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２２６２０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１４５５５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０４０９３９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／５６

Ｈ０１Ｌ ２３／２８－２３／３１

Ｈ０１Ｌ ２５／００－２５／１８

Ｂ２９Ｃ ３１／００－３１／１０

Ｂ２９Ｃ ４３／００－４３／５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

キャリアに複数の接続部材を介して複数の部品が搭載されたワークに対して樹脂を圧縮成形し、それぞれに少なくとも１つの部品が樹脂封止された複数のパッケージを製造する圧縮成形装置であって、
前記ワークの重量を計量する計量部と、
前記計量部で計量された前記ワークの重量に基づき、樹脂の供給量を算出する算出部と、
前記算出部によって算出された供給量の樹脂を供給する供給部と、
前記供給部によって供給された樹脂を前記ワークに対して圧縮成形するモールド金型と、を備え、
前記算出部は、
前記ワークの重量に基づき、前記複数の部品及び前記複数の接続部材を含む複数の実装物の総体積を算出し、
前記複数の実装物の総体積に基づき、前記樹脂の供給量を算出する、
圧縮成形装置。

【請求項2】

前記算出部は、
前記ワークの重量に基づき、前記複数の実装物の総重量を算出し、
前記複数の実装物の総重量に基づき、前記複数の実装物の総体積を算出する、
請求項１に記載の圧縮成形装置。

【請求項3】

前記算出部は、
前記複数の実装物の比重に基づき、前記複数の実装物の総重量から前記複数の実装物の総体積を算出する、
請求項２に記載の圧縮成形装置。

【請求項4】

前記計量部は、基準キャリアに第１セット数の実装物が搭載された第１試作用ワークの重量と、基準キャリアに第１セット数とは異なる第２セット数の実装物が搭載された第２試作用ワークの重量とを計量し、
前記算出部は、前記第１試作用ワークの重量と前記第２試作用ワークの重量との重量差分を、前記第１試作用ワークの体積と前記第２試作用ワークの体積との体積差分で除算して、前記複数の実装物の比重を算出する、
請求項３に記載の圧縮成形装置。

【請求項5】

前記計量部は、基準キャリアに実装物が全く搭載されていない第１試作用ワークの重量と、基準キャリアに実装物が全て搭載された第２試作用ワークの重量とを計量し、
前記算出部は、前記第１試作用ワークの重量と前記第２試作用ワークの重量との重量差分を、前記第１試作用ワークの体積と前記第２試作用ワークの体積との体積差分で除算して、前記複数の実装物の比重を算出する、
請求項３に記載の圧縮成形装置。

【請求項6】

前記ワークの体積を計測する体積計測部をさらに備え、
前記体積計測部は、前記第１試作用ワークの体積と前記第２試作用ワークの体積とを計測する、
請求項４又は５に記載の圧縮成形装置。

【請求項7】

前記算出部は、
１セット当たりの実装物の重量に基づき、前記複数の実装物の総重量から前記複数の実装物のセット数を算出し、
１セット当たりの実装物の体積に基づき、前記複数の実装物のセット数から前記複数の実装物の総体積を算出する、
請求項２に記載の圧縮成形装置。

【請求項8】

パッケージの厚みを計測する厚み計測部をさらに備え、
前記計量部は、基準キャリアに第３セット数の実装物が搭載された第３試作用ワークの重量と、基準キャリアに第４セット数の実装物が搭載された第４試作用ワークの重量とを計量し、
前記厚み計測部は、前記第３試作用ワークに対して第１供給量の樹脂が成形された第１試作用集合パッケージの厚みと、前記第４試作用ワークに対して前記第１供給量の樹脂が成形された第２試作用集合パッケージの厚みとを計測し、
前記算出部は、
前記第１試作用集合パッケージの厚みと前記第２試作用集合パッケージの厚みとの厚み差分に、前記第１試作用集合パッケージ又は前記第２試作用集合パッケージの上面面積を乗算し、前記第３セット数と前記第４セット数とのセット数差分で除算して、前記１セット当たりの実装物の体積を算出し、
前記第３試作用ワークの重量と前記第４試作用ワークの重量との重量差分を、前記セット数差分で除算して、前記１セット当たりの実装物の重量を算出する、
請求項７に記載の圧縮成形装置。

【請求項9】

パッケージの厚みを計測する厚み計測部をさらに備え、
前記計量部は、基準キャリアに実装物が全く搭載されていない第３試作用ワークの重量と、基準キャリアに実装物が全て搭載された第４試作用ワークの重量とを計量し、
前記厚み計測部は、前記第３試作用ワークに対して第１供給量の樹脂が成形された第１試作用集合パッケージの厚みと、前記第４試作用ワークに対して前記第１供給量の樹脂が成形された第２試作用集合パッケージの厚みとを計測し、
前記算出部は、
前記第１試作用集合パッケージの厚みと前記第２試作用集合パッケージの厚みとの厚み差分に、前記第１試作用集合パッケージ又は前記第２試作用集合パッケージの上面面積を乗算し、前記第４試作用ワークに搭載された実装物のセット数で除算して、前記１セット当たりの実装物の体積を算出し、
前記第３試作用ワークの重量と前記第４試作用ワークの重量との重量差分を、前記第４試作用ワークに搭載された実装物のセット数で除算して、前記１セット当たりの実装物の重量を算出する、
請求項７に記載の圧縮成形装置。

【請求項10】

前記算出部は、前記ワークの重量から基準キャリアの重量を減算して前記複数の実装物の重量を算出する、
請求項２に記載の圧縮成形装置。

【請求項11】

前記キャリアの厚みを計測する厚み計測部をさらに備え、
前記算出部は、前記キャリアの厚みに基づき前記キャリアの重量を算出し、前記ワークの重量から前記キャリアの重量を減算して前記複数の実装物の重量を算出する、
請求項２に記載の圧縮成形装置。

【請求項12】

前記算出部は、
前記複数の実装物の総体積に基づき、前記複数のパッケージを所望の厚みにするために必要な成形後の樹脂の体積を算出し、
前記成形後の樹脂の体積に基づき、成形後の樹脂の重量を前記樹脂の供給量として算出する、
請求項１に記載の圧縮成形装置。

【請求項13】

前記算出部は、
前記複数の実装物の総体積に基づき、前記複数のパッケージを所望の厚みにするために必要な成形後の樹脂の体積を算出し、
前記成形後の樹脂の体積に基づき、成形後の樹脂の重量を算出し、
成形前後での樹脂の重量変化率に基づき、前記成形後の樹脂の重量から成形前の樹脂の重量を前記樹脂の供給量として算出する、
請求項１に記載の圧縮成形装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧縮成形装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体素子等の部品が樹脂封止されたパッケージを製造する装置として、キャリアに複数の部品が搭載されたワークに対して樹脂を成形し、複数のパッケージを一括形成する成形装置が知られている。そのような成形装置の一つに、一対の金型の一方に可変構造のキャビティが設けられた圧縮成形装置がある。パッケージの厚みの精度を向上させるため、圧縮成形装置は、例えば、ワークにおいて欠損している部品の数に応じて、樹脂の供給量を調整する機能を有する。

【0003】

特許文献１には、重量測定装置で計測されたチップ抜けを加味したワーク重量から基板単体の重量を減算した後、１チップ当たりの重量で除算してワークに搭載されているチップ数を求め、正規のチップ数からこれを減算して欠損しているチップ数を算出し、欠損しているチップ数に１チップ欠損したときに補充する樹脂量を乗算して補正樹脂量を算出する液材吐出装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００３－１６５１３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

部品はボンディングワイヤ、ハンダ及び異方性導電性接着剤等の接続部材を介してキャリアに搭載されるため、ワークにおいて部品が欠損すると、部品の体積に比べると小さいが接続部材の体積分についてもワークの体積が変化する。この接続部材の重量や体積は、実際に部品をキャリアに搭載するときの接続部材の形状や寸法等によって変化する。このため、部品に接続部材を加味した実装物の正確な重量や体積は、実際にワークに搭載した状態を測定する必要がある。しかしながら、特許文献１に記載された１チップ当たりの重量及び１チップ欠損したときに補充する樹脂量がどのように測られたものか不明であるため、接続部材を加味したものか否か不明である。また、１チップ中の一部が欠損したことに伴い接続部材の一部又は全部が欠損した場合、チップの欠損数量と接続部材の欠損数量とが一致しない場合がある。このため、特許文献１に記載された欠損しているチップ数や１チップ当たりの重量に基づいて算出した補正樹脂量では、パッケージの厚みに誤差が生じる場合がある。

【0006】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、樹脂の供給精度を向上させることができる圧縮成形装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様に係る圧縮成形装置は、キャリアに複数の部品が複数の接続部材を介して搭載されたワークに対して樹脂を圧縮成形し、それぞれに少なくとも１つの部品が樹脂封止された複数のパッケージを製造する圧縮成形装置であって、ワークの重量を計量する計量部と、計量部で計量されたワークの重量に基づき、樹脂の供給量を算出する算出部と、算出部によって算出された供給量の樹脂を供給する供給部と、供給部によって供給された樹脂をワークに対して圧縮成形するモールド金型と、を備え、算出部は、ワークの重量に基づき、複数の部品及び複数の接続部材を含む複数の実装物の総体積を算出し、複数の実装物の総体積に基づき、樹脂の供給量を算出する。

【0008】

この態様によれば、キャリア上の部品の状況に応じて樹脂の供給量を簡易かつ迅速に調整することができる。また、部品の数量だけでなく接続部材の数量も加味した、搭載された実装物の総体積に基づき樹脂の供給量を算出することで、樹脂の供給量の算出精度が向上し、樹脂の過不足に起因した不良品の発生を抑制することができる。

【0009】

上記態様において、算出部は、ワークの重量に基づき、複数の実装物の総重量を算出し、複数の実装物の総重量に基づき、複数の実装物の総体積を算出してもよい。

【0010】

上記態様において、算出部は、複数の実装物の比重に基づき、複数の実装物の総重量から複数の実装物の総体積を算出してもよい。

【0011】

上記態様において、計量部は、基準キャリアに第１セット数の実装物が搭載された第１試作用ワークの重量と、基準キャリアに第１セット数とは異なる第２セット数の実装物が搭載された第２試作用ワークの重量とを計量し、算出部は、第１試作用ワークの重量と第２試作用ワークの重量との重量差分を、第１試作用ワークの体積と第２試作用ワークの体積との体積差分で除算して、複数の実装物の比重を算出してもよい。

【0012】

上記態様において、計量部は、基準キャリアに実装物が全く搭載されていない第１試作用ワークの重量と、基準キャリアに実装物が全て搭載された第２試作用ワークの重量とを計量し、算出部は、第１試作用ワークの重量と第２試作用ワークの重量との重量差分を、第１試作用ワークの体積と第２試作用ワークの体積との体積差分で除算して、複数の実装物の比重を算出してもよい。

【0013】

上記態様において、圧縮成形装置は、ワークの体積を計測する体積計測部をさらに備え、体積計測部は、第１試作用ワークの体積と第２試作用ワークの体積とを計測してもよい。

【0014】

上記態様において、算出部は、１セット当たりの実装物の重量に基づき、複数の実装物の重量から複数の実装物のセット数を算出し、１セット当たりの実装物の体積に基づき、複数の実装物のセット数から複数の実装物の総体積を算出してもよい。

【0015】

上記態様において、圧縮成形装置は、パッケージの厚みを計測する厚み計測部をさらに備え、計量部は、基準キャリアに第３セット数の実装物が搭載された第３試作用ワークの重量と、基準キャリアに第４セット数の実装物が搭載された第４試作用ワークの重量とを計量し、厚み計測部は、第３試作用ワークに対して第１供給量の樹脂が成形された第１試作用集合パッケージの厚みと、第４試作用ワークに対して第１供給量の樹脂が成形された第２試作用集合パッケージの厚みとを計測し、算出部は、第１試作用集合パッケージの厚みと第２試作用集合パッケージの厚みとの厚み差分に、第１試作用集合パッケージ又は第２試作用集合パッケージの上面面積を乗算し、第３セット数と第４セット数とのセット数差分で除算して、１セット当たりの実装物の体積を算出し、第３試作用ワークの重量と第４試作用ワークの重量との重量差分を、セット数差分で除算して、１セット当たりの実装物の重量を算出してもよい。

【0016】

上記態様において、圧縮成形装置は、パッケージの厚みを計測する厚み計測部をさらに備え、計量部は、基準キャリアに実装物が全く搭載されていない第３試作用ワークの重量と、基準キャリアに実装物が全て搭載された第４試作用ワークの重量とを計量し、厚み計測部は、第３試作用ワークに対して第１供給量の樹脂が成形された第１試作用集合パッケージの厚みと、第４試作用ワークに対して第１供給量の樹脂が成形された第２試作用集合パッケージの厚みとを計測し、算出部は、第１試作用集合パッケージの厚みと第２試作用集合パッケージの厚みとの厚み差分に、第１試作用集合パッケージ又は第２試作用集合パッケージの上面面積を乗算し、第４試作用ワークに搭載された実装物のセット数で除算して、１セット当たりの実装物の体積を算出し、第３試作用ワークの重量と第４試作用ワークの重量との重量差分を、第４試作用ワークに搭載された実装物のセット数で除算して、１セット当たりの実装物の重量を算出してもよい。

【0017】

上記態様において、算出部は、ワークの重量から基準キャリアの重量を減算して複数の実装物の重量を算出してもよい。

【0018】

上記態様において、圧縮成形装置は、キャリアの厚みを計測する厚み計測部をさらに備え、算出部は、キャリアの厚みに基づきキャリアの重量を算出し、ワークの重量からキャリアの重量を減算して複数の実装物の重量を算出してもよい。

【0019】

上記態様において、算出部は、複数の実装物の総体積に基づき、複数のパッケージを所望の厚みにするために必要な成形後の樹脂の体積を算出し、成形後の樹脂の体積に基づき、成形後の樹脂の重量を樹脂の供給量として算出してもよい。

【0020】

上記態様において、算出部は、複数の実装物の総体積に基づき、複数のパッケージを所望の厚みにするために必要な成形後の樹脂の体積を算出し、成形後の樹脂の体積に基づき、成形後の樹脂の重量を算出し、成形前後での樹脂の重量変化率に基づき、成形後の樹脂の重量から成形前の樹脂の重量を樹脂の供給量として算出してもよい。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、樹脂の供給精度を向上させることができる圧縮成形装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】一実施形態に係る圧縮成形装置の構成を概略的に示す図である。

【図2】樹脂を圧縮する前のワークの構成を概略的に示す平面図である。

【図3】樹脂の供給量の算出方法の一例を示すフローチャートである。

【図4】補正樹脂量の調整方法の一例を示すフローチャートである。

【図5】樹脂の供給位置の算出方法の一例を示すフローチャートである。

【図6】樹脂の供給位置の算出方法の別の一例を示すフローチャートである。

【図7】樹脂の供給量の算出方法の別の一例を示すフローチャートである。

【図8】第１変形例に係る圧縮成形装置の構成を概略的に示す図である。

【図9】第２変形例に係る圧縮成形装置の構成を概略的に示す図である。

【図10】樹脂の供給量の算出方法の一部を示すフローチャートである。

【図11】樹脂の供給量の算出方法の一部を示すフローチャートである。

【図12】樹脂の供給量の算出方法の一部を示すフローチャートである。

【図13】樹脂の供給量の算出方法の一部を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。本実施形態の図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施形態に限定して解するべきではない。

【0024】

＜圧縮成形装置＞
図１及び図２を参照しつつ、本発明の実施形態に係る圧縮成形装置１の構成について説明する。図１は、一実施形態に係る圧縮成形装置の構成を概略的に示す図である。図２は、樹脂を圧縮する前のワークの構成を概略的に示す平面図である。

【0025】

圧縮成形装置１は、キャリア１１に複数の部品１２が搭載されたワーク１０に対して樹脂Ｒを圧縮成形し、それぞれに少なくとも１つの部品１２が樹脂封止（モールド成形）された複数のパッケージを製造する装置である。圧縮成形装置１は、部品１２が搭載れていない少なくとも１つのパッケージも併せて製造する。圧縮成形装置１は、樹脂Ｒを供給する樹脂供給装置１００と、樹脂Ｒを加熱圧縮するモールド金型１９０とを備えている。

【0026】

一例として、キャリア１１はインタポーザ基板であり、部品１２はキャリア１１に搭載された半導体素子（ＩＣチップ、ダイオード、トランジスタ等）であり、樹脂Ｒは顆粒状である。但し、キャリア１１、部品１２及び樹脂Ｒは上記に限定されるものではない。例えば、キャリア１１は、樹脂、ガラス、金属、半導体等を材料とする基板であり、リードフレーム、粘着シート付きキャリアプレートなどでもよい。例えば、部品１２は、ＭＥＭＳデバイスや電子デバイス（キャパシタ、インダクタ、レジスタ等）であってもよい。部品１２は、キャリア１１にワイヤボンディング方式やフリップチップ方式によって実装されていてもよく、着脱可能に固定されていてもよい。部品１２は、例えば、２種類の部品１２ａ及び部品１２ｂを含んでもよく、３種類以上の部品を含んでもよい。樹脂Ｒは、粉末状、タブレット状、液状等であってもよい。樹脂Ｒは、例えばエポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂を含んでおり、加熱圧縮によって任意の形状に成形され得る。なお、部品１２は、図示を省略した接続部材を介してキャリア１１に搭載されている。接続部材は、部品１２をキャリア１１に固定する部材や、部品１２をキャリア１１に電気的に接続する部材である。例えば、接続部材は、ボンディングワイヤ、ハンダ及び異方性導電性接着剤等である。以下、複数の部品１２と複数の接続部材とを纏めて複数の実装物とする。１つのパッケージエリアＰＡに搭載された少なくとも１つの部品１２とその少なくとも１つの部品１２をキャリア１１に接続する少なくとも１つの接続部材とを合わせて、１セットの実装物とする。言い換えると、１セットの実装物は、圧縮成形装置１によってワーク１０から製造される複数のパッケージのうち１つのパッケージ中に樹脂封止されるキャリア１１上の全ての被封止物である。

【0027】

例えば圧縮成形装置１によって成形されるパッケージには、高い厚み精度が求められる場合がある。所望の厚みのパッケージを製造するために必要な樹脂Ｒの供給量はワーク１０の状態に応じて変化するため、圧縮成形装置１は樹脂Ｒの供給量を高精度で算出可能に構成されるのが望ましい。

【0028】

ここで、ワーク１０の状態と樹脂Ｒの供給量との関係について、図２に示したワーク１０の一例を参照しつつ説明する。ワーク１０には、複数の分割ラインＬＮ１，ＬＮ２によって区画された複数のパッケージエリアＰＡが設けられている。複数の分割ラインＬＮ１，ＬＮ２は、樹脂Ｒが圧縮成形されたワーク１０を複数のパッケージに分割するための仮想線であり、複数の分割ラインＬＮ１と複数の分割ラインＬＮ２とは互いに略直交している。パッケージエリアＰＡはパッケージとなる領域であり、複数のパッケージエリアＰＡはマトリクス状に並んでいる。パッケージエリアＰＡのうち第１のパッケージエリアＰＡ１には、第１の部品１２ａ及び第２の部品１２ｂが配置されている。しかし、パッケージエリアＰＡのうち第２のパッケージエリアＰＡ２及び第３のパッケージエリアＰＡ３では、第１の部品１２ａ及び第２の部品１２ｂのうち少なくとも一方の一部又は全部が存在しない。例えば、第２のパッケージエリアＰＡ２に示すように、ワーク１０が衝撃を受けた際に部品１２ｂが剥落して、部品１２ｂの一部又は全部が欠ける場合がある。例えば、部品１２ｂの一部又は全部が部品１２ｂの搭載後に欠損し、当該一部欠損した部品１２ｂをキャリア１１に接続する接続部材が欠損していない場合、ワーク１０中の部品１２ｂの数量と、部品１２ｂを接続する接続部材の数量とは一致しない。また、例えば、第３のパッケージエリアＰＡ３に示すように、キャリア１１の配線不良等によって使用できない部分には、部品の損失を減らすために第１の部品１２ａ及び第２の部品１２ｂをもともと搭載しない場合がある。これらの場合にパッケージの薄肉化を抑制するためには、第２のパッケージエリアＰＡ２及び第３のパッケージエリアＰＡ３に搭載予定であったが存在しない第１の部品１２ａ及び第２の部品１２ｂの体積分だけ樹脂Ｒの供給量を増やして調整する必要がある。

【0029】

樹脂供給装置１００は、ワーク１０の状態に基づいて樹脂Ｒの供給量を算出し、モールド金型１９０に搬入される前のワーク１０又はリリースフィルムＲＦに樹脂Ｒを供給する。図１に示した例では、樹脂供給装置１００はリリースフィルムＲＦに樹脂Ｒを供給している。樹脂供給装置１００は、計量部１１０と、算出部１２０と、供給部１３０と、ステージ１４０と、厚み計測部１５０と、撮像部１６０と、反転部１８０とを備えている。

【0030】

計量部１１０は、ワーク１０の重量を計量し、計量結果を算出部１２０に伝送する。例えば、計量部１１０は上面に積載された物の重量を計量する上皿電子天秤であり、部品１２が搭載された搭載面を上（計量部１１０とは反対側）に向けた状態のワーク１０を上面に積載し、ワーク１０の重量を計量する。

【0031】

算出部１２０は、計量部１１０で計量されたワーク１０の重量に基づき、樹脂Ｒの供給量を算出する。算出部１２０は、計算機のハードウェハ及びソフトウェハによって構成される。算出部１２０には、樹脂Ｒの供給量を算出するためのデータが事前に登録されていてもよい。当該データは、例えば、キャリア１１の標準重量、最小重量、最大重量、標準厚み、最小厚み、最大厚み及び比重を含んでもよい。また、当該データは、ワーク１０の標準重量、最小重量及び最大重量を含んでもよく、１つのワーク１０に搭載される部品１２の標準数量、最大数量、最小数量、標準総重量、最大総重量、最小総重量及び比重を含んでもよく、樹脂Ｒの標準供給量、最小供給量、最大供給量及び比重を含んでもよく、パッケージエリアＰＡの数、パッケージの所望の厚み、パッケージの厚みの許容範囲、等を含んでもよい。樹脂Ｒの供給量は、体積で特定されてもよく、重量で特定されてもよい。また、樹脂Ｒの供給量は、供給部１３０の制御パラメータによって特定されてもよい。ここで、上記標準重量等の「標準」は、上記の各項目における製品として欠陥がなかったり、欠陥の数が許容範囲であることで平均値又は中央値であって製造工程において標準として取り扱われる値である。上記重量等の「最小」及び「最大」は、それぞれ、製造における許容限界の下限値及び上限値である。なお、算出部１２０に登録されたデータは、キャリア１１の重量及び厚み、ワーク１０の重量、部品１２の数量及び総重量、並びに樹脂Ｒの供給量のそれぞれの、平均値、中央値、最頻値などの統計量を含んでもよい。算出部１２０に登録されたデータは、予測値でもよく、実測値でもよい。

【0032】

標準重量のキャリア１１が本発明の「基準キャリア」の一例に相当し、キャリア１１の標準重量が本発明の「基準キャリア重量」の一例に相当する。本発明の「基準キャリア」は、最小重量又は最大重量のキャリア１１でもよく、重量が平均値、中央値又は最頻値のキャリア１１でもよい。すなわち、本発明の「基準キャリア重量」は、キャリア１１の重量の最小値、最大値、平均値、中央値又は最頻値でもよい。部品１２の標準数量が本発明の「基準部品数量」の一例に相当し、部品１２の標準総重量が本発明の「基準部品総重量」の一例に相当する。本発明の「基準部品数量」は部品１２の最大数量又は最小数量でもよく、本発明の「基準部品総重量」は部品１２の最大総重量又は最小総重量でもよい。

【0033】

標準重量のワーク１０が本発明の「基準ワーク」の一例に相当し、ワーク１０の標準重量が本発明の「基準ワーク重量」の一例に相当する。本発明の「基準ワーク」は基準キャリアに基準部品数量の部品が搭載されたワークであり、本発明の「基準ワーク重量」は基準ワークの重量である。本発明の「基準ワーク」は最小重量又は最大重量のワーク１０でもよく、本発明の「基準ワーク重量」はワーク１０の最小重量又は最大重量でもよい。ワーク１０の最大重量は、例えば基準キャリアに部品１２が全て搭載されたワーク１０の重量である。ワーク１０の最小重量は、例えば基準キャリアに部品１２が全く搭載されていないワーク１０の重量（即ち、基準キャリア重量）である。

【0034】

樹脂Ｒの標準供給量が本発明の「基準樹脂量」の一例に相当する。本発明の「基準樹脂量」は、基準ワークに対して樹脂Ｒを所望の厚みに圧縮成形するために必要な樹脂量である。本発明の「基準樹脂量」は、樹脂Ｒの最大供給量又は最小供給量でもよい。樹脂Ｒの最小供給量は、例えば最大重量のワーク１０に対して樹脂Ｒを所望の厚みに圧縮成形するために必要な樹脂量である。樹脂Ｒの最大供給量は、例えば最小重量のワーク１０に対して樹脂Ｒを所望の厚みに圧縮成形するために必要な樹脂量である。

【0035】

供給部１３０は、算出部１２０によって算出された供給量の樹脂Ｒを供給する。図１に示した例では供給部１３０はリリースフィルムＲＦに樹脂Ｒを供給するように構成されているが、ワーク１０に樹脂Ｒを供給するように構成されてもよい。供給部１３０は、ホッパ１３１と、制御部１３３と、リニアフィーダ１３５とを備えている。ホッパ１３１は、樹脂Ｒを収容する。制御部１３３は、算出部１２０からの入力される算出結果に基づき、樹脂Ｒの供給量、供給速度、供給タイミング等を制御する。リニアフィーダ１３５は、樹脂Ｒを送り出して先端から投下する。なお、供給部１３０の構成は上記に限定されるものではない。例えば樹脂Ｒの形状が液状であった場合、供給部１３０は、樹脂Ｒを貯留するシリンジと、樹脂Ｒを押し出すピストンと、シリンジの先端を開閉するピンチバルブとを有するディスペンサを備えてもよい。また、供給部１３０の構成として、リニアフィーダ１３５を用いた構成やシリンジを有するディスペンサ以外の構成を採用することもできる。

【0036】

ステージ１４０は、樹脂Ｒが供給されるリリースフィルムＲＦを支持する土台である。ステージ１４０は、供給部１３０に対して相対的に移動可能に構成されている。具体的には、供給部１３０及びステージ１４０の少なくとも一方が、サーボモータ等の移動手段によって移動可能に構成されている。例えば、供給部１３０及びステージ１４０の一方が他方に対して相対的に移動し、リリースフィルムＲＦ上の広範囲に樹脂Ｒが供給される。但し、供給部１３０及びステージ１４０の互いに対する相対的位置は略固定されていてもよく、例えばリリースフィルムＲＦの中央部に樹脂Ｒが供給されてもよい。ステージ１４０は、リリースフィルムＲＦ上に供給された樹脂Ｒを振動によって分散させる加振器を備えてもよい。

【0037】

厚み計測部１５０は、例えばキャリア１１の厚みを計測する。厚み計測部１５０は、例えば反射率分光法方式やエリプソメータ方式等の非接触式計測器であるが、これに限定されるものではなくマイクロメータ方式等の接触式計測器であってもよい。厚み計測部１５０は、レーザ変位計を用いて厚みを計測してもよい。厚み計測部１５０は、例えば、複数の点又は複数の面の厚みを計測して厚みの面内分布を計測してもよく、面内方向を走査しつつ厚みを計測して厚みの面内分布を計測してもよい。厚み計測部１５０が計測した情報は、算出部１２０に伝送され、樹脂Ｒの供給量の算出に利用される。例えば、算出部１２０は、計量部１１０で計量されたワーク１０の重量における、キャリア１１の厚み変動に起因した重量変動を補正する。

【0038】

厚み計測部１５０は、ワーク１０の厚みを計測してもよい。ここでいうワーク１０の厚みは、例えばキャリア１１に搭載される部品１２の有無、部品１２の高さや位置、等の搭載状況に関する情報が含まれる。すなわち、搭載状況に関する情報は、第２のパッケージエリアＰＡ２及び第３のパッケージエリアＰＡ３の数、位置、密度等を含んでいる。ワーク１０の厚みを計測する場合、計測による部品１２の損傷を抑制する観点から、厚み計測部１５０は非接触式計測器やレーザ変位計によって厚みを計測するのが望ましい。厚み計測部１５０が計測した搭載状況に関する情報は算出部１２０に伝送され、樹脂Ｒの供給量や供給位置の算出に利用される。なお、ここでいう樹脂Ｒの供給位置には、どのパッケージエリアＰＡに対応する位置に樹脂Ｒを供給するかという情報だけではなく、どのパッケージエリアＰＡに対応する位置で樹脂Ｒの供給量を増やすか又は減らすかという情報も含まれる。

【0039】

厚み計測部１５０は、パッケージの厚みを計測してもよい。厚み計測部１５０が計測したパッケージの厚みは算出部１２０に伝送される。例えば、算出部１２０は、算出した樹脂Ｒの供給量と、その樹脂Ｒによって圧縮成形されたパッケージの厚みを比較し、樹脂Ｒの供給量の算出方法を調整してもよい。

【0040】

撮像部１６０は、ワーク１０の画像を撮像する。撮像部１６０は、例えば、カメラ（単眼カメラや複眼カメラ）と、カメラで撮像した画像を処理する画像処理システムとを備えている。これにより、撮像部１６０は、キャリア１１上の部品１２を撮像し、画像処理によって搭載状況に関する情報を取得する。撮像部１６０が取得した搭載状況に関する情報は算出部１２０に伝送され、樹脂Ｒの供給量や供給位置の算出に利用される。

【0041】

なお、厚み計測部１５０及び撮像部１６０は、圧縮成形装置１から省略されてもよい。また、キャリア１１の厚みと、ワーク１０の厚みと、パッケージの厚みとは、別々の厚み計測部によって計測されてもよい。

【0042】

反転部１８０は、計量部１１０で計量されたワーク１０を、モールド金型１９０の内部へ搬送する途中で上下反転させる。図１に示すように、ワーク１０が部品１２を上に向けた状態で計量され且つ部品１２を下に向けた状態で後述する上型１９２にセットされる場合に、反転部１８０はワーク１０の上下方向を反転させる。また、ワーク１０が部品１２を下に向けた状態で計量され且つ部品１２を上に向けた状態で後述する下型１９１にセットされる場合にも、反転部１８０はワーク１０の上下方向を反転させる。なお、計量部１１０において計量されるときのワーク１０の向きとモールド金型１９０の内部にセットされるときのワーク１０の向きとが同じ場合、反転部１８０は省略される。

【0043】

モールド金型１９０は、圧縮成形技術を用いてワーク１０を樹脂封止するための一対の金型（下型１９１及び上型１９２）である。下型１９１及び上型１９２のうち、キャビティ１９９を有する方の金型にリリースフィルムＲＦがセットされ、もう一方の金型にワーク１０がセットされる。また、リリースフィルムＲＦ及びワーク１０のうち下型１９１にセットされる方に樹脂Ｒが供給される。本実施形態において、モールド金型１９０は、下型１９１にキャビティ１９９を有する下型キャビティ構造である。

【0044】

モールド金型１９０は、モールド金型１９０の内部（下型１９１と上型１９２との間の空間）をシールするシールリング１９３（例えばＯリング）を備えている。なお、図示しないが、圧縮成形装置１は、モールド金型１９０の内部圧力を調節する圧力調節部（例えば真空ポンプ）や、内部温度（成形温度）を調節する温度調節部（例えばヒータ）を備えている。

【0045】

下型１９１は、チェイス１９Ａと、チェイス１９Ａの上型１９２側に固定されたキャビティ駒１９Ｂと、キャビティ駒１９Ｂを囲むクランパ１９Ｃと、間隔を空けてクランパ１９Ｃを囲むチャンバブロック１９Ｄとを備えている。キャビティ駒１９Ｂはチェイス１９Ａの上型１９２側に固定されている。クランパ１９Ｃは、キャビティ駒１９Ｂよりも上型１９２に向かって突出し、キャビティ駒１９Ｂとともにキャビティ１９９を構成している。クランパ１９Ｃは、スプリングを介してチェイス１９Ａに接続され、キャビティ駒１９Ｂに対して摺動可能に構成されている。型締めしたとき、クランパ１９Ｃと上型１９２との間に、ワーク１０の外縁部（キャリア１１）が挟まれる。クランパ１９Ｃの上面（上型１９２に対向する面）には、チャンバブロック１９Ｄ側の空間とキャビティ１９９とを繋ぐ複数のエアベントが設けられている。複数のエアベントは、キャビティ１９９を中心とした放射線状に設けられた溝である。複数のエアベントは、型締めされたモールド金型１９０のキャビティ１９９に残存するエアや樹脂Ｒから発生するガスを排出する排気孔として機能する。エアベントは、エアやガスは排出されるが樹脂Ｒは流出しないような深さ（例えば数μｍ程度）に形成されている。チャンバブロック１９Ｄには、シールリング１９３が接触する。

【0046】

本実施形態に係る圧縮成形装置１は体積計測部をさらに備えてもよい。体積計測部は、ワーク１０の体積、ワーク１０に対して樹脂Ｒが成形された集合パッケージの体積、キャリア１１の体積、ワーク１０に搭載された複数の実装物の体積などを測定可能であれば特に限定されるものではない。

【0047】

次に、図３乃至図７を参照しつつ、圧縮成形装置１を用いたパッケージの製造方法の一例について説明する。

【0048】

図３は、樹脂Ｒの供給量の算出方法の一例（Ｓ１１０）を示すフローチャートである。樹脂Ｒの供給量の算出方法Ｓ１１０においては、まず、基準ワーク重量及び基準樹脂量を登録する（Ｓ１１１）。例えば、基準ワーク重量及び基準樹脂量は、外部端末から算出部１２０に入力される。この算出方法Ｓ１１０において、基準ワーク重量は、基準キャリアに部品１２が全て搭載されたワーク１０（以下、「基準ワーク」とする。）の重量である。言い換えると、基準ワーク重量は、全てのパッケージエリアＰＡが第１のパッケージエリアＰＡ１であるワーク１０の重量である。基準キャリアには、例えば標準重量のキャリア１１が用いられる。この場合、基準樹脂量は、部品１２が全て搭載された基準ワークに対して樹脂Ｒを圧縮成形し、所望の厚みのパッケージを得るのに必要な樹脂Ｒの供給量である。なお、基準キャリアには、最小重量のキャリア１１を用いることもできる。この場合、基準樹脂量は、部品１２が全く搭載されていない基準ワークに対して樹脂Ｒを圧縮成形し、所望の厚みのパッケージを得るのに必要な樹脂Ｒの供給量である。

【0049】

次に、ワーク１０の重量を計量し（Ｓ１１２）、ワーク１０の重量差分を算出する（Ｓ１１３）。ワーク１０の重量は計量部１１０によって計量され、ワーク１０の重量差分は算出部１２０によって算出される。ワーク１０の重量差分とは、基準ワーク重量と、計量したワーク１０の重量との差分である。ワーク１０は、部品１２が一部存在しない第２のパッケージエリアＰＡ２及び部品１２が全部存在しない第３のパッケージエリアＰＡ３を有することがある。例えば、基板の内部配線に不良があるために第３のパッケージエリアＰＡ３が点在する場合や、部品１２を全数搭載できないためにキャリア１１の半分が第３のパッケージエリアＰＡ３となる場合もありえる。このように、第２のパッケージエリアＰＡ２や第３のパッケージエリアＰＡ３に搭載予定であったが存在しない部品１２を、まとめて「存在しない部品１２」とする。工程Ｓ１１２で計量されるワーク１０の重量は、存在しない部品１２の重量分だけ基準ワーク重量よりも軽くなる。工程Ｓ１１３では、基準ワーク重量から、工程Ｓ１１２で計量したワーク１０の重量を減算することで、存在しない部品１２の重量をワーク１０の重量差分として算出する。

【0050】

次に、ワーク１０の重量差分に基づき補正樹脂量を算出し（Ｓ１１４）、基準樹脂量に補正樹脂量を算入する（Ｓ１１５）。補正樹脂量は算出部１２０によって算出され、算出部１２０によって基準樹脂量へ算入される。第２のパッケージエリアＰＡ２及び第３のパッケージエリアＰＡ３を有するワーク１０に対して基準樹脂量の樹脂Ｒを圧縮成形すると、存在しない部品１２の分だけパッケージの厚みが減少する。そこで、所望の厚みのパッケージを得るために、工程Ｓ１１５において、存在しない部品１２の分の補正樹脂量を、基準樹脂量に加算する。工程Ｓ１１４において補正樹脂量は例えば樹脂Ｒの重量として算出され、ワーク１０の重量差分に樹脂Ｒの比重を乗算して部品１２の比重で除算して算出される。樹脂Ｒの比重と部品１２の比重とが近い場合、ワーク１０の重量差分を補正樹脂量として用いてもよい。

【0051】

このように、ワーク１０の重量に基づいて樹脂Ｒの供給量を算出することで、簡易かつ迅速に樹脂Ｒの供給量を算出することができる。すなわち、ワークの略全面を走査して厚みを計測し全ての部品の搭載状況を精査する構成の圧縮成形装置に比べて、本実施形態に係る圧縮成形装置及びこれを用いた圧縮成形方法では、パッケージの生産能力が向上する。

【0052】

なお、樹脂Ｒの供給量の算出方法Ｓ１１０において、基準ワーク重量は、上記したように基準キャリアに部品１２が全く搭載されていないワーク１０の重量であってもよい。言い換えると、基準ワーク重量は、基準キャリアの重量であってもよい。このときの基準樹脂量は、部品が全く搭載されていない基準ワークに対して樹脂Ｒを圧縮成形し、所望の厚みのパッケージを得るのに必要な樹脂Ｒの供給量である。この場合、工程Ｓ１１２で計量されるワーク１０の重量は、搭載された部品１２の重量分だけ基準ワーク重量よりも重くなる。工程Ｓ１１２で計量したワーク１０の重量から、基準ワーク重量を減算することで、搭載された部品１２の重量をワーク１０の重量差分として算出する。このとき、工程Ｓ１１５において、ワーク１０に搭載された部品１２の分の補正樹脂量を、基準樹脂量から減算することで、樹脂Ｒの供給量が算出される。

【0053】

図４は、補正樹脂量の調整方法の一例（Ｓ１２０）を示すフローチャートである。補正樹脂量の調整方法Ｓ１２０においては、まず、キャリア１１の厚みを計測する（Ｓ１２１）。キャリア１１の厚みは、厚み計測部１５０によって計測される。次に、キャリア１１の厚みからキャリア重量を算出し（Ｓ１２２）、キャリア１１の重量差分を算出し（Ｓ１２３）、キャリア１１の重量差分に基づき補正樹脂量を調整する（Ｓ１２４）。キャリア１１の重量差分は算出部１２０によって算出され、補正樹脂量は算出部１２０によって調整される。キャリア１１の重量差分は、基準ワーク重量のうち基準キャリアの占める重量と、計量されたワーク１０のうちキャリア１１の占める重量との差分である。キャリア１１の重量は、キャリア１１の厚みの変動に応じて変動する。このため、工程Ｓ１１３で算出されるワーク１０の重量差分には、存在しない部品１２の重量だけではなく、キャリア１１の重量差分も含まれる。しかし、キャリア１１の重量の変動は、所望の厚みのパッケージを圧縮成形するために必要な樹脂Ｒの供給量には影響しない。このため、補正樹脂量からキャリア１１の重量差分の影響を排除することで、樹脂Ｒの供給量をより正確に算出できる。工程Ｓ１２４では、一例として、ワーク１０の重量差分から補正樹脂量を算出してから、キャリア１１の重量差分に基づき補正樹脂量を調整している。しかし、ワーク１０の重量差分からキャリア１１の重量差分を減算してから、補正樹脂量を算出してもよい。

【0054】

図５は、樹脂Ｒの供給位置の算出方法の一例（Ｓ１３０）を示すフローチャートである。樹脂Ｒの供給位置の算出方法Ｓ１３０においては、まず、ワーク１０の厚みを計測する（Ｓ１３１）。ワーク１０の厚みは、厚み計測部１５０によって計測される。次に、部品１２の搭載状況を算出し（Ｓ１３２）、樹脂Ｒの供給位置を算出する（Ｓ１３３）。部品１２の搭載状況はワーク１０の厚みに基づいて算出部１２０によって算出され、樹脂Ｒの供給位置は、部品１２の搭載状況に基づいて算出部１２０によって算出される。樹脂Ｒの供給位置は、部品１２の搭載状況に基づいて算出される。第１のパッケージエリアＰＡ１に対応する位置への樹脂Ｒの供給量よりも、第２のパッケージエリアＰＡ２及び第３のパッケージエリアＰＡ３に対応する位置への樹脂Ｒの供給量を多くすることで、モールド金型１９０の内部での樹脂Ｒの充填に要する時間を短縮し、樹脂Ｒの成形不良を抑制することができる。

【0055】

図６は、樹脂Ｒの供給位置の算出方法の別の一例（Ｓ１４０）を示すフローチャートである。樹脂Ｒの供給位置の算出方法Ｓ１４０においては、まず、ワーク１０の画像を撮像する（Ｓ１４１）。ワーク１０の画像は、撮像部１６０によって撮像される。次に、部品１２の搭載状況を算出（Ｓ１４２）、樹脂Ｒの供給位置を算出する（Ｓ１４３）。部品１２の搭載状況は、ワーク１０の画像に基づいて算出部１２０によって算出され、樹脂Ｒの供給位置は部品１２の搭載状況に基づいて算出部１２０によって算出される。なお、樹脂Ｒの供給位置の算出には、算出方法Ｓ１３０と算出方法Ｓ１４０とを併用してもよい。

【0056】

図７は、樹脂Ｒの供給量の算出方法の別の一例（Ｓ２１０）を示すフローチャートである。樹脂Ｒの供給量の算出方法Ｓ２１０においては、まず、最大ワーク重量、最小ワーク重量及び最大パッケージ数を登録する（Ｓ２１１）。例えば、最大ワーク重量、最小ワーク重量及び最大パッケージ数は、外部端末から算出部１２０に入力される。この算出方法Ｓ２１０において、最大ワーク重量は、基準キャリアに部品１２が全て搭載されたワーク１０（以下、「最大ワーク」とする。）の重量である。言い換えると、最大ワーク重量は、全てのパッケージエリアＰＡが第１のパッケージエリアＰＡ１であるワーク１０の重量である。また、最小ワーク重量は、基準キャリアに部品１２が全く搭載されていないワーク１０（以下、「最小ワーク」とする。）の重量である。言い換えると、最小ワーク重量は、基準キャリアの重量である。基準キャリアは、例えば標準重量のキャリア１１である。最大パッケージ数は、最大ワークから製造可能なパッケージの数、すなわちパッケージエリアＰＡの数である。

【0057】

次に、重量範囲を算出し、複数の部分範囲に分割する（Ｓ２１２）。重量範囲は算出部１２０によって算出され、重量範囲は算出部１２０によって部分範囲に分割される。重量範囲は、最小ワーク重量から最大ワーク重量までの数値範囲であり、複数の部分範囲は、重量範囲を最大パッケージ数で分割したそれぞれの数値範囲である。

【0058】

次に、ワーク１０の重量を計量し（Ｓ２１３）、ワーク１０の重量の属する部分範囲に基づき樹脂Ｒの供給量を算出する（Ｓ２１４）。ワーク１０は計量部１１０によって計量され、樹脂Ｒの供給量は算出部１２０によって算出される。例えば、算出部１２０は、部分範囲のそれぞれに対応する樹脂Ｒの供給量が登録されており、ワーク１０の重量がどの部分範囲に属するかを判定し、登録された樹脂Ｒの供給量を読み出す。これによれば、高精度な計量及び算出が不要であり、樹脂Ｒの供給量の算出速度が向上する。

【0059】

以下に、圧縮成形装置の変形例について説明する。なお、上記実施形態と共通の事柄については以下の各変形例においても同様に適用できるものとしその記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成には同様の符号を付し、同様の構成とそれによる同様の作用効果については逐次言及しない。

【0060】

図８を参照しつつ、一変形例に係る圧縮成形装置２の構成について説明する。図８は、第１変形例に係る圧縮成形装置の構成を概略的に示す図である。本変形例において、計量部１１０は、部品１２を下（計量部１１０の側）に向けた状態のワーク１０の重量を計量する。ワーク１０は外縁部のキャリア１１が支持され、部品１２は計量部１１０等に接触していない。ワーク１０はこの向きのまま搬送され、モールド金型１９０の上型１９２にセットされる。

【0061】

図９を参照しつつ、一変形例に係る圧縮成形装置３の構成について説明する。図９は、第２変形例に係る圧縮成形装置の構成を概略的に示す図である。本変形例において、モールド金型１９０は、上型１９２にキャビティ１９９を有する上型キャビティ構造である。計量部１１０で計量されたワーク１０はステージ１４０に搬送される。ステージ１４０上で樹脂Ｒが供給されたワーク１０は下型１９１にセットされ、リリースフィルムＲＦは上型１９２にセットされる。

【0062】

次に、図１０及び図１１を参照しつつ、一実施形態に係る樹脂の供給量の算出方法の一例について説明する。図１０及び図１１は、樹脂の供給量の算出方法の一部を示すフローチャートである。図１０は試作段階を示すフローチャートであり、図１１は本番段階を示すフローチャートである。以下の説明において、特に言及がない場合、算出は算出部１２０において実行される。

【0063】

まず、第１試作用ワーク及び第２試作用ワークの重量及び体積を測定する（Ｓ３１１）。試作用ワークは、本番時の製造条件を洗い出すための試作に用いるワークである。第１試作用ワーク及び第２試作用ワークは、基準キャリアにそれぞれ異なるセット数の実装物が搭載されたワークである。第１試作用ワーク及び第２試作用ワークは、搭載された複数の部品１２の全てに欠損のないワークから適宜選択されるのが望ましいが、複数の部品１２の一部が欠損していてもよい。第１試作用ワーク及び第２試作用ワークのそれぞれの実装物のセット数は、大きく異なることが望ましい。望ましくは、第１試作用ワークは実装物が全く搭載されていない最小ワーク（すなわち基準キャリア）であり、第２試作用ワークは実装物が全て搭載された最大ワークである。

【0064】

第１試作用ワークの重量をＷｗ１とし、第２試作用ワークの重量をＷｗ２とし、第１試作用ワークの体積をＶｗ１とし、第２試作用ワークの体積をＶｗ２とする。第１試作用ワークの重量Ｗｗ１及び第２試作用ワークの重量Ｗｗ２は、計量部１１０において計量される。また、第１試作用ワークの体積Ｖｗ１及び第２試作用ワークの体積Ｖｗ２は、体積計測部において直接計測される。第１試作用ワークの体積Ｖｗ１及び第２試作用ワークの体積Ｖｗ２は、厚み計測部１５０において計測された第１試作用ワークの厚み及び第２試作用ワークの厚みに基づき算出されてもよい。

【0065】

次に、試作用ワークの重量差分及び体積差分に基づき、複数の実装物の比重を算出する（Ｓ３１２）。試作用ワークの重量差分は第１試作用ワークの重量と第２試作用ワークの重量との差分であり、試作用ワークの体積差分は第１試作用ワークの体積と第２試作用ワークの体積との差分である。複数の実装物の比重は、複数の部品とそれをキャリアに接続する複数の接続部材とをまとめた比重であり、言い換えるとワークからキャリアを除いた部分の比重である。

【0066】

試作用ワークの重量差分をΔＷｗ２１とし、試作用ワークの体積差分をΔＶｗ２１とし、複数の実装物の比重をｄｍとする。ΔＷｗ２１は、次式ΔＷｗ２１＝Ｗｗ２－Ｗｗ１によって算出される。ΔＶｗ２１は、次式ΔＶｗ２１＝Ｖｗ２－Ｖｗ１によって算出される。ｄｍは、次式ｄｍ＝ΔＷｗ２１／ΔＶｗ２１によって算出される。

【0067】

次に、第１試作用集合パッケージ又は第２試作用集合パッケージの重量及び体積を測定する（Ｓ３１３）。第１試作用集合パッケージは、第１試作用ワークに対して所定の供給量の樹脂を成形した成形後のワークであり、第１試作用ワークを基に製造される複数のパッケージの集合体である。第２試作用集合パッケージは、第２試作用ワークに対して所定の供給量の樹脂を成形した成形後のワークであり、第２試作用ワークを基に製造される複数のパッケージの集合体である。

【0068】

第１試作用集合パッケージの重量をＷｐ１とし、第２試作用集合パッケージの重量をＷｐ２とし、第１試作用集合パッケージの体積をＶｐ１とし、第２試作用集合パッケージの体積をＶｐ２とする。第１試作用集合パッケージの重量Ｗｐ１又は第２試作用集合パッケージの重量Ｗｐ２は、計量部１１０において計量される。また、第１試作用集合パッケージの体積Ｖｐ１又は第２試作用集合パッケージの体積Ｖｐ２は、体積計測部において直接計測されてもよく、厚み計測部１５０において計測された第１試作用集合パッケージの厚み又は第２試作用集合パッケージの厚みに基づき算出されてもよい。なお、第１試作用集合パッケージ及び第２試作用集合パッケージの両方の重量Ｗｐ１，Ｗｐ２及び体積Ｖｐ１，Ｖｐ２を測ってもよい。

【0069】

なお、第１試作用集合パッケージを製造するために第１試作用ワークに対して供給される樹脂の成形前の重量をＷｒ１とする。第２試作用集合パッケージを製造するために第２試作用ワークに対して供給される樹脂の成形前の重量をＷｒ２とする。樹脂の重量Ｗｒ１，Ｗｒ２は、供給後に計量された実測値であってもよく、供給前に決定された設定値であってもよい。

【0070】

次に、試作用ワークと試作用集合パッケージとの重量差分及び体積差分に基づき、成形後の樹脂の比重を算出する（Ｓ３１４）。試作用ワークと試作用集合パッケージとの重量差分は、樹脂が供給される前の試作用ワークの重量と、その試作用ワークに対して樹脂が成形された後の重量との差分であり、試作用集合パッケージ中に占める成形後の樹脂の重量に相当する。試作用ワークと試作用集合パッケージとの体積差分も同様であり、試作用集合パッケージ中に占める成形後の樹脂の体積に相当する。成形後の樹脂の比重は、試作用集合パッケージ中に占める成形後の樹脂の比重である。

【0071】

第１試作用ワークと第１試作用集合パッケージとの重量差分をΔＷｐｗ１とし、第１試作用ワークと第１試作用集合パッケージとの体積差分をΔＶｐｗ１とし、第２試作用ワークと第２試作用集合パッケージとの重量差分をΔＷｐｗ２とし、第２試作用ワークと第２試作用集合パッケージとの体積差分をΔＶｐｗ２とし、成形後の樹脂の比重をｄｒとする。ΔＷｐｗ１は、次式ΔＷｐｗ１＝Ｗｐ１－Ｗｗ１によって算出される。ΔＶｐｗ１は、次式ΔＶｐｗ１＝Ｖｐ１－Ｖｗ１によって算出される。ΔＷｐｗ２は、次式ΔＷｐｗ２＝Ｗｐ２－Ｗｗ２によって算出される。ΔＶｐｗ２は、次式ΔＶｐｗ２＝Ｖｐ２－Ｖｗ２によって算出される。

【0072】

工程Ｓ３１３において第１試作用集合パッケージの重量及び体積を測定した場合、工程Ｓ３１４において算出される重量差分及び体積差分はΔＷｐｗ１及びΔＶｐｗ１であり、ｄｒは、次式Ｖ＝ΔＷｐｗ１／ΔＶｐｗ１によって算出される。工程Ｓ３１３において第２試作用集合パッケージの重量及び体積を測定した場合、工程Ｓ３１４において算出される重量差分及び体積差分はΔＷｐｗ２及びΔＶｐｗ２であり、ｄｒは、次式ｄｒ＝ΔＷｐｗ２／ΔＶｐｗ２によって算出される。

【0073】

なお、工程Ｓ３１３において第１試作用集合パッケージ及び第２試作用集合パッケージの両方の重量及び体積を測定した場合、成形後の樹脂の比重は、第１試作用集合パッケージの重量及び体積を基に算出された比重と、第２試作用集合パッケージの重量及び体積を基に算出された比重との平均としてもよい。このとき、ｄｒは、次式ｄｒ＝｛（ΔＷｐｗ１／ΔＶｐｗ１）＋（ΔＷｐｗ２／ΔＶｐｗ２）｝／２によって算出される。

【0074】

次に、試作用ワークと試作用集合パッケージとの重量差分に基づき、成形前後での樹脂の重量変化率を算出する（Ｓ３１５）。成形前後での樹脂の重量変化率は、成形前の樹脂の重量に対する成形後の樹脂の重量の比率である。

【0075】

成形前後での樹脂の重量変化率をαとする。工程Ｓ３１３において第１試作用集合パッケージの重量及び体積を測定した場合、αは、次式α＝ΔＷｐｗ１／Ｗｒ１によって算出される。工程Ｓ３１３において第２試作用集合パッケージの重量及び体積を測定した場合、αは、次式α＝ΔＷｐｗ２／Ｗｒ２によって算出される。

【0076】

なお、工程Ｓ３１３において第１試作用集合パッケージ及び第２試作用集合パッケージの両方の重量及び体積を測定した場合、成形前後での樹脂の重量変化率は、第１試作用ワークへ供給された樹脂の重量変化率と、第２試作用ワークへ供給された樹脂の重量変化率との平均としてもよい。このとき、αは、次式α＝｛（ΔＷｐｗ１／Ｗｒ１）＋（ΔＷｐｗ２／Ｗｒ２）｝／２によって算出される。

【0077】

次に、ワーク１０の重量を計量し、キャリア１１の厚みを計測する（Ｓ３２１）。ワーク１０の重量をＷｗとし、キャリア１１の厚みをＴｃとする。ワーク１０の重量Ｗｗは計量部１１０において計量され、キャリア１１の厚みＴｃは厚み計測部１５０において計測される。

【0078】

ここで、キャリア１１の厚みＴｃからキャリア１１の重量を算出する。キャリア１１の重量をＷｃとし、キャリア１１の面積をＳｃとし、キャリア１１の比重をｄｃとしたとき、Ｗｃは、次式Ｗｃ＝Ｔｃ×Ｓｃ×ｄｃによって算出される。キャリア１１の面積Ｓｃ及び比重ｄｃは、設定値として算出部１２０に登録されている。キャリア１１の面積Ｓｃは実測値であってもよい。

【0079】

次に、ワーク１０の重量に基づき、複数の実装物の総重量を算出する（Ｓ３２２）。複数の実装物の総重量は、ワーク１０に搭載された全ての部品１２の総重量と、当該全ての部品１２をキャリア１１に接続する全ての接続部材の総重量との和である。言い換えると、ワーク１０からキャリア１１を除いた部分の重量である。１つの部品１２の一部が欠損している場合や、部品１２の数量と接続部材の数量とが一致していない場合、本工程Ｓ３２２で算出される複数の実装物の総重量は、１セット当たりの実装物の重量の整数倍ではない数として算出されてもよい。

【0080】

複数の実装物の総重量をＷｍとしたとき、Ｗｍは、次式Ｗｍ＝Ｗｗ－Ｗｃによって算出される。

【0081】

次に、複数の実装物の比重に基づき、複数の実装物の総重量から複数の実装物の総体積を算出する（Ｓ３２３）。複数の実装物の総体積は、ワーク１０に搭載された全ての部品１２の総体積と、当該全ての部品１２をキャリア１１に接続する全ての接続部材の総体積との和である。言い換えると、ワーク１０からキャリア１１を除いた部分の体積である。複数の実装物の総重量と同様、複数の実装物の総体積は、１セット当たりの実装物の体積の整数倍ではない数として算出されてもよい。

【0082】

複数の実装物の総体積をＶｍとしたとき、Ｖｍは、次式Ｖｍ＝Ｗｍ×ｄｍによって算出される。

【0083】

次に、複数の実装物の総体積に基づき、成形後の樹脂の体積を算出する（Ｓ３２４）。成形後の樹脂の体積は、集合パッケージ中に占める成形後の樹脂の体積であり、集合パッケージからワーク１０を除いた部分の体積である。

【0084】

キャビティ１９９の体積をＶｃｖとし、成形後の樹脂の体積をＶｒｃとする。Ｖｒｃは、次式Ｖｒｃ＝Ｖｃｖ－Ｖｍによって算出される。なお、キャビティ１９９の体積Ｖｃｖは、集合パッケージの目標寸法に応じて事前に設計されており、設定値として算出部１２０に登録されている。

【0085】

次に、成形後の樹脂の比重に基づき、成形後の樹脂の体積から成形後の樹脂の重量を算出する（Ｓ３２５）。成形後の樹脂の重量は、集合パッケージ中に占める成形後の樹脂の重量であり、集合パッケージからワーク１０を除いた部分の重量である。

【0086】

成形後の樹脂の重量をＷｒｃとしたとき、Ｗｒｃは、次式Ｗｒｃ＝Ｖｒｃ×ｄｒによって算出される。

【0087】

次に、成形前後の樹脂の重量変化率に基づき、成形後の樹脂の重量から成形前の樹脂の重量を算出する（Ｓ３２６）。算出された成形前の樹脂の重量は、ワーク１０に対する樹脂の適正な供給量として扱われる。

【0088】

成形前の樹脂の重量をＷｒとしたとき、Ｗｒは、次式Ｗｒ＝（１／α）×Ｗｒｃによって算出される。

【0089】

このように、本実施形態では、ワークの重量に基づき複数の実装物の総重量を算出し、複数の実装物の比重に基づき複数の実装物の総重量から複数の実装物の総体積を算出し、複数の実装物の総体積に基づき、樹脂の供給量を算出する。複数の実装物の比重は、第１試作用ワークの重量と第２試作用ワークの重量との重量差分を、第１試作用ワークの体積と第２試作用ワークの体積との体積差分で除算して算出される。

【0090】

これによれば、部品の数量だけでなく接続部材の数量も加味した樹脂の供給量を算出することができる。したがって、樹脂の供給量の算出精度が向上し、樹脂の過不足に起因した不良品の発生を抑制することができる。

【0091】

また、本実施形態では、基準キャリアに実装物が全く搭載されていない最小ワークを第１試作用ワークとし、基準キャリアに実装物が全て搭載されている最大ワークを第２試作用ワークとしてもよい。

【0092】

これによれば、第１試作用ワーク及び第２試作用ワークの重量差分及び体積差分が大きくなり、複数の実装物の比重の算出精度が向上する。

【0093】

また、本実施形態では、ワークの重量から、キャリアの厚みに基づき算出したキャリアの重量を減算して、複数の実装物の重量を算出している。

【0094】

これによれば、キャリアの厚みの変動に起因して生じる樹脂供給量の計算誤差を低減することができる。

【0095】

但し、複数の実装物の総重量は、ワークの重量から基準キャリアの重量を減算して算出してもよい。この場合、基準キャリアの重量は設定値として算出部に登録されるため、工程Ｓ３２１に含まれる計測部におけるキャリアの厚みの計測を省略することが可能であり、製造工程を簡略化することができる。

【0096】

また、本実施形態では、体積計測部によって第１試作用ワーク及び第２試作用ワークの体積を直接計測し、体積計測部での計測結果に基づいて第１試作用ワークの体積と第２試作用ワークの体積との体積差分を算出している。

【0097】

これによれば、厚み計測部で計測した厚みに基づいて第１試作用ワーク及び第２試作用ワークの体積を算出する構成に比べて、複数の実装物の比重の算出に要する時間の短縮を図ることができる。

【0098】

また、本実施形態では、成形前後での樹脂の重量変化率に基づき、成形後の樹脂の重量から成形前の樹脂の重量をワークに対する樹脂の適正な供給量として算出している。

【0099】

これによれば、成形前後での樹脂の重量変化に起因して生じる樹脂供給量の計算誤差を低減することができる。

【0100】

但し、成形後の樹脂の体積に基づき、成形後の樹脂の重量をワークに対する樹脂の適正な供給量として算出してもよい。

【0101】

これによれば、工程Ｓ３１５や工程Ｓ３２６を省略することが可能であり、製造工程を簡略化することができる。

【0102】

なお、本実施形態では２つの試作用ワークを基に製造条件（複数の実装物の比重、成形後の樹脂の比重、成形前後での樹脂の重量変化率など）を算出しているが、３つ以上の試作用ワークを基に製造条件を算出してもよい。試作用ワークの数を増やすことで、製造条件の正確性を向上さることができる。

【0103】

次に、図１２及び図１３を参照しつつ、一実施形態に係る樹脂の供給量の算出方法の一例について説明する。図１２及び図１３は、樹脂の供給量の算出方法の一部を示すフローチャートである。図１２は試作段階を示すフローチャートであり、図１３は本番段階を示すフローチャートである。以下の説明において、図１０及び図１１を参照して説明した工程と同様の工程については、詳細な説明を省略する。

【0104】

まず、第３試作用ワーク及び第４試作用ワークの重量を計量する（Ｓ４１１）。第３試作用ワーク及び第４試作用ワークは、基準キャリアにそれぞれ異なるセット数の実装物が搭載されたワークである。第３試作用ワーク及び第４試作用ワークは、搭載された複数の部品１２の全てに欠損のないワークから適宜選択される。このため、第３試作用ワーク及び第４試作用ワークにおける部品１２の搭載数と実装物のセット数とは一致する。第３試作用ワーク及び第４試作用ワークのそれぞれの実装物のセット数は、大きく異なることが望ましい。望ましくは、第３試作用ワークは実装物が全く搭載されていない最小ワーク（すなわち基準キャリア）であり、第４試作用ワークは実装物が全て搭載された最大ワークである。

【0105】

第３試作用ワークの重量をＷｗ３、第４試作用ワークの重量をＷｗ４とする。第３試作用ワークＷｗ３及び第４試作用ワークＷｗ４の重量は、計量部１１０において計量される。第３試作用ワークに搭載された実装物のセット数をＮｗ３、第４試作用ワークに搭載された実装物のセット数をＮｗ４とする。第３試作用ワーク及び第４試作用ワークに搭載された実装物のセット数Ｎｗ３，Ｎｗ４は、例えば第３試作用ワーク及び第４試作用ワークの厚み計測や画像解析などによってカウントされた部品１２の数に比例するが、算出部１２０に登録された所定の設定値であってもよい。なお、第３試作用ワーク及び第４試作用ワークに搭載された実装物のセット数Ｎｗ３，Ｎｗ４のいずれか一方は０であってもよい。

【0106】

次に、第３～第６試作用集合パッケージの厚み、上面面積及び重量を測定する（Ｓ４１２）。第３試作用集合パッケージは、第３試作用ワークに対して第１供給量の樹脂が成形された成形後のワークであり、第３試作用ワークを基に製造される複数のパッケージの集合体である。第４試作用集合パッケージは、第４試作用ワークに対して第１供給量の樹脂が成形された成形後のワークであり、第４試作用ワークを基に製造される複数のパッケージの集合体である。第５試作用集合パッケージは、第３試作用ワークに対して第２供給量の樹脂が成形された成形後のワークであり、第３試作用ワークを基に製造される複数のパッケージの集合体である。第６試作用集合パッケージは、第４試作用ワークに対して第２供給量の樹脂が成形された成形後のワークであり、第４試作用ワークを基に製造される複数のパッケージの集合体である。なお、本願の特許請求の範囲に記載の第１及び第２試作用集合パッケージは、例えば第３及び第４試作用集合パッケージである。

【0107】

第１供給量の樹脂の成形前の重量をＷｒａとし、第２供給量の樹脂の成形前の重量をＷｒｂとする。第１供給量の樹脂の成形前の重量Ｗｒａ及び第２供給量の樹脂の成形前の重量Ｗｒｂは、供給後且つ成形前に例えば計量部１１０において計量された実測値であってもよく、供給前に決定された設定値であってもよい。

【0108】

試作用集合パッケージの厚みは、試作用集合パッケージのキャリア側を下面、樹脂側を上面としたとき、上面が平坦となった部分の厚みの平均値である。試作用集合パッケージの上面面積は、上面が平坦となった部分の面積である。但し、試作用集合パッケージの厚みは、上面が平坦となった部分の厚みの最大値又は最小値であってもよく、中央などの特定の位置の厚みであってもよい。

【0109】

第３試作用集合パッケージの厚みをＴｐ３とし、第４試作用集合パッケージの厚みをＴｐ４とし、第５試作用集合パッケージの厚みをＴｐ５とし、第６試作用集合パッケージの厚みをＴｐ６とする。第３～第６試作用集合パッケージの厚みＴｐ３～Ｔｐ６は、厚み計測部１５０において計測される。第３～第６試作用集合パッケージの厚みＴｐ３～Ｔｐ６は、少なくとも３つ計測されていれば、残りの１つの計測は省略されてもよい。上面面積をＳｐとしたとき、上面面積Ｓｐは、第３～第６試作用集合パッケージのいずれか１つの上面面積を計測して求めてもよく、第３～第６試作用集合パッケージのうち２つ以上の上面面積を計測してそれらの平均として算出してもよい。上面面積Ｓｐは、算出部１２０に設定値として登録される、キャビティ１９９の平坦な底面の面積であってもよい。第３試作用集合パッケージの重量をＷｐ３とし、第４試作用集合パッケージの重量をＷｐ４とし、第５試作用集合パッケージの重量をＷｐ５とし、第６試作用集合パッケージの重量をＷｐ６とする。第３～第６試作用集合パッケージの重量Ｗｐ３～Ｗｐ６は、例えば計量部１１０において計量される。第３～第６試作用集合パッケージの重量Ｗｐ３～Ｗｐ６は、少なくとも１つ計量されていれば、残りの３つの計測は省略されてもよい。

【0110】

次に、第１厚み差分及び実装物のセット数差分に基づき、１セット当たりの実装物の体積を算出する（Ｓ４１３）。第１厚み差分は、異なるセット数の実装物が搭載された２つのワークに対して、同じ供給量の樹脂を成形した際に生じる厚みの相違であり、実装物のセット数差分に相関する。実装物のセット数差分は、第３試作用ワークに搭載された実装物のセット数Ｎｗ３と、第３試作用ワークに搭載された実装物のセット数Ｎｗ４との差分である。１セット当たりの実装物の体積は、１つのパッケージエリアに搭載される欠損のない部品１２の体積と、その部品１２をキャリア１１に接続する欠損のない接続部材の体積との和である。

【0111】

第１厚み差分をΔＴ１とし、実装物のセット数差分をΔＮｗ４３とし、１セット当たりの実装物の体積をＶｓとする。

【0112】

工程Ｓ４１２において第５試作用集合パッケージの厚みＴｐ５及びと第６試作用集合パッケージの厚みＴｐ６のいずれか一方の計測を省略した場合、第１厚み差分ΔＴ１は、第４試作用集合パッケージの厚みＴｐ４と第３試作用集合パッケージの厚みＴｐ３との差分である。このとき、ΔＴ１は、次式ΔＴ１＝｜Ｔｐ４－Ｔｐ３｜によって算出される。工程Ｓ４１２において第３試作用集合パッケージの厚みＴｐ３及びと第４試作用集合パッケージの厚みＴｐ４のいずれか一方の計測を省略した場合、第１厚み差分ΔＴ１は、第６試作用集合パッケージの厚みＴｐ６と第５試作用集合パッケージの厚みＴｐ５との差分である。このとき、ΔＴ１は、次式ΔＴ１＝｜Ｔｐ６－Ｔｐ５｜によって算出される。工程Ｓ４１２において第３～６試作用集合パッケージの厚みＴｐ３～Ｔｐ６の全てを計測した場合、第１厚み差分ΔＴ１は、第４試作用集合パッケージと第３試作用集合パッケージとの厚み差分と、第６試作用集合パッケージと第５試作用集合パッケージとの厚み差分との平均としてもよい。このとき、ΔＴ１は、次式ΔＴ１＝（｜Ｔｐ４－Ｔｐ３｜＋｜Ｔｐ６－Ｔｐ５｜）／２によって算出される。

【0113】

ΔＮｗ４３は、次式ΔＮｗ４３＝｜Ｎｗ４－Ｎｗ３｜によって算出される。例えば第３試作用ワークが最小ワークである場合（Ｎｗ＝０）、第４試作用ワークに搭載された実装物のセット数がセット数差分である（ΔＮｗ４３＝Ｎｗ４）。なお、第３及び第４試作用ワークは、搭載された複数の部品１２の全てに欠損のないワークから選択されているため、Ｎｗ３及びＮｗ４は０又は正の整数であり、ΔＮｗ４３は正の整数である。

【0114】

Ｖｓは、次式Ｖｓ＝（ΔＴ１×Ｓｐ）／ΔＮｗ４３によって算出される。

【0115】

次に、試作用ワークの重量差分及び実装物のセット数差分に基づき、１セット当たりの実装物の重量を算出する（Ｓ４１４）。試作用ワークの重量差分は、第４試作用ワークの重量Ｗｗ４と、第３試作用ワークの重量Ｗｗ３との差分であり、セット数差分ΔＮｗ４３の実装物の総重量に相当する。１セット当たりの実装物の重量は、１つのパッケージエリアに搭載される欠損のない部品１２の重量と、その部品１２をキャリア１１に接続する欠損のない接続部材の重量との和である。

【0116】

試作用ワークの重量差分をΔＷｗ４３とし、１セット当たりの実装物の重量をＷｓとする。ΔＷｗ４３は、次式ΔＷｗ４３＝｜Ｗｗ４－Ｗｗ３｜によって算出される。Ｗｓは、次式Ｗｓ＝ΔＷｗ４３／ΔＮｗ４３によって算出される。

【0117】

次に、第２厚み差分及び供給量差分に基づき、樹脂の概算比重を算出する（Ｓ４１５）。第２厚み差分は、同じセット数の実装物が搭載された２つのワークに対して、異なる供給量の樹脂を成形した際に生じる厚みの相違であり、成形後の樹脂の体積に相関する。供給量差分は、第１供給量の樹脂の成形前の重量Ｗｒａと、第２供給量の樹脂の成形前の重量Ｗｒｂとの差分である。樹脂の概算比重は、成形前後で樹脂の重量が略一定と仮定して算出する樹脂の比重である。

【0118】

第２厚み差分をΔＴ２とし、供給量差分をΔＷｒとし、樹脂の概算比重をｄｒｘとする。

【0119】

工程Ｓ４１２において、第４試作用集合パッケージの厚みＴｐ４及び第６試作用集合パッケージの厚みＴｐ６のいずれか一方の計測を省略した場合、第２厚み差分ΔＴ２は、第５試作用集合パッケージの厚みＴｐ５と第３試作用集合パッケージの厚みＴｐ３との差分である。このとき、ΔＴ２は、次式ΔＴ２＝｜Ｔｐ５－Ｔｐ３｜によって算出される。工程Ｓ４１２において、第３試作用集合パッケージの厚みＴｐ３及び第５試作用集合パッケージの厚みＴｐ５のいずれか一方の計測を省略した場合、第２厚み差分ΔＴ２は、第６試作用集合パッケージの厚みＴｐ６と第４試作用集合パッケージの厚みＴｐ４との差分である。このとき、ΔＴ２は、次式ΔＴ２＝｜Ｔｐ６－Ｔｐ４｜によって算出される。工程Ｓ４１２において第３～６試作用集合パッケージの厚みＴｐ３～Ｔｐ６の全てを計測した場合、第２厚み差分ΔＴ２は、第５試作用集合パッケージと第３試作用集合パッケージとの厚み差分と、第６試作用集合パッケージと第４試作用集合パッケージとの厚み差分との平均としてもよい。このとき、ΔＴ２は、次式ΔＴ２＝（｜Ｔｐ５－Ｔｐ３｜＋｜Ｔｐ６－Ｔｐ４｜）／２によって算出される。

【0120】

ΔＷｒは、次式ΔＷｒ＝｜Ｗｒｂ－Ｗｒａ｜によって算出される。

【0121】

ｄｒｘは、次式ｄｒｘ＝ΔＷｒ／（ΔＴ２×Ｓｐ）によって算出される。

【0122】

次に、樹脂の概算比重に基づき、樹脂の最大重量を算出する（Ｓ４１６）。樹脂の最大重量は、部品が全く搭載されていない最小ワーク（すなわち基準キャリア）に対して、目標寸法の集合パッケージを製造するために供給する必要がある樹脂の重量である。

【0123】

樹脂の最大重量をＷｒｍとし、設定値として算出部１２０に登録される集合パッケージの目標厚みをＴｐｔとする。第３試作用ワークが基準キャリアである場合、樹脂の最大重量Ｗｒｍは、第３試作用ワークへ供給した樹脂の重量に対して、第３試作用ワークから製造された試作用集合パッケージの重量と集合パッケージの目標重量との重量差分を補正して求めることができる。このとき、Ｗｒｍは、次式Ｗｒｍ＝Ｗｒａ－｛（Ｔｐ３－Ｔｐｔ）×Ｓｐ／ｄｒｘ｝、又は次式Ｗｒｍ＝Ｗｒｂ－｛（Ｔｐ５－Ｔｐｔ）×Ｓｐ／ｄｒｘ｝によって算出される。

【0124】

設定値として基準キャリアの厚みが算出部１２０に登録されている場合、基準キャリアの厚みをＴｃｓとすると、Ｗｒｍは次式Ｗｒｍ＝（Ｔｐｔ－Ｔｃｓ）×Ｓｐ／ｄｒｘによって算出することもできる。なお、上記Ｗｒｍの算出式において、基準キャリアの厚みの設定値であるＴｃｓの代わりに、第３試作用ワーク又は第４試作用ワークに含まれるキャリアの厚みを計測して求めた実測値を用いてもよい。

【0125】

次に、ワーク１０の重量を計量し、キャリア１１の厚みを計測する（Ｓ４２１）。ワーク１０の重量をＷｗとし、キャリア１１の厚みをＴｃとする。また、キャリア１１の厚みＴｃからキャリア１１の重量Ｗｃを算出する。

【0126】

次に、ワークの重量に基づき、複数の実装物の総重量を算出する（Ｓ４２２）。複数の実装物の総重量をＷｍとする。

【0127】

次に、１セット当たりの実装物の重量に基づき、複数の実装物の総重量から複数の実装物のセット数を算出する（Ｓ４２３）。複数の実装物のセット数は、ワーク１０に搭載された複数の実装物の総セット数である。１つの部品１２の一部が欠損している場合や、部品１２の数量と接続部材の数量とが一致していない場合、複数の実装物のセット数は、整数ではない数として算出されてもよい。

【0128】

複数の実装物のセット数をＮｍとしたとき、Ｎｍは、次式Ｎｍ＝Ｗｍ／Ｗｓによって算出される。

【0129】

次に、１セット当たりの実装物の重量に基づき、複数の実装物のセット数から複数の実装物の総体積を算出する（Ｓ４２４）。

【0130】

複数の実装物の総体積をＶｍとしたとき、Ｖｍは、次式Ｖｍ＝Ｎｍ×Ｖｓによって算出される。

【0131】

次に、樹脂の概算比重に基づき、複数の実装物の総体積から複数の実装物の樹脂換算重量を算出する（Ｓ４２５）。複数の実装物の樹脂換算重量は、ワーク１０中の複数の実装物を成形後の樹脂で置き換えた場合の重量である。言い換えると、複数の実装物の総体積と同じ体積の、成形後の樹脂の重量である。

【0132】

複数の実装物の樹脂換算重量をＷｒｘとしたとき、Ｗｒｘは、次式Ｗｒｘ＝Ｖｍ×ｄｒｘによって算出される。

【0133】

次に、成形後の樹脂の最大重量及び複数の実装物の樹脂換算重量に基づき、成形後の樹脂の重量を算出する（Ｓ４２６）。

【0134】

成形後の樹脂の重量をＷｒｃとしたとき、Ｗｒｃは、次式Ｗｒｃ＝Ｗｒｍ－Ｗｒｘによって算出される。算出された成形後の樹脂の重量Ｗｒｃは、ワーク１０に対する樹脂の適正な供給量として扱われる。

【0135】

このように、本実施形態では、ワークの重量に基づき複数の実装物の総重量を算出し、１セット当たりの実装物の重量に基づき複数の実装物の総重量から複数の実装物のセット数を算出し、１セット当たりの実装物の体積に基づき複数の実装物のセット数から複数の実装物の総体積を算出し、複数の実装物の総体積に基づき樹脂の供給量を算出する。１セット当たりの実装物の体積は、例えば、第３試作用集合パッケージの厚みと第４試作用集合パッケージの厚みとの厚み差分に、第３又は第４試作用集合パッケージの上面面積を乗算し、第３試作用ワークの実装物のセット数と第４試作用ワークの実装物のセット数とのセット数差分で除算して算出される。１セット当たりの実装物の重量は、例えば、第３試作用ワークの重量と第４試作用ワークの重量との重量差分を、第３試作用ワークの実装物のセット数と第４試作用ワークの実装物のセット数とのセット数差分で除算して算出される。

【0136】

これによれば、部品の数量だけでなく接続部材の数量も加味した樹脂の供給量を算出することができる。したがって、樹脂の供給量の算出精度が向上し、樹脂の過不足に起因した不良品の発生を抑制することができる。

【0137】

また、本実施形態では、基準キャリアに実装物が全く搭載されていない最小ワークを第３試作用ワークとし、基準キャリアに実装物が全て搭載されている最大ワークを第４試作用ワークとしてもよい。

【0138】

これによれば、第３試作用集合パッケージ及び第４試作用集合パッケージの厚み差分と、第３試作用ワーク及び第４試作用ワークの実装物のセット数差分とが大きくなり、１セット当たりの実装物の体積の算出精度が向上する。また、第３試作用ワーク及び第４試作用ワークの重量差分も大きくなり、１セット当たりの実装物の重量の算出精度が向上する。

【0139】

また、本実施形態では、ワークの重量から、キャリアの厚みに基づき算出したキャリアの重量を減算して、複数の実装物の重量を算出している。

【0140】

これによれば、キャリアの厚みの変動に起因して生じる樹脂供給量の計算誤差を低減することができる。

【0141】

但し、複数の実装物の重量は、ワークの重量から基準キャリアの重量を減算して算出してもよい。この場合、基準キャリアの重量は設定値として算出部に登録されるため、工程Ｓ３２１に含まれる計測部におけるキャリアの厚みの計測を省略することが可能であり、製造工程を簡略化することができる。

【0142】

また、本実施形態では、成形前の樹脂の重量を成形後の樹脂の体積で除算して樹脂の概算比重を算出し、樹脂の概算比重に基づき樹脂の最大重量を算出し、樹脂の最大重量に基づき成形後の樹脂の重量を算出している。

【0143】

但し、樹脂の最大重量Ｗｒｍの算出方法は上記に限定されるものではない。例えば、成形後の樹脂の比重をｄｒｃとして、次式Ｗｒｍ＝Ｗｒｂ－｛（Ｔｐ５－Ｔｐｔ）×Ｓｐ／ｄｒｃ｝によって算出してもよい。ｄｒｃは、第５試作用集合パッケージの重量Ｗｐ５と第３試作用集合パッケージの重量Ｗｐ３との重量差分をΔＷｐ５３としたとき、次式ｄｒｃ＝ΔＷｐ５３／（ΔＴ２×Ｓｐ）によって算出される。

【0144】

樹脂の最大重量Ｗｒｍは、設計値として算出部１２０に登録されたキャビティ１９９の容量を、樹脂の概算比重又は成形の樹脂の比重で乗算して算出してもよい。

【0145】

また、本実施形態では、成形後の樹脂の重量をワークに対する樹脂の適正な供給量として算出している。

【0146】

但し、成形前後での樹脂の重量変化率を算出しておき、成形後の樹脂の重量Ｗｒｃから成形前の樹脂の重量を算出し、これをワークに対する樹脂の適正な供給量として扱ってもよい。成形前後での樹脂の重量変化率は、例えば、第５試作用集合パッケージの重量Ｗｐ５と第３試作用集合パッケージの重量Ｗｐ３との重量差分を、第２供給量の樹脂の重量と第１供給量の樹脂の重量との重量差分で除算することによって算出される。

【0147】

以上説明したように、本発明の一態様によれば、樹脂の供給精度を向上させることができる圧縮成形装置を提供することができる。

【0148】

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。

【符号の説明】

【0149】

１…圧縮成形装置
１０…ワーク
１１…キャリア
１２…部品
１００…樹脂供給装置
１１０…計量部
１２０…算出部
１３０…供給部
１４０…ステージ
１５０…厚み計測部
１６０…撮像部
１８０…反転部
１９０…モールド金型
１９１…下型
１９２…上型
１９９…キャビティ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】