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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-08-29
(45)【発行日】2024-09-06
(54)【発明の名称】真空ポンプ、固定翼、およびスペーサ
(51)【国際特許分類】
F04D 19/04 20060101AFI20240830BHJP
【ＦＩ】
F04D19/04 D
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2020140495
(22)【出願日】2020-08-21
(65)【公開番号】P2022035881
(43)【公開日】2022-03-04
【審査請求日】2023-08-04
(73)【特許権者】
【識別番号】508275939
【氏名又は名称】エドワーズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110004244
【氏名又は名称】弁理士法人仲野・川井国際特許事務所
(74)【代理人】
【識別番号】100091225
【弁理士】
【氏名又は名称】仲野 均
(74)【代理人】
【識別番号】100096655
【弁理士】
【氏名又は名称】川井 隆
(72)【発明者】
【氏名】三輪田 透
(72)【発明者】
【氏名】時 永偉
【審査官】岸 智章
(56)【参考文献】
【文献】特表２００３－５０６６３０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０６０２４１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０５９４５９（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ０４Ｄ １９／０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
吸気口と排気口を有するケーシングと、前記ケーシングの内部に、回転自在に支持された回転軸と、
前記回転軸に固定され、前記回転軸と共に回転可能な複数段の回転翼と、
前記ケーシングに対して固定され、かつ、前記回転翼間に配置される複数段の固定翼とを、備え、
前記複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の外径が、前記吸気口側より前記排気口側の方が小径に形成された、もしくは、前記複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の内径が、前記吸気口側より前記排気口側の方が大径に形成された真空ポンプであって、
外径が小径に形成された前記回転翼の直上位置または内径が大径に形成された前記回転翼の直上位置に配置された固定翼の外周部及び内周部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられ、
前記固定翼は、放射状に配置される複数枚のブレードと、これらの複数枚のブレードを保持する内リム及び外リムを有し、
前記テーパー面は、前記内リムの外周面及び前記外リムの内周面に設けられていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項2】
前記固定翼は、放射状に配置される複数枚のブレードと、これらの複数枚のブレードを保持し、かつ、前記固定翼の高さ方向の位置決めを行うスペーサ部を有し、前記スペーサ部の内周面に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられていることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項3】
前記固定翼の前記複数枚のブレードの前記排気口側の面までアンダーカットされていることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプ。
【請求項4】
前記固定翼の前記複数枚のブレードの後方に垂直面またはテーパー面が設けられていることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプ。
【請求項5】
吸気口と排気口を有するケーシングと、
前記ケーシングの内部に、回転自在に支持された回転軸と、
前記回転軸に固定され、前記回転軸と共に回転可能な複数段の回転翼と、
前記ケーシングに対して固定され、かつ、前記回転翼間に配置される複数段の固定翼とを、備え、
前記複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の外径が、前記吸気口側より前記排気口側の方が小径に形成された、もしくは、前記複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の内径が、前記吸気口側より前記排気口側の方が大径に形成された真空ポンプであって、
外径が小径に形成された前記回転翼の直上位置または内径が大径に形成された前記回転翼の直上位置に配置された固定翼の外周部及び内周部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられ、
前記固定翼の前記ケーシング側を保持し、かつ、前記固定翼の高さ方向の位置決めを行うスペーサ部から前記固定翼の高さ方向の範囲内に突出する突出部が設けられ、
前記スペーサ部の内周面および前記突出部の少なくとも一部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項6】
吸気口と排気口を有するケーシングを備えた真空ポンプに用いられる固定翼であって、放射状に配置される複数枚のブレードと、これらの複数枚のブレードを保持する内リム及び外リムを有し、
前記内リムの外周面及び前記外リムの内周面に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられている固定翼。
【請求項7】
吸気口と排気口を有するケーシングを備えた真空ポンプに用いられるスペーサであって、放射状に配置される複数枚のブレードを有する固定翼の配置時に、前記ケーシング側を保持し、かつ、前記固定翼の高さ方向の位置決めを行うスペーサ部を有し、
前記スペーサ部から前記固定翼の高さ方向の範囲内に突出する突出部が設けられ、
前記スペーサ部の内周面および前記突出部の少なくとも一部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられていることを特徴とするスペーサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、真空ポンプ、固定翼、およびスペーサに関し、より詳しくは、真空ポンプにおける排気効率をより高める構造に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、吸気口および排気口を有するケーシングの内部でロータ部（シャフトやロータ）および回転翼や回転円筒体も含む回転部を高速回転させて排気処理を行うターボ分子ポンプなどの真空ポンプが広く普及していた。
これらの真空ポンプでは、高速回転する複数段の回転翼と、ケーシングに対して固定されている複数段の固定翼との相互作用により、排気処理を行っていた。
図３０に示すように、ここで用いられる固定翼１２３は、複数枚のブレード５５０と、この複数枚のブレード５５０を保持し、内側（設置時のロータ部側）を保持、固定する内リム６００と、外側（設置時のケーシング側）を保持、固定する外リム７００とから構成されている。図３１は、図３０に示した固定翼１２３の破線の円部分の部分拡大図である。
なお、図３２に示すような、外リム７００が存在しないタイプ（内リム６００のみで、ブレード５５０を保持、固定するタイプ）の固定翼１２３も用いられている。
図３２は、半割の状態の固定翼１２３を、図３３は、図３２の破線の円部分の部分拡大図である。
ところで、この真空ポンプでは、設計上の要請から、複数段の回転翼の一段の回転翼の外径が、吸気口側より排気口側の方が小径に形成されている場合、もしくは、複数段の回転翼のうち一段の回転翼の内径が、吸気口側より排気口側の方が大径に形成されているものが存在する。
これらの真空ポンプでは、高速回転する複数段の回転翼と、ケーシングに対して固定されている複数段の固定翼との相互作用により、排気処理を行っていた。
図３０に示すように、ここで用いられる固定翼１２３は、複数枚のブレード５５０と、この複数枚のブレード５５０を保持し、内側（設置時のロータ部側）を保持、固定する内リム６００と、外側（設置時のケーシング側）を保持、固定する外リム７００とから構成されている。図３１は、図３０に示した固定翼１２３の破線の円部分の部分拡大図である。
なお、図３２に示すような、外リム７００が存在しないタイプ（内リム６００のみで、ブレード５５０を保持、固定するタイプ）の固定翼１２３も用いられている。
図３２は、半割の状態の固定翼１２３を、図３３は、図３２の破線の円部分の部分拡大図である。
ところで、この真空ポンプでは、設計上の要請から、複数段の回転翼の一段の回転翼の外径が、吸気口側より排気口側の方が小径に形成されている場合、もしくは、複数段の回転翼のうち一段の回転翼の内径が、吸気口側より排気口側の方が大径に形成されているものが存在する。
【0003】
図３４および図３５は、従来技術を説明するための図である。
図３４は、従来のターボ分子ポンプにおける内リム６００と外リム７００を有する固定翼１２３（図３０に示すタイプ）を用いた場合を説明するための断面図である。
図３５は、図３４の部分拡大図である。
図３５に示すように、排気されるガスの流れは、吸気口側から排気口側へ矢印で示す方向である。
この図３５に示すように、配置された固定翼１２３の内リム６００（外側）及び外リム７００（内側）は、排気方向に対して、水平に配置されており、ターボ分子ポンプの排気作業に対しては、特段の働きをしていなかった。
また、回転翼の外径の縮径位置にある固定翼スペーサの上面で、排気方向に対し垂直な面となる部分が存在し、上流側の回転翼で移送されたガス分子をそのまま吸気口側に反射する構造となっており、排気性能を低下させる要因となっていた。
図３４は、従来のターボ分子ポンプにおける内リム６００と外リム７００を有する固定翼１２３（図３０に示すタイプ）を用いた場合を説明するための断面図である。
図３５は、図３４の部分拡大図である。
図３５に示すように、排気されるガスの流れは、吸気口側から排気口側へ矢印で示す方向である。
この図３５に示すように、配置された固定翼１２３の内リム６００（外側）及び外リム７００（内側）は、排気方向に対して、水平に配置されており、ターボ分子ポンプの排気作業に対しては、特段の働きをしていなかった。
また、回転翼の外径の縮径位置にある固定翼スペーサの上面で、排気方向に対し垂直な面となる部分が存在し、上流側の回転翼で移送されたガス分子をそのまま吸気口側に反射する構造となっており、排気性能を低下させる要因となっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００７－２６９２号
【文献】特開２０１８－３５７１８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
上記、特許文献１及び特許文献２に開示されている真空ポンプでは、固定翼の外リム及び内リムが、ガスの排気方向に対して水平に配置されており、排気効率に対する貢献はしていなかった。
近年、真空ポンプにおいて、ポンプのサイズの拡大や、ロータ部の回転速度をあげることなく、より排気効率を向上させることが求められていた。
近年、真空ポンプにおいて、ポンプのサイズの拡大や、ロータ部の回転速度をあげることなく、より排気効率を向上させることが求められていた。
【0006】
そこで、本発明では、真空ポンプに設置される固定翼（内リム及び外リム）、およびスペーサに工夫をすることにより、より排気性能が向上した真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
請求項１記載の発明では、吸気口と排気口を有するケーシングと、前記ケーシングの内部に、回転自在に支持された回転軸と、前記回転軸に固定され、前記回転軸と共に回転可能な複数段の回転翼と、前記ケーシングに対して固定され、かつ、前記回転翼間に配置される複数段の固定翼とを、備え、前記複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の外径が、前記吸気口側より前記排気口側の方が小径に形成された、もしくは、前記複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の内径が、前記吸気口側より前記排気口側の方が大径に形成された真空ポンプであって、外径が小径に形成された前記回転翼の直上位置または内径が大径に形成された前記回転翼の直上位置に配置された固定翼の外周部及び内周部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられ、前記固定翼は、放射状に配置される複数枚のブレードと、これらの複数枚のブレードを保持する内リム及び外リムを有し、前記テーパー面は、前記内リムの外周面及び前記外リムの内周面に設けられていることを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項２記載の発明では、前記固定翼は、放射状に配置される複数枚のブレードと、これらの複数枚のブレードを保持し、かつ、前記固定翼の高さ方向の位置決めを行うスペーサ部を有し、前記スペーサ部の内周面に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられていることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプを提供する。
請求項３記載の発明では、前記固定翼の前記複数枚のブレードの前記排気口側の面までアンダーカットされていることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプを提供する。
請求項４記載の発明では、前記固定翼の前記複数枚のブレードの後方に垂直面またはテーパー面が設けられていることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプを提供する。
請求項５記載の発明では、吸気口と排気口を有するケーシングと、前記ケーシングの内部に、回転自在に支持された回転軸と、前記回転軸に固定され、前記回転軸と共に回転可能な複数段の回転翼と、前記ケーシングに対して固定され、かつ、前記回転翼間に配置される複数段の固定翼とを、備え、前記複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の外径が、前記吸気口側より前記排気口側の方が小径に形成された、もしくは、前記複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の内径が、前記吸気口側より前記排気口側の方が大径に形成された真空ポンプであって、外径が小径に形成された前記回転翼の直上位置または内径が大径に形成された前記回転翼の直上位置に配置された固定翼の外周部及び内周部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられ、前記固定翼の前記ケーシング側を保持し、かつ、前記固定翼の高さ方向の位置決めを行うスペーサ部から前記固定翼の高さ方向の範囲内に突出する突出部が設けられ、前記スペーサ部の内周面および前記突出部の少なくとも一部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられていることを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項６記載の発明では、吸気口と排気口を有するケーシングを備えた真空ポンプに用いられる固定翼であって、放射状に配置される複数枚のブレードと、これらの複数枚のブレードを保持する内リム及び外リムを有し、前記内リムの外周面及び前記外リムの内周面に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられている固定翼を提供する。
請求項７記載の発明では、吸気口と排気口を有するケーシングを備えた真空ポンプに用いられるスペーサであって、放射状に配置される複数枚のブレードを有する固定翼の配置時に、前記ケーシング側を保持し、かつ、前記固定翼の高さ方向の位置決めを行うスペーサ部を有し、前記スペーサ部から前記固定翼の高さ方向の範囲内に突出する突出部が設けられ、前記スペーサ部の内周面および前記突出部の少なくとも一部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられていることを特徴とするスペーサを提供する。
請求項２記載の発明では、前記固定翼は、放射状に配置される複数枚のブレードと、これらの複数枚のブレードを保持し、かつ、前記固定翼の高さ方向の位置決めを行うスペーサ部を有し、前記スペーサ部の内周面に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられていることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプを提供する。
請求項３記載の発明では、前記固定翼の前記複数枚のブレードの前記排気口側の面までアンダーカットされていることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプを提供する。
請求項４記載の発明では、前記固定翼の前記複数枚のブレードの後方に垂直面またはテーパー面が設けられていることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプを提供する。
請求項５記載の発明では、吸気口と排気口を有するケーシングと、前記ケーシングの内部に、回転自在に支持された回転軸と、前記回転軸に固定され、前記回転軸と共に回転可能な複数段の回転翼と、前記ケーシングに対して固定され、かつ、前記回転翼間に配置される複数段の固定翼とを、備え、前記複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の外径が、前記吸気口側より前記排気口側の方が小径に形成された、もしくは、前記複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の内径が、前記吸気口側より前記排気口側の方が大径に形成された真空ポンプであって、外径が小径に形成された前記回転翼の直上位置または内径が大径に形成された前記回転翼の直上位置に配置された固定翼の外周部及び内周部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられ、前記固定翼の前記ケーシング側を保持し、かつ、前記固定翼の高さ方向の位置決めを行うスペーサ部から前記固定翼の高さ方向の範囲内に突出する突出部が設けられ、前記スペーサ部の内周面および前記突出部の少なくとも一部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられていることを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項６記載の発明では、吸気口と排気口を有するケーシングを備えた真空ポンプに用いられる固定翼であって、放射状に配置される複数枚のブレードと、これらの複数枚のブレードを保持する内リム及び外リムを有し、前記内リムの外周面及び前記外リムの内周面に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられている固定翼を提供する。
請求項７記載の発明では、吸気口と排気口を有するケーシングを備えた真空ポンプに用いられるスペーサであって、放射状に配置される複数枚のブレードを有する固定翼の配置時に、前記ケーシング側を保持し、かつ、前記固定翼の高さ方向の位置決めを行うスペーサ部を有し、前記スペーサ部から前記固定翼の高さ方向の範囲内に突出する突出部が設けられ、前記スペーサ部の内周面および前記突出部の少なくとも一部に、前記排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面が設けられていることを特徴とするスペーサを提供する。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、真空ポンプにおける固定翼の内リム又は外リムもしくはスペーサの形状を工夫することにより、真空ポンプの排気性能をより向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の実施形態に係るターボ分子ポンプの概略構成例を示した図である。
【図2】本発明の実施形態で用いるアンプ回路の回路図を示した図である。
【図3】本発明の実施形態における電流指令値が検出値より大きい場合の制御を示すタイムチャートである。
【図4】本発明の実施形態における電流指令値が検出値より小さい場合の制御を示すタイムチャートである。
【図5】本発明の第１の実施形態に係るターボ分子ポンプの概略構成例を示した図である。
【図7】第１の実施形態Ａに係る内リムにテーパー面を設けた固定翼を示した図である。
【図8】第１の実施形態Ｂに係る内リムにテーパー面を設け、かつ垂直面と円周面を設けた固定翼を示した図である。
【図9】第１の実施形態Ｃに係る内リム及び外リムにテーパー面を設けた固定翼を示した図である。
【図10】第１の実施形態Ｄに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつ垂直面と円周面を設けた固定翼を示した図である。
【図11】第１の実施形態Ｅに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつ外リムのブレードより上側（下側）にもテーパー面がある固定翼を示した図である。
【図12】第１の実施形態Ｆに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつブレードより上側（下側）に内周面がある固定翼を示した図である。
【図13】第１の実施形態Ｇに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつ外リムのブレードより上側（下側）に内周面があり、垂直面を設けた固定翼を示した図である。
【図14】第１の実施形態Ｈに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつ外リムのブレードより上側（下側）にもテーパー面があり、垂直面を設けた固定翼を示した図である。
【図15】第１の実施形態Ｉに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつフランジを設けた固定翼を示した図である。
【図16】第１の実施形態Ｊに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつフランジを設け、垂直面を設けた固定翼を示した図である。
【図17】本発明の第２の実施形態に係るターボ分子ポンプの概略構成例を示した部分拡大図である。
【図18】第２の実施形態Ａに係る外リムにテーパー面及び内周面を設けた固定翼を示した図である。
【図19】第２の実施形態Ｂに係る外リムにテーパー面及び内周面を設け、かつフランジを設けた固定翼を示した図である。
【図20】第２の実施形態Ｃに係る外リムにテーパー面及び内周面を設け、かつ内リム垂直面及び外リム垂直面を設けた固定翼を示した図である。
【図21】第２の実施形態Ｄに係る外リムにテーパー面及び内周面を設け、かつフランジを設けた固定翼を示した図である。
【図22】第３の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
【図23】第４の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
【図24】第４の実施形態Ａに係る内リムに内リムテーパー面を設けた固定翼を示した図である。
【図25】第４の実施形態Ｂに係る内リムに内リムテーパー面を設け、かつ内リム垂直面を設けた固定翼を示した図である。
【図26】第５の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
【図27】第５の実施形態Ａに係る固定翼スペーサの外観を示した図である。
【図28】第５の実施形態Ｂに係る固定翼スペーサの外観を示した図である。
【図29】テーパーの角度を説明するための図である。
【図30】従来の固定翼を示した図である。
【図32】従来の外リムがないタイプの固定翼を示した図である。
【図34】従来のターボ分子ポンプの概略構成例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
（ｉ）実施形態の概要
本実施形態では、複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の外径が、排気口側の方が小径に形成された、もしくは、複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の内径が、排気口側の方が大径に形成された真空ポンプにおいて、外径が小径に形成された回転翼の直上位置または内径が大径に形成された回転翼の直上位置に配置された固定翼の少なくとも外周部または内周部の何れか一方に、排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面（傾斜面）が設けられている。
このテーパー面を設けることで、分子が入ると直角の角度で反射し、分子を内周側に送り、上段の回転翼でたたかれることで次の排気段に送られることとなる。
本実施形態では、複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の外径が、排気口側の方が小径に形成された、もしくは、複数段の回転翼のうち少なくとも一段の回転翼の内径が、排気口側の方が大径に形成された真空ポンプにおいて、外径が小径に形成された回転翼の直上位置または内径が大径に形成された回転翼の直上位置に配置された固定翼の少なくとも外周部または内周部の何れか一方に、排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面（傾斜面）が設けられている。
このテーパー面を設けることで、分子が入ると直角の角度で反射し、分子を内周側に送り、上段の回転翼でたたかれることで次の排気段に送られることとなる。
【0011】
こうして、従来技術では、排気には作用していなかった固定翼の外周部または内周部も、排気に貢献することとなり、真空ポンプの排気効率を向上させることとなる。
【0012】
（ｉｉ）実施形態の詳細
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１から図２９を参照して詳細に説明する。
（真空ポンプの構成）
図１は、本発明の実施形態に係るターボ分子ポンプ１００の概略構成例を示した図であり、ターボ分子ポンプ１００は、円筒状の外筒１２７の上端に吸気口１０１が形成されている。そして、外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードである複数の回転翼１０２（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・）を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３が備えられている。この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取り付けられており、このロータ軸１１３は、例えば５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１から図２９を参照して詳細に説明する。
（真空ポンプの構成）
図１は、本発明の実施形態に係るターボ分子ポンプ１００の概略構成例を示した図であり、ターボ分子ポンプ１００は、円筒状の外筒１２７の上端に吸気口１０１が形成されている。そして、外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードである複数の回転翼１０２（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・）を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３が備えられている。この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取り付けられており、このロータ軸１１３は、例えば５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。
【0013】
上側径方向電磁石１０４は、４個の電磁石がＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石１０４の近接に、かつ上側径方向電磁石１０４のそれぞれに対応されて４個の上側径方向センサ１０７が備えられている。上側径方向センサ１０７は、例えば伝導巻線を有するインダクタンスセンサや渦電流センサなどが用いられ、ロータ軸１１３の位置に応じて変化するこの伝導巻線のインダクタンスの変化に基づいてロータ軸１１３の位置を検出する。この上側径方向センサ１０７はロータ軸１１３、すなわちそれに固定された回転体１０３の径方向変位を検出し、制御装置２００に送るように構成されている。
【0014】
この制御装置２００においては、例えばＰＩＤ調節機能を有する補償回路が、上側径方向センサ１０７によって検出された位置信号に基づいて、上側径方向電磁石１０４の励磁制御指令信号を生成し、図２に示すアンプ回路１５０（後述する）が、この励磁制御指令信号に基づいて、上側径方向電磁石１０４を励磁制御することで、ロータ軸１１３の上側の径方向位置が調整される。
【0015】
そして、このロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄、ステンレスなど）などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。また、下側径方向電磁石１０５及び下側径方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側径方向センサ１０７と同様に配置され、ロータ軸１１３の下側の径方向位置を上側の径方向位置と同様に調整している。
【0016】
さらに、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディスク１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸１１３の軸方向変位を検出するために軸方向センサ１０９が備えられ、その軸方向位置信号が制御装置２００に送られるように構成されている。
【0017】
そして、制御装置２００において、例えばＰＩＤ調節機能を有する補償回路が、軸方向センサ１０９によって検出された軸方向位置信号に基づいて、軸方向電磁石１０６Ａと軸方向電磁石１０６Ｂのそれぞれの励磁制御指令信号を生成し、アンプ回路１５０が、これらの励磁制御指令信号に基づいて、軸方向電磁石１０６Ａと軸方向電磁石１０６Ｂをそれぞれ励磁制御することで、軸方向電磁石１０６Ａが磁力により金属ディスク１１１を上方に吸引し、軸方向電磁石１０６Ｂが金属ディスク１１１を下方に吸引し、ロータ軸１１３の軸方向位置が調整される。
【0018】
このように、制御装置２００は、この軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになっている。なお、これら上側径方向電磁石１０４、下側径方向電磁石１０５及び軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂを励磁制御するアンプ回路１５０については、後述する。
【0019】
一方、モータ１２１は、ロータ軸１１３を取り囲むように周状に配置された複数の磁極を備えている。各磁極は、ロータ軸１１３との間に作用する電磁力を介してロータ軸１１３を回転駆動するように、制御装置２００によって制御されている。また、モータ１２１には図示しない例えばホール素子、レゾルバ、エンコーダなどの回転速度センサが組み込まれており、この回転速度センサの検出信号によりロータ軸１１３の回転速度が検出されるようになっている。
【0020】
さらに、例えば下側径方向センサ１０８近傍に、図示しない位相センサが取り付けてあり、ロータ軸１１３の回転の位相を検出するようになっている。制御装置２００では、この位相センサと回転速度センサの検出信号を共に用いて磁極の位置を検出するようになっている。
【0021】
回転翼１０２（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・）とわずかの空隙を隔てて複数枚の固定翼１２３（１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・）が配設されている。回転翼１０２（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・）は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成されている。
【0022】
また、固定翼１２３も、同様にロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒１２７の内方に向けて回転翼１０２の段と互い違いに配設されている。そして、固定翼１２３の外周端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ１２５（１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・）の間に嵌挿された状態で支持されている。
【0023】
固定翼スペーサ１２５はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。固定翼スペーサ１２５の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒１２７が固定されている。外筒１２７の底部にはベース部１２９が配設されている。ベース部１２９には排気口１３３が形成され、外部に連通されている。チャンバ側から吸気口１０１に入ってベース部１２９に移送されてきた排気ガスは、排気口１３３へと送られる。
【0024】
さらに、ターボ分子ポンプ１００の用途によって、固定翼スペーサ１２５の下部とベース部１２９の間には、ネジ付スペーサ１３１が配設される。ネジ付スペーサ１３１は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝１３１ａが複数条刻設されている。ネジ溝１３１ａの螺旋の方向は、回転体１０３の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口１３３の方へ移送される方向である。回転体１０３の回転翼１０２（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・）に続く最下部には円筒部１０２ｄが垂下されている。この円筒部１０２ｄの外周面は、円筒状で、かつネジ付スペーサ１３１の内周面に向かって張り出されており、このネジ付スペーサ１３１の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。回転翼１０２および固定翼１２３によってネジ溝１３１ａに移送されてきた排気ガスは、ネジ溝１３１ａに案内されつつベース部１２９へと送られる。
【0025】
ベース部１２９は、ターボ分子ポンプ１００の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。ベース部１２９はターボ分子ポンプ１００を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。
【0026】
かかる構成において、回転翼１０２がロータ軸１１３と共にモータ１２１により回転駆動されると、回転翼１０２と固定翼１２３の作用により、吸気口１０１を通じてチャンバから排気ガスが吸気される。吸気口１０１から吸気された排気ガスは、回転翼１０２と固定翼１２３の間を通り、ベース部１２９へ移送される。このとき、排気ガスが回転翼１０２に接触する際に生ずる摩擦熱や、モータ１２１で発生した熱の伝導などにより、回転翼１０２の温度は上昇するが、この熱は、輻射又は排気ガスの気体分子などによる伝導により固定翼１２３側に伝達される。
【0027】
固定翼スペーサ１２５は、外周部で互いに接合しており、固定翼１２３が回転翼１０２から受け取った熱や排気ガスが固定翼１２３に接触する際に生ずる摩擦熱などを外部へと伝達する。
【0028】
なお、上記では、ネジ付スペーサ１３１は回転体１０３の円筒部１０２ｄの外周に配設し、ネジ付スペーサ１３１の内周面にネジ溝１３１ａが刻設されているとして説明した。しかしながら、これとは逆に円筒部１０２ｄの外周面にネジ溝が刻設され、その周囲に円筒状の内周面を有するスペーサが配置される場合もある。
【0029】
また、ターボ分子ポンプ１００の用途によっては、吸気口１０１から吸引されたガスが上側径方向電磁石１０４、上側径方向センサ１０７、モータ１２１、下側径方向電磁石１０５、下側径方向センサ１０８、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂ、軸方向センサ１０９などで構成される電装部に侵入することのないよう、電装部は周囲をステータコラム１２２で覆われ、このステータコラム１２２内はパージガスにて所定圧に保たれる場合もある。
【0030】
この場合には、ベース部１２９には図示しない配管が配設され、この配管を通じてパージガスが導入される。導入されたパージガスは、保護ベアリング１２０とロータ軸１１３間、モータ１２１のロータとステータ間、ステータコラム１２２と回転翼１０２の内周側円筒部の間の隙間を通じて排気口１３３へ送出される。
【0031】
ここに、ターボ分子ポンプ１００は、機種の特定と、個々に調整された固有のパラメータ（例えば、機種に対応する諸特性）に基づいた制御を要する。この制御パラメータを格納するために、上記ターボ分子ポンプ１００は、その本体内に電子回路部１４１を備えている。電子回路部１４１は、ＥＥＰ－ＲＯＭ等の半導体メモリ及びそのアクセスのための半導体素子等の電子部品、それらの実装用の基板１４３等から構成される。この電子回路部１４１は、ターボ分子ポンプ１００の下部を構成するベース部１２９の例えば中央付近の図示しない回転速度センサの下部に収容され、気密性の底蓋１４５によって閉じられている。
【0032】
ところで、半導体の製造工程では、チャンバに導入されるプロセスガスの中には、その圧力が所定値よりも高くなり、あるいは、その温度が所定値よりも低くなると、固体となる性質を有するものがある。ターボ分子ポンプ１００内部では、排気ガスの圧力は、吸気口１０１で最も低く排気口１３３で最も高い。プロセスガスが吸気口１０１から排気口１３３へ移送される途中で、その圧力が所定値よりも高くなったり、その温度が所定値よりも低くなったりすると、プロセスガスは、固体状となり、ターボ分子ポンプ１００内部に付着して堆積する。
【0033】
例えば、Ａｌエッチング装置にプロセスガスとしてＳｉＣｌ４が使用された場合、低真空（７６０［ｔｏｒｒ］～１０-2［ｔｏｒｒ］）かつ、低温（約２０［℃］）のとき、固体生成物（例えばＡｌＣｌ３）が析出し、ターボ分子ポンプ１００内部に付着堆積することが蒸気圧曲線からわかる。これにより、ターボ分子ポンプ１００内部にプロセスガスの析出物が堆積すると、この堆積物がポンプ流路を狭め、ターボ分子ポンプ１００の性能を低下させる原因となる。そして、前述した生成物は、排気口付近やネジ付スペーサ１３１付近の圧力が高い部分で凝固、付着し易い状況にあった。
【0034】
そのため、この問題を解決するために、従来はベース部１２９等の外周に図示しないヒータや環状の水冷管１４９を巻着させ、かつ例えばベース部１２９に図示しない温度センサ（例えばサーミスタ）を埋め込み、この温度センサの信号に基づいてベース部１２９の温度を一定の高い温度（設定温度）に保つようにヒータの加熱や水冷管１４９による冷却の制御（以下ＴＭＳという。ＴＭＳ；Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ）が行われている。
【0035】
次に、このように構成されるターボ分子ポンプ１００に関して、その上側径方向電磁石１０４、下側径方向電磁石１０５及び軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂを励磁制御するアンプ回路１５０について説明する。このアンプ回路１５０の回路図を図２に示す。
【0036】
図２において、上側径方向電磁石１０４等を構成する電磁石巻線１５１は、その一端がトランジスタ１６１を介して電源１７１の正極１７１ａに接続されており、また、その他端が電流検出回路１８１及びトランジスタ１６２を介して電源１７１の負極１７１ｂに接続されている。そして、トランジスタ１６１、１６２は、いわゆるパワーＭＯＳＦＥＴとなっており、そのソース－ドレイン間にダイオードが接続された構造を有している。
【0037】
このとき、トランジスタ１６１は、そのダイオードのカソード端子１６１ａが正極１７１ａに接続されるとともに、アノード端子１６１ｂが電磁石巻線１５１の一端と接続されるようになっている。また、トランジスタ１６２は、そのダイオードのカソード端子１６２ａが電流検出回路１８１に接続されるとともに、アノード端子１６２ｂが負極１７１ｂと接続されるようになっている。
【0038】
一方、電流回生用のダイオード１６５は、そのカソード端子１６５ａが電磁石巻線１５１の一端に接続されるとともに、そのアノード端子１６５ｂが負極１７１ｂに接続されるようになっている。また、これと同様に、電流回生用のダイオード１６６は、そのカソード端子１６６ａが正極１７１ａに接続されるとともに、そのアノード端子１６６ｂが電流検出回路１８１を介して電磁石巻線１５１の他端に接続されるようになっている。そして、電流検出回路１８１は、例えばホールセンサ式電流センサや電気抵抗素子で構成されている。
【0039】
以上のように構成されるアンプ回路１５０は、一つの電磁石に対応されるものである。そのため、磁気軸受が５軸制御で、電磁石１０４、１０５、１０６Ａ、１０６Ｂが合計１０個ある場合には、電磁石のそれぞれについて同様のアンプ回路１５０が構成され、電源１７１に対して１０個のアンプ回路１５０が並列に接続されるようになっている。
【0040】
さらに、アンプ制御回路１９１は、例えば、制御装置２００の図示しないディジタル・シグナル・プロセッサ部（以下、ＤＳＰ部という）によって構成され、このアンプ制御回路１９１は、トランジスタ１６１、１６２のｏｎ／ｏｆｆを切り替えるようになっている。
【0041】
アンプ制御回路１９１は、電流検出回路１８１が検出した電流値（この電流値を反映した信号を電流検出信号１９１ｃという）と所定の電流指令値とを比較するようになっている。そして、この比較結果に基づき、ＰＷＭ制御による１周期である制御サイクルＴｓ内に発生させるパルス幅の大きさ（パルス幅時間Ｔｐ１、Ｔｐ２）を決めるようになっている。その結果、このパルス幅を有するゲート駆動信号１９１ａ、１９１ｂを、アンプ制御回路１９１からトランジスタ１６１、１６２のゲート端子に出力するようになっている。
【0042】
なお、回転体１０３の回転速度の加速運転中に共振点を通過する際や定速運転中に外乱が発生した際等に、高速かつ強い力での回転体１０３の位置制御をする必要がある。そのため、電磁石巻線１５１に流れる電流の急激な増加（あるいは減少）ができるように、電源１７１としては、例えば５０Ｖ程度の高電圧が使用されるようになっている。また、電源１７１の正極１７１ａと負極１７１ｂとの間には、電源１７１の安定化のために、通常コンデンサが接続されている（図示略）。
【0043】
かかる構成において、トランジスタ１６１、１６２の両方をｏｎにすると、電磁石巻線１５１に流れる電流（以下、電磁石電流ｉＬという）が増加し、両方をｏｆｆにすると、電磁石電流ｉＬが減少する。
【0044】
また、トランジスタ１６１、１６２の一方をｏｎにし他方をｏｆｆにすると、いわゆるフライホイール電流が保持される。そして、このようにアンプ回路１５０にフライホイール電流を流すことで、アンプ回路１５０におけるヒステリシス損を減少させ、回路全体としての消費電力を低く抑えることができる。また、このようにトランジスタ１６１、１６２を制御することにより、ターボ分子ポンプ１００に生じる高調波等の高周波ノイズを低減することができる。さらに、このフライホイール電流を電流検出回路１８１で測定することで電磁石巻線１５１を流れる電磁石電流ｉＬが検出可能となる。
【0045】
すなわち、検出した電流値が電流指令値より小さい場合には、図３に示すように制御サイクルＴｓ（例えば１００μｓ）中で１回だけ、パルス幅時間Ｔｐ１に相当する時間分だけトランジスタ１６１、１６２の両方をｏｎにする。そのため、この期間中の電磁石電流ｉＬは、正極１７１ａから負極１７１ｂへ、トランジスタ１６１、１６２を介して流し得る電流値ｉＬｍａｘ（図示せず）に向かって増加する。
【0046】
一方、検出した電流値が電流指令値より大きい場合には、図４に示すように制御サイクルＴｓ中で１回だけパルス幅時間Ｔｐ２に相当する時間分だけトランジスタ１６１、１６２の両方をｏｆｆにする。そのため、この期間中の電磁石電流ｉＬは、負極１７１ｂから正極１７１ａへ、ダイオード１６５、１６６を介して回生し得る電流値ｉＬｍｉｎ（図示せず）に向かって減少する。
【0047】
そして、いずれの場合にも、パルス幅時間Ｔｐ１、Ｔｐ２の経過後は、トランジスタ１６１、１６２のどちらか１個をｏｎにする。そのため、この期間中は、アンプ回路１５０にフライホイール電流が保持される。
【0048】
（第１の実施形態）
次に、図５から図１６を参照して、第１の実施形態を説明する。
図５は、第１の実施形態に係るターボ分子ポンプの概略構成例を示した図であり、図６は、図５に示す第１の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
この第１の実施形態では、固定翼１２３の内リム６００又は外リム７００もしくは双方に、排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面（内リムテーパー面６１０、外リムテーパー面７１０）が設けられている。
このテーパー面が設けられているのは、複数段の回転翼のうち一段の回転翼の外径が、排気口側の方が小径に形成されている箇所、もしくは、複数段の回転翼のうち一段の回転翼の内径が、排気口側の方が大径に形成されている箇所である。これらの回転翼の間に、テーパー面が設けられた固定翼１２３が、配置されている。
次に、図５から図１６を参照して、第１の実施形態を説明する。
図５は、第１の実施形態に係るターボ分子ポンプの概略構成例を示した図であり、図６は、図５に示す第１の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
この第１の実施形態では、固定翼１２３の内リム６００又は外リム７００もしくは双方に、排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面（内リムテーパー面６１０、外リムテーパー面７１０）が設けられている。
このテーパー面が設けられているのは、複数段の回転翼のうち一段の回転翼の外径が、排気口側の方が小径に形成されている箇所、もしくは、複数段の回転翼のうち一段の回転翼の内径が、排気口側の方が大径に形成されている箇所である。これらの回転翼の間に、テーパー面が設けられた固定翼１２３が、配置されている。
【0049】
図７は、第１の実施形態Ａに係る内リムにテーパー面を設けた固定翼１２３を示した図である。
この図に示すように、内リム６００に排気口側に向かって下り勾配を有する内リムテーパー面６１０が設けられている。この内リムテーパー面６１０に送られてきた分子が当たると、直角に反射し、上段の回転翼にたたかれ、次段へ送られる。この観点から、内リム６００も内リムテーパー面６１０を設けたことにより、排気作用に貢献することとなる。
この図から明らかなように、固定翼１２３のブレード５５０は、内リム６００と外リム７００により、保持、固定されている。
この図に示すように、内リム６００に排気口側に向かって下り勾配を有する内リムテーパー面６１０が設けられている。この内リムテーパー面６１０に送られてきた分子が当たると、直角に反射し、上段の回転翼にたたかれ、次段へ送られる。この観点から、内リム６００も内リムテーパー面６１０を設けたことにより、排気作用に貢献することとなる。
この図から明らかなように、固定翼１２３のブレード５５０は、内リム６００と外リム７００により、保持、固定されている。
【0050】
図８は、第１の実施形態Ｂに係る内リムにテーパー面を設けた固定翼１２３を示した図である。この第１の実施形態Ｂに係る固定翼１２３は、内リム垂直面６２０と、内リム円周面６３０が形成されている。
固定翼１２３は、例えばアルミニウムを材料としており、金型で鋳物として製造されるか、切削で製造される。
金型で鋳物として製造される場合、製品を金型から抜く必要があるため、内リム垂直面６２０を設けている。ブレード５５０の下側には、内リム垂直面６２０が形成される箇所に、外リム７００と平行な内リム円周面６３０が形成されている。
固定翼１２３は、例えばアルミニウムを材料としており、金型で鋳物として製造されるか、切削で製造される。
金型で鋳物として製造される場合、製品を金型から抜く必要があるため、内リム垂直面６２０を設けている。ブレード５５０の下側には、内リム垂直面６２０が形成される箇所に、外リム７００と平行な内リム円周面６３０が形成されている。
【0051】
図９は、第１の実施形態Ｃに係る内リム及び外リムにテーパー面を設けた固定翼１２３を示した図である。この図に示すように、内リム６００だけでなく、外リム７００にも排気口側に向かって下り勾配を有する外リムテーパー面７１０が設けられている。
この第１の実施形態Ｃでは、内リム６００だけでなく外リム７００も排気作用に貢献することとなる。
なお、この第１の実施形態Ｃでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
この第１の実施形態Ｃでは、内リム６００だけでなく外リム７００も排気作用に貢献することとなる。
なお、この第１の実施形態Ｃでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
【0052】
図１０は、第１の実施形態Ｄに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつ垂直面と円周面を設けた固定翼１２３を示した図である。
第１の実施形態Ｂと同様に、金型で鋳物として製造される場合、製品を金型から抜く必要があるため、外リム垂直面７２０を設けている。ブレード５５０の下側には、外リム垂直面７２０が形成される箇所に、内リム６００と平行な外リム円周面７３０が形成されている。
第１の実施形態Ｂと同様に、金型で鋳物として製造される場合、製品を金型から抜く必要があるため、外リム垂直面７２０を設けている。ブレード５５０の下側には、外リム垂直面７２０が形成される箇所に、内リム６００と平行な外リム円周面７３０が形成されている。
【0053】
図１１（ａ）（ｂ）は、第１の実施形態Ｅに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつ外リムのブレードより上側（下側）にもテーパー面がある固定翼１２３を示した図である。
この第１の実施形態Ｅは、内リム６００側は、第１の実施形態Ａや実施形態Ｃと同一形状であるが、外リム７００の構成が第１の実施形態Ｃと相違している。すなわち、図１１（ａ）に示す実施形態では、ブレード５５０の表面より上側まで外リムテーパー面７１０が形成されて、余剰部７４０が存在している。
一方、図１１（ｂ）に示す実施形態では、ブレード５５０の裏面より下側まで外リムテーパー面７１０が形成されて、余剰部７４０が存在している。
この余剰部７４０が、存在していることで、固定翼１２３の軸方向の寸法を規定するのが容易になる。すなわち、ブレード５５０が影響しない範囲で高さ方向の調整を行うことができる。
この第１の実施形態Ｅでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
なお、この第１の実施形態Ｅは、垂直面が存在しないので、切削で製造されている。
この第１の実施形態Ｅは、内リム６００側は、第１の実施形態Ａや実施形態Ｃと同一形状であるが、外リム７００の構成が第１の実施形態Ｃと相違している。すなわち、図１１（ａ）に示す実施形態では、ブレード５５０の表面より上側まで外リムテーパー面７１０が形成されて、余剰部７４０が存在している。
一方、図１１（ｂ）に示す実施形態では、ブレード５５０の裏面より下側まで外リムテーパー面７１０が形成されて、余剰部７４０が存在している。
この余剰部７４０が、存在していることで、固定翼１２３の軸方向の寸法を規定するのが容易になる。すなわち、ブレード５５０が影響しない範囲で高さ方向の調整を行うことができる。
この第１の実施形態Ｅでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
なお、この第１の実施形態Ｅは、垂直面が存在しないので、切削で製造されている。
【0054】
図１２は、第１の実施形態Ｆに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつブレードより上側（下側）に内周面がある固定翼１２３を示した図である。
この第１の実施形態Ｆは、内リム６００側は、第１の実施形態Ａや実施形態Ｃと同一形状であるが、外リム７００の構成が第１の実施形態Ｃと相違している。すなわち、ブレード５５０の表面より上側（下側）に、外リム内周面７６０が形成されている。外リム内周面７６０は、外リムテーパー面７１０と異なり、ターボ分子ポンプ１００の軸線方向と平行な面である。
この外リム内周面７６０を設け、軸方向の寸法を調整することで、固定翼１２３をターボ分子ポンプ１００内に設置する際、軸方向位置決めを行うことができる。
この第１の実施形態Ｆでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみにテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
なお、この第１の実施形態Ｆは、垂直面が存在しないので、切削で製造されている。
この第１の実施形態Ｆは、内リム６００側は、第１の実施形態Ａや実施形態Ｃと同一形状であるが、外リム７００の構成が第１の実施形態Ｃと相違している。すなわち、ブレード５５０の表面より上側（下側）に、外リム内周面７６０が形成されている。外リム内周面７６０は、外リムテーパー面７１０と異なり、ターボ分子ポンプ１００の軸線方向と平行な面である。
この外リム内周面７６０を設け、軸方向の寸法を調整することで、固定翼１２３をターボ分子ポンプ１００内に設置する際、軸方向位置決めを行うことができる。
この第１の実施形態Ｆでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみにテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
なお、この第１の実施形態Ｆは、垂直面が存在しないので、切削で製造されている。
【0055】
図１３は、第１の実施形態Ｇに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつ外リムのブレードより上側（下側）に内周面があり、垂直面を設けた固定翼１２３を示した図である。この実施形態Ｇと第１の実施形態Ｆとの相違点は、内リム垂直面６２０と外リム垂直面７２０が設けられている点である。
この外リム内周面７６０を設け、軸方向の寸法を調整することで、固定翼１２３をターボ分子ポンプ１００内に設置する際、軸方向位置決めを行うことができる。
この第１の実施形態Ｇでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
この外リム内周面７６０を設け、軸方向の寸法を調整することで、固定翼１２３をターボ分子ポンプ１００内に設置する際、軸方向位置決めを行うことができる。
この第１の実施形態Ｇでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
【0056】
図１４（ａ）、（ｂ）は、第１の実施形態Ｈに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつ外リムのブレードより上側（下側）にもテーパー面があり、垂直面を設けた固定翼１２３を示した図である。（ａ）は、上側から見た外観図であり、（ｂ）は、下側から見た外観図である。
この実施形態と第１の実施形態Ｅとの相違点は、内リム垂直面６２０と外リム垂直面７２０が設けられている点である。
余剰部７４０が存在していることで、固定翼１２３の軸方向の寸法を規定するのが容易になる。
この第１の実施形態Ｈでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみにテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
この実施形態と第１の実施形態Ｅとの相違点は、内リム垂直面６２０と外リム垂直面７２０が設けられている点である。
余剰部７４０が存在していることで、固定翼１２３の軸方向の寸法を規定するのが容易になる。
この第１の実施形態Ｈでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみにテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
【0057】
図１５は、第１の実施形態Ｉに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつフランジを設けた固定翼１２３を示した図である。
この実施形態Ｉでは、外リム７００から外側（設置時に外筒１２７側）に突出したフランジ７５０が設けられている。
このフランジ７５０により、固定翼１２３の軸方向の位置決めや保持を行うことができる。すなわち、フランジ７５０の厚み（軸方向の高さ）の調整をすることで、固定翼１２３の軸方向の位置決めを行うことができ、かつ、このフランジ７５０を挟持することで、外筒１２７に固定することができる。
この第１の実施形態Ｉでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
なお、この第１の実施形態Ｉは、垂直面が存在しないので、切削で製造されている。
この実施形態Ｉでは、外リム７００から外側（設置時に外筒１２７側）に突出したフランジ７５０が設けられている。
このフランジ７５０により、固定翼１２３の軸方向の位置決めや保持を行うことができる。すなわち、フランジ７５０の厚み（軸方向の高さ）の調整をすることで、固定翼１２３の軸方向の位置決めを行うことができ、かつ、このフランジ７５０を挟持することで、外筒１２７に固定することができる。
この第１の実施形態Ｉでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
なお、この第１の実施形態Ｉは、垂直面が存在しないので、切削で製造されている。
【0058】
図１６は、第１の実施形態Ｊに係る内リム及び外リムにテーパー面を設け、かつ内リム垂直面と外リム垂直面を設け、フランジを設けた固定翼１２３を示した図である。
この実施形態Ｊでは、実施形態Ｉと同様に、外リム７００から外側（設置時に外筒１２７側）に突出したフランジ７５０が設けられている。
このフランジ７５０により、固定翼１２３の軸方向の位置決めや保持を行うことができる。すなわち、フランジ７５０の厚み（軸方向の高さ）の調整を行うことで、固定翼１２３の軸方向の位置決めを行うことができ、かつ、このフランジ７５０を挟持することで、外筒１２７に固定することができる。
この実施形態Ｊと第１の実施形態Ｉとの相違点は、内リム垂直面６２０と外リム垂直面７２０が設けられている点である。
この第１の実施形態Ｊでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
この実施形態Ｊでは、実施形態Ｉと同様に、外リム７００から外側（設置時に外筒１２７側）に突出したフランジ７５０が設けられている。
このフランジ７５０により、固定翼１２３の軸方向の位置決めや保持を行うことができる。すなわち、フランジ７５０の厚み（軸方向の高さ）の調整を行うことで、固定翼１２３の軸方向の位置決めを行うことができ、かつ、このフランジ７５０を挟持することで、外筒１２７に固定することができる。
この実施形態Ｊと第１の実施形態Ｉとの相違点は、内リム垂直面６２０と外リム垂直面７２０が設けられている点である。
この第１の実施形態Ｊでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
【0059】
（第２の実施形態）
次に、図１７から図２１を参照して、第２の実施形態を説明する。
図１７は、第２の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
この第２の実施形態では、固定翼１２３の外リム７００に、排気口側に向かって下り勾配を有する外リムテーパー面７１０と外リム内周面７６０が設けられている。すなわち、外リム７００に、外リムテーパー面７１０と外リム内周面７６０が共存していることを特徴とする。なお、内リム６００に関しては、第１の実施形態と同様である。
次に、図１７から図２１を参照して、第２の実施形態を説明する。
図１７は、第２の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
この第２の実施形態では、固定翼１２３の外リム７００に、排気口側に向かって下り勾配を有する外リムテーパー面７１０と外リム内周面７６０が設けられている。すなわち、外リム７００に、外リムテーパー面７１０と外リム内周面７６０が共存していることを特徴とする。なお、内リム６００に関しては、第１の実施形態と同様である。
【0060】
図１８は、第２の実施形態Ａに係る外リムにテーパー面及び内周面を設けた固定翼１２３を示した図である。
外リムテーパー面７１０は、ブレード５５０に対応した位置に配置されている。その下部に外リム内周面７６０が設けられている。この外リム内周面７６０は、傾斜がなく、ターボ分子ポンプ１００の軸線方向と平行である。
この外リム内周面７６０の高さ方向を調整することで、固定翼１２３の位置決めを行うことができる。この外リム内周面７６０に対応する位置には、ブレード５５０が存在しないので、調整を容易に行うことができる。
この第２の実施形態Ａでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
なお、この第２の実施形態Ａは、垂直面が存在しないので、切削で製造されている。
外リムテーパー面７１０は、ブレード５５０に対応した位置に配置されている。その下部に外リム内周面７６０が設けられている。この外リム内周面７６０は、傾斜がなく、ターボ分子ポンプ１００の軸線方向と平行である。
この外リム内周面７６０の高さ方向を調整することで、固定翼１２３の位置決めを行うことができる。この外リム内周面７６０に対応する位置には、ブレード５５０が存在しないので、調整を容易に行うことができる。
この第２の実施形態Ａでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
なお、この第２の実施形態Ａは、垂直面が存在しないので、切削で製造されている。
【0061】
図１９は、第２の実施形態Ｂに係る外リムにテーパー面及び内周面を設け、かつフランジを設けた固定翼１２３を示した図である。
外リムテーパー面７１０は、ブレード５５０に対応した位置に配置されている。その下部に外リム内周面７６０が設けられている。
この第２の実施形態Ｂと第２の実施形態Ａとの相違点は、外リム７００の外側（設置時に外筒１２７側）に突出したフランジ７５０が設けられていることである。
このフランジ７５０により、固定翼１２３の軸方向の位置決めや保持を行うことができる。すなわち、フランジ７５０の厚み（軸方向の高さ）の調整を行うことで、固定翼１２３の軸方向の位置決めを行うことができ、かつ、このフランジ７５０を挟持することで、外筒１２７に固定することができる。
この第２の実施形態Ｂでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
なお、この第２の実施形態Ｂは、垂直面が存在しないので、切削で製造されている。
外リムテーパー面７１０は、ブレード５５０に対応した位置に配置されている。その下部に外リム内周面７６０が設けられている。
この第２の実施形態Ｂと第２の実施形態Ａとの相違点は、外リム７００の外側（設置時に外筒１２７側）に突出したフランジ７５０が設けられていることである。
このフランジ７５０により、固定翼１２３の軸方向の位置決めや保持を行うことができる。すなわち、フランジ７５０の厚み（軸方向の高さ）の調整を行うことで、固定翼１２３の軸方向の位置決めを行うことができ、かつ、このフランジ７５０を挟持することで、外筒１２７に固定することができる。
この第２の実施形態Ｂでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
なお、この第２の実施形態Ｂは、垂直面が存在しないので、切削で製造されている。
【0062】
図２０は、第２の実施形態Ｃに係る外リムにテーパー面及び内周面を設け、かつ内リム垂直面及び外リム垂直面を設けた固定翼１２３を示した図である。
外リムテーパー面７１０は、ブレード５５０に対応した位置に配置されている。その下部に外リム内周面７６０が設けられている。
この実施形態Ｃと第２の実施形態Ａと相違する点は、金型で鋳物として製造される場合、製品を金型から抜く必要があるため、内リム垂直面６３０及び外リム垂直面７２０を設けていることである。
この第２の実施形態Ｃでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
外リムテーパー面７１０は、ブレード５５０に対応した位置に配置されている。その下部に外リム内周面７６０が設けられている。
この実施形態Ｃと第２の実施形態Ａと相違する点は、金型で鋳物として製造される場合、製品を金型から抜く必要があるため、内リム垂直面６３０及び外リム垂直面７２０を設けていることである。
この第２の実施形態Ｃでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
【0063】
図２１は、第２の実施形態Ｄに係る外リムにテーパー面及び内周面を設け、かつ、フランジを設けた固定翼１２３を示した図である。
外リムテーパー面７１０は、ブレード５５０に対応した位置に配置されている。その下部に外リム内周面７６０が設けられている。
この第２の実施形態Ｄと第２の実施形態Ｃとの相違点は、外リム７００の外側（設置時に外筒１２７側）に突出したフランジ７５０が設けられていることである。
このフランジ７５０により、固定翼１２３の軸方向の位置決めや保持を行うことができる。すなわち、フランジ７５０の厚み（軸方向の高さ）の調整を行うことで、固定翼１２３の軸方向の位置決めを行うことができ、かつこのフランジ７５０を挟持することで、外筒１２７に固定することができる。
この第２の実施形態Ｄでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
外リムテーパー面７１０は、ブレード５５０に対応した位置に配置されている。その下部に外リム内周面７６０が設けられている。
この第２の実施形態Ｄと第２の実施形態Ｃとの相違点は、外リム７００の外側（設置時に外筒１２７側）に突出したフランジ７５０が設けられていることである。
このフランジ７５０により、固定翼１２３の軸方向の位置決めや保持を行うことができる。すなわち、フランジ７５０の厚み（軸方向の高さ）の調整を行うことで、固定翼１２３の軸方向の位置決めを行うことができ、かつこのフランジ７５０を挟持することで、外筒１２７に固定することができる。
この第２の実施形態Ｄでは、内リム６００及び外リム７００の両方にテーパー面（６１０、７１０）を設けているが、外リム７００のみに外リムテーパー面７１０を設けるようにしてもよい。
【0064】
（第３の実施形態）
次に、図２２を参照して、第３の実施形態を説明する。
図２２は、第３の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
この第３の実施形態では、第１の実施形態で用いた固定翼１２３を逆向き又は同一向きに配置する。そして、少なくとも最終段の固定翼１２３は、逆向きに配置する。
このように固定翼１２３を配置することにより、同一サイズの製品（固定翼１２３）を兼用して用いることができ、製造コストを削減することができる。
また、外リムテーパー面７１０が、連続して繋がるため、スペーサに対しての隙間を設けなくすることができる。
次に、図２２を参照して、第３の実施形態を説明する。
図２２は、第３の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
この第３の実施形態では、第１の実施形態で用いた固定翼１２３を逆向き又は同一向きに配置する。そして、少なくとも最終段の固定翼１２３は、逆向きに配置する。
このように固定翼１２３を配置することにより、同一サイズの製品（固定翼１２３）を兼用して用いることができ、製造コストを削減することができる。
また、外リムテーパー面７１０が、連続して繋がるため、スペーサに対しての隙間を設けなくすることができる。
【0065】
（第４の実施形態）
次に、図２３から図２５を参照して、第４の実施形態を説明する。
図２３は、第４の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
この第４の実施形態では、固定翼１２３の内リム６００に、排気口側に向かって下り勾配を有する内リムテーパー面６１０が設けられている。すなわち、上流に位置する固定翼１２３のブレード５５０の根元径が下流に位置する固定翼１２３のブレード５５０の根元径より小さい箇所に位置している内リム６００に内リムテーパー面６１０が設けられている。
次に、図２３から図２５を参照して、第４の実施形態を説明する。
図２３は、第４の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
この第４の実施形態では、固定翼１２３の内リム６００に、排気口側に向かって下り勾配を有する内リムテーパー面６１０が設けられている。すなわち、上流に位置する固定翼１２３のブレード５５０の根元径が下流に位置する固定翼１２３のブレード５５０の根元径より小さい箇所に位置している内リム６００に内リムテーパー面６１０が設けられている。
【0066】
図２４は、第４の実施形態Ａに係る内リム６００に内リムテーパー面６１０を設けた固定翼１２３を示している。この図２４に示した内リム６００は、内リム垂直面６２０が存在しないので、切削で製造されたものである。
図２５は、第４の実施形態Ｂに係る内リム６００に内リムテーパー面６１０を設け、かつ内リム垂直面を設けた固定翼１２３を示している。この図２５に示した内リム６００は、内リム垂直面６２０が存在するので、金型により鋳物で製造されたものである。
図２４及び図２５には、共に外リム７００が存在しないタイプの固定翼１２３を示しているが、この実施形態４は、外リム７００が存在するタイプの固定翼１２３にも適用することができる。
図２５は、第４の実施形態Ｂに係る内リム６００に内リムテーパー面６１０を設け、かつ内リム垂直面を設けた固定翼１２３を示している。この図２５に示した内リム６００は、内リム垂直面６２０が存在するので、金型により鋳物で製造されたものである。
図２４及び図２５には、共に外リム７００が存在しないタイプの固定翼１２３を示しているが、この実施形態４は、外リム７００が存在するタイプの固定翼１２３にも適用することができる。
【0067】
（第５の実施形態）
次に、図２６から図２８を参照して、第５の実施形態を説明する。
図２６は、第５の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
この第５の実施形態では、外枠１２７側を保持し、固定翼１２３の高さ方向の位置決めを行う固定翼スペーサ部８７０を有する固定翼スペーサ８００に関する。
図２７（第５の実施形態Ａ）及び図２８（第５の実施形態Ｂ）は、この固定翼スペーサ８００の外観を示した図である。これらの図に示すように、この固定翼スペーサ８００は、スペーサ部８７０から固定翼１２３の高さ方向の範囲内に突出する高さ方向に突出する突出部８６０が設けられ、固定翼スペーサ部８７０の内周面８３０及び突出部８６０の少なくとも一部に、排気口側に向かって下り勾配を有する固定翼スペーサテーパー面８１０が形成されている。固定翼スペーサ部８７０の内周面８３０及び突出部８６０が固定翼１２３の高さ方向の範囲内に突出した範囲も「固定翼の外周部」として定義する。
次に、図２６から図２８を参照して、第５の実施形態を説明する。
図２６は、第５の実施形態に係るターボ分子ポンプの部分拡大図である。
この第５の実施形態では、外枠１２７側を保持し、固定翼１２３の高さ方向の位置決めを行う固定翼スペーサ部８７０を有する固定翼スペーサ８００に関する。
図２７（第５の実施形態Ａ）及び図２８（第５の実施形態Ｂ）は、この固定翼スペーサ８００の外観を示した図である。これらの図に示すように、この固定翼スペーサ８００は、スペーサ部８７０から固定翼１２３の高さ方向の範囲内に突出する高さ方向に突出する突出部８６０が設けられ、固定翼スペーサ部８７０の内周面８３０及び突出部８６０の少なくとも一部に、排気口側に向かって下り勾配を有する固定翼スペーサテーパー面８１０が形成されている。固定翼スペーサ部８７０の内周面８３０及び突出部８６０が固定翼１２３の高さ方向の範囲内に突出した範囲も「固定翼の外周部」として定義する。
【0068】
各突出部８６０の間には、設置時に固定翼１２３のブレード５５０を嵌合させて保持するブレードの嵌合溝８２０が設けられている。
図２８に示した固定翼スペーサ８００は、さらに、固定翼スペーサフランジ８５０が設けられている。この固定翼スペーサフランジ８５０により、固定翼スペーサ８００の高さ方向の位置決めを行ったり、これを挟持されることにより、固定翼スペーサ８００を保持、固定することができる。
図２８に示した固定翼スペーサ８００は、さらに、固定翼スペーサフランジ８５０が設けられている。この固定翼スペーサフランジ８５０により、固定翼スペーサ８００の高さ方向の位置決めを行ったり、これを挟持されることにより、固定翼スペーサ８００を保持、固定することができる。
【0069】
（テーパー面の角度について）
上記各実施形態１から５におけるテーパー面の角度について説明する。
テーパー面の角度については、排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面（傾斜面）であれば、特に制限はない。
図２９（ａ）は、第１の実施形態Ｈに対応した固定翼１２３の断面図である。この図に示す例では、固定翼スペーサ１２５の内径下端Ａと固定翼スペーサ１２５の内径上端Ｂを結ぶ線（仮想線）の角度で固定翼１２３にテーパー面を設けている。
また、図２９（ｂ）は、第２の実施形態Ｄに対応した固定翼１２３の断面図である。この図に示す例では、上段の回転翼１０２の先端Ｘから下段の固定翼１２３へ下ろした垂線の交点Ｈから（１）（固定翼１２３のブレード５５０の付け根）、又は（２）（固定翼１２３の内周下面）の各点を結ぶ線（仮想線）の何れかの角度で固定翼１２３にテーパー面を設けている。
このように、テーパー面の角度は種々の角度が可能であり、各種状況に応じて適宜決定できる事項である。
上記各実施形態１から５におけるテーパー面の角度について説明する。
テーパー面の角度については、排気口側に向かって下り勾配を有するテーパー面（傾斜面）であれば、特に制限はない。
図２９（ａ）は、第１の実施形態Ｈに対応した固定翼１２３の断面図である。この図に示す例では、固定翼スペーサ１２５の内径下端Ａと固定翼スペーサ１２５の内径上端Ｂを結ぶ線（仮想線）の角度で固定翼１２３にテーパー面を設けている。
また、図２９（ｂ）は、第２の実施形態Ｄに対応した固定翼１２３の断面図である。この図に示す例では、上段の回転翼１０２の先端Ｘから下段の固定翼１２３へ下ろした垂線の交点Ｈから（１）（固定翼１２３のブレード５５０の付け根）、又は（２）（固定翼１２３の内周下面）の各点を結ぶ線（仮想線）の何れかの角度で固定翼１２３にテーパー面を設けている。
このように、テーパー面の角度は種々の角度が可能であり、各種状況に応じて適宜決定できる事項である。
【0070】
また、各実施形態において、テーパー面だけでなく、緩やかな曲線形状の面を用いるようにしてもよい。
【0071】
なお、本発明の実施形態および各変形例は、必要に応じて組み合わせる構成にしてもよい。
【0072】
また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変をなすことができ、そして、本発明が当該改変されたものにも及ぶことは当然である。
【符号の説明】
【0073】
１００ ターボ分子ポンプ
１０１ 吸気口
１０２ 回転翼
１０３ 回転体
１１３ ロータ軸
１２３ 固定翼
１２５ 固定翼スペーサ
１２７ 外筒
１２９ ベース部
１３３ 排気口
２００ 制御装置
５５０ ブレード
６００ 内リム
６１０ 内リムテーパー面
６２０ 内リム垂直面
６３０ 内リム円周面
７００ 外リム
７１０ 外リムテーパー面
７２０ 外リム垂直面
７３０ 外リム円周面
７４０ 余剰部
７５０ フランジ
７６０ 外リム内周面
８００ 固定翼スペーサ
８１０ 固定翼スペーサテーパー面
８２０ ブレードの嵌合溝
８３０ 固定翼スペーサ内周面
８５０ 固定翼スペーサフランジ
８６０ 突出部
８７０ 固定翼スペーサ部
１０１ 吸気口
１０２ 回転翼
１０３ 回転体
１１３ ロータ軸
１２３ 固定翼
１２５ 固定翼スペーサ
１２７ 外筒
１２９ ベース部
１３３ 排気口
２００ 制御装置
５５０ ブレード
６００ 内リム
６１０ 内リムテーパー面
６２０ 内リム垂直面
６３０ 内リム円周面
７００ 外リム
７１０ 外リムテーパー面
７２０ 外リム垂直面
７３０ 外リム円周面
７４０ 余剰部
７５０ フランジ
７６０ 外リム内周面
８００ 固定翼スペーサ
８１０ 固定翼スペーサテーパー面
８２０ ブレードの嵌合溝
８３０ 固定翼スペーサ内周面
８５０ 固定翼スペーサフランジ
８６０ 突出部
８７０ 固定翼スペーサ部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】