知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-08-30
(45)【発行日】2024-09-09
(54)【発明の名称】液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20240902BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 303
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2020202682
(22)【出願日】2020-12-07
(65)【公開番号】P2022090337
(43)【公開日】2022-06-17
【審査請求日】2023-10-04
(73)【特許権者】
【識別番号】501167725
【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142837
【弁理士】
【氏名又は名称】内野 則彰
(74)【代理人】
【識別番号】100166305
【弁理士】
【氏名又は名称】谷川 徹
(72)【発明者】
【氏名】中山 仁
【審査官】小宮山 文男
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１１－２３５４８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－１２４９３５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－０７１２７６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１液体を噴射するノズル孔に連通する噴射チャネルと、前記第１液体を噴射しない非噴射チャネルと、を有するアクチュエータプレートを備え、前記非噴射チャネルの少なくとも一部には、前記第１液体とは異なる第２液体が充填されており、
前記アクチュエータプレートに接合され、前記噴射チャネルに連通する第１液体流路と、前記非噴射チャネルに連通する第２液体流路と、を有するカバープレートを更に備え、
前記第２液体流路は、
前記非噴射チャネルの第１端に連通する供給流路と、
前記非噴射チャネルの第２端に連通する排出流路と、を含み、
前記第２液体は、前記供給流路、前記非噴射チャネル及び前記排出流路を通じて循環している
液体噴射ヘッドチップ。
【請求項2】
前記第１液体は、導電性を有し、前記第２液体は、前記第１液体よりも導電性が低い
請求項１に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項3】
前記噴射チャネル及び前記非噴射チャネルは、それぞれ複数設けられ、複数の前記噴射チャネル及び前記非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートの厚さ方向から見て、それぞれ第１方向に延びるとともに、前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて交互に配置され、
前記第２液体は、複数の前記非噴射チャネルのそれぞれを通じて循環している
請求項１または２に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項4】
前記供給流路は、複数の前記非噴射チャネルの前記第１端のそれぞれに跨って前記第２方向に延び、前記排出流路は、複数の前記非噴射チャネルの前記第２端のそれぞれに跨って前記第２方向に延びている
請求項３に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項5】
請求項１から４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップを備える液体噴射ヘッド。
【請求項6】
請求項５に記載の液体噴射ヘッドを備える液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、記録紙等の被記録媒体に液滴状のインクを噴射して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタがある。
例えば、インクジェットヘッドには、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電体に電圧をかけて変形させることでインクを噴射させる方式がある。より精細な印刷のためには、インクを噴射するノズル孔の密度を上げる方法が採用される。このときに、密度を向上させるため、アクチュエータプレートの複数のチャネル等（ヘッドチップの構造）も微細化される。
例えば、インクジェットヘッドにおいてインクに接液する部分には、ポリパラキシリレン（パリレン：登録商標）膜等の保護膜を形成して耐久性を担保している。例えば、チャネルにポリパラキシリレン膜を形成することで、チャネル内に形成された電極がインクによって腐食されることを抑制している。
ところで、ヘッドチップの耐久性は、様々な要因により決定される。例えば、要因の一例として、導電性を有する水性インクによる共通電極と個別電極との短絡に起因する不良がある。この不良は、ヘッドチップを構成する部材の接着部分において、上述のインクが噴射チャネルから漏れ出て非噴射チャネルに浸入することが原因で発生する。例えば、国際公開第２０１１／０８９９３９号には、接着剤を工夫することにより、接着部分の不良を低減させる方法が開示されている。
例えば、インクジェットヘッドには、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電体に電圧をかけて変形させることでインクを噴射させる方式がある。より精細な印刷のためには、インクを噴射するノズル孔の密度を上げる方法が採用される。このときに、密度を向上させるため、アクチュエータプレートの複数のチャネル等（ヘッドチップの構造）も微細化される。
例えば、インクジェットヘッドにおいてインクに接液する部分には、ポリパラキシリレン（パリレン：登録商標）膜等の保護膜を形成して耐久性を担保している。例えば、チャネルにポリパラキシリレン膜を形成することで、チャネル内に形成された電極がインクによって腐食されることを抑制している。
ところで、ヘッドチップの耐久性は、様々な要因により決定される。例えば、要因の一例として、導電性を有する水性インクによる共通電極と個別電極との短絡に起因する不良がある。この不良は、ヘッドチップを構成する部材の接着部分において、上述のインクが噴射チャネルから漏れ出て非噴射チャネルに浸入することが原因で発生する。例えば、国際公開第２０１１／０８９９３９号には、接着剤を工夫することにより、接着部分の不良を低減させる方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】国際公開第２０１１／０８９９３９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、インクジェットヘッドに用いるインクには様々な成分が含まれる。そのため、接着剤の組成や接着剤の使用方法を最適化しただけでは、全てのインクに対応することは困難である。
一方、上述のインクが噴射チャネルから漏れ出て非噴射チャネルに浸入した場合であっても、非噴射チャネルに浸入したインク（第１液体）が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制することが要求されている。
一方、上述のインクが噴射チャネルから漏れ出て非噴射チャネルに浸入した場合であっても、非噴射チャネルに浸入したインク（第１液体）が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制することが要求されている。
【0005】
本開示は、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制することができる液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１液体を噴射するノズル孔に連通する噴射チャネルと、前記第１液体を噴射しない非噴射チャネルと、を有するアクチュエータプレートを備え、前記非噴射チャネルの少なくとも一部には、前記第１液体とは異なる第２液体が充填されており、前記アクチュエータプレートに接合され、前記噴射チャネルに連通する第１液体流路と、前記非噴射チャネルに連通する第２液体流路と、を有するカバープレートを更に備え、前記第２液体流路は、前記非噴射チャネルの第１端に連通する供給流路と、前記非噴射チャネルの第２端に連通する排出流路と、を含み、前記第２液体は、前記供給流路、前記非噴射チャネル及び前記排出流路を通じて循環している。
（１）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１液体を噴射するノズル孔に連通する噴射チャネルと、前記第１液体を噴射しない非噴射チャネルと、を有するアクチュエータプレートを備え、前記非噴射チャネルの少なくとも一部には、前記第１液体とは異なる第２液体が充填されており、前記アクチュエータプレートに接合され、前記噴射チャネルに連通する第１液体流路と、前記非噴射チャネルに連通する第２液体流路と、を有するカバープレートを更に備え、前記第２液体流路は、前記非噴射チャネルの第１端に連通する供給流路と、前記非噴射チャネルの第２端に連通する排出流路と、を含み、前記第２液体は、前記供給流路、前記非噴射チャネル及び前記排出流路を通じて循環している。
【0007】
本態様によれば、第１液体が噴射チャネルから漏れ出て非噴射チャネルに浸入した場合であっても、第２液体の介在により、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制することができる。
さらに、非噴射チャネルにおける第２液体の循環により、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することをより効果的に抑制することができる。
加えて、発熱部である噴射チャネルを冷却することができる。
例えば、噴射チャネルを通るインクを冷却に用いる構成の場合、インクの噴射量が増加したときに冷却効率が低下する可能性がある。これに対しこの構成によれば、非噴射チャネルに第２液体を循環させることで、第１液体の噴射量が増加しても冷却効率が低下しないため、冷却効率のばらつきを抑制することができる。
例えば、ヘッドチップに接する部位に冷却用部材を配置する構成の場合、発熱部である噴射チャネルと冷却用部材とが遠く離れる可能性がある。これに対しこの構成によれば、第２液体が循環する非噴射チャネルは、発熱部である噴射チャネルに近いため、効率よく冷却することができる。
さらに、非噴射チャネルにおける第２液体の循環により、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することをより効果的に抑制することができる。
加えて、発熱部である噴射チャネルを冷却することができる。
例えば、噴射チャネルを通るインクを冷却に用いる構成の場合、インクの噴射量が増加したときに冷却効率が低下する可能性がある。これに対しこの構成によれば、非噴射チャネルに第２液体を循環させることで、第１液体の噴射量が増加しても冷却効率が低下しないため、冷却効率のばらつきを抑制することができる。
例えば、ヘッドチップに接する部位に冷却用部材を配置する構成の場合、発熱部である噴射チャネルと冷却用部材とが遠く離れる可能性がある。これに対しこの構成によれば、第２液体が循環する非噴射チャネルは、発熱部である噴射チャネルに近いため、効率よく冷却することができる。
【0008】
（２）上記（１）の態様の液体噴射ヘッドチップにおいて、前記第１液体は、導電性を有し、前記第２液体は、前記第１液体よりも導電性が低いことが好ましい。
本態様によれば、導電性を有する第１液体が噴射チャネルから漏れ出て非噴射チャネルに浸入した場合であっても、第１液体よりも導電性が低い第２液体の介在により、非噴射チャネルに浸入した第１液体の導電率を低下させることができるため、不良発生時期を遅らせることができる。
本態様によれば、導電性を有する第１液体が噴射チャネルから漏れ出て非噴射チャネルに浸入した場合であっても、第１液体よりも導電性が低い第２液体の介在により、非噴射チャネルに浸入した第１液体の導電率を低下させることができるため、不良発生時期を遅らせることができる。
【0010】
（３）上記（１）または（２）の態様の液体噴射ヘッドチップにおいて、前記噴射チャネル及び前記非噴射チャネルは、それぞれ複数設けられ、複数の前記噴射チャネル及び前記非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートの厚さ方向から見て、それぞれ第１方向に延びるとともに、前記第１方向に交差する第２方向に間隔をあけて交互に配置され、前記第２液体は、複数の前記非噴射チャネルのそれぞれを通じて循環していることが好ましい。
本態様によれば、各非噴射チャネルにおける第２液体の循環により、発熱部である各噴射チャネルを冷却することができるため、各噴射チャネルの間で温度分布が生じることを抑制することができる。
本態様によれば、各非噴射チャネルにおける第２液体の循環により、発熱部である各噴射チャネルを冷却することができるため、各噴射チャネルの間で温度分布が生じることを抑制することができる。
【0011】
（４）上記（３）の態様の液体噴射ヘッドチップにおいて、前記供給流路は、複数の前記非噴射チャネルの前記第１端のそれぞれに跨って前記第２方向に延び、前記排出流路は、複数の前記非噴射チャネルの前記第２端のそれぞれに跨って前記第２方向に延びていることが好ましい。
本態様によれば、複数の非噴射チャネルの第１端に跨って連通する供給流路と、複数の非噴射チャネルの第２端に跨って連通する排出流路と、を通じて各非噴射チャネルに第２液体を循環することができるため、発熱部である噴射チャネルをより効果的に冷却することができる。
本態様によれば、複数の非噴射チャネルの第１端に跨って連通する供給流路と、複数の非噴射チャネルの第２端に跨って連通する排出流路と、を通じて各非噴射チャネルに第２液体を循環することができるため、発熱部である噴射チャネルをより効果的に冷却することができる。
【0012】
（５）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（４）のいずれかの態様の液体噴射ヘッドチップを備える。
本態様によれば、上記態様の液体噴射ヘッドチップを備えるため、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制することができ、さらに非噴射チャネルにおける第２液体の循環により、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することをより効果的に抑制することができ、加えて発熱部である噴射チャネルを冷却することができる液体噴射ヘッドを提供することができる。
本態様によれば、上記態様の液体噴射ヘッドチップを備えるため、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制することができ、さらに非噴射チャネルにおける第２液体の循環により、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することをより効果的に抑制することができ、加えて発熱部である噴射チャネルを冷却することができる液体噴射ヘッドを提供することができる。
【0013】
（６）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（５）の態様の液体噴射ヘッドを備える。
本態様によれば、上記態様の液体噴射ヘッドを備えるため、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制することができ、さらに非噴射チャネルにおける第２液体の循環により、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することをより効果的に抑制することができ、加えて発熱部である噴射チャネルを冷却することができる液体噴射記録装置を提供することができる。
本態様によれば、上記態様の液体噴射ヘッドを備えるため、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制することができ、さらに非噴射チャネルにおける第２液体の循環により、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することをより効果的に抑制することができ、加えて発熱部である噴射チャネルを冷却することができる液体噴射記録装置を提供することができる。
【発明の効果】
【0014】
本開示の一態様によれば、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制することができ、さらに非噴射チャネルにおける第２液体の循環により、非噴射チャネルに浸入した第１液体が非噴射チャネルに設けられる電極に接触することをより効果的に抑制することができ、加えて発熱部である噴射チャネルを冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図。
【図2】第１実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図。
【図3】第１実施形態に係るアクチュエータプレート、カバープレート及びノズルプレートの分解斜視図。
【図4】第１実施形態に係るアクチュエータプレートの上面図。
【図5】第１実施形態に係るアクチュエータプレート及び中間プレートの上面図。
【図7】第１実施形態に係るアクチュエータプレートの下面図。
【図11】第１実施形態に係るインク循環流路及び第２液体循環流路の説明図。
【図12】第１実施形態に係るアクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図。
【図13】第１実施形態に係るカバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図。
【図14】第１実施形態に係る第１流路部材の上面図。
【図15】第２実施形態に係るインク循環流路及び第２液体循環流路の説明図。
【図16】第２実施形態に係るアクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図。
【図17】第２実施形態に係るカバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図。
【図18】第２実施形態に係る第１流路部材の上面図。
【図19】第３実施形態に係るインク循環流路及び第２液体循環流路の説明図。
【図20】第３実施形態に係るアクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図。
【図21】第３実施形態に係るカバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図。
【図22】第４実施形態に係るインク循環流路及び第２液体循環流路の説明図。
【図23】第４実施形態に係るアクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図。
【図24】第４実施形態に係るカバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。なお、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、本開示の液体噴射ヘッドチップ（以下、単にヘッドチップという。）を備えた液体噴射ヘッドを具備する液体噴射記録装置の一例として、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという。）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【0017】
（第１実施形態）
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド５（液体噴射ヘッド）と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備える。なお、図１においては、プリンタ１の筐体を二点鎖線で示すことにより、筐体内部を示している。
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド５（液体噴射ヘッド）と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備える。なお、図１においては、プリンタ１の筐体を二点鎖線で示すことにより、筐体内部を示している。
【0018】
なお、以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。Ｘ方向は、被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）と一致している。Ｙ方向は、走査機構７の走査方向（主走査方向）と一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する上下方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。
【0019】
搬送機構２，３（第１搬送機構２及び第２搬送機構３）は、被記録媒体ＰをＸ方向（例えば＋Ｘ側）に搬送する。具体的に、第１搬送機構２は、Ｙ方向に延びる第１グリットローラ１１と、第１グリットローラ１１と平行に延びる第１ピンチローラ１２と、第１グリットローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備える。第２搬送機構３は、第１グリットローラ１１と平行に延びる第２グリットローラ１３と、第２グリットローラ１３と平行に延びる第２ピンチローラ１４と、第２グリットローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備える。
【0020】
インクタンク４は、Ｘ方向に並んで複数設けられている。実施形態において、複数のインクタンク４は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ収容するインクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋである。
【0021】
図２は、インクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図である。
図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、循環流路２３を構成するインク供給管２１及びインク排出管２２と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備える。例えば、インク供給管２１及びインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査機構７（図１参照）の動作に追従可能な程度に可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。
図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、循環流路２３を構成するインク供給管２１及びインク排出管２２と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備える。例えば、インク供給管２１及びインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査機構７（図１参照）の動作に追従可能な程度に可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。
【0022】
加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
【0023】
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。
【0024】
図１に示すように、走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。具体的に、走査機構７は、Ｙ方向に延びる一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備える。なお、搬送機構２，３及び走査機構７は、インクジェットヘッド５と被記録媒体Ｐとを相対的に移動させる移動機構として機能する。
【0025】
駆動機構３４は、Ｘ方向におけるガイドレール３１，３２の間に配置されている。駆動機構３４は、Ｙ方向に間隔をあけて配置された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備える。
【0026】
キャリッジ３３は、無端ベルト３７に連結されている。キャリッジ３３には、Ｙ方向に並んで複数のインクジェットヘッド５が搭載されている。実施形態において、複数のインクジェットヘッド５は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ噴射するインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｋである。
【0027】
なお、本実施形態のプリンタ１は、インク（第１液体）を循環させるインク循環機構６に加え、インクとは異なる第２液体を循環させる第２液体循環機構（不図示）を備える。例えば、インクは、導電性を有する水性インクである。例えば、第２液体は、インクよりも導電性が低い。第２液体循環機構は、第２液体を貯留するタンク（不図示）とインクジェットヘッド５との間で第２液体を循環させる。
【0028】
［インクジェットヘッド］
図３は、アクチュエータプレート５０、カバープレート６０及びノズルプレート４１の分解斜視図である。図４は、アクチュエータプレート５０の上面図である。図５は、アクチュエータプレート５０及び中間プレート４２の上面図である。図６は、図４のＶＩ－ＶＩ断面図である。なお、図３では、中間プレート４２の図示を省略している。図４では、ノズル列Ｎｒ１，Ｎｒ２（第１ノズル列Ｎｒ１及び第２ノズル列Ｎｒ２）を破線で示している。図５では、第１ノズル列Ｎｒ１を破線で示している。
図３は、アクチュエータプレート５０、カバープレート６０及びノズルプレート４１の分解斜視図である。図４は、アクチュエータプレート５０の上面図である。図５は、アクチュエータプレート５０及び中間プレート４２の上面図である。図６は、図４のＶＩ－ＶＩ断面図である。なお、図３では、中間プレート４２の図示を省略している。図４では、ノズル列Ｎｒ１，Ｎｒ２（第１ノズル列Ｎｒ１及び第２ノズル列Ｎｒ２）を破線で示している。図５では、第１ノズル列Ｎｒ１を破線で示している。
【0029】
図３に示すように、インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ４０、ノズルプレート４１及び中間プレート４２を備える。インクジェットヘッド５は、アクチュエータプレート５０の厚さ方向、すなわち噴射チャネル５１の深さ方向にインクが通過する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットである。
【0030】
［ヘッドチップ］
ヘッドチップ４０は、アクチュエータプレート５０及びカバープレート６０を備える。図示はしないが、ヘッドチップ４０の表面（内部の表面を含む）の必要個所には、ポリパラキシリレン膜などの保護膜が形成されている。
ヘッドチップ４０は、アクチュエータプレート５０及びカバープレート６０を備える。図示はしないが、ヘッドチップ４０の表面（内部の表面を含む）の必要個所には、ポリパラキシリレン膜などの保護膜が形成されている。
【0031】
［アクチュエータプレート］
アクチュエータプレート５０の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。アクチュエータプレート５０の下面（－Ｚ側面）は、中間プレート４２（図６参照）を介してノズルプレート４１が配置される面である。
アクチュエータプレート５０の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。アクチュエータプレート５０の下面（－Ｚ側面）は、中間プレート４２（図６参照）を介してノズルプレート４１が配置される面である。
【0032】
アクチュエータプレート５０は、例えば、圧電材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含む。圧電材料の種類は、特に限定されないが、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などである。実施形態のアクチュエータプレート５０は、分極方向が厚さ方向（Ｚ方向）で異なる２枚の圧電基板を積層した、いわゆるシェブロンタイプの積層基板である。
【0033】
アクチュエータプレート５０は、Ｙ方向において所定の間隔をおいて配列された複数（例えば本実施形態では２列）のチャネル列Ｃｈ１，Ｃｈ２を有している。以下、２列のチャネル列Ｃｈ１，Ｃｈ２のうちの一方を第１チャネル列Ｃｈ１、他方を第２チャネル列Ｃｈ２ともいう。なお、特に区別する必要がない場合は、２列のチャネル列Ｃｈ１，Ｃｈ２をチャネル列と称して説明する。
【0034】
図４に示すように、チャネル列は、Ｘ方向に延びている。チャネル列は、Ｙ方向に延びると共にＸ方向に間隔をおいて配列された複数のチャネル５１，５２，５３を含む。各チャネル５１，５２，５３は、圧電体を含む駆動壁Ｗｄにより画定されている。複数のチャネル５１，５２，５３は、インクを噴射する噴射チャネル５１と、インクを噴射しない非噴射チャネル５２，５３（第１非噴射チャネル５２及び第２非噴射チャネル５３）と、を含む。噴射チャネル５１及び非噴射チャネル５２，５３は、Ｘ方向において交互に配置されている。なお、図３～図６においては、第１非噴射チャネル５２及び第２非噴射チャネル５３がＹ方向に互いに分離している様子を省略している。
【0035】
第１チャネル列Ｃｈ１の噴射チャネル５１及び非噴射チャネル５２，５３と、第２チャネル列Ｃｈ２の噴射チャネル５１及び非噴射チャネル５２，５３とは、それぞれＸ方向において互い違いとなるように配列されている。すなわち、各チャネル列Ｃｈ１，Ｃｈ２の噴射チャネル５１同士及び非噴射チャネル５２，５３同士は、Ｘ方向において千鳥状に配列されている。
【0036】
図７は、アクチュエータプレート５０の下面図である。図８は、図７のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿うインクジェットヘッド５の断面図である。図９は、図７のＩＸ－ＩＸ線に沿うインクジェットヘッド５の断面図である。図１０は、図７のＸ－Ｘ線に沿うアクチュエータプレート５０及びカバープレート６０の断面図である。
【0037】
図７に示すように、アクチュエータプレート５０の下面は、ノズル孔４１ａ（図８参照）の周辺の第１領域Ｒｅ１と、第１領域Ｒｅ１以外の第２領域Ｒｅ２と、を有する。アクチュエータプレート５０の下面は、噴射チャネル５１及び非噴射チャネル５２，５３のいずれも形成されないチャネル非形成領域Ｒｎを含む。なお、チャネル非形成領域Ｒｎは、アクチュエータプレート５０の下面においてノズルプレート４１や中間プレート４２を貼る側の面にあり、カバープレート６０を貼る側の面にもある。
【0038】
第１領域Ｒｅ１は、アクチュエータプレート５０の下面のうちノズルプレート４１（図８参照）と対向する領域である。第２領域Ｒｅ２は、アクチュエータプレート５０の下面のうちノズルプレート４１と対向しない領域である。第２領域Ｒｅ２は、Ｙ方向において第１領域Ｒｅ１よりも外側に配置されている。第２領域Ｒｅ２は、外部基板４５（図３参照）が接続される接続領域Ｒｃを含む。第２領域Ｒｅ２は、アクチュエータプレート５０のＹ方向の端部（以下、尾部５０Ｙともいう。）に設けられている。
【0039】
噴射チャネル５１は、第１領域Ｒｅ１に設けられている。噴射チャネル５１は、第２領域Ｒｅ２には設けられていない。噴射チャネル５１は、Ｚ方向から見てＹ方向に延びる矩形状を有する。図８の断面視で、噴射チャネル５１は、Ｙ方向に延びる延在部５１ａと、延在部５１ａからＹ方向に連なる切り上がり部５１ｂと、を有する。延在部５１ａは、Ｙ方向の全体にわたって一様な溝深さを有する。切り上がり部５１ｂは、延在部５１ａの両端からＹ方向の外側に向かうに従って溝深さが漸次浅くなっている。
【0040】
図７に示すように、非噴射チャネル５２，５３は、第１領域Ｒｅ１に設けられた第１非噴射チャネル５２と、第１非噴射チャネル５２とは分離して第２領域Ｒｅ２に設けられた第２非噴射チャネル５３と、を有する。なお、非噴射チャネル５２，５３のうち第１非噴射チャネル５２には、インクとは異なる第２液体（不図示）が充填されている。
【0041】
第１非噴射チャネル５２のＹ方向の長さは、噴射チャネル５１のＹ方向の長さよりも大きい。噴射チャネル５１は、第１非噴射チャネル５２のＹ方向の略中央に対応する位置に配置されている。図９の断面視で、第１非噴射チャネル５２は、Ｙ方向に延びる延在部５２ａと、延在部５２ａからＹ方向に連なる切り上がり部５２ｂと、を有する。延在部５２ａは、Ｙ方向の全体にわたって一様な溝深さを有する。切り上がり部５２ｂは、延在部５２ａの両端からＹ方向の外側に向かうに従って溝深さが漸次浅くなっている。
【0042】
図７に示すように、第２非噴射チャネル５３は、Ｙ方向において噴射チャネル５１よりも外側に配置されている。第２非噴射チャネル５３は、尾部５０Ｙに設けられている。図９の断面視で、第２非噴射チャネル５３は、Ｙ方向に延びる延在部５３ａと、延在部５３ａからＹ方向に連なる切り上がり部５３ｂと、を有する。延在部５３ａは、Ｙ方向の全体にわたって一様な溝深さを有する。切り上がり部５３ｂは、延在部５３ａの一端からＹ方向の外側に向かうに従って溝深さが漸次浅くなっている。
【0043】
図６に示すように、複数の駆動壁Ｗｄのそれぞれの側面には、Ｙ方向に延びる駆動電極５５が設けられている。駆動電極５５は、複数の噴射チャネル５１を圧力室として機能させるために、駆動壁Ｗｄを電気的に駆動（変形）させる電極である。駆動電極５５は、噴射チャネル５１を画定する駆動壁Ｗｄの側面（噴射チャネル５１の内面）に設けられた一対の共通電極５６と、非噴射チャネル５２，５３を画定する駆動壁Ｗｄの側面（非噴射チャネル５２，５３の内面）に設けられた一対の個別電極５７と、を含む。
【0044】
同一の噴射チャネル５１内で対向する一対の共通電極５６は、互いに電気的に分離されている。図８に示すように、共通電極５６は、駆動壁Ｗｄの下面（－Ｚ側面）から噴射チャネル５１のＺ方向の中央位置よりも＋Ｚ側の領域に形成されている。共通電極５６は、例えば、分極方向が異なる２つの圧電基板の境界（接合面）よりも、＋Ｚ側の位置まで延びている。
【0045】
アクチュエータプレート５０の下面には、共通電極５６と電気的に接続された複数の共通パッド５８が設けられている。共通パッド５８は、同一の噴射チャネル５１内で対向する一対の共通電極５６同士を電気的に接続している。共通パッド５８は、噴射チャネル５１の周囲に設けられている。
【0046】
図６に示すように、同一の非噴射チャネル５２，５３（第１非噴射チャネル５２及び第２非噴射チャネル５３）内で対向する一対の個別電極５７は、互いに電気的に分離されている。図９に示すように、個別電極５７は、駆動壁Ｗｄの下面から非噴射チャネル５２，５３のＺ方向の中央位置よりも＋Ｚ側の領域に形成されている。個別電極５７は、例えば、分極方向が異なる２つの圧電基板の境界（接合面）よりも、＋Ｚ側の位置まで延びている。
【0047】
アクチュエータプレート５０の下面には、個別電極５７と電気的に接続された複数の個別パッド５９が設けられている。個別パッド５９は、噴射チャネル５１を介して対向する一対の個別電極５７同士を電気的に接続している。図７に示すように、個別パッド５９は、噴射チャネル５１を間にして隣り合う非噴射チャネル５２，５３の間に配置されている。個別パッド５９は、共通パッド５８と電気的に分離して設けられている。個別パッド５９は、Ｙ方向において共通パッド５８よりも外側に配置されている。個別パッド５９は、Ｘ方向に隣り合う第２非噴射チャネル５３に跨るように設けられている。
【0048】
アクチュエータプレート５０の下面には、共通パッド５８と個別パッド５９とを電気的に分離する電極分離部Ｓｐが設けられている。電極分離部Ｓｐは、Ｙ方向に沿って直線状に延びている。電極分離溝のＹ方向の一端は、溝部Ｄｉに接続されている。電極分離部ＳｐのＹ方向の他端は、アクチュエータプレート５０の下面において電極が形成されていない部分（電極非形成部５０Ｎ）に接続されている。なお、電極分離部Ｓｐは、アクチュエータプレート５０の下面において第１非噴射チャネル５２及び第２非噴射チャネル５３をつなぐように配置されており、隣の個別電極５７との分離を行っている。
【0049】
図３に示すように、尾部５０Ｙには、駆動電極５５とインクジェットヘッド５とを互いに電気的に接続させるための外部基板４５が実装されている。例えば、外部基板４５は、可撓性を有するフレキシブルプリント基板である。ただし、図３では、外部基板４５の一部の外縁（輪郭）を破線で示している。外部基板４５に形成されている配線パターンは、上記した共通パッド５８及び個別パッド５９（図７参照）のそれぞれに電気的に接続されている。これにより、外部基板４５を介してインクジェットヘッド５から各駆動電極５５に駆動電圧が印加される。
【0050】
図７に示すように、アクチュエータプレート５０の下面における共通パッド５８と個別パッド５９との間には、Ｘ方向に沿って延びる溝部Ｄｉが設けられている。溝部ＤｉのＹ方向の幅は、外部基板４５に形成された不図示の接続配線のＹ方向の幅よりも大きい。これにより、外部基板４５をアクチュエータプレート５０に接続したとき、アクチュエータプレート５０の溝部Ｄｉに対応する位置に、外部基板４５の接続配線を配置することで、外部基板４５の接続配線とアクチュエータプレート５０の個別パッド５９とが接触することを防止することができる。したがって、外部基板４５の接続配線と、アクチュエータプレート５０の個別パッド５９及び個別パッド５９に接続された個別電極５７との電気的短絡を防止することができる。
【0051】
なお、図９に示すように、溝部ＤｉのＺ方向の長さ（深さ）は、駆動壁Ｗｄの側面に設けられた各電極のＺ方向の長さよりも小さいことが好ましい。これにより、駆動壁Ｗｄの側面において各電極を分断することなく溝部Ｄｉを形成することができる。
【0052】
［カバープレート］
図３に示すように、カバープレート６０の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。例えば、カバープレート６０の長手及び短手の長さは、アクチュエータプレート５０の長手及び短手の長さと略同じである。
図３に示すように、カバープレート６０の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。例えば、カバープレート６０の長手及び短手の長さは、アクチュエータプレート５０の長手及び短手の長さと略同じである。
【0053】
カバープレート６０は、アクチュエータプレート５０（複数の噴射チャネル５１）にインクを導入すると共に、アクチュエータプレート５０からインクを排出させるプレートである。図６に示すように、アクチュエータプレート５０は、中間プレート４２とカバープレート６０との間に配置されている。カバープレート６０の下面は、アクチュエータプレート５０の上面に接合されている。
【0054】
図３に示すように、カバープレート６０は、噴射チャネル５１に連通するインク流路Ｌｐ１，Ｌｐ２（第１液体流路）を有する。なお、インク流路Ｌｐ１，Ｌｐ２は、非噴射チャネル５２，５３には連通していない（図９参照）。インク流路Ｌｐ１，Ｌｐ２は、第１チャネル列Ｃｈ１の噴射チャネル５１に対応する第１流路Ｌｐ１と、第２チャネル列Ｃｈ２の噴射チャネル５１に対応する第２流路Ｌｐ２と、の２組設けられている。
【0055】
インク流路Ｌｐ１，Ｌｐ２は、Ｘ方向に延びている。なお、特に区別する必要がない場合は、２組の流路をインク流路と称して説明する。図８に示すように、インク流路は、カバープレート６０を＋Ｚ側に開口するマニホールド６０ａと、マニホールド６０ａに連通するとともに－Ｚ側に開口するスリット６０ｂと、を有する。マニホールド６０ａは、スリット６０ｂを通じて噴射チャネル５１と連通している。なお、マニホールド６０ａは、非噴射チャネル５２には連通していない（図９参照）。
【0056】
図３に示すように、インク流路は、噴射チャネル５１にインクを供給するインク供給流路６１と、噴射チャネル５１からインクを排出するインク排出流路６２と、を有する。第１流路Ｌｐ１のインク供給流路６１及び第２流路Ｌｐ２のインク供給流路６１は、Ｙ方向において互いに隣り合う位置に配置されていてもよい。
【0057】
図８に示すように、インク供給流路６１は、噴射チャネル５１のＹ方向の一端に連通している。インク供給流路６１は、各噴射チャネル５１のＹ方向の一端に跨ってＸ方向に延びている。インクは、インク供給流路６１を経由して各噴射チャネル５１に供給される。
【0058】
インク排出流路６２は、噴射チャネル５１のＹ方向の他端に連通している。インク排出流路６２は、各噴射チャネル５１のＹ方向の他端に跨ってＸ方向に延びている。インクは、インク排出流路６２を経由して各噴射チャネル５１から排出される。
【0059】
カバープレート６０は、アクチュエータプレート５０（複数の第１非噴射チャネル５２）に第２液体を導入すると共に、アクチュエータプレート５０から第２液体を排出させるプレートとしても機能する。図３に示すように、カバープレート６０は、第１非噴射チャネル５２に連通する第２液体流路Ｌｑ１，Ｌｑ２を有する。なお、第２液体流路Ｌｑ１，Ｌｑ２は、噴射チャネル５１には連通していない（図８参照）。第２液体流路Ｌｑ１，Ｌｑ２は、第１チャネル列Ｃｈ１の第１非噴射チャネル５２に対応する第１非噴射側流路Ｌｑ１と、第２チャネル列Ｃｈ２の第１非噴射チャネル５２に対応する第２非噴射側流路Ｌｑ２と、の２組設けられている。
【0060】
第２液体流路Ｌｑ１，Ｌｑ２は、Ｘ方向に延びている。第２液体流路Ｌｑ１，Ｌｑ２は、各第１非噴射チャネル５２のＹ方向の端部及びチャネル非形成領域Ｒｎに跨って開口している（図１０参照）。なお、特に区別する必要がない場合は、２組の流路を第２液体流路と称して説明する。
【0061】
図３に示すように、第２液体流路は、第１非噴射チャネル５２に第２液体を供給する第２液体供給流路６３（供給流路）と、第１非噴射チャネル５２から第２液体を排出する第２液体排出流路６４（排出流路）と、を有する。第１非噴射側流路Ｌｑ１の第２液体供給流路６３及び第２非噴射側流路Ｌｑ２の第２液体供給流路６３は、Ｙ方向において互いに隣り合う位置に配置されていてもよい。
【0062】
図９に示すように、第２液体供給流路６３は、第１非噴射チャネル５２のＹ方向の一端に連通している。第２液体供給流路６３は、各第１非噴射チャネル５２のＹ方向の一端及びチャネル非形成領域Ｒｎ（図１０参照）に跨って開口している。第２液体は、第２液体供給流路６３を経由して各第１非噴射チャネル５２に供給される。
【0063】
第２液体排出流路６４は、第１非噴射チャネル５２のＹ方向の他端に連通している。第２液体排出流路６４は、各第１非噴射チャネル５２のＹ方向の他端及びチャネル非形成領域Ｒｎ（図１０参照）に跨って開口している。第２液体は、第２液体排出流路６４を経由して各第１非噴射チャネル５２から排出される。
【0064】
なお、カバープレート６０は、絶縁性を有し、かつアクチュエータプレート５０の形成材料の熱伝導率と同等以上の熱伝導率を有する材料により形成されているとよい。例えば、アクチュエータプレート５０をＰＺＴにより形成した場合、カバープレート６０は、ＰＺＴまたはシリコンにより形成することが好ましい。これにより、アクチュエータプレート５０での温度ばらつきを緩和し、インク温度の均一化を図ることができる。これにより、インクの噴射速度の均一化を図り、印字安定性を向上させることができる。
【0065】
［ノズルプレート］
図３に示すように、ノズルプレート４１の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。図６に示すように、ノズルプレート４１は、中間プレート４２を介してアクチュエータプレート５０に対向配置されている。図４に示すように、ノズルプレート４１は、Ｙ方向に所定の間隔をおいて配列された複数（例えば本実施形態では２列）のノズル列Ｎｒ１，Ｎｒ２を有する。インクジェットヘッド５は、いわゆる２列タイプのインクジェットヘッドでる。２列のノズル列Ｎｒ１，Ｎｒ２は、第１チャネル列Ｃｈ１に対応する第１ノズル列Ｎｒ１と、第２チャネル列Ｃｈ２に対応する第２ノズル列Ｎｒ２と、である。なお、特に区別する必要がない場合は、２列のノズル列をノズル列と称して説明する。
図３に示すように、ノズルプレート４１の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。図６に示すように、ノズルプレート４１は、中間プレート４２を介してアクチュエータプレート５０に対向配置されている。図４に示すように、ノズルプレート４１は、Ｙ方向に所定の間隔をおいて配列された複数（例えば本実施形態では２列）のノズル列Ｎｒ１，Ｎｒ２を有する。インクジェットヘッド５は、いわゆる２列タイプのインクジェットヘッドでる。２列のノズル列Ｎｒ１，Ｎｒ２は、第１チャネル列Ｃｈ１に対応する第１ノズル列Ｎｒ１と、第２チャネル列Ｃｈ２に対応する第２ノズル列Ｎｒ２と、である。なお、特に区別する必要がない場合は、２列のノズル列をノズル列と称して説明する。
【0066】
ノズル列は、Ｘ方向に延びている。ノズル列は、Ｘ方向に所定の間隔をおいて配列された複数のノズル孔４１ａを有する。ノズル孔４１ａは、インクの噴射口である。ノズル孔４１ａは、ノズルプレート４１をＺ方向に貫通している。ノズル孔４１ａの開口形状（Ｚ方向から見たノズル孔４１ａの形状）は、例えば、円形である。
【0067】
図６に示すように、ノズル孔４１ａからインクが噴射される方向（インクの噴射方向）は、－Ｚ側である。言い換えると、インクの噴射方向は、アクチュエータプレート５０からノズルプレート４１に向かう方向である。ノズル孔４１ａの内径は、インクの噴射方向に向かって次第に小さくなっている。すなわち、ノズル孔４１ａは、－Ｚ側に向かって縮径するテーパ状の貫通口である。
【0068】
ノズル孔４１ａは、連通孔４２ａを介して噴射チャネル５１に連通している。これにより、各噴射チャネル５１から供給されるインクは、各ノズル孔４１ａから噴射される。
一方、ノズル孔４１ａは、非噴射チャネル５２，５３には連通していない。非噴射チャネル５２，５３は、ノズルプレート４１によって下方から覆われている。
一方、ノズル孔４１ａは、非噴射チャネル５２，５３には連通していない。非噴射チャネル５２，５３は、ノズルプレート４１によって下方から覆われている。
【0069】
図５に示すように、ノズル孔４１ａは、噴射チャネル５１のＹ方向の略中央領域に対応する位置に配置されている。Ｘ方向における複数のノズル孔４１ａのピッチ（互いに隣り合う２個のノズル孔４１ａの間の距離）は、Ｘ方向における複数の噴射チャネル５１のピッチ（互いに隣り合う２個の噴射チャネル５１の間の距離）と略同じである。図４に示すように、第１ノズル列Ｎｒ１のノズル孔４１ａ及び第２ノズル列Ｎｒ２のノズル孔４１ａは、Ｘ方向において互い違いとなるように配列されている。すなわち、各ノズル列Ｎｒ１，Ｎｒ２のノズル孔４１ａ同士は、Ｘ方向において千鳥状に配列されている。
【0070】
なお、ノズルプレート４１は、導電性材料により形成されていてもよい。導電性材料の種類は、特に限定されないが、例えば、ステンレス（ＳＵＳ）などの金属材料であることが好ましい。金属材料は高い擦過性を有するため、ノズルプレート４１が金属材料を含むことにより、ノズルプレート４１の物理的強度が向上する。なお、ＳＵＳの種類は、特に限定されないが、例えば、ＳＵＳ３１６Ｌ及びＳＵＳ３０４などが挙げられる。
【0071】
［中間プレート］
中間プレート４２の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。例えば、中間プレート４２の外形は、ノズルプレート４１の外形と略同じである。図６に示すように、中間プレート４２は、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート５０との間に配置されている。中間プレート４２は、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート５０とを互いに位置合わせするためのプレートである。
中間プレート４２の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。例えば、中間プレート４２の外形は、ノズルプレート４１の外形と略同じである。図６に示すように、中間プレート４２は、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート５０との間に配置されている。中間プレート４２は、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート５０とを互いに位置合わせするためのプレートである。
【0072】
中間プレート４２は、複数のチャネル５１，５２，５３及び複数のノズル孔４１ａのそれぞれに対応する位置に、複数の連通孔４２ａを有する。各連通孔４２ａは、各チャネル５１，５２，５３と同様に配置されている。図５に示すように、各連通孔４２ａは、Ｙ方向に延びていると共に、Ｘ方向において所定の間隔をおいて配列されている。
【0073】
連通孔４２ａのＸ方向の幅は、噴射チャネル５１のＸ方向の幅よりも大きいことが好ましい。これにより、噴射チャネル５１からノズル孔４１ａに供給されるインクの流れがアクチュエータプレート５０により阻害されにくくなる。そのため、例えばインクの噴射方向の偏向など、インクの噴射特性に関する不具合が発生しにくくなる。なお、より好ましくは、噴射チャネル５１は、Ｚ方向から見て連通孔４２ａの幅により画定される領域内に配置されているとよい。
【0074】
中間プレート４２は、絶縁性材料により形成されていることが好ましい。絶縁性材料の種類は、特に限定されないが、例えば、ガラス、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフターレートなどが挙げられる。例えば、中間プレート４２の基材を上述の材料で形成した場合には、基材の周囲をポリパラキシリレンなどで覆う構造も可能である。
また、中間プレート４２の材料としては、アルミナ等が挙げられる。なお、中間プレート４２は、上述した材料に限らず、アクチュエータプレート５０と同様にＰＺＴ等の圧電材料により形成されていてもよい。
また、中間プレート４２の材料としては、アルミナ等が挙げられる。なお、中間プレート４２は、上述した材料に限らず、アクチュエータプレート５０と同様にＰＺＴ等の圧電材料により形成されていてもよい。
【0075】
図６に示すように、ノズルプレート４１及びアクチュエータプレート５０は、中間プレート４２を介して互いに貼り合わされている。これにより、導電性のノズルプレート４１と導電性のアクチュエータプレート５０とは、絶縁性の中間プレート４２を介して電気的に分離（絶縁）されている。ノズルプレート４１とアクチュエータプレート５０とが中間プレート４２を介して絶縁されていると、ノズルプレート４１の形成材料として導電性材料を使用可能になると共に、アクチュエータプレート５０の形成材料として圧電材料を使用可能になる。そのため、ノズルプレート４１の形成材料として高擦過性を有する金属材料などを使用可能になる。これにより、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート５０との短絡を抑制しつつ、ノズルプレート４１が破損（摩耗など）しにくくなる。
【0076】
例えば、中間プレート４２は、ノズルプレート４１の線膨張率Ｅ２とアクチュエータプレート５０の線膨張率Ｅ３との間の線膨張率Ｅ１（Ｅ２＜Ｅ１＜Ｅ３またはＥ３＜Ｅ１＜Ｅ２）を有することが好ましい。上記関係を満たすことにより、ノズルプレート４１、中間プレート４２及びアクチュエータプレート５０のそれぞれが熱変形した際に、線膨張率（熱膨張率）の違いに起因するノズルプレート４１及びアクチュエータプレート５０のそれぞれの変位が中間プレート４２により吸収される。そのため、ノズルプレート４１とアクチュエータプレート５０との間に中間プレート４２が介在していない場合と比較して、熱変形に起因するノズルプレート４１及びアクチュエータプレート５０の剥離を抑制することができる。よって、インクの噴射時において偏向などの不具合が発生しにくくなる。
【0077】
［インク循環流路及び第２液体循環流路］
本実施形態では、インクは、インク循環機構６（図２参照）により、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間で循環している。インクは、インク供給流路６１、噴射チャネル５１及びインク排出流路６２を通じて循環している（図８参照）。インク供給流路６１、噴射チャネル５１及びインク排出流路６２は、インク循環流路を構成している。
一方、第２液体は、第２液体循環機構（不図示）により、第２液体を貯留するタンク（不図示）とインクジェットヘッド５との間で循環している。第２液体は、第２液体供給流路６３、第１非噴射チャネル５２及び第２液体排出流路６４を通じて循環している（図９参照）。第２液体供給流路６３、第１非噴射チャネル５２及び第２液体排出流路６４は、第２液体循環流路を構成している。
本実施形態では、インクは、インク循環機構６（図２参照）により、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間で循環している。インクは、インク供給流路６１、噴射チャネル５１及びインク排出流路６２を通じて循環している（図８参照）。インク供給流路６１、噴射チャネル５１及びインク排出流路６２は、インク循環流路を構成している。
一方、第２液体は、第２液体循環機構（不図示）により、第２液体を貯留するタンク（不図示）とインクジェットヘッド５との間で循環している。第２液体は、第２液体供給流路６３、第１非噴射チャネル５２及び第２液体排出流路６４を通じて循環している（図９参照）。第２液体供給流路６３、第１非噴射チャネル５２及び第２液体排出流路６４は、第２液体循環流路を構成している。
【0078】
第２液体の種類は、特に限定されないが、非噴射チャネルに浸入した水性インクが非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制する観点からは、第２液体は水性インクと混合しない溶液（例えば油性溶液）を含むことが好ましい。例えば、油性溶液としては、動植物油、鉱物油、シリコンオイル等が挙げられる。
【0079】
例えば、非噴射チャネルに浸入した液体（例えば導電性を有する水性インク）の導電率を低下させる観点からは、第２液体は水性インクの単体では導電性のない成分の溶液を含むことが好ましい。例えば、第２液体は、以下の水溶性有機溶剤のうち１つ以上を含むことが好ましい。例えば、水溶性有機溶剤としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、テトラエチレングリコール、ヘキシレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、１，５－ペンタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、グリセロール、１，２，６－ヘキサントリオール、１，２，４－ブタントリオール、１，２，３－ブタントリオール、ペトリオール等の多価アルコール類；エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテル類；エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノベンジルエーテル等の多価アルコールアリールエーテル類；２－ピロリドン、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ－ヒドロキシエチル－２－ピロリドン、１，３－ジメチルイミイダゾリジノン、ε－カプロラクタム、γ－ブチロラクトン等の含窒素複素環化合物；ホルムアミド、Ｎ－メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド等のアミド類；モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン等のアミン類；ジメチルスルホキシド、スルホラン、チオジエタノール等の含硫黄化合物類；プロピレンカーボネート、炭酸エチレン等が挙げられる。
【0080】
例えば、ヘッドチップの発熱部である噴射チャネルの冷却効率向上の観点からは、第２液体として冷却液を用いることが好ましい。例えば、冷却液としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、エタノール、メタノール、シリコンオイル等が挙げられる。
【0081】
特に、第２液体がシリコンオイルを含むことは、非噴射チャネルに浸入した水性インクが非噴射チャネルに設けられる電極に接触することを抑制する観点、及びヘッドチップの発熱部である噴射チャネルの冷却効率向上の観点の両面から、より好ましい。
また、第２液体がエチレングリコールやプロピレングリコールを含むことは、非噴射チャネルに浸入した液体（例えば導電性を有する水性インク）の導電率を低下させる観点、及びヘッドチップの発熱部である噴射チャネルの冷却効率向上の観点の両面から、より好ましい。
また、第２液体がエチレングリコールやプロピレングリコールを含むことは、非噴射チャネルに浸入した液体（例えば導電性を有する水性インク）の導電率を低下させる観点、及びヘッドチップの発熱部である噴射チャネルの冷却効率向上の観点の両面から、より好ましい。
【0082】
図１１は、インク循環流路及び第２液体循環流路の説明図である。図１２は、アクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図である。図１３は、カバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図である。図１４は、第１流路部材の上面図である。図１１においては、インク循環流路Ｆ１として、循環するインクの流れ方向を矢印Ｆ１で示している。また、第２液体循環流路Ｆ２として、循環する第２液体の流れ方向を矢印Ｆ２で示している。
【0083】
図１１に示すように、第１流路部材８０、第２流路部材９０、カバープレート６０及びアクチュエータプレート５０は、＋Ｚ側から順に配置されている。第１流路部材８０は、第２流路部材９０を介してカバープレート６０の上面に連結されている。第１流路部材８０は、インクを供給するインク供給部８１と、インクを排出するインク排出部８２と、第２液体を供給する第２液体供給部８３と、第２液体を排出する第２液体排出部８４と、を備える。インク供給部８１、インク排出部８２、第２液体供給部８３及び第２液体排出部８４は、それぞれＺ方向に開口している。
【0084】
第２流路部材９０は、インクを供給するインク供給孔９１と、インクを排出するインク排出孔９２と、第２液体を供給する第２液体供給孔９３と、第２液体を排出する第２液体排出孔９４と、を有する。インク供給孔９１、インク排出孔９２、第２液体供給孔９３及び第２液体排出孔９４は、それぞれＺ方向に開口している。
【0085】
図１２に示すように、噴射チャネル５１及び非噴射チャネル５２，５３は、それぞれ複数設けられている。複数の噴射チャネル５１及び非噴射チャネル５２，５３は、Ｚ方向（アクチュエータプレート５０の厚さ方向）から見て、それぞれＹ方向（第１方向）に延びるとともに、Ｘ方向（第１方向に交差する第２方向）に間隔をあけて交互に配置されている。第２液体は、複数の非噴射チャネル５２，５３のうち複数の第１非噴射チャネル５２のそれぞれを通じて循環している。
【0086】
インク供給流路６１（スリット６０ｂ）は、複数の噴射チャネル５１のそれぞれの－Ｙ側端に連通している。インク排出流路（スリット６０ｂ）は、複数の噴射チャネル５１のそれぞれの＋Ｙ側端に連通している。
第２液体供給流路６３は、複数の第１非噴射チャネル５２の－Ｙ側端（第１端）のそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。第２液体排出流路６４は、複数の第１非噴射チャネル５２の＋Ｙ側端（第２端）のそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。
第２液体供給流路６３は、複数の第１非噴射チャネル５２の－Ｙ側端（第１端）のそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。第２液体排出流路６４は、複数の第１非噴射チャネル５２の＋Ｙ側端（第２端）のそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。
【0087】
図１３に示すように、インク供給孔９１は、インク供給流路６１の複数のスリット６０ｂのそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。インク供給孔９１は、インク供給流路６１の複数のスリット６０ｂのそれぞれに連通している。インク排出孔９２は、インク排出流路６２の複数のスリット６０ｂのそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。インク排出孔９２は、インク排出流路６２の複数のスリット６０ｂのそれぞれに連通している。
第２液体供給孔９３は、第２液体供給流路６３に沿ってＸ方向に延びている。第２液体供給孔９３は、第２液体供給流路６３に連通している。
第２液体排出孔９４は、第２液体排出流路６４に沿ってＸ方向に延びている。第２液体排出孔９４は、第２液体排出流路６４に連通している。
第２液体供給孔９３は、第２液体供給流路６３に沿ってＸ方向に延びている。第２液体供給孔９３は、第２液体供給流路６３に連通している。
第２液体排出孔９４は、第２液体排出流路６４に沿ってＸ方向に延びている。第２液体排出孔９４は、第２液体排出流路６４に連通している。
【0088】
図１４に示すように、インク供給部８１は、Ｚ方向から見てインク供給孔９１（図１３参照）の－Ｘ側端と重なる位置に配置されている。インク供給部８１は、インク供給孔９１の－Ｘ側端と連通するように開口している。インク排出部８２は、Ｚ方向から見てインク排出孔９２（図１３参照）の＋Ｘ側端と重なる位置に配置されている。インク排出部８２は、インク排出孔８２の＋Ｘ側端と連通するように開口している。
第２液体供給部８３は、Ｚ方向から見て第２液体供給孔９３（図１３参照）の－Ｘ側端と重なる位置に配置されている。第２液体供給部８３は、第２液体供給孔９３の－Ｘ側端と連通するように開口している。第２液体排出部８４は、Ｚ方向から見て第２液体排出孔９４（図１３参照）の＋Ｘ側端と重なる位置に配置されている。第２液体排出部８４は、第２液体排出孔９４の＋Ｘ側端と連通するように開口している。
第２液体供給部８３は、Ｚ方向から見て第２液体供給孔９３（図１３参照）の－Ｘ側端と重なる位置に配置されている。第２液体供給部８３は、第２液体供給孔９３の－Ｘ側端と連通するように開口している。第２液体排出部８４は、Ｚ方向から見て第２液体排出孔９４（図１３参照）の＋Ｘ側端と重なる位置に配置されている。第２液体排出部８４は、第２液体排出孔９４の＋Ｘ側端と連通するように開口している。
【0089】
図１１に示すように、インクは、インク供給部８１、インク供給孔９１及びインク供給流路６１を通じて噴射チャネル５１に供給される。噴射チャネル５１に供給されたインクは、インク排出流路６２、インク排出孔９２及びインク排出部８２を通じて噴射チャネル５１から排出される。噴射チャネル５１から排出されたインクは、インク循環機構６（図２参照）により、インク供給部８１等を通じて噴射チャネル５１に供給される。すなわち、インク供給部８１、インク供給孔９１、インク供給流路６１、噴射チャネル５１、インク排出流路６２、インク排出孔９２及びインク排出部８２は、インク循環流路Ｆ１を構成している。
【0090】
一方、第２液体は、第２液体供給部８３、第２液体供給孔９３及び第２液体供給流路６３を通じて第１非噴射チャネル５２に供給される。第１非噴射チャネル５２に供給された第２液体は、第２液体排出流路６４、第２液体排出孔９４及び第２液体排出部８４を通じて第１非噴射チャネル５２から排出される。第１非噴射チャネル５２から排出された第２液体は、第２液体循環機構（不図示）により、第２液体供給部８３等を通じて第１非噴射チャネル５２に供給される。すなわち、第２液体供給部８３、第２液体供給孔９３、第２液体供給流路６３、第１非噴射チャネル５２、第２液体排出流路６４、第２液体排出孔９４及び第２液体排出部８４は、第２液体循環流路Ｆ２を構成している。
【0091】
なお、第１インク循環流路Ｆ１を循環するインクの流れ方向は矢印Ｆ１方向に限らず、矢印Ｆ１方向とは逆方向であってもよい。また、第２液体循環流路Ｆ２を循環する第２液体の流れ方向は矢印Ｆ２方向に限らず、矢印Ｆ２方向とは逆方向であってもよい。例えば、第１インク循環流路Ｆ１を循環するインクの流れ方向と、第２液体循環流路Ｆ２を循環する第２液体の流れ方向とは、互いに逆方向であってもよい。
【0092】
［プリンタの動作］
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１では、記録紙ＰがＸ方向に搬送されると共に、キャリッジ３３がＹ方向に往復移動する。キャリッジ３３上のインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動しながら記録紙Ｐにインクを噴射する。これにより、記録紙Ｐに画像などが記録される。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１では、記録紙ＰがＸ方向に搬送されると共に、キャリッジ３３がＹ方向に往復移動する。キャリッジ３３上のインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動しながら記録紙Ｐにインクを噴射する。これにより、記録紙Ｐに画像などが記録される。
【0093】
［インクジェットヘッドの動作］
本実施形態のインクジェットヘッド５では、以下の手順により、せん断（シェア）モードを用いて記録紙Ｐにインクが噴射される。
本実施形態のインクジェットヘッド５では、以下の手順により、せん断（シェア）モードを用いて記録紙Ｐにインクが噴射される。
【0094】
最初に、キャリッジ３３が往復移動すると、外部基板４５を介して、駆動電極５５（共通電極５６及び個別電極５７）に駆動電圧が印加される。具体的には、噴射チャネル５１を画定する一対の駆動壁Ｗｄに設けられた各駆動電極５５に駆動電圧が印加される。これにより、一対の駆動壁Ｗｄのそれぞれは、噴射チャネル５１に隣接された非噴射チャネル５２，５３に向かって突出するように変形する。
【0095】
ここで、上記したように、アクチュエータプレート５０では、Ｚ方向における分極方向が互いに異なる方向となるように設定された２枚の圧電基板が積層されている。加えて、駆動電極５５は、駆動壁Ｗｄの下面から駆動壁ＷｄのＺ方向の中央位置よりも＋Ｚ側の領域まで延びている。この場合には、駆動電極５５に駆動電圧が印加されることにより、圧電厚み滑り効果によって、Ｚ方向における駆動壁Ｗｄの略中央位置を起点として、駆動壁Ｗｄが屈曲変形する。これにより、各噴射チャネル５１は、上記した駆動壁Ｗｄの屈曲変形を利用して、あたかも膨らむように変形する。
【0096】
この圧電厚み滑り効果に基づく一対の駆動壁Ｗｄの屈曲変形を利用して、各噴射チャネル５１の容積が増大する。これにより、各インク供給流路６１に供給されたインクは、各噴射チャネル５１の内部に誘導される。
【0097】
続いて、各噴射チャネル５１の内部に誘導されたインクは、圧力波として各噴射チャネル５１の内部に伝播する。この場合には、ノズルプレート４１に設けられたノズル孔４１ａに圧力波が到達したタイミングにおいて、駆動電極５５に印加される駆動電圧がゼロ（０Ｖ）になる。これにより、屈曲変形した駆動壁Ｗｄが元の状態に戻るため、各噴射チャネル５１の容積が元に戻る。
【0098】
最後に、各噴射チャネル５１の容積が元に戻ると、各噴射チャネル５１の内部において圧力が増加するため、各噴射チャネル５１の内部に誘導されたインクが加圧される。これにより、各ノズル孔４１ａから外部（記録紙Ｐ）に液滴状のインクが噴射される。
【0099】
この場合には、例えば、上記したように、ノズル孔４１ａの内径がインクの噴射方向に向かって次第に小さくなっているため、インクの噴射速度が増加すると共に、インクの直進性が向上する。これにより、記録紙Ｐに記録される画像などの品質が向上する。
【0100】
［インクジェットヘッドの製造方法］
本実施形態のインクジェットヘッド５の製造方法は、基板準備工程、カバープレート接合工程、チャネル形成工程、電極形成工程、電極分離工程、溝部形成工程、中間プレート接合工程、マスク配置工程、保護膜形成工程、マスク除去工程、ノズルプレート接合工程及び外部基板接続工程を含む。
本実施形態のインクジェットヘッド５の製造方法は、基板準備工程、カバープレート接合工程、チャネル形成工程、電極形成工程、電極分離工程、溝部形成工程、中間プレート接合工程、マスク配置工程、保護膜形成工程、マスク除去工程、ノズルプレート接合工程及び外部基板接続工程を含む。
【0101】
基板準備工程では、インクジェットヘッド５の構成要素を得るためのウエハ等を予め準備する。以下、アクチュエータプレート５０を得るためのウエハをアクチュエータウエハ（以下、ＡＷともいう。）とする。基板準備工程では、ＡＷには複数のチャネルを含む溝を形成しておく。基板準備工程では、インク流路及び第２液体流路を有するカバープレートを準備しておく。基板準備工程の後、カバープレート接合工程に移る。
【0102】
カバープレート接合工程では、ＡＷの上面にカバープレートを接合する。これにより、ＡＷとカバープレートとを接合した接合ウエハを得る。カバープレート接合工程の後、チャネル形成工程に移る。
【0103】
チャネル形成工程では、例えばグラインダーにより、ＡＷの下面を研削する。これにより、ＡＷの下面に各チャネルを開口させる。チャネル形成工程の後、電極形成工程に移る。
【0104】
電極形成工程では、例えば斜方蒸着法により、各チャネルの内面及びＡＷの下面に導電膜を形成する。電極形成工程の後、電極分離工程に移る。
【0105】
電極分離工程では、例えばレーザーパターニングにより、ＡＷの下面において、導電膜を共通パッド５８と個別パッド５９とに分離する（図７参照）。電極分離工程の後、溝部形成工程に移る。
【0106】
溝部形成工程では、例えばダイサーにより、Ｘ方向に延びる溝部Ｄｉを形成する（図７参照）。溝部形成工程の後、中間プレート接合工程に移る。
【0107】
【0108】
マスク配置工程では、ＡＷの下面の尾部５０Ｙ（図７参照）にマスクＭａを配置する。マスク配置工程の後、保護膜形成工程に移る。
【0109】
保護膜形成工程では、噴射チャネル５１（図８参照）に保護膜を形成するための流体を中間プレート４２の連通孔４２ａ（図８参照）とカバープレート６０のインク流路Ｌｐ１，Ｌｐ２（図８参照）とを通じて噴射チャネル５１に供給する。例えば、パラキシリレン系ダイマーを加熱してモノマー蒸気にし、モノマーを対象物である噴射チャネル５１の内面で反応させることにより保護膜を形成する。保護膜形成工程の後、マスク除去工程に移る。
【0110】
マスク除去工程では、ＡＷの下面からマスクＭａを除去する。マスク除去工程の後、ノズルプレート接合工程に移る。
【0111】
ノズルプレート接合工程では、中間プレート４２の下面にノズルプレート４１を接合する（図８参照）。ノズルプレート接合工程の後、外部基板接続工程に移る。
【0112】
【0113】
以上説明したように、第１実施形態に係るヘッドチップ４０は、インクを噴射するノズル孔４１ａに連通する噴射チャネル５１と、インクを噴射しない非噴射チャネル５２，５３と、を有するアクチュエータプレート５０を備える。非噴射チャネル５２，５３のうち第１非噴射チャネル５２には、インクとは異なる第２液体が充填されている。
この構成によれば、インクが噴射チャネル５１から漏れ出て第１非噴射チャネル５２に浸入した場合であっても、第２液体の介在により、第１非噴射チャネル５２に浸入したインクが第１非噴射チャネル５２に設けられる個別電極５７に接触することを抑制することができる。
この構成によれば、インクが噴射チャネル５１から漏れ出て第１非噴射チャネル５２に浸入した場合であっても、第２液体の介在により、第１非噴射チャネル５２に浸入したインクが第１非噴射チャネル５２に設けられる個別電極５７に接触することを抑制することができる。
【0114】
第１実施形態のインクは、導電性を有する。第２液体は、インクよりも導電性が低い。
この構成によれば、導電性を有するインクが噴射チャネル５１から漏れ出て第１非噴射チャネル５２に浸入した場合であっても、インクよりも導電性が低い第２液体の介在により、第１非噴射チャネル５２に浸入したインクの導電率を低下させることができるため、不良発生時期を遅らせることができる。
この構成によれば、導電性を有するインクが噴射チャネル５１から漏れ出て第１非噴射チャネル５２に浸入した場合であっても、インクよりも導電性が低い第２液体の介在により、第１非噴射チャネル５２に浸入したインクの導電率を低下させることができるため、不良発生時期を遅らせることができる。
【0115】
第１実施形態のヘッドチップ４０は、アクチュエータプレート５０に接合され、噴射チャネル５１に連通するインク流路Ｌｐ１，Ｌｐ２と、第１非噴射チャネル５２に連通する第２液体流路Ｌｑ１，Ｌｑ２と、を有するカバープレート６０を備える。第２液体流路Ｌｑ１，Ｌｑ２は、第１非噴射チャネル５２の第１端に連通する第２液体供給流路６３と、第１非噴射チャネル５２の第２端に連通する第２液体排出流路６４と、を含む。第２液体は、第２液体供給流路６３、第１非噴射チャネル５２及び第２液体排出流路６４を通じて循環している。
この構成によれば、第１非噴射チャネル５２における第２液体の循環により、第１非噴射チャネル５２に浸入したインクが第１非噴射チャネル５２に設けられる個別電極５７に接触することをより効果的に抑制することができる。
加えて、発熱部である噴射チャネル５１を冷却することができる。
例えば、噴射チャネルを通るインクを冷却に用いる構成の場合、インクの噴射量が増加したときに冷却効率が低下する可能性がある。これに対しこの構成によれば、第１非噴射チャネル５２に第２液体を循環させることで、インクの噴射量が増加しても冷却効率が低下しないため、冷却効率のばらつきを抑制することができる。
例えば、ヘッドチップに接する部位に冷却用部材を配置する構成の場合、発熱部である噴射チャネルと冷却用部材とが遠く離れる可能性がある。これに対しこの構成によれば、第２液体が循環する第１非噴射チャネル５２は、発熱部である噴射チャネル５１に近いため、効率よく冷却することができる。
この構成によれば、第１非噴射チャネル５２における第２液体の循環により、第１非噴射チャネル５２に浸入したインクが第１非噴射チャネル５２に設けられる個別電極５７に接触することをより効果的に抑制することができる。
加えて、発熱部である噴射チャネル５１を冷却することができる。
例えば、噴射チャネルを通るインクを冷却に用いる構成の場合、インクの噴射量が増加したときに冷却効率が低下する可能性がある。これに対しこの構成によれば、第１非噴射チャネル５２に第２液体を循環させることで、インクの噴射量が増加しても冷却効率が低下しないため、冷却効率のばらつきを抑制することができる。
例えば、ヘッドチップに接する部位に冷却用部材を配置する構成の場合、発熱部である噴射チャネルと冷却用部材とが遠く離れる可能性がある。これに対しこの構成によれば、第２液体が循環する第１非噴射チャネル５２は、発熱部である噴射チャネル５１に近いため、効率よく冷却することができる。
【0116】
第１実施形態の噴射チャネル５１及び第１非噴射チャネル５２は、それぞれ複数設けられている。複数の噴射チャネル５１及び第１非噴射チャネル５２は、Ｚ方向から見て、それぞれＹ方向に延びるとともに、Ｘ方向に間隔をあけて交互に配置されている。第２液体は、複数の第１非噴射チャネル５２のそれぞれを通じて循環している。
この構成によれば、各第１非噴射チャネル５２における第２液体の循環により、発熱部である各噴射チャネル５１を冷却することができるため、各噴射チャネル５１の間で温度分布が生じることを抑制することができる。
この構成によれば、各第１非噴射チャネル５２における第２液体の循環により、発熱部である各噴射チャネル５１を冷却することができるため、各噴射チャネル５１の間で温度分布が生じることを抑制することができる。
【0117】
第１実施形態の第２液体供給流路６３は、複数の第１非噴射チャネル５２の第１端のそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。第２液体排出流路６４は、複数の第１非噴射チャネル５２の第２端のそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。
この構成によれば、複数の第１非噴射チャネル５２の第１端に跨って連通する第２液体供給流路６３と、複数の第１非噴射チャネル５２の第２端に跨って連通する第２液体排出流路６４と、を通じて各第１非噴射チャネル５２に第２液体を循環することができるため、発熱部である噴射チャネル５１をより効果的に冷却することができる。
この構成によれば、複数の第１非噴射チャネル５２の第１端に跨って連通する第２液体供給流路６３と、複数の第１非噴射チャネル５２の第２端に跨って連通する第２液体排出流路６４と、を通じて各第１非噴射チャネル５２に第２液体を循環することができるため、発熱部である噴射チャネル５１をより効果的に冷却することができる。
【0118】
第１実施形態のインクジェットヘッド５及びプリンタ１は、上述したヘッドチップ４０を備えるため、第１非噴射チャネル５２に浸入したインクが第１非噴射チャネル５２に設けられる個別電極５７に接触することを抑制することができるインクジェットヘッド５及びプリンタ１を提供することができる。
【0119】
（第２実施形態）
図１５は、第２実施形態に係るインク循環流路及び第２液体循環流路の説明図である。図１６は、第２実施形態に係るアクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図である。図１７は、第２実施形態に係るカバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図である。図１８は、第２実施形態に係る第１流路部材の上面図である。図１５から図１８は、図１１から図１４にそれぞれ相当する図である。第２実施形態は、第２液体循環流路の態様（カバープレート２６０、第１流路部材２８０及び第２流路部材２９０の態様）が上述した第１実施形態と相違している。第２実施形態において、第１実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図１５は、第２実施形態に係るインク循環流路及び第２液体循環流路の説明図である。図１６は、第２実施形態に係るアクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図である。図１７は、第２実施形態に係るカバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図である。図１８は、第２実施形態に係る第１流路部材の上面図である。図１５から図１８は、図１１から図１４にそれぞれ相当する図である。第２実施形態は、第２液体循環流路の態様（カバープレート２６０、第１流路部材２８０及び第２流路部材２９０の態様）が上述した第１実施形態と相違している。第２実施形態において、第１実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【0120】
図１５に示すように、第１流路部材２８０、第２流路部材２９０、カバープレート２６０及びアクチュエータプレート５０は、＋Ｚ側から順に配置されている。第１流路部材２８０は、第２流路部材２９０を介してカバープレート２６０の上面に連結されている。
【0121】
カバープレート２６０は、インク供給流路６１、インク排出流路６２、第２液体供給流路２６３、第２液体排出流路２６４及び連通流路２６５を有する。第１流路部材２８０は、インク供給部８１、インク排出部８２、第２液体供給部８３及び第２液体排出部８４を備える。第２流路部材２９０は、インク供給孔９１、インク排出孔９２、第２液体供給孔２９３及び第２液体排出孔２９４を有する。
【0122】
図１６に示すように、第２液体供給流路２６３は、複数（図の例では４本）の第１非噴射チャネル５２のうち－Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２の＋Ｙ側端のそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。第２液体排出流路２６４は、複数（図の例では４本）の第１非噴射チャネル５２のうち＋Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２の＋Ｙ側端のそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。連通流路２６５は、複数（図の例では４本）の第１非噴射チャネル５２の－Ｙ側端のそれぞれに跨ってＸ方向に延びている。
【0123】
図１７に示すように、第２液体供給孔２９３は、第２液体供給流路２６３に沿ってＸ方向に延びている。第２液体供給孔２９３は、第２液体供給流路２６３に連通している。
第２液体排出孔２９４は、第２液体排出流路２６４に沿ってＸ方向に延びている。第２液体排出孔２９４は、第２液体排出流路２６４に連通している。
第２液体排出孔２９４は、第２液体排出流路２６４に沿ってＸ方向に延びている。第２液体排出孔２９４は、第２液体排出流路２６４に連通している。
【0124】
図１８に示すように、第２液体供給部８３は、Ｚ方向から見て第２液体供給孔２９３（図１７参照）の－Ｘ側端と重なる位置に配置されている。第２液体供給部８３は、第２液体供給孔２９３の－Ｘ側端と連通するように開口している。第２液体排出部８４は、Ｚ方向から見て第２液体排出孔２９４（図１７参照）の＋Ｘ側端と重なる位置に配置されている。第２液体排出部８４は、第２液体排出孔２９４の＋Ｘ側端と連通するように開口している。
【0125】
図１５に示すように、第２液体は、第２液体供給部８３、第２液体供給孔２９３及び第２液体供給流路２６３を通じて第１非噴射チャネル５２（図１６に示す－Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２）に供給される。第１非噴射チャネル５２に供給された第２液体は、連通流路２６５、第１非噴射チャネル５２（図１６に示す＋Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２）、第２液体排出流路２６４、第２液体排出孔２９４及び第２液体排出部８４を通じて第１非噴射チャネル５２から排出される。第１非噴射チャネル５２から排出された第２液体は、第２液体循環機構（不図示）により、第２液体供給部８３等を通じて第１非噴射チャネル５２に供給される。すなわち、第２液体供給部８３、第２液体供給孔２９３、第２液体供給流路２６３、第１非噴射チャネル５２（図１６に示す－Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２）、連通流路２６５、第１非噴射チャネル５２（図１６に示す＋Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２）、第２液体排出流路２６４、第２液体排出孔２９４及び第２液体排出部８４は、第２液体循環流路Ｆ２を構成している。
【0126】
（第３実施形態）
図１９は、第３実施形態に係るインク循環流路及び第２液体循環流路の説明図である。図２０は、第３実施形態に係るアクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図である。図２１は、第３実施形態に係るカバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図である。図１９から図２１は、図１１から図１３（図１５から図１７）にそれぞれ相当する図である。第３実施形態は、第２液体循環流路の態様（アクチュエータプレート３５０及びカバープレート３６０の態様）が上述した第２実施形態と相違している。第３実施形態において、第１実施形態及び第２実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図１９は、第３実施形態に係るインク循環流路及び第２液体循環流路の説明図である。図２０は、第３実施形態に係るアクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図である。図２１は、第３実施形態に係るカバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図である。図１９から図２１は、図１１から図１３（図１５から図１７）にそれぞれ相当する図である。第３実施形態は、第２液体循環流路の態様（アクチュエータプレート３５０及びカバープレート３６０の態様）が上述した第２実施形態と相違している。第３実施形態において、第１実施形態及び第２実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【0127】
図１９に示すように、第１流路部材２８０、第２流路部材２９０、カバープレート３６０及びアクチュエータプレート３５０は、＋Ｚ側から順に配置されている。第１流路部材２８０は、第２流路部材２９０を介してカバープレート３６０の上面に連結されている。
【0128】
図２０に示すように、アクチュエータプレート３５０は、複数（図の例では４本）の第１非噴射チャネル５２の－Ｙ側端のそれぞれに跨ってＸ方向に延びる連通流路３５４を有する。
【0129】
図２１に示すように、カバープレート３６０は、インク供給流路６１、インク排出流路６２、第２液体供給流路２６３及び第２液体排出流路２６４を有する。すなわち、第３実施形態のカバープレート３６０は、連通流路２６５（図１５参照）を有しない点で第２実施形態のカバープレート２６０と異なる。
【0130】
図１９に示すように、第２液体は、第２液体供給部８３、第２液体供給孔２９３及び第２液体供給流路２６３を通じて第１非噴射チャネル５２（図２０に示す－Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２）に供給される。第１非噴射チャネル５２に供給された第２液体は、連通流路３５４、第１非噴射チャネル５２（図２０に示す＋Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２）、第２液体排出流路２６４、第２液体排出孔２９４及び第２液体排出部８４を通じて第１非噴射チャネル５２から排出される。第１非噴射チャネル５２から排出された第２液体は、第２液体循環機構（不図示）により、第２液体供給部８３等を通じて第１非噴射チャネル５２に供給される。すなわち、第２液体供給部８３、第２液体供給孔２９３、第２液体供給流路２６３、第１非噴射チャネル５２（図２０に示す－Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２）、連通流路３５４、第１非噴射チャネル５２（図２０に示す＋Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２）、第２液体排出流路２６４、第２液体排出孔２９４及び第２液体排出部８４は、第２液体循環流路Ｆ２を構成している。
【0131】
（第４実施形態）
図２２は、第４実施形態に係るインク循環流路及び第２液体循環流路の説明図である。図２３は、第４実施形態に係るアクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図である。図２４は、第４実施形態に係るカバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図である。図２２から図２４は、図１１から図１３（図１５から図１７）にそれぞれ相当する図である。第４実施形態は、第２液体循環流路の態様（アクチュエータプレート４５０、カバープレート４６０及び第２流路部材４９０の態様）が上述した第２実施形態と相違している。第４実施形態において、第１実施形態及び第２実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図２２は、第４実施形態に係るインク循環流路及び第２液体循環流路の説明図である。図２３は、第４実施形態に係るアクチュエータプレートの各チャネルをカバープレートの各流路と共に示す上面図である。図２４は、第４実施形態に係るカバープレートの各流路を第２流路部材の各孔と共に示す上面図である。図２２から図２４は、図１１から図１３（図１５から図１７）にそれぞれ相当する図である。第４実施形態は、第２液体循環流路の態様（アクチュエータプレート４５０、カバープレート４６０及び第２流路部材４９０の態様）が上述した第２実施形態と相違している。第４実施形態において、第１実施形態及び第２実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【0132】
図２２に示すように、第１流路部材２８０、第２流路部材４９０、カバープレート４６０及びアクチュエータプレート４５０は、＋Ｚ側から順に配置されている。第１流路部材２８０は、第２流路部材４９０を介してカバープレート４６０の上面に連結されている。
【0133】
図２３に示すように、アクチュエータプレート４５０は、複数（図の例では４本）の第１非噴射チャネル５２のうち－Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２の－Ｙ側端のそれぞれに跨ってＸ方向に延びる第１連通流路４５４と、複数（図の例では４本）の第１非噴射チャネル５２のうち＋Ｘ側の２本の第１非噴射チャネル５２の－Ｙ側端のそれぞれに跨ってＸ方向に延びる第２連通流路４５５と、複数（図の例では４本）の第１非噴射チャネル５２のうちＸ方向中央側の２本の第１非噴射チャネル５２の＋Ｙ側端のそれぞれに跨ってＸ方向に延びる第３連通流路４５６と、を有する。
【0134】
図２４に示すように、カバープレート４６０は、第２液体供給流路４６３及び第２液体排出流路４６４を有する。図２３に示すように、第２液体供給流路４６３は、複数（図の例では４本）の第１非噴射チャネル５２のうち最も－Ｘ側の第１非噴射チャネル５２の＋Ｙ側端に連通している。第２液体排出流路４６４は、複数（図の例では４本）の第１非噴射チャネル５２のうち最も＋Ｘ側の第１非噴射チャネル５２の＋Ｙ側端に連通している。
【0135】
図２２に示すように、第２流路部材４９０は、第２液体供給孔４９３及び第２液体排出孔４９４を有する。図２４に示すように、第２液体供給孔４９３は、第２液体供給流路４６３に沿ってＸ方向に延びている。第２液体供給孔４９３は、第２液体供給流路４６３に連通している。第２液体排出孔４９４は、第２液体排出流路４６４に沿ってＸ方向に延びている。第２液体排出孔４９４は、第２液体排出流路４６４に連通している。
【0136】
第２液体供給部８３は、Ｚ方向から見て第２液体供給孔４９３（図２４参照）の－Ｘ側端と重なる位置に配置されている。第２液体供給部８３は、第２液体供給孔４９３の－Ｘ側端と連通するように開口している。第２液体排出部８４は、Ｚ方向から見て第２液体排出孔４９４（図２４参照）の＋Ｘ側端と重なる位置に配置されている。第２液体排出部８４は、第２液体排出孔４９４の＋Ｘ側端と連通するように開口している。
【0137】
図２２に示すように、第２液体は、第２液体供給部８３、第２液体供給孔４９３及び第２液体供給流路４６３を通じて第１非噴射チャネル５２（図２３に示す最も－Ｘ側の第１非噴射チャネル５２）に供給される。第１非噴射チャネル５２に供給された第２液体は、第１連通流路４５４、第１非噴射チャネル５２（図２３に示す－Ｘ側から２本目の第１非噴射チャネル５２）、第３連通流路４５６、第１非噴射チャネル５２（図２３に示す＋Ｘ側から２本目の第１非噴射チャネル５２）、第２連通流路４５５、第１非噴射チャネル５２（図２３に示す最も＋Ｘ側の第１非噴射チャネル５２）、第２液体排出流路４６４、第２液体排出孔４９４及び第２液体排出部８４を通じて第１非噴射チャネル５２から排出される。第１非噴射チャネル５２から排出された第２液体は、第２液体循環機構（不図示）により、第２液体供給部８３等を通じて第１非噴射チャネル５２に供給される。すなわち、第２液体供給部８３、第２液体供給孔４９３、第２液体供給流路４６３、第１非噴射チャネル５２（図２３に示す最も－Ｘ側の第１非噴射チャネル５２）、第１連通流路４５４、第１非噴射チャネル５２（図２３に示す－Ｘ側から２本目の第１非噴射チャネル５２）、第３連通流路４５６、第１非噴射チャネル５２（図２３に示す＋Ｘ側から２本目の第１非噴射チャネル５２）、第２連通流路４５５、第１非噴射チャネル５２（図２３に示す最も＋Ｘ側の第１非噴射チャネル５２）、第２液体排出流路４６４、第２液体排出孔４９４及び第２液体排出部８４は、第２液体循環流路Ｆ２を構成している。
【0138】
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【0139】
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限らない。例えば、液体噴射記録装置は、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限らない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限らない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
【0140】
上述した実施形態では、サイドシュートタイプのヘッドチップ４０を例に挙げて説明したが、これに限らない。例えば、噴射チャネルにおけるチャネル延在方向の先端部からインクを噴射する、いわゆるエッジシュートタイプのヘッドチップに本開示を適用してもよい。
また、インクに加わる圧力の方向と、インクの吐出方向と、を同一方向とした、いわゆるルーフシュートタイプのヘッドチップに本開示を適用してもよい。
また、インクに加わる圧力の方向と、インクの吐出方向と、を同一方向とした、いわゆるルーフシュートタイプのヘッドチップに本開示を適用してもよい。
【0141】
上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成に限らない。例えば、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
【0142】
上述した実施形態では、ノズル孔４１ａが二列並んだ二列タイプのインクジェットヘッド５について説明したが、これに限らない。例えば、ノズル孔４１ａが三列以上のインクジェットヘッドとしてもよく、ノズル孔４１ａが一列のインクジェットヘッドとしてもよい。
【0143】
上述した実施形態では、噴射チャネル５１と非噴射チャネル５２，５３とが交互に配列された構成について説明したが、これに限らない。例えば、全チャネルから順次インクを噴射する、いわゆる３サイクル方式のインクジェットヘッドに本開示を適用しても構わない。
【0144】
上述した実施形態では、アクチュエータプレート５０としてシェブロンタイプを用いた構成について説明したが、これに限らない。すなわち、モノポールタイプ（分極方向が厚さ方向で一方向）のアクチュエータプレートを用いても構わない。
【0145】
上述した実施形態では、アクチュエータプレート５０の第２領域Ｒｅ２は、外部基板４５が接続される接続領域Ｒｃを含む構成について説明したが、これに限らない。例えば、第２領域Ｒｅ２は、接続領域Ｒｃを含まなくてもよい。例えば、接続領域Ｒｃは、カバープレート６０等のアクチュエータプレート５０以外の基板に設けられていてもよい。
【0146】
上述した実施形態では、第１非噴射チャネル５２及び第２非噴射チャネル５３がＹ方向に互いに分離している構成について説明したが、これに限らない。例えば、第１非噴射チャネル５２及び第２非噴射チャネル５３は、Ｙ方向に互いに繋がっていてもよい。例えば、アクチュエータプレートは、一様の深さでＹ方向に延びる非噴射チャネルを有していてもよい。
【0147】
上述した実施形態では、第２液体がインクよりも導電性が低い例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第２液体は、インクよりも導電性が高くてもよい。例えば、第２液体は、インク（第１液体）とは異なっていればよい。
【0148】
上述した実施形態では、第２液体は、第２液体供給流路６３、第１非噴射チャネル５２及び第２液体排出流路６４を通じて循環している例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第２液体は、第１非噴射チャネル５２及び第２液体排出流路６４を通じて循環していなくてもよい。例えば、第２液体は、第１非噴射チャネル５２に充填されていればよい。例えば、第２液体は、非噴射チャネル５２，５３の両方に充填されていてもよい。
【0149】
その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは可能である。また、上述した各変形例を組み合わせても構わない。
【符号の説明】
【0150】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）
５，５Ｋ，５Ｃ，５Ｍ，５Ｙ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
４０…ヘッドチップ（液体噴射ヘッドチップ）
４１ａ…ノズル孔
５０，３５０，４５０…アクチュエータプレート
５１…噴射チャネル
５２，２５２…第１非噴射チャネル（非噴射チャネル）
５３…第２非噴射チャネル（非噴射チャネル）
６０，２６０，３６０，４６０…カバープレート
６３，２６３，４６３…第２液体供給流路（供給流路）
６４，２６４，４６４…第２液体排出流路（排出流路）
Ｌｐ１…インク流路（第１液体流路）
Ｌｐ２…インク流路（第１液体流路）
Ｌｑ１…第１非噴射側流路（第２液体流路）
Ｌｑ２…第２非噴射側流路（第２液体流路）
５，５Ｋ，５Ｃ，５Ｍ，５Ｙ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
４０…ヘッドチップ（液体噴射ヘッドチップ）
４１ａ…ノズル孔
５０，３５０，４５０…アクチュエータプレート
５１…噴射チャネル
５２，２５２…第１非噴射チャネル（非噴射チャネル）
５３…第２非噴射チャネル（非噴射チャネル）
６０，２６０，３６０，４６０…カバープレート
６３，２６３，４６３…第２液体供給流路（供給流路）
６４，２６４，４６４…第２液体排出流路（排出流路）
Ｌｐ１…インク流路（第１液体流路）
Ｌｐ２…インク流路（第１液体流路）
Ｌｑ１…第１非噴射側流路（第２液体流路）
Ｌｑ２…第２非噴射側流路（第２液体流路）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】