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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-08-30
(45)【発行日】2024-09-09
(54)【発明の名称】洗浄モジュール、保管システム、及び保管装置の洗浄方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/304 20060101AFI20240902BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20240902BHJP
【ＦＩ】
H01L21/304 648E
H01L21/68 A
H01L21/304 648L
H01L21/304 648G
H01L21/304 645A
【請求項の数】
18
(21)【出願番号】P 2022206295
(22)【出願日】2022-12-23
(65)【公開番号】P2023097409
(43)【公開日】2023-07-07
【審査請求日】2022-12-23
(31)【優先権主張番号】10-2021-0189004
(32)【優先日】2021-12-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(31)【優先権主張番号】10-2022-0127124
(32)【優先日】2022-10-05
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】598123150
【氏名又は名称】セメス株式会社
【氏名又は名称原語表記】ＳＥＭＥＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．
【住所又は居所原語表記】７７，４ｓａｎｄａｎ ５－ｇｉｌ，Ｊｉｋｓａｎ－ｅｕｐ，Ｓｅｏｂｕｋ－ｇｕ，Ｃｈｅｏｎａｎ－ｓｉ，Ｃｈｕｎｇｃｈｅｏｎｇｎａｍ－ｄｏ，３３１－８１４ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ
(74)【代理人】
【識別番号】110000671
【氏名又は名称】ＩＢＣ一番町弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】セオ，サン ジン
(72)【発明者】
【氏名】ジョ，ジュン ホ
(72)【発明者】
【氏名】イ，ミョン ホ
(72)【発明者】
【氏名】リム，スン ジェ
【審査官】堀江 義隆
(56)【参考文献】
【文献】特開平０５－２０１５０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－２６１１５９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－０７１８１６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－０６６６８９（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１７／２１２８４１（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
Ｈ０１Ｌ ２１／６７ － ２１／６７７
Ｈ０１Ｌ ２１／０２
Ａ４７Ｌ ９／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
保管装置を洗浄するための洗浄モジュールにおいて、内部空間を定義するハウジングと、
前記内部空間に設置され、前記内部空間に流入される気流を形成する吸引器具と、
前記吸引器具によって前記内部空間に流入される気流を前記ハウジングの外部に排気する排気部と、を含む洗浄モジュール。
【請求項2】
前記吸引器具が形成する気流によって前記内部空間に流入されるパーティクルをトラップするトラップ部材をさらに含む請求項１に記載の洗浄モジュール。
【請求項3】
前記トラップ部材は、上部から下部に行くほど、幅が大きくなる裏返った漏斗形状を有する請求項２に記載の洗浄モジュール。
【請求項4】
前記トラップ部材は、前記吸引器具と対向する入口部と、
前記入口部から下方向に沿って延長され、垂直方向に対して傾いた面を有する傾斜部と、を含む請求項３に記載の洗浄モジュール。
【請求項5】
前記保管装置の支持器具と対向し、前記ハウジングの下部に設置される吸引部を含み、前記吸引部は、プレート形状を有し、複数のホールが形成された請求項１に記載の洗浄モジュール。
【請求項6】
前記吸引部に形成された複数のホールは、第１ホールと、
前記第１ホールより小さい直径を有する第２ホールと、を含む請求項５に記載の洗浄モジュール。
【請求項7】
前記吸引部で前記第１ホールが形成された領域を第１領域とし、前記吸引部で前記第２ホールが形成された領域を第２領域とする時、前記第２領域で単位面積当たり形成される前記第２ホールの数は、前記第１領域で単位面積当たり形成される前記第１ホールの数より多い請求項６に記載の洗浄モジュール。
【請求項8】
前記第２ホールは、前記保管装置の前記支持器具に設置されるシェルフセンサーと対応した位置に形成される請求項６に記載の洗浄モジュール。
【請求項9】
前記トラップ部材によってトラップされたパーティクルと対向する位置に設置され、前記ハウジングにヒンジによって結合される排出部を含む請求項４に記載の洗浄モジュール。
【請求項10】
物品を保管する保管システムにおいて、物品が収納される少なくとも１つ以上の収納容器と、
前記収納容器を保管する保管装置と、
前記保管装置の支持器具に積み重ねられたパーティクルを収集する少なくとも１つ以上の洗浄モジュールと、を含み、
前記保管装置は、
各々前記支持器具を含む複数の収納部と、
前記収納部の間で前記収納容器、そして前記洗浄モジュールを搬送する搬送ユニットと、を含む保管システム。
【請求項11】
前記収納部は、前記搬送ユニットの走行方向である第１方向及び地面と垂直になる方向である第３方向に沿って配置され、前記搬送ユニットのハンドは、前記収納部の間で前記収納容器、そして前記洗浄モジュールを搬送できるように構成される請求項１０に記載の保管システム。
【請求項12】
前記支持器具は、前記収納容器又は前記洗浄モジュールを支持できるように構成されるシェルフと、
前記シェルフに設置されるシェルフセンサーと、を含む請求項１１に記載の保管システム。
【請求項13】
前記洗浄モジュールは、内部空間を定義するハウジングと、
前記内部空間に設置され、前記内部空間に流入される気流を形成する吸引器具と、
前記吸引器具によって前記内部空間に流入される気流を前記ハウジングの外部に排気する排気部と、
前記ハウジングの下部に設置される吸引部と、を含み、
前記吸引部は、プレート形状を有し、複数のホールが形成された請求項１２に記載の保管システム。
【請求項14】
前記複数のホールは、第１ホールと、
上部から見る時、前記第１ホールより前記シェルフセンサーに隣接するように位置する第２ホールを含む請求項１３に記載の保管システム。
【請求項15】
前記第２ホールは、前記第１ホールより小さい直径を有する請求項１４に記載の保管システム。
【請求項16】
前記吸引部で前記第１ホールが形成された領域を第１領域とし、前記吸引部で前記第２ホールが形成された領域を第２領域とする時、前記第２領域で単位面積当たり形成される前記第２ホールの数は、前記第１領域で単位面積当たり形成される前記第１ホールの数より多い請求項１４に記載の保管システム。
【請求項17】
洗浄モジュールを利用して物品が収納された保管装置を洗浄する方法において、前記洗浄モジュールを前記保管装置が具備する複数の収納部の中で第１収納部に搬送して前記第１収納部が有する支持器具に積み重ねられたパーティクルを収集し、
複数の収納部の中でいずれか１つに対する洗浄が完了されれば、前記洗浄モジュールを複数の収納部の中で第２収納部に搬送して前記第２収納部が有する支持器具に積み重ねられたパーティクルを収集する方法。
【請求項18】
前記保管装置が動作するプロセス段階では、前記洗浄モジュールが、前記第１収納部が有する支持器具に積み重ねられたパーティクルを収集する間に前記洗浄モジュールを搬送するハンドモジュールが他の課題を遂行し、
前記保管装置をメンテナンスするメンテナンス段階では、
前記洗浄モジュールが、前記第１収納部が有する前記支持器具に積み重ねられたパーティクルの収集を完了する時まで前記ハンドモジュールが待機し、
前記第１収納部のパーティクル収集が完了されれば、前記ハンドモジュールは、前記洗浄モジュールを前記第２収納部に搬送して前記第２収納部が有する支持器具に積み重ねられたパーティクルを収集する請求項１７に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は洗浄モジュール、保管システム、及び保管装置の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【0002】
一般的に、半導体素子の製造はウエハ等の基板を対象として、写真工程、露光工程、蝕刻工程、拡散工程、蒸着工程、及び金属工程等の様々な単位工程を反復的に遂行して行われる。各々の単位工程は該当工程を遂行することができる基板処理装置で行われる。基板処理装置に被処理物であるウエハ、ガラス等の基板や、基板の処理に使用されるマスク（Ｍａｓｋ）等を搬送するためにオーバーヘッドトランスポート（Ｏｖｅｒｈｅａｄ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ：ＯＨＴ）や、オートモバイルロボット（Ａｕｔｏ Ｍｏｂｉｌｅ Ｒｏｂｏｔ：ＡＭＲ）等の搬送装置が使用される。また、上の基板、マスクはキャリヤー（ｃａｒｒｉｅｒ）、カセット（ｃａｓｓｅｔｔｅ）、フープ（ＦＯＵＰ）、ポッド（ＰＯＤ）等と称される収納容器に積載された状態で搬送される。
【0003】
収納容器は保管装置であるストッカー（Ｓｔｏｃｋｅｒ）に保管されることができる。ストッカーは容器を貯蔵するためのシェルフと、複数のシェルフの間に容器を搬送するための搬送ロボットを具備する。搬送ロボットはシェルフの間で収納容器を搬送する。
一般的に、単位面積当たり収納容器を保管することができる数を増やすためにストッカーは非常に高い高さで製造される。ストッカーを具備するシェルフは半導体製造ラインの底から数ｍ乃至数十ｍ程度の高さまで設置される。
一般的に、単位面積当たり収納容器を保管することができる数を増やすためにストッカーは非常に高い高さで製造される。ストッカーを具備するシェルフは半導体製造ラインの底から数ｍ乃至数十ｍ程度の高さまで設置される。
【0004】
一方、半導体製造ラインでは様々な理由によってパーティクルのようなほこりが発生する。このようなほこりはストッカーを具備するシェルフに積み重ねられる。シェルフに積み重ねられたほこりはシェルフに設置されるセンサー（一般的に、センサーはシェルフに収納容器が置かれているか否かを感知する）の感知動作を妨害する。また、シェルフに積み重ねられたほこりは様々な理由によって収納容器内に流入されることができる。収納容器内には高い水準の清浄度が要求されるウエハ等の被処理物が収納される。ほこりが収納容器内に流入されれば、被処理物を汚染させる。これは、半導体製造ラインで製造される製造品に不良を引き起こすことができる。
【0005】
このような理由によって、作業者はストッカーに積み重ねられたほこりを除去するためのクリーニング作業を遂行する。しかし、先に説明したようにストッカーは非常に高い高さで製造され、ストッカーを具備するシェルフの中で一部は数ｍ乃至数十ｍの高さで位置するので、シェルフに積み重ねられたほこりを除去することが容易でない。また、クリーニング作業を遂行する間には安全上の理由によってストッカーの駆動を中断させなければならない。この場合、半導体製造ラインでの物流流れはストッカーの駆動中端によって影響を受け、結果的に半導体製造ラインの生産効率を低下させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】韓国特許公開第１０－２００９－００３６６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明の目的は保管装置を効果的に洗浄することができる洗浄モジュール、保管システム、及び保管装置の洗浄方法を提供することにある。
【0008】
また、本発明の目的は保管装置が具備する支持シェルフに積み重ねられたパーティクルを効果的に収集することができる洗浄モジュール、保管システム、及び保管装置の洗浄方法を提供することにある。
【0009】
また、本発明の目的は保管装置が動作するプロセス段階で、保管装置の動作を中断させなくとも保管装置を洗浄することができる洗浄モジュール、保管システム、及び保管装置の洗浄方法を提供することにある。
【0010】
また、本発明の目的は保管装置をメンテナンスするメンテナンス段階で、保管装置の洗浄を速く遂行することができる洗浄モジュール、保管システム、及び保管装置の洗浄方法を提供することにある。
【0011】
本発明が解決しようとする課題が上述した課題に限定されることはなく、言及されなかった課題は本明細書及び添付された図面から本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者に明確に理解されるべきである。
【課題を解決するための手段】
【0012】
本発明は、保管装置を洗浄するための洗浄モジュールを提供する。洗浄モジュールは、内部空間を定義するハウジング、前記内部空間に設置され、前記内部空間に流入される気流を形成する吸引器具、及び前記吸引器具によって前記内部空間に流入される気流を前記ハウジングの外部に排気する排気部を含むことができる。
【0013】
一実施形態によれば、前記吸引器具が形成する気流によって前記内部空間に流入されるパーティクルをトラップするトラップ部材をさらに含むことができる。
【0014】
一実施形態によれば、前記トラップ部材は、上部から下部に行くほど、幅が大きくなる裏返った漏斗形状を有することができる。
【0015】
一実施形態によれば、前記トラップ部材は、前記吸引器具と対向する入口部、及び前記入口部から下方向に沿って延長され、垂直方向に対して傾いた面を有する傾斜部を含むことができる。
【0016】
一実施形態によれば、保管装置の支持器具と対向し、前記ハウジングの下部に設置される吸引部を含み、前記吸引部はプレート形状を有し、複数のホールが形成されることができる。
【0017】
一実施形態によれば、前記吸引部に形成された複数のホールは、第１ホール、及び前記第１ホールより小さい直径を有する第２ホールを含むことができる。
【0018】
一実施形態によれば、前記吸引部で前記第１ホールが形成された領域を第１領域とし、前記吸引部で前記第２ホールが形成された領域を第２領域とする時、前記第２領域で単位面積当たり形成される前記第２ホールの数は、前記第１領域で単位面積当たり形成される前記第１ホールの数より多いことができる。
【0019】
一実施形態によれば、前記第２ホールは、保管装置の支持器具に設置されるシェルフセンサーと対応した位置に形成されることができる。
【0020】
一実施形態によれば、前記トラップ部材によってトラップされたパーティクルと対向する位置に設置され、前記ハウジングにヒンジによって結合される排出部を含むことができる。
【0021】
また、本発明は物品を保管する保管システムを提供する、保管システムは、物品が収納される少なくとも１つ以上の収納容器、前記収納容器を保管する保管装置、及び前記保管装置の支持器具に積み重ねられたパーティクルを収集する少なくとも１つ以上の洗浄モジュールを含み、前記保管装置は、各々前記支持器具を含む複数の収納部、及び前記収納部の間で前記収納容器、そして前記洗浄モジュールを搬送する搬送ユニットを含むことができる。
【0022】
一実施形態によれば、前記収納部は、第１方向及び地面に垂直になる方向である第３方向に沿って配置され、前記搬送ユニットのハンドは前記収納部の間で前記収納容器、そして前記洗浄モジュールを搬送できるように構成されることができる。
【0023】
一実施形態によれば、前記支持器具は、前記収納容器又は前記洗浄モジュールを支持できるように構成されるシェルフ、及び前記シェルフに設置されるシェルフセンサーを含むことができる。
【0024】
一実施形態によれば、前記洗浄モジュールは、内部空間を定義するハウジング、前記内部空間に設置され、前記内部空間に流入される気流を形成する吸引器具、前記吸引器具によって前記内部空間に流入される気流を前記ハウジングの外部に排気する排気部、及び前記ハウジングの下部に設置される吸引部を含み、前記吸引部は、プレート形状を有し、複数のホールが形成されることができる。
【0025】
一実施形態によれば、前記複数のホールは、第１ホール、及び上部から見る時、前記第１ホールより前記シェルフセンサーに隣接するように位置する第２ホールを含むことができる。
【0026】
一実施形態によれば、前記第２ホールは前記第１ホールより小さい直径を有することができる。
【0027】
一実施形態によれば、前記吸引部で前記第１ホールが形成された領域を第１領域とし、前記吸引部で前記第２ホールが形成された領域を第２領域とする時、前記第２領域で単位面積当たり形成される前記第２ホールの数は、前記第１領域で単位面積当たり形成される前記第１ホールの数より多いことができる。
【0028】
一実施形態によれば、前記保管装置は、前記洗浄モジュールに収集されたパーティクルを前記洗浄モジュールから排出する少なくとも１つ以上の排出部を含み、前記排出部は、前記洗浄モジュールが有する排出部（前記排出部は、前記洗浄モジュールに収集されたパーティクルと対向する位置に設置される）を開放して前記洗浄モジュールに収集されたパーティクルを外部に排出する排出器具を含むことができる。
【0029】
一実施形態によれば、前記排出器具は、リジッド（Ｒｉｇｉｄ）な素材で形成され、前記排出部と対向する第１配管、及びフレキシブル（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ）な素材で形成され、前記第１配管に連結される第２配管を含むことができる。
【0030】
また、本発明は洗浄モジュールを利用して物品が収納された保管装置を洗浄する方法を提供する。洗浄方法は、前記洗浄モジュールを前記保管装置が具備する複数の収納部の中で第１収納部に搬送して前記第１収納部が有する支持器具に積み重ねられたパーティクルを収集し、複数の収納部の中でいずれか１つに対する洗浄が完了されれば、前記洗浄モジュールを複数の収納部の中で第２収納部に搬送して前記第２収納部が有する支持器具に積み重ねられたパーティクルを収集することができる。
【0031】
一実施形態によれば、前記保管装置が動作するプロセス段階では、前記洗浄モジュールが、前記第１収納部が有する支持器具に積み重ねられたパーティクルを収集する間に前記洗浄モジュールを搬送するハンドモジュールが他の課題を遂行し、前記保管装置をメンテナンスするメンテナンス段階では、前記洗浄モジュールが、前記第１収納部が有する支持器具に積み重ねられたパーティクルの収集を完了する時まで前記ハンドモジュールが待機し、前記第１収納部のパーティクル収集が完了されれば、前記ハンドモジュールは前記洗浄モジュールを前記第２収納部に搬送して前記第２収納部が有する支持器具に積み重ねられたパーティクルを収集することができる。
【発明の効果】
【0032】
本発明の一実施形態によれば、保管装置を効果的に洗浄することができる。
【0033】
また、本発明の一実施形態によれば、保管装置が具備する支持シェルフに積み重ねられたパーティクルを効果的に収集することができる。
【0034】
また、本発明の一実施形態によれば、保管装置が動作するプロセス段階で、保管装置の動作を中断させなくとも保管装置を洗浄することができる。
【0035】
また、本発明の一実施形態によれば、保管装置をメンテナンスするメンテナンス段階で、保管装置の洗浄を速く遂行することができる。
【0036】
本発明の効果が上述した効果によって限定されることはなく、言及されなかった効果は本明細書及び添付された図面から本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に明確に理解されることができる。
【図面の簡単な説明】
【0037】
【図1】第２方向及び第３方向に平行である平面で切断された保管システムの断面図である。
【図2】第１方向及び第２方向に平行である平面で切断された保管システムの断面図である。
【図3】第１方向及び第３方向に平行である平面で切断された保管システムの断面図である。
【図4】洗浄モジュールを説明するための図面である。
【図9】プロセス段階で保管装置を洗浄する方法を示したフローチャートである。
【図10】メンテナンス段階で保管装置を洗浄する方法を示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0038】
本発明の他の長所及び特徴、そしてそれらを達成する方法は添付される図面と共に詳細に後述される実施形態を参照すれば、明確になる。しかし、本発明は以下で開示される実施形態に限定されることではなく、互いに異なる様々な形態に具現されることができ、単なる本実施形態は本発明の開示が完全するようにし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されることであり、本発明は請求項の範疇によって定義されるだけである。
【0039】
もし定義されてなくても、ここで使用されるすべての用語（技術或いは科学用語を含む）はこの発明が属する従来技術で普遍的な技術によって一般的に収容されることと同一な意味を有する。一般的な辞書によって定義された用語は関連された技術及び／或いは本出願の本文に意味することと同一な意味を有することと解釈されることができ、そしてここで明確に定義された表現ではなくても概念化されるか、或いは過度に形式的に解釈されないものである。
【0040】
単数の表現は文脈の上に明確に異なりに表現しない限り、複数の表現を含む。また、図面で要素の形状及びサイズ等はより明確な説明のために誇張されることができる。
【0041】
【0042】
図１は第２方向及び第３方向に平行である平面で切断された保管システムの断面図であり、図２は第１方向及び第２方向に平行である平面で切断された保管システムの断面図であり、図３は第１方向及び第３方向に平行である平面で切断された保管システムの断面図である。
【0043】
以下では、搬送ユニット１４０の走行方向を第１方向Ｘとし、上部から見る時、第１方向Ｘに垂直になる方向を第２方向Ｙとし、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙに垂直になる方向を第３方向Ｚとして定義することができる。第３方向Ｚは地面に垂直になる方向を意味することができる。
【0044】
【0045】
保管装置１０は物品を保管することができる。保管装置１０は物品が収納された収納容器２０を保管することができる。保管装置１０はストッカー（Ｓｔｏｃｋｅｒ）と称されることもある。保管装置１０はフレーム１００、支持器具１１０、充電モジュール１２０、排出器具１３０、そして搬送ユニット１４０を含むことができる。
【0046】
フレーム１００は保管装置１０の全体的な骨格として機能することができる。フレーム１００は後述する支持器具１１０が設置される本体であり得る。フレーム１００は底フレーム１０１と支持フレーム１０２を含むことができる。底フレーム１０１には後述する搬送ユニット１４０の走行レール１４１が固定設置されることができる。支持フレーム１０２には後述する支持器具１１０が固定設置されることができる。また、支持フレーム１０２にはフレームセンサー１０３が設置されることができる。フレームセンサー１０３は後述する収納部ＳＴごとに設置されることができる。フレームセンサー１０３は後述する収納部ＳＴごとに複数が設置されることができる。フレームセンサー１０３はプッシュセンサーであり得る。フレームセンサー１０３は洗浄モジュール３０によって押されたか否かによって、洗浄モジュール３０が後述する収納部ＳＴに安着されたか否かに関する信号を後述する制御器４０に伝送するプッシュセンサーであり得る。これと異なりに、フレームセンサー１０３はレーザー等を利用した距離感知センサーであってもよい。フレームセンサー１０３は収納容器２０又は洗浄モジュール３０の背面との距離を測定し、測定値を制御器４０に伝送することができる。制御器４０はフレームセンサー１０３が伝達する測定値に基づいて収納部ＳＴに安着された対象が洗浄モジュール３０であるか、又は収納容器２０であるかを判断することができる。
【0047】
支持器具１１０はフレーム１００に設置されることができる。支持器具１１０はフレーム１００の中で支持フレーム１０２に設置されることができる。支持器具１１０は収納容器２０、そして洗浄モジュール３０の中でいずれか１つを支持できるように構成されることができる。
【0048】
支持器具１１０はシェルフ１１１とシェルフセンサー１１３を含むことができる。シェルフ１１１は支持フレーム１０２に設置されることができる。シェルフ１１１は複数が支持フレーム１０２に設置されることができる。シェルフ１１１は第１方向Ｘ及び第３方向Ｚに沿って設置されることができる。シェルフ１１１は搬送ユニット１４０を基準に一側方に設置され、また搬送ユニット１４０を基準に他側方にも設置されることができる。図１乃至図３では搬送ユニット１４０の一側方及び他側方の各々に設置されるシェルフ１１１が５ｘ４の配列、即ち２０個が搬送ユニット１４０の一側方及び他側方の各々に設置されることと図示したが、これに限定されることではない。保管装置１０が具備するシェルフ１１１の数は多様に変形されることができる。
【0049】
シェルフ１１１は大体にフォーク形状を有することができる。シェルフ１１１は一対のフィンガーを有する形状を有することができる。シェルフ１１１が有する一対のフィンガーの上部の各々にはシェルフセンサー１１３が設置されることができる。シェルフセンサー１１３はプッシュセンサーであり得る。シェルフセンサー１１３は収納容器２０によって押されたか否かによって、収納容器２０が後述する収納部ＳＴに安着されたか否かを後述する制御器４０に伝送するプッシュセンサーであり得る。これと異なりに、シェルフセンサー１１３はレーザー等を利用した距離感知センサーであってもよい。シェルフセンサー１１３は収納容器２０又は洗浄モジュール３０の下面との距離を測定し、測定値を制御器４０に伝送することができる。制御器４０はシェルフセンサー１１３が伝達する測定値に基づいて収納部ＳＴに安着された対象が洗浄モジュール３０であるか、或いは収納容器２０であるかを判断することができる。
【0050】
支持器具１１０、フレーム１００の中で一部、そしてフレーム１００に設置されるフレームセンサー１０３は互いに組み合わせて収納容器２０を保管することができる１つのユニットとして機能することができる。以下では、このような１つのユニットを収納部ＳＴとして定義する。
【0051】
充電モジュール１２０は後述する洗浄モジュール３０が具備するバッテリーを充電することができる。充電モジュール１２０は非接触式に洗浄モジュール３０が具備するバッテリーを充電することができる。充電モジュール１２０はフレーム１００に設置されることができる。充電モジュール１２０は支持フレーム１０２に設置されることができる。充電モジュール１２０は支持器具１１０の中で選択された支持器具１１０と隣接するように支持フレーム１０２に設置されることができる。
【0052】
排出器具１３０は後述する洗浄モジュール３０が収集したパーティクル等のほこりを洗浄モジュール３０の外部に排出することができる。排出器具１３０は充電モジュール１２０と隣接する支持器具１１０の側方に設置されることができる。排出器具１３０は第１配管１３１、第２配管１３２、及び排出ライン１３３を含むことができる。第１配管１３１は金属のようにリジッド（Ｒｉｇｉｄ）な素材で形成される配管であり得る。第２配管１３２はその長さが伸縮可能な素材（例えば、フレキシブル（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ）な合成樹脂等）で形成される配管であり得る。第２配管１３２はポンプのように減圧を提供する減圧装置と連結される排出ライン１３３と連結されることができる。第１配管１３１と第２配管１３２の中で第１配管１３１は未図示のメカニズムによって第１方向Ｘ及び第３方向Ｚに沿って移動されることができる。駆動メカニズムはモーター、そしてモーターによって伸縮されるアーム（Ａｒｍ）等の部材で構成されることができる。駆動メカニズムは支持フレーム１０２に設置されることができる。
【0053】
支持器具１１０、フレーム１００の中で一部、フレーム１００に設置されるフレームセンサー１０３、充電モジュール１２０、及び排出器具１３０は洗浄モジュール３０内に収集されたパーティクルを洗浄モジュール３０の外部に排出し、洗浄モジュール３０が具備するバッテリーを充電することができる１つのユニットとして機能することができる。以下では、このような１つのユニットを空き充電部ＥＭとして定義する。図１乃至図３では空き充電部ＥＭが１つ具備されることを例として図示したが、保管装置１０は空き充電部ＥＭを複数に具備してもよい。
【0054】
搬送ユニット１４０は保管装置１０内で収納容器２０を搬送することができる。搬送ユニット１４０は保管装置１０内で洗浄モジュール３０を搬送することができる。搬送ユニット１４０は走行レール１４１、昇降レール１４２、走行駆動器１４３、及びハンドモジュール１４４を含むことができる。
【0055】
走行レール１４１は第１方向Ｘに沿って延長されることができる。走行レール１４１は一対のレールで提供されることができる。昇降レール１４２は第３方向Ｚに沿って延長されることができる。昇降レール１４２は複数のレールで提供されることができる。
【0056】
走行駆動器１４３は走行レール１４１に沿って走行することができる。走行駆動器１４３は走行レール１４１に沿って走行できるように構成される走行装置であり得る。また、昇降レール１４２は走行駆動器１４３に設置されることができる。したがって、走行駆動器１４３が第１方向Ｘに沿って走行する場合、昇降レール１４２の位置も第１方向Ｘに沿って変更されることができる。
【0057】
ハンドモジュール１４４は昇降レール１４２に沿って移動することができる。即ち、ハンドモジュール１４４は昇降レール１４２に設置されて第３方向Ｚに沿ってその位置が変更されるように構成されることができる。ハンドモジュール１４４はハンド駆動器１４４ａ及びハンド駆動器１４４ａに設置されるハンド１４４ｂで構成されることができる。ハンド駆動器１４４ａはハンドモジュール１４４が昇降レール１４２に沿って昇降されるようにする駆動力を発生させることができる。また、ハンド駆動器１４４ａはハンド１４４ｂを第２方向Ｙに沿って移動させることができる少なくとも１つ以上のアーム（図示せず）を具備することができる。また、ハンド駆動器１４４ａはハンド１４４ｂが第３方向Ｚを回転軸として、ハンド１４４ｂを回転させることができるように構成されることができる。即ち、搬送ユニット１４０のハンド１４４ｂは第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び第３方向Ｚの中で選択された方向に沿ってその位置が変更されることができ、またハンド１４４ｂは第３方向Ｚを回転軸として回転されるように構成されることができる。
【0058】
収納容器２０は物品を収納することができる。収納容器２０はウエハ、ガラス等の基板、又はマスク等の基板を収納することができる。収納容器２０は複数枚の基板を収納することができる。収納容器２０はキャリヤー（ｃａｒｒｉｅｒ）、カセット（ｃａｓｓｅｔｔｅ）、フープ（ＦＯＵＰ）、又はポッド（ＰＯＤ）であり得る。収納容器２０は後述する搬送ユニット１４０によって搬送されるように構成されることができる。また、収納容器２０は半導体製造ラインに設置又は提供されるオーバーヘッドトランスポート（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ：ＯＨＴ）や、オートモバイルロボット（Ａｕｔｏ Ｍｏｂｉｌｅ Ｒｏｂｏｔ：ＡＭＲ）等によって搬送されるように構成されることができる。 保管装置１０で保管される収納容器２０は複数であり得る。
【0059】
収納容器２０はハンド１４４ｂによってグリップされる容器ヘッド２１と、内部に収納空間を定義するコンテナ２２を含むことができる。
【0060】
コンテナ２２の後面は上部から見る時、支持フレーム１０２に設置されるフレームセンサー１０３と接触されないようにラウンド（Ｒｏｕｎｄ）になるか、或いは傾いた形状を有することができる。コンテナ２２にはウエハのような円板形状の被処理物が収納されることができ、コンテナ２２が直方体に近い形状を有するようにされる場合、コンテナ２２の内部空間の中で空き部分が占める比率が大きくなることができる。即ち、収納容器２０を直方体に近い形状に製造すれば、コンテナ２２の背面をラウンドされるか、或いは傾いた形状を有するように形成する場合と比較する時、収納することができる被処理物の数は同一であっても収納容器２０の重さが重くなるので、非効率的である。したがって、本発明の収納容器２０のコンテナ２２の後面は上部から見る時、支持フレーム１０２に設置されるフレームセンサー１０３と接触されないようにラウンドになるか、或いは傾いた形状を有することができる。
【0061】
制御器４０は保管装置１０を制御することができる。制御器４０は保管システム１が有する構成を制御することができる。制御器４０は搬送ユニット１４０を制御する制御信号を、搬送ユニット１４０に伝送することができる。また、制御器４０はフレームセンサー１０３及びシェルフセンサー１１３が伝送する感知信号に基づいて、収納部ＳＴの中でいずれか収納部ＳＴに収納容器２０が安着されているか、収納部ＳＴの中でいずれか収納部ＳＴに対する洗浄（清掃）を洗浄モジュール３０が遂行しているか、空き充電部ＥＭで洗浄モジュール３０が収集したパーティクルを外部に排出しているか、空き充電部ＥＭで洗浄モジュール３０のバッテリーに対する充電を遂行しているか等を確認することができる。制御器４０はメモリ、ＣＰＵ等で構成されるコンピュータを含むことができる。
【0062】
保管システム１は少なくとも１つ以上の洗浄モジュール３０を具備することができる。洗浄モジュール３０は全体的に収納容器２０と同一又は類似な形状を有することができる。洗浄モジュール３０が収納容器２０と同一又は類似な形状を有するようになって、１つの搬送ユニット１４０は収納容器２０のみならず、洗浄モジュール３０も同一な方式に搬送することができる。即ち、搬送ユニット１４０は収納容器２０を収納部ＳＴの間で搬送することができ、また搬送ユニット１４０は洗浄モジュール３０を収納部ＳＴの間、そして収納部ＳＴと空き充電部ＥＭとの間で搬送することができる。
【0063】
また、洗浄モジュール３０は内部空間を定義するハウジング３００と搬送ユニット１４０のハンド１４４ｂによってグリップされるヘッド３６０を含むことができる。ハウジング３００は上部から見る時、大体に長方形の形状を有することができる。ハウジング３００は大体に直方体の形状を有することができる。ハウジング３００の後面はコンテナ２２と異なりにフレームセンサー１０３と接触されるように平らな形状を有することができる。後述するように洗浄モジュール３０は支持器具１１０に積み重ねられたほこりのようなパーティクルを吸引できるように構成される。即ち、本発明の洗浄モジュール３０は、ハウジング３００の最大に多い部分が密着されるように構成されて、シェルフ１１１と支持フレーム１０２が連結される部分に積み重ねられたほこりも効果的に収集するようにすることができる。
【0064】
【0065】
図４及び図５を参照すれば、洗浄モジュール３０はハウジング３００、排気部３１０、排出部３２０、吸引部３３０、吸引器具３４０、トラップ部材３５０、モジュールヘッド３６０、バッテリー３７０、そして通信機器３８０を含むことができる。
【0066】
ハウジング３００はほこり等のパーティクルが収集されることができる内部空間を定義することができる。ハウジング３００は大体に下部が開放された筒形状を有することができる。ハウジング３００は大体に下部が開放された直方体の形状を有することができる。ハウジング３００の上部にはモジュールヘッド３６０が設置されることができる。モジュールヘッド３６０は上述した容器ヘッド２１と同一又は類似な形状を有することができる。モジュールヘッド３６０は搬送ユニット１４０のハンド１４４ｂによってグリップされることができる。
【0067】
ハウジング３００の側部には排気部３１０が設置されることができる。排気部３１０は多数の孔が形成されたプレート形状を有することができる。排気部３１０は後述する吸引器具３４０によって内部空間に流入される気流をハウジング３００の外部に排出する部分であり得る。排気部３１０は複数が具備されることができる。排気部３１０はハウジング３００の一側部と、他側部に各々設置されることができる。
【0068】
排出部３２０はハウジング３００の側部に設置されることができる。排出部３２０はハウジング３００の側部に形成される開口を開閉するドア（Ｄｏｏｒ）であり得る。排出部３２０は後述するトラップ部材３５０によってトラップされるパーティクルＤと対向する位置に設置されることができる。排出部３２０はプレート形状を有することができる。また、排出部３２０はヒンジＨＩによってハウジング３００の側部に設置されることができる。
【0069】
吸引部３３０はハウジング３００の下部に設置されることができる。吸引部３３０はハウジング３００の下部に設置され、ハウジング３００と互いに組み合わせて内部空間を形成することができる。吸引部３３０はプレート形状を有することができる。吸引部３３０には複数のホール３３１、３３２が形成されることができる。吸引部３３０に形成されたホールは、第１ホール３３１と第２ホール３３２を含むことができる。第２ホール３３２は第１ホール３３１より小さい直径を有することができる。また、第１ホール３３１が形成された領域を第１領域とし、第２ホール３３２が形成された領域を第２領域とする時、第２領域で単位面積当たり形成される第２ホール３３２の数は、第１領域で形成される単位面積当たり第１ホール３３１の数より多いことができる。また、第２ホール３３２は支持器具１１０に設置されるシェルフセンサー１１３と対応する位置に形成されることができる。例えば、上部から見る時、第２ホール３３２は第１ホール３３１よりシェルフセンサー１１３に隣接する位置に形成されることができる。
【0070】
吸引部３３０がこのような第１ホール３３１及び第２ホール３３２を有することは、シェルフセンサー１１３近傍のパーティクル等のほこりを効果的に収集するためである。後述する吸引器具３４０が気流を形成するようになれば、第２ホール３３２は比較的小さい面積を有するので、第２ホール３３２を通過する気流は比較的速く流動することができる。また、第２ホール３３２は比較的密集されて多数が形成される。したがって、速く流動する多数の気流がシェルフセンサー１１３の付近に発生するようになる。シェルフセンサー１１３とシェルフ１１１との間に挟まったほこりは容易に除去されにくいが、上のような第２ホール３３２を有すれば、シェルフ１１１とシェルフセンサー１１３との間に挟まったほこりを比較的容易に除去することができるようになる。
【0071】
また、吸引部３３０の下部には支持レッグ３３３が設置されることができる。支持レッグ３３３は吸引部３３０の下面と支持シェルフ１１１の上面を離隔させることができる。
吸引器具３４０はハウジング３００が定義する内部空間に設置されることができる。吸引器具３４０はハウジング３００の下方から内部空間に流入される気流を形成することができる。吸引器具３４０はモーター３４１、ファン３４２、そしてフィルター３４３を含むことができる。モーター３４１はファン３４２を回転させることができる。
吸引器具３４０はハウジング３００が定義する内部空間に設置されることができる。吸引器具３４０はハウジング３００の下方から内部空間に流入される気流を形成することができる。吸引器具３４０はモーター３４１、ファン３４２、そしてフィルター３４３を含むことができる。モーター３４１はファン３４２を回転させることができる。
【0072】
図６は図４の洗浄モジュールがパーティクルを収集する形状を示す図面である。図６では収納部ＳＴに置かれる洗浄モジュール３０が収納部ＳＴの支持器具１１０に積み重ねられたほこりを掃除する形状を示す。図６を参照すれば、ファン３４２が回転されれば、洗浄モジュール３０の下部でハウジング３００の内部空間に流入される気流が形成されることができる。形成された気流は支持シェルフ１１１に積み重ねられたパーティクルＤ等のほこりを収集することができる。フィルター３４３はパーティクルＤがモーター３４１に直接的に伝達されることをフィルタリングすることができる。
【0073】
トラップ部材３５０は吸引器具３４０によって吸引されるパーティクルＤをトラップすることができる。トラップ部材３５０は上部から下部に行くほど、幅が大きくなる裏返った漏斗形状を有することができる。トラップ部材３５０は入口部３５１、傾斜部３５２、そしてトラップ部３５３を含むことができる。入口部３５１は吸引器具３４０と対向することができる。傾斜部３５２は入口部３５１から下に向かう方向に延長されることができる。傾斜部３５２は第３方向Ｚに対して垂直になる傾いた面を有することができる。また、トラップ部３５３は傾斜部３５２から側方向に沿って延長されることができる。入口部３５１を通じてハウジング３００の内部空間に流入されるパーティクルＤは傾斜部３５２が有する傾いた面に沿って流れ落ちて、トラップ部３５３で収集されることができる。
【0074】
通信機器３８０はＬＡＮカード等を含む無線通信装置であり得る。通信機器３８０は洗浄モジュール３０の状態に関する情報を制御器４０に伝送することができる。例えば、洗浄モジュール３０は必要によってハウジング３００の内部空間のパーティクルＤの量を測定することができるパーティクル測定器（図示せず）を具備することができる。パーティクル測定器は粒子測定器であり得る。通信機器３８０はパーティクル測定器が測定する、内部空間のパーティクルＤの量を制御器４０に伝送することができる。通信機器３８０はモジュールヘッド３６０内に設置されることを例として図示したが、これに限定されることではなく、通信機器３８０はハウジング３００に付着されて設置されてもよい。
【0075】
図７は図４の洗浄モジュールに収集されたパーティクルを洗浄モジュールの外部に排出する形状を示す図面である。図７では洗浄モジュール３０が空き充電部ＥＭに安着されて洗浄モジュール３０が収集したパーティクルＤを洗浄モジュール３０の外部に排出する形状を示している。
【0076】
排出器具１３０の第１配管１３１は排出部３２０と対向することができる。洗浄モジュール３０が空き充電部ＥＭに置かれるようになれば、排出器具１３０の駆動メカニズムは第１配管１３１を側方向に移動させることができる。第１配管１３１の入口部には接触センサー（未図示）が設置されることができる。接触センサーが排出部３２０との接触を感知すれば、第１配管１３１は設定距離ぐらいさらに移動して排出部３２０を開放することができる。排出部３２０が開放されれば、制御器４０は排出器具１３０に制御信号を伝送することができる。制御信号が伝送された排出器具１３０はトラップ部材３５０によってトラップされたパーティクルＤを真空吸引することができる。トラップ部材３５０にトラップされたパーティクルＤは排出器具１３０を通じて洗浄モジュール３０の外部に排出されることができる。
【0077】
図８は図４の洗浄モジュールが具備するバッテリーを充電する形状を示す図面である。図８を参照すれば、洗浄モジュール３０は洗浄モジュール３０が具備する構成（例えば、吸引器具３４０、通信機器３８０等）を作動させるためのバッテリー３７０を含むことができる。バッテリー３７０は吸引器具３４０や通信機器３８０等に電力を伝達することができる。洗浄モジュール３０が空き充電部ＥＭに置かれれば、支持フレーム１０２に設置された充電モジュール１２０が非接触方式にバッテリー３７０を充電することができる。充電モジュール１２０は電子誘導方式、磁界共鳴方式、電界結合方式、又は電波受信方式等の公知された無線充電方式が適用されてバッテリー３７０を充電することができる。
【0078】
以下では、本発明の洗浄モジュール３０を利用して保管装置１０を洗浄する方法に対して説明する。
【0079】
図９はプロセス段階で保管装置を洗浄する方法を示したフローチャートである。図１、図２、図３、及び図９を参照すれば、プロセス段階とは、保管装置１０が動作する段階であり得る。プロセス段階では搬送ユニット１４０が指定された課題（ＪＯＢ）を遂行できるように制御器４０から制御信号が伝達されることができる。課題とは、搬送ユニット１４０が遂行しなければならない搬送動作を意味することができる。本発明の一実施形態による洗浄モジュール３０を利用する場合、保管装置１０の動作を中断しなくとも保管装置１０の支持器具１１０を洗浄することができる。
【0080】
具体的に、プロセス段階で保管装置１０を洗浄する方法（Ｓ１０）は、下のステップを含むことができる。
【0081】
ステップＳ１１では搬送ユニット１４０が洗浄モジュール３０をグリップすることができる。搬送ユニット１４０のハンド１４４ｂは洗浄モジュール３０のモジュールヘッド３６０をグリップすることができる。モジュールヘッド３６０の形状は容器ヘッド２１の形状と同一又は類似であるので、１つのハンド１４４ｂはモジュールヘッド３６０と容器ヘッド２１を同時にグリップすることができる。したがって、洗浄モジュール３０を搬送するための別のハンドモジュール１４４を具備することが必要でない長所がある。
【0082】
次に、ステップＳ１２では搬送ユニット１４０は洗浄モジュール３０を洗浄が必要である支持器具１１０に安着させることができる。搬送ユニット１４０のハンドモジュール１４４は洗浄が必要である支持器具１１０に洗浄モジュール３０を安着させることができる。洗浄が必要である支持器具１１０は制御器４０で予め選定しておくことができる。例えば、制御器４０は洗浄モジュール３０による最後洗浄が、又はメンテナンスを通じて作業者が直接遂行した最後の洗浄が、最も古い支持器具１１０を優先して洗浄が必要である支持器具１１０として選定することができる。
【0083】
次に、ステップＳ１３では洗浄モジュール３０が支持器具１１０を洗浄する間に搬送ユニット１４０は他の課題を遂行することができる。搬送ユニット１４０が遂行する他の課題は、収納容器２０を搬送する動作や、保管システム１がさらに有することができるその他の洗浄モジュール３０を搬送する動作であり得る。
【0084】
次に、ステップＳ１４では洗浄動作を完了した洗浄モジュール３０を他の支持器具１１０に搬送することができる。
【0085】
このように、本発明の一実施形態による洗浄方法によれば、プロセス段階でも保管装置１０の動作を中断させなく、保管装置１０をクリーニングすることが可能である。また、洗浄モジュール３０の搬送を搬送ユニット１４０が遂行するようになるので、高い位置に位置される支持シェルフ１１１を掃除するために作業者が、高い位置まで移動しなくともよい長所がある。
【0086】
図１０はメンテナンス段階で保管装置を洗浄する方法を示したフローチャートである。図１、図２、図３、及び図１０を参照すれば、メンテナンス段階とは、保管装置１０が動作しない段階であり得る。メンテナンス段階では保管装置１０のメンテナンス作業を遂行することができる。
【0087】
具体的に、メンテナンス段階で保管装置１０を洗浄する方法（Ｓ２０）は下のステップを含むことができる。
【0088】
ステップＳ２１では上のステップＳ１１でと類似に搬送ユニット１４０が洗浄モジュール３０をグリップすることができる。
【0089】
次に、ステップＳ２２では搬送ユニット１４０が洗浄モジュール３０を洗浄が必要である支持器具１１０の上方に位置させることができる。洗浄モジュール３０を支持器具１１０の上方に位置させることは図１１に図示されたように洗浄モジュール３０を支持器具１１０に安着させることのみならず、洗浄モジュール３０が支持器具１１０と離隔されるようにハンド１４４ｂが洗浄モジュール３０をグリップしている状態であることを含むことができる。
【0090】
次に、ステップＳ２３では洗浄モジュール３０が支持器具１１０を洗浄する間に搬送ユニット１４０は待機することができる。洗浄モジュール３０が支持器具１１０を洗浄する間に搬送ユニット１４０のハンド１４４ｂは待機することができる。
【0091】
次に、ステップＳ２４では洗浄動作を完了した洗浄モジュール３０を他の支持器具１１０に搬送することができる。
【0092】
このようにメンテナンス段階で、搬送ユニット１４０のハンドモジュール１４４が待機する場合、ハンドモジュール１４４が待機しない場合と比較する時よりさらに速く支持器具１１０の洗浄を遂行することができる。また、メンテナンス段階で、洗浄モジュール３０の搬送は、隣接する収納部ＳＴの間で行われることができる。例えば、収納部ＳＴの中で第１収納部に対して洗浄が完了されれば、洗浄モジュール３０は第１収納部で、第１収納部の直ぐ横、又は直ぐ上／下に位置する第２収納部に搬送されて支持器具１１０の洗浄を遂行することができる。即ち、メンテナンス段階ではより速い支持器具１１０の洗浄を遂行できるように洗浄モジュール３０が支持器具１１０に対する洗浄を遂行する間にハンドモジュール１４４が他の課題を遂行しなく、待機させることができる。
【0093】
即ち、本発明の一実施形態によれば、プロセス段階とメンテナンス段階で洗浄モジュール３０を搬送する搬送ユニット１４０の動作を異なりにすることによって、各々の段階でより効率的に支持器具１１０を洗浄できるように助けることができる。また、プロセス段階での洗浄モジュール３０の搬送は制御器４０によって自動に遂行されることができる。また、メンテナンス段階での洗浄モジュール３０の搬送は制御器４０によって自動に遂行されることもでき、又は作業者が制御器４０を通じて洗浄モジュール３０の搬送を手動で直接制御してもよい。
【0094】
上述した例では洗浄モジュール３０がストッカーを具備する支持器具１１０に積み重ねられたほこりを洗浄することを例として説明したが、これに限定されることではない。例えば、洗浄モジュール３０は収納容器２０が安着されることができる様々な構成（ＥＦＥＭポート、サイドトラックバッファＳＴＢ、ＥＱポート等）に積み重ねられたほこりも除去することができる。
【0095】
また、洗浄モジュール３０の搬送が上述した搬送ユニット１４０によって遂行されることを例として説明したが、これに限定されることではない。例えば、洗浄モジュール３０の搬送は上述したＯＨＴや、ＡＭＲによってなることもあり得る。
【0096】
以上の実施形態は本発明の理解を助けるために提示されたことであって、本発明の範囲を制限しなく、これから多様な変形可能な実施形態も本発明の範囲に属することであることを理解しなければならない。本発明で提供される図面は本発明の最適の実施形態を示したものに過ぎない。本発明の技術的保護範囲は特許請求範囲の技術的思想によって定められなければならないものであり、本発明の技術的保護範囲は特許請求範囲の文言的記載その自体に限定されることではなく、実質的には技術的価値が均等な範疇の発明まで及ぶことであることを理解しなければならない。
【符号の説明】
【0097】
１保管システム
１０保管装置
１００フレーム
１０１底フレーム
１０２支持フレーム
１０３フレームセンサー
１１０支持器具
１１１シェルフ
１１３シェルフセンサー
ＳＴ収納部
１２０充電モジュール
１３０排出器具
１３１第１配管
１３２第２配管
１３３排出ライン
ＥＭ排出部
１４０搬送ユニット
１４１走行レール
１４２昇降レール
１４３走行駆動器
１４４ハンドモジュール
１４４ａハンド駆動器
１４４ｂハンド
２０収納容器
２１コンテナ
２２容器ヘッド
３０洗浄モジュール
３００ハウジング
３１０排気部
３２０排出部
３３０吸引部
３３１第１ホール
３３２第２ホール
３３３レッグ
３４０吸引器具
３４１モーター
３４２ファン
３４３フィルター
３５０トラップ部材
３５１入口部
３５２傾斜部
３５３トラップ部
３６０モジュールヘッド
３７０バッテリー
３８０通信機器
４０制御器
１０保管装置
１００フレーム
１０１底フレーム
１０２支持フレーム
１０３フレームセンサー
１１０支持器具
１１１シェルフ
１１３シェルフセンサー
ＳＴ収納部
１２０充電モジュール
１３０排出器具
１３１第１配管
１３２第２配管
１３３排出ライン
ＥＭ排出部
１４０搬送ユニット
１４１走行レール
１４２昇降レール
１４３走行駆動器
１４４ハンドモジュール
１４４ａハンド駆動器
１４４ｂハンド
２０収納容器
２１コンテナ
２２容器ヘッド
３０洗浄モジュール
３００ハウジング
３１０排気部
３２０排出部
３３０吸引部
３３１第１ホール
３３２第２ホール
３３３レッグ
３４０吸引器具
３４１モーター
３４２ファン
３４３フィルター
３５０トラップ部材
３５１入口部
３５２傾斜部
３５３トラップ部
３６０モジュールヘッド
３７０バッテリー
３８０通信機器
４０制御器
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
