特許 7547498 粘着テープ及び加工方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-30

(45)【発行日】2024-09-09

(54)【発明の名称】粘着テープ及び加工方法

(51)【国際特許分類】

   C09J 7/38 20180101AFI20240902BHJP

   C09J 7/20 20180101ALI20240902BHJP

   C09J 133/04 20060101ALI20240902BHJP

【ＦＩ】

C09J7/38

C09J7/20

C09J133/04

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2022560703

(86)(22)【出願日】2021-10-20

(86)【国際出願番号】 JP2021038723

(87)【国際公開番号】W WO2022097471

(87)【国際公開日】2022-05-12

【審査請求日】2023-06-27

(31)【優先権主張番号】P 2020186379

(32)【優先日】2020-11-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000003296

【氏名又は名称】デンカ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100079108

【弁理士】

【氏名又は名称】稲葉 良幸

(74)【代理人】

【識別番号】100134120

【弁理士】

【氏名又は名称】内藤 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100127247

【弁理士】

【氏名又は名称】赤堀 龍吾

(74)【代理人】

【識別番号】100152331

【弁理士】

【氏名又は名称】山田 拓

(72)【発明者】

【氏名】中村 千枝

(72)【発明者】

【氏名】田中 智章

(72)【発明者】

【氏名】徳井 颯太

(72)【発明者】

【氏名】蓮見 水貴

【審査官】桜田 政美

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－１９７２４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２３２６２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０８９００９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０８４０４７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０９Ｊ ７／３８

Ｃ０９Ｊ ７／２０

Ｃ０９Ｊ １３３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基材層と、該基材層上に設けられた粘着剤層と、を有する粘着テープであって、
前記粘着剤層が、光ラジカル開始剤と、重合性炭素二重結合を有するポリマーＡと、を含み、
シリコンウエハ表面の水に対する接触角Ｒ₀と、前記粘着剤層を前記シリコンウエハに貼り付け２４時間放置後に、前記粘着剤層に紫外線を照射し、前記粘着剤層を剥離した後の前記シリコンウエハ表面の水に対する接触角Ｒ₁との差｜Ｒ₀－Ｒ₁｜が、２０°以下であり、
前記ポリマーＡのガラス転移点が、－８０～２３℃である、
粘着テープ。

【請求項2】

前記ポリマーＡに含まれる重量平均分子量２００００以下の成分Ａ１の含有量が、ゲル浸透クロマトグラフィのチャートの総面積に対して、１５面積％以下である、
請求項１に記載の粘着テープ。

【請求項3】

紫外線照射前の前記粘着剤層のシリコンウエハに対する１８０°剥離強度が、２３℃において、２．０～２０．０Ｎ／２０ｍｍである、
請求項１又は２に記載の粘着テープ。

【請求項4】

ポリマーＡが、水酸基を有する、
請求項１～３のいずれか一項に記載の粘着テープ。

【請求項5】

前記ポリマーＡの重量平均分子量が、１．０×１０⁵～２．０×１０⁶である、
請求項１～４のいずれか一項に記載の粘着テープ。

【請求項6】

前記ポリマーＡが、（メタ）アクリル酸エステル系共重合体を含み、
該（メタ）アクリル酸エステル系共重合体が、直鎖形状、分岐形状、又は架橋形状を有する、
請求項１～５のいずれか一項に記載の粘着テープ。

【請求項7】

前記粘着剤層が、硬化剤をさらに含む、
請求項１～６のいずれか一項に記載の粘着テープ。

【請求項8】

前記硬化剤が、イソシアネート系化合物を含む、
請求項７に記載の粘着テープ。

【請求項9】

前記イソシアネート系化合物が、２官能以上の多官能イソシアネート系化合物を含む、
請求項８に記載の粘着テープ。

【請求項10】

前記硬化剤の含有量は、ポリマーＡ１００重量部に対して、０．１～５．０重量部である、
請求項７～９のいずれか一項に記載の粘着テープ。

【請求項11】

半導体ウエハ、半導体デバイス、又は各種半導体パッケージの加工用である、
請求項１～１０のいずれか一項に記載の粘着テープ。

【請求項12】

請求項１～１１のいずれか一項に記載の粘着テープと、被着体と、を貼り合わせる貼合工程と、
前記粘着テープと前記被着体とを貼り合わせた状態で、前記被着体を個片化するダイシング工程と、を有し、
前記被着体が、半導体ウエハ、半導体デバイス、又は各種半導体パッケージである、
加工方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、粘着テープ及び加工方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体パッケージや半導体ウエハ（以下、「被着体」ともいう）等を個片化する際には、半導体ウエハ加工用テープを被着体に貼り付けて、ダイシング時に被着体を仮固定する。これにより、個片化時にチップ飛びを防ぐことができる。また、ダイシング後には、半導体ウエハ加工用テープをエキスパンディングし、個片化された被着体は半導体ウエハ加工用テープからピックアップ（剥離）する。

【0003】

このような半導体ウエハ加工用テープとしては、紫外線に対し透過性を有するフィルム基材上に紫外線照射により硬化反応する粘着剤層が塗布された粘着テープが主に用いられている。この紫外線硬化型の加工用テープでは、ダイシング後に紫外線を粘着剤層に照射して、硬化反応を進行させることで粘着剤層の粘着力を低下させることができるため、個片化された被着体を容易にピックアップすることができる。

【0004】

このような半導体ウエハ加工用テープでは、ピックアップ時に、被着体への糊残りを低減し、高品質な電子部品を製造できる技術が求められている。

【0005】

この点、上述した紫外線照射型の加工用テープでは、被着体への粘着テープ貼り付けの際、気泡等が粘着テープと被着体との間に入り込むと、紫外線照射時に酸素阻害等による粘着剤の硬化不良を引き起こし、被着体に粘着剤が硬化しないまま残留することがある。また、被着体に対する粘着力が不足していると、ダイシング時に切削水が被着体と粘着テープの間に浸入して被着体を汚染したり、さらには個片化した被着体が飛散したりする。

【0006】

そこで、粘着力を補うために粘着剤層の厚さを増加させたり、粘着剤層の弾性率を低下させて粘着力を上げたりする方法が考えられる。しかしながらこの場合、ダイシング時のブレードの回転により生じる摩擦熱により粘着剤が融解し、掻き上げられることで被着体に粘着剤屑が付着したり、個片化された被着体が粘着テープに固定されることで、ピックアップ時に被着体と界面で剥離できず粘着剤自身の破壊が起こり、被着体に粘着剤屑が残留したりするという問題が生じる。

【0007】

これに対して、例えば、特許文献１では、アクリロイル基を５～６個有する放射線重合性化合物を用い、紫外線照射及び／又は電子線照射後のゲル分率を９０ｗｔ％以上等とすることにより、糊残りを抑制することが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【文献】特開２０００－２８１９９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

しかしながら、特許文献１に記載の方法では、糊残りは多少抑制できるものの、かえって粘着力が低下する傾向があり、ダイシング時に切削水が被着体と粘着テープの間に浸入し、裏面汚染が生じたり、個片化した被着体が飛散したりする可能性がある。

【0010】

更に、近年の半導体ウエハやデバイスの高密度化や高性能化の要請から、粘着剤の糊残りがないように見える半導体ウエハやデバイス表面であっても、粘着剤に起因した有機物により汚染されている場合があり、このような汚染も問題となりつつある。なお、本明細書において、単に「汚染」という時は、このような目視できないような汚染を言い、目視できるものについては「糊残り」という。

【0011】

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、粘着剤層に由来する汚染を低減することができる粘着テープ及びそれを用いた加工方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明者らは、上記課題を解決すべく、粘着テープの粘着剤設計について鋭意検討した。その結果、紫外線硬化前後において、所定の接触角特性を示すように構成された接着剤層を用いることにより、上記課題を解決しうることを見出し、本発明を完成するに行った。

【0013】

即ち、本発明は、以下のとおりである。
〔１〕
基材層と、該基材層上に設けられた粘着剤層と、を有する粘着テープであって、
前記粘着剤層が、光ラジカル開始剤と、重合性炭素二重結合を有するポリマーＡと、を含み、
シリコンウエハ表面の水に対する接触角Ｒ_０と、前記粘着剤層を前記シリコンウエハに貼り付け２４時間放置後に、前記粘着剤層に紫外線を照射し、前記粘着剤層を剥離した後の前記シリコンウエハ表面の水に対する接触角Ｒ_１との差｜Ｒ_０－Ｒ_１｜が、２０°以下である、
粘着テープ。
〔２〕
前記ポリマーＡに含まれる重量平均分子量２００００以下の成分Ａ１の含有量が、ゲル浸透クロマトグラフィのチャートの総面積に対して、１５面積％以下である、
請求項１に記載の粘着テープ。
〔３〕
紫外線照射前の前記粘着剤層のシリコンウエハに対する１８０°剥離強度が、２３℃において、２．０～２０．０Ｎ／２０ｍｍである、
〔１〕又は〔２〕に記載の粘着テープ。
〔４〕
ポリマーＡが、水酸基を有する、
〔１〕～〔３〕のいずれか一項に記載の粘着テープ。
〔５〕
前記ポリマーＡの重量平均分子量が、１．０×１０^５～２．０×１０^６である、
〔１〕～〔４〕のいずれか一項に記載の粘着テープ。
〔６〕
前記ポリマーＡのガラス転移点が、－８０～２３℃である、
〔１〕～〔５〕のいずれか一項に記載の粘着テープ。
〔７〕
前記ポリマーＡが、（メタ）アクリル酸エステル系共重合体を含み、
該（メタ）アクリル酸エステル系共重合体が、直鎖形状、分岐形状、又は架橋形状を有する、
〔１〕～〔６〕のいずれか一項に記載の粘着テープ。
〔８〕
前記粘着剤層が、硬化剤をさらに含む、
〔１〕～〔７〕のいずれか一項に記載の粘着テープ。
〔９〕
前記硬化剤が、イソシアネート系化合物を含む、
〔８〕に記載の粘着テープ。
〔１０〕
前記イソシアネート系化合物が、２官能以上の多官能イソシアネート系化合物を含む、
〔９〕に記載の粘着テープ。
〔１１〕
前記硬化剤の含有量は、ポリマーＡ１００重量部に対して、０．１～５．０重量部である、
〔８〕～〔１０〕のいずれか一項に記載の粘着テープ。
〔１２〕
半導体ウエハ、半導体デバイス、各種半導体パッケージ加工用である、
〔１〕～〔１１〕のいずれか一項に記載の粘着テープ。
〔１３〕
〔１〕～〔１２〕のいずれか一項に記載の粘着テープと、被着体と、を貼り合わせる貼合工程と、
前記粘着テープと前記被着体とを貼り合わせた状態で、前記被着体を個片化するダイシング工程と、を有し、
前記被着体が、半導体ウエハ、半導体デバイス、又は各種半導体パッケージである、
加工方法。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、粘着剤層に由来する汚染を低減することができる粘着テープ及びそれを用いた加工方法を提供することができる。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」という。）について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。

【0016】

〔粘着テープ〕
本実施形態の粘着テープは、基材層と、該基材層上に設けられた粘着剤層と、を有し、粘着剤層が、光ラジカル開始剤と、重合性炭素二重結合を有するポリマーＡと、を含み、シリコンウエハ表面の水に対する接触角Ｒ_０と、粘着剤層をシリコンウエハに貼り付け２４時間放置後に、粘着剤層に紫外線を照射し、粘着剤層を剥離した後のシリコンウエハ表面の水に対する接触角Ｒ_１との差｜Ｒ_０－Ｒ_１｜が、２０°以下となるものである。

【0017】

従来の粘着剤層は、例えば、紫外線硬化性を有しないベースポリマーと、紫外線硬化性を有する低分子量成分により構成されている。そのため、紫外線照射後に未反応の状態で残留する低分子量成分が被着体表面を汚染する可能性がある。

【0018】

これに対して、本実施形態においては、重合性炭素二重結合を有するポリマーＡを用いることで、紫外線照射によりポリマーＡ同士がさらに重合して、互いに架橋する。そのため、低分子量成分が被着体表面を汚染するという問題を回避することができ、また、仮にポリマーＡの重合性炭素二重結合の一部が未反応であっても、低分子量成分と比較して、被着体表面の汚染を回避することもできる。さらに、重合性炭素二重結合を有する低分子量成分を用いた場合にも、低分子量成分がポリマーＡとも結合可能となるため、粘着剤中に留まりやすくなり、被着体の表面を汚染することを抑制することができる。

【0019】

また、本実施形態においては、ポリマーＡを含む粘着剤層の紫外線照射による硬化特性を、接触角Ｒ_０と接触角Ｒ_１との差｜Ｒ_０－Ｒ_１｜で表される接触角特性によりさらに規定する。このような接触角特性を有する粘着剤層を用いることにより、粘着剤層に由来する汚染をさらに低減することが可能となる。以下、本発明について詳説する。

【0020】

（接触角）
本実施形態では、シリコンウエハ表面の水に対する接触角Ｒ_０と、粘着剤層をシリコンウエハに貼り付け２４時間放置後に、粘着剤層に紫外線を照射し、粘着剤層を剥離した後のシリコンウエハ表面の水に対する接触角Ｒ_１との差｜Ｒ_０－Ｒ_１｜を用いて、紫外線照射後の粘着剤層のシリコンウエハへの低汚染性を規定する。

【0021】

より具体的には、差｜Ｒ_０－Ｒ_１｜は、２０°以下であり、好ましくは０～１７．５°であり、より好ましくは０～１５°であり、さらに好ましくは０～１２．５°である。差｜Ｒ_０－Ｒ_１｜が少ないほど被着体の汚染がより少なくなる。

【0022】

特に、｜Ｒ_０－Ｒ_１｜が２０°以下であることにより、より顕著に汚染性が低下し、被着体のその後の製造工程や実装時の歩留まりも向上する。一方で、差｜Ｒ_０－Ｒ_１｜が２０°より大きいと、被着体表面が汚染されやすく、さらには被着体への糊残りまで生じ得る。

【0023】

なお、シリコンウエハ表面は、空気中の酸素により酸化されることで水酸基が最表面に出ているため、一般に親水性が高い。よって水に対する接触角Ｒ_１が小さいことは、粘着テープ貼り付け前のクリーンなシリコンウエハ表面の状態に近いことを意味する。また、これとは逆に、粘着剤層に含まれる有機成分によりシリコンウエハが汚染されると、シリコンウエハ表面の親水性が下がり水に対する接触角は大きくなる。

【0024】

また、接触角Ｒ_１は、好ましくは５～２５°であり、より好ましくは５～２８°であり、さらに好ましくは５～３２°である。接触角Ｒ_１が上記範囲内であることにより、紫外線照射後の粘着剤層のシリコンウエハへの汚染がより抑制される。

【0025】

差｜Ｒ_０－Ｒ_１｜及び接触角Ｒ_１を上記範囲にする方法としては、特に制限されないが、例えば、粘着剤層に含まれる低分子量成分を低減すること、ポリマーＡの低分子量成分を低減すること、紫外線照射時の架橋密度を上げることなどが挙げられる。低分子量成分の低減方法としては、特に制限されないが、例えば、基材層上に粘着剤層を形成した後に、加温下でエージングを行う方法や、低分子量成分の含有量の少ないポリマーＡを用いるが挙げられる。また、架橋密度を上げる方法としては、特に制限されないが、例えば、重合性炭素二重結合の数や、光ラジカル開始剤の含有量を調整する方法が挙げられる。

【0026】

本明細書で記載する「接触角」は、粘着テープをシリコンウエハに貼り付け、２３℃の条件下２４時間放置後、高圧水銀灯により紫外線を１５０ｍＪ／ｃｍ^２照射して剥離し、水に対する接触角を液滴法にて測定した接触角である。

【0027】

（１８０°剥離強度）
紫外線照射前の粘着剤層のシリコンウエハに対する１８０°剥離強度Ｓは、２３℃において、好ましくは２．０～２０．０Ｎ／２０ｍｍであり、より好ましくは４．０～１６．０Ｎ／２０ｍｍであり、さらに好ましくは６．０～１２．０Ｎ／２０ｍｍである。

【0028】

１８０°剥離強度Ｓが２．０Ｎ／２０ｍｍ以上であることにより、紫外線照射前の粘着力がより優れる傾向にある。そのため、粘着テープがリングフレームからはがれにくくなり、ダイシング工程においてチップ飛びも生じにくくなる。

【0029】

また、１８０°剥離強度Ｓが２０Ｎ／２０ｍｍ以下であることにより、ダイシング工程のブレードにより粘着剤の掻き上げが生じにくく、掻き上げられた粘着剤が被着体の側面等に付着しにくくなる傾向にある。そのため、掻き上げられた粘着剤が被着体上に糊残りとして残留したり、そのまま紫外線硬化することでチップを固定化してしまったり、ピックアップ不良が生じたり、また固定化したチップにカケが生じたりすることがより抑制される傾向にある。

【0030】

本明細書で記載する「シリコンウエハに対する１８０°剥離強度」は、ＪＩＳ Ｚ０２３７（２００９）の粘着力の測定方法に準拠して測定することができる。具体的には、表面を洗浄した被着体（シリコンウエハ）に圧着装置（ローラーの質量２ｋｇ）を用いて粘着剤層を圧着させて、被着体に対して１８０°に引き剥がした際の粘着力を、温度２３℃湿度５０％の環境下において、万能型引張試験機で測定する。

【0031】

（粘着剤層）
粘着剤層は、光ラジカル開始剤と、重合性炭素二重結合を有するポリマーＡと、を含み、必要に応じて、硬化剤やその他の成分を含んでいてもよい。

【0032】

（ポリマーＡ）
ポリマーＡは、重合性炭素二重結合を有する重合体であり、粘着剤層の主成分を構成する成分である。粘着剤層に紫外線を照射すると光ラジカル開始剤がラジカルを発生し、それによりポリマーＡの重合性炭素二重結合がそれぞれ重合する。これにより、紫外線照射後においては、ポリマーＡは互いに架橋した状態となる。

【0033】

汚染低減の観点から、ポリマーＡに含まれる低分子量成分は少ないことが好ましい。より具体的には、ポリマーＡに含まれる重量平均分子量２００００以下の成分Ａ１の含有量は、ゲル浸透クロマトグラフィのチャートの総面積に対して、好ましくは１５面積％以下であり、より好ましくは１０面積％以下であり、さらに好ましくは８面積％以下であり、よりさらに好ましくは５面積％以下である。成分Ａ１の含有量の下限は、特に制限されないが、０面積％である。成分Ａ１の含有量が１５面積％以下であることにより、紫外線照射後において被着体の表面に残存する低分子量成分が少なくなり、汚染がより低減される傾向にある。

【0034】

また、ポリマーＡの重量平均分子量は、好ましくは１．０×１０^５～２．０×１０^６であり、より好ましくは２．０×１０^５～１．０×１０^６、さらに好ましくは、２．５×１０^５～８．０×１０^５である。ポリマーＡの重量平均分子量が１．０×１０^５以上であることにより、高分子量成分が多くなるほか、分子量が高いほど１つのポリマーＡが他のポリマーＡと重合性二重結合で重合する機会が多くなるため、汚染がより低減する傾向にある。ポリマーＡの重量平均分子量が２．０×１０^６以下であることにより、ポリマーＡが動きやすく、１つのポリマーＡが他のポリマーＡと重合する機会が多くなるため、汚染がより低減する傾向にある。また、分子量が小さいほど粘着剤の弾性率が高くなり過ぎないため、常態における粘着力がより向上する傾向にある。また、被着体への追従性が良くなり被着体の段差にも追従できるため、酸素阻害が原因のＵＶ硬化不良による汚染を避けることができる。さらに柔らかい粘着剤はＵＶ照射により十分に硬化収縮しやすいため、硬化後の粘着力を十分に下げることができる。

【0035】

本明細書で記載する「重量平均分子量」は、ポリマーＡをテトラヒドロフランに溶解したサンプルを、ゲル浸透クロマトグラフ分析装置を用いて測定した分子量である。成分Ａ１の含有量は、ポリマーＡのクロマトグラムの面積を１００面積％として、スタンダードポリスチレン換算の分子量の検量線から重量平均分子量が２００００以下となる保持時間におけるクロマトグラムの面積の割合を算出することで求めることができる。

【0036】

また、ポリマーＡのガラス転移点は、好ましくは－８０～２３℃であり、より好ましくは－７０～１０℃であり、さらに好ましくは－６０～０℃である。ポリマーＡのガラス転移点が－８０℃以上であることにより、汚染がより低減する傾向にある。また、ポリマーＡのガラス転移点が２３℃以下であることにより、被着体に対する接着性がより向上する傾向にある。

【0037】

ポリマーＡとしては、特に制限されないが、例えば、重合性二重結合を有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体が挙げられる。（メタ）アクリル酸エステル系共重合体の形状は、特に制限されないが、例えば、直鎖形状、分岐形状、又は架橋形状が挙げられる。このなかでも架橋形状を有することが好ましい。このようなポリマーＡを用いることにより、粘着剤層の凝集力が向上し被着体に対する接着性がより向上するとともに、汚染がより低減する傾向にある。架橋形状又は分岐形状を有するポリマーＡは、直鎖形状を有するポリマーＡの重合性二重結合の一部がエージング等によって結合したものであってもよい。

【0038】

（メタ）アクリル酸エステル系共重合体を構成する（メタ）アクリル酸エステルの単量体としては、特に制限されないが、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プルピル基、イソプルピル基、ｎ－ブチル基、ｔ－ブチル基、イソブチル基、アミル基、イソアミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、シクロヘキシル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ラウリル基、トリデシル基、テトラデシル基、ステアリル基、オクタデシル基、及びドデシル基などの直鎖又は分岐のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートが挙げられる。これらアルキル（メタ）アクリレートは、１種単独で用いても、または２種類以上を併用してもよい。

【0039】

また、上記アルキル（メタ）アクリレート以外のモノマー成分としては、特に制限されないが、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸、及びクロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸や無水イタコン酸などの酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６－ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８－ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１－ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２－ヒドロキシラウリル、及び（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；エトキシエトキシエチル（メタ）アクリレートなどのアルキレンオキシ基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、及び（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマーなどが挙げられる。これらその他のモノマーは、１種単独で用いても、または２種類以上を併用してもよい。

【0040】

このなかでも、アルキル（メタ）アクリレートとヒドロキシル基含有モノマーを含む（メタ）アクリル酸エステル系共重合体や、アルキル（メタ）アクリレートとカルボキシル基含有モノマーを含む（メタ）アクリル酸エステル系共重合体が好ましい。

【0041】

（メタ）アクリル酸エステル系共重合体への重合性二重結合の導入方法は、特に制限されないが、例えば、カルボキシル基含有モノマーのカルボキシル基、酸無水物モノマーの無水カルボキシル基、又はヒドロキシル基含有モノマーのヒドロキシル基に対して、重合性二重結合を有する変性剤を反応させる方法が挙げられる。

【0042】

例えば、ヒドロキシル基含有モノマー単位を含む（メタ）アクリル酸エステル系共重合体に対して、変性剤として重合性二重結合を有するイソシアネート系化合物を反応させることで、ヒドロキシル基含有モノマー単位にウレタン結合を介して重合性二重結合を導入することができる。また、他の例として、ヒドロキシル基含有モノマー単位を含む（メタ）アクリル酸エステル系共重合体に対して、変性剤として重合性二重結合を有するエポキシ化合物を反応させることで、ヒドロキシル基含有モノマー単位にエーテル結合を介して重合性二重結合を導入することができる。

【0043】

なお、変性剤としては、（メタ）アクリル酸エステル系共重合体の有する官能基と反応する官能基を有しかつ重合性二重結合を有するものであれば特に制限されないが、例えば、重合性二重結合を有するイソシアネート系化合物、重合性二重結合を有するエポキシ化合物などが挙げられる。

【0044】

また、重合性二重結合の導入量は、ポリマーＡを構成する反応性モノマー単位１００モル％に対して、好ましくは２０～８０モル％であり、より好ましくは３０～７５モル％であり、さらに好ましくは４０～７０モル％である。なお、ここで、「反応性モノマー単位」とは、カルボキシル基含有モノマー、酸無水物モノマー、及びヒドロキシル基含有モノマーをいう。重合性二重結合の導入量が２０モル％以上であることにより、紫外線照射時に未反応のポリマーＡが残りにくくなり、汚染がより抑制される傾向にある。また、重合性二重結合の導入量が８０モル％以下であることにより、過度な架橋を抑制できるため、ピックアップ時のピンの突き上げによる粘着テープの変形に粘着剤層が耐えられずピンの形に割れたり、またそれにより糊残りが生じたりすることが抑制される傾向にある。さらに、重合性二重結合の導入量が８０モル％以下であることにより、未反応のカルボキシル基などの極性基が残存しやすくなり、紫外線照射前の被着体への粘着力がより向上する傾向にある。

【0045】

ポリマーＡは、水酸基を有することが好ましい。なお、当該水酸基はヒドロキシル基含有モノマーなどに由来するものであってもよいし、変性剤に由来する水酸基であってもよいし、ヒドロキシル基含有モノマーと変性剤とが反応することによって生じる水酸基であってもよい。ヒドロキシル基含有モノマーなどのモノマー単位と変性剤とが反応することによって生じる水酸基としては、例えば、ヒドロキシル基含有モノマーに重合性二重結合を有するエポキシ化合物を反応させるような例が挙げられる。

【0046】

ポリマーＡが水酸基を有することにより、後述する硬化剤を配合した場合に、水酸基を介して複数のポリマー間をさらに架橋することができ、粘着剤層の凝集力がより向上する傾向にある。また、基材フィルムと粘着剤層とのアンカー性もより向上し、凝集破壊や投錨破壊が抑制され、より安定した粘着特性が得られる傾向にある。

【0047】

ポリマーＡの含有量は、粘着剤層の総量に対して、好ましくは８０～９９．５質量％であり、より好ましくは８５～９９．５質量％であり、さらに好ましくは９０～９９．５質量％である。ポリマーＡの含有量が上記範囲内であることにより、汚染がより抑制される傾向にある。

【0048】

（光ラジカル開始剤）
光ラジカル開始剤としては、特に限定されないが、例えば、アルキルフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、芳香族ケトン類、芳香族オニウム塩化合物、有機過酸化物、チオ化合物（チオフェニル基含有化合物など）、α－アミノアルキルフェノン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、ケトオキシムエステル化合物、ボレート化合物、アジニウム化合物、メタロセン化合物、活性エステル化合物、炭素ハロゲン結合を有する化合物、及びアルキルアミン化合物が挙げられる。

【0049】

このなかでも、アルキルフェノン系光重合開始剤が好ましい。

【0050】

光ラジカル開始剤の含有量は、粘着剤層の総量に対して、好ましくは０．１～５．０質量％であり、より好ましくは０．２～４．０質量％であり、さらに好ましくは０．３～３．０質量％である。光ラジカル開始剤の含有量が上記範囲内であることにより、汚染がより抑制される傾向にある。

【0051】

（硬化剤）
硬化剤としては、特に制限されないが、例えば、イソシアネート系化合物、エポキシ系化合物、アミン系化合物などを挙げることができる。このなかでも、イソシアネート系化合物が好ましい。このような硬化剤を用いることにより、粘着剤層の凝集力がより向上する傾向にある。これら硬化剤は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。

【0052】

イソシアネート系化合物としては、特に制限されないが、例えば、トリレンジイソシアネート、４，４－ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート；イソホロンジイソシアネート、メチレンビス（４－シクロヘキシルイソシアネート）等の脂環族ジイソシアネート；ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネートが挙げられる。これらは１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。

【0053】

このなかでも、硬化剤は２官能以上の多官能イソシアネート系化合物が好ましい。このような硬化剤を用いることにより、複数のポリマーＡ間を硬化剤によっても架橋することができるため、粘着剤層の凝集力がより向上する傾向にある。また、基材層と粘着剤層とのアンカー性も向上し、より安定した粘着特性が得られる傾向にある。

【0054】

硬化剤の含有量は、ポリマーＡ１００重量部に対して、好ましくは０．１～５．０重量部であり、より好ましくは０．３～４．０重量部であり、さらに好ましくは０．３～３．０重量部である。硬化剤の含有量が、０．１重量部以上であることにより、粘着剤層の架橋密度がより向上し、剥離時に生じる凝集破壊がより抑制され、凝集破壊に起因する汚染がより抑制される傾向にある。また、硬化剤の含有量５．０重量部以下であることにより、架橋密度がより低下し、弾性率が低くなるため、粘着力がより向上する傾向にある。

【0055】

また、硬化剤の含有量は、粘着剤層の総量に対して、好ましくは０．１～２．０質量％であり、より好ましくは０．２～１．５質量％であり、さらに好ましくは０．３～１．０質量％である。硬化剤の含有量が上記範囲内であることにより、汚染がより抑制される傾向にある。

【0056】

（その他の添加剤）
本実施形態の粘着剤層は、必要に応じて、粘着付与剤、架橋遅延剤、酸化防止剤等のその他の添加剤を含んでいてもよい。

【0057】

粘着付与剤としては、特に制限されないが、例えば、石油系樹脂、テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、芳香族変性テルペン樹脂、クマロンーインデン樹脂、天然樹脂ロジン、変性ロジン、グリセリンエステルロジン、ペンタエリスリトールエステルロジン、フェノール樹脂、キシレン樹脂、脂環族系石油樹脂、スチレン系樹脂、ジシクロペンタジエン樹脂等が挙げられる。

【0058】

架橋遅延剤としては、特に制限されないが、例えば、イソシアネート系硬化剤を含有する粘着剤組成物において、硬化剤が有するイソシアネート基をブロックすることによって、粘着剤組成物の過剰な粘度上昇を抑制することができる化合物である。このような架橋遅延剤としては、特に制限されないが、例えば、アセチルアセトン、ヘキサン－２，４－ジオン、ヘプタン－２，４－ジオン、オクタン－２，４－ジオン等のβ－ジケトン類；アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、アセト酢酸プロピル、アセト酢酸ブチル、アセト酢酸オクチル、アセト酢酸オレイル、アセト酢酸ラウリル、アセト酢酸ステアリル等のβ－ケトエステル類；ベンゾイルアセトン等が挙げられる。

【0059】

酸化防止剤としては、特に制限されないが、例えば、メチルハイドロキノン、ハイドロキノン、２，２－メチレン－ビス（４－メチル－６－ターシャリーブチルフェノール）、カテコール、ハイドロキノンモノメチルエーテル、モノターシャリーブチルハイドロキノン、２，５－ジターシャリーブチルハイドロキノン、ｐ－ベンゾキノン、２，５－ジフェニル－ｐ－ベンゾキノン、２，５－ジターシャリーブチル－ｐ－ベンゾキノン、ピクリン酸、クエン酸、フェノチアジン、ターシャリーブチルカテコール、２－ブチル－４－ヒドロキシアニソール、２，６－ジターシャリーブチル－ｐ－クレゾール及び４－［［４，６－ビス（オクチルチオ）－１，３，５－トリアジン－２－イル］アミノ］－２，６－ジターシャリーブチルフェノールが挙げられる。

【0060】

（厚さ）
粘着剤層の厚さは、通常は１．０～２５０μｍであり、好ましくは２．０～５０μｍであり、さらに好ましくは５．０～４０μｍである。粘着剤層の厚さを１．０μｍ以上にすることによって、十分な粘着力を確保することができるため、エキスパンドによって分割された半導体のチップの飛散を抑制することが容易となる。また、粘着剤層の厚さが２５０μｍ以下であることにより、よりコストが抑えられる傾向にある。

【0061】

半導体ウエハ加工用テープとして使用する場合には、テープの総厚みは、好ましくは６０～２５０μｍの範囲となるように、基材層及び粘着剤層の厚さを上記範囲において調整することが好ましい。半導体ウエハ加工用テープの厚さは、より好ましくは７０～２００μｍ、さらに好ましくは８０～１８０μｍの範囲である。

【0062】

（基材層）
基材層を構成する材料としては、特に制限されないが、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、エチレン－酢酸ビニル共重合体、エチレン－アクリル酸－アクリル酸エステルフィルム、エチレン－エチルアクリレート共重合体、ポリエチレン、ポリプロピレン、プロピレン系共重合体、エチレン－アクリル酸共重合体、及び、エチレン－（メタ）アクリル酸共重合体やエチレン－（メタ）アクリル酸－（メタ）アクリル酸エステル系共重合体等を金属イオンで架橋したアイオノマー樹脂が挙げられる。基材層を構成する基材フィルムは、これら樹脂の単独、２種以上の混合物、共重合体、又はこれらの積層物であってもよい。

【0063】

基材層の厚さは作業性を損なわない範囲で適宜選択できる。基材層の厚さは、通常は１０～５００μｍであり、好ましくは５０～２００μｍであり、さらに好ましくは７０～１５０μｍである。基材層の厚さを上記範囲内に調整することによって、実用的に問題なく、経済的にも有効である。基材層を複数の基材フィルムから構成する場合、基材層全体の厚さが上記範囲内となるように調整することが好ましい。

【0064】

基材層は、粘着剤層との密着性を向上させるために、必要に応じて、化学的又は物理的に表面処理を施してもよい。上記表面処理としては、例えば、コロナ処理、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、及びイオン化放射線処理等が挙げられる。

【0065】

（保護フィルム）
本実施形態の粘着テープは、粘着剤層を保護するため、粘着剤層に貼り合わせられた保護フィルムを有していてもよい。保護フィルムは、粘着テープの使用時に剥離されるため、剥離性に優れるものが好ましい。保護フィルムとしては、特に制限されないが、例えば、フッ素樹脂からなる表面エネルギーの低いフィルム、ポリエチレンテレフタレートの表面をシリコーン系剥離剤で処理したフィルム等が挙げられる。

【0066】

（用途）
本実施形態の粘着テープは、半導体ウエハ、半導体デバイス、又は各種半導体パッケージの加工用途に好適に用いることができる。半導体ウエハは、電子回路等が形成された個片か前のものであってもよい。また、半導体デバイスは、個片化された後の各種半導体チップあるいはそれを含む素子をいい、半導体パッケージとは、半導体チップにそれを保護するための樹脂と半導体チップと外部とを接続する接続端子を付したものをいう。

【0067】

〔粘着テープの製造方法〕
粘着テープの製造方法としては、特に制限されないが、基材層上に粘着剤層を形成する方法が挙げられる。

【0068】

本実施形態の粘着テープの基材層は、周知の技術に沿って製造することができる。基材層を成形する手段は、特に限定されるものでないが、上記各種材料を慣用の溶融混練等や各種混合装置（１軸又は２軸押出機、ロール、バンバリーミキサー、各種ニーダー等）を使用して各成分が均一に分散するように混合し、当該混合物をＴダイ法、カレンダー法、インフレ法で基材に成形する。好ましくは、厚さ精度がよい押出機によるＴダイ法を用い製膜する方法である。

【0069】

本実施形態の粘着テープの粘着剤層は、周知の技術に沿って製造することができる。粘着剤層を成形する手段は、特に限定されるものでないが、上記各種材料を有機溶剤等の溶媒に溶解させてワニス化し、これを保護フィルムの上に、ナイフコート法、ロールコート法、スプレーコート法、グラビアコート法、バーコート法、又はカーテンコート法等によって塗工し、溶媒を除去することによって粘着剤層を形成する。これを基材層上に貼り合せることによって、粘着テープを作製する。

【0070】

本実施形態においては、粘着剤層を形成後に、エージング処理をしてもよい。エージング処理では、形成した粘着剤層を所定の温度下で保管する。温度条件は、特に制限されないが、好ましくは３０～５０℃であり、より好ましくは３５～４５℃である。また、保管時間は、特に制限されないが、好ましくは２４～１５０時間であり、より好ましくは４８～１００時間である。このエージング処理を行うことで、粘着剤層の粘着力や、硬化特性が変化する。また、紫外線照射後の引張弾性率や破断伸び率についても上記好ましい範囲に制御することができる。

【0071】

〔加工方法〕
本実施形態の加工方法は、上記粘着テープと、被着体と、を貼り合わせる貼合工程と、粘着テープと被着体とを貼り合わせた状態で、被着体を加工するダイシング工程と、を有し、被着体として半導体ウエハ、半導体デバイス、又は各種半導体パッケージを加工する方法である。また、本実施形態の加工方法は、必要に応じて、ダイシング工程後の粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射工程や、紫外線照射後の粘着テープから、個片化したチップをピックアップするピックアップ工程を有していてもよい。

【0072】

ダイシング工程による個片化方法は、特に制限されず従来公知の方法を用いることができる。例えば、ダイシング装置を用いダイヤモンド砥粒を含有するダイシングブレードを高速回転させることにより、シリコンウエハを半導体チップに切断することができる。

【0073】

紫外線照射方法は、特に制限されないが、従来公知の方法を用いることができる。例えば、紫外線照射装置を用いて、ダイシング工程の粘着テープに紫外線を照射する。

【0074】

その後、ピックアップ方法は、特に制限されないが、従来公知の方法を用いることができる。例えば、エキスパンディング装置を用いて、紫外線照射後の粘着テープを面方向に引き伸ばし、各チップを分離させた状態でピックアップ装置によりチップをピックアップすることができる。

【実施例】

【0075】

以下、本発明を実施例及び比較例を用いてより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

【0076】

（実施例１）
アクリル酸２－エチルヘキシル６３重量部と、アクリル酸２－ヒドロキシエチル１５重量部と、エトキシエトキシエチルアクリレート２２重量部と、開始剤（アゾビスイソブチロニトリル）０．０３重量部とを酢酸エチル中で、６５℃で、２４時間、共重合させて、アクリル系ポリマーを含む溶液を得た。

【0077】

該アクリル系ポリマー中のアクリル酸２－ヒドロキシエチル単位の水酸基に、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを反応させ、側鎖に二重結合を導入した側鎖二重結合導入型アクリル系ポリマーを得た。このとき２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートの導入量が、上記アクリル系ポリマーのアクリル酸２－ヒドロキシエチル単位１００モル当たり、５０モル（５０モル％）となるように、両者を反応させた。

【0078】

続いて、側鎖二重結合導入型アクリル系ポリマー１００重量部を含む溶液に、ポリイソシアネート系化合物としてトリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート硬化剤（日本ポリウレタン株式会社：コロネートＬ－４５Ｅ）を０．５重量部と、光ラジカル開始剤（として２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン（ＢＡＳＦ社製：Ｏｍｎｉｒａｄ ６５１）を２．１重量部と、を加えて、紫外線硬化型粘着剤である樹脂組成物を調製した。

【0079】

この樹脂組成物を、予め離型処理の施されたポリエチレンテレフタレート保護フィルムの離型処理面上に、乾燥後の粘着剤層の厚さが２０μｍとなるように塗工し、１００℃で１分間乾燥させた後、予め粘着剤層が張り合わされる表面にコロナ処理が施されたエチレン－メタクリル酸－アクリル酸エステル系共重合体のアイオノマーフィルム（基材樹脂フィルム）のコロナ処理面と貼り合わせて基材樹脂フィルムに粘着剤を転写させた。これを４０℃の雰囲気下で７２時間エージングし、粘着テープを得た。

【0080】

（実施例２）
アクリル酸ブチル６７重量部と、アクリル酸メチル２８重量部と、アクリル酸２－ヒドロキシエチル５重量部と、開始剤（アゾビスイソブチロニトリル）０．０３重量部とをトルエン中で、６５℃で、２４時間、共重合させて、アクリル系ポリマーを含む溶液を得た。該アクリル系ポリマー中のアクリル酸２－ヒドロキシエチル単位の水酸基に、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを反応させ、側鎖に二重結合を導入した側鎖二重結合導入型アクリル系ポリマーを得た。このとき２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートの導入量が、上記アクリル系ポリマーのアクリル酸２－ヒドロキシエチル単位１００モル当たり、７０モル（７０モル％）となるように、両者を反応させた。上記アクリル系ポリマーを、酢酸エチル：メタノール＝１：２０の溶液中、固形分濃度２０％で洗浄することで、低分子量成分を除去した。これ以降は、実施例１と同様にして、粘着テープを得た。

【0081】

（実施例３）
アクリル系ポリマーの洗浄工程を省いたこと以外は、実施例２と同様にして、粘着テープを得た。

【0082】

（実施例４）
２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートの導入量が、アクリル系ポリマーのアクリル酸２－ヒドロキシエチル単位１００モル当たり、３０モル（３０モル％）となるように、両者を反応させたこと以外は、実施例１と同様にして、粘着テープを得た。

【0083】

（実施例５）
開始剤の量を調整し、側鎖二重結合導入型アクリル系ポリマーの重量平均分子量を８０万としたこと以外は、実施例１と同様にして、粘着テープを得た。

【0084】

（実施例６）
アクリル酸２－エチルヘキシル９２重量部と、アクリル酸８重量部と、開始剤（アゾビスイソブチロニトリル）０．０５重量部とを酢酸エチル中で、６５℃で、２４時間、共重合させて、アクリル系ポリマーを含む溶液を得た。

【0085】

該アクリル系ポリマー中のアクリル酸単位のカルボキシル基に、メタクリル酸グリシジルを反応させ、側鎖に二重結合を導入した側鎖二重結合導入型アクリル系ポリマーを得た。このときメタクリル酸グリシジルの導入量が、上記アクリル系ポリマーのアクリル酸単位１００モル当たり、８０モル（８０モル％）となるように、両者を反応させた。上記アクリル系ポリマーを、酢酸エチル：メタノール＝１：２０の溶液中、固形分濃度２０％で洗浄することで、低分子量成分を除去した。

【0086】

続いて、側鎖二重結合導入型アクリル系ポリマー１００重量部を含む溶液に、ポリイソシアネート系化合物としてトリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート硬化剤（日本ポリウレタン株式会社：コロネートＬ－４５Ｅ）を０．１重量部と、光ラジカル開始剤として２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン（ＢＡＳＦ社製：Ｏｍｎｉｒａｄ ６５１）を２．１重量部と、を加えて、紫外線硬化型粘着剤である樹脂組成物を調製した。これ以降は、実施例１と同様にして、粘着テープを得た。

【0087】

（実施例７）
アクリル系ポリマー中のアクリル酸単位のカルボキシル基に、メタクリル酸グリシジルを反応させ、側鎖に二重結合を導入した側鎖二重結合導入型アクリル系ポリマーを得たとき、メタクリル酸グリシジルの導入量が、上記アクリル系ポリマーのアクリル酸単位１００モル当たり、６０モル（６０モル％）となるように、両者を反応させたことと、ポリイソシアネート系化合物としてトリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート硬化剤（日本ポリウレタン株式会社：コロネートＬ－４５Ｅ）を０．５重量部としたこと以外は、実施例６と同様にして、粘着テープを得た。

【0088】

（比較例１）
アクリル系ポリマーの洗浄工程を省いたことと、ポリイソシアネート系化合物としてトリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート硬化剤（日本ポリウレタン株式会社：コロネートＬ－４５Ｅ）を０．５重量部としたこと以外は、実施例６と同様にして、粘着テープを得た。

【0089】

（比較例２）
アクリル酸２－エチルヘキシル４５重量部と、アクリル酸２－ヒドロキシエチル１０重量部と、アクリル酸メチル４０重量部と、アクリル酸５．０重量部と、開始剤（アゾビスイソブチロニトリル）０．０３重量部とを酢酸エチル中で、６５℃で、２４時間、共重合させて、アクリル系ポリマーを含む溶液を得た。

【0090】

該アクリル系ポリマーに対して、紫外線重合性ウレタンアクリレートを別添加し、併せて硬化剤と開始剤の量を調整したこと以外は実施例１と同様にして、粘着テープを作製した。

【0091】

上記のようにして調製した各サンプルについて有機物汚染、接触角、分子量、１８０°剥離対シリコンウエハ粘着力、ダイシング、ピックアップについて、評価試験を以下のように行った。得られた結果をまとめて下記表１に示す。

【0092】

＜有機物汚染＞
プライムウエハに、上記のようにして作製した粘着テープを貼り付け２４時間放置後、高圧水銀灯により紫外線を１５０ｍＪ／ｃｍ^２照射して、剥離した。その後、ＴＤ－ＧＣ／ＭＳにてプライムウエハ表面の揮発有機物成分を測定した。ＴＤ－ＧＣ／ＭＳの測定条件を以下に示す。

【0093】

（測定条件）
試料前処理：下記装置によりウエハ上の有機吸着物質をＴＥＮＡＸ管に回収。
・装置：「ＷＡ２５６０Ｍ」（ジーエルサイエンス社製）
・加熱条件：室温→約２５℃／ｍｉｎ昇温→４００℃（１５ｍｉｎ保持）
・吸着条件：Ｔｅｎａｘ管（室温）
ＴＤ－ＧＣ／ＭＳ
・測定装置：「ＴＤ２５３０」（ジーエルサイエンス社製）
・Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ７８９０Ｂ ＧＣ Ｓｙｓｔｅｍ
・Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ５９７７Ａ ＭＳＤ
・ＴＥＮＡＸ管脱着温度：２７０℃
・ＧＣ導入法：－１３０℃でコールドトラップ後、２７０℃加熱
・カラム：ＩｎｅｒｔＣａｐ １ＭＳ（Ｌｅｎｇｔｈ：６０ｍ，Ｄｉａｍ：０．２５ｍｍ， Ｆｉｌｍ：０．２５μｍ）
・キャリアガス：Ｈｅ
・イオン化法：ＥＩ法
・ＧＣ昇温条件：４０℃（５ｍｉｎ保持）→１０℃／ｍｉｎ昇温→２８０℃（１１ｍｉｎ保持）
使用したプライムウエハ：６ｉｎｃｈ、パーティクル：０．３μｍ≦１５個

【0094】

＜接触角＞
上記のようにして作製した粘着テープをシリコンウエハに貼り付け、２３℃の条件下２４時間放置後、高圧水銀灯により紫外線を１５０ｍＪ／ｃｍ^２照射して、剥離した。その後、シリコンウエハ表面の蒸留水に対する接触角Ｒ_１を液滴法にて測定した。粘着テープ貼り付け前の開封時のシリコンウエハの蒸留水に対する接触角Ｒ_０についても同様に測定し、差｜Ｒ_０－Ｒ_１｜を算出した。液滴法の測定条件を以下に示す。
（測定条件）
・水滴：３ｍＬ
・３０回／１測定（１回／１秒）、３０回目の値を採用 × ｎ３

【0095】

＜重量平均分子量＞
上記のようにして合成した側鎖二重結合導入型アクリル系ポリマー１０ｍｇをテトラヒドロフラン（ＴＨＦ、安定化剤不含、和光製薬工業株式会社製）１０ｍＬに溶解し、メンブランフィルター（ＰＴＦＥ製、０．５０μｍ）でろ過したものを分析に供した。重量平均分子量の測定条件を以下に示す。

【0096】

（分析装置）
ゲル浸透クロマトグラフ分析装置（ＤＧＵ－２０ＡＣ等、株式会社島津製作所製）
（測定条件）
標準物質：Ｓｈｏｄｅｘ ＳＴＡＮＤＡＲＤ （Ｔｙｐｅ：ＳＭ－１０５、昭和電工株式会社製）
試料導入量：２０μＬ
移動相：ＴＨＦ
流量 ：１ｍＬ／ｍｉｎ
カラム：Ｓｈｉｍ－ｐａｃｋ ＧＰＣ－８０Ｍ （３００ｍｍ×８．０ｍｍＩ．Ｄ．）
カラム温度：４０℃
検出器：示差屈折率検出器（ＲＩＤ）

【0097】

なお、重量平均分子量２００００以下の成分Ａ１の含有量は、側鎖二重結合導入型アクリル系ポリマーのクロマトグラムの面積を１００面積％として、スタンダードポリスチレン換算の分子量の検量線から重量平均分子量が２００００以下となる保持時間におけるクロマトグラムの面積の割合を算出することで求めた。

【0098】

＜ガラス転移点＞
ポリマーＡのガラス転移点の測定は、ＪＩＳ Ｋ７１２１に基づいて、示差走査熱量測定法（ＤＳＣ法）により測定した。

【0099】

＜１８０°剥離強度＞
粘着テープの粘着力は、ＪＩＳ Ｚ０２３７（２００９）の粘着力の測定方法（方法１：テープ及びシートをステンレス試験板に対して１８０°に引きはがす試験方法）に準拠して測定した。具体的には、表面を洗浄したシリコンウエハに粘着テープを圧着装置（ローラーの質量２ｋｇ）を用いて圧着させて、シリコンウエハに対して１８０°で粘着テープを引き剥がした際の１８０°剥離強度を、温度２３℃湿度５０％の環境下において、万能型引張試験機（ＯＲＩＥＮＴＥＣ社製 テンシロン 型番：ＲＴＧ－１２１０）で測定した。
（測定条件）
測定モード：引張り
引張り速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ
チャック間距離：５０ｍｍ
測定サンプル幅：２０ｍｍ

【0100】

＜ダイシング工程＞
直径８インチ×厚さ０．１ｍｍのシリコンウエハの裏面に、ローラーを備えたテープマウンター装置を用い、上記のようにして作製した粘着テープを貼り合わせた。次いで、ダイシングブレードでシリコンウエハを０．４９ｍｍ×０．３ｍｍの半導体チップにダイシングした。ダイシングの主な設定条件は、以下の通りである。
（設定条件）
ダイシング装置：ＤＩＳＣＯ社製ＤＡＤ３４１
ダイシングブレード：ＤＩＳＣＯ社製ＮＢＣ－ＺＨ２０５Ｏ－２７ＨＥＥＥ
ダイシングブレード回転数：４０，０００ｒｐｍ
ダイシングブレード送り速度：５０ｍｍ／秒
切削水温度：２５℃
切削水量：１．０リットル／分

【0101】

＜ピックアップ工程＞
ダイシング工程後に、紫外線を１５０ｍＪ／ｃｍ^２照射して粘着剤層を硬化させた。その後、粘着テープから半導体チップをピックアップして剥離した。ピックアップの主な設定条件は、以下の通りである。
（設定条件）
ピックアップ装置：キヤノンマシナリー社製ＣＡＰ－３００ＩＩ
ニードルピン形状：２５０μｍＲ
ニードルピン突き上げ高さ：０．５ｍｍ
エキスパンド量：８ｍｍ
突き上げ速度：１０，０００μｍ／秒

【0102】

＜ピックアップ収率＞
ピックアップ時ピンハイトについて、０．１ｍｍから１．５ｍｍまで０．１ｍｍ刻みでピックアップ試験を行なった。より具体的には、各ピンハイトにて１００個のチップのピックアップを試み、ピックアップできたチップの割合（ピックアップ収率）を、ピンハイトごとに確認した。そして、チップのピックアップ収率が９５％以上となったピンハイトの最小値を表に記載した。

【0103】

【表1】

※Ｒ_０は、５．０であった。

【産業上の利用可能性】

【0104】

本発明の粘着テープは、半導体ウエハ加工用テープ、特にはダイシング工程で用いる粘着テープとして、産業上の利用可能性を有する。