特許 7548589 近接露光装置用照明装置、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-02

(45)【発行日】2024-09-10

(54)【発明の名称】近接露光装置用照明装置、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20240903BHJP

【ＦＩ】

G03F7/20 501

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2021551204

(86)(22)【出願日】2020-09-25

(86)【国際出願番号】 JP2020036432

(87)【国際公開番号】W WO2021070643

(87)【国際公開日】2021-04-15

【審査請求日】2023-07-13

(31)【優先権主張番号】P 2019187715

(32)【優先日】2019-10-11

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】500171707

【氏名又は名称】株式会社ブイ・テクノロジー

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所

(72)【発明者】

【氏名】松坂 昌明

(72)【発明者】

【氏名】山口 洋一

(72)【発明者】

【氏名】松下 智恒

(72)【発明者】

【氏名】結城 大悟

【審査官】今井 彰

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１２／０６７２４６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１０－１１８３８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２０３５５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－０９８０４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１１０２２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－８７５１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０３Ｆ ７／２０－７／２４、９／００－９／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

マスクと所定のギャップを介して配置されたワークに対し、該マスクを介して露光光を照射する照明装置であって、
水銀ランプを光源とする第１の光源部と、
該第１の光源部からの光を均一にして出射するフライアイレンズと、
前記第１の光源部からの光をそれぞれ反射する複数の反射鏡と、
複数のＬＥＤ素子を光源とする第２の光源部、及び、該第２の光源部を、前記第１の光源部の光路上に位置する作動位置と、前記第１の光源部の光路から離間した退避位置との間で移動させる移動機構を有するＬＥＤユニットと、
を備える、近接露光装置用照明装置。

【請求項2】

前記第２の光源部の作動位置は、前記フライアイレンズと、該フライアイレンズよりも上流側の前記反射鏡との間で、かつ前記フライアイレンズの近傍に設定される、請求項１に記載の近接露光装置用照明装置。

【請求項3】

前記移動機構は、ボールねじ機構、シリンダ装置、回転機構の少なくとも一つによって構成される、請求項１又は２に記載の近接露光装置用照明装置。

【請求項4】

前記移動機構は、前記第２の光源部を第１の方向に移動させる第１の移動機構と、前記第２の光源部を前記第１の移動機構と共に第１の方向と異なる第２の方向に移動させる第２の移動機構とによって構成される、請求項１～３のいずれか１項に記載の近接露光装置用照明装置。

【請求項5】

前記第２の光源部は、複数のＬＥＤ素子をそれぞれ有する複数の分割光源部によって構成され、
前記移動機構は、前記複数の分割光源部ごとに設けられる、請求項１～４のいずれか１項に記載の近接露光装置用照明装置。

【請求項6】

請求項１～５のいずれか１項に記載の近接露光装置用照明装置を備え、該照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置。

【請求項7】

請求項６に記載の近接露光装置を使用し、
前記照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置の露光方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マスクを介してワークに露光光を照射する照明装置、ＬＥＤユニット、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、紫外線（特に、ｉ線）を活用する露光装置としては、超高圧水銀ランプ等の放電型ランプを光源とし、該光源から照射された光によってステージに固定されたワークにマスクのパターンを露光転写するものが知られている。

【0003】

また、特許文献１に記載の露光装置では、照明装置は、例えば、水銀ランプから構成された主光源と、該主光源とは出力応答特性が異なる、例えば、ＬＥＤから構成された補助光源と、主光源と補助光源の射出光を検出する光電センサと、被露光基板に照射される露光光の強度を変更する露光量制御部と、を備える。主光源は、目標最小照度から決定された照度で発光し、補助光源は、目標照度と主光源による照度との差分の照度を発光し、光合成部により主光源および補助光源から照射された光を合成して、装置の生産性を低下させることなく、光源の出力応答特性を向上させるようにした露光装置が開示されている。

【0004】

また、特許文献２は、照明光学系が、水銀ランプ、ＬＥＤ、ハロゲンランプなどからなる、第１及び第２の光源部と、第１の光源部からの光を遮光可能なフィルタと、を有する。そして、基板とマスクとを所定のギャップに近接させた状態で、フィルタの開タイミングを制御することで第１及び第２の光源部からの光を異なるタイミングで基板に照射して、高解像度のパターンを形成するとともに、スループットを向上させた近接露光装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】日本国特開２０１５－８７５１７号公報

【文献】日本国特開２０１３－２０５６１３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、水銀ランプ等の放電型ランプは、電源投入後に、出力が安定するまでに時間がかかり、出力変更時に短時間での出力可変が事実上難しい。また、フライアイレンズから離れた位置に光源を配置する場合、フライアイレンズの入射角を補う必要があるため、光源のサイズが大きくなる。さらに、放電型ランプは、消費電力が大きく、ランプ寿命が短いという問題があった。

【0007】

一方、近年、近接露光装置用の照明装置としても、出力可変に対する応答性が略０．１ｍｓｅｃ以下である紫外線ＬＥＤなどを２次元でマトリクス状に配置した光源が使用され始めている。また、ＬＥＤは、水銀ランプと比較して消費電力が小さい利点も有する。このため、光源部を水銀ランプとした照明装置をすでに組み込んでいる既存の露光装置においても、ＬＥＤを光源部として使用できることが望まれている。特に、光源部を水銀ランプからＬＥＤに切り替える際、実際にサンプルを通す条件合わせの試験が必要となるが、両光源を併用可能とすると、円滑に水銀ランプからＬＥＤへの切り替えが可能となる。

【0008】

特許文献１の露光装置は、ＬＥＤを補助光源として使用するものであり、また、特許文献２の露光装置も、ＬＥＤを一例として、第１の光源部を選択的に、第２の光源部に組み合わせて使用するものであり、上記課題を考慮したものでない。

【0009】

本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、光源部として、水銀ランプとＬＥＤの両方を独立して使用可能な近接露光装置用照明装置、ＬＥＤユニット、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１） マスクと所定のギャップを介して配置されたワークに対し、該マスクを介して露光光を照射する照明装置であって、
水銀ランプを光源とする第１の光源部と、
該第１の光源部からの光を均一にして出射するフライアイレンズと、
前記第１の光源部からの光をそれぞれ反射する複数の反射鏡と、
複数のＬＥＤ素子を光源とする第２の光源部、及び、該第２の光源部を、前記第１の光源部の光路上に位置する作動位置と、前記第１の光源部の光路から離間した退避位置との間で移動させる移動機構を有するＬＥＤユニットと、
を備える、近接露光装置用照明装置。
（２） （１）に記載の近接露光装置用照明装置に使用されるＬＥＤユニットであって、
前記移動機構は、前記第１の光源部の光路から離間した位置に設置される、ＬＥＤユニット。
（３） （１）に記載の近接露光装置用照明装置を備え、該照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置。
（４） （３）に記載の近接露光装置を使用し、
前記照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置の露光方法。

【発明の効果】

【0011】

本発明の近接露光装置用照明装置、ＬＥＤユニット、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法によれば、１台の照明装置により、水銀ランプとＬＥＤの両方を独立して使用することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１（ａ）は、本発明に係る近接露光装置用照明装置の概略構成を示す側面図、図１（ｂ）は、その上面図である。

【図2】図２は、図１（ｂ）に示すＬＥＤユニットの上面図である。

【図3】図３は、第１変形例に係る、移動機構がシリンダ装置からなるＬＥＤユニット近傍を示す上面図である。

【図4A】図４Ａは、第２変形例に係る、移動機構が回転機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。

【図4B】図４Ｂは、第３変形例に係る、移動機構が回転機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。

【図4C】図４Ｃは、第４変形例に係る、移動機構が回転機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。

【図5A】図５Ａは、第５変形例に係る、移動機構が複数のボールねじ機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。

【図5B】図５Ｂは、第６変形例に係る、移動機構がボールねじ機構と回転機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。

【図6A】図６Ａは、第７変形例に係る、第２の光源部が分割され、分割光源部がボールねじ機構によって互いに独立して移動可能なＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。

【図6B】図６Ｂは、第８変形例に係る、第２の光源部が分割され、分割光源部が回転機構によって互いに独立して移動可能なＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。

【図6C】図６Ｃは、第９変形例に係る、第２の光源部が分割され、各分割光源部の移動機構がボールねじ機構と回転機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明に係る近接露光装置用照明装置の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示すように、本実施形態の近接露光装置１０は、マスクステージＭＳに保持されたマスクＭと、ワークステージＷＳに載置されたワークＷとを所定のギャップを介して配置し、近接露光装置用照明装置（以下では、単に照明装置とも言う）２０から出射された光を、マスクＭを介してワークＷに照射して、マスクＭのパターンをワークＷに露光転写する。

【0014】

照明装置２０は、水銀ランプ３１を光源とする第１の光源部３０と、第１の光源部３０から出射された光の赤外線を透過させ、光路ＥＬの向きを変える一対のコールドミラー４０，４１と、コールドミラー４１の下流側に配設されて第１の光源部３０から出射された光を開閉制御する露光制御用シャツター４５と、該露光制御用シャツター４５の下流側に配置されて、光の強度を均一化するインテグレータを構成する少なくとも１枚のフライアイレンズ４６（本実施形態では、３枚のフライアイレンズ４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）と、周辺部の光の進行方向を変えるフィールドレンズ４９と、フィールドレンズ４９からの光を平行光として照射するコリメーションミラー５０と、該平行光をマスクＭに向けて照射する平面ミラー５１と、を備える。

【0015】

第１の光源部３０は、例えば水銀ランプ３１と、この水銀ランプ３１から出射された光を集光する不図示のリフレクタをそれぞれ複数有して、二次元でマトリックス配置される。なお、光源としては、単一の水銀ランプ３１とリフレクタの構成であってもよい。水銀ランプ３１は、赤外線も出射するので、赤外線を透過させるコールドミラー４０，４１を設けることが好ましく、そのためある程度の長い光路長が要求される。

【0016】

フライアイレンズ４６は、通常、ワークＷの露光面における照度が、タクトタイムとの兼ね合いで最大の照度となるように、フライアイレンズ４６の入射面での照度が最大となるように設計される。大、中、小の３枚のフライアイレンズ４６ａ，４６ｂ，４６ｃは、それぞれスライドさせて交換することを可能であり、要求される露光精度などに応じて最適なサイズのフライアイレンズ４６が選択されて使用される。なお、フライアイレンズ４６の枚数は３枚に限定されない。

【0017】

フィールドレンズ４９は、レンズ周辺部の光を効率的に使用するためのものであり、必ずしも必要としないが、タクトタイム向上のために設けることが望ましい。

【0018】

また、照明装置２０は、複数のＬＥＤ素子６２を光源とする第２の光源部６１と、第２の光源部６１を光路ＥＬと交差する方向に移動させる移動機構７０と、を有するＬＥＤユニット６０を備える。

【0019】

図２も参照して、第２の光源部６１は、複数（例えば、数百個程度）のＬＥＤ素子（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）６２が、二次元でマトリックス配置されて基体６３に実装されている。第２の光源部６１は、移動機構７０により、第１の光源部３０の光路ＥＬ上に位置する作動位置ＡＰと、該光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰとの間で移動可能である。

【0020】

第２の光源部６１の作動位置ＡＰは、第１の光源部３０の光路ＥＬ上、かつフライアイレンズ４６とコールドミラー４１との間で、フライアイレンズ４６の近傍に設定されている。

【0021】

なお、第２の光源部６１の作動位置ＡＰは、露光制御用シャツター４５の上流側に配置されているが、ＬＥＤ素子６２は出力応答性に優れるため、露光制御用シャツター４５による光の開閉制御を必要としない。従って、第２の光源部６１の作動位置ＡＰは、露光制御用シャツター４５の下流側とし、フライアイレンズ４６よりも上流側で、フライアイレンズ４６のより近傍に配置してもよい。
また、ＬＥＤ素子６２は、水銀ランプ３１と異なり、赤外線を出射しないので、フライアイレンズ４６の近傍に配置することができる。従って、少なくとも露光制御用シャツター４５より下流側の光路ＥＬは、第１の光源部３０と第２の光源部６１とで同じものとなる。

【0022】

また、水銀ランプ３１の光学系は、水銀ランプ３１のアレイのサイズがフライアイレンズ４６のサイズに比べて大きいため、集光させている。そのため、ＬＥＤ素子６２のアレイを水銀ランプ３１の近傍に設置すると、ＬＥＤ素子６２のアレイも水銀ランプ３１のアレイと同様のサイズにする必要があるが、フライアイレンズ４６の近傍に設置すると、よりコンパクトなサイズにすることが可能になり、装置全体のサイズを大きくなるのを防ぐことができる。

【0023】

図２に示すように、移動機構７０は、カップリング７１を介して連結されたモータ７２により回転駆動されるねじ軸７３と、第２の光源部６１を実装する基体６３が固定されて、ねじ軸７３に螺合するナット７４と、を備えるボールねじ機構８０によって構成される。移動機構７０は、第１の光源部３０及び第２の光源部６１からの光を阻害することがないように、光路ＥＬから離間した位置（図１（ａ）に示す実施例では第２の光源部６１の下方）に配設されている。

【0024】

そして、モータ７２を回転させることで、第２の光源部６１を光路ＥＬ上に位置する作動位置ＡＰと、該光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰとの間で往復移動させて、照明装置２０の光源を、第１の光源部３０と第２の光源部６１に切り換え、いずれか一方の光源部３０，６１からの露光光によりマスクＭのパターンをワークＷに露光転写する。

【0025】

第１の光源部３０による露光は、図１に示すように、先ず、移動機構７０により第２の光源部６１を光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰに位置させた後、マスクステージＭｓに保持されたマスクＭと、ワークステージＷｓに載置されたワークＷとを、数１０～数１００μｍのギャップに調整して近接対向配置する。その際、第２の光源部６１のＬＥＤ素子６２は、消灯している。

【0026】

そして、水銀ランプ３１を光源とする第１の光源部３０から出射された露光用の光を、一対のコールドミラー４０，４１で反射し、開制御されている露光制御用シャツター４５からフライアイレンズ４６で集光させる。フライアイレンズ４６から出射される露光用の光は、フィールドレンズ４９を通って、コリメーションミラー５０で反射されて所定のコリメーション角を持った平行光とされ、平面ミラー５１によってマスクＭに入射する。そして、マスクＭを透過した露光用の光は、ワークＷの表面に塗布されたフォトレジストを感光させてマスクＭのマスクパターンがワークＷに露光転写される。

【0027】

一方、出力応答性に優れるＬＥＤ素子６２で構成された第２の光源部６１による露光は、図２の実線で示すように、モータ７２を回転させて第２の光源部６１を光路ＥＬ上の作動位置ＡＰに位置させる。そして、ＬＥＤ素子６２を点灯してその光をフライアイレンズ４６に入射させる。フライアイレンズ４６から出射される露光用の光は、同様に、フィールドレンズ４９、コリメーションミラー５０、及び平面ミラー５１を介して、マスクＭに入射する。そして、マスクＭを透過した露光用の光は、ワークＷの表面に塗布されたフォトレジストを感光させてマスクＭのマスクパターンがワークＷに露光転写される。

【0028】

このように、第２の光源部６１を、第１の光源部３０の光路ＥＬ上に進出または退避させて、光源を第１の光源部３０と第２の光源部６１とに切り替えて使用することで、１台の近接露光装置用照明装置２０により、水銀ランプとＬＥＤの両方を光源部として独立して使用することが可能となる。

【0029】

（第１変形例）
図３に示す第１変形例のＬＥＤユニット６０Ａは、移動機構７０を、上記実施形態のボールねじ機構の代わりに、シリンダ装置７５としている。この場合、シリンダ装置７５のピストンロッド７６を伸縮して、該ピストンロッド７６の先端に固定された第２の光源部６１を、光路ＥＬ上の作動位置ＡＰと、該光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰとの間で移動させる。
したがって、移動機構７０がシリンダ装置７５の場合も、光路ＥＬから離間した位置に配設され、第１の光源部３０及び第２の光源部６１からの光を阻害することがない。

【0030】

（第２～第４変形例）
図４Ａ～図４Ｃは、移動機構７０が回転機構によって構成される、第２～第４変形例のＬＥＤユニット６０Ｂ～６０Ｄを示す。即ち、回転機構であるモータ８１の回転軸に、第２の光源部６１を実装する基体６３が取り付けられる。第２～第４変形例のいずれも、第２の光源部６１を、第１の光源部３０の光路ＥＬ上の作動位置ＡＰと、該光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰとの間で回転させる。

【0031】

したがって、第２～第４変形例では、第１の光源部３０による露光の場合には、第２の光源部６１は、光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰに配設され、第１の光源部３０からの光を阻害することがない。また、第２の光源部６１による露光の場合には、第２の光源部６１は、作動位置ＡＰにて複数のＬＥＤ素子６２を点灯する。
この結果、モータ８１によって第２の光源部６１を回転させることで、第１の光源部３０と第２の光源部６１での露光を任意に切り替え可能となる。
なお、モータ８１の回転軸の位置や回転方向、退避位置ＷＰは任意に設定可能である。

【0032】

（第５～第６変形例）
また、図５Ａに示す第５変形例のＬＥＤユニット６０Ｅでは、移動機構７０は、第２の光源部６１がナット７４に配置された第１のボールねじ機構（第１の移動機構）８０Ａと、該第１のボールねじ機構８０Ａが他のナット７４に配置された第２のボールねじ機構（第２の移動機構）８０Ｂと、によって構成される。

【0033】

第１のボールねじ機構８０Ａは、第２の光源部６１を第１の光源部３０の光路ＥＬに直交する方向（第１の方向）に移動させ、第２のボールねじ機構８０Ｂは、第２の光源部６１を含む、第１のボールねじ機構８０Ａを光路ＥＬと平行な方向（第２の方向）に移動させる。これにより、移動機構７０は、第２の光源部６１を、作動位置ＡＰと退避位置ＷＰとの間で、上面視で、Ｌ字型の軌跡で移動させることができる。

【0034】

図５Ｂに示す第６変形例のＬＥＤユニット６０Ｆは、移動機構７０を、第２の光源部６１が回転軸に取付けられたモータ８１である回転機構（第１の移動機構）と、モータ８１がナット７４に配置されたボールねじ機構（第２の移動機構）８０とによって構成する。

【0035】

モータ８１は、第２の光源部６１を第１の光源部３０の光路ＥＬに直交する姿勢から光路ＥＬに沿った姿勢となる回転方向（第１の方向）に回転移動させ、ボールねじ機構８０は、第２の光源部６１を含むモータ８１を光路ＥＬと直交する方向（第２の方向）に移動させる。これにより、移動機構７０は、第２の光源部６１を、作動位置ＡＰと退避位置ＷＰとの間で移動させることができる。

【0036】

これら第５及び第６変形例のように、移動機構７０は、第２の光源部を第１の方向に移動させる第１の移動機構と、第２の光源部を第１の移動機構と共に第１の方向と異なる第２の方向に移動させる第２の移動機構とによって構成してもよい。第１及び第２の移動機構は、ボールねじ機構、回転機構の他、シリンダ装置であってもよい。また、第１及び第２の移動機構は、同時に駆動させてもよいし、個々に順次駆動させてもよい。さらに、退避位置ＷＰは、第１の移動機構と第２の移動機構とによって移動可能な範囲において、適宜変更してもよい。また、移動機構７０は、３つ以上の移動機構を組み合わせて構成されてもよい。
このようなＬＥＤユニット６０Ｅ，６０Ｆは、退避位置ＷＰの自由度を上げることができ、また、メンテナンス作業性を向上することができる。

【0037】

（第７～第９変形例）
次に、図６Ａ～図６Ｃは、第２の光源部６１が、複数のＬＥＤ素子６２をそれぞれ有する複数の分割光源部６１ａ，６１ｂによって構成される、第７～第９変形例のＬＥＤユニット６０Ｂ～６０Ｄを示す。
例えば、図６Ａでは、第２の光源部６１は、一対の基体６３ａ，６３ｂに複数のＬＥＤ素子６２がそれぞれ配置された一対の分割光源部６１ａ，６１ｂによって構成される。移動機構７０は、分割光源部６１ａ，６１ｂごとにそれぞれ設けられる。この場合、各基体６３ａ、６３ｂが、各ボールねじ機構８０のナット７４にそれぞれ取り付けられる。

【0038】

そして、第１の光源部３０による露光の場合には、第２の光源部６１の分割光源部６１ａ、６１ｂは、光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰに位置し、第２の光源部６１による露光の際には、分割光源部６１ａ、６１ｂは、第１の光源部３０の光路ＥＬ上の作動位置ＡＰに位置する。このとき、一対の基体６３ａ，６３ｂは、互いに当接されるか、または近接して配置される。

【0039】

また、図６Ｂでは、分割光源部６１ａ、６１ｂに対応する各移動機構７０は、モータ８１によってそれぞれ構成される。一対の分割光源部６１ａ、６１ｂは、第１の光源部３０の光路ＥＬ上で、一対の基体６３ａ、６３ｂが互いに面一となる作動位置ＡＰと、回転駆動されて、該光路ＥＬから離間し、一対の基体６３ａ、６３ｂが平行となる退避位置ＷＰとの間で移動する。

【0040】

さらに、図６Ｃでは、分割光源部６１ａ、６１ｂに対応する各移動機構７０は、モータ８１とボールねじ機構８０とによってそれぞれ構成される。この場合も、第１の光源部３０による露光の場合には、第２の光源部６１の分割光源部６１ａ、６１ｂは、光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰに位置し、第２の光源部６１による露光の際には、分割光源部６１ａ、６１ｂは、光路ＥＬ上の作動位置ＡＰに位置する。

【0041】

第７～第９変形例のように、第２の光源部６１を分割することによって、各分割光源部６１ａ、６１ｂの重量を小さくでき、各分割光源部６１ａ、６１ｂの移動を高速化でき、また、ボールねじ機構８０のモータ７２に出力が小さなものを利用できる。

【0042】

なお、第２の光源部６１の分割数は、上記に限らず、３分割以上であってもよく、各分割光源部に対応して移動機構をそれぞれ設ければよい。また、第２の光源部６１の分割は、第７～第９変形例の左右分割に限らず、上下分割であってもよいし、斜めに分割してもよい。
いずれの変形例においても、その他の構成及び効果は、上記実施形態の照明装置と同様である。

【0043】

尚、本発明は、前述した一実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
例えば、本実施形態では、移動機構７０によって、第２の光源部６１を水平方向に移動させて作動位置ＡＰと退避位置ＷＰとの間で切り替えているが、第２の光源部６１を上下方向に移動させて作動位置ＡＰと退避位置ＷＰとの間で切り替えてもよい。
また、本発明の移動機構は、上述したボールねじ機構やシリンダ装置、回転機構に限定されず、ＬＥＤユニットを作動位置と退避位置との間で移動させる任意の機構が適用できる。

【0044】

以上の通り、本明細書には次の事項が開示されている。
（１） マスクと所定のギャップを介して配置されたワークに対し、該マスクを介して露光光を照射する照明装置であって、
水銀ランプを光源とする第１の光源部と、
該第１の光源部からの光を均一にして出射するフライアイレンズと、
前記第１の光源部からの光をそれぞれ反射する複数の反射鏡と、
複数のＬＥＤ素子を光源とする第２の光源部、及び、該第２の光源部を、前記第１の光源部の光路上に位置する作動位置と、前記第１の光源部の光路から離間した退避位置との間で移動させる移動機構を有するＬＥＤユニットと、
を備える、近接露光装置用照明装置。
この構成によれば、第２の光源部を第１の光源部の光路上に進出または退避させることで、１台の照明装置により、第１の光源部と第２の光源部とを切り替えて使用することができる。また、水銀ランプを光源とする既存の近接露光装置用照明装置に、ＬＥＤを光源部として容易に改修することができる。

【0045】

（２） 前記第２の光源部の作動位置は、前記フライアイレンズと、該フライアイレンズよりも上流側の前記反射鏡との間で、かつ前記フライアイレンズの近傍に設定される、（１）に記載の近接露光装置用照明装置。
この構成によれば、第２の光源部の作動位置をフライアイレンズの近傍とすることで、複数のＬＥＤ素子から出射される光を効果的にフライアイレンズに集光することができるので、複数のＬＥＤ素子を有する第２の光源部、及び第２の光源部を有するＬＥＤユニットをコンパクトに設計でき、また、第１の光源部と第２の光源部との切り替えも容易に行うことができる。

【0046】

（３） 前記移動機構は、ボールねじ機構、シリンダ装置、回転機構の少なくとも一つによって構成される、（１）又は（２）に記載の近接露光装置用照明装置。
この構成によれば、第２の光源部を、近接露光装置用照明装置に応じて、適切な退避位置に退避させることができる。

【0047】

（４） 前記移動機構は、前記第２の光源部を第１の方向に移動させる第１の移動機構と、前記第２の光源部を前記第１の移動機構と共に第１の方向と異なる第２の方向に移動させる第２の移動機構とによって構成される、（１）～（３）のいずれかに記載の近接露光装置用照明装置。
この構成によれば、第２の光源部を、近接露光装置用照明装置に応じて、より適切な退避位置に退避させることができる。

【0048】

（５） 前記第２の光源部は、複数のＬＥＤ素子をそれぞれ有する複数の分割光源部によって構成され、
前記移動機構は、前記複数の分割光源部ごとに設けられる、（１）～（４）のいずれかに記載の近接露光装置用照明装置。
この構成によれば、１か所に大きな退避位置を設ける必要がなくなり、また、各移動機構をコンパクトに設計できる。

【0049】

（６） （１）～（５）のいずれかに記載の近接露光装置用照明装置に使用されるＬＥＤユニットであって、
前記移動機構は、前記第１の光源部の光路から離間した位置に設置される、ＬＥＤユニット。
この構成によれば、水銀ランプを光源とする既存の近接露光装置用照明装置に、ＬＥＤユニットを適切に設置することができる。

【0050】

（７） （１）～（５）のいずれかに記載の近接露光装置用照明装置を備え、該照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置。
この構成によれば、第１の光源部と第２の光源部とを切り替えて、ワークを効率的に露光することができる。

【0051】

（８） （７）に記載の近接露光装置を使用し、
前記照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置の露光方法。
この構成によれば、第１の光源部と第２の光源部とを切り替えて、ワークを効率的に露光することができる。

【0052】

なお、本出願は、２０１９年１０月１１日出願の日本特許出願（特願２０１９－１８７７１５）に基づくものであり、その内容は本出願の中に参照として援用される。

【符号の説明】

【0053】

１０ 近接露光装置
２０ 照明装置（近接露光装置用照明装置）
３０ 第１の光源部
３１ 水銀ランプ
４０，４１ コールドミラー（反射鏡）
４６ フライアイレンズ
５０ コリメーションミラー（反射鏡）
５１ 平面ミラー（反射鏡）
６０ ＬＥＤユニット
６１ 第２の光源部
６２ ＬＥＤ素子
７０ 移動機構
７２ モータ（駆動装置）
７３ ねじ軸
７４ ナット
ＡＰ 作動位置
ＥＬ 光路
Ｍ マスク
Ｗ ワーク
ＷＰ 退避位置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図6C】