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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-02
(45)【発行日】2024-09-10
(54)【発明の名称】収容袋
(51)【国際特許分類】
G03F 1/66 20120101AFI20240903BHJP
B65D 30/02 20060101ALI20240903BHJP
【ＦＩ】
G03F1/66
B65D30/02
【請求項の数】
13
(21)【出願番号】P 2020211399
(22)【出願日】2020-12-21
(65)【公開番号】P2022098069
(43)【公開日】2022-07-01
【審査請求日】2023-08-10
(73)【特許権者】
【識別番号】000005887
【氏名又は名称】三井化学株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100123582
【弁理士】
【氏名又は名称】三橋 真二
(74)【代理人】
【識別番号】100108903
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 和広
(74)【代理人】
【識別番号】100142387
【弁理士】
【氏名又は名称】齋藤 都子
(74)【代理人】
【識別番号】100135895
【弁理士】
【氏名又は名称】三間 俊介
(74)【代理人】
【識別番号】100099759
【弁理士】
【氏名又は名称】青木 篤
(72)【発明者】
【氏名】富永 優
【審査官】田中 秀直
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１５－１８２７２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－２０８１５８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－１８２３７４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－１２７９３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－０９０６１８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－１８４８３７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－１２０３２３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－０２５４１１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－０９１７２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－０４９９４２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０１－０９０７４３（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００６／００２９８２４（ＵＳ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２０１６／０２２１２９２（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０３Ｆ １／００－１／８６
Ｂ６５Ｄ ３０／０２
Ｂ６５Ｄ ８５／８６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ペリクルケースを収容する収容袋であって、前記収容袋を構成するフィルムは、前記ペリクルケースに対向する側に配されヒートシール可能な第１の層を少なくとも備え、
ガスクロマトグラフィー質量分析法（ＧＣ－ＭＳ）により測定される、前記フィルムの有機ガスの発生量が２００ｐｐｂ以下であることを特徴とする、収容袋。
【請求項2】
ペリクルケースを収容する収容袋であって、前記収容袋を構成するフィルムは、前記ペリクルケースに対向する側に配されヒートシール可能な第１の層を少なくとも備え、
前記第１の層の酸素透過速度が２００ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａ以下であることを特徴とする、収容袋。
【請求項3】
前記第１の層は、エチレン－ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、及びポリビニルアルコール（ＰＶＡ）から成る群より選択される少なくとも１種を含む、請求項１又は２に記載の収容袋。
【請求項4】
多層構造を有する、請求項１～３のいずれか１項に記載の収容袋。
【請求項5】
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）層を備える、請求項４に記載の収容袋。
【請求項6】
前記ＰＥＴ層として、シリカ蒸着ＰＥＴ層を備える、請求項５に記載の収容袋。
【請求項7】
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、金属蒸着層を備える、請求項４に記載の収容袋。
【請求項8】
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、ナイロン（ＮＹ）層を備える、請求項４～７のいずれか１項に記載の収容袋。
【請求項9】
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、静電防止層を備える、請求項４～８のいずれか１項に記載の収容袋。
【請求項10】
前記静電防止層は、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側の最外層を構成する、請求項９に記載の収容袋。
【請求項11】
前記フィルムの多層構造における少なくとも一つの層間に、ドライラミネート層が配されてなる、請求項４～１０のいずれか１項に記載の収容袋。
【請求項12】
前記フィルムの厚みが２０μｍ～２００μｍである、請求項１～１１のいずれか１項に記載の収容袋。
【請求項13】
前記フィルムの厚みが３０μｍ～１００μｍである、請求項１～１２のいずれか１項に記載の収容袋。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ペリクルケースを収容する収容袋に関するものである。
【背景技術】
【0002】
大規模集積回路（ＬＳＩ）等の製造工程では、フォトマスクを防塵するため、ペリクルが用いられる。ペリクルは、一般に、ペリクル枠と、ペリクル枠の一端側に配された、透明な薄膜であるペリクル膜と、ペリクル枠の他端側（ペリクル枠のペリクル膜とは反対側）に配された、フォトマスクに張り付けられるための粘着層と、を有する。
【0003】
このようなペリクルを保管、輸送する場合、ペリクルは、ペリクル収納容器（ペリクルケース）に収納された状態で、さらに包装袋に収容される。
【0004】
ペリクルを収納するペリクル収納容器は、一般的には、ペリクルを載置する容器本体と、それに周縁部で嵌合し密封する蓋体とから構成される。
【0005】
そして、包装袋には、清浄性の他に、内部のペリクル収納容器に異物を付着させないための密閉性、静電防止性能等が求められるため、従来から、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンフタレート（ＰＥＴ）などの樹脂材質からなる包装袋が用いられている（例えば、特許文献１）。また、静電防止性能を確保するために、通常、材質中に静電防止剤あるいは導電材料の練り込みが行われるが（例えば、特許文献２）、ときにはアルミ箔をラミネートしたものや、導電印刷を施したものが用いられることもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２０１１－２４０９４６号公報
【文献】特開２０１２－２０８１５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
しかしながら、包装袋の樹脂材料や接着剤由来の有機ガス（「アウトガス」と称する場合がある）の化学成分が、ペリクル表面に吸着することが問題となっている。
【0008】
現在、ＬＳＩ製品の包装袋としてアルミ製の袋が使用されている。内袋のアウトガス量が多いため、脱ガス処理を行う必要があり、手間やコストがかかってしまう。
【0009】
市場に存在する防湿性の高いフィルムは、内層にポリエチレン（ＰＥ）フィルムを用いているため、材料・接着剤由来のアウトガスが問題となる。袋としてはガスバリア性があるが、ヒートシールができるようにするために、ＰＥ／ＬＬＤＰＥ（直鎖状低密度ポリエチレン）層をもつ。これらの層から発生する炭化水素系等のガスが内袋に溶出していく。ヒートシール部分からのアウトガスは特に多い。接着フィルムからのガス（炭化水素や他の揮発性ガス成分）が経時的に溶出していると考えているが、ＬＬＤＰＥからも発生するアウトガスは多い。
【0010】
アウトガス量が多いと、ガスがペリクルに付着し、ユーザーが使用する際にペリクル膜の汚れ（ヘイズ）になるおそれがある。
【0011】
本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、本発明の目的は、ヒートシール可能であるとともに、袋体内部へのアウトガスの発生を抑えることにより、ペリクルのヘイズの発生を抑えたペリクルケースの収容袋を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0012】
［１］
ペリクルケースを収容する収容袋であって、
前記収容袋を構成するフィルムは、前記ペリクルケースに対向する側に配されヒートシール可能な第１の層を少なくとも備え、
ガスクロマトグラフィー質量分析法（ＧＣ－ＭＳ）により測定される、前記フィルムの有機ガスの発生量が２００ｐｐｂ以下であることを特徴とする、収容袋。
［２］
ペリクルケースを収容する収容袋であって、
前記収容袋を構成するフィルムは、前記ペリクルケースに対向する側に配されヒートシール可能な第１の層を少なくとも備え、
前記第１の層の酸素透過速度が２００ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａ以下であることを特徴とする、収容袋。
［３］
前記第１の層は、エチレン－ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、及びポリビニルアルコール（ＰＶＡ）から成る群より選択される少なくとも１種を含む、［１］又は［２］に記載の収容袋。
［４］
多層構造を有する、［１］～［３］のいずれかに記載の収容袋。
［５］
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）層を備える、［４］に記載の収容袋。
［６］
前記ＰＥＴ層として、シリカ蒸着ＰＥＴ層を備える、［５］に記載の収容袋。
［７］
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、金属蒸着層を備える、［４］に記載の収容袋。
［８］
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、ナイロン（ＮＹ）層を備える、［４］～［７］のいずれかに記載の収容袋。
［９］
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、静電防止層を備える、［４］～［８］のいずれかに記載の収容袋。
［１０］
前記静電防止層は、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側の最外層を構成する、［９］に記載の収容袋。
［１１］
前記フィルムの多層構造における少なくとも一つの層間に、ドライラミネート層が配されてなる、［４］～［１０］のいずれかに記載の収容袋。
［１２］
前記フィルムの厚みが２０μｍ～２００μｍである、［１］～［１１］のいずれかに記載の収容袋。
［１３］
前記フィルムの厚みが３０μｍ～１００μｍである、［１］～［１２］のいずれかに記載の収容袋。
ペリクルケースを収容する収容袋であって、
前記収容袋を構成するフィルムは、前記ペリクルケースに対向する側に配されヒートシール可能な第１の層を少なくとも備え、
ガスクロマトグラフィー質量分析法（ＧＣ－ＭＳ）により測定される、前記フィルムの有機ガスの発生量が２００ｐｐｂ以下であることを特徴とする、収容袋。
［２］
ペリクルケースを収容する収容袋であって、
前記収容袋を構成するフィルムは、前記ペリクルケースに対向する側に配されヒートシール可能な第１の層を少なくとも備え、
前記第１の層の酸素透過速度が２００ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａ以下であることを特徴とする、収容袋。
［３］
前記第１の層は、エチレン－ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、及びポリビニルアルコール（ＰＶＡ）から成る群より選択される少なくとも１種を含む、［１］又は［２］に記載の収容袋。
［４］
多層構造を有する、［１］～［３］のいずれかに記載の収容袋。
［５］
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）層を備える、［４］に記載の収容袋。
［６］
前記ＰＥＴ層として、シリカ蒸着ＰＥＴ層を備える、［５］に記載の収容袋。
［７］
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、金属蒸着層を備える、［４］に記載の収容袋。
［８］
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、ナイロン（ＮＹ）層を備える、［４］～［７］のいずれかに記載の収容袋。
［９］
前記第１の層の、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側に、静電防止層を備える、［４］～［８］のいずれかに記載の収容袋。
［１０］
前記静電防止層は、前記ペリクルケースに対向する側とは反対側の最外層を構成する、［９］に記載の収容袋。
［１１］
前記フィルムの多層構造における少なくとも一つの層間に、ドライラミネート層が配されてなる、［４］～［１０］のいずれかに記載の収容袋。
［１２］
前記フィルムの厚みが２０μｍ～２００μｍである、［１］～［１１］のいずれかに記載の収容袋。
［１３］
前記フィルムの厚みが３０μｍ～１００μｍである、［１］～［１２］のいずれかに記載の収容袋。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、ヒートシール可能であるとともに、袋体内部へのアウトガスの発生を抑えることにより、ペリクルのヘイズの発生を抑えたペリクルケースの収容袋を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下、本発明を実施するための実施の形態について詳細に説明する。
なお、以下の説明において、「～」を用いて示される数値範囲は、上限および下限の数値を含むものとする。
なお、以下の説明において、「～」を用いて示される数値範囲は、上限および下限の数値を含むものとする。
【0016】
【0017】
第１の本発明の収容袋１は、ペリクルケース２０を収容する収容袋であって、収容袋１を構成するフィルム１０は、ペリクルケース２０に対向する側に配されヒートシール可能な第１の層１１を少なくとも備え、ガスクロマトグラフィー質量分析法（ＧＣ－ＭＳ）により測定される、フィルム１０の有機ガスの発生量が２００ｐｐｂ以下であることを特徴とする。
【0018】
なお、本明細書において、「有機ガス」とは、フィルム１０を構成する有機材料から放出される有機系のガス成分、いわゆるアウトガスのことを示す。例えば炭化水素系のガスが挙げられる。
【0019】
ＧＣ－ＭＳにより測定される、フィルム１０の有機ガスの発生量が２００ｐｐｂ以下であることで、袋体内部へのアウトガスの発生が抑えられたものとなる。
【0020】
また、第２の本発明の収容袋１は、ペリクルケース２０を収容する収容袋であって、収容袋１を構成するフィルム１０は、ペリクルケース２０に対向する側に配されヒートシール可能な第１の層１１を少なくとも備え、第１の層１１の酸素透過速度が２００ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａ以下であることを特徴とする。
【0021】
第１の層１１の酸素透過速度が２００ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａ以下と、低い酸素透過濃度、すなわち高いガスバリア性を有していることで、フィルム１０を構成する各層、および各層を接合する接着剤（例えば後述するドライラミネート層）から発生するアウトガスが、収容袋１の内側に透過してくることを抑制できる。
【0022】
なお、本明細書において、「酸素透過速度」は、ＪＩＳ Ｋ７１２６－２：２００６「プラスチック－フィルム及びシート－ガス透過度試験法」に準拠した方法（等圧法）により測定された値である。
【0023】
すなわち、等圧式のガスクロ法で、試験片のフィルム１０（サンプル）を境に、両側の圧力を等しく（等圧）し、分圧差によってフィルムを透過するガスをガスクロマトグラフにて分離し、時間あたりの酸素透過量を求めたものである。
【0024】
このような本発明の収容袋１によれば、第１の層１１にガスバリア機能を備えたシーラントフィルムを用いているので、ヒートシール可能であるとともに、アウトガスの発生、および袋の内側にアウトガスが溜まることを抑えることができる。その結果、アウトガスが内部のペリクル３０に付着することに起因するヘイズの発生を抑制することができる。
【0025】
以下、各層について具体的に説明する。
本実施形態の収容袋１を構成するフィルム１０は、図２に示すように、ペリクルケース２０に対向する側から順に、第１の層１１（ヒートシール層）と、ガスバリア層１２と、静電防止層１３とを順に有する。
なお、図２および後掲する図３では、図中下側が、収容袋１の内側、すなわちペリクルケース２０に対向する側となる。
本実施形態の収容袋１を構成するフィルム１０は、図２に示すように、ペリクルケース２０に対向する側から順に、第１の層１１（ヒートシール層）と、ガスバリア層１２と、静電防止層１３とを順に有する。
なお、図２および後掲する図３では、図中下側が、収容袋１の内側、すなわちペリクルケース２０に対向する側となる。
【0026】
（第１の層）
第１の層１１は、ヒートシール可能な材料から構成される。
なお、本明細書において「ヒートシール」とは、熱可塑性プラスチックの熱可塑性を利用して加熱と冷却によって接着することをいい、第１の層１１（ヒートシール層）は、第１の層１１同士を互いに密着させた状態で加熱することにより、溶着させることができる。この性質を利用して、袋体状に形成したフィルム１０を同様の状態で加熱することにより封緘、すなわちヒートシールすることができる。
第１の層１１は、ヒートシール可能な材料から構成される。
なお、本明細書において「ヒートシール」とは、熱可塑性プラスチックの熱可塑性を利用して加熱と冷却によって接着することをいい、第１の層１１（ヒートシール層）は、第１の層１１同士を互いに密着させた状態で加熱することにより、溶着させることができる。この性質を利用して、袋体状に形成したフィルム１０を同様の状態で加熱することにより封緘、すなわちヒートシールすることができる。
【0027】
本明細書においては、第１の層１１が溶着状態となる温度をヒートシール温度とする。第１の層１１は、ヒートシール温度が好ましくは１７０℃～２５０℃であり、より好ましくは１８０℃～２３０℃であるような材料で構成され得る。特に、第１の層１１をヒートシール温度が２００℃以下であるような材料から構成することで、ヒートシールが容易になるため、アウトガスの発生量が多いＬＤＰＥ（高圧法低密度ポリエチレン）等を用いる必要がなくなる。
【0028】
そして、本発明の収容袋１では、第１の層１１の酸素透過速度が２００ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａ以下である。第１の層１１の酸素透過速度は５０ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａ以下であることが好ましく、第１の層１１の酸素透過速度が１０ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａ以下であることがより好ましい。
【0029】
第１の層１１を構成する材料としては、エチレン－ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、及びポリビニルアルコール（ＰＶＡ）から成る群より選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。
【0030】
収容袋１を構成するフィルム１０、特にペリクルケース２０に対向する側の面に、ポリエチレンやポリプロピレンといった材料を使うと、これらはアウトガスの発生量が多いため、材料由来のアウトガスが徐々に発生して収容袋１の内側に溜まり、ガスがペリクルに付着するとヘイズの原因となってしまう。
【0031】
また、第１の層１１がヒートシール性を有するため、接着剤や粘着テープを用いることなく、ヒートシールにより収容袋１の開口部を閉じることができるため、接着剤や粘着剤由来のアウトガスの発生も抑制することができる。
【0032】
このような第１の層１１として具体的には、クラレ社製のエバールＥＦ－Ｅ（ＥＶＯＨ）やユニチカ社製のエンブレムＤＣやクラレ社製のエクセバール等が好ましいものとして挙げられる。ＥＶＯＨは、アウトガスの発生量が低く、ヒートシールも可能であり、さらに、プラスチックの中で最大のガスバリア性を示すことから好ましい。また多層構造にした場合のドライラミネート層から発生するアウトガスや空気中のイオン等を収容袋１の内側に透過させない。また、透明であるため、収容物を外部から見ることができる。
【0033】
第１の層１１中には、上記樹脂成分以外に各種添加剤等を適宜併用してもよい。添加剤としては、例えば、滑剤、ブロッキング防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、耐電防止剤、防曇剤等、着色剤等を適宜使用できる。これら添加剤を使用する場合には、第１の層１１に使用する樹脂成分１００質量部に対して、好ましくは２質量部以下、より好ましくは０．０１～１質量部程度で使用する。
【0034】
第１の層１１の厚みは、１μｍ～１００μｍが好ましく、１０μｍ～４０μｍがより好ましい。
なお、フィルム１０が第１の層１１のみの単層構造の場合には、第１の層１１の厚みは、４０μｍ～１００μｍが好ましい。
なお、フィルム１０が第１の層１１のみの単層構造の場合には、第１の層１１の厚みは、４０μｍ～１００μｍが好ましい。
【0035】
（ガスバリア層）
ガスバリア層１２は、ガスバリア性を有する材料から構成され、第１の層１１の、ペリクルケース２０に対向する側とは反対側に、ガスバリア層１２を配することで、酸素や水蒸気の透過を抑制することができる。
ガスバリア層１２は、ガスバリア性を有する材料から構成され、第１の層１１の、ペリクルケース２０に対向する側とは反対側に、ガスバリア層１２を配することで、酸素や水蒸気の透過を抑制することができる。
【0036】
ガスバリア層１２としては、例えば、金属蒸着層、シリカ蒸着層、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）層、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）層、ナイロン（ＮＹ）層、エチレン－ビニルアルコール共重合樹脂（ＥＶＯＨ）層のいずれかの１層以上からなるものが挙げられ、その中でも、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）層、金属蒸着層、ナイロン（ＮＹ）層が好ましい。
【0037】
また、ＰＥＴ層は、ＰＥＴフィルムに酸化アルミニウムや二酸化ケイ素（シリカ）等の無機酸化物を蒸着させた無機酸化物蒸着ＰＥＴ層であってもよく、シリカ蒸着ＰＥＴ層が好ましい。
【0038】
金属蒸着層は、アルミニウムを蒸着させたもの、アルミニウム箔層が挙げられる。
【0039】
これらの層は、１層を単独でも、複数の層を組み合わせても構わない。例えば、金属蒸着層と、シリカ蒸着ＰＥＴ層とを備えてもよい。
【0040】
このようなガスバリア層１２として具体的には、例えば、三菱ケミカル社製のテックバリア（シリカ蒸着ＰＥＴ）等が好ましいものとして挙げられる。シリカ蒸着ＰＥＴは高いガスバリア性を有し、アルミニウム箔を使ったフィルムと異なり透明であるため、収容物が見える上、金属探知機による検査も可能である。
【0041】
ガスバリア層１２の厚みとしては、特に限定されるものではないが、５μｍ～４０μｍであることが好ましく、５μｍ～３０μｍであることがより好ましい。
【0042】
（静電防止層）
静電防止層１３は、第１の層１１の、ペリクルケース２０に対向する側とは反対側に配され、収容袋１において、ペリクルケース２０に対向する側とは反対側の最外層を構成する。静電防止層１３は、静電防止剤を含んでおり、収容袋１が帯電することを防止するための層である。静電防止層１３を有することによって、静電気が帯電して収容袋１の表面へのゴミやチリ等の付着を防止することや、他の面との接触による静電気の発生を防止することができる。
静電防止層１３は、第１の層１１の、ペリクルケース２０に対向する側とは反対側に配され、収容袋１において、ペリクルケース２０に対向する側とは反対側の最外層を構成する。静電防止層１３は、静電防止剤を含んでおり、収容袋１が帯電することを防止するための層である。静電防止層１３を有することによって、静電気が帯電して収容袋１の表面へのゴミやチリ等の付着を防止することや、他の面との接触による静電気の発生を防止することができる。
【0043】
静電防止剤としては、例えば、高分子型静電防止剤、界面活性剤、導電性微粉末等が挙げられる。高分子型静電防止剤としてはポリエーテル－ポリオレフィンブロックポリマー、ポリチオフェン系ポリマー、アイオノマー等が挙げられる。界面活性剤としてはポリオキシエチレンアルキルアミン、第四級アンモニウム、アルキルスルホネート等が挙げられる。導電性微粉末としては酸化錫、酸化亜鉛、酸化チタン、カーボンナノチューブ等が挙げられる。これらは１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【0044】
このような静電防止層１３として具体的には、具体的には、例えば、フタムラ化学社製のＦＥ２０２１（静電防止ＰＥＴ）等が好ましいものとして挙げられる。静電防止性に優れるほか、透明であるため、収容物を外部から見ることができる。
【0045】
静電防止層１３の厚みとしては、特に限定されるものではないが、５μｍ～５０μｍであることが好ましく、８μｍ～３５μｍであることがより好ましい。
【0046】
（ドライラミネート層）
収容袋１を構成するフィルム１０は、上述したような多層構造（ヒートシール層、ガスバリア層１２、静電防止層１３）における少なくとも一つの層間に、ドライラミネート層（図示せず）が配されてなる。
ドライラミネート層は、接着剤をドライラミネート加工することで得られたものであり、層間を接着するための接着層として機能する。
収容袋１を構成するフィルム１０は、上述したような多層構造（ヒートシール層、ガスバリア層１２、静電防止層１３）における少なくとも一つの層間に、ドライラミネート層（図示せず）が配されてなる。
ドライラミネート層は、接着剤をドライラミネート加工することで得られたものであり、層間を接着するための接着層として機能する。
【0047】
各構成層をポリエチレン（ＰＥ）フィルムではなく、ドライラミネート層で接着することで、ＰＥ由来のアウトガスの発生を抑制することができる。
【0048】
このようなドライラミネート層による接着によれば、接着剤を完全に乾燥できるため、接着剤フィルム層由来のアウトガスの発生抑制の観点からも好ましい。
【0049】
なお、接着剤フィルム層由来のアウトガスが発生したとしても、第１の層１１が高いガスバリア性を有していることで、アウトガスが収容袋１の内側に透過してくることを抑制できる。
【0050】
収容袋１を構成するフィルム１０全体の厚みは、破れの防止やハンドリング性の観点から、２０μｍ～２００μｍであることが好ましく、３５μｍ～１００μｍであることがより好ましい。
【0051】
上述したようなフィルム１０は、第１の層１１（ヒートシール層）が内側となるように所定の形状に折り曲げられて、ヒートシールにより外縁部が接着されることで、開口部を有する袋体状に形成され、収容袋１として構成される。これらのフィルム１０および収容袋１は、異物の付着を防止する観点からクリーンルーム内で製造されることが好ましい。
収容袋１の形状、大きさとしては特に限定されるものではなく、収容物（ペリクルケース２０）の形状、大きさに合わせて適宜設定される。
収容袋１の形状、大きさとしては特に限定されるものではなく、収容物（ペリクルケース２０）の形状、大きさに合わせて適宜設定される。
【0052】
そして、図１に示すように、本発明の収容袋１は、ペリクル３０を収納したペリクルケース２０を、さらに収容するために用いられる。
なお、図１では、わかりやすくするためにペリクルケース２０と収容袋１との間に隙間を設けて示しているが、これに限定されるものではない。
なお、図１では、わかりやすくするためにペリクルケース２０と収容袋１との間に隙間を設けて示しているが、これに限定されるものではない。
【0053】
ペリクル３０は、一般に、ペリクル枠３１と、ペリクル枠３１の一端側に配された、透明な薄膜であるペリクル膜３２と、ペリクル枠３１の他端側（ペリクル枠３１のペリクル膜３２とは反対側）に配された、フォトマスクに張り付けられるための粘着層３３と、を有する。
【0054】
ペリクルケース２０は、一般的には、ペリクル３０を載置する容器本体２１と、それに周縁部で嵌合し密封する蓋体２２とから構成される。
【0055】
収容袋１にペリクルケース２０を収容する場合には、まず、開口部から袋体内部にペリクルケース２０を挿入し、袋体の開口部を押さえて所定のヒートシール温度（第１の層１１の融点以上）で加熱することにより袋体を密封（ヒートシール）する。これらの収容作業も、クリーンルーム内で行われることが好ましい。
【0056】
収容袋１は、収容物保護の観点から、そのシール強度が、シール部分の引張強度として５Ｎ／１５ｍｍ以上であることが好ましく、１０Ｎ／１５ｍｍ以上であることがより好ましい。シール強度が５Ｎ／１５ｍｍ以上であれば、シール部を手で引っ張っても開封できないレベルであり、輸送や保管中に収容袋が不用意に開封してしまうことを防止できる。
【0057】
本発明の収容袋１によれば、有機ガス（アウトガス）の発生量が２００ｐｐｂ以下であるようなフィルム１０から構成されていること、および、第１の層１１の酸素透過速度が２００ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａ以下であることにより、ヒートシール可能であるとともに、アウトガスの発生、および袋の内側にガスが溜まることを抑えることができる。その結果、アウトガスが内部のペリクル３０に付着することに起因するヘイズの発生を抑制することができる。
【0058】
なお、収容袋１は、フィルム１０を予め袋体状に形成した場合に限定されず、枚葉状のフィルム１０で、第１の層１１が内側となるようにペリクルケース２０を包み込んだ後で、ヒートシールにより接着密封するものであってもよい。
【0059】
上述した説明では、収容袋１を構成するフィルム１０として、ヒートシール層（第１の層１１）と、ガスバリア層１２と、静電防止層１３とを順に有するフィルム（図２参照）を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば図３に示すように、第１の層１１（ヒートシール層）と、ガスバリア層１２とを備えた構成であってもよい。また、第１の層１１（ヒートシール層）と、静電防止層１３とを備えた構成であってもよい。また、フィルム１０は、上述したような多層構造ではなく、第１の層１１のみを備えた単層構造であってもよい。
【0060】
また、本発明の収容袋１を構成するフィルム１０は、上述した第１の層１１（ヒートシール層）、ガスバリア層１２および静電防止層１３以外の層をさらに備えていても、もちろん構わない。このような層としては、例えば、クッション層、断熱層、防湿層が挙げられる。
【0061】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【0062】
本発明の収容袋は、ペリクルを収納したペリクルケースを収容するために用いられるが、もちろん、ペリクル以外の部品（例えば精密電子部品）を、直接あるいはケースに収納された状態で収容する場合にも、好適に用いられることができる。
【実施例】
【0063】
次に、実施例及び比較例を挙げて本実施の形態をより具体的に説明する。しかしながら、本実施の形態は、その要旨から逸脱しない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以下に示すサンプルの作製および評価実験は、特に説明のない限り、室温（２３℃）にて行った。
なお、以下に示すサンプルの作製および評価実験は、特に説明のない限り、室温（２３℃）にて行った。
【0064】
［収容袋の作製］
以下に示すようにして多層構造のフィルムを作製し、該フィルムを袋体状に形成、接着することにより収容袋を作製した。
以下に示すようにして多層構造のフィルムを作製し、該フィルムを袋体状に形成、接着することにより収容袋を作製した。
【0065】
（実施例１）
第１の層としてＥＶＯＨフィルム（厚み３０μｍ）と、ガスバリア層としてＡＬ箔（厚み７μｍ）と、ＰＥＴフィルム（厚み２３μｍ）をドライラミネートにて張り合わせることにより、実施例１のフィルムを作製した。
このフィルムを袋体状（縦：３３ｃｍ×横：２６ｃｍ）に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら２００℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
第１の層としてＥＶＯＨフィルム（厚み３０μｍ）と、ガスバリア層としてＡＬ箔（厚み７μｍ）と、ＰＥＴフィルム（厚み２３μｍ）をドライラミネートにて張り合わせることにより、実施例１のフィルムを作製した。
このフィルムを袋体状（縦：３３ｃｍ×横：２６ｃｍ）に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら２００℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
【0066】
（実施例２）
第１の層としてＥＶＯＨフィルム（厚み２５μｍ）と、ガスバリア層としてシリカ蒸着ＰＥＴフィルム（厚み１２μｍ）と、静電防止層として静電防止ＰＥＴフィルム（厚み１３μｍ）とを、実施例１と同様にドライラミネートにて張り合わせることにより、実施例２のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら２００℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
第１の層としてＥＶＯＨフィルム（厚み２５μｍ）と、ガスバリア層としてシリカ蒸着ＰＥＴフィルム（厚み１２μｍ）と、静電防止層として静電防止ＰＥＴフィルム（厚み１３μｍ）とを、実施例１と同様にドライラミネートにて張り合わせることにより、実施例２のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら２００℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
【0067】
（実施例３）
第１の層としてＰＶＣＤコートＮＹフィルム（厚み４０μｍ）と、静電防止層として静電防止ＮＹフィルム（厚み４０μｍ）を、実施例１と同様にドライラミネートにて張り合わせることにより、実施例３のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら１９０℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
第１の層としてＰＶＣＤコートＮＹフィルム（厚み４０μｍ）と、静電防止層として静電防止ＮＹフィルム（厚み４０μｍ）を、実施例１と同様にドライラミネートにて張り合わせることにより、実施例３のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら１９０℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
【0068】
（実施例４）
第１の層としてＰＶＡフィルム（厚み２５μｍ）と、ガスバリア層としてシリカ蒸着ＰＥＴフィルム（厚み１５μｍ）と、静電防止層として静電防止ＰＥＴフィルム（厚み２０μｍ）とを、実施例１と同様のドライラミネートにて張り合わせることにより、実施例４のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら２３０℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
第１の層としてＰＶＡフィルム（厚み２５μｍ）と、ガスバリア層としてシリカ蒸着ＰＥＴフィルム（厚み１５μｍ）と、静電防止層として静電防止ＰＥＴフィルム（厚み２０μｍ）とを、実施例１と同様のドライラミネートにて張り合わせることにより、実施例４のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら２３０℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
【0069】
（比較例１）
第１の層としてＬＬＤＰＥフィルム（厚み５０μｍ）と、ガスバリア層としてＰＥフィルム（厚み３０μｍ）とを、接着層フィルムとしてポリエチレン接着層フィルム（厚み２０μｍ）を介して張り合わせることにより、比較例１のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら１５０℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
第１の層としてＬＬＤＰＥフィルム（厚み５０μｍ）と、ガスバリア層としてＰＥフィルム（厚み３０μｍ）とを、接着層フィルムとしてポリエチレン接着層フィルム（厚み２０μｍ）を介して張り合わせることにより、比較例１のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら１５０℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
【0070】
（比較例２）
第１の層としてＣＰＰフィルム（厚み５０μｍ）と、ガスバリア層としてＯＰＰフィルム（厚み２０μｍ）とを、実施例１と同様のドライラミネートにて張り合わせることにより、比較例２のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら１５０℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
第１の層としてＣＰＰフィルム（厚み５０μｍ）と、ガスバリア層としてＯＰＰフィルム（厚み２０μｍ）とを、実施例１と同様のドライラミネートにて張り合わせることにより、比較例２のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら１５０℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
【0071】
（比較例３）
第１の層としてＬＤＰＥフィルム（厚み７０μｍ）と、ガスバリア層としてＡｌ箔（厚み７μｍ）と、静電防止層として静電防止ＮＹフィルム（厚み１３μｍ）とを、接着層フィルムとしてポリエチレン接着層フィルム（厚み２０μｍ）にて張り合わせることにより、比較例３のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら１３０℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
第１の層としてＬＤＰＥフィルム（厚み７０μｍ）と、ガスバリア層としてＡｌ箔（厚み７μｍ）と、静電防止層として静電防止ＮＹフィルム（厚み１３μｍ）とを、接着層フィルムとしてポリエチレン接着層フィルム（厚み２０μｍ）にて張り合わせることにより、比較例３のフィルムを作製した。
このフィルムを実施例１と同様の袋体状に形成し、開口部に０．２ＭＰａの圧力をかけながら１３０℃に加熱することで開口部をヒートシールした。
【0072】
上記実施例および比較例、表中で用いられている略語について以下に示す。
ＥＶＯＨ：エチレン－ビニルアルコール共重合体
ＰＥＴ：ポリエチレンテレフタラート
ＰＶＤＣ：ポリ塩化ビニリデン
ＮＹ：ナイロン
ＰＶＡ：ポリビニルアルコール
ＬＬＤＰＥ：直鎖状低密度ポリエチレン
ＰＥ：ポリエチレン
ＣＰＰ：無延伸ポリプロピレン
ＯＰＰ：２軸延伸ポリプロピレン
ＬＤＰＥ：高圧法低密度ポリエチレン
ＥＶＯＨ：エチレン－ビニルアルコール共重合体
ＰＥＴ：ポリエチレンテレフタラート
ＰＶＤＣ：ポリ塩化ビニリデン
ＮＹ：ナイロン
ＰＶＡ：ポリビニルアルコール
ＬＬＤＰＥ：直鎖状低密度ポリエチレン
ＰＥ：ポリエチレン
ＣＰＰ：無延伸ポリプロピレン
ＯＰＰ：２軸延伸ポリプロピレン
ＬＤＰＥ：高圧法低密度ポリエチレン
【0073】
［特性評価］
上記のようにして作製されたフィルムおよび収容袋の特性について、以下の方法により測定した。
上記のようにして作製されたフィルムおよび収容袋の特性について、以下の方法により測定した。
【0074】
（第１の層の酸素透過速度）
第１の層の酸素透過速度は、「酸素透過速度」は、ＪＩＳ Ｋ７１２６－２：２００６「プラスチック－フィルム及びシート－ガス透過度試験法」に準拠した方法（等圧法）により測定した。
すなわち、測定装置「酸素透過率測定装置（等圧法）」を用い、等圧式のガスクロ法で、試験片のフィルム（サンプル）を境に、両側を等圧にし、フィルムを透過したガスをガスクロマトグラフにて分離し、時間あたりの酸素透過量を求めた。
第１の層の酸素透過速度は、「酸素透過速度」は、ＪＩＳ Ｋ７１２６－２：２００６「プラスチック－フィルム及びシート－ガス透過度試験法」に準拠した方法（等圧法）により測定した。
すなわち、測定装置「酸素透過率測定装置（等圧法）」を用い、等圧式のガスクロ法で、試験片のフィルム（サンプル）を境に、両側を等圧にし、フィルムを透過したガスをガスクロマトグラフにて分離し、時間あたりの酸素透過量を求めた。
【0075】
（ヒートシール性）
ヒートシール性の評価として、以下の条件により、シール部分の引張強度を測定した。
評価サンプル部：袋体ボトム部分のシール部
サンプル形状：幅Ｗ：１５ｍｍ×長さＬ：２００ｍｍ×厚み：０．０５５ｍｍ（掴み具間：１００ｍｍ、掴みしろ：３０ｍｍ）
引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ
ロードセル：５００Ｎ
上記条件にて引張強度を測定し、以下の基準で評価し、×を不合格とした。
〇：引張強度が１０Ｎ／１５ｍｍ超え
△：引張強度が５Ｎ／１５ｍｍ～１０Ｎ／１５ｍｍ
×：引張強度が５Ｎ／１５ｍｍ未満
ヒートシール性の評価として、以下の条件により、シール部分の引張強度を測定した。
評価サンプル部：袋体ボトム部分のシール部
サンプル形状：幅Ｗ：１５ｍｍ×長さＬ：２００ｍｍ×厚み：０．０５５ｍｍ（掴み具間：１００ｍｍ、掴みしろ：３０ｍｍ）
引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ
ロードセル：５００Ｎ
上記条件にて引張強度を測定し、以下の基準で評価し、×を不合格とした。
〇：引張強度が１０Ｎ／１５ｍｍ超え
△：引張強度が５Ｎ／１５ｍｍ～１０Ｎ／１５ｍｍ
×：引張強度が５Ｎ／１５ｍｍ未満
【0076】
（アウトガス発生量）
袋体の中に吸着管を入れて３日間放置し、吸着管により捕集したガスをＧＣ／ＭＳにより分析することでアウトガス発生量を測定した。ＧＣ／ＭＳ分析条件は下記である。
ＧＣ装置：Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ７８９０Ａ ＧＣ Ｓｙｓｔｅｍ
カラム：Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ １９０９１Ｊ－４１３ ＨＰ－５（３０ｍ×０．３２０ｍｍ×０．２５μｍ）
温度条件：５０℃・２時間
ＭＳ装置：ＪＥＯＬ Ｊｍｓ－Ｑ１０００ＧＣ Ｋ９
有機化合物の発生量をアウトガスとした。
上記条件にてアウトガス発生量を測定し、以下の基準で評価した。
〇：アウトガス発生量が２００ｐｐｂ以下
×：アウトガス発生量が２００ｐｐｂ超え
袋体の中に吸着管を入れて３日間放置し、吸着管により捕集したガスをＧＣ／ＭＳにより分析することでアウトガス発生量を測定した。ＧＣ／ＭＳ分析条件は下記である。
ＧＣ装置：Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ７８９０Ａ ＧＣ Ｓｙｓｔｅｍ
カラム：Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ １９０９１Ｊ－４１３ ＨＰ－５（３０ｍ×０．３２０ｍｍ×０．２５μｍ）
温度条件：５０℃・２時間
ＭＳ装置：ＪＥＯＬ Ｊｍｓ－Ｑ１０００ＧＣ Ｋ９
有機化合物の発生量をアウトガスとした。
上記条件にてアウトガス発生量を測定し、以下の基準で評価した。
〇：アウトガス発生量が２００ｐｐｂ以下
×：アウトガス発生量が２００ｐｐｂ超え
【0077】
（長期保管後のアウトガス発生量）
作製した封止状態の袋体をクリーンルーム内に６カ月間静置させた。その後、アウトガス発生量測定と同様の測定を行い、以下の基準で評価した。
〇：保管前と長期保管後のアウトガス量の増加が１．５倍未満
×：保管前と長期保管後のアウトガス量の増加が１．５倍以上
作製した封止状態の袋体をクリーンルーム内に６カ月間静置させた。その後、アウトガス発生量測定と同様の測定を行い、以下の基準で評価した。
〇：保管前と長期保管後のアウトガス量の増加が１．５倍未満
×：保管前と長期保管後のアウトガス量の増加が１．５倍以上
【0078】
評価結果を表１にまとめて示す。
【0079】
【表1】
【0080】
表１から明らかなように、最内層（第１の層）として酸素透過速度が２００ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａ以下であるような層を備えた実施例では、フィルムの有機ガス（アウトガス）の発生量が２００ｐｐｂ以下であり、長期保管後においてもアウトガスの発生は少なく良好な結果が得られた。特に第１の層としてＥＶＯＨを用いた実施例１，２ではヒートシール性も良好であった。
【0081】
これに対し、最内層に酸素透過速度が２００ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・ＭＰａよりも大きい層を備えた比較例では、フィルムの有機ガス（アウトガス）の発生量が多く、長期保管後にアウトガスの発生量も増えてしまい不十分な結果であった。
【産業上の利用可能性】
【0082】
本発明による収容袋を用いることで、ヒートシール可能であるとともに、袋体内部へのアウトガスの発生が抑えられ、その結果、アウトガスが内部のペリクルに付着することに起因するヘイズの発生が抑制され、ペリクルケースの収容袋として広く利用することができる。
【符号の説明】
【0083】
１：収容袋
１０フィルム
１１：第１の層（ヒートシール層）
１２：ガスバリア層
１３：静電防止層
２０：ペリクルケース
２１：容器本体
２２：蓋体
３０：ペリクル
３１：ペリクル枠
３２：ペリクル膜
３３：粘着層
１０フィルム
１１：第１の層（ヒートシール層）
１２：ガスバリア層
１３：静電防止層
２０：ペリクルケース
２１：容器本体
２２：蓋体
３０：ペリクル
３１：ペリクル枠
３２：ペリクル膜
３３：粘着層
【図1】
【図2】
【図3】