特許 7549349 外周検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-03

(45)【発行日】2024-09-11

(54)【発明の名称】外周検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/952 20060101AFI20240904BHJP

   G01N 21/892 20060101ALI20240904BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20240904BHJP

【ＦＩ】

G01N21/952

G01N21/892

G01N21/84 E

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2021027444

(22)【出願日】2021-02-24

(65)【公開番号】P2022128955

(43)【公開日】2022-09-05

【審査請求日】2024-01-17

(73)【特許権者】

【識別番号】517166756

【氏名又は名称】テックス理研株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100087572

【弁理士】

【氏名又は名称】松川 克明

(74)【代理人】

【識別番号】100085213

【弁理士】

【氏名又は名称】鳥居 洋

(72)【発明者】

【氏名】熊倉 裕二

【審査官】村田 顕一郎

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－０６２８３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－２０６０７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１５２４４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－０６６５２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０２５６４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第６１２２０４５（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／８４－２１／９５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

長尺の円柱状の被検材の外周面を検査する外周検査装置であって、
前記被検材の軸方向と直交する方向に４分割された周面の対向する第１分割周面及び第２分割周面を映し出す第１曲面ミラー部と、
前記第１曲面ミラー部に映し出された前記第１分割周面及び前記第２分割周面を含む前記被検材の外周面を撮像する第１撮像部と、
前記第１曲面ミラー部に対して前記被検材の軸方向に離れて配置されるとともに、前記第１分割周面と直交する第３分割周面及び前記第２分割周面と直交する第４分割周面を映し出す第２曲面ミラー部と、
前記第１撮像部に対して前記被検材の軸方向に離れて配置されるとともに、前記第２曲面ミラー部に映し出された前記第３分割周面及び前記第４分割周面を含む前記被検材の外周面を撮像する第２撮像部と、
前記第１撮像部と前記第２撮像部による前記外周面の画像情報に基づき前記外周面を判別する画像検査部と、を有する外周検査装置。

【請求項2】

請求項１に記載の外周検査装置であって、
前記第１曲面ミラー部は、前記被検材の軸方向に対して直交して配置した一対の曲面ミラーにより構成し、
前記第２曲面ミラー部は、前記被検材の軸方向に対して直交して配置した一対の曲面ミラーにより構成する、外周検査装置

【請求項3】

請求項１又は２に記載の外周検査装置であって、
前記第１曲面ミラー部に光を照射する第１照明部と、
前記第２曲面ミラー部に光を照射する第２照明部と、
をさらに備える、外周検査装置。

【請求項4】

請求項３に記載の外周検査装置であって、
前記被検材と第１撮像部、前記被検材と第２撮像部との間にそれぞれハーフミラーを配し、
前記第１照明部からの照明光がハーフミラーで反射されて前記第１曲面ミラー部へ案内され、前記第１曲面ミラー部からの反射光が前記ハーフミラーを透過し前記第１撮像部に与えられ、
前記第２照明部からの照明光がハーフミラーで反射されて前記第２曲面ミラー部へ案内され、前記第２曲面ミラー部からの反射光が前記ハーフミラーを透過し前記第１撮像部に与えられる、外周検査装置。

【請求項5】

請求項１～４のいずれか1項に記載の外周検査装置であって、
前記円柱状の被検材は、丸棒材、鋼管材であり、前記被検材が移動しながら外周の全周を検査する、外周検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、外周検査装置に関する。さらに詳しくは、長尺の円柱状被検材の外周を検査する外周検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、円筒状の被検材の外周面等の外観を検査する外周検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この種の外周検査装置は、基台、反射体、光照射手段、１つの撮像手段、及び画像手段を備える。基台は、円筒状の被検材を載置する。反射体は、被検材の円筒の中心軸と同軸でその外方に配置され、被検材の外周面に対向する側に円錐状ミラーが形成されている。光照射手段は、被検材の外周に光を照射する。撮像手段は、被検材の中心軸上方に配置され、被検材の外周面で反射する反射光を受光して撮像する。画像判別手段は、撮像手段の情報に基づいて、被検材の外周面を検査する。

【0003】

上記特許文献１の第８実施形態には、ホースやチューブなどの連続体からなる被検材の外周を検査する装置が開示されている。この装置は、４個の撮像部と１個の全周ミラーを有する。４個の撮像部は、全周ミラーに対向するように配置される。そして、全周ミラーの反射面を介して４個の撮像部は、被検材の外周面を周方向に４つに分割して撮像する。得られた分割画像は画像合成され全周画像に変換されて、被検材の外周面が検査される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１９－４５４７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記した特許文献１に記載した装置においては、被検材の中心軸上に撮像手段が設けられている。このため、検査対象となる被検材は、撮像手段までの距離までの部材に限定され、長さ方向に対して制限があり、長尺の被検材を検査することはできない。

【0006】

また、上記した特許文献１の第８実施形態においては、ホースやチューブなどの連続体からなる被検材の外周を検査する装置が開示されている。しかしながら、上記した特許文献１は、被検材の外周を撮像するために４個の撮像部を用いているため、装置が複雑になるとともに、コストも嵩むという問題があった。

【0007】

本発明は、撮像部の数を削減して長尺の円柱状の被検材の外周を検査することができる外周検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、長尺の円柱状の被検材の外周面を検査する外周検査装置であって、前記被検材の軸方向と直交する方向に４分割された周面の対向する第１分割周面及び第２分割周面を映し出す第１曲面ミラー部と、前記第１曲面ミラー部に映し出された前記第１分割周面及び前記第２分割周面を含む前記被検材の外周面を撮像する第１撮像部と、前記第１曲面ミラー部に対して前記被検材の軸方向に離れて配置されるとともに、前記第１分割周面と直交する第３分割周面及び前記第２分割周面と直交する第４分割周面を映し出す第２曲面ミラー部と、前記第１撮像部に対して前記被検材の軸方向に離れて配置されるとともに、前記第２曲面ミラー部に映し出された前記第３分割周面及び前記第４分割周面を含む前記被検材の外周面を撮像する第２撮像部と、前記第１撮像部と前記第２撮像部による前記外周面の画像情報に基づき前記外周面を判別する画像検査部と、を有する。

【0009】

また、本発明は、前記第１曲面ミラー部は、前記被検材の軸方向に対して直交して配置した一対の曲面ミラーにより構成し、前記第２曲面ミラー部は、直交して配置した一対の曲面ミラーにより構成することが好ましい。

【0010】

また、本発明は、前記第１曲面ミラー部に光を照射する第１照明部と、前記第２曲面ミラー部に光を照射する第２照明部と、をさらに備えるように構成することが好ましい。

【0011】

また、本発明は、前記被検材と第１撮像部、前記被検材と第２撮像部との間にそれぞれハーフミラーを配し、前記第１照明部からの照明光がハーフミラーで反射されて前記第１曲面ミラー部へ案内され、前記第１曲面ミラー部からの反射光が前記ハーフミラーを透過し前記第１撮像部に与えられ、前記第２照明部からの照明光がハーフミラーで反射されて前記第２曲面ミラー部へ案内され、前記第２曲面ミラー部からの反射光が前記ハーフミラーを透過し前記第１撮像部に与えられるように構成することが好ましい。

【0012】

また、前記円柱状の被検材は、丸棒材、鋼管材であり、前記被検材が移動しながら外周の全周を検査するように構成できる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、被検材の軸長方向の長さに依存されずに、長尺の円柱状の被検材の外周を検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の第１の実施形態に係る外周検査装置の概略構成図である。

【図2】本発明の第１の実施形態に係る外周検査装置の概略正面図である。

【図3】本発明の第１の実施形態に係る外周検査装置の概略上面図である。

【図4】本発明の第１の実施形態に係る外周検査装置の概略底面図である。

【図5】本発明の第１の実施形態に係る外周検査装置の概略側面図である。

【図6】本発明の第１の実施形態に係る外周検査装置の第１曲面ミラー部の被検材の映り込み状態を示す説明図である。

【図7】本発明の第１の実施形態に係る外周検査装置の第２曲面ミラー部の被検材の映り込み状態を示す説明図である。

【図8】本発明の第２の実施形態に係る外周検査装置の第１曲面ミラー部の被検材の映り込み状態を示す説明図である。

【図9】本発明の第２の実施形態に係る外周検査装置の第２曲面ミラー部の被検材の映り込み状態を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

次に、本発明の実施形態に係る外周検査装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る外周検査装置は、下記の実施形態に示したものに限定されず、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施できるものである。

【0016】

本発明の第１の実施形態につき、図１～図７に従い説明する。
図１～図７に示すように、長尺の円柱状の被検材８の外周を検査する外周検査装置１００は、第１曲面ミラー部２、第２曲面ミラー部３、第１撮像部６及び第２撮像部７を有する。この実施形態においては、第１撮像部６に近接して第１照明部４、第２撮像部７に近接して第２照明部５が設けられている。ここで、被検材８は、丸棒材、管鋼材など円柱状の長尺部材である。

【0017】

この実施形態においては、第１曲面ミラー部２は、曲面ミラー２１と曲面ミラー２２とからなる一対の曲面ミラーを有する。図６に示すように、第１曲面ミラー部２を構成する曲面ミラー２１と曲面ミラー２２は、第１対称軸線２ｃに対して線対称に配置され、曲面ミラー２１と曲面ミラー２２は被検材８の軸方向に対して直交する。

【0018】

第１曲面ミラー部２は、被検材８の軸方向と直交する方向に４分割された周面のうち対向する２つの分割周面を映し出すように構成されている。この実施形態においては、図６に示すように、第１曲面ミラー部２の曲面ミラー２１は、第１分割周面８ａを映し出し、曲面ミラー２２は、第１分割周面８ａに対して被検材８の軸心を中心として対向する第２分割周面８ｂを映し出す。

【0019】

図３～図５に示すように、第２曲面ミラー部３は、第１曲面ミラー部２に対して前記被検材８の軸方向に離れて配置される。

【0020】

第２曲面ミラー部３は、曲面ミラー３１と曲面ミラー３２とからなる一対の曲面ミラーを有する。図７に示すように、第２曲面ミラー部３を構成する曲面ミラー３１と曲面ミラー３２は、第２対称軸線３ｃに対して線対称に配置され、曲面ミラー３１と曲面ミラー３２は被検材８の軸方向に対して直交する。

【0021】

第２曲面ミラー部３は、被検材８の軸方向と直交する方向に４分割された周面のうち対向する２つの分割周面を映し出すように構成されている。この実施形態においては、図７に示すように、第２曲面ミラー部３の曲面ミラー３１は、第３分割周面８ｃを映し出し、曲面ミラー３２は第３分割周面８ｃに対して被検材８の軸心を中心として対向する第４分割周面８ｄを映し出す。

【0022】

図６及び図７に示すように、第１分割周面８ａ、第２分割周面８ｂ、第３分割周面８ｃ、第４分割周面８ｄは、軸心から周面に対して９０度の角度でそれぞれ分割された円弧で構成される外周面である。第１分割周面８ａと第３分割周面８ｃは直交し、第２分割周面８ｂと第４分割周面８ｄは直交する位置関係となる。

【0023】

図２に示すように、第１対称軸線２ｃと第２対称軸線３ｃは直交するように第１曲面ミラー部２及び第２曲面ミラー部３が配置される。第１対称軸線２ｃと第２対称軸線３ｃとの交点に被検材８の軸心が通るように、被検材８と外周検査装置１００とが相対移動する。

【0024】

第１対称軸線２ｃの延長上に第１撮像部６が配置され、第１曲面ミラー部２に映し出された２つの分割周面８ａ、８ｂを含む被検材８の外周面を撮像する。第１撮像部６により撮像された画像情報は、制御部９の画像メモリ９１に格納される。画像メモリ９１に格納された画像情報が画像検査部９０に与えられる。第１撮像部６は、撮像レンズ及びイメージセンサを有し、撮影光軸を第１対称軸線２ｃに一致させて配置される。

【0025】

第２対称軸線３ｃの延長上に第２撮像部７が配置され、第２曲面ミラー部３に映し出された２つの分割周面８ｃ、８ｄを含む被検材８の外周面を撮像する。第２撮像部７により撮像された画像情報は、制御部９内の画像メモリ９１に格納される。画像メモリ９１に格納された画像検査部９０に与えられる。第２撮像部７は、撮像レンズ及びイメージセンサを有し、撮影光軸を第２対称軸線３ｃに一致させて配置される。

【0026】

図３～図５に示すように、第２撮像部７は、第１撮像部６に対して被検材８の軸方向に離れて配置される。

【0027】

第１照明部４は、第１撮像部６を挟むようにして配置される一対の平面光源４１、４２を有する。平面光源４１、４２は、白色ＬＥＤで構成され、制御部９により、点灯制御される。第２照明部５は、第２撮像部７を挟むようにして配置される一対の平面光源５１、５２を有する。平面光源５１、５２は、白色ＬＥＤで構成され、制御部９により、点灯制御される。

【0028】

この実施形態においては、第１照明部４を構成する平面光源４１、４２の光の出射面が第１対称軸線２ｃに対して直交する方向に配置されている。同様に、第２照明部５を構成する平面光源５１、５２の光の出射面が第２対称軸線３ｃに対して直交する方向に配置されている。

【0029】

第１照明部４からの照明光は第１曲面ミラー部２を介して２つの分割周面８ａ、８ｂに案内される。検査対象の分割周面８ａ、８ｂが照射されることにより、第１曲面ミラー部２に映し出された２つの分割周面８ａ、８ｂは、明るい映像となり、第１撮像部６に撮像される画像情報は明度が高いものが得られ、外周面の傷などの欠陥が容易に判別できる。

【0030】

第２照明部５からの光は第２曲面ミラー部３を介して２つの分割周面８ｃ、８ｄに案内される。検査対象の分割周面８ｃ、８ｄが照射されることにより、第２曲面ミラー部３に映し出された２つの分割周面８ｃ、８ｄは、明るい映像となり、第２撮像部７に撮像される画像は明度が高いものが得られ、外周面の欠陥の判別が容易となる。

【0031】

さらに、この実施形態においては、第１曲面ミラー部２及び第２曲面ミラー部３をそれぞれ曲面ミラーにより構成しているので、照明光が被検材８の軸心を中心に集光する光学系となる。このため、被検材８の外周面に対して光が垂直に入射することになる。そして、被検材８からの反射光も入射光と同じ光路で反射され、各曲面ミラーのミラー面に被検材８の外周面が映し出される。第１撮像部６及び第２撮像部７は、光のむらがない外周面の画像を撮像することができる。

【0032】

また、曲面ミラーを採用することで、照明光が被検材８の軸心を中心に集光する光学系となり、各光線が入射角０度で被検材８の外周面を反射することになる。これにより、被検材８の外径が変更された場合にも同じ照明条件で外周面の検査を行うことができる。

【0033】

図３～図５に示すように、第２照明部５は、第１照明部４に対して被検材８の軸方向に離れて配置される。

【0034】

第１撮像部６及び第２撮像部７から４分割された被検材８の外周面の画像情報が制御部９内の画像メモリ９１に格納される。画像メモリ９１に格納された画像情報が画像検査部９０に与えられる。

【0035】

画像検査部９０は、与えられた画像情報により、被検材８の外周面を判別し、傷などの欠陥の有無を判別する。第１撮像部６及び第２撮像部７が撮像した画像情報は、曲面ミラーを介しての画像情報と被検材８の外周面を直接撮像した画像情報とがある。この実施形態においては、被検材８の画像判別に使用する画像情報は、曲面ミラーを介しての画像だけである。このため、画像検査部９０は、画像処理により曲面ミラーを介しての画像情報のみを抽出し、抽出した画像情報により被検材８の外周面を判別している。

【0036】

上記した第１曲面ミラー部２（曲面ミラー２１、２２）、第２曲面ミラー部３(曲面ミラー３１、３２)、第１撮像部６、第１照明部４（４１、４２）及び第２照明部５（５１、２）は、ケース１０に固定される。ケース１０は、被検材８が通過するための開口１１が設けられている。

【0037】

被検材８の軸心と第１対称軸線２ｃと第２対称軸線３ｃとの交点が一致するようにして、外周検査装置１００と被検材８を相対移動させる。外周検査装置１００を固定し、被検材８を移動させる、あるいは被検材８を固定し、被検材８の軸長方向に外周検査装置１００を移動させることにより、被検材８の外周検査を行う。

【0038】

制御部９は、例えば、パーソナルコンピューター（ＰＣ）で構成され、内部メモリに格納されたプログラムにより画像検査部９０としての動作を司る。

【0039】

第１撮像部６及び第２撮像部７により撮像された画像情報は、時系列的に制御部９内の画像メモリ９１に格納される。画像検査部９０は、画像メモリ９１に格納された画像情報を読み出し、被検材８の外周面の検査を行う。

【0040】

制御部９は、外周検査装置１００と被検材８との相対移動速度に基づき、画像メモリ９１に格納された画像データが被検材８のどの位置かを判別することとができる。これにより、被検材８の外周の位置に対応した検査結果を得ることができる。

【0041】

このようにして、２つの撮像部６、７により長尺の円柱状の被検材８の外周を検査することができる。

【0042】

次に、本発明の第２の実施形態について、図８及び図９を参照して説明する。なお、第１の実施形態と同じ部分には同一符号を付し、説明を省略する。
この第２の実施形態は、被検材８へ照射する光路と被検材８から撮像部６、７への反射光路が同軸になるように、被検材８への照明を同軸照明に構成している。

【0043】

図８及び図９に示すように、被検材８と第１撮像部６との間に、ハーフミラー４ｂを設ける。ハーフミラー４ｂは、例えば、Ｌ字状のプレート型ビームスプリッタで構成され、Ｌ字の角を第１対称軸線２ｃに一致させて配置されている。

【0044】

第２の実施形態の第１照明部４ａは、第１対称軸線２ｃに対して直交して互いに対向して配置される一対の平面光源４１ａ、４２ａを有する。

【0045】

平面光源４１ａ、４２ａの間にはハーフミラー４ｂが配置される。平面光源４１ａ、４２ａは、白色ＬＥＤで構成され、制御部９により、点灯制御される。

【0046】

第１照明部４ａを構成する平面光源４１ａ、４２ａとハーフミラー４ｂにより同軸照明を構成する。

【0047】

同様に、被検材８と第２撮像部７との間に、ハーフミラー５ｂを設ける。ハーフミラー５ｂは、例えば、Ｌ字状のプレート型ビームスプリッタで構成され、Ｌ字の角を第２対称軸線３ｃに一致させて配置されている。

【0048】

第２の実施形態の第２照明部５ａは、第２対称軸線３ｃに対して直交して互いに対向して配置される一対の平面光源５１ａ、５２ａを有する。

【0049】

平面光源５１ａ、５２ａの間にはハーフミラー５ｂが配置される。平面光源５１ａ、５２ａは、白色ＬＥＤで構成され、制御部９により、点灯制御される。

【0050】

第２照明部５ａを構成する平面光源５１ａ、５２ａとハーフミラー５ｂにより同軸照明を構成する。

【0051】

上記したように、この実施形態においては、ハーフミラー４ｂ、５ｂは、プレート型ビームスプリッタで構成される。プレート型ビームスプリッタは、非偏光タイプのビームスプリッタを用いることができ、例えば、可視光領域で透過率と反射率がそれぞれ５０％のものを用いればよい。

【0052】

図８に示すように、第１照明部４ａの平面光源４１ａからの照明光は、ハーフミラー４ｂで反射され、第１曲面ミラー部２の曲面ミラー２１に与えられる。曲面ミラー２１に与えられた照明光が被検材８の軸心を中心に集光され、分割周面８ａに与えられる。この分割周面８ａには、光が垂直に入射する。分割周面８ａで反射された反射光も入射光と同じ光路で曲面ミラー２１に戻り、曲面ミラー２１で反射されて、反射光が入射光と同軸にハーフミラー４ｂに与えられる。そして、分割周面８ａで反射し、曲面ミラー２１で反射した光は、ハーフミラー４ｂを透過し、第１撮像部６に与えられて撮像される。

【0053】

同様に、第１照明部４ａの平面光源４２ａからの照明光は、ハーフミラー４ｂで反射され、第１曲面ミラー部２の曲面ミラー２２に与えられる。曲面ミラー２２に与えられた照明光が被検材８の軸心を中心に集光され、分割周面８ｂに与えられる。この分割周面８ｂには、光が垂直に入射する。分割周面８ｂで反射された反射光も入射光と同じ光路で曲面ミラー２２に戻り、曲面ミラー２２で反射されて、反射光が入射光と同軸にハーフミラー４ｂに与えられる。そして、分割周面８ｂで反射し、曲面ミラー２２で反射した光は、ハーフミラー４ｂを透過し、第１撮像部６に与えられて撮像される。

【0054】

図９に示すように、第２照明部５ａの平面光源５１ａからの照明光は、ハーフミラー４ｂで反射され、第２曲面ミラー部３の曲面ミラー３１に与えられる。曲面ミラー３１に与えられた照明光が被検材８の軸心を中心に集光され、分割周面８ｃに与えられる。この分割周面８ｃには、光が垂直に入射する。分割周面８ｃで反射された反射光も入射光と同じ光路で曲面ミラー３１に戻り、曲面ミラー３１で反射されて、反射光が入射光と同軸にハーフミラー４ｂに与えられる。そして、分割周面８ｃで反射し、曲面ミラー３１で反射した光は、ハーフミラー４ｂを透過し、第２撮像部７に与えられて撮像される。

【0055】

同様に、第２照明部５ａの平面光源５２ａからの照明光は、ハーフミラー４ｂで反射され、第２曲面ミラー部３の曲面ミラー３２に与えられる。曲面ミラー３２に与えられた照明光が被検材８の軸心を中心に集光され、分割周面８ｄに与えられる。この分割周面８ｂには、光が垂直に入射する。分割周面８ｂで反射された反射光も入射光と同じ光路で曲面ミラー３２に戻り、曲面ミラー３２で反射されて、反射光が入射光と同軸にハーフミラー４ｂに与えられる。そして、分割周面８ｄで反射し、曲面ミラー３２で反射した光は、ハーフミラー４ｂを透過し、第２撮像部７に与えられて撮像される。

【0056】

このようにして、第１撮像部６、第２撮像部７に同軸照明により撮像された４分割された被検材８の外周面の画像情報が制御部９内の画像メモリ９１に格納される。画像メモリ９１に格納された画像情報が画像検査部９０に与えられる。

【0057】

画像検査部９０は、与えられた画像情報により、被検材８の外周面を判別し、傷などの欠陥の有無を判別する。

【0058】

この第２の実施形態においては、同軸照明により被検材８の外周面を検査することにより、反射などの影響をなくして、外観の検査を行うことができる。

【0059】

尚、上述した実施形態においては、第１曲面ミラー部２及び第２曲面ミラー部３を直交して配置した一対の曲面ミラーによりそれぞれ構成したが、一つの曲面ミラーで対向する分割周面を映し出すように構成しても良い。

【0060】

また、上述した実施形態においては、第１照明部４、４ａ、第２照明部５、５ａを設けているが、これら照明部を設けなくてもよい。

【符号の説明】

【0061】

２ ：第１曲面ミラー部
３ ：第２曲面ミラー部
３ｃ ：第２対称軸線
４ ：第１照明部
５ ：第２照明部
６ ：第１撮像部
７ ：第２撮像部
８ ：被検材
８ａ ：第１分割周面
８ｂ ：第２分割周面
８ｃ ：第３分割周面
８ｄ ：第４分割周面
８ｄ ：分割周面
９ ：制御部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】