特許 7550293 顕微鏡対物レンズ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-04

(45)【発行日】2024-09-12

(54)【発明の名称】顕微鏡対物レンズ

(51)【国際特許分類】

   G02B 21/02 20060101AFI20240905BHJP

【ＦＩ】

G02B21/02

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023204976

(22)【出願日】2023-12-04

【審査請求日】2023-12-04

(31)【優先権主張番号】202310675058.5

(32)【優先日】2023-08-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】520358209

【氏名又は名称】レイテック オプティカル （ジョウシュウ） カンパニーリミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110001139

【氏名又は名称】ＳＫ弁理士法人

(74)【代理人】

【識別番号】100130328

【弁理士】

【氏名又は名称】奥野 彰彦

(74)【代理人】

【識別番号】100130672

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 寛之

(72)【発明者】

【氏名】郭占利

【審査官】瀬戸 息吹

(56)【参考文献】

【文献】中国実用新案第２０８２２４５８７（ＣＮ，Ｕ）

【文献】特開平０４－００９８１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１１３５３４４２９（ＣＮ，Ａ）

【文献】特開平０３－１８９６０８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｂ ９／００ － １７／０８

Ｇ０２Ｂ ２１／０２ － ２１／０４

Ｇ０２Ｂ ２５／００ － ２５／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

顕微鏡対物レンズであって、前記顕微鏡対物レンズは、射出側から物体側に向かって順に、正の屈折力を有する第１レンズと、負の屈折力を有する第２レンズと、負の屈折力を有する第３レンズと、正の屈折力を有する第４レンズからなり、
前記第１レンズの軸上厚みがｄ１であり、前記第１レンズから第２レンズまでの軸上距離がｄ２であり、前記第２レンズの軸上厚みがｄ３であり、前記第１レンズと前記第２レンズの合成焦点距離がｆ１２であり、前記第４レンズ射出面の中心曲率半径がＲ７であり、前記第４レンズ物体側の中心曲率半径がＲ８であり、前記第４レンズの焦点距離がｆ４であり、前記顕微鏡対物レンズの焦点距離がｆであり、前記顕微鏡対物レンズの物体面から前記第４レンズの物体側までの軸上距離がＷＤであり、前記顕微鏡対物レンズの物体面から前記第１レンズの射出面までの軸上距離がＴＴＬであり、次の関係式を満たす、ことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
５．００≦ｆ１２／（ｄ１＋ｄ２＋ｄ３）≦８．００
－４．００≦Ｒ７／Ｒ８≦－１．５０
０．３８≦ｆ４／ｆ≦０．５３
０．２０≦ＷＤ／ＴＴＬ≦０．４０

【請求項2】

前記第３レンズ射出面の中心曲率半径をＲ５とし、前記第３レンズ物体側の中心曲率半径をＲ６とし、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
－０．３０≦Ｒ５／Ｒ６≦－０．２０

【請求項3】

開口数をＮＡとし、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．０４５≦ＮＡ≦０．０６５

【請求項4】

前記第１レンズの射出面が近軸位置において凸面であり、前記第１レンズの物体側が近軸位置において凸面であり、前記第１レンズ射出面の中心曲率半径をＲ１とし、前記第１レンズ物体側の中心曲率半径をＲ２とし、前記第１レンズの焦点距離をｆ１とし、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．１２≦ｆ１／ｆ≦０．４２
－０．１４≦（Ｒ１＋Ｒ２）／（Ｒ１－Ｒ２）≦０．０１
０．０１≦ｄ１／ＴＴＬ≦０．０７

【請求項5】

前記第２レンズの射出面が近軸位置において凹面であり、前記第２レンズの物体側が近軸位置において凸面であり、前記第２レンズ射出面の中心曲率半径をＲ３とし、前記第２レンズ物体側の中心曲率半径をＲ４とし、前記第２レンズの焦点距離をｆ２とし、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
－１．５５≦ｆ２／ｆ≦－０．３６
－６．８５≦（Ｒ３＋Ｒ４）／（Ｒ３－Ｒ４）≦－１．８７
０．０１≦ｄ３／ＴＴＬ≦０．０７

【請求項6】

前記第３レンズの射出面が近軸位置において凹面であり、前記第３レンズの物体側が近軸位置において凹面であり、前記第３レンズの焦点距離をｆ３とし、前記第３レンズの軸上厚みをｄ５とし、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
－０．４２≦ｆ３／ｆ≦－０．１２
０．０２≦ｄ５／ＴＴＬ≦０．２６

【請求項7】

前記第４レンズの射出面が近軸位置において凸面であり、前記第４レンズの物体側が近軸位置において凸面であり、前記第４レンズの軸上厚みをｄ７とし、次の関係式を満たす、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．０２≦ｄ７／ＴＴＬ≦０．３１

【請求項8】

前記第１レンズ、前記第２レンズ、前記第３レンズ、および前記第４レンズは、ガラスで構成される、ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学レンズの技術分野に属し、特に、顕微鏡装置に適用する顕微鏡対物レンズに関する。

【背景技術】

【0002】

近年、顕微鏡レンズの需要は高まっている。一般的な顕微鏡レンズは、光学構造上の制約により、微小領域内で歪曲収差が発生する場合がある。複数のレンズを使用すると、レンズの全長が長くなる傾向がある。顕微鏡レンズは長いほど、作動距離が短くなり、倍率は作動距離の影響を受けるため、使用には適しない。

【0003】

技術の発展と需要の多様化に伴い、特に、科学研究において、顕微鏡レンズの結像品質への要求は高まっている。優れた光学特性、低歪み、広い視野での画像が歪まない性能を備えた顕微鏡レンズが求められている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明が解決しようとする課題は、高い結像性能が得られるとともに、低歪曲収差、広い視野での画像が歪まないという要件を満たすことができる、顕微鏡対物レンズを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記の問題を解決するために、本発明は、顕微鏡対物レンズであって、前記顕微鏡対物レンズは、射出側から物体側に向かって順に、正の屈折力を有する第１レンズと、負の屈折力を有する第２レンズと、負の屈折力を有する第３レンズと、正の屈折力を有する第４レンズを備え、前記第１レンズの軸上厚みがｄ１であり、前記第１レンズから第２レンズまでの軸上距離がｄ２であり、前記第２レンズの軸上厚みがｄ３であり、前記第１レンズと前記第２レンズの合成焦点距離がｆ１２であり、前記第４レンズ射出面の中心曲率半径がＲ７であり、前記第４レンズ物体側の中心曲率半径がＲ８であり、前記第４レンズの焦点距離がｆ４であり、前記顕微鏡対物レンズの焦点距離がｆであり、前記顕微鏡対物レンズの物体面から前記第４レンズの物体側までの軸上距離がＷＤであり、前記顕微鏡対物レンズの物体面から前記第１レンズの射出面までの軸上距離がＴＴＬであり、５．００≦ｆ１２／（ｄ１＋ｄ２＋ｄ３）≦８．００、－４．００≦Ｒ７／Ｒ８≦－１．５０、０．３８≦ｆ４／ｆ≦０．５３、０．２０≦ＷＤ／ＴＴＬ≦０．４０の条件を満たす、顕微鏡対物レンズを提供する。

【0006】

好ましくは、前記第３レンズ射出面の中心曲率半径をＲ５とし、前記第３レンズ物体側の中心曲率半径をＲ６とし、－０．３０≦Ｒ５／Ｒ６≦－０．２０の条件を満たす。

【0007】

好ましくは、開口数をＮＡとし、０．０４５≦ＮＡ≦０．０６５の条件を満たす。

【0008】

好ましくは、前記第１レンズの射出面が近軸位置において凸面であり、前記第１レンズの物体側が近軸位置において凸面であり、前記第１レンズ射出面の中心曲率半径をＲ１とし、前記第１レンズ物体側の中心曲率半径をＲ２とし、前記第１レンズの焦点距離をｆ１とし、０．１２≦ｆ１／ｆ≦０．４２、－０．１４≦（Ｒ１＋Ｒ２）／（Ｒ１－Ｒ２）≦０．０１、０．０１≦ｄ１／ＴＴＬ≦０．０７の条件を満たす。

【0009】

好ましくは、前記第２レンズの射出面が近軸位置において凹面であり、前記第２レンズの物体側が近軸位置において凸面であり、前記第２レンズ射出面の中心曲率半径をＲ３とし、前記第２レンズ物体側の中心曲率半径をＲ４とし、前記第２レンズの焦点距離をｆ２とし、－１．５５≦ｆ２／ｆ≦－０．３６、－６．８５≦（Ｒ３＋Ｒ４）／（Ｒ３－Ｒ４）≦－１．８７、０．０１≦ｄ３／ＴＴＬ≦０．０７の条件を満たす。

【0010】

好ましくは、前記第３レンズの射出面が近軸位置において凹面であり、前記第３レンズの物体側が近軸位置において凹面であり、前記第３レンズの焦点距離をｆ３とし、前記第３レンズの軸上厚みをｄ５とし、－０．４２≦ｆ３／ｆ≦－０．１２、０．０２≦ｄ５／ＴＴＬ≦０．２６の条件を満たす。

【0011】

好ましくは、前記第４レンズの射出面が近軸位置において凸面であり、前記第４レンズの物体側が近軸位置において凸面であり、前記第４レンズの軸上厚みをｄ７とし、０．０２≦ｄ７／ＴＴＬ≦０．３１の条件を満たす。

【0012】

好ましくは、前記第１レンズ、前記第２レンズ、前記第３レンズ、および前記第４レンズは、ガラスで構成される。

【発明の効果】

【0013】

本発明の有利な効果は以下のとおりである。本発明の顕微鏡対物レンズは、優れた光学特性を備え、且つ歪曲収差が低く、広い視野での画像が歪まず、２倍の拡大倍率を実現でき、光学顕微鏡対物レンズに適している。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の第１実施形態における顕微鏡対物レンズの構造模式図である。

【図2】図１に示す顕微鏡対物レンズの軸上収差の模式図である。

【図3】図１に示す顕微鏡対物レンズの倍率色収差の模式図である。

【図4】図１に示す顕微鏡対物レンズの像面湾曲および歪曲収差（歪み）の模式図である。

【図5】本発明の第２実施形態における顕微鏡対物レンズの構造模式図である。

【図6】図５に示す顕微鏡対物レンズの軸上収差の模式図である。

【図7】図５に示す顕微鏡対物レンズの倍率色収差の模式図である。

【図8】図５に示す顕微鏡対物レンズの像面湾曲および歪曲収差（歪み）の模式図である。

【図9】本発明の第３実施形態における顕微鏡対物レンズの構造模式図である。

【図10】図９に示す顕微鏡対物レンズの軸上収差の模式図である。

【図11】図９に示す顕微鏡対物レンズの倍率色収差の模式図である。

【図12】図９に示す顕微鏡対物レンズの像面湾曲および歪曲収差（歪み）の模式図である。

【図13】本発明の第４実施形態における顕微鏡対物レンズの構造模式図である。

【図14】図１３に示す顕微鏡対物レンズの軸上収差の模式図である。

【図15】図１３に示す顕微鏡対物レンズの倍率色収差の模式図である。

【図16】図１３に示す顕微鏡対物レンズの像面湾曲および歪曲収差（歪み）の模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明の実施形態における技術的解決策は、以下に明確かつ完全に説明されるが、説明される実施形態は、本発明のすべての実施形態ではなく、一部の実施形態にすぎないことは明らかである。また、本明細書の実施形態に基づいて、創造的な努力なしに当業者によって得られる他のすべての実施形態は、本発明の特許請求の範囲に含まれる。

【0016】

（第１実施形態）
図面を参照すると、本発明は、顕微鏡対物レンズを提供している。図１は、本発明の第１実施形態における顕微鏡対物レンズ１０を示しており、前記顕微鏡対物レンズ１０は、６つのレンズを備える。具体的には、前記顕微鏡対物レンズ１０は、射出側から物体側に向かって順に、絞り部ＳＴ、第１レンズＬ１、第２レンズＬ２、第３レンズＬ３、第４レンズＬ４、および物体面を備えている。

【0017】

前記第１レンズＬ１の軸上厚みをｄ１とし、前記第１レンズＬ１から第２レンズＬ２までの軸上距離をｄ２とし、前記第２レンズＬ２の軸上厚みをｄ３とし、前記第１レンズＬ１と前記第２レンズＬ２との合成焦点距離をｆ１２とし、関係式５．００≦ｆ１２／（ｄ１＋ｄ２＋ｄ３）≦８．００の条件を満たす。第１レンズ群（第１レンズＬ１と第２レンズＬ２とからなるもの）焦点距離と厚みとの比率範囲を当該範囲にすることによって、第１レンズ群が、物体側端の軸外収差を補正するように十分な強い正の屈折力を持たせる同時に、適度な厚みを維持することができる。

【0018】

前記第４レンズＬ４の射出面の中心曲率半径をＲ７、前記第４レンズＬ４の物体側の中心曲率半径をＲ８とし、－４．００≦Ｒ７／Ｒ８≦－１．５０の条件を満たす。物体側の１番目のレンズ（すなわち、第４レンズＬ４）の形状は、この範囲内であれば、顕微鏡対物レンズ１０に入射する光の偏向量を効果的に制御し、色収差を、色収差｜ＬＣ｜≦０．８μｍに、効果的に低減することができる。

【0019】

前記第４レンズＬ４の焦点距離をｆ４、前記顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離をｆとし、０．３８≦ｆ４／ｆ≦０．５３の条件を満たすことができる。物体側の１番目のレンズ（すなわち、第４レンズＬ４）の焦点距離と顕微鏡対物レンズ１０の焦点距離との比は、この範囲内であれば、顕微鏡対物レンズ１０に入射する光の偏向量が効果的に制御され、顕微鏡対物レンズの歪曲収差を、歪曲収差｜Ｄｉｓｔｏｒｔｉｏｎ｜≦０．１６％に、効果的に制御し、広い視野での画像が歪まないことを確保することができる。

【0020】

前記顕微鏡対物レンズ１０の物体面から前記第４レンズＬ４の物体側までの軸上距離をＷＤとし（すなわち、動作距離をＷＤとする）、前記顕微鏡対物レンズ１０の物体面から前記第１レンズＬ１の射出面までの軸上距離をＴＴＬとし（すなわち、光学全長をＴＴＬとする）、０．２０≦ＷＤ／ＴＴＬ≦０．４０の条件を満たす。動作距離ＷＤは、観察対象物（物体）から、当該観察対象物から最も近い物体側面まで距離であり、ＴＴＬは、対象物（物体）から最も遠い対物レンズまでの距離である。動作距離およびシステム全長（光学全長）の比は、この関係式の範囲内であれば、顕微鏡対物レンズと物体との間に適切な距離が確保され、顕微鏡対物レンズの良好な操作性（動作性能）を向上させる同時に、収差を補正するために、レンズ部に適度な背ペースを持たせてレンズを構成することができる。

【0021】

上記の関係式の条件を満たすことにより、顕微鏡対物レンズ１０は、低歪曲収差、広い視野での画像が歪まないこと、および２倍の拡大倍率という設計要件を満たしながら、良好な光学性能を有することができる。

【0022】

前記第３レンズ射出面の中心曲率半径をＲ５、前記第３レンズ物体側の中心曲率半径をＲ６とし、－０．３０≦Ｒ５／Ｒ６≦－０．２０の条件を満たす。物体側の２番目のレンズ（すなわち、第３レンズＬ３）の形状は、この範囲内であれば、光の屈折角を効果的に小さくし、システム全体の感度を低下させることができる。

【0023】

開口数をＮＡとし、０．０４５≦ＮＡ≦０．０６５の条件を満たす。

【0024】

本実施形態において、近軸位置において第１レンズＬ１の射出面が凸面であり、近軸位置において第１レンズＬ１の物体側が凸面である。第１レンズＬ１は正の屈折力を有する。他の任意の実施形態では、第１レンズＬ１の射出面および物体側は他の凹面または凸面に設けられても良い。

【0025】

第１レンズＬ１焦点距離をｆ１とし、０．１２≦ｆ１／ｆ≦０．４２の条件を満たす。第１レンズＬ１の正の屈折力は、この範囲内であれば、第１レンズＬ１が適切な正の屈折力を有する。なお、前記関係は、好ましくは、０．１９≦ｆ１／ｆ≦０．３４である。

【0026】

第１レンズＬ１射出面の中心曲率半径をＲ１、第１レンズＬ１物体側の中心曲率半径をＲ２とし、－０．１４≦（Ｒ１＋Ｒ２）／（Ｒ１－Ｒ２）≦０．０１の条件を満たす。第１レンズの形状を合理的に制御し、第１レンズがシステムの球面収差を効果的に補正できる。なお、この関係は、好ましくは、－０．０９≦（Ｒ１＋Ｒ２）／（Ｒ１－Ｒ２）≦０．０１である。

【0027】

第１レンズＬ１の軸上厚みをｄ１とし、０．０１≦ｄ１／ＴＴＬ≦０．０７の条件を満たす。これによって、光学全長を合理的に制御することができる。なお、この関係は、好ましくは、０．０２≦ｄ１／ＴＴＬ≦０．０５である。

【0028】

本実施形態において、好ましくは、第２レンズＬ２の射出面が近軸位置において凹面であり、第２レンズＬ２の物体側が近軸位置において凸面である。第２レンズＬ２は負の屈折力を有する。他の任意の実施形態では、第２レンズＬ２の射出面および物体側は他の凹面または凸面に設けられても良い。

【0029】

第２レンズＬ２焦点距離をｆ２とし、－１．５５≦ｆ２／ｆ≦－０．３６を満たす。第２レンズＬ２の負のディオプトリ（Ｆｏｃａｌ ｐｏｗｅｒ）を合理な（適切な）範囲に制御することによって、光学システムの収差を効果的に補正するのに有利である。なお、この範囲は、好ましくは、－０．９７≦ｆ２／ｆ≦－０．４６である。

【0030】

第２レンズＬ２射出面の中心曲率半径をＲ３とし、第２レンズＬ２物体側の中心曲率半径をＲ４とし、－６．８５≦（Ｒ３＋Ｒ４）／（Ｒ３－Ｒ４）≦－１．８７を満たす。第２レンズＬ２の形状は、この範囲内であれば、軸上色収差を補正するのに有利である。なお、この範囲は、好ましくは、－４．２８≦（Ｒ３＋Ｒ４）／（Ｒ３－Ｒ４）≦－２．３４である。

【0031】

第２レンズＬ２の軸上厚みをｄ３とし、０．０１≦ｄ３／ＴＴＬ≦０．０７を満たす。これによって、光学全長を合理的に制御することができる。なお、この範囲は、好ましくは、０．０２≦ｄ３／ＴＴＬ≦０．０６である。

【0032】

本実施形態において、好ましくは、第３レンズＬ３の射出面が近軸位置において凹面であり、第３レンズＬ３の物体側が近軸位置において凹面である。第３レンズＬ３が負の屈折力を有する。他の任意の実施形態では、第３レンズＬ３の射出面および物体側面は、他の凹面または凸面に設けられても良い。

【0033】

第３レンズＬ３の焦点距離をｆ３とし、－０．４２≦ｆ３／ｆ≦－０．１２を満たす。第３レンズＬ３の負のディオプトリ（Ｆｏｃａｌ ｐｏｗｅｒ）を合理な（適切な）範囲に制御することによって、光学システムの収差を効果的に補正するのに有利である。なお、この範囲は、好ましくは、－０．２６≦ｆ３／ｆ≦－０．１６である。

【0034】

第３レンズＬ３の軸上厚みをｄ５とし、０．０２≦ｄ５／ＴＴＬ≦０．２６の条件を満たす。これによって、光学全長を合理的に制御することができる。この範囲は、好ましくは、０．０２≦ｄ５／ＴＴＬ≦０．２１である。

【0035】

本実施形態において、第４レンズＬ４の射出面が近軸位置において凸面であり、第４レンズＬ４の物体側が近軸位置において凸面である。第４レンズＬ４が正の屈折力を有する。他の任意の実施形態では、第４レンズＬ４の射出面および物体側面は、他の凹面または凸面に設けられても良い。

【0036】

第４レンズＬ４の軸上厚みをｄ７とし、０．０２≦ｄ７／ＴＴＬ≦０．３１の条件を満たす。第４レンズＬ４の軸上厚みと顕微鏡対物レンズ１０の光学全長ＴＴＬとの比を制御することによって、超薄型の実現に役立つことができる。なお、その範囲は、好ましくは、０．０３≦ｄ７／ＴＴＬ≦０．２５である。

【0037】

本実施形態において、顕微鏡対物レンズ１０の光学全長ＴＴＬ（第１レンズＬ１の射出面から物体面の軸上距離まで）が９２．４９３ｍｍである。

【0038】

本実施形態において、顕微鏡対物レンズ１０の視野角が６．８６°である。

【0039】

本実施形態において、顕微鏡対物レンズ１０の像高が６．０００ｍｍである。

【0040】

本実施形態において、前記第１レンズ、前記第２レンズ、前記第３レンズ、および前記第４レンズはガラスで構成される。

【0041】

以下、本発明の顕微鏡対物レンズ１０について実施例を挙げて説明する。各実施例に使用される記号は以下の通りである。焦点距離、軸上距離、中心曲率半径、軸上厚みの位置の単位は、ｍｍである。

【0042】

表１は、本発明の第１実施形態の顕微鏡対物レンズ１０の設計データを示している。

この表において、各記号の意味は以下のとおりである。
ＳＴ：絞り部。
Ｒ：光学面の中心における中心曲率半径。
Ｒ１：第１レンズＬ１の射出面の中心曲率半径。
Ｒ２：第１レンズＬ１の物体側の中心曲率半径。
Ｒ３：第２レンズＬ２の射出面の中心曲率半径。
Ｒ４：第２レンズＬ２の物体側の中心曲率半径。
Ｒ５：第３レンズＬ３の射出面の中心曲率半径。
Ｒ６：第３レンズＬ３の物体側の中心曲率半径。
Ｒ７：第４レンズＬ４の射出面の中心曲率半径。
Ｒ８：第４レンズＬ４の物体側の中心曲率半径。
ｄ：レンズの軸上厚み、レンズ間の軸上距離。
ｄＳＴ：絞り部ＳＴから第１レンズ射出面までの軸上距離。
ｄ１：第１レンズＬ１の軸上厚み。
ｄ２：第１レンズＬ１の物体側から第２レンズＬ２の射出面までの軸上距離。
ｄ３：第２レンズＬ２の軸上厚み。
ｄ４：第２レンズＬ２の物体側から第３レンズＬ３の射出面までの軸上距離。
ｄ５：第３レンズＬ３の軸上厚み。
ｄ６：第３レンズＬ３の物体側から第４レンズＬ４の射出面までの軸上距離。
ｄ７：第４レンズＬ４の軸上厚み。
ｄ８：第４レンズＬ４の物体側から物体面までの軸上距離。
Ｎｄ：ｄ線の屈折率。
ｎ１：第１レンズＬ１のｄ線の屈折率。
ｎ２：第２レンズＬ２のｄ線の屈折率。
ｎ３：第３レンズＬ３のｄ線の屈折率。
ｎ４：第４レンズＬ４のｄ線の屈折率。
ｖｄ：アッベ数。
ｖ１：第１レンズＬ１のアッベ数。
ｖ２：第２レンズＬ２のアッベ数。
ｖ３：第３レンズＬ３のアッベ数。
ｖ４：第４レンズＬ４のアッベ数。

【0043】

図２および図３は、波長４３６ｎｍ、４８６ｎｍ、５８８ｎｍ、６５６ｎｍの光が第１実施形態の顕微鏡対物レンズ１０を通過した後の軸上（軸向）収差および倍率色収差を示す模式図である。図４は、波長５８８ｎｍの光が第１実施形態の顕微鏡対物レンズ１０を通過した後の像面湾曲および歪曲収差の模式図である。図４の像面湾曲Ｓは、サジタル方向の像面湾曲であり、Ｔは、タンジェンシャル方向の像面湾曲である。

【0044】

後述する表５に示されている各実施例一、二、三、四のいける各種数値と条件式で規定するパラメータとの対応値を示している。

【0045】

表５に示すように、第１実施形態は、各条件式を満たす。

【0046】

本実施形態において、前記顕微鏡対物レンズの入射瞳径ＥＮＰＤは１１．０００ｍｍであり、全視野像高ＩＨは６．０００ｍｍであり、対角線方向の視野角ＦＯＶが６．８６°であり、開口数ＮＡが０．０５５ｍｍであり、拡大倍率が２であり、軸上、軸外の色収差が良好に補正されており、且つ優れた光学特性を備えている。

【0047】

（第２実施形態）
第２実施形態は、基本的に第１実施形態と同様であり、記号の意味は第１実施形態と同様であり、当該第２実施形態における顕微鏡対物レンズ２０の構造は、図５に示されており、以下、相違点のみを説明する。

【0048】

表２は、本発明の第２実施形態における顕微鏡対物レンズ２０の設計データを示している。

図６および図７は、波長４３６ｎｍ、４８６ｎｍ、５８８ｎｍ、６５６ｎｍの光が第２実施形態における顕微鏡対物レンズ２０を通過した後の倍率色収差および軸上収差を示す模式図である。図８は、波長５８８ｎｍの光が第２実施形態における顕微鏡対物レンズ２０を通過した後の像面湾曲および歪曲収差を示す模式図であり、図８の像面湾曲Ｓは、サジタル方向の像面湾曲であり、Ｔは、タンジェンシャル方向の像面湾曲である。

【0049】

表４に示すように、第２実施形態は各条件式を満たしている。

【0050】

本実施形態において、前記顕微鏡対物レンズの入射瞳径が１１．０００ｍｍであり、全視野像高が６．０００ｍｍであり、対角線方向の視野角が５．７３°であり、開口数ＮＡが０．０４６ｍｍであり、動作距離は長く、軸上、軸外の色収差が十分に補正されており、且つ優れた光学特性を備えている。

【0051】

（第３実施形態）
第３実施形態は、基本的に、第１実施形態と同様であり、記号の意味は第１実施形態と同様であり、当該第３実施形態における顕微鏡対物レンズ３０の構造は、図９に示されており、以下、相違点のみを説明する。

【0052】

表３は、本発明の第３実施形態における顕微鏡対物レンズ３０の設計データを示している。

図１０および図１１は、波長４３６ｎｍ、４８６ｎｍ、５８８ｎｍ、６５６ｎｍの光が第３実施形態における顕微鏡対物レンズ３０を通過した後の倍率色収差および軸上収差を示す模式図である。図１２は、波長５８８ｎｍの光が第３実施形態における顕微鏡対物レンズ３０を通過した後の像面湾曲および歪曲収差を示す模式図である。図１２の像面湾曲Ｓは、サジタル方向の像面湾曲であり、Ｔは、タンジェンシャル方向の像面湾曲である。

【0053】

表５に示すように、第３実施形態は各条件式を示している。

【0054】

本実施形態において、前記顕微鏡対物レンズの入射瞳径が１１．０００ｍｍであり、全視野像高が６．０００ｍｍであり、対角線方向の視野角が５．９３°であり、動作距離は長く、開口数ＮＡが０．０４８ｍｍであり、軸上、軸外の色収差が十分に補正されており、且つ優れた光学特性を備えている。

【0055】

（第４実施形態）
第４実施形態は、基本的に、第１実施形態と同様であり、記号の意味は第１実施形態と同様であり、当該第４実施形態における顕微鏡対物レンズ４０の構造は、図１３に示されており、以下、相違点のみを説明する。

【0056】

表４は、本発明の第４実施形態における顕微鏡対物レンズ４０の設計データを示している。

図１４および図１５は、波長４３６ｎｍ、４８６ｎｍ、５８８ｎｍ、６５６ｎｍの光が第４実施形態における顕微鏡対物レンズ４０を通過した後の倍率色収差および軸上収差を示す模式図である。図１６は、波長５８８ｎｍの光が第４実施形態における顕微鏡対物レンズ４０を通過した後の像面湾曲および歪曲収差を示す模式図である。図１６の像面湾曲Ｓは、サジタル方向の像面湾曲であり、Ｔは、タンジェンシャル方向の像面湾曲である。

【0057】

表５に示すように、第４実施形態は各条件式を示している。

【0058】

本実施形態において、前記顕微鏡対物レンズの入射瞳径が１１．０００ｍｍであり、全視野像高が６．０００ｍｍであり、対角線方向の視野角が７．９７°であり、動作距離は長く、開口数ＮＡが０．０６４ｍｍであり、軸上、軸外の色収差が十分に補正されており、且つ優れた光学特性を備えている。

【0059】

上述の実施形態は本発明の特定の実施例であり、実際の応用においては、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、当業者にとっては、様々な変更を加えることができる。

【要約】      （修正有）

【課題】高い結像性能が得られるとともに、低歪曲収差、広い視野での画像が歪まないという要件を満たすことができる、顕微鏡対物レンズを提供すること。
【解決手段】本発明は、光学レンズの技術分野に属し、特に、顕微鏡装置に適用する顕微鏡対物レンズに関する。前記顕微鏡対物レンズは、射出側から物体側に向かって順に、正の屈折力を有する第１レンズと、負の屈折力を有する第２レンズと、負の屈折力を有する第３レンズと、正の屈折力を有する第４レンズとを備える。また、以下の関係式を満たす。５．００≦ｆ１２／（ｄ１＋ｄ２＋ｄ３）≦８．００。－４．００≦Ｒ７／Ｒ８≦－１．５０。０．３８≦ｆ４／ｆ≦０．５３。０．２０≦ＷＤ／ＴＴＬ≦０．４０。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】